特開 2024-9479 支持装置および支持方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024009479

(43)【公開日】2024-01-23

(54)【発明の名称】支持装置および支持方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240116BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022111031

(22)【出願日】2022-07-11

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】當摩 明紀

(72)【発明者】

【氏名】丸山 孝之

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA11

5F131AA12

5F131AA13

5F131AA15

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131BA53

5F131CA32

5F131DB87

5F131EA07

5F131EA14

5F131EA24

5F131EB01

5F131EB11

5F131EB31

5F131EB42

5F131EB46

5F131EC32

5F131EC33

5F131EC34

5F131EC35

5F131EC37

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC68

5F131EC72

5F131HA42

5F131HA43

5F131HA44

5F131KA12

5F131KA14

5F131KA40

5F131KA54

5F131KB06

5F131KB30

(57)【要約】

【課題】支持手段を回転させなくてもバーコードシンボルを読み取ることができる支持装置および支持方法を提供する。
【解決手段】支持装置ＥＡは、支持対象物ＷＫを支持する支持手段１０と、支持手段１０の所定の位置を回転中心ＣＰとして支持手段１０を回転させる回転手段２０とを備え、支持手段１０は、回転中心ＣＰを中心とする複数の円で構成されたバーコードシンボル１３を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

支持対象物を支持する支持手段と、
前記支持手段の所定の位置を回転中心として当該支持手段を回転させる回転手段とを備え、
前記支持手段は、前記回転中心を中心とする複数の円で構成されたバーコードシンボルを備えていることを特徴とする支持装置。

【請求項2】

前記支持手段は、前記支持対象物を支持する支持面を備え、
前記支持面に前記バーコードシンボルが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。

【請求項3】

前記支持手段は、前記回転中心を中心とする角柱状、円柱状、角錐台状または円錐台状とされて側面を備え、
前記側面に前記バーコードシンボルが設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の支持装置。

【請求項4】

前記バーコードシンボルを読み取る読取手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の支持装置。

【請求項5】

支持対象物を支持手段で支持する支持工程と、
前記支持手段の所定の位置を回転中心として当該支持手段を回転させる回転工程とを実施し、
前記支持工程では、前記回転中心を中心とする複数の円で構成されたバーコードシンボルを備えた支持手段で前記支持対象物を支持することを特徴とする支持方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、支持装置および支持方法に関する。

【背景技術】

【0002】

支持対象物を支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－８００８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された加工装置１（支持装置）では、二次元バーコード２０１（バーコードシンボル）がチャックテーブル１４（支持手段）の外縁部の一部領域に設けられているため、支持手段を回転させてバーコードシンボルを撮像ユニット４４－２（読取手段）による読取位置に配置しないと、バーコードシンボルを読み取ることができないという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、支持手段を回転させなくてもバーコードシンボルを読み取ることができる支持装置および支持方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、支持手段が、回転中心を中心とする複数の円で構成されたバーコードシンボルを備えているため、支持手段を回転させなくてもバーコードシンボルを読み取ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係る支持装置の説明図。

【図2】本発明の変形例に係る支持装置の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図１（Ａ）、（Ｂ）に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

支持装置ＥＡは、支持対象物ＷＫを支持する支持工程を実施する支持手段１０と、支持手段１０の所定の位置を回転中心ＣＰとして当該支持手段１０を回転させる回転工程を実施する回転手段２０と、バーコードシンボル１３を読み取る読取工程を実施する読取手段３０とを備えている。

【0011】

支持手段１０は、テーブル１１と、配管１２Ａを介してテーブル１１に接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）１２と、回転中心ＣＰを中心とする複数の円で構成されたバーコードシンボル１３とを備えている。
テーブル１１は、減圧手段１２によって吸着保持が可能とされ、支持対象物ＷＫを支持する支持面１１Ａと、支持面１１Ａに設けられ、配管１２Ａを介して減圧手段１２と連通する凹部１１Ｂと、凹部１１Ｂ内に配置され、上面が支持面１１Ａとされた多孔質部材１１Ｃとを備え、支持対象物ＷＫの種類、大きさ、形状等に応じて交換可能となっている。なお、本実施形態の場合、テーブル１１は、支持面１１Ａにバーコードシンボル１３が設けられ、回転中心ＣＰを中心とする円柱状とされて側面１１Ｄを備えている。

【0012】

回転手段２０は、出力軸２１Ａでテーブル１１を支持する駆動機器としての回動モータ２１を備えている。

【0013】

読取手段３０は、所定の読取位置でバーコードシンボル１３を読み取る情報読取手段としてのバーコードリーダ３１と、バーコードリーダ３１に電気的に接続されたパーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段３２とを備えている。

【0014】

以上の支持装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、支持装置ＥＡに対し、当該支持装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して、テーブル１１の情報を入力するとともに、自動運転開始の信号を入力する。次いで、読取手段３０がバーコードリーダ３１を駆動し、バーコードシンボル１３を読み取って復号する。ここで、バーコードシンボル１３は、テーブル１１の回転中心ＣＰを中心とする複数の円で構成されているため、テーブル１１の回転位置に関係なくバーコードシンボル１３の各バーが所定の読取位置に配置され、テーブル１１を回転させなくても、読取手段３０がバーコードシンボル１３を読み取ることができる。その後、読取手段３０が制御手段３２により、バーコードシンボル１３から復号した情報と、操作手段を介して入力された情報との対応を検証し、テーブル１１が適格なものか不適格なものかを判定する。その結果、テーブル１１が不適格なものであると判断されると、読取手段３０が制御手段３２からスピーカや表示器等の図示しない警告手段に所定の信号を出力し、当該警告手段を介して音や光等の警告シグナルを発することで、テーブル１１の交換が必要であることを使用者に知らせる。

【0015】

一方、テーブル１１が適格なものであると判断された場合、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、支持対象物ＷＫを支持面１１Ａ上の所定の位置に載置すると、支持手段１０が減圧手段１２を駆動し、支持面１１Ａでの支持対象物ＷＫの吸着保持を開始する。次に、回転手段２０が回動モータ２１を駆動し、テーブル１１を回転させる。そして、支持対象物ＷＫを位置決めする位置決め手段や、支持対象物ＷＫを検査する検査手段等の図示しない処理手段が、支持対象物ＷＫに所定の処理としての位置決めや検査等を施すと、回転手段２０が回動モータ２１の駆動を停止する。次いで、支持手段１０が減圧手段１２の駆動を停止し、支持面１１Ａでの支持対象物ＷＫの吸着支持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が支持対象物ＷＫを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0016】

以上のような実施形態によれば、テーブル１１が、回転中心ＣＰを中心とする複数の円で構成されたバーコードシンボル１３を備えているため、テーブル１１を回転させなくてもバーコードシンボル１３を読み取ることができる。

【0017】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0018】

例えば、支持手段１０は、多孔質部材１１Ｃに代えてまたは併用して、支持面１１Ａに形成された吸引孔によって支持対象物ＷＫを吸着保持してもよいし、バーコードシンボル１３の一部または全部が支持面１１Ａにおける支持対象物ＷＫの吸着保持領域内に設けられていてもよいし、支持面１１Ａのみにバーコードシンボル１３を設けてもよいし、図２に示すように、側面１１Ｄのみにバーコードシンボル１３を設けてもよいし、支持面１１Ａの反対側に位置する反対面１１Ｅのみにバーコードシンボル１３を設けてもよいし、支持面１１Ａと側面１１Ｄとの両方のみにバーコードシンボル１３を設けてもよいし、支持面１１Ａと反対面１１Ｅとの両方のみにバーコードシンボル１３を設けてもよいし、側面１１Ｄと反対面１１Ｅとの両方のみにバーコードシンボル１３を設けてもよいし、支持面１１Ａと側面１１Ｄと反対面１１Ｅとにバーコードシンボル１３を設けてもよいし、支持面１１Ａ、側面１１Ｄおよび反対面１１Ｅのうちの少なくとも１つの面に複数のバーコードシンボル１３を設けてもよい。
支持手段１０は、回動モータ２１の出力軸２１Ａに支持された基台と、基台に支持されたテーブル１１と、テーブル１１を基台に押さえ付ける押え部材（例えば、特開２００６－３３９３４４号に記載されたリング状部材４０等）とを備え、押え部材にバーコードシンボル１３が設けられてもよい。
テーブル１１は、回転中心ＣＰを中心とする角柱状、円柱状、角錐台状または円錐台状とされて側面を備え、当該側面にバーコードシンボル１３が設けられてもよく、テーブル１１が角柱状や角錐台状の場合、三角、または五角以上の角柱状や角錐台状でもよい。
バーコードシンボル１３は、接着シート、紙、布、金属板、樹脂板等のシート部材に印刷され、当該シート部材がテーブル１１に貼付されていてもよいし、テーブル１１に直接印刷されたり記載されたり刻印されたりしてもよく、表示方法は何ら限定されるものではない。

【0019】

回転手段２０は、例えば、回動モータ２１の出力軸２１Ａからギアやベルトを介してテーブル１１を回転させてもよいし、駆動機器としての回動モータの出力軸に支持された駆動ローラをテーブル１１の支持面１１Ａ、側面１１Ｄまたは反対面１１Ｅに当接させ、当該駆動ローラでテーブル１１を回転させてもよい。

【0020】

読取手段３０は、バーコードリーダ３１に代えてまたは併用して、カメラや投影機等の撮像手段や、画像センサや光電センサ等の各種センサ等からなる情報読取手段を備えていてもよいし、角柱状、円柱状、角錐台状または円錐台状とされたテーブル１１の側面に設けられたバーコードシンボル１３を読み取ってもよいし、本発明の支持装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0021】

処理手段は、例えば、支持対象物ＷＫを研磨する研磨手段や研削する研削手段、支持対象物ＷＫを切断する切断刃等の切断手段、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段で支持対象物ＷＫに接着シートを貼付するシート貼付手段、支持対象物ＷＫに貼付された接着シートを支持対象物ＷＫから剥離する剥離板や剥離ローラ等のシート剥離手段、支持対象物ＷＫに紫外線や赤外線等の電磁波を照射する照射手段、支持対象物ＷＫを清掃する清掃手段等、支持対象物ＷＫに所定の処理を施すものであればどのようなものでもよい。

【0022】

支持対象物ＷＫは、接着シートを介してフレーム部材としてのリングフレームと一体化されていてもよい。
フレーム部材は、リングフレーム以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。

【0023】

シート部材、接着シートおよび支持対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、シート部材、接着シートおよび支持対象物ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、シート部材および接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着形態のものが採用された場合は、当該シート部材および接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このようなシート部材および接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、支持対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0024】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、回転手段は、支持手段の所定の位置を回転中心として当該支持手段を回転させるものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0025】

ＥＡ…支持装置
１０…支持手段
１１Ａ…支持面
１１Ｄ…側面
１３…バーコードシンボル
２０…回転手段
３０…読取手段
ＣＰ…回転中心
ＷＫ…支持対象物

【図1】

【図2】