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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024095382
(43)【公開日】2024-07-10
(54)【発明の名称】弾性波装置
(51)【国際特許分類】
H03H 9/145 20060101AFI20240703BHJP
H03H 9/25 20060101ALI20240703BHJP
【ＦＩ】
H03H9/145 Z
H03H9/145 C
H03H9/145 D
H03H9/25 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022212650
(22)【出願日】2022-12-28
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110002527
【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】大島 直樹
【テーマコード（参考）】
5J097
【Ｆターム（参考）】
5J097AA14
5J097BB02
5J097DD04
5J097DD14
5J097DD22
5J097DD29
5J097EE08
5J097FF04
5J097FF05
5J097GG03
5J097GG04
5J097HA02
5J097HA03
5J097KK03
5J097KK09
(57)【要約】
【課題】ＩＤＴ電極を含む共振子の共振特性に発生する不要波のリップルを、より抑制する。
【解決手段】弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２の一部とを含む共振子１０は、複数の領域Ａ１～Ａ１３を有する。複数の領域Ａ１～Ａ１３は、中央領域Ａ７と、第１ギャップ領域Ａ４と、第２ギャップ領域Ａ１０と、第１エッジ領域Ａ５と、第２エッジ領域Ａ９と、第１中間領域Ａ６と、第２中間領域Ａ８と、を含む。第１中間領域Ａ６は、中央領域Ａ７と第１エッジ領域Ａ５との間に位置している。第２中間領域Ａ８は、中央領域Ａ７と第２エッジ領域Ａ９との間に位置している。第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅く第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９よりも弾性波の音速が速い。
【選択図】図１
【解決手段】弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２の一部とを含む共振子１０は、複数の領域Ａ１～Ａ１３を有する。複数の領域Ａ１～Ａ１３は、中央領域Ａ７と、第１ギャップ領域Ａ４と、第２ギャップ領域Ａ１０と、第１エッジ領域Ａ５と、第２エッジ領域Ａ９と、第１中間領域Ａ６と、第２中間領域Ａ８と、を含む。第１中間領域Ａ６は、中央領域Ａ７と第１エッジ領域Ａ５との間に位置している。第２中間領域Ａ８は、中央領域Ａ７と第２エッジ領域Ａ９との間に位置している。第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅く第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９よりも弾性波の音速が速い。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記ＩＤＴ電極では、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、
前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む第１ギャップ領域と、
前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む第２ギャップ領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含む第１エッジ領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含む第２エッジ領域と、
前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している第１中間領域と、
前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している第２中間領域と、を含み、
前記第１ギャップ領域及び前記第２ギャップ領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が速く、
前記第１中間領域及び前記第２中間領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅く前記第１エッジ領域及び前記第２エッジ領域よりも弾性波の音速が速い、
弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記ＩＤＴ電極では、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、
前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む第１ギャップ領域と、
前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む第２ギャップ領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含む第１エッジ領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含む第２エッジ領域と、
前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している第１中間領域と、
前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している第２中間領域と、を含み、
前記第１ギャップ領域及び前記第２ギャップ領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が速く、
前記第１中間領域及び前記第２中間領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅く前記第１エッジ領域及び前記第２エッジ領域よりも弾性波の音速が速い、
弾性波装置。
【請求項2】
前記第２エッジ領域では、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が、第１太幅部を含み、
前記第２方向における前記第１太幅部の幅は、前記第２方向における、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広く、
前記第１エッジ領域では、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が、第２太幅部を含み、
前記第２方向における前記第２太幅部の幅は、前記第２方向における、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広い、
請求項１に記載の弾性波装置。
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部が、第１太幅部を含み、
前記第２方向における前記第１太幅部の幅は、前記第２方向における、前記少なくとも１つの第１電極指の中央部の幅よりも広く、
前記第１エッジ領域では、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部が、第２太幅部を含み、
前記第２方向における前記第２太幅部の幅は、前記第２方向における、前記少なくとも１つの第２電極指の中央部の幅よりも広い、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項3】
前記第１エッジ領域は、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部に重なる第１質量付加膜の少なくとも一部を含み、
前記第２エッジ領域は、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部に重なる第２質量付加膜の少なくとも一部を含む、
請求項１に記載の弾性波装置。
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指の前記先端部に重なる第１質量付加膜の少なくとも一部を含み、
前記第２エッジ領域は、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指の前記先端部に重なる第２質量付加膜の少なくとも一部を含む、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項4】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記ＩＤＴ電極では、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、
前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む第１ギャップ領域と、
前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む第２ギャップ領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含む第１エッジ領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含む第２エッジ領域と、
前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している第１中間領域と、
前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している第２中間領域と、を含み、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指は、
前記中央領域において第１厚さ及び第１幅を有し、
前記第１エッジ領域において前記第１厚さ及び第２幅を有し、
前記第１中間領域において第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指は、
前記中央領域において前記第１厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２エッジ領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２中間領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２厚さが前記第１厚さよりも厚く、
前記第２幅が前記第１幅よりも広い、
弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられているＩＤＴ電極と、を備え、
前記ＩＤＴ電極は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記ＩＤＴ電極では、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、
前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む第１ギャップ領域と、
前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む第２ギャップ領域と、
前記複数の第２電極指の先端部を含む第１エッジ領域と、
前記複数の第１電極指の先端部を含む第２エッジ領域と、
前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している第１中間領域と、
前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している第２中間領域と、を含み、
前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指は、
前記中央領域において第１厚さ及び第１幅を有し、
前記第１エッジ領域において前記第１厚さ及び第２幅を有し、
前記第１中間領域において第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指は、
前記中央領域において前記第１厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２エッジ領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２中間領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、
前記第２厚さが前記第１厚さよりも厚く、
前記第２幅が前記第１幅よりも広い、
弾性波装置。
【請求項5】
前記第１中間領域及び前記第２中間領域では前記中央領域よりも弾性波の音速が遅く前記第１エッジ領域及び前記第２エッジ領域よりも弾性波の音速が速い、
請求項４に記載の弾性波装置。
請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項6】
前記圧電性基板は、
圧電層と、
前記圧電層に接合されている支持基板を更に備える、
請求項１～５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
圧電層と、
前記圧電層に接合されている支持基板を更に備える、
請求項１～５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【請求項7】
前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向である、
請求項１～５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
請求項１～５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、一般に弾性波装置に関し、より詳細には、ＩＤＴ電極を備える弾性波装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１は、圧電膜と、圧電膜上に設けられたＩＤＴ電極と、を備える弾性波装置を開示している。
【0003】
特許文献１に開示された弾性波装置では、ＩＤＴ電極は、第１のバスバーと、第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、先端が第２のバスバーに向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、第２のバスバーに基端が接続されており、先端が第１のバスバーに向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、を有する。
【0004】
第１のバスバー及び第２のバスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、を有する。
【0005】
特許文献１の図９に開示された弾性波装置では、第２の電極指の先端に１つの太幅部が設けられている。この第２の電極指の太幅部が設けられている部分の近傍において、第１の電極指には太幅部は設けられていない。また、この弾性波装置では、第１の電極指の先端に１つの太幅部が設けられている。この第１の電極指の太幅部が設けられている部分の近傍において、第２の電極指には太幅部は設けられていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開２０１８－１７４５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
ＩＤＴ電極の電極指の先端に太幅部が設けられた弾性波装置では、ＩＤＴ電極を含む共振子の共振特性に発生する不要波のリップルを、より抑制することが必要となることがある。
【0008】
本発明の目的は、ＩＤＴ電極を含む共振子の共振特性に発生する不要波のリップルを、より抑制することが可能な弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一態様に係る弾性波装置は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を備える。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている。前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有する。前記複数の領域は、中央領域と、第１ギャップ領域と、第２ギャップ領域と、第１エッジ領域と、第２エッジ領域と、第１中間領域と、第２中間領域と、を含む。前記中央領域は、前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む。前記第１ギャップ領域は、前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む。前記第２ギャップ領域は、前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む。前記第１エッジ領域は、前記複数の第２電極指の先端部を含む。前記第２エッジ領域は、前記複数の第１電極指の先端部を含む。前記第１中間領域は、前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している。前記第２中間領域は、前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している。前記第１ギャップ領域及び前記第２ギャップ領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が速い。前記第１中間領域及び前記第２中間領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅く前記第１エッジ領域及び前記第２エッジ領域よりも弾性波の音速が速い。
【0010】
本発明の別の一態様に係る弾性波装置は、圧電性基板と、ＩＤＴ電極と、を備える。前記ＩＤＴ電極は、前記圧電性基板上に設けられている。前記ＩＤＴ電極は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバーに向かって延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続されており、前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバーに向かって延びている。前記ＩＤＴ電極では、前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に交差する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数の第１電極指の先端縁の包絡線と複数の第２電極指の先端縁の包絡線との間の領域を交差領域とするとき、前記ＩＤＴ電極と前記圧電性基板の一部とを含む共振子は、前記圧電性基板の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向において互いに異なる複数の領域を有する。前記複数の領域は、中央領域と、第１ギャップ領域と、第２ギャップ領域と、第１エッジ領域と、第２エッジ領域と、第１中間領域と、第２中間領域と、を含む。前記中央領域は、前記第１方向における前記ＩＤＴ電極の前記交差領域の中央部を含み、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む。前記第１ギャップ領域は、前記第１バスバーと前記複数の第２電極指との間のギャップを含む。前記第２ギャップ領域は、前記第２バスバーと前記複数の第１電極指との間のギャップを含む。前記第１エッジ領域は、前記複数の第２電極指の先端部を含む。前記第２エッジ領域は、前記複数の第１電極指の先端部を含む。前記第１中間領域は、前記中央領域と前記第１エッジ領域との間に位置している。前記第２中間領域は、前記中央領域と前記第２エッジ領域との間に位置している。前記複数の第２電極指のうち少なくとも１つの第２電極指は、前記中央領域において第１厚さ及び第１幅を有し、前記第１エッジ領域において前記第１厚さ及び第２幅を有し、前記第１中間領域において第２厚さ及び前記第１幅を有する。前記複数の第１電極指のうち少なくとも１つの第１電極指は、前記中央領域において前記第１厚さ及び前記第１幅を有し、前記第２エッジ領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有し、前記第２中間領域において前記第２厚さ及び前記第１幅を有する。前記第２厚さが前記第１厚さよりも厚く、前記第２幅が前記第１幅よりも広い。
【発明の効果】
【0011】
本発明の上記態様に係る弾性波装置は、不要波のリップルを、より抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下の実施形態１～３等において参照する図１～７、８Ａ、８Ｂ、１１及び１２は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
【0014】
（実施形態１）
（１）概要
実施形態１に係る弾性波装置１は、図１に示すように、圧電性基板２と、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、を備える。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２上に設けられている。「圧電性基板２上に設けられている」とは、圧電性基板２上に直接的に設けられている場合と、圧電性基板２上に間接的に設けられている場合と、を含む。弾性波装置１は、圧電性基板２上に設けられている２つの反射器８（図１では、１つの反射器８のみ図示してある）を更に備える。実施形態１に係る弾性波装置１は、１ポート型弾性波共振子であるが、これに限らない。図１では、ＩＤＴ電極３及び反射器８にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３及び反射器８と圧電性基板２との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
（１）概要
実施形態１に係る弾性波装置１は、図１に示すように、圧電性基板２と、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、を備える。ＩＤＴ電極３は、圧電性基板２上に設けられている。「圧電性基板２上に設けられている」とは、圧電性基板２上に直接的に設けられている場合と、圧電性基板２上に間接的に設けられている場合と、を含む。弾性波装置１は、圧電性基板２上に設けられている２つの反射器８（図１では、１つの反射器８のみ図示してある）を更に備える。実施形態１に係る弾性波装置１は、１ポート型弾性波共振子であるが、これに限らない。図１では、ＩＤＴ電極３及び反射器８にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、ＩＤＴ電極３及び反射器８と圧電性基板２との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
【0015】
（２）詳細
以下、実施形態１に係る弾性波装置１について、図１～７、８Ａ及び８Ｂを参照して、より詳細に説明する。
以下、実施形態１に係る弾性波装置１について、図１～７、８Ａ及び８Ｂを参照して、より詳細に説明する。
【0016】
（２．１）圧電性基板
圧電性基板２は、図２及び３に示すように、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０において互いに対向する第１主面２１及び第２主面２２を有する。ここにおいて、「対向する」とは物理的ではなく幾何学的に対向することを意味する。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、圧電性基板２の外縁は、例えば、矩形状である。
圧電性基板２は、図２及び３に示すように、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０において互いに対向する第１主面２１及び第２主面２２を有する。ここにおいて、「対向する」とは物理的ではなく幾何学的に対向することを意味する。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、圧電性基板２の外縁は、例えば、矩形状である。
【0017】
圧電性基板２は、圧電性を有する。実施形態１に係る弾性波装置１では、圧電性基板２は、圧電基板である。圧電基板の材料は、例えば、リチウムタンタレートであるが、これに限らず、例えば、リチウムニオベイト、酸化亜鉛又は窒化アルミニウムであってもよい。圧電基板は、リチウムタンタレート基板の場合、例えば、５０°ＹカットＸ伝搬リチウムタンタレート基板である。圧電基板が、例えば、ＹカットＸ伝搬リチウムタンタレート基板の場合、弾性波装置１は、ラブ波を弾性波として利用することにより、ＳＨ波を主成分とするモードをメインモードとして使用することができる。なお、圧電基板の単結晶材料、カット角については、例えば、弾性波装置１の要求仕様（通過特性、減衰特性、温度特性及び帯域幅等のフィルタ特性）等に応じて、適宜、決定すればよい。圧電基板は、リチウムニオベイト基板の場合、例えば、１２８°Ｙ－Ｘのリチウムニオベイト基板である。
【0018】
（２．２）ＩＤＴ電極
ＩＤＴ電極３は、導電性を有する。ＩＤＴ電極３の材料は、例えば、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、マグネシウム、鉄又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金等である。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。
ＩＤＴ電極３は、導電性を有する。ＩＤＴ電極３の材料は、例えば、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、マグネシウム、鉄又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金等である。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。
【0019】
ＩＤＴ電極３は、図１に示すように、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。
【0020】
ＩＤＴ電極３では、第１バスバー４と第２バスバー５とは、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０に直交する第１方向Ｄ１において対向し合っている。つまり、第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。
【0021】
第１バスバー４及び第２バスバー５は、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２を長手方向とする長尺状である。第２方向Ｄ２は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０にも直交する。
【0022】
複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続されており、第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。より詳細には、複数の第１電極指６は、第１バスバー４から第１バスバー４の長手方向に直交する方向に沿って延びている。図１の例では、複数の第１電極指６は、互いの長さが同じである。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と第２バスバー５とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第１電極指６と第２バスバー５との間にギャップ３１が形成されている。上述のメインモードの弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３１の長さＬ３１は、例えば、０．５λ以下である。
【0023】
複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続されており、第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。より詳細には、複数の第２電極指７は、第２バスバー５から第２バスバー５の長手方向に直交する方向に沿って延びている。図１の例では、複数の第２電極指７は、互いの長さが同じである。ＩＤＴ電極３では、複数の第２電極指７と第１バスバー４とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第２電極指７と第１バスバー４との間にギャップ３２が形成されている。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３２の長さＬ３２は、例えば、０．５λ以下である。
【0024】
ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。したがって、第２方向Ｄ２において隣り合う第１電極指６と第２電極指７とは離れている。ＩＤＴ電極３では、第１電極指６と第２電極指７との対数は、一例として１００対である。つまり、ＩＤＴ電極３は、一例として、１００本の第１電極指６と、１００本の第２電極指７と、を有している。ＩＤＴ電極３は、交差領域３０（図６参照）において、弾性波を励振する。交差領域３０は、複数の第１電極指６の先端縁の包絡線３６と複数の第２電極指７の先端縁の包絡線３７との間の領域である。弾性波の伝搬方向は、第２方向Ｄ２に沿った方向である。ＩＤＴ電極３と圧電性基板２の一部とを含む共振子１０の特性は、例えば、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチ、第１方向Ｄ１におけるＩＤＴ電極３の交差領域３０の幅Ｗ３０（以下、交差幅Ｗ３０ともいう）、圧電性基板２の材料等を適宜変えることによって変えることができる。ＩＤＴ電極３の電極指ピッチは、複数の第１電極指６のうち隣り合う２つの第１電極指６の中心線間の距離、又は、複数の第２電極指７のうち隣り合う２つの第２電極指７の中心線間の距離で定義される。
【0025】
以下、第１バスバー、第２バスバー、複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７について、より詳細に説明する。
【0026】
第１バスバー４は、複数の開口部４０（以下、第１開口部４０ともいう）と、内側バスバー部４２（以下、第１内側バスバー部４２ともいう）と、外側バスバー部４１（以下、第１外側バスバー部４１ともいう）と、複数の連結部４３（以下、第１連結部４３ともいう）と、含む。複数の第１開口部４０は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。第１内側バスバー部４２は、第１方向Ｄ１において複数の第１開口部４０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。第１外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において複数の第１開口部４０から見て第１内側バスバー部４２とは反対側に位置している。つまり、第１外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において複数の第１電極指６が存在する側とは反対側に位置している。複数の第１連結部４３は、第１方向Ｄ１において第１内側バスバー部４２と第１外側バスバー部４１とを連結している。複数の第１連結部４３は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。複数の第１連結部４３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１連結部４３の間には、複数の第１開口部４０のうち１つの第１開口部４０が位置している。要するに、第１バスバー４では、第２方向Ｄ２において複数の第１連結部４３と複数の第１開口部４０とが１つずつ交互に並んでいる。図１の例では、複数の第１連結部４３は、複数の第１電極指６に一対一に対応し、対応する第１電極指６と第１方向Ｄ１において並んでいるが、これに限らない。つまり、第１連結部４３の数及び複数の第１連結部４３の位置は、上述の例に限らない。
【0027】
また、複数の第１開口部４０の各々の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における第１内側バスバー部４２の幅Ｗ４２（図６参照）は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における第１連結部４３の長さＬ４３は、例えば、１．０λ以上である。
【0028】
第２バスバー５は、複数の開口部５０（以下、第２開口部５０ともいう）と、内側バスバー部５２（以下、第２内側バスバー部５２ともいう）と、外側バスバー部５１（以下、第２外側バスバー部５１ともいう）と、複数の連結部５３（以下、第２連結部５３ともいう）と、含む。複数の第２開口部５０は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。第２内側バスバー部５２は、第１方向Ｄ１において複数の第２開口部５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７側に位置している。第２外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において複数の第２開口部５０から見て第２内側バスバー部５２とは反対側に位置している。つまり、第２外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において複数の第２電極指７が存在する側とは反対側に位置している。複数の第２連結部５３は、第１方向Ｄ１において第２内側バスバー部５２と第２外側バスバー部５１とを連結している。複数の第２連結部５３は、例えば、第２方向Ｄ２において等間隔で並んでいる。複数の第２連結部５３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第２連結部５３の間には、複数の第２開口部５０のうち１つの第２開口部５０が位置している。要するに、第２バスバー５では、第２方向Ｄ２において複数の第２連結部５３と複数の第２開口部５０とが１つずつ交互に並んでいる。図１の例では、複数の第２連結部５３は、複数の第２電極指７に一対一に対応し、対応する第２電極指７と第１方向Ｄ１において並んでいるが、これに限らない。つまり、第２連結部５３の数及び複数の第２連結部５３の位置は、上述の例に限らない。
【0029】
また、複数の第２開口部５０の各々の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における第２内側バスバー部５２の幅Ｗ５２（図６参照）は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における第２連結部５３の長さＬ５３は、例えば、１．０λ以上である。
【0030】
複数の第１電極指６の各々は、図１に示すように、基端部６６（以下、第１基端部６６ともいう）、中央部６０（以下、第１中央部６０ともいう）、中間部６３（以下、第１中間部６３ともいう）及び先端部６１（以下、第１先端部６１ともいう）を有する。複数の第１電極指６の各々では、第１基端部６６、第１中央部６０、第１中間部６３及び第１先端部６１が、第１方向Ｄ１において、第１バスバー４側から、第１基端部６６、第１中央部６０、第１中間部６３及び第１先端部６１の順に並んでいる。また、複数の第２電極指７の各々は、図１に示すように、基端部７６（以下、第２基端部７６ともいう）、中央部７０（以下、第２中央部７０ともいう）、中間部７３（以下、第２中間部７３ともいう）及び先端部７１（以下、第２先端部７１ともいう）を有する。複数の第２電極指７の各々では、第２基端部７６、第２中央部７０、第２中間部７３及び第２先端部７１が、第１方向Ｄ１において、第２バスバー５側から、第２基端部７６、第２中央部７０、第２中間部７３及び第２先端部７１の順に並んでいる。
【0031】
複数の第１電極指６の各々の第１先端部６１は、太幅部６２（以下、第１太幅部６２ともいう）を含む。図６に示すように、第２方向Ｄ２における第１太幅部６２の幅Ｗ６２は、第２方向Ｄ２における第１中央部６０の幅Ｗ６０よりも広い。図２及び４に示すように、第１中間部６３は、圧電性基板２上に設けられているベース部分６４と、ベース部分６４上に設けられている質量付加部分６５と、を含む。ベース部分６４の材料は、第１基端部６６、第１中央部６０及び第１先端部６１の材料と同じである。複数の第１電極指６の各々では、ベース部分６４、第１中央部６０及び第１太幅部６２が、第１厚さｔ０（図８Ａ参照）を有する。質量付加部分６５の材料は、ベース部分６４の材料と同じ材料でもよいし異なる材料でもよい。図１に示すように、第１電極指６の第１中央部６０は、第１電極指６において、第１中間部６３と、第２方向Ｄ２から見て第２電極指７の第２中間部７３に重なる領域と、の間に位置している部分である。第１電極指６の第１基端部６６は、第１方向Ｄ１において第１中央部６０と第１バスバー４との間の部分である。図６に示すように、第２方向Ｄ２における第１基端部６６の幅Ｗ６６は、第２方向Ｄ２における第１中央部６０の幅Ｗ６０と同じである。複数の第１電極指６の各々では、第１方向Ｄ１において、第１中央部６０の長さＬ６０が、第１太幅部６２の長さＬ６２及び第１中間部６３の長さＬ６３よりも長い。第１方向Ｄ１において第１太幅部６２の長さＬ６３は、１．５λ未満であるのが好ましい。複数の第１電極指６の各々では、図８Ａに示すように、第１中間部６３の第２厚さｔ１が、第１太幅部６２及び第１中央部６０の第１厚さｔ０よりも厚い。
【0032】
また、図１の例では、複数の第１電極指６は、互いの第１中央部６０の幅Ｗ６０が同じである。また、複数の第１電極指６は、互いの第１先端部６１の第１太幅部６２の幅Ｗ６２が同じである。複数の第１電極指６の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中心線を基準として線対称な形状である。第１太幅部６２の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
【0033】
図１の例では、第２方向Ｄ２における複数の第１開口部４０の各々の開口幅は、例えば、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１電極指６の第１中央部６０間の距離と同じである。第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１開口部４０間の距離は、例えば、第１電極指６の第１中央部６０の幅Ｗ６０と同じである。
【0034】
複数の第２電極指７の各々の第２先端部７１は、太幅部７２（以下、第２太幅部７２ともいう）を含む。図６に示すように、第２方向Ｄ２における第２太幅部７２の幅Ｗ７２は、第２方向Ｄ２における第２中央部７０の幅Ｗ７０よりも広い。図３及び５に示すように、第２中間部７３は、ベース部分７４と、ベース部分７４に積層されている質量付加部分７５と、を含む。ベース部分７４の材料は、第２基端部７６、第２中央部７０及び第２先端部７１の材料と同じである。複数の第２電極指７の各々では、ベース部分７４、第２中央部７０及び第２太幅部７２が、第１厚さｔ０（図８Ｂ参照）を有する。質量付加部分７５の材料は、ベース部分７４の材料と同じ材料でもよいし異なる材料でもよい。第２電極指７の第２中央部７０は、第２電極指７において、第２中間部７３と、第２方向Ｄ２から見て第１電極指６の第１中間部６３に重なる領域と、の間に位置している部分である。第２電極指７の第２基端部７６は、第１方向Ｄ１において第２中央部７０と第２バスバー５との間の部分である。図６に示すように、第２方向Ｄ２における第２基端部７６の幅Ｗ７６は、第２方向Ｄ２における第２中央部７０の幅Ｗ７０と同じである。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１において、第２中央部７０の長さＬ７０は、第２太幅部７２の長さＬ７２及び第２中間部７３の長さＬ７３よりも長い。第１方向Ｄ１において第２太幅部７２の長さＬ７３は、１．５λ未満であるのが好ましい。複数の第２電極指７の各々では、図８Ｂに示すように、第２中間部７３の第２厚さｔ１が、第２太幅部７２及び第２中央部７０の第１厚さｔ０よりも厚い。
【0035】
また、図１の例では、複数の第２電極指７は、互いの第２中央部７０の幅Ｗ７０が同じである。また、複数の第２電極指７は、互いの第２先端部７１の第２太幅部７２の幅Ｗ７２が同じである。複数の第２電極指７の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中心線を基準として線対称な形状である。第２太幅部７２の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
【0036】
第２方向Ｄ２における複数の第２開口部５０の各々の開口幅は、例えば、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第２電極指７の第２中央部７０間の距離と同じである。第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第２開口部５０間の距離は、例えば、第２電極指７の第２中央部７０の幅Ｗ７０と同じである。
【0037】
実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３において、ピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑制する構造を有する。この点については、図５を参照して説明する。
【0038】
弾性波装置１においてＩＤＴ電極３と圧電性基板２の一部とを含む共振子１０は、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、図７の左側に示すように、第１方向Ｄ１に並んでいる複数（１３個）の領域Ａ１～Ａ１３を含んでいる。１３個の領域Ａ１～Ａ１３は、圧電性基板２及びＩＤＴ電極３それぞれにおいて互いに異なる部分を含んでいる。図７の右側には、１３個の領域Ａ１～Ａ１１を伝搬する弾性波の速度（音速）を模式的に示してある。
【0039】
弾性波装置１の共振子１０では、上述の１３個の領域Ａ１～Ａ１３は、第１方向Ｄ１におけるＩＤＴ電極３の交差領域３０の中央部を含む中央領域Ａ７を含む。中央領域Ａ７は、複数の第１電極指６の第１中央部６０と複数の第２電極指７の第２中央部７０とを含む。中央領域Ａ７は、複数の第１電極指６の第１中央部６０と複数の第２電極指７の第２中央部７０とが第２方向Ｄ２において重なる領域である。中央領域Ａ７では、電極指幅（第１電極指６の第１中央部６０の幅Ｗ６０又は第２電極指の第２中央部７０の幅Ｗ７０）を上記電極指ピッチの２分の１の値で除した値（デューティ比）は、例えば、０．５である。
【0040】
弾性波装置１の共振子１０では、上述の１３個の領域Ａ１～Ａ１３は、第１方向Ｄ１の両端それぞれに位置する２つの領域Ａ１、Ａ１３を含む。領域Ａ１（以下、第１外側バスバー領域Ａ１ともいう）は、第１バスバー４の第１外側バスバー部４１を含む。領域Ａ１３（以下、第２外側バスバー領域Ａ１３ともいう）は、第２バスバー５の第２外側バスバー部５１を含む。第１外側バスバー領域Ａ１及び第２外側バスバー領域Ａ１３では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅くなる。
【0041】
弾性波装置１の共振子１０では、上述の１３個の領域Ａ１～Ａ１３のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて２番目に位置する２つの領域Ａ２、Ａ１２を含む。領域Ａ２（以下、第１連結領域Ａ２ともいう）は、第１バスバー４の複数の第１連結部４３と複数の第１開口部４０とを含む。領域Ａ１２（以下、第２連結領域Ａ１２ともいう）は、第２バスバー５の複数の第２連結部５３と複数の第２開口部５０とを含む。第１連結領域Ａ２及び第２連結領域Ａ１２では、第１外側バスバー領域Ａ１、第２外側バスバー領域Ａ１３及び中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が速い。
【0042】
弾性波装置１の共振子１０では、上述の１３個の領域Ａ１～Ａ１３のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて３番目に位置する２つの領域Ａ３、Ａ１１を含む。領域Ａ３（以下、第１内側バスバー領域Ａ３ともいう）は、第１バスバー４の第１内側バスバー部４２を含む。領域Ａ１１（以下、第２内側バスバー領域Ａ１１ともいう）は、第２バスバー５の第２内側バスバー部５２を含む。第１内側バスバー領域Ａ３及び第２内側バスバー領域Ａ１１では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅くなる。
【0043】
弾性波装置１では、上述の１３個の領域Ａ１～Ａ１３のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて４番目に位置する２つの領域Ａ４、Ａ１０を含む。領域Ａ４（以下、第１ギャップ領域Ａ４ともいう）は、複数のギャップ３２と、複数の第１電極指６の各々において第２方向Ｄ２で複数のギャップ３２に重なる部分と、を含む。領域Ａ１０（以下、第２ギャップ領域Ａ１０ともいう）は、複数のギャップ３１と、複数の第２電極指７の各々において第２方向Ｄ２で複数のギャップ３１に重なる部分と、を含む。第１ギャップ領域Ａ４及び第２ギャップ領域Ａ１０では、第１内側バスバー領域Ａ３、第２内側バスバー領域Ａ１１及び中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が速い。
【0044】
弾性波装置１の共振子１０では、上述の１３個の領域Ａ１～Ａ１３のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて５番目に位置する領域Ａ５、Ａ９を含む。領域Ａ５（以下、第１エッジ領域Ａ５ともいう）は、複数の第２電極指７の各々の第２太幅部７２と、複数の第１電極指６の各々において第２方向Ｄ２で複数の第２太幅部７２に重なる部分と、を含む。領域Ａ９（以下、第２エッジ領域Ａ９ともいう）は、複数の第１電極指６の第１太幅部６２と、複数の第２電極指７の各々において第２方向Ｄ２で複数の第１太幅部６２に重なる部分と、を含む。第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅くなる。弾性波装置１の共振子１０では、交差領域３０が、第１バスバー４側の第１端と、第２バスバー側の第２端と、を有しており、第１エッジ領域Ａ５は、交差領域３０の第１端に対応し、第２エッジ領域Ａ９は、交差領域３０の第２端に対応する。
【0045】
弾性波装置１では、中央領域Ａ７から見て第１バスバー４側に、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅くなる低音速領域（第１エッジ領域Ａ５及び第１内側バスバー領域Ａ３）が存在し、第２バスバー５側に、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅くなる低音速領域（第２エッジ領域Ａ９及び第２内側バスバー領域Ａ１１）が存在する。また、弾性波装置１の共振子１０では、第１方向Ｄ１において、低音速領域の外側に、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が速い高音速領域（第１連結領域Ａ２及び第２連結領域Ａ１２）が存在している。したがって、弾性波装置１では、ピストンモードを形成することが可能となる。
【0046】
弾性波装置１の共振子１０では、上述の１３個の領域Ａ１～Ａ１３のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて６番目に位置する領域Ａ６、Ａ８を含む。領域Ａ６（以下、第１中間領域Ａ６ともいう）は、複数の第２電極指７の各々の第２中間部７３と、複数の第１電極指６の各々において第２方向Ｄ２で各第２中間部７３に重なる部分と、を含む。領域Ａ８（以下、第２中間領域Ａ８ともいう）は、複数の第１電極指６の第１中間部６３と、複数の第２電極指７の各々において第２方向Ｄ２で各第１中間部６３に重なる部分と、を含む。
【0047】
第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅い。弾性波装置１の共振子１０は、中央領域Ａ７での弾性波の音速をＶ０とし、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８の各々での弾性波の音速をＶ１とし、第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９の各々での弾性波の音速をＶ２とすると、Ｖ０＞Ｖ１＞Ｖ２となる。
【0048】
上述のように、第１中間部６３及び第２中間部７３の各々の第２厚さｔ１は、第１中央部６０及び第２中央部７０の各々の第１厚さｔ０よりも厚い。共振子１０の周波数特性における横モードリップルの発生を抑制する観点で、第１中間部６３及び第２中間部７３の各々の第２厚さｔ１は、第１中央部６０及び第２中央部７０の各々の第１厚さｔ０の２倍未満であることが好ましい。
【0049】
弾性波装置１の共振子１０では、［ＩＤＴ電極３のうち中央領域Ａ７に存在する部分の単位長さ当たりの質量］＜［ＩＤＴ電極３のうち第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９の各々に存在する部分の単位長さ当たりの質量］＜［ＩＤＴ電極３のうち第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８の各々に存在する部分の単位長さ当たりの質量］という条件を満たしている。この条件について、図８Ａ及び８Ｂを参照して説明する。図８Ａでは、第１厚さｔ０［ｍ］及び第１幅ｘ０［ｍ］を有する第１中央部６０の密度をｍ０［ｋｇ／ｍ３］としてある。また、図８Ｂでは、第１厚さｔ０［ｍ］及び第１幅ｘ０［ｍ］を有する第２中央部７０の密度をｍ０［ｋｇ／ｍ３］としてある。また、図８Ａでは、第２厚さｔ１［ｍ］及び第１幅ｘ０［ｍ］を有する第１中間部６３に関して、ベース部分６４の密度をｍ０［ｋｇ／ｍ３］とし、質量付加部分６５の密度をｍ１［ｋｇ／ｍ３］としてある。また、図８Ｂでは、第２厚さｔ１［ｍ］及び第１幅ｘ０［ｍ］を有する第２中間部７３に関して、ベース部分７４の密度をｍ０［ｋｇ／ｍ３］とし、質量付加部分７５の密度をｍ１［ｋｇ／ｍ３］としてある。また、図８Ａでは、第１厚さｔ０［ｍ］及び第２幅ｘ１［ｍ］を有する第１太幅部６２に関して、密度をｍ０［ｋｇ／ｍ３］としてある。また、図８Ｂでは、第１厚さｔ０［ｍ］及び第２幅ｘ１［ｍ］を有する第２太幅部７２に関して、密度をｍ０［ｋｇ／ｍ３］としてある。また、各単位長さは、第１方向Ｄ１（交差幅方向）の長さであり、１としている。図８Ａ及び８Ｂで示したパラメータを使って上記条件を書き直すと、式（１）のようになる。
【数1】
【0050】
式（１）をｍ０・ｘ０・ｔ０で規格化すると、式（２）のようになる。
【数2】
【0051】
弾性波装置１の共振子１０では、式（２）の条件を満たすことにより、Ｖ０＜Ｖ１＜Ｖ２（つまり、Ｖ０＞Ｖ１＞Ｖ２）の条件が成立する。
【0052】
また、各領域Ａ１～Ａ１３それぞれの音速は、圧電性基板２のパラメータ（材料、オイラー角及び厚さ等）、ＩＤＴ電極３のパラメータ（材料、厚さ及び電極指ピッチ等）を用いて、有限要素法によるシミュレーションを行うことにより、求めることができる。
【0053】
（２．３）反射器
各反射器８は、圧電性基板２上に設けられている。より詳細には、各反射器８は、圧電性基板２の第１主面２１上に設けられている。各反射器８は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両側に１つずつ配置されている。
各反射器８は、圧電性基板２上に設けられている。より詳細には、各反射器８は、圧電性基板２の第１主面２１上に設けられている。各反射器８は、第２方向Ｄ２においてＩＤＴ電極３の両側に１つずつ配置されている。
【0054】
各反射器８は、隣り合うＩＤＴ電極３側からの弾性波を反射する。各反射器８は、短絡グレーティングである。各反射器８は、複数の電極指９を有する。各反射器８では、複数の電極指９の第１方向Ｄ１の一端同士が短絡されており、他端同士が短絡されている。図１では、図面を見やすくするために、反射器８の電極指９の数を減らして描いてある。また、電極指９の長さ及び幅も実物とは異なる。各反射器８は、ＩＤＴ電極３は、導電性を有する。ＩＤＴ電極３の材料は、例えば、アルミニウム、銅、白金、金、銀、チタン、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、タンタル、マグネシウム、鉄又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金等である。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。各反射器８の厚さは、例えば、３００ｎｍである。
【0055】
（３）弾性波装置の特性
図９は、実施形態１に係る弾性波装置１の一実施例でのインピーダンスの周波数特性である。図９において、横軸は周波数であり、縦軸は弾性波装置１のインピーダンス〔ｄＢ〕である。ここでのインピーダンス〔ｄＢ〕は、弾性波装置１のインピーダンスをＺとした場合、２０×ｌｏｇ１０｜Ｚ｜で求められる値である。図１０は、比較例に係る弾性波装置のインピーダンスの周波数特性である。上記一実施例の構造パラメータは、下記の表１の通りである。弾性波の波長λは、一例として、４．４８μｍである。上記一実施例では、ｘ１＝１．４１・ｘ０とし、ｔ１＝１．３３・ｔ０とし、ｍ０＜ｍ１＜１．２・ｍ０としてある。また、上記比較例は、上記一実施例において、各質量付加部分６５、７５を有していない点で、上記一実施例と相違する。
図９は、実施形態１に係る弾性波装置１の一実施例でのインピーダンスの周波数特性である。図９において、横軸は周波数であり、縦軸は弾性波装置１のインピーダンス〔ｄＢ〕である。ここでのインピーダンス〔ｄＢ〕は、弾性波装置１のインピーダンスをＺとした場合、２０×ｌｏｇ１０｜Ｚ｜で求められる値である。図１０は、比較例に係る弾性波装置のインピーダンスの周波数特性である。上記一実施例の構造パラメータは、下記の表１の通りである。弾性波の波長λは、一例として、４．４８μｍである。上記一実施例では、ｘ１＝１．４１・ｘ０とし、ｔ１＝１．３３・ｔ０とし、ｍ０＜ｍ１＜１．２・ｍ０としてある。また、上記比較例は、上記一実施例において、各質量付加部分６５、７５を有していない点で、上記一実施例と相違する。
【0056】
【表1】
【0057】
図９及び１０の結果から、実施形態１に係る弾性波装置１では、比較例に係る弾性波装置と比べて、インピーダンス特性において共振点と反共振点との間に発生する不要波のリップル（横モードリップル）を抑制できることが分かる。
【0058】
（４）効果
実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２の一部とを含む共振子１０が、領域Ａ１～Ａ１３を有し、領域Ａ１～Ａ１３が、中央領域Ａ７、第１エッジ領域Ａ５、第２エッジ領域Ａ９、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８を含んでいる。実施形態１に係る弾性波装置１において、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅く第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９よりも弾性波の音速が速い。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、不要波のリップルを、抑制することが可能となる。より詳細には、実施形態１に係る弾性波装置１は、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８を有していない場合と比べて、音速が異なる領域の数が増え、かつ、第２電極指７の先端部７１で不要波のモード分布（横モード起因のモード分布）が抑制され、共振点と反共振点との間で発生する不要波のリップルが抑制される。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、通過帯に発生する不要波のリップルが抑制される。
実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２の一部とを含む共振子１０が、領域Ａ１～Ａ１３を有し、領域Ａ１～Ａ１３が、中央領域Ａ７、第１エッジ領域Ａ５、第２エッジ領域Ａ９、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８を含んでいる。実施形態１に係る弾性波装置１において、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８では、中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅く第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９よりも弾性波の音速が速い。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、不要波のリップルを、抑制することが可能となる。より詳細には、実施形態１に係る弾性波装置１は、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８を有していない場合と比べて、音速が異なる領域の数が増え、かつ、第２電極指７の先端部７１で不要波のモード分布（横モード起因のモード分布）が抑制され、共振点と反共振点との間で発生する不要波のリップルが抑制される。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、通過帯に発生する不要波のリップルが抑制される。
【0059】
また、実施形態１に係る弾性波装置１における第２エッジ領域Ａ９では、複数の第１電極指６の各々の第１先端部６１が、第１太幅部６２を含む。複数の第１電極指６の各々において、第２方向Ｄ２における第１太幅部６２の幅Ｗ６２は、第２方向Ｄ２における中央部６０の幅よりも広い。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１は、第２エッジ領域Ａ９の音速Ｖ２を中央領域Ａ７の音速Ｖ１よりも遅くできる。また、実施形態１に係る弾性波装置１における第１エッジ領域Ａ５では、複数の第２電極指７の各々の第２先端部７１が、第２太幅部７２を含む。複数の第２電極指７の各々において、第２方向Ｄ２における第２太幅部７２の幅Ｗ７２は、第２方向Ｄ２における中央部７０の幅Ｗ７０よりも広い。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１は、第１エッジ領域Ａ５の音速Ｖ２を中央領域Ａ７の音速Ｖ１よりも遅くできる。
【0060】
また、実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３と圧電性基板２の一部とを含む共振子１０が、領域Ａ１～Ａ１３を有し、領域Ａ１～Ａ１３が、中央領域Ａ７、第１エッジ領域Ａ５、第２エッジ領域Ａ９、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８を含んでいる。実施形態１に係る弾性波装置１において、第１中間領域Ａ６は、中央領域Ａ７と第１エッジ領域Ａ５との間に位置している。第２中間領域Ａ８は、中央領域Ａ７と第２エッジ領域Ａ９との間に位置している。複数の第２電極指７の各々は、中央領域Ａ７において第１厚さｔ０及び第１幅ｘ０を有し、第１エッジ領域Ａ５において第１厚さｔ０及び第２幅ｘ１を有し、第１中間領域Ａ６において第２厚さｔ１及び第１幅ｘ０を有する。また、複数の第１電極指６の各々は、中央領域Ａ７において第１厚さｔ０及び第１幅ｘ０を有し、第２エッジ領域Ａ９において第２厚さｔ１及び第１幅ｘ０を有し、第２中間領域Ａ８において第２厚さｔ１及び第１幅ｘ０を有する。第２厚さｔ１が第１厚さｔ０よりも厚く、第２幅ｘ１が第１幅ｘ０よりも広い。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、不要波のリップルを、抑制することが可能となる。より詳細には、実施形態１に係る弾性波装置１は、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８を有していない場合と比べて、音速が異なる領域の数が増え、かつ、第２電極指７の先端部７１で不要波のモード分布（横モード起因のモード分布）が抑制され、共振点と反共振点との間で発生する不要波のリップルが抑制される。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、通過帯に発生する不要波のリップルが抑制される。ここにおいて、実施形態１に係る弾性波装置１では、第１中間領域Ａ６及び第２中間領域Ａ８では中央領域Ａ７よりも弾性波の音速が遅く第１エッジ領域Ａ５及び第２エッジ領域Ａ９よりも弾性波の音速が速い。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１は、不要波のリップルを、より抑制することができる。
【0061】
（実施形態２）
実施形態２に係る弾性波装置１Ａについて、図１１を参照して説明する。実施形態２に係る弾性波装置１Ａに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
実施形態２に係る弾性波装置１Ａについて、図１１を参照して説明する。実施形態２に係る弾性波装置１Ａに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
【0062】
（１）構成
実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、実施形態１に係る弾性波装置１における各第２電極指７の太幅部７２及び質量付加部分７５を設ける代わりに、第１質量付加膜１１を備えている。第１質量付加膜１１は、圧電性基板２の第１主面２１の一部と複数の第２電極指７の各々の先端部７１と複数の第２電極指７のベース部分７４とを覆っている。第１質量付加膜１１は、誘電体膜である。第１質量付加膜１１の材料は、例えば、酸化ケイ素を含む。
実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、実施形態１に係る弾性波装置１における各第２電極指７の太幅部７２及び質量付加部分７５を設ける代わりに、第１質量付加膜１１を備えている。第１質量付加膜１１は、圧電性基板２の第１主面２１の一部と複数の第２電極指７の各々の先端部７１と複数の第２電極指７のベース部分７４とを覆っている。第１質量付加膜１１は、誘電体膜である。第１質量付加膜１１の材料は、例えば、酸化ケイ素を含む。
【0063】
実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、実施形態１に係る弾性波装置１における各第１電極指６の太幅部６２及び質量付加部分６５を設ける代わりに、第２質量付加膜１２を備えている。第２質量付加膜１２は、圧電性基板２の第１主面２１の一部と複数の第１電極指６の各々の先端部６１と複数の第１電極指６のベース部分６４とを覆っている。第２質量付加膜１２は、誘電体膜である。第２質量付加膜１２の材料は、例えば、酸化ケイ素を含む。
【0064】
また、弾性波装置１Ａでは、第１エッジ領域Ａ５は、複数の第２電極指７の各々の先端部７１に重なる第１質量付加膜１１の少なくとも一部を含む。第２エッジ領域Ａ９は、複数の第１電極指６の各々の先端部６１に重なる第２質量付加膜１２の少なくとも一部を含む。
【0065】
（２）効果
実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、第１エッジ領域Ａ５が第１質量付加膜１１の少なくとも一部を含むことにより、第１エッジ領域Ａ５の音速Ｖ２を中央領域Ａ７の音速Ｖ１よりも遅くできる。また、実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、第２エッジ領域Ａ９が第２質量付加膜１２の少なくとも一部を含むことにより、第２エッジ領域Ａ９の音速Ｖ２を中央領域Ａ７の音速Ｖ１よりも遅くできる。これにより、実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、不要波のリップルを抑制することが可能となる。
実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、第１エッジ領域Ａ５が第１質量付加膜１１の少なくとも一部を含むことにより、第１エッジ領域Ａ５の音速Ｖ２を中央領域Ａ７の音速Ｖ１よりも遅くできる。また、実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、第２エッジ領域Ａ９が第２質量付加膜１２の少なくとも一部を含むことにより、第２エッジ領域Ａ９の音速Ｖ２を中央領域Ａ７の音速Ｖ１よりも遅くできる。これにより、実施形態２に係る弾性波装置１Ａは、不要波のリップルを抑制することが可能となる。
【0066】
（実施形態３）
実施形態３に係る弾性波装置１Ｂについて、図１２を参照して説明する。実施形態３に係る弾性波装置１Ｂに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
実施形態３に係る弾性波装置１Ｂについて、図１２を参照して説明する。実施形態３に係る弾性波装置１Ｂに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
【0067】
（１）構成
弾性波装置１Ｂでは、圧電性基板２が、圧電層２０と、圧電層２０に接合されている支持基板２４と、を含む。支持基板２４は、誘電体膜２３を介して圧電層２０に接合されているが、これに限らず、誘電体膜２３を介さずに圧電層２０に直接接合されていてもよい。圧電層２０は、圧電性を有する。圧電層２０の材料は、実施形態１で説明した圧電基板の材料と同じである。誘電体膜２３の材料は、例えば、酸化ケイ素であるが、これに限らず、窒化ケイ素であってもよい。また、誘電体膜２３の材料は、酸化ケイ素にフッ素又は炭素又はホウ素を加えた化合物であってもよい。支持基板２４は、圧電層２０を支持している。
弾性波装置１Ｂでは、圧電性基板２が、圧電層２０と、圧電層２０に接合されている支持基板２４と、を含む。支持基板２４は、誘電体膜２３を介して圧電層２０に接合されているが、これに限らず、誘電体膜２３を介さずに圧電層２０に直接接合されていてもよい。圧電層２０は、圧電性を有する。圧電層２０の材料は、実施形態１で説明した圧電基板の材料と同じである。誘電体膜２３の材料は、例えば、酸化ケイ素であるが、これに限らず、窒化ケイ素であってもよい。また、誘電体膜２３の材料は、酸化ケイ素にフッ素又は炭素又はホウ素を加えた化合物であってもよい。支持基板２４は、圧電層２０を支持している。
【0068】
支持基板２４の線膨張係数は、圧電層２０の線膨張係数よりも小さい。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、支持基板２４の外縁は、矩形状である。圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、支持基板２４の大きさは、圧電層２０の大きさと同じである。支持基板２４は、シリコン基板である。シリコン基板の厚さは、例えば、１０λ以上１８０μｍ以下が好適である。シリコン基板の抵抗率は、例えば１ｋΩｃｍ以上であり、２ｋΩｃｍ以上であるのが好ましく、４ｋΩｃｍ以上であるのが更に好ましい。支持基板２４の厚さは、例えば、１２０μｍである。支持基板２４は、シリコン基板に限らず、例えば、窒化シリコン基板、サファイア基板又はスピネル基板であってもよい。
【0069】
また、実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、圧電性基板２上でＩＤＴ電極３と各反射器８とを覆っている第１保護膜１３と、第１保護膜１３を覆っている第２保護膜１４と、を更に備える。第１保護膜１３の材料は、例えば、酸化ケイ素である。第２保護膜１４の材料は、例えば、窒化ケイ素である。なお、弾性波装置１Ｂは、第２保護膜１４を備えていない構成であってもよい。また、弾性波装置１Ｂでは、第１保護膜１３及び第２保護膜１４それぞれの表面形状は、平坦状であるが、これに限らず、ＩＤＴ電極３の形状に対応した凹凸が形成されていてもよい。
【0070】
実施形態３に係る弾性波装置１ＢのＩＤＴ電極３の形状は、実施形態１に係る弾性波装置１のＩＤＴ電極３（図１参照）の形状と同じである。したがって、実施形態３に係る弾性波装置１Ｂの共振子１０は、弾性波装置１の共振子１０と同様、Ｖ０＞Ｖ１＞Ｖ２となる。
【0071】
（２）効果
実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、実施形態１に係る弾性波装置１と同様、不要波のリップルを抑制することが可能となる。また、実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、圧電性基板２が圧電層２０と圧電層２０に接合されている支持基板２４とを含むので、良好なメインモードの特性が得られ、横モードに起因したリップルのレベルが相対的に小さくなる。これにより、実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、共振点と反共振点との間に発生する不要波のリップルを抑制することが可能となる。
実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、実施形態１に係る弾性波装置１と同様、不要波のリップルを抑制することが可能となる。また、実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、圧電性基板２が圧電層２０と圧電層２０に接合されている支持基板２４とを含むので、良好なメインモードの特性が得られ、横モードに起因したリップルのレベルが相対的に小さくなる。これにより、実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、共振点と反共振点との間に発生する不要波のリップルを抑制することが可能となる。
【0072】
また、実施形態３に係る弾性波装置１Ｂは、圧電層２０に接合されている支持基板２４を備えることにより、温度特性が改善され、横モードリップルの温度依存性が改善される。
【0073】
また、弾性波装置１Ｂでは、圧電層２０が支持基板２４に支持されているので、弾性波装置１において圧電性基板２を構成している圧電基板と比べて圧電層２０の厚さを薄くしてもよい。弾性波装置１Ｂでは、圧電層２０の厚さを３．５λ以下とすることにより、Ｑ値を向上させることが可能となる。この場合、支持基板２４では、圧電層２０を伝搬する弾性波の音速よりも、圧電層２０を伝搬するバルク波の音速が高速である。ここにおいて、支持基板２４を伝搬するバルク波は、支持基板２４を伝搬する複数のバルク波のうち最も低音速なバルク波である。また、弾性波装置１Ｂでは、誘電体膜２３が、低音速膜を兼ねることができる。低音速膜は、圧電層２０を伝搬するバルク波の音速よりも、低音速膜を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。低音速膜の厚さは、２．０λ以下であることが望ましい。弾性波装置１Ｂでは、低音速膜の厚さを２．０λ以下とすることにより、膜応力を低減することができ、その結果、弾性波装置１Ｂの製造時に支持基板２４の元になるウェハの反りを低減することが可能となり、良品率の向上及び特性の安定化が可能となる。
【0074】
上記の実施形態１～３等は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態等は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【0075】
例えば、弾性波装置１、１Ｂにおいて、複数の第１電極指６のうち少なくとも１つの第１電極指６が、太幅部６２及び中間部６３を有していればよく、複数の第１電極指６の全部が太幅部６２及び中間部６３を有することは必須ではない。また、弾性波装置１、１Ｂにおいて、複数の第２電極指７のうち少なくとも１つの第２電極指７が、太幅部７２及び中間部７３を有していればよく、複数の第２電極指７の全部が太幅部７２及び中間部７３を有することは必須ではない。
【0076】
また、弾性波装置１、１Ｂでは、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、質量付加部分６５、７５の形状が矩形状に限らず、円形状であってもよい。この場合、質量付加部分６５、７５の各々は、円柱状である。また、圧電性基板２の厚さ方向Ｄ０からの平面視で、質量付加部分６５、７５の直径は、例えば、中央部６０、７０の幅Ｗ６０、Ｗ７０以下である。
【0077】
また、弾性波装置１、１Ｂでは、第１電極指６の先端部６１に含まれる太幅部６２は、第１電極指６の長手方向において第１電極指６の先端部６１の少なくとも一部に形成されていればよい。第２電極指７の先端部７１に含まれる太幅部７２は、第２電極指７の長手方向において第２電極指７の先端部７１の少なくとも一部に形成されていればよい。
【0078】
また、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂでは、ＩＤＴ電極３は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが第２方向Ｄ２において離隔して並んでいる構成であればよく、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが交互に互いに離隔して並んでいない構成であってもよい。例えば、ＩＤＴ電極３は、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。
【0079】
また、ＩＤＴ電極３は、正規型のＩＤＴ電極であるが、これに限らず、例えば、傾斜ＩＤＴ電極であってもよい。したがって、第２方向Ｄ２は、第１方向Ｄ１に交差する方向であればよい。
【0080】
また、内側バスバー部４２は、開口部４０とギャップ３２とを連通させるスリットを有していてもよい。つまり、内側バスバー部４２は、第２方向Ｄ２において不連続であってもよい。また、内側バスバー部５２は、開口部５０とギャップ３１とを連通させるスリットを有していてもよい。つまり、内側バスバー部５２は、第２方向Ｄ２において不連続であってもよい。
【0081】
また、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂにおいて、反射器８は、短絡グレーティングに限らず、例えば、開放グレーティング、正負反射型グレーティング等であってもよい。また、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂにおいて、反射器８は、必須の構成要素ではない。
【0082】
また、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂにおける共振子１０は、縦結合型共振子であってもよい。
【0083】
また、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂでは、ＩＤＴ電極３が、圧電性基板２上に直接的に設けられているが、これに限らず、ＩＤＴ電極３が、圧電性基板２上に間接的に設けられていてもよい。例えば、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂでは、ＩＤＴ電極３が圧電性基板２上に誘電体膜を介して設けられていてもよい。
【0084】
また、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂでは、圧電性基板２上に１つのＩＤＴ電極３が設けられているが、ＩＤＴ電極３の数は１つに限らず、複数であってもよい。つまり、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂは、複数のＩＤＴ電極３を備えてもよい。この場合、弾性波装置１、１Ａ、１Ｂでは、例えば、複数のＩＤＴ電極３それぞれを含む複数の共振子１０を有するラダー型フィルタ等であってもよい。
【0085】
また、弾性波装置１、１Ａは、弾性波装置１Ｂと同様、圧電性基板２が、圧電層２０と、圧電層２０に接合されている支持基板２４と、を含んでいてもよい。
【0086】
（態様）
本明細書には、以下の態様が開示されている。
本明細書には、以下の態様が開示されている。
【0087】
第１の態様に係る弾性波装置（１；１Ａ；１Ｂ）は、圧電性基板（２）と、ＩＤＴ電極（３）と、を備える。ＩＤＴ電極（３）は、圧電性基板（２）上に設けられている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続されており、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）に向かって延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続されており、第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）に向かって延びている。ＩＤＴ電極（３）では、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に交差する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数の第１電極指（６）の先端縁の包絡線（３６）と複数の第２電極指（７）の先端縁の包絡線（３７）との間の領域を交差領域（３０）とするとき、ＩＤＴ電極（３）と圧電性基板（２）の一部とを含む共振子（１０）は、圧電性基板（２）の厚さ方向（Ｄ０）からの平面視で、第１方向（Ｄ１）において互いに異なる複数の領域（Ａ１～Ａ１３）を有する。複数の領域（Ａ１～Ａ１３）は、中央領域（Ａ７）と、第１ギャップ領域（Ａ４）と、第２ギャップ領域（Ａ１０）と、第１エッジ領域（Ａ５）と、第２エッジ領域（Ａ９）と、第１中間領域（Ａ６）と、第２中間領域（Ａ８）と、を含む。中央領域（Ａ７）は、第１方向（Ｄ１）におけるＩＤＴ電極（３）の交差領域（３０）の中央部を含み、複数の第１電極指（６）の中央部（６０）と複数の第２電極指（７）の中央部（７０）とを含む。第１ギャップ領域（Ａ４）は、第１バスバー（４）と複数の第２電極指（７）との間のギャップ（３２）を含む。第２ギャップ領域（Ａ１０）は、第２バスバー（５）と複数の第１電極指（６）との間のギャップ（３１）を含む。第１エッジ領域（Ａ５）は、複数の第２電極指（７）の先端部（７１）を含む。第２エッジ領域（Ａ９）は、複数の第１電極指（６）の先端部（６１）を含む。第１中間領域（Ａ６）は、中央領域（Ａ７）と第１エッジ領域（Ａ５）との間に位置している。第２中間領域（Ａ８）は、中央領域（Ａ７）と第２エッジ領域（Ａ９）との間に位置している。第１ギャップ領域（Ａ４）及び第２ギャップ領域（Ａ１０）では、中央領域（Ａ７）よりも弾性波の音速が速い。第１中間領域（Ａ６）及び第２中間領域（Ａ８）では、中央領域（Ａ７）よりも弾性波の音速が遅く第１エッジ領域（Ａ５）及び第２エッジ領域（Ａ９）よりも弾性波の音速が速い。
【0088】
この態様によれば、不要波のリップルを、より抑制することが可能となる。
【0089】
第２の態様に係る弾性波装置（１；１Ａ；１Ｂ）では、第１の態様において、第２エッジ領域（Ａ９）では、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）が、第１太幅部（６２）を含む。第２方向（Ｄ２）における第１太幅部（６２）の幅（Ｗ６２）は、第２方向（Ｄ２）における、上記少なくとも１つの第１電極指（６）の中央部（６０）の幅（Ｗ６０）よりも広い。第１エッジ領域（Ａ５）では、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）が、第２太幅部（７２）を含む。第２方向（Ｄ２）における第２太幅部（７２）の幅（Ｗ７２）は、第２方向（Ｄ２）における、上記少なくとも１つの第２電極指（７）の中央部（７０）の幅（Ｗ７０）よりも広い。
【0090】
この態様によれば、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）が第１太幅部（６２）を含むことにより、第２エッジ領域（Ａ９）の音速（Ｖ２）を中央領域（Ａ７）の音速（Ｖ１）よりも遅くできる。また、この態様によれば、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）が第２太幅部（７２）を含むことにより、第１エッジ領域（Ａ５）の音速（Ｖ２）を中央領域（Ａ７）の音速（Ｖ１）よりも遅くできる。
【0091】
第３の態様に係る弾性波装置（１Ａ）では、第１の態様において、第１エッジ領域（Ａ５）は、複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）の先端部（７１）に重なる第１質量付加膜（１１）の少なくとも一部を含む。第２エッジ領域（Ａ９）は、複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）の先端部（６１）に重なる第２質量付加膜（１２）の少なくとも一部を含む。
【0092】
この態様によれば、第１エッジ領域（Ａ５）が第１質量付加膜（１１）の少なくとも一部を含むことにより、第１エッジ領域（Ａ５）の音速（Ｖ２）を中央領域（Ａ７）の音速（Ｖ１）よりも遅くできる。また、この態様によれば、第２エッジ領域（Ａ９）が第２質量付加膜（１２）の少なくとも一部を含むことにより、第２エッジ領域（Ａ９）の音速（Ｖ２）を中央領域（Ａ７）の音速（Ｖ１）よりも遅くできる。
【0093】
第４の態様に係る弾性波装置（１；１Ｂ）は、圧電性基板（２）と、ＩＤＴ電極（３）と、を備える。ＩＤＴ電極（３）は、圧電性基板（２）上に設けられている。ＩＤＴ電極（３）は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続されており、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）に向かって延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続されており、第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）に向かって延びている。ＩＤＴ電極（３）では、複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に交差する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部(４０、５０)から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数の第１電極指（６）の先端縁の包絡線（３６）と複数の第２電極指（７）の先端縁の包絡線（３７）との間の領域を交差領域（３０）とするとき、ＩＤＴ電極（３）と圧電性基板（２）の一部とを含む共振子（１０）は、圧電性基板（２）の厚さ方向（Ｄ０）からの平面視で、第１方向（Ｄ１）において互いに異なる複数の領域（Ａ１～Ａ１３）を有する。複数の領域（Ａ１～Ａ１３）は、中央領域（Ａ７）と、第１ギャップ領域（Ａ４）と、第２ギャップ領域（Ａ１０）と、第１エッジ領域（Ａ５）と、第２エッジ領域（Ａ９）と、第１中間領域（Ａ６）と、第２中間領域（Ａ８）と、を含む。中央領域（Ａ７）は、第１方向（Ｄ１）におけるＩＤＴ電極（３）の交差領域（３０）の中央部を含み、複数の第１電極指（６）の中央部（６０）と複数の第２電極指（７）の中央部（７０）とを含む。第１ギャップ領域（Ａ４）は、第１バスバー（４）と複数の第２電極指（７）との間のギャップ（３１）を含む。第２ギャップ領域（Ａ１０）は、第２バスバー（５）と複数の第１電極指（６）との間のギャップ（３２）を含む。第１エッジ領域（Ａ５）は、複数の第２電極指（７）の先端部（７１）を含む。第２エッジ領域（Ａ９）は、複数の第１電極指（６）の先端部（６１）を含む。第１中間領域（Ａ６）は、中央領域（Ａ７）と第１エッジ領域（Ａ５）との間に位置している。第２中間領域（Ａ８）は、中央領域（Ａ７）と第２エッジ領域（Ａ９）との間に位置している。複数の第２電極指（７）のうち少なくとも１つの第２電極指（７）は、中央領域（Ａ７）において第１厚さ（ｔ０）及び第１幅（ｘ０）を有し、第１エッジ領域（Ａ５）において第１厚さ（ｔ０）及び第２幅（ｘ１）を有し、第１中間領域（Ａ６）において第２厚さ（ｔ１）及び第１幅（ｘ０）を有する。複数の第１電極指（６）のうち少なくとも１つの第１電極指（６）は、中央領域（Ａ７）において第１厚さ（ｔ０）及び第１幅（ｘ０）を有し、第２エッジ領域（Ａ９）において第２厚さ（ｔ１）及び第１幅（ｘ０）を有し、第２中間領域（Ａ８）において第２厚さ（ｔ１）及び第１幅（ｘ０）を有する。第２厚さ（ｔ１）が第１厚さ（ｔ０）よりも厚く、第２幅（ｘ１）が第１幅（ｘ０）よりも広い。
【0094】
この態様によれば、不要波のリップルを、より抑制することが可能となる。
【0095】
第５の態様に係る弾性波装置（１；１Ｂ）は、第４の態様に基づく。第１中間領域（Ａ６）及び第２中間領域（Ａ８）では中央領域（Ａ７）よりも弾性波の音速が遅く第１エッジ領域（Ａ５）及び第２エッジ領域（Ａ９）よりも弾性波の音速が速い。
【0096】
この態様によれば、不要波のリップルを、より抑制することができる。
【0097】
第６の態様に係る弾性波装置（１；１Ａ；１Ｂ）では、第１～５の態様のいずれか一つにおいて、圧電性基板（２）は、圧電層（２０）と、圧電層（２０）に接合されている支持基板（２４）と、を含む。
【0098】
この態様によれば、良好なメインモードの特性が得られ、横モードに起因したリップルのレベルが相対的に小さくなる。
【0099】
第７の態様に係る弾性波装置（１；１Ａ；１Ｂ）では、第１～６の態様のいずれか一つにおいて、第２方向（Ｄ２）は、第１方向（Ｄ１）に直交する方向である。
【符号の説明】
【0100】
１、１Ａ、１Ｂ 弾性波装置
２ 圧電性基板
２１ 第１主面
２２ 第２主面
２３ 誘電体膜
２４ 支持基板
３ ＩＤＴ電極
３０ 交差領域
３１ ギャップ
３２ ギャップ
３６ 包絡線
３７ 包絡線
４ 第１バスバー
４０ 開口部
４１ 外側バスバー部
４２ 内側バスバー部
５ 第２バスバー
５０ 開口部（第２開口部）
５１ 外側バスバー部（第２外側バスバー部）
５２ 内側バスバー部（第２内側バスバー部）
６ 第１電極指
６０ 中央部（第１中央部）
６１ 先端部（第１先端部）
６２ 太幅部（第１太幅部）
６３ 中間部（第１中間部）
６４ ベース部分
６５ 質量付加部分
６６ 基端部（第１基端部）
７ 第２電極指
７０ 中央部（第２中央部）
７１ 先端部（第２先端部）
７２ 太幅部（第２太幅部）
７３ 中間部（第２中間部）
７４ ベース部分
７５ 質量付加部分
７６ 基端部（第２基端部）
８ 反射器
９ 電極指
１０ 共振子
１１ 第１質量付加膜
１２ 第２質量付加膜
１３ 第１保護膜
１４ 第２保護膜
Ｄ０ 厚さ方向
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向
Ａ１ 領域（第１外側バスバー領域）
Ａ２ 領域（第１連結領域）
Ａ３ 領域（第１内側バスバー領域）
Ａ４ 領域（第１ギャップ領域）
Ａ５ 領域（第１エッジ領域）
Ａ６ 領域（第１中間領域）
Ａ７ 領域（中央領域）
Ａ８ 領域（第２中間領域）
Ａ９ 領域（第２エッジ領域）
Ａ１０ 領域（第２ギャップ領域）
Ａ１１ 領域（第２内側バスバー領域）
Ａ１２ 領域（第２連結領域）
Ａ１３ 領域（第２外側バスバー領域）
Ｌ３２ 長さ
Ｌ４３ 長さ
Ｌ５３ 長さ
Ｌ６０ 長さ
Ｌ６２ 長さ
Ｌ６３ 長さ
Ｌ７０ 長さ
Ｌ７２ 長さ
Ｌ７３ 長さ
ｍ０ 密度
ｍ１ 密度
ｔ０ 第１厚さ
ｔ１ 第２厚さ
Ｖ０ 音速
Ｖ１ 音速
Ｖ２ 音速
Ｗ３０ 交差幅
Ｗ４１ 幅
Ｗ４２ 幅
Ｗ５１ 幅
Ｗ５２ 幅
Ｗ６０ 幅
Ｗ６２ 幅
Ｗ６６ 幅
Ｗ７０ 幅
Ｗ７２ 幅
Ｗ７６ 幅
ｘ０ 第１幅
ｘ１ 第２幅
２ 圧電性基板
２１ 第１主面
２２ 第２主面
２３ 誘電体膜
２４ 支持基板
３ ＩＤＴ電極
３０ 交差領域
３１ ギャップ
３２ ギャップ
３６ 包絡線
３７ 包絡線
４ 第１バスバー
４０ 開口部
４１ 外側バスバー部
４２ 内側バスバー部
５ 第２バスバー
５０ 開口部（第２開口部）
５１ 外側バスバー部（第２外側バスバー部）
５２ 内側バスバー部（第２内側バスバー部）
６ 第１電極指
６０ 中央部（第１中央部）
６１ 先端部（第１先端部）
６２ 太幅部（第１太幅部）
６３ 中間部（第１中間部）
６４ ベース部分
６５ 質量付加部分
６６ 基端部（第１基端部）
７ 第２電極指
７０ 中央部（第２中央部）
７１ 先端部（第２先端部）
７２ 太幅部（第２太幅部）
７３ 中間部（第２中間部）
７４ ベース部分
７５ 質量付加部分
７６ 基端部（第２基端部）
８ 反射器
９ 電極指
１０ 共振子
１１ 第１質量付加膜
１２ 第２質量付加膜
１３ 第１保護膜
１４ 第２保護膜
Ｄ０ 厚さ方向
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向
Ａ１ 領域（第１外側バスバー領域）
Ａ２ 領域（第１連結領域）
Ａ３ 領域（第１内側バスバー領域）
Ａ４ 領域（第１ギャップ領域）
Ａ５ 領域（第１エッジ領域）
Ａ６ 領域（第１中間領域）
Ａ７ 領域（中央領域）
Ａ８ 領域（第２中間領域）
Ａ９ 領域（第２エッジ領域）
Ａ１０ 領域（第２ギャップ領域）
Ａ１１ 領域（第２内側バスバー領域）
Ａ１２ 領域（第２連結領域）
Ａ１３ 領域（第２外側バスバー領域）
Ｌ３２ 長さ
Ｌ４３ 長さ
Ｌ５３ 長さ
Ｌ６０ 長さ
Ｌ６２ 長さ
Ｌ６３ 長さ
Ｌ７０ 長さ
Ｌ７２ 長さ
Ｌ７３ 長さ
ｍ０ 密度
ｍ１ 密度
ｔ０ 第１厚さ
ｔ１ 第２厚さ
Ｖ０ 音速
Ｖ１ 音速
Ｖ２ 音速
Ｗ３０ 交差幅
Ｗ４１ 幅
Ｗ４２ 幅
Ｗ５１ 幅
Ｗ５２ 幅
Ｗ６０ 幅
Ｗ６２ 幅
Ｗ６６ 幅
Ｗ７０ 幅
Ｗ７２ 幅
Ｗ７６ 幅
ｘ０ 第１幅
ｘ１ 第２幅
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】