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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024096505
(43)【公開日】2024-07-12
(54)【発明の名称】アクチュエータ
(51)【国際特許分類】
F16H 25/20 20060101AFI20240705BHJP
F16H 25/22 20060101ALI20240705BHJP
【ＦＩ】
F16H25/20 F
F16H25/22
【審査請求】有
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024081978
(22)【出願日】2024-05-20
(62)【分割の表示】P 2020195907の分割
【原出願日】2020-11-26
(31)【優先権主張番号】P 2019227695
(32)【優先日】2019-12-17
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】391008515
【氏名又は名称】株式会社アイエイアイ
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100132883
【弁理士】
【氏名又は名称】森川 泰司
(74)【代理人】
【識別番号】100147924
【弁理士】
【氏名又は名称】美恵 英樹
(74)【代理人】
【識別番号】100165489
【弁理士】
【氏名又は名称】榊原 靖
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 幹人
(57)【要約】
【課題】メンテナンスの作業効率を向上させることができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、ボールネジと、移動体と、移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材５１を有し、移動体が、第１の一方側中間サポート部材５１に当接して、移動体と共に移動する第１中間サポートユニットとを備える。第１の一方側中間サポート部材５１は、移動方向に貫通すると共に、ボールネジ軸２１が挿通される第１貫通孔５１－１ａと、第１貫通孔５１－１ａから外部まで切り欠かれている第１切欠き部５１－１ｂと、が形成されている第１本体部５１－１を有する。第１の一方側中間サポート部材５１は、第１切欠き部５１－１ｂにボールネジ軸２１を通過させることによりボールネジ軸２１から脱着可能に構成されている。
【選択図】図１０Ｂ
【解決手段】アクチュエータ１は、ボールネジと、移動体と、移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材５１を有し、移動体が、第１の一方側中間サポート部材５１に当接して、移動体と共に移動する第１中間サポートユニットとを備える。第１の一方側中間サポート部材５１は、移動方向に貫通すると共に、ボールネジ軸２１が挿通される第１貫通孔５１－１ａと、第１貫通孔５１－１ａから外部まで切り欠かれている第１切欠き部５１－１ｂと、が形成されている第１本体部５１－１を有する。第１の一方側中間サポート部材５１は、第１切欠き部５１－１ｂにボールネジ軸２１を通過させることによりボールネジ軸２１から脱着可能に構成されている。
【選択図】図１０Ｂ
【特許請求の範囲】
【請求項1】
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材に当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第１貫通孔と、前記第１貫通孔から外部まで切り欠かれている第１切欠き部と、が形成されている第１本体部を有し、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記第１切欠き部に前記ボールネジ軸を通過させることにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されている、アクチュエータ。
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材に当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第１貫通孔と、前記第１貫通孔から外部まで切り欠かれている第１切欠き部と、が形成されている第１本体部を有し、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記第１切欠き部に前記ボールネジ軸を通過させることにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されている、アクチュエータ。
【請求項2】
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記第１貫通孔に配置されると共に、前記ボールネジ軸の外周上を摺動する円筒部材を有する、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通し、前記円筒部材が嵌め込まれる円筒部材用孔が形成され、前記第１貫通孔に嵌め込まれ、前記第１本体部に前記円筒部材を固定するための固定部材を有し、
前記円筒部材は、樹脂より形成され、前記固定部材は、金属より形成されている、請求項２に記載のアクチュエータ。
前記円筒部材は、樹脂より形成され、前記固定部材は、金属より形成されている、請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記移動方向に沿って設けられている溝が形成されていると共に、前記移動体を移動可能に支持にするベースを有するアクチュエータハウジングを備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を転動する転動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記転動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を転動する転動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記転動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記移動体を移動可能に支持にすると共に、前記移動方向に沿って設けられている溝が形成されたベースを有するアクチュエータハウジングを備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を摺動する摺動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記摺動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を摺動する摺動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記摺動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記第１中間サポートユニットは、前記移動体に対して前記移動方向における他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第２貫通孔と、前記第２貫通孔から外部まで切り欠かれている第２切欠き部と、が形成されている第２本体部を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記第２切欠き部を前記ボールネジ軸が通過することにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されている、請求項１から５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第２貫通孔と、前記第２貫通孔から外部まで切り欠かれている第２切欠き部と、が形成されている第２本体部を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記第２切欠き部を前記ボールネジ軸が通過することにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されている、請求項１から５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、アウタレール上をスライド移動する移動体（インナブロック）と、ねじ軸の撓みを抑制するために設けられている一対の支持部材とを備えるリニアアクチュエータが開示されている。支持部材は、移動体と同様に、アウタレールにスライド移動可能に支持されていると共に、棒状の連結部材によって互いが連結されている。特許文献１に記載のリニアアクチュエータにおいては、移動体が、一対の支持部材のうちの一つと当接すると、支持部材は、移動体と共に一体的にスライド移動するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００５－２４９１２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、ねじ軸の撓みを抑制するために設けられている一対の支持部材などのメンテナンス作業をする場合、作業者は、先ず、フロントのハウジングやリアのハウジング、その他の部品をねじ軸から外す。その後、支持部材をねじ軸から引き抜き、メンテナンス作業を行う必要がある。このため、アクチュエータのメンテナンスの作業効率が低いという課題があった。
【0005】
本発明は、上述の事情の下になされたもので、メンテナンスの作業効率を向上させることができるアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述の目的を達成するために、本発明に係るアクチュエータは、
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材に当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第１貫通孔と、前記第１貫通孔から外部まで切り欠かれている第１切欠き部と、が形成されている第１本体部を有し、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記第１切欠き部に前記ボールネジ軸を通過させることにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されている、アクチュエータ。
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材に当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第１貫通孔と、前記第１貫通孔から外部まで切り欠かれている第１切欠き部と、が形成されている第１本体部を有し、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記第１切欠き部に前記ボールネジ軸を通過させることにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されている、アクチュエータ。
【0007】
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記第１貫通孔に配置されると共に、前記ボールネジ軸の外周上を摺動する円筒部材を有していてもよい。
【0008】
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通し、前記円筒部材が嵌め込まれる円筒部材用孔が形成され、前記第１貫通孔に嵌め込まれ、前記第１本体部に前記円筒部材を固定するための固定部材を有し、
前記円筒部材は、樹脂より形成され、前記固定部材は、金属より形成されていてもよい。
前記円筒部材は、樹脂より形成され、前記固定部材は、金属より形成されていてもよい。
【0009】
前記移動方向に沿って設けられている溝が形成されていると共に、前記移動体を移動可能に支持にするベースを有するアクチュエータハウジングを備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を転動する転動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記転動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられていてもよい。
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を転動する転動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記転動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられていてもよい。
【0010】
前記移動体を移動可能に支持にすると共に、前記移動方向に沿って設けられている溝が形成されたベースを有するアクチュエータハウジングを備え、
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を摺動する摺動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記摺動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられていてもよい。
前記第１の一方側中間サポート部材は、前記溝を摺動する摺動部材を有することで、前記移動体と共に移動可能に前記ベースに支持され、
前記摺動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられていてもよい。
【0011】
前記第１中間サポートユニットは、前記移動体に対して前記移動方向における他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第２貫通孔と、前記第２貫通孔から外部まで切り欠かれている第２切欠き部と、が形成されている第２本体部を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記第２切欠き部を前記ボールネジ軸が通過することにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されていてもよい。
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記移動方向に貫通すると共に、前記ボールネジ軸が挿通される第２貫通孔と、前記第２貫通孔から外部まで切り欠かれている第２切欠き部と、が形成されている第２本体部を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材は、前記第２切欠き部を前記ボールネジ軸が通過することにより前記ボールネジ軸から脱着可能に構成されていてもよい。
【発明の効果】
【0012】
本発明に係るアクチュエータにおいては、第１の一方側中間サポート部材の本体部に、貫通孔から外部まで切り欠かれている切欠き部が形成されている。このため、ボールネジ軸を切欠き部に通過させることにより、本体部をボールネジ軸から外すことができる。これにより、アクチュエータのメンテナンスの作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本発明の実施の形態１に係るアクチュエータの斜視図（その１）である。
【図2】実施の形態１に係るアクチュエータの斜視図（その２）である。
【図3】実施の形態１に係るアクチュエータの正面図である。
【図5】実施の形態１に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図7】実施の形態１に係るアクチュエータを簡略して示した平面図である。
【図8】アクチュエータハウジング、移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図である。
【図9】移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その１）である。
【図10A】（Ａ）は、第１の一方側中間サポート部材の分解斜視図である。（Ｂ）は、第１の一方側中間サポート部材の作用を説明するための図である。
【図10B】（Ａ）は、第１の一方側中間サポート部材の本体部の正面図である。（Ｂ）は、第２の一方側中間サポート部材の本体部の正面図である。
【図11】移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その２）である。
【図12】（Ａ）は、第１の他方側中間サポート部材の本体部の正面図である。（Ｂ）は、第２の他方側中間サポート部材の本体部の正面図である。
【図13】第１干渉防止部材及び第２干渉防止部材の正面図である。
【図14】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための図（その１）である。
【図15】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための図（その２）である。
【図16】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための図（その３）である。
【図17】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための図（その４）である。
【図18】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための図（その５）である。
【図19】実施の形態１に係るアクチュエータの動作を説明するための図（その６）である。
【図20】（Ａ）は、第１の一方側中間サポート部材の本体部のローラ及びアジャストプレートを説明するための図（その１）である。（Ｂ）は、第１の一方側中間サポート部材の本体部のローラ及びアジャストプレートを説明するための図（その２）である。
【図21】実施の形態１に係るアクチュエータのメンテナンス作業の方法を説明するための図（その１）である。
【図22】従来のアクチュエータのメンテナンス作業の方法を説明するための図である。
【図23】（Ａ）は、実施の形態１に係るアクチュエータのメンテナンス作業の方法を説明するための図（その２）である。（Ｂ）は、実施の形態１に係るアクチュエータのメンテナンス作業の方法を説明するための図（その３）である。
【図24】（Ａ）は、実施の形態１に係るアクチュエータのメンテナンス作業の方法を説明するための図（その４）である。（Ｂ）は、実施の形態１に係るアクチュエータのメンテナンス作業の方法を説明するための図（その５）である。
【図25】実施の形態２に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図26】実施の形態２に係る第１干渉防止部材の正面図である。
【図27】実施の形態３に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図28】実施の形態３に係る移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図である。
【図29】実施の形態４に係る移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図である。
【図30】（Ａ）は、実施の形態５に係る第１干渉防止部材及び第２干渉防止部材の正面図である。（Ｂ）は、実施の形態５に係る第１干渉防止部材の斜視図である。
【図31】（Ａ）は、実施の形態６に係る第１干渉防止部材及び第２干渉防止部材の正面図である。（Ｂ）は、実施の形態６に係る第１干渉防止部材の斜視図である。
【図32】（Ａ）は、実施の形態７に係る第１干渉防止部材及び第２干渉防止部材の正面図である。（Ｂ）は、実施の形態７に係る第１干渉防止部材の斜視図である。
【図33】（Ａ）は、実施の形態８に係る第１干渉防止部材及び第２干渉防止部材の正面図である。（Ｂ）は、実施の形態８に係る第１干渉防止部材の斜視図である。
【図34】実施の形態９に係る移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その１）である。
【図35】実施の形態９に係る移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その２）である。
【図36】実施の形態１０に係る移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その１）である。
【図37】実施の形態１０に係る移動体、第１中間サポートユニット、及び第２中間サポートユニットの分解斜視図（その２）である。
【図38】実施の形態１１に係るアクチュエータの分解斜視図（その１）である。
【図39】実施の形態１１に係るアクチュエータの分解斜視図（その２）である。
【図40】実施の形態１１に係るアクチュエータのユニットの分解斜視図である。
【図41】実施の形態１１に係るアクチュエータの干渉防止部材ユニット及びユニット用ベースの分解斜視図である。
【図42】実施の形態１１に係るアクチュエータのユニットの正面図である。
【図43】実施の形態１２に係るアクチュエータの分解斜視図（その１）である。
【図44】実施の形態１２に係るアクチュエータの分解斜視図（その２）である。
【図45】実施の形態１２に係るアクチュエータのユニットの分解斜視図である。
【図46】実施の形態１２に係るアクチュエータの干渉防止部材ユニット及びユニット用ベースの分解斜視図である。
【図47】実施の形態１２に係るアクチュエータのユニットの正面図である。
【図48】（Ａ）は、実施の形態に係る衝撃緩和部材の平面図である。（Ｂ）は、変形例１に係る衝撃緩和部材の平面図である。（Ｃ）は、変形例２に係る衝撃緩和部材の平面図である。（Ｄ）は、変形例３に係る衝撃緩和部材の平面図である。（Ｅ）は、変形例４に係る衝撃緩和部材の平面図である。（Ｆ）は、変形例５に係る衝撃緩和部材の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１について説明する。なお、図中のＹ軸方向は、図１及び図２に示すように、スライドテーブルＴが進退する移動方向Ｄ１に平行な方向であり、Ｘ軸方向及びＺ軸方向は、移動方向Ｄ１に直交する方向である。また、図中のＸＹ平面は、アクチュエータ１が設置される面に平行な水平面である。
以下、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１について説明する。なお、図中のＹ軸方向は、図１及び図２に示すように、スライドテーブルＴが進退する移動方向Ｄ１に平行な方向であり、Ｘ軸方向及びＺ軸方向は、移動方向Ｄ１に直交する方向である。また、図中のＸＹ平面は、アクチュエータ１が設置される面に平行な水平面である。
【0015】
アクチュエータ１は、スライドテーブルＴが移動するスライダタイプのアクチュエータであり、スライドテーブルＴの移動距離（Ｙ軸方向の長さ）が比較的長いアクチュエータである。アクチュエータ１は、図３及び図４に示すように、スライドテーブルＴに加え、モータ１０と、ボールネジ２０と、アクチュエータハウジング３０と、移動体４０と、第１中間サポートユニット５０と、第２中間サポートユニット６０とを備える。
【0016】
モータ１０は、出力軸１０ａ（回転軸）と、モータ本体１１と、モータカバー１２と、制御基板１３とを有する。モータ１０は、アクチュエータハウジング３０から着脱可能な一つのユニットとして構成されている。
【0017】
モータ本体１１は、例えば、サーボモータであり、ロータ、ステータ、エンコーダ１４等を有している。モータ本体１１には、電源から図示しないアクチェータケーブルを経由して電力が供給される。アクチェータケーブルは、モータ本体１１に外部からの電力供給や制御信号の入出力等を行う。モータ本体１１に電力が供給されることによって、モータ本体１１のロータが回転する。このロータの回転運動は、出力軸１０ａに出力される。これにより、出力軸１０ａは回転する。出力軸１０ａには、カップリング１０ｂが取り付けられている。なお、本実施の形態１では、モータ本体１１は、サーボモータであるが、これに限られず、ステッピングモータであってもよい。また、本実施の形態１においては、モータ本体１１のロータの回転運動は、出力軸１０ａに出力されるが、これに限られない。モータ本体１１のロータの回転運動は、減速器によって所定の減速比で減速されてから、出力軸１０ａに出力されてもよい。
【0018】
モータカバー１２は、図２に示すように、モータ本体１１等を覆う略直方体形状のケースである。モータカバー１２は、出力軸１０ａが突出した状態で、モータ本体１１等を収容する。モータカバー１２は、例えば、アルミニウム等の金属を押し出し加工することにより形成されている。モータカバー１２をアルミニウム等の金属を押し出し加工することにより、Ｙ軸方向の長さを調節して形成しやすくなるため、他のアクチュエータと共用することが容易になる。また、エンドカバー１２ｃは、樹脂成形により形成されている。
【0019】
制御基板１３は、図４に示すように、モータカバー１２に収納されている。制御基板１３は、例えば、配線基板であり、図示しないティーチングペンダント等によって設定されたモータ１０の出力軸１０ａの回転を制御するための電子部品等が実装されている。また、制御基板１３は、図示しないティーチングペンダントによって設定されたモータ１０の出力軸１０ａの回転を制御するためのデータを記憶する記憶部を有する。また、本実施の形態１においては、制御基板１３がモータカバー１２に収納されているが、これに限られない。制御基板１３をモータ１０とは別体の制御装置に配置し、制御装置とモータとをケーブルで接続する形態でもよい。
【0020】
ボールネジ２０は、ボールネジ軸２１と、ボールネジナット２２と、カップリング２３とを有する。
【0021】
ボールネジ軸２１は、ボールネジナット２２との螺合に基づいて、回転するボールネジナット２２を直線運動させる。ボールネジ軸２１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールネジ軸本体と、ボールネジ軸本体の先端部（－Ｙ側の端部）及び後端部（＋Ｙ側の端部）に形成され、ボールネジ軸本体の径よりも小径となるように形成された小径部２１ａ、２１ｂとから構成される。
【0022】
ボールネジナット２２は、ボールネジ軸２１のボールネジ軸本体の外周に配置されている。ボールネジナット２２は、ボールネジ軸２１に複数のボールネジ用転動体を介して嵌め込まれる。このボールネジ用転動体が転動することにより、ボールネジ軸２１の回転運動が、ボールネジナット２２の直線運動に円滑に変換される。また、ボールネジナット２２は、移動体４０に対して＋Ｙ側から取り付けられて、ボルト等により固定されている。
【0023】
カップリング２３は、小径部２１ｂに取り付けられている。このカップリング２３は、モータ１０の出力軸１０ａに取り付けられているカップリング１０ｂに接続され、回転するカップリング１０ｂと共に回転する。このカップリング２３が、カップリング１０ｂと共に回転するように接続されることにより、小径部２１ｂに出力軸１０ａの回転運動が伝達され、この結果、ボールネジ軸２１は、出力軸１０ａと共に回転する。
【0024】
アクチュエータハウジング３０は、図５に示すように、ボールネジ２０と移動体４０の一部とを収容すると共に、モータカバー１２が固定されている。アクチュエータハウジング３０は、ベース３１と、メインカバー３２と、フロントブラケット３３と、リアブラケット３４とを有する。
【0025】
ベース３１は、底部分３１ａと一対の側壁部分３１Ｒ、３１Ｌと有することで、アクチュエータ１の内部の各構成部品を保護する。ベース３１は、剛性を有する複数のリニアガイド用転動体を介して、移動体４０を＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向にスライド移動可能に支持する。ベース３１は、例えば、アルミニウム等の金属を押出成形することによって形成されている。ベース３１の一対の側壁部分の互いに対向する内面には、Ｙ軸方向に延びる一対の線状の凹部が形成されている。この凹部のそれぞれには、転動体用ガイドレール３１ｂが嵌め込まれている。転動体用ガイドレール３１ｂは、例えば、ベース３１の素材であるアルミニウムよりも硬い金属から形成されている。転動体用ガイドレール３１ｂには、Ｙ軸方向に延びる一対の線状の溝３１ｃが形成されている。この転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをリニアガイド用転動体が転動することにより、移動体４０は、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。
【0026】
ベース３１の側壁部分３１Ｒ、３１Ｌには、図５、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、Ｚ軸方向に貫通する複数の孔３１ｄが形成されている。この孔３１ｄは、従来のアクチュエータにおいて、ベース３１の底部分３１ａに形成されていた孔の形成位置を変更したものである。孔３１ｄを、側壁部分３１Ｒ、３１Ｌに形成することにより、メインカバー３２を取り外さなくても、孔３１ｄにボルト、ねじなどの留め具を挿入することが可能になり、アクチュエータ１の固定対象に取り付ける作業の効率性を向上させている。
【0027】
メインカバー３２は、図５に示すように、アクチュエータハウジング３０の天井壁部分を構成し、アクチュエータ１の回転機構部分を覆うスクリューカバーである。メインカバー３２は、ねじやボルト等の留め具により、ベース３１との間に所定の隙間３６（図１、図２参照）を有しつつ、フロントブラケット３３及びリアブラケット３４に固定されている。メインカバー３２は、ベース３１と共に、アクチュエータ１の内部の各構成部品を保護する。
【0028】
フロントブラケット３３は、ベース３１の先端側（－Ｙ側）に固定されることで、アクチュエータハウジング３０の－Ｙ側の先端部分を構成する。フロントブラケット３３は、例えば、アルミダイガストである本体部と、本体部に被せられると共に樹脂成形により形成されている加飾カバーと、本体部の内部に形成されているベアリング収容空間に配置されるベアリングとを有する。当該ベアリングは、例えば、ボールベアリングである。このベアリングによって、フロントブラケット３３は、ボールネジ軸２１の小径部２１ａを回転可能に支持する。また、フロントブラケット３３には、弾性の素材より形成される衝撃緩和部材３７が設けられている。衝撃緩和部材３７は、後述する衝撃緩和部材９１～９４と同じ形状、サイズに形成されていると共に、同じ弾性素材より形成されている。
【0029】
リアブラケット３４は、ベース３１の基端側（＋Ｙ側）に固定されている。リアブラケット３４は、例えば、アルミダイガストである本体部と、本体部に被せられると共に樹脂成形により形成されている連結部分カバー３５と、ベアリング３４ａとを有する。本体部の内部には、図４に示すように、ボールネジ軸２１を挿入するための貫通孔３４ｂがＹ軸方向に貫通して形成されている。貫通孔３４ｂの孔内には、ベアリング３４ａが配置されている。ベアリング３４ａは、例えば、ボールベアリングである。このベアリング３４ａによって、リアブラケット３４は、ボールネジ軸２１の小径部２１ｂを回転可能に支持する。また、リアブラケット３４には、図５に示すように、弾性の素材より形成される衝撃緩和部材３８が設けられている。この衝撃緩和部材３８は、後述する衝撃緩和部材９１～９４と同じ形状、サイズに形成されていると共に、同じ弾性素材より形成されている。
【0030】
連結部分カバー３５は、リアブラケット３４とモータ１０との連結部分を覆うことで、当該連結部分を保護する。
【0031】
移動体４０は、図４に示すように、ボールネジナット２２と共に、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向の双方向にスライド移動する部材である。移動体４０には、Ｙ軸方向に貫通する貫通孔４０ａが形成されている。この貫通孔４０ａには、ボールネジ軸２１が挿通されると共に、ボールネジナット２２が＋Ｙ側から挿入されて固定されている。移動体４０は、一対のテーブル取付け部４１を有する。
【0032】
テーブル取付け部４１は、図１及び図２に示すように、アクチュエータハウジング３０のベース３１とメインカバー３２との間の一対の隙間３６それぞれから外部に突出して形成されている。このテーブル取付け部４１は、例えば、移動体４０と共に移動するスライドテーブルＴを取り付け可能な部品である。具体的には、テーブル取付け部４１には、ネジ穴が形成されている。このネジ穴に、ねじやボルト等の留め具が捻じ込まれることで、テーブル取付け部４１は、スライドテーブルＴが取り付けることが可能に構成されている。なお、テーブル取付け部４１に取り付けられる対象は、スライドテーブルＴに限られない。テーブル取付け部４１に取り付けられる対象は、アクチュエータ１の用途に応じて、スライドテーブルＴ以外のものに変更されてもよい。
【0033】
第１中間サポートユニット５０は、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、ボールネジ軸２１の撓みを抑制するために設けられており、特に、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１のように、ボールネジ軸２１のＹ軸方向の長さが長い場合には必要性の高い部材である。第１中間サポートユニット５０は、第１の一方側中間サポート部材５１と、第１の他方側中間サポート部材５２と、連結部材５３（第１連結部材）と、連結部材５４（第３連結部材）とを有する。なお、図７に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１と第１の他方側中間サポート部材５２との支点間距離Ｌ３は、ボールネジ軸２１のボールネジ軸本体の支点間距離Ｌ１のおよそ１／３であることが望ましい（Ｌ３≒１／３×Ｌ１）。ただし、これに限られず、アクチュエータ１の用途や設置環境に応じて、支点間距離Ｌ３を適宜変更してもよい。
【0034】
第１の一方側中間サポート部材５１は、図８に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における先端側（－Ｙ側）に配置されている。第１の一方側中間サポート部材５１は、図９、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、本体部５１－１（第１本体部）と、スライドブッシュ５１－２（円筒部材）と、スライドブッシュサポート５１－３（固定部材）と、ローラ５１－４ａ（転動部材）と、ローラ５１－４ｂ、５１－４ｃと、アジャストプレート５１－５を有する。
【0035】
本体部５１－１は、例えば、金属より形成されている。本体部５１－１は、Ｙ軸方向に貫通すると共に、ボールネジ軸２１が挿通される貫通孔５１－１ａと、貫通孔５１－１ａから本体部５１－１の外部まで切り欠かれている切欠き部５１－１ｂと、が形成されている。この切欠き部５１－１ｂは、ボールネジ軸２１を通過させることによりボールネジ軸２１から第１の一方側中間サポート部材５１を脱着可能にするために形成されている。
【0036】
スライドブッシュ５１－２は、貫通孔５１－１ａの孔内に配置されている。スライドブッシュ５１－２は、－Ｙ側の端部にフランジが形成されている円筒部材である。スライドブッシュ５１－２は、潤滑性のある素材より形成され、ボールネジ軸２１の外周上を摺動するすべり軸受として機能する。
【0037】
スライドブッシュサポート５１－３は、本体部５１－１にスライドブッシュ５１－２を固定するための部材である。スライドブッシュサポート５１－３は、－Ｙ側の端部にフランジが形成されている円筒部材である。スライドブッシュサポート５１－３は、金属より形成されている。スライドブッシュサポート５１－３は、本体部５１－１の貫通孔５１－１ａに嵌め込まれている。また、スライドブッシュサポート５１－３には、Ｙ軸方向に貫通する孔５１－３ａ（円筒部材用孔）が形成されている。この孔５１－３ａには、スライドブッシュ５１－２が嵌め込まれている。スライドブッシュサポート５１－３は、ボルト、ねじなどの留め具により、スライドブッシュ５１－２と共に、本体部５１－１に固定される。
【0038】
ローラ５１－４ａは、アジャストプレート５１－５を介して、Ｚ軸を中心軸として回転可能に本体部５１－１に取り付けられている。ローラ５１－４ｂ及びローラ５１－４ｃは、Ｚ軸を中心軸として回転可能に本体部５１－１に直接取り付けられている。ローラ５１－４ａ、５１－４ｂ、５１－４ｃは、ベース３１の転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃを転動する。これにより、第１中間サポートユニット５０は、移動体４０と共に移動可能にベース３１に支持される。
【0039】
アジャストプレート５１－５は、ローラ５１－４ａを、溝３１ｃに嵌る第１位置から溝３１ｃから外れる第２位置に変更するための部材である。アジャストプレート５１－５は、直方形の板形状に形成されている。アジャストプレート５１－５の中央付近には、ローラ５１－４ａがＺ軸方向に回転可能に取り付けられている。アジャストプレート５１－５の両端部には、２つのネジ孔が形成されている。この２つのネジ孔に、ボルト、ねじなどの２本の留め具が捻じ込まれることにより、アジャストプレート５１－５は、ローラ５１－４ａと共に、本体部５１－１に取り付けられる。ローラ５１－４ａを第１位置から第２位置に変更する場合には、ユーザは、２本の留め具のうち、一方の留め具を取り外してから、他方の留め具を回転軸として、Ｚ軸を中心軸として回動させることにより、ローラ５１－４ａを溝３１ｃから外れる第２位置に移動させる。
【0040】
第１の他方側中間サポート部材５２は、図１１及び図１２に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における基端側（＋Ｙ側）に配置されている。第１の他方側中間サポート部材５２は、第１の一方側中間サポート部材５１と同一又は同等の構成を有し、具体的には、本体部５２－１（第２本体部）と、スライドブッシュ５２－２（円筒部材）と、スライドブッシュサポート５２－３（固定部材）と、ローラ５２－４ａ（転動部材）、とローラ５２－４ｂ、５２－４ｃと、アジャストプレート５２－５を有する。また、スライドブッシュサポート５２－３には、Ｙ軸方向に貫通し、スライドブッシュ５２－２が嵌り込む円筒部材用孔が形成されている。
【0041】
本体部５２－１は、Ｙ軸方向に貫通すると共に、ボールネジ軸２１が挿通される貫通孔５２－１ａと、貫通孔５２－１ａから本体部５２－１の外部まで切り欠かれている切欠き部５２－１ｂと、が形成されている。この切欠き部５２－１ｂは、ボールネジ軸２１を通過させることによりボールネジ軸２１から第１の他方側中間サポート部材５２を脱着可能にするために形成されている。
【0042】
連結部材５３（第１連結部材）及び連結部材５４（第３連結部材）は、第１の一方側中間サポート部材５１と第１の他方側中間サポート部材５２とを連結する。これにより、移動体４０が、第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２のいずれかに当接した場合、第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２は一体的に移動する。連結部材５３及び連結部材５４は、例えば、金属製のパイプから構成されている。また、連結部材５３と連結部材５４とは、Ｘ軸方向に並列に設けられていると共に、Ｙ軸方向に互いに平行に設けられている。
【0043】
第２中間サポートユニット６０は、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、第１中間サポートユニット５０と共に、ボールネジ軸２１の撓みを更に抑制するために設けられており、特に、ボールネジ軸２１のＹ軸方向の長さが長い場合には必須の部材である。第２中間サポートユニット６０は、第２の一方側中間サポート部材６１と、第２の他方側中間サポート部材６２と、連結部材６３（第２連結部材）と、連結部材６４（第４連結部材）とを有する。なお、図７に示すように、第２の一方側中間サポート部材６１と第２の他方側中間サポート部材６２との支点間距離Ｌ２は、ボールネジ軸２１のボールネジ軸本体の支点間距離Ｌ１のおよそ２／３、且つ、支点間距離Ｌ３のおよそ２倍であることが望ましい（Ｌ２≒２／３×Ｌ１≒２×Ｌ３）。ただし、これに限られず、アクチュエータ１の用途や設置環境に応じて、支点間距離Ｌ２を適宜変更してもよい。
【0044】
第２の一方側中間サポート部材６１は、図８に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における先端側（－Ｙ側）に配置されている。第２の一方側中間サポート部材６１は、図９及び図１０Ｂに示すように、第１の一方側中間サポート部材５１と同一又は同等の構成を有し、具体的には、本体部６１－１と、スライドブッシュ６１－２（円筒部材）と、スライドブッシュサポート６１－３（固定部材）と、ローラ６１－４ａ（転動部材）と、ローラ６１－４ｂ、６１－４ｃと、アジャストプレート６１－５を有する。また、スライドブッシュサポート６１－３には、スライドブッシュ６１－２が嵌り込む円筒部材用孔が形成されている。
【0045】
本体部６１－１は、Ｙ軸方向に貫通すると共に、ボールネジ軸２１が挿通される貫通孔６１－１ａと、貫通孔６１－１ａから本体部６１－１の外部まで切り欠かれている切欠き部６１－１ｂと、が形成されている。この切欠き部６１－１ｂは、ボールネジ軸２１を通過させることによりボールネジ軸２１から第２の一方側中間サポート部材６１を脱着可能にするために形成されている。
【0046】
第２の他方側中間サポート部材６２は、図１１及び図１２に示すように、移動体４０に対して移動方向Ｄ１における基端側（＋Ｙ側）に配置されている。第１の一方側中間サポート部材５１と同一又は同等の構成を有し、具体的には、本体部６２－１と、スライドブッシュ６２－２（円筒部材）と、スライドブッシュサポート６２－３（固定部材）と、ローラ６２－４ａ（転動部材）と、ローラ６２－４ｂ、６２－４ｃと、アジャストプレート６２－５を有する。また、スライドブッシュサポート６２－３には、Ｙ軸方向に貫通し、スライドブッシュ６２－２が嵌り込む円筒部材用孔が形成されている。
【0047】
本体部６２－１は、Ｙ軸方向に貫通すると共に、ボールネジ軸２１が挿通される貫通孔６２－１ａと、貫通孔６２－１ａから本体部６２－１の外部まで切り欠かれている切欠き部６２－１ｂと、が形成されている。この切欠き部６２－１ｂは、ボールネジ軸２１を通過させることによりボールネジ軸２１から第２の他方側中間サポート部材６２を脱着可能にするために形成されている。
【0048】
連結部材６３（第２連結部材）及び連結部材６４（第４連結部材）は、第２の一方側中間サポート部材６１と第２の他方側中間サポート部材６２とを連結する。これにより、第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２が、第２の一方側中間サポート部材６１及び第２の他方側中間サポート部材６２のいずれかに当接した場合、第２の一方側中間サポート部材６１及び第２の他方側中間サポート部材６２は一体的に移動する。連結部材６３及び連結部材６４は、例えば、金属製のパイプから構成されている。また、連結部材６３と連結部材６４とは、連結部材５３と連結部材５４と共に、Ｘ軸方向に並列に設けられていると共に、Ｙ軸方向に互いに平行に設けられている。
【0049】
アクチュエータ１は、図３及び図４に示すように、上述したスライドテーブルＴ、モータ１０、ボールネジ２０、アクチュエータハウジング３０、移動体４０、第１中間サポートユニット５０、及び第２中間サポートユニット６０に加えて、更に、図９及び図１１に示すように、第１干渉防止部材７０と、第２干渉防止部材８０と、複数の衝撃緩和部材９１～９４とを備える。
【0050】
第１干渉防止部材７０は、移動体４０に設けられ、連結部材５３と少なくとも移動体４０との干渉を防止するためのものである。第１干渉防止部材７０は、潤滑性のある素材より形成され、ねじ等の留め具により、移動体４０の＋Ｚ側の上面４０ｂ（ＸＹ平面に平行な面）に固定されている。この第１干渉防止部材７０は、図１３に示すように、第１部分７１と、第２部分７２と、第３部分７３とを有する。
【0051】
第１部分７１は、連結部材５３から視て移動体４０が設けられている－Ｚ側（連結部材５３の下側）に形成されている略板状の部分である。第１部分７１は、主に、連結部材５３と移動体４０との干渉を防止するために形成されている。なお、本実施の形態１においては、第１部分７１の＋Ｘ側及び－Ｘ側の両端は、移動体４０の上面４０ｂから離れる方向にはねる形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、第１部分７１は、移動体４０の上面４０ｂに平行な板状部分のみから構成されていてもよい。
【0052】
第２部分７２は、連結部材５３から視て移動体４０が設けられている－Ｚ側とは反対の＋Ｚ側（連結部材５３の上側）に形成されている板状の部分である。第２部分７２は、ＸＹ平面に平行な板状に形成されている。第２部分７２は、主に、連結部材５３と、アクチュエータ１の構成部品、例えば、メインカバー３２との干渉を防止するために形成されている。
【0053】
第３部分７３は、連結部材５３と連結部材６３との間に形成されている板状の部分である。第３部分７３は、第１部分７１から＋Ｚ軸方向に延設されている。そして、第３部分７３の延設された先端には、第２部分７２が設けられている。第３部分７３は、ＹＺ平面に平行な板状に形成されている。第３部分７３は、主に、連結部材５３と連結部材６３との干渉を防止するために形成されている。
【0054】
第２干渉防止部材８０は、図９及び図１１に示すように、移動体４０に設けられ、連結部材５４と少なくとも移動体４０との干渉を防止するためのものである。第２干渉防止部材８０は、潤滑性のある素材より形成され、ねじ等の留め具により、移動体４０の＋Ｚ側の上面４０ｂ（ＸＹ平面に平行な面）に固定されている。この第２干渉防止部材８０は、第１干渉防止部材７０と同一又は同等の構成を有し、具体的には、図１３に示すように、第１部分８１と、第２部分８２と、第３部分８３とを有する。
【0055】
第１部分８１は、連結部材５４から視て移動体４０が設けられている－Ｚ側（連結部材５４の下側）に形成されている板状の部分である。第１部分８１は、主に、連結部材５４と移動体４０との干渉を防止するために形成されている。
【0056】
第２部分８２は、連結部材５４から視て移動体４０が設けられている－Ｚ側とは反対の＋Ｚ側（連結部材５４の上側）に形成されている板状の部分である。第２部分８２は、ＸＹ平面に平行な板状に形成されている。第２部分８２は、主に、連結部材５３と、アクチュエータ１の構成部品、例えば、メインカバー３２との干渉を防止するために形成されている。
【0057】
第３部分８３は、連結部材５４と連結部材６４との間に形成されている板状の部分である。第３部分８３は、第１部分８１から＋Ｚ軸方向に延設されている。そして、第３部分８３の延設された先端には、第２部分８２が設けられている。第３部分８３は、ＹＺ平面に平行な板状に形成されている。第３部分８３は、主に、連結部材５４と連結部材６４との干渉を防止するために形成されている。
【0058】
本実施の形態において、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、同じものを用いている。
【0059】
衝撃緩和部材９１は、図９に示すように、移動体４０が－Ｙ方向に移動して、第１の一方側中間サポート部材５１に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９１は、第１の一方側中間サポート部材５１の本体部５１－１に形成されている被嵌め込み部５１－６に嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９１ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９１ｂにより、プレート９１ａが本体部５１－１に固定されることで、衝撃緩和部材９１は第１の一方側中間サポート部材５１に固定される。衝撃緩和部材９１は、弾性の素材より形成されている。衝撃緩和部材９１は、その突出方向（＋Ｙ方向）における先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９１－１と、被嵌め込み部５１－６に嵌め込まれる直方体状の基部９１－２とを有する。先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９１－１により、移動体４０との接触開始時の弾性変形は小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなる。このため、衝撃緩和部材９１は、移動体４０との当接に基づく衝撃を効果的に緩和することができる。また、移動体４０の上面４０ｂには、衝撃緩和部材９１が当接する部分である被当接部分４２が設けられている。被当接部分４２は、例えば、アルミニウムなどの金属に切削加工を施すことにより形成され、ボルト、ねじなどの留め具により、移動体４０の上面４０ｂに固定されている。
【0060】
衝撃緩和部材９２は、図１１に示すように、移動体４０が＋Ｙ方向に移動して、第１の他方側中間サポート部材５２に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９２は、第１の他方側中間サポート部材５２の本体部５２－１に形成されている被嵌め込み部５２－６に嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９２ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９２ｂにより、プレート９２ａが本体部５２－１に固定されることで、衝撃緩和部材９２は第１の他方側中間サポート部材５２に固定される。衝撃緩和部材９２は、弾性の素材より形成されている。衝撃緩和部材９２は、その突出方向（－Ｙ方向）における先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９２－１と、被嵌め込み部５２－６に嵌め込まれる直方体状の基部９２－２とを有する。先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９２－１により、移動体４０との接触開始時の弾性変形は小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなる。このため、衝撃緩和部材９２は、移動体４０との当接に基づく衝撃を効果的に緩和することができる。また、移動体４０の上面４０ｂには、衝撃緩和部材９２が当接する部分である被当接部分４３が設けられている。被当接部分４３は、例えば、アルミニウムなどの金属に切削加工を施すことにより形成され、ボルト、ねじなどの留め具により、移動体４０の上面４０ｂに固定されている。
【0061】
衝撃緩和部材９３は、図９に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１が－Ｙ方向に移動して、第２の一方側中間サポート部材６１に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９３は、第２の一方側中間サポート部材６１の本体部６１－１に形成されている被嵌め込み部６１－６に嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９３ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９３ｂにより、プレート９３ａが本体部６１－１に固定されることで、衝撃緩和部材９３は第２の一方側中間サポート部材６１に固定される。衝撃緩和部材９３は、弾性の素材より形成されている。衝撃緩和部材９３は、その突出方向（＋Ｙ方向）における先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９３－１と、被嵌め込み部６１－６に嵌め込まれる直方体状の基部９３－２とを有する。先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９３－１により、第１の一方側中間サポート部材５１との接触開始時の弾性変形は小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなる。このため、衝撃緩和部材９３は、第１の一方側中間サポート部材５１との当接に基づく衝撃を効果的に緩和することができる。なお、衝撃緩和部材９３の衝撃緩和部材本体９３－１は、衝撃緩和部材９１の基部９１－２の後端部（－Ｙ側の端部）に当接する。
【0062】
衝撃緩和部材９４は、図１１に示すように、第１の他方側中間サポート部材５２が＋Ｙ方向に移動して、第２の他方側中間サポート部材６２に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材９４は、第２の他方側中間サポート部材６２の本体部６２－１に形成されている被嵌め込み部６２－６に嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート９４ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具９４ｂにより、プレート９４ａが本体部６２－１に固定されることで、衝撃緩和部材９４は第２の他方側中間サポート部材６２に固定される。衝撃緩和部材９４は、弾性の素材より形成されている。衝撃緩和部材９４は、その突出方向（－Ｙ方向）における先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９４－１と、被嵌め込み部６２－６に嵌め込まれる直方体状の基部９４－２とを有する。先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９４－１により、移動体４０との接触開始時の弾性変形は小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなる。このため、衝撃緩和部材９４は、第１の他方側中間サポート部材５２との当接に基づく衝撃を効果的に緩和することができる。なお、衝撃緩和部材９４の衝撃緩和部材本体９４－１は、衝撃緩和部材９２の基部９２－２の後端部（＋Ｙ側の端部）に当接する。
【0063】
本実施の形態において、衝撃緩和部材９１～９４、３７、３８は、全て同じものを用いている。
【0064】
上述のように構成されたアクチュエータ１の動作について、図１４～図１９を参照しつつ説明する。先ず、モータ１０のモータ本体１１に電源が供給されることによって、図１４の矢印Ａ１に示すように、出力軸１０ａが回転する。出力軸１０ａが回転（正転）すると、カップリング１０ｂ、２３が互いに接続されているため、出力軸１０ａに接続されているボールネジ軸２１が、図１４の矢印Ａ２に示すように、出力軸１０ａと共に回転する。
【0065】
ボールネジ軸２１が回転すると、ボールネジナット２２及び移動体４０が、図１５の矢印Ａ３に示すように、移動方向Ｄ１に直線運動する。このとき、移動体４０は、ベース３１に複数のリニアガイド用転動体を介して支持されているため、リニアガイド用転動体の転動によって円滑に移動する。
【0066】
移動体４０が、矢印Ａ３に示すように直線運動していくと、やがて、図１６に示すように、移動体４０は、第１の一方側中間サポート部材５１に当接する。このとき、第１の一方側中間サポート部材５１に固定されている衝撃緩和部材９１が、移動体４０に固定されている被当接部分４２に当接することにより、衝撃緩和部材９１は、移動体４０と第１の一方側中間サポート部材５１との当接に起因する衝撃を緩和する。移動体４０が、第１の一方側中間サポート部材５１に当接すると、移動体４０は、第１の一方側中間サポート部材５１と共に、矢印Ａ３に示すように直線運動する。このとき、第１の他方側中間サポート部材５２は、連結部材５３、５４によって、第１の一方側中間サポート部材５１に連結されているため、第１の他方側中間サポート部材５２も共に、矢印Ａ３に示すように直線運動する。また、第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２は、ベース３１にローラ５１－４ａ～５１－４ｃ、５２－４ａ～５２－４ｃを介して支持されているため、（図９及び図１１参照）、ローラ５１－４ａ～５１－４ｃ、５２－４ａ～５２－４ｃの回転によって円滑に移動する。
【0067】
更に、移動体４０が、矢印Ａ３に示すように直線運動していくと、やがて、図１７に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１は、第２の一方側中間サポート部材６１に当接する。このとき、第２の一方側中間サポート部材６１に固定されている衝撃緩和部材９３が、第１の一方側中間サポート部材５１に固定されている衝撃緩和部材９１に当接することにより、衝撃緩和部材９３は、第１の一方側中間サポート部材５１と第２の一方側中間サポート部材６１との当接に起因する衝撃を緩和する。第１の一方側中間サポート部材５１が、第２の一方側中間サポート部材６１に当接すると、移動体４０は、第１の一方側中間サポート部材５１及び第２の一方側中間サポート部材６１と共に、矢印Ａ３に示すように直線運動する。このとき、第２の他方側中間サポート部材６２は、連結部材６３、６４によって、第２の一方側中間サポート部材６１に連結されているため、第２の他方側中間サポート部材６２も共に、矢印Ａ３に示すように直線運動する。また、第２の一方側中間サポート部材６１及び第２の他方側中間サポート部材６２は、ベース３１にローラ６１－４ａ～６１－４ｃ、６２－４ａ～６２－４ｃを介して支持されているため、（図９及び図１１参照）、ローラ６１－４ａ～６１－４ｃ、６２－４ａ～６２－４ｃの回転によって円滑に移動する。
【0068】
更に、移動体４０が、矢印Ａ３に示すように直線運動していくと、やがて、図１８に示すように、第２の一方側中間サポート部材６１は、フロントブラケット３３に当接する。このとき、フロントブラケット３３に固定されている衝撃緩和部材３７が、第２の一方側中間サポート部材６１に固定されている衝撃緩和部材９３に当接することにより、衝撃緩和部材３７は、第２の一方側中間サポート部材６１とフロントブラケット３３との当接に起因する衝撃を緩和する。第２の一方側中間サポート部材６１が、フロントブラケット３３に当接すると、移動体４０は、移動を停止する。
【0069】
続いて、ボールネジ軸２１が回転（逆転）すると、ボールネジナット２２及び移動体４０が、図１９の矢印Ａ４に示すように、直線運動する。移動体４０は、第１の他方側中間サポート部材５２に当接する。更に、移動体４０が直線運動していくと、第１の他方側中間サポート部材５２は、第２の他方側中間サポート部材６２に当接する。更に、移動体４０が直線運動していくと、第２の他方側中間サポート部材６２は、リアブラケット３４に当接し、移動体４０は、移動を停止する。それぞれの当接時には、衝撃緩和部材９２、９４、３８が、当該当接に起因する衝撃を緩和する。
【0070】
次に、アクチュエータのメンテナンスの作業方法の一部について、図１０Ａ（Ｂ）、図２０及び図２１を参照しつつ説明する。先ず、図１０Ａ（Ｂ）に示すように、メンテナンスを行う作業者は、アジャストプレート５１－５を本体部５１－１に固定している２本の留め具のうち、一方の留め具を取り外す。続いて、作業者は、図２０の矢印Ａ４に示すように、他方の留め具を回転軸として、アジャストプレート５１－５をＺ軸回りに回動させる。これにより、ローラ５１－４ａは、溝３１ｃに嵌る第１位置から、溝３１ｃから外れる第２位置に移動する。続いて、作業者は、図２１に示すように、本体部５１－１を、スライドブッシュ５１－２、スライドブッシュサポート５１－３及びボールネジ軸２１を切欠き部５１－１ｂに通過させることにより、ボールネジ軸２１から脱着する。この後、必要に応じて、アクチュエータの各構成部品の取り換えを行ったり、清掃を行ったりする。なお、以上の作業工程は一例であり、アクチュエータの設置環境等に応じて、工程の順番を入れ替えてもよい。
【0071】
以上、説明したように、本実施の形態１に係るアクチュエータ１は、図１３に示すように、連結部材５３、５４、６３、６４と少なくとも移動体４０との干渉を防止するための第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０を備える。そして、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、連結部材５３、５４、６３、６４から視て移動体４０が設けられている－Ｚ側に形成されている第１部分７１、８１を有する。これにより、連結部材５３、５４、６３、６４との干渉に起因して、移動体４０の移動が阻害されることないため、移動体４０を円滑に移動することができる。また、アクチュエータ１は、第１中間サポートユニット５０及び第２中間サポートユニット６０を備えるため、移動体４０の規定最高速度の低下を抑制しつつ、移動体４０を円滑に移動することができる。
【0072】
また、本実施の形態１においては、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、連結部材５３、５４、６３、６４から視て移動体４０が設けられている－Ｚ側とは反対の＋Ｚ側に形成されている第２部分７２、８２を有する。これにより、連結部材５３、５４、６３、６４と、アクチュエータ１の構成部品、例えば、メインカバー３２との干渉を防止することができる。第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０に設けられているため、連結部材５３、５４、６３、６４とメインカバー３２との干渉を防止することにより、移動体４０の移動が阻害されることがなくなる。その結果、移動体４０の規格上（設計上）の最高速度の低下を抑制しつつ、移動体４０を円滑に移動することができる。また、連結部材５３、５４、６３、６４とメインカバー３２との間隔を狭くすることができるため、アクチュエータ１の高さ（Ｚ軸方向の長さ）を小さくすることができる。ひいては、アクチュエータ１の小型化を実現することができる。
【0073】
また、本実施の形態１においては、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、連結部材５３、６３と連結部材５４、６４との間に、第３部分７３、８３が形成されている。これにより、連結部材５３と連結部材６３との干渉、及び、連結部材５４と連結部材６４との干渉を防止することができる。その結果、移動体４０の規定最高速度の低下を抑制しつつ、移動体４０を円滑に移動することができる。また、連結部材５３と連結部材６３との間隔、連結部材５４と連結部材６４との間隔を狭くすることができるため、アクチュエータ１の幅（Ｘ軸方向の長さ）を小さくすることができる。ひいては、アクチュエータ１の小型化を実現することができる。
【0074】
また、本実施の形態１においては、第１の一方側中間サポート部材５１の本体部５１－１には、図１０Ａに示すように、貫通孔５１－１ａから外部まで切り欠かれている切欠き部５１－１ｂが形成されている。このため、図２１に示すように、本体部５１－１を、スライドブッシュ５１－２、スライドブッシュサポート５１－３及びボールネジ軸２１を切欠き部５１－１ｂに通過させることにより、ボールネジ軸２１から脱着することができる。
【0075】
例えば、図２２に示す比較例に係るアクチュエータ１００においては、第１の一方側中間サポート部材５１の本体部５１－１には、切欠き部５１－１ｂが形成されていない。このため、フロントブラケット３３やその周囲の部品をベース３１から外してから、第１の一方側中間サポート部材５１を引き抜く必要があった。このため、アクチュエータ１００のメンテナンスの作業効率が低いという課題があった。
【0076】
これに対して、本実施の形態１においては、図２３（Ａ）に示すように、フロントブラケットやその周囲の部品をベースから外さなくても、本体部５１－１をボールネジ軸２１から脱着することができる。これにより、アクチュエータのメンテナンスの作業効率を向上させることができる。
【0077】
また、本実施の形態１においては、本体部５１－１と同様に、図２３（Ｂ）に示すように、本体部６１－１にも、貫通孔６１－１ａから外部まで切り欠かれている切欠き部６１－１ｂが形成されている。このため、フロントブラケットやその周囲の部品をベースから外さなくても、本体部６１－１をボールネジ軸２１から脱着することができる。
さらに、図２４に示すように、本体部５２－１、６２－１にも、貫通孔５２－１ａ、６２－１ａから外部まで切り欠かれている切欠き部５２－１ｂ、６２－１ｂが形成されている。このため、リアブラケットやモータ、それらの周囲の部品をベースから外さなくても、本体部５２－１、６２－１をボールネジ軸２１から脱着することができる。
このため、アクチュエータのメンテナンスの作業効率を向上させることができる。
さらに、図２４に示すように、本体部５２－１、６２－１にも、貫通孔５２－１ａ、６２－１ａから外部まで切り欠かれている切欠き部５２－１ｂ、６２－１ｂが形成されている。このため、リアブラケットやモータ、それらの周囲の部品をベースから外さなくても、本体部５２－１、６２－１をボールネジ軸２１から脱着することができる。
このため、アクチュエータのメンテナンスの作業効率を向上させることができる。
【0078】
また、本実施の形態１に係るアクチュエータ１は、図９及び図１１に示すように、第１の一方側中間サポート部材５１に設けられている衝撃緩和部材９１と、第１の他方側中間サポート部材５２に設けられている衝撃緩和部材９２とを備える。このため、衝撃緩和部材９１、９２が、移動体４０と第１中間サポートユニット５０との当接の衝撃を吸収する。この結果、移動体４０と第１中間サポートユニット５０との当接に基づく衝突音を低減することができる。
【0079】
また、衝撃緩和部材９１、９２は、先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９１－１、９２－１を有する。移動体４０と第１中間サポートユニット５０との接触開始時の弾性変形は小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなる。これにより、衝撃緩和部材９１、９２は、移動体４０と第１中間サポートユニット５０との当接に基づく衝撃を効果的に緩和することができる。
【0080】
また、アクチュエータ１は、図９及び図１１に示すように、第２の一方側中間サポート部材６１に設けられている衝撃緩和部材９３と、第２の他方側中間サポート部材６２に設けられている衝撃緩和部材９４とを備える。このため、第１中間サポートユニット５０と第２中間サポートユニット６０との当接の衝撃を吸収することができる。この結果、第１中間サポートユニット５０と第２中間サポートユニット６０との当接に基づく衝突音を低減することができる。
【0081】
また、衝撃緩和部材９３、９４は、先端が先細り形状に形成されている衝撃緩和部材本体９３－１、９４－１を有する。第１中間サポートユニット５０と第２中間サポートユニット６０との接触開始時の弾性変形は小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなる。これにより、衝撃緩和部材９３、９４は、第１中間サポートユニット５０と第２中間サポートユニット６０との当接に基づく衝撃を効果的に緩和することができる。
【0082】
以上、本発明の実施の形態１について説明したが、本発明は上記実施の形態によって限定されるものではない。
【0083】
実施の形態２．
例えば、上記実施の形態１に係るアクチュエータ１は、図８に示すように、第２中間サポートユニット６０を備える。しかしながら、これに限られない。例えば、図２５に示す実施の形態２のように、アクチュエータ２は、第２中間サポートユニット６０を備えていなくてもよい。この場合、第２干渉防止部材８０を割愛することができる。また、図２６に示すように、第１干渉防止部材７０を、連結部材５３と連結部材５４との干渉を防止するように形成することができる。アクチュエータ２においても、本実施の形態１と同等の効果を有することができる。なお、アクチュエータ２において、アクチュエータ１と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
例えば、上記実施の形態１に係るアクチュエータ１は、図８に示すように、第２中間サポートユニット６０を備える。しかしながら、これに限られない。例えば、図２５に示す実施の形態２のように、アクチュエータ２は、第２中間サポートユニット６０を備えていなくてもよい。この場合、第２干渉防止部材８０を割愛することができる。また、図２６に示すように、第１干渉防止部材７０を、連結部材５３と連結部材５４との干渉を防止するように形成することができる。アクチュエータ２においても、本実施の形態１と同等の効果を有することができる。なお、アクチュエータ２において、アクチュエータ１と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0084】
実施の形態３．
また、上記実施の形態１、２に係るアクチュエータ１、２においては、図６Ａに示すように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０に設けられている。しかしながら、これに限られない。例えば、図２７及び図２８に示す実施の形態３に係るアクチュエータ３のように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０ではなく、第１の一方側中間サポート部材５１に設けられていてもよい。さらに、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、第１の他方側中間サポート部材５２にも設けられていてもよい。アクチュエータ３においても、本実施の形態１、２と同等の効果を有することができる。なお、アクチュエータ３において、アクチュエータ１、２と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
また、上記実施の形態１、２に係るアクチュエータ１、２においては、図６Ａに示すように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０に設けられている。しかしながら、これに限られない。例えば、図２７及び図２８に示す実施の形態３に係るアクチュエータ３のように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０ではなく、第１の一方側中間サポート部材５１に設けられていてもよい。さらに、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、第１の他方側中間サポート部材５２にも設けられていてもよい。アクチュエータ３においても、本実施の形態１、２と同等の効果を有することができる。なお、アクチュエータ３において、アクチュエータ１、２と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0085】
実施の形態４．
アクチュエータ１、２においては、図６Ａに示すように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０に設けられ、アクチュエータ３においては、図２７及び図２８に示すように、第１干渉防止部材７０、及び第２干渉防止部材８０は、第１中間サポートユニット５０の第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２の少なくとも一方の部材に設けられている。しかしながら、これに限られない。例えば、図２９に示す実施の形態４に係るアクチュエータ４のように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０と、第１中間サポートユニット５０とのいずれにも設けられていてもよい。アクチュエータ４においても、本実施の形態１～３と同等の効果を有することができる。なお、アクチュエータ４において、アクチュエータ１～３と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
アクチュエータ１、２においては、図６Ａに示すように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０に設けられ、アクチュエータ３においては、図２７及び図２８に示すように、第１干渉防止部材７０、及び第２干渉防止部材８０は、第１中間サポートユニット５０の第１の一方側中間サポート部材５１及び第１の他方側中間サポート部材５２の少なくとも一方の部材に設けられている。しかしながら、これに限られない。例えば、図２９に示す実施の形態４に係るアクチュエータ４のように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、移動体４０と、第１中間サポートユニット５０とのいずれにも設けられていてもよい。アクチュエータ４においても、本実施の形態１～３と同等の効果を有することができる。なお、アクチュエータ４において、アクチュエータ１～３と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0086】
実施の形態５．
上記実施の形態においては、第１干渉防止部材７０は、図１３に示すように、第１部分７１と、第２部分７２と、第３部分７３とを有する。しかしながら、これに限られない。第１干渉防止部材７０は、図３０に示すように、第２部分７２を有さなくてもよい。しかしながら、連結部材５３、６３とメインカバー３２との干渉を防止する観点から、第１干渉防止部材７０は、第２部分７２を有していたほうがよい。
上記実施の形態においては、第１干渉防止部材７０は、図１３に示すように、第１部分７１と、第２部分７２と、第３部分７３とを有する。しかしながら、これに限られない。第１干渉防止部材７０は、図３０に示すように、第２部分７２を有さなくてもよい。しかしながら、連結部材５３、６３とメインカバー３２との干渉を防止する観点から、第１干渉防止部材７０は、第２部分７２を有していたほうがよい。
【0087】
同様に、第２干渉防止部材８０も、第２部分８２を有さなくてもよい。しかしながら、連結部材５４、６４とメインカバー３２との干渉を防止する観点から、第２干渉防止部材８０は、第２部分８２を有していたほうがよい。なお、アクチュエータ５において、アクチュエータ１～４と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0088】
実施の形態６．
上記実施の形態においては、第１干渉防止部材７０は、図１３に示すように、第１部分７１と、第２部分７２と、第３部分７３とを有する。しかしながら、これに限られない。第１干渉防止部材７０は、図３１に示すように、これらの部分に加えて、第１部分７１、第２部分７２、第３部分７３以外の箇所に形成されている部分を有していてもよい。例えば、第１干渉防止部材７０は、連結部材６３から視て連結部材５３が設けられている＋Ｘ側とは反対の－Ｘ側に形成されている第４部分７４と、連結部材５３から視て連結部材６３が設けられている－Ｘ側とは反対の＋Ｘ側に形成されている第５部分７５とを有していてもよい。この第４部分７４及び第５部分７５は、第２部分７２の＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側から下方（－Ｚ方向）に延設されて形成されている。また、第４部分７４及び第５部分７５の延設された先端は、第１部分７１には接続されずに、隙間が形成されている。この場合、連結部材５３、６３と、アクチュエータ６を構成する他の部材、例えば、移動体４０のテーブル取付け部４１との干渉を防止することができる。なお、実施の形態６に係る第１干渉防止部材７０は、第４部分７４と第５部分７５との双方を有しているが、第４部分７４と第５部分７５とのうち一方を有していてもよい。
上記実施の形態においては、第１干渉防止部材７０は、図１３に示すように、第１部分７１と、第２部分７２と、第３部分７３とを有する。しかしながら、これに限られない。第１干渉防止部材７０は、図３１に示すように、これらの部分に加えて、第１部分７１、第２部分７２、第３部分７３以外の箇所に形成されている部分を有していてもよい。例えば、第１干渉防止部材７０は、連結部材６３から視て連結部材５３が設けられている＋Ｘ側とは反対の－Ｘ側に形成されている第４部分７４と、連結部材５３から視て連結部材６３が設けられている－Ｘ側とは反対の＋Ｘ側に形成されている第５部分７５とを有していてもよい。この第４部分７４及び第５部分７５は、第２部分７２の＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側から下方（－Ｚ方向）に延設されて形成されている。また、第４部分７４及び第５部分７５の延設された先端は、第１部分７１には接続されずに、隙間が形成されている。この場合、連結部材５３、６３と、アクチュエータ６を構成する他の部材、例えば、移動体４０のテーブル取付け部４１との干渉を防止することができる。なお、実施の形態６に係る第１干渉防止部材７０は、第４部分７４と第５部分７５との双方を有しているが、第４部分７４と第５部分７５とのうち一方を有していてもよい。
【0089】
また、第４部分７４及び第５部分７５は、第２部分７２から延設されて、第４部分７４及び第５部分７５の延設された先端と第１部分７１との間には、隙間が形成されている。しかしながら、これに限られない。第４部分７４及び第５部分７５は、第１部分７１から上方（＋Ｚ方向）に延設されて、第４部分７４及び第５部分７５の延設された先端と第２部分７２との間に、隙間が形成されていてもよい。また、第４部分７４及び第５部分７５は、第１部分７１と第２部分７２との両方に接続されていてもよい。
【0090】
また、第４部分７４及び第５部分７５が、第１部分７１と第２部分７２との両方に接続されている場合は、第３部分７３は、第１部分７１と第２部分７２とのいずれかに接続されていてもよい。
【0091】
同様に、第２干渉防止部材８０も、第１部分８１、第２部分８２、及び第３部分８３に加えて、これらの部分８１～８３以外の箇所に形成されている部分を有していてもよい。例えば、第２干渉防止部材８０は、連結部材６４から視て連結部材５４が設けられている－Ｘ側とは反対の＋Ｘ側に形成されている第４部分８４と、連結部材５４から視て連結部材６４が設けられている＋Ｘ側とは反対の－Ｘ側に形成されている第５部分８５とを有していてもよい。この第４部分８４及び第５部分８５は、第２部分８２の＋Ｘ側及び－Ｘ側の両側から下方（－Ｚ方向）に延設されて形成されている。また、第４部分８４及び第５部分８５の延設された先端は、第１部分８１には接続されずに、隙間が形成されている。この場合、連結部材５４、６４と、アクチュエータ６を構成する他の部材、例えば、移動体４０のテーブル取付け部４１との干渉を防止することができる。なお、実施の形態６に係る第２干渉防止部材８０は、第４部分８４と第５部分８５との双方を有しているが、第４部分８４と第５部分８５とのうち一方を有していてもよい。
【0092】
また、第４部分８４及び第５部分８５は、第２部分８２から延設されて、第４部分８４及び第５部分８５の延設された先端と第１部分８１との間には、隙間が形成されている。しかしながら、これに限られない。第４部分８４及び第５部分８５は、第１部分８１から上方（＋Ｚ方向）に延設されて、第４部分８４及び第５部分８５の延設された先端と第２部分８２との間に、隙間が形成されていてもよい。また、第４部分８４及び第５部分８５は、第１部分８１と第２部分８２との両方に接続されていてもよい。
【0093】
また、第４部分８４及び第５部分８５が、第１部分８１と第２部分８２との両方に接続されている場合は、第３部分８３は、第１部分８１と第２部分８２とのいずれかに接続されていてもよい。なお、アクチュエータ６において、アクチュエータ１～５と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0094】
実施の形態７．
上記実施の形態６においては、第１干渉防止部材７０は、第１～５部分７１～７５を有することで、第１～５部分７１～７５によって区画され、連結部材５３、６３が配置される連結部材配置空間７０ａが、略四角筒形状に形成されている。しかしながら、これに限られない。図３２に示すアクチュエータ７のように、連結部材５３、６３の円筒形状に対応して、第１～５部分７１～７５によって区画される連結部材配置空間７０ａは、円筒形状に形成されていてもよい。また、連結部材配置空間７０ａは、略四角筒形状、円筒形状以外の形状であってもよい。
上記実施の形態６においては、第１干渉防止部材７０は、第１～５部分７１～７５を有することで、第１～５部分７１～７５によって区画され、連結部材５３、６３が配置される連結部材配置空間７０ａが、略四角筒形状に形成されている。しかしながら、これに限られない。図３２に示すアクチュエータ７のように、連結部材５３、６３の円筒形状に対応して、第１～５部分７１～７５によって区画される連結部材配置空間７０ａは、円筒形状に形成されていてもよい。また、連結部材配置空間７０ａは、略四角筒形状、円筒形状以外の形状であってもよい。
【0095】
同様に、第２干渉防止部材８０は、第１～５部分８１～８５を有することで、第１～５部分８１～８５によって区画され、連結部材５４、６４が配置される連結部材配置空間８０ａが、略四角筒形状に形成されている。しかしながら、これに限られない。図３２に示すアクチュエータ７のように、連結部材５４、６４の円筒形状に対応して、第１～５部分８１～８５によって区画される連結部材配置空間８０ａは、円筒形状に形成されていてもよい。また、連結部材配置空間８０ａは、略四角筒形状、円筒形状以外の形状であってもよい。
【0096】
実施の形態８．
図３３に示すアクチュエータ８のように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０の移動方向（Ｙ軸方向）の長さは、長ければ長い方が好ましい。移動方向（Ｙ軸方向）の長さが長ければ、移動体４０の規定最高速度の低下をより抑制しつつ、移動体４０をより円滑に移動することが可能になる。
図３３に示すアクチュエータ８のように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０の移動方向（Ｙ軸方向）の長さは、長ければ長い方が好ましい。移動方向（Ｙ軸方向）の長さが長ければ、移動体４０の規定最高速度の低下をより抑制しつつ、移動体４０をより円滑に移動することが可能になる。
【0097】
その他の変形例
上記実施の形態では、移動体４０は、図５に示すように、ベース３１の転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをリニアガイド用転動体が転動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。しかしながら、これに限られない。リニアガイド用転動体に代えて、移動体４０は、潤滑性の素材からなる摺動部材を有し、この摺動部材が、溝３１ｃを摺動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をするようにしてもよい。
上記実施の形態では、移動体４０は、図５に示すように、ベース３１の転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをリニアガイド用転動体が転動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。しかしながら、これに限られない。リニアガイド用転動体に代えて、移動体４０は、潤滑性の素材からなる摺動部材を有し、この摺動部材が、溝３１ｃを摺動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をするようにしてもよい。
【0098】
上記実施の形態では、第１の一方側中間サポート部材５１は、ベース３１の転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをローラ５１－４ａ、５１－４ｂ、５１－４ｃが転動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。しかしながら、これに限られない。ローラ５１－４ａ～５１－４ｃに代えて、第１の一方側中間サポート部材５１は、潤滑性の素材からなる摺動部材を有し、この摺動部材が、溝３１ｃを摺動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をするようにしてもよい。
【0099】
同様に、第１の他方側中間サポート部材５２は、ベース３１の転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをローラ５２－４ａ、５２－４ｂ、５２－４ｃが転動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。しかしながら、これに限られない。ローラ５２－４ａ～５２－４ｃに代えて、第１の他方側中間サポート部材５２は、潤滑性の素材からなる摺動部材を有し、この摺動部材が、溝３１ｃを摺動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をするようにしてもよい。
【0100】
同様に、第２の一方側中間サポート部材６１は、ベース３１の転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをローラ６１－４ａ、６１－４ｂ、６１－４ｃが転動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。しかしながら、これに限られない。ローラ６１－４ａ～６１－４ｃに代えて、第２の一方側中間サポート部材６１は、潤滑性の素材からなる摺動部材を有し、この摺動部材が、溝３１ｃを摺動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をするようにしてもよい。
【0101】
同様に、第２の他方側中間サポート部材６２は、ベース３１の転動体用ガイドレール３１ｂの溝３１ｃをローラ６２－４ａ、６２－４ｂ、６２－４ｃが転動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をする。しかしながら、これに限られない。ローラ６２－４ａ～６２－４ｃに代えて、第２の他方側中間サポート部材６２は、潤滑性の素材からなる摺動部材を有し、この摺動部材が、溝３１ｃを摺動することにより、移動方向Ｄ１に円滑に往復運動をするようにしてもよい。
【0102】
実施の形態９．
上記実施の形態では、図９に示すように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向に先細りとなるように、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれている。しかしながら、これに限られない。図３４に示す実施の形態９に係るアクチュエータ９Ａのように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向とは反対の－Ｙ方向に先細りとなるように、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれてもよい。
上記実施の形態では、図９に示すように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向に先細りとなるように、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれている。しかしながら、これに限られない。図３４に示す実施の形態９に係るアクチュエータ９Ａのように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向とは反対の－Ｙ方向に先細りとなるように、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれてもよい。
【0103】
同様に、図１１に示すように、衝撃緩和部材９２、９４は、－Ｙ方向に先細りとなるように、第１の他方側中間サポート部材５２、第２の他方側中間サポート部材６２の被嵌め込み部５２－６、６２－６に嵌め込まれている。しかしながら、これに限られない。図３５に示す実施の形態９に係るアクチュエータ９Ａのように、衝撃緩和部材９２、９４は、－Ｙ方向とは反対の＋Ｙ方向に先細りとなるように、第１の他方側中間サポート部材５２、第２の他方側中間サポート部材６２の被嵌め込み部５２－６、６２－６に嵌め込まれてもよい。
【0104】
実施の形態１０．
上記実施の形態では、図９に示すように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向に先細りとなるように、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれている。しかしながら、これに限られない。図３６に示す実施の形態１０に係るアクチュエータ９Ｂのように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向と－Ｙ方向との双方向に先細りとなるように形成され、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれてもよい。
上記実施の形態では、図９に示すように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向に先細りとなるように、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれている。しかしながら、これに限られない。図３６に示す実施の形態１０に係るアクチュエータ９Ｂのように、衝撃緩和部材９１、９３は、＋Ｙ方向と－Ｙ方向との双方向に先細りとなるように形成され、第１の一方側中間サポート部材５１、第２の一方側中間サポート部材６１の被嵌め込み部５１－６、６１－６に嵌め込まれてもよい。
【0105】
同様に、図１１に示すように、衝撃緩和部材９２、９４は、－Ｙ方向に先細りとなるように、第１の他方側中間サポート部材５２、第２の他方側中間サポート部材６２の被嵌め込み部５２－６、６２－６に嵌め込まれている。しかしながら、これに限られない。図３７に示す実施の形態１０に係るアクチュエータ９Ｂのように、衝撃緩和部材９２、９４は、＋Ｙ方向と－Ｙ方向との双方向に先細りとなるように形成され、第１の他方側中間サポート部材５２、第２の他方側中間サポート部材６２の被嵌め込み部５２－６、６２－６に嵌め込まれてもよい。
【0106】
実施の形態１１．
上記実施の形態１では、図８及び図９に示すように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、別体に形成されている。しかしながら、これに限られない。図３８～図４２に示す実施の形態１１のように、第１干渉防止部材７０は、第２干渉防止部材８０に一体に形成されていてもよい。そして、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、ユニット用ベース１２０に取り付けられることにより、移動体４０から脱着可能な一つのユニット３００として構成されていてもよい。以下、そのようなユニット３００を備える実施の形態１１に係るアクチュエータ２００について、図３８～図４２を用いて説明する。なお、アクチュエータ２００において、アクチュエータ１と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
上記実施の形態１では、図８及び図９に示すように、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、別体に形成されている。しかしながら、これに限られない。図３８～図４２に示す実施の形態１１のように、第１干渉防止部材７０は、第２干渉防止部材８０に一体に形成されていてもよい。そして、第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０は、ユニット用ベース１２０に取り付けられることにより、移動体４０から脱着可能な一つのユニット３００として構成されていてもよい。以下、そのようなユニット３００を備える実施の形態１１に係るアクチュエータ２００について、図３８～図４２を用いて説明する。なお、アクチュエータ２００において、アクチュエータ１と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0107】
アクチュエータ２００は、図３８及び図３９に示すように、上述した移動体４０、第１、第２中間サポートユニット５０、６０、第１、第２干渉防止部材７０、８０、衝撃緩和部材９１～９４等に加えて、更に、ユニット用ベース１２０と、衝撃緩和部材１３１（一方側の衝撃緩和部材）と、衝撃緩和部材１３２（他方側の衝撃緩和部材）とを備える。
【0108】
第１干渉防止部材７０は、本実施の形態においては、図４０に示すように、第２干渉防止部材８０と一体に形成されることで、一つの干渉防止部材ユニット１１０として構成されている。干渉防止部材ユニット１１０は、実施の形態１と同等の形状、構造の第１干渉防止部材７０及び第２干渉防止部材８０をそのまま含んで構成されると共に、第１干渉防止部材７０と第２干渉防止部材８０とを連結する中央連結部分１１１を更に有する。なお、本実施の形態においては、第１干渉防止部材７０は、移動体４０に直接的に設けられてはおらず、干渉防止部材ユニット１１０として、ユニット用ベース１２０を介して、移動体４０に間接的に設けられている。
【0109】
中央連結部分１１１は、図４１及び図４２に示すように、ＸＹ平面に概ね平行な板状に形成されている。具体的には、中央連結部分１１１は、第１干渉防止部材７０の第５部分７５と、第２干渉防止部材８０の第５部分８５とを連結するように形成されている。中央連結部分１１１には、上方（＋Ｚ方向）に突出する突起１１２が形成されている。この突起１１２は、メインカバー３２が撓んだ場合において、移動体４０又はユニット用ベース１２０と、メインカバー３２との干渉を防止するために形成されている。また、中央連結部分１１１には、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔が形成されている。この貫通孔は、例えば、ボルト、ねじ等の留め具１１０ａが挿入されることで、干渉防止部材ユニット１１０を、ユニット用ベース１２０に固定するために用いられる。
【0110】
また、干渉防止部材ユニット１１０の中央連結部分１１１には、下方（－Ｚ方向）に突出する凸部１１５が形成されている。凸部１１５は、板状に形成され、２つ設けられている。
【0111】
ユニット用ベース１２０は、例えば、金属からなり、好ましくは、アルミニウムからなる。ただし、ユニット用ベース１２０の素材は、これに限られない。ユニット用ベース１２０は、金属以外の素材からなっていてもよい。ユニット用ベース１２０は、図４０～図４２に示すように、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体状に形成されている。ユニット用ベース１２０の－Ｙ側の端部には、衝撃緩和部材１３１を嵌め込むことが可能な被嵌め込み部１２１ａが形成されている。ユニット用ベース１２０の＋Ｙ側の端部には、衝撃緩和部材１３２を嵌め込むことが可能な被嵌め込み部１２１ｂが形成されている。また、ユニット用ベース１２０には、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔１２２が４つ形成されている。貫通孔１２２は、例えば、ボルト、ねじ等の留め具が挿入されることで、ユニット用ベース１２０を、移動体４０の上面４０ｂに固定するために用いられる。ユニット用ベース１２０の－Ｙ側の端部には、ユニット用ベース１２０の底面から－Ｚ方向に突出する突出部１２３ａが形成されている。同様に、ユニット用ベース１２０の＋Ｙ側の端部には、ユニット用ベース１２０の底面から－Ｚ方向に突出する突出部１２３ｂが形成されている。突出部１２３ａ、１２３ｂは、移動体４０にユニット用ベース１２０を取り付ける際に、移動体４０の上面４０ｂに対するユニット用ベース１２０のＹ軸方向の位置決めをするために用いられる。
【0112】
また、ユニット用ベース１２０には、その上面（＋Ｚ側の面）において窪む凹部１２５が形成されている。凹部１２５は、干渉防止部材ユニット１１０の中央連結部分１１１の凸部１１５が嵌ることで、ユニット用ベース１２０に対する干渉防止部材ユニット１１０の位置を規定するために形成されている。
【0113】
衝撃緩和部材１３１（一方側の衝撃緩和部材）は、図３９及び図４０に示すように、移動体４０が－Ｙ方向に移動して、第１の一方側中間サポート部材５１に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材１３１は、実施の形態１における被当接部分４２の代わりに設けられている。衝撃緩和部材１３１は、被嵌め込み部１２１ａに嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート１３１ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具１３１ｂにより、プレート１３１ａがユニット用ベース１２０に固定されることで、衝撃緩和部材１３１はユニット用ベース１２０に固定される。衝撃緩和部材１３１は、弾性の素材より形成されている。衝撃緩和部材１３１は、例えば、実施の形態１に係る衝撃緩和部材９１～９４の素材と同じ素材より形成されている。衝撃緩和部材１３１は、そのＸＹ断面がＴ字形状となるように形成されている。また、プレート１３１ａは、剛性の高い素材からなり、例えば、金属からなる。
【0114】
衝撃緩和部材１３２（他方側の衝撃緩和部材）は、移動体４０が＋Ｙ方向に移動して、第１の他方側中間サポート部材５２に当接した場合の衝撃を緩和するために用いられる。衝撃緩和部材１３２は、実施の形態１における被当接部分４３の代わりに設けられている。衝撃緩和部材１３２は、被嵌め込み部１２１ｂに嵌め込まれている。更に、＋Ｚ側からプレート１３２ａが取り付けられ、ボルト、ねじ等の留め具１３２ｂにより、プレート１３２ａがユニット用ベース１２０に固定されることで、衝撃緩和部材１３２はユニット用ベース１２０に固定される。衝撃緩和部材１３２は、弾性の素材より形成されている。衝撃緩和部材１３２は、例えば、実施の形態１に係る衝撃緩和部材９１～９４の素材と同じ素材より形成されている。衝撃緩和部材１３２は、そのＸＹ断面がＴ字形状となるように形成されている。また、プレート１３２ａは、剛性の高い素材からなり、例えば、金属からなる。
【0115】
上述した干渉防止部材ユニット１１０、ユニット用ベース１２０、及び、衝撃緩和部材１３１、１３２は、互いに固定されている。そして、互いに固定されたこれらは、移動体４０に対して、ボルト、ねじ等の留め具によって取り付けられている。これにより、干渉防止部材ユニット１１０、ユニット用ベース１２０、及び、衝撃緩和部材１３１、１３２は、移動体４０に対して、脱着可能な一つのユニット３００として構成されている。
【0116】
以上、説明したように、本実施の形態１１に係るアクチュエータ２００においては、図３８及び図３９に示すように、干渉防止部材ユニット１１０、ユニット用ベース１２０、及び、衝撃緩和部材１３１、１３２は、移動体４０に対して、脱着可能な一つのユニット３００として構成されている。このため、作業者は、ユニット３００を移動体４０から容易に外すことができる。これにより、比較的劣化しやすい素材からなる干渉防止部材ユニット１１０及び衝撃緩和部材１３１、１３２を容易に交換することができる。ひいては、アクチュエータ２００のメンテナンスの作業効率を向上させることができる。また、アクチュエータ２００の組立て効率を向上させることができる。また、このアクチュエータ２００においても、本実施の形態１と同等の効果を有することができる。
【0117】
本実施の形態１１においては、干渉防止部材ユニット１１０の中央連結部分１１１には、凸部１１５が形成されている。そして、ユニット用ベース１２０には、凸部１１５が嵌る凹部１２５が形成されている。しかしながら、これに限られない。例えば、干渉防止部材ユニット１１０の中央連結部分１１１には、凹部が形成され、ユニット用ベース１２０には、凸部が形成されていてもよい。
【0118】
また、本実施の形態１１においては、第１干渉防止部材７０は、第２干渉防止部材８０と一体に形成されることで、一つの干渉防止部材ユニット１１０として構成されている。しかしながら、これに限られない。第１干渉防止部材７０は、第２干渉防止部材８０とは別体に形成されて、それぞれが、ユニット用ベース１２０に取り付けられていてもよい。
【0119】
また、本実施の形態１１においては、第１干渉防止部材７０は、第２部分７２と第４部分７４とを有する。しかしながら、第２部分７２と第４部分７４とのうち、少なくとも一つが割愛されていてもよい。
【0120】
また、本実施の形態１１においては、第２干渉防止部材８０は、第２部分８２と第４部分８４とを有する。しかしながら、第２部分８２と第４部分８４とのうち、少なくとも一つが割愛されていてもよい。
【0121】
実施の形態１２．
上記実施の形態２では、図２５に示すように、第１干渉防止部材７０は、移動体４０に直接的に設けられている。しかしながら、これに限られない。第１干渉防止部材７０は、ユニット用ベース１２０を介して、移動体４０に間接的に設けられていてもよい。そして、第１干渉防止部材７０は、ユニット用ベース１２０に取り付けられることにより、移動体４０に対して、脱着可能な一つのユニット３００として構成されていてもよい。以下、実施の形態１２に係るアクチュエータ２０１について、図４３～図４７を用いて説明する。なお、アクチュエータ２０１において、アクチュエータ２と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
上記実施の形態２では、図２５に示すように、第１干渉防止部材７０は、移動体４０に直接的に設けられている。しかしながら、これに限られない。第１干渉防止部材７０は、ユニット用ベース１２０を介して、移動体４０に間接的に設けられていてもよい。そして、第１干渉防止部材７０は、ユニット用ベース１２０に取り付けられることにより、移動体４０に対して、脱着可能な一つのユニット３００として構成されていてもよい。以下、実施の形態１２に係るアクチュエータ２０１について、図４３～図４７を用いて説明する。なお、アクチュエータ２０１において、アクチュエータ２と同一又は同等の構成については、同一の符号を用いて、その説明を省略する。
【0122】
アクチュエータ２０１は、図４３及び図４４に示すように、上述した移動体４０、第１中間サポートユニット５０、第１干渉防止部材７０等に加えて、更に、ユニット用ベース１２０と、衝撃緩和部材１３１（一方側の衝撃緩和部材）と、衝撃緩和部材１３２（他方側の衝撃緩和部材）とを備える。
【0123】
第１干渉防止部材７０には、その第３部分７３において、図４５～図４７に示すように、ユニット用ベース１２０に嵌め込むことが可能な形状の被嵌め込み部７６が形成されている。また、第１干渉防止部材７０には、上方（＋Ｚ方向）に突出する突起１１２が形成されている。この突起１１２は、メインカバー３２が撓んだ場合において、移動体４０又はユニット用ベース１２０と、メインカバー３２との干渉を防止するために形成されている。また、第１干渉防止部材７０には、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔が形成されている。この貫通孔は、例えば、ボルト、ねじ等の留め具１１０ａが挿入されることで、第１干渉防止部材７０を、ユニット用ベース１２０に固定するために用いられる。
【0124】
また、第１干渉防止部材７０には、その被嵌め込み部７６の内部において、下方（－Ｚ方向）に突出する凸部１１５が形成されている。凸部１１５は、板状に形成され、２つ設けられている。
【0125】
ユニット用ベース１２０は、実施の形態１１のものと同等のものである。
【0126】
また、ユニット用ベース１２０には、その上面（＋Ｚ側の面）において窪む凹部１２５が形成されている。凹部１２５は、第１干渉防止部材７０の凸部１１５が嵌ることで、ユニット用ベース１２０に対する第１干渉防止部材７０の位置を規定するために用いられる。
【0127】
衝撃緩和部材１３１（一方側の衝撃緩和部材）及び衝撃緩和部材１３２（他方側の衝撃緩和部材）は、実施の形態１１のものと同等のものである。
【0128】
上述した第１干渉防止部材７０、ユニット用ベース１２０、及び、衝撃緩和部材１３１、１３２は、互いに固定されている。そして、互いに固定されたこれらは、移動体４０に対して、ボルト、ねじ等の留め具によって取り付けられている。これにより、第１干渉防止部材７０、ユニット用ベース１２０、及び、衝撃緩和部材１３１、１３２は、移動体４０に対して、脱着可能な一つのユニット３００として構成されている。
【0129】
以上、説明したように、本実施の形態１１に係るアクチュエータ２０１においては、図４３及び図４４に示すように、第１干渉防止部材７０、ユニット用ベース１２０、及び、衝撃緩和部材１３１、１３２は、移動体４０に対して、脱着可能な一つのユニット３００として構成されている。このため、作業者は、ユニット３００を移動体４０から容易に外すことができる。これにより、比較的劣化しやすい素材からなる第１干渉防止部材７０及び衝撃緩和部材１３１、１３２を容易に交換できる。ひいては、アクチュエータ２０１のメンテナンスの作業効率を向上させることができる。また、アクチュエータ２０１の組立て効率を向上させることができる。また、このアクチュエータ２０１においても、本実施の形態２と同等の効果を有することができる。
【0130】
また、本実施の形態１２においては、第１干渉防止部材７０は、第２部分７２と第４部分７４と第５部分７５を有する。しかしながら、第２部分７２と第４部分７４と第５部分７５のうち、少なくとも一つが割愛されていてもよい。
【0131】
更にその他の変形例
また、上記実施の形態では、衝撃緩和部材９１は、図４８（Ａ）に示すように、Ｚ軸方向に視て、略三角形状の部分を有している。しかしながら、衝撃緩和部材９１は、Ｙ軸方向における先端が先細り形状に形成されていれば、これに限られない。例えば、衝撃緩和部材９１は、図４８（Ｂ）に示すように、Ｚ軸方向に視て、半円形状の部分を有していてもよい。更に、図４８（Ｃ）に示すように、衝撃緩和部材９１には、Ｚ軸方向に貫通する孔９１ｃが形成され、先端部分を柔らかくすることにより、接触開始時の弾性変形が小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなるように形成されていてもよい。また、図４８（Ｄ）に示すように、衝撃緩和部材９１は、Ｚ軸方向に視て、角のアールを比較的大きくした略四角形状の部分を有し、且つ、この略四角形状の部分に孔９１ｃが形成されてもよい。また、図４８（Ｃ）に示す衝撃緩和部材９１の孔９１ｃがＸ軸方向に長い楕円であったのに対し、図４８（Ｅ）に示すように、衝撃緩和部材９１は、Ｙ軸方向に長い長孔からなる孔９１ｃが形成された半円形状の部分を有するようにしてもよい。また、図４８（Ｆ）に示すように、衝撃緩和部材９１は、樹脂からなり、Ｙ軸方向に突出するアーチ部分９１ｄと、アーチ部分９１ｄの素材よりも硬い素材からなるブロック部分９１ｅとを組み合わせたものであってもよい。なお、衝撃緩和部材９２～９４についても、図４８（Ｂ）～（Ｆ）に示す形状を適用してもよい。
また、上記実施の形態では、衝撃緩和部材９１は、図４８（Ａ）に示すように、Ｚ軸方向に視て、略三角形状の部分を有している。しかしながら、衝撃緩和部材９１は、Ｙ軸方向における先端が先細り形状に形成されていれば、これに限られない。例えば、衝撃緩和部材９１は、図４８（Ｂ）に示すように、Ｚ軸方向に視て、半円形状の部分を有していてもよい。更に、図４８（Ｃ）に示すように、衝撃緩和部材９１には、Ｚ軸方向に貫通する孔９１ｃが形成され、先端部分を柔らかくすることにより、接触開始時の弾性変形が小さく、それ以降の弾性変形が徐々に大きくなるように形成されていてもよい。また、図４８（Ｄ）に示すように、衝撃緩和部材９１は、Ｚ軸方向に視て、角のアールを比較的大きくした略四角形状の部分を有し、且つ、この略四角形状の部分に孔９１ｃが形成されてもよい。また、図４８（Ｃ）に示す衝撃緩和部材９１の孔９１ｃがＸ軸方向に長い楕円であったのに対し、図４８（Ｅ）に示すように、衝撃緩和部材９１は、Ｙ軸方向に長い長孔からなる孔９１ｃが形成された半円形状の部分を有するようにしてもよい。また、図４８（Ｆ）に示すように、衝撃緩和部材９１は、樹脂からなり、Ｙ軸方向に突出するアーチ部分９１ｄと、アーチ部分９１ｄの素材よりも硬い素材からなるブロック部分９１ｅとを組み合わせたものであってもよい。なお、衝撃緩和部材９２～９４についても、図４８（Ｂ）～（Ｆ）に示す形状を適用してもよい。
【0132】
また、実施の形態１１、１２に係る衝撃緩和部材１３１、１３２についても、図４８（Ａ）～（Ｆ）に示す形状を適用してもよい。
【0133】
また、上記実施の形態では、アクチュエータハウジングに、モータのモータカバーが直接固定されているものとして例示されている。しかしながら、これに限られない。アクチュエータは、ベルトが、モータ１０の出力軸の回転運動を、ボールネジのボールネジ軸に伝達する、折り返しタイプのアクチュエータであってもよい。
【0134】
本実施の形態において、衝撃緩和部材９１～９４、３７、３８は、図５、図９、及び図１１に示すように、中間サポート部材５１、５２、６１、６２、フロントブラケット３３、リアブラケット３４にそれぞれ設けられている。しかしながら、これに限られない。衝撃緩和部材９１～９４、３７、３８は、移動体４０に設けられていてもよい。この場合、例えば、衝撃緩和部材９１～９４、３７、３８は、移動体４０の被当接部分４２、４３が設けられている位置に、被当接部分４２、４３に代えて設けられる。
【0135】
また、本実施の形態１１、１２において、図３８及び図４３に示すように、ユニット３００は、移動体４０に取り付けられている。しかしながら、これに限られない。ユニット３００は、第１の一方側中間サポート部材５１、第１の他方側中間サポート部材５２、第２の一方側中間サポート部材６１、第２の他方側中間サポート部材６２の少なくともいずれかに取り付けられていてもよい。
【0136】
上記の実施の形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうる。ただし、以下の付記に限られるものではない。
【0137】
（付記１に係る発明が解決しようとする課題）
特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、ねじ軸の撓みを抑制するために設けられている一対の支持部材などのメンテナンス作業をする場合、作業者は、先ず、フロントのハウジングやリアのハウジング、その他の部品をねじ軸から外す。その後、支持部材をねじ軸から引き抜き、メンテナンス作業を行う必要がある。このため、アクチュエータのメンテナンスの作業効率が低いという課題があった。
特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、ねじ軸の撓みを抑制するために設けられている一対の支持部材などのメンテナンス作業をする場合、作業者は、先ず、フロントのハウジングやリアのハウジング、その他の部品をねじ軸から外す。その後、支持部材をねじ軸から引き抜き、メンテナンス作業を行う必要がある。このため、アクチュエータのメンテナンスの作業効率が低いという課題があった。
【0138】
付記１に係る発明は、上述の事情の下になされたもので、メンテナンスの作業効率を向上させることができるアクチュエータを提供することを目的とする。
【0139】
［付記１－１］
モータ（１０）の回転軸（出力軸１０ａ）の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸（２１）と、前記ボールネジ軸（２１）の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナット（２２）と、を有するボールネジ（２０）と、
前記ボールネジナット（２２）に接続され、前記ボールネジナット（２２）の前記直線運動と共に移動する移動体（４０）と、
前記移動体（４０）に対してその移動方向（Ｄ１）における一方側（先端側、－Ｙ側）に配置されている第１の一方側中間サポート部材（５１）を有し、前記移動体（４０）が、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）に当接して、前記移動体（４０）と共に移動する第１中間サポートユニット（５０）と、
を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記移動方向（Ｄ１）に貫通すると共に、前記ボールネジ軸（２１）が挿通される第１貫通孔（５１－１ａ）と、前記第１貫通孔（５１－１ａ）から外部まで切り欠かれている第１切欠き部（５１－１ｂ）と、が形成されている第１本体部（５１－１）を有し、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記第１切欠き部（５１－１ｂ）に前記ボールネジ軸（２１）を通過させることにより前記ボールネジ軸（２１）から脱着可能に構成されている、アクチュエータ。
モータ（１０）の回転軸（出力軸１０ａ）の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸（２１）と、前記ボールネジ軸（２１）の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナット（２２）と、を有するボールネジ（２０）と、
前記ボールネジナット（２２）に接続され、前記ボールネジナット（２２）の前記直線運動と共に移動する移動体（４０）と、
前記移動体（４０）に対してその移動方向（Ｄ１）における一方側（先端側、－Ｙ側）に配置されている第１の一方側中間サポート部材（５１）を有し、前記移動体（４０）が、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）に当接して、前記移動体（４０）と共に移動する第１中間サポートユニット（５０）と、
を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記移動方向（Ｄ１）に貫通すると共に、前記ボールネジ軸（２１）が挿通される第１貫通孔（５１－１ａ）と、前記第１貫通孔（５１－１ａ）から外部まで切り欠かれている第１切欠き部（５１－１ｂ）と、が形成されている第１本体部（５１－１）を有し、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記第１切欠き部（５１－１ｂ）に前記ボールネジ軸（２１）を通過させることにより前記ボールネジ軸（２１）から脱着可能に構成されている、アクチュエータ。
【0140】
［付記１－２］
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記第１貫通孔（５１－１ａ）に配置されると共に、前記ボールネジ軸（２１）の外周上を摺動する円筒部材（５１－２）を有する、付記１－１に記載のアクチュエータ。
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記第１貫通孔（５１－１ａ）に配置されると共に、前記ボールネジ軸（２１）の外周上を摺動する円筒部材（５１－２）を有する、付記１－１に記載のアクチュエータ。
【0141】
［付記１－３］
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記移動方向（Ｄ１）に貫通し、前記円筒部材（５１－２）が嵌め込まれる円筒部材用孔（５１－３ａ）が形成され、前記第１貫通孔（５１－１ａ）に嵌め込まれ、前記第１本体部（５１－１）に前記円筒部材（５１－２）を固定するための固定部材（５１－３）を有し、
前記円筒部材（５１－２）は、樹脂より形成され、前記固定部材（５１－３）は、金属より形成されている、付記１－２に記載のアクチュエータ。
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記移動方向（Ｄ１）に貫通し、前記円筒部材（５１－２）が嵌め込まれる円筒部材用孔（５１－３ａ）が形成され、前記第１貫通孔（５１－１ａ）に嵌め込まれ、前記第１本体部（５１－１）に前記円筒部材（５１－２）を固定するための固定部材（５１－３）を有し、
前記円筒部材（５１－２）は、樹脂より形成され、前記固定部材（５１－３）は、金属より形成されている、付記１－２に記載のアクチュエータ。
【0142】
［付記１－４］
前記移動方向（Ｄ１）に沿って設けられている溝が形成されていると共に、前記移動体（４０）を移動可能に支持にするベース（３１）を有するアクチュエータハウジング（３０）を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記溝を転動する転動部材を有することで、前記移動体（４０）と共に移動可能に前記ベース（３１）に支持され、
前記転動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、付記１－１から付記１－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記移動方向（Ｄ１）に沿って設けられている溝が形成されていると共に、前記移動体（４０）を移動可能に支持にするベース（３１）を有するアクチュエータハウジング（３０）を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記溝を転動する転動部材を有することで、前記移動体（４０）と共に移動可能に前記ベース（３１）に支持され、
前記転動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、付記１－１から付記１－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0143】
［付記１－５］
前記移動体（４０）を移動可能に支持にすると共に、前記移動方向（Ｄ１）に沿って設けられている溝が形成されたベース（３１）を有するアクチュエータハウジング（３０）を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記溝を摺動する摺動部材を有することで、前記移動体（４０）と共に移動可能に前記ベース（３１）に支持され、
前記摺動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、付記１－１から付記１－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記移動体（４０）を移動可能に支持にすると共に、前記移動方向（Ｄ１）に沿って設けられている溝が形成されたベース（３１）を有するアクチュエータハウジング（３０）を備え、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）は、前記溝を摺動する摺動部材を有することで、前記移動体（４０）と共に移動可能に前記ベース（３１）に支持され、
前記摺動部材は、前記溝に嵌る第１位置と、前記溝から外れる第２位置と、に変更可能に設けられている、付記１－１から付記１－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0144】
［付記１－６］
前記第１中間サポートユニット（５０）は、前記移動体（４０）に対して前記移動方向（Ｄ１）における他方側（基端側、＋Ｙ側）に配置されている第１の他方側中間サポート部材（５２）と、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）とを連結する第１連結部材（５３）と、を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材（５２）は、前記移動方向（Ｄ１）に貫通すると共に、前記ボールネジ軸（２１）が挿通される第２貫通孔（５２－１ａ）と、前記第２貫通孔（５２－１ａ）から外部まで切り欠かれている第２切欠き部（５２－１ｂ）と、が形成されている第２本体部（５２－１）を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材（５２）は、前記第２切欠き部（５２－１ｂ）を前記ボールネジ軸（２１）が通過することにより前記ボールネジ軸（２１）から脱着可能に構成されている、付記１－１から付記１－５のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１中間サポートユニット（５０）は、前記移動体（４０）に対して前記移動方向（Ｄ１）における他方側（基端側、＋Ｙ側）に配置されている第１の他方側中間サポート部材（５２）と、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）とを連結する第１連結部材（５３）と、を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材（５２）は、前記移動方向（Ｄ１）に貫通すると共に、前記ボールネジ軸（２１）が挿通される第２貫通孔（５２－１ａ）と、前記第２貫通孔（５２－１ａ）から外部まで切り欠かれている第２切欠き部（５２－１ｂ）と、が形成されている第２本体部（５２－１）を有し、
前記第１の他方側中間サポート部材（５２）は、前記第２切欠き部（５２－１ｂ）を前記ボールネジ軸（２１）が通過することにより前記ボールネジ軸（２１）から脱着可能に構成されている、付記１－１から付記１－５のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0145】
（付記１に係る発明の効果）
付記１に係るアクチュエータにおいては、第１の一方側中間サポート部材の本体部に、貫通孔から外部まで切り欠かれている切欠き部が形成されている。このため、ボールネジ軸を切欠き部に通過させることにより、本体部をボールネジ軸から外すことができる。これにより、アクチュエータのメンテナンスの作業効率を向上させることができる。
付記１に係るアクチュエータにおいては、第１の一方側中間サポート部材の本体部に、貫通孔から外部まで切り欠かれている切欠き部が形成されている。このため、ボールネジ軸を切欠き部に通過させることにより、本体部をボールネジ軸から外すことができる。これにより、アクチュエータのメンテナンスの作業効率を向上させることができる。
【0146】
（付記２に係る発明が解決しようとする課題）
特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、移動体（インナブロック）と、ねじ軸の撓みを抑制するために設けられている一対の支持部材とが当接する際に、衝撃音が生ずるおそれがある。特に、移動体（インナブロック）の移動方向が垂直となるように、アクチュエータを設置した場合、移動体（インナブロック）が下方に移動すると、重力によって勢いが増し、衝撃音が更に大きくなるおそれがある。このため、衝撃音を抑制できるアクチュエータが望まれる。
特許文献１に記載のアクチュエータにおいては、移動体（インナブロック）と、ねじ軸の撓みを抑制するために設けられている一対の支持部材とが当接する際に、衝撃音が生ずるおそれがある。特に、移動体（インナブロック）の移動方向が垂直となるように、アクチュエータを設置した場合、移動体（インナブロック）が下方に移動すると、重力によって勢いが増し、衝撃音が更に大きくなるおそれがある。このため、衝撃音を抑制できるアクチュエータが望まれる。
【0147】
付記２に係る発明は、上述の事情の下になされたもので、静音化を実現することを目的とする。
【0148】
［付記２－１］
モータ（１０）の回転軸（出力軸１０ａ）の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸（２１）と、前記ボールネジ軸（２１）の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナット（２２）と、を有するボールネジ（２０）と、
前記ボールネジナット（２２）に接続され、前記ボールネジナット（２２）の前記直線運動と共に移動する移動体（４０）と、
前記移動体（４０）に対してその移動方向（Ｄ１）における一方側（先端側、－Ｙ側）に配置されている第１の一方側中間サポート部材（５１）を有し、前記移動体（４０）が、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）に当接して、前記移動体（４０）と共に移動する第１中間サポートユニット（５０）と、
前記移動体（４０）と前記第１の一方側中間サポート部材（５１）との少なくとも一方に設けられ、前記移動体（４０）と前記第１の一方側中間サポート部材（５１）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第１衝撃緩和部材（９１）と、
を備える、アクチュエータ。
モータ（１０）の回転軸（出力軸１０ａ）の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸（２１）と、前記ボールネジ軸（２１）の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナット（２２）と、を有するボールネジ（２０）と、
前記ボールネジナット（２２）に接続され、前記ボールネジナット（２２）の前記直線運動と共に移動する移動体（４０）と、
前記移動体（４０）に対してその移動方向（Ｄ１）における一方側（先端側、－Ｙ側）に配置されている第１の一方側中間サポート部材（５１）を有し、前記移動体（４０）が、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）に当接して、前記移動体（４０）と共に移動する第１中間サポートユニット（５０）と、
前記移動体（４０）と前記第１の一方側中間サポート部材（５１）との少なくとも一方に設けられ、前記移動体（４０）と前記第１の一方側中間サポート部材（５１）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第１衝撃緩和部材（９１）と、
を備える、アクチュエータ。
【0149】
［付記２－２］
前記第１中間サポートユニット（５０）は、前記移動体（４０）に対して前記移動方向（Ｄ１）における他方側（基端側、＋Ｙ側）に配置されている第１の他方側中間サポート部材（５２）と、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）とを連結する第１連結部材（５３）と、を有し、前記移動体（４０）が、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）に当接して、前記移動体（４０）と共に移動し、
前記アクチュエータは、前記移動体（４０）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）との少なくとも一方に設けられ、前記移動体（４０）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第３衝撃緩和部材（９２）を備える、付記２－１に記載のアクチュエータ。
前記第１中間サポートユニット（５０）は、前記移動体（４０）に対して前記移動方向（Ｄ１）における他方側（基端側、＋Ｙ側）に配置されている第１の他方側中間サポート部材（５２）と、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）とを連結する第１連結部材（５３）と、を有し、前記移動体（４０）が、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）に当接して、前記移動体（４０）と共に移動し、
前記アクチュエータは、前記移動体（４０）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）との少なくとも一方に設けられ、前記移動体（４０）と前記第１の他方側中間サポート部材（５２）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第３衝撃緩和部材（９２）を備える、付記２－１に記載のアクチュエータ。
【0150】
［付記２－３］
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）に対して前記一方側（先端側、－Ｙ側）に配置されている第２の一方側中間サポート部材（６１）を有し、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）が前記第２の一方側中間サポート部材（６１）に当接して、前記第１中間サポートユニット（５０）と共に移動する第２中間サポートユニット（６０）と、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第２の一方側中間サポート部材（６１）との少なくとも一方に設けられ、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第２の一方側中間サポート部材（６１）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第２衝撃緩和部材（９３）と、
を備える、付記２－２に記載のアクチュエータ。
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）に対して前記一方側（先端側、－Ｙ側）に配置されている第２の一方側中間サポート部材（６１）を有し、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）が前記第２の一方側中間サポート部材（６１）に当接して、前記第１中間サポートユニット（５０）と共に移動する第２中間サポートユニット（６０）と、
前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第２の一方側中間サポート部材（６１）との少なくとも一方に設けられ、前記第１の一方側中間サポート部材（５１）と前記第２の一方側中間サポート部材（６１）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第２衝撃緩和部材（９３）と、
を備える、付記２－２に記載のアクチュエータ。
【0151】
［付記２－４］
前記第２中間サポートユニット（６０）は、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）に対して前記他方側（基端側、＋Ｙ側）に配置されている第２の他方側中間サポート部材（６２）と、前記第２の一方側中間サポート部材（６１）と前記第２の他方側中間サポート部材（６２）とを連結する第２連結部材（６３）と、を有し、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）が、前記第２の他方側中間サポート部材（６２）に当接して、前記第１中間サポートユニット（５０）と共に移動し、
前記アクチュエータは、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）と前記第２の他方側中間サポート部材（６２）との少なくとも一方に設けられ、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）と前記第２の他方側中間サポート部材（６２）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第４衝撃緩和部材（９４）を備える、付記２－３に記載のアクチュエータ。
前記第２中間サポートユニット（６０）は、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）に対して前記他方側（基端側、＋Ｙ側）に配置されている第２の他方側中間サポート部材（６２）と、前記第２の一方側中間サポート部材（６１）と前記第２の他方側中間サポート部材（６２）とを連結する第２連結部材（６３）と、を有し、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）が、前記第２の他方側中間サポート部材（６２）に当接して、前記第１中間サポートユニット（５０）と共に移動し、
前記アクチュエータは、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）と前記第２の他方側中間サポート部材（６２）との少なくとも一方に設けられ、前記第１の他方側中間サポート部材（５２）と前記第２の他方側中間サポート部材（６２）との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成され、先細り形状に形成されている第４衝撃緩和部材（９４）を備える、付記２－３に記載のアクチュエータ。
【0152】
（付記２に係る発明の効果）
付記２に係るアクチュエータは、移動体（４０）と第１の一方側中間サポート部材（５１）との少なくとも一方に第１衝撃緩和部材（９１）が設けられている。このため、第１衝撃緩和部材（９１）が、移動体（４０）と第１中間サポートユニット（５０）との当接の衝撃を吸収する。これにより、移動体（４０）と第１中間サポートユニット（５０）との当接に基づく衝突音を低減することができる。この結果、アクチュエータの静音化を実現することができる。
付記２に係るアクチュエータは、移動体（４０）と第１の一方側中間サポート部材（５１）との少なくとも一方に第１衝撃緩和部材（９１）が設けられている。このため、第１衝撃緩和部材（９１）が、移動体（４０）と第１中間サポートユニット（５０）との当接の衝撃を吸収する。これにより、移動体（４０）と第１中間サポートユニット（５０）との当接に基づく衝突音を低減することができる。この結果、アクチュエータの静音化を実現することができる。
【0153】
（付記３に係る発明が解決しようとする課題）
特許文献１に記載のものにおいては、移動体がスライド移動する際に、移動体と支持部材同士を連結する連結部材とが干渉するおそれがある。この結果、移動体の円滑な移動が阻害される。
特許文献１に記載のものにおいては、移動体がスライド移動する際に、移動体と支持部材同士を連結する連結部材とが干渉するおそれがある。この結果、移動体の円滑な移動が阻害される。
【0154】
付記３に係る発明は、上述の事情の下になされたもので、移動体を円滑に移動することができるアクチュエータを提供することを目的とする。
【0155】
［付記３－１］
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動体に対して前記移動方向における他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
前記移動体に設けられ、前記第１連結部材と少なくとも前記移動体との干渉を防止するための第１干渉防止部材と、
を備える、アクチュエータ。
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動体に対して前記移動方向における他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
前記移動体に設けられ、前記第１連結部材と少なくとも前記移動体との干渉を防止するための第１干渉防止部材と、
を備える、アクチュエータ。
【0156】
［付記３－２］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側に形成されている第１部分を有する、付記３－１に記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側に形成されている第１部分を有する、付記３－１に記載のアクチュエータ。
【0157】
［付記３－３］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側とは反対側に形成されている第２部分を有する、付記３－１又は付記３－２に記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側とは反対側に形成されている第２部分を有する、付記３－１又は付記３－２に記載のアクチュエータ。
【0158】
［付記３－４］
前記第１の一方側中間サポート部材に対して前記一方側に配置されている第２の一方側中間サポート部材と、前記第１の他方側中間サポート部材に対して前記他方側に配置されている第２の他方側中間サポート部材と、前記第２の一方側中間サポート部材と前記第２の他方側中間サポート部材とを連結する第２連結部材と、を有し、前記第１の一方側中間サポート部材が前記第２の一方側中間サポート部材に当接して、又は、前記第１の他方側中間サポート部材が前記第２の他方側中間サポート部材に当接して、前記第１中間サポートユニットと共に移動する第２中間サポートユニットを備え、
前記第１干渉防止部材は、前記移動体と前記第２連結部材との干渉を防止すると共に、前記第１連結部材と前記第２連結部材との干渉を防止するように形成されている、付記３－１から付記３－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１の一方側中間サポート部材に対して前記一方側に配置されている第２の一方側中間サポート部材と、前記第１の他方側中間サポート部材に対して前記他方側に配置されている第２の他方側中間サポート部材と、前記第２の一方側中間サポート部材と前記第２の他方側中間サポート部材とを連結する第２連結部材と、を有し、前記第１の一方側中間サポート部材が前記第２の一方側中間サポート部材に当接して、又は、前記第１の他方側中間サポート部材が前記第２の他方側中間サポート部材に当接して、前記第１中間サポートユニットと共に移動する第２中間サポートユニットを備え、
前記第１干渉防止部材は、前記移動体と前記第２連結部材との干渉を防止すると共に、前記第１連結部材と前記第２連結部材との干渉を防止するように形成されている、付記３－１から付記３－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0159】
［付記３－５］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記第２連結部材との間に形成されている第３部分を有する、付記３－４に記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記第２連結部材との間に形成されている第３部分を有する、付記３－４に記載のアクチュエータ。
【0160】
［付記３－６］
前記第１干渉防止部材は、前記第２連結部材から視て前記第１連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第４部分を有する、付記３－４又は付記３－５に記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第２連結部材から視て前記第１連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第４部分を有する、付記３－４又は付記３－５に記載のアクチュエータ。
【0161】
［付記３－７］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記第２連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第５部分を有する、付記３－４から付記３－６のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記第２連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第５部分を有する、付記３－４から付記３－６のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0162】
［付記３－８］
前記移動体の少なくとも一部と前記ボールネジとを覆うアクチュエータハウジングを備え、
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記アクチュエータハウジングとの干渉を防止するように形成されている、付記３－１から付記３－７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記移動体の少なくとも一部と前記ボールネジとを覆うアクチュエータハウジングを備え、
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記アクチュエータハウジングとの干渉を防止するように形成されている、付記３－１から付記３－７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0163】
［付記３－９］
前記移動体は、前記アクチュエータハウジングが有する隙間から外部に突出すると共に、前記移動体と共に移動するスライドテーブルを取り付けることが可能なテーブル取付け部を有し、
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記テーブル取付け部との干渉を防止するように形成されている、付記３－８に記載のアクチュエータ。
前記移動体は、前記アクチュエータハウジングが有する隙間から外部に突出すると共に、前記移動体と共に移動するスライドテーブルを取り付けることが可能なテーブル取付け部を有し、
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記テーブル取付け部との干渉を防止するように形成されている、付記３－８に記載のアクチュエータ。
【0164】
［付記３－１０］
前記第１中間サポートユニットは、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを、前記第１連結部材と共に連結する第３連結部材を有し、
前記アクチュエータは、前記移動体に設けられ、前記第３連結部材と少なくとも前記移動体との干渉を防止するための第２干渉防止部材を備える、付記３－１から付記３－９のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１中間サポートユニットは、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを、前記第１連結部材と共に連結する第３連結部材を有し、
前記アクチュエータは、前記移動体に設けられ、前記第３連結部材と少なくとも前記移動体との干渉を防止するための第２干渉防止部材を備える、付記３－１から付記３－９のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0165】
［付記３－１１］
前記第１干渉防止部材は、前記第２干渉防止部材と一体に形成されることで、一つの干渉防止部材ユニットとして構成されている、付記３－１０に記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第２干渉防止部材と一体に形成されることで、一つの干渉防止部材ユニットとして構成されている、付記３－１０に記載のアクチュエータ。
【0166】
［付記３－１２］
前記移動体に取り付けられると共に、前記干渉防止部材ユニットが取り付けられているユニット用ベースと、
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の一方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている一方側の衝撃緩和部材と、
を備え、
前記干渉防止部材ユニット、前記ユニット用ベース、及び前記一方側の衝撃緩和部材は、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１１に記載のアクチュエータ。
前記移動体に取り付けられると共に、前記干渉防止部材ユニットが取り付けられているユニット用ベースと、
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の一方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている一方側の衝撃緩和部材と、
を備え、
前記干渉防止部材ユニット、前記ユニット用ベース、及び前記一方側の衝撃緩和部材は、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１１に記載のアクチュエータ。
【0167】
［付記３－１３］
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の他方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている他方側の衝撃緩和部材を備え、
前記他方側の衝撃緩和部材は、前記干渉防止部材ユニットと共に、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１２に記載のアクチュエータ。
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の他方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている他方側の衝撃緩和部材を備え、
前記他方側の衝撃緩和部材は、前記干渉防止部材ユニットと共に、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１２に記載のアクチュエータ。
【0168】
［付記３－１４］
前記第１中間サポートユニットは、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを、前記第１連結部材と共に連結する第３連結部材を有し、
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記第３連結部材との干渉を防止するように形成されている、付記３－１から付記３－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１中間サポートユニットは、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを、前記第１連結部材と共に連結する第３連結部材を有し、
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記第３連結部材との干渉を防止するように形成されている、付記３－１から付記３－３のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0169】
［付記３－１５］
前記移動体に取り付けられると共に、前記第１干渉防止部材が取り付けられているユニット用ベースと、
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の一方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている一方側の衝撃緩和部材と、
を備え、
前記第１干渉防止部材、前記ユニット用ベース、及び前記一方側の衝撃緩和部材は、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１４に記載のアクチュエータ。
前記移動体に取り付けられると共に、前記第１干渉防止部材が取り付けられているユニット用ベースと、
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の一方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている一方側の衝撃緩和部材と、
を備え、
前記第１干渉防止部材、前記ユニット用ベース、及び前記一方側の衝撃緩和部材は、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１４に記載のアクチュエータ。
【0170】
［付記３－１６］
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の他方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている他方側の衝撃緩和部材を備え、
前記他方側の衝撃緩和部材は、前記第１干渉防止部材と共に、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１５に記載のアクチュエータ。
前記ユニット用ベースに取り付けられ、前記移動体と前記第１の他方側中間サポート部材との当接の衝撃を吸収し、弾性の素材より形成されている他方側の衝撃緩和部材を備え、
前記他方側の衝撃緩和部材は、前記第１干渉防止部材と共に、前記移動体に対して、脱着可能な一つのユニットとして構成されている、付記３－１５に記載のアクチュエータ。
【0171】
［付記３－１７］
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動体に対して前記移動方向における他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
前記第１の一方側中間サポート部材に対して前記一方側に配置されている第２の一方側中間サポート部材と、前記第１の他方側中間サポート部材に対して前記他方側に配置されている第２の他方側中間サポート部材と、前記第２の一方側中間サポート部材と前記第２の他方側中間サポート部材とを連結する第２連結部材と、を有し、前記第１の一方側中間サポート部材が前記第２の一方側中間サポート部材に当接して、又は、前記第１の他方側中間サポート部材が前記第２の他方側中間サポート部材に当接して、前記第１中間サポートユニットと共に移動する第２中間サポートユニットと、
前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材の少なくとも一方に設けられ、前記第２連結部材と少なくとも前記移動体との干渉を防止するための第１干渉防止部材と、
を備える、アクチュエータ。
モータの回転軸の回転運動と共に回転運動を行うボールネジ軸と、前記ボールネジ軸の回転運動に伴って直線運動を行うボールネジナットと、を有するボールネジと、
前記ボールネジナットに接続され、前記ボールネジナットの前記直線運動と共に移動する移動体と、
前記移動体に対してその移動方向における一方側に配置されている第１の一方側中間サポート部材と、前記移動体に対して前記移動方向における他方側に配置されている第１の他方側中間サポート部材と、前記第１の一方側中間サポート部材と前記第１の他方側中間サポート部材とを連結する第１連結部材と、を有し、前記移動体が、前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材のいずれかに当接して、前記移動体と共に移動する第１中間サポートユニットと、
前記第１の一方側中間サポート部材に対して前記一方側に配置されている第２の一方側中間サポート部材と、前記第１の他方側中間サポート部材に対して前記他方側に配置されている第２の他方側中間サポート部材と、前記第２の一方側中間サポート部材と前記第２の他方側中間サポート部材とを連結する第２連結部材と、を有し、前記第１の一方側中間サポート部材が前記第２の一方側中間サポート部材に当接して、又は、前記第１の他方側中間サポート部材が前記第２の他方側中間サポート部材に当接して、前記第１中間サポートユニットと共に移動する第２中間サポートユニットと、
前記第１の一方側中間サポート部材及び前記第１の他方側中間サポート部材の少なくとも一方に設けられ、前記第２連結部材と少なくとも前記移動体との干渉を防止するための第１干渉防止部材と、
を備える、アクチュエータ。
【0172】
［付記３－１８］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側に形成されている第１部分を有する、付記３－１７に記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側に形成されている第１部分を有する、付記３－１７に記載のアクチュエータ。
【0173】
［付記３－１９］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側とは反対側に形成されている第２部分を有する、付記３－１７又は付記３－１８に記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記移動体が設けられている側とは反対側に形成されている第２部分を有する、付記３－１７又は付記３－１８に記載のアクチュエータ。
【0174】
［付記３－２０］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記第２連結部材との間に形成されている第３部分を有する、付記３－１７から付記３－１９のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材と前記第２連結部材との間に形成されている第３部分を有する、付記３－１７から付記３－１９のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0175】
［付記３－２１］
前記第１干渉防止部材は、前記第２連結部材から視て前記第１連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第４部分を有する、付記３－１７から付記３－２０のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第２連結部材から視て前記第１連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第４部分を有する、付記３－１７から付記３－２０のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0176】
［付記３－２２］
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記第２連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第５部分を有する、付記３－１７から付記３－２１のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１干渉防止部材は、前記第１連結部材から視て前記第２連結部材が設けられている側とは反対側に形成されている第５部分を有する、付記３－１７から付記３－２１のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0177】
［付記３－２３］
前記回転軸を有する前記モータを備える、付記３－１から付記３－２２のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記回転軸を有する前記モータを備える、付記３－１から付記３－２２のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
【0178】
（付記３に係る発明の効果）
付記３に係る発明に係るアクチュエータは、第１連結部材と少なくとも移動体との干渉を防止するための第１干渉防止部材を備える。これにより、連結部材との干渉に起因して、移動体の移動が阻害されることないため、移動体を円滑に移動することができるアクチュエータを提供することができる。
付記３に係る発明に係るアクチュエータは、第１連結部材と少なくとも移動体との干渉を防止するための第１干渉防止部材を備える。これにより、連結部材との干渉に起因して、移動体の移動が阻害されることないため、移動体を円滑に移動することができるアクチュエータを提供することができる。
【0179】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施の形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【0180】
１，２，３，４，５，６，７，８，９Ａ，９Ｂ，１００，２００，２０１：アクチュエータ
１０：モータ
１０ａ：出力軸（回転軸）
１０ｂ，２３：カップリング
１１：モータ本体
１２：モータカバー
１２ｃ：エンドカバー
１３：制御基板
１４：エンコーダ
２０：ボールネジ
２１：ボールネジ軸
２１ａ，２１ｂ：小径部
２２：ボールネジナット
３０：アクチュエータハウジング
３１：ベース
３１Ｒ，３１Ｌ：側壁部分
３１ａ：底部分
３１ｂ：転動体用ガイドレール
３１ｃ：溝
３１ｄ：孔
３２：メインカバー（スクリューカバー）
３３：フロントブラケット
３４：リアブラケット
３４ａ：ベアリング
３４ｂ：貫通孔
３５：連結部分カバー
３６：隙間
３７，３８：衝撃緩和部材
４０：移動体
４０ａ：貫通孔
４０ｂ：上面
４１：テーブル取付け部
４２，４３：被当接部分
５０：第１中間サポートユニット
５１：第１の一方側中間サポート部材
５１－１：本体部（第１本体部）
５１－１ａ：貫通孔（第１貫通孔）
５１－１ｂ：切欠き部（第１切欠き部）
５１－２：スライドブッシュ（円筒部材）
５１－３：スライドブッシュサポート（固定部材）
５１－３ａ：孔（円筒部材用孔）
５１－４ａ：ローラ（転動部材）
５１－４ｂ，５１－４ｃ：ローラ
５１－５：アジャストプレート
５１－６：被嵌め込み部
５２：第１の他方側中間サポート部材
５２－１：本体部（第２本体部）
５２－１ａ：貫通孔（第２貫通孔）
５２－１ｂ：切欠き部（第２切欠き部）
５２－２：スライドブッシュ（円筒部材）
５２－３：スライドブッシュサポート（固定部材）
５２－４ａ：ローラ（転動部材）
５２－４ｂ，５２－４ｃ：ローラ
５２－５：アジャストプレート
５２－６：被嵌め込み部
５３：連結部材（第１連結部材）
５４：連結部材（第３連結部材）
６０：第２中間サポートユニット
６１：第２の一方側中間サポート部材
６１－１：本体部
６１－１ａ：貫通孔
６１－１ｂ：切欠き部
６１－２：スライドブッシュ
６１－３：スライドブッシュサポート
６１－４ａ：ローラ（転動部材）
６１－４ｂ，６１－４ｃ：ローラ
６１－５：アジャストプレート
６１－６：被嵌め込み部
６２：第２の他方側中間サポート部材
６２－１：本体部
６２－１ａ：貫通孔
６２－１ｂ：切欠き部
６２－２：スライドブッシュ
６２－３：スライドブッシュサポート
６２－４ａ：ローラ（転動部材）
６２－４ｂ，６２－４ｃ：ローラ
６２－５：アジャストプレート
６２－６：被嵌め込み部
６３：連結部材（第２連結部材）
６４：連結部材（第４連結部材）
７０：第１干渉防止部材
７０ａ：連結部材配置空間
７１：第１部分
７２：第２部分
７３：第３部分
７４：第４部分
７５：第５部分
７６：被嵌め込み部
８０：第２干渉防止部材
８０ａ：連結部材配置空間
８１：第１部分
８２：第２部分
８３：第３部分
８４：第４部分
８５：第５部分
９１，９２，９３，９４：衝撃緩和部材
９１－１，９２－１，９３－１，９４－１：衝撃緩和部材本体
９１－２，９２－２，９３－２，９４－２：基部
９１ａ，９２ａ，９３ａ，９４ａ：プレート
９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ，９４ｂ：留め具
９１ｃ：孔
９１ｄ：アーチ部分
９１ｅ：ブロック部分
１１０：干渉防止部材ユニット
１１０ａ：留め具
１１１：中央連結部分
１１２：突起
１１５：凸部
１２０：ユニット用ベース
１２１ａ，１２１ｂ：被嵌め込み部
１２２：貫通孔
１２３ａ，１２３ｂ：突出部
１２５：凹部
１３１：衝撃緩和部材（一方側の衝撃緩和部材）
１３１ａ，１３２ａ：プレート
１３１ｂ，１３２ｂ：留め具
１３２：衝撃緩和部材（他方側の衝撃緩和部材）
３００：ユニット
Ｔ：スライドテーブル
Ｄ１：移動方向
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３：支点間距離
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４：矢印
１０：モータ
１０ａ：出力軸（回転軸）
１０ｂ，２３：カップリング
１１：モータ本体
１２：モータカバー
１２ｃ：エンドカバー
１３：制御基板
１４：エンコーダ
２０：ボールネジ
２１：ボールネジ軸
２１ａ，２１ｂ：小径部
２２：ボールネジナット
３０：アクチュエータハウジング
３１：ベース
３１Ｒ，３１Ｌ：側壁部分
３１ａ：底部分
３１ｂ：転動体用ガイドレール
３１ｃ：溝
３１ｄ：孔
３２：メインカバー（スクリューカバー）
３３：フロントブラケット
３４：リアブラケット
３４ａ：ベアリング
３４ｂ：貫通孔
３５：連結部分カバー
３６：隙間
３７，３８：衝撃緩和部材
４０：移動体
４０ａ：貫通孔
４０ｂ：上面
４１：テーブル取付け部
４２，４３：被当接部分
５０：第１中間サポートユニット
５１：第１の一方側中間サポート部材
５１－１：本体部（第１本体部）
５１－１ａ：貫通孔（第１貫通孔）
５１－１ｂ：切欠き部（第１切欠き部）
５１－２：スライドブッシュ（円筒部材）
５１－３：スライドブッシュサポート（固定部材）
５１－３ａ：孔（円筒部材用孔）
５１－４ａ：ローラ（転動部材）
５１－４ｂ，５１－４ｃ：ローラ
５１－５：アジャストプレート
５１－６：被嵌め込み部
５２：第１の他方側中間サポート部材
５２－１：本体部（第２本体部）
５２－１ａ：貫通孔（第２貫通孔）
５２－１ｂ：切欠き部（第２切欠き部）
５２－２：スライドブッシュ（円筒部材）
５２－３：スライドブッシュサポート（固定部材）
５２－４ａ：ローラ（転動部材）
５２－４ｂ，５２－４ｃ：ローラ
５２－５：アジャストプレート
５２－６：被嵌め込み部
５３：連結部材（第１連結部材）
５４：連結部材（第３連結部材）
６０：第２中間サポートユニット
６１：第２の一方側中間サポート部材
６１－１：本体部
６１－１ａ：貫通孔
６１－１ｂ：切欠き部
６１－２：スライドブッシュ
６１－３：スライドブッシュサポート
６１－４ａ：ローラ（転動部材）
６１－４ｂ，６１－４ｃ：ローラ
６１－５：アジャストプレート
６１－６：被嵌め込み部
６２：第２の他方側中間サポート部材
６２－１：本体部
６２－１ａ：貫通孔
６２－１ｂ：切欠き部
６２－２：スライドブッシュ
６２－３：スライドブッシュサポート
６２－４ａ：ローラ（転動部材）
６２－４ｂ，６２－４ｃ：ローラ
６２－５：アジャストプレート
６２－６：被嵌め込み部
６３：連結部材（第２連結部材）
６４：連結部材（第４連結部材）
７０：第１干渉防止部材
７０ａ：連結部材配置空間
７１：第１部分
７２：第２部分
７３：第３部分
７４：第４部分
７５：第５部分
７６：被嵌め込み部
８０：第２干渉防止部材
８０ａ：連結部材配置空間
８１：第１部分
８２：第２部分
８３：第３部分
８４：第４部分
８５：第５部分
９１，９２，９３，９４：衝撃緩和部材
９１－１，９２－１，９３－１，９４－１：衝撃緩和部材本体
９１－２，９２－２，９３－２，９４－２：基部
９１ａ，９２ａ，９３ａ，９４ａ：プレート
９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ，９４ｂ：留め具
９１ｃ：孔
９１ｄ：アーチ部分
９１ｅ：ブロック部分
１１０：干渉防止部材ユニット
１１０ａ：留め具
１１１：中央連結部分
１１２：突起
１１５：凸部
１２０：ユニット用ベース
１２１ａ，１２１ｂ：被嵌め込み部
１２２：貫通孔
１２３ａ，１２３ｂ：突出部
１２５：凹部
１３１：衝撃緩和部材（一方側の衝撃緩和部材）
１３１ａ，１３２ａ：プレート
１３１ｂ，１３２ｂ：留め具
１３２：衝撃緩和部材（他方側の衝撃緩和部材）
３００：ユニット
Ｔ：スライドテーブル
Ｄ１：移動方向
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３：支点間距離
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４：矢印
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】
【図43】
【図44】
【図45】
【図46】
【図47】
【図48】