特開 2024-96836 ベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024096836

(43)【公開日】2024-07-17

(54)【発明の名称】ベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器

(51)【国際特許分類】

   F28D 15/02 20060101AFI20240709BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240709BHJP

   H01L 23/427 20060101ALI20240709BHJP

【ＦＩ】

F28D15/02 101H

F28D15/02 102B

H01L21/68 A

H01L23/46 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024062943

(22)【出願日】2024-04-09

(62)【分割の表示】P 2023500945の分割

【原出願日】2022-02-18

(31)【優先権主張番号】P 2021024532

(32)【優先日】2021-02-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2021024553

(32)【優先日】2021-02-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000002897

【氏名又は名称】大日本印刷株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100198029

【弁理士】

【氏名又は名称】綿貫 力

(72)【発明者】

【氏名】小田 和範

(72)【発明者】

【氏名】太田 貴之

(72)【発明者】

【氏名】高橋 伸一郎

(72)【発明者】

【氏名】武田 利彦

(72)【発明者】

【氏名】小澤 昂平

(72)【発明者】

【氏名】小井 浩司

(57)【要約】      （修正有）

【課題】本開示は、ベーパーチャンバの搬送性を向上させることができるベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバ、および電子機器を提供する。
【解決手段】ベーパーチャンバ１は、第１本体面３１ａと、第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面３１ｂと、を有する本体シートと、本体シートの第１本体面に設けられた空間部５０と、本体シートの第１本体面に積層されて空間部を覆う第１シートと、平面視において、本体シートまたは第１シートの外周縁よりも空間部の側に引き込まれた引込部と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有する本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に設けられた空間部と、
前記本体シートの前記第１本体面に積層されて前記空間部を覆う第１シートと、
平面視において、前記本体シートまたは前記第１シートの外周縁よりも前記空間部の側に引き込まれた引込部と、を備える、ベーパーチャンバ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバおよび電子機器に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却される（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプより薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動流体が封入されており、ベーパーチャンバは、この作動流体がデバイスの熱を吸収して拡散することにより、デバイスを冷却する。

【0003】

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気（作動蒸気）になる。その作動蒸気は、蒸気流路部内で蒸発部から離れる方向に拡散して冷却され、凝縮して液体になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられており、作動流体の液体（作動液）は、蒸気流路部から液流路部に入り込み、液流路部を流れて蒸発部に向かって輸送される。そして、作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－８２６９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

製造されたベーパーチャンバは、所定の場所に載置されて保管される。その後、ベーパーチャンバは、出荷時やデバイスへの装着時に、載置場所から取り出されて搬送される。

【0006】

しかしながら、ベーパーチャンバは薄型化されているとともに、ベーパーチャンバの側面は垂直に形成されており、搬送時に掴む部分も設けられていない。このため、ベーパーチャンバを搬送することが困難な場合がある。

【0007】

本開示は、このような点を考慮し、ベーパーチャンバの搬送性を向上させることができるベーパーチャンバ用の本体シート、ベーパーチャンバ、および電子機器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の第１の形態は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有する本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に設けられた空間部と、
前記本体シートの前記第１本体面に積層されて前記空間部を覆う第１シートと、
平面視において、前記本体シートまたは前記第１シートの外周縁よりも前記空間部の側に引き込まれた引込部と、を備える、ベーパーチャンバである。

【0009】

本開示の第２の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、前記第１シートに設けられた第１引込部であって、平面視において、前記本体シートの外周縁よりも前記空間部の側に引き込まれた第１引込部を含んでいてもよい。

【0010】

本開示の第３の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、前記本体シートに設けられた本体シート引込部であって、平面視において、前記第１シートの外周縁よりも前記空間部の側に引き込まれた本体シート引込部を含んでいてもよい。

【0011】

本開示の第４の態様は、上述した第１の態様から上述した第３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、平面視において、第１方向に延びる一対の第１側縁と、前記第１方向に直交する第２方向に延びる一対の第２側縁と、を有していてもよく、
前記引込部は、一対の前記第１側縁および一対の前記第２側縁にそれぞれ設けられていてもよい。

【0012】

本開示の第５の態様は、上述した第１の態様から上述した第３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、平面視において、第１方向に延びる一対の第１側縁と、前記第１方向に直交する第２方向に延びる一対の第２側縁と、を有していてもよく、
前記引込部は、一対の前記第１側縁のうちの少なくとも一方に設けられていてもよい。

【0013】

本開示の第６の態様は、上述した第５の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、一対の前記第１側縁の両方にそれぞれ設けられていてもよい。

【0014】

本開示の第７の態様は、上述した第５の態様および上述した第６の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、前記第１側縁の一部に設けられていてもよい。

【0015】

本開示の第８の態様は、上述した第５の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、一対の前記第１側縁のうちの一方に設けられるとともに、一対の前記第２側縁のうちの一方にも設けられていてもよい。

【0016】

本開示の第９の態様は、上述した第１の態様から上述した第８の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、平面視において、前記本体シートの外周縁から１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。

【0017】

本開示の第１０の態様は、上述した第１の態様から上述した第９の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、平面視において、前記空間部から３０μｍ以上離れた位置に設けられていてもよい。

【0018】

本開示の第１１の態様は、上述した第１の態様から上述した第１０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートの前記第２本体面に積層された第２シートを備え、
前記空間部は、前記第１本体面から前記第２本体面に貫通しており、
前記第２シートは、前記第２本体面において前記空間部を覆っており、
前記引込部は、前記第２シートに設けられた第２引込部であって、平面視において、前記本体シートの外周縁よりも前記空間部の側に引き込まれた第２引込部を含んでいてもよい。

【0019】

本開示の第１２の態様は、
作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有する本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に設けられた空間部と、
前記本体シートの前記第１本体面に積層されて前記空間部を覆う第１シートと、
前記本体シートおよび前記第１シートを貫通した貫通穴と、
平面視において、前記本体シートまたは前記第１シートの前記貫通穴を画定する内周縁よりも前記貫通穴とは反対側に引き込まれた引込部と、を備える、ベーパーチャンバである。

【0020】

本開示の第１３の態様は、上述した第１２の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、前記第１シートに設けられた第１引込部であって、平面視において、前記本体シートの前記貫通穴を画定する内周縁よりも前記貫通穴とは反対側に引き込まれた第１引込部を含んでいてもよい。

【0021】

本開示の第１４の態様は、上述した第１２の態様および上述した第１３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートの前記第２本体面に積層された第２シートを備え、
前記空間部は、前記第１本体面から前記第２本体面に貫通しており、
前記第２シートは、前記第２本体面において前記空間部を覆っており、
前記貫通穴は、前記本体シート、前記第１シートおよび前記第２シートを貫通しており、
前記引込部は、前記第２シートに設けられた第２引込部であって、平面視において、前記本体シートの前記貫通穴を画定する内周縁よりも前記貫通穴とは反対側に引き込まれた第２引込部を含んでいてもよい。

【0022】

本開示の第１５の態様は、上述した第１２の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記引込部は、前記本体シートに設けられた本体シート引込部であって、平面視において、前記第１シートの前記貫通穴を画定する内周縁よりも前記貫通穴とは反対側に引き込まれた本体シート引込部を含んでいてもよい。

【0023】

本開示の第１６の態様は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスと熱的に接触した、上述した第１の態様から上述した第１５の態様のいずれかによるベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。

【0024】

本開示の第１７の態様は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバ用の本体シートであって、
第１本体面と、
前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、
前記第１本体面に設けられた空間部と、
平面視における外周縁と、
厚さ方向に沿った断面視において、前記外周縁から前記空間部の側に引き込まれた引込部と、を備える、ベーパーチャンバ用の本体シートである。

【0025】

本開示の第１８の態様は、上述した第１７の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記断面視において、前記引込部は、前記外周縁から延びる引込縁を有していてもよく、
前記外周縁は、前記第２本体面の側に位置していてもよく、
前記引込縁は、前記外周縁から前記第１本体面に延びていてもよく、
前記引込縁は、前記空間部の側に向かって凹状に湾曲していてもよい。

【0026】

本開示の第１９の態様は、上述した第１７の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記断面視において、前記引込部は、前記外周縁から延びる引込縁を有していてもよく、
前記外周縁は、前記第２本体面の側に位置していてもよく、
前記引込縁は、前記外周縁から前記第１本体面に延びていてもよく、
前記引込縁は、前記厚さ方向に対して傾斜していてもよい。

【0027】

本開示の第２０の態様は、上述した第１７の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記断面視において、前記引込部は、前記外周縁から延びる引込縁を有していてもよく、
前記外周縁は、前記第２本体面の側に位置していてもよく、
前記引込縁は、前記外周縁から前記第１本体面に延びていてもよく、
前記引込縁は、前記空間部とは反対側に向かって凸状に湾曲していてもよい。

【0028】

本開示の第２１の態様は、上述した第１８の態様から上述した第２０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記引込縁は、前記第１本体面に近づくにつれて前記空間部に近づくように形成されていてもよい。

【0029】

本開示の第２２の態様は、上述した第１７の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記断面視において、前記引込部は、前記外周縁から延びる引込縁を有していてもよく、
前記外周縁は、前記第２本体面の側に位置していてもよく、
前記引込縁は、前記第１本体面から前記第２本体面の側に向かって延びる第１引込縁と、前記第２本体面から前記第１本体面の側に向かって延びる第２引込縁と、前記第１引込縁と前記第２引込縁とを接続する段差接続縁と、を含んでいてもよい。

【0030】

本開示の第２３の態様は、上述した第１８の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記引込縁は、前記外周縁から中継点を通って前記第１本体面に延びていてもよく、
前記引込縁は、前記外周縁から前記中継点に近づくにつれて前記空間部に近づくように形成されるとともに、前記中継点から前記第１本体面に近づくにつれて前記空間部から遠ざかるように形成されていてもよい。

【0031】

本開示の第２４の態様は、上述した第１７の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記引込部は、前記第１本体面の側に設けられた第１本体面側引込部と、前記第２本体面の側に設けられた第２本体面側引込部と、を含んでいてもよく、
前記外周縁は、前記第１本体面と前記第２本体面との間に位置していてもよい。

【0032】

本開示の第２５の態様は、上述した第２４の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記断面視において、前記第１本体面側引込部は、前記外周縁から前記第１本体面に延びる第１本体面側引込縁を有していてもよく、
前記第１本体面側引込縁は、前記第１本体面に近づくにつれて前記空間部に近づくように前記空間部の側に向かって凹状に湾曲していてもよく、
前記断面視において、前記第２本体面側引込部は、前記外周縁から前記第２本体面に延びる第２本体面側引込縁を有していてもよく、
前記第２本体面側引込縁は、前記第２本体面に近づくにつれて前記空間部に近づくように前記空間部の側に向かって凹状に湾曲していてもよい。

【0033】

本開示の第２６の態様は、上述した第１７の態様から上述した第２５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記平面視において、前記外周縁は、第１方向に延びる一対の第１側縁と、前記第１方向に直交する第２方向に延びる一対の第２側縁と、を有していてもよく、
前記引込部は、一対の前記第１側縁および一対の前記第２側縁からそれぞれ引き込まれていてもよい。

【0034】

本開示の第２７の態様は、上述した第１７の態様から上述した第２５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記平面視において、前記外周縁は、第１方向に延びる一対の第１側縁と、前記第１方向に直交する第２方向に延びる一対の第２側縁と、を有していてもよく、
前記引込部は、一対の前記第１側縁のうちの少なくとも一方から引き込まれていてもよい。

【0035】

本開示の第２８の態様は、上述した第２７の態様によるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記引込部は、一対の前記第１側縁のうちの一方から引き込まれるとともに、一対の前記第２側縁のうちの一方からも引き込まれていてもよい。

【0036】

本開示の第２９の態様は、上述した第２６の態様から上述した第２８の態様のそれぞれによるベーパーチャンバ用の本体シートにおいて、
前記引込部は、前記第１側縁の一部から引き込まれていてもよい。

【0037】

本開示の第３０の態様は、
上述した第１７の態様から上述した第２９の態様のいずれかによるベーパーチャンバ用の本体シートと、
前記第１本体面に積層されて前記空間部を覆う第１シートと、を備える、ベーパーチャンバである。

【0038】

本開示の第３１の態様は、上述した第３０の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第２本体面に積層された第２シートを備えていてもよく、
前記空間部は、前記第１本体面から前記第２本体面に貫通していてもよく、
前記第２シートは、前記第２本体面において前記空間部を覆っていてもよい。

【0039】

本開示の第３２の態様は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスと熱的に接触した、上述した第２９の態様または上述した第３０の態様によるベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。

【発明の効果】

【0040】

本開示によれば、ベーパーチャンバの搬送性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】図１は、第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。

【図2】図２は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。

【図3】図３は、図２のＡ－Ａ線断面図である。

【図4】図４は、図３の下側シートの上面図である。

【図5】図５は、図３の上側シートの下面図である。

【図6】図６は、図３のウィックシートの上面図である。

【図7】図７は、図３の部分拡大断面図である。

【図8】図８は、図７に示す液流路部の部分拡大下面図である。

【図9】図９は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、材料シート準備工程を説明するための図である。

【図10】図１０は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、エッチング工程を説明するための図である。

【図11】図１１は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。

【図12】図１２は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法により製造されたベーパーチャンバが互いに積み重ねられて載置された状態を示す図である。

【図13】図１３は、図１２のベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図であって、吊下げ装置の爪部を下側シート引込部に入り込ませた状態を示す図である。

【図14】図１４は、図１２のベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図であって、ベーパーチャンバが吊下げ装置により吊り下げられた状態を示す図である。

【図15】図１５は、一般的なベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図である。

【図16】図１６は、図２の一変形例（第１変形例）である。

【図17】図１７は、図１６のＢ－Ｂ線断面図である。

【図18】図１８は、図２の一変形例（第２変形例）である。

【図19】図１９は、図２の一変形例（第３変形例）である。

【図20】図２０は、図２の一変形例（第４変形例）である。

【図21】図２１は、図３の一変形例（第５変形例）である。

【図22】図２２は、図３の一変形例（第６変形例）である。

【図23】図２３は、図３の一変形例（第７変形例）である。

【図24】図２４は、図２の一変形例（第８変形例）である。

【図25】図２５は、図２４のＣ－Ｃ線断面図である。

【図26】図２６は、図２５のベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図である。

【図27】図２７は、図３の一変形例（第９変形例）である。

【図28】図２８は、第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。

【図29】図２９は、図２８のＡ’－Ａ’線断面図である。

【図30】図３０は、図２９のベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図である。

【図31】図３１は、図２９の一変形例（第５変形例）である。

【図32】図３２は、図２８の一変形例（第８変形例）である。

【図33】図３３は、図３２のＣ’－Ｃ’線断面図である。

【図34】図３４は、図３３のベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図である。

【図35】図３５は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。

【図36】図３６は、図３５のＡＡ－ＡＡ線断面図である。

【図37】図３７は、図３６の下側シートの上面図である。

【図38】図３８は、図３６の上側シートの下面図である。

【図39】図３９は、図３６のウィックシートの上面図である。

【図40】図４０は、図３６の部分拡大断面図である。

【図41】図４１は、図４０に示す液流路部の部分拡大下面図である。

【図42】図４２は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、材料シート準備工程を説明するための図である。

【図43】図４３は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、エッチング工程を説明するための図である。

【図44】図４４は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。

【図45】図４５は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法により製造されたベーパーチャンバが互いに積み重ねられて載置された状態を示す図である。

【図46】図４６は、図４５のベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図であって、吊下げ装置の爪部を引込部に係合させた状態を示す図である。

【図47】図４７は、図４５のベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図であって、ベーパーチャンバが吊下げ装置により吊り下げられた状態を示す図である。

【図48】図４８は、一般的なベーパーチャンバの搬送方法を説明するための図である。

【図49】図４９は、図３６の一変形例（第１変形例）である。

【図50】図５０は、図３６の一変形例（第２変形例）である。

【図51】図５１は、図３６の一変形例（第３変形例）である。

【図52】図５２は、図３６の一変形例（第４変形例）である。

【図53】図５３は、図３６の一変形例（第５変形例）である。

【図54】図５４は、図３５の一変形例（第６変形例）である。

【図55】図５５は、図５４のＢＢ－ＢＢ線断面図である。

【図56】図５６は、図３５の一変形例（第７変形例）である。

【図57】図５７は、図３５の一変形例（第８変形例）である。

【図58】図５８は、図３６の一変形例（第１０変形例）である。

【発明を実施するための形態】

【0042】

以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

【0043】

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。更に、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。そして、部材同士が接合することにより、境界線が喪失される場合もあり得る。

【0044】

（第１の実施の形態）
図１～図８を用いて、第１の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末やタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイスが挙げられる。

【0045】

ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

【0046】

次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を有している。密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、およびそれらの混合液が挙げられる。

【0047】

図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート）と、上側シート２０（第２シート）と、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されたベーパーチャンバ用のウィックシート３０（本体シート）と、を備えている。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１は、１つのウィックシート３０を備えている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０が、この順番で積層されて接合されている。

【0048】

ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、Ｘ方向を長手方向とする矩形状である例について説明する。なお、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状など、任意の形状とすることができる。

【0049】

図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。

【0050】

蒸発領域ＳＲは、平面視でデバイスＤと重なる領域であり、デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１の任意の場所に配置することができる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図２における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲにデバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動流体の液体（適宜、作動液２ｂと記す）が蒸発領域ＳＲにおいて蒸発する。デバイスＤからの熱は、平面視でデバイスＤに重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側シート１０の後述する第１下側シート面１０ａ）および受けた熱を放出する面（上側シート２０の後述する第２上側シート面２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態に相当している。

【0051】

凝縮領域ＣＲは、平面視でデバイスＤと重ならない領域であって、主として作動流体の蒸気（適宜、作動蒸気２ａと記す）が熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域と言うこともできる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における他側（図２における右側）に、凝縮領域ＣＲが形成されている。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が上側シート２０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。

【0052】

なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受けるシートを上述の下側シート１０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の上側シート２０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、以下説明する。

【0053】

まず、下側シート１０について説明する。

【0054】

図３に示すように、下側シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に設けられた第１下側シート面１０ａと、第１下側シート面１０ａとは反対側（すなわちウィックシート３０の側）に設けられた第２下側シート面１０ｂと、を有している。下側シート１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第１下側シート面１０ａに、上述のデバイスＤが取り付けられる。

【0055】

図４に示すように、下側シート１０の平面形状は、全体的に矩形状を有していてもよい。より具体的には、下側シート１０は、平面視において、Ｘ方向（第１方向）に延びる一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂ（第１側縁）と、Ｘ方向に直交するＹ方向（第２方向）に延びる一対の短手方向側縁１１ｃ、１１ｄ（第２側縁）と、を有していてもよい。一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂは、Ｙ方向における両側に設けられている。長手方向側縁１１ａは、Ｙ方向における一側（図４における下側）に設けられ、長手方向側縁１１ｂは、Ｙ方向における他側（図４における上側）に設けられている。一対の短手方向側縁１１ｃ、１１ｄは、Ｘ方向における両側に設けられている。短手方向側縁１１ｃは、Ｘ方向における一側（図４における左側）に設けられ、短手方向側縁１１ｄは、Ｘ方向における他側（図４における右側）に設けられている。後述するように、下側シート１０は、平面視において、全体的にウィックシート３０よりも小さく形成されている。このため、下側シート１０の外周縁１１ｏ、すなわち一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂおよび一対の短手方向側縁１１ｃ、１１ｄには、それぞれ後述する下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ（第１引込部）が設けられている。

【0056】

図４に示すように、下側シート１０は、矩形状の下側シート本体１１と、下側シート本体１１から外側に突出した下側シート注入突出部１３と、を有していてもよい。図４に示す例においては、下側シート注入突出部１３は、短手方向側縁１１ｃに設けられており、短手方向側縁１１ｃからＸ方向における一側（図４における左側）に突出している。

【0057】

また、図４に示すように、下側シート１０の下側シート本体１１の四隅に、アライメント孔１２が設けられていてもよい。図４に示す例においては、アライメント孔１２の平面形状は円形であるが、これに限られることはない。アライメント孔１２は、下側シート本体１１を貫通していてもよい。

【0058】

次に、上側シート２０について説明する。

【0059】

図３に示すように、上側シート２０は、ウィックシート３０の側に設けられた第１上側シート面２０ａと、第１上側シート面２０ａとは反対側に設けられた第２上側シート面２０ｂと、を有している。上側シート２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第２上側シート面２０ｂに、モバイル端末等のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第２上側シート面２０ｂの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。

【0060】

図５に示すように、上側シート２０の平面形状は、全体的に矩形状を有していてもよい。より具体的には、上側シート２０は、平面視において、Ｘ方向に延びる一対の長手方向側縁２１ａ、２１ｂと、Ｙ方向に延びる一対の短手方向側縁２１ｃ、２１ｄと、を有していてもよい。一対の長手方向側縁２１ａ、２１ｂは、Ｙ方向における両側に設けられている。長手方向側縁２１ａは、Ｙ方向における一側（図５における下側）に設けられ、長手方向側縁２１ｂは、Ｙ方向における他側（図５における上側）に設けられている。一対の短手方向側縁２１ｃ、２１ｄは、Ｘ方向における両側に設けられている。短手方向側縁２１ｃは、Ｘ方向における一側（図５における左側）に設けられ、短手方向側縁２１ｄは、Ｘ方向における他側（図５における右側）に設けられている。後述するように、上側シート２０は、平面視において、全体的にウィックシート３０よりも小さく形成されている。このため、上側シート２０の外周縁２１ｏ、すなわち一対の長手方向側縁２１ａ、２１ｂおよび一対の短手方向側縁２１ｃ、２１ｄには、それぞれ後述する上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ（第２引込部）が設けられている。

【0061】

図５に示すように、上側シート２０は、矩形状の上側シート本体２１と、上側シート本体２１から外側に突出した上側シート注入突出部２３と、を有していてもよい。図５に示す例においては、上側シート注入突出部２３は、短手方向側縁２１ｃに設けられており、短手方向側縁２１ｃからＸ方向における一側（図５における左側）に突出している。

【0062】

また、図５に示すように、上側シート２０の上側シート本体２１の四隅に、アライメント孔２２が設けられていてもよい。図５に示す例においては、アライメント孔２２の平面形状は円形であるが、これに限られることはない。アライメント孔１２は、上側シート本体２１を貫通していてもよい。

【0063】

次に、ウィックシート３０について説明する。

【0064】

図３に示すように、ウィックシート３０は、シート本体３１と、シート本体３１に設けられた蒸気流路部５０（空間部）と、を備えている。シート本体３１は、第１本体面３１ａと、第１本体面３１ａとは反対側に設けられた第２本体面３１ｂと、を有している。第１本体面３１ａは、下側シート１０の側に配置されており、第２本体面３１ｂは、上側シート２０の側に配置されている。

【0065】

下側シート１０の第２下側シート面１０ｂとシート本体３１の第１本体面３１ａとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート２０の第１上側シート面２０ａとシート本体３１の第２本体面３１ｂとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。熱圧着による接合の例としては、例えば、拡散接合を挙げることができる。しかしながら、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１０とウィックシート３０との接合を維持できるとともに、上側シート２０とウィックシート３０との接合を維持できる程度に接合されていることを意味する用語として用いている。

【0066】

図６に示すように、平面視において、ウィックシート３０の外形形状は、全体的に矩形状を有していてもよい。より具体的には、ウィックシート３０は、平面視において、Ｘ方向に延びる一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂと、Ｙ方向に延びる一対の短手方向側縁３２ｃ、３２ｄと、を有していてもよい。一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂは、Ｙ方向における両側に設けられている。長手方向側縁３２ａは、Ｙ方向における一側（図６における下側）に設けられ、長手方向側縁３２ｂは、Ｙ方向における他側（図６における上側）に設けられている。一対の短手方向側縁３２ｃ、３２ｄは、Ｘ方向における両側に設けられている。短手方向側縁３２ｃは、Ｘ方向における一側（図６における左側）に設けられ、短手方向側縁３２ｄは、Ｘ方向における他側（図６における右側）に設けられている。

【0067】

図６に示すように、ウィックシート３０は、枠体部３２から外側に突出したウィックシート注入突出部３６を有していてもよい。図６に示す例においては、ウィックシート注入突出部３６は、短手方向側縁３２ｃに設けられており、短手方向側縁３２ｃからＸ方向における一側（図６における左側）に突出している。

【0068】

また、図６に示すように、ウィックシート３０のシート本体３１の四隅に、アライメント孔３５が設けられていてもよい。図６に示す例においては、アライメント孔３５の平面形状は円形であるが、これに限られることはない。アライメント孔３５は、シート本体３１を貫通していてもよい。

【0069】

本実施の形態によるウィックシート３０のシート本体３１は、図３および図６に示すように、平面視で矩形枠状に形成された枠体部３２と、枠体部３２内に設けられた複数のランド部３３と、を有している。枠体部３２およびランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。

【0070】

本実施の形態では、枠体部３２は、平面視で、矩形枠状に形成されている。この枠体部３２の内側に、蒸気流路部５０（空間部）が設けられている。各ランド部３３は、蒸気流路部５０に設けられており、各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。すなわち、蒸気流路部５０は、上述した複数のランド部３３と、各ランド部３３の周囲に設けられた、作動蒸気２ａが流れる通路である後述する蒸気通路５１、５２と、を含んでいる。

【0071】

本実施の形態では、ランド部３３は、平面視で、Ｘ方向（図６における左右方向）を長手方向として細長状に延びていてもよく、ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。また、各ランド部３３は、Ｘ方向に直交するＹ方向（図６における上下方向）において等間隔に離間して、互いに平行に配置されていてもよい。ランド部３３の幅ｗ１（図７参照）は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、Ｙ方向におけるランド部３３の寸法であって、Ｚ方向において後述する貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。ここで、Ｚ方向は、図３および図７における上下方向に相当しており、ウィックシート３０の厚さ方向に相当している。

【0072】

枠体部３２および各ランド部３３は、下側シート１０に熱圧着により接合されるとともに、上側シート２０に熱圧着により接合されている。後述する下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。シート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂは、枠体部３２および各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

【0073】

蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。蒸気流路部５０には、作動液２ｂも通ってもよい。図３および図７に示すように、蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに貫通していてもよい。すなわち、ウィックシート３０のシート本体３１を貫通していてもよい。蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａにおいて下側シート１０で覆われていてもよく、第２本体面３１ｂにおいて上側シート２０で覆われていてもよい。

【0074】

図６に示すように、本実施の形態における蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とを有している。第１蒸気通路５１は、枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。この第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合うランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっている。複数のランド部３３によって、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とに区画されている。

【0075】

図３に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、シート本体３１の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに貫通している。すなわち、Ｚ方向においてウィックシート３０を貫通している。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、第１本体面３１ａに設けられた下側蒸気流路凹部５３と、第２本体面３１ｂに設けられた上側蒸気流路凹部５４とによってそれぞれ構成されている。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通して、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂにわたって延びるように形成されている。

【0076】

下側蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３１ａからエッチングされることによって、第１本体面３１ａに凹状に形成されている。このことにより、下側蒸気流路凹部５３は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面５３ａを有している。この壁面５３ａは、下側蒸気流路凹部５３を画定し、図７に示す断面において、第２本体面３１ｂに向かって進むにつれて、対向する壁面５３ａに近づくように湾曲している。このような下側蒸気流路凹部５３は、第１蒸気通路５１の一部（下半分）および第２蒸気通路５２の一部（下半分）を構成している。

【0077】

上側蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂからエッチングされることによって、第２本体面３１ｂに凹状に形成されている。このことにより、上側蒸気流路凹部５４は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面５４ａを有している。この壁面５４ａは、上側蒸気流路凹部５４を画定し、図７に示す断面において、第１本体面３１ａに向かって進むにつれて、対向する壁面５４ａに近づくように湾曲している。このような上側蒸気流路凹部５４は、第１蒸気通路５１の一部（上半分）および第２蒸気通路５２の一部（上半分）を構成している。

【0078】

図７に示すように、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが連接して貫通部３４が形成されている。壁面５３ａと壁面５４ａはそれぞれ貫通部３４に向かって湾曲している。このことにより、下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが互いに連通している。本実施の形態では、第１蒸気通路５１における貫通部３４の平面形状は、第１蒸気通路５１と同様に矩形枠状になっており、第２蒸気通路５２における貫通部３４の平面形状は、第２蒸気通路５２と同様に細長の矩形形状になっている。貫通部３４は、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが合流し、内側に張り出すように形成された稜線によって画定されていてもよい。この貫通部３４において蒸気流路部５０の平面面積が最小になっている。このような貫通部３４の幅ｗ２，ｗ２’（図７参照）は、例えば、４００μｍ～１６００μｍであってもよい。ここで、貫通部３４の幅ｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップに相当する。また、貫通部３４の幅ｗ２’は、Ｙ方向（またはＸ方向）における枠体部３２とランド部３３との間のギャップに相当する。

【0079】

Ｚ方向における貫通部３４の位置は、第１本体面３１ａと第２本体面３１ｂとの中間位置でもよく、中間位置から下側または上側にずれた位置でもよい。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通すれば、貫通部３４の位置は任意である。

【0080】

また、本実施の形態では、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路５１の断面形状および第２蒸気通路５２の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。

【0081】

このように構成された第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。

【0082】

ここで、図３は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２などを拡大して示しており、これらの蒸気通路５１、５２などの個数や配置は、図２および図６とは異なっている。

【0083】

ところで、図示しないが、蒸気流路部５０内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂのうちの一方の側に配置されて、他方の側には、蒸気流路凹部をなす空間が形成されるようにしてもよい。このことにより、支持部の厚さをシート本体３１の厚さよりも薄くすることができ、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。

【0084】

図３、図６および図７に示すように、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａに、主として作動液２ｂが通る液流路部６０（溝部）が設けられている。より具体的には、液流路部６０は、ウィックシート３０の各ランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている。液流路部６０には、作動蒸気２ａも通ってもよい。この液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０に連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。液流路部６０は、各ランド部３３の第１本体面３１ａの全体にわたって形成されていてもよい。各ランド部３３の第２本体面３１ｂには、液流路部６０は設けられていなくてもよい。

【0085】

図８に示すように、液流路部６０は、第１本体面３１ａに設けられた複数の溝で構成されている。より具体的には、液流路部６０は、作動液２ｂが通る複数の液流路主流溝６１と、液流路主流溝６１に連通する複数の液流路連絡溝６５と、を有している。

【0086】

各液流路主流溝６１は、図８に示すように、Ｘ方向に延びるように形成されている。液流路主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２よりも小さな流路断面積を有している。このことにより、液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、Ｙ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。

【0087】

液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａからエッチングされることによって形成されている。このことにより、液流路主流溝６１は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有している。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、第２本体面３１ｂに向かって凹状に湾曲している。

【0088】

図７および図８に示す液流路主流溝６１の幅ｗ３（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。なお、液流路主流溝６１の幅ｗ３は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。また、図７に示す液流路主流溝６１の深さｈ１（Ｚ方向における寸法）は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。

【0089】

図８に示すように、各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びるように形成されており、液流路主流溝６１に垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通するように配置されている。他の液流路連絡溝６５は、蒸気流路部５０（第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２）と液流路主流溝６１とを連通するように配置されている。すなわち、当該液流路連絡溝６５は、Ｙ方向におけるランド部３３の端縁から当該端縁に隣り合う液流路主流溝６１に延びている。このようにして、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と液流路主流溝６１とが連通している。

【0090】

液流路連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２よりも小さな流路断面積を有している。各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。

【0091】

液流路連絡溝６５も、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成され、液流路主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図８に示す液流路連絡溝６５の幅ｗ４（Ｘ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の幅ｗ３と等しくてもよいが、幅ｗ３よりも大きくてもよく、あるいは小さくてもよい。液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ１と等しくてもよいが、深さｈ１よりも深くてもよく、あるいは浅くてもよい。

【0092】

図８に示すように、液流路部６０は、シート本体３１の第１本体面３１ａに設けられた液流路凸部列６３を有している。液流路凸部列６３は、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間に設けられている。各液流路凸部列６３は、Ｘ方向に配列された複数の液流路凸部６４を含んでいる。液流路凸部６４は、液流路部６０内に設けられており、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに当接している。各液流路凸部６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間に、液流路主流溝６１が介在され、Ｘ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間には、液流路連絡溝６５が介在されている。液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びるように形成され、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。このことにより、これらの液流路主流溝６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。

【0093】

液流路凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図８に示すように、液流路凸部６４の平面形状（ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａの位置における形状）が、矩形状になっている。

【0094】

本実施の形態においては、液流路凸部６４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における液流路凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。図８に示す液流路凸部６４の幅ｗ５（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。なお、液流路凸部６４の幅ｗ５は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。なお、液流路凸部６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向においても整列される。

【0095】

液流路主流溝６１は、液流路連絡溝６５と連通する液流路交差部６６を含んでいる。液流路交差部６６において、液流路主流溝６１と液流路連絡溝６５とがＴ字状に連通している。このことにより、一の液流路主流溝６１と、一方の側（例えば、図８における上側）の液流路連絡溝６５とが連通している液流路交差部６６において、他方の側（例えば、図８における下側）の液流路連絡溝６５が当該液流路主流溝６１に連通することを回避できる。このことにより、当該液流路交差部６６において、液流路主流溝６１の壁面６２が両側（図８における上側および下側）で切り欠かれることを防止し、壁面６２の一方の側を残存させることができる。このため、液流路交差部６６においても、液流路主流溝６１内の作動液に毛細管作用を付与させることができ、蒸発領域ＳＲに向かう作動液２ｂの推進力が液流路交差部６６で低下することを抑制できる。

【0096】

また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、Ｘ方向における一側（図２における左側）の側縁に、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を更に備えていてもよい。図２に示す例においては、注入部４は、蒸発領域ＳＲの側に配置されており、蒸発領域ＳＲの側の側縁から外側に突出している。

【0097】

注入部４は、下側シート１０の下側シート注入突出部１３（図４参照）と、上側シート２０の上側シート注入突出部２３（図５参照）と、ウィックシート３０のウィックシート注入突出部３６（図６参照）と、が互いに重なり合って構成されている。図示された例においては、ウィックシート注入突出部３６の下面（第１本体面３１ａ）と下側シート注入突出部１３の上面（第２下側シート面１０ｂ）とが重なり合っているとともに、ウィックシート注入突出部３６の上面（第２本体面３１ｂ）と上側シート注入突出部２３の下面（第１上側シート面２０ａ）とが重なり合っている。このうちウィックシート注入突出部３６に注入流路３７が形成されていてもよい。この注入流路３７は、シート本体３１の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに貫通していてもよい。すなわち、Ｚ方向においてシート本体３１（ウィックシート注入突出部３６）を貫通していてもよい。注入流路３７は、第１蒸気通路５１に連通しており、作動液２ｂは、注入流路３７を通って第１蒸気通路５１に注入されてもよい。なお、液流路部６０の配置によっては、注入流路３７は液流路部６０に連通させるようにしてもよい。ウィックシート注入突出部３６の上面および下面は、平坦状に形成されていてもよく、下側シート注入突出部１３の上面および上側シート注入突出部２３の下面も、平坦状に形成されていてもよい。各注入突出部１３、２３、３６の平面形状は等しくてもよい。

【0098】

なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一対の側縁のうちの一側の側縁に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、任意の位置に設けることができる。また、ウィックシート注入突出部３６に設けられた注入流路３７は、作動液２ｂを注入できれば、シート本体３１を貫通していなくてもよい。この場合、シート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂのうちの一方からのみのエッチングで、蒸気流路部５０に連通する注入流路３７を形成することができる。また、注入部４は、ベーパーチャンバ１の製造時において、作動液２ｂの注入後、切断されて除去されてもよい。

【0099】

ところで、本実施の形態では、上述したように、下側シート１０は、平面視において、全体的にウィックシート３０よりも小さく形成されている。このため、図２、図３および図７に示すように、下側シート１０の外周縁１１ｏが、ウィックシート３０の外周縁３２ｏよりも内側、すなわち蒸気流路部５０の側に位置づけられている。これにより、下側シート１０に、平面視において、ウィックシート３０の外周縁３２ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれた下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられている。

【0100】

より具体的には、下側シート１０の長手方向側縁１１ａがウィックシート３０の長手方向側縁３２ａよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、下側シート１０の長手方向側縁１１ａに下側シート引込部１５ａが形成されている。また、下側シート１０の長手方向側縁１１ｂがウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、下側シート１０の長手方向側縁１１ｂに下側シート引込部１５ｂが形成されている。また、下側シート１０の短手方向側縁１１ｃがウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、下側シート１０の短手方向側縁１１ｃに下側シート引込部１５ｃが形成されている。また、下側シート１０の短手方向側縁１１ｄがウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、下側シート１０の短手方向側縁１１ｄに下側シート引込部１５ｄが形成されている。このように、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが、下側シート１０の外周縁１１ｏのうち下側シート注入突出部１３が設けられている部分を除いて全周に渡って形成されている。

【0101】

なお、上述したように、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状などの任意の形状であってもよい。この場合、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、下側シート１０の外周縁１１ｏの全周に渡って形成されていてもよいし、下側シート１０の外周縁１１ｏのうちの任意の位置に形成されていてもよい。

【0102】

図７に示すＹ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ａとウィックシート３０の長手方向側縁３２ａとの間の寸法ｗ６は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。Ｙ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ｂとウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂとの間の寸法、Ｘ方向における下側シート１０の短手方向側縁１１ｃとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃとの間の寸法、およびＸ方向における下側シート１０の短手方向側縁１１ｄとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄとの間の寸法についても同様である。すなわち、各下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが、平面視において、ウィックシート３０の外周縁３２ｏから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。

【0103】

また、図７に示すＹ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ａと蒸気流路部５０（第１蒸気通路５１）との間の寸法ｗ７は、例えば、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、この寸法ｗ７は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。Ｙ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ｂと蒸気流路部５０との間の寸法、Ｘ方向における下側シート１０の短手方向側縁１１ｃと蒸気流路部５０との間の寸法、およびＸ方向における下側シート１０の短手方向側縁１１ｄと蒸気流路部５０との間の寸法についても同様である。すなわち、各下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが、蒸気流路部５０（第１蒸気通路５１）から３０μｍ以上３０００μｍ以下離れた位置に設けられていてもよい。

【0104】

また、本実施の形態では、上述したように、上側シート２０は、平面視において、全体的にウィックシート３０よりも小さく形成されている。このため、図２、図３および図７に示すように、上側シート２０の外周縁２１ｏが、ウィックシート３０の外周縁３２ｏよりも内側、すなわち蒸気流路部５０の側に位置づけられている。これにより、上側シート２０に、平面視において、ウィックシート３０の外周縁３２ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれた上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている。なお、上側シート２０は、平面視において、下側シート１０と同じ大きさであってもよいが、下側シート１０よりも大きくてもよいし、あるいは小さくてもよい。

【0105】

より具体的には、上側シート２０の長手方向側縁２１ａがウィックシート３０の長手方向側縁３２ａよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、上側シート２０の長手方向側縁２１ａに上側シート引込部２５ａが形成されている。また、上側シート２０の長手方向側縁２１ｂがウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、上側シート２０の長手方向側縁２１ｂに上側シート引込部２５ｂが形成されている。また、上側シート２０の短手方向側縁２１ｃがウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、上側シート２０の短手方向側縁２１ｃに上側シート引込部２５ｃが形成されている。また、上側シート２０の短手方向側縁２１ｄがウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、上側シート２０の短手方向側縁２１ｄに上側シート引込部２５ｄが形成されている。このように、上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが、上側シート２０の外周縁２１ｏのうち上側シート注入突出部２３が設けられている部分を除いて全周に渡って形成されている。

【0106】

なお、上述したように、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状などの任意の形状であってもよい。この場合、上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、上側シート２０の外周縁２１ｏの全周に渡って形成されていてもよいし、上側シート２０の外周縁２１ｏのうちの任意の位置に形成されていてもよい。

【0107】

図７に示すＹ方向における上側シート２０の長手方向側縁２１ａとウィックシート３０の長手方向側縁３２ａとの間の寸法ｗ６’は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。Ｙ方向における上側シート２０の長手方向側縁２１ｂとウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂとの間の寸法、Ｘ方向における上側シート２０の短手方向側縁２１ｃとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃとの間の寸法、およびＸ方向における上側シート２０の短手方向側縁２１ｄとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄとの間の寸法についても同様である。すなわち、各上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが、平面視において、ウィックシート３０の外周縁３２ｏから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。なお、寸法ｗ６’は、上述した寸法ｗ６と等しくてもよいが、上述した寸法ｗ６よりも大きくてもよいし、あるいは小さくてもよい。

【0108】

また、図７に示すＹ方向における上側シート２０の長手方向側縁２１ａと蒸気流路部５０（第１蒸気通路５１）との間の寸法ｗ７’は、例えば、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、この寸法ｗ７’は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。Ｙ方向における上側シート２０の長手方向側縁２１ｂと蒸気流路部５０との間の寸法、Ｘ方向における上側シート２０の短手方向側縁２１ｃと蒸気流路部５０との間の寸法、およびＸ方向における上側シート２０の短手方向側縁２１ｄと蒸気流路部５０との間の寸法についても同様である。すなわち、各上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが、蒸気流路部５０（第１蒸気通路５１）から３０μｍ以上３０００μｍ以下離れた位置に設けられていてもよい。なお、寸法ｗ７’は、上述した寸法ｗ７と等しくてもよいが、上述した寸法ｗ７よりも大きくてもよいし、あるいは小さくてもよい。

【0109】

ところで、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。

【0110】

とりわけ、ウィックシート３０は、下側シート１０を構成する材料および上側シート２０を構成する材料よりも強度が低い材料で構成されていてもよい。換言すると、下側シート１０および上側シート２０は、ウィックシート３０を構成する材料よりも強度が高い材料で構成されていてもよい。ウィックシート３０は、例えば、純銅（または無酸素銅、Ｃ１０２０等）や銅合金（例えば、リン青銅）で構成されていてもよい。下側シート１０および上側シート２０は、ウィックシート３０が純銅で構成されている場合には、例えば、銅合金で構成されていてもよい。下側シート１０と上側シート２０とは同じ材料で構成されていてもよいが、異なる材料で構成されていてもよい。

【0111】

また、図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１として適切に機能させることができる。一方、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制することができる。

【0112】

図３に示す下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。下側シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、下側シート１０の機械的強度を確保することができる。一方、下側シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制することができる。同様に、図３に示す上側シート２０の厚さｔ３は、下側シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート２０の厚さｔ３と、下側シート１０の厚さｔ２は、異なっていてもよい。

【0113】

図３に示すウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１として適切に動作することができる。一方、ウィックシート３０の厚さｔ４を４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制することができる。

【0114】

次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１の製造方法について、図９～図１２を用いて説明する。

【0115】

ここでは、初めに、各シート１０、２０、３０を準備するシート準備工程について説明する。このシート準備工程は、下側シート１０を準備する下側シート準備工程と、上側シート２０を準備する上側シート準備工程と、ウィックシート３０を準備するウィックシート準備工程と、を含んでいる。

【0116】

下側シート準備工程においては、まず、所望の厚さを有する下側シート母材を準備する。下側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、下側シート母材を、エッチングすることにより、所望の平面形状を有する下側シート１０を形成する。あるいは、下側シート母材を、プレス加工することにより、所望の平面形状を有する下側シート１０を形成するようにしてもよい。このようにして、図４に示すような外形輪郭形状を有する下側シート１０を準備することができる。すなわち、上述した外周縁１１ｏを有する下側シート１０を得ることができる。

【0117】

上側シート準備工程においても、下側シート準備工程と同様に、まず、所望の厚さを有する上側シート母材を準備する。上側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、上側シート母材を、エッチングすることにより、所望の平面形状を有する上側シート２０を形成する。あるいは、上側シート母材を、プレス加工することにより、所望の平面形状を有する上側シート２０を形成するようにしてもよい。このようにして、図５に示すような外形輪郭形状を有する上側シート２０を準備することができる。すなわち、上述した外周縁２１ｏを有する上側シート２０を得ることができる。

【0118】

ウィックシート準備工程は、金属材料シートＭを準備する材料シート準備工程と、金属材料シートＭをエッチングするエッチング工程と、を含んでいる。

【0119】

まず、材料シート準備工程において、図９に示すように、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂとを含む、平板状の金属材料シートＭを準備する。金属材料シートＭは、所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。

【0120】

次に、エッチング工程において、図１０に示すように、金属材料シートＭを、第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂからエッチングして、蒸気流路部５０および液流路部６０を形成する。

【0121】

より具体的には、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂに、フォトリグラソフィー技術によって、パターン状のレジスト膜（図示せず）が形成される。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがパターン状にエッチングされて、図１０に示すような蒸気流路部５０および液流路部６０が形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

【0122】

エッチングは、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部５０および液流路部６０が同時にエッチングで形成されてもよく、別々の工程で形成されてもよい。

【0123】

また、エッチング工程においては、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂをエッチングすることにより、図６に示すような所定の外形輪郭形状を得ることができる。すなわち、上述した外周縁３２ｏを有するウィックシート３０を得ることができる。

【0124】

このようにして、本実施の形態による下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０が得られる。

【0125】

準備工程の後、接合工程として、図１１に示すように、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を接合する。

【0126】

より具体的には、まず、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂにウィックシート３０の第１本体面３１ａが重ね合わされ、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂに、上側シート２０の第１上側シート面２０ａが重ね合わされる。この際、下側シート１０のアライメント孔１２と、ウィックシート３０のアライメント孔３５と、上側シート２０のアライメント孔２２とを利用して、各シート１０、２０、３０が位置合わせされてもよい。

【0127】

続いて、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０を仮止めする。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよく、あるいはレーザ溶接でこれらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよい。

【0128】

次に、下側シート１０と、ウィックシート３０と、上側シート２０とを、熱圧着によって恒久的に接合する。例えば、拡散接合によって、これらのシート１０、２０、３０が恒久的に接合されてもよい。拡散接合とは、接合する下側シート１０とウィックシート３０を密着させるとともにウィックシート３０と上側シート２０を密着させて、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、各シート１０、２０、３０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０、３０が溶融して変形することを回避できる。これにより、ウィックシート３０の枠体部３２および各ランド部３３における第１本体面３１ａが、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに拡散接合される。また、ウィックシート３０の枠体部３２および各ランド部３３における第２本体面３１ｂが、上側シート２０の第１上側シート面２０ａに拡散接合される。このようにして、各シート１０、２０、３０が拡散接合されて、下側シート１０と上側シート２０との間に、蒸気流路部５０と液流路部６０とを有する密封空間３が形成される。この段階では、密封空間３は、上述した注入流路３７が封止されておらず、注入流路３７を介して外部に連通している。

【0129】

接合工程の後、注入工程として、注入部４の注入流路３７から密封空間３に作動液２ｂを注入する。

【0130】

注入工程の後、封止工程として、注入流路３７を封止する。例えば、注入部４を部分的に溶融させて注入流路３７を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。このため、作動液２ｂが封入された密封空間３が得られ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。注入流路３７を封止した後、注入部４は、除去されてもよい。注入部４の全体が除去されてもよい。あるいは、注入部４の一部が除去されて、残りの一部が残存していてもよい。

【0131】

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。

【0132】

このようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１を順次製造することができる。製造されたベーパーチャンバ１は、図１２に示すように、所定の場所に設けられた載置面７０上に積み重ねられるように載置されて保管することができる。その後、ベーパーチャンバ１は、出荷時やデバイスＤへの装着時に、この載置場所から取り出されて搬送される。

【0133】

次に、このようにして製造されたベーパーチャンバ１の搬送方法について、図１３および図１４を用いて説明する。ここでは、図１２に示すような、ベーパーチャンバ１が互いに積み重ねられて載置された状態からベーパーチャンバ１を取り出して搬送する方法について説明する。

【0134】

まず、図１３に示すように、吊下げ装置８０の第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂの爪部８２ａ、８２ｂを、下側シート１０の下側シート引込部１５ａ、１５ｂにそれぞれ入り込ませる。

【0135】

より具体的には、まず、第１アーム部８１ａを垂直方向に移動させて、第１アーム部８１ａの先端に設けられた第１爪部８２ａを、最上部に載置されたベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ａのＺ方向における位置と同じ位置に位置づける。また、第２アーム部８１ｂを垂直方向に移動させて、第２アーム部８１ｂの先端に設けられた第２爪部８２ｂを、当該ベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ｂのＺ方向における位置と同じ位置に位置づける。続いて、第１アーム部８１ａを水平方向に移動させて、第１爪部８２ａを下側シート引込部１５ａに入り込こませる。同様に、第２アーム部８１ｂを水平方向に移動させて、第２爪部８２ｂを下側シート引込部１５ｂに入り込こませる。これにより、第１爪部８２ａおよび第２爪部８２ｂを、ウィックシート３０の第１本体面３１ａにそれぞれ当接させることができる。

【0136】

次に、図１４に示すように、吊下げ装置８０によりベーパーチャンバ１を吊り下げる。

【0137】

より具体的には、第１爪部８２ａおよび第２爪部８２ｂをウィックシート３０の第１本体面３１ａに当接させた状態で、第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂをそれぞれ上方に移動させる。これにより、ウィックシート３０の第１本体面３１ａが第１爪部８２ａおよび第２爪部８２ｂに支持されて、ベーパーチャンバ１が吊下げ装置８０により吊り下げられる。

【0138】

そして、吊下げ装置８０によりベーパーチャンバ１を吊り下げた状態で、第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂを水平方向に移動させて、ベーパーチャンバ１を所望の目標位置まで搬送する。

【0139】

このようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１を吊下げ装置８０により搬送することができる。

【0140】

なお、ここでは、ベーパーチャンバ１が互いに積み重ねられて載置された状態からベーパーチャンバ１を取り出して搬送する方法について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、ベーパーチャンバ１が載置面７０上に直接載置されている場合であっても、吊下げ装置８０を用いてベーパーチャンバ１を搬送することができる。

【0141】

ここで、一般的なベーパーチャンバ１’の搬送方法について説明する。図１５に示すように、一般的なベーパーチャンバ１’の側面は、垂直に形成されており、本実施の形態によるベーパーチャンバ１のように、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが形成されていない。このため、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂを、下側シート引込部１５ａ、１５ｂに入り込ませることができず、一般的なベーパーチャンバ１’を、上述した吊下げ装置８０で搬送することは困難である。

【0142】

一般的なベーパーチャンバ１’は、図１５に示すように、吸着装置８５により取り出されて搬送することができる。より具体的には、吸着装置８５は、内部を負圧にして吸着力を生じさせる吸着パッド８６を有しており、この吸着パッド８６をベーパーチャンバ１’の上面に押し付けて、ベーパーチャンバ１’に吸着させる。その後、吸着パッド８６によりベーパーチャンバ１’が吸着された状態で、吸着装置８５を上方に移動させて、ベーパーチャンバ１’を吊り下げる。そして、吸着装置８５を水平方向に移動させて、ベーパーチャンバ１’を所望の目標位置まで搬送する。

【0143】

このとき、ベーパーチャンバ１’が薄型化されていた場合、ベーパーチャンバ１’の上面に吸着パッド８６による吸着力が働くことにより、ベーパーチャンバ１’が変形してしまうおそれがある。このため、ベーパーチャンバ１’の変形を抑制するために、ベーパーチャンバ１’の薄型化が抑制される場合がある。

【0144】

これに対して、本実施の形態では、ベーパーチャンバ１の下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられている。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄに、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂを入り込ませることができる。このため、吊下げ装置８０によりベーパーチャンバ１を吊り下げて搬送することができ、上述した吸着装置８５を用いることを不要にすることができる。このため、ベーパーチャンバ１’の変形を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１’の更なる薄型化を実現することができる。

【0145】

なお、上述した吊下げ装置８０によるベーパーチャンバ１の搬送は一例であり、その他の任意の装置等を用いてベーパーチャンバ１を搬送することができる。例えば、尖った先端を有する工具を用いてベーパーチャンバ１を搬送してもよい。より具体的には、工具の先端を下側シート引込部１５ａに入り込ませ、その後、工具を上方に移動させて、ベーパーチャンバ１を持ち上げるようにしてもよい。そして、持ち上げたベーパーチャンバ１を手で掴んで搬送するようにしてもよい。また、例えば、そのような装置や工具を用いることなく、下側シート引込部１５ａに指を入り込ませてベーパーチャンバ１を持ち上げ、その後、ベーパーチャンバ１を手で掴んで搬送するようにしてもよい。このような場合であっても、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられていることにより、ベーパーチャンバ１を取り出して搬送することが容易となる。

【0146】

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

【0147】

上述のようにして搬送されたベーパーチャンバ１は、搬送先において、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置され、ハウジング部材Ｈａと上側シート２０の第２上側シート面２０ｂとが接する。また、下側シート１０の第１下側シート面１０ａに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられ（あるいは、デバイスＤにベーパーチャンバ１が取り付けられ）、下側シート１０の第１下側シート面１０ａとデバイスＤとが接する。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａ、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａ、液流路部６０の液流路主流溝６１の壁面６２および液流路連絡溝６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂのうち下側蒸気流路凹部５３、液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。更に、作動液２ｂは、上側シート２０の第１上側シート面２０ａのうち上側蒸気流路凹部５４に露出した部分にも付着し得る。

【0148】

この状態でデバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図６参照）に存在する作動液２ｂが、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、密封空間３を構成する下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４内で拡散する（図６の実線矢印参照）。各蒸気流路凹部５３、５４内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、作動蒸気２ａの多くは、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲ（図６における右側の部分）に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として上側シート２０に放熱して冷却される。上側シート２０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。

【0149】

作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて上側シート２０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部５３、５４の壁面５３ａ、５４ａおよび下側シート１０の第２下側シート面１０ｂおよび上側シート２０の第１上側シート面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けているため、液流路部６０のうち蒸発領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）における作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図６の破線矢印参照）。このことにより、各壁面５３ａ、５４ａ、第２下側シート面１０ｂおよび第１上側シート面２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路部６０に移動し、液流路連絡溝６５を通過して液流路主流溝６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１および各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

【0150】

液流路部６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

【0151】

蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の液流路連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４に移動し、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流してデバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。

【0152】

このように本実施の形態によれば、下側シート１０に、平面視において、ウィックシート３０の外周縁３２ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれた下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられている。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄに、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を入り込ませることができる。このため、ベーパーチャンバ１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0153】

また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１の搬送に吸着装置８５を用いることを不要にすることができる。このため、ベーパーチャンバ１の変形を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の更なる薄型化を実現することができる。

【0154】

また、本実施の形態によれば、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられていることにより、ベーパーチャンバ１の製造時や使用時等に、下側シート１０の端部が他の部品等に接触して当該部品を損傷させることを回避することができる。また、下側シート１０の端部が他の部品等に接触することによって下側シート１０がウィックシート３０から剥離し、密封空間３内の作動液２ｂが漏洩することも回避することができる。このため、ベーパーチャンバ１の安全性を向上させることができる。

【0155】

また、本実施の形態によれば、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、下側シート１０の一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂおよび一対の短手方向側縁１１ｃ、１１ｄにそれぞれ設けられている。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１の平面視における任意の方向から、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄのいずれかに吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を入り込ませて、ベーパーチャンバ１を持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0156】

また、本実施の形態によれば、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、平面視において、ウィックシート３０の外周縁３２ｏから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれている。このように下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが１０μｍ以上引き込まれていることにより、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等でウィックシート３０の第１本体面３１ａをしっかりと支持することができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。また、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが１０００μｍ以下引き込まれていることにより、ベーパーチャンバ１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0157】

また、本実施の形態によれば、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、平面視において、蒸気流路部５０から３０μｍ以上離れた位置に設けられている。このように蒸気流路部５０と下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄとの間の距離が３０μｍ以上であることにより、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、第１本体面３１ａと第２下側シート面１０ｂとをしっかりと接合することができる。このため、ベーパーチャンバ１の強度の低下を抑制することができる。

【0158】

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部５０が第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに貫通しており、上側シート２０が第２本体面３１ｂにおいて蒸気流路部５０を覆っている。このように、ベーパーチャンバ１を下側シート１０と上側シート２０とウィックシート３０とで構成することにより、下側シート１０がデバイスＤから受けた熱を、上側シート２０から放出することができる。これにより、デバイスＤを効果的に冷却することができる。このため、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0159】

また、本実施の形態によれば、上側シート２０に、平面視において、ウィックシート３０の外周縁３２ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれた上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている。このことにより、ベーパーチャンバ１が互いに積み重ねられて載置されている場合において、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を下側シート引込部１５ａ、１５ｂに入り込ませることを容易化することができる。すなわち、図１３に示すように、各ベーパーチャンバ１に上側シート引込部２５ａ、２５ｂが設けられている場合、最上部に配置されたベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ａ、１５ｂとその下方に配置されたベーパーチャンバ１の上側シート引込部２５ａ、２５ｂとを合わせて、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等が入り込むためのより広いスペースを確保することができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができ、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。また、これにより、例えば、下側シート１０の厚さｔ２を、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂの厚さ（Ｚ方向における寸法）よりも薄くすることもできる。このため、ベーパーチャンバ１の更なる薄型化を実現することができる。

【0160】

また、本実施の形態によれば、上側シート２０に上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられていることにより、ベーパーチャンバ１の製造時や使用時等に、上側シート２０の端部が他の部品等に接触して当該部品を損傷させることを回避することができる。また、上側シート２０の端部が他の部品等に接触することによって上側シート２０がウィックシート３０から剥離し、密封空間３内の作動液２ｂが漏洩することも回避することができる。このため、ベーパーチャンバ１の安全性を向上させることができる。

【0161】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０は、下側シート１０を構成する材料および上側シート２０を構成する材料よりも強度が低い材料で構成されている。上述したように、本実施の形態においては、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられ、上側シート２０に上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている。このことにより、ベーパーチャンバ１をモバイル端末等のハウジングＨ内に設置する際、不意にベーパーチャンバ１がハウジングＨに接触したとしても、ハウジングＨに比較的強度が高い下側シート１０および上側シート２０が接触することを回避することができる。すなわち、ハウジングＨには、比較的強度が低いウィックシート３０が接触するようになる。このため、ハウジングＨの損傷を抑制することができるとともに、ハウジングＨの損傷により異物がハウジングＨ内に脱落することを抑制することができる。また、ベーパーチャンバ１の損傷も抑制することができ、ベーパーチャンバ１の損傷により異物がハウジングＨ内に脱落することも抑制することができる。

【0162】

（第１の実施の形態の第１変形例）
上述した第１の実施の形態においては、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが、下側シート１０の一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂおよび一対の短手方向側縁１１ｃ、１１ｄにそれぞれ設けられている例について説明した（図２参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、下側シート引込部１５ａ、１５ｂは、下側シート１０の一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂのうちの少なくとも一方に設けられていてもよい。

【0163】

図１６および図１７に示す例においては、下側シート１０の長手方向側縁１１ａ（図１６における下側）に、下側シート引込部１５ａが設けられている。上側シート２０も同様に、上側シート２０の長手方向側縁２１ａ（図１６における下側）に、上側シート引込部２５ａが設けられている。

【0164】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａに所定の装置や工具、指などを入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。また、下側シート引込部１５ａを設ける領域を制限することで、ベーパーチャンバ１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0165】

（第１の実施の形態の第２変形例）
また、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、下側シート１０の一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂのうちの一方に設けられるとともに、下側シート１０の一対の短手方向側縁１１ｃ、１１ｄのうちの一方にも設けられていてもよい。

【0166】

図１８に示す例においては、下側シート１０の長手方向側縁１１ａ（図１８における下側）に下側シート引込部１５ａが設けられるとともに、下側シート１０の短手方向側縁１１ｃ（図１８における左側）に下側シート引込部１５ｃが設けられている。上側シート２０も同様に、上側シート２０の長手方向側縁２１ａ（図１８における下側）に上側シート引込部２５ａが設けられるとともに、上側シート２０の短手方向側縁２１ｃ（図１８における左側）に上側シート引込部２５ｃが設けられている。

【0167】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａ、１５ｃに所定の装置や工具、指などを入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。また、下側シート引込部１５ａ、１５ｃを設ける領域を制限することで、ベーパーチャンバ１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0168】

更に、図１８に示す例においては、ベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ａ、１５ｃが設けられた長手方向側縁１１ａおよび短手方向側縁１１ｃの側を持ち上げて搬送し、ベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ａ、１５ｃが設けられていない長手方向側縁１１ｂおよび短手方向側縁１１ｄの側を所定の壁面に突き当てることができる。このことにより、ベーパーチャンバ１を壁面に対して位置決めすることが容易になる。このため、例えば、ベーパーチャンバ１の所定の位置にレーザ光を照射して製造情報等を印字する場合に、正確な位置に印字することが可能になる。また、ベーパーチャンバ１を壁面に突き当てた後も、ベーパーチャンバ１の長手方向側縁１１ａおよび短手方向側縁１１ｃの側を容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0169】

（第１の実施の形態の第３変形例）
また、下側シート引込部１５ａ、１５ｂは、下側シート１０の一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂの両方にそれぞれ設けられていてもよい。更に、下側シート引込部１５ａ、１５ｂは、下側シート１０の一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂの一部に設けられていてもよい。

【0170】

図１９に示す例においては、下側シート引込部１５ａ、１５ｂは、下側シート１０の一対の長手方向側縁１１ａ、１１ｂの両方にそれぞれ設けられるとともに、各下側シート引込部１５ａ、１５ｂは、長手方向側縁１１ａ、１１ｂの一部に設けられている。上側シート２０も同様に、上側シート引込部２５ａ、２５ｂは、上側シート２０の一対の長手方向側縁２１ａ、２１ｂの両方にそれぞれ設けられるとともに、各上側シート引込部２５ａ、２５ｂは、長手方向側縁２１ａ、２１ｂの一部に設けられている。各下側シート引込部１５ａ、１５ｂは、長手方向側縁１１ａ、１１ｂの中央部に設けられていてもよい。また、各上側シート引込部２５ａ、２５ｂも、長手方向側縁１１ａ、１１ｂの中央部に設けられていてもよい。

【0171】

この場合において、下側シート引込部１５ａおよび下側シート引込部１５ｂは、平面視において、ベーパーチャンバ１の重心位置に対して互いに対称となるような位置に配置されていてもよい。また、上側シート引込部２５ａは、平面視において、下側シート引込部１５ａと重なる位置に配置され、上側シート引込部２５ｂは、平面視において、下側シート引込部１５ｂと重なる位置に配置されていてもよい。

【0172】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａ、１５ｂに吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。また、下側シート引込部１５ａ、１５ｂを設ける領域を更に制限することで、ベーパーチャンバ１の領域を更に有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能をより一層向上させることができる。

【0173】

また、下側シート引込部１５ａおよび下側シート引込部１５ｂが、平面視において、ベーパーチャンバ１の重心位置に対して互いに対称となるような位置に配置されることで、吊下げ装置８０等による吊り下げ時にベーパーチャンバ１の姿勢を安定化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送を容易化することができる。また、上側シート引込部２５ａ、２５ｂが、平面視において、下側シート引込部１５ａ、１５ｂと重なる位置に配置されることで、ベーパーチャンバ１が互いに積み重ねられて載置されている場合において、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を下側シート引込部１５ａ、１５ｂに入り込ませることを容易化することができる。

【0174】

（第１の実施の形態の第４変形例）
また、下側シート引込部１５ａ、１５ｂは、下側シート１０の隅部に設けられていてもよい。

【0175】

図２０に示す例においては、下側シート１０の長手方向側縁１１ａおよび短手方向側縁１１ｄの側の隅部（図２０における右下側）に、下側シート引込部１５ａが設けられている。また、下側シート１０の長手方向側縁１１ｂおよび短手方向側縁１１ｃの側の隅部（図２０における左上側）に、下側シート引込部１５ｂが設けられている。上側シート２０も同様に、上側シート２０の長手方向側縁２１ａおよび短手方向側縁２１ｄの側の隅部（図２０における右下側）に、上側シート引込部２５ａが設けられている。また、上側シート２０の長手方向側縁２１ｂおよび短手方向側縁２１ｃの側の隅部（図２０における左上側）に、上側シート引込部２５ｂが設けられている。

【0176】

この場合において、下側シート引込部１５ａおよび下側シート引込部１５ｂは、平面視において、ベーパーチャンバ１の重心位置に対して互いに対称となるような位置に配置されていてもよい。また、上側シート引込部２５ａは、平面視において、下側シート引込部１５ａと重なる位置に配置され、上側シート引込部２５ｂは、平面視において、下側シート引込部１５ｂと重なる位置に配置されていてもよい。

【0177】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａ、１５ｂに吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。また、下側シート引込部１５ａ、１５ｂを設ける領域を更に制限することで、ベーパーチャンバ１の領域を更に有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能をより一層向上させることができる。

【0178】

また、下側シート引込部１５ａおよび下側シート引込部１５ｂが、平面視において、ベーパーチャンバ１の重心位置に対して互いに対称となるような位置に配置されることで、吊下げ装置８０等による吊り下げ時にベーパーチャンバ１の姿勢を安定化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送を容易化することができる。また、上側シート引込部２５ａ、２５ｂが、平面視において、下側シート引込部１５ａ、１５ｂと重なる位置に配置されることで、ベーパーチャンバ１が互いに積み重ねられて載置されている場合において、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を下側シート引込部１５ａ、１５ｂに入り込ませることを容易化することができる。

【0179】

（第１の実施の形態の第５変形例）
また、上述した第１の実施の形態においては、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられているとともに、上側シート２０に上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている例について説明した（図３参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられていなくてもよい。あるいは、上側シート２０に上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられていなくてもよい。

【0180】

図２１に示す例においては、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられている一方、上側シート２０には上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられていない。

【0181】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄに所定の装置や工具、指などを入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0182】

また、上側シート２０に上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている一方、下側シート１０に下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられていなくてもよい。

【0183】

この場合、ベーパーチャンバ１が反対向きに載置された状態、すなわち、上側シート２０の第２上側シート面２０ｂが載置面７０を向くように載置された状態で、上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄに所定の装置や工具、指などを入り込ませることにより、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0184】

（第１の実施の形態の第６変形例）
また、上述した第１の実施の形態においては、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄと蒸気流路部５０との間に、液流路部６０が設けられていない例について説明した（図３参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄと蒸気流路部５０との間に、液流路部６０が設けられていてもよい。

【0185】

図２２に示す例においては、下側シート引込部１５ａ、１５ｂと蒸気流路部５０との間に液流路部６０が設けられている。すなわち、下側シート１０の長手方向側縁１１ａと第１蒸気通路５１との間に液流路部６０が設けられ、下側シート１０の長手方向側縁１１ｂと第１蒸気通路５１との間に液流路部６０が設けられている。

【0186】

この場合において、図２２に示すＹ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ａと液流路部６０との間の寸法ｗ８は、例えば、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、この寸法ｗ８は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。Ｙ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ｂと液流路部６０との間の寸法についても同様である。すなわち、下側シート引込部１５ａ、１５ｂが、液流路部６０から３０μｍ以上３０００μｍ以下離れた位置に設けられていてもよい。

【0187】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄに所定の装置や工具、指などを入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0188】

また、液流路部６０と下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄとの間の距離が３０μｍ以上であることにより、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、第１本体面３１ａと第２下側シート面１０ｂとをしっかりと接合することができる。このため、ベーパーチャンバ１の強度の低下を抑制することができる。

【0189】

（第１の実施の形態の第７変形例）
また、上述した第１の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、１つのウィックシート３０を備えている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、ベーパーチャンバ１は、複数のウィックシート３０を備えていてもよい。

【0190】

図２３に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、３つのウィックシート３０を備えている。各ウィックシート３０は、下側シート１０と上側シート２０との間に設けられている。各ウィックシート３０は、平面視において、全体的に下側シート１０および上側シート２０よりも大きく形成されている。換言すると、下側シート１０および上側シート２０は、平面視において、全体的に各ウィックシート３０よりも小さく形成されている。このため、下側シート１０に、下側シート引込部１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが設けられている。また、上側シート２０に、上側シート引込部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている。

【0191】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａに所定の装置や工具、指などを入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0192】

なお、図２３に示す例においては、各ウィックシート３０は、互いに同じ形状および寸法を有しているが、このことに限られることはなく、各ウィックシート３０は、互いに異なる形状および寸法を有していてもよい。例えば、図示しないが、一のウィックシート３０が、平面視において、全体的に他のウィックシート３０よりも小さく形成されていてもよい。また、当該一のウィックシート３０は、平面視において、全体的に下側シート１０および上側シート２０よりも小さく形成されていてもよい。

【0193】

また、図２３に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、３つのウィックシート３０を備えているが、このことに限られることはなく、ウィックシート３０の個数は任意である。ベーパーチャンバ１は、２つのウィックシート３０を備えていてもよいし、４つ以上のウィックシート３０を備えていてもよい。

【0194】

（第１の実施の形態の第８変形例）
また、ベーパーチャンバ１は、貫通穴９０を有していてもよい。

【0195】

図２４および図２５に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０、ウィックシート３０、および上側シート２０を貫通した貫通穴９０を有している。

【0196】

貫通穴９０は、第１下側シート面１０ａから第２下側シート面１０ｂに貫通した下側シート貫通部９１と、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに貫通したウィックシート貫通部９２と、第１上側シート面２０ａから第２上側シート面２０ｂに貫通した上側シート貫通部９３と、を有している。すなわち、下側シート貫通部９１は、下側シート１０を貫通し、ウィックシート貫通部９２は、ウィックシート３０を貫通し、上側シート貫通部９３は、上側シート２０を貫通している。ウィックシート貫通部９２の周囲には壁部９４が形成されており、蒸気流路部５０および液流路部６０は、貫通穴９０と連通しないようになっている。なお、図２４に示す例においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における中央部に蒸発領域ＳＲが設けられ、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側および他側（図２４における左側および右側）に凝縮領域ＣＲが設けられている。

【0197】

下側シート貫通部９１は、上述した下側シート準備工程において、下側シート母材をエッチングすることにより形成してもよい。あるいは、下側シート母材をプレス加工することにより形成してもよい。上側シート貫通部９３は、上述した上側シート準備工程において、上側シート母材をエッチングすることにより形成してもよい。あるいは、上側シート母材をプレス加工することにより形成してもよい。ウィックシート貫通部９２は、上述したウィックシート準備工程のエッチング工程において、金属材料シートＭをエッチングすることにより形成してもよい。なお、図２５では、ウィックシート貫通部９２の断面形状が矩形形状になっているが、上述した第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２のように、第１本体面３１ａに凹状に形成された下側凹部と第２本体面３１ｂに凹状に形成された上側凹部とが連通して形成された形状を有していてもよい。下側シート貫通部９１および上側シート貫通部９３についても同様である。

【0198】

図２４および図２５に示す例においては、平面視において、下側シート１０の下側シート貫通部９１を画定する内周縁１０ｉは、ウィックシート３０のウィックシート貫通部９２を画定する内周縁３１ｉよりも外側、すなわち貫通穴９０とは反対側に位置づけられている。これにより、下側シート１０に、平面視において、ウィックシート３０の貫通穴９０を画定する内周縁３１ｉよりも貫通穴９０とは反対側に引き込まれた下側シート引込部１５ｉが設けられている。

【0199】

図２５に示すＹ方向における下側シート１０の内周縁１０ｉとウィックシート３０の内周縁３１ｉとの間の寸法ｗ９は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。すなわち、下側シート引込部１５ｉが、平面視において、ウィックシート３０の内周縁３１ｉから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。

【0200】

また、図２５に示すＹ方向における下側シート１０の内周縁１０ｉと液流路部６０との間の寸法ｗ１０は、例えば、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、この寸法ｗ１０は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。すなわち、下側シート引込部１５ｉが、液流路部６０から３０μｍ以上３０００μｍ以下離れた位置に設けられていてもよい。なお、下側シート１０の内周縁１０ｉと液流路部６０との間に蒸気流路部５０が設けられている場合は、Ｙ方向における下側シート１０の内周縁１０ｉと蒸気流路部５０との間の寸法が、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。

【0201】

また、図２４および図２５に示す例においては、平面視において、上側シート２０の上側シート貫通部９３を画定する内周縁２０ｉは、ウィックシート３０のウィックシート貫通部９２を画定する内周縁３１ｉよりも外側、すなわち貫通穴９０とは反対側に位置づけられている。これにより、上側シート２０に、平面視において、ウィックシート３０の貫通穴９０を画定する内周縁３１ｉよりも貫通穴９０とは反対側に引き込まれた上側シート引込部２５ｉが設けられている。

【0202】

図２５に示すＹ方向における上側シート２０の内周縁２０ｉとウィックシート３０の内周縁３１ｉとの間の寸法ｗ９’は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。すなわち、上側シート引込部２５ｉが、平面視において、ウィックシート３０の内周縁３１ｉから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。なお、寸法ｗ９’は、上述した寸法ｗ９と等しくてもよいが、上述した寸法ｗ９よりも大きくてもよいし、あるいは小さくてもよい。

【0203】

このような場合であっても、図２６に示すように、吊下げ装置８０の第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂ等を下側シート１０の下側シート引込部１５ｉに入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0204】

また、下側シート引込部１５ｉが１０μｍ以上引き込まれていることにより、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等でウィックシート３０の第１本体面３１ａをしっかりと支持することができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。また、下側シート引込部１５ｉが１０００μｍ以下引き込まれていることにより、ベーパーチャンバ１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0205】

また、蒸気流路部５０と下側シート引込部１５ｉとの間の距離が３０μｍ以上であることにより、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、第１本体面３１ａと第２下側シート面１０ｂとをしっかりと接合することができる。このため、ベーパーチャンバ１の強度の低下を抑制することができる。

【0206】

また、ベーパーチャンバ１を下側シート１０と上側シート２０とウィックシート３０とで構成することにより、下側シート１０がデバイスＤから受けた熱を、上側シート２０から放出することができる。これにより、デバイスＤを効果的に冷却することができる。このため、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0207】

また、上側シート２０に、平面視において、ウィックシート３０の内周縁３１ｉよりも貫通穴９０とは反対側に引き込まれた上側シート引込部２５ｉが設けられている。このことにより、ベーパーチャンバ１が互いに積み重ねられて載置されている場合において、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を下側シート引込部１５ｉに入り込ませることを容易化することができる。すなわち、図２６に示すように、各ベーパーチャンバ１に上側シート引込部２５ｉが設けられている場合、最上部に配置されたベーパーチャンバ１の下側シート引込部１５ｉとその下方に配置されたベーパーチャンバ１の上側シート引込部２５ｉとを合わせて、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等が入り込むためのより広いスペースを確保することができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができ、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。また、これにより、例えば、下側シート１０の厚さｔ２を、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂの厚さ（Ｚ方向における寸法）よりも薄くすることもできる。このため、ベーパーチャンバ１の更なる薄型化を実現することができる。

【0208】

（第１の実施の形態の第９変形例）
また、上述した第１の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０と、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることになく、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０（第１シート）と、ウィックシート３０（本体シート）とで構成されていてもよい。

【0209】

図２７に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０と、ウィックシート３０と、を備えているが、上側シート２０を備えていない。ハウジング部材Ｈａは、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂに取り付けられてもよい。作動蒸気２ａの熱は、ウィックシート３０からハウジング部材Ｈａに伝わる。

【0210】

図２７に示す例においては、蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａに設けられているが、第２本体面３１ｂまで延びておらず、ウィックシート３０を貫通していない。すなわち、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、下側蒸気流路凹部５３で構成されており、ウィックシート３０に上側蒸気流路凹部５４は設けられていない。

【0211】

図２７に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ５は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。図２７に示す下側シート１０の厚さｔ６は、例えば、６μｍ～２００μｍであってもよい。図２７に示すウィックシート３０の厚さｔ７は、例えば、５０μｍ～８００μｍであってもよい。

【0212】

なお、図２７に示す例に限られることはなく、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに、蒸気流路部５０が設けられていてもよい。この場合、下側シート１０の蒸気流路部５０は、ウィックシート３０の蒸気流路部５０と対向する位置に設けられていてもよい。また、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに、液流路部６０が設けられていてもよい。

【0213】

このように、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０と、ウィックシート３０とで構成されていてもよい。

【0214】

このような場合であっても、下側シート引込部１５ａ、１５ｂに吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0215】

（第２の実施の形態）
次に、図２８～図３０を用いて、第２の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0216】

図２８～図３０に示す第２の実施の形態においては、本体シートに、平面視において、第１シートの外周縁よりも空間部の側に引き込まれた本体シート引込部が設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１～図１４に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２８～図３０において、図１～図１４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0217】

本実施の形態においては、図２８および図２９に示すように、ウィックシート３０（本体シート）は、平面視において、全体的に下側シート１０（第２シート）および上側シート２０（第１シート）よりも小さく形成されている。このため、ウィックシート３０の外周縁３２ｏが、下側シート１０の外周縁１１ｏおよび上側シート２０の外周縁２１ｏよりも内側、すなわち蒸気流路部５０の側に位置づけられている。これにより、ウィックシート３０に、平面視において、下側シート１０の外周縁１１ｏおよび上側シート２０の外周縁２１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれたウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄ（本体シート引込部）が設けられている。

【0218】

より具体的には、ウィックシート３０の長手方向側縁３２ａが下側シート１０の長手方向側縁１１ａおよび上側シート２０の長手方向側縁２１ａよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、ウィックシート３０の長手方向側縁３２ａにウィックシート引込部３８ａが形成されている。また、ウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂが下側シート１０の長手方向側縁１１ｂおよび上側シート２０の長手方向側縁２１ｂよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、ウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂにウィックシート引込部３８ｂが形成されている。また、ウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃが下側シート１０の短手方向側縁１１ｃおよび上側シート２０の短手方向側縁２１ｃよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、ウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃにウィックシート引込部３８ｃが形成されている。また、ウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄが下側シート１０の短手方向側縁１１ｄおよび上側シート２０の短手方向側縁２１ｄよりも蒸気流路部５０の側に位置づけられて、ウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄにウィックシート引込部３８ｄが形成されている。このように、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが、ウィックシート３０の外周縁３２ｏのうちウィックシート注入突出部３６が設けられている部分を除いて全周に渡って形成されている。

【0219】

図２９に示すＹ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ａとウィックシート３０の長手方向側縁３２ａとの間の寸法ｗ１１は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。Ｙ方向における下側シート１０の長手方向側縁１１ｂとウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂとの間の寸法、Ｘ方向における下側シート１０の短手方向側縁１１ｃとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃとの間の寸法、およびＸ方向における下側シート１０の短手方向側縁１１ｄとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄとの間の寸法についても同様である。すなわち、各ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが、平面視において、下側シート１０の外周縁１１ｏから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。

【0220】

図２９に示すＹ方向における上側シート２０の長手方向側縁２１ａとウィックシート３０の長手方向側縁３２ａとの間の寸法ｗ１１’は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。Ｙ方向における上側シート２０の長手方向側縁２１ｂとウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂとの間の寸法、Ｘ方向における上側シート２０の短手方向側縁２１ｃとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃとの間の寸法、およびＸ方向における上側シート２０の短手方向側縁２１ｄとウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄとの間の寸法についても同様である。すなわち、各ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが、平面視において、上側シート２０の外周縁２１ｏから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。なお、寸法ｗ１１’は、上述した寸法ｗ１１と等しくてもよいが、上述した寸法ｗ１１よりも大きくてもよいし、あるいは小さくてもよい。

【0221】

また、図２９に示すＹ方向におけるウィックシート３０の長手方向側縁３２ａと蒸気流路部５０（第１蒸気通路５１）との間の寸法ｗ１２は、例えば、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、この寸法ｗ１２は、第１本体面３１ａあるいは第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。Ｙ方向におけるウィックシート３０の長手方向側縁３２ｂと蒸気流路部５０との間の寸法、Ｘ方向におけるウィックシート３０の短手方向側縁３２ｃと蒸気流路部５０との間の寸法、およびＸ方向におけるウィックシート３０の短手方向側縁３２ｄと蒸気流路部５０との間の寸法についても同様である。すなわち、各ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが、蒸気流路部５０（第１蒸気通路５１）から３０μｍ以上３０００μｍ以下離れた位置に設けられていてもよい。

【0222】

次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１の搬送方法について、図３０を用いて説明する。ここでは、ベーパーチャンバ１が互いに積み重ねられて載置された状態からベーパーチャンバ１を取り出して搬送する方法について説明する。

【0223】

まず、図３０に示すように、吊下げ装置８０の第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂの爪部８２ａ、８２ｂを、ウィックシート３０のウィックシート引込部３８ａ、３８ｂにそれぞれ入り込ませて、第１爪部８２ａおよび第２爪部８２ｂを、上側シート２０の第１上側シート面２０ａにそれぞれ当接させる。

【0224】

次に、第１爪部８２ａおよび第２爪部８２ｂを上側シート２０の第１上側シート面２０ａに当接させた状態で、第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂをそれぞれ上方に移動させる。これにより、上側シート２０の第１上側シート面２０ａが第１爪部８２ａおよび第２爪部８２ｂに支持されて、ベーパーチャンバ１が吊下げ装置８０により吊り下げられる。

【0225】

そして、吊下げ装置８０によりベーパーチャンバ１を吊り下げた状態で、第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂを水平方向に移動させて、ベーパーチャンバ１を所望の目標位置まで搬送する。

【0226】

このようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１を吊下げ装置８０により搬送することができる。

【0227】

なお、第１の実施の形態と同様に、上述した吊下げ装置８０によるベーパーチャンバ１の搬送は一例であり、その他の任意の装置等を用いてベーパーチャンバ１を搬送することができる。

【0228】

このように本実施の形態によれば、ウィックシート３０に、平面視において、上側シート２０の外周縁２１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれたウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが設けられている。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１のウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄに、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を入り込ませることができる。このため、ベーパーチャンバ１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0229】

また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１の搬送に吸着装置８５を用いることを不要にすることができる。このため、ベーパーチャンバ１の変形を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の更なる薄型化を実現することができる。

【0230】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０が、平面視において、全体的に下側シート１０および上側シート２０よりも小さく形成されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０の厳密な位置合わせを不要にすることができる。すなわち、下側シート１０および上側シート２０が、ウィックシート３０に対してずれて配置された場合であっても、下側シート１０および上側シート２０により、ウィックシート３０に設けられた蒸気流路部５０を覆うことができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造を容易化することができる。

【0231】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄは、ウィックシート３０の一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂおよび一対の短手方向側縁３２ｃ、３２ｄにそれぞれ設けられている。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１の平面視における任意の方向から、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄのいずれかに吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を入り込ませて、ベーパーチャンバ１を持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0232】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄは、平面視において、上側シート２０の外周縁２１ｏから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれている。このようにウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが１０μｍ以上引き込まれていることにより、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等で上側シート２０の第１上側シート面２０ａをしっかりと支持することができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。また、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが１０００μｍ以下引き込まれていることにより、ベーパーチャンバ１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0233】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄは、平面視において、蒸気流路部５０から３０μｍ以上離れた位置に設けられている。このように蒸気流路部５０とウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄとの間の距離が３０μｍ以上であることにより、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、第２本体面３１ｂと第１上側シート面２０ａとをしっかりと接合することができる。このため、ベーパーチャンバ１の強度の低下を抑制することができる。

【0234】

また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１を下側シート１０と上側シート２０とウィックシート３０とで構成することにより、下側シート１０がデバイスＤから受けた熱を、上側シート２０から放出することができる。これにより、デバイスＤを効果的に冷却することができる。このため、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0235】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄは、平面視において、下側シート１０の外周縁１１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれている。このことにより、ベーパーチャンバ１が反対向きに載置された場合であっても、すなわち、上側シート２０の第２上側シート面２０ｂが載置面７０を向くように載置された場合であっても、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに当接させて上方に移動させることで、ベーパーチャンバ１を容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１が反対向きに載置された場合であっても、ベーパーチャンバ１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0236】

また、本実施の形態によれば、下側シート１０および上側シート２０は、ウィックシート３０を構成する材料よりも強度が高い材料で構成されている。このことにより、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を上側シート２０の第１上側シート面２０ａや下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに当接させてベーパーチャンバ１を吊り下げた際に、下側シート１０および上側シート２０が変形することを抑制することができる。

【0237】

（第２の実施の形態の第１変形例）
上述した第２の実施の形態においては、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが、ウィックシート３０の一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂおよび一対の短手方向側縁３２ｃ、３２ｄにそれぞれ設けられている例について説明した（図２８参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、上述した第１の実施の形態の第１変形例と同様に、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂは、ウィックシート３０の一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂのうちの少なくとも一方に設けられていてもよい。

【0238】

（第２の実施の形態の第２変形例）
また、上述した第１の実施の形態の第２変形例と同様に、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄは、ウィックシート３０の一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂのうちの一方に設けられるとともに、ウィックシート３０の一対の短手方向側縁３２ｃ、３２ｄのうちの一方にも設けられていてもよい。

【0239】

（第２の実施の形態の第３変形例）
また、上述した第１の実施の形態の第３変形例と同様に、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂは、ウィックシート３０の一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂの両方にそれぞれ設けられていてもよい。更に、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂは、ウィックシート３０の一対の長手方向側縁３２ａ、３２ｂの一部に設けられていてもよい。

【0240】

（第２の実施の形態の第４変形例）
また、上述した第１の実施の形態の第４変形例と同様に、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂは、ウィックシート３０の隅部に設けられていてもよい。

【0241】

（第２の実施の形態の第５変形例）
また、上述した第２の実施の形態においては、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが、平面視において、下側シート１０の外周縁１１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれるとともに、上側シート２０の外周縁２１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれている例について説明した（図２９参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄは、平面視において、下側シート１０の外周縁１１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれていなくてもよい。あるいは、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄは、平面視において、上側シート２０の外周縁２１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれていなくてもよい。

【0242】

図３１に示す例においては、ウィックシート３０が、平面視において、全体的に上側シート２０よりも小さく形成されている一方、下側シート１０と同じ大きさに形成されている。すなわち、ウィックシート３０および下側シート１０が、平面視において、全体的に上側シート２０よりも小さく形成されている。これにより、ウィックシート３０に、平面視において、上側シート２０の外周縁２１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれたウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが設けられている。

【0243】

このような場合であっても、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄに所定の装置や工具、指などを入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0244】

また、ウィックシート３０が、平面視において、全体的に下側シート１０よりも小さく形成されている一方、上側シート２０と同じ大きさに形成されていてもよい。すなわち、ウィックシート３０および上側シート２０が、平面視において、全体的に下側シート１０よりも小さく形成されていてもよい。これにより、ウィックシート３０に、平面視において、下側シート１０の外周縁１１ｏよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれたウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄが設けられていてもよい。

【0245】

この場合、ベーパーチャンバ１が反対向きに載置された状態、すなわち、上側シート２０の第２上側シート面２０ｂが載置面７０を向くように載置された状態で、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄに所定の装置や工具、指などを入り込ませることにより、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0246】

（第２の実施の形態の第６変形例）
また、上述した第２の実施の形態においては、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄと蒸気流路部５０との間に、液流路部６０が設けられていない例について説明した（図２９参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、上述した第１の実施の形態の第６変形例と同様に、ウィックシート引込部３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３８ｄと蒸気流路部５０との間に、液流路部６０が設けられていてもよい。

【0247】

（第２の実施の形態の第７変形例）
また、上述した第２の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、１つのウィックシート３０を備えている例について説明した（図２９参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、上述した第１の実施の形態の第７変形例と同様に、ベーパーチャンバ１は、複数のウィックシート３０を備えていてもよい。

【0248】

（第２の実施の形態の第８変形例）
また、上述した第１の実施の形態の第８変形例と同様に、ベーパーチャンバ１は、貫通穴９０を有していてもよい。

【0249】

図３２および図３３に示す例においては、平面視において、ウィックシート３０のウィックシート貫通部９２を画定する内周縁３１ｉは、下側シート１０の下側シート貫通部９１を画定する内周縁１０ｉおよび上側シート２０の上側シート貫通部９３を画定する内周縁２０ｉよりも外側、すなわち貫通穴９０とは反対側に位置づけられている。これにより、ウィックシート３０に、平面視において、下側シート１０の貫通穴９０を画定する内周縁１０ｉおよび上側シート２０の貫通穴９０を画定する内周縁２０ｉよりも貫通穴９０とは反対側に引き込まれたウィックシート引込部３８ｉが設けられている。

【0250】

図３３に示すＹ方向における下側シート１０の内周縁１０ｉとウィックシート３０の内周縁３１ｉとの間の寸法ｗ１３は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。すなわち、ウィックシート引込部３８ｉが、平面視において、下側シート１０の内周縁１０ｉから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。

【0251】

図３３に示すＹ方向における上側シート２０の内周縁２０ｉとウィックシート３０の内周縁３１ｉとの間の寸法ｗ１３’は、例えば、１０μｍ～１０００μｍであってもよい。すなわち、ウィックシート引込部３８ｉが、平面視において、上側シート２０の内周縁２０ｉから１０μｍ以上１０００μｍ以下離れた位置まで引き込まれていてもよい。なお、寸法ｗ１３’は、上述した寸法ｗ１３と等しくてもよいが、上述した寸法ｗ１３よりも大きくてもよいし、あるいは小さくてもよい。

【0252】

また、図３３に示すＹ方向におけるウィックシート３０の内周縁３１ｉと液流路部６０との間の寸法ｗ１４は、例えば、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、この寸法ｗ１４は、第１本体面３１ａあるいは第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。すなわち、ウィックシート引込部３８ｉが、液流路部６０から３０μｍ以上３０００μｍ以下離れた位置に設けられていてもよい。なお、ウィックシート３０の内周縁３１ｉと液流路部６０との間に蒸気流路部５０が設けられている場合は、Ｙ方向におけるウィックシート３０の内周縁３１ｉと蒸気流路部５０との間の寸法が、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。

【0253】

このような場合であっても、図３４に示すように、吊下げ装置８０の第１アーム部８１ａおよび第２アーム部８１ｂ等をウィックシート引込部３８ｉに入り込ませることができ、ベーパーチャンバ１の持ち上げを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１の搬送性を向上させることができる。

【0254】

また、ウィックシート引込部３８ｉが１０μｍ以上引き込まれていることにより、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等で上側シート２０の第１上側シート面２０ａをしっかりと支持することができる。このため、ベーパーチャンバ１の持ち上げをより一層容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。また、ウィックシート引込部３８ｉが１０００μｍ以下引き込まれていることにより、ベーパーチャンバ１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ベーパーチャンバ１のより広範な領域に蒸気流路部５０および液流路部６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0255】

また、蒸気流路部５０とウィックシート引込部３８ｉとの間の距離が３０μｍ以上であることにより、ベーパーチャンバ１の製造時の接合工程において、第１本体面３１ａと第１上側シート面２０ａとをしっかりと接合することができる。このため、ベーパーチャンバ１の強度の低下を抑制することができる。

【0256】

また、ベーパーチャンバ１を下側シート１０と上側シート２０とウィックシート３０とで構成することにより、下側シート１０がデバイスＤから受けた熱を、上側シート２０から放出することができる。これにより、デバイスＤを効果的に冷却することができる。このため、ベーパーチャンバ１の性能を向上させることができる。

【0257】

また、ウィックシート引込部３８ｉは、平面視において、下側シート１０の内周縁１０ｉよりも蒸気流路部５０の側に引き込まれている。このことにより、ベーパーチャンバ１が反対向きに載置された場合であっても、すなわち、上側シート２０の第２上側シート面２０ｂが載置面７０を向くように載置された場合であっても、吊下げ装置８０の爪部８２ａ、８２ｂ等を下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに当接させて上方に移動させることで、ベーパーチャンバ１を容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１が反対向きに載置された場合であっても、ベーパーチャンバ１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0258】

（第２の実施の形態の第９変形例）
また、上述した第１の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０と、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることになく、上述した第１の実施の形態の第９変形例と同様に、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０（第１シート）と、ウィックシート３０（本体シート）とで構成されていてもよい。

【0259】

（第３の実施の形態）
次に、図３５～図４１を用いて、第３の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0260】

図３５および図３６に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間１０３を有している。密封空間１０３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤが冷却される。

【0261】

図３５および図３６に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、下側シート１１０（第１シート）と、上側シート１２０（第２シート）と、下側シート１１０と上側シート１２０との間に介在されたベーパーチャンバ用のウィックシート１３０（本体シート）と、を備えている。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１は、１つのウィックシート１３０を備えている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、下側シート１１０、ウィックシート１３０および上側シート１２０が、この順番で積層されて接合されている。

【0262】

ベーパーチャンバ１０１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１０１の平面形状は任意であるが、図３５に示すような矩形状であってもよい。ベーパーチャンバ１０１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１０１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、一例として、ベーパーチャンバ１０１の平面形状が、Ｘ方向を長手方向とする矩形状である例について説明する。なお、ベーパーチャンバ１０１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状など、任意の形状とすることができる。

【0263】

図３５に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＳＲと、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＣＲと、を有している。

【0264】

蒸発領域ＳＳＲは、平面視でデバイスＤと重なる領域であり、デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＳＲは、ベーパーチャンバ１０１の任意の場所に配置することができる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向における一側（図３５における左側）に、蒸発領域ＳＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＳＲにデバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動流体の液体（作動液２ｂ）が蒸発領域ＳＳＲにおいて蒸発する。デバイスＤからの熱は、平面視でデバイスＤに重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＳＲは、平面視で、デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１０１がデバイスＤから熱を受ける面（下側シート１１０の後述する第１下側シート面１１０ａ）および受けた熱を放出する面（上側シート１２０の後述する第２上側シート面１２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、図３５に示すように、ベーパーチャンバ１０１を上方から見た状態、または下方から見た状態に相当している。

【0265】

凝縮領域ＣＣＲは、平面視でデバイスＤと重ならない領域であって、主として作動流体の蒸気（作動蒸気２ａ）が熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＣＲは、蒸発領域ＳＳＲの周囲の領域と言うこともできる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向における他側（図３５における右側）に、凝縮領域ＣＣＲが形成されている。凝縮領域ＣＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が上側シート１２０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＣＲにおいて冷却されて凝縮する。

【0266】

なお、ベーパーチャンバ１０１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受けるシートを上述の下側シート１１０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の上側シート１２０と称する。このため、下側シート１１０が下側に配置され、上側シート１２０が上側に配置された状態で、以下説明する。

【0267】

まず、下側シート１１０について説明する。

【0268】

図３６に示すように、下側シート１１０は、ウィックシート１３０とは反対側に設けられた第１下側シート面１１０ａと、第１下側シート面１１０ａとは反対側（すなわちウィックシート１３０の側）に設けられた第２下側シート面１１０ｂと、を有している。下側シート１１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第１下側シート面１１０ａに、上述のデバイスＤが取り付けられる。

【0269】

図３７に示すように、下側シート１１０の平面形状は、全体的に矩形状を有していてもよい。より具体的には、下側シート１１０は、平面視において、Ｘ方向（第１方向）に延びる一対の長手方向側縁１１１ａ、１１１ｂ（第１側縁）と、Ｘ方向に直交するＹ方向（第２方向）に延びる一対の短手方向側縁１１１ｃ、１１１ｄ（第２側縁）と、を有していてもよい。一対の長手方向側縁１１１ａ、１１１ｂは、Ｙ方向における両側に設けられている。長手方向側縁１１１ａは、Ｙ方向における一側（図３７における下側）に設けられ、長手方向側縁１１１ｂは、Ｙ方向における他側（図３７における上側）に設けられている。一対の短手方向側縁１１１ｃ、１１１ｄは、Ｘ方向における両側に設けられている。短手方向側縁１１１ｃは、Ｘ方向における一側（図３７における左側）に設けられ、短手方向側縁１１１ｄは、Ｘ方向における他側（図３７における右側）に設けられている。これらの一対の長手方向側縁１１１ａ、１１１ｂおよび一対の短手方向側縁１１１ｃ、１１１ｄが、平面視での下側シート１１０の外周縁１１１ｏを構成している。

【0270】

図３５および図３６に示すように、下側シート１１０は、平面視において、全体的に後述する上側シート１２０よりも小さく形成されている。このため、平面視において、下側シート１１０の外周縁１１１ｏは、上側シート１２０の外周縁１２１ｏよりも内側（後述する蒸気流路部１５０の側）に位置づけられている。すなわち、下側シート１１０の長手方向側縁１１１ａ、１１１ｂおよび短手方向側縁１１１ｃ、１１１ｄはそれぞれ、後述する上側シート１２０の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂおよび短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄよりも内側に位置づけられている。

【0271】

図３７に示すように、下側シート１１０は、矩形状の下側シート本体１１１と、下側シート本体１１１から外側に突出した下側シート注入突出部１１３と、を有していてもよい。図３７に示す例においては、下側シート注入突出部１１３は、短手方向側縁１１１ｃに設けられており、短手方向側縁１１１ｃからＸ方向における一側（図３７における左側）に突出している。

【0272】

また、図３７に示すように、下側シート１１０の下側シート本体１１１の四隅に、アライメント孔１１２が設けられていてもよい。図３７に示す例においては、アライメント孔１１２の平面形状は円形であるが、これに限られることはない。アライメント孔１１２は、下側シート本体１１１を貫通していてもよい。

【0273】

次に、上側シート１２０について説明する。

【0274】

図３６に示すように、上側シート１２０は、ウィックシート１３０の側に設けられた第１上側シート面１２０ａと、第１上側シート面１２０ａとは反対側に設けられた第２上側シート面１２０ｂと、を有している。上側シート１２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第２上側シート面１２０ｂに、モバイル端末等のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第２上側シート面１２０ｂの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。

【0275】

図３８に示すように、上側シート１２０の平面形状は、全体的に矩形状を有していてもよい。より具体的には、上側シート１２０は、平面視において、Ｘ方向に延びる一対の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂと、Ｙ方向に延びる一対の短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄと、を有していてもよい。一対の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂは、Ｙ方向における両側に設けられている。長手方向側縁１２１ａは、Ｙ方向における一側（図３８における下側）に設けられ、長手方向側縁１２１ｂは、Ｙ方向における他側（図３８における上側）に設けられている。一対の短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄは、Ｘ方向における両側に設けられている。短手方向側縁１２１ｃは、Ｘ方向における一側（図３８における左側）に設けられ、短手方向側縁１２１ｄは、Ｘ方向における他側（図３８における右側）に設けられている。これらの一対の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂおよび一対の短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄが、平面視での上側シート１２０の外周縁１２１ｏを構成している。

【0276】

図３５および図３６に示すように、上側シート１２０は、平面視において、全体的に上述した下側シート１１０よりも大きく形成されている。このため、平面視において、上側シート１２０の外周縁１２１ｏは、下側シート１１０の外周縁１１１ｏよりも外側（後述する蒸気流路部１５０とは反対側）に位置づけられている。すなわち、上側シート１２０の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂおよび短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄはそれぞれ、上述した下側シート１１０の長手方向側縁１１１ａ、１１１ｂおよび短手方向側縁１１１ｃ、１１１ｄよりも外側に位置づけられている。

【0277】

図３８に示すように、上側シート１２０は、矩形状の上側シート本体１２１と、上側シート本体１２１から外側に突出した上側シート注入突出部１２３と、を有していてもよい。図３８に示す例においては、上側シート注入突出部１２３は、短手方向側縁１２１ｃに設けられており、短手方向側縁１２１ｃからＸ方向における一側（図３８における左側）に突出している。

【0278】

また、図３８に示すように、上側シート１２０の上側シート本体１２１の四隅に、アライメント孔１２２が設けられていてもよい。図３８に示す例においては、アライメント孔１２２の平面形状は円形であるが、これに限られることはない。アライメント孔１１２は、上側シート本体１２１を貫通していてもよい。

【0279】

次に、ウィックシート１３０について説明する。

【0280】

図３６に示すように、ウィックシート１３０は、シート本体１３１と、シート本体１３１に設けられた蒸気流路部１５０（空間部）と、を備えている。シート本体１３１は、第１本体面１３１ａと、第１本体面１３１ａとは反対側に設けられた第２本体面１３１ｂと、を有している。第１本体面１３１ａは、下側シート１１０の側に配置されており、第２本体面１３１ｂは、上側シート１２０の側に配置されている。

【0281】

下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂとシート本体１３１の第１本体面１３１ａとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａとシート本体１３１の第２本体面１３１ｂとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。熱圧着による接合の例としては、例えば、拡散接合を挙げることができる。しかしながら、下側シート１１０、上側シート１２０およびウィックシート１３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１１０とウィックシート１３０との接合を維持できるとともに、上側シート１２０とウィックシート１３０との接合を維持できる程度に接合されていることを意味する用語として用いている。

【0282】

図３９に示すように、平面視において、ウィックシート１３０の外形形状は、全体的に矩形状を有していてもよい。より具体的には、ウィックシート１３０は、平面視において、Ｘ方向に延びる一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂと、Ｙ方向に延びる一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄと、を有していてもよい。一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂは、Ｙ方向における両側に設けられている。長手方向側縁１３２ａは、Ｙ方向における一側（図３９における下側）に設けられ、長手方向側縁１３２ｂは、Ｙ方向における他側（図３９における上側）に設けられている。一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄは、Ｘ方向における両側に設けられている。短手方向側縁１３２ｃは、Ｘ方向における一側（図３９における左側）に設けられ、短手方向側縁１３２ｄは、Ｘ方向における他側（図３９における右側）に設けられている。これらの一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂおよび一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄが、平面視でのウィックシート１３０の外周縁１３２ｏを構成している。

【0283】

図３５および図３６に示すように、平面視において、ウィックシート１３０の外周縁１３２ｏは、上側シート１２０の外周縁１２１ｏに重なっている。すなわち、ウィックシート１３０の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂおよび短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄはそれぞれ、上側シート１２０の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂおよび短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄに重なっている。また、ウィックシート１３０は、外周縁１３２ｏから内側（後述する蒸気流路部１５０の側）に引き込まれた引込部１７０を備えている。引込部１７０の詳細については後述する。

【0284】

図３９に示すように、ウィックシート１３０は、後述する枠体部１３２から外側に突出したウィックシート注入突出部１３６を有していてもよい。図３９に示す例においては、ウィックシート注入突出部１３６は、短手方向側縁１３２ｃに設けられており、短手方向側縁１３２ｃからＸ方向における一側（図３９における左側）に突出している。

【0285】

また、図３９に示すように、ウィックシート１３０のシート本体１３１の四隅に、アライメント孔１３５が設けられていてもよい。図３９に示す例においては、アライメント孔１３５の平面形状は円形であるが、これに限られることはない。アライメント孔１３５は、シート本体１３１を貫通していてもよい。

【0286】

また、本実施の形態によるウィックシート１３０のシート本体１３１は、図３６および図３９に示すように、平面視で矩形枠状に形成された枠体部１３２と、枠体部１３２内に設けられた複数のランド部１３３と、を有している。枠体部１３２およびランド部１３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート１３０の材料が残る部分である。

【0287】

本実施の形態では、枠体部１３２は、平面視で、矩形枠状に形成されている。この枠体部１３２の内側に、蒸気流路部１５０（空間部）が設けられている。各ランド部１３３は、蒸気流路部１５０内に設けられており、各ランド部１３３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。すなわち、蒸気流路部１５０は、上述した複数のランド部１３３と、各ランド部１３３の周囲に設けられた、作動蒸気２ａが流れる通路である後述する蒸気通路１５１、１５２と、を含んでいる。

【0288】

本実施の形態では、ランド部１３３は、平面視で、Ｘ方向（図３９における左右方向）を長手方向として細長状に延びていてもよく、ランド部１３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。また、各ランド部１３３は、Ｘ方向に直交するＹ方向（図３９における上下方向）において等間隔に離間して、互いに平行に配置されていてもよい。ランド部１３３の幅ｗｗ１（図４０参照）は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部１３３の幅ｗｗ１は、Ｙ方向におけるランド部１３３の寸法であって、Ｚ方向において後述する貫通部１３４が存在する位置における寸法を意味している。ここで、Ｚ方向は、図３６および図４０における上下方向に相当しており、ウィックシート１３０の厚さ方向に相当している。

【0289】

枠体部１３２および各ランド部１３３は、下側シート１１０に熱圧着により接合されるとともに、上側シート１２０に熱圧着により接合されている。後述する下側蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａおよび上側蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａは、ランド部１３３の側壁を構成している。シート本体１３１の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂは、枠体部１３２および各ランド部１３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

【0290】

蒸気流路部１５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。蒸気流路部１５０には、作動液２ｂも通ってもよい。図３６および図４０に示すように、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに貫通していてもよい。すなわち、ウィックシート１３０のシート本体１３１を貫通していてもよい。蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａにおいて下側シート１１０で覆われていてもよく、第２本体面１３１ｂにおいて上側シート１２０で覆われていてもよい。

【0291】

図３９に示すように、本実施の形態における蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とを有している。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２とランド部１３３との間に形成されている。この第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２の内側であってランド部１３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路１５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第２蒸気通路１５２は、互いに隣り合うランド部１３３の間に形成されている。第２蒸気通路１５２の平面形状は、細長の矩形形状になっている。複数のランド部１３３によって、蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とに区画されている。

【0292】

図３６に示すように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、シート本体１３１の第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに貫通している。すなわち、Ｚ方向においてウィックシート１３０を貫通している。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１本体面１３１ａに設けられた下側蒸気流路凹部１５３と、第２本体面１３１ｂに設けられた上側蒸気流路凹部１５４とによってそれぞれ構成されている。下側蒸気流路凹部１５３と上側蒸気流路凹部１５４とが連通して、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が、第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂにわたって延びるように形成されている。

【0293】

下側蒸気流路凹部１５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート１３０の第１本体面１３１ａからエッチングされることによって、第１本体面１３１ａに凹状に形成されている。このことにより、下側蒸気流路凹部１５３は、図４０に示すように、湾曲状に形成された壁面１５３ａを有している。この壁面１５３ａは、下側蒸気流路凹部１５３を画定し、図４０に示す断面において、第２本体面１３１ｂに向かって進むにつれて、対向する壁面１５３ａに近づくように湾曲している。このような下側蒸気流路凹部１５３は、第１蒸気通路１５１の一部（下半分）および第２蒸気通路１５２の一部（下半分）を構成している。

【0294】

上側蒸気流路凹部１５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート１３０の第２本体面１３１ｂからエッチングされることによって、第２本体面１３１ｂに凹状に形成されている。このことにより、上側蒸気流路凹部１５４は、図４０に示すように、湾曲状に形成された壁面１５４ａを有している。この壁面１５４ａは、上側蒸気流路凹部１５４を画定し、図４０に示す断面において、第１本体面１３１ａに向かって進むにつれて、対向する壁面１５４ａに近づくように湾曲している。このような上側蒸気流路凹部１５４は、第１蒸気通路１５１の一部（上半分）および第２蒸気通路１５２の一部（上半分）を構成している。

【0295】

図４０に示すように、下側蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと、上側蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとが連接して貫通部１３４が形成されている。壁面１５３ａと壁面１５４ａはそれぞれ貫通部１３４に向かって湾曲している。このことにより、下側蒸気流路凹部１５３と上側蒸気流路凹部１５４とが互いに連通している。本実施の形態では、第１蒸気通路１５１における貫通部１３４の平面形状は、第１蒸気通路１５１と同様に矩形枠状になっており、第２蒸気通路１５２における貫通部１３４の平面形状は、第２蒸気通路１５２と同様に細長の矩形形状になっている。貫通部１３４は、下側蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと上側蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとが合流し、内側に張り出すように形成された稜線によって画定されていてもよい。この貫通部１３４において蒸気流路部１５０の平面面積が最小になっている。このような貫通部１３４の幅ｗｗ２，ｗｗ２’（図４０参照）は、例えば、４００μｍ～１６００μｍであってもよい。ここで、貫通部１３４の幅ｗｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部１３３の間のギャップに相当する。また、貫通部１３４の幅ｗｗ２’は、Ｙ方向（またはＸ方向）における枠体部１３２とランド部１３３との間のギャップに相当する。

【0296】

Ｚ方向における貫通部１３４の位置は、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの中間位置でもよく、中間位置から下側または上側にずれた位置でもよい。下側蒸気流路凹部１５３と上側蒸気流路凹部１５４とが連通すれば、貫通部１３４の位置は任意である。

【0297】

また、本実施の形態では、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部１３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路１５１の断面形状および第２蒸気通路１５２の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。

【0298】

このように構成された第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を含む蒸気流路部１５０は、上述した密封空間１０３の一部を構成している。各蒸気通路１５１、１５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。

【0299】

ここで、図３６は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２などを拡大して示しており、これらの蒸気通路１５１、１５２などの個数や配置は、図３５および図３９とは異なっている。

【0300】

ところで、図示しないが、蒸気流路部１５０内に、ランド部１３３を枠体部１３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部１３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部１３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部１３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部１５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、ウィックシート１３０のシート本体１３１の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂのうちの一方の側に配置されて、他方の側には、蒸気流路凹部をなす空間が形成されるようにしてもよい。このことにより、支持部の厚さをシート本体１３１の厚さよりも薄くすることができ、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。

【0301】

図３６、図３９および図４０に示すように、ウィックシート１３０のシート本体１３１の第１本体面１３１ａに、主として作動液２ｂが通る液流路部１６０（溝部）が設けられている。より具体的には、液流路部１６０は、ウィックシート１３０の各ランド部１３３の第１本体面１３１ａに設けられている。液流路部１６０には、作動蒸気２ａも通ってもよい。この液流路部１６０は、上述した密封空間１０３の一部を構成しており、蒸気流路部１５０に連通している。液流路部１６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。液流路部１６０は、各ランド部１３３の第１本体面１３１ａの全体にわたって形成されていてもよい。各ランド部１３３の第２本体面１３１ｂには、液流路部１６０は設けられていなくてもよい。

【0302】

図４１に示すように、液流路部１６０は、第１本体面１３１ａに設けられた複数の溝で構成されている。より具体的には、液流路部１６０は、作動液２ｂが通る複数の液流路主流溝１６１と、液流路主流溝１６１に連通する複数の液流路連絡溝１６５と、を有している。

【0303】

各液流路主流溝１６１は、図４１に示すように、Ｘ方向に延びるように形成されている。液流路主流溝１６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２よりも小さな流路断面積を有している。このことにより、液流路主流溝１６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝１６１は、Ｙ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。

【0304】

液流路主流溝１６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート１３０のシート本体１３１の第１本体面１３１ａからエッチングされることによって形成されている。このことにより、液流路主流溝１６１は、図４０に示すように、湾曲状に形成された壁面１６２を有している。この壁面１６２は、液流路主流溝１６１を画定し、第２本体面１３１ｂに向かって凹状に湾曲している。

【0305】

図４０および図４１に示す液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。なお、液流路主流溝６１の幅ｗｗ３は、第１本体面１３１ａにおける寸法を意味している。また、図４０に示す液流路主流溝１６１の深さｈｈ１（Ｚ方向における寸法）は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。

【0306】

図４１に示すように、各液流路連絡溝１６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液流路連絡溝１６５は、Ｙ方向に延びるように形成されており、液流路主流溝１６１に垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝１６５は、互いに隣り合う液流路主流溝１６１同士を連通するように配置されている。他の液流路連絡溝１６５は、蒸気流路部１５０（第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２）と液流路主流溝１６１とを連通するように配置されている。すなわち、当該液流路連絡溝１６５は、Ｙ方向におけるランド部１３３の端縁から当該端縁に隣り合う液流路主流溝１６１に延びている。このようにして、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２と液流路主流溝１６１とが連通している。

【0307】

液流路連絡溝１６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２よりも小さな流路断面積を有している。各液流路連絡溝１６５は、Ｘ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。

【0308】

液流路連絡溝１６５も、液流路主流溝１６１と同様に、エッチングによって形成され、液流路主流溝１６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図４１に示す液流路連絡溝１６５の幅ｗｗ４（Ｘ方向における寸法）は、液流路主流溝１６１の幅ｗｗ３と等しくてもよいが、幅ｗｗ３よりも大きくてもよく、あるいは小さくてもよい。液流路連絡溝１６５の深さは、液流路主流溝１６１の深さｈｈ１と等しくてもよいが、深さｈｈ１よりも深くてもよく、あるいは浅くてもよい。

【0309】

図４１に示すように、液流路部１６０は、シート本体１３１の第１本体面１３１ａに設けられた液流路凸部列１６３を有している。液流路凸部列１６３は、互いに隣り合う液流路主流溝１６１の間に設けられている。各液流路凸部列１６３は、Ｘ方向に配列された複数の液流路凸部１６４を含んでいる。液流路凸部１６４は、液流路部１６０内に設けられており、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂに当接している。各液流路凸部１６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部１６４の間に、液流路主流溝１６１が介在され、Ｘ方向において互いに隣り合う液流路凸部１６４の間には、液流路連絡溝１６５が介在されている。液流路連絡溝１６５は、Ｙ方向に延びるように形成され、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝１６１同士を連通している。このことにより、これらの液流路主流溝１６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。

【0310】

液流路凸部１６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート１３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図４１に示すように、液流路凸部１６４の平面形状（ウィックシート１３０のシート本体１３１の第１本体面１３１ａの位置における形状）が、矩形状になっている。

【0311】

本実施の形態においては、液流路凸部１６４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列１６３の液流路凸部１６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における液流路凸部１６４の配列ピッチの半分であってもよい。図４１に示す液流路凸部１６４の幅ｗｗ５（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。なお、液流路凸部１６４の幅ｗｗ５は、第１本体面１３１ａにおける寸法を意味している。なお、液流路凸部１６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列１６３の液流路凸部１６４が、Ｘ方向においても整列される。

【0312】

液流路主流溝１６１は、液流路連絡溝１６５と連通する液流路交差部１６６を含んでいる。液流路交差部１６６において、液流路主流溝１６１と液流路連絡溝１６５とがＴ字状に連通している。このことにより、一の液流路主流溝１６１と、一方の側（例えば、図４１における上側）の液流路連絡溝１６５とが連通している液流路交差部１６６において、他方の側（例えば、図４１における下側）の液流路連絡溝１６５が当該液流路主流溝１６１に連通することを回避できる。このことにより、当該液流路交差部１６６において、液流路主流溝１６１の壁面１６２が両側（図４１における上側および下側）で切り欠かれることを防止し、壁面１６２の一方の側を残存させることができる。このため、液流路交差部１６６においても、液流路主流溝１６１内の作動液に毛細管作用を付与させることができ、蒸発領域ＳＳＲに向かう作動液２ｂの推進力が液流路交差部１６６で低下することを抑制できる。

【0313】

また、図３５に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、Ｘ方向における一側（図３５における左側）の側縁に、密封空間１０３に作動液２ｂを注入する注入部１０４を更に備えていてもよい。図３５に示す例においては、注入部１０４は、蒸発領域ＳＳＲの側に配置されており、蒸発領域ＳＳＲの側の側縁から外側に突出している。

【0314】

注入部１０４は、下側シート１１０の下側シート注入突出部１１３（図３７参照）と、上側シート１２０の上側シート注入突出部１２３（図３８参照）と、ウィックシート１３０のウィックシート注入突出部１３６（図３９参照）と、が互いに重なり合って構成されている。図示された例においては、ウィックシート注入突出部１３６の下面（第１本体面１３１ａ）と下側シート注入突出部１１３の上面（第２下側シート面１１０ｂ）とが重なり合っているとともに、ウィックシート注入突出部１３６の上面（第２本体面１３１ｂ）と上側シート注入突出部１２３の下面（第１上側シート面１２０ａ）とが重なり合っている。このうちウィックシート注入突出部１３６に注入流路１３７が形成されていてもよい。この注入流路１３７は、シート本体１３１の第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに貫通していてもよい。すなわち、Ｚ方向においてシート本体１３１（ウィックシート注入突出部１３６）を貫通していてもよい。注入流路１３７は、第１蒸気通路１５１に連通しており、作動液２ｂは、注入流路１３７を通って第１蒸気通路１５１に注入されてもよい。なお、液流路部１６０の配置によっては、注入流路１３７は液流路部１６０に連通させるようにしてもよい。ウィックシート注入突出部１３６の上面および下面は、平坦状に形成されていてもよく、下側シート注入突出部１１３の上面および上側シート注入突出部１２３の下面も、平坦状に形成されていてもよい。各注入突出部１１３、１２３、１３６の平面形状は等しくてもよい。

【0315】

なお、本実施の形態では、注入部１０４は、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向における一対の側縁のうちの一側の側縁に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、任意の位置に設けることができる。また、ウィックシート注入突出部１３６に設けられた注入流路１３７は、作動液２ｂを注入できれば、シート本体１３１を貫通していなくてもよい。この場合、シート本体１３１の第１本体面１３１ａおよび第２本体面１３１ｂのうちの一方からのみのエッチングで、蒸気流路部１５０に連通する注入流路１３７を形成することができる。また、注入部１０４は、ベーパーチャンバ１０１の製造時において、作動液２ｂの注入後、切断されて除去されてもよい。

【0316】

ところで、上述したように、本実施の形態によるウィックシート１３０は、外周縁１３２ｏから蒸気流路部１５０の側に引き込まれた引込部１７０を備えている。本実施の形態においては、引込部１７０は、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂおよび一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄからそれぞれ引き込まれている。すなわち、一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂおよび一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄのそれぞれの側に、引込部１７０が設けられている。引込部１７０は、ウィックシート１３０の外周縁１３２ｏのうちウィックシート注入突出部１３６が設けられている部分を除いた全周から引き込まれていてもよい。

【0317】

なお、上述したように、ベーパーチャンバ１０１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状などの任意の形状であってもよい。この場合、引込部１７０は、ウィックシートの外周縁１３２ｏの全周に渡って形成されていてもよいし、ウィックシートの外周縁１３２ｏのうちの任意の位置に形成されていてもよい。

【0318】

図３６および図４０に示すように、ウィックシート１３０の厚さ方向（Ｚ方向）に沿った断面視において、引込部１７０は、ウィックシートの外周縁１３２ｏ（長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂおよび短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄ）から延びる引込縁１７１を有している。ここで、外周縁１３２ｏは、図３９に示すような平面視におけるウィックシート１３０の外周縁であり、上側シート１２０の側に位置している。引込縁１７１は、外周縁１３２ｏから第１本体面１３１ａに延びており、蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している。引込縁１７１は、第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように形成されていてもよい。図示された例においては、引込縁１７１は、上側シート１２０の外周縁１２１ｏから下側シート１１０の外周縁１１１ｏに向かって延びている。

【0319】

図４０に示すＹ方向における上側シート１２０の外周縁１２１ｏと下側シート１１０の外周縁１１１ｏとの間の寸法ｗｗ６は、例えば、５０μｍ～１０００μｍであってもよい。すなわち、引込部１７０は、外周縁１３２ｏから５０μｍ以上１０００μｍ以下引き込まれていてもよい。

【0320】

また、図４０に示すＹ方向における下側シート１１０の長手方向側縁１１１ａと蒸気流路部１５０（第１蒸気通路１５１）との間の寸法ｗｗ７は、例えば、３０μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、この寸法ｗｗ７は、第１本体面１３１ａにおける寸法を意味している。すなわち、引込部１７０は、第１本体面１３１ａにおいて、蒸気流路部１５０（第１蒸気通路１５１）から３０μｍ以上３０００μｍ以下離れた位置に設けられていてもよい。

【0321】

このような引込部１７０は、後述するエッチング工程において、ウィックシート１３０のシート本体１３１の第１本体面１３１ａからエッチングされることによって形成されてもよい。

【0322】

ところで、下側シート１１０、上側シート１２０およびウィックシート１３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、下側シート１１０、上側シート１２０およびウィックシート１３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１１０、１２０、１３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１０１の放熱効率を高めることができる。

【0323】

図３６に示すベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１０１として適切に機能させることができる。一方、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１が厚くなることを抑制することができる。

【0324】

図３６に示す下側シート１１０の厚さｔｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。下側シート１１０の厚さｔｔ２を６μｍ以上にすることにより、下側シート１１０の機械的強度を確保することができる。一方、下側シート１１０の厚さｔｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１が厚くなることを抑制することができる。同様に、図３６に示す上側シート１２０の厚さｔｔ３は、下側シート１１０の厚さｔｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート１２０の厚さｔｔ３と、下側シート１１０の厚さｔｔ２は、異なっていてもよい。

【0325】

図３６に示すウィックシート１３０の厚さｔｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート１３０の厚さｔｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１０１として適切に動作することができる。一方、ウィックシート１３０の厚さｔｔ４を４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ１が厚くなることを抑制することができる。

【0326】

次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１０１の製造方法について、図４２～図４５を用いて説明する。

【0327】

ここでは、初めに、各シート１１０、１２０、１３０を準備するシート準備工程について説明する。このシート準備工程は、下側シート１１０を準備する下側シート準備工程と、上側シート１２０を準備する上側シート準備工程と、ウィックシート１３０を準備するウィックシート準備工程と、を含んでいる。

【0328】

下側シート準備工程においては、まず、所望の厚さを有する下側シート母材を準備する。下側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、下側シート母材を、エッチングすることにより、所望の平面形状を有する下側シート１１０を形成する。あるいは、下側シート母材を、プレス加工することにより、所望の平面形状を有する下側シート１１０を形成するようにしてもよい。上述したように、この下側シート１１０は、平面視において、全体的に上側シート１２０よりも小さくなるように形成される。このようにして、図３７に示すような外形輪郭形状を有する下側シート１１０を準備することができる。

【0329】

上側シート準備工程においても、下側シート準備工程と同様に、まず、所望の厚さを有する上側シート母材を準備する。上側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、上側シート母材を、エッチングすることにより、所望の平面形状を有する上側シート１２０を形成する。あるいは、上側シート母材を、プレス加工することにより、所望の平面形状を有する上側シート１２０を形成するようにしてもよい。上述したように、この上側シート１２０は、平面視において、全体的に下側シート１１０よりも大きくなるように形成される。このようにして、図３８に示すような外形輪郭形状を有する上側シート１２０を準備することができる。

【0330】

ウィックシート準備工程は、金属材料シートＭＭを準備する材料シート準備工程と、金属材料シートＭＭをエッチングするエッチング工程と、を含んでいる。

【0331】

まず、材料シート準備工程において、図４２に示すように、第１材料面ＭＭａと第２材料面ＭＭｂとを含む、平板状の金属材料シートＭＭを準備する。金属材料シートＭＭは、所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。

【0332】

次に、エッチング工程において、図４３に示すように、金属材料シートＭＭを、第１材料面ＭＭａおよび第２材料面ＭＭｂからエッチングして、蒸気流路部１５０、液流路部１６０および引込部１７０を形成する。

【0333】

より具体的には、金属材料シートＭＭの第１材料面ＭＭａおよび第２材料面ＭＭｂに、フォトリグラソフィー技術によって、パターン状のレジスト膜（図示せず）が形成される。このレジスト膜のパターンは、上述した蒸気流路部１５０や液流路部１６０および引込部１７０のパターンを含んでいる。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートＭＭの第１材料面ＭＭａおよび第２材料面ＭＭｂがエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭＭの第１材料面ＭＭａおよび第２材料面ＭＭｂがパターン状にエッチングされて、図４３に示すような蒸気流路部１５０および液流路部１６０が形成される。また、このエッチング（第１材料面ＭＭａからのエッチング）により、引込部１７０も形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

【0334】

エッチングは、金属材料シートＭＭの第１材料面ＭＭａおよび第２材料面ＭＭｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面ＭＭａと第２材料面ＭＭｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部１５０、液流路部１６０および引込部１７０が同時にエッチングで形成されてもよく、別々の工程で形成されてもよい。

【0335】

また、エッチング工程においては、金属材料シートＭＭの第１材料面ＭＭａおよび第２材料面ＭＭｂをエッチングすることにより、図３９に示すような所定の外形輪郭形状を得ることができる。すなわち、上述した外周縁１３２ｏを有するウィックシート１３０を得ることができる。

【0336】

なお、引込部１７０は、エッチングにより形成されることに限られず、例えば、エッチング工程の後に、金属材料シートＭＭの端縁を切削加工等することにより形成されてもよい。

【0337】

このようにして、本実施の形態によるウィックシート１３０を準備することができる。

【0338】

準備工程の後、接合工程として、図４４に示すように、下側シート１１０、上側シート１２０およびウィックシート１３０を接合する。

【0339】

より具体的には、まず、下側シート１１０、ウィックシート１３０および上側シート１２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂにウィックシート１３０の第１本体面１３１ａが重ね合わされ、ウィックシート１３０の第２本体面１３１ｂに、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａが重ね合わされる。この際、下側シート１１０のアライメント孔１１２と、ウィックシート１３０のアライメント孔１３５と、上側シート１２０のアライメント孔１２２とを利用して、各シート１１０、１２０、１３０が位置合わせされてもよい。

【0340】

続いて、下側シート１１０、ウィックシート１３０および上側シート１２０を仮止めする。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１１０、１２０、１３０が仮止めされてもよく、あるいはレーザ溶接でこれらのシート１１０、１２０、１３０が仮止めされてもよい。

【0341】

次に、下側シート１１０と、ウィックシート１３０と、上側シート１２０とを、熱圧着によって恒久的に接合する。例えば、拡散接合によって、これらのシート１１０、１２０、１３０が恒久的に接合されてもよい。拡散接合とは、接合する下側シート１１０とウィックシート１３０を密着させるとともにウィックシート１３０と上側シート１２０を密着させて、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、各シート１１０、１２０、１３０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１１０、１２０、１３０が溶融して変形することを回避できる。これにより、ウィックシート１３０の枠体部１３２および各ランド部１３３における第１本体面１３１ａが、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂに拡散接合される。また、ウィックシート１３０の枠体部１３２および各ランド部１３３における第２本体面１３１ｂが、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａに拡散接合される。このようにして、各シート１１０、１２０、１３０が拡散接合されて、下側シート１１０と上側シート１２０との間に、蒸気流路部１５０と液流路部１６０とを有する密封空間１０３が形成される。この段階では、密封空間１０３は、上述した注入流路１３７が封止されておらず、注入流路１３７を介して外部に連通している。

【0342】

接合工程の後、注入工程として、注入部１０４の注入流路１３７から密封空間１０３に作動液２ｂを注入する。

【0343】

注入工程の後、封止工程として、注入流路１３７を封止する。注入部１０４を部分的に溶融させて注入流路１３７を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間１０３と外部との連通が遮断され、密封空間１０３が密封される。このため、作動液２ｂが封入された密封空間１０３が得られ、密封空間１０３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。注入流路１３７を封止した後、注入部１０４は、除去されてもよい。注入部１０４の全体が除去されてもよい。あるいは、注入部１０４の一部が除去されて、残りの一部が残存していてもよい。

【0344】

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１が得られる。

【0345】

このようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１を順次製造することができる。製造されたベーパーチャンバ１０１は、図４５に示すように、所定の場所に設けられた載置面１７９上に積み重ねられるように載置されて保管することができる。その後、ベーパーチャンバ１０１は、出荷時やデバイスＤへの装着時に、この載置場所から取り出されて搬送される。

【0346】

次に、このようにして製造されたベーパーチャンバ１０１の搬送方法について、図４６および図４７を用いて説明する。ここでは、図４５に示すような、ベーパーチャンバ１０１が互いに積み重ねられて載置された状態からベーパーチャンバ１０１を取り出して搬送する方法について説明する。

【0347】

まず、図４６に示すように、吊下げ装置１８０の第１アーム部１８１ａおよび第２アーム部１８１ｂの爪部１８２ａ、１８２ｂを、ウィックシート１３０の引込部１７０にそれぞれ係合させる。

【0348】

より具体的には、まず、第１アーム部１８１ａを垂直方向に移動させて、第１アーム部１８１ａの先端に設けられた第１爪部１８２ａを、最上部に載置されたベーパーチャンバ１０１のＺ方向における引込部１７０が設けられた位置に位置づける。また、第２アーム部１８１ｂを垂直方向に移動させて、第２アーム部１８１ｂの先端に設けられた第２爪部１８２ｂを、当該ベーパーチャンバ１０１のＺ方向における引込部１７０が設けられた位置に位置づける。続いて、第１アーム部１８１ａを水平方向に移動させて、第１爪部１８２ａを、Ｙ方向における一側（図４６における左側）に設けられた引込部１７０の引込縁１７１に当接させる。同様に、第２アーム部１８１ｂを水平方向に移動させて、第２爪部１８２ｂを、Ｙ方向における他側（図４６における右側）に設けられた引込部１７０の引込縁１７１に当接させる。

【0349】

次に、図４７に示すように、吊下げ装置１８０によりベーパーチャンバ１０１を吊り下げる。

【0350】

より具体的には、第１爪部１８２ａおよび第２爪部１８２ｂを引込部１７０の引込縁１７１にそれぞれ当接させた状態で、第１アーム部１８１ａおよび第２アーム部１８１ｂを上方に移動させる。これにより、ウィックシート１３０が、第１爪部１８２ａおよび第２爪部１８２ｂにより支持されて、ベーパーチャンバ１０１が、吊下げ装置１８０により吊り下げられる。

【0351】

そして、吊下げ装置１８０によりベーパーチャンバ１０１を吊り下げた状態で、第１アーム部１８１ａおよび第２アーム部１８１ｂを水平方向に移動させて、ベーパーチャンバ１０１を所望の目標位置まで搬送する。

【0352】

このようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１を吊下げ装置１８０により搬送することができる。

【0353】

なお、ここでは、ベーパーチャンバ１０１が互いに積み重ねられて載置された状態からベーパーチャンバ１０１を取り出して搬送する方法について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、ベーパーチャンバ１０１が載置面１７９上に直接載置されている場合であっても、吊下げ装置１８０を用いてベーパーチャンバ１０１を搬送することができる。

【0354】

ここで、一般的なベーパーチャンバ１０１’の搬送方法について説明する。図４８に示すように、一般的なベーパーチャンバ１０１’の側面は、垂直に形成されており、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１のように、ウィックシート３０に引込部１７０が形成されていない。このため、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂを、引込部１７０に係合させることができず、一般的なベーパーチャンバ１０１’を、上述した吊下げ装置１８０で搬送することは困難である。

【0355】

一般的なベーパーチャンバ１０１’は、図４８に示すように、吸着装置１８５により取り出して搬送することができる。より具体的には、吸着装置１８５は、内部を負圧にして吸着力を生じさせる吸着パッド１８６を有しており、この吸着パッド１８６をベーパーチャンバ１０１’の上面に押し付けて、ベーパーチャンバ１０１’に吸着させる。その後、吸着パッド１８６によりベーパーチャンバ１０１’が吸着された状態で、吸着装置１８５を上方に移動させて、ベーパーチャンバ１０１’を吊り下げる。そして、吸着装置１８５を水平方向に移動させて、ベーパーチャンバ１０１’を所望の目標位置まで搬送する。

【0356】

このとき、ベーパーチャンバ１０１’が薄型化されていた場合、ベーパーチャンバ１０１’の上面に吸着パッド１８６による吸着力が働くことにより、ベーパーチャンバ１０１’が変形してしまうおそれがある。このため、ベーパーチャンバ１０１’の変形を抑制するために、ベーパーチャンバ１０１’の薄型化が抑制される場合がある。

【0357】

これに対して、本実施の形態では、ベーパーチャンバ１０１のウィックシート１３０に引込部１７０が設けられている。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１０１のウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂを係合させることができる。このため、吊下げ装置１８０によりベーパーチャンバ１０１を吊り下げて搬送することができ、上述した吸着装置１８５を用いることを不要にすることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の変形を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の更なる薄型化を実現することができる。

【0358】

なお、上述した吊下げ装置１８０によるベーパーチャンバ１０１の搬送は一例であり、その他の任意の装置等を用いてベーパーチャンバ１０１を搬送することができる。例えば、尖った先端を有する工具を用いてベーパーチャンバ１０１を搬送してもよい。より具体的には、工具の先端を引込部１７０の引込縁１７１に当接させて、その後、工具を上方に移動させて、ベーパーチャンバ１０１を持ち上げるようにしてもよい。そして、持ち上げたベーパーチャンバ１０１を手で掴んで搬送するようにしてもよい。また、例えば、そのような装置や工具を用いることなく、引込部１７０の引込縁１７１に指を当接させてベーパーチャンバ１０１を持ち上げ、その後、ベーパーチャンバ１０１を掴んで搬送するようにしてもよい。このような場合であっても、ウィックシート１３０が引込部１７０を有していることにより、ベーパーチャンバ１０１を取り出して搬送することが容易となる。

【0359】

次に、ベーパーチャンバ１０１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

【0360】

上述のようにして搬送されたベーパーチャンバ１０１は、搬送先において、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置され、ハウジング部材Ｈａと上側シート１２０の第２上側シート面１２０ｂとが接する。また、下側シート１１０の第１下側シート面１１０ａに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられ（あるいは、デバイスＤにベーパーチャンバ１０１が取り付けられ）、下側シート１１０の第１下側シート面１１０ａとデバイスＤとが接する。密封空間１０３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間１０３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａ、上側蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａ、液流路部１６０の液流路主流溝１６１の壁面１６２および液流路連絡溝１６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂのうち下側蒸気流路凹部１５３、液流路主流溝１６１および液流路連絡溝１６５に露出した部分にも付着し得る。更に、作動液２ｂは、上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａのうち上側蒸気流路凹部１５４に露出した部分にも付着し得る。

【0361】

この状態でデバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＳＲ（図３９参照）に存在する作動液２ｂが、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、密封空間１０３を構成する下側蒸気流路凹部１５３および上側蒸気流路凹部１５４内で拡散する（図３９の実線矢印参照）。各蒸気流路凹部１５３、１５４内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＳＲから離れ、作動蒸気２ａの多くは、比較的温度の低い凝縮領域ＣＣＲ（図３９における右側の部分）に輸送される。凝縮領域ＣＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として上側シート１２０に放熱して冷却される。上側シート１２０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３６参照）を介して外気に伝達される。

【0362】

作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＣＲにおいて上側シート１２０に放熱することにより、蒸発領域ＳＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５３ａ、１５４ａおよび下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂおよび上側シート１２０の第１上側シート面１２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けているため、液流路部１６０のうち蒸発領域ＳＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＣＲ）における作動液２ｂは、各液流路主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＳＲに向かって輸送される（図３９の破線矢印参照）。このことにより、各壁面１５３ａ、１５４ａ、第２下側シート面１１０ｂおよび第１上側シート面１２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路部１６０に移動し、液流路連絡溝１６５を通過して液流路主流溝１６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝１６１および各液流路連絡溝１６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＳＲに向かってスムースに輸送される。

【0363】

液流路部１６０においては、各液流路主流溝１６１が、対応する液流路連絡溝１６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝１６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝１６１同士で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝１６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝１６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＳＲに向かってスムースに輸送される。

【0364】

蒸発領域ＳＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＳＲ内の液流路連絡溝１６５を通って、流路断面積が大きい下側蒸気流路凹部１５３および上側蒸気流路凹部１５４に移動し、各蒸気流路凹部１５３、１５４内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間１０３内を還流してデバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。

【0365】

このように本実施の形態によれば、ウィックシート１３０は、外周縁１３２ｏから蒸気流路部１５０の側に引き込まれた引込部１７０を有している。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１０１のウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0366】

また、本実施の形態によれば、ベーパーチャンバ１０１の搬送に吸着装置１８５を用いることを不要にすることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の変形を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の更なる薄型化を実現することができる。

【0367】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート１３０の側面に引込部１７０が形成されていることにより、複数のベーパーチャンバ１０１が互いに積み重ねられて載置されている場合に、側面から見て個々のベーパーチャンバ１０１を容易に判別することができる。このことにより、ベーパーチャンバ１０１を個別に取り出して搬送することを容易化することができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0368】

また、本実施の形態によれば、ウィックシート１３０に引込部１７０が形成されていることにより、ベーパーチャンバ１０１を軽量化および省スペース化することができる。

【0369】

また、本実施の形態によれば、引込部１７０の引込縁１７１は、蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している。このことにより、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等によりベーパーチャンバ１０１をしっかりと支持して持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0370】

また、本実施の形態によれば、引込部１７０の引込縁１７１は、第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように形成されている。このことにより、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等によりベーパーチャンバ１０１をより一層しっかりと支持して持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0371】

また、本実施の形態によれば、引込部１７０は、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂおよび一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄからそれぞれ引き込まれている。このことにより、載置されたベーパーチャンバ１０１の平面視における任意の方向から、ウィックシート１３０の引込部１７０に吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させて、ベーパーチャンバ１０１を持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の持ち上げをより一層容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0372】

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂに貫通しており、上側シート１２０は、第２本体面１３１ｂにおいて蒸気流路部１５０を覆っている。このように、ベーパーチャンバ１０１を下側シート１１０と上側シート１２０とウィックシート１３０とで構成することにより、下側シート１１０がデバイスＤから受けた熱を、上側シート１２０から放出することができる。これにより、デバイスＤを効果的に冷却することができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の性能を向上させることができる。

【0373】

なお、ベーパーチャンバ１０１は、Ｚ方向において、上述した形態と対称的な形態を有していてもよい。すなわち、下側シート１１０が、平面視において、全体的に上側シート１２０よりも大きく形成され、引込部１７０の引込縁１７１が、下側シート１１０の外周縁１１１ｏから上側シート１２０の外周縁１２１ｏに向かって延びていてもよい。このような場合であっても、ベーパーチャンバ１０１が反対向きに載置された状態、すなわち、上側シート１２０の第２上側シート面１２０ｂが載置面１７９を向くように載置された状態で、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を引込部１７０の引込縁１７１に当接させて上方に移動させることで、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0374】

（第３の実施の形態の第１変形例）
上述した第３の実施の形態においては、引込部１７０の引込縁１７１が、蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している例について説明した（図３６参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、図４９に示すように、引込部１７０の引込縁１７１が、Ｚ方向に対して傾斜していてもよい。

【0375】

図４９に示す例においては、引込縁１７１は、外周縁１３２ｏから第１本体面１３１ａに延びており、Ｚ方向に対して傾斜している。引込縁１７１は、第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように形成されている。引込縁１７１は、上側シート１２０の外周縁１２１ｏから下側シート１１０の外周縁１１１ｏに向かって直線状に延びている。このため、Ｚ方向に沿った断面視において、ウィックシート１３０の外形形状は、図４９に示すように、逆台形形状になっている。

【0376】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0377】

また、引込縁１７１がＺ方向に対して傾斜していることにより、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を引込部１７０の引込縁１７１に当接させて上方に移動させることで、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0378】

（第３の実施の形態の第２変形例）
また、上述した第３の実施の形態においては、引込部１７０の引込縁１７１が、蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している例について説明した（図３６参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、図５０に示すように、引込部１７０の引込縁１７１が、蒸気流路部１５０とは反対側に向かって凸状に湾曲していてもよい。

【0379】

図５０に示す例においては、引込縁１７１は、外周縁１３２ｏから第１本体面１３１ａに延びており、蒸気流路部１５０とは反対側に向かって凸状に湾曲している。引込縁１７１は、第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように形成されている。引込縁１７１は、上側シート１２０の外周縁１２１ｏから下側シート１１０の外周縁１１１ｏに向かって延びている。

【0380】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0381】

（第３の実施の形態の第３変形例）
また、上述した第３の実施の形態においては、引込部１７０の引込縁１７１が、蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している例について説明した（図３６参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、図５１に示すように、引込部１７０の引込縁１７１が、第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂの側に向かって延びる第１引込縁１７１ａと、第２本体面１３１ｂから第１本体面１３１ａの側に向かって延びる第２引込縁１７１ｂと、第１引込縁１７１ａと第２引込縁１７１ｂとを接続する段差接続縁１７１ｃと、を含んでいてもよい。

【0382】

図５１に示す例においては、引込縁１７１は、第１引込縁１７１ａと、第２引込縁１７１ｂと、第１引込縁１７１ａと第２引込縁１７１ｂとを接続する段差接続縁１７１ｃと、を含んでいる。第１引込縁１７１ａは、第１本体面１３１ａの側に設けられている。第２引込縁１７１ｂは、第２本体面１３１ｂの側に設けられている。第１引込縁１７１ａは、第２引込縁１７１ｂよりも蒸気流路部１５０の側に位置している。第１引込縁１７１ａは、第１本体面１３１ａから第２本体面１３１ｂの側に向かってＺ方向に直線状に延びている。第１引込縁１７１ａは、例えば、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの中間位置まで延びていてもよい。第２引込縁１７１ｂは、第２本体面１３１ｂから第１本体面１３１ａの側に向かってＺ方向に直線状に延びている。第２引込縁１７１ｂは、例えば、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの中間位置まで延びていてもよい。段差接続縁１７１ｃは、第１引込縁１７１ａと第２引込縁１７１ｂとを接続するように、第１引込縁１７１ａから第２引込縁１７１ｂに向かって直線状に延びている。このように、Ｚ方向に沿った断面視において、引込部１７０の引込縁１７１は、段差状に形成されている。

【0383】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0384】

また、第１引込縁１７１ａと第２引込縁１７１ｂとを接続する段差接続縁１７１ｃが設けられていることにより、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等によりベーパーチャンバ１０１をしっかりと支持して持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0385】

（第３の実施の形態の第４変形例）
また、上述した第３の実施の形態においては、引込部１７０の引込縁１７１が、第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように形成されている例について説明した（図３６参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、図５２に示すように、引込部１７０の引込縁１７１が、外周縁１３２ｏから中継点１７２に近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように形成されるとともに、中継点１７２から第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０から遠ざかるように形成されていてもよい。

【0386】

図５２に示す例においては、上述した実施の形態とは異なり、下側シート１１０および上側シート１２０は、平面視において、同じ大きさで形成されている。そして、平面視において、下側シート１１０の外周縁１１１ｏと上側シート１２０の外周縁１２１ｏとが重なっている。すなわち、平面視において、下側シート１１０の長手方向側縁１１１ａ、１１１ｂおよび短手方向側縁１１１ｃ、１１１ｄがそれぞれ、上側シート１２０の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂおよび短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄに重なっている。

【0387】

また、図５２に示す例においては、平面視におけるウィックシート１３０の外周縁１３２ｏは、第２本体面１３１ｂの側に位置している。この場合において、引込部１７０の引込縁１７１は、外周縁１３２ｏから中継点１７２を通って第１本体面１３１ａに延びている。中継点１７２は、Ｚ方向において、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの中間位置に位置していてもよい。引込縁１７１は、蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している。引込縁１７１は、外周縁１３２ｏから中継点１７２に近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように形成されるとともに、中継点１７２から第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０から遠ざかるように形成されている。このような引込縁１７１によって、引込部１７０は、ウィックシート１３０の中央部において蒸気流路部１５０の側に窪んだような形状になっている。

【0388】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0389】

また、引込部１７０の引込縁１７１が蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲していることにより、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等によりベーパーチャンバ１０１をしっかりと支持して持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0390】

また、ベーパーチャンバ１０１が反対向きに載置された場合であっても、すなわち、上側シート１２０の第２上側シート面１２０ｂが載置面１７９を向くように載置された場合であっても、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を引込部１７０の引込縁１７１に当接させて上方に移動させることで、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１が反対向きに載置された場合であっても、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0391】

（第３の実施の形態の第５変形例）
また、上述した第３の実施の形態においては、Ｚ方向に沿った断面視において、引込部１７０の引込縁１７１が、外周縁１３２ｏから延びる引込縁１７１を有している例について説明した（図３６参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、図５３に示すように、引込部１７０が、第１本体面側引込部１７４と、第２本体面側引込部１７５と、を含み、Ｚ方向に沿った断面視において、第１本体面側引込部１７４が、第１本体面側引込縁１７６を有し、第２本体面側引込部１７５が、第２本体面側引込縁１７７を有していてもよい。

【0392】

図５３に示す例においては、上述した実施の形態とは異なり、下側シート１１０および上側シート１２０は、平面視において、同じ大きさで形成されている。そして、平面視において、下側シート１１０の外周縁１１１ｏと上側シート１２０の外周縁１２１ｏとが重なっている。すなわち、平面視において、下側シート１１０の長手方向側縁１１１ａ、１１１ｂおよび短手方向側縁１１１ｃ、１１１ｄがそれぞれ、上側シート１２０の長手方向側縁１２１ａ、１２１ｂおよび短手方向側縁１２１ｃ、１２１ｄに重なっている。

【0393】

また、図５３に示す例においては、引込部１７０が、第１本体面１３１ａの側に設けられた第１本体面側引込部１７４と、第２本体面１３１ｂの側に設けられた第２本体面側引込部１７５と、を含んでいる。平面視におけるウィックシート１３０の外周縁１３２ｏは、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの間に位置している。外周縁１３２ｏは、第１本体面１３１ａと第２本体面１３１ｂとの中間位置に位置していてもよい。ウィックシート１３０の外周縁１３２ｏは、下側シート１１０の外周縁１１１ｏおよび上側シート１２０の外周縁１２１ｏよりも外側に突出するように形成されている。第１本体面側引込部１７４は、この外周縁１３２ｏよりも第１本体面１３１ａの側に形成されており、第２本体面側引込部１７５は、この外周縁１３２ｏよりも第２本体面１３１ｂの側に形成されている。

【0394】

Ｚ方向に沿った断面視において、第１本体面側引込部１７４は、外周縁１３２ｏから第１本体面１３１ａに延びる第１本体面側引込縁１７６を有している。第１本体面側引込縁１７６は、第１本体面１３１ａに近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している。これにより、第１本体面側引込部１７４は、第１本体面１３１ａの側において蒸気流路部１５０の側に窪んだような形状になっている。

【0395】

また、Ｚ方向に沿った断面視において、第２本体面側引込部１７５は、外周縁１３２ｏから第２本体面１３１ｂに延びる第２本体面側引込縁１７７を有している。第２本体面側引込縁１７７は、第２本体面１３１ｂに近づくにつれて蒸気流路部１５０に近づくように蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲している。これにより、第２本体面側引込部１７５は、第２本体面１３１ｂの側において蒸気流路部１５０の側に窪んだような形状になっている。

【0396】

このような場合であっても、第１本体面側引込部１７４に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0397】

また、第１本体面側引込部１７４の第１本体面側引込縁１７６が蒸気流路部１５０の側に向かって凹状に湾曲していることにより、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等によりベーパーチャンバ１０１をしっかりと支持して持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0398】

また、ベーパーチャンバ１０１が反対向きに載置された場合であっても、すなわち、上側シート１２０の第２上側シート面１２０ｂが載置面１７９を向くように載置された場合であっても、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を第２本体面側引込部１７５の第２本体面側引込縁１７７に当接させて上方に移動させることで、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１が反対向きに載置された場合であっても、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性をより一層向上させることができる。

【0399】

（第３の実施の形態の第６変形例）
また、上述した第３の実施の形態においては、引込部１７０が、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂおよび一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄからそれぞれ引き込まれている例について説明した（図３５参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、引込部１７０が、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂのうちの少なくとも一方から引き込まれていてもよい。

【0400】

図５４および図５５に示す例においては、引込部１７０が、ウィックシート１３０の長手方向側縁１３２ａ（図５４における下側）から引き込まれている。すなわち、ウィックシート１３０の長手方向側縁１３２ａの側に、引込部１７０が設けられている。一方、引込部１７０は、ウィックシート１３０の長手方向側縁１３２ｂ（図５４における上側）および短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄからは引き込まれていない。

【0401】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0402】

また、引込部１７０を設ける領域を制限することで、ベーパーチャンバ１０１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ウィックシート１３０のより広範な領域に蒸気流路部１５０および液流路部１６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１０１の性能を向上させることができる。

【0403】

（第３の実施の形態の第７変形例）
また、引込部１７０が、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂのうちの一方から引き込まれるとともに、ウィックシート１３０の一対の短手方向側縁１３２ｃ、１３２ｄのうちの一方からも引き込まれていてもよい。

【0404】

図５６に示す例においては、引込部１７０が、ウィックシート１３０の長手方向側縁１３２ａ（図５６における下側）から引き込まれるとともに、ウィックシート１３０の短手方向側縁１３２ｃ（図５６における左側）からも引き込まれている。すなわち、ウィックシート１３０の長手方向側縁１３２ａの側に引込部１７０が設けられるとともに、ウィックシート１３０の短手方向側縁１３２ｃの側にも引込部１７０が設けられている。一方、引込部１７０は、ウィックシート１３０の長手方向側縁１３２ｂ（図５６における上側）および短手方向側縁１３２ｄ（図５６における左側）からは引き込まれていない。

【0405】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0406】

また、引込部１７０を設ける領域を制限することで、ベーパーチャンバ１０１の領域を有効に活用することができる。すなわち、ウィックシート１３０のより広範な領域に蒸気流路部１５０および液流路部１６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１０１の性能を向上させることができる。

【0407】

更に、図５６に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１の引込部１７０が設けられた側（長手方向側縁１３２ａおよび短手方向側縁１３２ｃの側）を持ち上げて搬送し、ベーパーチャンバ１０１の引込部１７０が設けられていない側（長手方向側縁１３２ｂおよび短手方向側縁１３２ｄの側）を所定の壁面に突き当てることができる。このことにより、ベーパーチャンバ１０１を壁面に対して位置決めすることが容易になる。このため、例えば、ベーパーチャンバ１０１の所定の位置にレーザ光を照射して製造情報等を印字する場合に、正確な位置に印字することが可能になる。また、ベーパーチャンバ１０１を壁面に突き当てた後も、ベーパーチャンバ１０１を、引込部１７０が設けられた側から容易に持ち上げることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0408】

（第３の実施の形態の第８変形例）
また、引込部１７０が、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂの一部から引き込まれていてもよい。

【0409】

図５７に示す例においては、引込部１７０は、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂの両方からそれぞれ引き込まれている。すなわち、ウィックシート１３０の一対の長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂのそれぞれの側に、引込部１７０が設けられている。また、各引込部１７０は、長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂの一部から引き込まれている。

【0410】

各引込部１７０は、長手方向側縁１３２ａ、１３２ｂの中央部から引き込まれていてもよい。また、各引込部１７０は、平面視において、ベーパーチャンバ１０１の重心位置に対して互いに対称となるような位置に配置されていてもよい。

【0411】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0412】

また、引込部１７０を設ける領域を更に制限することで、ベーパーチャンバ１０１の領域を更に有効に活用することができる。すなわち、ウィックシート１３０のより広範な領域に蒸気流路部１５０および液流路部１６０を設けることができ、ベーパーチャンバ１０１の性能をより一層向上させることができる。

【0413】

また、各引込部１７０を、平面視において、ベーパーチャンバ１０１の重心位置に対して互いに対称となるような位置に配置することで、吊下げ装置１８０等による吊り下げ時にベーパーチャンバ１０１の姿勢を安定化することができる。このため、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。

【0414】

（第３の実施の形態の第９変形例）
また、上述した第３の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１が、１つのウィックシート１３０を備えている例について説明した（図３６参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、ベーパーチャンバ１０１は、複数のウィックシート１３０を備えていてもよい。

【0415】

ウィックシート１３０の個数は任意でよい。各ウィックシート１３０は、互いに同じ形状および寸法を有していてもよいし、互いに異なる形状および寸法を有していてもよい。例えば、各ウィックシート１３０が、平面視において、同じ大きさで形成されていてもよい。また例えば、一のウィックシート１３０が、平面視において、全体的に他のウィックシート１３０よりも小さく形成されていてもよい。

【0416】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0417】

（第３の実施の形態の第１０変形例）
また、上述した第３の実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１が、下側シート１１０と、上側シート１２０と、ウィックシート１３０とで構成されている例について説明した（図３６参照）。しかしながら、このことに限られることになく、ベーパーチャンバ１０１が、下側シート１１０と、ウィックシート１３０とで構成されていてもよい。

【0418】

図５８に示す例においては、ベーパーチャンバ１０１は、下側シート１１０と、ウィックシート１３０と、を備えているが、上側シート１２０を備えていない。ハウジング部材Ｈａは、ウィックシート１３０の第２本体面１３１ｂに取り付けられてもよい。作動蒸気２ａの熱は、ウィックシート１３０からハウジング部材Ｈａに伝わる。

【0419】

図５８に示す例においては、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３１ａに設けられているが、第２本体面１３１ｂまで延びておらず、ウィックシート１３０を貫通していない。すなわち、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、下側蒸気流路凹部１５３で構成されており、ウィックシート１３０に上側蒸気流路凹部１５４は設けられていない。

【0420】

図５８に示すベーパーチャンバ１０１の厚さｔｔ５は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。図５８に示す下側シート１１０の厚さｔｔ６は、例えば、６μｍ～２００μｍであってもよい。図５８に示すウィックシート１３０の厚さｔｔ７は、例えば、５０μｍ～８００μｍであってもよい。

【0421】

なお、図５８に示す例に限られることはなく、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂに、蒸気流路部１５０が設けられていてもよい。この場合、下側シート１１０の蒸気流路部１５０は、ウィックシート１３０の蒸気流路部１５０と対向する位置に設けられていてもよい。また、下側シート１１０の第２下側シート面１１０ｂに、液流路部１６０が設けられていてもよい。

【0422】

このように、ベーパーチャンバ１０１が、下側シート１１０と、ウィックシート１３０とで構成されていてもよい。

【0423】

このような場合であっても、ウィックシート１３０の引込部１７０に、吊下げ装置１８０の爪部１８２ａ、１８２ｂ等を係合させることができる。このため、ベーパーチャンバ１０１を容易に持ち上げることができ、ベーパーチャンバ１０１の搬送を容易化することができる。この結果、ベーパーチャンバ１０１の搬送性を向上させることができる。

【0424】

以上述べた実施の形態によれば、ベーパーチャンバの搬送性を向上させることができる。

【0425】

本発明は上記実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。上記実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】

【図37】

【図38】

【図39】

【図40】

【図41】

【図42】

【図43】

【図44】

【図45】

【図46】

【図47】

【図48】

【図49】

【図50】

【図51】

【図52】

【図53】

【図54】

【図55】

【図56】

【図57】

【図58】