特開 2024-9687 ウェハ容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024009687

(43)【公開日】2024-01-23

(54)【発明の名称】ウェハ容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240116BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022111388

(22)【出願日】2022-07-11

(71)【出願人】

【識別番号】000003193

【氏名又は名称】ＴＯＰＰＡＮホールディングス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003708

【氏名又は名称】弁理士法人鈴榮特許綜合事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100108855

【弁理士】

【氏名又は名称】蔵田 昌俊

(74)【代理人】

【識別番号】100179062

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 正

(74)【代理人】

【識別番号】100199565

【弁理士】

【氏名又は名称】飯野 茂

(74)【代理人】

【識別番号】100209048

【弁理士】

【氏名又は名称】森川 元嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100212705

【弁理士】

【氏名又は名称】矢頭 尚之

(74)【代理人】

【識別番号】100219542

【弁理士】

【氏名又は名称】大宅 郁治

(72)【発明者】

【氏名】楠田 将人

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131GA03

5F131GA33

(57)【要約】

【課題】ウェハを出し入れする際の接触による破損を防ぐことができるウェハ容器を提供する。
【解決手段】 一形態にかかるウェハ容器は、ウェハを複数列に収納するとともに前記ウェハを搬入する搬入口を有する筐体と、前記筐体内において所定の搬入方向に沿うとともに前記ウェハがそれぞれ配置される複数のベーススリットを形成する複数のベースガイドと、複数の前記ベースガイドの前記搬入口側に配置され前記スリットを前記搬入口側に延長する複数の延長ガイドと、を備え、前記搬入方向において、ベースガイドで形成されるベーススリットの長さは、前記ウェハの長さより小さく、前記ベースガイドと前記延長ガイドとによって形成されるガイドスリットの合計の長さは前記ウェハの長さより大きい。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェハを複数列に収納するとともに前記ウェハを搬入する搬入口を有する筐体と、
前記筐体内において所定の搬入方向に沿うとともに前記ウェハがそれぞれ配置される複数のベーススリットを形成する複数のベースガイドと、
複数の前記ベースガイドの前記搬入口側に配置され前記ベーススリットを前記搬入口側に延長する延長スリットを形成する複数の延長ガイドと、を備え、
前記搬入方向において、前記ベースガイドで形成される前記ベーススリットの長さは、前記ウェハの長さより小さく、前記ベースガイドと前記延長ガイドとによって形成されるガイドスリットの合計の長さは前記ウェハの長さより大きい、ウェハ容器。

【請求項2】

前記ベースガイドは、前記筐体の側部から前記筐体の内方に向かって突出し、先端側が細い突起状に構成される、請求項１に記載のウェハ容器。

【請求項3】

前記ガイドスリットの配列の並び順番または位置に対応する指標部を有する、請求項１に記載のウェハ容器。

【請求項4】

前記延長ガイドは、前記筐体の一方と他方の側部においてそれぞれ所定の間隔を空けて配列され、一方側の前記延長ガイドの列の間隔と、他方側の前記延長ガイドの列の間隔とが異なる、請求項１に記載のウェハ容器。

【請求項5】

複数の前記ベースガイドは、並列方向において位置調整可能である、請求項１に記載のウェハ容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェハ容器に関する。

【背景技術】

【0002】

複数枚のウェハを収容するウェハ容器として、例えば開口を有する筺体の内側面に、各ウェハの位置を規制する複数のガイドレールが設けられる構成が知られている。このようなウェハ容器において、手動でウェハを出し入れする際、他のウェハに接触するとウェハが破損する原因となる。したがって、挿入や取出の際の複数のウェハの位置や姿勢を正確に案内することが求められる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５－０４１７５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

そこで、本発明は、ウェハを出し入れする際の接触による破損を防ぐことができるウェハ容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

一形態にかかるウェハ容器は、ウェハを複数列に収納するとともに前記ウェハを搬入する搬入口を有する筐体と、前記筐体内において所定の搬入方向に沿うとともに前記ウェハがそれぞれ配置される複数のベーススリットを形成する複数のベースガイドと、複数の前記ベースガイドの前記搬入口側に配置され前記スリットを前記搬入口側に延長する複数の延長ガイドと、を備え、前記搬入方向において、ベースガイドで形成されるベーススリットの長さは、前記ウェハの長さより小さく、前記ベースガイドと前記延長ガイドとによって形成されるガイドスリットの合計の長さは前記ウェハの長さより大きい。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、ウェハを出し入れする際の接触による破損を防ぐことができるウェハ容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本発明の第１実施形態にかかるウェハ容器の構成を示す断面図。

【図2】同ウェハ容器のラックの構成を示す断面図。

【図3】同ウェハ容器の構成を示す断面図。

【図4】同ウェハ容器のラックの構成を示す正面図。

【図5】他の実施形態にかかるウェハ容器のガイドレールの構成を示す断面図。

【図6】他の実施形態にかかるウェハ容器の構成を示す正面図。

【図7】同ウェハ容器の断面図。

【図8】他の実施形態にかかるウェハ容器の構成を示す断面図。

【図9】同ウェハ容器の一部を拡大して示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0008】

［第１実施形態］
以下、本発明の実施形態にかかるウェハ容器１について、図１乃至図４を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態にかかるウェハ容器の構成を示す断面図であり、図２は同ウェハ容器のラックの構成を示す断面図である。図３はウェハ容器の構成を示す断面図であり、図４はウェハ容器のラックの構成を示す正面図である。各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示している。図中矢印Ｘ、Ｙ，Ｚは、互いに直交する３方向を示している。本実施形態において一例として、搬入方向がＺ方向、並列方向がＹ方向、幅方向がＸ方向に、それぞれ沿う姿勢で配置された例を示す。

【0009】

図１及び図２に示すように、ウェハ容器１は、ウェハを搬入する搬入口１２を有しシリコンウェハＷ（ウェハ）を複数列に収容するラック１０と、ラック１０の搬入口１２を塞ぐカバー３０と、を備える。

【0010】

ラック１０は、例えば金属材料で構成される矩形の筺体であり、内部に直方体状の空間である収容部１１を形成する。ラック１０は、例えば正面に開口する搬入口１２を有する。ラック１０は、一対の第１側板１３、１４と、一対の第２側板１５、１６と、後板１７と、フランジ１８と、ガイド部２０と、を備える。

【0011】

本実施形態において一例として例えばラック１０が搬入口１２を正面として配置した姿勢を例として説明するが、ラック１０の姿勢はこれに限られるものではなく、他の姿勢に配置されてもよい。例えば搬入口１２を上に向けて配置しても良い。

【0012】

一対の第１側板１３、１４は、並列方向において互いに対向配置される。例えば一対の第１側板１３、１４が上下にそれぞれ配置され、並列方向に直交する壁面を形成し、天井部と底部とを構成する。例えば一対の第１側板１３、１４は並列方向に所定の間隔を空けて対向配置される。

【0013】

一対の第２側板１５、１６は幅方向において互いに対向配置される。例えば一対の第２側板１５、１６は並列方向及び奥行き方向に沿う壁面を構成する。例えば一対の第２側板１５、１６は幅方向においてシリコンウェハＷの直径よりも大きい所定の間隔を空けて対向配置される。

【0014】

後板１７は搬入方向の後端部に配され、並列方向及び幅方向に沿う壁面を構成する。

【0015】

フランジ１８は、搬入口１２の開口縁に形成される。フランジ１８の正面の幅方向両側の側部には、収容部１１内に形成される複数段のガイドスリットＳの配列の並び順番または位置に対応する指標部１９が設けられる。指標部１９は、色や形が異なる複数種類の表示であり、一例として偶数列に設けられる偶数用の第１表示部１９ａと、奇数列に設けられる奇数用の第２表示部１９ｂと、を備える。第１表示部１９ａと第２表示部１９ｂとは色や形が異なる記号や絵柄である。挿入時に作業者が両側部の指標部１９を視認することにより、両側部の記号が揃うことを確認できる。なおフランジ１８はカバー３０に締結される締結部を有していても良い。

【0016】

ガイド部２０は、一対の第２側板１５、１６の収容部１１内側の面において並列方向にそれぞれ複数列に配列される複数のガイドレール２１を備える。各ガイドレール２１は、ベースガイドとしてのベースレール２２と、延長ガイドとしての延長レール２３と、を備える。一例として本実施形態において５段のガイドレール２１が配置され、収容部１１内において各ガイドレール２１上にそれぞれ１枚ずつ、合計５枚のシリコンウェハＷが収容可能に構成される。図３及び図４においては最上段以外の４段にそれぞれシリコンウェハＷが配置された状態を示す。

【0017】

ガイドレール２１は各段においてそれぞれ幅方向の両側に設けられる。一例として本実施形態においては両側部のガイドレール２１は同じ高さ位置に配置される。

【0018】

ベースレール２２は、両側の第２側板１５、１６に設けられ、収容部１１の内方に向けて幅方向に突出する突起部材である。複数のベースレール２２は、隣り合うベースレール２２との間に、シリコンウェハＷの外周縁の一部が配置される溝であるベーススリットＳ１を形成する。一例としてベーススリットＳ１の並列方向の寸法は７ｍｍ程度に構成される。ベースレール２２は、搬入方向の少なくとも中央の領域に配置される。ベースレール２２は、例えばシリコンウェハＷが各段に挿入されて収納状態において、ベースレール２２がシリコンウェハＷの外周縁に係合してシリコンウェハＷの位置を規制可能な位置に設けられ、少なくとも中央部の一定の領域に設けられている。なお、ベースレール２２の後端部は後板１７に至って形成されていてもよい。

【0019】

例えば、ベースレール２２の搬入方向の寸法はシリコンウェハＷの直径よりも短く構成される。図１に示すように、シリコンウェハＷが収納位置に配置された収納状態において、ベースレール２２の搬入口１２側の端部２２ａはシリコンウェハＷの搬入口１２側の端部Ｗａよりも、搬入口１２から離れた位置に配置される。なお、本実施形態では一例として収納位置はシリコンウェハＷの後端部が後板１７に接触する位置に設定された例を示すが、これに限られるものではなく、後板１７よりも前方に離れた位置にシリコンウェハＷの後端部が位置づけられる構成であってもよい。

【0020】

延長レール２３は、両側の第２側板１５、１６の内側において、ベースレール２２の搬入口１２側の位置に設けられる。延長レール２３は、例えばベースレール２２の前端部から搬入口１２に向けて、搬入方向に沿って延びる。延長レール２３は、収容部１１の内方に向けて幅方向に突出するレール状の突起部材である。例えば延長レール２３は搬入方向に直交する断面形状が矩形状に構成される。なお、延長レール２３は第２側板１５、１６に固定されていてもよく、ベースレール２２に固定されていてもよい。複数の延長レール２３は、並列方向に隣り合う延長レール２３との間に、ベーススリットＳ１に連続する延長スリットＳ２を形成する。延長スリットＳ２は、シリコンウェハＷの挿入時にシリコンウェハＷの外周縁の一部が通る溝である。すなわち、延長レール２３は、複数のベースレール２２の搬入口１２側に連続して配置され、ベーススリットＳ１を搬入口１２側に延長する。延長スリットＳ２の並列方向の寸法は例えばベーススリットＳ１と同等であり、７ｍｍ程度に構成される。延長レール２３の搬入口１２側の端部は収納状態においてシリコンウェハＷよりも搬入口１２に近い位置に配される。例えば延長レール２３は、搬入口１２からの距離が１５ｍｍ以内の位置まで延びている。

【0021】

例えばベースレール２２と延長レール２３とによって形成されるガイドレール２１の搬入方向の合計長さは、シリコンウェハＷの搬入方向の長さである直径より大きい。言い換えるとベーススリットＳ１と延長スリットＳ２とが連続して形成されるガイドスリットＳの長さはシリコンウェハＷの長さよりも大きい。

【0022】

以上のように構成されたウェハ容器１において、ラック１０にシリコンウェハＷを挿入する際、ユーザは、搬入口１２近傍の両側部に形成される延長スリットＳ２にシリコンウェハＷを位置づけて挿入する。このとき、搬入口１２の近傍で延長レール２３によってシリコンウェハＷの位置が規制されることから、所定の収納位置に正確に案内できる。作業者がシリコンウェハＷを後方に向けて挿入すると、シリコンウェハＷは延長スリットＳ２からベーススリットＳ１に至り、後板１７に当接する収納位置まで収納される。収納状態において、シリコンウェハＷの外縁部は延長レール２３を乗り越えて、延長レール２３よりも後方に配置される。この収納状態において、シリコンウェハＷはベースレール２２に形成されたベーススリットＳ１に挿入され、ベースレール２２上にそれぞれ支持される。

【0023】

本実施形態にかかるウェハ容器１によれば、搬入口１２の近傍で延長レール２３によってシリコンウェハＷの位置が規制されることから、所定の収納位置に正確に案内できる。したがって、挿入時に、既にラック１０内に収容された他のシリコンウェハＷに当たって破損することが防止できる。このため作業性を向上し、処理効率を向上できる。

【0024】

また、上記実施形態において、ウェハ容器１は指標部１９を有することにより、作業者が挿入時に奇数列と偶数列を区別できる。したがって、幅方向に離れた両側の延長スリットＳ２の対応関係を確認しやすく、シリコンウェハＷの適正な挿入位置を確認できるため、挿入作業の作業性をより向上できる。

【0025】

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能である。

【0026】

例えば上記第１実施形態において、ガイド部２０の延長レール２３やベースレール２２の搬入方向に直交する断面形状が矩形状である例を示したがこれに限られるものではない。他の実施形態として図５に示すように、延長レール２３は、先端側が細い突起状に構成されていてもよい。本実施形態において、延長レール２３は先端側、すなわち幅方向において収容部１１の中央側の、並列方向の寸法が小さい、テーパ状に構成される。例えば延長レール２３の搬入方向に直交する断面形状は三角形状に構成される。したがって本実施形態において、搬入口１２近傍の延長スリットＳ２の開口幅は内側に向けてテーパ状に拡大する。この他の構成は上記第１実施形態にかかるウェハ容器１と同様に構成されている。本実施形態によれば、延長スリットＳ２が内方側に拡大することから、シリコンウェハＷの挿入作業が容易となる。なお、ベースレール２２について、第１実施形態と同様に矩形状の断面としてもよく、本実施形態の延長レール２３と同様に先細形状としてもよい。

【0027】

例えば上記第１実施形態において、両側の延長スリットＳ２の幅が同じである例を示したが、これに限られるものではなく、両側の延長スリットＳ２の幅を異ならせてもよい。例えば図６及び図７に示すウェハ容器１Ａにおいて、一方側の延長レール２３の列の間隔と、他方側の延長レール２３の列の間隔とが異なる。具体的には幅方向一方側の側板１５に設けられた延長レール２３は、幅方向他方側の側板１６に設けられた延長レール２３よりも、並列方向の寸法が厚く構成されている。したがって、両側部に形成される延長スリットＳ２の幅寸法が異なり、一方側の延長スリットＳ２の溝幅が他方側の延長スリットＳ２の溝幅よりも幅が狭く構成されている。一例として、一方側の延長スリットＳ２の幅は３ｍｍ、他方側の延長スリットＳ２の幅は７ｍｍに構成される。なお、ベースレール２２及びベーススリットＳ１は両側が同じ位置及び同じ幅に構成されている。この他の構成は上記第１実施形態にかかるウェハ容器１と同様に構成されている。

【0028】

本実施形態に係るウェハ容器１Ａによれば、片側の延長スリットＳ２の寸法を狭くすることで、シリコンウェハＷの出し入れ時の位置を規制し、ガタを軽減することができる。

【0029】

また、他の実施形態として図８、図９に示すように、ガイドレール２１を構成する延長レール２３は位置調整可能に構成されていてもよい。例えば図８及び図９に示すウェハ容器１Ｂにおいて、延長レール２３は並列方向に移動可能に取付けられる。この構成によれば、延長レール２３の位置をずらすことで、延長スリットＳ２の隙間の幅を調整できる。したがって、例えば延長スリットＳ２の幅を狭めることで、挿入時のガタを軽減することができる。

【0030】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、各実施形態は適宜組み合わせて実施してもよく、その場合組み合わせた効果が得られる。更に、上記実施形態には種々の発明が含まれており、開示される複数の構成要件から選択された組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されてもよい。

【符号の説明】

【0031】

１、１Ａ、１Ｂ…ウェハ容器、１０…ラック、１１…収容部、１２…搬入口、１３…第１側板、１４…第１側板、１５…第２側板、１６…第２側板、１７…後板、１８…フランジ、１９…指標部、１９ａ…表示部、１９ｂ…表示部、２０…ガイド部、２１…ガイドレール、２２…ベースレール、２２ａ…端部、２３…延長レール、３０…カバー、Ｓ…ガイドスリット、Ｓ１…ベーススリット、Ｓ２…延長スリット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】