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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024097260
(43)【公開日】2024-07-18
(54)【発明の名称】弾性波フィルタ
(51)【国際特許分類】
H03H 9/64 20060101AFI20240710BHJP
H03H 9/145 20060101ALI20240710BHJP
【ＦＩ】
H03H9/64 Z
H03H9/145 Z
H03H9/145 D
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023000713
(22)【出願日】2023-01-05
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100189430
【弁理士】
【氏名又は名称】吉川 修一
(74)【代理人】
【識別番号】100190805
【弁理士】
【氏名又は名称】傍島 正朗
(72)【発明者】
【氏名】玉置 範一
【テーマコード（参考）】
5J097
【Ｆターム（参考）】
5J097AA16
5J097AA20
5J097BB11
5J097BB14
5J097CC05
5J097DD13
5J097DD16
5J097DD17
5J097DD21
5J097KK01
5J097KK04
(57)【要約】
【課題】通過帯域外の帯域に励振波が発生することを抑制できる弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】弾性波フィルタ１は、フィルタ回路１０と、付加回路２０とを備える。付加回路２０は、複数のＩＤＴ３１、３２および反射器４１を含む。ＩＤＴ３１の第１励振部５１ｘは、反射器４１の隣に配置され、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうち、当該ＩＤＴに含まれる電極指の総数Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指または総数Ｎが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有する。ＩＤＴ３１の第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有する。第１励振部５１ｘが有する電極指の平均の配列ピッチをｐｘとし、複数の反射電極指４５の平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、ｐｒ／ｐｘは、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である。
【選択図】図４
【解決手段】弾性波フィルタ１は、フィルタ回路１０と、付加回路２０とを備える。付加回路２０は、複数のＩＤＴ３１、３２および反射器４１を含む。ＩＤＴ３１の第１励振部５１ｘは、反射器４１の隣に配置され、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうち、当該ＩＤＴに含まれる電極指の総数Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指または総数Ｎが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有する。ＩＤＴ３１の第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有する。第１励振部５１ｘが有する電極指の平均の配列ピッチをｐｘとし、複数の反射電極指４５の平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、ｐｒ／ｐｘは、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の入出力端子と、
前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、
前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、
を備え、
前記付加回路は、複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）および反射器を含む共振器を有し、
前記複数のＩＤＴは、第１方向に沿って配置され、
前記ＩＤＴのそれぞれは、前記第１方向に交差する第２方向に延び、かつ、前記第１方向に沿って配列された複数の電極指を有し、
前記反射器は、前記第１方向において前記複数のＩＤＴのうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴの隣に配置され、前記第２方向に延び、かつ、前記第１方向に沿って配列された複数の反射電極指を有し、
前記最外のＩＤＴは、第１励振部および第２励振部を有し、
前記第１励振部は、前記第１方向において前記反射器の隣に配置され、前記最外のＩＤＴに含まれる前記複数の電極指のうち、当該ＩＤＴに含まれる電極指の総数をＮとしたときに、Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指またはＮが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有し、
前記第２励振部は、前記第１方向において前記第１励振部から見て前記反射器とは反対側に配置され、前記最外のＩＤＴに含まれる前記複数の電極指のうちの前記第１励振部の電極指を除く、２本以上の電極指を有し、
前記第１励振部が有する前記電極指の前記第１方向における平均の配列ピッチをｐｘとし、前記複数の反射電極指の前記第１方向における平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、
ｐｒ／ｐｘは、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である
弾性波フィルタ。
前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、
前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、
を備え、
前記付加回路は、複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）および反射器を含む共振器を有し、
前記複数のＩＤＴは、第１方向に沿って配置され、
前記ＩＤＴのそれぞれは、前記第１方向に交差する第２方向に延び、かつ、前記第１方向に沿って配列された複数の電極指を有し、
前記反射器は、前記第１方向において前記複数のＩＤＴのうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴの隣に配置され、前記第２方向に延び、かつ、前記第１方向に沿って配列された複数の反射電極指を有し、
前記最外のＩＤＴは、第１励振部および第２励振部を有し、
前記第１励振部は、前記第１方向において前記反射器の隣に配置され、前記最外のＩＤＴに含まれる前記複数の電極指のうち、当該ＩＤＴに含まれる電極指の総数をＮとしたときに、Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指またはＮが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有し、
前記第２励振部は、前記第１方向において前記第１励振部から見て前記反射器とは反対側に配置され、前記最外のＩＤＴに含まれる前記複数の電極指のうちの前記第１励振部の電極指を除く、２本以上の電極指を有し、
前記第１励振部が有する前記電極指の前記第１方向における平均の配列ピッチをｐｘとし、前記複数の反射電極指の前記第１方向における平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、
ｐｒ／ｐｘは、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である
弾性波フィルタ。
【請求項2】
前記第２励振部が有する前記電極指の前記第１方向における平均の配列ピッチをｐｙとした場合に、ｐｘ＞ｐｙである
請求項１に記載の弾性波フィルタ。
請求項１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項3】
前記付加回路は、複数の前記反射器を有し、
複数の前記反射器は、前記第１方向において前記複数のＩＤＴの両外側に配置されている
請求項１に記載の弾性波フィルタ。
複数の前記反射器は、前記第１方向において前記複数のＩＤＴの両外側に配置されている
請求項１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項4】
前記フィルタ回路の通過帯域は、２４９６ＭＨｚ以上２６９０ＭＨｚ以下の周波数帯域を含む
請求項１～３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
請求項１～３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、弾性波フィルタに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、フィルタ回路と、フィルタ回路に並列接続される付加回路とを備える弾性波フィルタが知られている。特許文献１には、アンテナ端子と送信端子との間に接続された送信フィルタと、アンテナ端子と受信端子との間に接続された受信フィルタと、アンテナ端子と送信端子との間の経路に一端を、アンテナ端子と受信端子との間の経路に他端を接続する弾性波素子と、を備える分波器が開示されている。弾性波素子は、送信端子に入力された送信信号の位相を逆位相となるように変換する素子であり、弾性波素子には反射器が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１６－２２０２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
例えば、弾性波素子に反射器を設けることでＱ値を向上させることができるが、Ｑ値が上がったことにより弾性波素子が不必要な共振を起こし、弾性波フィルタの通過帯域外の帯域に励振波が発生することがある。その場合、通過帯域外の帯域における減衰特性を確保することができないという問題がある。
【0005】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、通過帯域外の帯域に励振波が発生することを抑制できる弾性波フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタは、複数の入出力端子と、前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、を備え、前記付加回路は、複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）および反射器を含む共振器を有し、前記複数のＩＤＴは、第１方向に沿って配置され、前記ＩＤＴのそれぞれは、前記第１方向に交差する第２方向に延び、かつ、前記第１方向に沿って配列された複数の電極指を有し、前記反射器は、前記第１方向において前記複数のＩＤＴのうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴの隣に配置され、前記第２方向に延び、かつ、前記第１方向に沿って配列された複数の反射電極指を有し、前記最外のＩＤＴは、第１励振部および第２励振部を有し、前記第１励振部は、前記第１方向において前記反射器の隣に配置され、前記最外のＩＤＴに含まれる前記複数の電極指のうち、当該ＩＤＴに含まれる電極指の総数をＮとしたときに、Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指またはＮが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有し、前記第２励振部は、前記第１方向において前記第１励振部から見て前記反射器とは反対側に配置され、前記最外のＩＤＴに含まれる前記複数の電極指のうちの前記第１励振部の電極指を除く、２本以上の電極指を有し、前記第１励振部が有する前記電極指の前記第１方向における平均の配列ピッチをｐｘとし、前記複数の反射電極指の前記第１方向における平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、ｐｒ／ｐｘは、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である。
【発明の効果】
【0007】
本発明に係る弾性波フィルタによれば、通過帯域外の帯域に励振波が発生することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】実施の形態に係る弾性波フィルタ、ならびに、弾性波フィルタに含まれるフィルタ回路および付加回路の回路構成を示す図である。
【図2】付加回路に含まれる音響結合型共振器を模式的に示す図である。
【図3】音響結合型共振器に含まれるＩＤＴの第１励振部および第２励振部の電極指の平均の配列ピッチ、ならびに、反射器の反射電極指の平均の配列ピッチを示す図である。
【図4】第１励振部および第２励振部の電極指の平均の配列ピッチ、ならびに、反射器の反射電極指の平均の配列ピッチの一例を示す図である。
【図5】比較例１、２、３および実施例１の弾性波フィルタの通過特性を示す図である。
【図6】第１励振部の電極指の平均の配列ピッチと反射器の反射電極指の平均の配列ピッチとの比である配列ピッチ比、および、音響結合型共振器のＩＤＴ間のギャップで発生する共振モードの励振波の大きさの関係を示す図である。
【図7】比較例４、５、６および実施例２、３の弾性波フィルタの通過特性を示す図である。
【図8】第１励振部の電極指の平均の配列ピッチと反射器の反射電極指の平均の配列ピッチとの比である配列ピッチ比、および、音響結合型共振器の音響結合により発生する共振モードの励振波の大きさの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施の形態について、実施の形態および図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさ、または大きさの比は、必ずしも厳密ではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する場合がある。また、以下の実施の形態において、「接続される」とは、直接接続される場合だけでなく、他の素子等を介して電気的に接続される場合も含まれる。
【0010】
【0011】
図１は、実施の形態に係る弾性波フィルタ１、ならびに、弾性波フィルタ１に含まれるフィルタ回路１０および付加回路２０の回路構成を示す図である。
【0012】
弾性波フィルタ１は、例えば、高周波信号が入出力される送受信フィルタである。弾性波フィルタ１には、自帯域の周波数を通過させ、通過帯域外の周波数を減衰させる特性が求められる。
【0013】
図１に示すように、弾性波フィルタ１は、フィルタ回路１０と、付加回路２０と、入出力端子Ｔ１と、入出力端子Ｔ２と、を備えている。
【0014】
入出力端子Ｔ１は、高周波信号が入力および出力される端子である。例えば、入出力端子Ｔ１は、増幅回路等（図示せず）を介して信号処理回路（図示せず）に接続される。
【0015】
入出力端子Ｔ２は、高周波信号が入力および出力される端子である。例えば、入出力端子Ｔ２は、アンテナ素子に接続される。
【0016】
フィルタ回路１０は、通信規格により定められた、第１の周波数帯域を通過帯域とするフィルタ回路である。例えば、第１の周波数帯域は、Ｂａｎｄ４１（２４９６ＭＨｚ以上２６９０ＭＨｚ以下）である。フィルタ回路１０は、入出力端子Ｔ１および入出力端子Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられている。
【0017】
図１に示すように、フィルタ回路１０は、弾性波共振子である直列腕共振子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６およびＳ７、ならびに、並列腕共振子Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５およびＰ６を有している。
【0018】
直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７は、入出力端子Ｔ１と入出力端子Ｔ２とを結ぶ第１経路ｒ１上に配置されている。直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７は、入出力端子Ｔ１から入出力端子Ｔ２に向かって、この順で直列に接続されている。
【0019】
並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６は、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７の間の各ノードとグランド（基準端子）とを結ぶ経路上に互いに並列に接続されている。具体的には、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６のうち、入出力端子Ｔ１に最も近い並列腕共振子Ｐ１は、一端が直列腕共振子Ｓ１とＳ２との間のノードに接続され、他端がグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ２は、一端が直列腕共振子Ｓ２とＳ３との間のノードに接続され、他端がグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ３は、一端が直列腕共振子Ｓ３とＳ４との間のノードに接続され、他端がグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ４は、一端が直列腕共振子Ｓ４とＳ５との間のノードに接続され、他端がグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ５は、一端が直列腕共振子Ｓ５とＳ６との間のノードに接続され、他端がグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ６は、一端が直列腕共振子Ｓ６とＳ７との間のノードに接続され、他端がグランドに接続されている。
【0020】
このようにフィルタ回路１０は、第１経路ｒ１上に配置された７つの直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７、および、第１経路ｒ１とグランドとを結ぶ経路上に配置された６つの並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６で構成されるラダーフィルタ構造を有している。
【0021】
なお、フィルタ回路１０を構成する直列腕共振子および並列腕共振子の数は、７つまたは６つに限定されず、直列腕共振子が１つ以上かつ並列腕共振子が１つ以上であればよい。また、複数の並列腕共振子のうちの一部の並列腕共振子の他端が共通化され、グランドに接続されていてもよい。
【0022】
図１に示す付加回路２０は、フィルタ回路１０の通過帯域外の減衰特性を改善するため、フィルタ回路１０と逆位相・同振幅の相殺成分を有するキャンセル回路である。
【0023】
付加回路２０は、第１経路ｒ１の少なくとも一部に並列接続される第２経路ｒ２に設けられている。例えば、付加回路２０は、第１経路ｒ１上の複数のノードに接続される。
【0024】
付加回路２０は、複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）３１およびＩＤＴ３２を含む音響結合型共振器２５を有している。複数のＩＤＴ３１、３２のうち、ＩＤＴ３１は、音響結合型共振器２５から見て入出力端子Ｔ１側の第１経路ｒ１、具体的には入出力端子Ｔ１と直列腕共振子Ｓ１との間のノードｎ１に接続されている。ＩＤＴ３２は、音響結合型共振器２５から見て入出力端子Ｔ２側の第１経路ｒ１、具体的には直列腕共振子Ｓ７と入出力端子Ｔ２との間のノードｎ８に接続されている。言い換えると、ＩＤＴ３１は、音響結合型共振器２５に並列接続されている直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７から見て入出力端子Ｔ１側の第１経路ｒ１に接続され、ＩＤＴ３２は、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７から見て入出力端子Ｔ２側の第１経路ｒ１に接続されている。
【0025】
［付加回路の構成］
付加回路２０の構成について、図２を参照しながら説明する。
付加回路２０の構成について、図２を参照しながら説明する。
【0026】
図２は、付加回路２０に含まれる音響結合型共振器２５を模式的に示す図である。
【0027】
図２に示すように、音響結合型共振器２５は、複数のＩＤＴ３１および３２と、複数の反射器４１および４２と、を有している。音響結合型共振器２５は、縦結合型共振器を構成している。
【0028】
音響結合型共振器２５は、例えば、弾性表面波（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）共振子によって構成される。音響結合型共振器２５は、圧電性基板と、圧電性基板上に設けられたＩＤＴ電極および反射器電極を構成する電極層と、電極層を覆うように圧電性基板上に設けられた誘電体層と、によって形成される。
【0029】
圧電性基板は、シリコン基板上にＳｉＮ、ＳｉＯ２、ＬｉＴａＯ３がこの順で積層された構造を有している。例えばＳｉＮの厚みは５０ｎｍ、ＳｉＯ２の膜厚は４００ｎｍ、ＬｉＴａＯ３の膜厚は３００ｎｍである。電極層は、圧電性基板側から順にＴｉ、ＡｌＣｕおよびＴｉが積層された構造を有し、それぞれの厚みは、１８ｎｍ、１００ｎｍ、４ｎｍである。誘電体層は、ＳｉＯ２であり、厚みは３０ｎｍである。
【0030】
複数のＩＤＴ３１、３２は、圧電性基板の主面に平行な第１方向ｄ１に沿って配置される。ＩＤＴ３１は、一対となる第１の櫛形電極３１ａおよび第２の櫛形電極３１ｂを有している。ＩＤＴ３２は、一対となる第１の櫛形電極３２ａおよび第２の櫛形電極３２ｂを有している。
【0031】
第１の櫛形電極３１ａ、３２ａのそれぞれは、第１方向ｄ１に延びるバスバー電極３６ａと、バスバー電極３６ａに接続されて第１方向ｄ１に直交する第２方向ｄ２に延びる複数の電極指３５ａと、を有している。バスバー電極３６ａは、複数の電極指３５ａの一端同士を接続している。
【0032】
第２の櫛形電極３１ｂ、３２ｂのそれぞれは、第１方向ｄ１に延びるバスバー電極３６ｂと、バスバー電極３６ｂに接続されて第２方向ｄ２に延びる複数の電極指３５ｂとを有している。バスバー電極３６ｂは、複数の電極指３５ｂの一端同士を接続している。複数の電極指３５ａおよび３５ｂは、第２方向ｄ２に互いに間挿し合い、互いに平行に配置されている。
【0033】
第１の櫛形電極３１ａ、３２ａは、第２経路ｒ２上の信号配線に接続され、第２の櫛形電極３１ｂ、３２ｂは、グランドに接続される。つまり、バスバー電極３６ａおよび電極指３５ａは、信号電位に設定され、バスバー電極３６ｂおよび電極指３５ｂは、グランド電位に設定される。以下、電極指３５ａおよび３５ｂの両方を指して電極指３５と呼ぶ場合がある。
【0034】
反射器４１は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２のうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴ３１の隣に配置されている。反射器４２は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２のうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴ３２の隣に配置されている。つまり、複数の反射器４１、４２は、第１方向ｄ１において、複数のＩＤＴ３１、３２を挟み込むように、ＩＤＴ３１、３２の両外側に配置されている。
【0035】
各反射器４１、４２は、複数の反射電極指４５および複数の反射バスバー４６を有している。複数の反射電極指４５は、第２方向ｄ２に延び、かつ、第１方向ｄ１に沿って配列されている。各反射バスバー４６は、複数の反射電極指４５の一端同士または他端同士を接続し、第１方向ｄ１に延びるように配置されている。
【0036】
図２に示すように、ＩＤＴ３１は、第１励振部５１ｘおよび第２励振部５１ｙを有し、ＩＤＴ３２は、第１励振部５２ｘおよび第２励振部５２ｙを有している。第１励振部５１ｘ、５２ｘは、付加回路２０の本来の目的である、フィルタ回路１０と逆位相・同振幅の相殺成分を生成するための部分である。第２励振部５１ｙ、５２ｙは、第１励振部５１ｘ、５２ｘ同士が強く励振しすぎることを抑制するための狭ピッチ部分である。
【0037】
ＩＤＴ３１の第１励振部５１ｘは、第１方向ｄ１において反射器４１の隣に配置されている。第１励振部５１ｘは、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうちの半数本よりも多い電極指を有している。より具体的には、第１励振部５１ｘは、最外のＩＤＴ３１に含まれる電極指の総数をＮとしたときに、Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指またはＮが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有している。第１励振部５１ｘは、最外のＩＤＴ３１が有する対数（ついすう）のうちの６０％以上の対数を有していてもよい。
【0038】
ＩＤＴ３１の第２励振部５１ｙは、第１方向ｄ１において第１励振部５１ｘから見て反射器４１とは反対側に配置されている。第２励振部５１ｙは、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうちの第１励振部５１ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有している。第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘよりも、電極指３５の本数および対数が少ない。
【0039】
ＩＤＴ３２の第１励振部５２ｘは、第１方向ｄ１において反射器４２の隣に配置されている。第１励振部５２ｘは、最外のＩＤＴ３２に含まれる複数の電極指３５のうちの半数本よりも多い電極指を有している。より具体的には、第１励振部５２ｘは、最外のＩＤＴ３２に含まれる電極指の総数をＮとしたときに、Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指またはＮが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有している。第１励振部５２ｘは、最外のＩＤＴ３２が有する対数のうちの６０％以上の対数を有していてもよい。
【0040】
ＩＤＴ３２の第２励振部５２ｙは、第１方向ｄ１において第１励振部５２ｘから見て反射器４２とは反対側に配置されている。第２励振部５２ｙは、最外のＩＤＴ３２に含まれる複数の電極指３５のうちの第１励振部５２ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有している。第２励振部５２ｙは、第１励振部５２ｘよりも、電極指３５の本数および対数が少ない。
【0041】
本実施の形態では、第１励振部５１ｘ、５２ｘが有する電極指３５の配列ピッチと、反射器４１、４２が有する反射電極指４５の配列ピッチとが、以下に示す関係を有している。
【0042】
具体的には、ＩＤＴ３１の第１励振部５１ｘが有する電極指３５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｘとし、反射器４１が有する反射電極指４５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、ｐｘに対するｐｒの比である配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）は、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である。
【0043】
同様に、ＩＤＴ３２の第１励振部５２ｘが有する電極指３５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｘとし、反射器４２が有する反射電極指４５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）は、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である。
【0044】
このように、ｐｘに対するｐｒの比である配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値とすることで、通過帯域外の帯域に励振波が発生することを抑制できる。この数値範囲については後述する。
【0045】
なお、本実施の形態では、第２励振部５１ｙが有する電極指３５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｙとした場合に、ｐｘ＞ｐｙという関係を有している。つまり第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘよりも、電極指３５の間隔が狭ピッチとなっている。また、第２励振部５２ｙが有する電極指３５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｙとした場合に、ｐｘ＞ｐｙという関係を有している。つまり第２励振部５２ｙは、第１励振部５２ｘよりも、電極指３５の間隔が狭ピッチとなっている。
【0046】
［配列ピッチの求め方］
上記の平均の配列ピッチｐｘ、ｐｙ、および、上記の平均の配列ピッチｐｒの求め方について説明する。
上記の平均の配列ピッチｐｘ、ｐｙ、および、上記の平均の配列ピッチｐｒの求め方について説明する。
【0047】
図３は、音響結合型共振器２５に含まれるＩＤＴ３１、３２の第１励振部５１ｘ、５２ｘおよび第２励振部５１ｙ、５２ｙの電極指３５の配列ピッチ、ならびに、反射器４１、４２の反射電極指４５の配列ピッチを示す図である。
【0048】
第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）の電極指３５の配列ピッチは、ＩＤＴ３１（または３２）に含まれる複数の電極指３５において、第１方向ｄ１に隣り合う電極指同士の中心間距離である。第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）内における複数の電極指３５の全ての配列ピッチは同じであってもよく、一部もしくは全ての配列ピッチが異なっていてもよい。以下、２つの電極指間の第１方向ｄ１における中心同士の距離を、単に「中心間距離」と称することがある。
【0049】
第１励振部５１ｘの電極指３５の平均の配列ピッチｐｘは、次のように導出される。例えば、第１励振部５１ｘに含まれる電極指の総本数をＮｘ本とする。そして、第１励振部５１ｘの、第１方向ｄ１における一方端に位置する電極指と、他方端に位置する電極指との中心間距離をＤｘとする。すると、平均の配列ピッチｐｘは、ｐｘ＝Ｄｘ／（Ｎｘ－１）という式で表せる。なお、（Ｎｘ－１）は、第１励振部５１ｘにおける、隣接する電極指が作るギャップの総個数ともいえる。ＩＤＴ３２の第１励振部５２ｘの電極指３５の平均の配列ピッチｐｘも同様に導出される。
【0050】
第２励振部５１ｙ（または５２ｙ）の電極指の配列ピッチは、ＩＤＴ３１（または３２）に含まれる複数の電極指３５において、第１方向ｄ１に隣り合う電極指同士の中心間距離である。第２励振部５１ｙ（または５２ｙ）内における複数の電極指３５の全ての配列ピッチは同じであってもよく、一部もしくは全ての配列ピッチが異なっていてもよい。
【0051】
第２励振部５１ｙの電極指３５の平均の配列ピッチｐｙは、次のように導出される。例えば、第２励振部５１ｙに含まれる電極指の総本数をＮｙ本とする。そして、第２励振部５１ｙの、第１方向ｄ１における一方端に位置する電極指と、他方端に位置する電極指との中心間距離をＤｙとする。すると、平均の配列ピッチｐｙは、ｐｙ＝Ｄｙ／（Ｎｙ－１）という式で表せる。なお、（Ｎｙ－１）は、第２励振部５１ｙにおける、隣接する電極指が作るギャップの総個数ともいえる。ＩＤＴ３２の第２励振部５２ｙの電極指３５の平均の配列ピッチｐｙも同様に導出される。
【0052】
反射器４１、４２の反射電極指４５の配列ピッチは、反射器４２、４２のそれぞれに含まれる複数の反射電極指４５において、第１方向ｄ１に隣り合う反射電極指同士の中心間距離である。反射器４１、４２内における複数の反射電極指４５の全ての配列ピッチは同じであってもよく、一部もしくは全ての配列ピッチが異なっていてもよい。
【0053】
反射器４１の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒは、次のように導出される。例えば、反射器４１に含まれる反射電極指４５の総本数をＮｒ本とする。そして、反射器４１の、第１方向ｄ１における一方端に位置する反射電極指と、他方端に位置する反射電極指との中心間距離をＤｒとする。すると、平均の配列ピッチｐｒは、ｐｒ＝Ｄｒ／（Ｎｒ－１）という式で表せる。なお、（Ｎｒ－１）は、反射器４１における、隣接する反射電極指が作るギャップの総個数ともいえる。反射器４２の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒも同様に導出される。
【0054】
なお、配列ピッチの測定箇所は、所定の隣り合う電極指の交差幅の、第１方向ｄ１における中間点を通る、第２方向ｄ２に平行な仮想線上における距離で代用できる。配列ピッチの測定方法は、上面（第１方向ｄ１および第２方向ｄ２の両方に垂直な方向）からの光学顕微鏡またはＳＥＭ観察、もしくは、研磨等により上記仮想線を通る断面を出し、光学顕微鏡またはＳＥＭ観察、による測長で測定できる。
【0055】
［弾性波フィルタの通過特性］
実施例および比較例の弾性波フィルタの通過特性等について説明する。
実施例および比較例の弾性波フィルタの通過特性等について説明する。
【0056】
図４は、第１励振部５１ｘ、５２ｘおよび第２励振部５１ｙ、５２ｙの電極指３５の平均の配列ピッチｐｘ、ｐｙ、ならびに、反射器４１、４２の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒの一例を示す図である。
【0057】
図４の左の縦軸には、配列ピッチを２倍した値である波長が示されている。また、図４の右の縦軸には、電極指３５および反射電極指４５の対数が示されている。なお、反射器４１、４２の対数は、２本の反射電極指４５を一対とした場合の値である。
【0058】
図４に示すように、第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘよりも、平均の配列ピッチｐｘが小さく、第２励振部５２ｙは、第１励振部５２ｘよりも、平均の配列ピッチｐｙが小さくなっている。なお、第１励振部および第２励振部のデューティは同じであり、交差幅も同じである。
【0059】
また、第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘよりも対数が少なく、第２励振部５２ｙは、第１励振部５２ｘよりも対数が少なくなっている。言い換えると、第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）の電極指３５の本数は、第２励振部５１ｙ（または５２ｙ）の電極指３５の本数よりも多い。なお、第１励振部５１ｘおよび５２ｘの対数は同じであり、第２励振部５１ｙおよび５２ｙの対数は同じである。
【0060】
また、反射器４１は、第１励振部５１ｘよりも対数が多く、反射器４２は、第１励振部５２ｘよりも対数が多くなっている。この例では、反射器４１（または４２）の反射電極指４５の本数は、第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）の電極指３５の本数よりも多い。なお、反射器４１および４２の対数は同じである。
【0061】
上記の電極パラメータの条件の下、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を変えた場合の通過特性について説明する。
【0062】
まず、通過帯域よりも低周波数側の帯域にて発生する共振モードＭ１の励振波について説明する。
【0063】
図５は、比較例１、２、３および実施例１の弾性波フィルタの通過特性を示す図である。
【0064】
比較例１は、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を１．０１としたときの通過特性である。比較例２は、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を０．９９５としたときの通過特性である。比較例３は、付加回路が設けられていないフィルタ回路のみの通過特性である。実施例１は、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を０．９６としたときの通過特性である。
【0065】
図５に示すように、フィルタ回路１０に付加回路が接続された比較例１、２および実施例１では、付加回路が設けられていない比較例３に比べて、周波数２３５０ＭＨｚ－２４２０ＭＨｚにおける減衰量を大きくすることができている。
【0066】
しかし、比較例１、２では、通過帯域よりも低周波数側に位置する２４５０ＭＨｚ付近において、ピーク値が３０ｄＢを超える励振波（レスポンス）が発生している。この励振波は、音響結合型共振器２５のＩＤＴ３１、３２間のギャップで発生する共振モードＭ１の励振波である。
【0067】
それに対し実施例１では、通過帯域よりも低周波数側に位置する帯域（図５に示す２４２０ＭＨｚ－２４９０ＭＨｚ）において、共振モードＭ１の励振波が抑制されている。実施例１の弾性波フィルタ１によれば、通過帯域よりも低周波数側に位置する帯域にて減衰量を確保することができる。
【0068】
さらに、実施例１では、比較例１、２に比べて、通過帯域よりも高周波数側に位置する帯域（図５に示す２７２０ＭＨｚ－２７４０ＭＨｚ）において、励振波が発生することを抑制できる。実施例１の弾性波フィルタ１によれば、通過帯域よりも高周波数側に位置する帯域にて減衰量を確保することも可能である。
【0069】
ここで、共振モードＭ１の励振波を抑制するのに適した配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）の範囲について説明する。
【0070】
図６は、第１励振部の電極指３５の平均の配列ピッチｐｘと反射器の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒとの比である配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）、および、音響結合型共振器２５のＩＤＴ３１、３２間のギャップで発生する共振モードＭ１の励振波の大きさの関係を示す図である。なお、図６のグラフの元データは、表１に示すとおりである。
【0071】
【表1】
【0072】
図６の縦軸には、ＩＤＴ３１、３２間のギャップで発生する共振モードＭ１の励振波のピーク値が示されている。同図の横軸には、上記の配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）が示されている。なお、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）は、ｐｘを固定し、ｐｒを変えることで値を変化させた。
【0073】
共振モードＭ１の励振波の評価について、この例では励振波のピーク値が３５ｄＢ以下である場合に、励振波の発生を抑制できていることとした。例えば挿入損失が３０ｄＢ以下のときに減衰量を確保できているとすることもできるが、共振モードＭ１は、弾性波フィルタ１の通過帯域に近い帯域に表れるので、この例では３５ｄＢを評価基準とした。
【0074】
弾性波フィルタ１では、図６に示すように、配列ピッチ（ｐｒ／ｐｘ）が、０．５以上０．９７以下の範囲内の値である場合、または、１．０４以上２．０以下の範囲内の値である場合、共振モードＭ１の励振波のピーク値を３５ｄＢよりも小さくすることができる。
【0075】
なお、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）の下限を０．５以上とし、上限を２．０以上としているのは、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）が０．５未満または２．０よりも大きい場合、反射器とＩＤＴで発生した波とが結合せず、反射器が他の共振子との音響結合を防ぐという役割を達成できなくなるからである。
【0076】
次に、共振モードＭ１よりも低周波数側の帯域にて発生する共振モードＭ２の励振波について説明する。
【0077】
図７は、比較例４、５、６および実施例２、３の弾性波フィルタの通過特性を示す図である。同図には、弾性波フィルタの通過帯域の一部、および、通過帯域よりも低周波数側の通過特性が示されている。
【0078】
比較例４は、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を１．０６としたときの通過特性である。比較例５は、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を１．１０としたときの通過特性である。比較例６は、付加回路が設けられていないフィルタ回路のみの通過特性である。なお、比較例６は前述した比較例３と同じである。実施例２は、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を１．１５としたときの通過特性である。実施例３は、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を１．２１としたときの通過特性である。
【0079】
図７に示すように、フィルタ回路１０に付加回路が接続された比較例４、５および実施例２、３では、付加回路が設けられていない比較例６に比べて、周波数２３１０ＭＨｚ－２３９０ＭＨｚにおける減衰量を大きくすることができている。
【0080】
しかし、比較例４、５では、通過帯域よりも低周波数側に位置する２２５０ＭＨｚ－２２９０ＭＨｚの帯域において、ピーク値が２５ｄＢを超える励振波（レスポンス）が発生している。この励振波は、音響結合型共振器の音響結合により発生する共振モードＭ２の励振波である。
【0081】
それに対し実施例２、３では、通過帯域よりも低周波数側に位置する帯域（図７に示す２２３０ＭＨｚ付近）において、共振モードＭ２の励振波が抑制されている。実施例２、３の弾性波フィルタ１によれば、通過帯域よりも低周波数側に位置する帯域にて減衰量を確保することができる。
【0082】
ここで、共振モードＭ２の励振波を抑制するのに適した配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）の範囲について説明する。
【0083】
図８は、第１励振部の電極指３５の平均の配列ピッチｐｘと反射器の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒとの比である配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）、および、音響結合型共振器２５の音響結合により発生する共振モードＭ２の励振波の大きさの関係を示す図である。なお、図８のグラフの元データは、表２に示す通りである。
【0084】
【表2】
【0085】
図８の縦軸には、音響結合型共振器２５の音響結合により発生する共振モードＭ２の励振波のピーク値が示されている。同図の横軸には、上記の配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）が示されている。なお、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）は、ｐｘを固定し、ｐｒを変えることで値を変化させた。
【0086】
共振モードＭ２の励振波の評価について、この例では励振波のピーク値が２７ｄＢ以下である場合に、励振波の発生を抑制できていることとした。共振モードＭ２は、通過帯域から遠い位置にあるので、例えば挿入損失が２５ｄＢ以下のときに減衰量を確保できているとすることもできるが、この例では２７ｄＢを評価基準とした。
【0087】
弾性波フィルタ１では、図８に示すように、配列ピッチ（ｐｒ／ｐｘ）が、０．５以上１．０３以下の範囲内の値である場合、または、１．１５以上２．０以下の範囲内の値である場合、共振モードＭ２の励振波のピーク値を２７ｄＢよりも小さくすることができる。
【0088】
なお、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）の下限を０．５以上とし、上限を２．０以上としているのは、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）が０．５未満または２．０よりも大きい場合、反射器とＩＤＴで発生した波とが結合せず、反射器が他の共振子との音響結合を防ぐという役割を達成できなくなるからである。
【0089】
さらに、上記で示した図６および図８に基づき、共振モードＭ１およびＭ２の両方の励振波を抑制するためには、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を以下のようにすることが望ましいと考えられる。具体的には、図６および図８の両方の範囲を満たすように、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）を、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値とすることで、共振モードＭ１およびＭ２の両方の励振波を抑制することができる。これにより、通過帯域外の帯域に励振波が発生することを抑制できる。
【0090】
（まとめ）
本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、以下に示す態様をとり得る。
本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、以下に示す態様をとり得る。
【0091】
［態様１］
本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２と、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１の少なくとも一部と並列接続される第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備える。付加回路２０は、複数のＩＤＴ３１、３２および反射器４１を含む共振器（例えば音響結合型共振器２５）を有する。複数のＩＤＴ３１、３２は、第１方向ｄ１に沿って配置されている。ＩＤＴ３１、３２のそれぞれは、第１方向ｄ１に交差する第２方向ｄ２に延び、かつ、第１方向ｄ１に沿って配列された複数の電極指３５を有している。反射器４１は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２のうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴ３１の隣に配置され、第２方向ｄ２に延び、かつ、第１方向ｄ１に沿って配列された複数の反射電極指４５を有する。最外のＩＤＴ３１は、第１励振部５１ｘおよび第２励振部５１ｙを有する。第１励振部５１ｘは、第１方向ｄ１において反射器４１の隣に配置され、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうち、当該ＩＤＴ３１に含まれる電極指３５の総数をＮとしたときに、Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指またはＮが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有する。第２励振部５１ｙは、第１方向ｄ１において第１励振部５１ｘから見て反射器４１とは反対側に配置され、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうちの第１励振部５１ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有する。第１励振部５１ｘが有する電極指の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｘとし、複数の反射電極指４５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、ｐｒ／ｐｘは、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である。
本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２と、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１の少なくとも一部と並列接続される第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備える。付加回路２０は、複数のＩＤＴ３１、３２および反射器４１を含む共振器（例えば音響結合型共振器２５）を有する。複数のＩＤＴ３１、３２は、第１方向ｄ１に沿って配置されている。ＩＤＴ３１、３２のそれぞれは、第１方向ｄ１に交差する第２方向ｄ２に延び、かつ、第１方向ｄ１に沿って配列された複数の電極指３５を有している。反射器４１は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２のうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴ３１の隣に配置され、第２方向ｄ２に延び、かつ、第１方向ｄ１に沿って配列された複数の反射電極指４５を有する。最外のＩＤＴ３１は、第１励振部５１ｘおよび第２励振部５１ｙを有する。第１励振部５１ｘは、第１方向ｄ１において反射器４１の隣に配置され、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうち、当該ＩＤＴ３１に含まれる電極指３５の総数をＮとしたときに、Ｎが偶数の場合は（（Ｎ／２）＋１）本の電極指またはＮが奇数の場合は（（Ｎ＋１）／２）本の電極指を有する。第２励振部５１ｙは、第１方向ｄ１において第１励振部５１ｘから見て反射器４１とは反対側に配置され、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうちの第１励振部５１ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有する。第１励振部５１ｘが有する電極指の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｘとし、複数の反射電極指４５の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｒとした場合に、ｐｒ／ｐｘは、０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値である。
【0092】
このように、平均の配列ピッチの比であるｐｒ／ｐｘを０．５以上０．９７以下または１．１５以上２．０以下の範囲内の値とすることで、弾性波フィルタ１の通過帯域外の帯域に、共振モードＭ１、Ｍ２による励振波が発生することを抑制できる。これにより、通過帯域外の帯域における減衰特性を確保することができる。
【0093】
なお、態様１において、反射器４１を反射器４２に置き換え、最外のＩＤＴ３１を最外のＩＤＴ３２に置き換え、第１励振部５１ｘを第１励振部５２ｘに置き換え、第２励振部５１ｙを第２励振部５２ｙに置き換えても同様である。
【0094】
［態様２］
態様１に記載の弾性波フィルタ１において、第２励振部５１ｙが有する電極指の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｙとした場合に、ｐｘ＞ｐｙであってもよい。
態様１に記載の弾性波フィルタ１において、第２励振部５１ｙが有する電極指の第１方向ｄ１における平均の配列ピッチをｐｙとした場合に、ｐｘ＞ｐｙであってもよい。
【0095】
これによれば、第２励振部５１ｙの電極指３５の配列ピッチを第１励振部５１ｘの電極指の３５配列ピッチよりも狭くすることができ、共振モードＭ１による励振波が発生することを抑制できる。これにより、通過帯域外の帯域における減衰特性を確保することができる。
【0096】
［態様３］
態様１または２に記載の弾性波フィルタ１において、付加回路２０は、複数の反射器４１、４２を有し、複数の反射器４１、４２は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２の両外側に配置されていてもよい。
態様１または２に記載の弾性波フィルタ１において、付加回路２０は、複数の反射器４１、４２を有し、複数の反射器４１、４２は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２の両外側に配置されていてもよい。
【0097】
この構成によれば、複数の反射器４１、４２を有することでＱ値を向上させることができる。また、複数の反射器４１、４２を用いる場合であっても、ｐｒ／ｐｘの値を上記の範囲内の値とすることで、共振モードＭ１、Ｍ２による励振波が発生することを抑制できる。これにより、通過帯域外の帯域における減衰特性を確保することができる。
【0098】
［態様４］
態様１～３のいずれか１つに記載の弾性波フィルタ１において、フィルタ回路１０の通過帯域は、２４９６ＭＨｚ以上２６９０ＭＨｚ以下の周波数帯域を含んでいてもよい。
態様１～３のいずれか１つに記載の弾性波フィルタ１において、フィルタ回路１０の通過帯域は、２４９６ＭＨｚ以上２６９０ＭＨｚ以下の周波数帯域を含んでいてもよい。
【0099】
これによれば、上記周波数帯域の範囲外の帯域に、共振モードＭ１、Ｍ２による励振波が発生することを抑制できる。これにより、通過帯域外の帯域における減衰特性を確保することができる。
【0100】
（その他の実施の形態）
以上、本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタについて、実施の形態を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施の形態や、上記実施の形態に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、本発明に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置も本発明に含まれる。
以上、本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタについて、実施の形態を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施の形態や、上記実施の形態に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、本発明に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置も本発明に含まれる。
【0101】
上記では、音響結合型共振器２５が２つのＩＤＴ３１、３２を有する例を示したが、それに限られず、音響結合型共振器２５は、３以上のＩＤＴを有していてもよい。音響結合型共振器２５が３以上のＩＤＴを有する場合であっても、ＩＤＴ３１および３２が最外のＩＤＴとなり、配列ピッチ比（ｐｒ／ｐｘ）は同様の範囲内の値となる。
【0102】
上記では、ＩＤＴ３１、３２が第１経路ｒ１のノードｎ１、ｎ８に直接接続されている例を示したが、それに限られず、各ＩＤＴ３１、３２は、容量素子を介して各ノードｎ１、ｎ８に接続されてもよい。
【0103】
上記では、弾性波フィルタ１が送受信フィルタである例を示したが、それに限られず、弾性波フィルタは、送信フィルタ、または、受信フィルタであってもよい。
【0104】
また、入出力端子Ｔ１およびＴ２は、入力端子および出力端子のいずれかであってもよい。例えば、入出力端子Ｔ１が入力端子である場合は、入出力端子Ｔ２が出力端子となり、入出力端子Ｔ２が入力端子である場合は、入出力端子Ｔ１が出力端子となる。
【0105】
また、ＩＤＴ電極は、積層構造でなくてもよい。ＩＤＴ電極は、例えば、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属または合金から構成されてもよく、また、上記の金属または合金から構成される複数の積層体から構成されてもよい。
【0106】
また、実施の形態では、基板として圧電性を有する基板を示したが、当該基板は、圧電体層の単層からなる圧電基板であってもよい。この場合の圧電基板は、例えば、ＬｉＴａＯ３の圧電単結晶、または、ＬｉＮｂＯ３などの他の圧電単結晶で構成される。また、ＩＤＴ電極が形成される基板は、圧電性を有する限り、全体が圧電体層からなるものの他、支持基板上に圧電体層が積層されている構造を用いてもよい。また、上記実施の形態に係る基板のカット角は限定されない。つまり、弾性波フィルタの要求通過特性などに応じて、適宜、積層構造、材料、および厚みを変更してもよく、上記実施の形態に示すカット角以外のカット角を有するＬｉＴａＯ３圧電基板またはＬｉＮｂＯ３圧電基板などを用いた弾性表面波フィルタであっても、同様の効果を奏することが可能となる。
【0107】
なお、付加回路２０は、音響結合型の弾性波共振器でなくトランスバーサル型の弾性波共振器を有していてもよい。
【産業上の利用可能性】
【0108】
本発明は、弾性波フィルタを含むマルチプレクサ、フロントエンド回路および通信装置として、携帯電話などの通信機器に広く利用できる。
【符号の説明】
【0109】
１ 弾性波フィルタ
１０ フィルタ回路
２０ 付加回路
２５ 音響結合型共振器
３１、３２ ＩＤＴ
３１ａ、３２ａ 第１の櫛形電極
３１ｂ、３２ｂ 第２の櫛形電極
３５、３５ａ、３５ｂ 電極指
３６ａ、３６ｂ バスバー電極
４１、４２ 反射器
４５ 反射電極指
４６ 反射バスバー
５１ｘ、５２ｘ 第１励振部
５１ｙ、５２ｙ 第２励振部
ｄ１ 第１方向
ｄ２ 第２方向
Ｍ１、Ｍ２ 共振モード
ｎ１、ｎ８ ノード
ｐｒ 反射器の反射電極指の平均の配列ピッチ
ｐｒ／ｐｘ 配列ピッチ比
ｐｘ 第１励振部の電極指の平均の配列ピッチ
ｐｙ 第２励振部の電極指の平均の配列ピッチ
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６ 並列腕共振子
ｒ１ 第１経路
ｒ２ 第２経路
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６、Ｓ７ 直列腕共振子
Ｔ１、Ｔ２ 入出力端子
１０ フィルタ回路
２０ 付加回路
２５ 音響結合型共振器
３１、３２ ＩＤＴ
３１ａ、３２ａ 第１の櫛形電極
３１ｂ、３２ｂ 第２の櫛形電極
３５、３５ａ、３５ｂ 電極指
３６ａ、３６ｂ バスバー電極
４１、４２ 反射器
４５ 反射電極指
４６ 反射バスバー
５１ｘ、５２ｘ 第１励振部
５１ｙ、５２ｙ 第２励振部
ｄ１ 第１方向
ｄ２ 第２方向
Ｍ１、Ｍ２ 共振モード
ｎ１、ｎ８ ノード
ｐｒ 反射器の反射電極指の平均の配列ピッチ
ｐｒ／ｐｘ 配列ピッチ比
ｐｘ 第１励振部の電極指の平均の配列ピッチ
ｐｙ 第２励振部の電極指の平均の配列ピッチ
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６ 並列腕共振子
ｒ１ 第１経路
ｒ２ 第２経路
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６、Ｓ７ 直列腕共振子
Ｔ１、Ｔ２ 入出力端子
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】