特開2024-97389金属含有膜形成用化合物、金属含有膜形成用組成物、及びパターン形成方法

発明の名称　金属含有膜形成用化合物、金属含有膜形成用組成物、及びパターン形成方法

出願人　信越化学工業株式会社　（識別番号 2060）

　　　　特許公開件数ランキング 65 位（395件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 64 位（380件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-97389

公報発行日　2024年7月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-97389

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2024-97389「金属含有膜形成用化合物、金属含有膜形成用組成物、及びパターン形成方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録