特開 2024-97457 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024097457

(43)【公開日】2024-07-19

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240711BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023000915

(22)【出願日】2023-01-06

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼部 本規

(72)【発明者】

【氏名】福田 俊也

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 伸朗

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AG01

2C057AG09

2C057AG44

2C057AG75

2C057AP32

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】液体の固化によるノズル詰まりを高精度に検出するとともに、液体の増粘の進行程度を判定する。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出する第１ノズルと、第１ノズルから液体を吐出させるための圧力を発生させる第１圧力室と、第１ノズルと第１圧力室とを接続する第１個別流路と、を有し、第１ノズルは、第１ノズル部分と、第１ノズルの中心軸に沿う軸方向で第１ノズル部分よりも第１個別流路から遠い位置に設けられ、中心軸に直交する断面でみて第１ノズル部分の断面積よりも断面積の小さい第２ノズル部分と、を有し、第１ノズル部分の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第１凸部が設けられ、第２ノズル部分の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第２凸部が設けられ、複数の第１凸部と複数の第２凸部との形状および配置密度のうちの一方または両方が互いに異なる。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を吐出する第１ノズルと、
前記第１ノズルから液体を吐出させるための圧力を発生させる第１圧力室を含み、前記第１ノズルと前記第１圧力室とを接続する第１個別流路と、を有し、
前記第１ノズルは、
第１ノズル部分と、
前記第１ノズルの中心軸に沿う軸方向で前記第１ノズル部分よりも前記第１個別流路から遠い位置に設けられ、前記中心軸に直交する断面でみて前記第１ノズル部分の断面積よりも断面積の小さい第２ノズル部分と、を有し、
前記第１ノズル部分の側壁には、前記軸方向に並ぶ複数の第１凸部が設けられ、
前記第２ノズル部分の側壁には、前記軸方向に並ぶ複数の第２凸部が設けられ、
前記複数の第１凸部と前記複数の第２凸部との形状および配置密度のうちの一方または両方が互いに異なる、
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記複数の第１凸部の形状と前記複数の第２凸部の形状とが互いに異なる、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記複数の第１凸部の突出長さは、前記複数の第２凸部の突出長さよりも長い、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記複数の第１凸部の配置密度と前記複数の第２凸部の配置密度とが互いに異なる、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記複数の第１凸部の配置密度は、前記複数の第２凸部の配置密度よりも大きい、
ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記複数の第１凸部の形状と前記複数の第２凸部の形状とが互いに異なるとともに、前記複数の第１凸部の配置密度と前記複数の第２凸部の配置密度とが互いに異なる、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記第１ノズル部分の側壁における前記複数の第１凸部の数と前記第２ノズル部分の側壁における前記複数の第２凸部の数とが互いに異なる、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

液体を吐出する第２ノズルと、
前記第２ノズルから液体を吐出させるための圧力を発生させる第２圧力室を含み、前記第２ノズルと前記第２圧力室とを接続する第２個別流路と、
前記第１個別流路および前記第２個別流路に共通に接続する共通流路と、をさらに有し、
前記第２ノズルは、
第３ノズル部分と、
前記軸方向で前記第３ノズル部分よりも前記第２個別流路から遠い位置に設けられ、前記中心軸に直交する断面でみて前記第３ノズル部分の断面積よりも断面積の小さい第４ノズル部分と、を有し、
前記第３ノズル部分の側壁には、前記軸方向に並ぶ複数の第３凸部が設けられ、
前記第４ノズル部分の側壁には、前記軸方向に並ぶ複数の第４凸部が設けられ、
前記複数の第３凸部と前記複数の第４凸部との形状および配置密度のうちの一方または両方が互いに異なる、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記複数の第１凸部と前記複数の第２凸部と前記複数の第３凸部と前記複数の第４凸部との形状または配置密度が互いに異なる、
ことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記複数の第１凸部のそれぞれは、前記第１ノズル部分の側壁の全周にわたり設けられ、
前記複数の第２凸部のそれぞれは、前記第２ノズル部分の側壁の全周にわたり設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備える、
ことを特徴とする液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

インクジェットプリンターに代表される液体吐出装置に用いる液体吐出ヘッドでは、インク等の液体がノズルから吐出される。特許文献１では、ノズルの側壁にスキャロップ構造を設けることが記載される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－２７７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

液体吐出ヘッドでは、ノズルの気液界面においてインク溶媒が蒸発することにより、ノズル内でのインクの増粘によりノズル詰まりを発生させる場合がある。従来、このノズル詰まりを検知するための方法として、残留振動解析またはテストパッチ記録等が知られている。しかし、このような従来の方法では、ノズル詰まりがインクの増粘によるものなのか、それとも別の要因、例えば異物のノズル内への混入によるノズル詰まりなのかを切り分けて判断することは難しい。また、インクの増粘の進行程度を判定することも望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

以上の課題を解決するために、本開示に係る液体吐出ヘッドの一態様は、液体を吐出する第１ノズルと、前記第１ノズルから液体を吐出させるための圧力を発生させる第１圧力室を含み、前記第１ノズルと前記第１圧力室とを接続する第１個別流路と、を有し、前記第１ノズルは、第１ノズル部分と、前記第１ノズルの中心軸に沿う軸方向で前記第１ノズル部分よりも前記第１個別流路から遠い位置に設けられ、前記中心軸に直交する断面でみて前記第１ノズル部分の断面積よりも断面積の小さい第２ノズル部分と、を有し、前記第１ノズル部分の側壁には、前記軸方向に並ぶ複数の第１凸部が設けられ、前記第２ノズル部分の側壁には、前記軸方向に並ぶ複数の第２凸部が設けられ、前記複数の第１凸部と前記複数の第２凸部との形状および配置密度のうちの一方または両方が互いに異なる。

【0006】

本開示に係る液体吐出装置の一態様は、前述の態様の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を備える。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施形態に係る液体吐出装置を模式的に示す構成図である。

【図2】第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。

【図3】図２中のＡ－Ａ線断面図である。

【図4】図３中のＢ－Ｂ線断面図である。

【図5】参考例のノズルを示す断面図である。

【図6】参考例のノズルでのノズル詰まりを説明するための図である。

【図7】第１実施形態の第１ノズルを示す断面図である。

【図8】第１実施形態の第２ノズルを示す断面図である。

【図9】第１実施形態のノズルでのノズル詰まりを説明するための図である。

【図10】第２実施形態の第１ノズルを示す断面図である。

【図11】変形例１の第１ノズルを示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、添付図面を参照しながら本開示に係る好適な実施形態を説明する。なお、図面において各部の寸法および縮尺は実際と適宜に異なり、理解を容易にするために模式的に示している部分もある。また、本開示の範囲は、以下の説明において特に本開示を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られない。

【0009】

なお、以下の説明は、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜に用いて行う。また、以下では、Ｘ軸に沿う一方向がＸ１方向であり、Ｘ１方向と反対の方向がＸ２方向である。同様に、Ｙ軸に沿って互いに反対の方向がＹ１方向およびＹ２方向である。また、Ｚ軸に沿って互いに反対の方向がＺ１方向およびＺ２方向である。また、Ｚ軸に沿う方向でみることを「平面視」という場合がある。

【0010】

ここで、典型的には、Ｚ軸が鉛直軸であり、Ｚ２方向が鉛直下方に相当する。ただし、Ｚ軸は、鉛直軸でなくともよい。また、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、典型的には互いに直交するが、これに限定されず、例えば、８０°以上１００°以下の範囲内の角度で交差すればよい。

【0011】

１．第１実施形態
１－１．液体吐出装置の全体構成
図１は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００を模式的に示す構成図である。液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクを液滴として媒体Ｍに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体Ｍは、典型的には印刷用紙である。なお、媒体Ｍは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。

【0012】

図１に示すように、液体吐出装置１００は、液体容器１０と、「制御部」の一例である制御ユニット２０と、搬送機構３０と、移動機構４０と、液体吐出ヘッド５０と、を有する。

【0013】

液体容器１０は、インクを貯留する容器である。液体容器１０の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、および、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器１０に貯留されるインクの種類は任意である。

【0014】

制御ユニット２０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素の動作を制御する。ここで、制御ユニット２０は、液体吐出ヘッド５０の動作を制御する。

【0015】

搬送機構３０は、制御ユニット２０による制御のもとで、媒体ＭをＹ２方向に搬送する。移動機構４０は、制御ユニット２０による制御のもとで、液体吐出ヘッド５０をＸ１方向とＸ２方向とに往復させる。図１に示す例では、移動機構４０は、液体吐出ヘッド５０を収容する略箱型のキャリッジ４１と、キャリッジ４１が固定される搬送ベルト４２と、を有する。なお、キャリッジ４１に搭載される液体吐出ヘッド５０の数は、１個に限定されず、複数個でもよい。また、キャリッジ４１には、液体吐出ヘッド５０のほかに、前述の液体容器１０が搭載されてもよい。

【0016】

液体吐出ヘッド５０は、制御ユニット２０による制御のもとで、液体容器１０から供給されるインクを複数のノズルのそれぞれからＺ２方向に媒体Ｍに吐出する。この吐出が搬送機構３０による媒体Ｍの搬送と移動機構４０による液体吐出ヘッド５０の往復移動とに並行して行われることにより、媒体Ｍの表面にインクによる画像が形成される。

【0017】

１－２．液体吐出ヘッドの全体構成
図２は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド５０の分解斜視図である。図３は、図２中のＡ－Ａ線断面図である。図４は、図３中のＢ－Ｂ線断面図である。図２および図３に示すように、液体吐出ヘッド５０は、流路基板５１と圧力室基板５２とノズル基板５３と吸振体５４と振動板５５と複数の圧電素子５６と封止板５７とケース５８と配線基板５９とを有する。

【0018】

ここで、流路基板５１よりもＺ１方向に位置する領域には、圧力室基板５２と振動板５５と複数の圧電素子５６とケース５８と封止板５７とが設置される。他方、流路基板５１よりもＺ２方向に位置する領域には、ノズル基板５３と吸振体５４とが設置される。液体吐出ヘッド５０の各要素は、概略的にはＹ軸に沿う方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤により互いに接合される。

【0019】

図２に示すように、ノズル基板５３は、Ｙ軸に沿う方向に配列される複数のノズルＮが設けられる板状部材である。ノズル基板５３は、例えば、ドライエッチングまたはウェットエッチング等の加工技術を用いる半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、ノズル基板５３の製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。

【0020】

ここで、図４に示すように、当該複数のノズルＮのうち、任意の１つのノズルＮが第１ノズルＮ－１であり、他の任意の１つのノズルＮが第２ノズルＮ－２である。各ノズルＮは、インクを通過させる貫通孔である。また、各ノズルＮは、いわゆる二段構造を有する。具体的には、第１ノズルＮ－１は、断面積の互いに異なる第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２を有する。同様に、第２ノズルＮ－２は、断面積の互いに異なる第３ノズル部分Ｐａ－３および第４ノズル部分Ｐｂ－４を有する。なお、ノズルＮの詳細については、後に図５から図８に基づいて説明する。

【0021】

流路基板５１は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２および図３に示すように、流路基板５１には、開口部Ｒ１と複数の供給流路Ｒａと複数の連通流路Ｎａとが設けられる。

【0022】

開口部Ｒ１は、複数のノズルＮにわたり連続するように、Ｚ軸に沿う方向でみた平面視で、Ｙ軸に沿う方向に延びる長尺状の貫通孔である。他方、供給流路Ｒａおよび連通流路Ｎａそれぞれは、ノズルＮごとに個別に設けられる貫通孔である。複数の供給流路Ｒａのそれぞれは、開口部Ｒ１に連通する。流路基板５１は、前述のノズル基板５３と同様に、例えば、半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、流路基板５１の製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。

【0023】

圧力室基板５２は、複数のノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃが形成される板状部材である。各圧力室Ｃは、対応するノズルＮからインクを吐出させるための圧力を発生させるための空間である。ここで、図４に示すように、当該複数の圧力室Ｃのうち、第１ノズルＮ－１に対応する圧力室Ｃが第１圧力室Ｃ－１であり、第２ノズルＮ－２に対応する圧力室Ｃが第２圧力室Ｃ－２である。また、圧力室Ｃは、前述の供給流路Ｒａおよび連通流路Ｎａとともに、ノズルＮごとに個別流路ＰＰを構成する。このように各個別流路ＰＰは、圧力室Ｃと供給流路Ｒａと連通流路Ｎａとを含んでおり、圧力室Ｃとこれに対応するノズルＮとを接続する。ここで、ノズルＮごとに設けられる複数の個別流路ＰＰのうち、第１ノズルＮ－１に対応する個別流路ＰＰが第１個別流路ＰＰ－１であり、第２ノズルＮ－２に対応する個別流路ＰＰが第２個別流路ＰＰ－２である。

【0024】

圧力室Ｃは、流路基板５１と振動板５５との間に位置し、当該圧力室Ｃ内に充填されるインクに圧力を付与するためのキャビティと称される空間である。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸に沿う方向に配列される。各圧力室Ｃは、圧力室基板５２の両面に開口する孔５２ａで構成されており、Ｘ軸に沿う方向に延びる長尺状をなす。各圧力室ＣのＸ２方向での端は、対応する供給流路Ｒａに連通する。一方、各圧力室ＣのＸ１方向での端は、対応する連通流路Ｎａに連通する。圧力室基板５２は、前述のノズル基板５３と同様に、例えば、半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、圧力室基板５２のそれぞれの製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。

【0025】

圧力室基板５２のＺ１方向を向く面には、振動板５５が配置される。振動板５５は、弾性的に変形可能な板状部材である。振動板５５は、図４に示すように、弾性膜５５ａと絶縁膜５５ｂとを有し、これらがこの順でＺ１方向に積層される。弾性膜５５ａは、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）で構成されており、シリコン単結晶基板の一方の面を熱酸化することにより形成される。絶縁膜５５ｂは、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）で構成されており、スパッタ法によりジルコニウムの層を形成し、当該層を熱酸化することにより形成される。なお、振動板５５は、弾性膜５５ａおよび絶縁膜５５ｂの積層による構成に限定されず、例えば、単層で構成されてもよいし、３層以上で構成されてもよい。

【0026】

振動板５５のＺ１方向を向く面には、互いに異なるノズルＮまたは圧力室Ｃに対応する複数の圧電素子５６が配置される。各圧電素子５６は、駆動信号の供給により変形する受動素子であり、Ｘ軸に沿う方向に延びる長尺状をなす。複数の圧電素子５６は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ軸に沿う方向に配列される。圧電素子５６の変形に連動して振動板５５が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することにより、インクがノズルＮから吐出される。

【0027】

各圧電素子５６は、図４に示すように、第１電極５６ａと圧電体５６ｂと第２電極５６ｃとを有し、この順でこれらがＺ１方向に積層される。第１電極５６ａは、圧電素子５６ごとに互いに離間して配置される個別電極であり、第１電極５６ａには、制御ユニット２０から駆動信号が供給される。第２電極５６ｃは、複数の圧電素子５６にわたり連続するようにＹ軸に沿う方向に延びる帯状の共通電極であり、第２電極５６ｃには、例えば、定電位が供給される。これらの電極の金属材料としては、例えば、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）等の金属材料が挙げられ、これらのうち、１種を単独でまたは２種以上を合金または積層等の態様で組み合わせて用いることができる。圧電体５６ｂは、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）等の圧電材料で構成される。圧電体５６ｂは、複数の圧電素子５６にわたり一体で設けられており、図２に示すように、圧電体５６ｂには、互いに隣り合う各圧力室Ｃの間隙に平面視で対応する領域に、圧電体５６ｂを貫通する貫通孔５６ｂ１がＸ軸に沿う方向に延びて設けられる。なお、圧電体５６ｂは、圧電素子５６ごとに個別に設けられてもよい。

【0028】

図２および図３に示すように、ケース５８は、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するためのケースであり、流路基板５１のＺ１方向を向く面に接着剤等により接合される。ケース５８は、例えば、樹脂材料で構成されており、射出成形により製造される。ケース５８には、収容部Ｒ２と導入口ＩＨとが設けられる。収容部Ｒ２は、流路基板５１の開口部Ｒ１に対応する外形の凹部である。導入口ＩＨは、収容部Ｒ２に連通する貫通孔である。開口部Ｒ１および収容部Ｒ２による空間は、インクを貯留するリザーバーである共通流路Ｒとして機能する。共通流路Ｒには、液体容器１０からのインクが導入口ＩＨを介して供給される。

【0029】

吸振体５４は、共通流路Ｒ内の圧力変動を吸収するための要素である。吸振体５４は、例えば、弾性変形可能な可撓性のシート部材であるコンプライアンス基板である。ここで、吸振体５４は、流路基板５１の開口部Ｒ１と複数の供給流路Ｒａとを閉塞して共通流路Ｒの底面を構成するように、流路基板５１のＺ２方向を向く面に配置される。

【0030】

封止板５７は、複数の圧電素子５６を保護するとともに圧力室基板５２および振動板５５の機械的な強度を補強する構造体である。封止板５７は、振動板５５の表面に例えば接着剤により接合される。封止板５７には、複数の圧電素子５６を収容する凹部が設けられる。

【0031】

圧力室基板５２または振動板５５のＺ１方向を向く面には、配線基板５９が接合される。配線基板５９は、制御ユニット２０と液体吐出ヘッド５０とを電気的に接続するための複数の配線が形成される実装部品である。配線基板５９は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板である。配線基板５９には、圧電素子５６を駆動するための駆動回路６０が搭載される。駆動回路６０は、各圧電素子５６を駆動するための駆動信号を配線基板５９を介して各圧電素子５６に選択的に供給する。

【0032】

１－３．第１ノズルおよび第２ノズルの詳細
以下、まず、第１ノズルＮ－１および第２ノズルＮ－２の説明に先立ち、図５および図６に基づいて、参考例のノズルＮ－Ｘについて簡単に説明する。

【0033】

図５は、参考例のノズルＮ－Ｘを示す断面図である。ノズルＮの参考例であるノズルＮ－Ｘは、図５に示すように、第１ノズル部分Ｐａと、第１ノズル部分Ｐａに対してＺ２方向の位置に設けられる第２ノズル部分Ｐｂと、を有する。なお、ノズルＮの中心軸Ａｚは、ノズルＮからのインクの吐出方向に沿う軸線である。本実施形態では、ノズルＮからのインクの吐出方向がＺ２方向であるため、中心軸ＡｚはＺ軸に平行な軸線である。以下、中心軸Ａｚに沿う方向を軸方向という場合がある。

【0034】

中心軸Ａｚに直交する断面でみて、第２ノズル部分Ｐｂの断面積は、第１ノズル部分Ｐａの断面積よりも小さい。このように第１ノズル部分Ｐａの断面積を大きくすることにより、個別流路ＰＰからノズルＮ－Ｘへのインクの供給効率を高めることができる。また、第１ノズル部分Ｐａの断面積を大きくすることにより、ノズルＮ－Ｘ内のインクのメニスカスが毛細管現象により個別流路ＰＰに向けて引き込まれることにより気泡の混入を低減することもできる。また、第２ノズル部分Ｐｂの断面積を小さくすることにより、ノズルＮ－Ｘからのインクの吐出速度を速めたりサテライトと呼ばれる副次的な液滴の発生を抑制したりすることができ、この結果、ノズルＮ－Ｘからのインクの吐出特性を高めることができる。

【0035】

第１ノズル部分Ｐａの側壁には、軸方向に並ぶ複数の第１凸部５３ａが設けられる。図５に示す例では、複数の第１凸部５３ａのそれぞれが第１ノズル部分Ｐａの全周にわたり設けられる。第２ノズル部分Ｐｂの側壁には、軸方向に並ぶ複数の第２凸部５３ｂが設けられる。図５に示す例では、複数の第２凸部５３ｂのそれぞれが第２ノズル部分Ｐｂの全周にわたり設けられる。

【0036】

参考例では、複数の第１凸部５３ａと複数の第２凸部５３ｂとの形状および配置密度のそれぞれが互いに同一である。具体的には、複数の第１凸部５３ａのそれぞれの突出長さＨａは、複数の第２凸部５３ｂのそれぞれの突出長さＨｂに等しい。複数の第１凸部５３ａ間に形成される凹部の幅Ｗａは、複数の第２凸部５３ｂ間に形成される凹部の幅Ｗｂに等しい。複数の第１凸部５３ａの配置間隔Ｌａは、複数の第２凸部５３ｂの配置間隔Ｌｂに等しい。

【0037】

図６は、参考例のノズルＮ－Ｘでのノズル詰まりを説明するための図である。ノズルＮ－Ｘの第１ノズル部分Ｐａにおけるインクの増粘に伴う固化によりノズル詰まりが生じた場合、図６中左上側に示すように、インクの固化物である固化物Ｓａ－Ｘが発生する。固化物Ｓａ－Ｘの表面には、第１凸部５３ａの形状が転写される。すなわち、固化物Ｓａ－Ｘの表面には、第１凸部５３ａの転写形状をなす凹部が形成される。ここで、当該凹部の深さＤｃは、前述の突出長さＨａに等しい。隣り合う当該凹部同士の間に形成される凸部の幅Ｗｃは、前述の幅Ｗａに等しい。当該凹部の配置間隔Ｌｃは、前述の配置間隔Ｌａに等しい。

【0038】

一方、ノズルＮ－Ｘの第２ノズル部分Ｐｂにおけるインクの増粘に伴う固化によりノズル詰まりが生じた場合、図６中左下側に示すように、インクの固化物である固化物Ｓｂ－Ｘが発生する。固化物Ｓｂ－Ｘの表面には、第２凸部５３ｂの形状が転写される。すなわち、固化物Ｓｂ－Ｘの表面には、第２凸部５３ｂの転写形状をなす凹部が形成される。ここで、当該凹部の深さＤｄは、前述の突出長さＨｂに等しい。隣り合う当該凹部同士の間に形成される凸部の幅Ｗｄは、前述の幅Ｗｂに等しい。当該凹部の配置間隔Ｌｄは、前述の配置間隔Ｌｂに等しい。参考例では、複数の第１凸部５３ａと複数の第２凸部５３ｂとの形状および配置密度のそれぞれが互いに同一であるため、固化物Ｓａ－Ｘの表面形状と固化物Ｓｂ－Ｘの表面形状とが互いに同一である。

【0039】

このように、固化物Ｓａ－Ｘ、Ｓｂ－Ｘの表面には、ノズルＮ－Ｘの側壁の形状が転写されるので、固化物Ｓａ－Ｘ、Ｓｂ－ＸをノズルＮ－Ｘの逆洗等により取り出した後、固化物Ｓａ－Ｘ、Ｓｂ－Ｘを観察することにより、ノズルＮ－Ｘにおけるインクの増粘によるノズル詰まりを高精度に検出することができる。

【0040】

しかし、固化物Ｓａ－Ｘの表面形状と固化物Ｓｂ－Ｘの表面形状とが互いに同一であるため、固化物Ｓａ－Ｘ、Ｓｂ－Ｘを観察しても、ノズルＮ－Ｘでのインクの増粘箇所が第１ノズル部分Ｐａおよび第２ノズル部分Ｐｂのうちの一方または両方なのかを特定することができない。特に、図６中右側に示すように、固化物Ｓａ－Ｘの個片化した固化物Ｓａ１－Ｘと固化物Ｓｂ－Ｘの個片化した固化物Ｓｂ１－Ｘとを比較することになるため、このような特定は難しい。

【0041】

そこで、本実施形態のノズルＮは、以下に述べる第１ノズルＮ－１および第２ノズルＮ－２のように構成される。

【0042】

図７は、第１実施形態の第１ノズルＮ－１を示す断面図である。図７に示すように、第１ノズルＮ－１は、第１ノズル部分Ｐａ－１と、第１ノズル部分Ｐａ－１に対してＺ２方向の位置に設けられる第２ノズル部分Ｐｂ－２と、を有する。

【0043】

ここで、中心軸Ａｚに直交する断面でみて、第２ノズル部分Ｐｂ－２の断面積は、第１ノズル部分Ｐａ－１の断面積よりも小さい。このような第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２の断面積の大小関係を有することにより、前述のノズルＮ－Ｘと同様、第１個別流路ＰＰ－１から第１ノズルＮ－１へのインクの供給効率を高めたり、第１ノズルＮ－１からのインクの吐出特性を高めたりすることができる。

【0044】

第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第１凸部５３ａ－１が設けられる。図７に示す例では、複数の第１凸部５３ａ－１のそれぞれが第１ノズル部分Ｐａ－１の全周にわたり設けられる。一方、第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第２凸部５３ｂ－２が設けられる。図７に示す例では、複数の第２凸部５３ｂ－２のそれぞれが第２ノズル部分Ｐｂ－２の全周にわたり設けられる。なお、複数の第１凸部５３ａ－１のうちの少なくとも１つが第１ノズル部分Ｐａ－１の周方向での一部に設けられてもよいし、複数の第２凸部５３ｂ－２のうちの少なくとも１つが第２ノズル部分Ｐｂ－２の周方向での一部に設けられてもよい。

【0045】

第１ノズルＮ－１では、複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２との配置密度が互いに異なる。ここで、「配置密度」とは、単位面積あたりまたは単位長さあたりに存在する数である。また、第１ノズルＮ－１では、複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２との形状が互いに異なるともいえる。このような第１ノズルＮ－１は、例えば、第１ノズル部分Ｐａ－１と第２ノズル部分Ｐｂ－２との形成条件または形成方法等を互いに異ならせることにより得られる。なお、第１ノズルＮ－１の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、ボッシュプロセス等のドライエッチング法、レーザー加工等が挙げられる。

【0046】

本実施形態では、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度が複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度よりも大きい。ここで、複数の第１凸部５３ａ－１の配置間隔Ｌａは、複数の第２凸部５３ｂ－２の配置間隔Ｌｂよりも小さい。これにより、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度を複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度よりも大きくすることができる。

【0047】

図７に示す例では、複数の第１凸部５３ａ－１のそれぞれの突出長さＨａは、複数の第２凸部５３ｂ－２のそれぞれの突出長さＨｂに等しい。複数の第１凸部５３ａ－１間に形成される凹部の幅Ｗａは、複数の第２凸部５３ｂ－２間に形成される凹部の幅Ｗｂに等しい。なお、複数の第１凸部５３ａ－１および複数の第２凸部５３ｂ－２について、突出長さＨａおよび突出長さＨｂが高いに異なってもよいし、幅Ｗａおよび幅Ｗｂが互いに異なってもよい。

【0048】

また、複数の第１凸部５３ａ－１間に形成される凹部と複数の第２凸部５３ｂ－２間に形成される凹部とのそれぞれの断面形状がＵ字状をなす。なお、これらの凹部の断面形状は、図７に示す例に限定されず、任意であり、互いに異なってもよい。

【0049】

さらに、第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁における複数の第１凸部５３ａ－１の数と第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁における複数の第２凸部５３ｂ－２の数とが互いに異なる。図７に示す例では、第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁における複数の第１凸部５３ａ－１の数が第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁における複数の第２凸部５３ｂ－２の数よりも多い。なお、第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁における複数の第１凸部５３ａ－１の数は、第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁における複数の第２凸部５３ｂ－２の数以下であってもよい。

【0050】

図８は、第１実施形態の第２ノズルＮ－２を示す断面図である。図８に示すように、第２ノズルＮ－２は、第３ノズル部分Ｐａ－３と、第３ノズル部分Ｐａ－３に対してＺ２方向の位置に設けられる第４ノズル部分Ｐｂ－４と、を有する。

【0051】

ここで、中心軸Ａｚに直交する断面でみて、第４ノズル部分Ｐｂ－４の断面積は、第３ノズル部分Ｐａ－３の断面積よりも小さい。このような第３ノズル部分Ｐａ－３および第４ノズル部分Ｐｂ－４の断面積の大小関係を有することにより、前述のノズルＮ－Ｘと同様、第２個別流路ＰＰ－２から第２ノズルＮ－２へのインクの供給効率を高めたり、第２ノズルＮ－２からのインクの吐出特性を高めたりすることができる。

【0052】

第３ノズル部分Ｐａ－３の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第３凸部５３ａ－３が設けられる。図８に示す例では、複数の第３凸部５３ａ－３のそれぞれが第３ノズル部分Ｐａ－３の全周にわたり設けられる。一方、第４ノズル部分Ｐｂ－４の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第４凸部５３ｂ－４が設けられる。図８に示す例では、複数の第４凸部５３ｂ－４のそれぞれが第４ノズル部分Ｐｂ－４の全周にわたり設けられる。なお、複数の第３凸部５３ａ－３のうちの少なくとも１つが第３ノズル部分Ｐａ－３の周方向での一部に設けられてもよいし、複数の第４凸部５３ｂ－４のうちの少なくとも１つが第４ノズル部分Ｐｂ－４の周方向での一部に設けられてもよい。

【0053】

第２ノズルＮ－２では、複数の第３凸部５３ａ－３と複数の第４凸部５３ｂ－４との配置密度が互いに異なる。また、第２ノズルＮ－２では、複数の第３凸部５３ａ－３と複数の第４凸部５３ｂ－４との形状が互いに異なるともいえる。このような第２ノズルＮ－２は、第１ノズルＮ－１と同様、例えば、第３ノズル部分Ｐａ－３と第４ノズル部分Ｐｂ－４との形成条件または形成方法等を互いに異ならせることにより得られる。

【0054】

本実施形態では、複数の第３凸部５３ａ－３の配置密度が複数の第４凸部５３ｂ－４の配置密度よりも大きい。ここで、複数の第３凸部５３ａ－３の配置間隔Ｌａは、複数の第４凸部５３ｂ－４の配置間隔Ｌｂよりも小さい。これにより、複数の第３凸部５３ａ－３の配置密度を複数の第４凸部５３ｂ－４の配置密度よりも大きくすることができる。

【0055】

しかも、複数の第３凸部５３ａ－３の配置密度と複数の第４凸部５３ｂ－４の配置密度とのそれぞれは、前述の複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度と複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度とのそれぞれと異なる。また、複数の第３凸部５３ａ－３の形状と複数の第４凸部５３ｂ－４の形状とのそれぞれは、前述の複数の第１凸部５３ａ－１の形状と複数の第２凸部５３ｂ－２の形状とのそれぞれと異なるともいえる。

【0056】

図８に示す例では、複数の第３凸部５３ａ－３のそれぞれの突出長さＨａは、複数の第４凸部５３ｂ－４のそれぞれの突出長さＨｂに等しい。複数の第３凸部５３ａ－３間に形成される凹部の幅Ｗａは、複数の第４凸部５３ｂ－４間に形成される凹部の幅Ｗｂに等しい。なお、複数の第３凸部５３ａ－３および複数の第４凸部５３ｂ－４について、突出長さＨａおよび突出長さＨｂが高いに異なってもよいし、幅Ｗａおよび幅Ｗｂが互いに異なってもよい。

【0057】

また、複数の第３凸部５３ａ－３間に形成される凹部と複数の第４凸部５３ｂ－４間に形成される凹部とのそれぞれの断面形状がＵ字状をなす。なお、これらの凹部の断面形状は、図８に示す例に限定されず、任意であり、互いに異なってもよい。

【0058】

さらに、第３ノズル部分Ｐａ－３の側壁における複数の第３凸部５３ａ－３の数と第４ノズル部分Ｐｂ－４の側壁における複数の第４凸部５３ｂ－４の数とが互いに異なる。図８に示す例では、第３ノズル部分Ｐａ－３の側壁における複数の第３凸部５３ａ－３の数が第４ノズル部分Ｐｂ－４の側壁における複数の第４凸部５３ｂ－４の数よりも多い。なお、第３ノズル部分Ｐａ－３の側壁における複数の第３凸部５３ａ－３の数は、第４ノズル部分Ｐｂ－４の側壁における複数の第４凸部５３ｂ－４の数以下であってもよい。

【0059】

図９は、第１実施形態のノズルＮでのノズル詰まりを説明するための図である。図９では、第１ノズルＮ－１でのノズル詰まりが示される。以下、第１ノズルＮ－１でのノズル詰まりについて代表的に説明するが、第２ノズルＮ－２でのノズル詰まりについても、第１ノズルＮ－１と同様である。

【0060】

前述のような第１ノズルＮ－１をノズルＮとして用いると、第１ノズルＮ－１の第１ノズル部分Ｐａ－１におけるインクの増粘に伴う固化によりノズル詰まりが生じた場合、図９中左上側に示すように、インクの固化物である固化物Ｓａが発生する。固化物Ｓａの表面には、第１凸部５３ａ－１の形状が転写される。ここで、当該凹部の深さＤｃは、前述の第１ノズルＮ－１の吐出長さＨａに等しい。隣り合う当該凹部同士の間に形成される凸部の幅Ｗｃは、前述の第１ノズルＮ－１の幅Ｗａに等しい。当該凹部の配置間隔Ｌｃは、前述の第１ノズルＮ－１の配置間隔Ｌａに等しい。

【0061】

一方、第１ノズルＮ－１の第２ノズル部分Ｐｂ－２におけるインクの増粘に伴う固化によりノズル詰まりが生じた場合、図９中左下側に示すように、インクの固化物である固化物Ｓｂが発生する。固化物Ｓｂの表面には、第２凸部５３ｂ－２の形状が転写される。ここで、当該凹部の深さＤｄは、前述の第１ノズルＮ－１の突出長さＨｂに等しい。隣り合う当該凹部同士の間に形成される凸部の幅Ｗｄは、前述の第１ノズルＮ－１の幅Ｗｂに等しい。当該凹部の配置間隔Ｌｄは、前述の第１ノズルＮ－１の配置間隔Ｌｂに等しい。ここで、複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２との形状および配置密度のそれぞれが互いに異なるため、固化物Ｓａの表面形状と固化物Ｓｂの表面形状とが互いに異なる。

【0062】

このように、固化物Ｓａ、Ｓｂの表面には、第１ノズルＮ－１の側壁の形状が転写されるので、固化物Ｓａ、Ｓｂを第１ノズルＮ－１の逆洗等により取り出した後、固化物Ｓａ、Ｓｂを観察することにより、第１ノズルＮ－１におけるインクの増粘によるノズル詰まりを高精度に検出することができる。すなわち、ある固化物の表面に第１ノズルＮ－１の側壁の形状が転写されていれば、第１ノズルＮ－１においてインクの増粘によるノズル詰まりが発生したことが検知される。

【0063】

しかも、固化物Ｓａの表面形状と固化物Ｓｂの表面形状とが互いに異なるため、固化物Ｓａ、Ｓｂを観察することにより、第１ノズルＮ－１でのインクの増粘箇所が第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２のうちの一方または両方なのかを特定することができる。すなわち、ある固化物の表面を観察したとき、第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁の形状が転写されていれば、第１ノズル部分Ｐａ－１においてインクの増粘によるノズル詰まりが発生したことが検知され、一方、第２ノズル部分Ｐａ－２の側壁の形状が転写されていれば、第２ノズル部分Ｐａ－２においてインクの増粘によるノズル詰まりが発生したことが検知される。

【0064】

同様に、ある固化物の表面に第２ノズルＮ－２の側壁の形状が転写されていれば、第２ノズルＮ－２においてインクの増粘によるノズル詰まりが発生したことが検知される。ここで、複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２と複数の第３凸部５３ａ－３と複数の第４凸部５３ｂ－４との形状および配置密度のそれぞれが互いに異なるため、インク詰まりの発生ノズルが第１ノズルＮ－１なのか第２ノズルＮ－２なのかを特定することもできるし、第２ノズルＮ－２でのインクの増粘箇所が第３ノズル部分Ｐａ－３および第４ノズル部分Ｐｂ－４のうちの一方または両方なのかを特定することもできる。

【0065】

以上のように、液体吐出ヘッド５０は、第１ノズルＮ－１と第１個別流路ＰＰ－１とを有する。第１ノズルＮ－１は、「液体」の一例であるインクを吐出する。第１個別流路ＰＰ－１は、第１圧力室Ｃ－１を含み、第１ノズルＮ－１と第１圧力室Ｃ－１とを接続する。第１圧力室Ｃ－１は、第１ノズルＮ－１からインクを吐出させるための圧力を発生させる。

【0066】

そのうえで、第１ノズルＮ－１は、第１ノズル部分Ｐａ－１と、第１ノズルＮ－１の中心軸Ａｚに沿う軸方向で第１ノズル部分Ｐａ－１よりも第１個別流路ＰＰ－１から遠い位置に設けられる第２ノズル部分Ｐｂ－２と、を有する。ここで、中心軸に直交する断面でみて、第２ノズル部分Ｐｂ－２の断面積は、第１ノズル部分Ｐａ－１の断面積よりも小さい。第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第１凸部５３ａ－１が設けられる。第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第２凸部５３ｂ－２が設けられる。しかも、複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２との形状および配置密度のうちの一方または両方が互いに異なる。

【0067】

以上の液体吐出ヘッド５０では、複数の第１凸部５３ａ－１が第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁に設けられるとともに、複数の第２凸部５３ｂ－２が第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁に設けられるので、第１ノズルＮ－１におけるインクの増粘に伴う固化によりノズル詰まりが生じた場合、その固化物の表面に複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２のうちの一方または両方の形状が転写される。このため、第１ノズルＮ－１のノズル詰まりが生じた場合、当該固化物の表面を観察することにより、そのノズル詰まりがインクの増粘によるものであるのか、それとも別の要因、例えば第１ノズルＮ－１への異物の混入によるものなのかを判別することができる。したがって、第１ノズルＮ－１でのインクの固化によるノズル詰まりを高精度に検出することができる。

【0068】

しかも、複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２との形状および配置密度のうちの一方または両方が互いに異なるので、当該固化物の表面を観察することにより、液体の増粘箇所が第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２のうちの一方または両方であるかを特定することができる。この結果、インクの増粘の進行程度を判定することができる。

【0069】

ここで、第１ノズルＮ－１でのインクの増粘は、主に、第１ノズルＮ－１の気液界面でのインク溶媒の蒸発に起因する。このため、第１ノズルＮ－１内のインクは、第２ノズル部分Ｐｂ－２、第１ノズル部分Ｐａ－１の順に増粘する。したがって、第２ノズル部分Ｐｂ－２のみでインクの増粘が生じた場合、第１ノズルＮ－１でのインクの増粘がそれほど進行していないと判定することができる。また、第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２の両方でインクの増粘が生じた場合、第１ノズルＮ－１でのインクの増粘が比較的進行していると判定することができる。

【0070】

本実施形態では、前述のように、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度と複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度とが互いに異なる。このため、インクの増粘に伴う固化物の表面に形成された凹部の配置密度を観察することにより、インクの増粘箇所が第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２のうちの一方または両方であるかを特定することができる。

【0071】

また、前述のように、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度は、複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度よりも大きい。このため、第１ノズルＮ－１からのインクの吐出特性を良好にしつつ、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度と複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度とを互いに異ならせることができる。

【0072】

これに対し、複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度が複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度よりも大きい場合、第２ノズル部分Ｐｂ－２の断面積が第１ノズル部分Ｐａ－１の断面積よりも小さいため、第２凸部５３ｂ－２の配置密度を大きすぎると、第１ノズルＮ－１でのインクの流れに悪影響を与える可能性がある。一方、第２凸部５３ｂ－２の配置密度を小さくすると、複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度が複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度よりも大きい場合、第１凸部５３ａ－１の配置密度がさらに小さくなるので、第１ノズルＮ－１の断面積等の態様によっては、インクの増粘に伴う固化物の表面に増粘箇所を特定し得る形状を転写させることが難しい。

【0073】

さらに、前述のように、複数の第１凸部５３ａ－１の形状と複数の第２凸部５３ｂ－２の形状とが互いに異なるとともに、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度と複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度とが互いに異なる。このため、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度を複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度よりも小さくしても、複数の第１凸部５３ａ－１の突出長さを複数の第２凸部５３ｂ－２の突出長さよりも長くすることにより、第１ノズルＮ－１からのインクの吐出特性を良好にしつつ、増粘に伴う固化物の表面に増粘箇所を特定し得る形状を転写させることができる。

【0074】

また、前述のように、第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁における複数の第１凸部５３ａ－１の数と第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁における複数の第２凸部５３ｂ－２の数とが互いに異なる。このため、インクの増粘に伴う固化物の表面に形成された凹部の数を観察することにより、インクの増粘箇所が第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２のうちの一方または両方であるかを特定することができる。また、複数の第１凸部５３ａ－１の配置密度と複数の第２凸部５３ｂ－２の配置密度とを互いに異ならせることが容易であるという利点もある。

【0075】

さらに、前述のように、液体吐出ヘッド５０は、第２ノズルＮ－２と第２個別流路ＰＰ－２と共通流路Ｒとをさらに有する。第２ノズルＮ－２は、インクを吐出する。第２個別流路ＰＰ－２は、第２圧力室Ｃ－２を含み、第２ノズルＮ－２と第２圧力室Ｃ－２とを接続する。第２圧力室Ｃ－２は、第２ノズルＮ－２からインクを吐出させるための圧力を発生させる。共通流路Ｒは、第１個別流路ＰＰ－１および第２個別流路ＰＰ－２に共通に接続する。第２ノズルＮ－２は、第３ノズル部分Ｐａ－３と、軸方向で第３ノズル部分Ｐａ－３よりも第２個別流路ＰＰ－２から遠い位置に設けられる第４ノズル部分Ｐｂ－４と、を有する。ここで、中心軸に直交する断面でみて、第４ノズル部分Ｐｂ－４の断面積は、第３ノズル部分Ｐａ－３の断面積よりも小さい。

【0076】

そのうえで、第３ノズル部分Ｐａ－３の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第３凸部５３ａ－３が設けられる。第４ノズル部分Ｐｂ－４の側壁には、軸方向に並ぶ複数の第４凸部５３ｂ－４が設けられる。複数の第３凸部５３ａ－３と複数の第４凸部５３ｂ－４との形状および配置密度のうちの一方または両方が互いに異なる。このため、インクの増粘に伴う固化物の表面に形成された凹部の形状または配置密度を観察することにより、インクの増粘箇所が第３ノズル部分Ｐａ－３および第４ノズル部分Ｐｂ－４のうちの一方または両方であるかを特定することができる。

【0077】

また、前述のように、複数の第１凸部５３ａ－１と複数の第２凸部５３ｂ－２と複数の第３凸部５３ａ－３と複数の第４凸部５３ｂ－４との形状または配置密度が互いに異なる。このため、第１ノズルＮ－１および第２ノズルＮ－２のうちノズル詰まりの発生したノズルを特定するとともに、インクの増粘の進行程度を判定することができる。

【0078】

さらに、前述のように、複数の第１凸部５３ａ－１のそれぞれは、第１ノズル部分Ｐａ－１の側壁の全周にわたり設けられる。複数の第２凸部５３ｂ－２のそれぞれは、第２ノズル部分Ｐｂ－２の側壁の全周にわたり設けられる。このため、第１ノズルＮ－１の側壁の周方向での任意の位置に対応する固化物を観察しても、インクの増粘箇所が第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２のうちの一方または両方であるかを特定することができる。

【0079】

２．第２実施形態
以下、本開示の第２実施形態について説明する。以下に例示する形態において作用または機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

【0080】

図１０は、第２実施形態の第１ノズルＮ－１Ａを示す断面図である。本実施形態の第１ノズルＮ－１Ａは、突出長さＨａ、配置間隔Ｌｂおよび幅Ｗｂのそれぞれが異なること以外は、第１実施形態の第１ノズルＮ－１と同様に構成される。

【0081】

本実施形態では、突出長さＨａおよび突出長さＨｂが互いに異なる。このため、複数の第１凸部５３ａ－１の形状と複数の第２凸部５３ｂ－２の形状とが互いに異なる。図１０に示す例では、突出長さＨａが突出長さＨｂよりも長い。また、配置間隔Ｌａおよび配置間隔Ｌｂが互いに等しいとともに、幅Ｗａおよび幅Ｗｂが互いに等しい。なお、配置間隔Ｌａおよび配置間隔Ｌｂが互いに異なってもよいし、幅Ｗａおよび幅Ｗｂが互いに異なってもよい。

【0082】

以上の第２実施形態によっても、インクの固化によるノズル詰まりを高精度に検出するとともに、インクの増粘の進行程度を判定することができる。本実施形態では、前述のように、複数の第１凸部５３ａ－１の形状と複数の第２凸部５３ｂ－２の形状とが互いに異なる。このため、インクの増粘に伴う固化物の表面に形成された凹部の形状を観察することにより、インクの増粘箇所が第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２のうちの一方または両方であるかを特定することができる。

【0083】

また、前述のように、複数の第１凸部５３ａ－１の突出長さＨａは、複数の第２凸部５３ｂ－２の突出長さＨｂよりも長い。このため、第１ノズルＮ－１からのインクの吐出特性を良好にしつつ、複数の第１凸部５３ａ－１の形状と複数の第２凸部５３ｂ－２の形状とを互いに異ならせることができる。

【0084】

これに対し、複数の第２凸部５３ｂ－２の突出長さＨｂが複数の第１凸部５３ａ－１の突出長さＨａよりも長い場合、第２ノズル部分Ｐｂ－２の断面積が第１ノズル部分Ｐａ－１の断面積よりも小さいため、第２凸部５３ｂ－２の突出長さＨｂを長くしすぎると、第１ノズルＮ－１でのインクの流れに悪影響を与える可能性がある。一方、第２凸部５３ｂ－２の突出長さＨｂを短くすると、複数の第２凸部５３ｂ－２の突出長さＨｂが複数の第１凸部５３ａ－１の突出長さＨａよりも長い場合、第１凸部５３ａ－１の突出長さＨａがさらに小さくなるので、第１ノズルＮ－１の断面積等の態様によっては、インクの増粘に伴う固化物の表面に増粘箇所を特定し得る形状を転写させることが難しい。

【0085】

３．変形例
以上の例示における各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択される２以上の態様は、互いに矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

【0086】

３－１．変形例１
第１凸部５３ａ－１と第２凸部５３ｂ－２と第３凸部５３ａ－３と第４凸部５３ｂ－４とのそれぞれの断面形状は、前述の各形態に限定されず、任意である。

【0087】

図１１は、変形例１の第１ノズルＮ－１Ｂを示す断面図である。変形例１の第１ノズルＮ－１Ｂは、第２凸部５３ｂ－２の断面形状が異なること以外は、第２実施形態の第１ノズルＮ－１Ａと同様に構成される。

【0088】

変形例１では、複数の第１凸部５３ａ－１間に形成される凹部の断面形状がＵ字状をなすのに対し、複数の第２凸部５３ｂ－２間に形成される凹部の断面形状がＶ字状をなす。このため、複数の第１凸部５３ａ－１の形状と複数の第２凸部５３ｂ－２の形状とが互いに異なる。図１０に示す例では、突出長さＨａおよび突出長さＨｂが互いに等しい。また、配置間隔Ｌａおよび配置間隔Ｌｂが互いに等しい。幅Ｗａおよび幅Ｗｂが互いに等しい。なお、突出長さＨａおよび突出長さＨｂが互いに異なってもよいし、配置間隔Ｌａおよび配置間隔Ｌｂが互いに異なってもよいし、幅Ｗａおよび幅Ｗｂが互いに異なってもよい。

【0089】

以上の変形例１によっても、インクの固化によるノズル詰まりを高精度に検出するとともに、インクの増粘の進行程度を判定することができる。

【0090】

３－２．変形例２
前述の各形態では、ノズルＮが第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２の２つの部分で構成されるか、ノズルＮが第３ノズル部分Ｐａ－３および第４ノズル部分Ｐｂ－４の２つの部分で構成される態様が例示されるが、この態様に限定されない。

【0091】

ここで、第１ノズル部分Ｐａ－１および第２ノズル部分Ｐｂ－２を含むか、または、第３ノズル部分Ｐａ－３および第４ノズル部分Ｐｂ－４を含んでいれば、ノズルＮが軸方向での位置の異なる３つ以上の部分で構成されてもよい。例えば、第１ノズル部分Ｐａ－１または第３ノズル部分Ｐａ－３に対してＺ１方向の位置に第１ノズル部分Ｐａ－１または第３ノズル部分Ｐａ－３と異なる断面積の部分がノズルＮに設けられてもよい。

【0092】

３－３．変形例３
前述の各形態では、第１ノズルおよび第２ノズルの２種のノズルＮが例示されるが、液体吐出ヘッドの有する複数のノズルが３種以上のノズルで構成されてもよい。

【0093】

３－４．変形例４
前述の各形態では、同一ヘッドで共通流路を共有するノズルとして第１ノズルおよび第２ノズルを設ける態様が例示されるが、この態様に限定されず、第１ノズルおよび第２ノズルが互いに異なるヘッドに設けられてもよいし、同一ヘッドに設けられても第１ノズルおよび第２ノズルが共通流路を共有しなくてもよい。

【0094】

３－５．変形例５
前述の各形態では、液体吐出ヘッド５０を搭載するキャリッジ４１を往復させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示するが、複数のノズルＮが媒体Ｍの全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本開示を適用することが可能である。

【0095】

３－６．変形例６
前述の各形態で例示する液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本開示の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

【符号の説明】

【0096】

１０…液体容器、２０…制御ユニット、３０…搬送機構、４０…移動機構、４１…キャリッジ、４２…搬送ベルト、５０…液体吐出ヘッド、５１…流路基板、５２…圧力室基板、５２ａ…孔、５３…ノズル基板、５３ａ…第１凸部、５３ａ－１…第１凸部、５３ａ－３…第３凸部、５３ｂ…第２凸部、５３ｂ－２…第２凸部、５３ｂ－４…第４凸部、５４…吸振体、５５…振動板、５５ａ…弾性膜、５５ｂ…絶縁膜、５６…圧電素子、５６ａ…第１電極、５６ｂ…圧電体、５６ｂ１…貫通孔、５６ｃ…第２電極、５７…封止板、５８…ケース、５９…配線基板、６０…駆動回路、１００…液体吐出装置、Ａｚ…中心軸、Ｃ…圧力室、Ｃ－１…第１圧力室、Ｃ－２…第２圧力室、Ｄｃ…深さ、Ｄｄ…深さ、ＩＨ…導入口、Ｌａ…配置間隔、Ｌｂ…配置間隔、Ｌｃ…配置間隔、Ｌｄ…配置間隔、Ｍ…媒体、Ｎ…ノズル、Ｎ－１…第１ノズル、Ｎ－１Ａ…第１ノズル、Ｎ－１Ｂ…第１ノズル、Ｎ－２…第２ノズル、Ｎ－Ｘ…ノズル、Ｎａ…連通流路、ＰＰ…個別流路、ＰＰ－１…第１個別流路、ＰＰ－２…第２個別流路、Ｐａ…第１ノズル部分、Ｐａ－１…第１ノズル部分、Ｐａ－３…第３ノズル部分、Ｐｂ…第２ノズル部分、Ｐｂ－２…第２ノズル部分、Ｐｂ－４…第４ノズル部分、Ｒ…共通流路、Ｒ１…開口部、Ｒ２…収容部、Ｒａ…供給流路、Ｓａ…固化物、Ｓａ－Ｘ…固化物、Ｓａ１－Ｘ…固化物、Ｓｂ…固化物、Ｓｂ－Ｘ…固化物、Ｓｂ１－Ｘ…固化物、Ｗａ…幅、Ｗｂ…幅、Ｗｃ…幅、Ｗｄ…幅。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】