特開 2024-98524 加熱装置および加熱方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024098524

(43)【公開日】2024-07-24

(54)【発明の名称】加熱装置および加熱方法

(51)【国際特許分類】

   F27B 17/00 20060101AFI20240717BHJP

   F27D 5/00 20060101ALI20240717BHJP

   F27D 21/00 20060101ALI20240717BHJP

   F27D 7/06 20060101ALI20240717BHJP

   F27D 19/00 20060101ALI20240717BHJP

   F27D 11/02 20060101ALI20240717BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20240717BHJP

【ＦＩ】

F27B17/00 B

F27D5/00

F27D21/00 G

F27D7/06 C

F27D19/00 A

F27D11/02 Z

G02F1/13 101

【審査請求】有

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023002055

(22)【出願日】2023-01-11

(71)【出願人】

【識別番号】594067195

【氏名又は名称】株式会社九州日昌

(74)【代理人】

【識別番号】110002893

【氏名又は名称】弁理士法人ＫＥＮ知財総合事務所

(72)【発明者】

【氏名】荒木 保徳

(72)【発明者】

【氏名】松藤 正明

【テーマコード（参考）】

2H088

4K055

4K056

4K063

【Ｆターム（参考）】

2H088FA21

2H088FA30

2H088HA01

2H088MA20

4K055AA05

4K055AA06

4K055NA05

4K056AA09

4K056BB06

4K056CA18

4K056FA04

4K056FA13

4K063AA05

4K063AA09

4K063BA12

4K063CA03

4K063CA06

4K063DA24

4K063DA32

4K063DA34

4K063FA07

4K063FA08

4K063FA27

4K063FA29

(57)【要約】

【課題】
被加熱物の間に熱放射部材が配置された多段式の加熱装置であって、温度均一性を損なうことなく、熱放射部材や内壁のメンテナンスを容易化する。
【解決手段】
複数の加熱用壁体と、前記複数の加熱用壁体の対向領域に棚状に配置されて前記加熱用壁体からの熱を伝導させる金属製の複数の熱放射部材とが、被加熱物をそれぞれ収容するための、上下方向に配列された複数の収容スペースを画定する、多段式加熱装置であって、
上下に隣接する収容スペースの間は、熱放射部材により隔離されて、空気の流通が遮断され、
各熱放射部材は、加熱用壁体の対向する壁面に設けられた一対の熱放射部材支持部に載置されて、上下方向及び左右方向のいずれにも固定されておらず、前方に引き出すことが可能に設けられている。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

左右方向に距離を隔てて対向して立設された複数の加熱用壁体と、
前記複数の加熱用壁体の各々に設けられた複数の発熱手段と、
前記複数の加熱用壁体の対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置されて前記加熱用壁体からの熱を伝導させる金属製の複数の熱放射部材と、
を備え、
前記複数の加熱用壁体と前記複数の熱放射部材とは、平板状の被加熱物をそれぞれ収容するための、上下方向に配列された複数の収容スペースを画定する、多段式加熱装置であって、
上下に隣接する前記収容スペースの間は、前記熱放射部材により隔離されて、空気の流通が遮断され、
前記複数の熱放射部材は、両側端部が前記複数の加熱用壁体の対向する壁面の互いに対応する位置に設けられた一対の熱放射部材支持部に載置されて、上下方向及び左右方向のいずれにも固定されておらず、前方に引き出すことが可能に設けられている、ことを特徴とする加熱装置。

【請求項2】

前記熱放射部材支持部は、前記加熱用壁体の前記対向する壁面に設けられた断面略コの字型の溝部であり、前記熱放射部材の側端部の下面が、前記溝部の上向きの面に載置されている、請求項１に記載の加熱装置。

【請求項3】

対向する前記複数の加熱用壁体は、各々の前記収容スペースに面する側の各壁面の互いに対応する位置に設けられ、前記被加熱物の両側端部の下面が載置される被加熱物支持部をそれぞれ有する、請求項１に記載の加熱装置。

【請求項4】

前記熱放射部材と前記被加熱部材の形状及び寸法が略同一で、前記熱放射部材支持部と前記被加熱物支持部の形状及び寸法が略同一である、請求項３に記載の加熱装置。

【請求項5】

前記収容スペースは、前記加熱用壁体と前記熱放射部材とにより画定される開口部を前面側および背面側に有し、前記背面側の開口部は、閉塞部材により閉塞され、前記前面側の開口部は、扉により開閉可能に構成され、前記扉の開状態のときに前記被加熱物及び前記熱放射部材の搬入及び搬出が可能に構成されている、請求項３に記載の加熱装置。

【請求項6】

前記複数の加熱用壁体の各々に設けられた少なくとも一の温度センサと、
前記複数の加熱用壁体の各々に設けられた少なくとも一の温度センサの検出温度が目標温度の追従するように、前記複数の加熱用壁体にそれぞれ設けられた複数の発熱手段の各々の発熱量を独立に制御する温調手段と、を有する請求項１に記載の加熱装置。

【請求項7】

請求項１ないし６のいずれかに記載の加熱装置と、
前記加熱装置を収容するチャンバをさらに有する、加熱システムであって、
前記チャンバは、底部に大気を取り込むためのる吸気口と天井部に大気を排出する排気口を通じて当該チャンバ内を換気する換気機構を有する、加熱システム。

【請求項8】

請求項１ないし６のいずれかに記載の加熱装置、または、請求項７に記載の加熱システムを用いて被加熱物を加熱する、加熱方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加熱装置および加熱方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、液晶表示パネルなどの製造工程において、構成部材であるガラス基板等の
洗浄後の水分の除去や、基板上に塗布された薬液の組成分中に含まれる溶剤等の除去することを目的とする加熱・乾燥工程が行われている。このような、大型基板に対してなされる加熱・乾燥工程を、大型基板の多数枚について行なうために、多段式加熱装置が使用されている。

【0003】

特許文献１は、加熱気体循環方式のクリーンオーブンを開示している。この装置は、対向して立設された加熱用壁体と、その間に、棚状に配置され、加熱用壁体からの伝導熱で加熱された複数の熱放射部材とを備え、これらの熱放射部材の間の各空間を収容スペースとして被加熱物であるガラス基板を収容し、上下の熱放射部材からの放射熱で加熱処理している。各収容スペースは区画されているため、温度分布の均一性も優れ、熱気の上昇に起因する上部空間における熱蓄積現象が発生しない。また、加熱空気の吹付を行わないので、クリーンな加熱処理を実現している。

【0004】

また、特許文献２は、特許文献１の加熱装置において、一対の加熱用壁体の内側に密着する一対の伝熱壁体を設け、この伝熱壁体の間に熱放射部材を棚状に配置して、温度均一性を高めた加熱装置を開示している。

【0005】

特許文献３では、特許文献１の区画構造でもまだ上側の収容スペースの温度が下側の収容スペースよりも高くなるという問題を解消するために、加熱用壁体における電気ヒータの配置間隔を加熱用壁体の下部より上部で大きくすることにより、上部より下部での発熱量を大きくしている。また、加熱用壁体の途中に断熱部を設けて熱が上方に伝導しないようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１３－２０００７７号公報

【特許文献2】特開２００５－３５２３０６号公報

【特許文献3】特開２００５－０５５１５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、液晶基板などの加熱・乾燥工程では、加熱された基板（被加熱物）から揮発する化学物質が、多段式加熱装置の壁面や仕切り板（熱放射部材）の表面などに付着することがあり、その場合、定期的にメンテナンスを行って、これらの付着物を除去する必要がある。多段式加熱装置では、各被加熱物の収容スペースが、上下方向に狭い板状の空間なので、この除去作業が大変である。
この除去作業の容易化のため、熱放射部材を加熱用壁体から引き出せる構造にすることが考えられる。しかし、引き出せる構造、すなわち熱放射部材を加熱用壁体に強固に固定しない構造では、加熱用壁体からの熱伝導が減少して熱放射部材の温度均一性が損なわれ、その結果、放射熱不均一により板状の被加熱物の温度均一性が損なわれる懸念があった。

【0008】

本発明は、上記課題を解決するために成されたもので、被加熱物の間に熱放射部材が配置された多段式の加熱装置であって、加熱温度均一性を損なうことなく、熱放射部材や内壁のメンテナンスを容易化できる加熱装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明者らの検討の結果、熱放射部材の加熱は主に空気を通してなされ、加熱用壁体からの熱伝導による加熱は相対的に小さいことが分かった。また、熱放射部材が隣接する収容スペース間の空気の流れを遮断する構造であれば、各収容スペース内の空気の温度均一性が高いことが分かった。これは、加熱装置内での熱気の上昇に起因する各収容スペース内の空気の流れが抑制されるためと考えられる。従って、このような構造であれば、収容スペース内の空気の温度均一性が高いので、熱放射部材の加熱用壁体への結合を手動でスライド可能な程度に緩めても、熱放射部材の温度均一性は維持されることが見出され、本発明を得た。

【0010】

本発明の加熱装置は、左右方向に距離を隔てて対向して立設された複数の加熱用壁体と、
前記複数の加熱用壁体の各々に設けられた複数の発熱手段と、
前記複数の加熱用壁体の対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置されて前記加熱用壁体からの熱を伝導させる金属製の複数の熱放射部材と、
を備え、
前記複数の加熱用壁体と前記複数の熱放射部材とは、板状の被加熱物をそれぞれ収容するための、上下方向に配列された複数の収容スペースを画定する、多段式加熱装置であって、
上下に隣接する前記収容スペースの間は、前記熱放射部材により隔離されて、空気の流通が遮断され、
前記複数の熱放射部材は、両側端部が前記複数の加熱用壁体の対向する壁面の互いに対応する位置に設けられた一対の熱放射部材支持部に載置されて、上下方向及び左右方向のいずれにも固定されておらず、前方に引き出すことが可能に設けられている、ことを特徴とする。
この構成により、加熱対象の基板の間に熱放射部材が配置された多段式の加熱装置において、熱放射部材により隣接する収容スペース間の空気の流れを遮断する構造にしたので、熱放射部材の加熱用壁体への結合を手動でスライド可能な程度に緩めても、加熱温度均一性を損なうことなく、熱放射部材や内壁のメンテナンスを容易化できる加熱装置を提供することができる。

【0011】

前記熱放射部材支持部は、前記加熱用壁体の前記対向する壁面に水平方向全長に渡って設けられた断面略コの字型の溝部であり、前記熱放射部材の側端部の下面が、前記溝部の上向きの面に載置されている、構成としてもよい。

【0012】

対向する前記複数の加熱用壁体は、各々の前記収容スペースに面する側の各壁面の互いに対応する位置に設けられ、前記被加熱物の両側端部の下面が載置される被加熱物支持部をそれぞれ有する、構成としてもよい。この構成により、被加熱物を熱放射部材に均一な間隔をとって保持することができ、被加熱物が放射熱で面内均一に加熱される。

【0013】

前記熱放射部材と前記被加熱部材の形状及び寸法が略同一で、前記熱放射部材支持部と前記被加熱物支持部の形状及び寸法が略同一である、構成が好ましく採用される。
この構成により、被加熱物用の搬送装置を用いて熱放射部材の搬入・搬出を行いやすくなり、メンテナンス性をさらに高めることができる。

【0014】

前記収容スペースは、前記加熱用壁体と前記熱放射部材とにより画定される開口部を前面側および背面側に有し、前記背面側の開口部は、閉塞部材により閉塞され、前記前面側の開口部は、扉により開閉可能に構成され、前記扉の開状態のときに前記被加熱物及び前記熱放射部材の搬入及び搬出が可能に構成されている、構成としてもよい。

【0015】

前記複数の加熱用壁体の各々に設けられた少なくとも一の温度センサと、
前記複数の加熱用壁体の各々に設けられた少なくとも一の温度センサの検出温度が目標温度の追従するように、前記複数の加熱用壁体にそれぞれ設けられた複数の発熱手段の各々の発熱量を独立に制御する温調手段と、構成としてもよい。
この構成により、加熱用壁体間の温度の不均一を補正することができ、加熱処理の均一性が高まる。

【0016】

本発明の加熱システムは、上記いずれかの加熱装置と、
前記加熱装置を収容するチャンバをさらに有する、加熱システムであって、
前記チャンバは、底部に大気を取り込むためのる吸気口と天井部に大気を排出する排気口を通じて当該チャンバ内を換気する換気機構を有する、ことを特徴とする。

【0017】

本発明の加熱方法は、上記いずれかの加熱装置、または、上記の加熱システムを用いて被加熱物を加熱する、ことを特徴とする。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、加熱対象の基板の間に熱放射部材が配置された多段式の加熱装置において、熱放射部材により隣接する収容スペース間の空気の流れを遮断する構造にしたので、熱放射部材の加熱用壁体への結合を手動でスライド可能な程度に緩めても、加熱温度均一性を損なうことなく、熱放射部材や内壁のメンテナンスを容易化できる加熱装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の実施形態である加熱装置を示す正面図である。

【図2】図１に示す加熱装置の右側面図である。

【図3】加熱用ヒータを示す外観図である。

【図4】加熱用壁体における加熱用ヒータの配置を示す断面図である。

【図5】熱放射部材支持部および被加熱物支持部の拡大図である。

【図6】熱放射部材及び被加熱物を引き出した状態を示す概念斜視図である。

【図7】加熱装置の空調チャンバの一例における空気の流れを示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図１～図７に基づいて、本発明の実施形態である加熱装置１００について説明する。図１に示すように、加熱装置１００は、距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体１０（１０Ａ～１０Ｃ）と、加熱用壁体１０に設けられた発熱手段である複数のコイル状ヒータ１１と、複数の加熱用壁体１０の対向領域に上下方向（Ａ１―Ａ２方向）に距離を隔てて棚状に配置された複数の熱放射部材１２と、上下方向に隣り合う熱放射部材１２の間に設けられた被加熱物１３の収容スペース１４と、を備えている。

【0021】

加熱用壁体１０の上端側及び下端側はそれぞれ天板１６及び底板１７によって連結され、底板１７の下面は、架台ユニット３０によって支持されている。

【0022】

加熱用壁体１０は、ステンレス鋼で形成され、箱型の本加熱装置１００の両側面及び中央の仕切り壁をなす構造部材であるとともに、加熱装置１００の熱源となる部材である。本実施形態では、左側の加熱用壁体１０Ａ、中央の加熱用壁体１０Ｂ、右側の加熱用壁体１０Ｃの３枚からなる。各加熱用壁体１０には、正面側から背面側まで水平方向に複数の貫通孔２４が開設され、これらの貫通孔２４内にそれぞれコイル状ヒータ１１が着脱可能に挿入されている。

【0023】

コイル状ヒータ１１は、詳細を図３に示すように、金属管（シース）１１ｓの内部にコイル状に巻いた発熱線１１ｗを収容した構造になっている。図３では簡略化して示しているが、コイル状に巻いた発熱線１１ｗは右端から左端へ往復し、右端から２本のリード線が延出している。往復の発熱線１１ｗの間及び発熱線１１ｗと金属管１１ｓの間は、粉末状の酸化マグネシウムを固めた絶縁層で絶縁されている。

【0024】

各加熱用壁体１０において、図４に示すように、それぞれ正面側から水平方向に伸びる複数の貫通孔２４が開設され、コイル状ヒータ１１が挿入されている。各コイル状ヒータ１１の配線は、加熱装置１００背面側から延出している。この貫通孔２４の上下方向間隔は、下部で狭く上部で広く設定され、温度が低くなりがちな下部のコイル状ヒータ１１配置密度を高めている。但し、コイル状ヒータ１１の配置はこれに限られず、加熱用壁体１０面内の温度分布が均一になるように適宜設定できる。

【0025】

各加熱用壁体１０には、また図１に示すように、正面側から水平方向に別の複数の貫通孔２５が開設され、温度センサ１５が挿入されている。温度センサ１５の検出温度が目標温度に追従するように、各加熱用壁体１０にそれぞれ設けられた複数のコイル状ヒータ１１の各々の発熱量が、温調手段（図示省略）によりを独立に制御されている。

【0026】

熱放射部材１２は、加熱用壁体１０の対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置されて前記加熱用壁体１０からの熱で加熱され、その熱を被加熱物１３に向けて放射する部材である。各熱放射部材１２は、表面に黒色メッキを施したアルミニウム板で形成され、すぐれた熱放射機能が得られるようになっている。

【0027】

各熱放射部材１２は、両側端部が複数の加熱用壁体１０の対向する壁面の互いに対応する位置に設けられた一対の熱放射部材支持部１０ｓに載置されて、上下方向及び左右方向のいずれにも固定されておらず、前方に引き出すことが可能に設けられている。この熱放射部材支持部１０ｓは、上下方向に一定の間隔を開けて複数設けられ、それにより、複数の熱放射部材１２が棚状に配置される。
本実施形態では、この熱放射部材支持部１０ｓは、図５に拡大して示すように、加熱用壁体１０の対向する壁面に水平方向（Ｂ１―Ｂ２方向）全長に渡って設けられた断面略コの字型の溝部であり、熱放射部材１２の側端部の下面が、溝部（１０ｓ）の上向きの面に載置されている。
この構成により、図６に示すように、熱放射部材１２を手動等でスライドして挿入・引き出しができ、熱放射部材１２や加熱用壁体１０の壁面のメンテナンスが容易になる。
但し、熱放射部材支持部１０ｓは、断面略コの字型の溝部に限らず、熱放射部材１２の両側端部を載置でき、前方にスライドして引き出すことが可能な構造であればいずれでもよく、例えば、上方が開いた載置面だけがある構造でもよい。

【0028】

加熱用壁体１０の対向する壁面の互いに対応する位置であって、熱放射部材支持部１０ｓと互い違いになる上下方向位置に、被加熱物１３の両側端部の下面が載置される被加熱物支持部１０ｔが設けられている。
本実施形態では、この被加熱物支持部１０ｔは、図５に拡大して示すように、加熱用壁体１０の対向する壁面に水平方向（Ｂ１―Ｂ２方向）全長に渡って設けられた断面略コの字型の溝部であり、前記熱放射部材の側端部の下面が、前記溝部の上向きの面に載置されている。所定の搬送装置を用いて、図６に示すように、被加熱物１３をその左右方向両端部が各溝（１０ｔ）に入るように搬入し、前記上向きの支持面に載置することができる。

【0029】

本実施形態では、熱放射部材１２と被加熱物１３の形状及び寸法が略同一で、熱放射部材支持部１０ｓと被加熱物支持部１０ｔの形状及び寸法を略同一にしている。
この構成により、被加熱物１３用の搬送装置を用いて熱放射部材１２の搬入・搬出を行いやすくなり、メンテナンス性をさらに高めることができる。
但し、熱放射部材１２と被加熱物１３の形状及び寸法は異なってもよく、熱放射部材支持部１０ｓと被加熱物支持部１０ｔの形状及び寸法も異なってもよい。

【0030】

各収容スペース１４は、両側の加熱用壁体１０と、上下の熱放射部材１２とで画定されたスペースで、被加熱物１３を１枚ずつ収容して、上下の熱放射部材１２からの放射熱で加熱処理するようになっている。各収容スペース１４の前面１４ａ（図２参照）には開閉ドア（図示省略）が設けられ、この開閉ドアは、被加熱物１３の搬入・搬出時には開放され、加熱時には閉塞される。具体的には、装置全体の前面パネル（図示省略）の各収容スペース１４に対応する位置に、被加熱物１３の搬入・搬出用の開口部が設けられ、この各開口部に前記開閉ドアが設けられている。また、図２に示すように、各収容スペース１４の背面１４ｂ側は、背壁部材２６により閉塞されている。但し、開閉ドアの閉塞時にも、収容スペース１４の内部は完全には密閉されず、加熱されて膨張した空気が逃げられるようになっている。

【0031】

最上部の２枚の熱放射部材１２の間及び最底部の２枚の熱放射部材１２の間は、それぞれ被加熱物１３を導入しない空きスペースで、空気の断熱層を形成するための断熱スペース２０Ｔ，２０Ｂである。

【0032】

架台ユニット３０は、加熱装置１００が設置される床面に配置され、底板１７及びその上の加熱装置本体を搭載している。加熱装置１００の熱が床面に伝達しないようにする断熱機能や、床面の振動が加熱装置本体に伝達しないようにする防振機能等を備えている。

【0033】

架台ユニット３０を含む加熱装置１００本体は、外部からのパーティクルの混入を防ぐためや、排熱がクリーンルーム等の設置場所の他の装置に影響することを防ぐために、図７に示すように、チャンバ２００内に配置してもよい。このチャンバ２００では、チャンバ天井の排気口２２０に設けたブロワファン２３０により、チャンバ２００内部の加熱装置１００の熱排気を排出し、これにより負圧になったチャンバ２００内部に、左下の吸気口２１０より外気を導入している。吸気口２１０の内側にはＨＥＰＡフィルター（図示省略）が設けられ、外部からのパーティクルの混入を防いでいる。

【0034】

次に、このように構成された本発明の加熱装置１００の動作について図１～図６を参照して説明する。
加熱装置１００を使用する場合、まずコイル状ヒータ１１に通電を開始し、温度センサ１５で検出される温度が所定の温度になるまで、加熱用壁体１０を加熱する。次に、各収容スペース１４の前面１４ａの開閉ドア（図示省略）を開き、所定の搬送装置を用いて、各被加熱物をそれぞれの収容スペース１４に搬入後、開閉ドアを閉塞する。

【0035】

各収容スペース１４において、被加熱物１３は、左右の加熱用壁体１０からの放射熱と、これらの加熱用壁体１０からの熱伝導により発熱する上下の熱放射部材１２からの放射熱とによって加熱される。
コイル状ヒータ１１の最適な配置、及び各温度センサ１５の検出温度に基づく各部分に位置するコイル状ヒータ１１の独立した発熱量制御により、それぞれの収容スペース１４内及び収容スペース１４間の加熱用壁体１０の温度の均一性が担保されている。

【0036】

また、加熱装置１００では、上記のように隣接する収容スペース１４間の空気の流れを熱放射部材１２により遮断する構造になっているため、熱気の上昇に起因する空気の流れが生じにくいと考えられる。したがって、各収容スペース１４内の空気の温度均一性が高く、熱放射部材１２の加熱用壁体１０への結合を手動でスライド可能な程度に緩めても、熱放射部材１２の温度均一性は維持される。この熱放射部材１２からの熱放射によって、被加熱物１３は均一に加熱される。

【0037】

次に、このように構成された本発明の加熱装置１００のメンテナンス時の作業について図１～図６を参照して説明する。
加熱装置１００の運転中に全ての被加熱物１３を搬出し、運転終了後、装置内部の温度が十分下がってから、前面パネル（図示省略）を取り外し、装置前面を開放させる。これにより、加熱装置１００は、図１や図６に示した状態になる。尚、前面パネルを取り外す代わりに、前面パネルをスライドさせるか、ヒンジで開くことにより前面側全体を開放する構造にしてもよく、その場合、より一層メンテナンス性を高めることができる。

【0038】

次いで、手動、或いは、例えば被加熱物１３の搬送装置を用いて各熱放射部材１２を搬出する。この際、各熱放射部材は、ボルト等で固定されておらず、単に熱放射部材支持部１０ｓの支持面に載置されているだけなので、固定解除の手間もなく、素早く作業ができる。
各熱放射部材１２は、洗浄槽に浸漬したり、溶剤を浸したクリーニングペーパーで拭いたりすることにより、熱放射部材１２の表面に付着した化学物質を除去する。
一方、熱放射部材１２を搬出した加熱装置１００の内側、すなわち、各加熱用壁体１０の表面や、裏面側の背壁部材２６の表面を、溶剤を浸したクリーニングペーパーで拭いたりすることにより、付着した化学物質を除去する。

【0039】

クリーニング後は、手動、或いは、例えば被加熱物１３の搬送装置を用いて各熱放射部材を熱放射部材支持部１０ｓに挿入する。この際、各熱放射部材は、単に熱放射部材支持部１０ｓの支持面に載置するだけなので、ボルト等で固定する必要がなく、素早く作業ができる。最後に、前面パネルを元通りに取り付けてメンテナンス作業は完了する。

【0040】

以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
例えば、加熱装置１００に給気経路を設けて、被加熱物１３表面の酸化を防ぐための不活性ガスや、被加熱物１３表面と特定の化学反応を起こさせるためのガス等の気体を、背面側から収容スペース１４内に導入してもよい。但し、この気体の流れは、パーティクルを巻き上げず、かつ、熱放射部材１２の温度均一性を損なわない程度のごく弱い層流となるように流量を調整することが好ましい。

【0041】

また、熱放射部材１２の表面処理についても黒色メッキに限定されず、輻射熱の発散を抑制することのできる表面処理、例えば、光沢のない表面処理を施したものを採用することもできる。

【産業上の利用可能性】

【0042】

本発明に係る加熱装置は、ガラス基板や半導体リードフレームあるいはその他の金属板や合成樹脂板などの各種板状部材の熱処理を行う産業分野において広く利用することができる。

【符号の説明】

【0043】

１０，１０Ａ～１０Ｃ 加熱用壁体
１０ｓ 熱放射部材支持部
１０ｔ 被加熱物支持部
１１ コイル状ヒータ
１１ｓ 金属管（シース）
１１ｗ 発熱線
１２ 熱放射部材
１３ 被加熱物
１４ 収容スペース
１４ａ 前面
１４ｂ 背面
１５ 温度センサ
１６ 天板
１７ 底板
２０Ｔ、２０Ｂ 断熱スペース
２４ 貫通孔
２５ 貫通孔
２６ 背壁部材
３０ 架台ユニット
１００ 加熱装置
２００ チャンバ
２１０ 吸気口
２２０ 排気口
２３０ ブロワファン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】