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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024099115
(43)【公開日】2024-07-25
(54)【発明の名称】パーツフィーダ
(51)【国際特許分類】
B65G 27/24 20060101AFI20240718BHJP
【ＦＩ】
B65G27/24
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023002820
(22)【出願日】2023-01-12
(71)【出願人】
【識別番号】510246781
【氏名又は名称】翔栄システム株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100090033
【弁理士】
【氏名又は名称】荒船 博司
(74)【代理人】
【識別番号】100093045
【弁理士】
【氏名又は名称】荒船 良男
(72)【発明者】
【氏名】蟻生 斉
【テーマコード（参考）】
3F037
【Ｆターム（参考）】
3F037AA04
3F037BA03
3F037CA14
3F037CB03
(57)【要約】
【課題】ステージの案内溝に沿って部品をスムーズに搬送することができるパーツフィーダを実現する。
【解決手段】パーツフィーダ１００の制御部５０が、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、ステージ１０の移動が一の方向から他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、ステージ１０の移動が他の方向から一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御するようにすることで、ステージ１０の案内溝１０ａに沿って、部品Ｐを一の方向に滑らせるように搬送することができる。
【選択図】図２
【解決手段】パーツフィーダ１００の制御部５０が、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、ステージ１０の移動が一の方向から他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、ステージ１０の移動が他の方向から一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御するようにすることで、ステージ１０の案内溝１０ａに沿って、部品Ｐを一の方向に滑らせるように搬送することができる。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
部品を搬送する所定方向に沿った案内溝が上面に設けられており、前記案内溝の延在方向に移動可能に弾性部材によって支持台上に弾性支持されているステージと、
前記ステージに接触して配されており、前記ステージを前記所定方向に沿って移動させる圧電素子と、
前記ステージが前記所定方向に沿って移動する変位を検出する変位センサと、
を備え、
前記圧電素子は、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う一の方向に一の速度で移動させる駆動と、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う他の方向に前記一の速度より速い他の速度で移動させる駆動が可能に構成されており、
前記変位センサが検出する前記ステージの変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、前記ステージの移動が前記一の方向から前記他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、前記ステージの移動が前記他の方向から前記一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、前記圧電素子の駆動をフィードバック制御する制御部を備えたことを特徴とするパーツフィーダ。
前記ステージに接触して配されており、前記ステージを前記所定方向に沿って移動させる圧電素子と、
前記ステージが前記所定方向に沿って移動する変位を検出する変位センサと、
を備え、
前記圧電素子は、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う一の方向に一の速度で移動させる駆動と、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う他の方向に前記一の速度より速い他の速度で移動させる駆動が可能に構成されており、
前記変位センサが検出する前記ステージの変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、前記ステージの移動が前記一の方向から前記他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、前記ステージの移動が前記他の方向から前記一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、前記圧電素子の駆動をフィードバック制御する制御部を備えたことを特徴とするパーツフィーダ。
【請求項2】
前記ステージが前記一の方向に移動されたことに伴い弾性変形した前記弾性部材が復元する際の復元力が、前記ステージを前記他の方向に移動させる駆動力となるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のパーツフィーダ。
【請求項3】
前記ステージを前記所定方向と直交する面にて断面視した際、前記案内溝はその側面が上方に向かって開いた態様を呈するように形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のパーツフィーダ。
【請求項4】
前記ステージにはグランドが設置されており、少なくとも前記案内溝が帯電しないように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のパーツフィーダ。
【請求項5】
前記ステージには消磁器が設置されており、少なくとも前記案内溝が磁気を帯びないように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のパーツフィーダ。
【請求項6】
前記ステージにはヒータが設置されており、少なくとも前記案内溝が乾燥しているように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のパーツフィーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ピエゾ式のパーツフィーダに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、圧電素子（ピエゾ素子）を利用して、電子部品等の被搬送物を搬送するパーツフィーダが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
このパーツフィーダは、バイモルフ型の圧電素子の駆動によってステージを振動させ、ステージ上の電子部品を搬送するようになっている。
このパーツフィーダは、バイモルフ型の圧電素子の駆動によってステージを振動させ、ステージ上の電子部品を搬送するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００４－６７３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上記特許文献１のパーツフィーダの場合、バイモルフ型の圧電素子による振動方向が放物線的であり、ステージが楕円軌道を描くため、ステージ上で電子部品がバウンド或いは回転しながら搬送されることがあるので、電子部品が欠損したり、クラックが生じたりすることがあるという問題があった。
特に、被搬送物が微小部品である場合、微小部品がステージに付着して移動しなくなることや、微小部品同士が集まり固まって搬送路を塞いだりするといった問題があった。
特に、被搬送物が微小部品である場合、微小部品がステージに付着して移動しなくなることや、微小部品同士が集まり固まって搬送路を塞いだりするといった問題があった。
【0005】
本発明の目的は、部品などの被搬送物をスムーズに搬送することができるパーツフィーダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、この発明は、パーツフィーダであって、
部品を搬送する所定方向に沿った案内溝が上面に設けられており、前記案内溝の延在方向に移動可能に弾性部材によって支持台上に弾性支持されているステージと、
前記ステージに接触して配されており、前記ステージを前記所定方向に沿って移動させる圧電素子と、
前記ステージが前記所定方向に沿って移動する変位を検出する変位センサと、
を備え、
前記圧電素子は、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う一の方向に一の速度で移動させる駆動と、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う他の方向に前記一の速度より速い他の速度で移動させる駆動が可能に構成されており、
前記変位センサが検出する前記ステージの変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、前記ステージの移動が前記一の方向から前記他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、前記ステージの移動が前記他の方向から前記一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、前記圧電素子の駆動（圧電素子の伸縮）をフィードバック制御する制御部を備えるようにした。
部品を搬送する所定方向に沿った案内溝が上面に設けられており、前記案内溝の延在方向に移動可能に弾性部材によって支持台上に弾性支持されているステージと、
前記ステージに接触して配されており、前記ステージを前記所定方向に沿って移動させる圧電素子と、
前記ステージが前記所定方向に沿って移動する変位を検出する変位センサと、
を備え、
前記圧電素子は、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う一の方向に一の速度で移動させる駆動と、前記ステージを少なくとも前記所定方向に沿う他の方向に前記一の速度より速い他の速度で移動させる駆動が可能に構成されており、
前記変位センサが検出する前記ステージの変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、前記ステージの移動が前記一の方向から前記他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、前記ステージの移動が前記他の方向から前記一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、前記圧電素子の駆動（圧電素子の伸縮）をフィードバック制御する制御部を備えるようにした。
【0007】
かかる構成のパーツフィーダにおいて、比較的低速な一の速度でステージを一の方向へ移動させる場合、ステージの案内溝と部品との間に静摩擦力が働き、部品はステージに付着し、その部品はステージと一体的に移動する（静摩擦モード；付着モード）。
一方、比較的高速な他の速度でステージを他の方向へ移動させる場合、ステージの案内溝と部品との間に動摩擦力が働き、部品は慣性によってパーツフィーダにおける相対位置を維持するように案内溝を滑り、ステージ上で相対的に一の方向へ移動する（動摩擦モード；滑りモード）。
このような静摩擦モード（付着モード）と動摩擦モード（滑りモード）の繰り返しによって、部品がステージの案内溝に沿って一の方向に滑るように搬送される。
特に、変位センサが検出するステージの変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、ステージの移動が一の方向から他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、ステージの移動が他の方向から一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、圧電素子の駆動をフィードバック制御することで、部品がステージの案内溝をよりスムーズに滑るようになり、その部品をスムーズに搬送することができる。
一方、比較的高速な他の速度でステージを他の方向へ移動させる場合、ステージの案内溝と部品との間に動摩擦力が働き、部品は慣性によってパーツフィーダにおける相対位置を維持するように案内溝を滑り、ステージ上で相対的に一の方向へ移動する（動摩擦モード；滑りモード）。
このような静摩擦モード（付着モード）と動摩擦モード（滑りモード）の繰り返しによって、部品がステージの案内溝に沿って一の方向に滑るように搬送される。
特に、変位センサが検出するステージの変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、ステージの移動が一の方向から他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、ステージの移動が他の方向から一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、圧電素子の駆動をフィードバック制御することで、部品がステージの案内溝をよりスムーズに滑るようになり、その部品をスムーズに搬送することができる。
【0008】
また、望ましくは、
前記ステージが前記一の方向に移動されたことに伴い弾性変形した前記弾性部材が復元する際の復元力が、前記ステージを前記他の方向に移動させる駆動力となるように構成されている。
このような構成を有していれば、ステージを他の方向により一層速やかに移動させることが可能になる。
前記ステージが前記一の方向に移動されたことに伴い弾性変形した前記弾性部材が復元する際の復元力が、前記ステージを前記他の方向に移動させる駆動力となるように構成されている。
このような構成を有していれば、ステージを他の方向により一層速やかに移動させることが可能になる。
【0009】
また、望ましくは、
前記ステージを前記所定方向と直交する面にて断面視した際、前記案内溝はその側面が上方に向かって開いた態様を呈するように形成されている。
側面が上方に向かって開いた態様を呈する案内溝であれば、案内溝に沿って移動する部品がその側面と擦れないので、部品の移動がよりスムーズになる。
前記ステージを前記所定方向と直交する面にて断面視した際、前記案内溝はその側面が上方に向かって開いた態様を呈するように形成されている。
側面が上方に向かって開いた態様を呈する案内溝であれば、案内溝に沿って移動する部品がその側面と擦れないので、部品の移動がよりスムーズになる。
【0010】
また、望ましくは、
前記ステージにはグランドが設置されており、少なくとも前記案内溝が帯電しないように構成されている。
また、望ましくは、
前記ステージには消磁器が設置されており、少なくとも前記案内溝が磁気を帯びないように構成されている。
また、望ましくは、
前記ステージにはヒータが設置されており、少なくとも前記案内溝が乾燥している（少なくとも前記案内溝に結露が生じない）ように構成されている。
このように構成されたステージであれば、案内溝に沿う部品の移動がスムーズになる。
前記ステージにはグランドが設置されており、少なくとも前記案内溝が帯電しないように構成されている。
また、望ましくは、
前記ステージには消磁器が設置されており、少なくとも前記案内溝が磁気を帯びないように構成されている。
また、望ましくは、
前記ステージにはヒータが設置されており、少なくとも前記案内溝が乾燥している（少なくとも前記案内溝に結露が生じない）ように構成されている。
このように構成されたステージであれば、案内溝に沿う部品の移動がスムーズになる。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、ステージの案内溝に沿って部品をスムーズに搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本実施形態のパーツフィーダを示す概略上面図である。
【図2】本実施形態のパーツフィーダを示す概略側面図である。
【図3】ステージに設けられている案内溝を断面視した説明図である。
【図4】パーツフィーダの制御部が圧電素子に入力する制御信号の一例（ａ）と、その制御信号に応じたステージの移動と部品の搬送に関する説明図（ｂ）である
【図5】圧電素子を駆動する制御信号と、ステージの応答に関する説明図である。
【図6】本実施形態のパーツフィーダにおけるステージの変位の波形（ａ）と、その変位波形に対応する速度の波形（ｂ）と加速度の波形（ｃ）である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、図面を参照して、本発明に係るパーツフィーダの実施形態について詳細に説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
【0014】
本実施形態のパーツフィーダ１００は、例えば、図１、図２に示すように、部品Ｐを搬送する所定方向に沿った案内溝１０ａが上面に設けられているステージ１０と、ステージ１０を案内溝１０ａの延在方向に移動可能に支持台Ｂ上に弾性支持している弾性部材２０と、ステージ１０を所定方向に沿って移動させる圧電素子３０と、ステージ１０が所定方向に沿って移動する変位を検出する変位センサ４０と、変位センサ４０が検出したステージ１０の変位に応じて圧電素子３０の駆動をフィードバック制御する制御部５０等を備えている。
なお、このパーツフィーダ１００で搬送する部品Ｐは、例えば、0.2mm角で長さ0.4mm（04×02）の微小部品や、0.1mm角で長さ0.2mm（02×01）の微小部品である。
なお、このパーツフィーダ１００で搬送する部品Ｐは、例えば、0.2mm角で長さ0.4mm（04×02）の微小部品や、0.1mm角で長さ0.2mm（02×01）の微小部品である。
【0015】
ステージ１０は、例えば、金属製の平板部材であり、その上面に所定方向に沿った案内溝１０ａが設けられている。
このステージ１０を所定方向と直交する面にて断面視した際、案内溝１０ａは、例えば、図３に示すように、案内溝１０ａの側面が上方に向かって開いた態様を呈するように形成されている。
案内溝１０ａの側面が上方に向かって開いた態様を呈していれば、案内溝１０ａに沿って移動する部品Ｐがその側面と擦れないので、部品の移動がよりスムーズになる。
このステージ１０を所定方向と直交する面にて断面視した際、案内溝１０ａは、例えば、図３に示すように、案内溝１０ａの側面が上方に向かって開いた態様を呈するように形成されている。
案内溝１０ａの側面が上方に向かって開いた態様を呈していれば、案内溝１０ａに沿って移動する部品Ｐがその側面と擦れないので、部品の移動がよりスムーズになる。
【0016】
弾性部材２０は、例えば、上面視した際に略Ｌ字形状を呈する板バネであり、ステージ１０の四隅に設けられている。
略Ｌ字形状を呈する弾性部材２０の一端側がステージ１０に固定され、他端側が支持台Ｂに固定されている。この弾性部材２０の一端側が弾性変形する部分である。
この弾性部材２０は、支持台Ｂ上でステージ１０を略水平方向に移動可能に弾性支持している。
略Ｌ字形状を呈する弾性部材２０の一端側がステージ１０に固定され、他端側が支持台Ｂに固定されている。この弾性部材２０の一端側が弾性変形する部分である。
この弾性部材２０は、支持台Ｂ上でステージ１０を略水平方向に移動可能に弾性支持している。
【0017】
圧電素子３０は、支持台Ｂ上に固定されており、圧電素子３０の駆動部がステージ１０の一方の側面（図中、左側の側面）に接触して配されている。
圧電素子３０には、電圧を印加するためのリード線が接続されており、圧電素子３０に電圧が印加されると伸長するようになっている。
伸長した圧電素子３０は、ステージ１０を一の方向（図中、右方向）に押し出すように移動させ、収縮した圧電素子３０は、ステージ１０を他の方向（図中、左方向）に引き戻すように移動させる。
この圧電素子３０は、ステージ１０を所定方向に沿う一の方向（図中、右方向）に一の速度で移動させる駆動と、ステージ１０を所定方向に沿う他の方向（図中、左方向）に一の速度より速い他の速度で移動させる駆動が可能に構成されている。
圧電素子３０には、電圧を印加するためのリード線が接続されており、圧電素子３０に電圧が印加されると伸長するようになっている。
伸長した圧電素子３０は、ステージ１０を一の方向（図中、右方向）に押し出すように移動させ、収縮した圧電素子３０は、ステージ１０を他の方向（図中、左方向）に引き戻すように移動させる。
この圧電素子３０は、ステージ１０を所定方向に沿う一の方向（図中、右方向）に一の速度で移動させる駆動と、ステージ１０を所定方向に沿う他の方向（図中、左方向）に一の速度より速い他の速度で移動させる駆動が可能に構成されている。
【0018】
また、圧電素子３０によってステージ１０が一の方向に移動されたことに伴い弾性変形した弾性部材３０が復元する際の復元力が、ステージ１０を他の方向（図中、左方向）に移動させる駆動力となるように構成されている。
【0019】
なお、圧電素子３０がステージ１０を移動させる駆動力を作用させる作用線Ｌ上に、ステージ１０の重心があるように設計され、支持台Ｂ上に圧電素子３０とステージ１０が設置されている。
このような構造とすることで、ステージ１０の移動を安定させることができる。
このような構造とすることで、ステージ１０の移動を安定させることができる。
【0020】
変位センサ４０は、支持台Ｂ上に固定されており、ステージ１０の他方の側面（図中、右側の側面）側であって、ステージ１０から離間した位置に配設されている。
つまり、圧電素子３０と変位センサ４０は、ステージ１０を挟んで対向配置されている。
この変位センサ４０は、例えば、静電容量式の変位センサであり、圧電素子３０の駆動によって水平方向に移動するステージ１０の変位を検出する。
ここでの変位センサ４０は、変位センサ４０に対して近接したり離間したりするステージ１０の変位を検出する。
つまり、圧電素子３０と変位センサ４０は、ステージ１０を挟んで対向配置されている。
この変位センサ４０は、例えば、静電容量式の変位センサであり、圧電素子３０の駆動によって水平方向に移動するステージ１０の変位を検出する。
ここでの変位センサ４０は、変位センサ４０に対して近接したり離間したりするステージ１０の変位を検出する。
【0021】
制御部５０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどを有しており、ＲＡＭの作業領域に展開されたＲＯＭに記憶されたプログラムデータとＣＰＵとの協働により各部を統括制御するコントローラである。
なお、図２に示すように、制御部５０は変位センサアンプ４１を介して変位センサ４０と接続されている。また、制御部５０はピエゾドライバ３１を介して圧電素子３０と接続されている。
本実施形態のパーツフィーダ１００の制御部５０は、後述するように、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、ステージ１０の移動が一の方向から他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、ステージ１０の移動が他の方向から一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御するようになっている。
なお、図２に示すように、制御部５０は変位センサアンプ４１を介して変位センサ４０と接続されている。また、制御部５０はピエゾドライバ３１を介して圧電素子３０と接続されている。
本実施形態のパーツフィーダ１００の制御部５０は、後述するように、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が鋸歯状を呈するとともに、ステージ１０の移動が一の方向から他の方向へ切り替わるタイミングの傾斜が急峻であって、ステージ１０の移動が他の方向から一の方向へ切り替わるタイミングの前後の傾斜が緩やかである波形を呈するように、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御するようになっている。
【0022】
次に、本実施形態のパーツフィーダ１００による部品Ｐの搬送について説明する。
【0023】
例えば、外部上位制御装置からの指令に基づき、図４（ａ）に示す波形を有する制御信号を制御部５０に入力し、ピエゾドライバ３１を介して制御信号の指令値に応じた電圧を圧電素子３０に印加する。
この制御信号に応じた電圧が印加された圧電素子３０は、図４（ｂ）に示すように、ステージ１０を一の方向（図中、右方向）に一の速度で移動させた後（(1)-(2)）、ステージ１０を他の方向（図中、左方向）に一の速度より速い他の速度で移動させ（(2)-(3)）、続けてステージ１０を一の方向に一の速度で移動させた後（(3)-(4)）、ステージ１０を他の方向に一の速度より速い他の速度で移動させる（(4)-(5)）。
この制御信号に応じた電圧が印加された圧電素子３０は、図４（ｂ）に示すように、ステージ１０を一の方向（図中、右方向）に一の速度で移動させた後（(1)-(2)）、ステージ１０を他の方向（図中、左方向）に一の速度より速い他の速度で移動させ（(2)-(3)）、続けてステージ１０を一の方向に一の速度で移動させた後（(3)-(4)）、ステージ１０を他の方向に一の速度より速い他の速度で移動させる（(4)-(5)）。
【0024】
そして、比較的低速な一の速度でステージ１０が一の方向（図中、右方向）へ移動する場合（(1)-(2)，(3)-(4)）、ステージ１０の案内溝１０ａと部品Ｐとの間に静摩擦力が働き、部品Ｐはステージ１０と一体的に移動する（静摩擦モード；付着モード）。
一方、比較的高速な他の速度でステージ１０が他の方向（図中、左方向）へ移動する場合（(2)-(3)，(4)-(5)）、ステージ１０の案内溝１０ａと部品Ｐとの間に動摩擦力が働き、部品Ｐは慣性によってパーツフィーダ１００における相対位置を維持するように案内溝１０ａを滑り、ステージ１０上で相対的に一の方向へ移動する（動摩擦モード；滑りモード）。
つまり、このような波形（図４（ａ））を有する制御信号を制御部５０に入力して、圧電素子３０を伸縮駆動させることで、ステージ１０の案内溝１０ａと部品Ｐとの間に静摩擦力が働く一の速度（低速）でステージ１０を一の方向へ移動させる静摩擦モード（付着モード）と、ステージ１０の案内溝１０ａと部品Ｐとの間に動摩擦力が働く他の速度（高速）でステージ１０を他の方向へ移動させる動摩擦モード（滑りモード）が繰り返される。
この静摩擦モードと動摩擦モードの繰り返しによって、部品Ｐがステージ１０上の案内溝１０ａに沿って、一の方向（図中、右方向）に滑るように搬送される。
一方、比較的高速な他の速度でステージ１０が他の方向（図中、左方向）へ移動する場合（(2)-(3)，(4)-(5)）、ステージ１０の案内溝１０ａと部品Ｐとの間に動摩擦力が働き、部品Ｐは慣性によってパーツフィーダ１００における相対位置を維持するように案内溝１０ａを滑り、ステージ１０上で相対的に一の方向へ移動する（動摩擦モード；滑りモード）。
つまり、このような波形（図４（ａ））を有する制御信号を制御部５０に入力して、圧電素子３０を伸縮駆動させることで、ステージ１０の案内溝１０ａと部品Ｐとの間に静摩擦力が働く一の速度（低速）でステージ１０を一の方向へ移動させる静摩擦モード（付着モード）と、ステージ１０の案内溝１０ａと部品Ｐとの間に動摩擦力が働く他の速度（高速）でステージ１０を他の方向へ移動させる動摩擦モード（滑りモード）が繰り返される。
この静摩擦モードと動摩擦モードの繰り返しによって、部品Ｐがステージ１０上の案内溝１０ａに沿って、一の方向（図中、右方向）に滑るように搬送される。
【0025】
なお、制御信号の波形が図４（ａ）に示す鋸歯状を呈する波形である場合、その制御信号の指令値に応じた電圧が印加された圧電素子３０によって移動されるステージ１０の変位の波形は、その制御信号の波形に類似した鋸歯状の波形として変位センサ４０に検出される。
【0026】
ところで、制御信号の指令値に応じた電圧が印加された圧電素子３０によってステージ１０が一の方向に移動される際、その圧電素子３０が伸長する速度（加速度）が大きいとそれが衝撃となってステージ１０に固有振動が生じることがある（図５の上段参照）。
このような固有振動が生じてしまうと、部品Ｐがステージ１０上を跳ねて、ステージ１０ともに移動できなくなってしまうことがある。
例えば、このような固有振動が生じてしまうと、ステージ１０の移動が制御信号に基づくものからズレが生じてしまい、部品Ｐの搬送が滑らかでなくなるので、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御することでステージ１０の固有振動の発生を抑えるようにした（図５の下段参照）。
特に、ステージ１０が他の方向に移動された後にステージ１０が一の方向に移動される際、急激に移動方向が変わることが衝撃となり易く、ステージ１０に固有振動が生じてしまうので、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御することでステージ１０の固有振動の発生を抑えるようにした。
また、制御部５０にノッチフィルタ回路を備え、そのノッチフィルタによる波形制御によっても、ステージ１０の固有振動を抑えることができる。
このような固有振動が生じてしまうと、部品Ｐがステージ１０上を跳ねて、ステージ１０ともに移動できなくなってしまうことがある。
例えば、このような固有振動が生じてしまうと、ステージ１０の移動が制御信号に基づくものからズレが生じてしまい、部品Ｐの搬送が滑らかでなくなるので、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御することでステージ１０の固有振動の発生を抑えるようにした（図５の下段参照）。
特に、ステージ１０が他の方向に移動された後にステージ１０が一の方向に移動される際、急激に移動方向が変わることが衝撃となり易く、ステージ１０に固有振動が生じてしまうので、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御することでステージ１０の固有振動の発生を抑えるようにした。
また、制御部５０にノッチフィルタ回路を備え、そのノッチフィルタによる波形制御によっても、ステージ１０の固有振動を抑えることができる。
【0027】
次に、本実施形態のパーツフィーダ１００による部品Ｐの搬送に関し、図６（ａ）を参照して、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御することについて説明する。
なお、図６（ａ）においては、ステージ１０の変位の波形として、鋸歯状を呈する波形のうちの１つの波形を図示しているが、この波形が繰り返されて鋸歯状の波形となる。
なお、図６（ａ）においては、ステージ１０の変位の波形として、鋸歯状を呈する波形のうちの１つの波形を図示しているが、この波形が繰り返されて鋸歯状の波形となる。
【0028】
前述したように、電圧が印加された圧電素子３０によってステージ１０が一の方向に移動される際、その圧電素子３０が伸長する速度（加速度）が大きいとそれが衝撃となってステージ１０に固有振動が生じてしまうことがある。
その固有振動を生じさせないためには、ステージ１０が他の方向に移動する動摩擦モードから、ステージ１０が一の方向に移動する静摩擦モードに切り替わるタイミングの前後において、ステージ１０の加速度の大きさを小さくすることが好ましい（例えば、図６の(ニ)や(ロ)のタイミングにおける加速度）。
そこで本実施形態においては、動摩擦モードが終わるタイミング（図６（ａ）の(ニ)-(ホ)のタイミング）と静摩擦モードが始まるタイミング（図６（ａ）の(イ)-(ロ)のタイミング）において、ステージ１０が比較的ゆっくり移動するように圧電素子３０の駆動を制御するようにした。
具体的には、ステージ１０の加速度の大きさを小さくするように制御波形を編集する機能を制御部５０に付加した。
その固有振動を生じさせないためには、ステージ１０が他の方向に移動する動摩擦モードから、ステージ１０が一の方向に移動する静摩擦モードに切り替わるタイミングの前後において、ステージ１０の加速度の大きさを小さくすることが好ましい（例えば、図６の(ニ)や(ロ)のタイミングにおける加速度）。
そこで本実施形態においては、動摩擦モードが終わるタイミング（図６（ａ）の(ニ)-(ホ)のタイミング）と静摩擦モードが始まるタイミング（図６（ａ）の(イ)-(ロ)のタイミング）において、ステージ１０が比較的ゆっくり移動するように圧電素子３０の駆動を制御するようにした。
具体的には、ステージ１０の加速度の大きさを小さくするように制御波形を編集する機能を制御部５０に付加した。
【0029】
そのために、制御部５０が、ステージ１０の移動が他の方向（動摩擦モード）から一の方向（静摩擦モード）へ切り替わる際の変位の波形の傾斜が緩やかになるように（図６（ａ）の(ニ)-(ホ),(イ)-(ロ)）、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御する。
具体的には、動摩擦モード後半の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ニ)-(ホ)）が、動摩擦モード前半での変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ハ)-(ニ)）よりも緩やかであって、静摩擦モード当初の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(イ)-(ロ)）が、その後の静摩擦モードでの変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ロ)-(ハ)）よりも緩やかになるように、制御波形を編集し、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御する。
具体的には、動摩擦モード後半の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ニ)-(ホ)）が、動摩擦モード前半での変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ハ)-(ニ)）よりも緩やかであって、静摩擦モード当初の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(イ)-(ロ)）が、その後の静摩擦モードでの変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ロ)-(ハ)）よりも緩やかになるように、制御波形を編集し、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御する。
【0030】
また、静摩擦モードから動摩擦モードへの明瞭な切り替えを行うためには、逆向きに急激な速度変化をつけてステージ１０を移動させることが好ましい。換言すれば、瞬間的に逆向きとなる大きな加速度をつけてステージ１０を移動させることが好ましい。
そこで本実施形態においては、静摩擦モードから動摩擦モードに切り替わるタイミング（図６（ａ）の(ハ)のタイミング）において、ステージ１０が一の方向から他の方向に急激に向きを変えて高速移動するように圧電素子３０の駆動を制御するようにした。
そこで本実施形態においては、静摩擦モードから動摩擦モードに切り替わるタイミング（図６（ａ）の(ハ)のタイミング）において、ステージ１０が一の方向から他の方向に急激に向きを変えて高速移動するように圧電素子３０の駆動を制御するようにした。
【0031】
そのために、制御部５０が、ステージ１０の移動が一の方向（静摩擦モード）から他の方向（動摩擦モード）へ切り替わる際の変位の波形の傾斜が急峻になるように（図６（ａ）の(ハ)）、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御する。
具体的には、動摩擦モード当初の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ハ)）が略垂直になるように、制御波形を編集し、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御する。
より具体的には、ステージ１０の移動が一の方向（静摩擦モード）から他の方向（動摩擦モード）へ切り替わる際の変位の波形の傾斜が急峻（加速度が大）になるように（図６（ａ）の(ハ)）、制御波形を調整する。その際、ステージの加速度信号の大きさを参照しながら制御波形を編集する。加速度信号は変位センサ信号を処理してつくられる。
ここでは、動摩擦モード当初の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ハ)）が略垂直になるように、制御波形を編集している。
具体的には、動摩擦モード当初の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ハ)）が略垂直になるように、制御波形を編集し、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御する。
より具体的には、ステージ１０の移動が一の方向（静摩擦モード）から他の方向（動摩擦モード）へ切り替わる際の変位の波形の傾斜が急峻（加速度が大）になるように（図６（ａ）の(ハ)）、制御波形を調整する。その際、ステージの加速度信号の大きさを参照しながら制御波形を編集する。加速度信号は変位センサ信号を処理してつくられる。
ここでは、動摩擦モード当初の変位の波形の傾斜（図６（ａ）の(ハ)）が略垂直になるように、制御波形を編集している。
【0032】
つまり、本実施形態では、ステージ１０が制御信号通りに移動するよう変位センサ４０を使ったフィードバック制御を行い、静摩擦モード（付着モード）と動摩擦モード（滑りモード）を好ましく切り替えるために、ステージ１０の加速度信号を参照しながら、制御信号を編集している。
【0033】
そして、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が、図６（ａ）に示した実線の波形を呈するように、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御することによって、静摩擦モードと動摩擦モードの切り替えを好適に行うことができ、ステージ１０の案内溝１０ａに沿って部品Ｐを好適に搬送することができる。（図６（ａ）の鎖線の波形は、図４（ａ）に示したモデル波形と同様のものである。）
なお、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が、図６（ａ）に示した実線の波形を呈するように圧電素子３０の駆動をフィードバック制御している場合、外部上位制御装置が、図６（ａ）に示した実線の波形に類似した制御信号を制御部５０に入力し、ピエゾドライバ３１を介して制御信号の指令値に応じた電圧を圧電素子３０に印加して、ステージ１０を移動させているといえる。
また、制御部５０は、図６（ａ）に示した実線の波形に類似した制御信号波形パターン情報を複数個内部に保持し、外部上位制御装置が波形パターン選択と波形出力ＯＮ／ＯＦＦを切り替え、波形出力タイミング信号（繰り返し周波数）を出力するようにして、ステージ１０を移動させるようにしてもよい。
なお、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が、図６（ａ）に示した実線の波形を呈するように圧電素子３０の駆動をフィードバック制御している場合、外部上位制御装置が、図６（ａ）に示した実線の波形に類似した制御信号を制御部５０に入力し、ピエゾドライバ３１を介して制御信号の指令値に応じた電圧を圧電素子３０に印加して、ステージ１０を移動させているといえる。
また、制御部５０は、図６（ａ）に示した実線の波形に類似した制御信号波形パターン情報を複数個内部に保持し、外部上位制御装置が波形パターン選択と波形出力ＯＮ／ＯＦＦを切り替え、波形出力タイミング信号（繰り返し周波数）を出力するようにして、ステージ１０を移動させるようにしてもよい。
【0034】
このように、変位センサ４０が検出するステージ１０の変位の波形が、単純な鋸歯状の波形（図６（ａ）の鎖線の波形）ではなく、図６（ａ）に示した実線の波形を呈するように、圧電素子３０の駆動をフィードバック制御するようにすれば、ステージ１０上の案内溝１０ａに沿って、部品Ｐを一の方向（図中、右方向）に滑らせるように搬送することができる。
つまり、ステージ１０上の部品Ｐがバウンドするように搬送されることがないので、搬送される部品Ｐに欠損などの不具合が生じることは無い。
特に、パーツフィーダ１００で搬送する部品Ｐが微小部品であると、僅かな振動などで部品Ｐがバウンドしてしまうことがあるが、本実施形態のパーツフィーダ１００であれば、静摩擦モードと動摩擦モードを好適に切り替えて、微小な部品Ｐであってもステージ１０上を滑らせるように搬送することができる。
つまり、ステージ１０上の部品Ｐがバウンドするように搬送されることがないので、搬送される部品Ｐに欠損などの不具合が生じることは無い。
特に、パーツフィーダ１００で搬送する部品Ｐが微小部品であると、僅かな振動などで部品Ｐがバウンドしてしまうことがあるが、本実施形態のパーツフィーダ１００であれば、静摩擦モードと動摩擦モードを好適に切り替えて、微小な部品Ｐであってもステージ１０上を滑らせるように搬送することができる。
【0035】
なお、図６（ａ）に示した制御信号の制御波形を反転させた態様の制御信号を用いることで、ステージ１０上を移動させる部品Ｐの搬送方向を逆向きに切り替えることができる。
例えば、ステージ１０を比較的低速で他の方向（図中、左方向）に移動させた後（静摩擦モード；付着モード）、そのステージ１０を比較的高速で一の方向（図中、右方向）に移動させるようにすれば（動摩擦モード；滑りモード）、ステージ１０上の部品Ｐを他の方向へ移動させるように、搬送方向を切り替えることができる。
そして、部品Ｐの搬送方向を逆向きに切り替えることができれば、複数の部品Ｐが案内溝１０ａに詰まってしまった際に、制御信号（制御波形）を切り替えるようにして、一旦部品Ｐの搬送方向を逆向きにすることで、その詰まりを解消することができる。
例えば、ステージ１０を比較的低速で他の方向（図中、左方向）に移動させた後（静摩擦モード；付着モード）、そのステージ１０を比較的高速で一の方向（図中、右方向）に移動させるようにすれば（動摩擦モード；滑りモード）、ステージ１０上の部品Ｐを他の方向へ移動させるように、搬送方向を切り替えることができる。
そして、部品Ｐの搬送方向を逆向きに切り替えることができれば、複数の部品Ｐが案内溝１０ａに詰まってしまった際に、制御信号（制御波形）を切り替えるようにして、一旦部品Ｐの搬送方向を逆向きにすることで、その詰まりを解消することができる。
【0036】
なお、本発明は上記実施形態に限られるものではない。
例えば、グランド（図示省略）がステージ１０に設置されていてもよい。
そのグランドによって案内溝１０ａが帯電しないように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
例えば、グランド（図示省略）がステージ１０に設置されていてもよい。
そのグランドによって案内溝１０ａが帯電しないように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
【0037】
また、消磁器（図示省略）がステージ１０に設置されていてもよい。
その消磁器によって案内溝１０ａが磁気を帯びないように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
その消磁器によって案内溝１０ａが磁気を帯びないように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
【0038】
また、ヒータ（図示省略）がステージ１０に設置されていてもよい。
そのヒータによって案内溝１０ａ（ステージ１０）を温め、案内溝１０ａの表面の水分を飛ばすようにして、案内溝１０ａが乾燥しているように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
また、そのヒータによって案内溝１０ａの温度をパーツフィーダ１００が設置されている室内の温度とほぼ同じにするなどして、案内溝１０ａに結露が生じないように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
そのヒータによって案内溝１０ａ（ステージ１０）を温め、案内溝１０ａの表面の水分を飛ばすようにして、案内溝１０ａが乾燥しているように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
また、そのヒータによって案内溝１０ａの温度をパーツフィーダ１００が設置されている室内の温度とほぼ同じにするなどして、案内溝１０ａに結露が生じないように構成されていれば、案内溝１０ａに沿う部品Ｐの移動がスムーズになるので好ましい。
【0039】
なお、帯電防止や静電気対策、磁気対策のために、ステージ１０をセラミックスなどの非磁性材料を用いて形成するようにしてもよい。
【0040】
なお、本発明の適用は上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【0041】
１０ ステージ
１０ａ 案内溝
２０ 弾性部材
３０ 圧電素子
４０ 変位センサ
５０ 制御部
１００ パーツフィーダ
Ｂ 支持台
Ｐ 部品
Ｌ 作用線
１０ａ 案内溝
２０ 弾性部材
３０ 圧電素子
４０ 変位センサ
５０ 制御部
１００ パーツフィーダ
Ｂ 支持台
Ｐ 部品
Ｌ 作用線
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】