2025-100532 羽根部材、構造部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025100532

(43)【公開日】2025-07-03

(54)【発明の名称】羽根部材、構造部材

(51)【国際特許分類】

   F01D 5/14 20060101AFI20250626BHJP

   B23K 26/352 20140101ALN20250626BHJP

   B23K 26/00 20140101ALN20250626BHJP

【ＦＩ】

F01D5/14

B23K26/352

B23K26/00 G

【審査請求】有

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2025028807

(22)【出願日】2025-02-26

(62)【分割の表示】P 2022579260の分割

【原出願日】2021-02-05

(71)【出願人】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】100104765

【弁理士】

【氏名又は名称】江上 達夫

(72)【発明者】

【氏名】白石 雅之

(72)【発明者】

【氏名】倉島 高広

(72)【発明者】

【氏名】小笠原 麦

(57)【要約】      （修正有）

【課題】物体を適切に加工可能な加工システムを提供する。
【解決手段】表面に溝構造９が形成されたタービンブレード等の羽根部材であって、溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、複数の第１溝構造は、第１方向に延びるように形成されており、複数の第２溝構造は、第１方向とは異なる第２方向に延びるように形成されており、第３溝構造は、第１及び第２方向とは異なる第３方向に沿って延び、且つ、一の第１溝構造と一の第２溝構造との間に形成されている。
【選択図】図１３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面に溝構造が形成された羽根部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びるように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、前記第１方向とは異なる第２方向に延びるように形成されており、
前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向とは異なる第３方向に沿って延び、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
羽根部材。

【請求項2】

前記第１方向に沿って延びる第１の軸と前記第３方向に沿って延びる第３の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第１の角度、及び、前記第２方向に沿って延びる第２の軸と前記第３の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第２の角度のそれぞれは、前記第１の軸と前記第２の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第３の角度よりも大きい
請求項１に記載の羽根部材。

【請求項3】

前記第１の角度と前記第２の角度の和は、前記第３の角度に１８０°を加算した角度となる
請求項２に記載の羽根部材。

【請求項4】

前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも二つは、前記第３方向に沿って延びている
請求項１から３のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項5】

前記複数の第１溝構造は、互いに平行であり、
前記複数の第２溝構造は、互いに平行である
請求項１から４のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項6】

前記複数の第３溝構造の配列ピッチは、前記第３方向における位置に関わらず一定である
請求項４に記載の羽根部材。

【請求項7】

前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも一つは、前記第３方向に沿って延びており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも他の一つは、前記第３方向と異なる第４方向に沿って延びている
請求項１から３のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項8】

前記複数の第１溝構造の配列ピッチと、前記複数の第２溝構造の配列ピットとは異なる
請求項１から７のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項9】

前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造の少なくとも二つに接続される複数の第１溝構造のうちの二つの配列ピッチと、前記複数の第３溝構造の少なくとも二つに接続される前記複数の第２溝構造のうちの二つの配列ピッチとが異なる請求項１から３及び７から８のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項10】

前記複数の第３溝構造の配列ピッチは、位置に応じて変化する
請求項７又は９に記載の羽根部材。

【請求項11】

前記複数の第１溝構造、前記複数の第２溝構造及び第３溝構造のうちの隣り合う二つの間には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの構造が含まれる
請求項１から１０のいずれか一項記載の羽根部材。

【請求項12】

表面に溝構造が形成された羽根部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って前記第１の配列ピッチとは異なる第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
羽根部材。

【請求項13】

前記一の第１溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第１溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第１溝構造と前記第３溝構造とが接続されており、
前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第２溝構造と前記第３溝構造とが接続されている
請求項１２に記載の羽根部材。

【請求項14】

前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも一つは、前記第３方向に沿って延びており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも他の一つは、前記第３方向と異なる第４方向に沿って延びている
請求項１２又は１３に記載の羽根部材。

【請求項15】

前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に応じて変化する
請求項１２から１４のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項16】

前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
請求項１２から１５のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項17】

前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に交差する方向に沿って延びる
請求項１２から１６のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項18】

前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に平行な方向に沿って延びる
請求項１２から１７のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項19】

前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に応じて変化する
請求項１２から１８のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項20】

前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
請求項１２から１９のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項21】

表面に溝構造が形成された羽根部材であって、
第１方向に延びる溝構造が形成された第１領域と、
前記溝構造が形成されていない第２領域と、
前記第１領域と前記第２領域との間に位置し、且つ、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造が形成された第３領域と
を備え、
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる
羽根部材。

【請求項22】

前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、連続的に浅くなる
請求項２１に記載の羽根部材。

【請求項23】

前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、段階的に浅くなる
請求項２１又は２２に記載の羽根部材。

【請求項24】

前記第１領域の端部における前記溝構造の深さは、前記第１領域の端部に接続される前記第３領域の端部における前記溝構造の深さと同じである
請求項２１から２３のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項25】

前記第２領域に接続される前記第３領域の端部の高さは、前記第３領域に接続される前記第２領域の端部の高さと同じである
請求項２１から２４のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項26】

前記第１領域には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む前記溝構造が形成されている
請求項２１から２５のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項27】

前記第３領域の少なくとも一部には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む前記溝構造が形成されている
請求項２１から２６のいずれか一項に記載の羽根部材。

【請求項28】

前記溝の深さは、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの頂点に対する前記溝の底の位置を表す
請求項２６又は２７に記載の羽根部材。

【請求項29】

表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びるように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びるように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に沿って延び、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。

【請求項30】

前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうち少なくとも二つが延びる方向は、互いに平行である
請求項２９に記載の構造部材。

【請求項31】

前記第１方向は、前記第２方向と同じである
請求項２９又は３０に記載の構造部材。

【請求項32】

前記第１溝構造の配列ピッチは、前記第２溝構造の配列ピッチと同じである
請求項２９から３１のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項33】

前記第１方向は、前記表面のうち前記複数の第１溝構造が形成される第１領域における流線の延びる方向であり、
前記第２方向は、前記表面のうち前記複数の第２溝構造が形成される第２領域における流線の延びる方向である
請求項２９から３２のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項34】

前記複数の第１溝構造、前記複数の第２溝構造及び第３溝構造のうちの隣り合う二つの間には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの構造が含まれる
請求項２９から３３のいずれか一項記載の構造部材。

【請求項35】

表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。

【請求項36】

表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延び、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。

【請求項37】

前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造の端部と前記第３溝構造の端部とは、前記第２方向に交差する方向に沿って同じ位置に位置する
請求項３６に記載の構造部材。

【請求項38】

前記一の第２溝構造は、前記第２方向に沿って直線状に延びる
請求項３６又は３７に記載の構造部材。

【請求項39】

前記第３の波形状の振幅は、前記第３溝構造が前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界に近づくにつれて小さくなる
請求項３６から３８のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項40】

前記一の第１溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第１溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第１溝構造と前記第３溝構造とが接続されており、
前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第２溝構造と前記第３溝構造とが接続されている
請求項３９に記載の構造部材。

【請求項41】

前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に応じて変化する
請求項３５に記載の構造部材。

【請求項42】

前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
請求項３５から４１のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項43】

前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に応じて変化する
請求項３５から４２のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項44】

前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
請求項３５に記載の構造部材。

【請求項45】

前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に交差する方向に沿って延びる
請求項３５から４４のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項46】

前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に平行な方向に沿って延びる
請求項３５から４５のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項47】

表面に溝構造が形成された構造部材であって、
第１方向に延びる溝構造が形成された第１領域と、
前記溝構造が形成されていない第２領域と、
前記第１領域と前記第２領域との間に位置し、且つ、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造が形成された第３領域と
を備え、
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる
構造部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば、タービンブレード等の羽根部材及び構造部材の技術分野に関する。

【背景技術】

【0002】

羽根部材及び構造部材の一例として、タービンに用いられるタービンブレードがあげられる。例えば、特許文献１には、表面に溝構造が形成されたタービンブレードが記載されている。このような羽根部材及び構造部材では、適切な溝構造を表面に形成することが要求される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】欧州特許第２２８３１６９号

【発明の概要】

【0004】

第１の態様によれば、表面に溝構造が形成された羽根部材であって、前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びるように形成されており、前記複数の第２溝構造は、前記第１方向とは異なる第２方向に延びるように形成されており、前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向とは異なる第３方向に沿って延び、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている羽根部材が提供される。

【0005】

第２の態様によれば、表面に溝構造が形成された羽根部材であって、前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って前記第１の配列ピッチとは異なる第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている羽根部材が提供される。

【0006】

第３の態様によれば、表面に溝構造が形成された羽根部材であって、第１方向に延びる溝構造が形成された第１領域と、前記溝構造が形成されていない第２領域と、前記第１領域と前記第２領域との間に位置し、且つ、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造が形成された第３領域とを備え、前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる羽根部材が提供される。

【0007】

第４の態様によれば、表面に溝構造が形成された構造部材であって、前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びるように形成されており、前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びるように形成されており、前記第３溝構造は、第３方向に沿って延び、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている構造部材が提供される。

【0008】

第５の態様によれば、表面に溝構造が形成された構造部材であって、前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている構造部材が提供される。

【0009】

第６の態様によれば、表面に溝構造が形成された構造部材であって、前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、前記複数の第２溝構造は、第２方向に延び、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている構造部材が提供される。

【0010】

第７の態様によれば、表面に溝構造が形成された構造部材であって、第１方向に延びる溝構造が形成された第１領域と、前記溝構造が形成されていない第２領域と、前記第１領域と前記第２領域との間に位置し、且つ、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造が形成された第３領域とを備え、前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる構造部材が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、本実施形態の加工システムの全体構造を模式的に示す断面図である。

【図2】図２は、本実施形態の加工システムのシステム構成を示すシステム構成図である。

【図3】図３は、タービンの外観を示す斜視図である。

【図4】図４は、タービンブレードの外観を示す斜視図である。

【図5】図５は、タービンブレードの外観を示す斜視図である。

【図6】図６（ａ）は、リブレット構造を示す斜視図であり、図６（ｂ）は、リブレット構造を示す断面図（図６（ａ）のＶＩ－ＶＩ’断面図）であり、図６（ｃ）は、リブレット構造を示す上面図である。

【図7】図７は、タービンブレードの表面における流線の一例を模式的に示す平面図である。

【図8】図８は、流線に関する情報に基づいて形成されたリブレット構造の一例を模式的に示す平面図である。

【図9】図９は、流線に関する情報に基づいてリブレット構造を形成する動作の一例の流れを示すフローチャートである。

【図10】図１０は、流線情報の一例を模式的に示す。

【図11】図１１は、ピッチ情報の一例を模式的に示す。

【図12】図１２は、リブレットラインを模式的に示す。

【図13】図１３は、リブレット構造が形成されたタービンブレードを示す平面図である。

【図14】図１４は、リブレット構造が形成されたタービンブレードを示す平面図である。

【図15】図１５は、リブレット構造が形成されたタービンブレードを示す平面図である。

【図16】図１６は、ウェイビー溝構造を備えるリブレット構造を模式的に示す平面図である。

【図17】図１７は、ウェイビー溝構造を備えるリブレット構造を模式的に示す平面図である。

【図18】図１８は、ウェイビー溝構造を備えるリブレット構造を模式的に示す平面図である。

【図19】図１９は、ウェイビー溝構造を備えるリブレット構造を模式的に示す平面図である。

【図20】図２０（ａ）は、終端処理が施された溝構造を含むリブレット構造を示す斜視図であり、図２０（ｂ）は、終端処理が施された溝構造を含むリブレット構造を示す断面図である。

【図21】図２１（ａ）は、溝構造の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＢ－Ｂ’断面図）であり、図２１（ｂ）は、溝構造の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＣ－Ｃ’断面図）である。

【図22】図２２（ａ）は、溝構造の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＢ－Ｂ’断面図）であり、図２２（ｂ）は、溝構造の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＣ－Ｃ’断面図）である。

【図23】図２３は、形成領域に対する加工光の照射回数を示す。

【図24】図２４は、形成領域における照射領域の移動速度を示す。

【図25】図２５は、形成領域における加工光の強度を示す。

【図26】図２６は、溝構造を含まないリブレット構造を示す断面図である。

【図27】図２７は、終端処理が施された溝構造の他の例を含むリブレット構造を示す断面図である。

【図28】図２８は、終端処理が施された溝構造の他の例を含むリブレット構造を示す断面図である。

【図29】図２９は、終端処理が施された溝構造の他の例を含むリブレット構造を示す断面図である。

【図30】図３０は、終端処理が施された溝構造の他の例を含むリブレット構造を示す断面図である。

【図31】図３１は、終端処理が施された溝構造の他の例を含むリブレット構造を示す断面図である。

【図32】図３２は、修正前のリブレット情報が示すリブレット構造と、修正後のリブレット情報が示すリブレット構造とを示す断面図である。

【図33】図３３は、修正前のリブレット情報が示すリブレット構造と、修正後のリブレット情報が示すリブレット構造とを示す断面図である。

【図34】図３４は、修正前のリブレット情報が示すリブレット構造と、修正後のリブレット情報が示すリブレット構造とを示す断面図である。

【図35】図３５は、修正前のリブレット情報が示すリブレット構造と、修正後のリブレット情報が示すリブレット構造とを示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照しながら、羽根部材、構造部材、加工システム及び加工方法の実施形態について説明する。以下では、加工光ＥＬを用いた加工処理を行う加工システムＳＹＳを用いて、羽根部材、構造部材、加工システム及び加工方法の実施形態を説明する。但し、本発明が以下に説明する実施形態に限定されることはない。

【0013】

また、以下の説明では、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸から定義されるＸＹＺ直交座標系を用いて、加工システムＳＹＳを構成する各種構成要素の位置関係について説明する。尚、以下の説明では、説明の便宜上、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれが水平方向（つまり、水平面内の所定方向）であり、Ｚ軸方向が鉛直方向（つまり、水平面に直交する方向であり、実質的には上下方向）であるものとする。また、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸周りの回転方向（言い換えれば、傾斜方向）を、それぞれ、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向と称する。ここで、Ｚ軸方向を重力方向としてもよい。また、ＸＹ平面を水平方向としてもよい。

【0014】

（１）加工システムＳＹＳの構造
初めに、図１及び図２を参照しながら、本実施形態の加工システムＳＹＳの構造について説明する。図１は、本実施形態の加工システムＳＹＳの構造を模式的に示す断面図である。図２は、本実施形態の加工システムＳＹＳのシステム構成を示すシステム構成図である。

【0015】

図１及び図２に示すように、加工システムＳＹＳは、加工装置１と、加工光源２と、制御装置３とを備えている。加工装置１の少なくとも一部は、筐体４の内部空間に収容されている。筐体４の内部空間は、窒素ガス等のパージガスでパージされていてもよいし、パージガスでパージされていなくてもよい。筐体４の内部空間は、真空引きされてもよいし、真空引きされていなくてもよい。但し、加工装置１は、筐体４の内部空間に収容されていなくてもよい。つまり加工システムＳＹＳは、加工装置１を収容する筐体４を備えていなくてもよい。

【0016】

加工装置１は、制御装置３の制御下で、加工対象物（母材と称されてもよい）であるワークＷを加工可能である。ワークＷは、例えば、金属であってもよいし、合金（例えば、ジュラルミン等）であってもよいし、半導体（例えば、シリコン）であってもよいし、樹脂であってもよいし、ＣＦＲＰ（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃ）等の複合材料であってもよいし、塗料（一例として基材に塗布された塗料層）であってもよいし、ガラスであってもよいし、それ以外の任意の材料から構成される物体であってもよい。

【0017】

ワークＷの表面は、ワークＷとは異なる材質の膜でコーティングされていてもよい。この場合、ワークＷの表面にコーティングされた膜の表面が、加工装置１によって加工される面であってもよい。この場合であっても、加工装置１は、ワークＷを加工する（つまり、膜でコーティングされたワークＷを加工する）とみなしてもよい。

【0018】

加工装置１は、ワークＷ（例えば、上述したタービンブレードＢＬ）を加工するために、ワークＷに対して加工光ＥＬを照射する。加工光ＥＬは、ワークＷに照射されることでワークＷを加工可能である限りは、どのような種類の光であってもよい。本実施形態では、加工光ＥＬがレーザ光である例を用いて説明を進めるが、加工光ＥＬは、レーザ光とは異なる種類の光であってもよい。更に、加工光ＥＬの波長は、ワークＷに照射されることでワークＷを加工可能である限りは、どのような波長であってもよい。例えば、加工光ＥＬは、可視光であってもよいし、不可視光（例えば、赤外光、紫外光及び極端紫外光等の少なくとも一つ）であってもよい。加工光ＥＬは、パルス光（例えば、発光時間がピコ秒以下のパルス光）を含んでいてもよい。或いは、加工光ＥＬは、パルス光を含んでいなくてもよい。言い換えると、加工光ＥＬは、連続光であってもよい。

【0019】

加工装置１は、ワークＷに加工光ＥＬを照射することでワークＷの一部を除去する除去加工を行ってもよい。本実施形態では、加工装置１は、除去加工を行うことで、後に図６を参照しながら詳述するリブレット構造ＲＢをワークＷの表面に形成する。リブレット構造ＲＢは、ワークＷの表面の流体に対する抵抗（特に、摩擦抵抗及び乱流摩擦抵抗の少なくとも一方）を低減可能な構造を含んでいてもよい。リブレット構造ＲＢは、流体がワークＷの表面に対して相対的に移動するときに発生する騒音を低減可能な構造を含んでいてもよい。尚、ここでいう「流体」とは、ワークＷの表面に対して流れている媒質（例えば、気体及び液体の少なくとも一方）を意味する。例えば、媒質自体が静止している状況下でワークＷの表面が媒質に対して移動する場合には、この媒質を流体と称してもよい。尚、媒質が静止している状態は、所定の基準物（例えば、地表面）に対して媒質が移動していない状態を意味していてもよい。

【0020】

リブレット構造ＲＢが形成されるワークＷの一例として、タービンブレードＢＬがあげられる。この場合、加工装置１は、タービンブレードＢＬを加工することで、タービンブレードＢＬの表面にリブレット構造ＲＢを形成してもよい。タービンブレードＢＬは、流体機械の一例であるタービンＴに用いられる部材である。具体的には、タービンブレードＢＬは、タービンＴの羽根を構成するブレード状の部材である。つまり、タービンブレードＢＬは、タービンＴの羽根を構成する構造体である。このため、タービンブレードＢＬは、羽根部材又は構造部材と称されてもよい。タービンＴの一例が図３及び図４に示されている。図３は、タービンＴの外観を示す斜視図である。図４は、タービンブレードＢＬの外観を示す斜視図である。図３及び図４に示すように、タービンＴは、複数のタービンブレードＢＬを備えている。タービンブレードＢＬは、シャンク９１と、シャンク９１に結合され且つシャンク９１からタービンＴの半径方向外側に延びるブレード本体９２とを含む。シャンク９１及びブレード本体９２の少なくとも一方は、単一の金属から構成されていてもよい。シャンク９１及びブレード本体９２の少なくとも一方は、複数の金属から構成されていてもよい。シャンク９１及びブレード本体９２の少なくとも一方は、既存の製造方法（例えば、鋳造、鍛造、付加加工、除去加工及び機械加工のうちの少なくとも一つを用いた製造方法）によって製造されてもよい。シャンク９１及びブレード本体９２が一体的に製造されていてもよい。或いは、別々に製造されたシャンク９１及びブレード本体９２が、既存の結合方法（例えば、溶接、ロウ付け及び接着等の少なくとも一つを用いた結合方法）によって結合されてもよい。複数のタービンブレードＢＬがそれぞれ備える複数のシャンク９１は、互いに結合されていてもよい。結合された複数のシャンク９１は、回転可能なロータＲＴの少なくとも一部を構成していてもよい。ロータＲＴとタービンブレードＢＬとは、一体的に形成されていてもよい。

【0021】

ブレード本体９２は、シャンク９１のプラットフォーム９１１から、タービンＴの半径方向外側に延びる。プラットフォーム９１１は、正圧側プラットフォーム９１１１と、負圧側プラットフォーム９１１２とを含む。ブレード本体９２は、正圧面９２１と、正圧面９２１とは反対側を向いた負圧面９２２と、シャンク９１に結合される根本部９２３と、根本部９２３とは反対側の端部を構成する先端部９２４とを含む。ブレード本体９２は更に、正圧面９２１と負圧面９２２との間に位置する前縁面９２５と、前縁面９２５とは反対側において正圧面９２１と負圧面９２２との間に位置する後縁面９２６とを含む。正圧面９２１、負圧面９２２、前縁面９２５及び後縁面９２６のうちの少なくとも一つの表面は、曲面を含んでいてもよい。例えば、図４に示す例では、少なくとも正圧面９２１及び負圧面９２２のそれぞれの表面は、曲面を含んでいる。

【0022】

タービンＴは、タービンＴに供給される流体の流れを用いて回転可能である。具体的には、タービンＴには、流体（例えば、水、蒸気、空気及びガスの少なくとも一つ）が供給される。タービンＴに供給された流体は、複数のタービンブレードＢＬのそれぞれの表面に沿って流れる。このため、タービンブレードＢＬは、流体中で用いられる。その結果、流体の運動エネルギーは、複数のタービンブレードＢＬによって、タービンＴの回転エネルギーに変換される。このようなタービンＴの一例として、流体として蒸気を用いる蒸気タービン及び流体としてガスを用いるガスタービンの少なくとも一方があげられる。このようなタービンＴの他の一例として、流体として水を用いる水力タービン及び流体として空気を用いる浮力タービンの少なくとも一方があげられる。また、タービンＴは、その回転によって流体の流れを生成するものであってもよい。

【0023】

尚、図３及び図４に示すタービンＴは、軸流型のタービンブレードＢＬを備えている。つまり、図３及び図４に示すタービンＴは、軸流タービンである。しかしながら、タービンＴは、図５に示すように、半径流タービン（つまり、ラジアルタービン）であってもよい。半径流タービンでは、図５において矢印Ｆ１及びＦ２で示すように、流体は、タービンブレードＢＬの回転軸１２０に対して平行にタービンブレードＢＬに侵入し、出口部分１６０から、回転軸１２０と交差する方向に流出する。

【0024】

以下の説明では、説明の便宜上、ワークＷがタービンブレードＢＬである例について説明する。但し、ワークＷがタービンブレードＢＬに限定されることはない。つまり、リブレット構造ＲＢは、タービンブレードＢＬとは異なるワークＷに形成されてもよい。リブレット構造ＲＢが形成されるワークＷの他の一例として、媒質（例えば、流体）に対して相対的に移動する任意の部材があげられる。例えば、ワークＷは、ファン又はプロペラの少なくとも一部（例えば、ファン又はプロペラの羽根を構成する部材）であってもよい。ファンは、送風機等に用いられ、気体の流れを形成する部材（典型的には、回転体）である。プロペラは、例えば、エンジン及びモータの少なくとも一方を含む原動機から出力される回転力を、飛行機及び船舶等の少なくとも一つを含む移動体の推進力に変換する部材（典型的には、回転体）である。例えば、ワークＷは、インペラーの少なくとも一部（例えば、ファン又はプロペラの羽根を構成する部材）であってもよい。インペラーは、例えば、ポンプに用いられる部材であって、ポンプが流体を送り出す（或いは、吸い出す）力を発生させるように回転可能な羽根車である。例えば、ワークＷは、インペラーの周囲に配置される静止した分離板の少なくとも一部であってもよい。例えば、ワークＷは、飛行機及び船舶等の少なくとも一つを含む移動体の筐体（例えば、機体又は船体）の少なくとも一部であってもよい。例えば、ワークＷは、飛行機等の飛翔体の翼部分（いわゆる、ウイング）の少なくとも一部であってもよい。

【0025】

ワークＷは、ケーシングを含んでいてもよい。つまり、リブレット構造ＲＢは、ケーシングの少なくとも一部に形成されていてもよい。例えば、ケーシングが、タービンＴに用いられる場合には、リブレット構造ＲＢは、タービンブレードＢＬ（つまり、可動翼）を収容する収容空間及び流体が流れる通路のうちの少なくとも一つに面するケーシングの内壁面の少なくとも一部に形成されていてもよい。例えば、ケーシングが、ポンプに用いられる場合には、リブレット構造ＲＢは、インペラーを収容する収容空間及び流体が流れる通路のうちの少なくとも一つに面するケーシングの内壁面の少なくとも一部に形成されていてもよい。例えば、ケーシングが、空調機（例えば、空調機を構成する室内機及び室外機の少なくとも一つ）のファンを収容するために用いられる場合には、リブレット構造ＲＢは、ファンを収容する収容空間、流体（例えば、冷媒）が流れる通路、及び、空調機の通風路のうちの少なくとも一つに面するケーシングの内壁面の少なくとも一部に形成されていてもよい。

【0026】

ワークＷは、風力発電に用いられる風車の羽根（つまり、ブレード）であってもよい。つまり、リブレット構造ＲＢは、風車の羽根に形成されていてもよい。特に、リブレット構造ＲＢは、環境負荷の低いクリーンエネルギー（或いは、自然エネルギー又は再生可能エネルギー）を得るための風車の羽根に形成されてもよい。この場合、エネルギー効率の向上を図ることができる。

【0027】

或いは、加工装置１は、除去加工に加えて又は代えて、ワークＷに加工光ＥＬを照射することでワークＷに新たな構造物を付加する付加加工を行ってもよい。この場合、加工装置１は、付加加工を行うことで、上述したリブレット構造ＲＢをワークＷの表面に形成してもよい。或いは、加工装置１は、除去加工及び付加加工の少なくとも一方に加えて又は代えて、ワークＷに工具を接触させることでワークＷを加工する機械加工を行ってもよい。この場合、加工装置１は、機械加工を行うことで、上述したリブレット構造ＲＢをワークＷの表面に形成してもよい。

【0028】

加工光ＥＬは、加工光ＥＬを生成する加工光源２から、不図示の光伝搬部材（例えば、光ファイバ及びミラーの少なくとも一方）を介して加工装置１に供給される。加工装置１は、加工光源２から供給される加工光ＥＬを、ワークＷに照射する。

【0029】

ワークＷを加工するために、加工装置１は、加工ヘッド１１と、ヘッド駆動系１２と、ステージ１３と、ステージ駆動系１４とを備える。

【0030】

加工ヘッド１は、加工光源２からの加工光ＥＬをワークＷに照射する。加工光ＥＬをワークＷに照射するために、加工ヘッド１１は、加工光学系１１１を備える。加工ヘッド１１は、加工光学系１１１を介して、加工光ＥＬをワークＷに照射する。加工光学系１１１は、例えば、ワークＷの表面に加工光ＥＬを集光してもよい。加工光学系１１１は、例えば、加工光ＥＬの光学特性を制御してもよい。加工光ＥＬの光学特性の一例として、加工光ＥＬの強度、加工光ＥＬの強度の経時的変化、加工光ＥＬの集光位置、ワークＷに対する加工光ＥＬの入射角度、加工光学系１１１の光軸に交差する光学面内での加工光ＥＬの形状、当該光学面内での加工光ＥＬの強度分布、及び加工光のパルス数（但し、加工光がパルス光である場合）の少なくとも一つがあげられる。

【0031】

ヘッド駆動系１２は、制御装置３の制御下で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の少なくとも一つに沿って加工ヘッド１１を移動させる。尚、ヘッド駆動系１２は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の少なくとも一つに加えて又は代えて、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿って加工ヘッド１１を移動させてもよい。加工ヘッド１１が移動すると、ステージ１３（更には、ステージ１３に載置されたワークＷ）と加工ヘッド１１との位置関係が変わる。更には、ステージ１３及びワークＷと加工ヘッド１１との位置関係が変わると、ワークＷ上での加工光ＥＬの照射位置が変わる。

【0032】

ステージ１３上には、ワークＷが載置される。ステージ１３は、ステージ１３に載置されたワークＷを保持しなくてもよい。つまり、ステージ１３は、ステージ１３に載置されたワークＷに対して、当該ワークＷを保持するための保持力を加えなくてもよい。或いは、ステージ１３は、ステージ１３に載置されたワークＷを保持してもよい。つまり、ステージ１３は、ステージ１３に載置されたワークＷに対して、当該ワークＷを保持するための保持力を加えてもよい。例えば、ステージ１３は、ワークＷを真空吸着及び／又は静電吸着することで、ワークＷを保持してもよい。

【0033】

ステージ駆動系１４は、制御装置３の制御下で、ステージ１３を移動させる。具体的には、ステージ駆動系１４は、加工ヘッド１１に対してステージ１３を移動させる。例えば、ステージ駆動系１４は、制御装置３の制御下で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿ってステージ１３を移動させてもよい。尚、ステージ１３をθＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿って移動させることは、ステージ１３（更には、ステージ１３に載置されたワークＷ）のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの廻りの姿勢を変更することと等価であるとみなしてもよい。或いは、ステージ１３をθＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿って移動させることは、ステージ１３をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの廻りに回転（又は回転移動）させることと等価であるとみなしてもよい。

【0034】

ステージ１３が移動すると、ステージ１３（更には、ステージ１３に載置されたワークＷ）と加工ヘッド１１との位置関係が変わる。更には、ステージ１３及びワークＷと加工ヘッド１１との位置関係が変わると、ワークＷ上での加工光ＥＬの照射位置が変わる。

【0035】

制御装置３は、加工システムＳＹＳの動作を制御する。例えば、制御装置３は、ワークＷを加工するための加工制御情報を生成すると共に、生成した加工制御情報に従ってワークＷが加工されるように、加工制御情報に基づいて、加工装置１を制御してもよい。つまり、制御装置３は、ワークＷの加工を制御してもよい。

【0036】

制御装置３は、例えば、演算装置と記憶装置とを含んでいてもよい。演算装置は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）及びＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ））の少なくとも一方を含んでいてもよい。制御装置３は、演算装置がコンピュータプログラムを実行することで、加工システムＳＹＳの動作を制御する装置として機能する。このコンピュータプログラムは、制御装置３が行うべき後述する動作を制御装置３（例えば、演算装置）に行わせる（つまり、実行させる）ためのコンピュータプログラムである。つまり、このコンピュータプログラムは、加工システムＳＹＳに後述する動作を行わせるように制御装置３を機能させるためのコンピュータプログラムである。演算装置が実行するコンピュータプログラムは、制御装置３が備える記憶装置（つまり、記録媒体）に記録されていてもよいし、制御装置３に内蔵された又は制御装置３に外付け可能な任意の記憶媒体（例えば、ハードディスクや半導体メモリ）に記録されていてもよい。或いは、演算装置は、実行するべきコンピュータプログラムを、ネットワークインタフェースを介して、制御装置３の外部の装置からダウンロードしてもよい。

【0037】

制御装置３は、加工システムＳＹＳの内部に設けられていなくてもよい。例えば、制御装置３は、加工システムＳＹＳ外にサーバ等として設けられていてもよい。この場合、制御装置３と加工システムＳＹＳとは、有線及び／又は無線のネットワーク（或いは、データバス及び／又は通信回線）で接続されていてもよい。有線のネットワークとして、例えばＩＥＥＥ１３９４、ＲＳ－２３２ｘ、ＲＳ－４２２、ＲＳ－４２３、ＲＳ－４８５及びＵＳＢの少なくとも一つに代表されるシリアルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、パラレルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、１０ＢＡＳＥ－Ｔ、１００ＢＡＳＥ－ＴＸ及び１０００ＢＡＳＥ－Ｔの少なくとも一つに代表されるイーサネット（登録商標）に準拠したインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、電波を用いたネットワークが用いられてもよい。電波を用いたネットワークの一例として、ＩＥＥＥ８０２．１ｘに準拠したネットワーク（例えば、無線ＬＡＮ及びＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）の少なくとも一方）があげられる。無線のネットワークとして、赤外線を用いたネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、光通信を用いたネットワークが用いられてもよい。この場合、制御装置３と加工システムＳＹＳとはネットワークを介して各種の情報の送受信が可能となるように構成されていてもよい。また、制御装置３は、ネットワークを介して加工システムＳＹＳにコマンドや制御パラメータ等の情報を送信可能であってもよい。加工システムＳＹＳは、制御装置３からのコマンドや制御パラメータ等の情報を、上記ネットワークを介して受信する受信装置を備えていてもよい。或いは、制御装置３が行う処理のうちの一部を行う第１制御装置が加工システムＳＹＳの内部に設けられている一方で、制御装置３が行う処理のうちの他の一部を行う第２制御装置が加工システムＳＹＳの外部に設けられていてもよい。

【0038】

尚、演算装置が実行するコンピュータプログラムを記録する記録媒体としては、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ、ＣＤ－ＲＷやフレキシブルディスク、ＭＯ、ＤＶＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＡＭ、ＤＶＤ－Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ－ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ及びＢｌｕ－ｒａｙ（登録商標）等の光ディスク、磁気テープ等の磁気媒体、光磁気ディスク、ＵＳＢメモリ等の半導体メモリ、及び、その他プログラムを格納可能な任意の媒体の少なくとも一つが用いられてもよい。記録媒体には、コンピュータプログラムを記録可能な機器（例えば、コンピュータプログラムがソフトウェア及びファームウェア等の少なくとも一方の形態で実行可能な状態に実装された汎用機器又は専用機器）が含まれていてもよい。更に、コンピュータプログラムに含まれる各処理や機能は、制御装置３（つまり、コンピュータ）がコンピュータプログラムを実行することで制御装置３内に実現される論理的な処理ブロックによって実現されてもよいし、制御装置３が備える所定のゲートアレイ（ＦＰＧＡ、ＡＳＩＣ）等のハードウェアによって実現されてもよいし、論理的な処理ブロックとハードウェアの一部の要素を実現する部分的ハードウェアモジュールとが混在する形式で実現してもよい。

【0039】

（２）リブレット構造ＲＢ
続いて、図６（ａ）から図６（ｃ）を参照しながら、加工システムＳＹＳによってワークＷに形成されるリブレット構造ＲＢについて説明する。図６（ａ）は、リブレット構造ＲＢを示す斜視図であり、図６（ｂ）は、リブレット構造ＲＢを示す断面図（図６（ａ）のＶＩ－ＶＩ’断面図）であり、図６（ｃ）は、リブレット構造ＲＢを示す上面図である。尚、以下では、ワークＷの一具体例であるタービンブレードＢＬに形成されるリブレット構造ＲＢについて説明する。但し、タービンブレードＢＬとは異なるワークＷに形成されるリブレット構造ＲＢも、以下に説明する構造を有していてもよい。

【0040】

図６（ａ）から図６（ｃ）に示すように、リブレット構造ＲＢは、タービンブレードＢＬの表面に沿った第１の方向に沿って延びる溝が、タービンブレードＢＬの表面に沿っており且つ第１の方向に交差する第２方向に沿って複数配列された構造を含んでいてもよい。つまり、リブレット構造ＲＢは、第１の方向に沿って延びるように形成される溝構造９が、第２方向に沿って並んだ構造を含んでいてもよい。図６（ａ）から図６（ｃ）に示す例では、リブレット構造ＲＢは、Ｘ軸方向に沿って延びる溝構造９が、Ｙ軸方向に沿って複数配列された構造を含んでいる。

【0041】

溝構造９は、溝構造９が延びる方向及び溝構造９が配列される方向の双方に交差する方向に沿って窪んだ構造である。溝構造９は、タービンブレードＢＬの表面から窪んだ構造である。図６（ａ）から図６（ｃ）に示す例では、溝構造９は、Ｚ軸方向に沿って窪んだ構造である。

【0042】

隣り合う溝構造９の間には、周囲と比較して突き出た山構造８が形成される。このため、リブレット構造ＲＢは、タービンブレードＢＬの表面に沿った第１の方向に沿って延び且つタービンブレードＢＬの表面に沿っており且つ第１の方向に交差する第２方向に沿って配列された複数の山構造８を含んでいてもよい。つまり、リブレット構造ＲＢは、第１の方向に沿って延びるように形成される山構造８が、第２方向に沿って並んだ構造を含んでいてもよい。山構造８は、山構造８が延びる方向及び山構造８が配列される方向の双方に交差する方向に沿って突き出た構造である。山構造８は、タービンブレードＢＬの表面から突き出た構造である。図６（ａ）から図６（ｃ）に示す例では、山構造８は、Ｚ軸方向に沿って突き出た構造である。尚、山構造８は、タービンブレードＢＬの表面に対して突起となる突起形状の構造を含んでいてもよい。山構造８は、タービンブレードＢＬの表面に対して凸となる凸形状の構造を含んでいてもよい。山構造８は、タービンブレードＢＬの表面に対して山となる山形状の構造を含んでいてもよい。

【0043】

尚、山構造８は、溝構造９から突き出た構造であるとみなしてもよい。山構造８は、隣り合う二つの溝構造９の間に、突起形状の構造、凸形状の構造及び山形状の構造の少なくとも一つを形成する構造であるとみなしてもよい。溝構造９は、山構造８から窪んだ構造であるとみなしてもよい。溝構造９は、隣り合う二つの山構造８の間に、溝形状の構造を形成する構造であるとみなしてもよい。

【0044】

上述したように、本実施形態の加工システムＳＹＳは、除去加工を行うことでリブレット構造ＲＢを形成する。このため、加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬのうち溝構造９が形成される部分を除去する除去加工を行うことで、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。つまり、加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬのうち山構造８が形成される部分を残すようにタービンブレードＢＬの一部を除去する除去加工を行うことで、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬの表面のうちの溝構造９が形成される部分に加工光ＥＬが照射されるように、タービンブレードＢＬに加工光ＥＬを照射してもよい。具体的には、加工システムＳＹＳは、溝構造９が延びるＸ軸方向に沿って加工光ＥＬが照射される照射領域ＥＡ（図１参照）を移動させながらタービンブレードＢＬの表面に加工光ＥＬを照射するスキャン動作と、タービンブレードＢＬの表面に加工光ＥＬを照射することなく溝構造９が並ぶＹ軸に沿って加工光ＥＬの照射領域ＥＡを移動させるステップ動作とを繰り返すことで、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。この場合、加工システムＳＹＳは、溝構造９を形成することでリブレット構造ＲＢを形成している（つまり、山構造８を形成している）とも言える。

【0045】

（３）リブレット構造ＲＢを形成する動作の具体例
続いて、リブレット構造ＲＢを形成する動作の具体例について説明する。

【0046】

（３－１）リブレット構造ＲＢを形成する動作の第１具体例
第１具体例では、加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬの流線に関する情報に基づいてリブレット構造ＲＢを形成してもよい。例えば、図７は、タービンブレードＢＬの表面における流線の一例を模式的に示す平面図である。尚、本実施形態における流線は、タービンブレードＢＬ（つまり、ワークＷ）の表面に対して流体が流れている状況下での、タービンブレードＢＬの表面の各部における流体の速度ベクトルを接線とする曲線を意味していてもよい。つまり、本実施形態における流線は、タービンブレードＢＬ（つまり、ワークＷ）の表面における流れ場の速度ベクトルを接線とする曲線を意味していてもよい。

【0047】

第１具体例では、加工システムＳＹＳは、このようなタービンブレードＢＬの流線に関する情報に基づいて、タービンブレードＢＬの表面にリブレット構造ＲＢを形成してもよい。例えば、図８は、流線に関する情報に基づいて形成されたリブレット構造ＲＢの一例を模式的に示す平面図である。図８に示すように、加工システムＳＹＳは、複数の溝構造９のうちの少なくとも一つが、流線に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、ある一つの溝構造９の少なくとも一部が、流線に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、複数の山構造８のうちの少なくとも一つが、流線に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、ある一つの山構造８の少なくとも一部が、流線に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、複数の溝構造９のうちの少なくとも一つが、流線に基づいて定まる方向に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、ある一つの溝構造９の少なくとも一部が、流線に基づいて定まる方向に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、複数の山構造８のうちの少なくとも一つが流線に基づいて定まる方向に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、ある一つの山構造８の少なくとも一部が、流線に基づいて定まる方向に沿って延びるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。

【0048】

以下、図９を参照しながら、流線に関する情報に基づいてリブレット構造ＲＢを形成する動作の一例について説明する。図９は、流線に関する情報に基づいてリブレット構造ＲＢを形成する動作の一例の流れを示すフローチャートである。

【0049】

図９に示すように、制御装置３は、流線に関する情報（以降、“流線情報”と称する）を取得する（ステップＳ１０１）。流線情報は、流線の方向（つまり、流れ場の速度ベクトルの方向）を示す情報を含んでいてもよい。例えば、図１０は、流線情報の一例を模式的に示す。図１０に示すように、流線情報は、タービンブレードＢＬの表面上の各位置における流線の方向を示す情報を含んでいてもよい。特に、流線情報は、タービンブレードＢＬの表面上の複数位置（つまり、少なくとも二つの位置）のそれぞれにおける流線の方向を示す情報を含んでいてもよい。例えば、図１０に示すように、流線情報は、タービンブレードＢＬの表面上の第１位置Ｐ１１における流線の方向を示す情報と、タービンブレードＢＬの表面上の第２位置Ｐ１２における流線の方向を示す情報とを含んでいてもよい。但し、流線情報は、流線の方向を示す情報に加えて又は代えて、流線に関する任意の情報を含んでいてもよい。

【0050】

例えば、制御装置３が備える記憶装置に流線情報が記憶されている場合には、制御装置３は、記憶装置に記憶された流線情報を読み出してもよい。例えば、制御装置３は、加工システムＳＹＳが備える不図示の記録媒体読み出し装置を用いて、加工システムＳＹＳに外付け可能な記録媒体から、流線情報を取得してもよい。例えば、制御装置３は、加工システムＳＹＳが備える通信装置を用いて、通信ネットワークを介して加工システムＳＹＳと通信可能な加工システムＳＹＳの外部の装置から、流線情報を取得（つまり、ダウンロード）してもよい。

【0051】

制御装置３は、流線情報を生成することで、流線情報を取得してもよい。具体的には、例えば、制御装置３は、タービンブレードＢＬの３次元モデルを示すモデル情報と、タービンブレードＢＬの表面を流れる流体の特性に関する特性情報とに基づいて、流体の粘性に起因してタービンブレードＢＬの表面に作用するせん断応力（例えば、壁面せん断応力）を算出してもよい。その後、制御装置３は、算出した壁面せん断応力に基づいて、タービンブレードＢＬの表面上の各位置における流線を算出してもよい。

【0052】

再び図９において、御装置３は、流線情報に加えて、溝構造９の配列ピッチに関するピッチ情報を取得する（ステップＳ１０２）。溝構造９の配列ピッチは、隣り合う二つの溝構造９の間の間隔に相当する。尚、上述したように、隣り合う二つの溝構造９の間に山構造８が形成されているがゆえに、溝構造９の配列ピッチは、実質的には、山構造８の配列ピッチと等価であるとみなしてもよい。山構造８の配列ピッチは、隣り合う二つの山構造８の間の間隔に相当する。

【0053】

図１１は、ピッチ情報の一例を模式的に示す。図１１に示すように、ピッチ情報は、タービンブレードＢＬの表面上の各位置における配列ピッチを示す情報を含んでいてもよい。特に、ピッチ情報は、タービンブレードＢＬの表面上の複数位置（つまり、少なくとも二つの位置）のそれぞれにおける配列ピッチを示す情報を含んでいてもよい。例えば、図１１に示すように、ピッチ情報は、タービンブレードＢＬの表面上の第１位置Ｐ１１における配列ピッチを示す情報と、タービンブレードＢＬの表面上の第２位置Ｐ１２における配列ピッチを示す情報と、タービンブレードＢＬの表面上の第３位置Ｐ１３における配列ピッチを示す情報と、タービンブレードＢＬの表面上の第４位置Ｐ１４における配列ピッチを示す情報とを含んでいてもよい。例えば、図１１に示す例では、ピッチ情報は、タービンブレードＢＬの表面上の第１位置Ｐ１１における配列ピッチが、６０マイクロメートルであり、タービンブレードＢＬの表面上の第２位置Ｐ１２における配列ピッチが、６０マイクロメートルであり、タービンブレードＢＬの表面上の第３位置Ｐ１３における配列ピッチが、７０マイクロメートルであり、タービンブレードＢＬの表面上の第３位置Ｐ１３における配列ピッチが、１１０マイクロメートルであることを示している。

【0054】

例えば、制御装置３が備える記憶装置にピッチ情報が記憶されている場合には、制御装置３は、記憶装置に記憶されたピッチ情報を読み出してもよい。例えば、制御装置３は、加工システムＳＹＳが備える不図示の記録媒体読み出し装置を用いて、加工システムＳＹＳに外付け可能な記録媒体から、ピッチ情報を取得してもよい。例えば、制御装置３は、加工システムＳＹＳが備える通信装置を用いて、通信ネットワークを介して加工システムＳＹＳと通信可能な加工システムＳＹＳの外部の装置から、ピッチ情報を取得（つまり、ダウンロード）してもよい。

【0055】

制御装置３は、ピッチ情報を生成することで、ピッチ情報を取得してもよい。具体的には、例えば、制御装置３は、タービンブレードＢＬの３次元モデルを示すモデル情報と、タービンブレードＢＬの表面を流れる流体の特性に関する特性情報とに基づいて、タービンブレードＢＬＷの表面の流体に対する抵抗（特に、摩擦抵抗及び乱流摩擦抵抗の少なくとも一方）を低減可能な適切な配列ピッチを算出してもよい。

【0056】

再び図９において、その後、制御装置３は、タービンブレードＢＬの表面において溝構造９が形成される位置を設定する（つまり、決定する又は算出する）（ステップＳ１０３）。上述したように、溝構造９は、タービンブレードＢＬの表面上で線状に延びる。このため、制御装置３は、溝構造９が形成される位置として、溝構造９が延びる軌跡を表す線を設定してもよい。以下の説明では、説明の便宜上、溝構造９が延びる軌跡を表す線を、“リブレットラインＲＬ”と称する。

【0057】

尚、上述したように、隣り合う二つの溝構造９の間に山構造８が形成されているがゆえに、溝構造９が形成される位置は、実質的には、山構造８が形成されている位置を間接的に示しているとみなしてもよい。このため、リブレットラインＲＬは、山構造８が延びる軌跡を表す線であってもよい。制御装置３は、溝構造９が延びる軌跡を表す線であるリブレットラインＲＬに加えて又は代えて、山構造８が延びる軌跡を表す線であるリブレットラインＲＬを設定してもよい。尚、以下では、説明の便宜上、溝構造９が延びる軌跡を表す線であるリブレットラインＲＬについて説明する。しかしながら、以下の説明は、「溝構造９」という文言を「山構造８」という文言に置き換えることで、山構造８が延びる軌跡を表す線に相当するリブレットラインＲＬに関する説明として利用可能である。

【0058】

制御装置３は、ステップＳ１０１において取得された流線情報と、ステップＳ１０２において取得されたピッチ情報とに基づいて、リブレットラインＲＬを設定する。具体的には、制御装置３は、流線情報に基づいて、タービンブレードＢＬの表面の各位置における流線の方向を特定する。更に、制御装置３は、ピッチ情報に基づいて、タービンブレードＢＬの表面の各位置に形成される溝構造９の配列ピッチを特定する。その後、制御装置３は、特定した流線の方向に沿って延び、且つ、特定した流線の方向に交差する方向に沿って、特定した配列ピッチで互いに平行に並ぶ複数のリブレットラインＲＬを、タービンブレードＢＬの表面上の各位置に設定する。つまり、制御装置３は、タービンブレードＢＬの表面上の各位置において、複数のリブレットラインＲＬの延びる方向が、流線情報が示す流線の方向と一致し、且つ、リブレットラインＲＬの配列ピッチが、ピッチ情報が示す配列ピッチと一致するように、互いに平行な複数のリブレットラインＲＬを設定する。

【0059】

具体的には、リブレットラインＲＬを模式的に示す図１２に示すように、制御装置３は、タービンブレードＢＬの表面上の第１位置Ｐ１１において、複数のリブレットラインＲＬの延びる方向が、流線情報が示す第１位置Ｐ１１における流線の方向と一致し、且つ、リブレットラインＲＬの配列ピッチが、ピッチ情報が示す第１位置Ｐ１１における配列ピッチと一致するように、互いに平行な複数のリブレットラインＲＬを設定する。例えば、制御装置３は、第１位置Ｐ１１を含むタービンブレードＢＬの表面上の領域において、複数のリブレットラインＲＬの延びる方向が、流線情報が示す第１位置Ｐ１１における流線の方向と一致し、且つ、リブレットラインＲＬの配列ピッチが、ピッチ情報が示す第１位置Ｐ１１における配列ピッチと一致するように、互いに平行な複数のリブレットラインＲＬを設定してもよい。同様に、制御装置３は、タービンブレードＢＬの表面上の第２位置Ｐ１２において、複数のリブレットラインＲＬの延びる方向が、流線情報が示す第２位置Ｐ１２における流線の方向と一致し、且つ、リブレットラインＲＬの配列ピッチが、ピッチ情報が示す第２位置Ｐ１２における配列ピッチと一致するように、互いに平行な複数のリブレットラインＲＬを設定する。例えば、制御装置３は、第２位置Ｐ１２を含むタービンブレードＢＬの表面上の領域において、複数のリブレットラインＲＬの延びる方向が、流線情報が示す第２位置Ｐ１２における流線の方向と一致し、且つ、リブレットラインＲＬの配列ピッチが、ピッチ情報が示す第２位置Ｐ１２における配列ピッチと一致するように、互いに平行な複数のリブレットラインＲＬを設定してもよい。但し、制御装置３は、互いに平行でない（つまり、非平行な）少なくとも二つのリブレットラインＲＬを含む複数のリブレットラインＲＬを設定してもよい。

【0060】

制御装置３は、リブレットラインＲＬを構成する線分のサイズ（具体的には、リブレットラインＲＬの延伸方向におけるリブレットラインＲＬの線分のサイズであり、実質的には、長さ）が、溝構造９の配列ピッチ（つまり、リブレットラインＲＬの配列ピッチ）よりも大きくなるように、リブレットラインＲＬを設定してもよい。制御装置３は、リブレットラインＲＬを構成する線分の長さが、溝構造９の配列ピッチ（つまり、リブレットラインＲＬの配列ピッチ）の数倍から数十倍となるように、リブレットラインＲＬを設定してもよい。一例として、溝構造９の配列ピッチが数十マイクロメートルである場合には、制御装置３は、リブレットラインＲＬを構成する線分の長さが数百マイクロメートルから数ミリメートルとなるように、リブレットラインＲＬを設定してもよい。

【0061】

上述したように、タービンブレードＢＬの表面上の各位置には、流線情報が示す各位置の流線の方向に沿って延びる複数の線分からそれぞれ構成され、且つ、ピッチ情報が示す各位置の配列ピッチで並ぶ複数のリブレットラインＲＬが設定される。このため、制御装置３は、タービンブレードＢＬの表面上の各位置において、ピッチ情報が示す各位置の配列ピッチよりも長く且つ流線情報が示す各位置の流線の方向に沿って延びる線分から構成されるリブレットラインＲＬを設定してもよい。例えば、制御装置３は、タービンブレードＢＬの表面上の第１位置Ｐ１１において、ピッチ情報が示す第１位置Ｐ１１の配列ピッチよりも長く且つ流線情報が示す第１位置Ｐ１１の流線の方向に沿って延びる線分から構成されるリブレットラインＲＬを設定してもよい。例えば、制御装置３は、タービンブレードＢＬの表面上の第２位置Ｐ１２において、ピッチ情報が示す第２位置Ｐ１２の配列ピッチよりも長く且つ流線情報が示す第２位置Ｐ１２の流線の方向に沿って延びる線分から構成されるリブレットラインＲＬを設定してもよい。

【0062】

タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内における流線の方向は、第１領域に隣接するタービンブレードＢＬの表面上の第２領域内における流線の方向と一致するとは限らない。このため、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬが延びる方向は、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に設定されたリブレットラインＲＬが延びる方向と一致するとは限らない。図１２は、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域（図１２に示す例では、第１位置Ｐ１１を含む領域）に設定されたリブレットラインＲＬが延びる方向が、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域（図１２に示す例では、第２位置Ｐ１２を含む領域）内に設定されたリブレットラインＲＬが延びる方向と異なる例を示している。つまり、図１２は、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬが、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に設定されたリブレットラインＲＬとが平行でない例を示している。但し、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬが延びる方向が、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に設定されたリブレットラインＲＬが延びる方向と一致していてもよい。つまり、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬと、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬとが平行であってもよい。

【0063】

タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に形成される溝構造９の配列ピッチは、第１領域に隣接するタービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に形成される溝構造９の配列ピッチと一致するとは限らない。このため、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬの配列ピッチは、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に設定されたリブレットラインＲＬの配列ピッチと一致するとは限らない。図１２は、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬの配列ピッチが、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に設定されたリブレットラインＲＬの配列ピッチと異なる例を示している。この場合、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定された複数のリブレットラインＲＬのうちの少なくとも一つは、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に設定された複数のリブレットラインＲＬのいずれにもつながっていなくてもよい。但し、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に設定されたリブレットラインＲＬの配列ピッチが、タービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に設定されたリブレットラインＲＬの配列ピッチと一致していてもよい。

【0064】

その後、制御装置３は、ステップＳ１０３において設定されたリブレットラインＲＬに沿って延びる溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを形成するように加工装置１を制御するための加工制御情報を生成する（ステップＳ１０４）。加工制御情報は、例えば、ワークＷの表面での加工光ＥＬの照射領域ＥＡのワークＷに対する相対的な移動軌跡を示す加工パス情報を含んでいてもよい。その後、制御装置３は、ステップＳ１０４で生成された加工制御情報に基づいて、設定したリブレットラインＲＬに沿って延びるリブレット構造ＲＢを形成するように加工装置１を制御する（ステップＳ１０５）。つまり、加工装置１は、ステップＳ１０４で生成された加工制御情報に基づいて、設定したリブレットラインＲＬに沿って延びるリブレット構造ＲＢを形成するように、タービンブレードＢＬ（つまり、ワークＷ）を加工する（ステップＳ１０５）。その結果、リブレット構造ＲＢが形成されたタービンブレードＢＬを示す平面図である図１３に示すように、設定されたリブレットラインＲＬに沿って延びるリブレット構造ＲＢが形成される。つまり、設定されたリブレットラインＲＬが延びる方向に沿って延び且つ設定されたリブレットラインＲＬの配列ピッチと同じ配列ピッチで並ぶ複数の溝構造９を含むリブレット構造ＲＢが形成される。

【0065】

図１３に示す例では、第１位置Ｐ１１を含むタービンブレードＢＬの表面上の領域において、流線情報が示す第１位置Ｐ１１における流線の方向に沿って延び且つピッチ情報が示す第１位置Ｐ１１における配列ピッチで並ぶ複数の溝構造９が形成されている。更に、第２位置Ｐ１２を含むタービンブレードＢＬの表面上の領域（つまり、第１位置Ｐ１１を含む領域に隣接する領域）において、流線情報が示す第２位置Ｐ１２における流線の方向に沿って延び且つピッチ情報が示す第２位置Ｐ１２における配列ピッチで並ぶ複数の溝構造９が形成されている。尚、以降の説明では、第１位置Ｐ１１に形成される溝構造９を、“溝構造９＃１”と称し、第２位置Ｐ１２に形成される溝構造９を、“溝構造９＃２”と称する。

【0066】

加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に形成される複数の溝構造９のうちの少なくとも一つが、第１領域に隣接するタービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に形成される複数の溝構造９のうちの少なくとも一つに滑らかに接続されるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。具体的には、加工システムＳＹＳは、第１領域内に形成される第１の溝構造９と、第２領域内に形成される第２の溝構造９とを接続する第３の溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。つまり、加工システムＳＹＳは、第１領域内に形成される第１の溝構造９と第２領域内に形成される第２の溝構造９との間に、一の溝構造９及び第２の溝構造と共に一連の溝構造９を構成する第３の溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。尚、以降の説明では、隣り合う二つの領域にそれぞれ形成される第１及び第２の溝構造９を接続するための第３の溝構造９を、“溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔ”と称する。例えば、図１３に示すように、加工システムＳＹＳは、溝構造９＃１と溝構造９＃２とを接続する溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔを含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。

【0067】

溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向は、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが接続する二つの溝構造９が延びる方向とは異なっていてもよい。例えば、図１３に示すように、加工システムＳＹＳは、溝構造９＃１と、溝構造９＃１が延びる方向と異なる方向に沿って延びる溝構造９＃２と、溝構造９＃１及び９＃２が延びる方向とは異なる方向に沿って延びる溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとを含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、溝構造９＃１と、溝構造９＃１が延びる方向と同じ方向に沿って延びる溝構造９＃２と、溝構造９＃１及び９＃２が延びる方向とは異なる方向に沿って延びる溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとを含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。但し、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向は、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが接続する二つの溝構造９のうちの少なくとも一方が延びる方向と同一であってもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、溝構造９＃１と、溝構造９＃１が延びる方向と同じ又は異なる方向に沿って延びる溝構造９＃２と、溝構造９＃１及び９＃２の少なくとも一方が延びる方向と同じ方向に沿って延びる溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとを含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。

【0068】

加工システムＳＹＳは、以下に説明する角度条件を満たす溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔを形成してもよい。溝構造９＃１と溝構造９＃２とを接続する溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが満たしていてもよい角度条件について説明する。角度条件は、溝構造９＃１と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとがなす角度θ１と、溝構造９＃２と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとがなす角度θ２と、溝構造９＃１と溝構造９＃２とがなす角度θ３とに関する条件を含んでいてもよい。角度θ１は、溝構造９＃１が延びる方向に沿った軸と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿った軸とがなす角度であってもよい。角度θ１は、溝構造９＃１と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとがなす二つの角度（例えば、９０度以上となる角度及び９０度以下となる角度）のうちの大きい方の角度（例えば、９０度以上となる角度）であってもよい。角度θ２は、溝構造９＃２が延びる方向に沿った軸と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿った軸とがなす角度であってもよい。角度θ２は、溝構造９＃２と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとがなす二つの角度（例えば、９０度以上となる角度及び９０度以下となる角度）のうちの大きい方の角度（例えば、９０度以上となる角度）であってもよい。角度θ３は、溝構造９＃１が延びる方向に沿った軸と溝構造９＃２が延びる方向に沿った軸とがなす角度であってもよい。角度θ３は、溝構造９＃１と溝構造９＃２とがなす二つの角度（例えば、９０度以上となる角度及び９０度以下となる角度）のうちの大きい方の角度（例えば、９０度以上となる角度）であってもよい。この場合、角度条件は、角度θ１及びθ２のそれぞれが、角度θ３よりも大きくなるという条件を含んでいてもよい。角度条件は、角度θ１及びθ２の和が、角度θ３に１８０度を加算した角度となるという条件を含んでいてもよい。

【0069】

加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に形成される複数の第１の溝構造９のうちの少なくとも一つが、第１領域に隣接するタービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に形成される複数の第２の溝構造９のいずれにも接続されないように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、第１領域内に形成される複数の第１の溝構造９のうちの少なくとも一つが、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔに接続されないように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。例えば、図１４に示すように、加工システムＳＹＳは、複数の溝構造９＃１のうちの少なくとも一つが、複数の溝構造９＃２のいずれにも接続されない（特に、溝構造９＃１と溝構造９＃２との境界、つまり、第１領域と第２領域との境界付近において接続されない）ように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。加工システムＳＹＳは、複数の溝構造９＃１のうちの少なくとも一つが、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔに接続されないように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。

【0070】

但し、加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に形成される複数の第１の溝構造９が、第１領域に隣接するタービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に形成される複数の第２の溝構造９にそれぞれ接続されるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。つまり、加工システムＳＹＳは、第１の溝構造９と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとが１対１で対応し、且つ、第２の溝構造９と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとが１対１で対応するように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。

【0071】

加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に形成される複数の第１の溝構造９の配列ピッチが、第１領域に隣接するタービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に形成される複数の第２の溝構造９の配列ピッチと異なるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。例えば、図１５に示すように、加工システムＳＹＳは、複数の溝構造９＃１の配列ピッチＰＴ１＃１が、複数の溝構造９＃２の配列ピッチＰＴ１＃２とは異なるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。この場合、図１５に示すように、複数の第１の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃１）と複数の第２の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃２）とをそれぞれ接続する複数の溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔのうちの少なくとも二つは、互いに平行でなくてもよい（つまり、非平行であってもよい）。つまり、複数の第１の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃１）と複数の第２の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃２）とをそれぞれ接続する複数の溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔのうちの少なくとも二つは、互いに異なる方向（つまり、一の方向及び一の方向と異なる若しくは交差する他の方向）に延びていてもよい。典型的には、複数の第１の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃１）と複数の第２の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃２）とをそれぞれ接続する複数の溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔは、互いに平行でなくてもよい（つまり、非平行であってもよい）。つまり、複数の第１の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃１）と複数の第２の溝構造９（例えば、図１５における複数の溝構造９＃２）とをそれぞれ接続する複数の溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔは、互いに異なる方向に延びていてもよい。この場合、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔの配列ピッチ（例えば、図１５に示す配列ピッチＰＴ１＿ｃｏｎｎｅｃｔ）は、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向（図１５に示す例では、Ｙ軸方向）における位置に応じて変化してもよい。一例として、図１５に示すように、複数の溝構造９＃１の配列ピッチＰＴ１＃１が、複数の溝構造９＃２の配列ピッチＰＴ１＃２よりも大きい場合には、第１領域において、第１領域と第２領域との境界に近づくにつれて溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔの配列ピッチが徐々に小さくなり、第２領域において、第１領域と第２領域との境界から離れるにつれて溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔの配列ピッチが徐々に小さくなっていてもよい。他の一例として、図示しないものの、、複数の溝構造９＃１の配列ピッチＰＴ１＃１が、複数の溝構造９＃２の配列ピッチＰＴ１＃２よりも小さい場合には、第１領域において、第１領域と第２領域との境界に近づくにつれて溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔの配列ピッチが徐々に大きくなり、第２領域において、第１領域と第２領域との境界から離れるにつれて溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔの配列ピッチが徐々に大きくなっていてもよい。

【0072】

但し、加工システムＳＹＳは、タービンブレードＢＬの表面上の第１領域内に形成される複数の第１の溝構造９の配列ピッチが、第１領域に隣接するタービンブレードＢＬの表面上の第２領域内に形成される複数の第２の溝構造９の配列ピッチと同一になるように、リブレット構造ＲＢを形成してもよい。この場合、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔの配列ピッチ（例えば、図１５に示す配列ピッチＰＴ１＿ｃｏｎｎｅｃｔ）は、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向（図１５に示す例では、Ｙ軸方向）における位置に関わらずに一定となっていてもよい。 尚、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが形成される場合には、制御装置３は、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔに対応するリブレットラインＲＬを予め設定してもよい。例えば、制御装置３は、図１２に示すリブレットラインＲＬに代えて、第１領域に設定されるリブレットラインＲＬと、第１領域に隣接する第２領域に設定される複数のリブレットラインＲＬのうちの少なくとも一つに滑らかに接続されるように、リブレットラインＲＬを設定してもよい。例えば、制御装置３は、図１２に示すリブレットラインＲＬに代えて、隣り合う二つの領域にそれぞれ設定される二つのリブレットラインＲＬを接続するための別のリブレットラインＲＬ（具体的には、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔを形成するためのリブレットラインＲＬ）を設定してもよい。この場合、加工装置１は、制御装置３が生成したリブレットラインＲＬに基づいて、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔを形成してもよい。

【0073】

尚、タービンブレードＢＬ（或いは、任意のワークＷ）の表面は、曲面を含む場合がある。この場合、互いに平行な複数のリブレットラインＲＬに沿って延びる複数の溝構造９は、タービンブレードＢＬ（或いは、任意のワークＷ）の表面上で厳密に平行にはならない可能性がある。しかしながら、この場合であっても、互いに平行な複数のリブレットラインＲＬに沿って延びる複数の溝構造９は、タービンブレードＢＬ（或いは、任意のワークＷ）の表面上で互いに平行であるとみなしてもよい。或いは、タービンブレードＢＬの表面上を延びる複数の溝構造９を所定の平面に投影した（つまり、射影した）場合に所定の平面上で複数の溝構造９が互いに平行になる場合には、タービンブレードＢＬ（或いは、任意のワークＷ）の表面上に形成された複数のリブレットラインＲＬが互いに平行であるとみなしてもよい。

【0074】

このように、第１具体例では、加工システムＳＹＳは、流線情報に基づいてリブレット構造ＲＢを形成する。その結果、流線に基づいて定まる方向（典型的には、流線の方向）に沿って延びる溝構造９（更には、山構造８）を含むリブレット構造ＲＢが形成される。このため、ワークＷの表面の流体に対する抵抗を適切に低減可能なリブレット構造ＲＢが形成可能となる。

【0075】

特に、第１具体例では、互いに隣接する第１及び第２の溝構造９を接続する溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが形成される。このため、溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔが形成されない場合と比較して、第１及び第２の溝構造９と溝構造９＿ｃｏｎｎｅｃｔとから構成される一連の溝構造９がより滑らかに延びる。その結果、ワークＷの表面の流体に対する抵抗を適切に低減可能なリブレット構造ＲＢが形成可能となる。

【0076】

尚、上述した説明では、加工システムＳＹＳが備える制御装置３が、リブレットラインＲＬを設定している。しかしながら、加工システムＳＹＳの外部の情報処理装置が、リブレットラインＲＬを設定してもよい。つまり、加工システムＳＹＳの外部の情報処理装置が、図９のステップＳ１０１からステップＳ１０５までの動作を行ってもよい。この場合、制御装置３は、外部の情報処理装置からリブレットラインＲＬに関する情報を取得し、取得したリブレットラインＲＬに関する情報に基づいて加工制御情報を生成してもよい。或いは、外部の情報処理装置は、リブレットラインＲＬを設定し且つ加工制御情報を生成してもよい。つまり、加工システムＳＹＳの外部の情報処理装置が、図９のステップＳ１０１からステップＳ１０５までの動作を行ってもよい。この場合、制御装置３は、外部の情報処理装置から加工制御情報を取得し、取得した加工制御情報に基づいて加工装置１を制御してもよい。

【0077】

（３－２）リブレット構造ＲＢを形成する動作の第２具体例
続いて、第２具体例では、加工システムＳＹＳは、波形状の溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。つまり、加工システムＳＹＳは、形状が波形状となるように延びる溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。溝構造９の形状が波形状になる場合には、隣り合う二つの溝構造９の間に位置する山構造８もまた、形状が波形状となるように延びる。このため、加工システムＳＹＳは、波形状の山構造８（つまり、形状が波形状となるように延びる山構造８）を含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。このため、以下の説明は、「溝構造９」という文言を「山構造８」という文言に置き換えることで、形状が波形状となるように延びる山構造８に関する説明として利用可能である。また、以下の説明では、説明の便宜上、形状が波形状となるように延びる溝構造９を、“ウェイビー溝構造９ｗ”と称する。

【0078】

ウェイビー溝構造９ｗを含むリブレット構造ＲＢの一例が、図１６に示されている。図１６に示すように、ウェイビー溝構造９ｗは、ウェイビー溝構造９ｗが延びる第１方向（図１６に示す例では、Ｙ軸方向）及び複数のウェイビー溝構造９ｗが並ぶ第２方向（図１６に示す例では、Ｘ軸方向）を含む平面（図１６に示す例では、ＸＹ平面）上において、波形状の軌跡を描くように延びる溝構造９を意味していてもよい。ウェイビー溝構造９ｗは、複数のウェイビー溝構造９ｗが並ぶ第２方向に沿って揺動しながら第１方向に沿って延びる溝構造９であってもよい。ウェイビー溝構造９ｗは、形状が正弦波状となる溝構造９であってもよい。

【0079】

ウェイビー溝構造９ｗは、ウェイビー溝構造９ｗを拡大して示す図１７に示すように、ウェイビー溝構造９ｗが延びる第１方向に沿って延びる軸ＡＸと少なくとも３ケ所で交差していてもよい。図１７に示す例では、ウェイビー溝構造９ｗは、位置Ｐ２１、位置Ｐ２２及び位置Ｐ２３のそれぞれにおいて軸ＡＸと交差している。更に、位置Ｐ２１と位置Ｐ２２との間におけるウェイビー溝構造９ｗの位置Ｐ２４は、軸ＡＸの一の方向側（図１７に示す例では、－Ｘ側）に位置していてもよい。更に、位置Ｐ２２と位置Ｐ２３との間におけるウェイビー溝構造９ｗの位置Ｐ２５は、軸ＡＸの他の方向側（具体的には、一の方向と反対側であり、図１７に示す例では、＋Ｘ側）に位置していてもよい。

【0080】

リブレット構造ＲＢは、第１の配列ピッチで並ぶ複数のウェイビー溝構造９ｗと、第２の配列ピッチで並ぶ複数のウェイビー溝構造９ｗとを備えていてもよい。以下の説明では、説明の便宜上、第１の配列ピッチで並ぶ複数のウェイビー溝構造９ｗのそれぞれを、“ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ”と称し、第２の配列ピッチで並ぶ複数のウェイビー溝構造９ｗのそれぞれを、“ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂ”と称する。

【0081】

ウェイビー溝構造９ｗ＃ａは、図１７に示す条件を満たしていてもよい。つまり、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａが延びる方向に沿って延びる第１軸と第１位置、第２位置及び第３位置のそれぞれにおいて交差していてもよい。更に、第１位置と第２位置との間におけるウェイビー溝構造９ｗ＃ａの第４位置は、第１軸の第１方向側に位置していてもよい。更に、第２位置と第３位置との間におけるウェイビー溝構造９ｗ＃ａの第５位置は、第１軸の第２方向側（具体的には、第１方向と反対側）に位置していてもよい。

【0082】

ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂは、図１７に示す条件を満たしていてもよい。つまり、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂが延びる方向に沿って延びる第２軸と第６位置、第７位置及び第８位置のそれぞれにおいて交差していてもよい。更に、第６位置と第７位置との間におけるウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの第９位置は、第２軸の第３方向側に位置していてもよい。更に、第７位置と第８位置との間におけるウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの第１０位置は、第２軸の第４方向側（具体的には、第３方向と反対側）に位置していてもよい。

【0083】

リブレット構造ＲＢがウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び９ｗ＃ｂを備えている場合には、リブレット構造ＲＢは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａとウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとを接続するウェイビー溝構造９ｗを備えていてもよい。以下の説明では、説明の便宜上、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａとウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとを接続するウェイビー溝構造９ｗを、“ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ”と称する。ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔは、典型的には、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａとウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとの間に形成される。上述したようにリブレット構造ＲＢが複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとを備えている場合には、リブレット構造ＲＢは、複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとをそれぞれ接続する複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを備えていてもよい。つまり、リブレット構造ＲＢは、複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ａのうちの一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂのうちの一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとを接続する一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを複数備えていてもよい。

【0084】

ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔは、図１７に示す条件を満たしていてもよい。つまり、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔは、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿って延びる第３軸と第１１位置、第１２位置及び第１３位置のそれぞれにおいて交差していてもよい。更に、第１１位置と第１２位置との間におけるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの第１４位置は、第３軸の第５方向側に位置していてもよい。更に、第１２位置と第１３位置との間におけるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの第１５位置は、第３軸の第６方向側（具体的には、第５方向と反対側）に位置していてもよい。

【0085】

以下、図１８を参照しながら、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ、９ｗ＃ｂ及び９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを備えるリブレット構造ＲＢについて説明する。図１８は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ、９ｗ＃ｂ及び９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを備えるリブレット構造ＲＢを模式的に示す平面図である。尚、以下では、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの配列ピッチとウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの配列ピッチとが異なる場合に形成されるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔについて説明する。但し、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの配列ピッチとウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの配列ピッチとが同じ場合に形成されるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔについても同様のことが言える。

【0086】

図１８に示すように、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとを接続する一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの一方の端部は、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａの端部に接続される。この際、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとの境界ＢＤ＃ａにおいて、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが滑らかに接続されていてもよい。例えば、境界ＢＤ＃ａにおいて、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａの接線方向（つまり、接線が延びる方向）と一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの接線方向とが揃うように、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが接続されていてもよい。この場合、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａの接線方向と一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの接線方向とが揃っていない場合と比較して、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ａと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが滑らかに接続されているとみなしてもよい。

【0087】

更に、一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの他方の端部は、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの端部に接続される。この際、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとの境界ＢＤ＃ｂにおいて、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが滑らかに接続されていてもよい。例えば、境界ＢＤ＃ｂにおいて、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの接線方向と一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの接線方向とが揃うように、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが接続されていてもよい。この場合、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの接線方向と一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの接線方向とが揃っていない場合と比較して、一のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが滑らかに接続されているとみなしてもよい。

【0088】

複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔのうちの少なくとも一つは、当該少なくとも一つのウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが接続するウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び９ｗ＃ｂが延びる方向に交差する方向に沿って延びていてもよい。この場合、複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの全てが、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び９ｗ＃ｂが延びる方向に交差する方向に沿って延びていてもよい。或いは、複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔのうちの少なくとも一つは、当該少なくとも一つのウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが接続するウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び９ｗ＃ｂが延びる方向に平行な方向に沿って延びていてもよい。図１８に示す例では、リブレット構造ＲＢは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－１及び９ｗ＃ｂ－１を接続し且つウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－１及び９ｗ＃ｂ－１が延びる方向とは異なる方向に延びるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ－１と、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－２及び９ｗ＃ｂ－２を接続し且つウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－２及び９ｗ＃ｂ－２が延びる方向とは異なる方向に延びるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ－２と、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－３及び９ｗ＃ｂ－３を接続し且つウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－１及び９ｗ＃ｂ－１が延びる方向に平行な方向に延びるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ－３と、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－４及び９ｗ＃ｂ－４を接続し且つウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－４及び９ｗ＃ｂ－４が延びる方向とは異なる方向に延びるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ－４と、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－５及び９ｗ＃ｂ－５を接続し且つウェイビー溝構造９ｗ＃ａ－５及び９ｗ＃ｂ－５が延びる方向とは異なる方向に延びるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ－５とを備えている。

【0089】

複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔは、異なる方向に沿って延びる少なくとも二つのウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを含んでいてもよい。つまり、複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの少なくとも一つが、一の方向に沿って延び、複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの少なくとも他の一つが、一の方向とは異なる他の方向に沿って延びていてもよい。図１８に示す例では、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ－１から９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔ－５が延びる方向は互いに異なる。

【0090】

尚、図１８に示す例では、複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂは、同じ方向（図１８に示す例では、Ｙ軸方向）に沿って延びている。しかしながら、複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ａは、異なる方向に沿って延びる少なくとも二つのウェイビー溝構造９ｗ＃ａを含んでいてもよい。複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂは、異なる方向に沿って延びる少なくとも二つのウェイビー溝構造９ｗ＃ｂを含んでいてもよい。複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ａのうちの少なくとも一つは、複数のウェイビー溝構造９ｗ＃ｂのうちの少なくとも一つが延びる方向に交差する方向に沿って延びていてもよい。

【0091】

複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが異なる方向に沿って延びる少なくとも二つのウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを含む場合には、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの配列ピッチＰＴ２＿ｃｏｎｎｅｃｔは、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。但し、配列ピッチＰＴ２＿ｃｏｎｎｅｃｔは、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。この場合、典型的には、複数のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが同じ方向に沿って延びる。

【0092】

尚、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの配列ピッチＰＴ２＃ａは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。或いは、配列ピッチＰＴ２＃ａは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。また、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの配列ピッチＰＴ２＃ｂは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。或いは、配列ピッチＰＴ２＃ｂは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。

【0093】

ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅周期（つまり、波の周期）は、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅周期とウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅周期とが異なる場合には、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅周期は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅周期からウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅周期へと変化する（例えば、連続的に又は段階的に変化する）ように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿って変化してもよい。例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅周期とウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅周期とが異なる場合には、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅周期は、境界ＢＤ＃ａにおいてウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅周期がウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅周期に一致し、且つ、境界ＢＤ＃ｂにおいてウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅周期がウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅周期に一致するように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿って変化してもよい。或いは、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅周期は、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。

【0094】

尚、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅周期は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。或いは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅周期は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。また、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅周期は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。或いは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅周期は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。

【0095】

ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅（つまり、波の振れ幅）は、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅とウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅とが異なる場合には、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅からウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅へと変化する（例えば、連続的に又は段階的に変化する）ように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿って変化してもよい。例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅とウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅とが異なる場合には、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅は、境界ＢＤ＃ａにおいてウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅がウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅に一致し、且つ、境界ＢＤ＃ｂにおいてウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅がウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅に一致するように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿って変化してもよい。或いは、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅は、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。

【0096】

尚、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。或いは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａの振幅は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。また、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。或いは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂが延びる方向における位置に関わらず一定であってもよい。

【0097】

加工装置１は、制御装置３の制御下で、以下のようにウェイビー溝構造９ｗ＃ａ、９ｗ＃ｂ及び９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを備えるリブレット構造ＲＢを形成してもよい。具体的には、加工装置１は、まず、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａを形成してもよい。その後、加工装置１は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａに接続されるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを形成してもよい。この際、加工装置１は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａとウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが滑らかに接続されるように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの特性を調整しながらウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを形成してもよい。例えば、加工装置１は、境界ＢＤ＃ａにおいてウェイビー溝構造９ｗ＃ａの接線方向とウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの接線方向とが揃うように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの特性を調整しながらウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを形成してもよい。ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの特性は、例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅周期、振幅、位相及び長さのうちの少なくとも一つを含んでいてもよい。その後、加工装置１は、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔに接続されるウェイビー溝構造９ｗ＃ｂを形成してもよい。この際、加工装置１は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが滑らかに接続されるように、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの特性を調整しながらウェイビー溝構造９ｗ＃ｂを形成してもよい。例えば、加工装置１は、境界ＢＤ＃ｂにおいてウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの接線方向とウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの接線方向とが揃うように、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの特性を調整しながらウェイビー溝構造９ｗ＃ｂを形成してもよい。ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの特性は、例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの振幅周期、振幅、位相及び長さのうちの少なくとも一つを含んでいてもよい。

【0098】

このように、第２具体例では、加工システムＳＹＳは、ウェイビー溝構造９ｗを備えるリブレット構造ＲＢを形成する。特に、加工システムＳＹＳは、配列ピッチ等の特性が異なるウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び９ｗ＃ｂが滑らかに接続されるように、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び９ｗ＃ｂの間に形成されるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを備えるリブレット構造ＲＢを形成する。その結果、配列ピッチ等の特性が異なるウェイビー溝構造９ｗ＃ａ及び９ｗ＃ｂが直接（つまり、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを介することなく）接続される場合と比較して、より滑らかに延びるウェイビー溝構造９ｗが形成可能となる。このため、ワークＷの表面の流体に対する抵抗を適切に低減可能なリブレット構造ＲＢが形成可能となる。

【0099】

尚、上述した説明では、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａとウェイビー溝構造９ｗ＃ｂとを接続している。しかしながら、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔは、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａと、直線状に延びる（つまり、波形状でない）溝構造９とを接続してもよい。尚、以下の説明では、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔに接続される直線状に延びる溝構造９を、“非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂ”と称する。非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂは、波形状でないという点で、波形状であるウェイビー溝構造９ｗ＃ｂと異なる。非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂのその他の特徴は、ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂのその他の特徴と同一であってもよい。

【0100】

この場合も、ウェイビー溝構造９ｗ＃ａと非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂとを接続するウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔを示す図１９に示すように、一の非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとの境界ＢＤ＃ｂにおいて、一の非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが滑らかに接続されていてもよい。例えば、境界ＢＤ＃ｂにおいて、一の非ウェイビー溝構造９ｗ＃ｂの接線方向と一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの接線方向とが揃うように、一の非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂと一のウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔとが接続されていてもよい。

【0101】

非ウェイビー溝構造９ｎ＃ｂに接続されるウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅は、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向における位置に応じて変化してもよい。例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅は、境界ＢＤ＃ｂに近づくにつれて小さくなるように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿って変化してもよい。例えば、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅は、境界ＢＤ＃ｂにおいてウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔの振幅がゼロになるように、ウェイビー溝構造９ｗ＿ｃｏｎｎｅｃｔが延びる方向に沿って変化してもよい。

【0102】

（３－３）リブレット構造ＲＢを形成する動作の第３具体例
続いて、第３具体例では、加工システムＳＹＳは、終端処理が施された溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。以下、図２０（ａ）及び図２０（ｂ）を参照しながら、終端処理が施された溝構造９を含むリブレット構造ＲＢの一例について説明する。図２０（ａ）は、終端処理が施された溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを示す斜視図であり、図２０（ｂ）は、終端処理が施された溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを示す断面図（特に、図２０（ａ）のＡ－Ａ’断面図）である。

【0103】

図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示すように、終端処理が施された溝構造９は、溝構造９が延びる方向における位置に応じて溝の深さが変わる終端構造９３を含む溝構造９である。この場合、加工システムＳＹＳは、溝構造９が延びる方向における位置に応じて溝の深さが変わる終端構造９３を含む溝構造９を含むリブレット構造ＲＢを形成してもよい。このため、終端処理は、溝構造９の終端において、溝構造９が延びる方向における位置に応じて溝構造９の深さを変えるための処理を含んでいてもよい。尚、ここで言う「溝構造９の深さ（つまり、溝構造９が形成する溝の深さ）」は、山構造８の頂点に対する溝構造９の底の位置（図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示す例では、Ｚ軸方向における位置）を表していてもよい。

【0104】

具体的には、ワークＷは、リブレット構造ＲＢが形成される（つまり、溝構造９が形成される）形成領域Ｗ１と、リブレット構造ＲＢが形成されない（つまり、溝構造９が形成されない）非形成領域Ｗ２とを備えている。更に、形成領域Ｗ１は、溝構造９が延びる方向に沿って隣り合う形成領域Ｗ１１と形成領域Ｗ１２とを含む。形成領域Ｗ１１には、溝構造９の一部が形成される。以降、説明の便宜上、形成領域Ｗ１１に形成される溝構造９を、“溝構造９１”と称する。形成領域Ｗ１２は、溝構造９が延びる方向に沿って形成領域Ｗ１１と非形成領域Ｗ２との間に位置する。形成領域Ｗ１２には、形成領域Ｗ１１に形成される溝構造９の一部（つまり、溝構造９１）に繋がる溝構造９の他の一部が形成される。以降、説明の便宜上、形成領域Ｗ１２に形成される溝構造９を、“溝構造９２”と称する。

【0105】

加工システムＳＹＳは、形成領域Ｗ１２に形成される溝構造９２の深さを、溝構造９が延びる方向における位置に応じて変える。つまり、加工システムＳＹＳは、形成領域Ｗ１２に形成される溝構造９２の深さが、溝構造９が延びる方向における位置に応じて変わるように、形成領域Ｗ１２に溝構造９２を形成する。このため、溝構造９２が、上述した終端構造９３を構成していてもよい。

【0106】

本実施形態では特に、加工システムＳＹＳは、溝構造９２が延びる方向に沿って溝構造９２が形成領域Ｗ１１から非形成領域Ｗ２に近づくにつれて、溝構造９の深さが浅くなるように、溝構造９２の深さを変える。具体的には、加工システムＳＹＳは、第１位置における溝構造９２の深さよりも、第１位置よりも非形成領域Ｗ２に近い第２位置における溝構造９２の深さが浅くなるように、溝構造９２の深さを、溝構造９が延びる方向における位置に応じて変える。このため、終端処理は、溝構造９２が延びる方向に沿って溝構造９２が形成領域Ｗ１１から非形成領域Ｗ２に近づくにつれて溝構造９の深さを浅くする処理を含んでいてもよい。

【0107】

加工システムＳＹＳは、溝構造９１の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＢ－Ｂ’断面図）である図２１（ａ）及び溝構造９２の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＣ－Ｃ’断面図）である図２１（ｂ）に示すように、溝構造９２の幅ＷＤが溝構造９１の幅ＷＤよりも小さくなるように、溝構造９２を形成してもよい。この場合、加工システムＳＹＳは、溝構造９２の深さが浅くなるほど溝構造９２の幅ＷＤが小さくなるように、溝構造９２を形成してもよい。加工システムＳＹＳは、溝構造９２が延びる方向に沿って溝構造９２が形成領域Ｗ１１から非形成領域Ｗ２に近づくにつれて、溝構造９２の幅ＷＤが小さくなるように、溝構造９２を形成してもよい。或いは、加工システムＳＹＳは、溝構造９１の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＢ－Ｂ’断面図）である図２２（ａ）及び溝構造９２の断面を示す断面図（特に、図２０（ａ）のＣ－Ｃ’断面図）である図２２（ｂ）に示すように、溝構造９２の幅ＷＤが溝構造９１の幅ＷＤと同じになるように、溝構造９２を形成してもよい。この場合、加工システムＳＹＳは、溝構造９２の深さに関わらずに溝構造９２の幅ＷＤが一定になるように、溝構造９２を形成してもよい。加工システムＳＹＳは、溝構造９２が延びる方向における位置に関わらずに、溝構造９２の幅ＷＤが一定になるように、溝構造９２を形成してもよい。尚、ここでの「溝構造９１の幅ＷＤ」は、溝構造９１が延びる方向に交差する方向における溝構造９１のサイズ（つまり、複数の溝構造９１が並ぶ方向における溝構造９１のサイズ）を意味していてもよい。同様に、ここでの「溝構造９２の幅ＷＤ」は、溝構造９２が延びる方向に交差する方向における溝構造９２のサイズ（つまり、複数の溝構造９２が並ぶ方向における溝構造９２のサイズ）を意味していてもよい。

【0108】

一方で、加工システムＳＹＳは、非形成領域Ｗ２に近づくにつれて深さが浅くなる溝構造９１を、形成領域Ｗ１１に形成しなくてもよい。つまり、形成領域Ｗ１１に形成される溝構造９１の深さは、溝構造９１が非形成領域Ｗ２に近づくにつれて浅くならなくてもよい。この場合、加工システムＳＹＳは、形溝構造９１の深さを、溝構造９が延びる方向における位置に応じて変えなくてもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、溝構造９１の深さが、溝構造９が延びる方向における位置に関わらず一定となるように、溝構造９１を形成領域Ｗ１１に形成してもよい。

【0109】

形成領域Ｗ１１と形成領域Ｗ１２との境界ＢＤ３１において、溝構造９２と溝構造９１とが接続される。この際、境界ＢＤ３１において、溝構造９２の深さと溝構造９１の深さとが同じであってもよい。つまり、溝構造９が延びる方向において、形成領域Ｗ１１の端部に接続される形成領域Ｗ１２の端部における溝構造９２の深さは、形成領域Ｗ１２の端部に接続される形成領域Ｗ１１の端部における溝構造９１の深さと同じであってもよい。

【0110】

形成領域Ｗ１２と非形成領域Ｗ２との境界ＢＤ３２において、溝構造９２がなくなってもよい。つまり、加工システムＳＹＳは、境界ＢＤ３２において溝構造９２がなくなるように、形成領域Ｗ１２に溝構造９２を形成してもよい。この場合、境界ＢＤ３２において、形成領域Ｗ１２の高さと非形成領域Ｗ２の高さとが同じであってもよい。つまり、溝構造９が延びる方向において、非形成領域Ｗ２の端部に接続される形成領域Ｗ１２の端部の高さは、形成領域Ｗ１２の端部に接続される非形成領域Ｗ２の端部の高さと同じであってもよい。

【0111】

深さが変わる溝構造９２を形成するために、加工システムＳＹＳは、制御装置３の制御下で、加工光ＥＬの照射回数を制御してもよい。例えば、通常、加工システムＳＹＳは、一定の深さの溝構造９２を形成するために、ワークＷの同じ位置に加工光ＥＬを複数回照射する。具体的には、加工システムＳＹＳは、１回の加工光ＥＬの照射で厚みがｄとなる構造部分をワークＷから除去可能である場合には、深さがＤとなる溝構造９２を形成するために、ワークＷの同じ位置に加工光ＥＬをＤ／ｄ回照射する。この際、加工光ＥＬの照射回数が少なくなるほど、形成される溝構造９２の深さが浅くなる。このため、形成領域Ｗ１２に対する加工光ＥＬの照射回数を示す図２３に示すように、加工システムＳＹＳは、加工光ＥＬの照射位置が非形成領域Ｗ２に近づくほど、形成領域Ｗ１２に対する加工光ＥＬの照射回数が少なくなるように、形成領域Ｗ１２に加工光ＥＬを照射してもよい。つまり、加工システムＳＹＳは、加工光ＥＬがワークＷに照射されるたびに、形成領域Ｗ１２内で加工光ＥＬが照射される範囲が徐々に狭くなるように、形成領域Ｗ１２に加工光ＥＬを照射してもよい。加工システムＳＹＳは、加工光ＥＬがワークＷに照射されるたびに、形成領域Ｗ１２内で加工光ＥＬが照射される範囲の非形成領域Ｗ２側の端部が非形成領域Ｗ２から徐々に離れるように、形成領域Ｗ１２に加工光ＥＬを照射してもよい。

【0112】

深さが変わる溝構造９２を形成するために、加工システムＳＹＳは、制御装置３の制御下で、加工光ＥＬの照射領域ＥＡの移動速度（つまり、加工光ＥＬの走査速度）を制御してもよい。例えば、照射領域ＥＡの移動速度が速くなるほど、加工光ＥＬからワークＷに対して単位面積当たりに又は単位時間当たりに伝達されるエネルギー量が少なくなる。その結果、１回の加工光ＥＬの照射でワークＷから除去可能な構造部分の厚みが薄くなる。つまり、１回の加工光ＥＬの照射でワークＷに形成される溝構造９の深さが浅くなる。このため、形成領域Ｗ１２における照射領域ＥＡの移動速度を示す図２４に示すように、加工システムＳＹＳは、加工光ＥＬの照射位置が非形成領域Ｗ２に近づくほど、形成領域Ｗ１２における照射領域ＥＡの移動速度が速くなるように、形成領域Ｗ１２に加工光ＥＬを照射してもよい。

【0113】

深さが変わる溝構造９２を形成するために、加工システムＳＹＳは、制御装置３の制御下で、加工光ＥＬの強度を制御してもよい。例えば、加工光ＥＬの強度が低くなるほど、加工光ＥＬからワークＷに対して単位面積当たりに又は単位時間当たりに伝達されるエネルギー量が少なくなる。その結果、１回の加工光ＥＬの照射でワークＷから除去可能な構造部分の厚みが薄くなる。つまり、１回の加工光ＥＬの照射でワークＷに形成される溝構造９の深さが浅くなる。このため、形成領域Ｗ１２における加工光ＥＬの強度を示す図２５に示すように、加工システムＳＹＳは、加工光ＥＬの照射位置が非形成領域Ｗ２に近づくほど、形成領域Ｗ１２における加工光ＥＬの強度が低くなるように、形成領域Ｗ１２に加工光ＥＬを照射してもよい。

【0114】

このように深さが変わる溝構造９２を含むリブレット構造ＲＢが形成される場合には、以下に説明する技術的効果が享受可能である。まず、溝構造９２を含まないリブレット構造ＲＢが形成される比較例では、溝構造９２を含まないリブレット構造ＲＢを示す断面図である図２６に示すように、溝構造９に沿って流れる流体は、溝構造９が形成される形成領域Ｗ１（Ｗ１１）の端部において非形成領域Ｗ２が形成する壁（典型的には、流体の流れを遮るように立ち上がる壁）によって遮られる。このため、溝構造９に沿って流れる流体が、溝構造９からスムーズに排出されにくい。その結果、流体の流れが乱れるがゆえに、ワークＷの表面の流体に対する抵抗の低減効果が薄れる。一方で、深さが変わる溝構造９２を含むリブレット構造ＲＢが形成される本実施形態では、図２０（ｂ）に示すように、溝構造９に沿って流れる流体が、溝構造９の終端構造９３を構成する溝構造９２を介して溝構造９からスムーズに排出される。このため、本実施形態では、流体の流れが乱れにくい。その結果、本実施形態では、ワークＷの表面の流体に対する抵抗を適切に低減可能なリブレット構造ＲＢが形成可能となる。

【0115】

尚、図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示す例では、溝構造９２が非形成領域Ｗ１２に近づくにつれて溝構造９の深さの変化率が大きくなるように、溝構造９２の深さが変化している。しかしながら、図２７に示すように、溝構造９２が非形成領域Ｗ１２に近づくにつれて溝構造９の深さの変化率が小さくなるように、溝構造９２の深さが変化してもよい。或いは、図２８に示すように、溝構造９２の深さは、溝構造９２が延びる方向における位置に関わらずに一定であってもよい。

【0116】

また、図２０（ａ）から図２０（ｂ）及び図２７から図２８に示す例では、溝構造９２の深さは、溝構造９２が非形成領域Ｗ１２に近づくにつれて連続的に浅くなっている。しかしながら、図２９及び図３０に示すように、溝構造９２の深さは、溝構造９２が形成領域Ｗ１１から非形成領域Ｗ１２に近づくにつれて段階的に浅くなっていてもよい。この場合、図２９及び図３０に示すように、溝構造９２は、底面９２１と、側面９２２と、側面９２３とを含んでいてもよい。底面９２１は、溝構造９１の底面９１１と平行な面であってもよい。側面９２２は、図２９に示すように、底面９２１に対して傾斜する方向に沿って底面９２１の非形成領域Ｗ２側の端部から上方（図２９に示す例では、＋Ｚ側）に向かって延びる面であってもよい。或いは、側面９２２は、図３０に示すように、底面９２１に対して直交する方向に沿って底面９２１の非形成領域Ｗ２側の端部から上方（図３０に示す例では、＋Ｚ側）に向かって延びる面であってもよい。側面９２３は、図２９に示すように、底面９２１に対して傾斜する方向に沿って底面９２１の形成領域Ｗ１１側の端部から下方（図２９に示す例では、－Ｚ側）に向かって延びる面であってもよい。或いは、側面９２３は、図３０に示すように、底面９２１に対して直交する方向に沿って底面９２１の形成領域Ｗ１１側の端部から下方（図２９に示す例では、－Ｚ側）に向かって延びる面であってもよい。このように溝構造９２の深さが段階的に浅くなる場合であっても、溝構造９２の深さが連続的に浅くなっている場合と同様に、溝構造９２を含まないリブレット構造ＲＢが形成される比較例と比較すれば、ワークＷの表面の流体に対する抵抗を適切に低減可能なリブレット構造ＲＢが形成可能となる。

【0117】

但し、溝構造９２の深さが段階的に浅くなる場合には、上述したように、溝構造９を流れる流体の流れを遮る壁として機能する可能性がある側面９２２及び９２３が形成される。特に、側面９２２及び９２３が底面９２１に対して直交する方向に沿って延びる場合には、側面９２２及び９２３が溝構造９を流れる流体の流れを遮る壁として機能する可能性が相対的に高くなる。そこで、溝構造９２の深さが段階的に浅くなる場合には、図３１に示すように、側面９２２及び９２３の高さ（つまり、Ｚ軸方向におけるサイズ）が相対的に低くなるように、溝構造９２が形成されてもよい。つまり、溝構造９を流れる流体の流れを遮る壁（つまり、段差）の高さが相対的に低くなるように、溝構造９２が形成されてもよい。この場合、典型的には、側面９２２及び９２３が形成する段差が複数形成される（つまり、高さが低い段差が多数形成される）ように、溝構造９２が形成されてもよい。

【0118】

（４）変形例
（４－１）第１変形例
制御装置３は、ワークＷに形成するべきリブレット構造ＲＢに関するリブレット情報に基づいて、加工制御情報（例えば、加工パス情報）を生成してもよい。尚、リブレット構造ＲＢに関するリブレット情報は、例えば、リブレットラインＲＬに関する情報、溝構造９が延びる方向に関する情報、溝構造９のサイズ（例えば、溝の深さ及び幅の少なくとも一方）に関する情報、山構造８が延びる方向に関する情報、山構造８のサイズ（例えば、山の高さ及び幅の少なくとも一方）に関する情報、溝構造９の配列ピッチに関する情報及び山構造８の配列ピッチに関する情報のうちの少なくとも一つを含んでいてもよい。

【0119】

制御装置３は、加工システムＳＹＳの外部からリブレット情報を取得し、取得したリブレット情報に基づいて加工制御情報を生成してもよい。この際、制御装置３は、取得したリブレット情報を修正し、修正したリブレット情報に基づいて加工制御情報を生成してもよい。例えば、制御装置３は、加工装置１に起因した制約条件（つまり、ワークＷを加工するための動作に起因した制約条件）に基づいて、取得したリブレット情報を修正してもよい。例えば、制御装置３は、ワークＷに起因した制約条件に基づいて、取得したリブレット情報を修正してもよい。以下、リブレット情報の修正例について説明する。

【0120】

上述したように、加工装置１は、加工光ＥＬをワークＷに照射することで、ワークＷを加工する。このため、ワークＷの所望位置を加工したい状況下で当該所望位置に加工光ＥＬを照射することができない場合には、加工装置１は、ワークＷを適切に加工することができない。例えば、ワークＷの第１部分を加工するためにワークＷの第１部分に照射された加工光ＥＬが、ワークＷの第２部分によって遮られてしまう可能性がある。この場合、加工装置１は、ワークＷの第１部分を加工することで、取得したリブレット情報が示すリブレット構造ＲＢを形成することができない。そこで、この場合には、加工装置１は、取得したリブレット情報が示すリブレット構造ＲＢに代えて、ワークＷの第２部分によって遮られない方向からワークＷの第１部分に照射された加工光ＥＬによって形成可能なリブレット構造ＲＢを形成してもよい。この場合、制御装置３は、取得したリブレット情報を修正することで、ワークＷの第２部分によって遮られない方向からワークＷの第１部分に照射された加工光ＥＬによって形成可能なリブレット構造ＲＢに関するリブレット情報を生成してもよい。一例として、ワークＷの第１部分を加工するためにワークＷの第１部分に垂直入射するように照射される加工光ＥＬがワークＷの第２部分によって遮られる場合には、制御装置３は、取得したリブレット情報を修正することで、ワークＷの第１部分に斜入射するように照射される加工光ＥＬによって形成可能なリブレット構造ＲＢに関するリブレット情報を生成してもよい。つまり、図３２に示すように、制御装置３２は、ワークＷに垂直入射する加工光ＥＬによって形成されるリブレット構造ＲＢ（図３２の上側参照）に関するリブレット情報を修正することで、ワークＷに斜入射する加工光ＥＬによって形成されるリブレット構造ＲＢ（図３２の下側参照）に関するリブレット情報を生成してもよい。

【0121】

制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９の配列ピッチ（或いは、山構造８の配列ピッチ、以下、第１変形例において同じ）を変更するように、リブレット情報を修正してもよい。例えば、配列ピッチが大きくなればなるほど、リブレット構造ＲＢを形成するために要する時間が長くなる。このため、図３３に示すように、制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９の配列ピッチが小さくなるように、リブレット情報を修正してもよい。その結果、リブレット構造ＲＢを形成するために要する時間が短くなる。つまり、リブレット構造ＲＢを形成するためのスループットが向上する。或いは、加工装置１の特性によっては、加工装置１は、リブレット情報が示す配列ピッチで並ぶ複数の溝構造９を形成することができない可能性がある。なぜならば、配列ピッチが小さくなればなるほど加工装置１に高い加工精度が要求されるがゆえに、加工装置１が加工可能な溝構造９の配列ピッチには、加工装置１の特性（例えば、加工精度）に起因した下限値（下限ピッチ）が存在するからである。このため、取得したリブレット情報が示す溝構造９の配列ピッチが下限ピッチよりも小さい場合には、制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９の配列ピッチが下限ピッチとなる（或いは、下限ピッチより大きくなる）ように、リブレット情報を修正してもよい。その結果、加工装置１は、加工精度を向上させるための高価な光学系等を必要とすることなく、ワークＷにリブレット構造ＲＢを適切に形成することができる。但し、取得したリブレット情報が示す溝構造９の配列ピッチが下限ピッチよりもずっと小さい（例えば、下限ピッチのＮ（尚、Ｎは、０より大きく且つ１００よりも小さい変数であり、例えば、６０未満の変数）％未満となる）場合には、下限ピッチで並ぶ複数の溝構造９が形成されたとしても、ワークＷの表面の流体に対する抵抗の低減効果がうすれる又はなくなる可能性がある。このため、取得したリブレット情報が示す溝構造９の配列ピッチが下限ピッチよりもずっと小さい場合には、加工装置１は、ワークＷにリブレット構造ＲＢを形成しなくてもよい。この場合、制御装置３は、リブレット構造ＲＢを形成することができない警告を出力してもよい。

【0122】

制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９のサイズ（或いは、山構造８のサイズ、以下、第１変形例において同じ）を変更するように、リブレット情報を修正してもよい。例えば、溝構造９を構成する溝の深さが深くなればなるほど、リブレット構造ＲＢを形成するために要する時間が長くなる。このため、図３４に示すように、制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９の深さが浅くなるように、リブレット情報を修正してもよい。その結果、リブレット構造ＲＢを形成するために要する時間が短くなる。つまり、リブレット構造ＲＢを形成するためのスループットが向上する。或いは、ワークＷの特性（例えば、サイズ）によっては、加工装置１は、リブレット情報が示すサイズ（例えば、深さ）を有する溝構造９を形成することができない可能性がある。リブレット情報が示すサイズ（例えば、深さ）を有する溝構造９をワークＷに形成することができたとしても、ワークＷの品質が過度に悪化する（例えば、ワークＷの強度又は合成が過度に悪化する）可能性がある。このため、制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９の深さが、ワークＷに形成可能な現実的な深さとなるように、リブレット情報を修正してもよい。その結果、加工装置１は、ワークＷの品質を維持しつつ、ワークＷにリブレット構造ＲＢを適切に形成することができる。

【0123】

尚、制御装置３は、溝構造９の配列ピッチを変更する場合には、溝構造９のサイズ（例えば、溝の幅及び深さの少なくとも一方）を合わせて変更してもよい。例えば、制御装置３は、溝構造９の配列ピッチを変更する場合には、変更後の配列ピッチと変更後のサイズとが所定の数値条件を満たすように、溝構造９のサイズを合わせて変更してもよい。例えば、制御装置３は、溝構造９の配列ピッチを変更する場合には、変更後の配列ピッチと変更後のサイズとの比率が所定の比率となるように、溝構造９のサイズを合わせて変更してもよい。例えば、制御装置３は、溝構造９の配列ピッチを変更する場合には、変更後の配列ピッチと変更後のサイズとの比率が２：１となるように、溝構造９のサイズを合わせて変更してもよい。

【0124】

同様に、制御装置３は、溝構造９のサイズを変更する場合には、溝構造９の配列ピッチを合わせて変更してもよい。例えば、制御装置３は、溝構造９のサイズを変更する場合には、変更後の配列ピッチと変更後のサイズとが所定の数値条件を満たすように、溝構造９の配列ピッチを合わせて変更してもよい。例えば、制御装置３は、溝構造９のサイズを変更する場合には、変更後の配列ピッチと変更後のサイズとの比率が所定の比率となるように、溝構造９の配列ピッチを合わせて変更してもよい。例えば、制御装置３は、溝構造９のサイズを変更する場合には、変更後の配列ピッチと変更後のサイズとの比率が２：１となるように、溝構造９の配列ピッチを合わせて変更してもよい。

【0125】

制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９の断面形状（或いは、山構造８の断面形状、以下、第１変形例において同じ）を変更するように、リブレット情報を修正してもよい。例えば、加工装置１の特性によっては、加工装置１は、リブレット情報が示す断面形状を有する溝構造９を形成することができない可能性がある。一例として、図３５の上側に示すように、断面形状が逆三角形となるＶ字型の溝から構成される溝構造９を示すリブレット情報が取得された状況下で、加工装置１の加工精度に起因して加工装置１が形成可能な溝の幅の最小値（最小幅）が存在する場合には、加工装置１は、リブレット情報が示す溝構造９を形成することができない。そこで、制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９の断面形状が、加工装置１が形成可能な現実的な断面形状となるように、リブレット情報を修正してもよい。一例として、図３５の下側に示すように、加工装置１は、リブレット情報が示す溝構造９の幅が、加工装置１が形成可能な最小幅を下回らなくなるように、リブレット情報を修正してもよい。その結果、加工装置１は、加工精度を向上させるための高価な光学系等を必要とすることなく、ワークＷにリブレット構造ＲＢを適切に形成することができる。

【0126】

制御装置３は、リブレット情報が示す溝構造９のつなぎ目（或いは、山構造８のつなぎ目、以下、第１変形例において同じ）を変更するように、リブレット情報を修正してもよい。例えば、溝構造９の長さが所定長を超えると、加工装置１が溝構造９を一度に形成することができなくなる可能性がある。この場合、加工装置１は、溝構造９のうちの第１の構造部分を形成し、その後、溝構造９のうちの第２の構造部分を第１の構造部分につながるように形成してもよい。但し、第１の構造部分と第２の構造部分とのつなぎ目（つまり、溝構造９のつなぎ目）に段差が形成されてしまう可能性がある。そこで、制御装置３は、ワークＷの表面のうち溝構造９の段差が存在することが許される位置において溝構造９のつなぎ目が存在するように、リブレット情報を修正してもよい。その結果、加工装置１は、ワークＷにリブレット構造ＲＢを適切に形成することができる。

【0127】

リブレット情報（特に、上述したリブレットラインＲＬに関する情報）は、流線の方向に基づいて生成されてもよいことは上述したとおりである。一方で、ワークＷの形状によっては、ワークＷの表面において流線の方向が極めて複雑に分布する可能性がある。このような流線の方向が極めて複雑に分布する状況下で生成されるリブレット情報は、ワークＷの表面において極めて複雑なパターンで分布する溝構造９（或いは、山構造８）を示すことになる。その結果、加工装置１がこのような溝構造９を適切に形成することができなくなる可能性がある。そこで、制御装置３は、溝構造９（或いは、山構造８）が延びる方向が平均化されるように、リブレット情報を修正してもよい。制御装置３は、溝構造９（或いは、山構造８）が、複雑なパターンで分布する溝構造９（或いは、山構造８）が平均的に延びる方向にそって延びるように、リブレット情報を修正してもよい。その結果、加工装置１は、ワークＷにリブレット構造ＲＢを適切に形成することができる。

【0128】

（４－２）その他の変形例
加工装置１は、ワークＷを加工することで、加工されたワークＷから構成される金型を形成してもよい。この場合、加工装置１は、制御装置３の制御下で、抜き勾配を有する金型を形成してもよい。つまり、加工装置１は、制御装置３の制御下で、金型が開く方向（つまり、金型を用いて形成される成形品が離型する方向）に傾斜した面を有する金型を形成してもよい。

【0129】

上述した説明では、加工装置１は、ヘッド駆動系１２を備えている。しかしながら、加工装置１は、ヘッド駆動系１２を備えていなくてもよい。つまり、加工ヘッド１１は、移動可能でなくてもよい。また、上述した説明では、加工装置１は、ステージ駆動系１４を備えている。しかしながら、加工装置１は、ステージ駆動系１４を備えていなくてもよい。つまり、ステージ１３は、移動可能でなくてもよい。

【0130】

上述した説明では、加工装置１が、金属性のワークＷ（つまり、母材）にリブレット構造ＲＢを形成する例、及び、加工装置１が、ワークＷの表面にコーティングされた膜にリブレット構造ＲＢを形成する例について説明した。しかしながら、加工装置１が行う加工が、上述した例に限定されることはない。例えば、加工装置１は、ワークＷの表面にリブレット構造ＲＢを形成し、リブレット構造ＲＢが形成されたワークＷの表面が膜でコーティングされてもよい。例えば、加工装置１がワークＷの表面にコーティングされた膜にリブレット構造ＲＢを形成する場合には、リブレット構造ＲＢが形成された膜が更に別の膜でコーティングされてもよい。いずれの例においても、リブレット構造ＲＢが膜でコーティングされてもよい。この場合、リブレット構造ＲＢにコーティングされた膜によってリブレット構造ＲＢの機能が低減しないように、膜の厚みが決定されていてもよい。例えば、リブレット構造ＲＢが膜に埋もれてしまう場合に膜によってリブレット構造ＲＢの機能が低減される可能性があるため、リブレット構造ＲＢが膜に埋もれないように、膜の厚みが決定されていてもよい。リブレット構造ＲＢにコーティングされた膜によってリブレット構造ＲＢの機能が低減しないように、リブレット構造ＲＢの形状に沿って（例えば、溝構造９又は山構造８に沿って）膜が形成されていてもよい。

【0131】

加工装置１は、表面にフィルムが張られたワークＷを用いて、フィルムの表面にリブレット構造ＲＢを形成してもよい。フィルムは、樹脂性のフィルムであってもよいし、金属性のフィルムであってもよいし、他の材料から構成されるフィルムであってもよい。

【0132】

上述した膜（或いは、フィルム）の材料は、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＬＮ、Ｙ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＭＣｒＡＬＹ（或いは、ＭＣｒＡｌＹ）、ＮｉＣｒ、Ｗｃ（或いは、ＷＣ）、Ａｌ_２Ｏ_３－ＴｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３及び水溶性アルミニウムの少なくとも一つを含む材料であってもよいし、他の材料であってもよい。また、金属製のワークＷの表面にコーティングされる膜は、複数の層を備えていてもよい。この場合、複数の層のうちの第１層の材料は、複数の層のうちの第１層とは異なる第２層の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよい。例えば、第１層及び第２層の少なくとも一方の材料は、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＴｉＬＮ、Ｙ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＭＣｒＡＬＹ（或いは、ＭＣｒＡｌＹ）、ＮｉＣｒ、Ｗｃ（或いは、ＷＣ）、Ａｌ_２Ｏ_３－ＴｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３及び水溶性アルミニウムの少なくとも一つを含んでいてもよいし、含んでいなくてもよい。

【0133】

ワークＷに膜をコーティングすることによって生ずる効果（特に、ワークＷに生ずる効果）は、ワークＷを保護するという効果、ワークＷの遮熱性を向上させるという効果、ワークＷの耐熱性を向上させるという効果、ワークＷの耐食性を向上させるという効果、ワークＷの耐摩耗性を向上させるという効果、及び、ワークＷの耐酸化特性を向上させるという効果の少なくとも一つを含んでいてもよい。リブレットＲＢ構造に膜を形成することによって生ずる効果（つまり、膜によって実現される効果）は、リブレットＲＢ構造を保護するという効果、リブレットＲＢ構造の遮熱性を向上させるという効果、リブレットＲＢ構造の耐熱性を向上させるという効果、リブレットＲＢ構造の耐食性を向上させるという効果、リブレットＲＢ構造の耐摩耗性を向上させるという効果、及び、リブレットＲＢ構造の耐酸化特性を向上させるという効果の少なくとも一つを含んでいてもよい。ワークＷ上に複数の異なる材料の層を形成する（例えば、複数の異なる材料の層を含む膜を形成する）ことによって生ずる効果は、はがれ防止効果を含んでいてもよい。例えば、ワークＷに近い膜とワークＷとの間における熱膨張の特性の差、及び、ワークＷから遠い膜とワークＷとの間における熱膨張の特性の差を考慮して、ワークＷに形成される膜が選択されてもよい。ワークＷに近い膜とワークＷとの間における熱膨張の特性の差が、ワークＷから遠い膜（例えば、リブレット構造ＲＢが形成される膜）とワークＷとの間における熱膨張の特性の差よりも小さい場合には、熱によって膜が広がることによるリブレット構造ＲＢの剥がれを抑制することができる。

【0134】

上述した説明では、加工システムＳＹＳは、ワークＷの表面の流体に対する抵抗を低減させる機能を有するリブレット構造ＲＢを形成している。しかしながら、加工システムＳＹＳは、ワークＷの表面の流体に対する抵抗を低減させる機能とは異なる機能を有する構造をワークＷに形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、流体とワークＷの表面とが相対的に移動するときに発生する騒音を低減するためのリブレット構造をワークＷに形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、ワークＷの表面上の流体の流れに対して渦を発生するリブレット構造をワークＷに形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、ワークＷの表面に疎水性を与えるための構造をワークＷに形成してもよい。

【0135】

上述した説明では、加工システムＳＹＳは、ワークＷの表面にリブレット構造ＲＢを形成している。しかしながら、加工システムＳＹＳは、ワークＷの表面上に、任意の形状を有する任意の構造を形成してもよい。任意の構造の一例として、ワークＷの表面上の流体の流れに対して渦を発生させる構造があげられる。任意の構造の他の一例として、ワークＷの表面に疎水性を与えるための構造があげられる。任意の構造の他の一例としては、規則的又は不規則的に形成されたマイクロ・ナノメートルオーダの微細テクスチャ構造（典型的には、山構造及び溝構造を含む凹凸構造）があげられる。微細テクスチャ構造は、流体（気体及び／又は液体）による抵抗を低減させる機能を有するサメ肌構造及びディンプル構造の少なくとも一方を含んでいてもよい。微細なテクスチャ構造は、撥液機能及びセルフクリーニング機能の少なくとも一方を有する（例えば、ロータス効果を有する）ハスの葉表面構造を含んでいてもよい。微細なテクスチャ構造は、液体輸送機能を有する微細突起構造（米国特許公開第２０１７／００４４００２号公報参照）、親液性機能を有する凹凸構造、防汚機能を有する凹凸構造、反射率低減機能及び撥液機能の少なくとも一方を有するモスアイ構造、特定波長の光のみを干渉で強めて構造色を呈する凹凸構造、ファンデルワールス力を利用した接着機能を有するピラーアレイ構造、空力騒音低減機能を有する凹凸構造、液滴捕集機能を有するハニカム構造、並びに、表面上に形成される層との密着性を向上させる凹凸構造、摩擦抵抗を低減するための凹凸構造等の少なくとも一つを含んでいてもよい。この場合においても、凹凸構造を構成する溝構造は、上述したリブレット構造ＲＢを構成する溝構造９と同様の構造を有してもよい。凹凸構造を構成する山構造は、上述したリブレット構造ＲＢを構成する山構造８と同様の構造を有してもよい。尚、微細なテクスチャ構造は、特定の機能を有していなくてもよい。

【0136】

上述した説明では、加工システムＳＹＳは、ワークＷに加工光ＥＬを照射することで、ワークＷを加工している。しかしながら、加工システムＳＹＳは、光とは異なる任意のエネルギービームをワークＷに照射して、ワークＷを加工させてもよい。この場合、加工システムＳＹＳは、加工光源２に加えて又は代えて、任意のエネルギービームを照射可能なビーム照射装置を備えていてもよい。任意のエネルギービームの一例として、荷電粒子ビーム及び電磁波の少なくとも一方があげられる。荷電粒子ビームの一例として、電子ビーム及びイオンビームの少なくとも一方があげられる。

【0137】

（５）付記
以上説明した実施形態に関して、更に以下の付記を開示する。
［付記１］
表面に溝構造が形成された羽根部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びるように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、前記第１方向とは異なる第２方向に延びるように形成されており、
前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向とは異なる第３方向に沿って延び、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
羽根部材。
［付記２］
前記第１方向に沿って延びる第１の軸と前記第３方向に沿って延びる第３の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第１の角度、及び、前記第２方向に沿って延びる第２の軸と前記第３の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第２の角度のそれぞれは、前記第１の軸と前記第２の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第３の角度よりも大きい
付記１に記載の羽根部材。
［付記３］
前記第１の角度と前記第２の角度の和は、前記第３の角度に１８０°を加算した角度となる
付記２に記載の羽根部材。
［付記４］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも二つは、前記第３方向に沿って延びている
付記１から３のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記５］
前記複数の第１溝構造は、互いに平行であり、
前記複数の第２溝構造は、互いに平行である
付記１から４のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記６］
前記複数の第３溝構造の配列ピッチは、前記第３方向における位置に関わらず一定である
付記４に記載の羽根部材。
［付記７］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも一つは、前記第３方向に沿って延びており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも他の一つは、前記第３方向と異なる第４方向に沿って延びている
付記１から３のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記８］
前記複数の第１溝構造の配列ピッチと、前記複数の第２溝構造の配列ピットとは異なる
付記１から７のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記９］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造の少なくとも二つに接続される複数の第１溝構造のうちの二つの配列ピッチと、前記複数の第３溝構造の少なくとも二つに接続される前記複数の第２溝構造のうちの二つの配列ピッチとが異なる付記１から３及び７から８のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記１０］
前記複数の第３溝構造の配列ピッチは、位置に応じて変化する
付記７又は９に記載の羽根部材。
［付記１１］
前記複数の第１溝構造、前記複数の第２溝構造及び第３溝構造のうちの隣り合う二つの間には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの構造が含まれる
付記１から１０のいずれか一項記載の羽根部材。
［付記１２］
表面に溝構造が形成された羽根部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って前記第１の配列ピッチとは異なる第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
羽根部材。
［付記１３］
前記一の第１溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第１溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第１溝構造と前記第３溝構造とが接続されており、
前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第２溝構造と前記第３溝構造とが接続されている
付記１２に記載の羽根部材。
［付記１４］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも一つは、前記第３方向に沿って延びており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも他の一つは、前記第３方向と異なる第４方向に沿って延びている
付記１２又は１３に記載の羽根部材。
［付記１５］
前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に応じて変化する
付記１２から１４のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記１６］
前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
付記１２から１５のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記１７］
前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に交差する方向に沿って延びる
付記１２から１６のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記１８］
前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に平行な方向に沿って延びる
付記１２から１７のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記１９］
前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に応じて変化する
付記１２から１８のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記２０］
前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
付記１２から１９のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記２１］
表面に溝構造が形成された羽根部材であって、
第１方向に延びる溝構造が形成された第１領域と、
前記溝構造が形成されていない第２領域と、
前記第１領域と前記第２領域との間に位置し、且つ、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造が形成された第３領域と
を備え、
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる
羽根部材。
［付記２２］
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、連続的に浅くなる
付記２１に記載の羽根部材。
［付記２３］
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、段階的に浅くなる
付記２１又は２２に記載の羽根部材。
［付記２４］
前記第１領域の端部における前記溝構造の深さは、前記第１領域の端部に接続される前記第３領域の端部における前記溝構造の深さと同じである
付記２１から２３のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記２５］
前記第２領域に接続される前記第３領域の端部の高さは、前記第３領域に接続される前記第２領域の端部の高さと同じである
付記２１から２４のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記２６］
前記第１領域には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む前記溝構造が形成されている
付記２１から２５のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記２７］
前記第３領域の少なくとも一部には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む前記溝構造が形成されている
付記２１から２６のいずれか一項に記載の羽根部材。
［付記２８］
前記溝の深さは、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの頂点に対する前記溝の底の位置を表す
付記２６又は２７に記載の羽根部材。
［付記２９］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びるように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びるように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に沿って延び、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。
［付記３０］
前記第１方向に沿って延びる第１の軸と前記第３方向に沿って延びる第３の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第１の角度、及び、前記第２方向に沿って延びる第２の軸と前記第３の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第２の角度のそれぞれは、前記第１の軸と前記第２の軸とがなす角度のうち大きい方の角度に相当する第３の角度よりも大きい
付記２９に記載の構造部材。
［付記３１］
前記第３方向は、前記第１及び第２方向と異なる方向である
付記２９に記載の構造部材。
［付記３２］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも二つは、前記第３方向に沿って延びている
付記２９から３１のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記３３］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうち少なくとも二つが延びる方向は、互いに平行である
付記２９から３２のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記３４］
前記複数の第３溝構造の配列ピッチは、前記複数の第３溝構造が延びる方向における位置に関わらず一定である
付記２９から３３のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記３５］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも一つは、前記第３方向に沿って延びており、
前記複数の第３溝構造のうちの少なくとも他の一つは、前記第３方向に交差する第４方向に沿って延びている
付記２９から３４のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記３６］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造の少なくとも二つが延びる方向は、互いに非平行である
付記２９から３５のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記３７］
前記複数の第３溝構造の少なくとも二つに接続される複数の第１溝構造のうちの二つの配列ピッチと、前記複数の第３溝構造の少なくとも二つに接続される前記複数の第２溝構造のうちの二つの配列ピッチとが異なる
付記３６に記載の構造部材。
［付記３８］
前記第３溝構造は、複数形成されており、
前記複数の第３溝構造の配列ピッチは、前記複数の第３溝構造が延びる方向における位置に応じて変化する
付記２９から３７のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記３９］
前記複数の第１溝構造、前記複数の第２溝構造及び第３溝構造のうちの隣り合う二つの間には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの構造が含まれる
付記２９から３８のいずれか一項記載の構造部材。
［付記４０］
前記第１方向は、前記第２方向と異なる
付記２９から３９のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記４１］
前記第１方向は、前記第２方向と同じである
付記２９から４０のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記４２］
前記第１溝構造の配列ピッチは、前記第２溝構造の配列ピッチと異なる
付記２９から４１のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記４３］
前記第１溝構造の配列ピッチは、前記第２溝構造の配列ピッチと同じである
付記２９から４２のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記４４］
前記第１方向は、前記表面のうち前記複数の第１溝構造が形成される第１領域における流線の延びる方向であり、
前記第２方向は、前記表面のうち前記複数の第２溝構造が形成される第２領域における流線の延びる方向である
付記２９から４３のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記４５］
前記複数の第１溝構造、前記複数の第２溝構造及び第３溝構造のうちの隣り合う二つの間には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの構造が含まれる
付記２９から４４のいずれか一項記載の構造部材。
［付記４６］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。
［付記４７］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、第１方向に延び且つ前記第１方向と交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ複数の第１溝構造と、第２方向に延び且つ前記第２方向と交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ複数の第２溝構造と、第３方向に沿って延びる第３溝構造とを備え、
前記第１溝構造は、前記第１方向に沿った第１軸と第１乃至第３位置で交差し、前記第１溝構造の前記第１位置と前記第２位置との間の第４位置は、前記第１軸の第４方向側に位置し、前記第１溝構造の前記第２位置と前記第３位置との間の第５位置は、前記第１軸に関して前記第４方向と反対側の第５方向側に位置し、
前記第２溝構造は、前記第２方向に沿った第２軸と第６乃至第８位置で交差し、前記第２溝構造の前記第６位置と前記第７位置との間の第９位置は、前記第２軸の第６方向側に位置し、前記第２溝構造の前記第７位置と前記第８位置との間の第１０位置は、前記第２軸に関して前記第６方向と反対側の第７方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記第３方向に沿った第３軸と第１１乃至第１３位置で交差し、前記第３溝構造の前記第１１位置と前記第１２位置との間の第１４位置は、前記第３軸の第８方向側に位置し、前記第３溝構造の前記第１２位置と前記第１３位置との間の第１５位置は、前記第３軸に関して前記第８方向と反対側の第９方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。
［付記４８］
前記一の第１溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第１溝構造と前記第３溝構造とが滑らかに接続されており、
前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造と前記第３溝構造とが滑らかに接続されている
付記４６又は４７に記載の構造部材。
［付記４９］
前記一の第１溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第１溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第１溝構造と前記第３溝構造とが接続されており、
前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第２溝構造と前記第３溝構造とが接続されている
付記４６から４８のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記５０］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記複数の第２溝構造は、第２方向に延び、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。
［付記５１］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、第１方向に延び且つ前記第１方向と交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ複数の第１溝構造と、第２方向に延び且つ前記第２方向と交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ複数の第２溝構造と、第３方向に沿って延びる第３溝構造とを備え、
前記第１溝構造は、前記第１方向に沿った第１軸と第１乃至第３位置で交差し、前記第１溝構造の前記第１位置と前記第２位置との間の第４位置は、前記第１軸の第４方向側に位置し、前記第１溝構造の前記第２位置と前記第３位置との間の第５位置は、前記第１軸に関して前記第４方向と反対側の第５方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記第３方向に沿った第２軸と第６乃至第８位置で交差し、前記第３溝構造の前記第６位置と前記第７位置との間の第９位置は、前記第２軸の第６方向側に位置し、前記第３溝構造の前記第７位置と前記第８位置との間の第１０位置は、前記第２軸に関して前記第６方向と反対側の第７方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成されている
構造部材。
［付記５２］
前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造の端部と前記第３溝構造の端部とは、前記第２方向に交差する方向に沿って同じ位置に位置する
付記５０又は５１に記載の構造部材。
［付記５３］
前記一の第２溝構造は、前記第２方向に沿って直線状に延びる
付記５０から５２のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記５４］
前記第３の波形状の振幅は、前記第３溝構造が前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界に近づくにつれて小さくなる
付記５０から５３のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記５５］
前記一の第１溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第１溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第１溝構造と前記第３溝構造とが接続されており、
前記一の第２溝構造と前記第３溝構造との境界において、前記一の第２溝構造の接線方向と前記第３溝構造の接線方向とが揃うように、前記一の第２溝構造と前記第３溝構造とが接続されている
付記５４に記載の構造部材。
［付記５６］
前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に応じて変化する
付記４６から４９のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記５７］
前記第３の波形状の振幅周期は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
付記４６から５６のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記５８］
前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に応じて変化する
付記４６から５７のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記５９］
前記第３の波形状の振幅は、前記第３方向における位置に関わらずに固定されている
付記４６から４９のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記６０］
前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に交差する方向に沿って延びる
付記４６から５９のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記６１］
前記第３溝構造は、前記第１及び第２方向に平行な方向に沿って延びる
付記４６から６０のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記６２］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は複数の第３溝構造を備え、
前記複数の第３溝構造のうちの一の第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状であり、
前記複数の第３溝構造のうちの他の一の第３溝構造は、前記第３方向とは異なる第４方向に延びる第４の波形状であり、
前記複数の第３溝構造の配列ピッチは位置に応じて変化する
構造部材。
［付記６３］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第３溝構造とを備え、
前記複数の第１溝構造は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶように形成されており、
前記複数の第３溝構造は、第３方向に延びる第３の波形状である一の第３溝構造と前記第３方向とは異なる第４方向に延びる第４の波形状である他の第３溝構造とを含み、前記複数の第１溝構造にそれぞれ接続されるように形成されている
構造部材。
［付記６４］
表面に溝構造が形成された構造部材であって、
第１方向に延びる溝構造が形成された第１領域と、
前記溝構造が形成されていない第２領域と、
前記第１領域と前記第２領域との間に位置し、且つ、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造が形成された第３領域と
を備え、
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる
構造部材。
［付記６５］
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、連続的に浅くなる
付記６４に記載の構造部材。
［付記６６］
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、段階的に浅くなる
付記６４又は６５に記載の構造部材。
［付記６７］
前記第１領域の端部における前記溝構造の深さは、前記第１領域の端部に接続される前記第３領域の端部における前記溝構造の深さと同じである
付記６４から６６のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記６８］
前記第２領域に接続される前記第３領域の端部の高さは、前記第３領域に接続される前記第２領域の端部の高さと同じである
付記６４から６７のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記６９］
前記第１領域には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む前記溝構造が形成されている
付記６４から６８のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記７０］
前記第３領域の少なくとも一部には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む前記溝構造が形成されている
付記６４から６９のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記７１］
前記溝の深さは、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの頂点に対する前記溝の底の位置を表す
付記６９又は７０に記載の構造部材。
［付記７２］
前記構造部材は、回転体の一部である羽根部材、移動体の筐体及び飛翔体の翼部分の少なくとも一つ含む
付記２９から７１のいずれか一項に記載の構造部材。
［付記７３］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、第１方向に延びる複数の第１溝構造と、前記第１方向とは異なる第２方向に延びる複数の第２溝構造と、第３方向に沿って延び且つ前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造とを備える前記溝構造を形成するように前記加工装置を制御する
加工システム。
［付記７４］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ複数の第１溝構造と、第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ複数の第２溝構造と、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造とを備える前記溝構造を形成するように前記加工装置を制御する
加工システム。
［付記７５］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、第１方向に延び且つ前記第１方向と交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ複数の第１溝構造と、第２方向に延び且つ前記第２方向と交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ複数の第２溝構造と、第３方向に沿って延び且つ前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造とを備える前記溝構造を形成するように前記加工装置を制御し、
前記第１溝構造は、前記第１方向に沿った第１軸と第１乃至第３位置で交差し、前記第１溝構造の前記第１位置と前記第２位置との間の第４位置は、前記第１軸の第４方向側に位置し、前記第１溝構造の前記第２位置と前記第３位置との間の第５位置は、前記第１軸に関して前記第４方向と反対側の第５方向側に位置し、
前記第２溝構造は、前記第２方向に沿った第２軸と第６乃至第８位置で交差し、前記第２溝構造の前記第６位置と前記第７位置との間の第９位置は、前記第２軸の第６方向側に位置し、前記第２溝構造の前記第７位置と前記第８位置との間の第１０位置は、前記第２軸に関して前記第６方向と反対側の第７方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記第３方向に沿った第３軸と第１１乃至第１３位置で交差し、前記第３溝構造の前記第１１位置と前記第１２位置との間の第１４位置は、前記第３軸の第８方向側に位置し、前記第３溝構造の前記第１２位置と前記第１３位置との間の第１５位置は、前記第３軸に関して前記第８方向と反対側の第９方向側に位置する
加工システム。
［付記７６］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ複数の第１溝構造と、第２方向に延び、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ複数の第２溝構造と、第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造とを備える前記溝構造を形成するように前記加工装置を制御する
加工システム。
［付記７７］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、第１方向に延び且つ前記第１方向と交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ複数の第１溝構造と、第２方向に延び且つ前記第２方向と交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ複数の第２溝構造と、第３方向に沿って延び且つ前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造とを備える前記溝構造を形成するように前記加工装置を制御し、
前記第１溝構造は、前記第１方向に沿った第１軸と第１乃至第３位置で交差し、前記第１溝構造の前記第１位置と前記第２位置との間の第４位置は、前記第１軸の第４方向側に位置し、前記第１溝構造の前記第２位置と前記第３位置との間の第５位置は、前記第１軸に関して前記第４方向と反対側の第５方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記第３方向に沿った第２軸と第６乃至第８位置で交差し、前記第３溝構造の前記第６位置と前記第７位置との間の第９位置は、前記第２軸の第６方向側に位置し、前記第３溝構造の前記第７位置と前記第８位置との間の第１０位置は、前記第２軸に関して前記第６方向と反対側の第７方向側に位置する
加工システム。
［付記７８］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、複数の第３溝構造を備える前記溝構造を形成するように前記加工装置を制御し、
前記複数の第３溝構造のうちの一の第３溝構造は第３方向に延びる第３の波形状であり、
前記複数の第３溝構造のうちの他の一の第３溝構造は前記第３方向とは異なる第４方向に延びる第４の波形状であり、
前記複数の第３溝構造の配列ピッチは位置に応じて変化する
加工システム。
［付記７９］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ複数の第１溝構造と、第３方向に延びる第３の波形状である一の第３溝構造と前記第３方向とは異なる第４方向に延びる第４の波形状である他の第３溝構造とを含み、それぞれ、前記複数の第１溝構造に接続される複数の第３溝構造とを備える前記溝構造を形成するように前記加工装置を制御する
加工システム。
［付記８０］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体を加工可能な加工装置と、
前記物体を加工することで前記物体の表面に溝構造を形成するように、前記加工装置を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、前記表面の第１領域に、第１方向に延びる溝構造を形成し、前記第１領域と前記溝構造が形成されない前記表面の第２領域との間に位置する前記表面の第３領域に、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造を形成するように前記加工装置を制御し、
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる
加工システム。
［付記８１］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
第１方向に延びる前記複数の第１溝構造を形成することと、
前記第１方向とは異なる第２方向に延びる前記複数の第２溝構造を形成することと、
第３方向に沿って延び且つ前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される前記第３溝構造を形成することと
を含む加工方法。
［付記８２］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ前記複数の第１溝構造を形成することと、
第２方向に延びる第２の波形状であり、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ前記複数の第２溝構造を形成することと、
第３方向に延び且つ前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造を形成することと
を含む加工方法。
［付記８３］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
第１方向に延び且つ前記第１方向と交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ前記複数の第１溝構造を形成することと、
第２方向に延び且つ前記第２方向と交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ前記複数の第２溝構造を形成することと、
第３方向に沿って延び且つ前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造を形成すること
を含み、
前記第１溝構造は、前記第１方向に沿った第１軸と第１乃至第３位置で交差し、前記第１溝構造の前記第１位置と前記第２位置との間の第４位置は、前記第１軸の第４方向側に位置し、前記第１溝構造の前記第２位置と前記第３位置との間の第５位置は、前記第１軸に関して前記第４方向と反対側の第５方向側に位置し、
前記第２溝構造は、前記第２方向に沿った第２軸と第６乃至第８位置で交差し、前記第２溝構造の前記第６位置と前記第７位置との間の第９位置は、前記第２軸の第６方向側に位置し、前記第２溝構造の前記第７位置と前記第８位置との間の第１０位置は、前記第２軸に関して前記第６方向と反対側の第７方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記第３方向に沿った第３軸と第１１乃至第１３位置で交差し、前記第３溝構造の前記第１１位置と前記第１２位置との間の第１４位置は、前記第３軸の第８方向側に位置し、前記第３溝構造の前記第１２位置と前記第１３位置との間の第１５位置は、前記第３軸に関して前記第８方向と反対側の第９方向側に位置する
加工方法。
［付記８４］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ前記複数の第１溝構造を形成することと、
第２方向に延び、且つ、前記第２方向に交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ前記複数の第２溝構造を形成することと、
第３方向に延びる第３の波形状であり、且つ、前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造を形成すること
を含む加工方法。
［付記８５］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第２溝構造と、第３溝構造とを備え、
第１方向に延び且つ前記第１方向と交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ前記複数の第１溝構造を形成することと、
第２方向に延び且つ前記第２方向と交差する方向に沿って第２の配列ピッチで並ぶ前記複数の第２溝構造を形成することと、
第３方向に沿って延び且つ前記複数の第１溝構造のうちの一の第１溝構造と前記複数の第２溝構造のうちの一の第２溝構造との間に形成される第３溝構造を形成することと
を含み、
前記第１溝構造は、前記第１方向に沿った第１軸と第１乃至第３位置で交差し、前記第１溝構造の前記第１位置と前記第２位置との間の第４位置は、前記第１軸の第４方向側に位置し、前記第１溝構造の前記第２位置と前記第３位置との間の第５位置は、前記第１軸に関して前記第４方向と反対側の第５方向側に位置し、
前記第３溝構造は、前記第３方向に沿った第２軸と第６乃至第８位置で交差し、前記第３溝構造の前記第６位置と前記第７位置との間の第９位置は、前記第２軸の第６方向側に位置し、前記第３溝構造の前記第７位置と前記第８位置との間の第１０位置は、前記第２軸に関して前記第６方向と反対側の第７方向側に位置する
加工方法。
［付記８６］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記溝構造は、複数の第３溝構造を備え、
前記複数の第３溝構造のうちの一の第３溝構造が、第３方向に延びる第３の波形状であり、前記複数の第３溝構造のうちの他の一の第３溝構造が、前記第３方向とは異なる第４方向に延びる第４の波形状であり、且つ、前記複数の第３溝構造の配列ピッチが、位置に応じて変化するように、前記複数の第３構造を形成する
加工方法。
［付記８７］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記溝構造は、複数の第１溝構造と、複数の第３溝構造とを備え、
第１方向に延びる第１の波形状であり、且つ、前記第１方向に交差する方向に沿って第１の配列ピッチで並ぶ前記複数の第１溝構造を形成することと、
第３方向に延びる第３の波形状である一の第３溝構造と前記第３方向とは異なる第４方向に延びる第４の波形状である他の第３溝構造とを含み、前記複数の第１溝構造にそれぞれ接続される前記複数の第３溝構造を形成することと
を含む加工方法。
［付記８８］
物体にエネルギービームを照射することで前記物体の表面に溝構造を形成するように前記物体を加工する加工方法であって、
前記表面の第１領域に、第１方向に延びる溝構造を形成することと、
前記第１領域と前記溝構造が形成されない前記表面の第２領域との間に位置する前記表面の第３領域に、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造を形成することと
を含み、
前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる
加工方法。

【0138】

上述の各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。上述の各実施形態の要件のうちの一部が用いられなくてもよい。上述の各実施形態の要件は、適宜他の実施形態の要件と置き換えることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態で引用した装置等に関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。

【0139】

また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う羽根部材、構造部材、加工システム及び加工方法もまた本発明の技術思想に含まれる。

【符号の説明】

【0140】

１ 加工装置
３ 制御装置
８ 山構造
９ 溝構造
ＥＬ 加工光
ＳＹＳ 加工システム
Ｗ ワーク
ＢＬ タービンブレード
ＲＢ リブレット構造
ＲＬ リブレットライン

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【手続補正書】

【提出日】2025-02-26

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面に溝構造が形成された構造部材であって、
第１方向に延びる溝構造が、前記第１方向と交差する第２方向に複数形成された第１領域と、
前記溝構造が形成されていない第２領域と、
前記第１領域と前記第２領域との間に位置し、且つ、前記第１領域の溝構造に繋がる溝構造が形成された第３領域と
を備え、
前記第３領域に形成されている複数の前記溝構造の深さは、前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて浅くなる
構造部材。

【請求項2】

前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、連続的に浅くなる
請求項１に記載の構造部材。

【請求項3】

前記第３領域に形成されている前記溝構造の深さは、前記第１方向に沿って前記溝構造が前記第１領域から前記第２領域に近づくにつれて、段階的に浅くなる
請求項１又は２に記載の構造部材。

【請求項4】

前記第１領域の端部における前記溝構造の深さは、前記第１領域の端部に接続される前記第３領域の端部における前記溝構造の深さと同じである
請求項１から３のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項5】

前記第２領域に接続される前記第３領域の端部の高さは、前記第３領域に接続される前記第２領域の端部の高さと同じである
請求項１から４のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項6】

前記第１領域には、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む前記溝構造が形成されている
請求項１から５のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項7】

前記第３領域の複数の前記溝構造は、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つを形成するように前記第１方向に交差する第２方向に沿って並ぶ二つの溝を含む
請求項１から６のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項8】

前記溝の深さは、突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの頂点に対する前記溝の底の位置を表す
請求項６又は７に記載の構造部材。

【請求項9】

前記第１領域の複数の溝構造のうち前記第２方向に沿って並ぶ二つの溝の間に形成される突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの頂点の高さは、前記第２領域の表面の高さと同じである
請求項１から８のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項10】

前記第３領域の複数の溝構造のうち前記第２方向に沿って並ぶ二つの溝の間に形成される突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの頂点の高さは、前記第２領域の表面の高さと同じである
請求項１から９のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項11】

前記第３領域の複数の溝構造のうち前記第２方向に沿って並ぶ二つの溝の間に形成される突起形状、凸形状及び山形状の少なくとも一つの前記第２方向の幅は、前記第２領域に近づくにつれて狭くなる
請求項１から１０のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項12】

前記第３領域の複数の前記溝構造の深さの変化率は、前記第３領域の複数の前記溝構造が前記第２領域に近づくにつれて変化している
請求項１から１１のいずれか一項に記載の構造部材。

【請求項13】

前記第３領域の複数の前記溝構造の深さの変化率は、前記第３領域の複数の前記溝構造が前記第２領域に近づくにつれて小さくなっている
請求項１から１２のいずれか一項に記載の構造部材。