特開 2025-103998 スクリーン印刷用マスク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025103998

(43)【公開日】2025-07-09

(54)【発明の名称】スクリーン印刷用マスク

(51)【国際特許分類】

   B41N 1/24 20060101AFI20250702BHJP

【ＦＩ】

B41N1/24

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023221809

(22)【出願日】2023-12-27

(71)【出願人】

【識別番号】000005810

【氏名又は名称】マクセル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100148138

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 聡

(72)【発明者】

【氏名】中島 貴士

(72)【発明者】

【氏名】日下部 弘樹

(72)【発明者】

【氏名】堀之内 強

(72)【発明者】

【氏名】原 正吉

【テーマコード（参考）】

2H114

【Ｆターム（参考）】

2H114AB02

2H114AB07

2H114AB09

2H114AB15

2H114BA02

2H114DA04

(57)【要約】

【課題】スクリーン印刷用マスクにおいて、弾性限度を超えるような引張応力がマスク本体に生じることに起因して、マスク本体の平坦性が損なわれることを防ぐ。
【解決手段】本発明のスクリーン印刷用マスクは、上下方向に貫通する多数独立の通孔８を有するマスク本体２と、マスク本体２が配置されるマスク開口３を有する保持枠４と、マスク開口３の内周面から開口中心に向かって延出されてマスク本体２と保持枠４とを連結する連結体５とを備える。連結体５を自己復元性を有する伸縮体で構成する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上下方向に貫通する多数独立の通孔（８）を有するマスク本体（２）と、
マスク本体（２）が配置されるマスク開口（３）を有する保持枠（４）と、
マスク開口（３）の内周面から開口中心に向かって延出されてマスク本体（２）と保持枠（４）とを連結する連結体（５）と、
を備え、
連結体（５）が、自己復元性を有する伸縮体で構成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。

【請求項2】

連結体（５）が樹脂を素材とするメッシュシートからなる請求項１に記載のスクリーン印刷用マスク。

【請求項3】

マスク本体（２）の外周縁に沿う表面に固定されて、マスク本体（２）を補強する補強枠（９）を備える請求項１に記載のスクリーン印刷用マスク。

【請求項4】

補強枠（９）はマスク本体（２）の上面に固定されており、
マスク本体（２）が補強枠（９）を介して連結体（５）に接続されている請求項３に記載のスクリーン印刷用マスク。

【請求項5】

補強枠（９）はマスク本体（２）の下面に固定されており、
マスク本体（２）が連結体（５）に接続されている請求項３に記載のスクリーン印刷用マスク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品の内部電極等の微細なパターンをスクリーン印刷法で形成する際に用いられるスクリーン印刷用マスクに関する。

【背景技術】

【0002】

この種のスクリーン印刷用マスクは、例えば本特許出願人による特許文献１に開示されている。特許文献１に記載の印刷用マスクは、電鋳法により形成されたマスク本体と、マスク本体が配置されるマスク開口を有する枠体とを含んで構成される。マスク本体は、その内方領域にパターン部が形成されており、パターン部には多数独立の印刷用の通孔からなる印刷パターンが形成されている。枠体は、マスク本体の外周縁を支持するように、マスク本体の上面に固定される支持体と、支持体の上面に固定される枠本体とで構成される。マスク本体、支持体、及び枠本体は、それぞれ金属を素材として形成されており、マスク本体と支持体、支持体と枠本体はそれぞれ不離一体的に固定されている。スクリーン印刷用マスクは、スクリーン印刷機に枠本体が固定され印刷に用いられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－９７１４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

スクリーン印刷法には、印刷用マスクの下面が、印刷面（印刷対象の上面）に接触する状態で、マスク本体の上面に載せられた印刷材をスキージングするコンタクト印刷と、印刷用マスクの下面が印刷面から浮き離れた状態で、マスク本体の上面に載せられた印刷材をスキージングするオフセット印刷（オフコンタクト印刷）がある。オフセット印刷では、スキージの押圧力でマスク本体を下向きに変位させることで、スキージが接触する裏側部分のマスク本体の下面が印刷面に接触し、当該接触部分が移動しながらスキージングが進行するので、印刷面にうねりを有する印刷対象であっても、マスク本体が印刷対象に密着して、印刷面に適正な形状の印刷パターンを形成することができる。

【0005】

特許文献１の印刷用マスクを用いてオフセット印刷を行うには、金属からなるマスク本体及び支持体を弾性変形させて下向きに変位させる必要がある。しかし、マスク本体を弾性変形させると、マスク本体の伸長によって内部に引張応力が生じ、この引張応力がマスク本体を形成する金属素材の弾性限度を超えると、マスク本体に永久ひずみが生じてしまう。このように、マスク本体に永久ひずみが生じると、スキージによる押圧力を解除してもマスク本体の伸びや湾曲として残るので、マスク本体の平坦性が損なわれてしまう。

【0006】

本発明は、スクリーン印刷用マスクにおいて、弾性限度を超えるような引張応力がマスク本体に生じることに起因して、マスク本体の平坦性が損なわれることを防ぐことを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係るスクリーン印刷用マスクは、上下方向に貫通する多数独立の通孔８を有するマスク本体２と、マスク本体２が配置されるマスク開口３を有する保持枠４と、マスク開口３の内周面から開口中心に向かって延出されてマスク本体２と保持枠４とを連結する連結体５とを備える。そして、連結体５が、自己復元性を有する伸縮体で構成されていることを特徴とする。

【0008】

連結体５は樹脂を素材とするメッシュシートからなる。

【0009】

マスク本体２の外周縁に沿う表面に固定されて、マスク本体２を補強する補強枠９を備える。

【0010】

補強枠９はマスク本体２の上面に固定されており、マスク本体２が補強枠９を介して連結体５に接続されている。

【0011】

補強枠９はマスク本体２の下面に固定されており、マスク本体２が連結体５に接続されている。

【発明の効果】

【0012】

本発明のスクリーン印刷用マスクのように、マスク本体２と保持枠４とを連結する連結体５を自己復元性を有する伸縮体で構成していると、オフセット印刷時においてマスク本体２に対して、これを押し下げるような外力が付与された場合でも、連結体５が伸長変形することで当該外力を緩和吸収して、当該外力がマスク本体２に直接的に作用することを防ぐことができる。以上より、本発明によれば、弾性限度を超えるような引張応力がマスク本体２に生じることを防ぐことができるので、マスク本体２に永久ひずみが生じて、マスク本体２の平滑性が損なわれることを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の第１実施形態に係るスクリーン印刷用マスクの縦断面図である。

【図2】同スクリーン印刷用マスクの平面図である。

【図3】同スクリーン印刷用マスクの分解斜視図である。

【図4】同スクリーン印刷用マスクを用いたオフセット印刷を説明するための図である。

【図5】（ａ）～（ｅ）は本発明の第１実施形態に係るスクリーン印刷用マスクの製造方法を示す縦断面図である。

【図6】（ａ）～（ｃ）は本発明の第１実施形態に係るスクリーン印刷用マスクの製造方法を示す縦断面図である。

【図7】本発明の第２実施形態に係るスクリーン印刷用マスクの縦断面図である。

【図8】同スクリーン印刷用マスクを用いたオフセット印刷を説明するための図である。

【図9】（ａ）～（ｃ）は本発明の第２実施形態に係るスクリーン印刷用マスクの製造方法を示す縦断面図である。

【図10】本発明の第３実施形態に係るスクリーン印刷用マスクの縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

（第１実施形態） 図１から図６に本発明に係るスクリーン印刷用マスクの第１実施形態を示す。本実施形態における前後、左右、上下とは、図１及び図２に示す交差矢印と、各矢印の近傍に表記した前後、左右、上下の表示に従う。図２においてスクリーン印刷用マスク（以下、単にマスクと記す。）１は、銅やニッケル、ニッケルコバルト等のニッケル合金、その他の電着金属を素材として、電鋳法により形成されたマスク本体２と、マスク本体２が配置されるマスク開口３を有して、マスク本体２を支持する保持枠４と、マスク開口３の内周面から開口中心に向かって延出されてマスク本体２と保持枠４とを連結する連結体５とを含んで構成される。なお、各図は、実際のマスク１の様子を示したものではなく、それを模式的に示している。また、図１等における通孔８の数や開口寸法、マスク本体２の厚み寸法等は、図面作成の便宜上示したものである。

【0015】

図２及び図３に示すようにマスク本体２は、平面視が正方形の金属薄板で形成されており、外周側に設けられて、正方形状の外形を有する通孔のないベタ部６と、ベタ部６の内部に形成された正方形状の外形を有するパターン部７とで構成される。図１に示すようにパターン部７には、上下方向に貫通する多数独立の印刷用の通孔８からなる印刷パターンが形成されている。

【0016】

図１及び図３に示すようにマスク本体２のベタ部６の上面には、該マスク本体２を補強するための補強枠９が不離一体的に固定されている。補強枠９は、４２アロイ、インバー材、ＳＵＳ４３０等のマスク本体２を構成する電着金属よりも熱線膨張係数の小さな金属（低熱膨張材）を素材とする四角枠体であり、その外周形状はマスク本体２の外周形状と一致するように形成することが望ましい。補強枠９を構成する四角枠体の各辺部の幅寸法は同一とされている。補強枠９の厚み寸法は、マスク本体２の厚み寸法より大きく形成されている。以上のような補強枠９は、板材にプレス機による打抜き加工、エッチング液によるエッチング加工、レーザー光によるレーザー加工、或いは電鋳（めっき）により形成することができる。

【0017】

図１及び図２に示すように、保持枠４は、中央部に四角形状の開口であるマスク開口３を有する四角枠状の金属成形品である。保持枠４の内周形状、すなわちマスク開口３の開口寸法は、マスク本体２の外形形状よりも大きく設定されている。保持枠４を構成する金属は、補強枠９を構成する金属と熱線膨張係数が同等、或いは補強枠９を構成する金属よりも熱線膨張係数が大きいものとされている。保持枠４の肉厚寸法は、補強枠９の肉厚寸法よりも大きいものとされている。以上のような構成からなる保持枠４は、板材にプレス機で打抜き加工を施す、或いは板材からレーザー加工により切り出すことにより形成することができる。

【0018】

図１及び図２に示すように、連結体５は、内周形状が補強枠９の外周形状より小さく、外周形状が保持枠４の内周形状より大きい四角枠体からなる。補強枠９と連結体５とは、補強枠９の各辺部における上面の外周縁部分（外側過半部）と、連結体５の各辺部における下面の内周縁部分とを接着することにより、不離一体的に接合されている。また、連結体５と保持枠４とは、連結体５の各辺部における上面の外周縁部分と、保持枠４の各辺部における下面の内周縁部分（内側半部）とを接着することにより、不離一体的に接合されている。本実施形態では、補強枠９と連結体５の各辺部における固定幅は同一に形成されており、連結体５と保持枠４の各辺部における固定幅は同一とされている。また、補強枠９と連結体５の固定幅（断面視における接着領域）と、連結体５と保持枠４の固定幅（断面視における接着領域）は同一とされている。以上より、本実施形態のマスク１では、保持枠４の下側に連結体５が配され、連結体５の下側に補強枠９が配され、補強枠９の下側にマスク本体２が配されている。

【0019】

連結体５は、自己復元性を有する伸縮体で構成されている。具体的には、連結体５は、ポリエステル（樹脂）を素材として形成されるメッシュシート（ポリエステル繊維からなる織布）を四角枠状に裁断してなる。このようなメッシュシートは、引張力を加えると伸長し、引張力が解除されると元の形状へ収縮する自己復元性を発揮する。このため、本実施形態のマスク１においては、マスク本体２に対して上下方向の押圧力が加えられると、連結体５に引張力が加えられて当該連結体５は伸長し、これによりマスク本体２は押圧力の作用方向（上下方向）へ変位する。また、この状態からマスク本体２に対する押圧力が解除されると、連結体５は復元力により元の姿勢に戻り、これによりマスク本体２も元の位置へ復帰させることができる。連結体５を構成するメッシュシートのメッシュサイズは、＃１００～＃３００のものが望ましい。

【0020】

次に、マスク１を用いたスクリーン印刷法におけるオフセット印刷について、図１および図４を参照して説明する。まず、マスク１を図外のスクリーン印刷機に取り付ける。このとき、マスク１は、マスク本体２が印刷対象１６の上面１７（印刷面）と対峙する印刷姿勢と、マスク本体２が印刷対象１６の上面１７から退避する退避姿勢との間で姿勢変更可能な状態でスクリーン印刷機に装着される。また、印刷対象１６はスクリーン印刷機の印刷台上に保持されている。オフセット印刷を行う際には、まず、図１に示すように、印刷台に印刷対象１６をセットし、さらにマスク１を退避姿勢から印刷姿勢へと切換えて、印刷対象１６の上面１７にマスク本体２を対峙させる。このとき、印刷対象１６の上面１７とマスク本体２の下面１８とは、所定の距離Ｌだけ浮き離れるように配される。この距離Ｌは、マスク本体２の厚み寸法以上に設定される。

【0021】

続いて、図４に示すように、マスク本体２の上面に印刷材２０を載せ、この印刷材２０をスキージ１９で一方向に延ばしながら通孔８内に充填して、印刷対象１６の上面１７に印刷パターンを形成する。具体的には、マスク本体２の上面に印刷材２０を載せたのち、スキージ１９の先端をマスク本体２の上面に接触させ、さらにマスク本体２を下向きに変位させるようにスキージ１９を下方向に押付けて、印刷対象１６の上面１７にマスク本体２の下面１８を当接させる。このとき、スキージ１９からの押圧力を受ける部分は、連結体５が伸長することによって保持枠４に対して下向きに部分的に変位されるものの、マスク本体２の全体は、連結体５の自己復元力により、僅かに上方に変位されることとなる。以上より、図４に示すように、マスク本体２は、スキージ１９の押圧位置を最下点とする下突状に湾曲変形される。

【0022】

続いて、スキージ１９の押圧力をマスク本体２に作用させたまま、スキージ１９をその移動方向上流側から下流端に向かって移動させる。このとき、印刷対象１６の上面１７とマスク本体２の下面１８とが当接する部位が、スキージ１９の進行方向に移動しながら、通孔８に印刷材２０が充填される。また、スキージ１９の押圧力が作用している部分では、マスク本体２は印刷対象１６の上面１７に密着している。最後に、スキージ１９による押圧力を解除し、マスク１を退避姿勢に切換えてマスク本体２を印刷対象１６の上方から取り除く。以上より、印刷対象１６の上面１７に印刷材２０からなる印刷パターンを形成することができる。本実施形態のマスク１においては、マスク本体２がマスク１の最下層に配されているため、印刷対象１６の上面１７の平面サイズが、マスク本体２の平面サイズを超える場合でも、支障なく印刷対象１６の上面１７に印刷パターンを形成することができる。

【0023】

図５及び図６に本実施形態に係るマスク１の製造方法の一例を示す。まず、図５（ａ）に示すように、導電性を有する例えばステンレス鋼製や真ちゅう製の母型２２の表面にフォトレジスト層２３を形成し、このフォトレジスト層２３の上に、前記の通孔８及びマスク本体２の外周形状に対応する透光孔２４ａを有するパターンフィルム２４を密着させる。フォトレジスト層２３は、ネガタイプの感光性ドライフィルムレジストを、所定の高さに合わせて一枚ないし数枚ラミネートして熱圧着により形成した。次に、紫外光ランプ２５で紫外線光を照射してフォトレジスト層２３を露光し、現像・乾燥の各処理を行ったのち、未露光部分を溶解除去することにより、図５（ｂ）に示すような、通孔８及びマスク本体２の外周形状に対応するストレート状のレジスト体２６ａを有するパターンレジスト２６を母型２２上に形成した。

【0024】

続いて、母型２２を所定の条件に建浴した電鋳槽に入れ、図５（ｃ）に示すように、マスク本体２の厚み寸法を超え、且つレジスト体２６ａの高さの範囲内で、母型２２のレジスト体２６ａで覆われていない表面にニッケル合金等の電着金属を電鋳（めっき）して、電鋳層２７を形成した。次に、図５（ｄ）に示すように、パターンレジスト２６及び電鋳層２７の表面に研磨処理を施して平坦化し、さらにパターンレジスト２６を溶解除去することにより、図５（ｅ）に示すような、マスク本体２の厚み寸法に調整されるとともに、表面が平滑な面に仕上げられた電鋳層２７を母型２２上に形成した。

【0025】

続いて、図６（ａ）に示すように、予め形成された補強枠９を接着剤等で電鋳層２７の上面に固定したのち、電鋳層２７を母型２２から剥離して、図６（ｂ）に示すような補強枠９が上面側に一体化されたマスク本体２を形成した。最後に、治具を用いて、予め形成された連結体５を補強枠９の上面に接着剤等で固定し、次に、予め形成された保持枠４を接着剤等で連結体５の上面に固定する。以上より、図６（ｃ）に示すような、マスク本体２が保持枠４で支持されるマスク１を得ることができる。なお、平面サイズがマスク本体２の外形形状に合致している母型２２を使用してマスク本体２を形成する際には、母型２２の表面に形成されたフォトレジスト層２３上に密着されるパターンフィルム２４（図５（ａ）参照）は、前記の通孔８に対応する透光孔２４ａを有するものを使用する。

【0026】

本実施形態のマスク１は、オフセット印刷に好適に用いられるが、コンタクト印刷にも用いることができる。マスク１は、１個のマスク本体２を備えるものであったが、複数のマスク本体２を備える形態であってもよい。例えば、マスク１が４個のマスク本体２を備えるものである場合には、保持枠４は、４個のマスク開口３を備える格子状に形成すればよい。連結体５は、金属を素材とするメッシュ体、或いはゴムを素材とするシート体であってもよい。連結体５は、保持枠４の上面に固定することもできる。補強枠９と連結体５の固定幅（断面視における接着領域）は、連結体５と保持枠４の固定幅（断面視における接着領域）と同幅、或いは大きく形成することが望ましい。

【0027】

マスク１の製造工程において、補強枠９は、マスク本体２の形成後に補強枠９に対応するレジストパターンを形成し電鋳（めっき）を行って、マスク本体２と一体に形成することもできる。上記の製造工程においては、母型２２上の電鋳層２７に補強枠９を固定（図６（ａ）参照）するようにしたが、先に電鋳層２７を母型２２から剥離し、剥離した電鋳層２７に治具を用いて補強枠９、連結体５、保持枠４を固定してマスク１を得ることもできる。また、母型２２上の電鋳層２７に補強枠９を固定する工程（図６（ａ）参照）に次いで、補強枠９に連結体５を固定し、さらに連結体５に保持枠４を固定したのち、これら電鋳層２７、補強枠９、連結体５、及び保持枠４を母型２２から剥離して、マスク１を得ることもできる。連結体５と保持枠４は予め一体化したものを用意し、これを補強枠９に固定することができる。

【0028】

（第２実施形態） 図７から図９に本発明に係るスクリーン印刷用マスクの第２実施形態を示す。本実施形態では、マスク本体２が、連結体５に接合されている点が、先の第１実施形態と相違する。マスク本体２と連結体５とは、マスク本体２のベタ部６の各辺部における上面の外周縁部分と、連結体５の各辺部における下面の内周縁部分とを接着することにより、不離一体的に接合されている。また、連結体５と保持枠４とは、連結体５の各辺部における上面の外周縁部分と、保持枠４の各辺部における下面の内側半部とを接着することにより、不離一体的に接合されている。本実施形態では、マスク本体２と連結体５の各辺部における固定幅は同一に形成されており、連結体５と保持枠４の各辺部における固定幅は同一とされている。また、マスク本体２と連結体５の固定幅と、連結体５と保持枠４の固定幅は同一とされている。以上より、本実施形態のマスクでは、保持枠４の下側に連結体５が配され、連結体５の下側にマスク本体２が配され、マスク本体２の下側に補強枠９が配されている。

【0029】

図９に本実施形態に係るマスク１の製造方法を示す。まず、先の第１実施形態の製造方法（図５（ａ）～（ｅ）、図６（ａ）参照）と同一の工程を経て、図９（ａ）に示すように、補強枠９を電鋳層２７の上面に固定する。次に、電鋳層２７を母型２２から剥離し、さらにこれを上下反転させて、図９（ｂ）に示すような補強枠９が下面側に一体化されたマスク本体２を形成する。最後に、予め形成された連結体５をマスク本体２のベタ部６の上面に接着剤等で固定し、次に、予め形成された保持枠４を接着剤等で連結体５の上面に固定することにより、図９（ｃ）に示すような、マスク本体２が保持枠４で支持されたマスク１を得ることができる。他は第１実施形態と同様であるので、同じ部材には同じ符号を付してその説明を省略する。次の第３実施形態においても同様とする。

【0030】

（第３実施形態） 図１０に本発明に係るスクリーン印刷用マスクの第３実施形態を示す。本実施形態では、マスク本体２を補強する補強枠９を廃した点が先の各実施形態と相違する。

【0031】

上記各実施形態に係るマスク１においては、マスク本体２と保持枠４とを連結する連結体５を自己復元性を有する伸縮体で構成したので、オフセット印刷時においてマスク本体２に対して、これを押し下げるような外力が付与された場合でも、連結体５が伸長変形することで当該外力を緩和吸収して、当該外力がマスク本体２に直接的に作用することを防ぐことができる。以上より、このマスク１によれば、弾性限度を超えるような引張応力がマスク本体２に生じることを防ぐことができるので、マスク本体２に永久ひずみが生じて、マスク本体２の平滑性が損なわれることを防ぐことができる。また、このマスク１によれば、弾性限度を超えるような引張応力がマスク本体２に生じることを防ぐことで印刷材２０が通過される通孔８が変形することを防ぐことができるので、印刷面に対してより適正な形状の印刷パターンを形成することができる。

【0032】

連結体５を樹脂を素材とするメッシュシートで構成したので、より耐久性に優れたマスク１を得ることができる。つまり、樹脂は金属に比べて、繰り返される伸縮に伴う弾性変形によって生じる疲労破壊に対する耐性を備えているため、上記各実施形態によれば、より耐久性に優れたマスク１を得ることができる。また、連結体５をメッシュシートで構成したので、板状のシートで連結体５を構成する場合に比べて、連結体５に対してより大きな伸縮性を付与することができる。以上より、マスク本体２をより大きく上下方向に変位させることができるので、マスク本体２に永久ひずみが生じて、マスク本体２の平滑性が損なわれることをより確実に防ぐことができる。

【0033】

マスク本体２の外周縁に沿う表面に固定されて、マスク本体２を補強する補強枠９を備えるようにしたので、当該補強枠９によってマスク本体２の弾性変形を抑えることができる。これによってもマスク本体２に永久ひずみが生じて、マスク本体２の平滑性が損なわれることを防ぐことができる。

【0034】

補強枠９をマスク本体２の上面に固定し、マスク本体２を補強枠９を介して連結体５に接続したので、マスク本体２をマスク１の最下層に配することができる。これによれば、オフセット印刷時におけるマスク本体２の下面１８と、印刷対象１６の上面１７との距離Ｌをより小さくすることができるので、マスク本体２の下方向の変位量をより小さくすることができる。したがって、マスク本体２の変位によって引張応力がマスク本体２の内部に生じることを抑えることができる。

【0035】

補強枠９をマスク本体２の下面に固定し、マスク本体２を連結体５に接続したので、上述のマスク本体２が補強枠９を介して連結体５に支持される形態に比べて、マスク本体２と連結体５との間に介在する部材がない分、保持枠４とマスク本体２との相対位置精度を高めることができる。したがって、オフセット印刷時に印刷対象１６に対してマスク本体２を最適な位置に配して、印刷対象１６の上面１７に精度よく印刷パターンを形成することができる。

【0036】

本発明に係るスクリーン印刷用マスクは、国連の提唱する持続可能な開発目標（ＳＤＧｓ : Sustainable Development Goals）の目標９（産業と技術革新の基盤をつくろう）および目標１２（つくる責任、つかう責任）に貢献することができる。また、本発明に係るスクリーン印刷用マスクの構造は、蒸着用、半田ボール配列用、或いは半田ボール吸着用等の各種メタルマスクにも適用することができる。

【符号の説明】

【0037】

１ スクリーン印刷用マスク
２ マスク本体
３ マスク開口
４ 保持枠
５ 連結体
８ 通孔
９ 補強枠

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】