特開 2025-104468 搬送装置および搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025104468

(43)【公開日】2025-07-10

(54)【発明の名称】搬送装置および搬送方法

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/36 20060101AFI20250703BHJP

   B65G 35/06 20060101ALI20250703BHJP

   B41F 15/08 20060101ALI20250703BHJP

   H05K 3/34 20060101ALN20250703BHJP

【ＦＩ】

B41F15/36 B

B65G35/06 J

B41F15/08 303E

H05K3/34 505D

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023222294

(22)【出願日】2023-12-28

(71)【出願人】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000017

【氏名又は名称】弁理士法人アイテック国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】深草 祥史

【テーマコード（参考）】

2C035

5E319

【Ｆターム（参考）】

2C035AA06

2C035FA25

2C035FA26

2C035FB26

2C035FD01

5E319AA03

5E319AA07

5E319AB05

5E319BB05

5E319CC33

5E319GG15

(57)【要約】

【課題】搬送対象物をより確実に所定位置で位置決めする。
【解決手段】搬送装置は、水平方向に平行に延在する一対のレールを備え、生産ラインで用いられる搬送対象物を前記一対のレール上で搬送して所定位置に位置決めする。搬送装置は、レールの延在方向に直交する面で搬送対象物の被吸着部に吸着する吸着部を有する押圧部材と、押圧部材を昇降する昇降部と、一対のレールの延在方向に押圧部材を移動させる移動部と、一対のレール上の搬送対象物を一対のレールに対してクランプするクランプ部と、押圧部材が下降して押圧部材の吸着部が搬送対象物の被吸着部に吸着するように昇降部と移動部とを制御し、搬送対象物が所定位置まで搬送されるように移動部を制御し、搬送対象物が所定位置でクランプされるようにクランプ部を制御した後、押圧部材が搬送対象物から退避するように昇降部と移動部とを制御する制御部と、を備える。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

水平方向に平行に延在する一対のレールを備え、生産ラインで用いられる搬送対象物を前記一対のレール上で搬送して所定位置に位置決めする搬送装置であって、
前記レールの延在方向に直交する面で前記搬送対象物の被吸着部に吸着する吸着部を有する押圧部材と、
前記押圧部材を昇降する昇降部と、
前記一対のレールの延在方向に前記押圧部材を移動させる移動部と、
前記一対のレール上の前記搬送対象物を該一対のレールに対してクランプするクランプ部と、
前記押圧部材が下降して該押圧部材の吸着部が前記搬送対象物の被吸着部に吸着するように前記昇降部と前記移動部とを制御し、前記搬送対象物が前記所定位置まで搬送されるように前記移動部を制御し、前記搬送対象物が前記所定位置でクランプされるように前記クランプ部を制御した後、前記押圧部材が前記搬送対象物から退避するように前記昇降部と前記移動部とを制御する制御部と、
を備える搬送装置。

【請求項2】

請求項１に記載の搬送装置であって、
前記押圧部材の吸着部は、磁石および磁性体の一方であり、
前記搬送対象物の被吸着部は、磁石および磁性体の他方である、
搬送装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の搬送装置であって、
前記搬送対象物は、前記レール上を転動するローラを有する、
搬送装置。

【請求項4】

水平方向に平行に延在する一対のレールと、押圧部材と、を用いて、生産ラインで用いられる搬送対象物を前記一対のレール上で搬送して所定位置に位置決めする搬送方法であって、
前記レールの延在方向に直交する面で前記押圧部材を搬送対象物に吸着させ、
前記押圧部材を前記一対のレールの延在方向に移動させて前記搬送対象物を前記所定位置まで搬送し、
前記搬送対象物を前記所定位置でクランプした後、前記押圧部材を前記搬送対象物から退避させる、
搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、搬送装置および搬送方法について開示する。

【背景技術】

【0002】

従来、この種の搬送装置としては、前後に延在する左右一対の支持レールと、プッシャとプッシャを昇降させるプッシャ昇降装置とを含むヘッドと、ヘッドを前後に移動させるヘッド移動装置と、を備える作業装置（印刷装置）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この作業装置は、プッシャ昇降装置によりプッシャを下降させて下方に突出させ、ヘッド移動装置によりヘッドと共にプッシャを前後に移動させることにより、支持レール上の搬送対象物（スクリーンマスクや搬送治具）を前後に押して搬送する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０２２／２３４６４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した作業装置では、支持レール上の搬送対象物をプッシャで前後に押して搬送するため、搬送対象物が目標位置まで移動してプッシャを停止させた後も、搬送対象物が慣性により目標位置を超えて進み、搬送対象物を目標位置で位置決めさせることができない場合が生じる。

【0005】

本開示は、レール上の搬送対象物を押圧部材で押して搬送するものにおいて、搬送対象物をより確実に所定位置で位置決めすることを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

【0007】

本開示の搬送装置は、
水平方向に平行に延在する一対のレールを備え、生産ラインで用いられる搬送対象物を前記一対のレール上で搬送して所定位置に位置決めする搬送装置であって、
前記レールの延在方向に直交する面で前記搬送対象物の被吸着部に吸着する吸着部を有する押圧部材と、
前記押圧部材を昇降する昇降部と、
前記一対のレールの延在方向に前記押圧部材を移動させる移動部と、
前記一対のレール上の前記搬送対象物を該一対のレールに対してクランプするクランプ部と、
前記押圧部材が下降して該押圧部材の吸着部が前記搬送対象物の被吸着部に吸着するように前記昇降部と前記移動部とを制御し、前記搬送対象物が前記所定位置まで搬送されるように前記移動部を制御し、前記搬送対象物が前記所定位置でクランプされるように前記クランプ部を制御した後、前記押圧部材が前記搬送対象物から退避するように前記昇降部と前記移動部とを制御する制御部と、
を備えることを要旨とする。

【0008】

この本開示の搬送装置では、押圧部材（吸着部）に搬送対象物（被吸着部）を吸着させてから、押圧部材により搬送対象物を押圧して所定位置まで搬送し、搬送対象物を所定位置でクランプしてから、押圧部材を搬送対象物から退避させる。これにより、搬送対象物をより確実に所定位置で位置決めすることができる。

【0009】

本開示の搬送方法は、
水平方向に平行に延在する一対のレールと、押圧部材と、を用いて、生産ラインで用いられる搬送対象物を前記一対のレール上で搬送して所定位置に位置決めする搬送方法であって、
前記レールの延在方向に直交する面で前記押圧部材を搬送対象物に吸着させ、
前記押圧部材を前記一対のレールの延在方向に移動させて前記搬送対象物を前記所定位置まで搬送し、
前記搬送対象物を前記所定位置でクランプした後、前記押圧部材を前記搬送対象物から退避させる、
ことを要旨とする。

【0010】

この本開示の搬送方法では、本開示の搬送装置と同様の効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】印刷機および収容ラックの斜視図である。

【図2】印刷機および収容ラックの側面図である。

【図3】プッシャの斜視図である。

【図4】基板支持部材と交換フレームの斜視図である。

【図5】収容ラックと交換フレームと搬送レールの斜視図である。

【図6】搬送レールの斜視図である。

【図7】印刷機の電気的な接続関係を示すブロック図である。

【図8】基板支持部材交換処理の一例を示すフローチャートである。

【図9】プッシャを交換フレームに吸着する様子を示す説明図である。

【図10】プッシャで交換フレームを押して搬送する様子を示す説明図である。

【図11】停止位置で交換フレームを停止する様子を示す説明図である。

【図12】停止位置で交換フレームをクランプする様子を示す説明図である。

【図13】プッシャを交換フレームから退避する様子を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

次に、本開示を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。

【0013】

図１は、印刷機１０および収容ラック６０の斜視図である。図２は、印刷機１０および収容ラック６０の側面図である。図３は、プッシャ２４の斜視図である。図４は、基板支持部材３２と交換フレーム８０の斜視図である。図５は、収容ラック６０と交換フレーム８０と搬送レール４０の斜視図である。図６は、搬送レール４０の斜視図である。図７は、印刷機の電気的な接続関係を示すブロック図である。図１～図６において、左右方向をＸ軸とし、前後方向をＹ軸とし、上下方向をＺ軸とする。

【0014】

本実施形態の印刷機１０は、スキージ２２を用いてスクリーンマスクＭ上のはんだペーストをスクリーンマスクＭに形成されたパターン孔に押し込むことにより当該パターン孔を介して下方の基板Ｓにはんだペーストを印刷するものである。印刷機１０は、はんだが印刷された基板Ｓに電子部品を実装する部品実装機と組み合わされて生産ラインを構成する。更に、印刷機１０は、生産する基板Ｓの種類を変更する際に、基板Ｓの種類に合わせて、スクリーンマスクＭや基板Ｓを支持する基板支持部材３２の自動交換が可能である。

【0015】

印刷機１０は、図１，図２に示すように、印刷機本体１１と、印刷機本体１１を収容する筐体１２と、交換装置５０と、収容ラック６０と、印刷機全体を制御する制御装置１００（図７参照）と、を備える。印刷機本体１１は、ヘッド装置２０と、基板搬送装置３０と、認識部３５と、搬送レール４０と、を有する。

【0016】

ヘッド装置２０は、印刷機本体１１の上段部に設置されている。ヘッド装置２０は、図１に示すように、ヘッド本体２１と、ヘッド本体２１を印刷方向である前後方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動部２６と、を備える。ヘッド移動部２６は、前後方向に延在するガイドレール２８と、ガイドレール２８に沿って移動するＹ軸スライダ２７と、Ｙ軸スライダ２７を駆動するモータ２９ａと、ヘッド本体２１の位置を検出する位置センサ（エンコーダ）２９ｂと、を有する。ヘッド本体２１は、図２に示すように、前後一対のスキージ２２と、例えばエアシリンダにより構成され対応するスキージ２２を昇降させる一対のスキージ昇降部２３と、プッシャ２４と、例えばエアシリンダにより構成されプッシャ２４を昇降させるプッシャ昇降部２５と、を有する。前後一対のスキージ２２は、印刷方向に直交する左右方向（Ｘ軸方向）に延びる板状部材であり、左右方向から見て下方に向かうにつれて互いに離間するように傾斜する。プッシャ２４は、図３に示すように、前後方向（Ｙ軸方向）に直交する面に当接面が形成された前後、左右一対の第１押圧部２４ａと、下方に当接面が形成された左右一対の第２押圧部２４ｂと、を有する。印刷機本体１１の中段部には前後に延在する左右一対の搬送レール４０が設置されており、プッシャ２４は、プッシャ昇降部２５により下降させられた状態で、ヘッド移動部２６により前後に移動させられることで、搬送レール４０上の交換フレーム７０，８０を第１押圧部２４ａで前後に押して移動させる。交換フレーム７０，８０は、図２に示すように、筐体１２の前面中段部に設けられた通過口３８を介して筐体１２の内外に移動する。なお、通過口３８には、交換フレーム７０，８０の通過を検知する検知センサ３９が設けられている。

【0017】

基板搬送装置３０は、印刷機本体１１の下段部に設置されている。基板搬送装置３０は、基板Ｓを搬入して位置決め支持すると共に、基板ＳをスクリーンマスクＭ（裏面）に接触・離間させるものである。基板搬送装置３０は、図２に示すように、基板Ｓを左右方向（Ｘ軸方向）に搬送する基板搬送部３１と、基板搬送部３１により搬送された基板Ｓを下方から支持する基板支持部材３２と、基板支持部材３２が載置される昇降テーブル３４と、昇降テーブル３４と共に基板支持部材３２を昇降させる基板支持部材昇降部３３と、を備える。基板支持部材３２は、基板Ｓの種類に応じて当該基板Ｓを支持するのに適したサイズのものに交換される。

【0018】

認識部３５は、基板Ｓや基板支持部材３２を認識するものである。認識部３５は、図１に示すように、カメラ本体３６と、カメラ本体３６を移動させるカメラ移動部３７と、を備える。認識部３５は、基板搬送装置３０により基板Ｓが搬送され位置決めされた際に当該基板Ｓの上面に付されたマークを読み取って基板Ｓの位置を認識する。また、認識部３５は、搬送レール４０上を交換フレーム８０が搬送され位置決めされた際に当該交換フレーム８０が保持する基板支持部材３２に付されたマークを読み取って基板支持部材３２の位置やサイズを認識する。

【0019】

交換装置５０は、交換フレーム７０，８０を用いて印刷機本体１１で使用される交換部材（スクリーンマスクＭや基板支持部材３２）を収容した収容ラック６０を受け入れ、収容ラック６０と印刷機本体１１との間で交換部材を搬送するものである。交換装置５０は、図１に示すように、印刷機本体１１の正面（前面）における左側に設置された左側ユニット５１ａと、印刷機本体１１の正面における右側に設置された右側ユニット５１ｂと、を備える。左側ユニット５１ａおよび右側ユニット５１ｂは、収容ラック６０を受け入れてその下面を左右両側から支持するラック支持部材５２と、ラック支持部材５２を昇降させるラック昇降部５３と、を有する。ラック昇降部５３は、例えばボールねじ機構とモータとの組み合わせや、リニアモータにより構成される。ラック支持部材５２に支持された収容ラック６０は、ラック昇降部５３よりラック支持部材５２と共に昇降する。更に、左側ユニット５１ａおよび右側ユニット５１ｂは、収容ラック６０内の交換フレーム７０，８０をベルトやローラ等により左右両側面から前後に送るフレーム前後移動部５４を有する。

【0020】

収容ラック６０は、図１に示すように、左右一対の支持レール６１を上下に複数段有し、各支持レール６１に交換部材（交換フレーム７０，８０）を収容可能な収容体である。収容ラック６０の印刷機本体１１とは反対側の前面と印刷機本体１１側の背面とには開口部６２，６３が形成されている。交換部材（交換フレーム７０，８０）は、前面側の開口部６２を介して作業者等により出し入れされ、背面側の開口部６３を介してフレーム前後移動部５４により印刷機本体１１に対して搬入出される。フレーム前後移動部５４は、交換装置５０に収容ラック６０が受け入れられた状態で、収容ラック６０の複数段の支持レール６１のうちラック昇降部５３により印刷機本体１１の搬送レール４０と略同じ高さに位置する支持レール６１に支持された交換部材を印刷機本体１１へ送り出す。また、フレーム前後移動部５４は、印刷機本体１１の搬送レール４０に支持された交換部材を当該搬送レール４０と略同じ高さに位置する収容ラック６０の支持レール６１に送り入れる。なお、収容ラック６０は、作業者により交換装置５０の受け入れ位置まで搬送されてもよいし、自動搬送装置（ＡＧＶ）に搭載されて自動搬送装置によって交換装置５０の受け入れ位置まで自動搬送されてもよい。

【0021】

交換フレーム７０は、スクリーンマスクＭを支持する枠体である。スクリーンマスクＭは、金属製の薄板であり、所定のテンションが付与された状態で交換フレーム７０により支持される。スクリーンマスクＭは、交換フレーム７０に支持されたままの状態で、搬送レール４０上の作業位置で位置決め固定され、印刷に使用される。

【0022】

交換フレーム８０は、図４に示すように、基板支持部材３２を支持する枠体であり、交換フレーム７０と略同じ左右幅を有する。交換フレーム８０は、矩形状の外枠８１と、互いの先端部が向かい合うように外枠８１に取り付けられて当該先端部で基板支持部材３２を両側から支持する一対の支持アーム８２と、を備える。一方の支持アーム８２の基端部は、外枠８１の左辺部８１ａの近傍に配置されると共に左辺部８１ａに平行な回動軸８３に回動可能に支持されている。他方の支持アーム８２の基端部は、外枠８１の右辺部８１ｂの近傍に配置されると共に右辺部８１ｂに平行な回動軸に回動可能に支持されている。一対の支持アーム８２は、スプリングにより水平姿勢に付勢され、水平姿勢で基板支持部材３２を支持する。また、左右一対の支持アーム８２は、プッシャ２４により下方に押下されて下方に拡開することで、基板支持部材３２の支持を解除する。プッシャ２４には、上述したように、左右一対の第２押圧部２４ｂ（図３参照）が設けられ、プッシャ２４は、一対の支持アーム８２の上方において、プッシャ昇降部２５によって下降させられることにより、一対の第２押圧部２４ｂで当該一対の支持アーム８２を押下する。

【0023】

また、交換フレーム８０は、本実施形態では、図４に示すように、カムフォロア８４と、磁石部材８５と、を備える。カムフォロア８４は、交換フレーム８０が搬送レール４０上を転動可能となるように、外枠８１の左辺部８１ａおよび右辺部８１ｂの下面に複数個（例えば５個）ずつ取り付けられている。

【0024】

磁石部材８５は、本実施形態では、永久磁石により形成され、外枠８１のうち左辺部８１ａおよび右辺部８１ｂに直交する辺部８１ｃの内面に取り付けられている。辺部８１ｃは、外枠８１のうち左辺部８１ａおよび右辺部８１ｂに直交する二つの辺部のうち、収容ラック６０から昇降テーブル３４の上方へ向かう方向における先端側の辺部である。そして、辺部８１ｃの内面は、プッシャ２４の第１押圧部２４ａで交換フレーム８０を前後に押して搬送する際に、当該第１押圧部２４ａが当接される被当接面である。プッシャ２４の第１押圧部２４ａは、磁性体により形成されている。このため、第１押圧部２４ａを磁石部材８５に近接させることで、プッシャ２４は、当該磁石部材８５の磁気吸引力によって交換フレーム８０に吸着される。

【0025】

搬送レール４０は、図２に示すように、印刷機本体１１の中段部の通過口３８と略同じ高さとなるように固定台４３に設置され、前後方向（Ｙ軸方向）に延在する左右一対の長尺のレールである。搬送レール４０は、図５，図６に示すように、左右一対の第１搬送面４１と、左右一対の第１搬送面４１よりも内側かつ低い位置に設けられる左右一対の第２搬送面４２と、を備える。左右一対の第１搬送面４１は、交換フレーム７０（スクリーンマスクＭ）の搬送に用いられ、当該交換フレーム７０を水平姿勢で支持する。左右一対の第２搬送面４２は、交換フレーム８０（基板支持部材３２）の搬送に用いられ、当該交換フレーム８０を水平姿勢で支持する。上述したように、交換フレーム８０の外枠８１の左辺部８１ａおよび右辺部８１ｂにおける下面には、カムフォロア８４が取り付けられており、交換フレーム８０は、カムフォロア８４が第２搬送面４２上を転動することで、第２搬送面４２上を走行する。

【0026】

また、左右一対の搬送レール４０の上方には、交換フレーム７０（スクリーンマスクＭ）や交換フレーム８０（基板支持部材３２）をクランプするためのクランプ部４５が搬送レール４０に沿って複数個（例えば３個）ずつ設けられている。各クランプ部４５は、当接部４６と、固定台４３に設置されて当接部４６を昇降させる昇降部４７（例えば、エアシリンダ）と、を有する。各クランプ部４５は、搬送レール４０上に交換フレーム７０，８０が位置した状態で当接部４６を下降させることで、当接部４６で当該交換フレーム７０，８０を搬送レール４０に押し付けてクランプする。

【0027】

制御装置１００は、図７に示すように、ＣＰＵ１０１を中心としたマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵ１０１の他にＲＯＭ１０２やＲＡＭ１０３、記憶装置１０４を備える。制御装置１００は、ヘッド装置２０や基板搬送装置３０、認識部３５、クランプ部４５、交換装置５０に対して信号をやり取りする。また、制御装置１００は、印刷機１０を含む生産ラインを管理する管理装置２００と通信可能に接続される。

【0028】

次に、こうして構成された印刷機１０の動作、特に、段取り替えに際して、スクリーンマスクＭや基板支持部材３２を交換フレーム７０，８０と共に搬送して交換する動作について説明する。ここで、本実施形態の搬送レール４０、プッシャ２４、プッシャ昇降部２５およびヘッド移動部２６が本開示の搬送装置の一例である。

【0029】

スクリーンマスクＭの交換は、以下のようにして行なわれる。すなわち、制御装置１００のＣＰＵ１０１は、まず、プッシャ昇降部２５とヘッド移動部２６とを制御して、使用済みのスクリーンマスクＭを支持した、第１搬送面４１上の交換フレーム７０をプッシャ２４で押して第１搬送面４１上を移動させ、交換フレーム７０を通過口３８から筐体１２外へ搬出させる。続いて、ＣＰＵ１０１は、交換装置５０を制御して、交換フレーム７０を収容ラック６０に回収する。次に、ＣＰＵ１０１は、交換装置５０を制御して、新たなスクリーンマスクＭを支持した交換フレーム７０を収容ラック６０から取り出して、通過口３８から筐体１２内へ搬入させる。そして、ＣＰＵ１０１は、プッシャ昇降部２５とヘッド移動部２６とを制御して、搬入した交換フレーム７０をプッシャ２４で押して第１搬送面４１上を移動させることで、交換フレーム７０（新たなスクリーンマスクＭ）を作業位置まで搬送して位置決めする。

【0030】

また、制御装置１００は、生産する基板Ｓの種類に応じて基板支持部材３２の交換も行なう。図８は、制御装置１００のＣＰＵ１０１により実行される基板支持部材交換処理の一例を示すフローチャートである。基板支持部材交換処理は、搬送レール４０上のスクリーンマスクＭ（交換フレーム７０）を収容ラック６０に退避させると共に、昇降テーブル３４に載置されている使用済みの基板支持部材３２を収容ラック６０に回収した後に行なわれる。なお、使用済みの基板支持部材３２の回収は、以下のようにして行なわれる。すなわち、ＣＰＵ１０１は、基板支持部材３２を支持していない空の交換フレーム８０を収容ラック６０から取り出して、通過口３８から筐体１２内へ搬入させる。続いて、ＣＰＵ１０１は、プッシャ昇降部２５とヘッド移動部２６とを制御して、搬入した空の交換フレーム８０をプッシャ２４で押して第２搬送面４２上を移動させることで、空の交換フレーム８０を停止位置（昇降テーブル３４の上方）まで搬送して位置決めする。次に、ＣＰＵ１０１は、昇降テーブル３４に載置されている使用済みの基板支持部材３２を昇降テーブル３４から空の交換フレーム８０に受け渡す。基板支持部材３２の昇降テーブル３４から交換フレーム８０への受け渡しは、以下のようにして行なわれる。ＣＰＵ１０１は、プッシャ昇降部２５を制御してプッシャ２４の一対の第２押圧部２４ｂで一対の支持アーム８２を押し下げて当該一対の支持アーム８２を拡開させる。続いて、ＣＰＵ１０１は、一対の支持アーム８２の間に使用済みの基板支持部材３２が入り込むように、基板支持部材昇降部３３を制御して昇降テーブル３４（使用済みの基板支持部材３２）を上昇させる。そして、ＣＰＵ１０１は、プッシャ昇降部２５を制御してプッシャ２４を上昇させて、一対の第２押圧部２４ｂによる一対の支持アーム８２の押し下げを解除する。これにより、使用済みの基板支持部材３２は、一対の支持アーム８２に支持される。ＣＰＵ１０１は、使用済みの基板支持部材３２を交換フレーム８０に支持させた後、プッシャ昇降部２５とヘッド移動部２６とを制御して、交換フレーム８０をプッシャ２４で押して第２搬送面４２上を移動させることで通過口３８から筐体１２外へ搬出させる。そして、ＣＰＵ１０１は、交換装置５０を制御して、当該交換フレーム８０を収容ラック６０に回収する。

【0031】

以下、基板支持部材交換処理について図９～図１３を参照しながら説明する。

【0032】

基板支持部材搬入処理では、制御装置１００のＣＰＵ１０１は、まず、交換装置５０を制御して、新たな基板支持部材３２を支持した交換フレーム８０を収容ラック６０から取り出して、通過口３８から筐体１２内へ搬入させる（Ｓ１００）。続いて、ＣＰＵ１０１は、プッシャ昇降部２５とヘッド移動部２６とを制御して、搬入した交換フレーム８０の磁石部材８５にプッシャ２４の第１押圧部２４ａが吸着するように当該プッシャ２４を移動させる（Ｓ１１０、図９参照）。次に、ＣＰＵ１０１は、ヘッド移動部２６を制御して、プッシャ２４の第１押圧部２４ａで交換フレーム８０を押して第２搬送面４２上を移動させることで、交換フレーム８０（新たな基板支持部材３２）を搬送する（Ｓ１２０、図１０参照）。そして、ＣＰＵ１０１は、位置センサ２９ｂからの信号に基づいて交換フレーム８０が停止位置（昇降テーブル３４の上方）に到達したか否かを判定する（Ｓ１３０）。

【0033】

ＣＰＵ１０１は、交換フレーム８０が停止位置に到達したと判定すると（図１１参照）、ヘッド移動部２６によるプッシャ２４の移動を停止させた後、クランプ部４５を制御して当接部４６を下降させることにより、当接部４６で交換フレーム８０を第２搬送面４２に押し付けてクランプする（Ｓ１４０、図１２参照）。ＣＰＵ１０１は、交換フレーム８０をクランプした後、プッシャ昇降部２５とヘッド移動部２６とを制御して、交換フレーム８０の磁石部材８５から第１押圧部２４ａが脱離するように当該プッシャ２４を移動（退避）させる（Ｓ１５０、図１３参照）。

【0034】

このように、ＣＰＵ１０１は、プッシャ２４の第１押圧部２４ａに交換フレーム８０の磁石部材８５を吸着させてから、プッシャ２４により交換フレーム８０を押して停止位置まで搬送し、交換フレーム８０を停止位置でクランプしてから、プッシャ２４を交換フレーム８０から退避させる。これにより、プッシャ２４で交換フレーム８０を押すのを止めた後も、慣性により交換フレーム８０が移動するのを防止し、交換フレーム８０（基板支持部材３２）をより確実に停止位置で位置決めすることができる。したがって、その後の基板支持部材３２のマークの読み取りや、基板支持部材３２の受け渡しをより確実に行なうことが可能となる。

【0035】

次に、ＣＰＵ１０１は、カメラ移動部３７を制御して、予め定められた認識位置にカメラ本体３６を移動させ、当該認識位置で交換フレーム８０が支持する基板支持部材３２に付されたマークを当該カメラ本体３６で読み取る（Ｓ１６０）。そして、ＣＰＵ１０１は、読み取りに成功すると、基板支持部材３２を交換フレーム８０から昇降テーブル３４に受け渡し（Ｓ１７０）、空の交換フレーム８０を収容ラック６０に回収して（Ｓ１８０）、基板支持部材交換処理を終了する。基板支持部材３２の交換フレーム８０から昇降テーブル３４への受け渡しは、基板支持部材昇降部３３を制御して昇降テーブル３４を上昇させた状態で、昇降テーブル３４の上方において、プッシャ２４の一対の第２押圧部２４ｂで一対の支持アーム８２を押し下げて当該一対の支持アーム８２による基板支持部材３２の支持を解除することにより行なわれる。また、空の交換フレーム８０の回収は、プッシャ昇降部２５とヘッド移動部２６とを制御して、空の交換フレーム８０をプッシャ２４で押して第２搬送面４２上を移動させることで通過口３８から筐体１２外へ搬出させ、交換装置５０を制御して、空の交換フレーム８０を収容ラック６０に回収することにより行なわれる。

【0036】

ここで、実施形態の主要な要素と請求の範囲に記載した本開示の主要な要素との対応関係について説明する。即ち、本実施形態の搬送レール４０（第２搬送面４２）が本開示のレールの一例であり、交換フレーム８０（基板支持部材３２）が搬送対象物の一例であり、プッシャ２４が押圧部材の一例であり、プッシャ昇降部２５が昇降部の一例であり、ヘッド移動部２６が移動部の一例であり、クランプ部４５がクランプ部の一例であり、制御装置１００が制御部の一例である。また、カムフォロア８４がローラの一例である。

【0037】

なお、本開示は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

【0038】

例えば、上述した実施形態では、交換フレーム８０には磁石部材８５が設けられ、プッシャ２４の第１押圧部２４ａは、磁性体により形成されるものとした。しかし、プッシャ２４の第１押圧部２４ａには磁石部材が設けられ、交換フレーム８０の第１押圧部２４ａが当接する面は磁性体により形成されてもよい。

【0039】

上述した実施形態では、交換フレーム８０は、その外枠８１に設けられたカムフォロア８４が第２搬送面４２上を転動することで搬送されるものとした。しかし、カムフォロア８４を省略し、交換フレーム８０は、第２搬送面４２を摺動することで搬送されてもよい。

【0040】

上述した実施形態では、第２搬送面４２は、基板支持部材３２が取り付けられる交換フレーム８０の搬送に用いられるものとした。しかし、第２搬送面４２は、印刷機１０で用いられるものであれば、スクリーンマスクＭ以外の他の交換部材（例えば、スキージ２２）が取り付けられる交換フレームの搬送に用いられてもよい。なお、交換部材としてスキージ２２を交換フレームに取り付けて第２搬送面４２上を搬送させた際の、当該スキージ２２のヘッド本体２１への受け渡しについては、例えば、国際公開第２０１８／１０５０１６号公報に記載の手法を用いることができる。

【0041】

上述した実施形態では、プッシャ２４の第１押圧部２４ａが、基板支持部材３２を支持する枠体である交換フレーム８０に吸着し、交換フレーム８０を押して交換フレーム８０を搬送するものとした。しかし、プッシャ２４の第１押圧部２４ａは、スクリーンマスクＭを支持する枠体である交換フレーム７０に吸着し、交換フレーム７０を押して交換フレーム７０を搬送してもよい。この場合、交換フレーム７０の外枠のうち左辺部および右辺部に直交する二つの辺部のうち、収容ラック６０から作業位置へ向かう方向における先端側の辺部の内面に、磁石部材が取り付けられてもよい。あるいは、プッシャ２４の第１押圧部２４ａに磁石部材が設けられる場合は、交換フレーム７０の第１押圧部２４ａが当接する面が磁性体により形成されてもよい。

【0042】

上述した実施形態では、本開示の搬送装置を印刷機１０に適用して説明した。しかし、生産ラインに用いる部材を搬送するものであれば、他の如何なる作業装置に適用されてもよい。

【0043】

以上説明したように、本開示の搬送装置では、押圧部材（吸着部）に搬送対象物（被吸着部）を吸着させてから、押圧部材により搬送対象物を押圧して所定位置まで搬送し、搬送対象物を所定位置でクランプしてから、押圧部材を搬送対象物から退避させる。これにより、搬送対象物をより確実に所定位置で位置決めすることができる。

【0044】

こうした本開示の搬送装置において、前記押圧部材の吸着部は、磁石および磁性体の一方であり、前記搬送対象物の被吸着部は、磁石および磁性体の他方であってもよい。こうすれば、簡易な構成により搬送対象物に対して押圧部材を着脱させることができる。

【0045】

また、本開示の搬送装置において、前記搬送対象物は、前記レール上を転動するローラを有してもよい。こうすれば、レール上の搬送対象物をスムーズに搬送することができると共に搬送対象物をより確実に所定位置で位置決めすることができる。

【0046】

本開示では、搬送装置の形態とする他、搬送方法の形態としたり、印刷機の形態としたりすることもできる。

【産業上の利用可能性】

【0047】

本開示は、搬送装置の製造産業などに利用可能である。

【符号の説明】

【0048】

１０ 印刷機、１１ 印刷機本体、１２ 筐体、２０ ヘッド装置、２１ ヘッド本体、２２ スキージ、２３ スキージ昇降部、２４ プッシャ、２４ａ 第１押圧部、２４ｂ 第２押圧部、２５ プッシャ昇降部、２６ ヘッド移動部、２７ Ｙ軸スライダ、２８ ガイドレール、３０ 基板搬送装置、３１ 基板搬送部、３２ 基板支持部材、３３ 基板支持部材昇降部、３４ 昇降テーブル、３５ 認識部、３６ カメラ本体、３７ カメラ移動部、３８ 通過口、３９ 検知センサ、４０ 搬送レール、４１ 第１搬送面、４２ 第２搬送面、４３ 固定台、４５ クランプ部、４６ 当接部、４７ 昇降部、５０ 交換装置、５１ａ 左側ユニット、５１ｂ 右側ユニット、５２ ラック支持部材、５３ ラック昇降部、５４ フレーム前後移動部、６０ 収容ラック、６１ 支持レール、６２，６３ 開口部、７０，８０ 交換フレーム、８１ 外枠、８１ａ 左辺部、８１ｂ 右辺部、８１ｃ 辺部、８２ 支持アーム、８３ 回動軸、８４ カムフォロア、８５ 磁石部材、１００ 制御装置、１０１ ＣＰＵ、１０２ ＲＯＭ、１０３ ＲＡＭ、１０４ 記憶装置、２００ 管理装置、Ｍ スクリーンマスク、Ｓ 基板。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】