特開 2025-10725 振動デバイス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025010725

(43)【公開日】2025-01-23

(54)【発明の名称】振動デバイス

(51)【国際特許分類】

   H04R 1/24 20060101AFI20250116BHJP

   H04R 17/00 20060101ALI20250116BHJP

   H04R 1/00 20060101ALI20250116BHJP

【ＦＩ】

H04R1/24 A

H04R17/00

H04R1/00 310F

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023112865

(22)【出願日】2023-07-10

(71)【出願人】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100124062

【弁理士】

【氏名又は名称】三上 敬史

(72)【発明者】

【氏名】加藤 隆志

【テーマコード（参考）】

5D004

5D018

【Ｆターム（参考）】

5D004AA02

5D004CD07

5D004DD01

5D018AB02

(57)【要約】

【課題】圧電素子と振動体との間の振動の伝達ロスを回避しつつ、波長の長い振動の出力が可能となる振動デバイスを提供する。
【解決手段】圧電素子３を含む振動子２と、固定部５を介して振動子２に重なるように固定された振動体４と、を備え、固定部５は、振動子２及び振動体４の平面視において、中央側に位置する第１の固定部５Ａと、固定部５よりも外側に位置する第２の固定部５Ｂと、を有し、第２の固定部５Ｂによる振動子２及び振動体４の変形許容性は、第１の固定部５Ａによる振動子２及び振動体４の変形許容性よりも大きくなっている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧電素子を含む振動子と、
固定部を介して前記振動子に重なるように固定された振動体と、を備え、
前記固定部は、前記振動子及び前記振動体の平面視において、中央側に位置する第１の固定部と、前記第１の固定部よりも外側に位置する第２の固定部と、を有し、
前記第２の固定部による前記振動子及び前記振動体の変形許容性は、前記第１の固定部による前記振動子及び前記振動体の変形許容性よりも大きくなっている、振動デバイス。

【請求項2】

前記第２の固定部は、前記第１の固定部から離間している、請求項１記載の振動デバイス。

【請求項3】

前記第２の固定部は、前記第１の固定部を挟むように一対に配置されている、請求項１記載の振動デバイス。

【請求項4】

前記第２の固定部は、前記振動子の縁と重なるように配置されている、請求項１記載の振動デバイス。

【請求項5】

前記第２の固定部は、前記振動子の縁よりも外側に張り出すように配置されている、請求項１記載の振動デバイス。

【請求項6】

前記第２の固定部において、前記振動子の縁よりも外側に位置する領域の面積は、前記振動子の縁よりも内側に位置する領域の面積よりも大きくなっている、請求項５記載の振動デバイス。

【請求項7】

前記第１の固定部は、前記振動子の縁から離間して前記振動子の縁よりも内側に位置している、請求項１～６のいずれか一項記載の振動デバイス。

【請求項8】

前記第１の固定部の厚さと前記第２の固定部の厚さとは、互いに等しくなっている、請求項１～６のいずれか一項記載の振動デバイス。

【請求項9】

前記第１の固定部と前記振動子との対向領域は、前記第２の固定部と前記振動子との対向領域よりも大きくなっている、請求項１～６のいずれか一項記載の振動デバイス。

【請求項10】

前記第１の固定部は、両面テープによって構成され、
前記第２の固定部は、スポンジと、当該スポンジの両面に設けられた両面テープとによって構成されている、請求項１～６のいずれか一項記載の振動デバイス。

【請求項11】

前記振動子には、前記第１の固定部と中心位置を一致させた状態で錘部材が固定されている、請求項１～６のいずれか一項記載の振動デバイス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、振動デバイスに関する。

【背景技術】

【0002】

従来の振動デバイスとして、例えば特許文献１に記載の透明スピーカがある。この透明スピーカは、両面に透明電極を有する圧電素子をユニモルフ型又はバイモルフ型に振動体に固定することによって構成されている。表面の透明電極のリード部は、裏面の透明電極とは電気的に絶縁された状態で、裏面に回り込んでいる。振動体には、導電性を有する透明樹脂又は透明電極材で構成された一対のリード線が配置され、表裏の透明電極のそれぞれと電気的に接続されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平４－７０１００公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述のような圧電素子を用いた振動デバイスは、一般に、波長の長い振動（すなわち低音）の出力を不得手としていた。波長の長い振動の出力を高めるためには、圧電素子と振動体との結合構造を工夫することが考えられるが、圧電素子と振動体との間の振動の伝達ロスも合わせて考慮する必要がある。

【0005】

本開示は、上記課題の解決のためになされたものであり、圧電素子と振動体との間の振動の伝達ロスを回避しつつ、波長の長い振動の出力が可能となる振動デバイスを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一側面に係る振動デバイスは、圧電素子を含む振動子と、固定部を介して振動子に重なるように固定された振動体と、を備え、固定部は、振動子及び振動体の平面視において、中央側に位置する第１の固定部と、第１の固定部よりも外側に位置する第２の固定部と、を有し、第２の固定部による振動子及び振動体の変形許容性は、第１の固定部による振動子及び振動体の変形許容性よりも大きくなっている。

【0007】

この振動デバイスでは、中央側の第１の固定部の変形許容性を抑えることで、振動子で生じた振動をロスを抑えた状態で振動体に伝達できる。一方、外側の第２の固定部の変形許容性が確保されることで、振動体をより広範囲に振動させることができる。これにより、振動子が同一の周波数で振動した場合であっても、振動子の全面が変形許容性の乏しい固定部で振動体に固定されている場合と比較して、波長の長い振動が出力し易くなる。したがって、この振動デバイスでは、圧電素子と振動体との間の振動の伝達ロスを回避しつつ、波長の長い振動の出力が可能となる。

【0008】

第２の固定部は、第１の固定部から離間していてもよい。この場合、波長の短い振動が振動子から振動体に伝達することを抑制できる。したがって、低音に比重を置いた振動デバイスを構築できる。

【0009】

第２の固定部は、第１の固定部を挟むように一対に配置されていてもよい。これにより、振動子の振動によって振動体をより広範囲に振動させることができる。したがって、波長の長い振動が一層出力し易くなる。

【0010】

第２の固定部は、振動子の縁と重なるように配置されていてもよい。これにより、振動体をより広範囲に振動させることができる。したがって、波長の長い振動が一層出力し易くなる。

【0011】

第２の固定部は、振動子の縁よりも外側に張り出すように配置されていてもよい。これにより、振動子の振動によって振動体をより広範囲に振動させることができる。したがって、波長の長い振動が一層出力し易くなる。

【0012】

第２の固定部において、振動子の縁よりも外側に位置する領域の面積は、振動子の縁よりも内側に位置する領域の面積よりも大きくなっていてもよい。これにより、振動子の振動によって振動体をより広範囲に振動させることができる。したがって、波長の長い振動が一層出力し易くなる。

【0013】

第１の固定部は、振動子の縁から離間して振動子の縁よりも内側に位置していてもよい。この場合、振動子で生じた振動をロスを一層抑えた状態で振動体に伝達できる。

【0014】

第１の固定部の厚さと第２の固定部の厚さとは、互いに等しくなっていてもよい。この場合、初期の状態で振動子及び振動体が応力フリーとなり、入力に対して理想的な振動の出力が可能となる。

【0015】

第１の固定部と振動子との対向領域は、第２の固定部と振動子との対向領域よりも大きくなっていてもよい。この場合、振動子が十分な面積をもって振動体に固定されるため、振動子で生じた振動をロスを一層抑えた状態で振動体に伝達できる。

【0016】

第１の固定部は、両面テープによって構成され、第２の固定部は、スポンジと、当該スポンジの両面に設けられた両面テープとによって構成されていてもよい。これにより、簡便な構成で、第１の固定部による振動子及び振動体の変形許容性と、第２の固定部による振動子及び振動体の変形許容性との差を生じさせることができる。

【0017】

振動子には、第１の固定部と中心位置を一致させた状態で錘部材が固定されていてもよい。この場合、振動子の振動を錘部材の慣性で増幅できる。したがって、振動デバイスの出力の増大化が図られる。

【発明の効果】

【0018】

本開示によれば、圧電素子と振動体との間の振動の伝達ロスを回避しつつ、波長の長い振動の出力が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本開示の一実施形態に係る振動デバイスを示す模式的な断面図である。

【図2】図１に示した振動デバイスの要部を示す模式的な平面図である。

【図3】（ａ）は比較例に係る振動デバイスの振動時の様子を示す模式的な図であり、（ｂ）は本実施形態に係る振動デバイスの振動時の様子を示す模式的な図である。

【図4】（ａ）～（ｃ）は、本開示の変形例に係る振動デバイスの要部を示す模式的な平面図である。

【図5】振動デバイスの出力音圧の評価試験結果を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図面を参照しながら、本開示の一側面に係る振動デバイスの好適な実施形態について詳細に説明する。

【0021】

図１は、本開示の一実施形態に係る振動デバイスを示す模式的な断面図である。また、図２は、図１に示した振動デバイスの要部を示す模式的な平面図である。図２では、説明の便宜上、後述する錘部材９及びその固定部１０の図示を省略している。図１及び図２に示す振動デバイス１は、例えばスピーカなどの音響デバイスとして構成されている。振動デバイス１は、例えばヘッドセット、或いはヘッドアップディスプレイといった外部装置に組み込まれ、当該装置におけるオーディオ出力部として機能する。

【0022】

振動デバイス１は、図１及び図２に示すように、圧電素子３を含む振動子２と、固定部５を介して振動子２に重なるように固定された振動体４と、を含んで構成されている。本実施形態では、振動子２は、圧電素子３と、不図示の配線部材とを有している。振動子２は、平面視において、例えば長方形状をなしている。振動子２は、ユニモルフ型及びバイモルフ型のいずれであってもよい。振動子２は、圧電素子３に加えて、樹脂或いは金属によって構成された振動板（振動体４とは別の振動板）を更に有していてもよい。

【0023】

本実施形態では、圧電素子３は、厚さ方向に扁平な直方体形状をなしている。直方体形状には、角部及び稜線部が面取りされている形状、角部及び稜線部が丸められている形状も含まれ得る。圧電素子３は、圧電素体、内部電極、及び一対の外部電極を有している。圧電素体は、複数の圧電体層の積層体によって構成されている。各圧電体層は、圧電セラミックなどの圧電材料によって形成され、内部電極と交互に積層されている。圧電セラミック材料としては、例えばＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ_３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３］、又はチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）などが挙げられる。

【0024】

各圧電体層は、例えば上述した圧電セラミックを含むセラミックグリーンシートの焼結体によって構成されている。実際の圧電素体では、各圧電体層は、各圧電体層の間の境界が認識できない程度に一体化されている。圧電素体内には、複数の内部電極（不図示）が配置されている。各内部電極は、導電性材料によって形成されている。導電性材料としては、例えばＡｇ、Ｐｄ、Ａｇ－Ｐｄ合金などが挙げられる。

【0025】

配線部材は、圧電素子３と外部装置とを電気的に接続する部材である。配線部材としては、例えばフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）が用いられる。配線部材の一端は、圧電素子３の一対の外部電極のそれぞれに電気的に接続される。配線部材と外部電極との接続には、例えば異方導電性接着剤を用いることができる。配線部材の他端は、圧電素子から引き出され、外部装置に電気的に接続される。

【0026】

振動体４は、例えば金属、樹脂、紙などによって構成された板状或いはシート状の部材である。金属材料としては、例えばＮｉ－Ｆｅ合金、Ｎｉ、黄銅、ステンレス鋼などが挙げられる。樹脂材料としては、例えばポリ塩化ビニル、ポリカーボネートなどが挙げられる。振動体４の平面形状は、特に限定はなく、矩形状、円形状など、種々の形状を採り得る。振動体４の面積は、振動子２の面積に比べて十分大きくなっている。振動体４は、振動子２（圧電素子３）が厚さ方向に変動することによって振動し、所定の振動周波数に基づく音を出力する。

【0027】

振動体４は、固定部５を介して振動子２に重なるように固定されている。固定部５は、図２に示すように、振動子２及び振動体４の平面視において、中央側に位置する第１の固定部５Ａと、当該第１の固定部５Ａよりも外側に位置する第２の固定部５Ｂとによって構成されている。

【0028】

第２の固定部５Ｂによる振動子２及び振動体４の変形許容性は、第１の固定部５Ａによる振動子２及び振動体４の変形許容性よりも大きくなっている。ここでの変形許容性とは、固定部５による振動子２と振動体４との間の拘束力と言い換えることもできる。本実施形態では、かかる変形許容性の差異を生じさせるため、第１の固定部５Ａのヤング率が第２の固定部５Ｂのヤング率よりも大きくなっている。

【0029】

具体的な構成として、本実施形態では、第１の固定部５Ａは、両面テープ６によって構成され、第２の固定部５Ｂは、スポンジ７などの弾性を有する部材の両面にそれぞれ両面テープ８を設けることによって構成されている。図２の例では、第１の固定部５Ａの厚さと第２の固定部５Ｂの厚さとは、互いに等しくなっている。第１の固定部５Ａの厚さと第２の固定部５Ｂの厚さとは、厳密に一致している必要はなく、製造誤差などに基づく厚さの差は許容され得る。

【0030】

第２の固定部５Ｂでは、スポンジ７の厚さが当該スポンジ７の両面の両面テープ８の厚さの合計よりも大きくなっている。第１の固定部５Ａと第２の固定部５Ｂとの間で厚さを揃える関係上、スポンジ７の両面の両面テープ８の厚さの合計は、第１の固定部５Ａを構成する両面テープ６の厚さよりも小さくなっている。

【0031】

図２に示すように、振動子２及び振動体４の平面視において、第１の固定部５Ａ及び第２の固定部５Ｂは、いずれも長方形状をなしている。ここでは、第１の固定部５Ａの中心位置は、振動子２の中心位置と一致しており、当該第１の固定部５Ａによって振動子２の中央部分が振動体４に対して固定されている。第１の固定部５Ａは、振動子２の縁から離間して振動子２の縁よりも内側に位置している。第１の固定部５Ａの長辺５ａの延在方向は、振動子２の短辺２ｂの延在方向に沿い、第１の固定部５Ａの短辺５ｂの延在方向は、振動子２の長辺２ａの延在方向に沿っている。第１の固定部５Ａの長辺５ａは、振動子２の短辺２ｂよりも内側に位置し、第１の固定部５Ａの短辺５ｂは、振動子２の長辺２ａよりも内側に位置している。

【0032】

なお、本実施形態では、図１に示すように、振動子２には、第１の固定部５Ａと中心位置を一致させた状態で錘部材９が固定されている。錘部材９は、例えば金属或いは樹脂によって板状に形成され、固定部１０を介して振動子２における振動体４と反対側に固定されている。振動子２及び振動体４の平面視において、錘部材９は、例えば第１の固定部５Ａよりも一回り小さい長方形状をなしている。また、固定部１０は、振動子２及び振動体４の平面視において、例えば第１の固定部５Ａと同じ寸法の長方形状をなし、第１の固定部５Ａと同じ領域に重なっている。

【0033】

第２の固定部５Ｂは、中央の第１の固定部５Ａを挟むように一対に配置されている。ここでは、第２の固定部５Ｂは、第１の固定部５Ａから離間した状態で、振動子２の短辺２ｂに沿ってそれぞれ配置され、当該第２の固定部５Ｂによって振動子２における長辺２ａの延在方向の端部が振動体４に対して固定されている。第２の固定部５Ｂは、振動子２の縁、すなわち、短辺２ｂと重なるように配置され、さらに、短辺２ｂよりも外側に張り出すように配置されている。第１の固定部５Ａと第２の固定部５Ｂとの間では、振動子２は、固定部５によって固定されておらず、フリーに振動可能となっている。

【0034】

第２の固定部５Ｂの長辺５ｃの延在方向は、振動子２の短辺２ｂの延在方向に沿い、第２の固定部５Ｂの短辺５ｄの延在方向は、振動子２の長辺２ａの延在方向に沿っている。第２の固定部５Ｂの長辺５ｃの一方は、振動子２の短辺２ｂよりも内側に位置し、振動子２の長辺２ａの延在方向において、第１の固定部５Ａの長辺５ａの一方と所定の間隔をもって対向している。第２の固定部５Ｂの長辺５ｃの他方は、振動子２の短辺２ｂよりも外側に位置している。第２の固定部５Ｂの短辺５ｄは、振動子２の短辺２ｂの延在方向において、振動子２の長辺２ａよりも内側に位置している。

【0035】

本実施形態では、振動子２の短辺２ｂの延在方向における第２の固定部５Ｂの短辺５ｄの位置は、第１の固定部５Ａの短辺５ｂの位置と揃っている。第２の固定部５Ｂの短辺５ｄは、振動子２の短辺２ｂの延在方向において、振動子２の長辺２ａの延長線よりも内側に位置している。振動子２の４つの角部Ｄは、振動子２及び振動体４の平面視において第２の固定部５Ｂとは重なっておらず、これらの角部Ｄは、フリーに振動可能となっている。

【0036】

図２の例では、第１の固定部５Ａと振動子２との対向領域（すなわち、振動子２及び振動体４の平面視において、第１の固定部５Ａと振動子２とが重なる面積Ｒ１）は、第２の固定部５Ｂと振動子２との対向領域（すなわち、振動子２及び振動体４の平面視において、第２の固定部５Ｂと振動子２とが重なる面積Ｒ２）よりも大きくなっている。また、第２の固定部５Ｂにおいて、振動子２の縁よりも外側に位置する領域の面積Ｒ３は、振動子２の縁よりも内側に位置する領域の面積（すなわち、前述の面積Ｒ２）よりも大きくなっている。

【0037】

以上のような構成を有する振動デバイス１では、中央側の第１の固定部５Ａの変形許容性を抑えることで、振動子２で生じた振動をロスを抑えた状態で振動体４に伝達できる。一方、外側の第２の固定部５Ｂの変形許容性が確保されることで、振動体４をより広範囲に振動させることができる。例えば図３（ａ）に示すように、振動子１０２の全面を固定部１０５（両面テープ）によって振動体１０４に固定した比較例の振動デバイス１０１では、固定部１０５による振動体１０４への振動子１０２の拘束力が強くなる。このため、所定の振動周波数で振動子１０２が振動した場合に、振動体１０４が振動子１０２と同程度の範囲Ｌ１において大きな曲率で振動し、波長の長い振動が出力しにくくなる。

【0038】

これに対し、本実施形態の振動デバイス１では、図３（ｂ）に示すように、振動子２の中央部分が第１の固定部５Ａで強く拘束される一方で、第１の固定部５Ａに比べて変形許容性が大きい第２の固定部５Ｂによって、振動子２の両端部分の拘束力が中央部分の拘束力に比べて弱められている。これにより、振動子２が図３（ａ）の場合と同一の周波数で振動した場合であっても、振動体１０４が振動子１０２よりも広い範囲Ｌ２において小さな曲率で振動し、波長の長い振動が出力し易くなる。したがって、この振動デバイス１では、圧電素子３と振動体４との間の振動の伝達ロスを回避しつつ、波長の長い振動の出力が可能となる。

【0039】

本実施形態では、第２の固定部５Ｂが第１の固定部５Ａから離間している。このような構成によれば、波長の短い振動が振動子２から振動体４に伝達することを抑制できる。したがって、低音に比重を置いた振動デバイス１を構築できる。

【0040】

本実施形態では、第２の固定部５Ｂが第１の固定部５Ａを挟むように一対に配置されている。また、第２の固定部５Ｂは、振動子２の縁と重なるように配置され、さらに、振動子２の縁よりも外側に張り出すように配置されている。これにより、振動子２の振動によって振動体４をより広範囲に振動させることができる。したがって、波長の長い振動が一層出力し易くなる。

【0041】

本実施形態では、第２の固定部５Ｂにおいて、振動子２の縁よりも外側に位置する領域の面積Ｒ３が、振動子２の縁よりも内側に位置する領域の面積Ｒ２よりも大きくなっている。このような構成により、振動体４をより広範囲に振動させることができる。したがって、波長の長い振動が一層出力し易くなる。

【0042】

本実施形態では、第１の固定部５Ａが振動子２の縁から離間して振動子２の縁よりも内側に位置している。このような構成によれば、振動子２で生じた振動をロスを一層抑えた状態で振動体４に伝達できる。

【0043】

本実施形態では、第１の固定部５Ａの厚さと第２の固定部５Ｂの厚さとが互いに等しくなっている。これにより、初期の状態で振動子２及び振動体４が応力フリーとなり、入力に対して理想的な振動の出力が可能となる。

【0044】

本実施形態では、、第１の固定部５Ａと振動子２との対向領域は、第２の固定部５Ｂと振動子２との対向領域よりも大きくなっていてもよい。これにより、振動子２が十分な面積をもって振動体４に固定されるため、振動子２で生じた振動をロスを一層抑えた状態で振動体４に伝達できる。

【0045】

本実施形態では、第１の固定部５Ａは、両面テープ６によって構成され、第２の固定部５Ｂは、スポンジ７と、当該スポンジ７の両面に設けられた両面テープ８，８とによって構成されている。これにより、簡便な構成で、第１の固定部５Ａによる振動子２及び振動体４の変形許容性と、第２の固定部５Ｂによる振動子２及び振動体４の変形許容性との差を生じさせることができる。

【0046】

本実施形態では、振動子２には、第１の固定部５Ａと中心位置を一致させた状態で錘部材９が固定されている。これにより、振動子２の振動を錘部材９の慣性で増幅できる。したがって、振動デバイス１の出力の増大化が図られる。
［変形例］

【0047】

本開示は、上記実施形態に限られるものではない。例えば上記実施形態では、第２の固定部５Ｂが振動子２の短辺２ｂの延在方向に沿って延びているが、図４（ａ）に示すように、第２の固定部５Ｂが振動子２の短辺２ｂの延在方向に複数の部分に分割されていてもよい。また、第２の固定部５Ｂは、必ずしも振動子２の縁よりも外側に張り出すように配置されていなくてもよく、図４（ｂ）に示すように、振動子２及び振動体４の平面視において、第２の固定部５Ｂの長辺５ｃの他方が振動子２の短辺２ｂに一致していてもよい。図示しないが、第２の固定部５Ｂの長辺５ｃの他方が振動子２の短辺２ｂよりも内側に位置していてもよい。

【0048】

また、第２の固定部５Ｂは、必ずしも第１の固定部５Ａから離間していなくてもよく、図４（ｃ）に示すように、第１の固定部５Ａの長辺５ａが第２の固定部５Ｂの長辺５ｃの一方と接していてもよい。図４（ｃ）の態様では、第２の固定部５Ｂと振動子２との対向領域が第１の固定部５Ａと振動子２との対向領域よりも大きくなっているが、このような態様も本開示に含まれ得る。
［振動デバイスの評価試験］

【0049】

この評価試験では、実施例及び比較例に係る振動デバイスのサンプルを作製し、それぞれのサンプルにおける出力音圧レベル（SPL: Sound Pressure Level）を測定したものである。実施例１では、図２に示した形態と同様に、圧電素子を含む振動子を中央の第１の固定部及び第１の固定部を挟む一対の第２の固定部によって振動体に固定した。第１の固定部は、両面テープによって構成し、第２の固定部は、スポンジと、スポンジの両面に設けられた両面テープとによって構成した。実施例２では、樹脂製の振動板を有する圧電素子を振動子に用いた実施例１と同じ構成とした。比較例１では、図３（ａ）に示した形態と同様に、圧電素子を含む振動子の全面を両面テープによって振動体に固定した。測定にあたっては、入力電圧を１２Ｖｐｐとし、マイク距離を１０ｃｍとした。

【0050】

図５は、振動デバイスの出力音圧の評価試験結果を示す図である。同図に示すように、１００Ｈｚ～１０００Ｈｚの周波数帯において、実施例１，２の振動デバイスの出力音圧は、比較例の振動デバイスと比べて最大２０ｄＢ程度の向上が見られた。この結果から、本開示のように、第２の固定部による振動子及び振動体の変形許容性を第１の固定部による振動子及び振動体の変形許容性よりも大きくする構成が、圧電素子と振動体との間の振動の伝達ロスを回避しつつ、波長の長い振動の出力に寄与することが確認できた。

【0051】

本開示の要旨は、以下の［１］～［１１］に示すとおりである。
［１］圧電素子を含む振動子と、固定部を介して前記振動子に重なるように固定された振動体と、を備え、前記固定部は、前記振動子及び前記振動体の平面視において、中央側に位置する第１の固定部と、前記第１の固定部よりも外側に位置する第２の固定部と、を有し、前記第２の固定部による前記振動子及び前記振動体の変形許容性は、前記第１の固定部による前記振動子及び前記振動体の変形許容性よりも大きくなっている、振動デバイス。
［２］前記第２の固定部は、前記第１の固定部から離間している、［１］記載の振動デバイス。
［３］前記第２の固定部は、前記第１の固定部を挟むように一対に配置されている、［１］又は［２］記載の振動デバイス。
［４］前記第２の固定部は、前記振動子の縁と重なるように配置されている、［１］～［３］のいずれか記載の振動デバイス。
［５］前記第２の固定部は、前記振動子の縁よりも外側に張り出すように配置されている、［１］～［４］のいずれか記載の振動デバイス。
［６］前記第２の固定部において、前記振動子の縁よりも外側に位置する領域の面積は、前記振動子の縁よりも内側に位置する領域の面積よりも大きくなっている、［５］記載の振動デバイス。
［７］前記第１の固定部は、前記振動子の縁から離間して前記振動子の縁よりも内側に位置している、［１］～［６］のいずれか記載の振動デバイス。
［８］前記第１の固定部の厚さと前記第２の固定部の厚さとは、互いに等しくなっている、［１］～［７］のいずれか記載の振動デバイス。
［９］前記第１の固定部と前記振動子との対向領域は、前記第２の固定部と前記振動子との対向領域よりも大きくなっている、［１］～［８］のいずれか記載の振動デバイス。
［１０］前記第１の固定部は、両面テープによって構成され、前記第２の固定部は、スポンジと、当該スポンジの両面に設けられた両面テープとによって構成されている、［１］～［９］のいずれか記載の振動デバイス。
［１１］前記振動子には、前記第１の固定部と中心位置を一致させた状態で錘部材が固定されている、［１］～［１０］のいずれか記載の振動デバイス。

【符号の説明】

【0052】

１…振動デバイス、２…振動子、３…圧電素子、４…振動体、５…固定部、５Ａ…第１の固定部、５Ｂ…第２の固定部、６…両面テープ、７…スポンジ、８…両面テープ、９…錘部材。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】