特開 2025-10953 吸着型搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025010953

(43)【公開日】2025-01-23

(54)【発明の名称】吸着型搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20250116BHJP

【ＦＩ】

B25J15/06 M

B25J15/06 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023113275

(22)【出願日】2023-07-10

(71)【出願人】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】花木 幹生

(72)【発明者】

【氏名】安藤 敏子

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707CY36

3C707DS02

3C707FS01

3C707FT17

3C707FU01

3C707FU08

3C707HS14

(57)【要約】

【課題】ロック機構を小型化しつつ、吸着の際の摺動抵抗を低減できるとともにパーティクルの発生を抑制できる吸着型搬送装置を提供する。
【解決手段】吸着型搬送装置１００は、隔壁部材１５と、隔壁部材１５の外面に沿って吸着部９０の軸方向へ往復動可能な第１ピストン２３と、第２内周面２４ｂを有するロック部材２４と、第２内周面２４ｂと吸着部９０の外面との間に挟持されることで、吸着部９０の移動を制限するロック用鋼球２８と、ロック用鋼球２８を付勢する付勢部材２９と、第１ピストン２３の軸方向の他方側への移動に連動してロック用鋼球２８を付勢部材２９の付勢力に抗して軸方向の他方側に押圧する第２ピストン２６と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

軸方向の端部に物品を吸着可能なロッド状の吸着部と、
前記吸着部を往復動可能に支持するとともに、軸方向の一方側から前記吸着部の端部が突出するハウジングと、
前記吸着部の往復動の制限及び制限解除を可能とするロック機構と、を備え、
前記ロック機構は、
前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングに保持された隔壁部材と、
前記ハウジングの内面と前記吸着部の外面との間に配置されるとともに、前記隔壁部材の外面に沿って前記ハウジングの軸方向へ往復動可能なピストンと、
前記ピストンの外面と前記ハウジングの内面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第１シールと、
前記ピストンの内面と前記隔壁部材の外面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第２シールと、
前記隔壁部材と前記ハウジングと前記ピストンとによって形成されるピストン室と、
前記ピストン室に連通する給排ポートと、
前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向における他方側に設けられ、前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かって内径が小さくなる傾斜面を有するロック部材と、
前記傾斜面と前記吸着部の外面との間で往復動可能であり、前記傾斜面の内径が小さくなる方向に移動して前記傾斜面と前記吸着部の外面との間に挟持されることで、前記吸着部の往復動を制限する保持部材と、
前記保持部材を前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に付勢する付勢部材と、
前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向の他方側において、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間に設けられるとともに、前記ハウジングの軸方向において前記ピストンと前記保持部材との間に設けられ、前記給排ポートを介した前記ピストン室へのエアの供給による、前記ハウジングの軸方向の他方側への前記ピストンの移動に連動して前記保持部材を前記付勢部材の付勢力に抗して前記ハウジングの軸方向の他方側に移動させる連動部材と、
を有することを特徴とする吸着型搬送装置。

【請求項2】

前記ピストンを第１ピストンとし、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間には、前記ハウジングの軸方向における前記第１ピストンと前記保持部材との間に位置する第２ピストンを備え、前記連動部材は前記第２ピストンである請求項１に記載の吸着型搬送装置。

【請求項3】

前記隔壁部材の内面と前記吸着部の外面との間に形成される間隙と連通する通路と、前記通路と連通するパーティクル排出ポートを有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の吸着型搬送装置。

【請求項4】

前記連動部材は、前記連動部材の内面及び外面で開口する連動部材孔を有し、前記連動部材孔には、前記連動部材の径方向に往復動可能に前記保持部材が収容され、前記パーティクル排出ポートは、前記連動部材の内面と前記吸着部の外面との間と、前記ピストンの内面と前記吸着部の外面との間と、前記間隙と、前記通路とを介して前記連動部材孔と連通することを特徴とする請求項３に記載の吸着型搬送装置。

【請求項5】

前記ハウジングは、複数のハウジング形成材を一体化して形成されており、前記隔壁部材は、２つのハウジング形成材に挿通されている請求項１又は請求項２に記載の吸着型搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、吸着型搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、多種多様な表面形状の物品を保持できる保持装置が記載されている。保持装置は、対象物を吸着する複数の吸着部と、複数の吸着部を、それぞれ、吸着部が延びる方向に往復動可能に支持する支持部を有するシリンダと、支持部に対する吸着部の移動を制限することにより複数の吸着部を保持できるロック機構としての保持部と、を有する。

【0003】

支持部は、吸着部が挿通する挿通孔を有する。支持部は、パッキンを有する。パッキンは、吸着部と、挿通孔との間の間隙を閉塞する。保持部は、吸着部を側方から押圧して吸着部を支持部とともに挟持することで、支持部に対する吸着部の移動を制限する。保持装置は、複数の吸着部を対象物に倣わせた後、当該吸着部によって対象物を吸着するとともに、保持部で吸着部の移動を制限することで、対象物を保持することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１６－１０７３５１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

保持装置は、吸着した対象物を搬送する際に、吸着部の移動を制限する必要があるが、その吸着部の移動を制限するための保持部においては小型化が望まれる。
また、保持装置において、吸着部が支持部に対して往復動する際、吸着部とパッキンとの摺接によって摺動抵抗が発生するとともに、パーティクルが発生する虞がある。例えば、当該保持装置を電子基板の搬送に適用するにあたり、パーティクルの発生を抑制することが望まれるとともに、電子基板の変形抑制のために摺動抵抗の低減が望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記問題点を解決するための吸着型搬送装置は、軸方向の端部に物品を吸着可能なロッド状の吸着部と、前記吸着部を往復動可能に支持するとともに、軸方向の一方側から前記吸着部の端部が突出するハウジングと、前記吸着部の往復動の制限及び制限解除を可能とするロック機構と、を備え、前記ロック機構は、前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングに保持された隔壁部材と、前記ハウジングの内面と前記吸着部の外面との間に配置されるとともに、前記隔壁部材の外面に沿って前記ハウジングの軸方向へ往復動可能なピストンと、前記ピストンの外面と前記ハウジングの内面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第１シールと、前記ピストンの内面と前記隔壁部材の外面との間をシールするとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かうエアの流れを許容する第２シールと、前記隔壁部材と前記ハウジングと前記ピストンとによって形成されるピストン室と、前記ピストン室に連通する給排ポートと、前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向における他方側に設けられ、前記吸着部の外面から離間して当該吸着部を囲むとともに、前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に向かって内径が小さくなる傾斜面を有するロック部材と、前記傾斜面と前記吸着部の外面との間で往復動可能であり、前記傾斜面の内径が小さくなる方向に移動して前記傾斜面と前記吸着部の外面との間に挟持されることで、前記吸着部の往復動を制限する保持部材と、前記保持部材を前記ハウジングの軸方向の他方側から一方側に付勢する付勢部材と、前記ピストンよりも前記ハウジングの軸方向の他方側において、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間に設けられるとともに、前記ハウジングの軸方向において前記ピストンと前記保持部材との間に設けられ、前記給排ポートを介した前記ピストン室へのエアの供給による、前記ハウジングの軸方向の他方側への前記ピストンの移動に連動して前記保持部材を前記付勢部材の付勢力に抗して前記ハウジングの軸方向の他方側に移動させる連動部材と、を有することを要旨とする。

【0007】

上記吸着型搬送装置において、前記ピストンを第１ピストンとし、前記ロック部材と前記吸着部の外面との間には、前記ハウジングの軸方向における前記第１ピストンと前記保持部材との間に位置する第２ピストンを備え、前記連動部材は前記第２ピストンであってもよい。

【0008】

上記吸着型搬送装置において、前記隔壁部材の内面と前記吸着部の外面との間に形成される間隙と連通する通路と、前記通路と連通するパーティクル排出ポートを有してもよい。

【0009】

上記吸着型搬送装置において、前記連動部材は、前記連動部材の内面及び外面で開口する連動部材孔を有し、前記連動部材孔には、前記連動部材の径方向に往復動可能に前記保持部材が収容され、前記パーティクル排出ポートは、前記連動部材の内面と前記吸着部の外面との間と、前記ピストンの内面と前記吸着部の外面との間と、前記間隙と、前記通路とを介して前記連動部材孔と連通していてもよい。

【0010】

上記吸着型搬送装置において、前記ハウジングは、複数のハウジング形成材を一体化して形成されており、前記隔壁部材は、２つのハウジング形成材に挿通されていてもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、ロック機構を小型化しつつ、吸着の際の摺動抵抗を低減できるとともにパーティクルの発生を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、実施形態における吸着型搬送装置を示す断面図である。

【図2】図２は、ロック解除時のロック機構及び吸着部を示す拡大断面図である。

【図3】図３は、ロック時におけるロック機構及び吸着部を示す拡大断面図である。

【図4】図４は、パーティクル排除機構の拡大断面図である。

【図5】図５は、初期位置を示す図である。

【図6】図６は、物品の表面形状に吸着部を倣わせた状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、吸着型搬送装置を具体化した一実施形態を図１～図６にしたがって説明する。
＜吸着型搬送装置の全体像＞
図１～図４に示すように、吸着型搬送装置１００は、長四角形ブロック状のハウジング８０と、円筒形状の３本の吸着部９０と、ロック機構２００と、を備える。

【0014】

＜吸着部＞
各吸着部９０は、円筒のロッド状である。各吸着部９０は、アダプタ９３と、第１吸着部形成部９４と、復帰用ピストン９５と、第２吸着部形成部９６と、貫通孔付ボルト９７と、を有する。第１吸着部形成部９４と、復帰用ピストン９５と、第２吸着部形成部９６とは、貫通孔付ボルト９７によって一体化されている。復帰用ピストン９５は、第１吸着部形成部９４と第２吸着部形成部９６に挟持されている。復帰用ピストン９５の外周面は、第１吸着部形成部９４及び第２吸着部形成部９６の外周面より、吸着部９０の径方向に突出している。吸着部９０の軸方向の両端部のうち、アダプタ９３側の一方の端部を第１端部９１とするとともに、貫通孔付ボルト９７側の他方の端部を第２端部９２とする。そして、吸着部９０は、軸方向の一方の端部となるアダプタ９３に物品Ａを吸着可能である。

【0015】

復帰用ピストン９５は、第３リップパッキン９５１を備える。第３リップパッキン９５１は、第１端部９１から第２端部９２に向かうエアの流れを許容する一方で、第２端部９２から第１端部９１に向かうエアの流れを阻止する。

【0016】

各吸着部９０は、通路９０ａを画定する内周面９０ｂを有する。通路９０ａは、第１端部９１と第２端部９２で開口するとともに、吸着部９０を軸方向全体に亘って貫通している。通路９０ａの軸方向の第１端部９１側は、アダプタ９３の内部に連通している。

【0017】

＜ハウジング＞
ハウジング８０は、吸着部９０を往復動可能に支持する。ハウジング８０は、第１ハウジング形成材１０と、第２ハウジング形成材２０と、第３ハウジング形成材３０と、第４ハウジング形成材４０と、第５ハウジング形成材５０と、第６ハウジング形成材６０と、を備える。第１ハウジング形成材１０と、第２ハウジング形成材２０と、第３ハウジング形成材３０と、第４ハウジング形成材４０と、第５ハウジング形成材５０と、第６ハウジング形成材６０とは、一つの方向に並んで一体化されている。第１～第６ハウジング形成材１０，２０，３０，４０，５０，６０の並ぶ方向は、ハウジング８０の軸方向Ｚである。ハウジング８０の軸方向Ｚは、吸着部９０の軸方向と一致する。

【0018】

ハウジング８０において、第１ハウジング形成材１０の位置する端部を第１端部８２とするとともに、第６ハウジング形成材６０の位置する端部を第２端部８３とする。また、ハウジング８０は、３つの挿入孔８１を画定する内周面８１ａを備える。３つの挿入孔８１は、ハウジング８０の一つの方向に並んで配置されている。ハウジング８０の軸方向Ｚに直交する方向のうち、３つの挿入孔８１の並ぶ方向を幅方向Ｗとする。

【0019】

内周面８１ａは、第１～第５ハウジング形成材１０，２０，３０，４０，５０における挿入孔８１を画定する内周面と、第６ハウジング形成材６０における挿入孔８１を画定する内面とによって形成される。

【0020】

各挿入孔８１は、ハウジング８０の軸方向Ｚに延びる。各挿入孔８１は、互いに平行である。そして、各吸着部９０は、第１～第６ハウジング形成材１０，２０，３０，４０，５０，６０、つまり挿入孔８１に挿入されている。各吸着部９０の第１端部９１は、第１ハウジング形成材１０から突出しているとともに、各吸着部９０の第２端部９２は、第６ハウジング形成材６０に挿入されている。したがって、ハウジング８０の軸方向Ｚの一方側から吸着部９０の第１端部９１が突出している。

【0021】

ハウジング８０の第１ハウジング形成材１０は、第１通路１１を画定する第１内周面１１ａを備えるとともに、第２ハウジング形成材２０は、第２通路２１を画定する第２内周面２１ａを備える。ハウジング８０の第４ハウジング形成材４０は、第３通路４１を画定する第３内周面４１ａを備えるとともに、第６ハウジング形成材６０は、第４通路６１を画定する第４内周面６１ａを備える。

【0022】

第１～第４通路１１，２１，４１，６１の各々は、ハウジング８０の幅方向Ｗに延びるとともに、第１～第４通路１１，２１，４１，６１の軸方向の両端部は閉塞されている。各挿入孔８１は、第１～第４通路１１，２１，４１，６１と連通している。ハウジング８０は、第１ポート１２と、第２ポート２２と、第３ポート４２と、第４ポート６２と、を備える。パーティクル排出ポートとしての第１ポート１２は、第１ハウジング形成材１０に設けられるとともに、第１通路１１に連通している。第２ポート２２は、第２ハウジング形成材２０に設けられるとともに、第２通路２１に連通している。第３ポート４２は、第４ハウジング形成材４０に設けられるとともに、第３通路４１に連通している。第４ポート６２は、第６ハウジング形成材６０に設けられるとともに、第４通路６１に連通している。第１ポート１２及び第４ポート６２の各々は、図示していない管及び切換弁を通して負圧源に接続される。第２ポート２２及び第３ポート４２の各々は図示していない管及び切換弁を通して圧力源に接続される。図示していない外部の切換弁により、第１ポート１２及び第４ポート６２は、それぞれ連通する第１通路１１及び第４通路６１を介して、ハウジング８０の内部に負圧を給排する。また、図示していない外部の切換弁により、第２ポート２２及び第３ポート４２は、それぞれ連通する第２通路２１及び第３通路４１を介して、ハウジング８０の内部にエアを給排する。

【0023】

以下では、３つの挿入孔８１のうち、１つの挿入孔８１に着目して説明を行う。しかし、挿入孔８１を画定する内周面８１ａが備える各部材は、挿入孔８１の選択に依存しない。したがって、各挿入孔８１に対して、同様の説明が成立する。

【0024】

ハウジング８０は、第１軸受１４を備える。第１軸受１４は、挿入孔８１を画定する内周面８１ａのうち、第１ハウジング形成材１０によって形成された部分によって保持されている。また、ハウジング８０は、第２軸受３１を備える。第２軸受３１は、挿入孔８１の内周面８１ａのうち、第３ハウジング形成材３０によって形成された部分に保持されている。

【0025】

ハウジング８０は、スクレーパ１３を備える。スクレーパ１３は、挿入孔８１の内周面８１ａのうち、第１ハウジング形成材１０によって形成された部分に設けられるとともに、第１通路１１より第１端部８２側に配置される。スクレーパ１３は、吸着部９０の往復動の際に、内部で発生する異物が外部へ排出されるのを抑制する。

【0026】

ハウジング８０は、第２ハウジング形成材２０の内周面において、後述するロック機構２００を形成するための第１内周面２０ａと、第２内周面２０ｂと、第３内周面２０ｃとを備える。第１内周面２０ａは、第２ハウジング形成材２０において、軸方向Ｚの第１端部８２側に位置する。第２内周面２０ｂは、第２ハウジング形成材２０において、軸方向Ｚにおける第１内周面２０ａよりも第２端部８３側に位置するとともに、第１内周面２０ａよりも大きい内径を有する。第３内周面２０ｃは、第２ハウジング形成材２０において、軸方向Ｚにおける第２内周面２０ｂよりも第２端部８３側に位置するとともに、第２内周面２０ｂの内径より大きい内径を有する。

【0027】

第３ハウジング形成材３０の内周面は、第１内周面３０ａと、第２内周面３０ｂと、第３内周面３０ｃと、によって形成される。第１内周面３０ａは、第３ハウジング形成材３０の内周面において、第１端部８２側に位置する。第１内周面３０ａは、第２軸受３１の外周面と接する。第２内周面３０ｂは、第１内周面３０ａよりも第２端部８３側に位置する。第２内周面３０ｂの内径は、第２軸受３１の内径よりも大きく、且つ、第２軸受３１の外径よりも小さい。第３内周面３０ｃは、第２内周面３０ｂよりも第２端部８３側に位置する。第３内周面３０ｃの内径は、第２軸受３１の外径よりも大きい。

【0028】

第４ハウジング形成材４０の内周面は、第１内周面４０ａと、第２内周面４０ｂと、によって形成される。第１内周面４０ａは、第４ハウジング形成材４０の内周面のうち、第３通路４１よりも第１端部８２側に位置するとともに、第１内周面４０ａが画定する挿入孔８１は、第３通路４１と連通している。第１内周面４０ａの内径は、第３ハウジング形成材３０が有する第３内周面３０ｃの内径と同じである。第２内周面４０ｂの内径は、第１内周面４０ａの内径より小さい。

【0029】

また、ハウジング８０は、ガイド部材３２を備える。ガイド部材３２の軸方向は、軸方向Ｚと一致する。ガイド部材３２は、第２軸受３１より、第２端部８３側に位置する。ガイド部材３２の外周面は、第３ハウジング形成材３０が有する第３内周面３０ｃと、第４ハウジング形成材４０が有する第１内周面４０ａとに接する。ガイド部材３２は、第３ハウジング形成材３０及び第４ハウジング形成材４０に嵌合されている。ガイド部材３２は、第２軸受３１の内径よりも大きな内径を有する。ガイド部材３２は、第３通路４１と連通する。

【0030】

第４ハウジング形成材４０は第４リップパッキン４３を備える。第４リップパッキン４３は、第２端部８３側から、第１端部８２側に向かうエアの流れを許容する。
第１パッキン７１は、第１ハウジング形成材１０と第２ハウジング形成材２０との間をシールする。第２パッキン７２は、第３ハウジング形成材３０と第４ハウジング形成材４０との間をシールする。第３パッキン７３は、第４ハウジング形成材４０と第５ハウジング形成材５０との間をシールする。第４パッキン７４は、第５ハウジング形成材５０と第６ハウジング形成材６０との間をシールする。

【0031】

＜ロック機構の構成＞
図２に示すように、ロック機構２００は、各吸着部９０に対して設けられる。各ロック機構２００は、吸着部９０の往復動の制限及び制限解除を可能とする。

【0032】

各ロック機構２００は、隔壁部材１５と、第１ピストン２３と、ロック部材２４と、第２ピストン２６と、ロック用鋼球２８と、付勢部材２９と、を有する。
隔壁部材１５は、第１軸受１４よりも第２端部８３側に位置するとともに、第１軸受１４と接する。隔壁部材１５は、円筒状である。隔壁部材１５は、第１軸受１４の内径よりも大きな内径を有するとともに、第１軸受１４の外径と同じ外径を有する。また、隔壁部材１５は、吸着部９０の外径よりも大きな内径を有する。これにより、隔壁部材１５は、吸着部９０の外面から離間して吸着部９０の軸方向の一部を囲んでいる。隔壁部材１５の軸方向は、軸方向Ｚと一致する。隔壁部材１５の外周面のうち、第１端部８２側の一部は、挿入孔８１を画定する内周面８１ａのうち、第１ハウジング形成材１０によって形成された部分と接する。具体的には、隔壁部材１５は、第１ハウジング形成材１０に嵌合されている。これにより、隔壁部材１５は、ハウジング８０に保持されている。また、隔壁部材１５は、第２ハウジング形成材２０の内側に挿入されている。これにより、隔壁部材１５は、第１ハウジング形成材１０と第２ハウジング形成材２０の軸心の位置決めを行っている。

【0033】

隔壁部材１５の外周面において、第１ハウジング形成材１０と第２ハウジング形成材２０と接しない部分を非保持部１５ａとする。この非保持部１５ａにおける軸方向の長さは、第２ハウジング形成材２０の第２内周面２０ｂにおける軸方向の長さよりも小さい。なお、非保持部１５ａにおける軸方向の長さは、第２ハウジング形成材２０の第２内周面２０ｂにおける軸方向の長さよりも小さくなくてもよい。

【0034】

ピストンとしての第１ピストン２３は、ハウジング８０の内面と、吸着部９０の外面との間に配置されている。第１ピストン２３は、具体的には、第２ハウジング形成材２０の第２内周面２０ｂの内側に配置されている。第１ピストン２３は、隔壁部材１５の外周面に沿って、吸着部９０の軸方向へ往復動可能である。第１ピストン２３の軸方向は、軸方向Ｚと一致する。

【0035】

第１ピストン２３は、第１内周面２３ａと、第２内周面２３ｂと、外周面２３ｃと、を有する。第１内周面２３ａは、第１ピストン２３の内周面のうち、第１端部８２側に位置する。第２内周面２３ｂは、第１ピストン２３の内周面のうち、第２端部８３側に位置する。第２内周面２３ｂの軸方向の長さは、第１ピストン２３の軸方向の全長が、第２ハウジング形成材２０の第２内周面２０ｂの軸方向の長さより小さくなるように決定される。

【0036】

第１内周面２３ａの軸方向の長さは、隔壁部材１５の外周面のうち、非保持部１５ａにおける軸方向の長さよりも小さい。第１内周面２３ａは、隔壁部材１５の非保持部１５ａでの外周面と対面する。第２内周面２３ｂは、隔壁部材１５の外径よりも小さい内径を有する。第２内周面２３ｂは、第１内周面２３ａの内径よりも小さい内径を有する。つまり、第１ピストン２３は、第１内周面２３ａが、隔壁部材１５の外周面のうち、非保持部１５ａと対面するとともに、第２内周面２３ｂが非保持部１５ａよりも第２端部８３側に位置するように設けられる。外周面２３ｃは、第２ハウジング形成材２０の第２内周面２０ｂと対面する。

【0037】

第１ピストン２３の外周面２３ｃは、第１凹状部２３ｄを形成する面を有する。第１内周面２３ａは、隔壁部材１５の外周面と対面する面内に、第２凹状部２３ｅを形成する面を有する。

【0038】

第１ピストン２３は、第１リップパッキン２３１と第２リップパッキン２３２とを備える。第１リップパッキン２３１は、第１凹状部２３ｄに装着されている。第１リップパッキン２３１は、第１ピストン２３の外周面２３ｃと、ハウジング８０の内面としての第２ハウジング形成材２０の第２内周面２３ｂとの間をシールするとともに、ハウジング８０の第２端部８３側から第１端部８２側に向かうエアの流れを許容する第１シールである。第２リップパッキン２３２は、第２凹状部２３ｅに装着されている。第２リップパッキン２３２は、第１ピストン２３の第１内周面２３ａと隔壁部材１５の外周面との間をシールするとともに、ハウジング８０の第２端部８３側から第１端部８２側に向かうエアの流れを許容する第２シールである。第１リップパッキン２３１と第２リップパッキン２３２は、第１ピストン２３とともに往復動する。

【0039】

第１ピストン２３は、第２ハウジング形成材２０と、隔壁部材１５と、によって第１ピストン室２５を形成する。第１ピストン室２５は、第１ピストン２３よりも第１端部８２側に位置するとともに、第２通路２１と連通する。また、第１ピストン室２５は、第２通路２１を介して、第２ポート２２と連通する。したがって、第２ポート２２は、第１ピストン室２５に連通する給排ポートである。隔壁部材１５の内面と吸着部９０の外面との間に形成される間隙１５ｂは、第１軸受１４を介して第１通路１１と連通する。そして、第１ポート１２は、第１通路１１と連通する。したがって、吸着型搬送装置１００は、隔壁部材１５の内面と吸着部９０の外面との間に形成される間隙１５ｂと連通する第１通路１１を有するとともに、第１通路１１と連通するパーティクル排出ポートとしての第１ポート１２を有する。隔壁部材１５の内面と吸着部９０の外面との間に形成される間隙１５ｂと第１ピストン室２５とは、第２リップパッキン２３２と隔壁部材１５にて隔離されている。

【0040】

ロック部材２４は、第２ハウジング形成材２０の第３内周面２０ｃの内側に配置されている。詳細には、ロック部材２４は、第１ピストン２３よりも軸方向における第２端部８３側に設けられている。ロック部材２４は、第２ハウジング形成材２０によって支持される。ロック部材２４の軸方向は、軸方向Ｚと一致する。

【0041】

ロック部材２４の外周面２４ｄは、第２ハウジング形成材２０の第３内周面２０ｃと接する。ロック部材２４は、第２ハウジング形成材２０の内側に嵌合されている。ロック部材２４の内周面は、第１内周面２４ａと、第２内周面２４ｂと、第３内周面２４ｃとによって形成される。第１内周面２４ａは、ロック部材２４の内周面のうち第１端部８２側に位置する。第１内周面２４ａでの内径は、ロック部材２４の内径のなかで最も小さい。第３内周面２４ｃは、ロック部材２４の内周面のうち第２端部８３側に位置する。第３内周面２４ｃの内径は、ロック部材２４の内径のなかで最も大きい。第２内周面２４ｂは、第１内周面２４ａと第３内周面２４ｃの間に位置する。第２内周面２４ｂは、第１内周面２４ａと、第３内周面２４ｃとを接続する斜面を有する。つまり、第２内周面２４ｂは、ハウジング８０の軸方向Ｚの第１端部８２から第２端部８３に向かって内径が大きくなる形状を有する。言い換えると、ロック部材２４は、ハウジング８０の軸方向Ｚの第２端部８３側から第１端部８２側に向かって内径が小さくなる傾斜面を有する。また、ロック部材２４の内周面は、吸着部９０の外面から離間して当該吸着部９０を囲んでいる。

【0042】

連動部材としての第２ピストン２６は、第２ハウジング形成材２０において、第１ピストン２３よりも第２端部８３側に配置されるとともに、ロック部材２４よりも内側に配置されている。第２ピストン２６の軸方向は、軸方向Ｚと一致する。

【0043】

第２ピストン２６は、挿通孔２６ａを画定する内周面を有する。第２ピストン２６は、当該第２ピストン２６の径方向に４つ（図２と図３では２つを図示）の連動部材孔２６ｄを画定する内面を有する。連動部材孔２６ｄは、第２ピストン２６の径方向に延びるとともに、挿通孔２６ａと連通する。連動部材孔２６ｄは、第２ピストン２６の内面及び外面で開口する。４つの連動部材孔２６ｄは、第２ピストン２６の軸に対して直交するとともに、挿通孔２６ａを囲むように設けられる。４つの連動部材孔２６ｄは、第２ピストン２６の周方向に隣り合わない連動部材孔２６ｄ同士が、第２ピストン２６の径方向に対向するように配置することが好ましい。連動部材孔２６ｄは、第２ピストン２６における第２端部８３側に設けられる。第２ピストン２６の挿通孔２６ａを画定する内周面の内径は、第１ピストン２３の第２内周面２３ｂでの内径と同じである。第２ピストン２６は、第１ピストン２３の第２端部８３側で、且つ、第２ピストン２６の第１端部８２側の面が第１ピストン２３の第２端部８３側の面と接するように設けられる。第２ピストン２６は、第１ピストン２３と連動する。

【0044】

第２ピストン２６は、吸着部９０の外面とロック部材２４の第１内周面２４ａとの間で、各周面に摺接可能に設けられる。第２ピストン２６は、第１ピストン２３よりもハウジング８０の軸方向Ｚの第２端部８３側において、ロック部材２４と吸着部９０の外面との間に設けられるとともに、軸方向Ｚにおいて第１ピストン２３と第３ハウジング形成材３０との間に設けられている。第２ピストン２６の軸方向への長さは、ロック部材２４の第１内周面２４ａの軸方向への長さより長い。ロック部材２４の第１内周面２４ａと、第２内周面２４ｂと、第３内周面２４ｃとは、ロック用挿通孔２７を画定する。ロック用挿通孔２７は、第２ピストン２６の内周面と吸着部９０の外面との間と、第１ピストン２３の第２内周面２３ｂと吸着部９０の外面との間と、隔壁部材１５の内周面と吸着部９０の外面との間の間隙１５ｂと、第１軸受１４と、を介して、第１通路１１と連通する。また、ロック用挿通孔２７は、第２軸受３１と、第３ハウジング形成材３０の第２内周面３０ｂとを介して、ガイド部材３２の内周面が画定する復帰用ピストン室３３と連通する。

【0045】

付勢部材２９は、ばね製である。付勢部材２９の第１端部は、第２ピストン２６に連結されるとともに、付勢部材２９の第２端部は、第２軸受３１に連結されている。付勢部材２９は、第２ピストン２６を、ハウジング８０の軸方向Ｚの第２端部８３側から第１端部８２側に付勢する。

【0046】

保持部材としての４つのロック用鋼球２８は、第２ピストン２６が有する連動部材孔２６ｄの径方向の長さよりも大きな直径を有する鋼球である。各ロック用鋼球２８は、第２ピストン２６に設けられる４つの連動部材孔２６ｄに保持されている。４つのロック用鋼球２８は、連動部材孔２６ｄにおいて、径方向に往復動可能である。

【0047】

４つのロック用鋼球２８は、ロック部材２４の第２内周面２４ｂの内側に配置されている。
そして、ロック用鋼球２８は、第２ピストン２６と一体に軸方向Ｚへ往復動可能である。この第２ピストン２６は、付勢部材２９によって、ハウジング８０の第２端部８３側から第１端部８２側に付勢されている。このため、ロック用鋼球２８も、付勢部材２９によって、ハウジング８０の第２端部８３側から第１端部８２側に付勢されている。

【0048】

＜吸着部とハウジングとの位置関係＞
図１に示すように、各吸着部９０は、各挿入孔８１に挿入されている。各吸着部９０は、吸着部９０の第１端部９１がハウジング８０の第１端部８２側に位置するとともに、第２端部９２がハウジング８０の第２端部８３側に位置するように設けられる。

【0049】

各吸着部９０の第１吸着部形成部９４は、第１軸受１４と、第２軸受３１と、に挿通されている。各吸着部９０は、第１軸受１４及び第２軸受３１によって往復動可能にハウジング８０に支持されている。また、各吸着部９０の第１吸着部形成部９４は、スクレーパ１３と、隔壁部材１５と、第１ピストン２３と、ロック部材２４と、第２ピストン２６と、に挿通されている。各第１吸着部形成部９４の第１端部９１側の一部は、ハウジング８０から突出するとともに、アダプタ９３を備える。第１吸着部形成部９４の端部のうち、第２端部９２側に位置する端部は、ガイド部材３２の挿通孔３２ｄに挿通されている。

【0050】

各吸着部９０が備える復帰用ピストン９５は、ガイド部材３２の内側に収容されている。復帰用ピストン９５の外周面は、ガイド部材３２の内周面と対面する。復帰用ピストン９５は、ガイド部材３２の内周面に沿って往復動可能である。

【0051】

復帰用ピストン９５は、ハウジング８０としての第３ハウジング形成材３０の内面及び第４ハウジング形成材４０の内面と吸着部９０の外面との間に形成された復帰用ピストン室３３に収容されている。また、復帰用ピストン室３３の第１端部９１側は、第２軸受３１と、ロック部材２４と、隔壁部材１５と、第１軸受１４と、を介して、第１通路１１と連通する。そして、第１通路１１は、パーティクル排出ポートとしての第１ポート１２と連通している。したがって、第１ポート１２は、復帰用ピストン室３３よりもハウジング８０の軸方向Ｚの一方側におけるハウジング８０の内面と吸着部９０の間と、第２ピストン２６及び第１ピストン２３と吸着部９０の外面との間と、間隙１５ｂと、第１通路１１とを介して復帰用ピストン室３３と連通している。また、復帰用ピストン室３３よりもハウジング８０の軸方向Ｚの一方側におけるハウジング８０の内面と吸着部９０の間と、第１ピストン２３及び第２ピストン２６と吸着部９０の外面との間は、第２軸受３１を介して連通している。

【0052】

また、復帰用ピストン室３３の第２端部９２側は、第３通路４１を介して第３ポート４２に連通している。第３ポート４２は、復帰用ピストン室３３に連通する復帰用ポートである。

【0053】

各吸着部９０が備える第２吸着部形成部９６は、第４ハウジング形成材４０と、第４リップパッキン４３と、第５ハウジング形成材５０と、第６ハウジング形成材６０と、に挿通されている。第２吸着部形成部９６は、第２端部９２側において、ハウジング８０の挿入孔８１のうち、第５ハウジング形成材５０と第６ハウジング形成材６０の両内周面によって画定される部分において往復動可能である。

【0054】

各吸着部９０が備える貫通孔付ボルト９７において、貫通孔付ボルト９７の内周面が画定する挿通孔９７ａは、第４通路６１と連通する。貫通孔付ボルト９７の内周面が画定する挿通孔９７ａは、各吸着部９０の内周面９０ｂが画定する通路９０ａを形成する。これにより、各吸着部９０の内周面９０ｂが画定する通路９０ａは、第４通路６１と連通する。

【0055】

＜吸着型搬送装置の動作及び作用＞
図１～図６を用いて、吸着型搬送装置１００の動作及び作用を説明する。
図５に示すように、吸着型搬送装置１００と物品Ａとは、初期位置を取る。

【0056】

初期位置は、吸着型搬送装置１００を、物品Ａから軸方向Ｚに沿って上方に離した位置である。物品Ａは、３本の吸着部９０のアダプタ９３の下端面と対向する。
初期位置において、図示しない負圧源に接続された切換弁の駆動により、第１ポート１２及び第１通路１１を介して、ロック用挿通孔２７と、復帰用ピストン室３３からエアがハウジング８０の外部に排出されている。

【0057】

初期位置において、図示しない圧力源に接続された切換弁の駆動により、第２ポート２２及び第２通路２１を介して、第１ピストン室２５にエアが供給されている。第１リップパッキン２３１と第２リップパッキン２３２は、第１ピストン室２５から第２端部８３側に向かうエアの流れを阻止しているため、第１ピストン室２５は、加圧されている。

【0058】

図２に示すように、第１ピストン室２５に対する加圧により、第１ピストン２３と、第１ピストン２３と連動する第２ピストン２６を第１端部８２から第２端部８３に向かう方向に移動させた状態を維持する。このとき、第１ピストン２３の第２リップパッキン２３２は、隔壁部材１５の外周面に摺動する。第２ピストン２６が保持する各ロック用鋼球２８は、ロック部材２４の第２内周面２４ｂから第３内周面２４ｃが画定する孔内に配置される。初期位置において、各ロック用鋼球２８は、挿入孔８１の径方向に移動可能であるとともに、吸着部９０から径方向に離れている。つまり、各吸着部９０は、ハウジング８０に対して、軸方向Ｚに沿った往復動を制限されていない。

【0059】

初期位置において、図示しない圧力源に接続された切換弁の駆動により、第３ポート４２を介して、第３通路４１にエアが供給されている。第３リップパッキン９５１は、復帰用ピストン室３３から第１端部９１側に向かうエアの流れを阻止している。復帰用ピストン９５は、ガイド部材３２によって、ハウジング８０の軸方向Ｚの第２端部８３側から第１端部８２側に向かう方向に移動するようにガイドされる。

【0060】

初期位置において、復帰用ピストン９５の第１端部９１側の端部は、ガイド部材３２の第１端部９１側の端部と、軸方向において一致している。つまり、初期位置において、復帰用ピストン９５は、ガイド部材３２の内周面において、第３通路４１から最も離れた場所に位置する。初期位置において、各吸着部９０は、ハウジング８０に対して、第１端部８２から第２端部８３に向かう移動が可能である。

【0061】

初期位置において、第４ポート６２に対する負圧の給排を行っていない。
吸着型搬送装置１００は、物品Ａを吸着するとき、初期位置から動作する。このとき、図示しない圧力源に接続された切換弁の駆動により、第３ポート４２からエアを排出する。すると、復帰用ピストン室３３に対する減圧により、復帰用ピストン９５は、ガイド部材３２によって、ハウジング８０の軸方向Ｚの第１端部８２側から第２端部８３側に向かう方向への移動が可能になる。これにより、ハウジング８０に対し、吸着部９０が移動可能になる。なお、第１ポート１２には負圧が供給されるとともに、第２ポート２２にはエアが供給された状態が維持されている。

【0062】

吸着型搬送装置１００を下方に移動させて、物品Ａにアダプタ９３を接近させる。図６に示すように、全てのアダプタ９３に対して物品Ａの表面が接触したときに、吸着型搬送装置１００は、下方への移動を停止する。吸着型搬送装置１００が下方に移動する過程において、物品Ａの表面に接触した吸着部９０は、ハウジング８０に対して、第１端部８２から第２端部８３に向かって移動する。この吸着部９０の移動の際、吸着部９０は、隔壁部材１５の内周面から離間した状態で移動するため、吸着部９０の外周側の第１ピストン２３の第２リップパッキン２３２と吸着部９０とが摺動しない。

【0063】

すべてのアダプタ９３が物品Ａの表面に接触した状態において、３本の吸着部９０が幅方向Ｗに形成する凹凸形状は、物品Ａの表面形状に倣う。
各吸着部９０が物品Ａの表面に対して接触した状態において、図示しない負圧源に接続された切換弁を駆動させて第４ポート６２及び第４通路６１を介して、各吸着部９０の通路９０ａにおける負圧を、ハウジング８０の外部に排出して通路９０ａを減圧する。すると、各吸着部９０は、物品Ａを第１端部９１に吸着する。

【0064】

各吸着部９０が、物品Ａを吸着した状態において、図示しない圧力源に接続された切換弁を駆動させて、第２ポート２２及び第２通路２１を介して、第１ピストン室２５のエアをハウジング８０の外部に排出する。なお、第３ポート４２は、大気開放されている。すると、第１ピストン室２５が減圧されるため、第１ピストン２３は、当該第１ピストン２３の自重に加え、第２ピストン２６の自重と、付勢部材２９の付勢力により第２端部８３から第１端部８２に向かう方向に移動する。このとき、第１ピストン２３の第２リップパッキン２３２は、隔壁部材１５の外周面に対して摺動する。

【0065】

第２ピストン２６は、第１ピストン２３に連動するため、第２端部８３から第１端部８２に向かう方向に移動する。第２ピストン２６が移動することによって、各ロック用鋼球２８は、ロック部材２４の内周面に沿って第２端部８３から第１端部８２に向かう方向に移動する。各ロック用鋼球２８がロック部材２４の第２内周面２４ｂに沿って移動するとき、各ロック用鋼球２８は、連動部材孔２６ｄの内部を第２ピストン２６の径方向、且つ、対応する吸着部９０に接近する方向に移動する。第２ピストン２６が移動する過程において、ロック用鋼球２８は、対応する吸着部９０の外面と、ロック部材２４の第２内周面２４ｂに摺接する。

【0066】

図３に示すように、各ロック用鋼球２８は、対応する吸着部９０の外面とロック部材２４の第２内周面２４ｂとの間に挟持される。これにより、ハウジング８０に対する各吸着部９０の往復動が制限される。つまり、吸着部９０がロックされる。その結果、吸着型搬送装置１００は、各吸着部９０を介して、物品Ａを保持することができる。したがって、ロック用鋼球２８は、傾斜面としての第２内周面２４ｂと吸着部９０の外面との間に挟持されることで、吸着部９０の往復動を制限する保持部材である。

【0067】

各吸着部９０が物品Ａを保持した状態において、第２ポート２２は、大気開放されている。このため、第１ピストン２３によるロック解除は行われない。
アダプタ９３が物品Ａの表面に接触した状態において、吸着型搬送装置１００が各吸着部９０を介して物品Ａを保持する動作は、吸着型搬送装置１００が各吸着部９０に対して物品Ａを吸着する動作よりも前に行ってもよい。

【0068】

吸着型搬送装置１００は、物品Ａを保持しつつ、例えばハウジング８０の第２端部８３の外部に取り付けられる、図示していないアーム等によって、物品Ａを初期位置から異なる場所に搬送する。

【0069】

物品Ａの吸着を解除する際、吸着型搬送装置１００は、第４ポート６２及び第４通路６１を介して、各吸着部９０の通路９０ａから負圧を大気開放すると、物品Ａの吸着を解除することができる。

【0070】

物品Ａの吸着を解除した後、吸着部９０のロックが解除される。吸着型搬送装置１００は、第２ポート２２及び第２通路２１を介して、第１ピストン室２５にエアを供給することによって、第１ピストン室２５を加圧する。すると、第１ピストン２３は、付勢部材２９の付勢力に抗して第１端部８２から第２端部８３に向かう方向に移動する。このとき、第１ピストン２３の第２リップパッキン２３２は、隔壁部材１５の外周面に対して摺動する。第２ピストン２６は、第１ピストン２３と連動することにより、第１端部８２から第２端部８３に向かう方向に移動する。各ロック用鋼球２８は、第２ピストン２６とともに、第１端部８２から第２端部８３に向かう方向に移動する。第２ピストン２６の移動に伴って、各ロック用鋼球２８は、第１内周面２４ａ、もしくは、第２内周面２４ｂの内側に移動する。各ロック用鋼球２８は、第２ピストン２６の径方向に往復動可能となる。各ロック用鋼球２８は、各ロック用鋼球２８が第２ピストン２６の径方向に往復動可能となる位置において、対応する吸着部９０の外面から離れる。これにより、各吸着部９０は、ハウジング８０に対して、軸方向Ｚに往復動可能となる。つまり、ロック機構２００による吸着部９０のロックが解除される。

【0071】

アダプタ９３が物品Ａの表面に接触した状態において、吸着型搬送装置１００が、各吸着部９０を、ハウジング８０に対して往復動可能とする動作は、吸着型搬送装置１００が各吸着部９０に対する物品Ａの吸着を解除する動作よりも前に行ってもよい。

【0072】

吸着型搬送装置１００が、物品Ａから、軸方向Ｚに離れたとき、吸着型搬送装置１００は、図示しない圧力源に接続された切換弁の駆動により、第３ポート４２から、第３通路４１を介して、ガイド部材３２の内周面が画定する挿通孔３２ｄにエアを供給する。第３ポート４２から供給されるエアは、復帰用ピストン９５を、第２端部８３から第１端部８２に向かう方向に移動させる。その結果、吸着型搬送装置１００は、物品Ａの表面形状に吸着部９０を倣わせる過程で生じた各吸着部９０のハウジング８０に対する幅方向Ｗにおける凹凸形状を解消するとともに、各吸着部９０を、初期位置における状態に復帰させる。

【0073】

上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）吸着型搬送装置１００におけるロック機構２００を形成する第１ピストン２３と、ロック部材２４と、第２ピストン２６と、は、物品Ａの吸着と保持を行う各吸着部９０の軸方向、ひいてはハウジング８０の軸方向Ｚに配置されている。そして、ロック機構２００は、各部材の軸方向Ｚへの移動によって吸着部９０の往復動を制限する。例えば、各吸着部９０に対する径方向への移動によって吸着部９０の往復動を制限する場合と比べて、ロック機構２００を小型化できるため、吸着型搬送装置１００の小型化が可能となる。

【0074】

（２）ロック機構２００は、各吸着部９０の往復動の制限を解除するために、第１ピストン２３を第１端部８２側から第２端部８３側へ移動させる。ロック機構２００は、隔壁部材１５を備えるとともに、第１ピストン２３を隔壁部材１５の外側にて各吸着部９０から離れた位置に備える。第１ピストン２３が、各吸着部９０から離れて隔壁部材１５の外側に位置するため、ロック機構２００は、第１ピストン２３の往復動に伴う摺動抵抗を、吸着部９０を介して物品Ａに加えない。したがって、吸着型搬送装置１００は、各吸着部９０の往復動を制限するとき、及び、制限を解除するときに、物品Ａに対して力を加えない。また、吸着型搬送装置１００は、第１ピストン２３と、第２ピストン２６とを各吸着部９０から離れた位置に備える。したがって、吸着型搬送装置１００は、各吸着部９０の往復動を制限するとき、及び、制限を解除するときに、各吸着部９０の外面におけるパーティクルの発生を低減する。

【0075】

（３）ロック機構２００は、ロック部材２４の第２内周面２４ｂと、４つのロック用鋼球２８により物品Ａを吸着した吸着部９０の往復動を制限する。そのため、物品Ａによる荷重は、各吸着部９０を介して、４つのロック用鋼球２８の各々を、ロック部材２４の第２内周面２４ｂに沿って、内径が小さくなる方向に移動させる。その結果、各吸着部９０に対応する４つのロック用鋼球２８は、物品Ａの荷重に応じた力で、各吸着部９０の往復動を制限できる。

【0076】

（４）各ロック用鋼球２８は、第２ピストン２６を介して、付勢部材２９により、第２端部８３から第１端部８２に向かって付勢されている。各吸着部９０の軸方向が、重力の方向と一致しない場合であっても、第１ピストン室２５が加圧されていない限り、各ロック用鋼球２８は、ロック部材２４の第２内周面２４ｂのうち、内径が小さくなる方向に移動できる。したがって、吸着型搬送装置１００は、各吸着部９０の軸方向が、重力の方向と一致しない場合であっても、物品Ａを吸着した各吸着部９０の往復動を制限できる。

【0077】

（５）ロック機構２００は、４つのロック用鋼球２８を用いて、各吸着部９０の往復動を制限する。各吸着部９０の往復動を制限するときに、各吸着部９０に摺接する面積は、各ロック用鋼球２８の球面と、各吸着部９０の外面が接する面に限られる。その結果、各吸着部９０と、それぞれに対応するロック機構２００が摺接する面積は低減する。

【0078】

（６）ロック用挿通孔２７において、各吸着部９０とロック用鋼球２８は摺接する。また、ガイド部材３２の内周面と、復帰用ピストン９５の外周面が摺接する。さらに、第２軸受３１に対して吸着部９０が摺接する。加えて、第２ピストン２６は、ロック部材２４に対して摺接する。そして、復帰用ピストン室３３と第１ポート１２とは、第３ハウジング形成材３０の第２内周面３０ｂと吸着部９０の外面との間の隙間と、ロック用挿通孔２７と、間隙１５ｂと、第１通路１１とを介して連通する。このため、これらの摺接によって発生したパーティクルは、第１通路１１及び第１ポート１２を介してハウジング８０の外に排出できる。このため、第３リップパッキン９５１と吸着部９０の外面との間の隙間で発生するパーティクルが物品Ａに到達する前に排除することができる。

【0079】

（７）隔壁部材１５の内径側の吸着部９０との間隙１５ｂを排出路として構成するとともに、間隙１５ｂを第１通路１１及び第１ポート１２に連通し、さらに、間隙１５ｂを、第２ピストン２６の内面と吸着部９０の外面との間と、第１ピストン２３の内面と吸着部９０の外面との間を介してロック用挿通孔２７に連通した。隔壁部材１５の内径側と吸着部９０との間隙１５ｂを排出路として利用することで、排出路を別途設けることによる吸着型搬送装置１００の大型化を抑制することができる。

【0080】

（８）隔壁部材１５は、第１ハウジング形成材１０と第２ハウジング形成材２０の軸心の位置決めを行う。隔壁部材１５の用途を複数持たせることで、吸着型搬送装置１００の構造部品点数が削減されるとともに、吸着型搬送装置１００の大型化を抑制することができる。

【0081】

（９）物品Ａの形状に倣うために、ハウジング８０に対して移動した吸着部９０は、第３ポート４２から供給されるエアにより、各吸着部９０が備える復帰用ピストン９５とともに、初期位置に復帰する。このとき、復帰用ピストン９５は、ガイド部材３２によって軸方向Ｚへ移動するように案内される。このため、各吸着部９０の軸方向が、重力の方向と一致しない場合であっても、第３ポート４２から供給されるエアと、復帰用ピストン９５とによって、各吸着部９０を初期位置に復帰することができる。したがって、吸着型搬送装置１００は、各吸着部９０の軸方向が、重力の方向と一致しない状況で使用されても、各吸着部９０を初期位置に復帰させることができる。

【0082】

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
〇実施形態において、各吸着部９０は、アダプタ９３を備えなくてもよい。

【0083】

〇実施形態において、吸着部９０は、第１吸着部形成部９４と、復帰用ピストン９５と、第２吸着部形成部９６と、から形成されていなくてもよい。例えば、吸着部９０は、一本の金属材を加工して形成されていてもよい。

【0084】

○ガイド部材３２は無くてもよい。この場合、復帰用ピストン９５は、ハウジング８０の内周面に対して摺動する。
○第１ポート１２は無くてもよい。

【0085】

○第２ピストン２６は無くてもよい。この場合、第１ピストン２３には、第２ピストン２６の変わりにロック用鋼球２８を押圧する押圧部が一体に設けられる。
〇実施形態において、ハウジング８０が備えるスクレーパ１３は、用いなくてもよい。

【0086】

〇実施形態において、ロック部材２４は、第１内周面２４ａと、第２内周面２４ｂと、第３内周面２４ｃとを備えずに、第２端部８３から第１端部８２に向かう方向に単調に内径が小さくなる単一の内周面を備えてもよい。

【0087】

〇実施形態において、ロック部材２４によって傾斜面を設けずに、第２ハウジング形成材２０の第３内周面２０ｃに、ロック部材２４の内周面と同様の形状を有する傾斜面を設けてもよい。

【0088】

〇実施形態において、付勢部材２９は、第２ピストン２６を、第２端部８３から第１端部８２に向かう方向に付勢する、ばね以外の弾性材料としてもよい。
〇実施形態において、連動部材孔２６ｄを画定する内周面は、径方向に内径が大きくなってもよい。

【0089】

上記実施形態及び変更例から把握できる技術的思想について記載する。
（イ）前記吸着部と一体に往復動可能であるとともに、前記連動部材よりも前記軸方向の他方側に設けられた復帰用ピストンと、前記ハウジングの内面と前記吸着部の外面との間に形成され、前記復帰用ピストンを収容する復帰用ピストン室と、前記復帰用ピストン室に連通する復帰用ポートと、を有することを特徴とする吸着型搬送装置。

【0090】

（ロ）前記パーティクル排出ポートは、前記復帰用ピストン室よりも前記ハウジングの軸方向の一方側における前記ハウジングの内面と前記吸着部の間と、前記第１ピストン及び前記第２ピストンと前記吸着部の外面との間と、前記間隙と、前記通路とを介して前記復帰用ピストン室と連通することを特徴とする（イ）に記載の吸着型搬送装置。

【0091】

（ハ）前記吸着部は、前記ハウジングの軸方向における前記復帰用ピストンよりも前記ハウジングの軸方向の一方側かつ、前記第２ピストンよりも前記ハウジングの軸方向の他方側において軸受を介して前記ハウジングに支持されており、前記復帰用ピストン室よりも前記ハウジングの軸方向の一方側における前記ハウジングの内面と前記吸着部の間と、前記第１ピストン及び前記第２ピストンと前記吸着部の外面との間が前記軸受を介して連通していることを特徴とする（ロ）に記載の吸着型搬送装置。

【符号の説明】

【0092】

１１…通路としての第１通路、１２…パーティクル排出ポートとしての第１ポート、１５…隔壁部材、１５ｂ…間隙、１０～６０…第１～第６ハウジング形成材、２２…給排ポートとしての第２ポート、２３…ピストンとしての第１ピストン、２４…ロック部材、２４ｂ…傾斜面としての第２内周面２４ｂ、２５…ピストン室としての第１ピストン室、２６…連動部材としての第２ピストン、２６ｄ…連動部材孔、２８…保持部材としてのロック用鋼球、２９…付勢部材、８０…ハウジング、９０…吸着部、１００…吸着型搬送装置、２００…ロック機構、２３１…第１シールとしての第１リップパッキン、２３２…第２シールとしての第２リップパッキン。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】