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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025012052
(43)【公開日】2025-01-24
(54)【発明の名称】静電モータ、および静電モータの製造方法
(51)【国際特許分類】
H02N 1/00 20060101AFI20250117BHJP
【ＦＩ】
H02N1/00
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023114588
(22)【出願日】2023-07-12
(71)【出願人】
【識別番号】000004260
【氏名又は名称】株式会社デンソー
(71)【出願人】
【識別番号】000003207
【氏名又は名称】トヨタ自動車株式会社
(71)【出願人】
【識別番号】520124752
【氏名又は名称】株式会社ミライズテクノロジーズ
(74)【代理人】
【識別番号】110001128
【氏名又は名称】弁理士法人ゆうあい特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】仁野 新一
(72)【発明者】
【氏名】倉田 和慶
(57)【要約】
【課題】回転子電極５０Ａ、５０Ｂの絶縁耐圧を向上する。
【解決手段】静電モータ２では、静電気力によって複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して変位が可能になるように構成されている。回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、金属材料からなる薄膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、固定子電極６０Ａ、６０Ｂとの間に静電気力を発生させるメッキ層５９を備える。したがって、回転子電極５０Ａ、５０Ｂがメッキ層５９によって構成されている。このため、回転子電極５０Ａ、５０Ｂの表面の表面粗さが小さくなる。
【選択図】図１
【解決手段】静電モータ２では、静電気力によって複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して変位が可能になるように構成されている。回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、金属材料からなる薄膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、固定子電極６０Ａ、６０Ｂとの間に静電気力を発生させるメッキ層５９を備える。したがって、回転子電極５０Ａ、５０Ｂがメッキ層５９によって構成されている。このため、回転子電極５０Ａ、５０Ｂの表面の表面粗さが小さくなる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
前記可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
前記可動子電極および前記固定子電極の間の静電気力によって前記固定子電極に対して前記可動子電極が変位可能になるように構成されている静電モータであって、
前記可動子電極および前記固定子電極のうちいずれか一方の電極は、
金属材料からなる膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、前記可動子電極および前記固定子電極のうち前記一方の電極以外の他方の電極との間に前記静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）を備える静電モータ。
前記可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
前記可動子電極および前記固定子電極の間の静電気力によって前記固定子電極に対して前記可動子電極が変位可能になるように構成されている静電モータであって、
前記可動子電極および前記固定子電極のうちいずれか一方の電極は、
金属材料からなる膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、前記可動子電極および前記固定子電極のうち前記一方の電極以外の他方の電極との間に前記静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）を備える静電モータ。
【請求項2】
前記一方の電極は、基材（５８、６８）を備え、
前記メッキ層は、前記基材の周囲を覆うように形成されている請求項１に記載の静電モータ。
前記メッキ層は、前記基材の周囲を覆うように形成されている請求項１に記載の静電モータ。
【請求項3】
前記一方の電極は、中空部（５８Ｘ、６８Ｘ）を形成し、
前記メッキ層は、前記中空部を覆う殻状に形成されている請求項１に記載の静電モータ。
前記メッキ層は、前記中空部を覆う殻状に形成されている請求項１に記載の静電モータ。
【請求項4】
前記メッキ層を構成する前記金属材料は、クロムである請求項１ないし３のいずれか１つに記載の静電モータ。
【請求項5】
前記基材は、軽合金によって形成されている請求項２に記載の静電モータ。
【請求項6】
前記基材は、樹脂材料によって形成されている請求項２に記載の静電モータ。
【請求項7】
前記静電気力によって前記可動子電極が前記固定子電極に対して軸線（Ｂ）を中心とする回転方向（Ｋａ）に変位が可能になるように構成されており、
前記軸線が延びる方向を軸線方向（Ｚａ）としたとき、
前記一方の電極は、前記軸線を中心とする径方向（Ｚｂ）に延びるように形成されて、かつ前記軸線方向に並べられている複数の歯部（６１）と、
前記複数の歯部に対して前記径方向の内側に配置されて前記複数の歯部に接続されている支持部（６２）と、を備え、
前記複数の歯部、および前記支持部は、一体化されている一体化構成物を構成する請求項１に記載の静電モータ。
前記軸線が延びる方向を軸線方向（Ｚａ）としたとき、
前記一方の電極は、前記軸線を中心とする径方向（Ｚｂ）に延びるように形成されて、かつ前記軸線方向に並べられている複数の歯部（６１）と、
前記複数の歯部に対して前記径方向の内側に配置されて前記複数の歯部に接続されている支持部（６２）と、を備え、
前記複数の歯部、および前記支持部は、一体化されている一体化構成物を構成する請求項１に記載の静電モータ。
【請求項8】
前記複数の歯部のそれぞれの前記径方向の外側端部には、前記径方向の外側に凸となる半球状に形成されている先端部（１６１）が設けられている請求項７に記載の静電モータ。
【請求項9】
前記歯部を第１歯部とし、前記支持部を第１支持部としたとき、
前記他方の電極は、
前記第１支持部に対して前記径方向の外側に配置され、かつ前記径方向に延びるように形成されて、さらに前記軸線方向に並べられている複数の第２歯部（７１）と、
前記複数の第２歯部に対して前記径方向の外側に配置されて前記複数の第２歯部に接続されている第２支持部（７２）と、を備え、
前記複数の第２歯部、および前記第２支持部は、一体化されている一体化構成物を構成する請求項８に記載の静電モータ。
前記他方の電極は、
前記第１支持部に対して前記径方向の外側に配置され、かつ前記径方向に延びるように形成されて、さらに前記軸線方向に並べられている複数の第２歯部（７１）と、
前記複数の第２歯部に対して前記径方向の外側に配置されて前記複数の第２歯部に接続されている第２支持部（７２）と、を備え、
前記複数の第２歯部、および前記第２支持部は、一体化されている一体化構成物を構成する請求項８に記載の静電モータ。
【請求項10】
前記先端部を第１先端部としたとき、前記複数の第２歯部のそれぞれの前記径方向の内側端部には、前記径方向の内側に凸となる半球状に形成されている第２先端部（１７１）が設けられている請求項９に記載の静電モータ。
【請求項11】
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
前記可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
前記可動子電極および前記固定子電極の間の静電気力によって前記可動子電極が前記固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
前記可動子電極および前記固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、前記可動子電極および前記固定子電極のうち前記一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって前記基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して前記他方の電極と間に前記静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることにより、前記一方の電極を形成することと、
を含む静電モータの製造方法。
前記可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
前記可動子電極および前記固定子電極の間の静電気力によって前記可動子電極が前記固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
前記可動子電極および前記固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、前記可動子電極および前記固定子電極のうち前記一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって前記基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して前記他方の電極と間に前記静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることにより、前記一方の電極を形成することと、
を含む静電モータの製造方法。
【請求項12】
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
前記可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
前記可動子電極および前記固定子電極の間の静電気力によって前記可動子電極が前記固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
前記可動子電極および前記固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、前記可動子電極および前記固定子電極のうち前記一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって前記基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して前記他方の電極と間に前記静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることと、
前記メッキ層の内側から前記基材を除去して前記メッキ層を殻状に形成することにより、前記一方の電極を形成することと、
を含む静電モータの製造方法。
前記可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
前記可動子電極および前記固定子電極の間の静電気力によって前記可動子電極が前記固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
前記可動子電極および前記固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、前記可動子電極および前記固定子電極のうち前記一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって前記基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して前記他方の電極と間に前記静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることと、
前記メッキ層の内側から前記基材を除去して前記メッキ層を殻状に形成することにより、前記一方の電極を形成することと、
を含む静電モータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、静電モータ、および静電モータの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、可動子電極と固定子電極とを備え、可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって固定子電極に対して回転子電極が回転可能になるように構成されている静電モータが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００７－３３６７３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明者は、上記静電モータについて、可動子電極および固定子電極の絶縁耐圧を向上することを検討した。
【0005】
本開示は上記点に鑑みて、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータ、および静電モータの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の１つの観点によれば、可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって固定子電極に対して可動子電極が変位可能になるように構成されている静電モータであって、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方の電極は、
金属材料からなる膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の他方の電極との間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）を備える。
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって固定子電極に対して可動子電極が変位可能になるように構成されている静電モータであって、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方の電極は、
金属材料からなる膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の他方の電極との間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）を備える。
【0007】
したがって、一方の電極の表面がメッキ層によって構成されることになる。メッキ層は、機械加工により形成された金属部品に比べて、表面粗さが小さくなる。このため、機械加工により形成された金属部品の表面粗さに比べて、一方の電極の表面粗さの方が小さくなるので、一方の電極の絶縁耐圧を向上することができる。
したがって、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータを提供することができる。
したがって、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータを提供することができる。
【0008】
本開示の２つの観点によれば、静電モータの製造方法において、
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって可動子電極が固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して他方の電極と間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることにより、一方の電極を形成することと、を含む。
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって可動子電極が固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して他方の電極と間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることにより、一方の電極を形成することと、を含む。
【0009】
したがって、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータの製造方法を提供することができる。
【0010】
本開示の３つの観点によれば、静電モータの製造方法において、
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって可動子電極が固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して他方の電極と間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることと、
メッキ層の内側から基材を除去してメッキ層を殻状に形成することにより、一方の電極を形成することと、
を含む静電モータ。
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって可動子電極が固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して他方の電極と間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることと、
メッキ層の内側から基材を除去してメッキ層を殻状に形成することにより、一方の電極を形成することと、
を含む静電モータ。
【0011】
したがって、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータの製造方法を提供することができる。
【0012】
なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本開示の第１実施形態における静電モータの全体を示す斜視図である。
【図3】図１の第１実施形態における静電モータのうち軸線方向一方側の軸受けを軸線方向一方側から視た図であり、回転子電極および固定子電極の図示を省略した状態で、軸受けの構造の説明を補助するための図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、本開示の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【0015】
（第１実施形態）
図１、図２に本開示の静電モータシステム１の本第１実施形態を示す。図１は、本実施形態の静電モータシステム１における静電モータ２の全体を示す斜視図であり、図１は、静電モータ２の外観を示している。図２は、本実施形態の静電モータ２の内部構造を模式化した模式図である。
図１、図２に本開示の静電モータシステム１の本第１実施形態を示す。図１は、本実施形態の静電モータシステム１における静電モータ２の全体を示す斜視図であり、図１は、静電モータ２の外観を示している。図２は、本実施形態の静電モータ２の内部構造を模式化した模式図である。
【0016】
本実施形態の静電モータシステム１は、航空機、ドローン、宇宙船等の各種のモビリティに適用される。
【0017】
具体的には、図１および図２に示すように、静電モータ２は、回転軸１０、軸受け２０Ａ、２０Ｂ、蓋部４０、ハウジング３０、複数の回転子電極５０Ａ、複数の回転子電極５０Ｂ、複数の固定子電極６０Ａ、および複数の固定子電極６０Ｂを備える。
【0018】
回転軸１０は、軸線Ｂを中心として軸線方向Ｚａに延びる細長い円柱状に形成されている。回転軸１０は、軸線Ｂを中心とする回転方向Ｋａに回転可能に構成されている。軸線方向Ｚａは、軸線Ｂが延びる方向である。
【0019】
回転軸１０は、ハウジング３０内に配置されている。回転軸１０は、蓋部４０を軸線方向Ｚａの一方側に貫通している。ハウジング３０は、軸線Ｂを中心とする円筒状に形成されている。
【0020】
ハウジング３０は、軸線方向Ｚａの一方側が開口する開口部を有している。蓋部４０は、ハウジング３０の開口部に嵌め込まれている。ハウジング３０のうち軸線方向Ｚａの他方側には、底部３１が設けられている。
【0021】
ハウジング３０は、回転軸１０とともに、軸受け２０Ａ、２０Ｂ、複数の回転子電極５０Ａ、複数の回転子電極５０Ｂ、複数の固定子電極６０Ａ、および複数の固定子電極６０Ｂを収納している。
【0022】
軸受け２０Ａは、図２および図３に示すように、回転軸１０のうち軸線方向Ｚａ一方側を軸線Ｂを中心として回転自在に支持する玉軸受けである。具体的には、軸受け２０Ａは、内側リング２１ａ、外側リング２２ａ、および複数の玉２３ａを備える。
【0023】
内側リング２１ａは、回転軸１０のうち軸線方向Ｚａ一方側に配置されている。内側リング２１ａは、軸線Ｂを中心とするリング状に形成されている。内側リング２１ａは、回転軸１０に対して径方向Ｚｂ外側に配置されている。径方向Ｚｂは、軸線Ｂを中心とする径方向である。
【0024】
内側リング２１ａは、回転軸１０の外周面に固定されている。外側リング２２ａは、軸線Ｂを中心とするリング状に形成されている。外側リング２２ａは、内側リング２１ａに対して径方向Ｚｂ外側に配置されている。外側リング２２ａは、蓋部４０に対して支持されている。
【0025】
複数の玉２３ａは、内側リング２１ａおよび外側リング２２ａの間に配置されている。複数の玉２３ａは、内側リング２１ａおよび外側リング２２ａに接触した状態で、軸線Ｂを中心とする円周方向に並べられている。本実施形態の内側リング２１ａ、外側リング２２ａ、および複数の玉２３ａは、それぞれ、導電性金属材料によって構成されている。
【0026】
本実施形態では、複数の玉２３ａは、内側リング２１ａおよび外側リング２２ａの間を電気的に接続する。このため、軸受け２０Ａは、後述するように、複数の回転子電極５０Ａと直流電源３００の正極電極とを電気的に接続する機能を果たす。
【0027】
【0028】
内側リング２１ｂは、回転軸１０のうち軸線方向Ｚａ他方側に配置されている。内側リング２１ｂは、軸線Ｂを中心とするリング状に形成されている。内側リング２１ｂは、回転軸１０に対して径方向Ｚｂ外側に配置されている。内側リング２１ｂは、回転軸１０の外周面に固定されている。
【0029】
外側リング２２ｂは、軸線Ｂを中心とするリング状に形成されている。外側リング２２ｂは、内側リング２１ｂに対して径方向Ｚｂ外側に配置されている。外側リング２２ｂは、底部３１に対して支持されている。
【0030】
複数の玉２３ｂは、内側リング２１ｂおよび外側リング２２ｂの間に配置されている。複数の玉２３ｂは、内側リング２１ｂおよび外側リング２２ｂに接触した状態で、軸線Ｂを中心とする円周方向に並べられている。本実施形態の内側リング２１ｂ、外側リング２２ｂ、および複数の玉２３ｂは、それぞれ、導電性金属材料によって構成されている。
【0031】
本実施形態では、複数の玉２３ｂは、内側リング２１ｂおよび外側リング２２ｂの間を電気的に接続する。このため、軸受け２０Ｂは、後述するように、複数の回転子電極５０Ｂと直流電源３００の負極電極とを電気的に接続する機能を果たす。
【0032】
複数の回転子電極５０Ａ、および複数の回転子電極５０Ｂは、それぞれ１つずつ、軸線Ｂを中心とする周方向に交互に並べられている。複数の回転子電極５０Ａ、および複数の回転子電極５０Ｂは、それぞれ、回転軸１０に対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている。
【0033】
以下、説明の便宜上、複数の回転子電極５０Ａ、および複数の回転子電極５０Ｂを纏めて複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂともいう。
【0034】
複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、それぞれ、櫛歯状に形成されている可動子電極である。具体的には、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、それぞれ、複数の歯部６１および支持部６２を備える。
【0035】
複数の歯部６１は、それぞれ、軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂに延びるように形成されている第１歯部である。複数の歯部６１は、それぞれ、軸線方向Ｚａに間隔を開けて並べられている。複数の歯部６１は、それぞれ、細長い円柱状に形成されている。複数の歯部６１のそれぞれの径方向Ｚｂ外側の先端部１６１は、径方向Ｚｂ外側に凸となる半球状に形成されている。
【0036】
支持部６２は、回転軸１０に対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている第１支持部である。支持部６２は、複数の歯部６１に対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ内側に配置されている。支持部６２は、軸線方向Ｚａに延びるように形成されている。支持部６２は、複数の歯部６１のうち軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ内側に接続されている。
【0037】
具体的には、支持部６２は、中間支持部６２ａ、一方側支持部６２ｂ、および他側支持部６２ｃを備える。中間支持部６２ａは、複数の歯部６１のうち軸線方向Ｚａ中央側の複数の歯部６１を支持する。
【0038】
一方側支持部６２ｂは、中間支持部６２ａに対して軸線方向Ｚａ一方側に配置されている。一方側支持部６２ｂは、中間支持部６２ａに対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている。一方側支持部６２ｂは、中間支持部６２ａのうち軸線方向Ｚａ一方側に接続されている。一方側支持部６２ｂは、複数の歯部６１のうち軸線方向Ｚａ一方側の３つの歯部６１を支持する。
【0039】
他側支持部６２ｃは、中間支持部６２ａに対して軸線方向Ｚａ他方側に配置されている。他側支持部６２ｃは、中間支持部６２ａに対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている。他側支持部６２ｃは、中間支持部６２ａのうち軸線方向Ｚａ他方側に接続されている。他側支持部６２ｃは、複数の歯部６１のうち軸線方向Ｚａ他方側の３つの歯部６１を支持する。
【0040】
支持部６２のうち軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ内側には、取り付け部６３、６４が設けられている。取り付け部６３、６４は、軸線方向Ｚａに間隔を開けて並べられている。
【0041】
取り付け部６３は、中間支持部６２ａのうち軸線方向Ｚａ一方側に接続されている。取り付け部６４は、中間支持部６２ａのうち軸線方向Ｚａ他方側に接続されている。取り付け部６３、６４は、支持部６２から径方向Ｚｂ内側に突起するように形成されている。
【0042】
取り付け部６３、６４には、軸線Ｂを中心とする円周方向に貫通する貫通孔６５、６６が設けられている。取り付け部６３、６４は、回転子電極５０Ａ、５０Ｂを回転軸１０に取り付けるために用いられる。
【0043】
本実施形態では、複数の歯部６１、支持部６２、および取り付け部６３、６４は、一体化された一体化構成物を構成する。すなわち、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、それぞれ、一体化された１つの部品を構成する。
【0044】
複数の回転子電極５０Ａは、それぞれ、軸受け２０Ａの内側リング２１ａに接続されている。このことにより、外側リング２２ａは、複数の玉２３ａおよび内側リング２１ａを通して複数の回転子電極５０Ａに電気的に接続されることになる。
【0045】
複数の回転子電極５０Ｂは、それぞれ、軸受け２０Ｂの内側リング２１ｂに接続されている。このことにより、外側リング２２ｂは、複数の玉２３ｂおよび内側リング２１ｂを通して複数の回転子電極５０Ｂに電気的に接続されることになる。
【0046】
以下、説明の便宜上、複数の固定子電極６０Ａ、および複数の固定子電極６０Ｂを纏めて複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂという。複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、回転子電極５０Ａ、５０Ｂに対して間隔を開けて軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている。複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、回転子電極５０Ａ、５０Ｂのそれぞれの支持部６２に対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている。
【0047】
複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ、回転軸１０に対して軸線Ｂを中心として径方向Ｚｂ外側に配置されている。複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、１つずつ、交互に軸線Ｂを中心とする周方向に並べられている。
【0048】
複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ、複数の歯部７１および支持部７２を備える。複数の歯部７１は、それぞれ、軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂに延びるように形成されている第２歯部である。
【0049】
複数の歯部７１は、それぞれ、軸線方向Ｚａに間隔を開けて並べられている。複数の歯部７１は、それぞれ、細長い円柱状に形成されている。図７に示すように、複数の歯部７１のそれぞれの径方向Ｚｂ内側端部には、第２先端部としての先端部１７１が設けられている。先端部１７１は、径方向Ｚｂ内側に凸となる半球状に形成されている。
【0050】
支持部７２は、回転軸１０に対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている第２支持部である。支持部７２は、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂのそれぞれの支持部６２に対して径方向Ｚｂ外側に配置されている。
【0051】
支持部７２は、複数の歯部７１に対して軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に配置されている。支持部７２は、軸線方向Ｚａに延びるように形成されている。支持部７２は、複数の歯部７１のうち軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側に接続されている。
【0052】
支持部７２のうち軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂ外側には、取り付け部７３、７４が設けられている。取り付け部７３、７４は、軸線方向Ｚａに間隔を開けて並べられている。
【0053】
取り付け部７３は、支持部７２のうち軸線方向Ｚａ一方側に接続されている。取り付け部７４は、支持部７２のうち軸線方向Ｚａ他方側に接続されている。取り付け部７３、７４は、支持部７２から径方向Ｚｂ外側に突起するように形成されている。
【0054】
取り付け部７３、７４には、軸線Ｂを中心とする円周方向に貫通する貫通孔７５、７６が設けられている。
【0055】
本実施形態では、複数の歯部７１、支持部７２、および取り付け部７３、６４は、一体化された一体化構成物を構成する。すなわち、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ、一体化された部品を構成する。さらに、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、ハウジング３０によって支持されている。
【0056】
蓋部４０は、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂ、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して軸線方向Ｚａ一方側に配置されている。ハウジング３０の底部３１は、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂ、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して軸線方向Ｚａ他方側に配置されている。
【0057】
次に、本実施形態の静電モータシステム１の電気的構成について図２を参照して説明する。図２では、２つの回転子電極５０Ａ、２つの固定子電極６０Ａ、２つの回転子電極５０Ｂ、および２つの固定子電極６０Ｂを備える静電モータ２の具体例を示している。
【0058】
本実施形態の静電モータシステム１は、静電モータ２を駆動するための駆動回路２００、および制御回路２５０を備える。駆動回路２００は、トランジスタ２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄを備える。
【0059】
トランジスタ２１０ａ、２１０ｂは、正極母線２００ａおよび負極母線２００ｂの間において、直列に接続されている。トランジスタ２１０ｃ、２１０ｄは、正極母線２００ａおよび負極母線２００ｂの間において、直列に接続されている。
【0060】
なお、トランジスタ２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄとしては、例えば、ｎチャネル型の電界効果型トランジスタが用いられる。
【0061】
正極母線２００ａは、直流電源３００の正極電極に接続されている。負極母線２００ｂは、直流電源３００の負極電極に接続されている。直流電源３００の正極電極は、軸受け２０Ａの外側リング２２ａに接続されている。
【0062】
複数の回転子電極５０Ａのそれぞれの支持部６２は、軸受け２０Ａの内側リング２１ａに接続されている。これにより、複数の回転子電極５０Ａは、軸受け２０Ａを通して直流電源３００の正極電極に接続されていることになる。
【0063】
直流電源３００の負極電極は、軸受け２０Ｂの外側リング２２ａに接続されている。複数の回転子電極５０Ｂのそれぞれの支持部６２は、軸受け２０Ｂの内側リング２１ｂに接続されている。これにより、複数の回転子電極５０Ｂは、軸受け２０Ｂを通して直流電源３００の負極電極に接続されていることになる。
【0064】
ここで、以下説明の便宜上、トランジスタ２１０ａ、２１０ｂが共通に接続されている共通接続端子を共通接続端子２２０とし、トランジスタ２１０ｃ、２１０ｄが共通に接続されている共通接続端子を共通接続端子２２１とする。共通接続端子２２０は、複数の固定子電極６０Ａのそれぞれに電気的に接続されている。共通接続端子２２１は、複数の固定子電極６０Ｂのそれぞれに電気的に接続されている。
【0065】
制御回路２５０は、マイクロコンピュータ等から構成され、トランジスタ２１０ａ、２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄをそれぞれオン、オフする。
【0066】
次に、本実施形態の静電モータシステム１の具体的な作動について説明する。
【0067】
まず、複数の固定子電極６０Ａの複数の歯部７１が、それぞれ、複数の回転子電極５０Ａのうち対応する１つの回転子電極５０Ａの複数の歯部６１に間隔を開けて噛み合った状態になっている。複数の固定子電極６０Ｂの複数の歯部７１が、それぞれ、複数の回転子電極５０Ｂのうち対応する１つの回転子電極５０Ｂの複数の歯部６１に間隔を開けて噛み合った状態になっている。
【0068】
複数の回転子電極５０Ａは、上述の如く、軸受け２０Ａを通して直流電源３００の正極電極に電気的に接続されている。複数の回転子電極５０Ｂは、上述の如く、軸受け２０Ｂを通して直流電源３００の負極電極に電気的に接続されている。
【0069】
このとき、直流電源３００の正極電極および負極電極の間の電圧によって、複数の回転子電極５０Ａのそれぞれの表面に正電荷が生じ、複数の回転子電極５０Ｂのそれぞれの表面に負電荷が生じる。
【0070】
次に、制御回路２５０が駆動回路２００のトランジスタ２１０ａ、２１０ｄをオンして、かつトランジスタ２１０ｂ、２１０ｃをオフする。このため、直流電源３００の正極電極からトランジスタ２１０ａ、共通接続端子２２０を通して複数の固定子電極６０Ａに電流が流れる。複数の固定子電極６０Ｂから共通接続端子２２１、トランジスタ２１０ｄを通して直流電源３００の負極電極に電流が流れる。
【0071】
このため、直流電源３００の正極電極および負極電極の間の電圧によって、複数の固定子電極６０Ａのそれぞれの表面に正電荷が生じて、複数の固定子電極６０Ｂのそれぞれの表面に負電荷が生じる。
【0072】
複数の固定子電極６０Ａと複数の回転子電極５０Ａとの間には、静電気による反力が生じる。複数の固定子電極６０Ｂと複数の回転子電極５０Ｂとの間には、静電気による反力が生じる。
【0073】
このため、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが軸線Ｂを中心とする回転力が生じる。したがって、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、回転軸１０とともに、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して回転方向Ｋａに回転力する。
【0074】
これに伴い、複数の回転子電極５０Ａが、それぞれ、複数の固定子電極６０Ｂのうち対応する１つの固定子電極６０Ｂに近づく。複数の回転子電極５０Ｂが、それぞれ、複数の固定子電極６０Ａのうち対応する１つの固定子電極６０Ａに近づく。
【0075】
このとき、複数の回転子電極５０Ａと複数の固定子電極６０Ｂと間には、静電気による引力が生じる。複数の回転子電極５０Ｂと複数の固定子電極６０Ａとの間には、静電気による引力が生じる。
【0076】
したがって、複数の固定子電極６０Ａの複数の歯部７１が、それぞれ、複数の回転子電極５０Ｂのうち対応する１つの回転子電極５０Ｂの複数の歯部６１に間隔を開けて噛み合った状態になる。さらに、複数の固定子電極６０Ｂの複数の歯部７１が、それぞれ、複数の回転子電極５０Ａのうち対応する１つの回転子電極５０Ａの複数の歯部６１に間隔を開けて噛み合った状態になる。
【0077】
次に、制御回路２５０が駆動回路２００のトランジスタ２１０ａ、２１０ｄをオフして、かつトランジスタ２１０ｂ、２１０ｃをオンする。このため、直流電源３００の正極電極からトランジスタ２１０ｃ、共通接続端子２２１を通して複数の固定子電極６０Ｂに電流が流れる。複数の固定子電極６０Ａから共通接続端子２２０、トランジスタ２１０ｂを通して直流電源３００の負極電極に電流が流れる。
【0078】
このため、複数の固定子電極６０Ａのそれぞれの表面に負電荷が生じて、複数の固定子電極６０Ｂのそれぞれの表面に正電荷が生じる。複数の固定子電極６０Ａと複数の回転子電極５０Ｂとの間には、静電気による反力が生じる。複数の固定子電極６０Ｂと複数の回転子電極５０Ａとの間には、静電気による反力が生じる。
【0079】
このため、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが軸線Ｂを中心とする回転力が生じる。したがって、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂ、は、回転軸１０とともに、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して回転力する。
【0080】
これに伴い、複数の回転子電極５０Ａが、それぞれ、複数の固定子電極６０Ａのうち対応する１つの固定子電極６０Ａに近づく。複数の回転子電極５０Ｂが、それぞれ、複数の固定子電極６０Ｂのうち対応する１つの固定子電極６０Ｂに近づく。
【0081】
複数の固定子電極６０Ａと複数の回転子電極５０Ａと間には、静電気による引力が生じる。複数の固定子電極６０Ｂと複数の回転子電極５０Ｂとの間には、静電気による引力が生じる。
【0082】
したがって、複数の固定子電極６０Ａの複数の歯部７１が、それぞれ、複数の回転子電極５０Ａのうち対応する１つの回転子電極５０Ａの複数の歯部６１に間隔を開けて噛み合った状態になる。さらに、複数の固定子電極６０Ｂの複数の歯部７１が、それぞれ、複数の回転子電極５０Ｂのうち対応する１つの回転子電極５０Ｂの複数の歯部６１に間隔を開けて噛み合った状態になる。
【0083】
次に、制御回路２５０が駆動回路２００のトランジスタ２１０ａ、２１０ｄをオンして、かつトランジスタ２１０ｂ、２１０ｃをオフする。このため、直流電源３００の正極電極からトランジスタ２１０ａ、共通接続端子２２０を通して複数の固定子電極６０Ａに電流が流れる。複数の固定子電極６０Ｂから共通接続端子２２１、トランジスタ２１０ｄを通して直流電源３００の負極電極に電流が流れる。
【0084】
このため、上述と同様に、複数の固定子電極６０Ａと複数の回転子電極５０Ａとの間には、静電気による反力が生じる。複数の固定子電極６０Ｂと複数の回転子電極５０Ｂとの間には、静電気による反力が生じる。
【0085】
このため、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが軸線Ｂを中心とする回転力が生じる。したがって、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂ、は、回転軸１０とともに、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して回転力する。
【0086】
以降、制御回路２５０がトランジスタ２１０ａ、２１０ｄをオンして、かつトランジスタ２１０ｂ、２１０ｃをオフした状態と、トランジスタ２１０ａ、２１０ｄをオフして、かつトランジスタ２１０ｂ、２１０ｃをオンした状態とを交互に繰り返す。
【0087】
このため、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが静電気力によって軸線Ｂを中心とする回転力が生じる。したがって、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、回転軸１０とともに、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して回転力する。
【0088】
次に、本実施形態の複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂ、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂの構造について図８を参照して説明する。
【0089】
複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、図８に示すように、それぞれ、基材６８およびメッキ層６９を備える。基材６８は、櫛歯状に形成されている。基材６８は、アルミニウム等を含む軽合金によって構成されている。或いは、基材６８は、樹脂材料によって構成されている。
【0090】
メッキ層６９は、基材６８の表面の全体を覆う薄膜状に形成されている。メッキ層６９は、外側に露出する表面を形成する。このため、メッキ層６９の表面は、真空中に晒されることになる。
【0091】
本実施形態では、メッキ層６９が真空中に配置された状態である場合において、高い絶縁耐圧を有する金属材料（例えば、クロム、或いはステンレス）によってメッキ層６９が形成されている。
【0092】
複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、固定子電極６０Ａ、６０Ｂと同様に、基材５８およびメッキ層５９を備える。基材５８は、櫛歯状に形成されている。基材５８は、アルミニウム等を含む軽合金によって構成されている。或いは、基材５８は、樹脂材料によって構成されている。メッキ層５９は、基材５８の表面の全体を覆う薄膜状に形成されている。
【0093】
メッキ層５９は、外側に露出する表面を形成する。すなわち、メッキ層５９の表面は、真空中に晒されることになる。本実施形態では、メッキ層５９が真空中に配置された状態である場合において、高い絶縁耐圧を有する金属材料（例えば、クロム、或いはステンレス）によってメッキ層５９が形成されている。
【0094】
次に、本実施形態の複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂの製造方法について図９を参照して説明する。
【0095】
まず、ステップＳ１００の工程において、軽合金や樹脂材料を用いた射出成形により基材５８を成形することにより、基材５８を準備する。次のステップＳ１１０の工程において、電気メッキ等の手法によって、基材５８の表面にメッキ層５９を形成する。以上により、回転子電極５０Ａ、５０Ｂの製造が完成する。
【0096】
次に、本実施形態の複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの製造方法について図９を参照して説明する。
【0097】
まず、ステップＳ１００の工程において、軽合金や樹脂材料を用いた射出成形により基材６８を成形することにより、基材６８を準備する。次のステップＳ１１０の工程において、電気メッキ等の手法によって、基材６８の表面にメッキ層６９を形成する。以上により、固定子電極６０Ａ、６０Ｂの製造が完成する。
【0098】
以上説明した本実施形態によれば、静電モータ２は、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂと、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂに対して間隔を開けて配置されている複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂと、を備える。
【0099】
複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂおよび複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの間の静電気力によって、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して回転方向Ｋａに変位が可能になるように構成されている。
【0100】
回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、金属材料からなる薄膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して固定子電極６０Ａ、６０Ｂとの間に静電気力を発生させるメッキ層５９を備える。
【0101】
したがって、回転子電極５０Ａ、５０Ｂの表面がメッキ層５９によって構成されることになる。メッキ層５９は、機械加工により形成された金属部品に比べて、表面粗さが小さくなる。このため、回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、機械加工により形成される回転子電極に比べて、表面粗さが小さくなる。よって、回転子電極５０Ａ、５０Ｂの絶縁耐圧を向上することができる。
【0102】
さらに、固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、金属材料からなる薄膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して回転子電極５０Ａ、５０Ｂとの間に静電気力を発生させるメッキ層６９を備える。
【0103】
したがって、固定子電極６０Ａ、６０Ｂの表面がメッキ層６９によって構成されることになる。メッキ層６９は、機械加工により形成された金属部品に比べて、表面粗さが小さくなる。このため、固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、機械加工により形成される固定子電極に比べて、表面粗さが小さくなる。よって、固定子電極６０Ａ、６０Ｂの絶縁耐圧を向上することができる。
【0104】
本実施形態の静電モータ２の製造方法は、基材５８を準備するステップＳ１００の工程を含む。静電モータ２の製造方法は、金属材料によって基材５８の周囲を覆う膜状に形成されて固定子電極６０Ａ、６０Ｂと間に静電気力を発生させるメッキ層５９を形成することにより回転子電極５０Ａ、５０Ｂを形成するステップＳ１１０の工程を含む。
【0105】
これにより、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータ２の製造方法を提供することができる。
【0106】
さらに、本実施形態の静電モータ２の製造方法は、基材６８を準備するステップＳ１００の工程を含む。静電モータ２の製造方法は、金属材料によって基材６８の周囲を覆う膜状に形成されて回転子電極５０Ａ、５０Ｂと間に静電気力を発生させるメッキ層６９を形成することにより固定子電極６０Ａ、６０Ｂを形成するステップＳ１１０の工程を含む。
【0107】
これにより、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータ２に適した製造方法を提供することができる。
【0108】
このように構成される本実施形態では、次の（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）（ｇ）（ｈ）（ｉ）の作用効果が得られる。
【0109】
（ａ）複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、それぞれ、基材５８を備え、メッキ層５９は、基材５８の周囲を覆うように形成されている。したがって、基材５８を用いることにより、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂの機械的強度を高めることができる
【0110】
（ｂ）複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ、基材６８を備え、メッキ層６９は、基材６８の周囲を覆うように形成されている。したがって、基材６８を用いることにより、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの機械的強度を高めることができる
【0111】
（ｃ）メッキ層５９、６９を構成する金属材料は、クロムである。このため、メッキ層５９、６９が真空中に晒された状態で、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂ、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの絶縁耐圧を向上することができる
【0112】
（ｄ）基材５８、６８が軽合金によって形成されている場合には、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂ、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの機械的強度を高めつつ、軽量化を図ることができる
【0113】
（ｅ）基材５８、６８が樹脂材料によって形成されている場合には、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂ、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの軽量化を図ることができる
【0114】
（ｆ）複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、静電気力によって複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して軸線Ｂを中心とする回転方向Ｋａに変位が可能になるように構成されている。複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、軸線Ｂを中心とする径方向Ｚｂに延びるように形成されて、かつ軸線方向Ｚａに並べられている複数の歯部６１を備える。
【0115】
複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、複数の歯部６１に対して径方向Ｚｂの内側に配置されて複数の歯部６１に接続されている支持部６２を備える。複数の歯部６１、および支持部６２は、一体化されている一体化構成物を構成する。これにより、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂを構成する部品点数を少なくすることができる。
【0116】
複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂでは、支持部６２の位置を決めることにより、歯部６１の位置が自動的に決まる。このため、回転子電極５０Ａ、５０Ｂおよび固定子電極６０Ａ、６０Ｂの間のギャップを調整する際に、支持部６２の位置を決めることにより、歯部６１の位置調整が不用となる。
【0117】
（ｇ）複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂにおいて、複数の歯部６１のそれぞれの径方向の外側端部には、径方向の外側に凸となる半球状に形成されている第１先端部としての先端部１６１が設けられている。このため、複数の歯部６１の先端部において、電界集中による絶縁耐圧の低下を抑制することができる
【0118】
（ｈ）複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ、支持部６２に対して径方向Ｚｂ外側に配置され、かつ径方向Ｚｂに延びるように形成されて、さらに軸線方向Ｚａに並べられている複数の歯部７１を備える。
【0119】
複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ、複数の歯部７１に対して径方向Ｚｂ外側に配置されて複数の歯部７１に接続されている支持部７２を備える。複数の歯部７１、および支持部７２は、一体化されている一体化構成物を構成する。これにより、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂを構成する部品点数を少なくすることができる。
【0120】
複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂでは、支持部７２の位置を決めることにより、歯部７１の位置が自動的に決まる。このため、回転子電極５０Ａ、５０Ｂおよび固定子電極６０Ａ、６０Ｂの間のギャップを調整する際に、支持部７２の位置を決めることにより、歯部７１の位置調整が不用となる。
【0121】
（ｉ）複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、において、複数の歯部７１のそれぞれの径方向Ｚｂ内側端部には、径方向Ｚｂ内側に凸となる半球状に形成されている先端部１７１が設けられている。このため、複数の歯部７１の先端部において、電界集中による絶縁耐圧の低下を抑制することができる。
【0122】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、基材５８およびメッキ層５９によって複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂを構成した例について説明した。
上記第１実施形態では、基材５８およびメッキ層５９によって複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂを構成した例について説明した。
【0123】
しかし、これに代えて、基材５８に代わる中空部５８Ｘとメッキ層５９とによって複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂを構成する静電モータ２の本第２実施形態について図１０等を参照して説明する。
【0124】
本実施形態の静電モータ２の複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂは、それぞれ、基材５８に代わる中空部５８Ｘとメッキ層５９とによって構成されている。すなわち、本実施形態の静電モータ２の複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂでは、基材５８が削除され、メッキ層５９の内側に中空部５８Ｘが設けられている。
【0125】
本実施形態の静電モータ２の複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂは、それぞれ、基材６８に代わる中空部６８Ｘとメッキ層６９とによって構成されている。すなわち、本実施形態の静電モータ２の複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂでは、基材６８が削除され、メッキ層６９の内側に中空部６８Ｘが設けられている。
【0126】
本実施形態の静電モータ２では、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂおよび複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂ以外の構成は、上記第１実施形態の静電モータ２と同様であるため、その説明を省略する。
【0127】
次に、本実施形態の回転子電極５０Ａ、５０Ｂの製造方法について図１１を参照して説明する。
【0128】
まず、ステップＳ１００の工程において、基材５８を準備する。基材５８は、上記第１実施形態の基材５８と同一部材である。
【0129】
次のステップＳ１１０の工程において、電気メッキ等の手法によって、基材５８の表面にメッキ層５９を形成する。
【0130】
次のステップＳ１１０の工程において、メッキ層５９の内側から基材５８を削除する。具体的には、メッキ層５９に貫通する貫通孔を設け、この貫通孔に溶融液を流し込み、この溶融液によってメッキ層５９の内側の基材５８を溶かす。その後、メッキ層５９から溶けた液状の基材を排出する。このことにより、メッキ層５９の内側に中空部５８Ｘが形成されている。すなわち、中空部５８Ｘを覆う殻状にメッキ層５９が形成されている。
【0131】
以上により、殻状のメッキ層５９から構成される回転子電極５０Ａ、５０Ｂの製造が完成する。
【0132】
次に、本実施形態の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの製造方法について図１１を参照して説明する。
【0133】
まず、ステップＳ１００の工程において、基材を準備する。基材６８は、上記第１実施形態の基材６８と同一部材である。
【0134】
次のステップＳ１１０の工程において、電気メッキ等の手法によって、基材６８の表面にメッキ層６９を形成する。
【0135】
次のステップＳ１１０の工程において、メッキ層６９の内側から基材６８を削除する。具体的には、メッキ層６９を貫通する貫通孔を設け、この貫通孔に溶融液を流し込み、溶融液によってメッキ層６９の内側の基材６８を溶かす。その後、メッキ層６９から溶けた液状の基材を排出する。このことにより、メッキ層６９の内側に中空部６８Ｘが形成されている。すなわち、中空部６８Ｘを覆う殻状にメッキ層６９が形成されている。
【0136】
以上により、殻状のメッキ層６９から構成される固定子電極６０Ａ、６０Ｂの製造が完成する。
【0137】
以上説明した本実施形態によれば、本実施形態の複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂでは、メッキ層５９の内側に基材５８に代わる中空部５８Ｘが設けられている。このため、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂの軽量化を図ることができる。
【0138】
本実施形態の複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂでは、メッキ層６９の内側に基材６８に代わる中空部６８Ｘが設けられている。このため、複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂの軽量化を図ることができる。
【0139】
本実施形態の静電モータ２の製造方法は、基材５８を準備するステップＳ１００の工程を含む。静電モータ２の製造方法は、金属材料によって基材５８の周囲を覆う膜状に形成されて固定子電極６０Ａ、６０Ｂと間に静電気力を発生させるメッキ層５９を形成することにより回転子電極５０Ａ、５０Ｂを形成するステップＳ１１０の工程を含む。
【0140】
さらに、静電モータ２の製造方法は、メッキ層５９の内側から基材５８を除去してメッキ層５９を殻状に形成することにより回転子電極５０Ａ、５０Ｂを形成するステップＳ１２０の工程を含む。
【0141】
以上により、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータ２に適した製造方法を提供することができる。
【0142】
本実施形態の静電モータ２の製造方法は、基材を準備するステップＳ１００の工程を含む。静電モータ２の製造方法は、金属材料によって基材の周囲を覆う膜状に形成されて固定子電極６０Ａ、６０Ｂと間に静電気力を発生させるメッキ層６９を形成することにより回転子電極５０Ａ、５０Ｂを形成するステップＳ１１０の工程を含む。
【0143】
さらに、静電モータ２の製造方法は、メッキ層５９の内側から基材５８を除去してメッキ層５９を殻状に形成することにより固定子電極６０Ａ、６０Ｂを形成するステップＳ１２０の工程を含む。
【0144】
以上により、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータ２に適した製造方法を提供することができる。
【0145】
(他の実施形態)
【0146】
（１）上記第１実施形態および上記第２実施形態では、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して軸線Ｂを中心として回転する例について説明した。
【0147】
しかし、これに代えて、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して直線的に変位するリニアモータを静電モータ２が構成するようにしてもよい
【0148】
（２）上記第１実施形態および上記第２実施形態では、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂが複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して径方向Ｚｂ内側に配置されている例について説明した。
【0149】
しかし、これに代えて、複数の回転子電極５０Ａ、５０Ｂを複数の固定子電極６０Ａ、６０Ｂに対して径方向Ｚｂ外側に配置してもよい
【0150】
（３）上記第１実施形態および上記第２実施形態では、軸受け２０Ａおよび軸受け２０Ｂとして、玉軸受けを設けた例について説明した。しかし、これに代えて、軸受け２０Ａおよび軸受け２０Ｂとして、玉軸受け以外の各種の軸受けを用いてもよい
【0151】
（４）上記第１実施形態および上記第２実施形態では、静電モータ２を真空中に配置した例について説明した。しかし、これに代えて、静電モータ２を大気中に配置してもよい。すなわち、回転子電極５０Ａ、５０Ｂのメッキ層６９と固定子電極６０Ａ、６０Ｂのメッキ層５９とを大気中に配置してもよい。
（５）なお、本開示は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
（５）なお、本開示は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
【符号の説明】
【0152】
２ 静電モータ
１０ 回転軸
２０Ａ、２０Ｂ 軸受け
５０Ａ 回転子電極
５０Ｂ 回転子電極
６０Ａ 固定子電極
６０Ｂ 固定子電極
１０ 回転軸
２０Ａ、２０Ｂ 軸受け
５０Ａ 回転子電極
５０Ｂ 回転子電極
６０Ａ 固定子電極
６０Ｂ 固定子電極
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】