特開 2025-13013 真空ポンプ、及び、調整方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025013013

(43)【公開日】2025-01-24

(54)【発明の名称】真空ポンプ、及び、調整方法

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20250117BHJP

   F16C 32/04 20060101ALI20250117BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 A

F16C32/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023116265

(22)【出願日】2023-07-14

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100221372

【弁理士】

【氏名又は名称】岡崎 信治

(72)【発明者】

【氏名】西村 太貴

【テーマコード（参考）】

3H131

3J102

【Ｆターム（参考）】

3H131AA02

3H131BA06

3H131BA07

3H131CA11

3H131CA13

3J102AA01

3J102AA09

3J102BA03

3J102BA17

3J102CA17

3J102DA03

3J102DA07

3J102DA11

3J102DA18

3J102DA29

3J102DA35

3J102GA06

(57)【要約】

【課題】筐体の側面からでも上面からでも静止側磁石の位置を調整可能とする。
【解決手段】真空ポンプ１は、ロータ３を収容する筐体部２と、磁気軸受３２と、磁石ナット４６と、を備える。磁気軸受３２は、マグネットホルダ部１６の周囲に配置された第１永久磁石４１と、第１永久磁石４１と径方向において対向してロータ３に配置された第２永久磁石４２と、を有する。磁石ナット４６は、本体部５１と、突出部５２と、を有する。本体部５１は、マグネットホルダ部１６に対して回転することで第２永久磁石４２に対する第１永久磁石４１の位置を調整する。突出部５２は、本体部５１の上面５１ｂから突出し、外周５１ｃ側に、本体部５１の上面５１ｂ側から本体部５１を回転させる第１治具６１によって当接可能であり、かつ、本体部５１の外周５１ｃ側から本体部５１を回転させる第２治具６２によって当接可能である被当接面５３ａ、５３ｂを有する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転可能なロータと、
前記ロータを収容する筐体部と、
前記筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、前記第１磁石と径方向において対向して前記ロータに配置された第２磁石と、を有する磁気軸受と、
前記第２磁石に対する前記第１磁石の位置を調整する調整部材と、を備え、
前記調整部材は、
前記マグネットホルダ部の周囲に形成された第１ネジ形状に嵌る第２ネジ形状を内周面に有し、前記マグネットホルダ部に対して回転させることで前記ロータの回転軸に沿った方向に移動して、前記第２磁石に対する前記第１磁石の位置を調整する本体部と、
前記本体部の上面から突出する突出部と、を有し、
前記突出部は、前記本体部の外周側に、前記本体部の上面側から前記本体部を回転させる第１治具によって当接可能であり、かつ、前記本体部の側面側から前記本体部を回転させる第２治具によって当接可能である被当接面を有する、
真空ポンプ。

【請求項2】

前記突出部は、前記本体部の上面側からみたときに多角形形状を有している、請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記突出部は、前記本体部の上面に複数配置され、
複数の突出部は、前記多角形形状の一部を構成する、請求項２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記複数の突出部のそれぞれは、前記本体部の前記上面において、前記多角形形状の頂点の位置に配置される、請求項３に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記第１治具及び前記第２治具は、複数の突出部のうちいずれかの突出部の被当接面と、当該突出部に隣接する突出部の被当接面と、に当接する、請求項３に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

前記第１治具は、前記突出部の被当接面のうち前記多角形形状の頂点に対応する部分に当接する、請求項４に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

前記本体部の前記上面における前記突出部の配置数は、六の倍数である、請求項３に記載の真空ポンプ。

【請求項8】

請求項１に記載の真空ポンプの調整方法であって、
上部に設けられた開口と第３磁石とを有する調整用筐体に前記ロータと前記調整部材とを収容するステップと、
第１治具を前記開口から前記調整用筐体に挿入し、前記調整用筐体に収容した前記調整部材の前記被当接面に前記第１治具を当接させて前記調整部材を回転し、前記第２磁石に対する前記第３磁石の位置を調整するステップと、
側面に吸気口が形成された前記真空ポンプの前記筐体部に前記ロータと前記調整部材とを収容するステップと、
第２治具を前記吸気口から前記筐体部に挿入し、前記筐体部に収容した前記調整部材の前記被当接面に前記第２治具を当接させて前記調整部材を回転し、前記第２磁石に対する前記第１磁石の位置を調整するステップと、
を備える、調整方法。

【請求項9】

前記第２磁石に対する前記第３磁石の位置を調整ステップの後、前記ロータのバランスを調整するステップをさらに備える、請求項８に記載の調整方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプ、及び、その調整方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ターボ分子ポンプは、超高真空用の真空ポンプ、およびリークディテクタ用の真空ポンプ等として使用される。例えば、特許文献１に示す真空ポンプは、筐体の内部にロータを収容し、ロータを数万回転で回転させることにより真空排気を行う。

【0003】

特許文献１に示す真空ポンプでは、磁気軸受および転がり軸受によってロータが筐体に回転可能に支持されている。磁気軸受は、ロータに配置された回転体側磁石と、筐体に固定されたマグネットホルダ部に配置された静止側磁石と、を含む。転がり軸受は、回転の際のガタや異音の発生を低減するために予圧をかける必要がある。静止側磁石に対する回転体側磁石の位置を調整することによって、適切な予圧を転がり軸受にかけることができる。

【0004】

回転体側磁石の位置調整は、マグネットホルダ部に螺合された磁石ナットを回転することによって行われる。筐体には、磁石ナットの上部に吸気口が形成されており、作業者は、吸気口を介して磁石ナットの回転を行うことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１２２５２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

リークディテクタに用いられる真空ポンプでは、吸気口が磁石ナットの上部に設けられておらず、磁石ナットの側面に形成されている場合がある。また、真空ポンプでは、真空ポンプの筐体とは別の筐体（調整用筐体と呼ぶ）にロータを収容して、ロータの回転バランスを調整する場合がある。調整用筐体にも静止側磁石が設けられ、ロータを調整用筐体に収容する場合にも、磁石ナットによって静止側磁石の位置が調整される。

【0007】

従来の磁石ナットでは、磁石ナットを回転させるための治具が、側面又は上面のみからしか磁石ナットを保持できなかった。そのため、真空ポンプの筐体と調整用筐体とで共通の磁石ナットを使用できなかった。

【0008】

本発明は、静止側磁石を有する真空ポンプにおいて、筐体の側面からでも上面からでも静止側磁石の位置を調整可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様に係る真空ポンプは、ロータと、筐体部と、磁気軸受と、調整部材と、を備える。ロータは、回転可能である。筐体部は、ロータを収容する。磁気軸受は、筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、第１磁石と径方向において対向してロータに配置された第２磁石と、を有する。調整部材は、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整する。調整部材は、本体部と、突出部と、を有する。本体部は、マグネットホルダ部の周囲に形成された第１ネジ形状に嵌る第２ネジ形状を内周面に有し、マグネットホルダ部に対して回転させることでロータの回転軸に沿った方向に移動して、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整する。突出部は、本体部の上面から突出する。突出部は、調整部材の外周側に、本体部の上面側から本体部を回転させる第１治具によって当接可能であり、かつ、本体部の側面側から本体部を回転させる第２治具によって当接可能である被当接面を有する。

【発明の効果】

【0010】

上記の真空ポンプでは、第１磁石の位置を調整する調整部材の本体部の上面から突出する突出部が、本体部を回転させる治具によって当接される被当接面を有している。この被当接面は、突出部において本体部の外周側に設けられ、本体部の上面側から本体部を回転させる第１治具によっても、本体部の側面側から本体部を回転させる第２治具によっても当接可能となっている。このように、調整部材は、本体部の上面側からでも側面側からでも治具を用いて回転させることができるので、調整部材の上面側からでも側面側からでも第１磁石の位置を調整できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】真空ポンプの断面図である。

【図2】真空ポンプの上面斜視図である。

【図3】図１のＳ部拡大図である。

【図4】磁石ナットの斜視図である。

【図5】磁石ナットの上面図である。

【図6】磁石ナットにおける突出部の配置状態を示す図である。

【図7】バランス調整用筐体を示す図である。

【図8】第１治具の構成を示す図である。

【図9】第１治具により磁石ナットを保持した状態を示す図である。

【図10】第２治具の構成を示す図である。

【図11】第２治具により磁石ナットを保持した状態を示す図である。

【図12】他の実施形態の第１治具を示す図である。

【図13】他の実施形態の第１治具により磁石ナットを保持した状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

１．第１実施形態
＜１－１．真空ポンプの構成＞
以下、図１及び図２を用いて、本開示にかかる実施の形態の真空ポンプ１について図面を参照しながら説明する。図１は、真空ポンプ１の断面図である。図２は、真空ポンプ１の上面斜視図である。真空ポンプ１は、筐体部２と、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６と、を有する。

【0013】

筐体部２は、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６とを収容する。筐体部２は、ケーシング７と、ベース８と、を有する。筐体部２は、アルミニウム合金または鉄等の金属によって形成されている。ケーシング７は、筒状の部材である。

【0014】

ケーシング７は、複数のステータ翼ユニット５と、ロータ３に設けられた複数段のロータ翼ユニット２２と、を収容する。ケーシング７は、第１端部１１と、第２端部１２と、側面部１３と、を有する。第１端部１１は、ロータ３の軸Ａに対して垂直にロータ３を覆うように配置されている。なお、図２では、第１端部１１が省略されている。

【0015】

第２端部１２は、ロータ３の軸Ａ方向において、第１端部１１と反対側に位置している。第２端部１２は、ベース８に接続される。側面部１３は、第１端部１１と第２端部１２を繋ぐ。ケーシング７の側面部１３には、第１吸気口Ｐ１１と、第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３が形成されている。第１吸気口Ｐ１１は、側面部１３の第１端部１１近傍に形成されている。第１吸気口Ｐ１１には、排気対象空間を含む排気対象装置が接続される。

【0016】

ベース８は、ケーシング７の第２端部１２側の開口を塞ぐように配置されている。ケーシング７およびベース８は、ステータ円筒部６と、ロータ３に設けられているロータ円筒部２３と、を収納する。ベース８は、ベース端部１５を有する。ベース端部１５は、ケーシング７の第２端部１２に接続される。なお、ケーシング７とベース８の接続は、互いに別体の部材が接合されることを含むものとし、また、一体の部材において別々の部分が連なっていることを含むものとする。

【0017】

ベース８の側面には、排気口Ｐ２１が形成されている。排気口Ｐ２１には、補助ポンプが接続される。筐体部２の内部空間には、第１吸気口Ｐ１１から排気口Ｐ２１に至る排気経路が形成される。この排気経路に、複数の第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３が接続される。真空ポンプ１をリークディテクタとして用いる場合には、複数の第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３に、それぞれ試験体からの配管が接続される。第２吸気口Ｐ１２は、タービン部Ｔとドラッグポンプ部Ｄの間に形成されている。第２吸気口Ｐ１３は、ドラッグポンプ部Ｄの途中に形成されている。なお、第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３は、真空ポンプ１の用途によっては形成されていなくてもよい。

【0018】

ロータ３は、シャフト２１と、複数段のロータ翼ユニット２２と、ロータ円筒部２３と、を有する。シャフト２１は、ロータ３の軸Ａ方向に延びている。以下の説明では、軸Ａ方向のうちベース８からケーシング７に向かう方向を第１方向Ａ１とし、その反対を第２方向Ａ２とする。

【0019】

真空ポンプ１は、マグネットホルダ部１６を有している。マグネットホルダ部１６は、ケーシング７の内側に配置されている。マグネットホルダ部１６は、ケーシング７の第１端部１１からベース８に向かって配置されている。マグネットホルダ部１６は、ケーシング７と一体に形成されている。一体に形成されているとは、例えば、同じ材料を用いて金型で成形することや、切削によって形成することである。

【0020】

マグネットホルダ部１６は、外形が円柱状である。マグネットホルダ部１６の第２方向Ａ２側の端には、第１方向Ａ１に向かって凹部１６ａが形成されている。凹部１６ａには、シャフト２１の第１方向Ａ１側の端が挿入されている。

【0021】

マグネットホルダ部１６は、梁部１６ｂを有する。梁部１６ｂは、マグネットホルダ部１６の円周方向に沿って、等間隔に３つ設けられている。梁部１６ｂは、マグネットホルダ部１６とケーシング７の側面部１３とを架橋するよう形成されている。これにより、梁部１６ｂは、側面部１３にマグネットホルダ部１６を支持できる。すなわち、梁部１６ｂは、側面部１３との間の距離を一定に保った状態でマグネットホルダ部１６を固定する。

【0022】

ベース８の第２方向Ａ２側の面の中央には、第１方向Ａ１に向かって凹部８ａが形成されている。真空ポンプ１は、蓋部９を有している。蓋部９は、ベース８の凹部８ａを塞ぐように配置されている。

【0023】

ベース８の凹部８ａの第１方向Ａ１側の天井部分には、軸Ａ方向に沿って貫通孔８ｂが形成されている。シャフト２１は貫通孔８ｂに挿入されており、シャフト２１の第２方向Ａ２側の端は凹部８ａの内側に突出している。

【0024】

真空ポンプ１は、保護軸受３１と、磁気軸受３２と、転がり軸受３３と、を有している。
保護軸受３１は、マグネットホルダ部１６とシャフト２１の間に配置されている。保護軸受３１は、マグネットホルダ部１６の凹部１６ａの内部に配置されている。保護軸受３１は、シャフト２１の第１方向Ａ１側のラジアル方向の振れを制限するタッチダウンベアリングとして機能する。シャフト２１が定常回転している状態では、シャフト２１と保護軸受３１は接触しておらず、大外乱が加わった場合や、回転の加速または減速時にシャフト２１の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト２１が保護軸受３１の内輪の内面に接触する。保護軸受３１は、例えばボールベアリング等を用いることができる。

【0025】

磁気軸受３２は、マグネットホルダ部１６とロータ３の間に配置されている。磁気軸受３２は、ロータ３を非接触支持する。磁気軸受３２については後段にて詳しく説明する。

【0026】

転がり軸受３３は、シャフト２１とベース８の間に配置される。転がり軸受３３は、ベース８に対してシャフト２１を回転可能に支持する。転がり軸受３３は、ベース８の貫通孔８ｂに配置されている。転がり軸受３３は、例えばボールベアリングを用いることができる。真空ポンプ１は、シャフト２１に固定されたスラストナット３４を有している。スラストナット３４は、シャフト２１のうち貫通孔８ｂから突出して凹部８ａの内部に位置する部分に配置されている。スラストナット３４は、転がり軸受３３の第２方向Ａ２側に配置されている。後述する磁気軸受３２を調整すると、ロータ３にケーシング７側に移動する力が付与されるため、スラストナット３４が転がり軸受３３に第１方向Ａ１に向かって予圧を付与する。

【0027】

複数段のロータ翼ユニット２２は、それぞれシャフト２１に接続されている。複数段のロータ翼ユニット２２は、軸Ａ方向に互いに間隔をおいて配置されている。各々のロータ翼ユニット２２は、複数のロータ翼２５を含む、図示を省略するが、複数のロータ翼２５の各々は、シャフト２１を中心にして放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼ユニット２２の１つ、および複数のロータ翼２５の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼ユニット２２および他のロータ翼２５の符号は省略されている。

【0028】

ロータ円筒部２３は、シャフト２１に接続されている。ロータ円筒部２３は、ロータ翼ユニット２２の下方に配置されている。ロータ円筒部２３は、円筒状であり、軸Ａ方向に延びている。ロータ円筒部２３は、シャフト２１の外周側においてシャフト２１を囲むように配置されている。ロータ円筒部２３の外周面は筒状の曲面である。

【0029】

モータ４は、ロータ３を回転駆動する。モータ４としては、例えば、ブラシレスモータが用いられる。モータ４は、モータロータ２６と、モータステータ２７と、を有する。モータロータ２６は、シャフト２１に取り付けられている。モータステータ２７は、ベース８に取り付けられている。モータステータ２７は、モータロータ２６と向かい合って配置されている。

【0030】

複数段のステータ翼ユニット５は、ケーシング７の内面に接続されている。複数段のステータ翼ユニット５は、軸Ａ方向において、互いに間隔を空けて配置されている。複数段のステータ翼ユニット５の各々は、複数段のロータ翼ユニット２２の間に配置されている。各々のステータ翼ユニット５は、複数のステータ翼２８を含む。図示を省略するが、複数のステータ翼２８は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。

【0031】

複数段のロータ翼ユニット２２と複数段のステータ翼ユニット５とは、タービン部Ｔ（ターボ分子ポンプ）を構成する。なお、図面においては、複数のステータ翼ユニット５の１つ、および複数のステータ翼２８の１つのみに符号が付されており、他のステータ翼ユニット５および他のステータ翼２８の符号は省略されている。

【0032】

ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向外側に配置されている。ステータ円筒部６は、ベース８に接続されている。ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向において、ロータ円筒部２３と向かい合って配置されている。

【0033】

ステータ円筒部６の内周面には、らせん状のネジ溝が設けられている。ロータ円筒部２３とステータ円筒部６は、ドラッグポンプ部Ｄ（ネジ溝ポンプ）を構成する。この真空ポンプ１では、排気対象装置の排気対象空間からのガスは、タービン部Ｔで排気された後、ドラッグポンプ部Ｄで排気され、真空ポンプ１の外に排気される。

【0034】

＜１－２．磁気軸受の構成＞
以下、図１～図３を用いて、磁気軸受３２の構成を説明する。図３は、図１のＳ部拡大図である。磁気軸受３２は、第１永久磁石４１（第１磁石の一例）と、第２永久磁石４２（第２磁石の一例）と、を有している。第１永久磁石４１は、マグネットホルダ部１６の外周面に配置されている。第２永久磁石４２は、ロータ３の内周面に固定されている。第１永久磁石４１と第２永久磁石４２は径方向Ｂにおいて対向するように配置されている。

【0035】

第１永久磁石４１と第２永久磁石４２はリング状である。図１では、軸Ａ方向に沿って第１永久磁石４１が３個、第２永久磁石４２が３個並んで配置されているが、第１永久磁石４１および第２永久磁石４２の個数は特に限定されるものではない。

【0036】

第１永久磁石４１と第２永久磁石４２の間には隙間が形成されている。第１永久磁石４１と第２永久磁石４２を構成する各々のリング状磁石要素は、軸Ａ方向の一端がＮ極、他端がＳ極になるように配置されている。積層されている第１永久磁石４１のリング状磁石要素は、Ｎ極同士、またはＳ極同士が軸Ａ方向おいて向かい合うように配置されている。積層されている第２永久磁石４２のリング状磁石要素は、Ｎ極同士、またはＳ極同士が軸Ａ方向おいて向かい合うように配置されている。第１永久磁石４１と第２永久磁石４２は、同じ極同士が概ね向かい合うように配置されているが、軸Ａ方向の位置ずれによって、シャフト２１にケーシング７およびベース８に対して第１方向Ａ１に移動する力が付与され、転がり軸受３３にスラストナット３４によって予圧力が付与される。第１永久磁石４１の第２永久磁石４２に対する軸Ａ方向における位置ズレ量を調整することによって予圧力を調整することができる。

【0037】

真空ポンプ１は、固定部材４３と、皿バネ４４と、バネ支持部材４５と、磁石ナット４６と、を更に有する。

【0038】

固定部材４３は、第２永久磁石４２の第１方向Ａ１側の面に配置されている。固定部材４３はリング状である。固定部材４３は、ロータ３に固定されている。固定部材４３は、第２永久磁石４２の位置を固定するための押さえ部材である。固定部材４３は、焼きばめ・冷やしばめ等によってロータ３に固定されている。

【0039】

固定部材４３の第１方向Ａ１の端部、すなわち、固定部材４３の上端部には、複数のバランス調整穴４３ａが設けられる。複数のバランス調整穴４３ａは、固定部材４３の円周方向に沿って設けられている。複数のバランス調整穴４３ａのそれぞれには、ネジが螺合するネジ山が形成されている。複数のバランス調整穴４３ａのいずれかにネジを螺合することで、ロータ３の重心位置を調整できる。ロータ３の重心位置を調整することで、ロータ３が回転するときの振動を低減できる。

【0040】

皿バネ４４は、第１永久磁石４１の第２方向Ａ２側に配置されている。皿バネ４４の第１永久磁石４１と反対側の端は、マグネットホルダ部１６に固定されたバネ支持部材４５によって支持されている。弾性体である皿バネ４４は、第１永久磁石４１の第１方向Ａ１側の面に配置された磁石ナット４６とバネ支持部材４５との間で第１永久磁石４１を弾性支持している。なお、皿バネ４４と第１永久磁石４１の間にシムリングが配置されていてもよい。

【0041】

＜１－３．磁石ナットの構成＞
磁石ナット４６（調整部材の一例）は、リング状である。磁石ナット４６は、第１永久磁石４１の第１方向Ａ１側の面に配置されている。磁石ナット４６は、第１永久磁石４１の軸Ａ方向における位置を調整する。磁石ナット４６は、転がり軸受３３に加えられる磁石の反発力による予圧力の圧力を受けるための押さえ部材といえる。磁石ナット４６は、マグネットホルダ部１６の外周に移動可能に配置されている。

【0042】

以下、図４～図６を用いて、磁石ナット４６の具体的構成を説明する。図４は、磁石ナット４６の斜視図である。図５は、磁石ナット４６の上面図である。図６は、磁石ナット４６における突出部５２の配置状態を示す図である。磁石ナット４６は、本体部５１と、突出部５２と、を有する。

【0043】

本体部５１は、磁石ナット４６のうち第１永久磁石４１を押さえる部分である。本体部５１は、リング状である。本体部５１の内周５１ａには雌ネジ形状（第２ネジ形状の一例）が形成されている。マグネットホルダ部１６の外周面には雄ネジ形状（第１ネジ形状の一例）が形成されている。本体部５１の雌ネジ形状は、マグネットホルダ部１６の外周面の雄ネジ形状に嵌っている。すなわち、本体部５１は、マグネットホルダ部１６と螺合し、マグネットホルダ部１６に対して周方向に回転することで、軸Ａ方向に沿って移動できる。なお、本体部５１と第１永久磁石４１の間に、第１永久磁石４１を保護するためにスペーサを配置してもよい。

【0044】

本体部５１がマグネットホルダ部１６に対して軸Ａ周りに回転すると、本体部５１は軸Ａ方向に移動する。本体部５１の移動によって皿バネ４４で弾性支持されている第１永久磁石４１が軸Ａ方向に沿って移動する。すなわち、本体部５１を回転させることによって、第２永久磁石４２に対する第１永久磁石４１の位置を調整することができる。

【0045】

突出部５２は、本体部５１の上面５１ｂから第１方向Ａ１に突出する。突出部５２には、本体部５１の外周５１ｃ側（すなわち、ロータ３と対向する側）に、本体部５１を回転させる治具（第１治具６１、第２治具６２）により当接される第１被当接面５３ａと第２被当接面５３ｂとが形成されている。本実施形態において、突出部５２は、本体部５１の上面５１ｂにおいて、本体部５１の円周方向に沿って等間隔に６つ設けられる。

【0046】

第１被当接面５３ａは、上面５１ｂ側から見たときに、突出部５２の外周５１ｃ側の頂点に対応する部分から、当該突出部５２に隣接する２つの突出部５２のうち一方の頂点に向けて延びる。第１被当接面５３ａは、本体部５１の上面５１ｂにおいて、本体部５１の外周５１ｃ側から内周５１ａ側へと斜めに延びる。

【0047】

第２被当接面５３ｂは、上面５１ｂ側から見たときに、突出部５２の外周５１ｃ側の頂点に対応する部分から、当該突出部５２に隣接する２つの突出部５２のうち他方の頂点に向けて延びる面である。第２被当接面５３ｂは、本体部５１の上面５１ｂにおいて、本体部５１の外周５１ｃ側から内周５１ａ側へと斜めに延びる。

【0048】

第２被当接面５３ｂは、当該第２被当接面５３ｂが設けられた突出部５２に隣接する突出部５２の第１被当接面５３ａと隣接する。このため、第２被当接面５３ｂとそれに隣接する第１被当接面５３ａは、６つの突出部５２により構成される六角形の１つの共通する辺上に配置される。

【0049】

図４～図６に示すように、突出部５２は、本体部５１と比較すると小さい。このように、治具が当接する被当接面５３ａ、５３ｂを小さな突出部５２に形成することで、治具により磁石ナット４６を保持できるとともに、磁石ナット４６を小さくできる。磁石ナット４６が小さくなることで、真空ポンプ１の固有値が低下せず、真空ポンプ１で大きな振動が生じにくくなる。さらに、ケーシング７において磁石ナット４６が占める割合を小さくできるので、真空ポンプ１において大きな第１永久磁石４１（及び大きな第２永久磁石４２）を使用でき、真空ポンプ１の排気速度を大きくできる。

【0050】

本実施形態において、突出部５２は、本体部５１の上面５１ｂにおいて、本体部５１の円周方向に沿って等間隔に６つ設けられる。突出部５２が本体部５１の円周方向に沿って等間隔に６つ設けられることで、６つの突出部５２は、図６に示すように、本体部５１の上面５１ｂ側から見たときに、六角形の一部を構成する。具体的には、突出部５２の外周５１ｃ側の頂点が六角形の頂点に対応し、突出部５２に形成された第１被当接面５３ａと第２被当接面５３ｂが六角形の頂点から延びる辺に対応する。

【0051】

以下、突出部５２を本体部５１の上面５１ｂに６つ（６の倍数個）設ける理由を説明する。後述するように、本体部５１の上面５１ｂ側から磁石ナット４６を回転させる第１治具６１（図８）は、マグネットホルダ部１６に設けられた３つの梁部１６ｂにより形成された３つの空間を通じて、突出部５２の被当接面５３ａ、５３ｂと当接するための３つの当接部を有している。この第１治具により安定して磁石ナット４６を保持するには、３つの当接部のそれぞれが、少なくとも１つの突出部５２の被当接面５３ａ、５３ｂと当接していることが好ましい。このため、本体部５１の上面５１ｂに設ける突出部５２の個数は、３の倍数であることが好ましい。

【0052】

その一方、本体部５１の側面（外周５１ｃ）側から磁石ナット４６を回転させる第２治具６２（図１０）は、突出部５２の被当接面５３ａ、５３ｂと当接するための２つの当接部を有している。この第２治具により安定して磁石ナット４６を保持するには、２つの当接部のそれぞれが、少なくとも１つの突出部５２の被当接面５３ａ、５３ｂと当接していることが好ましい。このため、本体部５１の上面５１ｂに設ける突出部５２の個数は、２の倍数であることが好ましい。

【0053】

これらの結果、第１治具と第２治具の両方により安定して磁石ナット４６を保持するためには、本体部５１の上面５１ｂに設ける突出部５２の個数は、２の倍数であり、かつ、３の倍数である、すなわち、６の倍数（２と３の公倍数）であることが好ましい。

【0054】

＜２．バランス調整用筐体＞
次に、バランス調整用筐体７０を説明する。本実施形態において、ロータ３のバランス調整（重心位置の調整）は、バランス調整用筐体７０にロータ３を収納した状態で行われる。以下、図７を用いて、バランス調整用筐体７０の構成を説明する。図７は、バランス調整用筐体７０を示す図である。

【0055】

バランス調整用筐体７０は、筐体部２’に第１端部がなく、筐体部２’の内部空間にアクセス可能な開口ＯＰが筐体部２’のケーシング７’の上面に設けられている以外、上記にて説明した真空ポンプ１と同様の構成を有している。従って、バランス調整用筐体７０のその他の構成要素についての説明は省略する。

【0056】

ケーシング７’に開口ＯＰが設けられることで、ユーザは、開口ＯＰを介して、真空ポンプ１の上部から複数のバランス調整穴４３ａにアクセスして、いずれかのバランス調整穴４３ａにネジを挿入する、又は、いずれかのバランス調整穴４３ａに挿入されたネジを取り外して、ロータ３のバランスを調整できる。

【0057】

また、真空ポンプ１の上部の開口ＯＰから第１治具６１を挿入し、第１治具６１により、本体部５１の上面５１ｂ側から磁石ナット４６を保持して回転させることができる。

【0058】

なお、以下の説明において、バランス調整用筐体７０において、真空ポンプ１の第１永久磁石４１に対応する部分を「第３永久磁石４１’」と呼ぶ。また、バランス調整用筐体７０において、真空ポンプ１のマグネットホルダ部１６に対応する部分を「マグネットホルダ部１６’」と呼び、梁部１６ｂに対応する部分を「梁部１６ｂ’」と呼ぶ。

【0059】

＜３．第１治具＞
以下、図８を用いて、第１治具６１を説明する。図８は、第１治具６１の構成を示す図である。第１治具６１は、磁石ナット４６の本体部５１の上面５１ｂ側から本体部５１を回転させる際に用いられる治具である。第１治具６１は、第１把持部６１ａと、３つの第１当接部６１ｂと、を有する。

【0060】

第１把持部６１ａは、一方向に長い棒状部材である。第１把持部６１ａは、例えば、一方向に長い円筒形状を有する。第１把持部６１ａは、第１治具６１により本体部５１を回転させるときに、ユーザにより把持される。

【0061】

３つの第１当接部６１ｂは、それぞれ、第１把持部６１ａの長手方向の一端から分岐し、第１把持部６１ａの長手方向に延びる部分である。３つの第１当接部６１ｂは、第１把持部６１ａの周方向に対して等間隔に配置される。各第１当接部６１ｂは、当接面６１１を有する。当接面６１１は、第１治具６１を本体部５１の上面５１ｂ側から挿入したときに、磁石ナット４６の突出部５２の第１被当接面５３ａ及び第２被当接面５３ｂと当接する。

【0062】

上記構成を有する第１治具６１は、バランス調整用筐体７０にロータ３を収納し、磁石ナット４６を取り付けた際に、磁石ナット４６の位置を調整する場合に用いられる。具体的には、筐体部２’の開口ＯＰを介して、第１治具６１を本体部５１の上面５１ｂ側から挿入し、第１治具６１の各第１当接部６１ｂを、互いに隣接する２つの梁部１６ｂ’の間に形成される空間に挿入する。各第１当接部６１ｂが挿入される各空間からは、磁石ナット４６の本体部５１の上面５１ｂに設けられた６つの突出部５２のうち、互いに隣接する２つの突出部５２を目視できる。また、上記にて説明したように、互いに隣接する２つの突出部５２のうち一方の第１被当接面５３ａと、他方の第２被当接面５３ｂとは、互いに隣接し、６つの突出部５２により構成される六角形の１つの辺上に配置される。従って、２つの梁部１６ｂ’の間に第１当接部６１ｂを挿入した場合、図９に示すように、第１当接部６１ｂの当接面６１１は、互いに隣接する２つの突出部５２のうち一方の第１被当接面５３ａと他方の突出部５２の第２被当接面５３ｂとに当接する。図９は、第１治具６１により磁石ナット４６を保持した状態を示す図である。

【0063】

図４～図６などに示すように、互いに隣接する２つの突出部５２のうち一方の第１被当接面５３ａと他方の第２被当接面５３ｂとは、互いに離れて存在する。このため、第１治具６１の各第１当接部６１ｂは、上記の互いに隣接する第１被当接面５３ａと第２被当接面５３ｂとに当接することで、離れた２点で本体部５１を保持できる。この結果、第１治具６１は、本体部５１（磁石ナット４６）を安定して保持できる。

【0064】

＜４．第２治具＞
以下、図１０を用いて、第２治具６２を説明する。図１０は、第２治具６２の構成を示す図である。第２治具６２は、磁石ナット４６の本体部５１の側面（外周５１ｃ）側から本体部５１を回転させる際に用いられる治具である。第２治具６２は、第２把持部６２ａと、２つの第２当接部６２ｂと、を有する。

【0065】

第２把持部６２ａは、一方向に長い部材である。第１把持部６１ａは、例えば、一方向に長い板状部材である。第２把持部６２ａは、第２治具６２により本体部５１を回転させるときに、ユーザにより把持される。

【0066】

２つの第２当接部６２ｂは、それぞれ、第２把持部６２ａの長手方向の一端から分岐し、第２把持部６２ａの長手方向に延びる。２つの第２当接部６２ｂは、磁石ナット４６の本体部５１の内周５１ａの直径よりも大きく、外周５１ｃの直径よりも小さい。各第２当接部６２ｂは、当接面６２１を有する。当接面６２１は、第２治具６２を本体部５１の外周５１ｃ側から挿入したときに、磁石ナット４６の突出部５２の第１被当接面５３ａ及び第２被当接面５３ｂと当接する。

【0067】

上記構成を有する第２治具６２は、真空ポンプ１の筐体部２にロータ３を収納し、磁石ナット４６を取り付けた際に、磁石ナット４６の位置を調整する場合に用いられる。具体的には、図１１に示すように、真空ポンプ１の第１吸気口Ｐ１１を介して、第２治具６２を本体部５１の外周５１ｃ側から挿入し、第２治具６２の２つの第２当接部６２ｂの間に４つの突出部５２を挟み込む。２つの第２当接部６２ｂの間に４つの突出部５２を挟み込むことで、第２治具６２の各第２当接部６２ｂの当接面６２１は、挟み込んだ４つの突出部５２のうち互いに隣接する２つの突出部５２のうち一方の第１被当接面５３ａと他方の突出部５２の第２被当接面５３ｂとに当接する。このようにして、第２治具６２は、２つの第２当接部６２ｂの間に４つの突出部５２を挟んだ状態で、磁石ナット４６を保持できる。図１１は、第２治具６２により磁石ナット４６を保持した状態を示す図である。

【0068】

上記のように、第２治具６２の各第２当接部６２ｂは、互いに隣接する第１被当接面５３ａと第２被当接面５３ｂとに当接することで、離れた２点で本体部５１を保持できる。この結果、第２治具６２は、本体部５１（磁石ナット４６）を安定して保持できる。

【0069】

＜５．真空ポンプの調整方法＞
次に、真空ポンプ１の調整方法を説明する。真空ポンプ１の調整は、ロータ３のバランス調整と、バランス調整後のロータ３を筐体部２に収納した状態での真空ポンプ１の調整と、を含む。以下、真空ポンプ１の調整方法を詳細に説明する。

【0070】

まず、ロータ３のバランス調整を行うために、ロータ３をバランス調整用筐体７０の内部空間に収納する。また、磁石ナット４６を、バランス調整用筐体７０のマグネットホルダ部１６’に取り付ける。その後、磁石ナット４６をマグネットホルダ部１６’に対して回転させて、ロータ３の第２永久磁石４２に対する、バランス調整用筐体７０の第３永久磁石４１’の位置を調整する。これにより、バランス調整用筐体７０の転がり軸受３３’に加えられる予圧力を調整できる。転がり軸受３３’に加えられる予圧力は、例えば、バランス調整用筐体７０のスラストナット３４’に取り付けられたフォースゲージを用いて測定できる。

【0071】

上記で説明したように、バランス調整用筐体７０には、ロータ３のバランス調整穴４３ａにアクセスするために、筐体部２’のケーシング７’の上面に開口ＯＰが設けられている。従って、ロータ３のバランス調整時には、マグネットホルダ部１６’に取り付けられた磁石ナット４６を回転させるために、本体部５１の上面５１ｂ側から磁石ナット４６を回転させる第１治具６１が用いられる。

【0072】

具体的には、上記で説明した第１治具６１を、バランス調整用筐体７０の上部の開口ＯＰからバランス調整用筐体７０の内部空間に挿入し、バランス調整用筐体７０の内部空間に収容した磁石ナット４６の被当接面５３ａ、５３ｂに第１治具６１の第１当接部６１ｂの当接面６１１を当接させる。具体的には、図９を用いて説明したように、第１治具６１の各第１当接部６１ｂを、バランス調整用筐体７０の互いに隣接する２つの梁部１６ｂ’の間に形成される空間に挿入し、各第１当接部６１ｂの当接面６１１を、互いに隣接する２つの突出部５２のうち一方の第１被当接面５３ａと他方の突出部５２の第２被当接面５３ｂとに当接させる。

【0073】

上記のようにして第１治具６１により磁石ナット４６を保持した状態で、第１治具６１の第１把持部６１ａを長手方向の軸周りに回転させることで、磁石ナット４６をマグネットホルダ部１６’に対して回転させて、ロータ３の第２永久磁石４２に対する第３永久磁石４１’の位置を調整できる。

【0074】

ロータ３の第２永久磁石４２に対する第３永久磁石４１’の位置を調整後、ロータ３のバランスを調整する。具体的には、ロータ３に設けられた複数のバランス調整穴４３ａのいずれかにネジを挿入する、又は、いずれかのバランス調整穴４３ａに挿入されたネジを取り外して、ロータ３の径方向（軸Ａとは垂直な方向）及び周方向における重心位置を調整して、ロータ３の重心位置をロータ３の中心位置に一致させる。なお、ロータ３の重心位置は、例えば、ロータ３を軸Ａ周りに回転させたときに発生する振動に基づいて推定できる。

【0075】

ロータ３のバランスを調整後、バランスを調整したロータ３と磁石ナット４６を、真空ポンプ１に組み込む。具体的には、バランス調整後のロータ３を真空ポンプ１の筐体部２に収納し、磁石ナット４６を真空ポンプ１のマグネットホルダ部１６に取り付ける。その後、磁石ナット４６をマグネットホルダ部１６に対して回転させて、ロータ３の第２永久磁石４２に対する、真空ポンプ１の第１永久磁石４１の位置を調整する。これにより、真空ポンプ１の転がり軸受３３に加えられる予圧力を調整できる。転がり軸受３３に加えられる予圧力は、例えば、真空ポンプ１のスラストナット３４に取り付けられたフォースゲージを用いて測定できる。

【0076】

上記にて説明したように、真空ポンプ１においては、筐体部２のケーシング７の上面は第１端部１１により閉じられている。このため、ロータ３を真空ポンプ１の筐体部２に収納した場合、第１治具６１を用いて磁石ナット４６にアクセスできない。その一方、筐体部２の側面部１３には、第１吸気口Ｐ１１が設けられている。この第１吸気口Ｐ１１からは、本体部５１の側面（外周５１ｃ）側から磁石ナット４６にアクセス可能となっている。従って、バランス調整後のロータ３を真空ポンプ１に組み込む場合には、マグネットホルダ部１６に取り付けた磁石ナット４６を回転させるために、本体部５１の外周５１ｃ側から磁石ナット４６を回転させる第２治具６２が用いられる。

【0077】

具体的には、上記で説明した第２治具６２を、筐体部２の側面部１３に設けられた第１吸気口Ｐ１１から筐体部２の内部空間に挿入し、筐体部２の内部空間に収容した磁石ナット４６の被当接面５３ａ、５３ｂに、第２治具６２の第２当接部６２ｂの当接面６２１を当接させる。具体的には、図１１を用いて説明したように、第２治具６２の２つの第２当接部６２ｂの間に磁石ナット４６の４つの突出部５２を挟みこみ、それぞれの第２当接部６２ｂの当接面６２１を、挟み込んだ４つの突出部５２のうち互いに隣接する２つの突出部５２のうち一方の第１被当接面５３ａと他方の突出部５２の第２被当接面５３ｂとに当接させる。

【0078】

上記のようにして第２治具６２により磁石ナット４６を保持した状態で、第２治具６２の第２把持部６２ａを水平方向に移動させることで、磁石ナット４６をマグネットホルダ部１６に対して回転させて、ロータ３の第２永久磁石４２に対する第１永久磁石４１の位置を調整できる。以上のようにして、バランス調整後のロータ３及び磁石ナット４６を真空ポンプ１へ組み込むことができる。

【0079】

上記の真空ポンプ１では、第１永久磁石４１、第３永久磁石４１’の位置を調整する磁石ナット４６の本体部５１の上面５１ｂから突出する突出部５２が、本体部５１を回転させる治具によって当接される被当接面５３ａ、５３ｂを有している。この被当接面５３ａ、５３ｂは、突出部５２において本体部５１の外周５１ｃ側に設けられ、本体部５１の上面５１ｂ側から本体部５１を回転させる第１治具６１によっても、本体部５１の側面（外周５１ｃ）側から本体部５１を回転させる第２治具６２によっても当接可能となっている。このように、磁石ナット４６は、本体部５１の上面側からでも側面側からでも回転させることができるので、磁石ナット４６の上面側からでも側面側からでも第１永久磁石４１、第３永久磁石４１’の位置を調整することができる。

【0080】

例えば、筐体部２’の上部に開口ＯＰが設けられているバランス調整用筐体７０にロータ３を収納する場合、すなわち、ロータ３のバランス調整時には、本体部５１の上面５１ｂ側から本体部５１を回転させる第１治具６１を用いて、バランス調整用筐体７０の上面から第３永久磁石４１’の位置を調整できる。

【0081】

一方、側面部１３に第１吸気口Ｐ１１が設けられている真空ポンプ１の筐体部２にロータ３を収納する場合、すなわち、ロータ３を真空ポンプ１に組み込む時には、本体部５１の側面（外周５１ｃ）側から本体部５１を回転させる第２治具６２を用いて、真空ポンプ１の側面から第１永久磁石４１の位置を調整できる。

【0082】

２．他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0083】

上記実施形態では、磁石ナット４６の本体部５１の上面５１ｂには、６つの突出部５２が設けられているが、これに限られない。突出部５２の数は、六の倍数であればよく、例えば、１２、１８などであってもよい。

【0084】

マグネットホルダ部１６に梁部１６ｂが設けられるか否か、又は、梁部１６ｂの数（すなわち、梁部１６ｂにより形成される空間の数）などにより、突出部５２の個数、及び／又は、突出部５２と被当接面５３ａ、５３ｂにより構成される多角形の形状（頂点の数）は任意とできる。

【0085】

上記実施形態では、複数個（６つ）の突出部５２が、多角形形状の一部を構成するよう、本体部５１の上面５１ｂにおいて所定の間隔を空けて配置されていた。これに限られず、多角形の全体形状を有する１つの突出部５２を、本体部５１の上面５１ｂに配置してもよい。

【0086】

本体部５１の上面５１ｂ側から磁石ナット４６を回転させる第１治具６１は、図７及び図８を用いて説明した構成に限らない。例えば、第１治具６１’は、図１２に示すような構成を有してもよい。図１２は、他の実施形態の第１治具６１’を示す図である。第１治具６１’は、第３把持部６１ａ’と、３つの第３当接部６１ｂ’と、を有する。

【0087】

第３把持部６１ａ’は、一方向に長い棒状部材である。第３把持部６１ａ’は、第１治具６１’により本体部５１を回転させるときに、ユーザにより把持される。

【0088】

３つの第３当接部６１ｂ’は、それぞれ、第３把持部６１ａ’の長手方向の一端から分岐し、第３把持部６１ａ’の長手方向に延びる部分である。３つの第３当接部６１ｂ’は、第３把持部６１ａ’の周方向に対して等間隔に配置される。各第３当接部６１ｂ’は、当接面６１１’を有する。当接面６１１’は、磁石ナット４６の突出部５２の頂点部分に対応した形状を有する。当接面６１１’は、第１治具６１’を本体部５１の上面５１ｂ側から挿入したときに、磁石ナット４６の１つの突出部５２の被当接面（第１被当接面５３ａ、第２被当接面５３ｂ）のうち、六角形の頂点に対応する部分に当接する。すなわち、当接面６１１’は、１つの突出部５２の頂点部分に当接する。

【0089】

上記構成を有する第１治具６１’を用いて、バランス調整用筐体７０に取り付けられた磁石ナット４６を保持して回転させる場合、バランス調整用筐体７０の開口ＯＰを介して、第１治具６１’を本体部５１の上面５１ｂ側から挿入し、第１治具６１’の各第３当接部６１ｂ’を、互いに隣接する２つの梁部１６ｂ’の間に形成される空間に挿入する。次に、図１３に示すように、第３当接部６１ｂ’の当接面６１１’を、１つの突出部５２の頂点部分に存在する第１被当接面５３ａと第２被当接面５３ｂとに当接させる。図１３は、他の実施形態の第１治具６１’により磁石ナット４６を保持した状態を示す図である。

【0090】

図１３に示すように、第１治具６１’の第３当接部６１ｂ’は、第１実施形態にて説明した第１治具６１の第１当接部６１ｂと比較して細くなっている。このため、第３当接部６１ｂ’は、互いに隣接する２つの梁部１６ｂ’の間の空間において、より大きく移動できる。この結果、第１治具６１’は、第１治具６１’を一旦バランス調整用筐体７０に挿入すれば、磁石ナット４６を保持し直すことなく、広い角度範囲で磁石ナット４６を回転できる。すなわち、第１治具６１’は、磁石ナット４６を保持し直すことなく、磁石ナット４６の位置（つまり、第３永久磁石４１’の位置）を調整できる。

【0091】

３．態様
上述した例示的な実施例は、以下の態様の具体例であることが当業者より理解される。
（第１態様）真空ポンプは、ロータと、筐体部と、磁気軸受と、調整部材と、を備える。ロータは、回転可能である。筐体部は、ロータを収容する。磁気軸受は、筐体部に固定されたマグネットホルダ部の周囲に配置された第１磁石と、第１磁石と径方向において対向してロータに配置された第２磁石と、を有する。調整部材は、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整する。調整部材は、本体部と、突出部と、を有する。本体部は、マグネットホルダ部の周囲に形成された第１ネジ形状に嵌る第２ネジ形状を内周面に有し、マグネットホルダ部に対して回転させることでロータの回転軸に沿った方向に移動して、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整する。突出部は、本体部の上面から突出する。突出部は、調整部材の外周側に、本体部の上面側から本体部を回転させる第１治具によって当接可能であり、かつ、本体部の側面側から本体部を回転させる第２治具によって当接可能である被当接面を有する。

【0092】

第１態様に係る真空ポンプでは、第１磁石の位置を調整する調整部材の本体部の上面から突出する突出部が、本体部を回転させる治具によって当接される被当接面を有している。この被当接面は、突出部において本体部の外周側に設けられ、本体部の上面側から本体部を回転させる第１治具によっても、本体部の側面側から本体部を回転させる第２治具によっても当接可能となっている。このように、調整部材は、本体部の上面側からでも側面側からでも治具を用いて回転させることができるので、調整部材の上面側からでも側面側からでも第１磁石の位置を調整できる。

【0093】

（第２態様）第１態様に係る真空ポンプにおいて、突出部は、本体部の上面側からみたときに多角形形状を有していてもよい。第２態様に係る真空ポンプでは、治具を用いて調整部材を安定して保持し回転できる。

【0094】

（第３態様）第２態様に係る真空ポンプにおいて、突出部は、本体部の上面に複数配置されてもよい。この場合、複数の突出部は、多角形形状の一部を構成してもよい。第３態様に係る真空ポンプでは、突出部を小さくしつつ、治具を用いて調整部材を安定して保持し回転できる。

【0095】

（第４態様）第３態様に係る真空ポンプにおいて、複数の突出部のそれぞれは、本体部の上面において、多角形形状の頂点の位置に配置されてもよい。第４態様に係る真空ポンプでは、突出部を小さくしつつ、治具を用いて調整部材を安定して保持し回転できる。

【0096】

（第５態様）第３態様又は第４態様に係る真空ポンプにおいて、第１治具及び第２治具は、複数の突出部のうちいずれかの突出部の被当接面と、当該突出部に隣接する突出部の被当接面と、に当接してもよい。第５態様に係る真空ポンプでは、治具により調整部材を離れた二点で保持できるので、調整部材を安定して保持し回転できる。

【0097】

（第６態様）第４態様に係る真空ポンプにおいて、第１治具は、突出部の被当接面のうち多角形形状の頂点に対応する部分に当接してもよい。第６態様に係る真空ポンプでは、第１治具を用いて、調整部材を保持し直すことなく、広い範囲で調整部材の位置を調整できる。

【0098】

（第７態様）第３態様～第６態様のいずれかに係る真空ポンプにおいて、本体部の上面における突出部の配置数は、六の倍数であってもよい。第７態様に係る真空ポンプでは、例えば、第１治具を用いて突出部を三箇所で安定して保持できるとともに、第２治具を用いて突出部を二箇所で安定して保持できる。

【0099】

（第８態様）第１態様～第７態様のいずれかに係る真空ポンプの調整方法は、以下のステップを備える。
◎上部に設けられた開口と第３磁石とを有する調整用筐体にロータと調整部材とを収容するステップ。
◎第１治具を開口から調整用筐体に挿入し、調整用筐体に収容した調整部材の被当接面に第１治具を当接させて調整部材を回転し、第２磁石に対する第３磁石の位置を調整するステップ。
◎側面に吸気口が形成された真空ポンプの筐体部にロータと調整部材とを収容するステップ。
◎第２治具を吸気口から筐体部に挿入し、筐体部に収容した調整部材の被当接面に第２治具を当接させて調整部材を回転し、第２磁石に対する第１磁石の位置を調整するステップ。

【0100】

第８態様に係る真空ポンプの調整方法では、上部に開口が設けられている調整用筐体にロータと調整部材を収納する場合には、本体部の上面側から調整部材を回転させる第１治具を用いて、調整用筐体の上面から第３永久磁石の位置を調整できる。一方、側面に吸気口が設けられている真空ポンプの筐体部にロータと調整部材を収納する場合には、本体部の側面側から本体部を回転させる第２治具を用いて、真空ポンプの側面から第１磁石の位置を調整できる。

【0101】

（第９態様）第８態様に係る調整方法は、第２磁石に対する第３磁石の位置を調整ステップの後、ロータのバランスを調整するステップをさらに備えてもよい。第９態様に係る調整方法では、ロータのバランスを調整して、真空ポンプの運転時における振動を抑制できる。

【符号の説明】

【0102】

１ ：真空ポンプ
２、２’ ：筐体部
３ ：ロータ
４ ：モータ
５ ：ステータ翼ユニット
６ ：ステータ円筒部
７、７’ ：ケーシング
８ ：ベース
８ａ ：凹部
８ｂ ：貫通孔
９ ：蓋部
１１ ：第１端部
１２ ：第２端部
１３ ：側面部
１５ ：ベース端部
１６、１６’ ：マグネットホルダ部
１６ａ ：凹部
１６ｂ、１６ｂ’ ：梁部
２１ ：シャフト
２２ ：ロータ翼ユニット
２３ ：ロータ円筒部
２５ ：ロータ翼
２６ ：モータロータ
２７ ：モータステータ
２８ ：ステータ翼
３１ ：保護軸受
３２ ：磁気軸受
３３、３３’ ：転がり軸受
３４、３４’ ：スラストナット
４１ ：第１永久磁石
４１’ ：第３永久磁石
４２ ：第２永久磁石
４３ ：固定部材
４３ａ ：バランス調整穴
４４ ：皿バネ
４５ ：バネ支持部材
４６ ：磁石ナット
５１ ：本体部
５１ａ ：内周
５１ｂ ：上面
５１ｃ ：外周
５２ ：突出部
５３ａ ：第１被当接面
５３ｂ ：第２被当接面
６１、６１’ ：第１治具
６１ａ ：第１把持部
６１ａ’ ：第３把持部
６１ｂ ：第１当接部
６１ｂ’ ：第３当接部
６２ ：第２治具
６２ａ ：第２把持部
６２ｂ ：第２当接部
７０ ：バランス調整用筐体
６１１、６１１’、６２１ ：当接面
Ａ ：軸
Ａ１ ：第１方向
Ａ２ ：第２方向
Ｂ ：径方向
Ｔ ：タービン部
Ｄ ：ドラッグポンプ部
Ｐ１１ ：第１吸気口
Ｐ１２ ：第２吸気口
Ｐ１３ ：第２吸気口
Ｐ２１ ：排気口
ＯＰ ：開口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】