特開 2025-139780 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025139780

(43)【公開日】2025-09-29

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20250919BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20250919BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 611

B41J2/01 301

B41J2/14 201

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024038809

(22)【出願日】2024-03-13

(71)【出願人】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100126240

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 琢磨

(74)【代理人】

【識別番号】100223941

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 佳子

(74)【代理人】

【識別番号】100159695

【弁理士】

【氏名又は名称】中辻 七朗

(74)【代理人】

【識別番号】100172476

【弁理士】

【氏名又は名称】冨田 一史

(74)【代理人】

【識別番号】100126974

【弁理士】

【氏名又は名称】大朋 靖尚

(72)【発明者】

【氏名】石松 伸

(72)【発明者】

【氏名】吉川 晋平

(72)【発明者】

【氏名】宮下 岳穂

(72)【発明者】

【氏名】戸田 恭輔

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 龍

(72)【発明者】

【氏名】但馬 裕基

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 樹

(72)【発明者】

【氏名】出田 智士

(72)【発明者】

【氏名】田丸 勇治

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼木 洋輔

(72)【発明者】

【氏名】來山 泰明

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA21

2C056FA03

2C056FA10

2C056HA09

2C056HA52

2C057AF63

2C057AG14

2C057AN01

2C057AP79

2C057AR14

2C057BA13

(57)【要約】

【課題】 フレキシブル配線基板の屈曲部における配線の電気信頼性を向上させた液体吐出ヘッドを得る。
【解決手段】 駆動信号により駆動される素子と、前記素子の駆動によって液体を吐出する吐出口と、を有する素子基板と、前記駆動信号を前記素子に供給するための配線を備えたフレキシブル配線基板と、第１の面で前記素子基板と前記フレキシブル配線基板とを支持する支持部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記フレキシブル配線基板は、前記支持部材の、第１の方向に延びる一辺に沿って屈曲された屈曲部を有し、前記第１の面に対して垂直な方向から見て、前記屈曲部は、前記第１の方向と直交する第２の方向において前記素子基板の辺と対向する領域に前記配線を有さない、液体吐出ヘッドである。
【選択図】 図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

駆動信号により駆動される素子と、前記素子の駆動によって液体を吐出する吐出口と、を有する素子基板と、
前記駆動信号を前記素子に供給するための配線を備えたフレキシブル配線基板と、
第１の面で前記素子基板と前記フレキシブル配線基板とを支持する支持部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板は、前記支持部材の、第１の方向に延びる一辺に沿って屈曲された屈曲部を有し、
前記第１の面に対して垂直な方向から見て、前記屈曲部は、前記第１の方向と直交する第２の方向において前記素子基板の辺と対向する領域に前記配線を有さない、液体吐出ヘッド。

【請求項2】

駆動信号により駆動される素子と、前記素子の駆動によって液体を吐出する吐出口と、前記駆動信号を外部から受け取るための端子と、を有する素子基板と、
前記駆動信号を前記素子に供給するための配線を有するフレキシブル配線基板と、
第１の面で前記素子基板と前記フレキシブル配線基板とを支持する支持部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板は、第１の方向に延びる前記支持部材の一端に沿って屈曲された屈曲部を有し、
前記第１の面に対して垂直な方向から見て、前記屈曲部は、前記第１の方向と直交する第２の方向において前記素子基板の辺と対向する領域を含む開口を有する、液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記支持部材を支持する筐体と、
前記第２の方向における前記筐体の第１の側面に配置され、前記フレキシブル配線基板と電気接続された電気配線基板と、
を有する、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記素子基板は、前記配線と電気接続するための端子を複数有し、
複数の前記端子は、前記第１の方向と交差する方向に並んで配置されている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記配線は、
前記端子との接続部分から前記電気配線基板側に延びる第１の配線と、
前記端子との接続部分から前記電気配線基板と反対側に延びてから前記電気配線基板側に延びる第２の配線と、を含む、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記フレキシブル配線基板は、内部に前記素子基板が配置される開口を有する、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記屈曲部を、前記第２の方向における前記電気配線基板側に有する、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記屈曲部を、前記第２の方向における前記電気配線基板側と反対側に有する、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記屈曲部を、前記第２の方向において前記支持部材を挟んだ両方に有する、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

前記素子基板は、前記第１の面と対向する面と反対の面に、前記吐出口と、前記配線と電気接続するための端子と、を有する、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記フレキシブル配線基板と、前記支持部材の前記第１の面と交差する側面と、の間に樹脂部材を有する、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

複数の前記端子のうちの端に配置された前記端子に対応して配置された、ダミー配線またはグランド配線を有する、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項13】

前記フレキシブル配線基板の前記支持部材と反対側の面に配置されたカバー部材をさらに有する、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項14】

前記素子基板は、前記第１の方向に並んで配置された、第１の素子基板と、第２の素子基板と、を有し、前記第１の素子基板と前記第２の素子基板との間を経由するように配置された前記配線を有する、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項15】

前記第１の素子基板は、前記配線と電気接続するための端子が前記第１の方向と交差する方向に複数並んだ端子列を有し、
前記端子列は、前記第２の素子基板と対向しない前記第１の素子基板の辺に沿って配置されている、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項16】

請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドを備え、前記液体吐出ヘッドが走査運動するように構成された液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

インクジェット記録装置などの液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドは、装置本体からの電気信号に基づいてエネルギー発生素子を駆動し、微小な吐出口から液滴を吐出させる。液体吐出ヘッドは、記録装置本体に搭載されており、記録装置本体から供給される電気信号で制御、駆動され、媒体上に液体を吐出して画像の形成などを行う。従って、液体吐出ヘッドは、駆動信号などを伝達するための電気配線基板を有している。一般に、液体吐出ヘッドは、エネルギー発生素子や吐出口を備えた素子基板と、素子基板に電気接続された電気配線基板としてのフレキシブル配線基板を有している。

【0003】

電気配線基板は導電性のコンタクトパッドを含む電気信号入力部を備えており、記録装置本体はコンタクトパッドと電気的に接続するコンタクトピンを備えている。コンタクトパッドとコンタクトピンが接触することで、電気的な通信が可能となる。

【0004】

近年、液体吐出装置および液体吐出ヘッドには、高精細な画像を高速にかつ、安価に得る事が要求されている。このため、素子基板においてエネルギー発生素子は高集積化され、それに応じてフレキシブル電気配線基板内（フレキシブル基板）の配線数も増加する。配線数の増加に対応する方法には、フレキシブル配線基板そのものを広く長くする方法がある。この際、大きくなったフレキシブル配線基板は、液体吐出ヘッドの筐体に沿って折り曲げ固定する事により、液体吐出ヘッドの大型化を回避できる。

【0005】

特許文献１には、素子基板に電気接続されたフレキシブル配線基板を折り曲げ、液体吐出ヘッドの筐体の面に固定した構成が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１５―９３４５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

フレキシブル配線基板の折り曲げに関して、液体が吐出される領域における紙などの被吐出媒体のコックリング量低減のための、紙おさえ幅の増大を抑制する観点では、直角に近い曲率で曲げることが好ましい。紙おさえ幅が大きくなる事は、装置本体の大型化につながりコストアップにもつながるためである。一方で、屈曲率が小さいと、折り曲げ部分でフレキシブル配線基板内部の配線が割れるなどの破損につながる場合がある。

【0008】

上記課題を解決する本発明は、フレキシブル配線基板の屈曲部における配線の電気信頼性を向上させた液体吐出ヘッドを得ることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決する本発明の１つの容態は、駆動信号により駆動される素子と、前記素子の駆動によって液体を吐出する吐出口と、を有する素子基板と、前記駆動信号を前記素子に供給するための配線を備えたフレキシブル配線基板と、第１の面で前記素子基板と前記フレキシブル配線基板とを支持する支持部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記フレキシブル配線基板は、前記支持部材の、第１の方向に延びる一辺に沿って屈曲された屈曲部を有し、前記第１の面に対して垂直な方向から見て、前記屈曲部は、前記第１の方向と直交する第２の方向において前記素子基板の辺と対向する領域に前記配線を有さない、液体吐出ヘッドである。

【0010】

また、本発明の別の容態は、駆動信号により駆動される素子と、前記素子の駆動によって液体を吐出する吐出口と、前記駆動信号を外部から受け取るための端子と、を有する素子基板と、前記駆動信号を前記素子に供給するための配線を有するフレキシブル配線基板と、第１の面で前記素子基板と前記フレキシブル配線基板とを支持する支持部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記フレキシブル配線基板は、第１の方向に延びる前記支持部材の一端に沿って屈曲された屈曲部を有し、前記第１の面に対して垂直な方向から見て、前記屈曲部は、前記第１の方向と直交する第２の方向において前記素子基板の辺と対向する領域を含む開口を有する、液体吐出ヘッド。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、フレキシブル配線基板の屈曲部における配線の電気信頼性を向上させた液体吐出ヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】液体吐出装置の一例を示す概略構成図および制御ブロック図である。

【図2】液体吐出ヘッドの一例を示す分解斜視図である。

【図3】液体吐出ヘッドの一例を示す概略斜視図である。

【図4】吐出ユニットの一例を示す概略図である。

【図5】比較例の吐出ユニットを示す概略図である。

【図6】比較例の吐出ユニットを示す断面図である。

【図7】比較例の吐出ユニットを示す断面図である。

【図8】第１の実施形態に係る吐出ユニットを示す概略図である。

【図9】第１の実施形態に係る吐出ユニットを示す概略図である。

【図10】第１の実施形態に係る吐出ユニットを示す断面図である。

【図11】第２の実施形態に係る吐出ユニットを示す概略図である。

【図12】第２の実施形態に係る吐出ユニットを示す断面図である。

【図13】第３の実施形態に係る吐出ユニットを示す概略図である。

【図14】第４の実施形態に係る吐出ユニットを示す概略図である。

【図15】第５の実施形態に係る吐出ユニットを示す概略図及び断面図である。

【図16】比較例の吐出ユニットを示す概略図である。

【図17】第６の実施形態に係る吐出ユニットを示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を用いて本発明の実施の形態の例を説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。一例として、本実施形態では発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されている。しかし、液体を吐出するためのエネルギー発生素子として圧電素子を用いるピエゾ方式や、その他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。なお、本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置は、インクジェットプリンター、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置に適用可能である。さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷や半導体基板作製などの用途としても用いることができる。

【0014】

本実施形態は、インクなどの液体をタンクと液体吐出ヘッド間で循環させる形態の液体吐出装置であるが、その他の形態であってもよい。例えば、液体をタンクと液体吐出ヘッド間で循環させる形態であってもよい。また、液体を循環せずに、液体吐出ヘッド上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへ液体を流すことで、圧力室内の液体を流動させる形態であってもよい。

【0015】

（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッド１を用いた液体吐出装置５０の構成例の概略斜視図であり、図１（ｂ）は、液体吐出装置５０の制御系のブロック図である。図１（ａ）に示した液体吐出装置５０は、液体吐出ヘッド１が走査運動しながらインクを吐出して媒体Ｐに画像等を記録する、シリアルスキャン方式のインクジェットプリンターである。液体吐出ヘッド１はキャリッジ５３に搭載され、キャリッジ５３は、ガイド軸５１に沿って矢印Ｘの主走査方向に移動する。媒体Ｐは、搬送ローラ５５，５６，５７，５８によって、主走査方向と交差（本例の場合は、直交）する矢印Ｙの副走査方向に搬送される。図中、Ｘ方向はキャリッジ５３の走査方向であって媒体Ｐの幅方向、Ｙ方向は媒体Ｐの搬送方向、Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と交差する方向であって、液体が吐出される方向と反対の方向である。液体吐出ヘッド１には、循環ユニット５４が搭載され、後述する吐出ユニット３００のインク循環が行われる。吐出ユニット３００に備わる吐出素子（後述する）は、電気接続基板からの入力信号に応じて、ヘッドドライバ１Ａによって駆動される。吐出に必要な電気配線、インクおよび空気の配管が、ガイド５９によってキャリッジ５３へ供給される。

【0016】

ＣＰＵ（制御部）４００は、ＲＯＭ４０１に格納された処理手順等のプログラムに基づいて液体吐出装置５０を制御し、ＲＡＭ４０２は、それらの処理を実行するワークエリアなどとして用いられる。ＣＰＵ４００は、液体吐出装置５０の外部のホスト装置５００からの画像データに基づいて、ヘッドドライバ１Ａを制御する。また、ＣＰＵ４００は、モータドライバ４０３Ａを介して、キャリッジ５３を移動させるためのキャリッジモータ４０３を制御し、モータドライバ４０４Ａを介して、媒体Ｐを搬送させるための搬送モータ４０４を制御する。

【0017】

図１（ａ）に示す液体吐出ヘッド１はように、ＣＭＹＫインクによる（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）フルカラー印刷が可能な構成である。液体吐出ヘッド１が吐出する液体はこれに限らず、白インクは反応液などを吐出する構成であってもよいし、ブラックインクのみを吐出する構成であってもよい。媒体Ｐの搬送路から外れた位置にキャップ部材（不図示）が配置され、液体吐出動作を行わない時には、液体吐出ヘッド１のフェイス面を覆う位置に相対的に移動し、吐出口の乾燥を防止や、充填や回復のための吸引動作を行う。

【0018】

図２は、本実施形態の液体吐出ヘッド１を示す分解斜視図である。図２や図１（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド１は、循環ユニット５４を有する。循環ユニット５４は吐出する液体（インクや反応液など）の種類にそれぞれ対応した循環ユニットを有する。本実施形態では、マゼンタインク、イエローインク、ブラックインク、シアンインクのそれぞれに対応した循環ユニット５４ｍ、５４ｙ、５４ｋ、５４ｃを備える。それぞれの循環ユニット５４は、液体吐出ヘッド１の筐体である流路部材１１０に接続されている。循環ユニット５４と流路部材１１０の接続方法は、間にシール部材を挟み込んだビス締め方式や、溶着による接続など、任意の接続法を用いることができる。流路部材１１０には装置本体からのインクを受け入れるための供給口を有する接続部材２００があり、接続部材２００は各循環ユニット５４（５４ｍ、５４ｙ、５４ｋ、５４ｃ）と連通している。

【0019】

液体吐出ヘッド１が装置本体へ装着された状態で、接続部材２００のインク供給口２０１には、吐出する液体（インク）の種類に対応した供給チューブ（不図示）が接続される。供給チューブは、図１（ａ）に示したガイド５９に備えられる。供給チューブから供給された各インクは、流路部材１１０の接続部材２００を経由し、各循環ユニット５４に供給される。流路部材１１０の底面（‐Ｚ方向の面）には吐出ユニット３００が接続されており、循環ユニット５４に供給されたインクは流路部材１１０を経由し、吐出ユニット３００に供給される。

【0020】

吐出ユニット３００と流路部材１１０の接続方法は、任意の方法を用いることができ、接着剤を用いた接着でも良く、シール部材を挟み込んだビス締めによる固定でも良い。吐出ユニット３００は、インクを吐出する吐出口と、インクを吐出するための吐出素子を備えた素子基板３１０、素子基板３１０へ電気信号を送るためのフレキシブル配線基板３３０、素子基板３１０やフレキシブル配線基板３３０を支持する支持部材３２０、および、フレキシブル配線基板３３０を覆うカバー部材３４０を有する。素子基板３１０、およびフレキシブル配線基板３３０は支持部材３２０の第１の面３２２に接着固定されている。さらに、素子基板３１０が吐出口を備える側の面である表面を覆うようにカバー部材３４０が接着接合されている。カバー部材３４０のうち、素子基板３１０に対応する箇所は開口となっている。支持部材３２０は、インクを循環ユニット５４から素子基板３１０に供給する流路３２１を有する流路部材でもある。

【0021】

図３（ａ）は、本実施形態の液体吐出ヘッド１を電気配線基板２１０側から見た、概略斜視図であり、図３（ｂ）は、液体吐出ヘッド１を接続部材２００側から見た、概略斜視図である。図３に示すように、フレキシブル配線基板３３０は、支持部材３２０が素子基板３１０を支持する面に接合されている。フレキシブル配線基板３３０は、支持部材３２０の電気配線基板２１０側に屈曲部５０２Ａを、接続部材２００側に屈曲部５０２Ｂを有するように、筐体としての流路部材１１０に配設されている。本明細書において、フレキシブル配線基板の「屈曲部」は、フレキシブル配線基板が折り曲げられて曲面形状を有する部分を指す。

【0022】

フレキシブル配線基板３３０の接着固定に際しては、支持部材３２０の吐出素子３１０が接着されていない両方の面にも配設されている。配設の際には、図２のように、フレキシブル配線基板３３０を支持部材３２０の辺に沿うように屈曲させてから支持部材３２０に接合してもよい。フレキシブル配線基板３３０の一部を支持部材３２０に接合してから、支持部材３２０に沿うように屈曲させて配設してもよい。カバー部材３４０を接合した後に支持部材３２０に沿うように屈曲させてもよい。また、カバー部材３４０を有さない構成であってもよい。さらに、図２の構成と異なり、支持部材３２０にカバー部材３４０を接合させ、カバー部材３４０上にフレキシブル配線基板３３０が接合されて屈曲された構成であってもよい。

【0023】

支持部材３２０と、フレキシブル配線基板３３０との間の空間５０９には、接合力の強化とインク侵入による信頼性の低下を防ぐため、樹脂部材である接着剤もしくは封止剤５１９が挿入されている（図７参照）。

【0024】

流路部材１１０の接続部材２００が設けられた面と反対側の面は、本体からの電気信号を受け取る電気配線基板２１０が接続されたコンタクト面となっている。電気配線基板２１０からフレキシブル配線基板３３０を介し、素子基板３１０に電気信号が送られる。流路部材１１０への電気配線基板２１０の接続は、加締めや接着剤による固定、もしくは両面テープによる固定など、任意の方法を用いればよい。電気配線基板２１０とフレキシブル配線基板３３０との電気接続は、本実施形態ではＡＣＦ（異方性導電膜）圧着により形成されているが、ワイヤボンディングやフライングリードボンディングなどを用いてもよい。

【0025】

図４は、吐出ユニット３００を素子基板３１０の有する吐出口側から見た概略図である。なお、図４においては、フレキシブル配線基板３３０が備える個別の配線（導線）５０３の説明のため、カバー部材３４０は図示していない。素子基板３１０は、吐出素子に電気接続された接続端子５０４を、吐出素子３１０の長辺に沿って複数有している。接続端子５０４は、配線５０３と電気接続されている。図４や、以降の図で示す吐出ユニットの概略図においては、配線５０３や接続端子５０４の一部のみを図示している。なお、接続端子５０４は、図４においては素子基板３１０の長辺の片側にのみ配置されているが、素子基板３１０の長辺の両側に配置してもよい。接続端子５０４が、素子基板３１０の短辺に沿って複数配置された構成であってもよい。本実施形態では、素子基板３１０とフレキシブル配線基板３３０とは、ワイヤボンディングにより電気接続されている。より具体的には、素子基板３１０の有する接続端子５０４と、フレキシブル配線基板３３０の有する配線５０３とが、ワイヤボンディングにより電気接続されている。電気接続方式はフライングリードボンディング等のその他の方式であってもよい。

【0026】

配線５０３はフレキシブル配線基板３３０内において、電気配線基板２１０と接続されるように引き回される。フレキシブル配線基板３３０は支持部材３２０の上面（図４のＸＹ平面）に接合され、支持部材３２０の上面からはみ出した部分は、支持部材３２０の側面に沿って屈曲される事となる。

【0027】

図５に示す比較例を用いて、本発明の課題を説明する。図５は、比較例の吐出ユニット３００を示す概略図であり、支持部材３２０上に素子基板３１０とフレキシブル配線基板３３０とを接合した、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させる前の状態を示す。図５では、図４と同様にカバー部材３４０を省略しており、さらに接続端子５０４と配線５０３との電気接続部分も簡略化して示している。図５に示した比較例において、接続端子５０４は吐出素子３１０の短辺に沿って複数配置されている。この場合、フレキシブル配線基板３３０内において、接続部材２００側の接続端子５０４から電気配線基板２１０側に配線５０３を引き出す場合は、配線５０３のレイアウト（引き回し）の関係で屈曲部５０２Ｂを経由する配線パターンになる場合がある。この時、素子基板３１０と屈曲部５０２Ｂと配線５０３の位置関係によっては、フレキシブル配線基板３３０及びその内部の配線５０３の屈曲のしやすさが、場所によって異なる場合がある。例えば、屈曲部５０２Ａの延びる方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）において素子基板３１０の辺と対向する部位に位置する、フレキシブル配線基板３３０や配線５０３ａと、Ｙ方向において素子基板３１０の辺と対向しないフレキシブル配線基板３３０や配線５０３ｅとでは、屈曲のしやすさが異なる場合が多い。配線５０３ｅのように、フレキシブル配線基板３３０の折り曲げ方向（Ｙ方向）と同じ方向に素子基板３１０が無い位置のフレキシブル配線基板３３０の部分は、少ない荷重で屈曲させる事ができ、その屈曲率も小さく、安定した形状をつくりやすい。一方で、配線５０３ａのように、屈曲部の折り曲げ方向（Ｙ方向）と同じ方向に素子基板３１０が存在している部分は、屈曲させるのにより大きな荷重が必要であり、屈曲率を小さくすることや、安定した位置や形状をつくることが困難になりやすい。

【0028】

図６（ａ）は、図５のＶＩａ―ＶＩａにおける断面図であり、図６（ｂ）は、図５のＶＩｂ―ＶＩｂにおける断面図である。図６（ａ）および６（ｂ）に示すように、フレキシブル配線基板３３０は、配線５０３が、カバーフィルム５０５とベースフィルム５０８とで挟まれた構成を有する。フレキシブル配線基板３３０では、配線５０３とカバーフィルム５０５は、カバーフィルム接着剤５０６を介して接合され、配線５０３とベースフィルム５０８は、ベースフィルム接着剤５０７を介して接合されている。本実施形態では、一例として、厚み４μｍのカバーフィルム５０５、厚み４０μｍのカバーフィルム接着剤５０６、厚み３５μｍの配線５０３、厚み１５μｍのベースフィルム接着剤５０７、および厚み５０μｍのベースフィルム５０８が積層接着された構成を有する。また、本実施形態においては、配線５０３は銅で構成されており、銅箔のエッチングにより形成されている。カバーフィルム５０５およびベースフィルム５０８の材質はポリイミドである。カバーフィルム接着剤５０６およびベースフィルム接着剤は、硬化しているためある程度の硬度を有するものの、配線５０３やカバーフィルム５０５およびベースフィルム５０８よりは軟らかい。

【0029】

図６（ａ）のように、折り曲げ方向と同じ方向（Ｙ方向）におけるフレキシブル配線基板３３０の長さを長くとれる領域では、フレキシブル配線基板３３０を形成する各層も長い。このため、フレキシブル配線基板３３０の屈曲に対してその長さの全域を用い各層が伸縮することで対応できる。一方で、図６（ｂ）のように、フレキシブル配線基板３３０の長さが短い領域では、各層が伸縮して対応できる変形の絶対量が少ないため、屈曲構造をつくりにくい。

【0030】

図７は、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させた状態での、図５のＶＩａ－ＶＩａの位置および図６（ｂ）に対応した断面図である。屈曲部５０２Ｂが大きいと空間５０９も大きくなり、液体吐出ヘッド１の大きさ（Ｙ方向の大きさ）が大きくなる。さらに、接続部材２００側の屈曲部５０２Ｂが大きくなると、媒体Ｐ抑え用のローラ（図１においては不図示）の位置に影響を及ぼして、抑え幅に影響を及ぼしたりすることがある。これらは、液体吐出装置全体の大型化につながりやすい。

【0031】

また、屈曲部５０２Ｂの曲率を小さくして屈曲部５０２Ｂを小さくすることができたとしても、屈曲率の小さな屈曲部では、内部の配線５０３が割れやすくなるという課題もある。

【0032】

図８は、第１の実施形態における吐出ユニット３００を示す概略図であって、図５と同様に支持部材３２０上に素子基板３１０とフレキシブル配線基板３３０とを接合した、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させる前の状態を示す。図８に示した本実施形態では、１つの支持部材上に２つの素子基板３１０と、１つのフレキシブル配線基板３３０と、が配置されている。支持部材３２０に接合された素子基板３１０の長辺に沿って接続端子５０４が配置され、同じく支持部材３２０上に接合されたフレキシブル配線基板３３０と電気接続されている。一方の素子基板３１０において複数の接続端子５０４が並んだ端子列は、他方の素子基板３１０と対向しない辺に沿って配置されている。また、２つの素子基板３１０の間を経由するように配置された配線５０３を有する。

【0033】

フレキシブル配線基板３３０が支持部材３２０からはみ出した部分は、複数の接続端子５０４が並んだ端子列が延びる方向と交差する方向、本実施形態においてはＹ方向に屈曲されることで、電気配線基板２１０と接続されている。さらに、フレキシブル配線基板３３０が支持部材３２０からはみ出した部分であって、電気配線基板２１０と接続されない、接続部材２００側の領域でも同様に、端子列が延びる方向と交差する方向（Ｙ方向）に屈曲されている。図９は、図８の１つの素子基板３１０近傍の屈曲部５０２Ｂ付近の拡大図である。図１０（ａ）は、図９のＸ－Ｘにおける断面図である。本発明の液体吐出ヘッド１および吐出ユニット３００においては、屈曲部５０２Ｂは、屈曲する方向（Ｙ方向）において隣接する素子基板３１０の辺３１０ａと対向する領域５１６に配線５０３を有さないにように、配線５０３が配置されている。言い換えると、支持部材３２０が素子基板３１０を支持する面と垂直な方向から見て、第１の方向（Ｘ方向）に沿って屈曲された屈曲部５０２Ｂは、第１の方向と直交する方向（第２の方向、Ｙ方向）において素子基板３１０の辺３１０ａと対向する領域に配線５０３を有さない。なお、図９において辺３１０ａは吐出素子３１０の短辺（すなわち接続端子５０４のない辺）である。支持部材３２０とカバー部材３４０との間の空間５０９には、接着剤（封止剤）５１９が配置されている。

【0034】

図１０（ａ）の破線Ｎは、フレキシブル配線基板３３０の端面５１４ａと対向する素子基板３１０の辺から屈曲部５０２Ｂの終点（Ｒ形状ではなくなる位置）５１５までの領域５１６を示している。本実施形態では、Ｙ方向において素子基板３１０の辺３１０ａと対向する、フレキシブル配線基板３３０の端面５１４ａから屈曲部５０２Ｂの終点５１５までの領域を避けて配線５０３が配置されている。この構成により、屈曲形状を作るに際し、フレキシブル配線基板３３０の屈曲方向における長さが短い領域で、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させやすくなる。本実施形態では一例として、配線５０３の最小幅を４０μｍとし、最小ピッチは８０μｍとした。フレキシブル配線基板３３０の、屈曲部５０２Ｂの大きさはＲ＝０．８ｍｍとし、素子基板３１０の辺３１０ａの長さであって領域ＫのＸ方向の長さは７ｍｍ、領域５１６のＹ方向の長さは３ｍｍとした。領域５１６からフレキシブル配線基板３３０の端面５１４ｂ（先端面）までの長さＬは４ｍｍとした。電気配線基板２１０側では、装置の構成上、フレキシブル配線基板３３０の屈曲を大きくとれるため、屈曲部５０２Ａの大きさはＲ＝２．０ｍｍとした。なお、屈曲部５０２の大きさの評価は、Ｒの大きさを用いる方法に限らず、例えば、支持部材３２０の上面からはみ出した部分の、支持部材３２０の面と水平な方向の大きさを用いて評価すればよい。

【0035】

このような、フレキシブル配線基板３３０を用い屈曲させ液体吐出ヘッド１にしたところ良好な印字を長期にわたり得る事ができた。また、５℃環境における間欠印字耐久（１時間印字のち１時間待機の繰り返し）においても、良好な印字を確認できた。

【0036】

図示はしていないがカバー部材３４０のうえにフレキシブル配線基板３３０を接合させる形態でも、支持部材３２０にフレキシブル配線基板３３０を接合しそのうえにカバー部材３４０を接合する形態でも同様の効果を確認できた。カバー部材３４０を用いない形態でも同様の効果を確認できた。

【0037】

上述の効果は、図６のような配線５０３が１層の単層フレキシブル配線基板を用いた構成に限るものではなく、内部に複数の配線を有するフレキシブル配線基板を用いた構成にも適用可能である。

【0038】

上記説明した本発明によれば、フレキシブル配線基板を容易にかつ小さく屈曲する事がでる。これは、液体吐出ヘッドの小型化に寄与し、液体吐出装置そのものの小型化につながる。さらに、液体吐出装置の小型化は装置製造コストの低減にもつながる。また、フレキシブル配線基板の屈曲部を小さくできる事は、フレキシブル配線基板と支持部材との隙間も小さくなるため、その隙間を埋める接着剤（封止剤）の必要量も減少し、これも製造コストの低減につながる効果を得られる。

【0039】

さらに、フレキシブル配線基板を容易に屈曲できることは、フレキシブル配線基板の屈曲時の荷重を減らす事になり、屈曲部ならびにフレキシブル配線基板そのもの信頼性の低下を抑制できる。これは、液体吐出ヘッドの信頼性の向上にもつながる。

【0040】

（第２の実施形態）
以下では、上述した第１の実施形態と異なる点を中心に説明し、第１の実施形態の構成と同様の部分は説明を省略する。

【0041】

図１１は、第２の実施形態を示す吐出ユニット３００の概略図であって、図５と同様に支持部材３２０上に素子基板３１０とフレキシブル配線基板３３０とを接合した、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させる前の状態を示す。第１の実施形態と同様、長辺に接続端子５０４を備えた素子基板３１０と、フレキシブル配線基板３３０が、支持部材３２０の面に接合されている。

【0042】

本実施形態では、素子基板３１０を露出させるためのフレキシブル配線基板３３０の開口５１８が、屈曲部まで拡大されている。言い換えると、支持部材３２０の面に対して垂直な方向から見て、開口５１８は、前記第１の方向と直交する方向において前記素子基板の辺と対向する領域５１６を含むように構成されている。図１１では、開口５１８は領域５１６を全て含んでいる。すなわち、領域５１６を含むように、フレキシブル配線基板３３０の一部が切除されている。フレキシブル配線基板３３０を屈曲させやすくなるためには、図１１のように、支持部材３２０の辺が露出するようなフレキシブル配線基板３３０の形状であることが望ましい。本実施形態の構成であれば、フレキシブル配線基板３３０の長さの短い部位を屈曲させる必要性がないため、図８の構成よりもさらにフレキシブル配線基板３３０屈曲させやすくなる効果を得られる。なお、領域５１６を含む開口は、図８のように素子基板３１０を露出させる開口と一体である構成でなくてもよい。

【0043】

図１２は、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させた状態での、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩの位置に対応した断面図である。図１２では、カバー部材３４０も示している。フレキシブル配線基板３３０が切除された領域には、支持部材３２０とカバー部材３４０との間に空間５０９が形成され、毛管力をもちいた接着剤（封止剤）５１９の充填ができる。また、カバー部材３４０の存在によって、空間５０９にインクが多量には付着しにくい。

【0044】

本実施例では一例として、配線５０３の最小幅は４０μｍとし、最小ピッチは９０μｍとした。フレキシブル配線基板３３０の、屈曲部５０２Ｂの大きさはＲ＝０．８ｍｍ、素子基板３１０の辺３１０ａの長さであって領域ＫのＸ方向の長さは７ｍｍ、領域５１６ではフレキシブル配線基板３３０をＹ方向の長さ２．５ｍｍ削除して０．５ｍｍ残した。そして、領域５１６からフレキシブル配線基板の端部までの長さＬは４．０ｍｍとした。

【0045】

電気配線基板２１０側では、装置の構成上、インクの付着がおきにくいため、領域５１６にかかるフレキシブル配線基板３３０そのものを削除した。このような吐出ユニット３００の構成で、液体吐出ヘッド１を構成したところ、良好な印字を長期にわたり得る事ができた。また、５℃環境における間欠印字耐久（１時間印字のち１時間待機）においても、良好な印字を確認できた。

【0046】

（第３の実施形態）
以下では、上述した第１および第２の実施形態と異なる点を中心に説明し、同様の部分は説明を省略する。

【0047】

図１３は、第３の実施形態を示す吐出ユニット３００の概略図であって、図５と同様に支持部材３２０上に素子基板３１０とフレキシブル配線基板３３０とを接合した、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させる前の状態を示す。第１の実施形態と同様、長辺に接続端子５０４を備えた素子基板３１０と、フレキシブル配線基板３３０が、支持部材３２０の面に接合されている。

【0048】

第３の実施形態では、フレキシブル配線基板３３０は、屈曲部５０２Ａでは第１の実施形態、屈曲部５０２Ｂでは第２の実施形態と同様の形状になっている。

【0049】

フレキシブル配線基板３３０のカバーフィルム５０５の外表面およびベースフィルム５０８の外表面の耐インク性は高いものの、接着剤層を介した各層の界面はインクに浸食されやすい。このため、フレキシブル配線基板３３０の素子基板３１０と対向する端面（端部）は接着剤５１９や封止剤で保護される事が望ましい。一方で、フレキシブル配線基板３３０端面の保護範囲が大きいと、製造工程のリードタイムの悪化やコストアップにつながりやすい。

【0050】

図１３に示す本実施形態は上記課題を考慮したものであり、フレキシブル配線基板３３０の接続部材２００側は第１の実施形態の形状を、電気配線基板２１０側は第２の実施形態の形状を用いている。

【0051】

接続部材２００側の屈曲部５０２Ｂでは、インク供給口２０１からのインクの付着が起きやすく、空間５０９を封止することが望ましい。そこで、空間５０９の体積を減らして充填される接着剤（封止剤）の量を減らすために、第１の実施形態のように、フレキシブル配線基板３３０が支持部材３２０と重なる領域は減らさずに、領域５１６を避けて配線５０３が配置されている。フレキシブル配線基板３３０の耐インク性は、接着剤（封止剤）より高いため、液体吐出ヘッドの耐インク信頼性が保たれる。

【0052】

一方で、電気配線基板２１０側の屈曲部５０２Ａは、液体吐出装置５０の構成上インクが付着する可能性が接続部材２００側と比べて低いため、最小限の接着剤（封止剤）５１９の充填で十分である。このため、第２の実施形態のように、フレキシブル配線基板３３０を切除して屈曲しやすさを優先している。

【0053】

このような吐出ユニット３００の構成で、液体吐出ヘッド１を構成したところ、良好な印字を長期にわたり得る事ができた。また、５℃環境における間欠印字耐久（１時間印字のち１時間待機）においても、良好の印字を確認できた。

【0054】

（第４の実施形態）
以下では、上述した実施形態と異なる点を中心に説明し、上述の実施形態の構成と同様の部分は説明を省略する。

【0055】

図１４は、本発明の第４の実施形態を示す吐出ユニット３００の概略図であって、図５と同様に支持部材３２０上に素子基板３１０とフレキシブル配線基板３３０とを接合した、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させる前の状態を示す。

【0056】

図１４の構成では、フレキシブル配線基板３３０の有する複数の配線５０３のうち、フレキシブル配線基板３３０外周側の端部に最も近い配線５０３ｃと、開口の端部に隣接する配線５０３ｄが、接続端子５０４に接続しないダミー配線となっている。これにより、フレキシブル配線基板３３０の端部からのインク侵入による信頼性の低下を抑制することができる。なお、配線５０３ｄと５０３ｃのどちらかのみがダミー配線である構成であってもよい。配線５０３ｄと５０３ｃの両方がダミー配線である構成であってもよい。また、図１４では接続部材２００側の屈曲部５０２Ｂのみがダミー配線を有する構成であるが、電気配線基板２１０側の屈曲部５０２Ａのみがダミー配線を有していてもよいし、屈曲部５０２Ａと５０２Ｂの双方がダミー配線である構成であってもよい。

【0057】

ダミー配線の代わりにグランド配線を設けてもよく、同様に、フレキシブル配線基板３３０の端部からのインク侵入による信頼性の低下を抑制する効果を得られる。グランド配線は、電位がかからないため、端部からマイグレーションを起こさないためである。

【0058】

本実施形態は、図１４左側の素子基板３１０に対応した屈曲部５０２Ｂのような、領域５１６に配線５０３の無いフレキシブル配線基板３３０が存在する構成であってもよいし、図１４右側の素子基板３１０に対応した屈曲部５０２Ｂのような、領域５１６を含むようにフレキシブル配線基板３３０が開口を有する構成であってもよい。

【0059】

（第５の実施形態）
以下では、上述した実施形態と異なる点を中心に説明し、上述の実施形態の構成と同様の部分は説明を省略する。

【0060】

図１５（ａ）は、本発明の第５の実施形態を示す吐出ユニット３００の部分概略図であって、屈曲部５０２Ａの拡大図である。図１５（ａ）は、図５と同様に支持部材３２０上に素子基板３１０とフレキシブル配線基板３３０とを接合した、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させる前の状態を示す。第１～第４の実施形態と異なり、本実施形態の構成では、素子基板３１０は短辺に接続端子５０４を備えている。この場合、図５に示した比較例のように、屈曲部５０２Ａの屈曲方向（Ｙ方向）において素子基板３１０と対向する領域に配線５０３が配置されていると、屈曲部５０２Ａの形成が困難になりやすい。

【0061】

そこで、本実施形態では、配線５０３は、電気配線基板２１０側に引き回すにあたって、Ｙ方向において素子基板３１０と対向しない領域まで屈曲部５０２Ａの延びる方向（Ｘ方向）に沿って配置され、その後電気配線基板側に向けて屈曲部５０２Ａの屈曲方向（Ｙ方向）に延びて配置されている。図１５（ｂ）は、図１５（ａ）のＸＶｂ－ＸＶｂにおける断面図である。図１５（ｂ）からもわかるように、フレキシブル配線基板３３０の屈曲のしやすさに大きな影響をあたえる配線（銅箔）５０３を屈曲させないため、少ない荷重で屈曲部５０２Ａを小さくする事ができる。

【0062】

一方で、図１６に示す比較例のように、配線５０３を、素子基板３１０と対向しない領域まで配線５０３をＸ方向に延ばさずＹ方向に屈曲させて配置した場合は、少ない荷重で屈曲部５０２Ｂを屈曲させる事が困難になり、安定した屈曲形状をつくりにくくなってしまう。

【0063】

なお、図１５に示した本実施形態の構成では、屈曲部５０２Ａに沿って（Ｘ方向に沿って）配線５０３を配置する事になるため、フレキシブル配線基板３３０を屈曲させようとすると、折り曲げ方向（Ｙ方向）における配線３０５のエッジ５１０を起点に屈曲しようとするように作用してしまい、屈曲形状と位置を安定してつくりにくくなる場合がある。また、エッジ５１０を起点にして屈曲形状をつくるように、屈曲部Ｂ５０２に近い位置に意図的にエッジ５１０を配置すると、フレキシブル配線基板３３０のテンションがかかる部位に対し、エッジ５１０が刃のようにカバーフィルム接着剤５０６に食い込んで亀裂を生じさせ、カバーフィルム５０５にも損傷や亀裂をあたえてしまう場合がある。なお、図９に示す構成のように、屈曲部５０２Ｂに沿って配線５０３が配置されていても、素子基板３１０の短辺と隣接する領域ではなく、屈曲部５０２Ｂよりもフレキシブル配線基板３３０の先端側の領域であれば、フレキシブル配線基板３３０が伸縮可能な長さを確保できるため、配線５０３のエッジを起点した亀裂は起こりにくい。

【0064】

（第６の実施形態）
以下では、上述した実施形態と異なる点を中心に説明し、上述の実施形態の構成と同様の部分は説明を省略する。

【0065】

上述の第１～第５の実施形態では、１つの接続端子５０４に１つの配線５０３が接続され、個々の配線５０３が電気配線基板２１０側に引き回された構成を示していた。しかしながら、本発明の接続端子と配線の構成はこれに限らず、例えば、複数の配線５０３がフレキシブル配線基板３３０内でまとめられた構成であっても、本発明を好適に用いることができる。図１７は、本発明の第６の実施形態を示す吐出ユニット３００の部分概略図である。図１７に示した構成は、複数の接続端子５０４に接続された複数の配線５０３がまとめられた配線５０３ｆを有する。

【0066】

本実施形態では、吐出素子の駆動電圧として２４Ｖの電圧を印加するが、複数の配線をまとめた配線とすることで配線抵抗を減らすことができる。一方で、複数の配線をまとめた配線を設けると、フレキシブル配線基板３３０の柔軟性の低下につながる場合がある。このため、複数の配線をまとめた構成をとる場合は、電源供給用の配線をまとめ、吐出素子の駆動信号用の配線をまとめない構成とすることが望ましい。

【0067】

本開示は、以下の実施形態を含む。

【0068】

（構成１）
駆動信号により駆動される素子と、前記素子の駆動によって液体を吐出する吐出口と、を有する素子基板と、
前記駆動信号を前記素子に供給するための配線を備えたフレキシブル配線基板と、
第１の面で前記素子基板と前記フレキシブル配線基板とを支持する支持部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板は、前記支持部材の、第１の方向に延びる一辺に沿って屈曲された屈曲部を有し、
前記第１の面に対して垂直な方向から見て、前記屈曲部は、前記第１の方向と直交する第２の方向において前記素子基板の辺と対向する領域に前記配線を有さない、液体吐出ヘッド。

【0069】

（構成２）
駆動信号により駆動される素子と、前記素子の駆動によって液体を吐出する吐出口と、前記駆動信号を外部から受け取るための端子と、を有する素子基板と、
前記駆動信号を前記素子に供給するための配線を有するフレキシブル配線基板と、
第１の面で前記素子基板と前記フレキシブル配線基板とを支持する支持部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板は、第１の方向に延びる前記支持部材の一端に沿って屈曲された屈曲部を有し、
前記第１の面に対して垂直な方向から見て、前記屈曲部は、前記第１の方向と直交する第２の方向において前記素子基板の辺と対向する領域を含む開口を有する、液体吐出ヘッド。

【0070】

（構成３）
前記支持部材を支持する筐体と、
前記第２の方向における前記筐体の第１の側面に配置され、前記フレキシブル配線基板と電気接続された電気配線基板と、
を有する、構成１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【0071】

（構成４）
前記素子基板は、前記配線と電気接続するための端子を複数有し、
複数の前記端子は、前記第１の方向と交差する方向に並んで配置されている、構成３に記載の液体吐出ヘッド。

【0072】

（構成５）
前記配線は、
前記端子との接続部分から前記電気配線基板側に延びる第１の配線と、
前記端子との接続部分から前記電気配線基板と反対側に延びてから前記電気配線基板側に延びる第２の配線と、を含む、構成４に記載の液体吐出ヘッド。

【0073】

（構成６）
前記フレキシブル配線基板は、内部に前記素子基板が配置される開口を有する、構成１から構成５のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【0074】

（構成７）
前記屈曲部を、前記第２の方向における前記電気配線基板側に有する、構成３から６のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【0075】

（構成８）
前記屈曲部を、前記第２の方向における前記電気配線基板側と反対側に有する、構成３から７のいずれか１つ３に記載の液体吐出ヘッド。

【0076】

（構成９）
前記屈曲部を、前記第２の方向において前記支持部材を挟んだ両方に有する、構成３から８のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【0077】

（構成１０）
前記素子基板は、前記第１の面と対向する面と反対の面に、前記吐出口と、前記配線と電気接続するための端子と、を有する、構成１から３のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【0078】

（構成１１）
前記フレキシブル配線基板と、前記支持部材の前記第１の面と交差する側面と、の間に樹脂部材を有する、構成１から１０のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【0079】

（構成１２）
複数の前記端子のうちの端に配置された前記端子に対応して配置された、ダミー配線またはグランド配線を有する、構成４に記載の液体吐出ヘッド。

【0080】

（構成１３）
前記フレキシブル配線基板の前記支持部材と反対側の面に配置されたカバー部材をさらに有する、構成１から１２のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【0081】

（構成１４）
前記素子基板は、前記第１の方向に並んで配置された、第１の素子基板と、第２の素子基板と、を有し、前記第１の素子基板と前記第２の素子基板との間を経由するように配置された前記配線を有する、構成１から１３のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【0082】

（構成１５）
前記第１の素子基板は、前記配線と電気接続するための端子が前記第１の方向と交差する方向に複数並んだ端子列を有し、
前記端子列は、前記第２の素子基板と対向しない前記第１の素子基板の辺に沿って配置されている、構成１４に記載の液体吐出ヘッド。

【0083】

（構成１６）
構成１から１５のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッドを備え、前記液体吐出ヘッドが走査運動するように構成された液体吐出装置。

【符号の説明】

【0084】

１ 液体吐出ヘッド
５０ 液体吐出装置
５４ 循環ユニット
１１０ 流路部材
２００ 接続部材
２１０ 電気配線基板
３００ 吐出ユニット
３１０ 吐出素子基板
３２０ 支持部材
３３０ フレキシブル配線基板
３４０ カバー部材
５０２Ａ、５０２Ｂ 屈曲部
５０３ 配線
５０４ 接続端子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】