特開 2025-143148 モータ駆動装置、電源システム、ステージ装置、リソグラフィ装置、及び、物品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025143148

(43)【公開日】2025-10-01

(54)【発明の名称】モータ駆動装置、電源システム、ステージ装置、リソグラフィ装置、及び、物品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H02P 27/00 20060101AFI20250924BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20250924BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20250924BHJP

【ＦＩ】

H02P27/00

G03F7/20 501

G03F7/20 521

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】19

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024042926

(22)【出願日】2024-03-18

(71)【出願人】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100126240

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 琢磨

(74)【代理人】

【識別番号】100223941

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 佳子

(74)【代理人】

【識別番号】100159695

【弁理士】

【氏名又は名称】中辻 七朗

(74)【代理人】

【識別番号】100172476

【弁理士】

【氏名又は名称】冨田 一史

(74)【代理人】

【識別番号】100126974

【弁理士】

【氏名又は名称】大朋 靖尚

(72)【発明者】

【氏名】大石 伸司

【テーマコード（参考）】

2H197

5F131

5H505

【Ｆターム（参考）】

2H197AA06

2H197AA09

2H197BA11

2H197CD12

2H197CD13

2H197CD15

2H197CD36

2H197CD41

2H197CD43

2H197HA03

2H197HA05

2H197HA08

2H197HA10

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA10

5F131BA13

5F131CA62

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA02

5F131EA14

5F131EA22

5H505AA18

5H505BB02

5H505DD20

5H505EE49

5H505FF02

5H505FF04

5H505GG01

5H505HA05

5H505JJ03

5H505JJ17

5H505JJ30

5H505LL01

5H505LL22

5H505LL24

5H505LL25

5H505LL42

(57)【要約】

【課題】 モータの駆動において、従来よりもエネルギー損失が少ないモータ駆動装置を提供する。
【解決手段】 電源から給電され、モータに給電するドライバと、前記ドライバが必要とする電圧値に応じた前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、を有し、前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電源から給電され、モータに給電するドライバと、
前記ドライバが必要とする電圧値に応じた前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、を有し、
前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる、
ことを特徴とするモータ駆動装置。

【請求項2】

前記ドライバは、前記電源からの電圧がパルス幅変調されることにより生成された電流を前記モータに供給することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項3】

前記送信部は、前記モータの動作モードが切り替わる前又は切り替わるときに指令を送信することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項4】

前記モータの駆動に関する情報は、前記モータにより移動する物体の位置と時間とが対応付けられた情報と、速度と、加速度とのうち少なくとも１つの情報である、ことを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項5】

前記送信部は、前記モータの駆動により物体を加速させて移動させる加速区間と、前記モータの駆動により前記物体を減速させて移動させる減速区間とで前記電源に送信する前記指令を変更することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項6】

前記送信部は、外部の情報処理装置から得た前記ドライバが必要とする電圧値に基づいて前記電源に前記指令を送信することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項7】

前記指令は、前記電源が出力する出力電圧値の情報を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項8】

前記送信部は、前記ドライバが必要とする電圧値の最大値をＶｄ＿ｍａｘ、前記電源の出力電圧値をＶｐとしたときに、Ｖｐ≧Ｖｄ＿ｍａｘを満たす前記指令を送信する、ことを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項9】

前記モータに含まれるコイルの両端の電圧と、逆起電圧と、誘導電圧と、に基づいて前記ドライバが必要とする電圧値を計算する計算部を有することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項10】

前記ドライバに給電するキャパシタを有し、
前記送信部は前記キャパシタからの給電に基づいて前記電源に前記指令を送信することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。

【請求項11】

電源から給電され、モータに給電するドライバと、
前記モータの駆動に関する情報と対応付けられた前記電源の電圧値に関する情報に基づいて、前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、
を有することを特徴とするモータ駆動装置。

【請求項12】

前記モータの駆動に関する情報と対応付けられた前記電源の電圧値に関する情報は、前記モータの動作モードと前記電源の出力電圧とが対応付けられた情報であることを特徴とする請求項１１に記載のモータ駆動装置。

【請求項13】

前記モータの駆動に関する情報と対応付けられた前記電源の電圧値に関する情報は、時間と前記電源の出力電圧とが対応付けられた情報であることを特徴とする請求項１１に記載のモータ駆動装置。

【請求項14】

前記指令は、前記電源の最大電圧値を第１電圧値に制限する指令と、前記電源の最大電圧値を前記第１電圧値の半分以下の第２電圧値に制限する指令とを含むことを特徴とする請求項１１に記載のモータ駆動装置。

【請求項15】

前記ドライバは、前記指令に応じた前記電源からの電圧についてパルス幅変調を行い、前記パルス幅変調により生成した電流を前記モータに供給することを特徴とする請求項１４に記載のモータ駆動装置。

【請求項16】

出力電圧が可変である電源と、
前記電源から給電され、モータに給電するドライバと、
前記ドライバが必要とする電圧値に応じて前記電源の前記出力電圧を調整する調整部と、
を有し、
前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる、
ことを特徴とする電源システム。

【請求項17】

基板を保持する保持部と、
前記保持部を移動可能なモータと、
電源から給電され、前記モータに給電するドライバと、
前記ドライバが必要とする電圧値に応じた前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、を有し、
前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる、
ことを特徴とするステージ装置。

【請求項18】

請求項１７に記載のステージ装置と、
前記ステージ装置に保持された基板を照明する照明光学系と、
を有することを特徴とするリソグラフィ装置。

【請求項19】

請求項１８に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程で前記パターンが形成された前記基板から物品を製造する製造工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、モータ駆動装置、電源システム、ステージ装置、リソグラフィ装置、及び、物品の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスや液晶表示デバイスなどの製造工程において、ステージの駆動にモータを用いる。特許文献１にはモータを駆動するモータ駆動装置に対して電源が給電するときに、キャパシタで給電を補助することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２－３６９５７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

一般的に、モータ駆動装置に給電する電源は、モータの最大負荷時の出力に応じた一定の電圧値に基づいて動作する。これにより、モータの負荷が最大ではない場合であっても最大負荷時に応じた高い電圧が印加されるため、不要な発熱が生じてエネルギー損失が生じていた。

【0005】

そこで、本発明は、モータの駆動において、従来よりもエネルギー損失が少ないモータ駆動装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのモータ駆動装置は、電源から給電され、モータに給電するドライバと、前記ドライバが必要とする電圧値に応じた前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、を有し、前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる、ことを特徴とする。

【0007】

本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、従来よりもエネルギー損失が少ないモータ駆動装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１実施形態におけるモータを駆動する機構のブロック図である。

【図2】電流リップルを示す図である。

【図3】第１実施形態における各動作モード（各シーケンス）における加速度プロファイルとドライバが必要とする電圧の例である。

【図4】モータの駆動に関する情報を示す図である。

【図5】第１実施形態におけるモータを駆動するときのフローチャートである。

【図6】第２実施形態における加速度プロファイルとドライバが必要とする電圧の例である。

【図7】第３実施形態における基板処理装置の構成を示す概略図である。

【図8】基板上の各ショット領域の配置の例である。

【図9】第３実施形態における各ステップの動作（動作モード）と電源の出力電圧値Ｖｐとが対応しているテーブルの例である。

【図10】第３実施形態における各ステップにおける時間と電源の出力電圧値Ｖｐとが対応しているテーブルの例である。

【図11】第４実施形態における物品の製造方法のフローチャートを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、各実施形態は任意に組み合わせられてもよい。さらに、図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0011】

また、本明細書および図面では、基本的に、鉛直方向をＺ軸とし、鉛直方向に対し垂直な水平面をＸＹ平面とする、各軸が互いに直交するＸＹＺ座標系によって方向が示されている。ただし、各図面にＸＹＺ座標系を記載している場合はその座標系を優先する。

【0012】

以下、各実施形態において、具体的な構成を説明する。

【0013】

＜第１実施形態＞
図１は、本実施形態におけるモータを駆動する機構のブロック図である。モータ３は、モータ駆動装置１００により駆動する。モータ駆動装置１００は、モータ３に給電するドライバ２と、キャパシタ４と、モータ駆動装置１００の各部を制御する制御部５と、記憶部６と、計算部７と、送信部８と、を有する。ドライバ２は、電源１とキャパシタ４から給電され、最初にキャパシタ４からの給電が行われ、キャパシタ４の給電が開始した後に（キャパシタ４が給電しているときに）、電源１からの給電が行われる。そして、ドライバ２は制御部５により制御され、モータ３の駆動に必要な電流をモータ３に給電する。このようなモータ駆動装置１００は、例えばステージ装置や搬送システム（搬送装置）や搬送ロボットに適用される。なお、図１はモータ駆動装置１００と、電源１と、電源１の出力電圧を調整する調整部１０１と、を含む電源システムのブロック図でもある。

【0014】

ドライバ２は、制御部５によりＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）制御されている。ＰＷＭ制御とは、電源１から出力される＋側電圧と－側電圧のパルス幅を調整（パルス幅変調）して制御する制御方法であり、パルスの時の比率（Ｄｕｔｙ）を変更することでドライバ２の出力を変化させることが可能である。ドライバ２は電源１からの電圧を＋と－でスイッチングし、このスイッチング波形を平滑化することによって供給電流を生成する。このドライバ２で生成された供給電流が、モータ３に流れ、モータ３は駆動する。

【0015】

例えば、＋３００Ｖと－３００Ｖの電圧が出力される電源１から供給される電力によりドライバ２が電流を供給する場合、パルスの時の比率（Ｄｕｔｙ）を５０％にすると＋３００Ｖと－３００Ｖの電圧が互いに打ち消し合う。これにより、ドライバ２から出力される平均電流値は０となる。一方、出力したい平均電流値を出すために必要な電圧が＋２９０Ｖである場合は、＋３００Ｖである時間と－３００Ｖである時間との比を調整することで所望の電圧を得ることができる。具体的には、電源１から供給される＋３００Ｖについて所望の電圧である＋２９０Ｖより過剰な１０Ｖ分を打ち消すように－３００Ｖである時間を調整する。つまり、パルスの時の比率（Ｄｕｔｙ）を調整する。

【0016】

ＰＷＭ制御の場合、ドライバ２による電源１に対するスイッチングの周期（Ｆｐｗｍ）で電流リップルが発生する。図２は、電流リップルΔＩを示す図である。図２（ａ）は、電源１から出力される＋側最大電圧値及び－側最大電圧値が小さい場合の電流リップルΔＩの例である。図２（ｂ）は、電源１から出力される＋側最大電圧値及び－側最大電圧値が大きい場合の電流リップルΔＩの例である。電流リップルΔＩは電源１の電圧値に応じて変化するため、図２（ｂ）のように電源１の電圧値が大きい場合の電流リップルΔＩは、図２（ａ）のように電源１の電圧値が小さい場合の電流リップルΔＩより大きい。

【0017】

図２（ａ）と図２（ｂ）とで、平均電流値Ｉａｖｇ（モータ３の駆動に用いる電流の大きさ）は同じであり、モータ３のトルクは同じとなる。しかし、電流リップルΔＩは熱の発生に起因するＲＭＳ（二乗平均平方根）電流値Ｉｒｍｓを増加させる。つまり、図２（ｂ）のように電源１から出力される電圧値が大きく電流リップルΔＩが大きいと、ＲＭＳ（二乗平均平方根）電流値Ｉｒｍｓが大きくなり、図２（ａ）よりも多くの熱が発生する。この熱は不要な熱であり、電源１からの給電量に対する損失（エネルギー損失）である。さらに、電流リップルΔＩはノイズであり、モータ３により物体を搬送するステージ装置や搬送装置や搬送ロボットにおいて物体の位置決め精度に悪影響を及ぼすこともある。

【0018】

ドライバ２の電流リップルΔＩと電源１の出力電圧値Ｖｐの関係を式（１）に示す。
ΔＩ＝Ｖｐ×Ｄ（１－Ｄ）／（Ｌ×Ｆｐｗｍ）－－－－－－－－－（１）
Ｖｐ：電源１の出力電圧
Ｄ：Ｄｕｔｙ（電源１のオンとオフの比率）
Ｌ：ドライバ２の出力平滑フィルタのインダクタンス
Ｆｐｗｍ：ドライバ２のスイッチングの周期

【0019】

式（１）から明らかなように、電源１の出力電圧値Ｖｐと電流リップルΔＩは比例関係にある。そのため、モータ３の駆動のためにドライバ２が必要とする電圧値が小さいとき（平均電流値Ｉａｖｇが小さいとき）は、電源１の出力電圧値Ｖｐを小さくすることで電流リップルΔＩを低減することができる。従来は、電源１はモータ３の最大負荷時の出力に応じた電圧値で電源１は出力を行っていたため、モータ３の負荷が最大でないときであっても大きな電流リップルΔＩ及び不要な熱を発生させていて、電源１からの給電量に対して損失を生じさせていた。

【0020】

具体的に、基板を露光する露光装置の一部に構成される、基板を保持しつつ搬送するステージ装置を例に説明する。図３は、本実施形態における各動作モード（各シーケンス）における加速度プロファイルとドライバ２が必要とする電圧Ｖｄの例である。露光装置は、動作モードとして、例えば、初期化、停止、アライメント、露光などを含み、これらの動作モードを順次繰り返していく。各動作モードは互いにモータ３の駆動が異なり、露光装置のシーケンス（動作モード）とは、換言すればモータ３の動作モードである。

【0021】

ここで、各動作モードに必要な加速度は互いに異なり、これによりモータ３を駆動するためにドライバ２が必要とする電圧Ｖｄ及び電圧Ｖｄの最大値Ｖｄ＿ｍａｘも各動作モードで互いに異なる。図３の例では、初期化モードでは最大値Ｖｄ＿ｍａｘはＶｄ１であり、停止モードでは最大値Ｖｄ＿ｍａｘはＶｄ２であり、アライメントモードでは最大値Ｖｄ＿ｍａｘはＶｄ３であり、露光モードでは最大値Ｖｄ＿ｍａｘはＶｄ４である。そして、最大値Ｖｄ＿ｍａｘは、Ｖｄ４が最大であり、Ｖｄ４、Ｖｄ３、Ｖｄ１、Ｖｄ２の順に大きい。従来の電源１は、モータ３の最大負荷時（最大値Ｖｄ＿ｍａｘがＶｄ４）の出力に応じた電圧値（Ｖｄ４）で出力を行っていた。これにより、モータ３の負荷が最大でないとき、例えば、初期化モードや停止モードやアライメントモードを実施するときにも、大きな電流リップルΔＩが発生し、これに起因して不要な熱が発生していた。

【0022】

そこで、本実施形態は、モータ３の駆動に関する情報に基づいて、モータ３の駆動のためにドライバ２が必要とする電圧Ｖｄを計算し、計算結果に基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを調整する。図３の例でいえば、各動作モードにおけるドライバ２が必要とする電圧Ｖｄを計算し、計算結果に基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを各動作モードに応じた適切な値に調整する。具体的には、初期化モードを実施する際にはＶｄ１に基づいた出力電圧値Ｖｐで、停止モードを実施する際にはＶｄ２に基づいた出力電圧値Ｖｐで、電源１は出力を行う。そして、アライメントモードを実施する際にはＶｄ３に基づいた出力電圧値Ｖｐで、露光モードを実施する際にはＶｄ４に基づいた出力電圧値Ｖｐで、電源１は出力を行う。

【0023】

例えば、露光モードと停止モードとでドライバ２が必要とする電圧Ｖｄが２倍以上異なることがある。このような場合に、本実施形態では露光モードに際しては電源１の最大電圧値を第１電圧値に制限する、電源１の電圧値に関する指令を送信する。停止モードに際しては電源１の最大電圧値を第１電圧値の半分以下の第２電圧値に制限する、電源１の電圧値に関する指令を送信する。第２電圧値は第１電圧値の半分以下でなくともよく、例えば３分の１以下であってもよい。或いは、１０％以下であってもよい。

【0024】

これにより、必要とする電圧Ｖｄ分だけ電源１から給電されるため不要な電流リップルΔＩの増大及び熱の発生を低減できる。よって、モータ３の駆動において電源１からの給電量に対する損失を低減でき、省電力でモータ３を駆動できる。そして、ノイズである電流リップルΔＩを低減できるため、モータ３により物体を搬送するステージ装置や搬送装置や搬送ロボットにおいて物体の位置決め精度の低下を低減できる。

【0025】

本実施形態では、記憶部６に記憶されているモータ３の駆動に関する情報に基づいて、計算部７がモータ３の駆動のためにドライバ２が必要とする電圧値を計算する。そして、送信部８は、計算部７が計算した電圧値に基づいて、電源１又は調整部１０１に電源１の電圧値に関する指令（指令値、電源１の出力電圧値）を送信する。送信部８が電源１に直接指令を送信する場合は、電源１は送信部８の指令に基づいて出力電圧を調整する。送信部８が調整部１０１に指令を送信する場合は、調整部１０１は送信部８の指令に基づいて電源１の出力電圧を調整する。なお、本実施形態では調整部１０１が電源１とは別である例を示すが、調整部１０１は電源１の内部にあってもよい。

【0026】

ここで、モータ３の駆動に関する情報とは、例えば、モータ３が駆動する量の情報（位置プロファイル）、又は、速度の情報（速度プロファイル）、又は、加速度の情報（加速度プロファイル）である。モータ３が駆動する量の情報とは、例えば、モータ３が駆動することによって移動する物体の、移動における目標位置の情報である。或いは、モータ３が駆動する量の情報は、モータ３が駆動することによって移動する物体の、現在位置と目標位置との間の距離の情報である。或いは、モータ３がリニアモータであり現在位置から目標位置まで駆動する場合に、モータ３が駆動する量の情報とは、リニアモータの可動子が移動する距離の情報である。つまり、モータ３が駆動する量の情報とは、モータ３により移動する物体の位置と時間とが対応付けられた情報である。

【0027】

本実施形態では、計算部７が計算した電圧値に基づいて、電源１の出力電圧値Ｖｐを調整するため、電源１は可変電圧電源である。電源１は、例えば、フライバック式コンバータ回路を含む。

【0028】

図４は、モータ３の駆動に関する情報を示す図である。図４（ａ）は位置プロファイルを、図４（ｂ）は速度プロファイルを、図４（ｃ）は加速度プロファイルを示す図である。計算部７は、記憶部６に記憶されている位置プロファイルを取得し、位置プロファイルを２回微分することで位置プロファイルを加速度プロファイルに変換する。なお、記憶部６に加速度プロファイルが記憶されている場合は、位置プロファイルを取得するのではなく、加速度プロファイルを取得してもよい。或いは、記憶部６に速度プロファイルが記憶されている場合は、位置プロファイルを取得するのではなく、速度プロファイルを取得し、速度プロファイルを１回微分することで速度プロファイルを加速度プロファイルに変換する。

【0029】

ここで、加速度Ａｃｃ（ｔ）は式（２）で表される。
Ａｃｃ（ｔ）＝Ｆ／Ｍ＝（Ｉ（ｔ）×Ｋｆ）／Ｍ－－－－－－－－－（２）
Ｆ＝モータ３で発生させる推力（トルク）
Ｍ：負荷質量（モータ３で駆動させる対象の質量）
Ｉ（ｔ）：電流波形（平均電流値）
Ｋｆ：力定数

【0030】

なお、力定数Ｋｆは供給された電流に対してモータ３が出力する力を示す定数であり、モータ３毎に決まっている。

【0031】

式（２）より、電流波形Ｉ（ｔ）は式（３）となり、式（３）を用いることで電流波形Ｉ（ｔ）を求めることができる。
Ｉ（ｔ）＝（Ａｃｃ（ｔ）×Ｍ）／Ｋｆ－－－－－－－－－（３）

【0032】

計算部７は、コイル抵抗Ｒの両端の電圧Ｖｒ（ｔ）を求める。電圧Ｖｒ（ｔ）は、式（４）から求めることができる。図４（ｄ）は電圧Ｖｒ（ｔ）を示す図である。ここで、コイルは例えばモータ３の固定子又は可動子に含まれるコイルである。
Ｖｒ（ｔ）＝Ｒ×Ｉ（ｔ）－－－－－－－－－（４）
Ｒ：コイル抵抗

【0033】

次に、計算部７は逆起電圧Ｅｂ（ｔ）を求める。逆起電圧Ｅｂ（ｔ）は式（５）から求めることができる。図４（ｅ）は逆起電圧Ｅｂ（ｔ）を示す図である。
Ｅｂ（ｔ）＝Ｖｅｌ（ｔ）×Ｋｆ－－－－－－－－－（５）
Ｖｅｌ（ｔ）：速度（速度プロファイル）

【0034】

次に、計算部７は誘導電圧Ｅｃ（ｔ）を求める。誘導電圧Ｅｃ（ｔ）は式（６）から求めることができる。図４（ｆ）は誘導電圧Ｅｃ（ｔ）を示す図である。
Ｅｃ（ｔ）＝Ｌ・ｄＩ（ｔ）／ｄｔ－－－－－－－－－（６）
Ｌ：モータ３のインダクタンス

【0035】

そして、モータ３の駆動のためにドライバ２が必要とする電圧Ｖｄ（ドライバ２の出力電圧）は式（７）から求めることができる。図４（ｇ）はドライバ２の出力電圧Ｖｄを示す図である。
Ｖｄ（ｔ）＝Ｖｒ（ｔ）＋Ｅｂ（ｔ）＋Ｅｃ（ｔ）－－－－－－－－－（７）

【0036】

式（７）により求めたドライバ２の出力電圧Ｖｄのプロファイルに基づいて、計算部７は、所定区間（例えば、モータ３の所定の動作モード開始から終了までの区間）におけるドライバ２の出力電圧Ｖｄの最大値Ｖｄ＿ｍａｘを計算（算出）する。計算部７による最大値Ｖｄ＿ｍａｘの計算は、例えば、モータ３の駆動開始前に行われる。

【0037】

送信部８は、計算部７が計算した最大値Ｖｄ＿ｍａｘに基づいて、電源１の出力電圧値Ｖｐが式（８）となるように電源１にモータ３が駆動するときの電圧値に関する指令を送信する。
Ｖｐ≧Ｖｄ＿ｍａｘ－－－－－－－－－（８）

【0038】

式（８）を満たす電源１の出力電圧値Ｖｐでない場合、つまり最大値Ｖｄ＿ｍａｘが電源１の出力電圧値Ｖｐより大きい場合には、モータ３の駆動のために必要な電圧が足らず、電圧不足によりドライバ２にてモータ３に所望の電流を流すことができない。それにより、モータ３が駆動する物体を正常に移動させることができない。したがって、モータ３の駆動が正常に行われないために、モータ３を利用して物体を移動させるステージ装置、搬送装置、搬送ロボットハンドなどがエラーにより停止してしまう。そのため、電源１の出力電圧値Ｖｐと最大値Ｖｄ＿ｍａｘの関係は式（８）を満たす必要がある。

【0039】

図５は、本実施形態におけるモータ３を駆動するときのフローチャートである。まず、計算部７がモータ３の駆動に関する情報を取得する（取得工程、Ｓ１１０）。次に、計算部７は取得工程で取得した駆動に関する情報に基づいて、ドライバ２の出力電圧Ｖｄ（最大値Ｖｄ＿ｍａｘ）を計算する（計算工程、Ｓ１２０）。次に、送信部８は計算工程で計算した結果に基づいて、電源１にモータ３が駆動するときの電圧値（電源１の出力電圧値Ｖｐ）に関する指令を送信する（送信工程、Ｓ１３０）。送信工程は、モータ３の動作モードが切り替わる前又は切り替わるときに行われる。なお、送信工程は調整部１０１が計算工程で計算した結果に基づいて電源１の出力電圧値を調整する調整工程であってもよいし、送信工程に調整工程が含まれていてもよい。つまり、調整部１０１による調整も、モータ３の動作モードが切り替わる前又は切り替わるときに行われる。そして、送信工程で送信された指令に基づいて電源１が出力を行い、ドライバ２がモータ３に給電することでモータ３が駆動する（駆動工程、Ｓ１４０）。

【0040】

計算部７による計算は、計算対象の動作モードの１つ前の動作モードを実行しているときに行ってもよい。つまり、アライメントモードにおける最大値Ｖｄ＿ｍａｘの計算は、停止モードを実行しているときに行ってもよい。或いは、複数のモードそれぞれについて事前にそれぞれ最大値Ｖｄ＿ｍａｘを計算してもよい。そして、送信部８は、各動作モードの開始時に電源１の出力電圧値Ｖｐが、計算結果に基づいた値となるよう、電源１又は調整部１０１に指令を送信する。そして、電源１又は調整部１０１は送信部８からの指令に基づいて図３のタイミングＴ１、タイミングＴ２、タイミングＴ３、タイミングＴ４と同時又はそれより前に電源１の出力電圧値Ｖｐを調整する（切り替える）。

【0041】

ここで、本実施形態ではモータ３の駆動のためにドライバ２が必要とする電圧値に基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを設定（指令の送信、調整）する例を示した。しかし、ドライバ２が必要とする電圧値だけでなくキャパシタ４からの給電（給電量）にも基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを設定（指令の送信、調整）してもよい。前述したようにドライバ２は、電源１とキャパシタ４から給電され、最初にキャパシタ４からの給電が行われ、キャパシタ４の給電が開始した後に（キャパシタ４が給電しているときに）、電源１からの給電が行われる。よって、キャパシタ４から給電されているときは電源１からの給電量は少なくて良い。したがって、キャパシタ４からの給電に基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを調整することで、より適切に電源１の出力電圧値Ｖｐを調整することができる。

【0042】

本実施形態では、制御部５と記憶部６と計算部７と送信部８とが別である例を示したが、これらは１つの処理部によって行われてもよい。また、本実施形態では計算部７がモータ駆動装置１００の内部に配置されている例を示したが、外部の情報処理装置により最大値Ｖｄ＿ｍａｘの計算を行ってもよい。そして、モータ駆動装置１００内に制御部５が配置されている例を示したが、モータ駆動装置１００が搭載される装置の制御部がモータ駆動装置１００を併せて制御してもよい。また、本実施形態ではモータ駆動装置１００内に記憶部６が配置されている例を示したが、モータ駆動装置１００は記憶部６を備えなくともよく、記憶部６を備えない場合に計算部７は外部の記憶部や情報処理装置からモータ３の駆動に関する情報を取得する。

【0043】

ここで、本実施形態では送信部８と調整部１０１とがそれぞれ配置される例を示したが、計算部７の計算結果に基づいて送信部８を介さず調整部１０１が電源１の出力電圧を調整してもよい。

【0044】

制御部５（情報処理装置）は、処理部と、バスと、ＲＯＭと、ＲＡＭと、記憶装置と、を含み、各構成要素はプログラムに従って機能する。処理部は、プログラムに従って制御のための演算を行い、バスに接続された各構成要素を制御する処理装置である。この処理部は、ＣＰＵ、又は、ＦＰＧＡなどのＰＬＤ、又は、ＡＳＩＣ、又は、プログラムが組み込まれたコンピュータ、又は、これらの全部または一部の組み合せによって構成されうる。ＲＯＭは、データ読出し専用のメモリであり、プログラムやデータが格納されている。ＲＡＭは、データ読み書き用のメモリであり、プログラムやデータの保存用に用いられる。ＲＡＭは、ＣＰＵの演算の結果等のデータの一時保存用に用いられる。記憶装置も、プログラムやデータの保存用に用いられる。記憶装置は、制御部５のオペレーティングシステム（ＯＳ）のプログラム、およびデータの一時保存領域としても用いられる。記憶装置は、ＲＡＭに比べてデータの入出力は遅いが、大容量のデータを保存することが可能である。記憶装置は、保存するデータを長期間にわたり参照できるように、永続的なデータとして保存できる不揮発性記憶装置であることが望ましい。記憶装置は、主に磁気記憶装置（ＨＤＤ）で構成されるが、ＣＤ、ＤＶＤ、メモリカードといった外部メディアを装填してデータの読み込みや書き込みを行う装置であっても良い。

【0045】

以上のように、本実施形態ではモータ３の駆動に関する情報に基づいて、モータ３の駆動のためにドライバ２が必要とする電圧Ｖｄを計算し、計算結果に基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを調整する。これにより、モータ３の駆動において電源１からの給電量に対する損失（エネルギー損失）を低減でき、省電力でモータ３を駆動できる。そして、ノイズである電流リップルΔＩを低減できるため、モータ３により物体を搬送するステージ装置や搬送装置や搬送ロボットにおいて物体の位置決め精度の低下を低減できる。

【0046】

＜第２実施形態＞
本実施形態は、第１実施形態と電源１の出力電圧値Ｖｐを調整するタイミングが異なる。本実施形態では、加速度プロファイルに基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを調整する。例えば、モータ３がステージ装置の駆動機構である場合に、ステージ装置は加速と定速と減速を繰り返すが、加速状態と定速及び減速状態とではドライバ２の出力電圧Ｖｄが異なる。具体的には、加速状態におけるドライバ２の出力電圧Ｖｄの最大値Ｖｄ＿ｍａｘは、定速及び減速状態におけるドライバ２の出力電圧Ｖｄの最大値Ｖｄ＿ｍａｘより大きい。つまり、加速状態の出力に応じた電圧値で定速及び減速状態の動作を行うと、不要な熱が発生して電源１からの給電量に対して損失が生じていた。

【0047】

図６は、本実施形態における加速度プロファイルとドライバ２が必要とする電圧Ｖｄの例であり、加速と定速・減速とが繰り返し行われる例である。図６の例では、タイミングＴ１からタイミングＴ２の間と、タイミングＴ３からタイミングＴ４の間と、タイミングＴ５からタイミングＴ６の間と、タイミングＴ７からタイミングＴ８の間とが、加速が行われる加速区間である。そして、タイミングＴ２からタイミングＴ３の間と、タイミングＴ４からタイミングＴ５の間と、タイミングＴ６からタイミングＴ７の間と、タイミングＴ８からタイミングＴ９の間とが、定速・減速区間である。ここで、加速区間とは、モータ３の駆動により物体（例えば可動子）を加速させて移動させる区間である。そして、減速区間とは、モータ３の駆動により物体（例えば可動子）を減速させて移動させる区間である。

【0048】

この場合、加速区間では最大値Ｖｄ＿ｍａｘはＶｄ１であり、定速・減速区間では最大値Ｖｄ＿ｍａｘはＶｄ２である。従来の電源１は、モータ３の最大負荷時である加速区間（最大値Ｖｄ＿ｍａｘがＶｄ１）の出力に応じた電圧値（Ｖｄ１）で出力を行っていた。これにより、モータ３の負荷が最大でないときである定速・減速区間では、大きな電流リップルΔＩに起因して不要な熱が発生していた。

【0049】

そこで、本実施形態は、モータ３の駆動に関する情報（加速度プロファイル）に基づいて、モータ３の駆動のためにドライバ２が必要とする電圧Ｖｄを計算し、計算結果に基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを調整する。図６の例でいえば、加速区間と定速・減速区間におけるドライバ２が必要とする電圧Ｖｄを計算し、計算結果に基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを各区間に応じた適切な値に調整する。具体的には、加速区間では電源１の出力電圧値ＶｐはＶｄ１に基づいて式（８）を満たすように調整され、定速・減速区間では電源１の出力電圧値ＶｐはＶｄ２に基づいて式（８）を満たすように調整される。

【0050】

計算部７による計算は、例えば、加速区間と定速・減速区間についてそれぞれモータ３の駆動前に予め行う。そして、送信部８は、各区間の開始時に電源１の出力電圧値Ｖｐが、計算結果に基づいた値となるよう、電源１又は調整部１０１に指令を送信する。この送信は、各区間の開始前又は各区間の開始時に行われる。そして、電源１又は調整部１０１は送信部８からの指令に基づいて図６のタイミングＴ１～タイミングＴ８それぞれと同時又はそれより前に電源１の出力電圧値Ｖｐを調整する（切り替える）。

【0051】

これにより、各区間においてドライバ２が必要とする電圧Ｖｄ分だけ電源１から給電されるため不要な電流リップルΔＩの増大及び熱の発生を低減できる。よって、モータ３の駆動において電源１からの給電量に対する損失を低減でき、省電力でモータ３を駆動できる。そして、ノイズである電流リップルΔＩを低減できるため、モータ３により物体を搬送するステージ装置や搬送装置や搬送ロボットにおいて物体の位置決め精度の低下を低減できる。

【0052】

なお、本実施形態では定速区間と減速区間とを１区間として最大値Ｖｄ＿ｍａｘを求めたが、定速区間と減速区間とを分けてそれぞれの区間について最大値Ｖｄ＿ｍａｘを求め、定速区間と減速区間それぞれに適切な電源１の出力電圧値Ｖｐを調整してもよい。

【0053】

＜第３実施形態＞
本実施形態は、前述の実施形態を基板１１上の各ショット領域を露光する際に適用する。図７は、本実施形態における基板処理装置２００の構成を示す概略図である。基板処理装置２００は、本実施形態では、ステップ・アンド・リピート方式又はステップ・アンド・スキャン方式により原版（マスク、レチクル）のパターンを、投影光学系を介して基板に露光する投影露光装置である。

【0054】

基板処理装置２００は、光を照射する照明光学系２１と、投影光学系２４と、レチクル２２を保持するレチクルステージ２３と、基板１１を保持しつつＸＹ方向に移動可能な基板ステージ（保持部）２５と、制御部２０と、を有する。レチクル２２は、例えば、転写されるべきパターン（例えば回路パターン）がクロムで石英ガラスの表面に形成されている原版である。また、基板１１は、例えば単結晶シリコンであり、基板処理装置２００が露光装置である場合において基板処理装置２００に搬送される基板１１は、表面上に感光材料（レジスト）が塗布されている。

【0055】

基板処理装置２００において、光源（不図示）からの露光光は、照明光学系２１を介して、レチクルステージ２３に保持されたレチクル２２を照明する。レチクル２２を透過した光は、投影光学系２４を介して、基板１１に照射される。この時、レチクル２２に形成されたパターンからの光が基板１１表面に結像し、基板１１（感光材料）がパターン像により露光される。基板処理装置２００はこのように基板１１上のショット領域を露光し、複数のショット領域のそれぞれについて同様に露光を行う。

【0056】

この露光の際には、レチクル２２と基板１１の位置を同期させるよう、制御部２０はモータ３及びモータ駆動装置１００をそれぞれ含む駆動部３ａ及び駆動部３ｂを制御する。駆動部３ａはレチクルステージ２３を移動させ、駆動部３ｂは基板ステージ２５を移動させる。駆動部３ａと駆動部３ｂはそれぞれ電源１から給電されている。

【0057】

図８は基板１１上の各ショット領域の配置の例であり、この例では基板１１上に２１個のショット領域が配置されている。２１個のショット領域は駆動部３ａと駆動部３ｂとの駆動によりレチクルステージ２３と基板ステージ２５とが所望の位置に移動することで順次露光される。例えば、基板ステージ２５がステップ駆動を繰り返すことで各ショット領域は露光される。

【0058】

ここで、各ショット領域を露光する際の駆動部３ａと駆動部３ｂとの軌跡（駆動部の駆動により移動する物体の移動の軌跡）は、ショットレイアウトや露光条件により予め決定されている。本実施形態では、予め決定された軌跡である位置プロファイル（モータ３の駆動に関する情報）を取得し、位置プロファイルに応じて最大値Ｖｄ＿ｍａｘを事前に計算する。そして、計算した最大値Ｖｄ＿ｍａｘに基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐを調整する。

【0059】

図９は、本実施形態における各ステップの動作（モータ３の動作モード）と電源１の出力電圧値Ｖｐとが対応しているテーブルの例である。計算部７は、各ステップにおいてドライバ２が必要とする電圧Ｖｄ（最大値Ｖｄ＿ｍａｘ）を計算する。そして、送信部８は、計算部７が計算した最大値Ｖｄ＿ｍａｘに基づいて電源１の出力電圧値Ｖｐが式（８）となるように、電源１の出力電圧値Ｖｐを各ステップ毎に決定して図９のようなテーブルを作成する。送信部８が作成したテーブルは記憶部６により記憶される。そして、各ショット領域を露光する際には、送信部８は記憶部６に記憶されている図９に示すテーブルに基づいて、電源１又は調整部１０１に指令を送信する。この送信は、各ステップの開始前又は各ステップの開始時に行われる。そして、電源１は送信部８からの指令に基づいた出力電圧値Ｖｐで駆動部３ａと駆動部３ｂに給電を行う。

【0060】

例えば図９に示すテーブルに基づいて１つ目のショット領域を露光するための加速区間においては電源１の出力電圧がＶｐ１＿１となるように、１つ目のショット領域を露光するための定速・減速区間においては電源１の出力電圧がＶｐ１＿２となるようにする。ショット領域を露光するための加速区間とは、例えばショット領域間の移動時であったり、ショット領域を露光する時の走査速度に達するための助走時である。ショット領域を露光するための定速区間とは、例えばショット領域に対する定速の露光時である。ショット領域を露光するための減速区間とは、例えばショット領域間の移動時である。

【0061】

これにより、各ステップにおいてドライバ２が必要とする電圧Ｖｄ分だけ電源１から給電されるため不要な電流リップルΔＩの増大及び熱の発生を低減できる。よって、モータ３の駆動において電源１からの給電量に対する損失を低減でき、省電力でモータ３を駆動できる。そして、ノイズである電流リップルΔＩを低減できるため、レチクルステージ２３や基板ステージ２５の位置決め精度の低下を低減できる。

【0062】

なお、本実施形態では送信部８が図９に示すテーブルを作成する例を示したが、このテーブルは送信部８が作成しなくともよく、例えば制御部５や計算部７が作成してもよい。或いは、別の処理部が作成してもよい。

【0063】

また、図９に示すテーブルは各ステップの動作（モータ３の動作モード）と電源１の出力電圧値Ｖｐとが対応しているが、この例に限定されない。各ショット領域を露光する際の駆動部３ａと駆動部３ｂとの軌跡（駆動部の駆動により移動する物体の移動の軌跡）は、ショットレイアウトや露光条件により予め決定されているため、処理における経過時間とドライバ２が必要とする電圧値とは対応している。よって、図１０に示すような、各ステップにおける時間と電源１の出力電圧値Ｖｐとが対応しているテーブルであってもよい。

【0064】

例えば、図１０に示すテーブルに基づいて、設定時間Ｔ１＿１となったときには電源１の出力電圧がＶｐ１＿１となるように、設定時間Ｔ１＿２となったときには電源１の出力電圧がＶｐ１＿２となるように電源１の出力電圧がＶｐを調整する。図１０のテーブルのように各ステップにおける時間と電源１の出力電圧値Ｖｐとが対応しているテーブルに基づくことで、単純に加速や減速などの動作に応じて出力電圧値Ｖｐを切り替えるのではなく、任意のタイミングで出力電圧値Ｖｐを切り替えることができる。

【0065】

また、本実施形態では図９や図１０に示すようなモータ３の駆動（に関する情報）と対応付けられた電源１の電圧値に関する情報をモータ駆動装置１００内で生成（計算）する例を示したが、この例に限定されない。外部の情報処理装置がモータ３の駆動（に関する情報）と対応付けられた電源１の電圧値に関する情報を生成（計算）し、送信部８は情報処理装置から取得した電源１の電圧値に関する情報に基づいて電源１の電圧値に関する指令を電源１に送信してもよい。

【0066】

本実施形態では、基板処理装置２００が投影露光装置である例を説明したが、基板処理装置２００は、投影露光装置に限定されるものではない。例えば、基板処理装置２００は、電子線やイオンビームなどによって基板に描画を行い、パターンを基板に形成する描画装置であってもよい。また、基板処理装置２００は、他のリソグラフィ装置（基板露光装置）、例えば、基板の上のインプリント材を型により成形してパターンを基板上に形成するインプリント装置であってもよい。あるいは、基板処理装置２００は、イオン打ち込み装置、現像装置、エッチング装置、成膜装置、アニール装置、スパッタリング装置、蒸着装置など、半導体ウエハやガラスプレートなどの基板を処理する他の装置であってもよい。また、基板処理装置２００は、平坦な板を用いて基板上の組成物を平坦化する平坦化装置であってもよい。

【0067】

＜第４実施形態＞
本実施形態は、前述した基板処理装置（リソグラフィ装置）を用いて物品を製造することを特徴とする物品の製造方法に関する。

【0068】

図１１は本実施形態における物品の製造方法のフローチャートを示す図である。前述したリソグラフィ装置を用いてステージ装置に保持された基板を照明して基板にパターンを形成する形成工程（Ｓ２１０）を行う。ステージ装置は、基板を保持する保持部と、保持部を移動可能なモータ３と、電源１から給電され、モータ３に給電するドライバ２と、送信部８と、を有する。送信部８は、モータ３の駆動に関する情報に基づいて得られる、ドライバ２が必要とする電圧値に応じた電源１の電圧値に関する指令を電源１に送信する。そして、形成工程でパターンが形成された基板から物品を製造する製造工程（Ｓ２２０）を行う。

【0069】

この製造方法で製造する物品は、例えば、半導体ＩＣ素子、液晶表示素子、カラーフィルタ、ＭＥＭＳ等である。

【0070】

形成工程は、例えば、感光材料が塗布された基板（シリコンウエハ、ガラスプレート等）を露光装置（リソグラフィ装置）により露光することで基板にパターンを形成する。

【0071】

製造工程は、例えば、パターンが形成された基板（感光材料）の現像、現像された基板に対するエッチング及びレジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングの実施が含まれる。本製造方法によれば、従来よりも高品位の物品を製造することができる。

【0072】

本明細書の開示は、以下のモータ駆動装置、電源システム、ステージ装置、リソグラフィ装置、及び、物品の製造方法を含む。

【0073】

〔項目１〕
電源から給電され、モータに給電するドライバと、
前記ドライバが必要とする電圧値に応じた前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、を有し、
前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる、
ことを特徴とするモータ駆動装置。

【0074】

〔項目２〕
前記ドライバは、前記電源からの電圧がパルス幅変調されることにより生成された電流を前記モータに供給することを特徴とする項目１に記載のモータ駆動装置。

【0075】

〔項目３〕
前記送信部は、前記モータの動作モードが切り替わる前又は切り替わるときに指令を送信することを特徴とする項目１又は２に記載のモータ駆動装置。

【0076】

〔項目４〕
前記モータの駆動に関する情報は、前記モータにより移動する物体の位置と時間とが対応付けられた情報と、速度と、加速度とのうち少なくとも１つの情報である、ことを特徴とする項目１～３のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0077】

〔項目５〕
前記送信部は、前記モータの駆動により物体を加速させて移動させる加速区間と、前記モータの駆動により前記物体を減速させて移動させる減速区間とで前記電源に送信する前記指令を変更することを特徴とする項目１～４のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0078】

〔項目６〕
前記送信部は、外部の情報処理装置から得た前記ドライバが必要とする電圧値に基づいて前記電源に前記指令を送信することを特徴とする項目１～５のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0079】

〔項目７〕
前記指令は、前記電源が出力する出力電圧値の情報を含む、ことを特徴とする項目１～６のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0080】

〔項目８〕
前記送信部は、前記ドライバが必要とする電圧値の最大値をＶｄ＿ｍａｘ、前記電源の出力電圧値をＶｐとしたときに、Ｖｐ≧Ｖｄ＿ｍａｘを満たす前記指令を送信する、ことを特徴とする項目１～７のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0081】

〔項目９〕
前記モータに含まれるコイルの両端の電圧と、逆起電圧と、誘導電圧と、に基づいて前記ドライバが必要とする電圧値を計算する計算部を有することを特徴とする項目１～８のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0082】

〔項目１０〕
前記ドライバに給電するキャパシタを有し、
前記送信部は前記キャパシタからの給電に基づいて前記電源に前記指令を送信することを特徴とする項目１～９のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0083】

〔項目１１〕
電源から給電され、モータに給電するドライバと、
前記モータの駆動に関する情報と対応付けられた前記電源の電圧値に関する情報に基づいて、前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、
を有することを特徴とするモータ駆動装置。

【0084】

〔項目１２〕
前記モータの駆動に関する情報と対応付けられた前記電源の電圧値に関する情報は、前記モータの動作モードと前記電源の出力電圧とが対応付けられた情報であることを特徴とする項目１１に記載のモータ駆動装置。

【0085】

〔項目１３〕
前記モータの駆動に関する情報と対応付けられた前記電源の電圧値に関する情報は、時間と前記電源の出力電圧とが対応付けられた情報であることを特徴とする項目１１に記載のモータ駆動装置。

【0086】

〔項目１４〕
前記指令は、前記電源の最大電圧値を第１電圧値に制限する指令と、前記電源の最大電圧値を前記第１電圧値の半分以下の第２電圧値に制限する指令とを含むことを特徴とする項目１１～１３のうちいずれか１項に記載のモータ駆動装置。

【0087】

〔項目１５〕
前記ドライバは、前記指令に応じた前記電源からの電圧についてパルス幅変調を行い、前記パルス幅変調により生成した電流を前記モータに供給することを特徴とする項目１４に記載のモータ駆動装置。

【0088】

〔項目１６〕
出力電圧が可変である電源と、
前記電源から給電され、モータに給電するドライバと、
前記ドライバが必要とする電圧値に応じて前記電源の前記出力電圧を調整する調整部と、
を有し、
前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる、
ことを特徴とする電源システム。

【0089】

〔項目１７〕
基板を保持する保持部と、
前記保持部を移動可能なモータと、
電源から給電され、前記モータに給電するドライバと、
前記ドライバが必要とする電圧値に応じた前記電源の電圧値に関する指令を前記電源に送信する送信部と、を有し、
前記ドライバが必要とする電圧値は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて得られる、
ことを特徴とするステージ装置。

【0090】

〔項目１８〕
項目１７に記載のステージ装置と、
前記ステージ装置に保持された基板を照明する照明光学系と、
を有することを特徴とするリソグラフィ装置。

【0091】

〔項目１９〕
項目１８に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程で前記パターンが形成された前記基板から物品を製造する製造工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。

【0092】

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】