特開 2025-14359 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025014359

(43)【公開日】2025-01-30

(54)【発明の名称】産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20250123BHJP

   B25J 9/10 20060101ALI20250123BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 F

B25J9/10 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023116853

(22)【出願日】2023-07-18

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】戸崎 康一

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707CT02

3C707CT04

3C707HS27

3C707KS21

3C707KX10

3C707LT11

3C707NS13

5F131AA02

5F131CA18

5F131CA32

5F131CA33

5F131CA43

5F131DB03

5F131DB52

5F131DB58

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5F131DD57

5F131DD63

5F131DD76

5F131KA12

5F131KA15

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5F131KA47

5F131KA52

5F131KA72

5F131KB12

5F131KB53

5F131KB54

5F131KB55

5F131KB56

5F131KB58

(57)【要約】

【課題】搬出部から搬入部に搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、機械的な制約によって搬出部および搬入部のいずれか一方で産業用ロボットのハンドの位置および向きを適切に補正することができなくても、搬出部から搬入部に搬送対象物を適切に搬送することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１の制御部には、搬出部５で正規の位置に配置される搬送対象物２の、設計上の位置からのずれに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正するための搬出側補正値と、搬入部４で正規の位置に配置される搬送対象物２の、設計上の位置からのずれに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正するための搬入側補正値とが予め記憶されている。産業用ロボット１は、搬出部５ではハンド７、８の位置および向きを補正せずに、搬入部４において搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が配置可能な搬出部から前記搬送対象物が配置可能な搬入部に前記搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームが回動可能に連結される本体部と、水平方向への直線的な移動が可能となるように前記本体部を保持する本体保持部と、前記本体保持部に対して前記本体部を移動させる水平移動機構と、上下方向を回動の軸方向として前記本体部に対して前記アームを回動させるとともに一定方向を向いた状態の前記ハンドを前記本体部に対して水平方向に直線的に移動させるハンド駆動機構と、前記産業用ロボットを制御するための制御部とを備え、
前記制御部には、前記搬出部において正規の位置に配置される前記搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいて前記ハンドの位置および向きを補正するための搬出側補正値と、前記搬入部において正規の位置に配置される前記搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいて前記ハンドの位置および向きを補正するための搬入側補正値とが予め記憶され、
前記本体保持部に対する前記本体部の移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記ハンドは、設計上、前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方に対して前記第１方向に直線的に移動するとともに、前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方に対して前記第２方向に直線的に移動し、
前記制御部は、前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方では、前記ハンドの位置および向きを補正せず、前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方では、前記搬出側補正値および前記搬入側補正値に基づいて前記ハンドの位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

水平多関節型のロボットであり、
前記ハンドは、前記アームに回動可能に連結され、
前記ハンド駆動機構は、上下方向を回動の軸方向として前記本体部に対して前記アームを回動させるとともに前記ハンドが一定方向を向いた状態で前記本体部に対して水平方向に直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構であることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記ハンドとしての第１ハンドおよび第２ハンドを備え、
前記第１ハンドは、前記第２ハンドよりも下側に配置され、
前記アームは、前記第１ハンドが先端側に回動可能に連結される第１先端側アーム部と、前記第２ハンドが先端側に回動可能に連結される第２先端側アーム部と、前記第１先端側アーム部の基端側および前記第２先端側アーム部の基端側が回動可能に連結される共通アーム部とを備えることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

上下方向で重なっていない状態の２個の前記搬送対象物を前記搬出部から前記搬入部に一緒に搬送し、
前記搬出部および前記搬入部には、上下方向で重なっていない状態の２個の前記搬送対象物が配置可能になっており、
前記ハンドは、１個の前記搬送対象物が搭載される第１搭載部と、１個の前記搬送対象物が搭載される第２搭載部とを備え、
前記ハンドには、上下方向で重なっていない状態の２個の前記搬送対象物が搭載されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【請求項5】

前記第１搭載部に搭載される前記搬送対象物を第１搬送対象物とし、前記第２搭載部に搭載される前記搬送対象物を第２搬送対象物とし、前記搬出部の、前記第１搬送対象物が配置される位置を搬出側第１配置位置とし、前記搬出部の、前記第２搬送対象物が配置される位置を搬出側第２配置位置とし、前記搬入部の、前記第１搬送対象物が配置される位置を搬入側第１配置位置とし、前記搬入部の、前記第２搬送対象物が配置される位置を搬入側第２配置位置とし、上下方向から見たときに、前記搬出側第１配置位置の正規の位置に配置される前記第１搬送対象物の中心と前記搬出側第２配置位置の正規の位置に配置される前記第２搬送対象物の中心とを結ぶ線分を第１線分とし、上下方向から見たときに、前記搬入側第１配置位置の正規の位置に配置される前記第１搬送対象物の中心と前記搬入側第２配置位置の正規の位置に配置される前記第２搬送対象物の中心とを結ぶ線分を第２線分とすると、
前記搬出側補正値には、前記第１線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの前記第１線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれ、
前記搬入側補正値には、前記第２線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの前記第２線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれていることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。

【請求項6】

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームが回動可能に連結される本体部と、水平方向への直線的な移動が可能となるように前記本体部を保持する本体保持部と、前記本体保持部に対して前記本体部を移動させる水平移動機構と、上下方向を回動の軸方向として前記本体部に対して前記アームを回動させるとともに一定方向を向いた状態の前記ハンドを前記本体部に対して水平方向に直線的に移動させるハンド駆動機構とを備え、前記搬送対象物が配置可能な搬出部から前記搬送対象物が配置可能な搬入部に前記搬送対象物を搬送し、
前記本体保持部に対する前記本体部の移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記ハンドは、設計上、前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方に対して前記第１方向に直線的に移動するとともに、前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方に対して前記第２方向に直線的に移動する産業用ロボットの制御方法であって、
前記搬出部において正規の位置に配置される前記搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいて前記ハンドの位置および向きを補正するための搬出側補正値と、前記搬入部において正規の位置に配置される前記搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいて前記ハンドの位置および向きを補正するための搬入側補正値とが予め記憶され、
前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方では、前記ハンドの位置および向きを補正せず、
前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方では、前記搬出側補正値および前記搬入側補正値に基づいて前記ハンドの位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボットの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。また、本発明は、かかる産業用ロボットを制御するための産業用ロボットの制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送するための産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、本体部を水平方向に直線的に移動させるＸ軸テーブルとを備えている。この産業用ロボットは、ロードポートに設置されるウエハ収納容器とウエハ処理装置との間で半導体ウエハを１枚ずつ搬送する。

【0003】

特許文献１に記載の産業用ロボットが組み込まれる半導体製造システムでは、たとえば、ウエハ収納容器やウエハ処理装置を構成する部品のばらつき等の影響で、産業用ロボットによってウエハ収納容器やウエハ処理装置に搬入されて正規の位置に配置される半導体ウエハの位置が設計上の位置からずれることがある。そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットが組み込まれる半導体製造システムでは、センサ治具と遮光治具とを用いて、ウエハ収納容器やウエハ処理装置においてハンドの位置および向きを補正するための補正値を予め算出し、半導体ウエハを搬送するときにこの補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２００９／１４５０８２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本願発明者は、特許文献１に記載の産業用ロボットのように、半導体ウエハ等の搬送対象物を所定の搬出部から所定の搬入部に搬送する産業用ロボットを開発している。この産業用ロボットが組み込まれる製造システムでは、特許文献１に記載の産業用ロボットが組み込まれる半導体製造システムと同様に、搬出部においてハンドの位置および向きを補正するための補正値を予め算出し、搬出部から搬送対象物を搬出するときにこの補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正するとともに、搬入部においてハンドの位置および向きを補正するための補正値を予め算出し、搬入部に搬送対象物を搬入するときにこの補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正することが好ましい。

【0006】

しかしながら、たとえば、搬出部または搬入部の設置位置や、搬出部または搬入部の構造や、産業用ロボットの構造等に起因する機械的な制約によって、搬出部および搬入部のいずれか一方において産業用ロボットのハンドの位置および向きを適切に補正できない場合も生じうる。この場合には、搬出部から搬入部に搬送対象物を適切に搬送することが困難になるおそれがある。

【0007】

そこで、本発明の課題は、搬出部から搬入部に搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、機械的な制約によって搬出部および搬入部のいずれか一方で産業用ロボットのハンドの位置および向きを適切に補正することができなくても、搬出部から搬入部に搬送対象物を適切に搬送することが可能な産業用ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、搬出部から搬入部に搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、機械的な制約によって搬出部および搬入部のいずれか一方で産業用ロボットのハンドの位置および向きを適切に補正することができなくても、搬出部から搬入部に搬送対象物を適切に搬送することが可能となる産業用ロボットの制御方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が配置可能な搬出部から搬送対象物が配置可能な搬入部に搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部と、水平方向への直線的な移動が可能となるように本体部を保持する本体保持部と、本体保持部に対して本体部を移動させる水平移動機構と、上下方向を回動の軸方向として本体部に対してアームを回動させるとともに一定方向を向いた状態のハンドを本体部に対して水平方向に直線的に移動させるハンド駆動機構と、産業用ロボットを制御するための制御部とを備え、制御部には、搬出部において正規の位置に配置される搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいてハンドの位置および向きを補正するための搬出側補正値と、搬入部において正規の位置に配置される搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいてハンドの位置および向きを補正するための搬入側補正値とが予め記憶され、本体保持部に対する本体部の移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、ハンドは、設計上、搬出部および搬入部のいずれか一方に対して第１方向に直線的に移動するとともに、搬出部および搬入部のいずれか他方に対して第２方向に直線的に移動し、制御部は、搬出部および搬入部のいずれか一方では、ハンドの位置および向きを補正せず、搬出部および搬入部のいずれか他方では、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正することを特徴とする。

【0009】

また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの制御方法は、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部と、水平方向への直線的な移動が可能となるように本体部を保持する本体保持部と、本体保持部に対して本体部を移動させる水平移動機構と、上下方向を回動の軸方向として本体部に対してアームを回動させるとともに一定方向を向いた状態のハンドを本体部に対して水平方向に直線的に移動させるハンド駆動機構とを備え、搬送対象物が配置可能な搬出部から搬送対象物が配置可能な搬入部に搬送対象物を搬送し、本体保持部に対する本体部の移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、ハンドは、設計上、搬出部および搬入部のいずれか一方に対して第１方向に直線的に移動するとともに、搬出部および搬入部のいずれか他方に対して第２方向に直線的に移動する産業用ロボットの制御方法であって、搬出部において正規の位置に配置される搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいてハンドの位置および向きを補正するための搬出側補正値と、搬入部において正規の位置に配置される搬送対象物の、設計上の位置からのずれに基づいてハンドの位置および向きを補正するための搬入側補正値とが予め記憶され、搬出部および搬入部のいずれか一方では、ハンドの位置および向きを補正せず、搬出部および搬入部のいずれか他方では、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正することを特徴とする。

【0010】

本発明では、搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置および向きを補正せずに、搬出部および搬入部のいずれか他方において搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正している。そのため、本発明では、たとえば、搬出部または搬入部の設置位置や、搬出部または搬入部の構造や、産業用ロボットの構造等に起因する機械的な制約によって、搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置および向きを適切に補正することができなくても、搬出部および搬入部のいずれか他方においてハンドの位置および向きを適切に補正することが可能になる。したがって、本発明では、機械的な制約によって搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置および向きを適切に補正することができなくても、搬出部から搬入部に搬送対象物を適切に搬送することが可能になる。

【0011】

本発明において、たとえば、産業用ロボットは、水平多関節型のロボットであり、ハンドは、アームに回動可能に連結され、ハンド駆動機構は、上下方向を回動の軸方向として本体部に対してアームを回動させるとともにハンドが一定方向を向いた状態で本体部に対して水平方向に直線的に移動するようにアームを伸縮させるアーム駆動機構である。

【0012】

本発明において、たとえば、産業用ロボットは、ハンドとしての第１ハンドおよび第２ハンドを備え、第１ハンドは、第２ハンドよりも下側に配置され、アームは、第１ハンドが先端側に回動可能に連結される第１先端側アーム部と、第２ハンドが先端側に回動可能に連結される第２先端側アーム部と、第１先端側アーム部の基端側および第２先端側アーム部の基端側が回動可能に連結される共通アーム部とを備えている。

【0013】

本発明において、たとえば、産業用ロボットは、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物を搬出部から搬入部に一緒に搬送し、搬出部および搬入部には、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が配置可能になっており、ハンドは、１個の搬送対象物が搭載される第１搭載部と、１個の搬送対象物が搭載される第２搭載部とを備え、ハンドには、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が搭載されている。

【0014】

本発明では、本体保持部に対する本体部の移動方向が第１方向となっており、設計上、ハンドが搬出部および搬入部のいずれか一方に対して第１方向に直線的に移動するため、産業用ロボットが上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物を搬出部から搬入部に一緒に搬送する場合には、産業用ロボットの構造等に起因する機械的な制約によって、搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置および向きを適切に補正することはできないが、この場合であっても、本発明では、搬出部および搬入部のいずれか他方においてハンドの位置および向きを適切に補正することが可能になる。

【0015】

本発明において、第１搭載部に搭載される搬送対象物を第１搬送対象物とし、第２搭載部に搭載される搬送対象物を第２搬送対象物とし、搬出部の、第１搬送対象物が配置される位置を搬出側第１配置位置とし、搬出部の、第２搬送対象物が配置される位置を搬出側第２配置位置とし、搬入部の、第１搬送対象物が配置される位置を搬入側第１配置位置とし、搬入部の、第２搬送対象物が配置される位置を搬入側第２配置位置とし、上下方向から見たときに、搬出側第１配置位置の正規の位置に配置される第１搬送対象物の中心と搬出側第２配置位置の正規の位置に配置される第２搬送対象物の中心とを結ぶ線分を第１線分とし、上下方向から見たときに、搬入側第１配置位置の正規の位置に配置される第１搬送対象物の中心と搬入側第２配置位置の正規の位置に配置される第２搬送対象物の中心とを結ぶ線分を第２線分とすると、搬出側補正値には、第１線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第１線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれ、搬入側補正値には、第２線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第２線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれていることが好ましい。

【0016】

このように構成すると、第１線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第１線分の、設計上の位置からの傾きと、第２線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第２線分の、設計上の位置からの傾きとに基づいて、搬出部および搬入部のいずれか他方においてハンドの位置や向きを補正することが可能になる。

【0017】

したがって、搬出部や搬送部を構成する部品のばらつき等の影響で、搬出部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチと、搬入部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチとが異なっている場合に、たとえば、搬出部から搬入部まで搬送されて搬入部に配置された第１搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量と、搬出部から搬入部まで搬送されて搬入部に配置された第２搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量とを等しくすることが可能になる。

【0018】

その結果、搬出部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチと、搬入部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチとが異なっている場合に、たとえば、搬入部に配置された第１搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量、および、搬入部に配置された第２搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量の両方のずれ量を小さくすることが可能になる。

【0019】

また、このように構成すると、搬出側補正値に、上下方向から見たときの第１線分の、設計上の位置からの傾きが含まれ、搬入側補正値に、上下方向から見たときの第２線分の、設計上の位置からの傾きが含まれているため、上下方向から見たときの第１線分の、設計上の位置からの傾きと、上下方向から見たときの第２線分の、設計上の位置からの傾きとに基づいて、搬出部および搬入部のいずれか他方においてハンドの向きを適切に補正することが可能になる。したがって、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物を一緒に搬送しても、ハンドの向きを適切に補正することが可能になる。

【発明の効果】

【0020】

以上のように、本発明では、搬出部から搬入部に搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、機械的な制約によって搬出部および搬入部のいずれか一方で産業用ロボットのハンドの位置および向きを適切に補正することができなくても、搬出部から搬入部に搬送対象物を適切に搬送することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の実施の形態に係る産業用ロボットの構成を説明するための平面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するための側面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。

【図4】図１に示すハンドの位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明するための図である。

【図5】図１に示すハンドの位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明するための図である。

【図6】図１に示すハンドの補正値を算出するときに実行される第１検知ステップを説明するための図である。

【図7】図１に示す産業用ロボットの制御方法を説明するための図である。

【図8】図１に示す産業用ロボットの制御方法を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0023】

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態に係る産業用ロボット１の構成を説明するための平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するための側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。

【0024】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するためのロボットである。具体的には、ロボット１は、水平多関節型のロボットである。ウエハ２は、薄い円板状に形成されている。ロボット１は、半導体製造システム３に組み込まれて使用される。半導体製造システム３は、ウエハ２に対して所定の処理を行う複数のウエハ処理装置４と、処理前または処理後のウエハ２が一時的に収容されるウエハ収容部（バッファ）５とを備えている。図１では、２個のウエハ処理装置４が図示されている。

【0025】

ロボット１は、ウエハ収容部５とウエハ処理装置４との間でウエハ２を搬送する。本形態では、ロボット１は、ウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を搬送する。ウエハ収容部５には、ウエハ処理装置４で処理される前のウエハ２が収容されている。ウエハ処理装置４およびウエハ収容部５には、上下方向（鉛直方向）で重なっていない状態の２枚（２個）のウエハ２が配置可能になっている。すなわち、ウエハ処理装置４およびウエハ収容部５には、水平方向で隣り合う２枚のウエハ２が配置可能になっている。ウエハ収容部５およびウエハ処理装置４は、たとえば、ウエハ２を下側から支持する複数の支持ピンを備えており、ウエハ２は、複数の支持ピンに載置される。本形態のウエハ収容部５は、ウエハ２が搬出される搬出部であり、ウエハ処理装置４は、ウエハ２が搬入される搬入部である。

【0026】

ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド７、８と、ハンド７、８が連結されるアーム９と、アーム９が連結される本体部１０と、水平方向への直線的な移動が可能となるように本体部１０を保持する本体保持部１１と、ロボット１を制御するための制御部１２とを備えている。本形態のロボット１は、２個のハンド７、８を備えている。ハンド７、８は、アーム９に回動可能に連結されており、上下方向を回動の軸方向としてアーム９に対して回動可能となっている。アーム９は、本体部１０に回動可能に連結されており、上下方向を回動の軸方向として本体部１０に対して回動可能となっている。本形態のハンド７は第１ハンドであり、ハンド８は第２ハンドである。なお、図２では、本体保持部１１の図示を省略している。

【0027】

アーム９は、ハンド７が回動可能に連結される先端側アーム部１５と、ハンド８が回動可能に連結される先端側アーム部１６と、先端側アーム部１５、１６が回動可能に連結されるとともに本体部１０に回動可能に連結される共通アーム部１７とを備えている。本形態のアーム９は、先端側アーム部１５、１６と共通アーム部１７とによって構成されている。先端側アーム部１５、１６は、上下方向を回動の軸方向として共通アーム部１７に対して回動可能となっている。本形態の先端側アーム部１５は第１先端側アーム部であり、先端側アーム部１６は第２先端側アーム部である。

【0028】

先端側アーム部１５、１６は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状をなすとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。共通アーム部１７は、上下方向から見たときの形状が二等辺三角形状をなすとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。共通アーム部１７は、本体部１０よりも上側に配置されている。先端側アーム部１５、１６は、共通アーム部１７よりも上側に配置されている。先端側アーム部１６は、先端側アーム部１５よりも上側に配置されている。ハンド７は、先端側アーム部１５の先端側に回動可能に連結されている。ハンド８は、先端側アーム部１６の先端側に回動可能に連結されている。

【0029】

先端側アーム部１５、１６の基端側は、共通アーム部１７に回動可能に連結されている。具体的には、先端側アーム部１５の基端側は、上下方向から見たときの形状が二等辺三角形状をなす共通アーム部１７の、一方の斜辺と底辺とが交わる角部の近傍に回動可能に連結され、先端側アーム部１６の基端側は、共通アーム部１７の、他方の斜辺と底辺とが交わる角部の近傍に回動可能に連結されている。共通アーム部１７は、本体部１０に回動可能に連結されている。具体的には、二等辺三角形状をなす共通アーム部１７の、２個の斜辺が交わる角部を頂角部とすると、上下方向から見たときに、共通アーム部１７の、中心部よりも若干頂角部に近い部分が本体部１０に回動可能に連結されている。

【0030】

ハンド７は、ハンド８よりも下側に配置されている。先端側アーム部１５は、ハンド７よりも下側に配置されている。先端側アーム部１６は、ハンド８よりも上側に配置されている。ハンド７、８には、上下方向で重なっていない状態の２枚のウエハ２が搭載される。ロボット１は、上下方向で重なっていない状態の２枚のウエハ２をウエハ収容部５からウエハ処理装置４に一緒に（同時に）搬送する。

【0031】

ハンド７、８は、１枚のウエハ２が搭載される搭載部２０と、１枚のウエハ２が搭載される搭載部２１と、搭載部２０の基端と搭載部２１の基端とが固定されるハンド基部２２とを備えている。本形態のハンド７、８は、搭載部２０、２１とハンド基部２２とによって構成されている。ハンド基部２２は、上下方向から見たときの形状が略二等辺三角形状をなすとともに上下方向の厚さが薄いブロック状に形成されている。ハンド基部２２は、先端側アーム部１５、１６の先端側に回動可能に連結されている。本形態の搭載部２０は第１搭載部であり、搭載部２１は第２搭載部である。

【0032】

搭載部２０、２１は、薄板状の部材である。ウエハ２は、搭載部２０、２１の先端側に搭載される。搭載部２０、２１の先端側は、略Ｅ形状に形成されている。搭載部２０、２１の先端側の中心部には、搭載部２０、２１に搭載されたウエハ２を吸着するためのウエハ吸着部２３が設置されている。搭載部２０と搭載部２１とは、水平方向に間隔をあけた状態で配置されている。また、搭載部２０と搭載部２１とは、ハンド７、８の長手方向（基端から先端に向かう方向）に直交する方向におけるハンド基部２２の中心線に対して対称に配置されている。

【0033】

本形態では、本体部１０に対する共通アーム部１７の回動中心と共通アーム部１７に対する先端側アーム部１５の回動中心との水平方向の距離と、本体部１０に対する共通アーム部１７の回動中心と共通アーム部１７に対する先端側アーム部１６の回動中心との水平方向の距離と、共通アーム部１７に対する先端側アーム部１５の回動中心と先端側アーム部１５に対するハンド７の回動中心との水平方向の距離と、共通アーム部１７に対する先端側アーム部１６の回動中心と先端側アーム部１６に対するハンド８の回動中心との水平方向の距離とが等しくなっている。

【0034】

本体部１０は、筐体２５と、筐体２５に対して昇降可能な昇降体２６とを備えている。共通アーム部１７は、昇降体２６の上端部に回動可能に連結されている。上述のように、本体部１０は、本体保持部１１に対して水平方向に直線的に移動可能となっている。本体保持部１１は、本体部１０の移動方向に細長いブロック状に形成されている。以下の説明では、本体保持部１１に対する本体部１０の移動方向（図１等のＸ方向）を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図１等のＹ方向を「前後方向」とする。本形態の左右方向（Ｘ方向）は第１方向であり、前後方向（Ｙ方向）は第２方向である。

【0035】

本体保持部１１は、本体部１０の後ろ側に配置されている。ウエハ収容部５は、本体部１０および本体保持部１１よりも左側に配置されている。２個のウエハ処理装置４は、本体部１０および本体保持部１１よりも前側に配置されている。２個のウエハ処理装置４は、左右方向で隣接している。ウエハ収容部５に配置される２枚のウエハ２は、前後方向で隣接し、ウエハ処理装置４に配置される２枚のウエハ２は、左右方向で隣接している。

【0036】

ロボット１は、上下方向を回動の軸方向として共通アーム部１７に対して先端側アーム部１５を回動させるとともに先端側アーム部１５に対してハンド７を回動させる先端側アーム部駆動機構２８と、上下方向を回動の軸方向として共通アーム部１７に対して先端側アーム部１６を回動させるとともに先端側アーム部１６に対してハンド８を回動させる先端側アーム部駆動機構２９と、上下方向を回動の軸方向として本体部１０に対して共通アーム部１７を回動させる共通アーム部駆動機構３０と、筐体２５に対して昇降体２６を昇降させる昇降機構３１と、本体保持部１１に対して本体部１０を左右方向に移動させる水平移動機構３２とを備えている。

【0037】

先端側アーム部駆動機構２８は、モータ３３と、モータ３３の動力を先端側アーム部１５およびハンド７に伝達するための動力伝達機構と、モータ３３の回転位置を検知するためのエンコーダ３８とを備えている。先端側アーム部駆動機構２９は、モータ３４と、モータ３４の動力を先端側アーム部１６およびハンド８に伝達するための動力伝達機構と、モータ３４の回転位置を検知するためのエンコーダ３９とを備えている。共通アーム部駆動機構３０は、モータ３５と、モータ３５の動力を共通アーム部１７に伝達するための動力伝達機構と、モータ３５の回転位置を検知するためのエンコーダ４０とを備えている。

【0038】

昇降機構３１は、モータ３６と、モータ３６の動力を昇降体２６に伝達するための動力伝達機構と、モータ３６の回転位置を検知するためのエンコーダ４１とを備えている。水平移動機構３２は、モータ３７と、モータ３７の動力を本体部１０に伝達するための動力伝達機構と、モータ３７の回転位置を検知するためのエンコーダ４２とを備えている。モータ３３～３７およびエンコーダ３８～４２は、制御部１２に電気的に接続されている。

【0039】

アーム９は、本体部１０と共通アーム部１７との連結部である関節部からハンド７、８の先端が離れるように伸びる位置と、ハンド７、８の先端がこの関節部に近づくように縮む位置との間で本体部１０に対して伸縮可能となっている。本形態では、アーム９の、先端側アーム部１５側の部分が伸縮するときには、アーム９の、先端側アーム部１６側の部分は縮んだ状態で停止している。また、アーム９の、先端側アーム部１６側の部分が伸縮するときには、アーム９の、先端側アーム部１５側の部分は縮んだ状態で停止している（図１の二点鎖線参照）。

【0040】

本体部１０に対してアーム９が伸縮するときには、設計上、ハンド７、８は、本体部１０に対して一定方向を向いた状態で水平方向に直線的に移動する。本形態では、先端側アーム部駆動機構２８と先端側アーム部駆動機構２９と共通アーム部駆動機構３０とによって、上下方向を回動の軸方向として本体部１０に対してアーム９を回動させるとともにハンド７、８が一定方向を向いた状態で本体部１０に対して水平方向に直線的に移動するようにアーム９を伸縮させるアーム駆動機構４６が構成されている。また、本形態のアーム駆動機構４６は、上下方向を回動の軸方向として本体部１０に対してアーム９を回動させるとともに一定方向を向いた状態のハンド７、８を本体部１０に対して水平方向に直線的に移動させるハンド駆動機構となっている。

【0041】

ハンド７がウエハ収容部５からウエハ２を搬出するときには、ハンド７は、設計上、ウエハ収容部５に対して左右方向に直線的に移動する。同様に、ハンド８がウエハ収容部５からウエハ２を搬出するときには、ハンド８は、設計上、ウエハ収容部５に対して左右方向に直線的に移動する。ハンド７がウエハ処理装置４にウエハ２を搬入するときには、ハンド７は、設計上、ウエハ処理装置４に対して前後方向に直線的に移動する。同様に、ハンド８がウエハ処理装置４からウエハ２を搬出するときには、ハンド８は、設計上、ウエハ処理装置４に対して前後方向に直線的に移動する。

【0042】

（産業用ロボットの補正値算出方法）
図４、図５は、図１に示すハンド７、８の位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明するための図である。図６は、図１に示すハンド７、８の補正値を算出するときに実行される第１検知ステップを説明するための図である。

【0043】

半導体製造システム３では、たとえば、ウエハ収容部５を構成する部品のばらつきやウエハ収容部５の組立誤差等の影響で、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置からずれることがある。たとえば、図４（Ａ）の二点鎖線で示す位置が、ウエハ収容部５に配置されるウエハ２の設計上の位置であるのに対して、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が図４（Ａ）の実線で示す位置になることがある。

【0044】

同様に、たとえば、ウエハ処理装置４を構成する部品のばらつき等の影響で、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置からずれることがある。たとえば、図５（Ａ）の二点鎖線で示す位置が、ウエハ処理装置４に配置されるウエハ２の設計上の位置であるのに対して、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が図５（Ａ）の実線で示す位置になることがある。

【0045】

本形態では、ウエハ処理装置４においてハンド７、８の位置および向きを補正するための補正値が予め算出されて制御部１２に記憶されている。具体的には、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の、設計上の位置からのずれに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正するための搬出側補正値と、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の、設計上の位置からのずれに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正するための搬入側補正値とが予め算出されて制御部１２に記憶されている。

【0046】

また、本形態では、制御部１２に記憶される搬出側補正値と搬入側補正値とに基づいて、ロボット１がウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を搬送するときに、ハンド７、８の位置および向きが補正される。制御部１２は、搬出側補正値および搬入側補正値を算出する補正値算出部４９と、搬出側補正値および搬入側補正値を記憶する補正値記憶部５０とを備えている（図３参照）。

【0047】

以下、搬出側補正値および搬入側補正値の算出方法を説明する。なお、ハンド７の位置および向きを補正するための補正値の算出方法とハンド８の位置および向きを補正するための補正値の算出方法とは同じであるため、以下では、ハンド７の位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明する。また、図４～図６等では、説明の便宜上、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置を設計上の位置から大きくずらすとともに、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置を設計上の位置から大きくずらしているが、実際には、ウエハ２の位置がこれほど大きくずれることはない。

【0048】

以下の説明では、搭載部２０に搭載されるウエハ２と搭載部２１に搭載されるウエハ２とを区別して表す場合には、搭載部２０に搭載されるウエハ２を「ウエハ２Ａ」とし、搭載部２１に搭載されるウエハ２を「ウエハ２Ｂ」とする。本形態のウエハ２Ａは第１搬送対象物であり、ウエハ２Ｂは第２搬送対象物である。また、以下の説明では、ウエハ収容部５の、ウエハ２Ａが配置される位置を第１配置位置５５ａとし、ウエハ収容部５の、ウエハ２Ｂが配置される位置を第２配置位置５５ｂとし、ウエハ処理装置４の、ウエハ２Ａが配置される位置を第１配置位置５４ａとし、ウエハ処理装置４の、ウエハ２Ｂが配置される位置を第２配置位置５４ｂとする。本形態の第１配置位置５５ａは搬出側第１配置位置であり、第２配置位置５５ｂは搬出側第２配置位置であり、第１配置位置５４ａは搬入側第１配置位置であり、第２配置位置５４ｂは搬入側第２配置位置である。

【0049】

搬出側補正値および搬入側補正値を算出するときには、検知用治具６０と被検知用治具６１とを使用する。被検知用治具６１は、円柱状の基準ピン６２を備えている。被検知用治具６１は、補正値の算出時に第１配置位置５４ａ、５５ａおよび第２配置位置５４ｂ、５５ｂに載置されて使用される。第１配置位置５４ａ、５５ａおよび第２配置位置５４ｂ、５５ｂに被検知用治具６１が配置された状態では、基準ピン６２の軸方向は上下方向と一致している。

【0050】

ウエハ収容部５では、基準ピン６２は、第１配置位置５５ａの所定の箇所と第２配置位置５５ｂの所定の箇所とに配置される。以下の説明では、第１配置位置５５ａに配置される基準ピン６２を「第１基準ピン６２Ａ」とし、第２配置位置５５ｂに配置される基準ピン６２を「第２基準ピン６２Ｂ」とする。本形態の第１基準ピン６２Ａは搬出側第１基準ピンであり、第２基準ピン６２Ｂは搬出側第２基準ピンである。

【0051】

ウエハ処理装置４では、基準ピン６２は、第１配置位置５４ａの所定の箇所と第２配置位置５４ｂの所定の箇所とに配置される。以下の説明では、第１配置位置５４ａに配置される基準ピン６２を「第１基準ピン６２Ｃ」とし、第２配置位置５４ｂに配置される基準ピン６２を「第２基準ピン６２Ｄ」とする。本形態の第１基準ピン６２Ｃは搬入側第１基準ピンであり、第２基準ピン６２Ｄは搬入側第２基準ピンである。

【0052】

第１基準ピン６２Ａは、上下方向から見たときに、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ１（図４（Ａ）参照）と第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２（図４（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。第２基準ピン６２Ｂは、上下方向から見たときに、第２配置位置５５ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ３（図４（Ａ）参照）と第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４（図４（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。

【0053】

第１基準ピン６２Ｃは、上下方向から見たときに、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ５（図５（Ａ）参照）と第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６（図５（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。第２基準ピン６２Ｄは、上下方向から見たときに、第２配置位置５４ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ７（図５（Ａ）参照）と第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８（図５（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。

【0054】

検知用治具６０は、補正値の算出時に搭載部２０、２１に載置されて使用される。検知用治具６０は、２個の検知機構６３、６４を備えている。検知機構６３、６４は、たとえば、発光素子を有する発光部と、受光素子を有する受光部とを備える透過型の光学式センサである。搬出側補正値および搬入側補正値を算出するときには、検知機構６３、６４は、制御部１２に電気的に接続される。

【0055】

搭載部２０、２１の正規の位置に検知用治具６０が配置されているときには、検知機構６３の光軸は、水平方向と平行になっているとともに、ハンド７の長手方向に直交する方向と平行になっている（図６参照）。また、搭載部２０、２１の正規の位置に検知用治具６０が配置されているときには、検知機構６４の光軸は、水平方向と平行になっているとともに、ハンド７の長手方向と検知機構６３の光軸の方向とに対して傾いた方向と平行になっている（図６参照）。

【0056】

搬出側補正値を算出するときには、まず、第１基準ピン６２Ａを第１配置位置５５ａに配置するとともに、第２基準ピン６２Ｂを第２配置位置５５ｂに配置する。また、検知用治具６０をハンド７に取り付ける。すなわち、搭載部２０、２１に検知機構６３、６４を取り付ける。その後、図６に示すように、ハンド７を左右方向に移動させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ａの水平方向の位置と第２基準ピン６２Ｂの水平方向の位置とを検知する（第１検知ステップ）。

【0057】

第１検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第１基準ピン６２Ａの左右方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第２基準ピン６２Ｂの左右方向の位置を検知する。また、第１検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第１基準ピン６２Ａの前後方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第２基準ピン６２Ｂの前後方向の位置を検知する。第１検知ステップは、所定の制御プログラムに基づいて自動で実行される。

【0058】

同様に、搬入側補正値を算出するときには、まず、第１基準ピン６２Ｃを第１配置位置５４ａに配置するとともに、第２基準ピン６２Ｄを第２配置位置５４ｂに配置する。また、検知用治具６０をハンド７に取り付ける。その後、ハンド７を前後方向に移動させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ｃの水平方向の位置と第２基準ピン６２Ｄの水平方向の位置とを検知する（第２検知ステップ）。

【0059】

第２検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第１基準ピン６２Ｃの前後方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第２基準ピン６２Ｄの前後方向の位置を検知する。また、第２検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第１基準ピン６２Ｃの左右方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第２基準ピン６２Ｄの左右方向の位置を検知する。第２検知ステップは、所定の制御プログラムに基づいて自動で実行される。

【0060】

以下、第１検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２と第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４とを結ぶ線分を搬出側検知線分Ｌ１とし、搬出側検知線分Ｌ１の中点を搬出側検知中点Ｍ１とする（図４（Ｂ）参照）。また、以下では、図４（Ｂ）の二点鎖線で示すように、ウエハ収容部５において第１基準ピン６２Ａおよび第２基準ピン６２Ｂが設計上の位置に配置されていると仮定したときの（すなわち、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置と一致していると仮定したときの）、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２と第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４とを結ぶ線分を搬出側基準線分Ｌ１１とし、搬出側基準線分Ｌ１１の中点を搬出側基準中点Ｍ１１とする。

【0061】

また、以下では、第２検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６と第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８とを結ぶ線分を搬入側検知線分Ｌ２とし、搬入側検知線分Ｌ２の中点を搬入側検知中点Ｍ２とする（図５（Ｂ）参照）。また、以下の説明では、図５（Ｂ）の二点鎖線で示すように、ウエハ処理装置４において第１基準ピン６２Ｃおよび第２基準ピン６２Ｄが設計上の位置に配置されていると仮定したときの（すなわち、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置と一致していると仮定したときの）、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６と第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８とを結ぶ線分を搬入側基準線分Ｌ２１とし、搬入側基準線分Ｌ２１の中点を搬入側基準中点Ｍ２１とする。

【0062】

第１検知ステップが実行されると、制御部１２は、上下方向から見たときの搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１のずれ量（すなわち、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の水平方向のずれ量）と、上下方向から見たときの搬出側基準線分Ｌ１１に対する搬出側検知線分Ｌ１の傾きΔθ１とを搬出側補正値として算出する（第１補正値算出ステップ）。すなわち、上下方向から見たときに、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されるウエハ２Ａの中心Ｃ１と第２配置位置５５ｂの正規の位置に配置されるウエハ２Ｂの中心Ｃ３とを結ぶ線分を第１線分とすると、搬出側補正値には、搬出側検知中点Ｍ１に相当する第１線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第１線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれている。

【0063】

同様に、第２検知ステップが実行されると、制御部１２は、上下方向から見たときの搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２のずれ量（すなわち、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の水平方向のずれ量）と、上下方向から見たときの搬入側基準線分Ｌ２１に対する搬入側検知線分Ｌ２の傾きΔθ２とを搬入側補正値として算出する（第２補正値算出ステップ）。すなわち、上下方向から見たときに、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されるウエハ２Ａの中心Ｃ５と第２配置位置５４ｂの正規の位置に配置されるウエハ２Ｂの中心Ｃ７とを結ぶ線分を第２線分とすると、搬入側補正値には、搬入側検知中点Ｍ２に相当する第２線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第２線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれている。

【0064】

（産業用ロボットの制御方法）
図７、図８は、図１に示すロボット１の制御方法を説明するための図である。

【0065】

制御部１２は、ロボット１がウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を搬送するときに、制御部１２に記憶される搬出側補正値と搬入側補正値とに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。具体的には、制御部１２は、ウエハ収容部５では、ハンド７、８の位置および向きを補正せずに、ウエハ処理装置４において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。すなわち、ウエハ収容部５からウエハ２を搬出するときには、制御部１２は、設計上の向きを向いている状態のハンド７、８をウエハ収容部５における設計上のウエハ２の搭載位置まで移動させて搭載部２０、２１にウエハ２を搭載する（図７参照）。なお、本形態では、ウエハ収容部５において、ウエハ２は正規の位置に配置されている。

【0066】

また、ウエハ処理装置４にウエハ２を搬入するときには、制御部１２は、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。具体的には、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の左右方向のずれ量をΔＸ１とし、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の前後方向のずれ量をΔＹ１とし、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の左右方向のずれ量をΔＸ２とし、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の前後方向のずれ量をΔＹ２とすると、制御部１２は、ウエハ処理装置４にウエハ２を搬入するときに、ウエハ処理装置４における設計上のウエハ２の搭載位置からΔＸ１＋ΔＸ２の分だけ左右方向でハンド７、８の位置を補正し、ΔＹ１＋ΔＹ２の分だけ前後方向でハンド７、８の位置を補正するとともに、ウエハ処理装置４における設計上のハンド７、８の向きからΔθ１＋Δθ２の分だけハンド７、８の向きを補正する。

【0067】

ウエハ収容部５でハンド７、８に搭載された２枚のウエハ２の中心Ｃ１１を結んだ線分を線分Ｌ５０とし、線分Ｌ５０の中点を中点Ｍ５０とすると（図８参照）、ウエハ処理装置４においてハンド７、８の位置および向きが補正されると、図８に示すように、上下方向から見たときに、搬入側検知中点Ｍ２と中点Ｍ５０とが一致し、搬入側検知線分Ｌ２と線分Ｌ５０とが重なる。

【0068】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、本体保持部１１に対する本体部１０の移動方向が左右方向となっており、上下方向で重なっていない状態の２枚のウエハ２が搭載されるハンド７、８が、設計上、ウエハ収容部５に対して左右方向に直線的に移動するため、ロボット１の構造等に起因する機械的な制約によって、ウエハ収容部５においてハンド７、８の位置や向きを適切に補正することができない。しかしながら、本形態では、制御部１２は、ウエハ収容部５においてハンド７、８の位置および向きを補正せずに、ウエハ処理装置４において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正している。

【0069】

そのため、本形態では、機械的な制約によってウエハ収容部５においてハンド７、８の位置や向きを適切に補正することができなくても、ウエハ処理装置４においてハンド７、８の位置および向きを適切に補正することが可能になる。したがって、本形態では、機械的な制約によってウエハ収容部５においてハンド７、８の位置や向きを適切に補正することができなくても、ウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を適切に搬送することが可能になる。

【0070】

本形態では、搬出側補正値に、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の水平方向のずれ量と上下方向から見たときの搬出側基準線分Ｌ１１に対する搬出側検知線分Ｌ１の傾きΔθ１とが含まれるとともに、搬入側補正値に、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の水平方向のずれ量と上下方向から見たときの搬入側基準線分Ｌ２１に対する搬入側検知線分Ｌ２の傾きΔθ２とが含まれている。また、本形態では、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の水平方向のずれ量と、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の水平方向のずれ量と、傾きΔθ１、Δθ２とに基づいて、ウエハ処理装置４でハンド７、８の位置および向きを補正している。

【0071】

そのため、本形態では、ウエハ収容部５やウエハ処理装置４を構成する部品のばらつき等の影響で、たとえば、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２Ａとウエハ２Ｂとの水平方向のピッチＰ１（図４（Ａ）参照）と、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２Ａとウエハ２Ｂとの水平方向のピッチＰ２（図５（Ａ）参照）とが異なっていても、図８に示すように、ウエハ処理装置４に搬入されて配置されたウエハ２Ａの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ１と、ウエハ２Ｂの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ２とを等しくすることが可能になる。

【0072】

したがって、本形態では、たとえば、ピッチＰ１とピッチＰ２とが異なっていても、ウエハ処理装置４に配置されたウエハ２Ａの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ１、および、ウエハ処理装置４に配置されたウエハ２Ｂの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ２の両方のずれ量を小さくすることが可能になる。また、本形態では、傾きΔθ１と傾きΔθ２とに基づいて、ウエハ処理装置４でハンド７、８の向きを補正しているため、上下方向で重なっていない状態の２枚のウエハ２を一緒に搬送しても、ハンド７、８の向きを適切に補正することが可能になる。

【0073】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0074】

上述した形態において、第１検知ステップでハンド７を上下動（昇降）させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ａの上端の高さと第２基準ピン６２Ｂの上端の高さとを検知し、第２検知ステップでハンド７を上下動させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ｃの上端の高さと第２基準ピン６２Ｄの上端の高さとを検知しても良い。

【0075】

この場合には、制御部１２は、第１補正値算出ステップにおいて、第１検知ステップで検知された第１基準ピン６２Ａの上端の高さと第２基準ピン６２Ｂの上端の高さとに基づいて算出される搬出側検知中点Ｍ１の高さの、搬出側基準中点Ｍ１１の設計上の高さに対するずれ量を搬出側補正値として算出し、第２補正値算出ステップにおいて、第２検知ステップで検知された第１基準ピン６２Ｃの上端の高さと第２基準ピン６２Ｄの上端の高さとに基づいて算出される搬入側検知中点Ｍ２の高さの、搬入側基準中点Ｍ２１の設計上の高さに対するずれ量を搬入側補正値として算出する。この場合には、ウエハ収容部５やウエハ処理装置４において、搬出側補正値や搬入側補正値に基づくハンド７、８の上下方向の位置の補正を行うことが可能になる。

【0076】

上述した形態において、上下方向から見たときに、第１配置位置５５ａに配置される第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２が、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ１からずれていても良いし、第２配置位置５５ｂに配置される第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４が、第２配置位置５５ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ３からずれていても良い。同様に、上下方向から見たときに、第１配置位置５４ａに配置される第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６が、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ５からずれていても良いし、第２配置位置５４ｂに配置される第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８が、第２配置位置５４ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ７からずれていても良い。

【0077】

上述した形態において、ロボット１は、ウエハ処理装置４からウエハ収容部５にウエハ２を搬送しても良い。この場合には、ウエハ処理装置４が搬出部となり、ウエハ収容部５が搬入部となる。また、この場合には、ウエハ処理装置４からウエハ収容部５にウエハ２を搬送するときに、搬出部であるウエハ処理装置４において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正し、搬入部であるウエハ収容部５では、ハンド７、８の位置および向きを補正しない。

【0078】

上述した形態において、ハンド７、８に、１枚のウエハ２が搭載されても良い。すなわち、ロボット１は、１枚のウエハ２をウエハ収容部５からウエハ処理装置４に搬送しても良い。この場合には、ハンド７、８は、１個の搭載部を備えている。この場合であっても、ウエハ収容部５およびウエハ処理装置４のいずれか一方では、機械的な制約によってハンド７、８の位置および向きを適切に補正することができないため、制御部１２は、ウエハ収容部５およびウエハ処理装置４のいずれか一方では、ハンド７、８の位置および向きを補正せず、ウエハ収容部５およびウエハ処理装置４のいずれか他方において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。

【0079】

上述した形態において、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の水平方向のずれ量に代えて、たとえば、第１配置位置５５ａにおいて設計上の位置に配置されたときにウエハ２Ａの中心Ｃ１に対する、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ１の水平方向のずれ量が搬出側補正値に含まれていても良い。また、上述した形態において、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の水平方向のずれ量に代えて、たとえば、第１配置位置５４ａにおいて設計上の位置に配置されたときにウエハ２Ａの中心Ｃ５に対する、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ５の水平方向のずれ量が搬入側補正値に含まれていても良い。

【0080】

上述した形態において、検知機構６３、６４は、搭載部２０、２１に直接取り付けられていても良い。この場合には、検知用治具６０が不要になる。また、上述した形態において、共通アーム部１７は、Ｖ形状に形成されていても良いし、長円形状に形成されていても良い。さらに、上述した形態において、第１検知ステップおよび第２検知ステップは、オペレータによって手動で実行されても良い。

【0081】

上述した形態において、ロボット１は、たとえば、特開２０２１－１６７０４５号公報に開示される産業用ロボットのように、２本の多関節アームを備えていても良い。また、上述した形態において、ロボット１が備えるハンドの数は１個であっても良い。この場合には、ロボット１は１本の多関節アームを備えている。さらに、上述した形態において、ロボット１は、たとえば、特開２０１９－２５５８５号公報に開示される産業用ロボットように、水平多関節型以外の産業用ロボットであっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、ウエハ２以外の搬送対象物を搬送しても良い。この場合には、搬送対象物は円板状に形成されていなくても良い。

【符号の説明】

【0082】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
２Ａ ウエハ（第１搬送対象物）
２Ｂ ウエハ（第２搬送対象物）
４ ウエハ処理装置（搬入部）
５ ウエハ収容部（搬出部）
７ ハンド（第１ハンド）
８ ハンド（第２ハンド）
９ アーム
１０ 本体部
１１ 本体保持部
１２ 制御部
１５ 先端側アーム部（第１先端側アーム部）
１６ 先端側アーム部（第２先端側アーム部）
１７ 共通アーム部
２０ 搭載部（第１搭載部）
２１ 搭載部（第２搭載部）
３２ 水平移動機構
４６ アーム駆動機構（ハンド駆動機構）
５４ａ 第１配置位置（搬入側第１配置位置）
５４ｂ 第２配置位置（搬入側第２配置位置）
５５ａ 第１配置位置（搬出側第１配置位置）
５５ｂ 第２配置位置（搬出側第２配置位置）
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】