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特開2025-143853有機溶剤回収装置、基板処理装置および有機溶剤回収方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025143853
(43)【公開日】2025-10-02
(54)【発明の名称】有機溶剤回収装置、基板処理装置および有機溶剤回収方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20250925BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 648K
H01L21/304 651B
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024043314
(22)【出願日】2024-03-19
(71)【出願人】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100088672
【弁理士】
【氏名又は名称】吉竹 英俊
(74)【代理人】
【識別番号】100088845
【弁理士】
【氏名又は名称】有田 貴弘
(72)【発明者】
【氏名】岩尾 通矩
(72)【発明者】
【氏名】吉田 幸史
(72)【発明者】
【氏名】植村 知浩
(72)【発明者】
【氏名】南 翔耀
(72)【発明者】
【氏名】上田 悠介
【テーマコード（参考）】
5F157
【Ｆターム（参考）】
5F157AA73
5F157AA79
5F157AB02
5F157AB14
5F157AB33
5F157AB49
5F157AB90
5F157AC03
5F157BB22
5F157CB02
5F157CB13
5F157CB14
5F157CD44
5F157CE44
5F157CF42
5F157CF74
5F157DB34
5F157DB41
(57)【要約】
【課題】有機溶剤および水の混合液を脱水器およびフィルタのそれぞれに適した条件で循環させることができる技術を提供する。
【解決手段】有機溶剤回収装置は、回収タンクＴｋ１と、脱水循環部６０と、浄化循環部８０とを備える。回収タンクＴｋは、基板を処理する処理ユニット４から排出された有機溶剤および水の混合液を貯留する。脱水循環部６０は、回収タンクＴｋ１に接続された脱水用循環配管６１、および、混合液から水を分離する循環脱水器６２を含み、脱水用循環配管６１を通じた循環により、有機溶剤の溶剤濃度を高めた混合液である第１濃縮液を生成する。浄化循環部８０は、第１濃縮液を循環させる浄化用循環配管８１、および、第１濃縮液の不純物を捕捉するフィルタ８２を含み、浄化用循環配管８１を通じて第１濃縮液を循環させて、第１濃縮液における不純物の含有率を低減させた再利用液を生成する。
【選択図】図３
【解決手段】有機溶剤回収装置は、回収タンクＴｋ１と、脱水循環部６０と、浄化循環部８０とを備える。回収タンクＴｋは、基板を処理する処理ユニット４から排出された有機溶剤および水の混合液を貯留する。脱水循環部６０は、回収タンクＴｋ１に接続された脱水用循環配管６１、および、混合液から水を分離する循環脱水器６２を含み、脱水用循環配管６１を通じた循環により、有機溶剤の溶剤濃度を高めた混合液である第１濃縮液を生成する。浄化循環部８０は、第１濃縮液を循環させる浄化用循環配管８１、および、第１濃縮液の不純物を捕捉するフィルタ８２を含み、浄化用循環配管８１を通じて第１濃縮液を循環させて、第１濃縮液における不純物の含有率を低減させた再利用液を生成する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を処理する処理ユニットから排出された有機溶剤および水の混合液を貯留する回収タンクと、
前記回収タンクに接続された脱水用循環配管、および、前記脱水用循環配管に設けられ、かつ、前記混合液から水を分離する循環脱水器を含み、前記脱水用循環配管を通じた循環により、前記有機溶剤の溶剤濃度を高めた前記混合液である第１濃縮液を生成する脱水循環部と、
前記第１濃縮液を循環させる浄化用循環配管、および、前記浄化用循環配管に設けられ、かつ、前記第１濃縮液の不純物を捕捉するフィルタを含み、前記浄化用循環配管を通じて前記第１濃縮液を循環させて、前記不純物の含有率を低減させた前記第１濃縮液である再利用液を生成する浄化循環部と
を備える、有機溶剤回収装置。
前記回収タンクに接続された脱水用循環配管、および、前記脱水用循環配管に設けられ、かつ、前記混合液から水を分離する循環脱水器を含み、前記脱水用循環配管を通じた循環により、前記有機溶剤の溶剤濃度を高めた前記混合液である第１濃縮液を生成する脱水循環部と、
前記第１濃縮液を循環させる浄化用循環配管、および、前記浄化用循環配管に設けられ、かつ、前記第１濃縮液の不純物を捕捉するフィルタを含み、前記浄化用循環配管を通じて前記第１濃縮液を循環させて、前記不純物の含有率を低減させた前記第１濃縮液である再利用液を生成する浄化循環部と
を備える、有機溶剤回収装置。
【請求項2】
請求項１に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記循環脱水器は、水を通過させる分離膜を有する膜分離器を含む、有機溶剤回収装置。
前記循環脱水器は、水を通過させる分離膜を有する膜分離器を含む、有機溶剤回収装置。
【請求項3】
請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記循環脱水器は、前記混合液を加熱する脱水温調器を含む、有機溶剤回収装置。
前記循環脱水器は、前記混合液を加熱する脱水温調器を含む、有機溶剤回収装置。
【請求項4】
請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記浄化循環部は、前記浄化用循環配管を流れる前記第１濃縮液を加熱または冷却する浄化温調器をさらに含む、有機溶剤回収装置。
前記浄化循環部は、前記浄化用循環配管を流れる前記第１濃縮液を加熱または冷却する浄化温調器をさらに含む、有機溶剤回収装置。
【請求項5】
請求項４に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記浄化温調器は、前記浄化用循環配管を流れる前記第１濃縮液を冷却する、有機溶剤回収装置。
前記浄化温調器は、前記浄化用循環配管を流れる前記第１濃縮液を冷却する、有機溶剤回収装置。
【請求項6】
請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収装置であって、
浄化タンクと、
前記回収タンクからの前記第１濃縮液を前記浄化タンクに向かって流す第１送液配管と
をさらに備え、
前記浄化用循環配管は、前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記浄化タンクに戻す、有機溶剤回収装置。
浄化タンクと、
前記回収タンクからの前記第１濃縮液を前記浄化タンクに向かって流す第１送液配管と
をさらに備え、
前記浄化用循環配管は、前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記浄化タンクに戻す、有機溶剤回収装置。
【請求項7】
請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記処理ユニットからの前記混合液の回収先を第１の前記回収タンクと第２の前記回収タンクとの間で切り替える回収切替部をさらに備え、
第１の前記脱水用循環配管は、前記第１の前記回収タンクからの前記混合液を前記第１の前記回収タンクに戻し、
第２の前記脱水用循環配管は、前記第２の前記回収タンクからの前記混合液を前記第２の前記回収タンクに戻す、有機溶剤回収装置。
前記処理ユニットからの前記混合液の回収先を第１の前記回収タンクと第２の前記回収タンクとの間で切り替える回収切替部をさらに備え、
第１の前記脱水用循環配管は、前記第１の前記回収タンクからの前記混合液を前記第１の前記回収タンクに戻し、
第２の前記脱水用循環配管は、前記第２の前記回収タンクからの前記混合液を前記第２の前記回収タンクに戻す、有機溶剤回収装置。
【請求項8】
請求項７に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記第１の前記脱水用循環配管は、
前記第１の前記回収タンクに接続された上流端部を有する第１上流配管と、
前記第１の前記回収タンクに接続された下流端部を有する第１下流配管と、
前記第１上流配管と前記第１下流配管との間に接続された共通循環配管と
を含み、
第２の前記脱水用循環配管は、
前記第２の前記回収タンクに接続された上流端部を有する第２上流配管と、
前記第２の前記回収タンクに接続された下流端部を有する第２下流配管と、
前記第２上流配管と前記第２下流配管との間に接続された前記共通循環配管と
を含み、
前記循環脱水器は前記共通循環配管に設けられており、
前記脱水循環部は、前記第１の前記脱水用循環配管を通じた循環と、前記第２の前記脱水用循環配管を通じた循環とを切り替える循環切替バルブ部をさらに含む、有機溶剤回収装置。
前記第１の前記脱水用循環配管は、
前記第１の前記回収タンクに接続された上流端部を有する第１上流配管と、
前記第１の前記回収タンクに接続された下流端部を有する第１下流配管と、
前記第１上流配管と前記第１下流配管との間に接続された共通循環配管と
を含み、
第２の前記脱水用循環配管は、
前記第２の前記回収タンクに接続された上流端部を有する第２上流配管と、
前記第２の前記回収タンクに接続された下流端部を有する第２下流配管と、
前記第２上流配管と前記第２下流配管との間に接続された前記共通循環配管と
を含み、
前記循環脱水器は前記共通循環配管に設けられており、
前記脱水循環部は、前記第１の前記脱水用循環配管を通じた循環と、前記第２の前記脱水用循環配管を通じた循環とを切り替える循環切替バルブ部をさらに含む、有機溶剤回収装置。
【請求項9】
請求項６に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記回収タンクからの供給先を第１の前記浄化タンクと第２の前記浄化タンクとの間で切り替える濃縮液供給部をさらに備え、
第１の前記浄化用循環配管は、前記第１の前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記第１の前記浄化タンクに戻し、
第２の前記浄化用循環配管は、前記第２の前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記第２の前記浄化タンクに戻し、
第１の前記フィルタは前記第１の前記浄化用循環配管に設けられており、
第２の前記フィルタは前記第２の前記浄化用循環配管に設けられている、有機溶剤回収装置。
前記回収タンクからの供給先を第１の前記浄化タンクと第２の前記浄化タンクとの間で切り替える濃縮液供給部をさらに備え、
第１の前記浄化用循環配管は、前記第１の前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記第１の前記浄化タンクに戻し、
第２の前記浄化用循環配管は、前記第２の前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記第２の前記浄化タンクに戻し、
第１の前記フィルタは前記第１の前記浄化用循環配管に設けられており、
第２の前記フィルタは前記第２の前記浄化用循環配管に設けられている、有機溶剤回収装置。
【請求項10】
請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記循環脱水器によって前記混合液から分離された水を主成分とする分離流体が流れる分離排出配管と、
前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体に含まれる前記有機溶剤を分解する分解器と
を備える、有機溶剤回収装置。
前記循環脱水器によって前記混合液から分離された水を主成分とする分離流体が流れる分離排出配管と、
前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体に含まれる前記有機溶剤を分解する分解器と
を備える、有機溶剤回収装置。
【請求項11】
請求項１０に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記分解器よりも上流側において前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体に含まれる前記有機溶剤の蒸気を凝縮させる凝縮器をさらに備え、
前記分解器は液体の前記有機溶剤を電気分解する、有機溶剤回収装置。
前記分解器よりも上流側において前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体に含まれる前記有機溶剤の蒸気を凝縮させる凝縮器をさらに備え、
前記分解器は液体の前記有機溶剤を電気分解する、有機溶剤回収装置。
【請求項12】
請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記循環脱水器によって前記混合液から分離された水を主成分とする分離流体が流れる分離排出配管と、
前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体から前記有機溶剤を分離する分離脱水器と、
前記分離脱水器に接続され、前記分離脱水器よって前記分離流体から分離された前記有機溶剤を含む第２濃縮液を、前記第１濃縮液に合流させる復帰配管と
をさらに備える、有機溶剤回収装置。
前記循環脱水器によって前記混合液から分離された水を主成分とする分離流体が流れる分離排出配管と、
前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体から前記有機溶剤を分離する分離脱水器と、
前記分離脱水器に接続され、前記分離脱水器よって前記分離流体から分離された前記有機溶剤を含む第２濃縮液を、前記第１濃縮液に合流させる復帰配管と
をさらに備える、有機溶剤回収装置。
【請求項13】
請求項１２に記載の有機溶剤回収装置であって、
前記分離脱水器は、
前記分離排出配管に設けられ、前記有機溶剤を吸着する吸着フィルタと、
前記吸着フィルタを加熱して、前記吸着フィルタから前記有機溶剤を放出させ、前記有機溶剤を前記復帰配管に流出させる加熱部と、
前記復帰配管に設けられた凝縮器と
を含む、有機溶剤回収装置。
前記分離脱水器は、
前記分離排出配管に設けられ、前記有機溶剤を吸着する吸着フィルタと、
前記吸着フィルタを加熱して、前記吸着フィルタから前記有機溶剤を放出させ、前記有機溶剤を前記復帰配管に流出させる加熱部と、
前記復帰配管に設けられた凝縮器と
を含む、有機溶剤回収装置。
【請求項14】
請求項１３に記載の有機溶剤回収装置であって、
第１の前記加熱部は第１の前記吸着フィルタを加熱し、
第２の前記加熱部は第２の前記吸着フィルタを加熱し、
前記有機溶剤回収装置は、
前記分離流体が流れる前記吸着フィルタを、前記第１の前記吸着フィルタと前記第２の前記吸着フィルタとの間で切り替える脱水切替部と、
前記凝縮器に連通する前記吸着フィルタを、前記第１の前記吸着フィルタと、前記第２の前記吸着フィルタとの間で切り替える放出切替部と
を含む、有機溶剤回収装置。
第１の前記加熱部は第１の前記吸着フィルタを加熱し、
第２の前記加熱部は第２の前記吸着フィルタを加熱し、
前記有機溶剤回収装置は、
前記分離流体が流れる前記吸着フィルタを、前記第１の前記吸着フィルタと前記第２の前記吸着フィルタとの間で切り替える脱水切替部と、
前記凝縮器に連通する前記吸着フィルタを、前記第１の前記吸着フィルタと、前記第２の前記吸着フィルタとの間で切り替える放出切替部と
を含む、有機溶剤回収装置。
【請求項15】
請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収装置と、
前記処理ユニットと、
前記再利用液が供給されて、前記再利用液を貯留する供給タンクと、
前記供給タンクと前記処理ユニットとを接続する第２送液配管と
を備える、基板処理装置。
前記処理ユニットと、
前記再利用液が供給されて、前記再利用液を貯留する供給タンクと、
前記供給タンクと前記処理ユニットとを接続する第２送液配管と
を備える、基板処理装置。
【請求項16】
有機溶剤および水の混合液から水を分離する循環脱水器を含む脱水循環経路を通じて、前記混合液を循環させて、前記混合液における前記有機溶剤の溶剤濃度を高めた第１濃縮液を生成する脱水循環工程と、
前記第１濃縮液における不純物を捕捉するフィルタを含む浄化循環経路を通じて、前記第１濃縮液を循環させて、前記第１濃縮液における前記不純物の含有率を低減させた再利用液を生成する浄化循環工程と
を備える、有機溶剤回収方法。
前記第１濃縮液における不純物を捕捉するフィルタを含む浄化循環経路を通じて、前記第１濃縮液を循環させて、前記第１濃縮液における前記不純物の含有率を低減させた再利用液を生成する浄化循環工程と
を備える、有機溶剤回収方法。
【請求項17】
請求項１６に記載の有機溶剤回収方法であって、
前記脱水循環工程において、前記混合液を加熱し、前記浄化循環工程において、前記第１濃縮液を冷却する、有機溶剤回収方法。
前記脱水循環工程において、前記混合液を加熱し、前記浄化循環工程において、前記第１濃縮液を冷却する、有機溶剤回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、有機溶剤回収装置、基板処理装置および有機溶剤回収方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、基板を処理する処理ユニットから排出された含水ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を回収するＩＰＡ回収システムが開示されている。ＩＰＡ回収システムは、貯留タンクと、循環配管と、ポンプと、脱水ユニットと、フィルタとを含んでいる。貯留タンクには、処理ユニットからの含水ＩＰＡが供給される。循環配管は貯留タンクに接続されており、貯留タンクからの含水ＩＰＡを貯留タンクに戻す。ポンプは循環配管に設けられており、含水ＩＰＡを循環配管の上流端から下流端に向かって送液する。フィルタは循環配管に設けられており、含水ＩＰＡ中の異物を除去する。脱水ユニットは循環配管に設けられており、含水ＩＰＡから水分を除去する。
【0003】
回収システムは、貯留タンクおよび循環配管を含む循環経路を通じて、含水ＩＰＡを循環させる。この循環により、含水ＩＰＡはフィルタおよび脱水ユニットを通過する。これにより、循環中の含水ＩＰＡのＩＰＡ濃度は高くなり、また、含水ＩＰＡ中の異物は低減する。つまり、この循環によって、ＩＰＡ濃度が高く、かつ、清浄な含水ＩＰＡが貯留タンクに貯留される。この貯留タンク内の含水ＩＰＡは再び処理ユニットに供給される。これにより、ＩＰＡの廃棄量を低減させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－４１５０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
同一循環経路上で脱水ユニットおよびフィルタが設けられている場合には、脱水ユニットおよびフィルタの両方に適した条件（例えば、圧力、流量または温度）で含水ＩＰＡを循環させることは難しい。このため、脱水ユニットの水分除去による溶剤濃度の効率的な向上、および、フィルタによる効率的な清浄化を両立させることは困難であった。
【0006】
そこで、本開示は、有機溶剤および水の混合液を脱水器およびフィルタのそれぞれに適した条件で循環させることができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
第１の態様は、有機溶剤回収装置であって、基板を処理する処理ユニットから排出された有機溶剤および水の混合液を貯留する回収タンクと、前記回収タンクに接続された脱水用循環配管、および、前記脱水用循環配管に設けられ、かつ、前記混合液から水を分離する循環脱水器を含み、前記脱水用循環配管を通じた循環により、前記有機溶剤の溶剤濃度を高めた前記混合液である第１濃縮液を生成する脱水循環部と、前記第１濃縮液を循環させる浄化用循環配管、および、前記浄化用循環配管に設けられ、かつ、前記第１濃縮液の不純物を捕捉するフィルタを含み、前記浄化用循環配管を通じて前記第１濃縮液を循環させて、前記不純物の含有率を低減させた前記第１濃縮液である再利用液を生成する浄化循環部とを備える。
【0008】
第２の態様は、第１の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記循環脱水器は、水を通過させる分離膜を有する膜分離器を含む。
【0009】
第３の態様は、第１または第２の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記循環脱水器は、前記混合液を加熱する脱水温調器を含む。
【0010】
第４の態様は、第１または第２の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記浄化循環部は、前記浄化用循環配管を流れる前記第１濃縮液を加熱または冷却する浄化温調器をさらに含む。
【0011】
第５の態様は、第４の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記浄化温調器は、前記浄化用循環配管を流れる前記第１濃縮液を冷却する。
【0012】
第６の態様は、第１から第５のいずれか一つの態様にかかる有機溶剤回収装置であって、浄化タンクと、前記回収タンクからの前記第１濃縮液を前記浄化タンクに向かって流す第１送液配管とをさらに備え、前記浄化用循環配管は、前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記浄化タンクに戻す。
【0013】
第７の態様は、第１から第６のいずれか一つの態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記処理ユニットからの前記混合液の回収先を第１の前記回収タンクと第２の前記回収タンクとの間で切り替える回収切替部をさらに備え、第１の前記脱水用循環配管は、前記第１の前記回収タンクからの前記混合液を前記第１の前記回収タンクに戻し、第２の前記脱水用循環配管は、前記第２の前記回収タンクからの前記混合液を前記第２の前記回収タンクに戻す。
【0014】
第８の態様は、第７の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記第１の前記脱水用循環配管は、前記第１の前記回収タンクに接続された上流端部を有する第１上流配管と、前記第１の前記回収タンクに接続された下流端部を有する第１下流配管と、前記第１上流配管と前記第１下流配管との間に接続された共通循環配管とを含み、第２の前記脱水用循環配管は、前記第２の前記回収タンクに接続された上流端部を有する第２上流配管と、前記第２の前記回収タンクに接続された下流端部を有する第２下流配管と、前記第２上流配管と前記第２下流配管との間に接続された前記共通循環配管とを含み、前記循環脱水器は前記共通循環配管に設けられており、前記脱水循環部は、前記第１の前記脱水用循環配管を通じた循環と、前記第２の前記脱水用循環配管を通じた循環とを切り替える循環切替バルブ部をさらに含む。
【0015】
第９の態様は、第１から第８のいずれか一つの態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記回収タンクからの供給先を第１の前記浄化タンクと第２の前記浄化タンクとの間で切り替える濃縮液供給部をさらに備え、第１の前記浄化用循環配管は、前記第１の前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記第１の前記浄化タンクに戻し、第２の前記浄化用循環配管は、前記第２の前記浄化タンクからの前記第１濃縮液を前記第２の前記浄化タンクに戻し、第１の前記フィルタは前記第１の前記浄化用循環配管に設けられており、第２の前記フィルタは前記第２の前記浄化用循環配管に設けられている。
【0016】
第１０の態様は、第１から第９のいずれか一つの態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記循環脱水器によって前記混合液から分離された水を主成分とする分離流体が流れる分離排出配管と、前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体に含まれる前記有機溶剤を分解する分解器とを備える。
【0017】
第１１の態様は、第１０の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記分解器よりも上流側において前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体に含まれる前記有機溶剤の蒸気を凝縮させる凝縮器をさらに備え、前記分解器は液体の前記有機溶剤を電気分解する。
【0018】
第１２の態様は、第１から第１０のいずれか一つの態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記循環脱水器によって前記混合液から分離された水を主成分とする分離流体が流れる分離排出配管と、前記分離排出配管に設けられ、前記分離流体から前記有機溶剤を分離する分離脱水器と、前記分離脱水器に接続され、前記分離脱水器よって前記分離流体から分離された前記有機溶剤を含む第２濃縮液を、前記第１濃縮液に合流させる復帰配管とをさらに備える。
【0019】
第１３の態様は、第１２の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、前記分離脱水器は、前記分離排出配管に設けられ、前記有機溶剤を吸着する吸着フィルタと、前記吸着フィルタを加熱して、前記吸着フィルタから前記有機溶剤を放出させ、前記有機溶剤を前記復帰配管に流出させる加熱部と、前記復帰配管に設けられた凝縮器とを含む。
【0020】
第１４の態様は、第１３の態様にかかる有機溶剤回収装置であって、第１の前記加熱部は第１の前記吸着フィルタを加熱し、第２の前記加熱部は第２の前記吸着フィルタを加熱し、前記有機溶剤回収装置は、前記分離流体が流れる前記吸着フィルタを、前記第１の前記吸着フィルタと前記第２の前記吸着フィルタとの間で切り替える脱水切替部と、前記凝縮器に連通する前記吸着フィルタを、前記第１の前記吸着フィルタと、前記第２の前記吸着フィルタとの間で切り替える放出切替部とを含む。
【0021】
第１５の態様は、基板処理装置であって、第１から第１４のいずれか一つの態様にかかる有機溶剤回収装置と、前記処理ユニットと、前記再利用液が供給されて、前記再利用液を貯留する供給タンクと、前記供給タンクと前記処理ユニットとを接続する第２送液配管とを備える。
【0022】
第１６の態様は、有機溶剤回収方法であって、有機溶剤および水の混合液から水を分離する循環脱水器を含む脱水循環経路を通じて、前記混合液を循環させて、前記混合液における前記有機溶剤の溶剤濃度を高めた第１濃縮液を生成する脱水循環工程と、前記第１濃縮液における不純物を捕捉するフィルタを含む浄化循環経路を通じて、前記第１濃縮液を循環させて、前記第１濃縮液における前記不純物の含有率を低減させた再利用液を生成する浄化循環工程とを備える。
【0023】
第１７の態様は、第１６の態様にかかる有機溶剤回収方法であって、前記脱水循環工程において、前記混合液を加熱し、前記浄化循環工程において、前記第１濃縮液を冷却する。
【発明の効果】
【0024】
第１、第１５および第１６の態様によれば、循環脱水器に応じた条件で脱水用循環配管を通じて混合液を循環させることができ、フィルタに応じた条件で浄化用循環配管を通じて第１濃縮液を循環させることができる。
【0025】
第２の態様によれば、蒸留器に比べて装置規模を低減させることができる。
【0026】
第３の態様によれば、効率的に混合液から水を分離させることができる。
【0027】
第４の態様によれば、混合液の温度をフィルタに適した温度に調整することができる。
【0028】
第５の態様によれば、浄化温調器が混合液の温度を高めた場合であっても、高温の第１濃縮液を常温の近くまで冷却させることができる。このため、フィルタの熱変形を抑制することができ、フィルタは高効率で不純物を捕捉することができる。
【0029】
第６の態様によれば、高温の第１濃縮液を、第１送液配管を通じて浄化タンクに供給することにより、第１送液配管の通過中の放熱によって、第１濃縮液の温度を低減させることができる。
【0030】
第７の態様によれば、第１の脱水用循環配管を通じた混合液の循環中に、処理ユニットからの混合液を第２の回収タンクで回収することができ、第２の脱水用循環配管を通じた混合液の循環中に、処理ユニットからの混合液を第１の回収タンクで回収することができる。つまり、第１の脱水用循環配管を通じた混合液の循環中であっても、第２の脱水用循環配管を通じた混合液の循環中であっても、処理ユニットからの混合液を回収することができる。逆に言えば、処理ユニットから排出された低い溶剤濃度の混合液が循環中の混合液に流入することを抑制できる。このため、循環中の混合液の溶剤濃度の低下を抑制できる。
【0031】
第８の態様によれば、循環脱水器が第１の脱水用循環配管および第２の脱水用循環配管に共通して用いられるので、装置規模および製造コストを低減させることができる。
【0032】
第９の態様によれば、第１のフィルタを通じた循環と、第２のフィルタを通じた循環を並行して行うことができる。このため、不純物含有率がより低い再利用液を生成することができる。
【0033】
第１０の態様によれば、排出先における分離流体の排液処理を簡易にすることができる。
【0034】
第１１の態様によれば、有機溶剤の蒸気を凝縮してから有機溶剤を電気分解するので、より確実に有機溶剤を分解することができる。
【0035】
第１２の態様によれば、循環脱水器によって分離された分離流体中の有機溶剤を含む第２濃縮液が第１濃縮液に合流する。このため、有機溶剤の廃棄量をさらに低減させることができる。
【0036】
第１３の態様によれば、低溶剤濃度の分離流体からより確実に有機溶剤を分離することができる。
【0037】
第１４の態様によれば、第１および第２の吸着フィルタの一方による放出を、第１および第２の吸着フィルタの他方の吸着と並行して行うことができる。
【0038】
第１７の態様によれば、高温の第１濃縮液を常温の近くまで冷却させることができる。このため、フィルタの熱変形を抑制することができ、フィルタは高効率で不純物を捕捉することができる。
【図面の簡単な説明】
【0039】
【図1】基板処理装置の一例を模式的に示す平面図である。
【図2】処理ユニットの一例を模式的に示す側面図である。
【図3】第１の実施の形態にかかる有機溶剤回収部の一例を模式的に示す図である。
【図4】有機溶剤回収部の動作の一例を示すフローチャートである。
【図5】第２の実施の形態にかかる有機溶剤回収部の一例を模式的に示す図である。
【図6】有機溶剤回収部の動作の一例を模式的に示す図である。
【図7】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図8】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図9】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図10】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図11】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図12】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図13】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図14】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図15】第３の実施の形態にかかる有機溶剤回収部の一例を模式的に示す図である。
【図16】第４の実施の形態にかかる有機溶剤回収部の第１例を模式的に示す図である。
【図17】第４の実施の形態にかかる有機溶剤回収部の第２例を模式的に示す図である。
【図18】第４の実施の形態の第２例にかかる有機溶剤回収部の動作の一例を模式的に示す図である。
【図19】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図20】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図21】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【図22】有機溶剤回収部の動作例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【0040】
以下、図面を参照しつつ実施の形態について詳細に説明する。なお図面においては、理解容易の目的で、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。また同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。
【0041】
また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。
【0042】
また、以下に記載される説明において、「第１」または「第２」などの序数が用いられる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられるものであり、これらの序数によって生じ得る順序に限定されるものではない。
【0043】
相対的または絶対的な位置関係を示す表現（例えば「一方向に」「一方向に沿って」「平行」「直交」「中心」「同心」「同軸」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる範囲で相対的に角度または距離に関して変位された状態も表すものとする。等しい状態であることを示す表現（例えば「同一」「等しい」「均質」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も表すものとする。形状を示す表現（例えば、「四角形状」または「円筒形状」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、幾何学的に厳密にその形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲で、例えば凹凸や面取りなどを有する形状も表すものとする。一の構成要素を「備える」「具える」「具備する」「含む」または「有する」という表現が用いられる場合、該表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。「Ａ，ＢおよびＣの少なくともいずれか一つ」という表現が用いられる場合、該表現は、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、Ａ，ＢおよびＣのうち任意の２つ、ならびに、Ａ，ＢおよびＣの全てを含む。
【0044】
【0045】
基板処理装置１００は、処理対象である基板Ｗを１枚ずつ処理する、いわゆる枚葉式の処理装置である。基板処理装置１００で処理対象とされる基板Ｗは、例えば、半導体基板である。また、処理対象とされる基板Ｗの形状は、例えば、円板形状である。
【0046】
基板処理装置１００は、ロードポート１、インデクサロボット２、主搬送ロボット３、処理ユニット４、有機溶剤回収部５、および、制御部６を備える。
【0047】
ロードポート１は、複数の基板を収容する収容容器の一種であるキャリアＣに対する基板Ｗの出し入れを行うためのインターフェースである。ロードポート１は、例えば、複数（図の例では３個）設けられる。複数のロードポート１は、例えば、水平方向に一列に並んで配列される。キャリアＣは、基板Ｗを密閉空間に収納するタイプのもの（例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inter Face）ポッド、など）であってもよいし、基板Ｗを外気にさらすタイプのもの（例えば、ＯＣ（Open Cassette）、など）であってもよい。
【0048】
インデクサロボット２は、基板Ｗを搬送する搬送装置である。一例として、インデクサロボット２は、水平多関節ロボットであり、基板Ｗを保持する一対のハンド２１，２１および各ハンド２１に接続されたアーム２２を備える。また、インデクサロボット２は、各ハンド２１を旋回させ、各アーム２２を屈伸、旋回、および、昇降させるための駆動機構（図示省略）を備える。インデクサロボット２は、ロードポート１に載置されたキャリアＣと、主搬送ロボット３との間で基板Ｗを搬送する。すなわち、インデクサロボット２は、ロードポート１に載置されているキャリアＣにアクセスして、搬出動作（すなわち、キャリアＣに収容されている基板Ｗをハンド２１で取り出す動作）、および、搬入動作（すなわち、ハンド２１に保持されている基板ＷをキャリアＣに収容する動作）を行う。また、インデクサロボット２は、受け渡し位置にアクセスして、主搬送ロボット３との間で基板Ｗの受け渡しを行う。
【0049】
主搬送ロボット３は、基板Ｗを搬送する搬送装置である。一例として、主搬送ロボット３は、水平多関節ロボットであり、基板Ｗを保持する一対のハンド３１，３１および各ハンド３１に接続されたアーム３２を備える。また、主搬送ロボット３は、各ハンド３１を旋回させ、各アーム３２を屈伸、旋回、および、昇降させるための駆動機構（図示省略）を備える。主搬送ロボット３は、インデクサロボット２と各処理ユニット４との間で基板Ｗを搬送する。すなわち、主搬送ロボット３は、受け渡し位置にアクセスして、インデクサロボット２との間で基板Ｗの受け渡しを行う。また、主搬送ロボット３は、処理ユニット４にアクセスして、搬入動作（すなわち、ハンド３１に保持されている基板Ｗを処理ユニット４に搬入する動作）、および、搬出動作（すなわち、処理ユニット４内の基板Ｗをハンド３１で搬出する動作）、を行う。
【0050】
処理ユニット４は、基板Ｗに対して処理液（例えば、薬液、リンス液、および、ＩＰＡ）を用いた所定の処理を行う。ここでは例えば、鉛直方向に積層された複数（例えば３個）の処理ユニット４が、１個のタワーを構成しており、該タワーが、主搬送ロボット３を取り囲むようにして、複数（図の例では４個）、設けられる。処理ユニット４の具体的な構成は、後に説明する。
【0051】
有機溶剤回収部５は、有機溶剤を処理ユニット４から回収するとともに、回収した有機溶剤を浄化して再び処理ユニット４に供給する。一例として、複数のタワーの各々に１対１で対応づけて有機溶剤回収部５が設けられて、各有機溶剤回収部５が、対応するタワーに含まれる各処理ユニット４に対して、有機溶剤の回収および供給を行ってもよい。有機溶剤回収部５の具体的な構成は、後に説明する。
【0052】
制御部６は、基板処理装置１００が備える各部（ロードポート１、インデクサロボット２、主搬送ロボット３、処理ユニット４、および、有機溶剤回収部５）の動作を制御する。制御部６は、例えば、電気回路を有する一般的なコンピュータによって構成される。一例として、制御部６は、各種の演算処理（データ処理）を行う中央演算装置としてのＣＰＵ（Central Processor Unit）、基本プログラムなどが格納されるＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＰＵが所定の処理（データ処理）を行う際の作業領域として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ、ハードディスク装置、などの不揮発性記憶装置によって構成される記憶装置、これらを相互に接続するバスライン、などを含んで構成される。記憶装置あるいはＲＡＭなどには、制御部６が実行する処理を規定するプログラムが格納されてもよい。この場合に、例えば、ＣＰＵが該プログラムを実行することによって、基板処理装置１００の各部が制御部６に制御され、プログラムによって規定された処理が基板処理装置１００において実行されてもよい。すなわち、ＣＰＵがプログラムを実行することによって、プログラムによって規定された処理を行う回路が制御部６において実現されてもよい。もっとも、制御部６が行う制御の一部または全部（制御部６で実現される回路の一部または全部）が、専用の論理回路などのハードウェアによって実行（実現）されてもよい。
【0053】
【0054】
＜２－１．処理ユニットの構成＞
処理ユニット４は、基板Ｗに対して処理液（例えば、薬液、リンス液、および、ＩＰＡ）を用いた所定の処理を行う。処理ユニット４は、例えば、スピンチャック４１、カップ４２、および、ノズル４３を備える。スピンチャック４１、カップ４２、および、ノズル４３は、処理チャンバー４４に収容される。
処理ユニット４は、基板Ｗに対して処理液（例えば、薬液、リンス液、および、ＩＰＡ）を用いた所定の処理を行う。処理ユニット４は、例えば、スピンチャック４１、カップ４２、および、ノズル４３を備える。スピンチャック４１、カップ４２、および、ノズル４３は、処理チャンバー４４に収容される。
【0055】
スピンチャック４１は、基板Ｗを水平姿勢（基板Ｗの厚み方向が上下方向（鉛直方向）に沿うような姿勢）で保持しつつ、基板Ｗをその主面の中心を通って上下に延びる軸線（回転軸線）Ａのまわりで回転させる。スピンチャック４１は、具体的には例えば、スピンベース４１１を備える。スピンベース４１１は、円板形状の部材であり、厚み方向が上下方向に沿うような姿勢で配置される。スピンベース４１１の上面には、複数のチャックピン４１２が設けられる。複数のチャックピン４１２は、基板Ｗの周縁に対応する円周に沿って等間隔に配置される。複数のチャックピン４１２には、これらを当接位置と開放位置との間で移動させるリンク機構（図示省略）が接続される。「当接位置」とは、チャックピン４１２が、基板Ｗの周縁に当接する位置である。「開放位置」は、チャックピン４１２が、基板Ｗの周縁から離れた位置である。複数のチャックピン４１２の各々が当接位置に配置されると、基板Ｗが、スピンベース４１１の上方に、水平姿勢で保持（チャック）される。また、複数のチャックピン４１２の各々が開放位置に配置されると、基板Ｗの保持が解除される。リンク機構は、制御部６からの指示に応じて、チャックピン４１２の位置を切り替える。すなわち、基板Ｗを保持するタイミング、基板Ｗの保持を解除するタイミング、などは、制御部６によって制御される。また、スピンベース４１１は、回転軸線Ａと同軸に設けられたシャフト部４１３を介して、スピンモータ４１４と接続される。シャフト部４１３およびスピンモータ４１４は、カバー４１５に収容される。スピンモータ４１４は、シャフト部４１３を回転軸線Ａのまわりで回転させる。これにより、スピンベース４１１、ひいては、その上方に保持される基板Ｗが、回転軸線Ａのまわりで回転する。スピンモータ４１４は、制御部６からの指示に応じて、スピンベース４１１を回転させる。すなわち、スピンベース４１１（ひいては、基板Ｗ）の回転数、回転の開始タイミング、回転の終了タイミング、などは、制御部６によって制御される。
【0056】
カップ４２は、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗから排出された処理液を、受け止める。カップ４２は、具体的には例えば、回転軸線Ａと同軸に配置された円筒状の案内部４２１、案内部４２１の上端に連なって上方に向かうにつれて縮径する傾斜部４２２、および、案内部４２１の下端に連なって上向きに開いた環状の溝を形成する液受部４２３を備える。液受部４２３には、ここで受け止められた液を回収するカップ側回収管（具体的には例えば、薬液用のカップ側回収管（図示省略）、および、ＩＰＡ用のカップ側回収管４２４）が設けられる。また、カップ４２には、これを下位置と上位置との間で昇降させるカップ昇降機構４２５が接続される。「下位置」は、カップ４２の上端（具体的には、傾斜部４２２の上端）がスピンチャック４１に保持される基板Ｗよりも下方に配置されるような位置である。「上位置」は、カップ４２の上端が、スピンチャック４１に保持される基板Ｗよりも上方に配置されるような位置である。カップ昇降機構４２５は、制御部６からの指示に応じて、カップ４２を昇降させる。すなわち、カップ４２の位置は、制御部６によって制御される。
【0057】
ノズル４３は、スピンチャック４１に保持される基板Ｗの上面に向けて、処理液を吐出する。ここでは例えば、処理液の種類ごとに個別のノズル４３が設けられる。すなわち、薬液を吐出するノズル４３（以下「薬液ノズル４３ａ」とも呼ぶ）、リンス液を吐出するノズル４３（以下「リンス液ノズル４３ｂ」とも呼ぶ）、および、ＩＰＡを吐出するノズル４３（以下「ＩＰＡノズル４３ｃ」とも呼ぶ）が設けられる。
【0058】
薬液ノズル４３ａは、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの上面に向けて、薬液を吐出する。薬液ノズル４３ａは、薬液バルブ４３１ａが介挿された薬液配管４３２ａを介して、薬液供給源４３３ａに接続される。薬液バルブ４３１ａが開かれると、薬液配管４３２ａを通じて薬液ノズル４３ａに薬液が供給され、薬液ノズル４３ａから薬液が吐出される。薬液バルブ４３１ａは、制御部６からの指示に応じて開閉される。すなわち、薬液ノズル４３ａからの薬液の吐出タイミングは、制御部６によって制御される。薬液は、例えば、フッ酸である。もっとも、薬液は、フッ酸に限られるものではなく、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、フッ酸、リン酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（例えば、クエン酸、蓚酸、など）、有機アルカリ（例えば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、など）、界面活性剤、および、腐食防止剤のうちの少なくとも１つを含む液であってもよい。
【0059】
リンス液ノズル４３ｂは、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの上面に向けて、リンス液を吐出する。リンス液ノズル４３ｂは、リンス液バルブ４３１ｂが介挿されたリンス液配管４３２ｂを介して、リンス液供給源４３３ｂに接続される。リンス液バルブ４３１ｂが開かれると、リンス液配管４３２ｂを通じてリンス液ノズル４３ｂにリンス液が供給され、リンス液ノズル４３ｂからリンス液が吐出される。リンス液バルブ４３１ｂは、制御部６からの指示に応じて開閉される。すなわち、リンス液ノズル４３ｂからのリンス液の吐出タイミングは、制御部６によって制御される。リンス液は、例えば、純水（脱イオン水：Deionized water）である。もっとも、リンス液は、純水に限られるものではなく、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および、希釈濃度（例えば、１０～１００ｐｐｍ程度）の塩酸水のうちのいずれかであってもよい。
【0060】
ＩＰＡノズル４３ｃは、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの上面に向けて、ＩＰＡ（すなわち、ＩＰＡを主成分とする液体）を吐出する。ＩＰＡノズル４３ｃは、ＩＰＡバルブ４３１ｃが介挿されたＩＰＡ配管４３２ｃを介して、有機溶剤回収部５に接続される。ＩＰＡバルブ４３１ｃが開かれると、ＩＰＡ配管４３２ｃを通じてＩＰＡノズル４３ｃにＩＰＡが供給され、ＩＰＡノズル４３ｃからＩＰＡが吐出される。ＩＰＡバルブ４３１ｃは、制御部６からの指示に応じて開閉される。すなわち、ＩＰＡノズル４３ｃからのＩＰＡの吐出タイミングは、制御部６によって制御される。
【0061】
なお、薬液ノズル４３ａ、リンス液ノズル４３ｂ、および、ＩＰＡノズル４３ｃのうちの少なくとも一つに、これを処理位置と退避位置との間で移動させるノズル移動機構が接続されてもよい。「処理位置」は、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃから吐出された処理液が、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗに供給される位置である。「退避位置」とは、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃが、上方から見て、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの周縁よりも外側（径方向の外方）にある位置である。この場合、ノズル移動機構は、制御部６からの指示に応じて、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃを移動させる。すなわち、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃの位置は、制御部６によって制御される。
【0062】
＜２－２．処理ユニットの動作＞
処理ユニット４の動作の一例について説明する。処理ユニット４で行われる動作は、制御部６の制御下で（すなわち、制御部６が、チャックピン４１２、スピンモータ４１４、カップ昇降機構４２５、薬液バルブ４３１ａ、リンス液バルブ４３１ｂ、ＩＰＡバルブ４３１ｃ、などを制御することによって）、行われる。
処理ユニット４の動作の一例について説明する。処理ユニット４で行われる動作は、制御部６の制御下で（すなわち、制御部６が、チャックピン４１２、スピンモータ４１４、カップ昇降機構４２５、薬液バルブ４３１ａ、リンス液バルブ４３１ｂ、ＩＰＡバルブ４３１ｃ、などを制御することによって）、行われる。
【0063】
主搬送ロボット３によって処理チャンバー４４内に基板Ｗが搬入されると、スピンチャック４１が基板Ｗを保持する。続いて、スピンチャック４１が、回転を開始する。
【0064】
この状態で、薬液バルブ４３１ａが開かれる。すると、薬液ノズル４３ａから、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗの上面に向けて、薬液が吐出される。これにより、基板Ｗの上面の全域に薬液が供給され、基板Ｗが薬液によって処理される（薬液処理工程）。例えば、薬液としてフッ酸が用いられる場合、基板Ｗからパーティクル等の異物が除去される。薬液処理工程が行われる間、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散した薬液は、カップ４２で受け止められる。すなわち、基板Ｗの周囲に飛散した薬液は、傾斜部４２２で受け止められ、案内部４２１によって下方に案内されて、液受部４２３に集められる。カップ４２で受け止められた薬液（すなわち、液受部４２３に集められた薬液）は、薬液用のカップ側回収管（図示省略）を通じて回収される。
【0065】
薬液の吐出が開始されてから所定時間が経過した時点で、薬液バルブ４３１ａが閉じられる。すると、薬液ノズル４３ａからの薬液の吐出が停止される。続いて、リンス液バルブ４３１ｂが開かれる。すると、リンス液ノズル４３ｂから、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗの上面に向けて、リンス液が吐出される。これにより、基板Ｗの上面の全域にリンス液が供給され、基板Ｗに付着している薬液がリンス液によって洗い流される（リンス処理工程）。リンス処理工程が行われる間も、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散した薬液およびリンス液は、カップ４２で受け止められる。カップ４２で受け止められた薬液およびリンス液は、薬液用のカップ側回収管（図示省略）を通じて回収される。
【0066】
リンス液の吐出が開始されてから所定時間が経過した時点で、リンス液バルブ４３１ｂが閉じられる。すると、リンス液ノズル４３ｂからのリンス液の吐出が停止される。続いて、ＩＰＡバルブ４３１ｃが開かれる。すると、ＩＰＡノズル４３ｃから、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗの上面に向けて、ＩＰＡが吐出される。これにより、基板Ｗの上面の全域にＩＰＡが供給され、基板Ｗに付着しているリンス液がＩＰＡに置換される（ＩＰＡ供給工程）。ＩＰＡ供給工程が行われる間も、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散したリンス液およびＩＰＡは、カップ４２で受け止められる。カップ４２で受け止められたリンス液およびＩＰＡは、ＩＰＡ用のカップ側回収管４２４を通じて回収される。
【0067】
ＩＰＡの供給開始から所定時間が経過した時点で、ＩＰＡバルブ４３１ｃが閉じられる。すると、ＩＰＡノズル４３ｃからのＩＰＡの吐出が停止される。この段階で、基板Ｗ上のリンス液がＩＰＡに完全に置換され、基板Ｗの上面の全域を覆うＩＰＡの液膜が形成されている。続いて、スピンチャック４１が、高速回転を開始する。これにより、基板Ｗが高速回転され、基板Ｗ上のＩＰＡが、遠心力によって基板Ｗの周囲に振り切られていく（スピンドライ工程）。基板Ｗが高速回転される間も、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散したＩＰＡは、カップ４２で受け止められる。カップ４２で受け止められたＩＰＡは、ＩＰＡ用のカップ側回収管４２４を通じて回収される。
【0068】
スピンチャック４１の高速回転が開始されてから所定時間が経過すると、スピンチャック４１の回転が停止される。この段階で、ＩＰＡが基板Ｗから除去され、基板Ｗは乾燥されている。乾燥された基板Ｗは、主搬送ロボット３によって処理チャンバー４４から搬出される。
【0069】
以上で、１枚の基板Ｗに対する一連の処理が終了する。処理ユニット４では、上記の一連の動作が繰り返されることによって、複数の基板Ｗが１枚ずつ次々に処理されていく。
【0070】
＜３．有機溶剤回収部５（有機溶剤回収装置）の概要＞
有機溶剤回収部５の構成について、図３を参照しながら説明する。図３は、第１の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の一例を模式的に示す図である。以下では、まず有機溶剤回収部５の概要について説明し、その後に、有機溶剤回収部５の各構成について詳述する。
有機溶剤回収部５の構成について、図３を参照しながら説明する。図３は、第１の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の一例を模式的に示す図である。以下では、まず有機溶剤回収部５の概要について説明し、その後に、有機溶剤回収部５の各構成について詳述する。
【0071】
有機溶剤回収部５は、回収タンクＴｋ１と、脱水循環部６０と、浄化循環部８０と、送液配管（第２送液配管）８５とを含んでいる。回収タンクＴｋ１は、各処理ユニット４から排出された回収液を貯留する。回収液は有機溶剤と水との混合液である。有機溶剤は例えば水よりも揮発性が高い有機溶剤または表面張力が低い有機溶剤であり、具体的な一例としてＩＰＡ（イソプロピルアルコール）である。各処理ユニット４からの混合液は回収配管５１を通じて回収タンクＴｋ１に流入し、回収タンクＴｋ１に貯留される。つまり、混合液は回収タンクＴｋ１に回収される。
【0072】
脱水循環部６０は、脱水用循環配管６１と、循環脱水器６２とを含んでいる。脱水用循環配管６１は回収タンクＴｋ１に接続されている。脱水用循環配管６１は、回収タンクＴｋ１からの混合液を回収タンクＴｋ１に戻す配管である。
【0073】
循環脱水器６２は脱水用循環配管６１に介挿されている。このため、循環脱水器６２には混合液が流入する。循環脱水器６２は、流入した混合液から水を分離し、該水を分離排出配管６５に流す。分離後の混合液は引き続き脱水用循環配管６１を循環する。この脱水により、脱水用循環配管６１において、循環脱水器６２の直後の混合液の有機溶剤の濃度（以下、溶剤濃度と呼ぶ）は、循環脱水器６２の直前の混合液の溶剤濃度よりも高くなる。脱水循環部６０は脱水用循環配管６１を通じて混合液を循環させるので、混合液が循環脱水器６２に流入し続ける。このため、循環脱水器６２は混合液から水を分離し続ける。その結果、循環中の混合液の溶剤濃度は時間の経過とともに高くなる。以下では、溶剤濃度が所定の溶剤基準値以上に高められた混合液を第１濃縮液と呼ぶ。また、循環脱水器６２によって混合液から分離された液体を分離液とも呼ぶ。分離液はほぼ水である。脱水循環部６０は混合液の循環により、第１濃縮液を生成する。
【0074】
図３の例では、有機溶剤回収部５には浄化タンクＴｋ２が設けられている。浄化タンクＴｋ２には、回収タンクＴｋ１からの第１濃縮液が、後述の濃縮液供給部７０によって供給される。浄化タンクＴｋ２は第１濃縮液を貯留する。
【0075】
浄化循環部８０は、浄化用循環配管８１と、フィルタ８２とを含んでいる。浄化用循環配管８１は、第１濃縮液を循環させる循環配管である。図３の例では、浄化用循環配管８１は浄化タンクＴｋ２に接続されている。浄化用循環配管８１は、浄化タンクＴｋ２からの第１濃縮液を浄化タンクＴｋ２に戻す配管である。
【0076】
フィルタ８２は浄化用循環配管８１に介挿されている。このため、フィルタ８２には第１濃縮液が流入する。フィルタ８２は第１濃縮液における不純物を捕捉する。この捕捉により、フィルタ８２の直後の第１濃縮液における不純物含有率は、フィルタ８２の直前の第１濃縮液における不純物含有率よりも低くなる。浄化循環部８０は浄化用循環配管８１を通じて第１濃縮液を循環させるので、フィルタ８２には第１濃縮液が流入し続ける。このため、フィルタ８２は第１濃縮液から不純物を捕捉し続ける。その結果、循環中の第１濃縮液の不純物含有率は時間の経過とともに低減する。つまり、第１濃縮液の清浄度は時間の経過とともに高まる。以下では、不純物含有率が所定の不純物基準値以下に低減した第１濃縮液を再利用液とも呼ぶ。浄化循環部８０は第１濃縮液の循環により、再利用液を生成する。
【0077】
第２送液配管８５は、浄化循環部８０によって生成された再利用液を供給タンクＴｋ３に向かって流す配管である。供給タンクＴｋ３内の再利用液は各処理ユニット４に供給される。
【0078】
以上のように、有機溶剤回収部５は、処理ユニット４から排出された混合液の溶剤濃度を高めて第１濃縮液を生成し、その後、第１濃縮液の不純物含有率を低減させて再利用液を生成する。この再利用液は再び処理ユニット４に供給される。つまり、基板処理装置１００は、処理ユニット４から排出された混合液中の有機溶剤を再利用している。これによれば、有機溶剤を廃棄する量を低減させることができ、有機溶剤をより有効に利用することができる。つまり、有機溶剤回収部５は省液化に資する。
【0079】
しかも、有機溶剤回収部５では、循環脱水器６２は脱水用循環配管６１に設けられており、フィルタ８２は浄化用循環配管８１に設けられている。つまり、循環脱水器６２およびフィルタ８２は互いに異なる循環配管に設けられている。このため、脱水循環部６０は循環脱水器６２に応じた第１条件で混合液を循環させることができ、浄化循環部８０はフィルタ８２に応じた第２条件で第１濃縮液を循環させることができる。第１条件および第２条件は、例えば、各循環配管を流れる流体についての流量、圧力および温度等の諸条件であり、具体的な一例として、温度についての条件である。この場合、後に詳述するように、脱水循環部６０は循環脱水器６２に適した温度で混合液を循環させ、かつ、浄化循環部８０はフィルタ８２に適した温度で第１濃縮液を循環させることができる。なお、この観点では、脱水用循環配管６１には、不純物捕捉用のフィルタが設けられていなくてもよく、浄化用循環配管８１には、水分離用の脱水器が設けられていなくてもよい。
【0080】
＜３－１．有機溶剤回収部５の具体例＞
（ａ１）回収タンクＴｋ１
回収タンクＴｋ１は回収配管５１を通じて各カップ４２に接続される。つまり、回収配管５１の上流部分には、カップ４２（具体的には、カップ４２に接続されたカップ側回収管４２４）が接続される。ここでは例えば、回収配管５１は、同じタワーに属する複数の処理ユニット４の各々が備えるカップ４２に接続される。回収配管５１の下流端部は回収タンクＴｋ１に接続されている。回収配管５１には回収バルブ５２が介挿されている。なお、図３では示されていないものの、回収タンクＴｋ１と処理ユニット４との間にバッファタンクが設けられてもよい。
（ａ１）回収タンクＴｋ１
回収タンクＴｋ１は回収配管５１を通じて各カップ４２に接続される。つまり、回収配管５１の上流部分には、カップ４２（具体的には、カップ４２に接続されたカップ側回収管４２４）が接続される。ここでは例えば、回収配管５１は、同じタワーに属する複数の処理ユニット４の各々が備えるカップ４２に接続される。回収配管５１の下流端部は回収タンクＴｋ１に接続されている。回収配管５１には回収バルブ５２が介挿されている。なお、図３では示されていないものの、回収タンクＴｋ１と処理ユニット４との間にバッファタンクが設けられてもよい。
【0081】
回収タンクＴｋ１は第１収容ボックス５０ａ（図１参照）に収容され得る。一例として、第１収容ボックス５０ａは基板処理装置１００の外壁１００ａの外側（例えば、基板処理装置１００が設置されるクリーンルームの下（例えば階下））に配置される。
【0082】
（ｂ１）脱水循環部６０
図３の例では、脱水循環部６０は、脱水用循環配管６１および循環脱水器６２の他、ポンプ（脱水側送液ポンプ）６３、第１切替バルブ６４１および第２切替バルブ６４２を含んでいる。
図３の例では、脱水循環部６０は、脱水用循環配管６１および循環脱水器６２の他、ポンプ（脱水側送液ポンプ）６３、第１切替バルブ６４１および第２切替バルブ６４２を含んでいる。
【0083】
脱水用循環配管６１は、回収タンクＴｋ１に貯留されている液体が、回収タンクＴｋ１から流出し、再び、回収タンクＴｋ１に戻るように循環する循環経路を形成する。図３の例では、脱水用循環配管６１の上流端部は回収タンクＴｋ１の底部に接続されており、脱水用循環配管６１の下流端部は回収タンクＴｋ１の上部に接続されている。
【0084】
循環脱水器６２は、例えば、蒸留器、霧化分離器または膜分離器であってもよい。循環脱水器６２は混合液の加熱を伴って、混合液から分離液を分離させてもよい。図３の例では、循環脱水器６２は、膜分離器６２１と、脱水温調器６２２とを含んでいる。膜分離器６２１は、第１経路６２１ａと、第２経路６２１ｂと、分離膜６２１ｃとを含む。第１経路６２１ａは脱水用循環配管６１に介挿されており、脱水循環部６０の脱水循環経路の一部を構成する。このため、混合液は第１経路６２１ａを通過する。分離膜６２１ｃは、第１経路６２１ａおよび第２経路６２１ｂを仕切る。分離膜６２１ｃは、混合液のうちの水を通過させ、有機溶剤をほぼ阻止する膜である。第１経路６２１ａに流入した混合液のうち水の一部は分離膜６２１ｃを通過して第２経路６２１ｂに流入する。
【0085】
分離膜６２１ｃは、ゼオライト膜、有機分離膜またはＣＮＴ(カーボンナノチューブ）分離膜であってもよい。ゼオライト膜は、例えば、四面体構造の(SiO4)4－および(AlO4)5－が相互に連結された結晶構造を有する。有機分離膜は、例えば、ポリビニルアルコール、キトサンおよびポリイミド等の有機膜である。ＣＮＴ分離膜は、例えば、ポリアミド等の膜にカーボンナノチューブを添加して得られる膜である。あるいは、分離膜６２１ｃの材料として、二次元材料を採用してもよい。二次元材料は、原子１層分で構成される材料であり、例えば、硫化モリブデン（ＭｏＳ２）であってもよく、前周期遷移金属（チタンやバナジウムなど）と軽元素（炭素または窒素）による複合原子層化合物であってもよい。あるいは、分離膜６２１ｃの材料として、ＭＯＦ（Metal Organic Frameworks）材料、または、炭素材料（例えば、グラフェンまたは酸化グラフェン）を適用してもよい。ここでは、分離膜６２１ｃとしてゼオライト膜が適用される。
【0086】
第２経路６２１ｂには、分離排出配管６５の上流端部が接続されている。分離液は分離排出配管６５を通じて、外部（例えば工場設備の排液処理部）に排出される。分離排出配管６５には、第２経路６２１ｂを減圧する減圧ポンプが設けられてもよい。図３に示されるように、分離排出配管６５には、排出バルブ６６が介挿されている。なお、循環脱水器６２が分離した分離液にはわずかに有機溶剤が含まれ得る。このような分離液中の有機溶剤を処理する処理部が、分離排出配管６５に設けられてもよい。このような処理の一例については第３および第４の実施の形態で述べる。
【0087】
脱水温調器６２２は脱水用循環配管６１に設けられており、脱水用循環配管６１を流れる混合液の温度を調整する。図３の例では、脱水温調器６２２は膜分離器６２１よりも上流側の位置に設けられている。脱水温調器６２２は加熱機能を有する。つまり、脱水温調器６２２はヒータを含む。ヒータは、電熱線を有する電気抵抗式のヒータであってもよく、光源を有する光学式のヒータであってもよく、ペルチェ素子を有する電子冷熱ユニットであってもよい。脱水温調器６２２が混合液を加熱することにより、高温の混合液を膜分離器６２１に流入させることができる。混合液中の分子の速度は温度が高いほど高いので、高温の混合液中の水分子が分離膜６２１ｃを通過しやすい。このため、膜分離器６２１はより高い効率で混合液から分離液を分離させることができる。ひいては、脱水循環部６０は、より短時間で、混合液の溶剤濃度を所定の溶剤基準値以上にすることができる。
【0088】
脱水側送液ポンプ６３は脱水用循環配管６１に介挿されている。一例として、脱水側送液ポンプ６３は循環脱水器６２よりも上流側の位置に設けられている。第１切替バルブ６４１および第２切替バルブ６４２は脱水用循環配管６１に介挿されている。第１切替バルブ６４１は循環脱水器６２よりも下流側の位置に設けられる。第２切替バルブ６４２は脱水側送液ポンプ６３よりも上流側の位置に設けられる。
【0089】
脱水用循環配管６１には、各種のセンサが介挿され得る。例えば、脱水用循環配管６１には、脱水用循環配管６１を流れる流体における有機溶剤（ここでは例えばＩＰＡ）の濃度を検知する濃度センサＳｎ６３、脱水用循環配管６１を流れる流体の流量を検知する流量センサ（流量計）Ｓｎ６４、脱水用循環配管６１を流れる流体の圧力を検知する圧力センサＳｎ６１、および、脱水用循環配管６１を流れる流体の温度を検知する温度センサＳｎ６２、などが介挿される。濃度センサＳｎ６３は、例えば、循環脱水器６２よりも下流側の位置に介挿される。流量センサ６４は、例えば、脱水側送液ポンプ６３よりも上流側の位置に介挿される。圧力センサＳｎ６１は、例えば、脱水側送液ポンプ６３よりも下流側であって循環脱水器６２よりも上流側の位置に介挿される。温度センサＳｎ６２は、例えば、脱水温調器６２２よりも下流側であって膜分離器６２１よりも上流側の位置に介挿される。
【0090】
（ｃ１）浄化タンクＴｋ２
浄化タンクＴｋ２には、後述の濃縮液供給部７０によって第１濃縮液が供給される。浄化タンクＴｋ２は例えば第１収容ボックス５０ａ（図１参照）に収容される。
浄化タンクＴｋ２には、後述の濃縮液供給部７０によって第１濃縮液が供給される。浄化タンクＴｋ２は例えば第１収容ボックス５０ａ（図１参照）に収容される。
【0091】
（ｄ１）濃縮液供給部７０
図３の例では、有機溶剤回収部５には濃縮液供給部７０が設けられている。濃縮液供給部７０は回収タンクＴｋ１から浄化タンクＴｋ２に第１濃縮液を供給する。濃縮液供給部７０は、第１送液配管７１と、第１送液バルブ７２と、送液部の一例である脱水側送液ポンプ６３とを含んでいる。
図３の例では、有機溶剤回収部５には濃縮液供給部７０が設けられている。濃縮液供給部７０は回収タンクＴｋ１から浄化タンクＴｋ２に第１濃縮液を供給する。濃縮液供給部７０は、第１送液配管７１と、第１送液バルブ７２と、送液部の一例である脱水側送液ポンプ６３とを含んでいる。
【0092】
図３の例では、浄化タンクＴｋ２は第１送液配管７１を通じて脱水用循環配管６１に接続されている。すなわち、第１送液配管７１の下流端部は浄化タンクＴｋ２に接続されており、第１送液配管７１の上流端部は脱水用循環配管６１に接続されている。第１送液配管７１の上流端部は脱水側送液ポンプ６３と第１切替バルブ６４１との間の位置で脱水用循環配管６１に接続される。一例として、第１送液配管７１の上流端部は、脱水温調器６２２よりも下流側（好ましくは、温度センサＳｎ２よりも下流側）であって膜分離器６２１よりも上流側の位置に、接続される。なお、図３とは異なるものの、第１送液配管７１の上流端部は循環脱水器６２よりも下流側の位置に接続されてもよい。また、第１送液配管７１の上流端部は必ずしも脱水用循環配管６１に接続される必要はなく、回収タンクＴｋ１に接続されてもよい。この場合、脱水側送液ポンプ６３とは別のポンプが第１送液配管７１に設けられる。第１送液配管７１には、第１送液バルブ７２が介挿されている。
【0093】
（ｅ１）浄化循環部８０
図３の例では、浄化循環部８０は、浄化用循環配管８１およびフィルタ８２の他、ポンプ（浄化側送液ポンプ）８３、切替バルブ８４および浄化温調器８７を含んでいる。
図３の例では、浄化循環部８０は、浄化用循環配管８１およびフィルタ８２の他、ポンプ（浄化側送液ポンプ）８３、切替バルブ８４および浄化温調器８７を含んでいる。
【0094】
図３の例では、浄化用循環配管８１は、浄化タンクＴｋ２に貯留されている液体が、浄化タンクＴｋ２から流出し、再び、浄化タンクＴｋ２に戻るように循環する循環経路を形成する。図３の例では、浄化用循環配管８１の上流端部は浄化タンクＴｋ２の底部に接続されており、浄化用循環配管８１の下流端部は浄化タンクＴｋ２の上部に接続されている。
【0095】
フィルタ８２は、浄化用循環配管８１を流れる第１濃縮液中の不純物を捕捉する。不純物は、例えば処理ユニット４における処理によって生じた異物等であってもよい。フィルタ８２は、例えば、メッシュ状に形成されていてもよいし、微粒子が集合または凝集された構成を有していてもよい。フィルタ８２は例えば樹脂によって構成されてもよい。図３の例では、フィルタ８２にはエア抜き用配管８８が接続されている。
【0096】
浄化温調器８７は浄化用循環配管８１に設けられており、浄化用循環配管８１を流れる第１濃縮液の温度を調整する。図３の例では、浄化温調器８７はフィルタ８２よりも上流側の位置に設けられている。浄化温調器８７は加熱機能および冷却機能の少なくともいずれか一方を有する。浄化温調器８７は、例えば、電子冷熱ユニット（例えばペルチェ素子）を含む。浄化温調器７は第１濃縮液を加熱または冷却して、第１濃縮液の温度をフィルタ８２に適した温度に調整する。上述のように、脱水温調器６２２が混合液を加熱する場合、高温の第１濃縮液が浄化タンクＴｋ２に供給される。この場合、浄化温調器８７は第１濃縮液を冷却することにより、比較的に低い温度を有する第１濃縮液をフィルタ８２に流入させる。つまり、浄化温調器８７は、第１濃縮液の温度を、脱水循環部６０による循環中の混合液の温度よりも低く調整する。上述の例では、脱水循環部６０では脱水温調器６２２によって混合液の温度は高く調整されているので、浄化温調器８７は、第１濃縮液の温度を混合液の温度よりも常温に近い値に調整する。常温は、例えば基板処理装置１００が設けられる室内の温度であって、具体的な例として摂氏２５度である。
【0097】
このように常温に近い第１濃縮液がフィルタ８２に流入すると、熱によるフィルタ８２の変形を抑制することができる。つまり、フィルタ８２の熱膨張または熱収縮を抑制することができる。もしも、フィルタ８２が熱によって大きく変形すると、フィルタ８２の目の粗さが所望範囲から外れるおそれがある。フィルタ８２の目の粗さが所望範囲外になると、フィルタ８２による不純物の捕捉効率が低下したり、あるいは、第１濃縮液がフィルタ８２を通過しにくくなったりする。上述の例では、浄化温調器８７が第１濃縮液を冷却するので、フィルタ８２は高効率で不純物を捕捉することができ、また、第１濃縮液を適切に通過させることができる。
【0098】
浄化側送液ポンプ８３は浄化用循環配管８１に介挿されている。一例として、浄化側送液ポンプ８３はフィルタ８２よりも上流側の位置に設けられている。切替バルブ８４は浄化用循環配管８１に介挿されている。一例として、切替バルブ８４はフィルタ８２よりも下流側の位置に設けられている。
【0099】
浄化用循環配管８１には、各種のセンサが介挿される。浄化用循環配管８１を流れる流体の圧力を検知する圧力センサＳｎ８１、および、浄化用循環配管８１を流れる流体の温度を検知する温度センサＳｎ８２、などが介挿される。圧力センサＳｎ８１は、例えば、浄化側送液ポンプ８３よりも下流側であってフィルタ８２よりも上流側の位置に介挿される。温度センサＳｎ８２は、例えば、浄化温調器８７よりも下流側であってフィルタ８２よりも上流側の位置に介挿される。
【0100】
（ｆ１）供給タンクＴｋ３
供給タンクＴｋ３には、後述の再利用液供給部８９によって、再利用液が供給される。供給タンクＴｋ３は、第２収容ボックス５０ｂに収容される（図１参照）。一例として、第２収容ボックス５０ｂは、基板処理装置１００の外壁１００ａの内側に配置される。
供給タンクＴｋ３には、後述の再利用液供給部８９によって、再利用液が供給される。供給タンクＴｋ３は、第２収容ボックス５０ｂに収容される（図１参照）。一例として、第２収容ボックス５０ｂは、基板処理装置１００の外壁１００ａの内側に配置される。
【0101】
（ｇ１）再利用液供給部８９
図３の例では、有機溶剤回収部５には再利用液供給部８９が設けられている。再利用液供給部８９は供給タンクＴｋ３に再利用液を供給する。再利用液供給部８９は、第２送液配管８５と、第２送液バルブ８６と、送液部の一例である浄化側送液ポンプ８３とを含んでいる。
図３の例では、有機溶剤回収部５には再利用液供給部８９が設けられている。再利用液供給部８９は供給タンクＴｋ３に再利用液を供給する。再利用液供給部８９は、第２送液配管８５と、第２送液バルブ８６と、送液部の一例である浄化側送液ポンプ８３とを含んでいる。
【0102】
図３の例では、供給タンクＴｋ３は第２送液配管８５を通じて浄化用循環配管８１に接続される。つまり、第２送液配管８５の下流端部は供給タンクＴｋ３に接続されており、第２送液配管８５の上流端部は浄化用循環配管８１に接続されている。具体的には、第２送液配管８５の上流端部は浄化側送液ポンプ８３と切替バルブ８４との間の位置で浄化用循環配管８１に接続される。一例として、第２送液配管８５の上流端部はフィルタ８２よりも上流側であって浄化温調器８７よりも下流側の位置で浄化用循環配管８１に接続される。第２送液配管８５には第２送液バルブ８６が介挿される。なお、第２送液配管８５の上流端部は必ずしも浄化用循環配管８１に接続される必要はなく、浄化タンクＴｋ２に接続されてもよい。この場合、浄化側送液ポンプ８３とは別のポンプが第２送液配管８５に設けられる。
【0103】
（ｈ１）新液供給
供給タンクＴｋ３は、新液配管４０１を通じて、新液供給源４０３に接続される。すなわち、新液配管４０１の下流端部は供給タンクＴｋ３に接続されており、新液配管４０１の上流端部は新液供給源４０３に接続されている。新液供給源４０３は、一度も基板Ｗに供給されていない未使用の有機溶剤（例えば、濃度が９９．８ｗｔ％以上であるＩＰＡ）の供給源である。新液配管４０１には、新液バルブ４０２が介挿されている。
供給タンクＴｋ３は、新液配管４０１を通じて、新液供給源４０３に接続される。すなわち、新液配管４０１の下流端部は供給タンクＴｋ３に接続されており、新液配管４０１の上流端部は新液供給源４０３に接続されている。新液供給源４０３は、一度も基板Ｗに供給されていない未使用の有機溶剤（例えば、濃度が９９．８ｗｔ％以上であるＩＰＡ）の供給源である。新液配管４０１には、新液バルブ４０２が介挿されている。
【0104】
供給タンクＴｋ３は、第３送液配管４０４を通じて、ＩＰＡノズル４３ｃに接続される。すなわち、第３送液配管４０４の一端側には、供給タンクＴｋ３が接続され、第３送液配管４０４の他端側には、ＩＰＡノズル４３ｃ（具体的には、ＩＰＡノズル４３ｃに接続されたＩＰＡ配管４３２ｃ）が接続される。ここでは例えば、第３送液配管４０４は、同じタワーに属する複数の処理ユニット４の各々が備えるＩＰＡノズル４３ｃに接続される。
【0105】
第３送液配管４０４には、ポンプ（供給側送液ポンプ）４０５が介挿される。また、第３送液配管４０４には、供給側送液ポンプ４０５よりも下流側の位置に、フィルタ４０７が介挿される。また、第３送液配管４０４には、フィルタ４０７よりも上流側であって供給側送液ポンプ４０５よりも下流側の位置に、温調器４０６が介挿される。
【0106】
第３送液配管４０４には、各種のセンサが介挿される。例えば、第３送液配管４０４には、第３送液配管４０４を流れる流体の温度を検知する温度センサＳｎ４１、などが介挿される。温度センサＳｎ４１は、例えば、フィルタ４０７よりも上流側であって温調器４０６よりも下流側の位置に介挿される。温調器４０６は、処理ユニット４に供給する再利用液の温度を、基板Ｗの処理に応じた所定温度範囲に調整する。
【0107】
＜３－２．有機溶剤回収部５の動作の一例＞
図４は、有機溶剤回収部５の動作の一例を示すフローチャートである。ここでは、回収タンクＴｋ１に混合液が貯留されている。まず、脱水循環部６０は脱水用循環配管６１を通じて混合液を循環させる（ステップＳ１：脱水循環工程）。具体的には、制御部６は、第１切替バルブ６４１、第２切替バルブ６４２および排出バルブ６６を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させる。これにより、混合液は、回収タンクＴｋ１および脱水用循環配管６１を含む脱水循環経路を循環する。この循環により、混合液は循環脱水器６２を経由し続ける。このため、循環脱水器６２は混合液から分離液を分離し続け、分離液は分離排出配管６５を通じて外部に排出され続ける。したがって、循環中の混合液の溶剤濃度は時間の経過とともに増加する。
図４は、有機溶剤回収部５の動作の一例を示すフローチャートである。ここでは、回収タンクＴｋ１に混合液が貯留されている。まず、脱水循環部６０は脱水用循環配管６１を通じて混合液を循環させる（ステップＳ１：脱水循環工程）。具体的には、制御部６は、第１切替バルブ６４１、第２切替バルブ６４２および排出バルブ６６を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させる。これにより、混合液は、回収タンクＴｋ１および脱水用循環配管６１を含む脱水循環経路を循環する。この循環により、混合液は循環脱水器６２を経由し続ける。このため、循環脱水器６２は混合液から分離液を分離し続け、分離液は分離排出配管６５を通じて外部に排出され続ける。したがって、循環中の混合液の溶剤濃度は時間の経過とともに増加する。
【0108】
ここでは、制御部６は混合液の循環中において脱水温調器６２２を作動させる。一例として、制御部６は混合液の循環開始とともに、脱水温調器６２２の作動を開始させる。制御部６は、例えば温度センサＳｎ６２によって検知された温度に基づいて、脱水温調器６２２を制御してもよい。これにより、混合液の温度を高い精度で制御することができる。脱水温調器６２２は例えば摂氏４０度以上に混合液を加熱する。脱水温調器６２２は混合液の温度を摂氏５０度以上に調整してもよく、摂氏６０度以上に調整してもよく、摂氏７０度以上に調整してもよい。これにより、膜分離器６２１は高効率で混合液から分離液を分離させることができる。
【0109】
制御部６は、循環中の混合液の溶剤濃度が所定の溶剤基準値以上になるまで、脱水循環部６０に混合液を循環させる。溶剤基準値は、例えば、６０ｗｔ％以上であってもよく、７０ｗｔ％以上であってもよく、８０ｗｔ％以上であってもよく、９０ｗｔ％以上であってもよく、９５ｗｔ％以上であってもよく、９８ｗｔ％以上であってもよい。例えば制御部６は、濃度センサＳｎ６３によって検知された溶剤濃度と溶剤基準値を比較し、溶剤濃度が溶剤基準値以上となったときに、脱水循環部６０に循環を停止させてもよい。具体的には、制御部６は第１切替バルブ６４１、第２切替バルブ６４２および排出バルブ６６を閉じ、脱水側送液ポンプ６３および脱水温調器６２２を停止させる。
【0110】
この循環により、回収タンクＴｋ１には、溶剤濃度が高められた混合液（つまり、第１濃縮液）が貯留される。なお、制御部６は所定の脱水時間の経過をトリガとして脱水循環部６０に循環を停止させてもよい。脱水時間は、例えば、溶剤濃度が溶剤基準値以上となるのに要する時間以上に事前に設定される。脱水時間は例えば数十分以上または数時間以上に設定され得る。
【0111】
図４の例では、次に、濃縮液供給部７０は第１濃縮液を回収タンクＴｋ１から浄化タンクＴｋ２に供給する（ステップＳ２：濃縮液供給工程）。具体的には、制御部６は第２切替バルブ６４２および第１送液バルブ７２を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させる。これにより、回収タンクＴｋ１内の第１濃縮液が少なくとも第１送液配管７１を通じて、浄化タンクＴｋ２に供給される。浄化タンクＴｋ２に十分な量の第１濃縮液が供給されると、制御部６は第２切替バルブ６４２および第１送液バルブ７２を閉じ、脱水側送液ポンプ６３を停止させる。
【0112】
次に、浄化循環部８０は浄化用循環配管８１を通じて第１濃縮液を循環させる（ステップＳ３：浄化循環工程）。具体的には、制御部６は切替バルブ８４を開き、浄化側送液ポンプ８３を作動させる。これにより、第１濃縮液は、浄化タンクＴｋ２および浄化用循環配管８１を含む浄化循環経路を循環する。この循環により、第１濃縮液はフィルタ８２を経由し続ける。このため、フィルタ８２は第１濃縮液から不純物を捕捉し続ける。したがって、循環中の第１濃縮液の不純物含有率は時間の経過とともに低減する。
【0113】
ここでは、制御部６は第１濃縮液の循環中において浄化温調器８７を作動させる。一例として、制御部６は第１濃縮液の循環開始とともに浄化温調器８７の作動を開始させる。制御部６は、例えば温度センサＳｎ８２によって検知された温度に基づいて、浄化温調器８７を制御してもよい。これにより、第１濃縮液の温度を高い精度で制御することができる。浄化温調器８７は例えば摂氏４０度以下に第１濃縮液を冷却する。浄化温調器８７は第１濃縮液の温度を摂氏３５度以下に調整してもよく、摂氏３０度以下に調整してもよい。また、浄化温調器８７は第１濃縮液の温度を摂氏２０度以上に調整してもよい。これにより、フィルタ８２は高効率で第１濃縮液中の不純物を捕捉することができる。
【0114】
制御部６は、例えば、第１濃縮液の不純物含有率が所定の不純物基準値以下になるまで、浄化循環部８０に第１濃縮液を循環させる。制御部６は、例えば、第１濃縮液の循環開始から所定の浄化時間が経過したときに、切替バルブ８４を閉じ、浄化側送液ポンプ８３および浄化温調器８７を停止させる。浄化時間は、例えば、不純物含有率が不純物基準値以下になるのに要する時間以上に事前に設定される。なお、第１濃縮液中の不純物の量を検知するセンサを設け、制御部６が、該センサによって検知された不純物の量が基準値以下となったときに、浄化循環部８０に循環を停止させてもよい。この循環により、浄化タンクＴｋ２には、不純物含有率が低められた第１濃縮液（つまり、再利用液）が貯留される。
【0115】
次に、再利用液供給部８９は再利用液を供給タンクＴｋ３に供給する（ステップＳ４：再利用液供給工程）。具体的には、制御部６は第２送液バルブ８６を開き、浄化側送液ポンプ８３を作動させる。これにより、浄化タンクＴｋ２内の再利用液が少なくとも第２送液配管８５を通じて供給タンクＴｋ３に供給される。
【0116】
以上のように、有機溶剤回収部５は、処理ユニット４から排出された混合液から分離液を分離して溶剤濃度を高めた第１濃縮液を生成し（ステップＳ１）、該第１濃縮液中の不純物を捕捉して、第１濃縮液の不純物含有率を低減させた再利用液を生成する（ステップＳ３）。そして、基板処理装置１００はこの再利用液を再び処理ユニット４に供給する（ステップＳ４）。このため、有機溶剤の廃棄量を低減させることができ、有機溶剤を有効に利用することができる。
【0117】
また、上述の例では、循環脱水器６２は膜分離器６２１を含んでいる。膜分離器６２１は蒸留器に比べてサイズが小さいので、装置規模を低減させることができる。
【0118】
また、上述の例では、脱水温調器６２２が混合液を加熱するので、膜分離器６２１は高効率で混合液から分離液を分離できる。一方、浄化温調器８７は第１濃縮液を冷却するので、フィルタ８２は高効率で第１濃縮液中の不純物を捕捉することができる。
【0119】
また、上述の例では、浄化タンクＴｋ２が設けられており、回収タンクＴｋ１内の高温の第１濃縮液が第１送液配管７１を通じて浄化タンクＴｋ２に供給される。第１濃縮液の第１送液配管７１の通過中には第１濃縮液は放熱するので、浄化タンクＴｋ２には自然放熱によって冷却された第１濃縮液が貯留される。このため、浄化循環部８０において、第１濃縮液の温度をより速やかに低減させることができる。
【0120】
＜第２の実施の形態＞
図５は、第２の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の一例を模式的に示す図である。
図５は、第２の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の一例を模式的に示す図である。
【0121】
（ａ２）回収タンクＴｋ１
第２の実施の形態では、回収タンクＴｋ１として、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２が設けられている。
第２の実施の形態では、回収タンクＴｋ１として、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２が設けられている。
【0122】
（ｂ２）回収切替部５０
第２の実施の形態では、有機溶剤回収部５には、回収切替部５０が設けられている。回収切替部５０は処理ユニット４からの混合液の回収先を第１回収タンクＴｋ１１と第２回収タンクＴｋ１２との間で切り替える。図５の例では、回収切替部５０は、回収配管５１と、切替バルブ部５２０とを含んでいる。回収配管５１は、共通回収配管５１０と、第１分岐配管５１１と、第２分岐配管５１２とを含んでいる。共通回収配管５１０はその上流側において各処理ユニット４に接続される。共通回収配管５１０の下流端部は第１分岐配管５１１の上流端部および第２分岐配管５１２の上流端部に接続されている。第１分岐配管５１１の下流端部は第１回収タンクＴｋ１１に接続されており、第２分岐配管５１２の下流端部は第２回収タンクＴｋ１２に接続されている。
第２の実施の形態では、有機溶剤回収部５には、回収切替部５０が設けられている。回収切替部５０は処理ユニット４からの混合液の回収先を第１回収タンクＴｋ１１と第２回収タンクＴｋ１２との間で切り替える。図５の例では、回収切替部５０は、回収配管５１と、切替バルブ部５２０とを含んでいる。回収配管５１は、共通回収配管５１０と、第１分岐配管５１１と、第２分岐配管５１２とを含んでいる。共通回収配管５１０はその上流側において各処理ユニット４に接続される。共通回収配管５１０の下流端部は第１分岐配管５１１の上流端部および第２分岐配管５１２の上流端部に接続されている。第１分岐配管５１１の下流端部は第１回収タンクＴｋ１１に接続されており、第２分岐配管５１２の下流端部は第２回収タンクＴｋ１２に接続されている。
【0123】
切替バルブ部５２０は、処理ユニット４を第１回収タンクＴｋ１１に連通させた状態と、処理ユニット４を第２回収タンクＴｋ１２に連通させた状態とを切り替える。図３の例では、切替バルブ部５２０は、第１回収バルブ５２１と、第２回収バルブ５２２とを含んでいる。第１回収バルブ５２１は第１分岐配管５１１に介挿されており、第２回収バルブ５２２は第２分岐配管５１２に介挿されている。
【0124】
制御部６が第１回収バルブ５２１を開き、第２回収バルブ５２２を閉じると、混合液は第１回収タンクＴｋ１１に供給され、制御部６が第１回収バルブ５２１を閉じ、第２回収バルブ５２２を開くと、混合液は第２回収タンクＴｋ１２に供給される。後述のように、回収切替部５０は回収先を第１回収タンクＴｋ１１と第２回収タンクＴｋ１２との間で交互に切り替える。
【0125】
（ｃ２）脱水循環部６０
脱水循環部６０は、第１回収タンクＴｋ１１を経由した第１脱水循環経路６０１と、第２回収タンクＴｋ１２を経由した第２脱水循環経路６０２とを含んでいる。一例として、第１脱水循環経路６０１は後述の共通循環配管６１０で第２脱水循環経路６０２と共通している。第１脱水循環経路６０１は、第１回収タンクＴｋ１１と、第１脱水用循環配管６１１とを含み、第２脱水循環経路６０２は、第２回収タンクＴｋ１２と、第２脱水用循環配管６１２とを含む。第１脱水用循環配管６１１は、第１下流配管６１１１と、共通循環配管６１０と、第１上流配管６１２１とを含んでおり、第２脱水用循環配管６１２は、第２下流配管６１１２と、共通循環配管６１０と、第２上流配管６１２２とを含んでいる。第１上流配管６１２１の上流端部は例えば第１回収タンクＴｋ１１の底部に接続され、第２上流配管６１２２の上流端部は例えば第２回収タンクＴｋ１２の底部に接続されている。第１上流配管６１２１の下流端部および第２上流配管６１２２の下流端部は共通循環配管６１０の上流端部に接続されている。共通循環配管６１０の下流端部は第１下流配管６１１１の上流端部および第２下流配管６１１２の上流端部に接続されている。第１下流配管６１１１の下流端部は例えば第１回収タンクＴｋ１１の上部に接続されており、第２下流配管６１１２の下流端部は例えば第２回収タンクＴｋ１２の上部に接続されている。この接続関係において、共通循環配管６１０は第１下流配管６１１１と第１上流配管６１２１との間に接続されており、第２下流配管６１１２と第２上流配管６１２２との間にも接続されている。このため、共通循環配管６１０は第１脱水循環経路６０１と第２脱水循環経路６０２とで兼用される。
脱水循環部６０は、第１回収タンクＴｋ１１を経由した第１脱水循環経路６０１と、第２回収タンクＴｋ１２を経由した第２脱水循環経路６０２とを含んでいる。一例として、第１脱水循環経路６０１は後述の共通循環配管６１０で第２脱水循環経路６０２と共通している。第１脱水循環経路６０１は、第１回収タンクＴｋ１１と、第１脱水用循環配管６１１とを含み、第２脱水循環経路６０２は、第２回収タンクＴｋ１２と、第２脱水用循環配管６１２とを含む。第１脱水用循環配管６１１は、第１下流配管６１１１と、共通循環配管６１０と、第１上流配管６１２１とを含んでおり、第２脱水用循環配管６１２は、第２下流配管６１１２と、共通循環配管６１０と、第２上流配管６１２２とを含んでいる。第１上流配管６１２１の上流端部は例えば第１回収タンクＴｋ１１の底部に接続され、第２上流配管６１２２の上流端部は例えば第２回収タンクＴｋ１２の底部に接続されている。第１上流配管６１２１の下流端部および第２上流配管６１２２の下流端部は共通循環配管６１０の上流端部に接続されている。共通循環配管６１０の下流端部は第１下流配管６１１１の上流端部および第２下流配管６１１２の上流端部に接続されている。第１下流配管６１１１の下流端部は例えば第１回収タンクＴｋ１１の上部に接続されており、第２下流配管６１１２の下流端部は例えば第２回収タンクＴｋ１２の上部に接続されている。この接続関係において、共通循環配管６１０は第１下流配管６１１１と第１上流配管６１２１との間に接続されており、第２下流配管６１１２と第２上流配管６１２２との間にも接続されている。このため、共通循環配管６１０は第１脱水循環経路６０１と第２脱水循環経路６０２とで兼用される。
【0126】
図５の例では、循環脱水器６２および脱水側送液ポンプ６３は共通循環配管６１０に介挿されている。第１下流配管６１１１には、第１下流バルブ６４１１が介挿されており、第２下流配管６１１２には、第２下流バルブ６４１２が介挿されており、第１上流配管６１２１には、第１上流バルブ６４２１が介挿されており、第２上流配管６１２２には、第２上流バルブ６４２２が介挿されている。第１下流バルブ６４１１、第２下流バルブ６４１２、第１上流バルブ６４２１および第２上流バルブ６４２２は、混合液の循環経路を第１脱水循環経路６０１と第２脱水循環経路６０２との間で切り替える循環切替バルブ部６４０を形成する。
【0127】
図５の例では、第１の実施の形態と同様の各種センサが共通循環配管６１０に介挿されている。
【0128】
制御部６が第１下流バルブ６４１１および第１上流バルブ６４２１を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させると、混合液は第１脱水循環経路６０１を循環する。この循環により、第１脱水循環経路６０１上の循環脱水器６２を用いて、混合液の溶剤濃度を向上させることができる。これにより、第１回収タンクＴｋ１１に、溶剤濃度の高い混合液（つまり、第１濃縮液）を貯留させることができる。
【0129】
一方、制御部６が第２下流バルブ６４１２および第２上流バルブ６４２２を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させると、混合液は第２脱水循環経路６０２を循環する。この循環により、第２脱水循環経路６０２上の循環脱水器６２を用いて、混合液の溶剤濃度を向上させることができる。これにより、第２回収タンクＴｋ１２に、溶剤濃度の高い混合液（つまり、第１濃縮液）を貯留させることができる。
【0130】
後述のように、脱水循環部６０は、第１回収タンクＴｋ１１による混合液の回収中において、第２脱水循環経路６０２を通じて混合液を循環させ、第２回収タンクＴｋ１２による混合液の回収中において、第１脱水循環経路６０１を通じて混合液を循環させる。
【0131】
（ｄ２）浄化タンクＴｋ２
図５の例では、浄化タンクＴｋ２として、第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２が設けられている。
図５の例では、浄化タンクＴｋ２として、第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２が設けられている。
【0132】
（ｅ２）濃縮液供給部７０
濃縮液供給部７０は第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２の一方から第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２の一方に第１濃縮液を供給する。一例として、濃縮液供給部７０は、第１濃縮液の供給元を第１回収タンクＴｋ１１と第２回収タンクＴｋ１２との間で切り替える供給元切替機能と、第１濃縮液の供給先を第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で切り替える供給先切替機能とを有している。
濃縮液供給部７０は第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２の一方から第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２の一方に第１濃縮液を供給する。一例として、濃縮液供給部７０は、第１濃縮液の供給元を第１回収タンクＴｋ１１と第２回収タンクＴｋ１２との間で切り替える供給元切替機能と、第１濃縮液の供給先を第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で切り替える供給先切替機能とを有している。
【0133】
濃縮液供給部７０は、供給先切替機能部として、第１送液配管７１と、切替バルブ部７２０とを含んでいる。第１送液配管７１は、共通送液配管７１０と、第１分岐配管７１１と、第２分岐配管７１２とを含んでいる。共通送液配管７１０の上流端部は一例として共通循環配管６１０に接続されており、共通送液配管７１０の下流端部は第１分岐配管７１１の上流端部および第２分岐配管７１２の上流端部に接続されている。第１分岐配管７１１の下流端部は第１浄化タンクＴｋ２１に接続されており、第２分岐配管７１２の下流端部は第２浄化タンクＴｋ２２に接続されている。
【0134】
切替バルブ部７２０は、共通循環配管６１０を第１浄化タンクＴｋ２１に連通させた状態と、共通循環配管６１０を第２浄化タンクＴｋ２２に連通させた状態とを切り替える。図５の例では、切替バルブ部７２０は、第１送液バルブ７２１と、第２送液バルブ７２２とを含んでいる。第１送液バルブ７２１は第１分岐配管７１１に介挿されており、第２送液バルブ７２２は第２分岐配管７１２に介挿されている。
【0135】
図５の例では、濃縮液供給部７０の供給元切替機能部は、第１上流配管６１２１と、第２上流配管６１２２と、共通循環配管６１０の一部と、第１上流バルブ６４２１と、第２上流バルブ６４２２とによって形成される。第１上流バルブ６４２１および第２上流バルブ６４２２は、第１回収タンクＴｋ１１を共通循環配管６１０に連通させた状態と、第２回収タンクＴｋ１２を共通循環配管６１０に連通させた状態とを切り替える切替バルブ部を形成する。
【0136】
制御部６は第１上流バルブ６４２１、第２上流バルブ６４２２、第１送液バルブ７２１および第２送液バルブ７２２の開閉を切り替えることにより、供給元と供給先との組み合わせを変化させることができる。例えば、制御部６は第１上流バルブ６４２１および第２送液バルブ７２２を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させる。これにより、第１回収タンクＴｋ１１から第２浄化タンクＴｋ２２に第１濃縮液が供給される。
【0137】
後述のように、濃縮液供給部７０は、供給元を第１回収タンクＴｋ１１と第２回収タンクＴｋ１２との間で交互に切り替え、供給先を第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で交互に切り替える。
【0138】
（ｆ２）浄化循環部８０
図５の例では、浄化循環部８０は、第１浄化タンクＴｋ２１を経由した第１浄化循環経路８０１と、第２浄化タンクＴｋ２２を経由した第２浄化循環経路８０２とを含んでいる。図５の例では、第１浄化循環経路８０１は、第１浄化タンクＴｋ２１と、第１浄化用循環配管８１１とを含んでおり、第２浄化循環経路８０２は、第２浄化タンクＴｋ２２と、第２浄化用循環配管８１２とを含んでいる。第１浄化用循環配管８１１の上流端部は例えば第１浄化タンクＴｋ２１の底部に接続されており、第１浄化用循環配管８１１の下流端部は例えば第１浄化タンクＴｋ２１の上部に接続されている。第２浄化用循環配管８１２の上流端部は例えば第２浄化タンクＴｋ２２の底部に接続されており、第２浄化用循環配管８１２の下流端部は例えば第２浄化タンクＴｋ２２の上部に接続されている。
図５の例では、浄化循環部８０は、第１浄化タンクＴｋ２１を経由した第１浄化循環経路８０１と、第２浄化タンクＴｋ２２を経由した第２浄化循環経路８０２とを含んでいる。図５の例では、第１浄化循環経路８０１は、第１浄化タンクＴｋ２１と、第１浄化用循環配管８１１とを含んでおり、第２浄化循環経路８０２は、第２浄化タンクＴｋ２２と、第２浄化用循環配管８１２とを含んでいる。第１浄化用循環配管８１１の上流端部は例えば第１浄化タンクＴｋ２１の底部に接続されており、第１浄化用循環配管８１１の下流端部は例えば第１浄化タンクＴｋ２１の上部に接続されている。第２浄化用循環配管８１２の上流端部は例えば第２浄化タンクＴｋ２２の底部に接続されており、第２浄化用循環配管８１２の下流端部は例えば第２浄化タンクＴｋ２２の上部に接続されている。
【0139】
図５の例では、第１浄化用循環配管８１１には第１フィルタ８２１が介挿されており、第２浄化用循環配管８１２には第２フィルタ８２２が介挿されている。第１フィルタ８２１および第２フィルタ８２２はフィルタ８２と同様であり、第１濃縮液中の不純物を捕捉する。図５の例では、第１フィルタ８２１および第２フィルタ８２２の各々にはエア抜き用配管８８が接続される。
【0140】
また、図５の例では、第１浄化用循環配管８１１には第１浄化温調器８７１が設けられており、第２浄化用循環配管８１２には第２浄化温調器８７２が設けられている。第１浄化温調器８７１および第２浄化温調器８７２は浄化温調器８７と同様であり、第１濃縮液の温度を調整する。例えば第１浄化温調器８７１および第２浄化温調器８７２は第１濃縮液を冷却する。一例として、第１浄化温調器８７１は第１フィルタ８２１よりも上流側の位置に設けられており、第２浄化温調器８７２は第２フィルタ８２２よりも上流側の位置に設けられている。
【0141】
第１浄化用循環配管８１１には第１浄化側送液ポンプ８３１が介挿されており、第２浄化用循環配管８１２には第２浄化側送液ポンプ８３２が介挿されている。図５の例では、第１浄化側送液ポンプ８３１は第１浄化温調器８７１よりも上流側の位置に設けられており、第２浄化側送液ポンプ８３２は第２浄化温調器８７２よりも上流側の位置に設けられている。また、第１浄化用循環配管８１１には第１切替バルブ８４１が介挿されており、第２浄化用循環配管８１２には第２切替バルブ８４２が介挿されている。図５の例では、第１切替バルブ８４１は第１フィルタ８２１よりも下流側の位置に設けられており、第２切替バルブ８４２は第２フィルタ８２２よりも下流側の位置に設けられている。図５の例では、第１浄化用循環配管８１１および第２浄化用循環配管８１２の各々には、第１実施形態と同様の各種センサが介挿されている。
【0142】
制御部６が第１切替バルブ８４１を開き、第１浄化側送液ポンプ８３１を作動させると、第１濃縮液は第１浄化循環経路８０１を循環する。この循環により、第１浄化循環経路８０１上の第１フィルタ８２１を用いて、第１濃縮液の不純物含有率を低減させることができる。これにより、不純物含有率の低い第１濃縮液（つまり、再利用液）を第１浄化タンクＴｋ２１に貯留させることができる。
【0143】
一方で、制御部６が第２切替バルブ８４２を開き、第２浄化側送液ポンプ８３２を作動させると、第１濃縮液は第２浄化循環経路８０２を循環する。この循環により、第２浄化循環経路８０２上の第２フィルタ８２２を用いて、第１濃縮液の不純物含有率を低減させることができる。これにより、不純物含有率の低い第１濃縮液（つまり、再利用液）を第２浄化タンクＴｋ２２に貯留させることができる。
【0144】
（ｇ２）再利用液供給部８９
再利用液供給部８９は第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２の各々から供給タンクＴｋ３に再利用液を供給する。再利用液供給部８９は再利用液の供給元を第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で切り替える。
再利用液供給部８９は第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２の各々から供給タンクＴｋ３に再利用液を供給する。再利用液供給部８９は再利用液の供給元を第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で切り替える。
【0145】
再利用液供給部８９は、第２送液配管８５と、切替バルブ部８６０と、送液部の一例である第１浄化側送液ポンプ８３１および第２浄化側送液ポンプ８３２とを含んでいる。第２送液配管８５は、共通送液配管８５０と、第１分岐配管８５１と、第２分岐配管８５２とを含んでいる。一例として、第１分岐配管８５１の上流端部は第１切替バルブ８４１と第１浄化側送液ポンプ８３１との間の位置で第１浄化用循環配管８１１に接続され、第２分岐配管８５２の上流端部は第２切替バルブ８４２と第２浄化側送液ポンプ８３２との間の位置で第２浄化用循環配管８１２に接続されている。第１分岐配管８５１の下流端部および第２分岐配管８５２の下流端部は共通送液配管８５０の上流端部に接続されている。共通送液配管８５０の下流端部は例えば供給タンクＴｋ３の上部に接続される。
【0146】
切替バルブ部８６０は、第１浄化タンクＴｋ２１を供給タンクＴｋ３に連通させた状態と、第２浄化タンクＴｋ２２を供給タンクＴｋ３に連通させた状態とを切り替える。図５の例では、切替バルブ部８６０は、第１送液バルブ８６１と、第２送液バルブ８６２とを含んでいる。第１送液バルブ８６１は第１分岐配管８５１に介挿されており、第２送液バルブ８６２は第２分岐配管８５２に介挿されている。
【0147】
制御部６が第１送液バルブ８６１を開き、第１浄化側送液ポンプ８３１を作動させると、第１浄化タンクＴｋ２１から供給タンクＴｋ３に再利用液が供給される。また、制御部６が第２送液バルブ８６２を開き、第２浄化側送液ポンプ８３２を作動させると、第２浄化タンクＴｋ２２から供給タンクＴｋ３に再利用液が供給される。後述のように、再利用液供給部８９は、供給タンクＴｋ３に再利用液を供給する供給元を、第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で交互に切り替える。
【0148】
＜有機溶剤回収部５の動作＞
次に、有機溶剤回収部５の動作の一例について説明する。図６は、有機溶剤回収部５の動作の一例を模式的に示す図である。図６では、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２の各々における液体の貯留量（以下、回収貯留量とも呼ぶ）の時間変化の一例も模式的に示されている。また、図６では、第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２の各々における液体の貯留量（以下、浄化貯留量とも呼ぶ）の時間変化の一例も模式的に示されている。また、図６では、供給タンクＴｋ３における再利用液の貯留量（以下、供給貯留量とも呼ぶ）の時間変化の一例も模式的に示されている。図７から図１４は、有機溶剤回収部５の動作例を説明するための図である。図７から図１４では、流体が流れている配管を太線で示しており、開いているバルブを黒塗りで示している。
次に、有機溶剤回収部５の動作の一例について説明する。図６は、有機溶剤回収部５の動作の一例を模式的に示す図である。図６では、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２の各々における液体の貯留量（以下、回収貯留量とも呼ぶ）の時間変化の一例も模式的に示されている。また、図６では、第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２の各々における液体の貯留量（以下、浄化貯留量とも呼ぶ）の時間変化の一例も模式的に示されている。また、図６では、供給タンクＴｋ３における再利用液の貯留量（以下、供給貯留量とも呼ぶ）の時間変化の一例も模式的に示されている。図７から図１４は、有機溶剤回収部５の動作例を説明するための図である。図７から図１４では、流体が流れている配管を太線で示しており、開いているバルブを黒塗りで示している。
【0149】
図６の例では、時点ｔ０において、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２はほぼ空であり、第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２には第１濃縮液（または再利用液）が貯留されている。
【0150】
図６の例では、まず第１回収タンクＴｋ１１が混合液を回収する。つまり、回収切替部５０は処理ユニット４からの混合液の回収先として第１回収タンクＴｋ１１を選択する。具体的には、図７に示されるように、制御部６は第１回収バルブ５２１を開き、第２回収バルブ５２２を閉じる。このため、第１回収タンクＴｋ１１の回収貯留量は時間の経過とともに増加する。
【0151】
また、図６の例では、初期的に、第１浄化タンクＴｋ２１を含む第１浄化循環経路８０１および第２浄化タンクＴｋ２２を含む第２浄化循環経路８０２の各々を通じた循環が行われている。具体的には、図７に示されるように、制御部６は第１切替バルブ８４１および第２切替バルブ８４２を開き、第１浄化側送液ポンプ８３１および第２浄化側送液ポンプ８３２を作動させる。これらの循環により、第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２内において、第１濃縮液の不純物含有率は時間の経過とともに低減する。制御部６は第１の実施の形態と同様に、第１浄化温調器８７１および第２浄化温調器８７２を作動させてもよい。これにより、第１フィルタ８２１および第２フィルタ８２２は高効率で不純物を捕捉することができる。
【0152】
浄化循環部８０は、第１浄化タンクＴｋ２１内の第１濃縮液の不純物含有率が不純物基準値以下になった後も、第１浄化循環経路８０１を通じた循環を継続してもよい。つまり、第１浄化タンクＴｋ２１に再利用液が貯留された後にも、第１浄化循環経路８０１を通じた循環が継続されてもよい。これにより、第１浄化タンクＴｋ２１内の再利用液の不純物含有率をさらに低減させることができる。第２浄化循環経路８０２を通じた循環も同様である。
【0153】
ところで、供給タンクＴｋ３内の再利用液は処理ユニット４に供給されるので、供給タンクＴｋ３の供給貯留量は時間の経過とともに低減する（時点ｔ０から時点ｔ１参照）。このため、供給貯留量はいずれ所定の供給基準値以下になる。供給基準値はゼロまたはゼロよりも少し大きな値であってもよい。なお、各タンクに貯留された貯留量は、各タンクに設けられた不図示の貯留量センサ（例えば液面センサ）によって検知され得る。
【0154】
供給貯留量が供給基準値以下になると、一例として、浄化循環部８０は第２浄化循環経路８０２を通じた循環を停止させ、再利用液供給部８９は第２浄化タンクＴｋ２２から供給タンクＴｋ３に再利用液を供給し始める（時点ｔ１参照）。具体的には、図８に示されるように、制御部６は第２切替バルブ８４２を閉じ、第２送液バルブ８６２を開く。これにより、第２浄化循環経路８０２を通じた循環が停止し、第２浄化タンクＴｋ２２から供給タンクＴｋ３に再利用液が供給される。この供給により、供給貯留量は時間の経過とともに増加し、第２浄化タンクＴｋ２２の浄化貯留量は時間の経過とともに低減する。
【0155】
供給タンクＴｋ３に十分な量の再利用液を供給したときには、再利用液供給部８９は供給タンクＴｋ３への再利用液の供給を停止する（時点ｔ２参照）。具体的には、図９に示されるように、制御部６は第２送液バルブ８６２を閉じ、第２浄化側送液ポンプ８３２を停止させる。一例として、時点ｔ２において第２浄化タンクＴｋ２２はほぼ空になっている。この供給停止により、供給貯留量は再び時間の経過とともに低減する。
【0156】
一方、処理ユニット４からの混合液は第１回収タンクＴｋ１１に供給されているので、第１回収タンクＴｋ１１の回収貯留量は時間の経過とともに増加する。第１回収タンクＴｋ１１の回収貯留量が所定の循環基準値以上になると、回収切替部５０は処理ユニット４からの混合液の回収先を第１回収タンクＴｋ１１から第２回収タンクＴｋ１２に切り替える。図６では、回収切替部５０は時点ｔ２において回収先を第２回収タンクＴｋ１２に切り替えている。具体的には、図９に示されるように、制御部６は第１回収バルブ５２１を閉じ、第２回収バルブ５２２を開く。これにより、第２回収タンクＴｋ１２の回収貯留量は時間の経過とともに増加する。
【0157】
また、回収切替部５０が混合液の回収先を第２回収タンクＴｋ１２に切り替えると、脱水循環部６０は、第１回収タンクＴｋ１１を含む第１脱水循環経路６０１を通じて混合液を循環させ始める（時点ｔ２参照）。つまり、脱水循環部６０は、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２のうち回収に用いられてない回収タンクを含む脱水循環経路を通じて、混合液を循環させる。具体的には、図９に示されるように、制御部６は第１下流バルブ６４１１、第１上流バルブ６４２１および排出バルブ６６を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させる。この循環によって、第１回収タンクＴｋ１１内の混合液の溶剤濃度は時間の経過とともに増加する。また、制御部６は第１の実施の形態と同様に、この循環中において脱水温調器６２２を作動させてもよい。これにより、循環脱水器６２は高効率で混合液から分離液を分離することができる。
【0158】
以上のように、第２回収タンクＴｋ１２による混合液の回収中に、第１脱水循環経路６０１を通じた混合液の循環が行われる。逆に言えば、この循環中において、処理ユニット４からの混合液は第１回収タンクＴｋ１１に供給されない。このため、低い溶剤濃度の混合液が循環中の混合液に流入することを回避することができる。また、処理ユニット４からの混合液の温度は、循環脱水器６２による分離に適した範囲内にあるとは限らないので、もしも処理ユニット４からの混合液が循環中の混合液に流入すると、循環中の混合液の温度が変動して当該範囲外になるおそれがある。この場合、分離効率の低下を招くおそれがある。上述の例によれば、このような分離効率の低下も回避することもできる。
【0159】
第１回収タンクＴｋ１１内の混合液の溶剤濃度が溶剤基準値以上になると、脱水循環部６０は循環を停止する（時点ｔ３参照）。次に、濃縮液供給部７０は、所定の補充基準値以下の貯留量である第２浄化タンクＴｋ２２に対して、第１回収タンクＴｋ１１から第１濃縮液を供給する。補充基準値は例えばゼロまたはゼロよりも少し大きな値に事前に設定され得る。具体的には、図１０に示されるように、制御部６は第１下流バルブ６４１１を閉じ、第２送液バルブ７２２を開く。第１下流バルブ６４１１の閉止により、混合液の循環が停止する。ここでは、脱水側送液ポンプ６３は継続的に作動しているので、第１回収タンクＴｋ１１から第２浄化タンクＴｋ２２に第１濃縮液が供給される。この供給により、第１回収タンクＴｋ１１の回収貯留量は時間の経過とともに低減し、第２浄化タンクＴｋ２２の浄化貯留量は時間の経過ともに増加する。
【0160】
第２浄化タンクＴｋ２２に十分な量の第１濃縮液を供給したときに、濃縮液供給部７０は第２浄化タンクＴｋ２２への第１濃縮液の供給を停止する（時点ｔ４参照）。具体的には、図１１に示されるように、制御部６は第２送液バルブ７２２を閉じ、脱水側送液ポンプ６３を停止させる。図６の例では、時点ｔ４において第１回収タンクＴｋ１１はほぼ空になっている。
【0161】
次に、浄化循環部８０は、第２浄化タンクＴｋ２２を含む第２浄化循環経路８０２を通じて第１濃縮液を循環させ始める（時点ｔ４参照）。具体的には、図１１に示されるように、制御部６は第２切替バルブ８４２を開き、第２浄化側送液ポンプ８３２を作動させる。この循環により、第２浄化タンクＴｋ２２内の第１濃縮液の不純物含有率は時間の経過とともに低減する。制御部６は第１の実施の形態と同様に、第２浄化温調器８７２を作動させてもよい。なお、浄化循環部８０は第２浄化タンクＴｋ２２への第１濃縮液の供給中（つまり、時点ｔ３から時点ｔ４まで）に循環を開始してもよい。
【0162】
供給貯留量が再び供給基準値以下になると、再利用液供給部８９は供給タンクＴｋ３に再利用液を供給し始める（時点ｔ５参照）。ここでは、第２浄化タンクＴｋ２２内の第１濃縮液の不純物含有率は未だ不純物基準値以下になっていないものとする。このため、再利用液供給部８９は第１浄化タンクＴｋ２１から供給タンクＴｋ３に再利用液を供給する。この供給に先立って、浄化循環部８０は第１浄化循環経路８０１を通じた循環を停止させ得る。具体的には、図１１に示されるように、制御部６は、第１切替バルブ８４１を閉じ、第１送液バルブ８６１を開く。この供給により、第１浄化タンクＴｋ２１の浄化貯留量は時間の経過とともに低減し、供給貯留量は時間の経過とともに増加する。
【0163】
供給タンクＴｋ３に十分な量の再利用液を供給したときに、再利用液供給部８９は供給タンクＴｋ３への再利用液の供給を停止する（時点ｔ６参照）。具体的には、図１２に示されるように、制御部６は第１送液バルブ８６１を閉じ、第１浄化側送液ポンプ８３１を停止させる。図６の例では、時点ｔ６において、第１浄化タンクＴｋ２１はほぼ空になっている。この供給停止により、供給貯留量は再び時間の経過とともに低減する。
【0164】
一方、第２回収タンクＴｋ１２の回収貯留量が所定の循環基準値以上になると、回収切替部５０は処理ユニット４からの混合液の回収先を第２回収タンクＴｋ１２から第１回収タンクＴｋ１１に切り替える。図６では、回収切替部５０は時点ｔ６において回収先を第１回収タンクＴｋ１１に切り替えている。具体的には、図１２に示されるように、制御部６は第１回収バルブ５２１を開き、第２回収バルブ５２２を閉じる。これにより、第１回収タンクＴｋ１１の回収貯留量は時間の経過とともに増加する。
【0165】
上述のように、回収切替部５０は時点ｔ６において回収先を第１回収タンクＴｋ１１に切り替える。ここでは、第１回収タンクＴｋ１１内の第１濃縮液を第２浄化タンクＴｋ２２に供給し終わった時点ｔ４の後に、第１回収タンクＴｋ１１が処理ユニット４からの混合液を受け入れる。要するに、有機溶剤回収部５は、第１回収タンクＴｋ１１での第１濃縮液の生成（時点ｔ２から時点ｔ３）および第１回収タンクＴｋ１１からの第２浄化タンクＴｋ２２への第１濃縮液の供給（時点ｔ３から時点ｔ４）を、時点ｔ６までに終了させる。言い換えれば、この条件を満足するように、循環脱水器６２の能力、循環中の混合液の圧力（目標値）、流量（目標値）および温度（目標値）ならびに第２浄化タンクＴｋ２２に供給する混合液の流量（目標値）が設定され得る。
【0166】
次に、脱水循環部６０は、第２回収タンクＴｋ１２を含む第２脱水循環経路６０２を通じて混合液を循環させ始める（時点ｔ６参照）。具体的には、図１２に示されるように、制御部６は第２下流バルブ６４１２、第２上流バルブ６４２２および排出バルブ６６を開き、脱水側送液ポンプ６３を作動させる。この循環によって、第２回収タンクＴｋ１２内の混合液の溶剤濃度は時間の経過とともに増加する。制御部６は第１の実施の形態と同様に、脱水温調器６２２を作動させてもよい。
【0167】
以上のように、第１回収タンクＴｋ１１による混合液の回収中において、第２脱水循環経路６０２を通じて混合液が循環する。言い換えれば、この循環中において、処理ユニット４からの混合液は第２回収タンクＴｋ１２に供給されない。このため、処理ユニット４からの混合液が循環中の混合液に流入することを回避することができる。したがって、該流入に起因した循環中の混合液の溶剤濃度の低下および温度変動を回避することができる。
【0168】
第２回収タンクＴｋ１２内の混合液の溶剤濃度が溶剤基準値以上となると、脱水循環部６０は第２脱水循環経路６０２を通じた循環を停止させる（時点ｔ７参照）。次に濃縮液供給部７０は、貯留量が補充基準値以下である第１浄化タンクＴｋ２１に対して、第２回収タンクＴｋ１２から第１濃縮液を供給し始める。具体的には、図１３に示されるように、制御部６は、第２下流バルブ６４１２を閉じ、第１送液バルブ７２１を開く。第２下流バルブ６４１２の閉止により、混合液の循環が停止する。ここでは、脱水側送液ポンプ６３は継続的に作動しているので、第２回収タンクＴｋ１２から第１浄化タンクＴｋ２１に第１濃縮液が供給される。この供給により、第２回収タンクＴｋ１２の回収貯留量が時間の経過とともに低減し、第１浄化タンクＴｋ２１の浄化貯留量が時間の経過とともに増加する。
【0169】
第１浄化タンクＴｋ２１に十分な量の第１濃縮液を供給したときには、濃縮液供給部７０は第１浄化タンクＴｋ２１への第１濃縮液の供給を停止する（時点ｔ８参照）。具体的には、図１４に示されるように、制御部６は第１送液バルブ７２１を閉じ、脱水側送液ポンプ６３を停止させる。図６の例では、時点ｔ８において、第２回収タンクＴｋ１２はほぼ空になっている。
【0170】
次に、浄化循環部８０は、第１浄化タンクＴｋ２１を含む第１浄化循環経路８０１を通じて第１濃縮液を循環させ始める（時点ｔ８参照）。具体的には、図１４に示されるように、制御部６は第１切替バルブ８４１を開き、第１浄化側送液ポンプ８３１を作動させる。この循環により、第１浄化タンクＴｋ２１内の第１濃縮液の不純物含有率は時間の経過とともに低減する。制御部６は第１の実施の形態と同様に、第１浄化温調器８７１を作動させてもよい。なお、浄化循環部８０は第１浄化タンクＴｋ２１への第１濃縮液の供給中（つまり、時点ｔ７から時点ｔ８まで）に循環を開始してもよい。
【0171】
供給貯留量が再び供給基準値以下になると、再利用液供給部８９は供給タンクＴｋ３に再利用液を供給し始める（時点ｔ９参照）。ここでは、第１浄化タンクＴｋ２１内の第１濃縮液の不純物含有率は未だ不純物基準値以下になっていないものとする。一方で、第２浄化タンクＴｋ２２には、不純物含有率が不純物基準値以下である再利用液が貯留されている。つまり、ここでは、時点ｔ９までに第２浄化タンクＴｋ２２に再利用液が貯留される。要するに、第２浄化循環経路８０２を通じた循環の開始（時点ｔ４）から、供給タンクＴｋ３の貯留量が２回目に供給基準値以下となる時点ｔ９までに、第２浄化タンクＴｋ２２内の第１濃縮液の不純物含有率が不純物基準値以下となる。逆に言えば、この条件が成立するように、第２フィルタ８２２の能力、ならびに、循環中の第１濃縮液の圧力（目標値）、流量（目標値）および温度（目標値）が事前に設定され得る。
【0172】
浄化循環部８０は第２浄化循環経路８０２を通じた循環を停止しつつ、再利用液供給部８９は第２浄化タンクＴｋ２２から供給タンクＴｋ３に再利用液を供給する。具体的には、制御部６は、図１４に示されるように、第２切替バルブ８４２を閉じ、第２送液バルブ８６２を開く。この供給により、第２浄化タンクＴｋ２２の浄化貯留量は時間の経過とともに低減し、供給貯留量は時間の経過とともに増加する。
【0173】
供給タンクＴｋ３に十分な量の再利用液を供給したときには、再利用液供給部８９は供給タンクＴｋ３への再利用液の供給を停止する（時点ｔ１０参照）。
【0174】
一方、第１回収タンクＴｋ１１の回収貯留量が所定の循環基準値以上になると、回収切替部５０は処理ユニット４からの混合液の回収先を第１回収タンクＴｋ１１から再び第２回収タンクＴｋ１２に切り替える。図６の例では、回収切替部５０は時点ｔ１０において回収先を第２回収タンクＴｋ１２に切り替えている。具体的には、図１４に示されるように、制御部６は第１回収バルブ５２１を閉じ、第２回収バルブ５２２を開く。これにより、第２回収タンクＴｋ１２の回収貯留量は時間の経過とともに増加する。
【0175】
上述のように、回収切替部５０は時点ｔ１０において回収先を第２回収タンクＴｋ１２に切り替える。ここでは、第２回収タンクＴｋ１２内の第１濃縮液を第１浄化タンクＴｋ２１に供給し終わった時点ｔ８の後に、第２回収タンクＴｋ１２が処理ユニット４からの混合液を受け入れる。要するに、有機溶剤回収部５は、第２回収タンクＴｋ１２での第１濃縮液の生成（時点ｔ６から時点ｔ７）および第２回収タンクＴｋ１２からの第１浄化タンクＴｋ２１への第１濃縮液の供給（時点ｔ７から時点ｔ８）を、時点ｔ１０までに終了させる。言い換えれば、この条件を満足するように、循環脱水器６２の能力、循環中の混合液の圧力（目標値）、流量（目標値）および温度（目標値）ならびに第１浄化タンクＴｋ２１に供給する混合液の流量（目標値）が設定され得る。
【0176】
以後、有機溶剤回収部５は上述の動作を繰り返す。
【0177】
以上のように、第２の実施の形態では、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２が設けられており、回収切替部５０は、処理ユニット４からの混合液の回収先を第１回収タンクＴｋ１１と第２回収タンクＴｋ１２との間で交互に切り替える。しかも、有機溶剤回収部５は、第１回収タンクＴｋ１１での混合液の回収中に、第２回収タンクＴｋ１２での第１濃縮液の生成、および、その第１濃縮液の第２回収タンクＴｋ１２から第１浄化タンクＴｋ２１への供給を行う。同様に、有機溶剤回収部５は、第２回収タンクＴｋ１２での混合液の回収中に、第１回収タンクＴｋ１１での第１濃縮液の生成、および、その第１濃縮液の第１回収タンクＴｋ１１から第２浄化タンクＴｋ２２への供給を行う。
【0178】
これにより、有機溶剤回収部５は処理ユニット４からの混合液の回収を常時継続しつつも、第１濃縮液を生成することができる。しかも、処理ユニット４からの混合液は循環中の混合液に流入しない。このため、該流入に起因した循環中の混合液の溶剤濃度の低下を回避することができる。また、該流入に起因した循環中の混合液の温度変動も回避することができる。したがって、循環脱水器６２は高効率で混合液から分離液を分離することができる。
【0179】
また、上述の例では、脱水循環部６０は、共通循環配管６１０に循環脱水器６２が設けられている。このため、循環脱水器６２を第１脱水循環経路６０１および第２脱水循環経路６０２の両方で兼用することができる。したがって、装置規模および製造コストを低減させることができる。
【0180】
これは、混合液が複数の処理ユニット４から継続して排出される基板処理装置１００に特に有益である。すなわち、第１回収タンクＴｋ１１および第２回収タンクＴｋ１２のいずれか一方は常時、処理ユニット４から混合液の回収に用いられるので、第１脱水循環経路６０１を通じた循環および第２脱水循環経路６０２を通じた循環を並行して行う必要はなく、これらの循環を交互に行えばよい。このため、循環脱水器６２を第１脱水循環経路６０１および第２脱水循環経路６０２の両方で兼用しても、第１脱水循環経路６０１の循環および第２脱水循環経路６０２の循環を適切に実現することができる。
【0181】
また、上述の例では、第１浄化タンクＴｋ２１および第２浄化タンクＴｋ２２が設けられており、浄化循環部８０は、第１浄化循環経路８０１に設けられた第１フィルタ８２１と、第２浄化循環経路８０２に設けられた第２フィルタ８２２とを含んでいる。これにより、浄化循環部８０は、第１浄化循環経路８０１を通じた第１濃縮液の循環と、第２浄化循環経路８０２を通じた第１濃縮液の循環とを並行して行うことができる（例えば時点ｔ４から時点ｔ５および時点ｔ８から時点ｔ９）。このため、第１濃縮液の循環時間を長くすることができ、不純物含有率がより低い再利用液を生成することができる。
【0182】
＜第３の実施の形態＞
循環脱水器６２は混合液から水を分離するに際して、混合液中の有機溶剤をわずかに分離する可能性がある。例えば分離膜６２１ｃは有機溶剤をほぼ阻止するものの、実際には、混合液中の有機溶剤のわずかな一部が分離膜６２１ｃを通過し得る。言い換えれば、分離膜６２１ｃは、有機溶剤よりも水を通過させやすい膜であるともいえる。つまり、膜分離器６２１に流入する水の量に対して分離膜６２１ｃを通過する水の量の比率は、膜分離器６２１に流入する有機溶剤の量に対して分離膜６２１ｃを通過する有機溶剤の量の比率よりも高い。
循環脱水器６２は混合液から水を分離するに際して、混合液中の有機溶剤をわずかに分離する可能性がある。例えば分離膜６２１ｃは有機溶剤をほぼ阻止するものの、実際には、混合液中の有機溶剤のわずかな一部が分離膜６２１ｃを通過し得る。言い換えれば、分離膜６２１ｃは、有機溶剤よりも水を通過させやすい膜であるともいえる。つまり、膜分離器６２１に流入する水の量に対して分離膜６２１ｃを通過する水の量の比率は、膜分離器６２１に流入する有機溶剤の量に対して分離膜６２１ｃを通過する有機溶剤の量の比率よりも高い。
【0183】
以上のように、分離液にはわずかな有機溶剤が含まれ得る。そこで、第３の実施の形態では、分離液に含まれる有機溶剤を処理することを企図する。
【0184】
図１５は、第３の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の一例を模式的に示す図である。第３の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５は、分離液処理部９０の有無という点で、第１または第２の実施の形態と相違する。
【0185】
分離液処理部９０は分離排出配管６５に介挿されている。分離液処理部９０には分離液が流入する。分離液にはわずかに有機溶剤が含まれている。分離液の溶剤濃度は混合液の溶剤濃度に比べて小さい。分離液処理部９０は分離液を処理して、分離液の溶剤濃度をさらに低減させる。図１５の例では、分離液処理部９０は分解器９２を含んでいる。分解器９２は分離排出配管６５に介挿されている。分解器９２には分離液が流入する。分解器９２は分離液中の有機溶剤を分解する。具体的には、分解器９２は有機溶剤を水と他成分とに分解する。他成分は例えば二酸化炭素を含む。
【0186】
分解器９２は例えば電気分解により有機溶剤を分解してもよい。例えば分解器９２は、流入した分離液を貯留するタンクと、該タンク内の分離液に浸漬した一対の電極と、一対の電極間に電圧を印加する電源とを含む。電源が一対の電極間に電圧を印加することにより、分離液中の有機溶剤を分解する。
【0187】
ところで、各配管には液体の蒸気も流れ得る。例えば、各配管には水蒸気および有機溶剤の蒸気が流れ得る。有機溶剤が水よりも揮発性が高い場合には、配管内には有機溶剤の蒸気が生じやすい。特に、図１５の例では、循環脱水器６２は脱水温調器６２２を含んでおり、混合液の加熱を伴って混合液から分離液を分離する。このため、混合液および分離液の温度は比較的に高い。混合液および分離液は温度が高いほど蒸発するので、例えば、脱水用循環配管６１には混合液の蒸気が流れ、その結果、分離排出配管６５の上流端部には分離液の蒸気が流入する。温度が高いほど、分離液の蒸気の割合は大きくなる。以下では、分離液および分離液の蒸気を総称して分離流体と呼ぶ。分離流体の主成分は水である。
【0188】
そこで、図１５の例では、分離液処理部９０は凝縮器９１も含んでいる。凝縮器９１は分解器９２よりも上流側の位置で分離排出配管６５に介挿されている。凝縮器９１には分離流体が流入する。凝縮器９１は少なくとも有機溶剤の蒸気を凝縮させる。つまり、有機溶剤の蒸気が液体に変化する。凝縮器９１は、例えば、熱交換器と、冷却源とを含む。熱交換器は分離排出配管６５に介挿されている。冷却源は熱交換器を冷却する。例えば冷却源は冷媒を熱交換器に供給してもよい。冷媒は気体であってもよく、液体であってもよい。あるいは、冷却源は熱交換器に設けられた電子冷熱ユニットであってもよい。熱交換器を通過する分離流体は熱交換器に熱を奪われて冷却する。これにより、少なくとも有機溶剤の蒸気が液体に変化する。凝縮器９１は有機溶剤の蒸気の大部分または全部を凝縮させるとよい。また、凝縮器９１は水蒸気の大部分または全部をも凝縮させるとよい。
【0189】
これにより、分解器９２に流入する有機溶剤の蒸気量を低減させつつ、分解器９２に流入する液体の有機溶剤の量を増加させることができる。このため、分解器９２はより確実に有機溶剤を電気分解させることができる。分解器９２は有機溶剤（液体）の大部分または全部を分解するとよい。
【0190】
図１５の例では、排出バルブ６６として第１排出バルブ６６１および第２排出バルブ６６２が設けられている。第１排出バルブ６６１は分離液処理部９０よりも上流側の位置で分離排出配管６５に介挿されており、第２排出バルブ６６２は分離液処理部９０よりも下流側の位置で分離排出配管６５に介挿されている。
【0191】
制御部６は脱水循環部６０による混合液の循環中において、分離液処理部９０を作動させる。具体的には、制御部６は凝縮器９１の冷却源を作動させ、分解器９２の電源を作動させる。例えば、制御部６は脱水循環部６０による混合液の循環開始とともに、分離液処理部９０の作動を開始させ、脱水循環部６０による混合液の循環停止とともに、分離液処理部９０の作動を停止させる。
【0192】
また、第３の実施の形態が第２の実施の形態に適用される場合、制御部６は、第１脱水循環経路６０１を通じた混合液の循環中および第２脱水循環経路６０２を通じた混合液の循環中の各々において、分離液処理部９０を作動させる。
【0193】
なお、分解器９２がタンクを有している場合、分解器９２はタンク内に十分な量の分離液が貯留されたときに、該分離液を電気分解してもよい。この場合、有機溶剤の分解は必ずしも混合液の循環中に行われる必要はない。
【0194】
以上のように、第３の実施の形態では、分離液処理部９０が分離液中の有機溶剤を分解する。このため、排出先の排出処理部（例えば工場設備の排出処理部）は分離液を処理しやすい。また、上述の例では、凝縮器９１が有機溶剤の蒸気を凝縮させたうえで、分解器９２が分離液中の有機溶剤を電気分解する。このため、分離液処理部９０から下流側に流出する有機溶剤の量をより確実に低減させることができる。
【0195】
＜第４の実施の形態＞
＜第１例＞
図１６は、第４の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の第１例を模式的に示す図である。第４の実施の形態の第１例にかかる有機溶剤回収部５は、分離液処理部９０の内部構成という点で、第３の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５と相違する。
＜第１例＞
図１６は、第４の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の第１例を模式的に示す図である。第４の実施の形態の第１例にかかる有機溶剤回収部５は、分離液処理部９０の内部構成という点で、第３の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５と相違する。
【0196】
第４の実施の形態にかかる分離液処理部９０は分離流体から有機溶剤を分離する。そして、分離液処理部９０は、有機溶剤が分離した後の分離流体を外部に排出し、分離した有機溶剤を第１濃縮液に合流させる。図１６の例では、分離液処理部９０は、分離した有機溶剤を浄化タンクＴｋ２に供給する。
【0197】
なお、分離液処理部９０は実際には分離流体から水も分離し得る。そこで、以下では、分離液処理部９０が分離流体から分離した液体を第２濃縮液とも呼ぶ。第２濃縮液は有機溶剤のみならず、わずかに水も含み得る。第２濃縮液の主成分は有機溶剤であり、その溶剤濃度は高い。第２濃縮液は有機溶剤のみによって構成されてもよい。
【0198】
図１６の例では、分離液処理部９０は、分離脱水器９３と、復帰配管９４とを含んでいる。分離脱水器９３は分離排出配管６５に介挿されている。以下では、分離排出配管６５のうちの分離脱水器９３よりも上流側の部分を上流排出配管６５ａと呼び、下流側の部分を下流排出配管６５ｂと呼ぶ。分離脱水器９３は復帰配管９４の上流端部にも接続されている。分離脱水器９３には、上流排出配管６５ａを通じて分離流体が流入する。この分離流体にはわずかに有機溶剤が含まれ得る。分離脱水器９３は分離流体から第２濃縮液を分離する。分離脱水器９３は、第２濃縮液が分離した後の分離流体（主として水）を下流排出配管６５ｂに流し、第２濃縮液を復帰配管９４に流す。復帰配管９４は、第２濃縮液を第１濃縮液に合流させる配管である。図１６の例では、復帰配管９４の下流端部は浄化タンクＴｋ２に接続されている。
【0199】
ここで、循環脱水器６２および分離脱水器９３の相違の一例について述べる。循環脱水器６２および分離脱水器９３は溶剤濃度の適用範囲の下限値という点で互いに相違する。溶剤濃度の適用範囲とは、脱水器に流入する流体の溶剤濃度の適用範囲である。この適用範囲の下限値を下回る溶剤濃度を有する流体が脱水器に流入すると、脱水器の不具合を生じ得る。例えば、脱水器は十分に流体から水を分離できない。循環脱水器６２の該下限値は分離脱水器９３の該下限値よりも高い。つまり、循環脱水器６２は分離脱水器９３に比べて高溶剤濃度用の脱水器である。言い換えれば、分離脱水器９３は循環脱水器６２に比べて低溶剤濃度用の脱水器である。分離膜６２１ｃがゼオライト膜である場合、その下限値は５０ｗｔ％程度であり得る。例えば、溶剤濃度の低い混合液がゼオライト膜に流入すると、ゼオライト膜が損傷するおそれがある。
【0200】
分離脱水器９３は、例えば、有機溶剤を捕捉する吸着フィルタ９３ａと、吸着フィルタ９３ａを加熱する加熱部９３ｂと、凝縮器９６１とを含んでいる。吸着フィルタ９３ａは例えば活性炭である。吸着フィルタ９３ａは吸着作用により、有機溶剤を捕捉する。吸着フィルタ９３ａは分離流体中の有機溶剤を捕捉することにより、分離流体から有機溶剤を分離する。吸着フィルタ９３ａについての溶剤濃度の適用範囲の下限値は、分離膜６２１ｃの下限値よりも低く、例えば、１０ｗｔ％以下であってもよく、５ｗｔ％以下であってもよく、２ｗｔ％以下であってもよく、１ｗｔ％以下であってもよく、０．１ｗｔ％以下であってもよい。
【0201】
加熱部９３ｂは、吸着フィルタ９３ａに分離流体が流れていない状態で、吸着フィルタ９３ａを加熱して、吸着フィルタ９３ａから有機溶剤（例えば蒸気）を放出させる。吸着フィルタ９３ａから放出された有機溶剤は復帰配管９４に流入する。加熱部９３ｂは、電熱線を有する電気抵抗式のヒータであってもよく、光源を有する光学式のヒータであってもよい。また、加熱部９３ｂは、吸着フィルタ９３ａに接続された下流端を有する加熱用配管と、加熱用配管を通じてガスを供給するガス供給源と、加熱用配管を流れるガスを加熱するヒータとを含んでいてもよい。吸着フィルタ９３ａに高温のガス（例えば窒素）が供給されると、ガスと吸着フィルタ９３ａとの熱交換により、吸着フィルタ９３ａが加熱される。なお、吸着フィルタ９３ａが有機溶剤を放出することにより、吸着フィルタ９３ａの吸着能力を回復することができる。
【0202】
下流排出配管６５ｂには第２排出バルブ６６２が介挿されており、復帰配管９４には復帰バルブ９５が介挿されている。
【0203】
また、図１６の例では、分離液処理部９０は凝縮器９６１も含んでいる。凝縮器９６１は下流排出配管６５ｂに介挿されている。一例として、凝縮器９６１は第２排出バルブ６６２よりも下流側の位置に設けられている。凝縮器９６１は分離脱水器９３を通過した分離流体（主として水および水蒸気）に含まれる蒸気（主として水蒸気）を凝縮させる。凝縮器９６１の構成は例えば凝縮器９１と同様である。
【0204】
凝縮器９６２は復帰配管９４に介挿されている。一例として、凝縮器９６２は復帰バルブ９５よりも下流側の位置に設けられている。凝縮器９６２は分離脱水器９３からの有機溶剤の蒸気を凝縮させる。凝縮器９６２の構成は例えば凝縮器９１と同様である。
【0205】
制御部６は、第１排出バルブ６６１および第２排出バルブ６６２を開き、かつ、復帰バルブ９５を閉じた状態で、脱水循環部６０に混合液を循環させる。この混合液の循環中において、循環脱水器６２からの分離流体は上流排出配管６５ａを通じて分離脱水器９３に流入する。一例として、分離流体は吸着フィルタ９３ａに流入する。
【0206】
吸着フィルタ９３ａは分離流体中の有機溶剤を捕捉する。このため、脱水循環部６０による循環中において、吸着フィルタ９３ａに捕捉された有機溶剤の量は時間の経過とともに増加する。吸着フィルタ９３ａを通過した分離流体（主として水および水蒸気）は凝縮器９６１に流入する。凝縮器９６１は蒸気を凝縮させて分離液に変化させる。凝縮器９６１を通過した分離液は外部に排出される。
【0207】
また、制御部６は、脱水循環部６０に循環を停止させた状態で、第１排出バルブ６６１および第２排出バルブ６６２を閉じ、復帰バルブ９５を開き、加熱部９３ｂを作動させる。加熱部９３ｂは吸着フィルタ９３ａを加熱し、吸着フィルタ９３ａから有機溶剤（蒸気）を放出させる。有機溶剤は復帰配管９４上の凝縮器９６２に流入する。凝縮器９６２は有機溶剤の蒸気を凝縮させ、液体の有機溶剤に変化させる。凝縮器９６２は有機溶剤の蒸気の大部分または全部を凝縮させるとよい。凝縮器９６２を経由した第２濃縮液は浄化タンクＴｋ２に供給される。
【0208】
以上のように、第４の実施の形態では、分離液処理部９０は分離流体中の有機溶剤の一部または全部を分離流体から分離する。このため、第４の実施の形態でも、分離流体中の有機溶剤を低減させることができる。したがって、排出先の排液処理部は分離液を処理しやすい。一方で、分離した有機溶剤（第２濃縮液）は第１濃縮液に合流する。上述の例では、第２濃縮液は浄化タンクＴｋ２に供給される。このため、有機溶剤の廃棄量をさらに低減させることができる。なお、第２濃縮液は回収タンクＴｋ１に供給されてもよい。
【0209】
＜第２例＞
図１７は、第４の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の第２例を模式的に示す図である。第４の実施の形態の第２例にかかる有機溶剤回収部５は、分離液処理部９０の有無という点で、第２の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５と相違する。
図１７は、第４の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５の第２例を模式的に示す図である。第４の実施の形態の第２例にかかる有機溶剤回収部５は、分離液処理部９０の有無という点で、第２の実施の形態にかかる有機溶剤回収部５と相違する。
【0210】
図１７の例では、分離液処理部９０は、第１分離脱水器９３１と、第２分離脱水器９３２と、脱水切替部９７と、浄化切替部９９とを含んでいる。
【0211】
脱水切替部９７は循環脱水器６２からの分離流体の排出経路を、第１分離脱水器９３１を経由する経路と、第２分離脱水器９３２を経由する経路との間で切り替える。一例として、脱水切替部９７は、分離排出配管６５と、第１分岐バルブ９７１と、第２分岐バルブ９７２とを含んでいる。分離排出配管６５は、上流共通配管６５０と、第１分岐配管６５１と、第２分岐配管６５２と、下流共通配管６５３とを含んでいる。
【0212】
上流共通配管６５０の上流端部は循環脱水器６２に接続され、上流共通配管６５０の下流端部は第１分岐配管６５１の上流端部および第２分岐配管６５２の上流端部に接続されている。第１分岐配管６５１の下流端部および第２分岐配管６５２の下流端部は下流共通配管６５３の上流端部に接続されている。下流共通配管６５３の下流端部は外部（例えば工場設備の排出処理部）に接続される。
【0213】
第１分離脱水器９３１は第１分岐配管６５１に介挿されており、第２分離脱水器９３２は第２分岐配管６５２に介挿されている。第１分離脱水器９３１および第２分離脱水器９３２の構成の一例は分離脱水器９３と同様である。ただし、第２例では、凝縮器９６１が第１分離脱水器９３１と第２分離脱水器９３２で共用されている。つまり、第１分離脱水器９３１は第１吸着フィルタ９３１ａと第１加熱部９３１ｂと凝縮器９６１とを含んでおり、第２分離脱水器９３２は第２吸着フィルタ９３２ａと第２加熱部９３２ｂと凝縮器９６１とを含んでいる。第１吸着フィルタ９３１ａおよび第２吸着フィルタ９３２ａは吸着フィルタ９３ａと同様であり、第１加熱部９３１ｂおよび第２加熱部９３２ｂは加熱部９３ｂと同様である。凝縮器９６２は第１吸着フィルタ９３１ａおよび第２吸着フィルタ９３２ａの各々からの有機溶剤の蒸気を凝縮させる。
【0214】
第１分岐バルブ９７１は第１分岐配管６５１に介挿されており、第２分岐バルブ９７２は第２分岐配管６５２に介挿されている。第１分岐バルブ９７１は第１分離脱水器９３１よりも上流側の位置に設けられており、第２分岐バルブ９７２は第２分離脱水器９３２よりも上流側の位置に設けられている。図１７の例では、第１分岐配管６５１のうち第１分離脱水器９３１よりも下流側の部分には第３分岐バルブ９７３が介挿されており、第２分岐配管６５２のうち第２分離脱水器９３２よりも下流側の部分には第４分岐バルブ９７４が介挿されている。
【0215】
このような脱水切替部９７は、後述のように、脱水循環部６０での循環中の脱水循環経路に応じて、排出経路を切り替えることができる。例えば、脱水切替部９７は第１脱水循環経路６０１を通じた循環中においては、第１分離脱水器９３１を含む排出経路を選択する。これにより、第１脱水循環経路６０１から分離した分離流体は第１分離脱水器９３１を流れ、第１吸着フィルタ９３１ａに有機溶剤が吸着する。一方、脱水切替部９７は第２脱水循環経路６０２を通じた循環中においては、第２分離脱水器９３２を含む排出経路を選択する。これにより、第２脱水循環経路６０２を通じた循環中では、第２吸着フィルタ９３２ａに有機溶剤が吸着する。第１脱水循環経路６０１および第２脱水循環経路６０２は交互に切り替えられるので、排出経路も交互に切り替えられる。
【0216】
図１７の例では、分離液処理部９０は、凝縮器９６１および放出切替部９８も含んでいる。凝縮器９６１は下流共通配管６５３に介挿されており、第１分離脱水器９３１および第２分離脱水器９３２の各々からの分離流体の蒸気を凝縮させる。
【0217】
放出切替部９８は、凝縮器９６２に有機溶剤を供給する供給元を第１吸着フィルタ９３１ａと第２吸着フィルタ９３２ａとの間で切り替える。一例として、放出切替部９８は、共通復帰配管９４０と、第１分岐配管９４１と、第２分岐配管９４２と、切替バルブ部９８０とを含んでいる。第１分岐配管９４１の上流端部は第１吸着フィルタ９３１ａに接続されており、第２分岐配管９４２の上流端部は第２吸着フィルタ９３２ａに接続されており、第１分岐配管９４１の下流端部および第２分岐配管９４２の下流端部は共通復帰配管９４０の上流端部に接続されている。
【0218】
切替バルブ部９８０は、第１吸着フィルタ９３１ａが凝縮器９６２に連通した状態と、第２吸着フィルタ９３２ａが凝縮器９６２に連通した状態とを切り替える。図１７の例では、切替バルブ部９８０は第１放出バルブ９８１と、第２放出バルブ９８２とを含んでいる。第１放出バルブ９８１は第１分岐配管９４１に介挿されており、第２放出バルブ９８２は第２分岐配管９４２に介挿されている。凝縮器９６２は共通復帰配管９４０に介挿されている。凝縮器９６２は有機溶剤の蒸気を凝縮させて、第２濃縮液を下流側に流す。
【0219】
放出切替部９８は、後述のように、第２濃縮液を供給する供給元を、第１分離脱水器９３１と第２分離脱水器９３２との間で交互に切り替える。
【0220】
図１７の例では、有機溶剤回収部５には浄化切替部９９が設けられている。浄化切替部９９は、分離液処理部９０からの第２濃縮液の供給先を第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で切り替える。一例として、浄化切替部９９は、共通復帰配管９４０と、第１分岐配管９４３と、第２分岐配管９４４と、切替バルブ部９９０とを含んでいる。第１分岐配管９４３の上流端部および第２分岐配管９４４の上流端部は共通復帰配管９４０の下流端部に接続されている。第１分岐配管９４３の下流端部は第１浄化タンクＴｋ２１に接続されており、第２分岐配管９４４の下流端部は第２浄化タンクＴｋ２２に接続されている。
【0221】
切替バルブ部９９０は、凝縮器９６２を第１浄化タンクＴｋ２１に連通させた状態と、凝縮器９６２を第２浄化タンクＴｋ２２に連通させた状態とを切り替える。図１７の例では、切替バルブ部９９０は、第１浄化バルブ９９１と、第２浄化バルブ９９２とを含んでいる。第１浄化バルブ９９１は第１分岐配管９４３に介挿されており、第２浄化バルブ９８４は第２分岐配管９４４に介挿されている。
【0222】
浄化切替部９９は、後述のように、第２濃縮液を供給する浄化タンクＴｋ２を、第１浄化タンクＴｋ２１と第２浄化タンクＴｋ２２との間で交互に切り替える。
【0223】
＜有機溶剤回収部５の動作の一例＞
図１８は、第４の実施の形態の第２例にかかる有機溶剤回収部５の動作の一例を模式的に示す図である。図１９から図２２は、有機溶剤回収部５の動作例を説明するための図である。ここで、回収切替部５０、脱水循環部６０、濃縮液供給部７０、浄化循環部８０および再利用液供給部８９の動作は、第２の実施の形態と同様である。このため、以下では、分離液処理部９０に着目して説明する。
図１８は、第４の実施の形態の第２例にかかる有機溶剤回収部５の動作の一例を模式的に示す図である。図１９から図２２は、有機溶剤回収部５の動作例を説明するための図である。ここで、回収切替部５０、脱水循環部６０、濃縮液供給部７０、浄化循環部８０および再利用液供給部８９の動作は、第２の実施の形態と同様である。このため、以下では、分離液処理部９０に着目して説明する。
【0224】
図１８に示されるように、第１回収タンクＴｋ１１を含む第１脱水循環経路６０１を通じた混合液の循環中（時点ｔ２から時点ｔ３）において、第１分離脱水器９３１は分離流体から有機溶剤を分離する。具体的には、図１９に示されるように、制御部６は、排出バルブ６６、第１分岐バルブ９７１および第３分岐バルブ９７３を開き、凝縮器９６１を作動させた状態で、脱水循環部６０に循環を開始させる。これにより、循環脱水器６２からの分離流体が第１分離脱水器９３１および凝縮器９６１をこの順で通過して外部に排出される。分離流体が第１分離脱水器９３１に流入するので、第１吸着フィルタ９３１ａに捕捉される有機溶剤の量は、時間の経過とともに増加する。
【0225】
図１８の例では、制御部６は、第１脱水循環経路６０１を通じた循環の停止とともに、第１分離脱水器９３１による分離流体からの有機溶剤の分離を終了させる（時点ｔ３）。具体的には、制御部６は排出バルブ６６、第１分岐バルブ９７１および第３分岐バルブ９７３を閉じ、凝縮器９６１を停止させる。次に、分離液処理部９０は第１分離脱水器９３１から第２浄化タンクＴｋ２２に第２濃縮液を供給する。具体的には、図２０に示されるように、制御部６は、第１放出バルブ９８１および第２浄化バルブ９９２を開き、第１分離脱水器９３１の第１加熱部９３１ｂおよび凝縮器９６２を作動させる。これにより、第１分離脱水器９３１の第１吸着フィルタ９３１ａから有機溶剤が放出され、凝縮器９６２を通じて、第２濃縮液として第２浄化タンクＴｋ２２に供給される。
【0226】
図１８の例では、この第１分離脱水器９３１から第２浄化タンクＴｋ２２の第２濃縮液の供給は、濃縮液供給部７０による第１回収タンクＴｋ１１から第２浄化タンクＴｋ２２への第１濃縮液の供給と並行して行われる（時点ｔ３から時点ｔ４）。なお、図１８の例では、第１分離脱水器９３１から第２浄化タンクＴｋ２２への第２濃縮液の供給は時点ｔ４において終了しているものの、必ずしもこれに限らない。第１吸着フィルタ９３１ａ内の有機溶剤の放出に要する時間は、第１回収タンクＴｋ１１から第２浄化タンクＴｋ２２への第１濃縮液の供給時間と相違し得るからである。
【0227】
また、図１８に示されるように、第２回収タンクＴｋ１２を含む第２脱水循環経路６０２を通じた混合液の循環中（時点ｔ６から時点ｔ７）において、第２分離脱水器９３２は分離流体から有機溶剤を分離する。具体的には、図２１に示されるように、制御部６は、排出バルブ６６、第２分岐バルブ９７２および第４分岐バルブ９７４を開き、凝縮器９６１を作動させる。これにより、循環脱水器６２からの分離流体が第２分離脱水器９３２および凝縮器９６１をこの順で通過して外部に排出される。分離流体が第２分離脱水器９３２に流入するので、第２吸着フィルタ９３２ａに捕捉される有機溶剤の量は時間の経過とともに増加する。
【0228】
図１８の例では、制御部６は、第２脱水循環経路６０２を通じた循環の停止とともに、第２分離脱水器９３２による分離流体からの有機溶剤の分離を終了させる（時点ｔ７）。具体的には、制御部６は排出バルブ６６、第２分岐バルブ９７２および第４分岐バルブ９７４を閉じ、凝縮器９６１を停止させる。次に、分離液処理部９０は第２分離脱水器９３２から第１浄化タンクＴｋ２１に第２濃縮液を供給する。具体的には、図２２に示されるように、制御部６は、第２放出バルブ９８２および第１浄化バルブ９９１を開き、第２分離脱水器９３２の第２加熱部９３２ｂおよび凝縮器９６２を作動させる。これにより、第２分離脱水器９３２の第２吸着フィルタ９３２ａから有機溶剤が放出され、凝縮器９６２を通じて、第２濃縮液として第１浄化タンクＴｋ２１に供給される。
【0229】
図１８の例では、この第２分離脱水器９３２から第１浄化タンクＴｋ２１の第２濃縮液の供給は、濃縮液供給部７０による第２回収タンクＴｋ１２から第１浄化タンクＴｋ２１への第１濃縮液の供給と並行して行われる（時点ｔ７から時点ｔ８）。なお、図１８の例では、第２分離脱水器９３２から第１浄化タンクＴｋ２１への第２濃縮液の供給は時点ｔ８において終了しているものの、必ずしもこれに限らない。第２吸着フィルタ９３２ａ内の有機溶剤の放出に要する時間は、第２回収タンクＴｋ１２から第１浄化タンクＴｋ２１への第１濃縮液の供給時間と相違し得るからである。
【0230】
以上のように、分離液処理部９０は第１脱水循環経路６０１を通じた循環中に、分離流体中の有機溶剤を第１分離脱水器９３１の第１吸着フィルタ９３１ａで捕捉することができ、第２脱水循環経路６０２を通じた循環中に、分離流体中の有機溶剤を第２分離脱水器９３２の第２吸着フィルタ９３２ａで捕捉することができる。そして、分離液処理部９０は、第１脱水循環経路６０１を通じた循環の停止中に、第１分離脱水器９３１の第１吸着フィルタ９３１ａから有機溶剤を放出させて、第２濃縮液を第２浄化タンクＴｋ２２に供給し、第２脱水循環経路６０２を通じた循環の停止中に、第２分離脱水器９３２の第２吸着フィルタ９３２ａから有機溶剤を放出させて、第２濃縮液を第２浄化タンクＴｋ２２に供給する。
【0231】
しかも、分離脱水器９３として２つの第１分離脱水器９３１および第２分離脱水器９３２が設けられているので、一方が有機溶剤を捕捉している最中に、他方が有機溶剤を放出することもできる。例えば、図１８において、第１分離脱水器９３１の第１吸着フィルタ９３１ａからの放出が時点ｔ５よりも後に終了してもよい。この場合、第１分離脱水器９３１の第１吸着フィルタ９３１ａからの放出が第２分離脱水器９３２の第２吸着フィルタ９３２ａの吸着と並行して行われる。放出時間を長くすることができるので、第１吸着フィルタ９３１ａ内に捕捉された有機溶剤をより確実に放出させることができる。第２吸着フィルタ９３２ａも同様である。
【0232】
以上のように、有機溶剤回収装置（有機溶剤回収部５）、基板処理装置１００および有機溶剤回収方法は詳細に説明されたが、上記した説明は、全ての局面において例示であって、この開示がそれに限定されるものではない。また、上述した各種変形例は、相互に矛盾しない限り組み合わせて適用可能である。そして、例示されていない多数の変形例が、この開示の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
【符号の説明】
【0233】
１００ 基板処理装置
４ 処理ユニット
５０ 回収切替部
６０ 脱水循環部
６１ 脱水用循環配管
６１０ 共通循環配管
６１１ 第１脱水用循環配管
６１１１ 第１下流配管
６１１２ 第２下流配管
６１２ 第２脱水用循環配管
６１２１ 第１上流配管
６１２２ 第２上流配管
６２ 循環脱水器
６２１ 膜分離器
６２２ 脱水温調器
６４０ 循環切替バルブ部
６５ 分離排出配管
７０ 濃縮液供給部
７１ 第１送液配管
８０ 浄化循環部
８１ 浄化用循環配管
８２ フィルタ
８２１ 第１フィルタ
８２２ 第２フィルタ
８５ 第２送液配管
９１，９６２ 凝縮器
９２ 分解器
９３ 分離脱水器
９３ａ 吸着フィルタ
９３１ａ 第１吸着フィルタ
９３２ａ 第２吸着フィルタ
９３ｂ 加熱部
９３１ｂ 第１加熱部
９３２ｂ 第２加熱部
９４ 復帰配管
９７ 脱水切替部
９８ 放出切替部
Ｔｋ１ 回収タンク
Ｔｋ１１ 第１回収タンク
Ｔｋ１２ 第２回収タンク
Ｔｋ２ 浄化タンク
Ｔｋ２１ 第１浄化タンク
Ｔｋ２２ 第２浄化タンク
Ｔｋ３ 供給タンク
Ｗ 基板
４ 処理ユニット
５０ 回収切替部
６０ 脱水循環部
６１ 脱水用循環配管
６１０ 共通循環配管
６１１ 第１脱水用循環配管
６１１１ 第１下流配管
６１１２ 第２下流配管
６１２ 第２脱水用循環配管
６１２１ 第１上流配管
６１２２ 第２上流配管
６２ 循環脱水器
６２１ 膜分離器
６２２ 脱水温調器
６４０ 循環切替バルブ部
６５ 分離排出配管
７０ 濃縮液供給部
７１ 第１送液配管
８０ 浄化循環部
８１ 浄化用循環配管
８２ フィルタ
８２１ 第１フィルタ
８２２ 第２フィルタ
８５ 第２送液配管
９１，９６２ 凝縮器
９２ 分解器
９３ 分離脱水器
９３ａ 吸着フィルタ
９３１ａ 第１吸着フィルタ
９３２ａ 第２吸着フィルタ
９３ｂ 加熱部
９３１ｂ 第１加熱部
９３２ｂ 第２加熱部
９４ 復帰配管
９７ 脱水切替部
９８ 放出切替部
Ｔｋ１ 回収タンク
Ｔｋ１１ 第１回収タンク
Ｔｋ１２ 第２回収タンク
Ｔｋ２ 浄化タンク
Ｔｋ２１ 第１浄化タンク
Ｔｋ２２ 第２浄化タンク
Ｔｋ３ 供給タンク
Ｗ 基板
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】