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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025143867
(43)【公開日】2025-10-02
(54)【発明の名称】基板処理装置および基板処理方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20250925BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 648F
H01L21/304 648K
H01L21/304 651B
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024043337
(22)【出願日】2024-03-19
(71)【出願人】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100088672
【弁理士】
【氏名又は名称】吉竹 英俊
(74)【代理人】
【識別番号】100088845
【弁理士】
【氏名又は名称】有田 貴弘
(72)【発明者】
【氏名】岩尾 通矩
(72)【発明者】
【氏名】吉田 幸史
(72)【発明者】
【氏名】植村 知浩
(72)【発明者】
【氏名】南 翔耀
(72)【発明者】
【氏名】上田 悠介
【テーマコード（参考）】
5F157
【Ｆターム（参考）】
5F157AA03
5F157AB02
5F157AB14
5F157AB33
5F157AB46
5F157AB49
5F157AB72
5F157AB90
5F157AC24
5F157BB23
5F157CB13
5F157CB14
5F157CE03
5F157CE05
5F157CE08
5F157CE25
5F157CF04
5F157CF14
5F157CF32
5F157CF34
5F157CF38
5F157CF60
5F157CF74
5F157CF99
5F157DA21
5F157DC84
5F157DC85
5F157DC86
(57)【要約】
【課題】分離膜での分離効率を高めることができる技術の提供。
【解決手段】基板処理装置１００は、基板Ｗに供給された後に回収された水と、基板Ｗに供給された後に回収された有機溶剤とを含む混合流体を貯留する回収タンク６０と、回収タンク６０に接続される循環配管６２と、循環配管６２に設けられ、水を通過させつつ有機溶剤を通過させない分離膜５１を備える脱水器６２１と、循環配管６２に設けられるポンプ６２２と、循環配管６２における回収タンク６０の下流側であって脱水器６２１の上流側に設けられ、混合流体を水の沸点以上に加熱するヒータ６２４と、を備える。
【選択図】図３
【解決手段】基板処理装置１００は、基板Ｗに供給された後に回収された水と、基板Ｗに供給された後に回収された有機溶剤とを含む混合流体を貯留する回収タンク６０と、回収タンク６０に接続される循環配管６２と、循環配管６２に設けられ、水を通過させつつ有機溶剤を通過させない分離膜５１を備える脱水器６２１と、循環配管６２に設けられるポンプ６２２と、循環配管６２における回収タンク６０の下流側であって脱水器６２１の上流側に設けられ、混合流体を水の沸点以上に加熱するヒータ６２４と、を備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板に水を含むリンス液を供給するリンス液供給部と、
前記基板に有機溶剤を供給する有機溶剤供給部と、
前記基板に供給された後に回収された前記水と、前記基板に供給された後に回収された前記有機溶剤とを含む混合流体を貯留する回収タンクと、
前記回収タンクに接続される循環配管と、
前記循環配管に設けられ、前記水を通過させつつ前記有機溶剤を通過させない分離膜を備える脱水器と、
前記循環配管に設けられるポンプと、
前記循環配管における前記回収タンクの下流側であって前記脱水器の上流側に設けられ、前記混合流体を前記水の沸点以上に加熱するヒータと、
を備える、基板処理装置。
前記基板に有機溶剤を供給する有機溶剤供給部と、
前記基板に供給された後に回収された前記水と、前記基板に供給された後に回収された前記有機溶剤とを含む混合流体を貯留する回収タンクと、
前記回収タンクに接続される循環配管と、
前記循環配管に設けられ、前記水を通過させつつ前記有機溶剤を通過させない分離膜を備える脱水器と、
前記循環配管に設けられるポンプと、
前記循環配管における前記回収タンクの下流側であって前記脱水器の上流側に設けられ、前記混合流体を前記水の沸点以上に加熱するヒータと、
を備える、基板処理装置。
【請求項2】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記循環配管における前記脱水器の下流側であって前記回収タンクの上流側に設けられる冷却器、
を備える、基板処理装置。
前記循環配管における前記脱水器の下流側であって前記回収タンクの上流側に設けられる冷却器、
を備える、基板処理装置。
【請求項3】
請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記冷却器が、前記混合流体を、前記有機溶剤の沸点よりも低く、かつ、常温よりも高い温度に冷却する、
基板処理装置。
前記冷却器が、前記混合流体を、前記有機溶剤の沸点よりも低く、かつ、常温よりも高い温度に冷却する、
基板処理装置。
【請求項4】
請求項２または３に記載の基板処理装置であって、
前記循環配管における前記冷却器よりも下流側であって前記ヒータよりも上流側の配管部分の耐圧性が、前記循環配管における前記ヒータよりも下流側であって前記冷却器よりも上流側の配管部分の耐圧性よりも低い、
基板処理装置。
前記循環配管における前記冷却器よりも下流側であって前記ヒータよりも上流側の配管部分の耐圧性が、前記循環配管における前記ヒータよりも下流側であって前記冷却器よりも上流側の配管部分の耐圧性よりも低い、
基板処理装置。
【請求項5】
請求項２または３に記載の基板処理装置であって、
前記循環配管に設けられ、前記冷却器で冷却された前記混合流体を減圧する減圧器、
を備える、基板処理装置。
前記循環配管に設けられ、前記冷却器で冷却された前記混合流体を減圧する減圧器、
を備える、基板処理装置。
【請求項6】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置であって、
送液配管を介して前記回収タンクと接続され、前記混合流体から前記水が分離されることによって得られた濃縮流体を貯留する浄化タンクと、
前記浄化タンクに接続される配管に設けられ、前記配管を流れる前記濃縮流体に含まれる除去対象物質を捕獲するフィルタと、
を備える、基板処理装置。
送液配管を介して前記回収タンクと接続され、前記混合流体から前記水が分離されることによって得られた濃縮流体を貯留する浄化タンクと、
前記浄化タンクに接続される配管に設けられ、前記配管を流れる前記濃縮流体に含まれる除去対象物質を捕獲するフィルタと、
を備える、基板処理装置。
【請求項7】
請求項６に記載の基板処理装置であって、
前記浄化タンクに貯留された前記濃縮流体が、前記フィルタを通された上で、前記有機溶剤供給部に送液されて、前記基板に供給される、
基板処理装置。
前記浄化タンクに貯留された前記濃縮流体が、前記フィルタを通された上で、前記有機溶剤供給部に送液されて、前記基板に供給される、
基板処理装置。
【請求項8】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記循環配管が、分岐位置と合流位置との間に設けられた複数の分岐部分、を備え、
前記複数の分岐部分の各々に前記回収タンクが設けられる、
基板処理装置。
前記循環配管が、分岐位置と合流位置との間に設けられた複数の分岐部分、を備え、
前記複数の分岐部分の各々に前記回収タンクが設けられる、
基板処理装置。
【請求項9】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記脱水器が、前記分離膜内での前記混合流体の流路となるセルが鉛直方向に延在するような姿勢で配置され、
前記循環配管を流れる前記混合流体が、前記セルにおける鉛直下側の開口から流入する、
基板処理装置。
前記脱水器が、前記分離膜内での前記混合流体の流路となるセルが鉛直方向に延在するような姿勢で配置され、
前記循環配管を流れる前記混合流体が、前記セルにおける鉛直下側の開口から流入する、
基板処理装置。
【請求項10】
請求項９に記載の基板処理装置であって、
前記脱水器と前記ヒータとが鉛直方向に配列される、
基板処理装置。
前記脱水器と前記ヒータとが鉛直方向に配列される、
基板処理装置。
【請求項11】
基板に水を含むリンス液を供給するリンス液供給工程と、
前記基板に有機溶剤を供給する有機溶剤供給工程と、
前記基板に供給された後に回収された前記水と、前記基板に供給された後に回収された前記有機溶剤とを含む混合流体を、回収タンクに貯留させる貯留工程と、
前記回収タンクに貯留された前記混合流体を、前記回収タンクに接続される循環配管に循環させる循環工程と、
前記循環配管に設けられるヒータで、前記混合流体を、前記水の沸点以上に加熱する加熱工程と、
前記循環配管における前記ヒータの下流側であって前記回収タンクの上流側に設けられた、前記水を通過させつつ前記有機溶剤を通過させない分離膜を備える脱水器に、加熱された前記混合流体を流入させて、前記混合流体から前記水を分離する分離工程と、
を備える、基板処理方法。
前記基板に有機溶剤を供給する有機溶剤供給工程と、
前記基板に供給された後に回収された前記水と、前記基板に供給された後に回収された前記有機溶剤とを含む混合流体を、回収タンクに貯留させる貯留工程と、
前記回収タンクに貯留された前記混合流体を、前記回収タンクに接続される循環配管に循環させる循環工程と、
前記循環配管に設けられるヒータで、前記混合流体を、前記水の沸点以上に加熱する加熱工程と、
前記循環配管における前記ヒータの下流側であって前記回収タンクの上流側に設けられた、前記水を通過させつつ前記有機溶剤を通過させない分離膜を備える脱水器に、加熱された前記混合流体を流入させて、前記混合流体から前記水を分離する分離工程と、
を備える、基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、基板処理装置および基板処理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体デバイスなどの製造工程で用いられる基板処理装置では、例えば、基板が薬液で処理された後にリンス液で濯がれる。特許文献１では、リンス液で濯がれた後の基板（すなわち、リンス液（典型的には、水）で覆われている基板）に、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ：Isopropyl Alcohol）を供給し、基板上のリンス液をＩＰＡで置換する。その後、基板を高速で回転させて、基板に付着しているＩＰＡを吹き飛ばして、基板を乾燥させる。基板を高速で回転させて付着している液を吹き飛ばす際には、付着している液の表面張力によってパターンが倒壊するおそれがあるところ、基板に付着している水がこれに比べて表面張力が小さいＩＰＡに予め置換されていることで、パターンの倒壊が抑制される。また、ＩＰＡは両極性であるため、基板の表面が疎水性であっても、むらなく濡れることができる。このため、乾燥後の基板にウォータマークも生じにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１７－４１５０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１には、基板に供給されたＩＰＡを回収することが記載されている。ＩＰＡは水で覆われた状態の基板に供給されるため、回収されるＩＰＡは水で希釈されている（すなわち、ＩＰＡは水と混合された混合液の状態で回収される）。このため、回収されたＩＰＡを再利用するためには、混合液から水を分離する必要がある。
【0005】
ＩＰＡなどの有機溶剤と水との混合液から水を分離するにあたっては、例えば、水分子が通過でき、有機溶剤の分子が通過できない分離膜を用いることが考えられる。水の分離に要する時間を短縮するためには、分離膜での分離効率を高めることが求められる。
【0006】
そこで、本開示は、分離膜での分離効率を高めることができる技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
第１の態様は、基板処理装置であって、基板に水を含むリンス液を供給するリンス液供給部と、前記基板に有機溶剤を供給する有機溶剤供給部と、前記基板に供給された後に回収された前記水と、前記基板に供給された後に回収された前記有機溶剤とを含む混合流体を貯留する回収タンクと、前記回収タンクに接続される循環配管と、前記循環配管に設けられ、前記水を通過させつつ前記有機溶剤を通過させない分離膜を備える脱水器と、前記循環配管に設けられるポンプと、前記循環配管における前記回収タンクの下流側であって前記脱水器の上流側に設けられ、前記混合流体を前記水の沸点以上に加熱するヒータと、を備える。
【0008】
第２の態様は、第１の態様に係る基板処理装置であって、前記循環配管における前記脱水器の下流側であって前記回収タンクの上流側に設けられる冷却器、を備える。
【0009】
第３の態様は、第２の態様に係る基板処理装置であって、前記冷却器が、前記混合流体を、前記有機溶剤の沸点よりも低く、かつ、常温よりも高い温度に冷却する。
【0010】
第４の態様は、第２または第３の態様に係る基板処理装置であって、前記循環配管における前記冷却器よりも下流側であって前記ヒータよりも上流側の配管部分の耐圧性が、前記循環配管における前記ヒータよりも下流側であって前記冷却器よりも上流側の配管部分の耐圧性よりも低い。
【0011】
第５の態様は、第２から第４のいずれか態様に係る基板処理装置であって、前記循環配管に設けられ、前記冷却器で冷却された前記混合流体を減圧する減圧器、を備える。
【0012】
第６の態様は、第１から第５のいずれかの態様に係る基板処理装置であって、送液配管を介して前記回収タンクと接続され、前記混合流体から前記水が分離されることによって得られた濃縮流体を貯留する浄化タンクと、前記浄化タンクに接続される配管に設けられ、前記配管を流れる前記濃縮流体に含まれる除去対象物質を捕獲するフィルタと、を備える。
【0013】
第７の態様は、第６の態様に係る基板処理装置であって、前記浄化タンクに貯留された前記濃縮流体が、前記フィルタを通された上で、前記有機溶剤供給部に送液されて、前記基板に供給される。
【0014】
第８の態様は、第１から第７のいずれかの態様に係る基板処理装置であって、前記循環配管が、分岐位置と合流位置との間に設けられた複数の分岐部分、を備え、前記複数の分岐部分の各々に前記回収タンクが設けられる。
【0015】
第９の態様は、第１から第８のいずれかの態様に係る基板処理装置であって、前記脱水器が、前記分離膜内での前記混合流体の流路となるセルが鉛直方向に延在するような姿勢で配置され、前記循環配管を流れる前記混合流体が、前記セルにおける鉛直下側の開口から流入する。
【0016】
第１０の態様は、第９の態様に係る基板処理装置であって、前記脱水器と前記ヒータとが鉛直方向に配列される。
【0017】
第１１の態様は、基板処理方法であって、基板に水を含むリンス液を供給するリンス液供給工程と、前記基板に有機溶剤を供給する有機溶剤供給工程と、前記基板に供給された後に回収された前記水と、前記基板に供給された後に回収された前記有機溶剤とを含む混合流体を、回収タンクに貯留させる貯留工程と、前記回収タンクに貯留された前記混合流体を、前記回収タンクに接続される循環配管に循環させる循環工程と、前記循環配管に設けられるヒータで、前記混合流体を、前記水の沸点以上に加熱する加熱工程と、前記循環配管における前記ヒータの下流側であって前記回収タンクの上流側に設けられた、前記水を通過させつつ前記有機溶剤を通過させない分離膜を備える脱水器に、加熱された前記混合流体を流入させて、前記混合流体から前記水を分離する分離工程と、を備える。
【発明の効果】
【0018】
第１および第１１の態様の各々によると、混合流体に含まれる水を蒸気状態で脱水器に流入させることができる。これによって、分離膜での分離効率を高めることができる。
【0019】
第２の態様によると、加熱された混合流体を冷却器で冷却することによって、混合流体の圧力を低下させることができる。
【0020】
第３の態様によると、冷却器で冷却されることによって、混合流体に含まれる有機溶剤が蒸気状態から液体状態に戻るので、混合流体の圧力を十分に低下させることができる。その一方で、冷却器は、混合流体を常温よりも高い温度にまでしか冷却しないので、ヒータおよび冷却器の負荷がともに低減される。
【0021】
第４の態様によると、循環配管の一部分（冷却器よりも下流側であってヒータよりも上流側の配管部分）の耐圧性が、循環配管の他の部分（ヒータよりも下流側であって冷却器よりも上流側の配管部分）の耐圧性よりも低いので、循環配管の全体にわたって相対的に高い耐圧性をもたせる場合に比べて、装置をコンパクト化できる。
【0022】
第５の態様によると、冷却器で低下された混合流体の圧力を、減圧器によってさらに低下させることができる。
【0023】
第６の態様によると、混合流体から水が分離されることによって得られた濃縮流体から除去対象物質を除去して、濃縮流体の清浄度を高めることができる。
【0024】
第７の態様によると、基板に供給された後に回収された水と基板に供給された後に回収された有機溶剤とを含む混合流体から水が分離されることによって得られた濃縮流体が、清浄度を高められた上で、再び基板に供給される。したがって、有機溶剤の使用量および排出量を削減することができる。
【0025】
第８の態様によると、循環配管に複数の回収タンクが設けられるので、送液先の回収タンクを切り替えることで、基板に供給された後に回収された水および基板に供給された後に回収された有機溶剤を、途切れなく送液することができる。
【0026】
第９の態様によると、循環配管からセルに流入した混合流体が、鉛直方向に延在するセルの内部を、下から上に流れる。したがって、セルの内部に流入した混合流体が、セルの内部に十分に留まって、分離膜と十分に接触する。これによって、分離効率がさらに高まる。
【0027】
第１０の態様によると、ヒータで加熱された混合流体が脱水器に流入するまでに発生する熱損失が低減される。ひいては、ヒータの負荷が低減される。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】基板処理装置の構成例を模式的に示す平面図である。
【図2】処理ユニットの構成例を模式的に示す側面図である。
【図3】有機溶剤回収部の構成例を模式的に示す図である。
【図4】脱水器の構成例を概略的に示す側断面図である。
【図5】有機溶剤回収部で行われる処理の流れの一例を示す図である。
【図6】混合流体から水を分離する処理の流れの一例を示す図である。
【図7】ステップＳ１を説明するための図である。
【図8】ステップＳ２０１を説明するための図である。
【図9】ステップＳ２０３を説明するための図である。
【図10】ステップＳ２０７を説明するための図である。
【図11】ステップＳ３を説明するための図である。
【図12】ステップＳ４を説明するための図である。
【図13】変形例に係る有機溶剤回収部の構成例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0029】
以下、添付の図面を参照しながら、実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本開示の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、図面は、概略的に示されるものであり、説明の便宜のため、構成の省略、寸法の誇張または簡略化、個数の誇張または簡略化、構成の簡略化、などが適宜になされるものである。また、図面に示される構成の位置関係は、必ずしも正確に記載されるものではない。
【0030】
相対的または絶対的な位置関係を示す表現（例えば、「一方向に」、「一方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」、「同軸」、など）は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる範囲で、相対的に角度または距離に関して変位された状態も含むものとする。等しい状態であることを示す表現（例えば、「同一」、「等しい」、「均質」、など）は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も含むものとする。形状を示す表現（例えば、「円形状」、「楕円形状」、「四角形状」、「円筒形状」、など）は、特に断らない限り、幾何学的に厳密にその形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲の形状を含むものとし、例えば凹凸または面取りなどを有していてもよい。構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、「有する」、といった各表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。「Ａ、ＢおよびＣのうちの少なくとも一つ」という表現には、「Ａのみ」、「Ｂのみ」、「Ｃのみ」、「Ａ、ＢおよびＣのうち任意の２つ」、「Ａ、ＢおよびＣの全て」が含まれる。「第１」または「第２」などの序数が用いられる場合、これらの用語は、実施形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられるものであり、これらの序数によって生じ得る順序などに限定されるものではない。
【0031】
【0032】
基板処理装置１００は、処理対象である基板Ｗを１枚ずつ処理する、いわゆる枚葉式の処理装置である。基板処理装置１００で処理対象とされる基板Ｗは、例えば、半導体基板である。また、処理対象とされる基板Ｗの形状は、例えば、円板形状である。
【0033】
基板処理装置１００は、ロードポート１、インデクサロボット２、主搬送ロボット３、処理ユニット４、有機溶剤回収部５、および、制御部６を備える。
【0034】
ロードポート１は、複数の基板Ｗを収容する収容容器の一種であるキャリアＣに対する基板Ｗの出し入れを行うためのインターフェースである。ロードポート１は、例えば、複数（図の例では３個）設けられる。複数のロードポート１は、例えば、水平方向に一列に並んで配列される。キャリアＣは、基板Ｗを密閉空間に収納するタイプのもの（例えば、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inter Face）ポッド、など）であってもよいし、基板Ｗを外気にさらすタイプのもの（例えば、ＯＣ（Open Cassette）、など）であってもよい。
【0035】
インデクサロボット２は、基板Ｗを搬送する搬送装置である。一例として、インデクサロボット２は、水平多関節ロボットであり、基板Ｗを保持する一対のハンド２１，２１および各ハンド２１に接続されたアーム２２を備える。また、インデクサロボット２は、各ハンド２１を旋回させ、各アーム２２を屈伸、旋回、および、昇降させるための駆動機構（図示省略）を備える。インデクサロボット２は、ロードポート１に載置されたキャリアＣと、主搬送ロボット３との間で基板Ｗを搬送する。すなわち、インデクサロボット２は、ロードポート１に載置されているキャリアＣにアクセスして、搬出動作（すなわち、キャリアＣに収容されている基板Ｗをハンド２１で取り出す動作）、および、搬入動作（すなわち、ハンド２１に保持されている基板ＷをキャリアＣに収容する動作）を行う。また、インデクサロボット２は、受け渡し位置にアクセスして、主搬送ロボット３との間で基板Ｗの受け渡しを行う。
【0036】
主搬送ロボット３は、基板Ｗを搬送する搬送装置である。一例として、主搬送ロボット３は、水平多関節ロボットであり、基板Ｗを保持する一対のハンド３１，３１および各ハンド３１に接続されたアーム３２を備える。また、主搬送ロボット３は、各ハンド３１を旋回させ、各アーム３２を屈伸、旋回、および、昇降させるための駆動機構（図示省略）を備える。主搬送ロボット３は、インデクサロボット２と各処理ユニット４との間で基板Ｗを搬送する。すなわち、主搬送ロボット３は、受け渡し位置にアクセスして、インデクサロボット２との間で基板Ｗの受け渡しを行う。また、主搬送ロボット３は、処理ユニット４にアクセスして、搬入動作（すなわち、ハンド３１に保持されている基板Ｗを処理ユニット４に搬入する動作）、および、搬出動作（すなわち、処理ユニット４内の基板Ｗをハンド３１で搬出する動作）、を行う。
【0037】
処理ユニット４は、基板Ｗに対して処理液（例えば、薬液、リンス液、および、有機溶剤）を用いた所定の処理を行う。ここでは例えば、鉛直方向に積層された複数（例えば３個）の処理ユニット４が、１個のタワーを構成しており、該タワーが、主搬送ロボット３を取り囲むようにして、複数（図の例では４個）、設けられる。処理ユニット４の具体的な構成は、後に説明する。
【0038】
有機溶剤回収部５は、処理ユニット４において処理に用いられた有機溶剤を回収して、再び処理ユニット４に供給する。ここでは例えば、タワーと同数個の有機溶剤回収部５が設けられる。各有機溶剤回収部５は、各タワーと１対１で対応づけられており、対応するタワーに含まれる各処理ユニット４において処理に用いられた有機溶剤を回収して、再び各処理ユニット４に供給する。有機溶剤回収部５の具体的な構成は、後に説明する。
【0039】
制御部６は、基板処理装置１００が備える各部（ロードポート１、インデクサロボット２、主搬送ロボット３、処理ユニット４、および、有機溶剤回収部５）の動作を制御する。制御部６は、例えば、電気回路を有する一般的なコンピュータによって構成される。一例として、制御部６は、各種の演算処理（データ処理）を行う中央演算装置としてのＣＰＵ（Central Processor Unit）、基本プログラムなどが格納されるＲＯＭ（Read Only Memory）、ＣＰＵが所定の処理（データ処理）を行う際の作業領域として用いられるＲＡＭ（Random Access Memory）、記憶装置（具体的には例えば、フラッシュメモリ、ハードディスク装置、などの不揮発性記憶装置）、これらを相互に接続するバスライン、などを含んで構成される。記憶装置あるいはＲＡＭなどには、制御部６が実行する処理を規定するプログラムが格納されてもよい。この場合に、例えば、ＣＰＵが該プログラムを実行することによって、基板処理装置１００が備える各部が制御部６に制御され、プログラムによって規定された処理が基板処理装置１００において実行されてもよい。すなわち、ＣＰＵがプログラムを実行することによって、プログラムによって規定された処理を行う回路が制御部６において実現されてもよい。もっとも、制御部６が行う制御の一部または全部（制御部６で実現される回路の一部または全部）が、専用の論理回路などのハードウェアによって実行（実現）されてもよい。
【0040】
【0041】
処理ユニット４は、基板Ｗに対して処理液（例えば、薬液、リンス液、および、有機溶剤）を用いた所定の処理を行う。処理ユニット４は、例えば、スピンチャック４１、カップ４２、および、ノズル４３を備える。スピンチャック４１、カップ４２、および、ノズル４３は、処理チャンバー４４に収容される。
【0042】
スピンチャック４１は、基板Ｗを水平姿勢（基板Ｗの厚み方向が上下方向（鉛直方向）に沿うような姿勢）で保持しつつ、基板Ｗをその主面の中心を通って上下に延びる軸線（回転軸線）Ａのまわりで回転させる。スピンチャック４１は、具体的には例えば、スピンベース４１１を備える。スピンベース４１１は、円板形状の部材であり、厚み方向が上下方向に沿うような姿勢で配置される。スピンベース４１１の上面には、複数のチャックピン４１２が設けられる。複数のチャックピン４１２は、基板Ｗの周縁に対応する円周に沿って等間隔に配置される。複数のチャックピン４１２には、これらを当接位置と開放位置との間で移動させるリンク機構（図示省略）が接続される。「当接位置」とは、チャックピン４１２が、基板Ｗの周縁に当接する位置である。「開放位置」は、チャックピン４１２が、基板Ｗの周縁から離れた位置である。複数のチャックピン４１２の各々が当接位置に配置されると、基板Ｗが、スピンベース４１１の上方に、水平姿勢で保持（チャック）される。また、複数のチャックピン４１２の各々が開放位置に配置されると、基板Ｗの保持が解除される。リンク機構は、制御部６からの指示に応じて、チャックピン４１２の位置を切り替える。すなわち、基板Ｗを保持するタイミング、基板Ｗの保持を解除するタイミング、などは、制御部６によって制御される。また、スピンベース４１１は、回転軸線Ａと同軸に設けられたシャフト部４１３を介して、スピンモータ４１４と接続される。シャフト部４１３およびスピンモータ４１４は、カバー４１５に収容される。スピンモータ４１４は、シャフト部４１３を回転軸線Ａのまわりで回転させる。これにより、スピンベース４１１、ひいては、その上方に保持される基板Ｗが、回転軸線Ａのまわりで回転する。スピンモータ４１４は、制御部６からの指示に応じて、スピンベース４１１を回転させる。すなわち、スピンベース４１１（ひいては、基板Ｗ）の回転数、回転の開始タイミング、回転の終了タイミング、などは、制御部６によって制御される。
【0043】
カップ４２は、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗから排出された処理液を、受け止める。カップ４２は、具体的には例えば、回転軸線Ａと同軸に配置された円筒状の案内部４２１、案内部４２１の上端に連なって上方に向かうにつれて縮径する傾斜部４２２、および、案内部４２１の下端に連なって上向きに開いた環状の溝を形成する液受部４２３を備える。液受部４２３には、ここで受け止められた液を回収するカップ側回収管が設けられる。ここでは例えば、薬液用のカップ側回収管（図示省略）と、有機溶剤用のカップ側回収管４２４とが設けられる。また、カップ４２には、これを下位置と上位置との間で昇降させるカップ昇降機構４２５が接続される。「下位置」は、カップ４２の上端（具体的には、傾斜部４２２の上端）がスピンチャック４１に保持される基板Ｗよりも下方に配置されるような位置である。「上位置」は、カップ４２の上端が、スピンチャック４１に保持される基板Ｗよりも上方に配置されるような位置である。カップ昇降機構４２５は、制御部６からの指示に応じて、カップ４２を昇降させる。すなわち、カップ４２の位置は、制御部６によって制御される。
【0044】
ノズル４３は、スピンチャック４１に保持される基板Ｗの上面に向けて、処理液を吐出する。ここでは例えば、処理液の種類ごとに個別のノズル４３が設けられる。すなわち、薬液を吐出するノズル４３（以下「薬液ノズル４３ａ」とも呼ぶ）、リンス液を吐出するノズル４３（以下「リンス液ノズル４３ｂ」とも呼ぶ）、および、有機溶剤を吐出するノズル４３（以下「有機溶剤ノズル４３ｃ」とも呼ぶ）が設けられる。
【0045】
薬液ノズル４３ａは、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの上面に向けて、薬液を吐出する。薬液ノズル４３ａは、薬液バルブ４３１ａが介挿された薬液配管４３２ａを介して、薬液供給源４３３ａに接続される。薬液バルブ４３１ａが開かれると、薬液配管４３２ａを通じて薬液ノズル４３ａに薬液が供給され、薬液ノズル４３ａから薬液が吐出される。薬液バルブ４３１ａは、制御部６からの指示に応じて開閉される。すなわち、薬液ノズル４３ａからの薬液の吐出タイミングは、制御部６によって制御される。薬液は、例えば、フッ酸である。もっとも、薬液は、フッ酸に限られるものではなく、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、フッ酸、リン酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（例えば、クエン酸、蓚酸、など）、有機アルカリ（例えば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、など）、界面活性剤、および、腐食防止剤のうちの少なくとも１つを含む液であってもよい。
【0046】
リンス液ノズル４３ｂは、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの上面に向けて、リンス液を吐出する。つまり、ここでは、リンス液ノズル４３ｂが、基板Ｗにリンス液を供給するリンス液供給部としての役割を担う。リンス液ノズル４３ｂは、リンス液バルブ４３１ｂが介挿されたリンス液配管４３２ｂを介して、リンス液供給源４３３ｂに接続される。リンス液バルブ４３１ｂが開かれると、リンス液配管４３２ｂを通じてリンス液ノズル４３ｂにリンス液が供給され、リンス液ノズル４３ｂからリンス液が吐出される。リンス液バルブ４３１ｂは、制御部６からの指示に応じて開閉される。すなわち、リンス液ノズル４３ｂからのリンス液の吐出タイミングは、制御部６によって制御される。ここでは、リンス液は、水（具体的には例えば、純水（脱イオン水：Deionized water））であるとする。
【0047】
有機溶剤ノズル４３ｃは、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの上面に向けて、有機溶剤を吐出する。つまり、ここでは、有機溶剤ノズル４３ｃが、基板Ｗに有機溶剤を供給する有機溶剤供給部としての役割を担う。有機溶剤ノズル４３ｃは、有機溶剤バルブ４３１ｃが介挿された有機溶剤配管４３２ｃを介して、有機溶剤回収部５に接続される。有機溶剤バルブ４３１ｃが開かれると、有機溶剤配管４３２ｃを通じて有機溶剤ノズル４３ｃに有機溶剤（純度が十分に高い有機溶剤であり、具体的には例えば、純度が９９ｗｔ％以上の有機溶剤）が供給され、有機溶剤ノズル４３ｃから有機溶剤が吐出される。有機溶剤バルブ４３１ｃは、制御部６からの指示に応じて開閉される。すなわち、有機溶剤ノズル４３ｃからの有機溶剤の吐出タイミングは、制御部６によって制御される。有機溶剤は、例えば水溶性の有機溶剤である。ここでは、有機溶剤は、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ：Isopropyl Alcohol）であるとする。
【0048】
なお、薬液ノズル４３ａ、リンス液ノズル４３ｂ、および、有機溶剤ノズル４３ｃのうちの少なくとも一つに、これを処理位置と退避位置との間で移動させるノズル移動機構が接続されてもよい。「処理位置」は、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃから吐出された処理液が、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗに供給される位置である。「退避位置」とは、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃが、上方から見て、スピンチャック４１に保持されている基板Ｗの周縁よりも外側（径方向の外方）にある位置である。この場合、ノズル移動機構は、制御部６からの指示に応じて、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃを移動させる。すなわち、ノズル４３ａ，４３ｂ，４３ｃの位置は、制御部６によって制御される。
【0049】
＜２－２．処理ユニットの動作＞
処理ユニット４の動作の一例について、引き続き図２を参照しながら説明する。
処理ユニット４の動作の一例について、引き続き図２を参照しながら説明する。
【0050】
処理ユニット４で行われる動作は、制御部６の制御下で行われる。すなわち、制御部６が、チャックピン４１２、スピンモータ４１４、カップ昇降機構４２５、薬液バルブ４３１ａ、リンス液バルブ４３１ｂ、有機溶剤バルブ４３１ｃ、などを制御することによって、処理ユニット４において一連の動作が進行する。
【0051】
主搬送ロボット３によって処理チャンバー４４内に基板Ｗが搬入されると、スピンチャック４１が基板Ｗを保持する。続いて、スピンチャック４１が、回転を開始する。
【0052】
この状態で、薬液バルブ４３１ａが開かれる。すると、薬液ノズル４３ａから、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗの上面に向けて、薬液が吐出される。これにより、基板Ｗの上面の全域に薬液が供給され、基板Ｗが薬液によって処理される（薬液供給工程）。例えば、薬液としてフッ酸が用いられる場合、薬液によって基板Ｗからパーティクル等の異物が除去される。薬液供給工程が行われる間、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散した薬液は、カップ４２で受け止められる。すなわち、基板Ｗの周囲に飛散した薬液は、傾斜部４２２で受け止められ、案内部４２１によって下方に案内されて、液受部４２３に集められる。カップ４２で受け止められた薬液（すなわち、液受部４２３に集められた薬液）は、薬液用のカップ側回収管（図示省略）を通じて回収される。
【0053】
薬液の吐出が開始されてから所定時間が経過した時点で、薬液バルブ４３１ａが閉じられる。すると、薬液ノズル４３ａからの薬液の吐出が停止される。続いて、リンス液バルブ４３１ｂが開かれる。すると、リンス液ノズル４３ｂから、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗの上面に向けて、リンス液が吐出される。これにより、基板Ｗの上面の全域にリンス液が供給され、基板Ｗに付着している薬液がリンス液によって洗い流される（リンス液供給工程）。リンス液供給工程が行われる間も、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散した薬液およびリンス液は、カップ４２で受け止められる。カップ４２で受け止められた薬液およびリンス液は、薬液用のカップ側回収管（図示省略）を通じて回収される。
【0054】
リンス液の吐出が開始されてから所定時間が経過した時点で、リンス液バルブ４３１ｂが閉じられる。すると、リンス液ノズル４３ｂからのリンス液の吐出が停止される。続いて、有機溶剤バルブ４３１ｃが開かれる。すると、有機溶剤ノズル４３ｃから、スピンチャック４１に保持されて回転される基板Ｗの上面に向けて、ＩＰＡが吐出される。これにより、基板Ｗの上面の全域にＩＰＡが供給され、基板Ｗに付着しているリンス液がＩＰＡに置換される（有機溶剤供給工程）。有機溶剤供給工程が行われる間も、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散したリンス液およびＩＰＡは、カップ４２で受け止められる。カップ４２で受け止められたリンス液およびＩＰＡは、有機溶剤用のカップ側回収管４２４を通じて回収される。
【0055】
ＩＰＡの供給開始から所定時間が経過した時点で、有機溶剤バルブ４３１ｃが閉じられる。すると、有機溶剤ノズル４３ｃからのＩＰＡの吐出が停止される。この段階で、基板Ｗ上のリンス液がＩＰＡに完全に置換され、基板Ｗの上面の全域を覆うＩＰＡの液膜が形成されている。続いて、スピンチャック４１が、高速回転を開始する。これにより、基板Ｗが高速回転され、基板Ｗ上のＩＰＡが、遠心力によって基板Ｗの周囲に振り切られていく（スピンドライ工程）。基板Ｗが高速回転される間も、カップ４２は上位置に配置されている。したがって、基板Ｗの周囲に飛散したＩＰＡは、カップ４２で受け止められる。カップ４２で受け止められたＩＰＡは、有機溶剤用のカップ側回収管４２４を通じて回収される。
【0056】
スピンチャック４１の高速回転が開始されてから所定時間が経過すると、スピンチャック４１の回転が停止される。この段階で、ＩＰＡが基板Ｗから除去され、基板Ｗは乾燥されている。乾燥された基板Ｗは、主搬送ロボット３によって処理チャンバー４４から搬出される。
【0057】
以上で、１枚の基板Ｗに対する一連の処理が終了する。処理ユニット４では、上記の一連の動作が繰り返されることによって、基板Ｗが１枚ずつ次々に処理されていく。
【0058】
【0059】
有機溶剤回収部５は、回収タンク６０と、浄化タンク７０と、供給タンク８０とを備える。一例として、回収タンク６０および浄化タンク７０は、第１収容ボックス５０ａに収容され、供給タンク８０は、第２収容ボックス５０ｂに収容される。また、一例として、第１収容ボックス５０ａは、基板処理装置１００の外壁１００ａの外側（例えば、基板処理装置１００が設置されるクリーンルームの下（地下））に配置され、第２収容ボックス５０ｂは、基板処理装置１００の外壁１００ａの内側に配置される（図１）。
【0060】
（ａ）回収タンク６０
回収タンク６０は、回収配管６１を介して、カップ４２と接続される。すなわち、回収配管６１の一端側は、回収タンク６０に接続され、回収配管６１の他端側は、カップ４２（具体的には、カップ４２に接続されたカップ側回収管４２４）に接続される。ここでは例えば、回収配管６１は、同じタワーに属する複数の処理ユニット４の各々が備えるカップ４２に接続される。回収配管６１には回収バルブ６１１が設けられる。回収バルブ６１１が開かれると、有機溶剤供給工程およびスピンドライ工程においてカップ４２に集められた有機溶剤（ここではＩＰＡ）が、回収配管６１に案内されて回収タンク６０に流入して、ここに貯留される。ただし、スピンドライ工程では、ＩＰＡ（純度が十分に高いＩＰＡであり、具体的には例えば、純度が９９ｗｔ％以上のＩＰＡ）が回収されるものの、有機溶剤供給工程では、ＩＰＡがリンス液（ここでは水）と混合された状態（すなわち、水で希釈された状態）で回収される。このため、回収タンク６０には、処理ユニット４において基板Ｗに供給された後に回収された水と、処理ユニット４において基板Ｗに供給された後に回収されたＩＰＡとを含む混合流体が貯留される。
回収タンク６０は、回収配管６１を介して、カップ４２と接続される。すなわち、回収配管６１の一端側は、回収タンク６０に接続され、回収配管６１の他端側は、カップ４２（具体的には、カップ４２に接続されたカップ側回収管４２４）に接続される。ここでは例えば、回収配管６１は、同じタワーに属する複数の処理ユニット４の各々が備えるカップ４２に接続される。回収配管６１には回収バルブ６１１が設けられる。回収バルブ６１１が開かれると、有機溶剤供給工程およびスピンドライ工程においてカップ４２に集められた有機溶剤（ここではＩＰＡ）が、回収配管６１に案内されて回収タンク６０に流入して、ここに貯留される。ただし、スピンドライ工程では、ＩＰＡ（純度が十分に高いＩＰＡであり、具体的には例えば、純度が９９ｗｔ％以上のＩＰＡ）が回収されるものの、有機溶剤供給工程では、ＩＰＡがリンス液（ここでは水）と混合された状態（すなわち、水で希釈された状態）で回収される。このため、回収タンク６０には、処理ユニット４において基板Ｗに供給された後に回収された水と、処理ユニット４において基板Ｗに供給された後に回収されたＩＰＡとを含む混合流体が貯留される。
【0061】
回収タンク６０には、循環配管（脱水用循環配管）６２が接続される。具体的には、脱水用循環配管６２の一端側および他端側はいずれも回収タンク６０に接続される。脱水用循環配管６２は、回収タンク６０に貯留されている混合流体が、回収タンク６０から流出し、再び、回収タンク６０に戻るように循環する循環経路を形成する。
【0062】
脱水用循環配管６２には、脱水器（分離器）６２１が設けられる。脱水器６２１は、ここに流入した混合流体から水を分離して脱水する。脱水器６２１の構成については後に説明する。
【0063】
脱水用循環配管６２には、ポンプ（脱水側送液ポンプ）６２２および一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂが設けられる。一例として、脱水側送液ポンプ６２２は、回収タンク６０の下流側であって、脱水器６２１の上流側に設けられる。また、一方の開閉バルブ６２３ａは回収タンク６０の上流側に設けられ、他方の開閉バルブ６２３ｂは回収タンク６０の下流側に設けられる。脱水側送液ポンプ６２２は、脱水用循環配管６２内の混合流体を、循環に必要な圧（循環圧）で送液する。一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂがともに開かれた状態で、脱水側送液ポンプ６２２が循環圧で混合流体を送液することで、回収タンク６０に貯留された混合流体が脱水用循環配管６２を循環する。
【0064】
脱水用循環配管６２には、ヒータ６２４が設けられる。ヒータ６２４は、回収タンク６０の下流側であって脱水器６２１の上流側に設けられる。図の例では、ヒータ６２４は、脱水側送液ポンプ６２２の下流側に設けられる。ヒータ６２４は、混合流体を、所定の温度（加熱温度）Ｔ１に加熱する。ここでは、加熱温度Ｔ１は、水の沸点以上の温度とされる。つまり、ヒータ６２４は、混合流体を水の沸点以上に加熱する。ここでいう「水の沸点」とは、厳密にいうと、循環圧の下での水の沸点である。しかしながら、循環圧は十分に小さいため、循環圧の下での水の沸点は、大気圧下での水の沸点（１００℃）と同じであるとみなすことができる。ヒータ６２４の具体的な構成はどのようなものであってもよい。一例として、ヒータ６２４は、配管の周囲を覆ってここを流れる流体を加熱するヒータ（いわゆる、ジャケットヒータ）を用いて形成されてもよい。ヒータ６２４がジャケットヒータを用いて形成される場合、加熱によって配管内の混合流体の圧が高まっても、ヒータ６２４の動作が影響されにくい。また、ヒータ６２４がジャケットヒータを用いて形成される場合、これが、例えば、熱伝導性に優れた金属製の配管の周囲を覆うように設けられることで、配管内の混合流体を効果的に加熱することができる。
【0065】
脱水用循環配管６２には、冷却器６２５が設けられる。冷却器６２５は、脱水器６２１の下流側であって回収タンク６０の上流側に設けられる。冷却器６２５は、混合流体を、所定の温度（冷却温度）Ｔ２に冷却する。ここでは、冷却温度Ｔ２は、有機溶剤（ここではＩＰＡ）の沸点よりも低い温度とされる。つまり、冷却器６２５は、混合流体を、有機溶剤の沸点よりも低い温度に冷却する。ここでいう「有機溶剤の沸点」とは、厳密にいうと、循環圧の下での有機溶剤の沸点である。しかしながら、上記のとおり、循環圧は十分に小さいため、循環圧の下での有機溶剤の沸点は、大気圧下での有機溶剤の沸点（有機溶剤がＩＰＡの場合、８２．３℃）と同じであるとみなすことができる。冷却器６２５の具体的な構成はどのようなものであってもよい。一例として、冷却器６２５は、配管の周囲に設けられた冷却管に冷却媒体を流通させて、配管を流れる流体の熱を奪ってこれを冷却するもの（いわゆる、熱交換器）を用いて形成されてもよい。
【0066】
上記のとおり、ヒータ６２４は、混合流体を水の沸点以上の加熱温度Ｔ１に加熱し、冷却器６２５は、混合流体をＩＰＡの沸点よりも低い冷却温度Ｔ２に冷却する。したがって、混合流体は、その状態を変化させつつ、脱水用循環配管６２を循環することになる。つまり、脱水用循環配管６２を循環する混合流体は、ヒータ６２４よりも下流側であって冷却器６２５よりも上流側の配管部分（以下、「第１配管部分６２ａ」と呼ぶ）を流れる間は、蒸気状態（すなわち、混合流体に含まれる水およびＩＰＡがともに蒸気の状態）となっており、冷却器６２５よりも下流側であってヒータ６２４よりも上流側の部分（以下、「第２配管部分６２ｂ」と呼ぶ）を流れる間は、液体状態（すなわち、混合流体に含まれる水およびＩＰＡがともに液体の状態）となっている。
【0067】
このため、第１配管部分６２ａ、ここに設けられる機器類（例えば、脱水器６２１）、ヒータ６２４、および、冷却器６２５は、蒸気状態の混合流体の圧力に耐える耐圧性、および、加熱温度Ｔ１に耐え得る耐熱性を有するものとされる。一方、第２配管部分６２ｂおよびここに設けられる機器類（例えば、回収タンク６０、脱水側送液ポンプ６２２、一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂ）は、蒸気状態の混合流体の圧力に耐える耐圧性、および、加熱温度Ｔ１に耐え得る耐熱性を有さなくてよい。つまり、第２配管部分６２ｂおよびここに設けられる機器類は、第１配管部分６２ａおよびここに設けられる機器類よりも、耐圧性が低く、耐熱性が低いものであってよい。一例として、第１配管部分６２ａは、耐圧配管（例えば、金属製の配管）により形成され、第２配管部分６２ｂは、耐圧配管ではない配管（例えば、樹脂製の配管）により形成される。また、回収タンク６０は、圧力容器（圧力タンク）である必要はなく、例えば大気圧タンクにより形成される。
【0068】
ここでは、ヒータ６２４と冷却器６２５が同じ脱水用循環配管６２に設けられる。このため、ヒータ６２４には、冷却温度Ｔ２に冷却された混合流体が流入し、冷却器６２５には、加熱温度Ｔ１に加熱された混合流体が流入する。つまり、ヒータ６２４は、混合流体を冷却温度Ｔ２から加熱温度Ｔ１にまで昇温させなければならず、冷却器６２５には、混合流体を加熱温度Ｔ１から冷却温度Ｔ２にまで降温させなければならない。ヒータ６２４および冷却器６２５の負荷を小さくするためには、加熱温度Ｔ１と冷却温度Ｔ２との差が小さいほど好ましい。すなわち、加熱温度Ｔ１は、水の沸点以上の範囲で、できるだけ低い温度であることが好ましい。一例として、加熱温度Ｔ１は、水の沸点よりも５～１０℃程度高い温度（１０５～１１０℃）とされる。また、冷却温度Ｔ２は、有機溶剤（ここではＩＰＡ）の沸点よりも低い範囲で、できるだけ高い温度であることが好ましい。例えば、冷却温度Ｔ２は、ＩＰＡの沸点よりも低く、かつ、常温よりも高い温度とされる。特に、冷却温度Ｔ２は、ＩＰＡの沸点よりも５～１０℃程度低い温度（すなわち、７７．３～７２．３℃）であることが好ましい。
【0069】
脱水用循環配管６２には、減圧器６２６がさらに設けられてもよい。減圧器６２６は、例えば、冷却器６２５の下流側であって回収タンク６０の上流側に設けられ、冷却器６２５で冷却された混合流体を減圧する。減圧器６２６は、例えば、流路を絞ることによって配管を流れる流体に圧力損失を生じさせて、二次側に流出する混合流体の圧力を一次側から流入する混合流体の圧力よりも低い値に減圧するものであってよい。一例として、減圧器６２６は、絞りバルブ（絞り弁）、リリーフバルブ（リリーフ弁）、減圧バルブ（減圧弁）、などを用いて形成することができる。減圧器６２６が設けられることで、第２配管部分６２ｂにおける減圧器６２６よりも下流側の配管部分およびここに設けられる機器類（例えば、回収タンク６０、脱水側送液ポンプ６２２、一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂ）にかかる圧力を、十分に小さく抑えることができる。
【0070】
脱水用循環配管６２には、各種のセンサが設けられてもよい。例えば、脱水用循環配管６２には、脱水用循環配管６２を循環する混合流体に含まれるＩＰＡの濃度を計測する濃度センサ６２７、脱水用循環配管６２を循環する混合流体の圧力を検知する圧力センサ６２８、脱水用循環配管６２を循環する混合流体の温度を検知する温度センサ６２９、脱水用循環配管６２を循環する混合流体の流量を計測する流量センサ（流量計）６３０、などが設けられてもよい。各センサ６２７，６２８，６２９，６３０は、第２配管部分６２ｂに設けられることが好ましい。図の例では、濃度センサ６２７は、減圧器６２６よりも下流側であって、回収タンク６０よりも上流側の位置に設けられ、圧力センサ６２８は、脱水側送液ポンプ６２２の下流側近傍に設けられ、温度センサ６２９は、ヒータ６２３の上流側近傍に設けられ、流量センサ６３０は、脱水側送液ポンプ６２２の上流側近傍に設けられる。
【0071】
【0072】
脱水器６２１は、分離膜５１と、ハウジング５２とを備える。
【0073】
分離膜５１は、水を通過させつつ有機溶剤（ここではＩＰＡ）を通過させない膜である。分離膜５１は、具体的には例えば、ゼオライトで形成されたゼオライト膜である。ゼオライトは、例えば、四面体構造の基本単位（例えば、(SiO4)4－および(AlO4)5－のうちの少なくとも一方を含む基本単位）が相互に連結された結晶構造を有する。分離膜５１は、具体的には例えば、円柱状の基体５１１に、これを軸線方向に貫通する無数のセル５１２が設けられた構成を備える。セル５１２は、分離膜５１内での混合流体の流路となる。なお、この場合、基体５１１の全体がゼオライトで形成されてもよいし、各セル５１２の内周面だけがゼオライトで形成されてもよい。
【0074】
ハウジング５２は、中空の円筒状の部材であり、内部に分離膜５１を収容する。ハウジング５２とここに収容される分離膜５１との間には、これらの間を封止する一対の封止部材５２０が設けられる。各封止部材５２０は例えばリング状であり、分離膜５１の軸線方向の一端側と他端側にそれぞれ設けられる。ハウジング５２の内部空間は、分離膜５１によって、分離膜５１の内部空間（すなわち、各セル５１２の内部空間）であるセル内空間Ｖ１と、分離膜５１の外部空間である分離空間Ｖ２とに隔てられている。また、ハウジング５２には、流入口５２１と、第１流出口５２２と、第２流出口５２３とが設けられる。流入口５２１は、ハウジング５２の軸線方向の一方側の端面に設けられ、各セル５１２の一方の開口を通じてセル内空間Ｖ１と連通する。第１流出口５２２は、ハウジング５２の軸線方向の他方側の端面に設けられ、各セル５１２の他方の開口を通じてセル内空間Ｖ１と連通する。第２流出口５２３は、ハウジング５２の側面（周面）に設けられ、分離空間Ｖ２と連通する。
【0075】
流入口５２１および第１流出口５２２には、脱水用循環配管６２が接続される。一方、第２流出口５２３には、真空ポンプ５３１が設けられた分離配管５３が接続される。脱水用循環配管６２を流れる混合流体は、流入口５２１から脱水器６２１（具体的には、セル内空間Ｖ１）に流入して、セル内空間Ｖ１を流れる。この状態で、分離配管５３に設けられた真空ポンプ５３１が作動されると、分離空間Ｖ２が減圧されて、セル内空間Ｖ１と分離空間Ｖ２との間に圧力差が設けられる。セル内空間Ｖ１と分離空間Ｖ２とを隔てる分離膜５１は、水が通過でき、ＩＰＡが通過できない膜である。したがって、セル内空間Ｖ１と分離空間Ｖ２との間に圧力差が設けられると、セル内空間Ｖ１に流入した混合流体に含まれる水（水分子）が、分離膜５１を通過して、分離空間Ｖ２に到達し、第２流出口５２３を通じて分離配管５３に流入する。こうして、混合流体から水が分離される。一方、セル内空間Ｖ１に流入した混合流体に含まれるＩＰＡ（ＩＰＡ分子）は、分離膜５１を通過できないため、セル内空間Ｖ１を流れて、第１流出口５２２を通じて脱水用循環配管６２に流入する。このようにして、混合流体は、脱水器６２１に流入したときよりもＩＰＡの濃度が高められた状態で脱水器６２１から流出する。脱水器６２１を繰り返して通過するごとに混合流体におけるＩＰＡの濃度が高まっていく。
【0076】
ここでは、脱水器６２１の上流側に設けられるヒータ６２４が、混合流体を、水の沸点以上の加熱温度Ｔ１に加熱する。したがって、脱水器６２１に流入する混合流体は、蒸気状態（すなわち、混合流体に含まれる水およびＩＰＡがともに蒸気の状態）となっている。蒸気状態の水（水蒸気）は、液体状態の水に比べて、分子間の距離が大きく、分子間にはたらく力が小さく、分子の平均運動エネルギーが高いため、分離膜５１を通過しやすい。したがって、脱水器６２１に流入する混合流体に含まれる水が蒸気状態となっていることで、分離効率（脱水効率）が高まる。分離対象となる流体を蒸気状態として分離膜５１に供給する方法は、ＶＰ（Vapor permeation）法などとも呼ばれる。
【0077】
なお、混合流体から分離された水が流入する分離配管５３の側の構成は適宜に規定することができる。ここでは例えば、分離配管５３における真空ポンプ５３１よりも上流側の位置に、凝縮器５３２が設けられる。凝縮器５３２には、ここで凝縮された水を導く排水配管５４が接続される。排水配管５４には、ここを流れる水に微量に含まれる有機溶剤（ここではＩＰＡ）を分解して水の純度を高めるための分解器５４１が設けられる。分解器５４１は、例えば、水に含まれるＩＰＡを電気分解して水の純度を高めるものであってもよい。この場合、分解器５４１は、例えば、排水配管５４を流れる水を一時的に貯留するタンク、タンクに貯留された水に浸される一対の電極、一対の電極に電力を供給してこれらの間に電位差を形成する電力供給部、などを含んで構成することができる。排水配管５４は、例えば、処理ユニット４のリンス液供給源４３３ｂ（図２）に接続されてもよいし、工場の水回収ラインに接続されてもよい。例えば、排水配管５４がリンス液供給源４３３ｂに接続される場合、混合流体から分離されて分離配管５３に流入した水は、凝縮器５３２で凝縮されて排水配管５４に流入し、分解器５４１で水の純度を高められた上で、リンス液供給源４３３ｂに導かれて、リンス液ノズル４３ｂからリンス液として吐出される。すなわち、この場合、混合流体から分離された水が、リンス液として再利用されることになる。
【0078】
（ｃ）浄化タンク７０
再び図３を参照する。浄化タンク７０は、第１送液配管７１および脱水用循環配管６２を介して、回収タンク６０と接続される。すなわち、第１送液配管７１の一端側は、浄化タンク７０に接続され、第１送液配管７１の他端側は、脱水用循環配管６２に接続される。一例として、第１送液配管７１の他端側は、脱水用循環配管６２の第２配管部分６２ｂ（例えば、ヒータ６２３よりも上流側であって脱水側送液ポンプ６２２よりも下流側の位置）に接続される。もっとも、第１送液配管７１の他端側は、脱水用循環配管６２を介さずに回収タンク６０と直接に接続されてもよい。第１送液配管７１には第１送液バルブ７１１が設けられる。回収タンク６０に、混合流体から水が分離されることによってＩＰＡの濃度（純度）が十分に（基板Ｗに供給できる程度に）高められた流体（以下「濃縮流体」とも呼ぶ）が得られている状態で、第１送液バルブ７１１が開かれると、濃縮流体が第１送液配管７１に案内されて浄化タンク７０に流入して、ここに貯留される。
再び図３を参照する。浄化タンク７０は、第１送液配管７１および脱水用循環配管６２を介して、回収タンク６０と接続される。すなわち、第１送液配管７１の一端側は、浄化タンク７０に接続され、第１送液配管７１の他端側は、脱水用循環配管６２に接続される。一例として、第１送液配管７１の他端側は、脱水用循環配管６２の第２配管部分６２ｂ（例えば、ヒータ６２３よりも上流側であって脱水側送液ポンプ６２２よりも下流側の位置）に接続される。もっとも、第１送液配管７１の他端側は、脱水用循環配管６２を介さずに回収タンク６０と直接に接続されてもよい。第１送液配管７１には第１送液バルブ７１１が設けられる。回収タンク６０に、混合流体から水が分離されることによってＩＰＡの濃度（純度）が十分に（基板Ｗに供給できる程度に）高められた流体（以下「濃縮流体」とも呼ぶ）が得られている状態で、第１送液バルブ７１１が開かれると、濃縮流体が第１送液配管７１に案内されて浄化タンク７０に流入して、ここに貯留される。
【0079】
浄化タンク７０には、循環配管（浄化用循環配管）７２が接続される。具体的には、浄化用循環配管７２の一端側および他端側はいずれも浄化タンク７０に接続される。浄化用循環配管７２は、浄化タンク７０に貯留されている濃縮流体が、浄化タンク７０から流出し、再び、浄化タンク７０に戻るように循環する循環経路を形成する。
【0080】
浄化用循環配管７２には、ポンプ（浄化側送液ポンプ）７２１および開閉バルブ７２２が設けられる。一例として、開閉バルブ７２２は、浄化側送液ポンプ７２１の下流側であって浄化タンク７０の上流側に設けられる。浄化側送液ポンプ７２１は、浄化用循環配管７２内の濃縮流体を、循環に必要な圧で送液する。開閉バルブ７２２が開かれた状態で、浄化側送液ポンプ７２１が循環に必要な圧で濃縮流体を送液することで、浄化タンク７０に貯留された濃縮流体が浄化用循環配管７２を循環する。
【0081】
浄化用循環配管７２には、フィルタ７２３および温調器７２４が設けられる。一例として、フィルタ７２３は、浄化側送液ポンプ７２１の下流側であって浄化タンク７０の上流側に設けられ、温調器７２４は、浄化側送液ポンプ７２１の下流側であってフィルタ７２３の上流側に設けられる。フィルタ７２３は、浄化用循環配管７２を流れる濃縮流体に含まれる除去対象物（例えば、パーティクル、金属、など）を捕獲する。濃縮流体がフィルタ７２３を通過することで、濃縮流体に含まれる除去対象物が濃縮流体から除去され、濃縮流体の清浄度が高められる。フィルタ７２３には、エア抜き用の配管７２３１が接続されてもよい。温調器７２４は、冷却性能と加熱性能を有する機器であり、一例として、ペルチェ素子を用いて電子的な冷却および加熱を行う電子冷熱器である。フィルタ７２３を高温の流体が通過すると、熱膨張などによってフィルタ７２３の性能が低下するおそれがある。そこで、ここでは、温調器７２４が、必要に応じて、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体を所定の温度（例えば、常温）にまで冷却する。これによって、フィルタ７２３の性能が低下することが抑制される。
【0082】
浄化用循環配管７２には、各種のセンサが設けられてもよい。例えば、浄化用循環配管７２には、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体の圧力を検知する圧力センサ７２５、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体の温度を検知する温度センサ７２６、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体に含まれるパーティクルの個数を計数するパーティクルカウンタ（図示省略）、などが設けられてもよい。図の例では、浄化側送液ポンプ７２１の下流側近傍に圧力センサ７２５が設けられ、温調器７２４の下流側近傍に温度センサ７２６が設けられる。
【0083】
（ｄ）供給タンク８０
供給タンク８０は、第２送液配管８１および浄化用循環配管７２を介して、浄化タンク７０と接続される。すなわち、第２送液配管８１の一端側は、供給タンク８０に接続され、第２送液配管８１の他端側は、浄化用循環配管７２に接続される。一例として、第２送液配管８１の他端側は、浄化用循環配管７２における、フィルタ７２３よりも上流側であって浄化側送液ポンプ７２１よりも下流側の位置に接続される。もっとも、第２送液配管８１の他端側は、浄化用循環配管７２を介さずに浄化タンク７０と直接に接続されてもよい。第２送液配管８１には第２送液バルブ８１１が設けられる。浄化タンク７０に、清浄度が十分に（基板Ｗに供給できる程度に）高められた濃縮流体（以下「浄化流体」と呼ぶ）が得られている状態で、第２送液バルブ８１１が開かれると、浄化流体が第２送液配管８１に案内されて供給タンク８０に流入して、ここに貯留される。
供給タンク８０は、第２送液配管８１および浄化用循環配管７２を介して、浄化タンク７０と接続される。すなわち、第２送液配管８１の一端側は、供給タンク８０に接続され、第２送液配管８１の他端側は、浄化用循環配管７２に接続される。一例として、第２送液配管８１の他端側は、浄化用循環配管７２における、フィルタ７２３よりも上流側であって浄化側送液ポンプ７２１よりも下流側の位置に接続される。もっとも、第２送液配管８１の他端側は、浄化用循環配管７２を介さずに浄化タンク７０と直接に接続されてもよい。第２送液配管８１には第２送液バルブ８１１が設けられる。浄化タンク７０に、清浄度が十分に（基板Ｗに供給できる程度に）高められた濃縮流体（以下「浄化流体」と呼ぶ）が得られている状態で、第２送液バルブ８１１が開かれると、浄化流体が第２送液配管８１に案内されて供給タンク８０に流入して、ここに貯留される。
【0084】
供給タンク８０は、新液配管８２を通じて、新液供給源８２１に接続されてもよい。この場合、新液配管８２の一端側は、供給タンク８０に接続され、新液配管８２の他端側は、新液供給源８２１に接続される。新液供給源８２１は、一度も基板Ｗに供給されていない未使用のＩＰＡ（純度が十分に高いＩＰＡであり、具体的には例えば、純度が９９ｗｔ％以上のＩＰＡ）の供給源である。新液配管８２には、新液バルブ８２２が設けられる。新液バルブ８２２が開かれると、未使用のＩＰＡが新液配管８２に案内されて供給タンク８０に流入して、ここに貯留される。
【0085】
供給タンク８０は、第３送液配管８３を通じて、有機溶剤ノズル４３ｃに接続される。すなわち、第３送液配管８３の一端側は、供給タンク８０に接続され、第３送液配管８３の他端側は、有機溶剤ノズル４３ｃ（具体的には、有機溶剤ノズル４３ｃに接続された有機溶剤配管４３２ｃ）に接続される。ここでは例えば、第３送液配管８３は、同じタワーに属する複数の処理ユニット４の各々が備える有機溶剤ノズル４３ｃに接続される。第３送液配管８３には、ポンプ（供給側送液ポンプ）８３１が設けられる。有機溶剤バルブ４３１ｃが開かれると、供給タンク８０に貯留されている浄化流体が、供給側送液ポンプ８３１によって有機溶剤ノズル４３ｃの側に送液されて、有機溶剤ノズル４３ｃから吐出される。
【0086】
第３送液配管８３には、第３送液配管８３を送液される浄化流体に含まれる除去対象物を捕獲するフィルタ８３２、および、第３送液配管８３を送液される浄化流体の温度を調整する（すなわち、浄化流体が所定の温度となるように加熱あるいは冷却する）温調器８３３が設けられてもよい。図の例では、供給側送液ポンプ８３１の下流側に温調器８３３が設けられ、温調器８３３の下流側にフィルタ８３２が設けられる。また、第３送液配管８３には、各種のセンサが設けられてもよい。例えば、第３送液配管８３には、第３送液配管８３を送液される浄化流体の圧力を検知する圧力センサ８３４、第３送液配管８３を送液される浄化流体の温度を検知する温度センサ８３５、などが設けられてもよい。図の例では、供給側送液ポンプ８３１の下流側近傍に圧力センサ８３４が設けられ、温調器８３３の下流側近傍に温度センサ８３５が設けられる。
【0087】
＜３－２．動作＞
有機溶剤回収部５で行われる処理の流れについて、図５～図１２を参照しながら説明する。図５は、有機溶剤回収部５で行われる処理の流れの一例を示す図である。図６は、混合流体から水を分離する処理の流れの一例を示す図である。図７～図１２は、各工程における有機溶剤回収部５の状態を模式的に示す図である。図７～図１２では、説明の便宜上、流体が流れている配管が実線で示され、流体が流れていない配管が破線で示されている。
有機溶剤回収部５で行われる処理の流れについて、図５～図１２を参照しながら説明する。図５は、有機溶剤回収部５で行われる処理の流れの一例を示す図である。図６は、混合流体から水を分離する処理の流れの一例を示す図である。図７～図１２は、各工程における有機溶剤回収部５の状態を模式的に示す図である。図７～図１２では、説明の便宜上、流体が流れている配管が実線で示され、流体が流れていない配管が破線で示されている。
【0088】
有機溶剤回収部５の動作は、制御部６の制御下で行われる。すなわち、制御部６が、センサ（濃度センサ６２７、圧力センサ６２８，７２５，８３４、温度センサ６２９，７２６，８３５、流量センサ６３０、など）からの入力情報などに基づいて、ポンプ（脱水側送液ポンプ６２２、真空ポンプ５３１、浄化側送液ポンプ７２１、および、供給側送液ポンプ８３１）、バルブ（回収バルブ６１１、一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂ、第１送液バルブ７１１、開閉バルブ７２２、第２送液バルブ８１１、および、新液バルブ８２２、など）、ヒータ６２４、冷却器６２５、減圧器６２６、凝縮器５３２、分解器５４１、温調器７２４，８３３、などを制御することによって、有機溶剤回収部５において一連の動作が進行する。
【0089】
ステップＳ１
まず、回収タンク６０が空の状態で、回収バルブ６１１が開かれる。すると、有機溶剤供給工程およびスピンドライ工程においてカップ４２に集められた液体が、回収配管６１に案内されて回収タンク６０に流入する。これにより、回収タンク６０に、基板Ｗに供給された後に回収された水と、基板Ｗに供給された後に回収されたＩＰＡとを含む混合流体が貯留される（図７）（貯留工程）。所定量の混合流体が回収タンク６０に貯留されると、回収バルブ６１１が閉じられる。
まず、回収タンク６０が空の状態で、回収バルブ６１１が開かれる。すると、有機溶剤供給工程およびスピンドライ工程においてカップ４２に集められた液体が、回収配管６１に案内されて回収タンク６０に流入する。これにより、回収タンク６０に、基板Ｗに供給された後に回収された水と、基板Ｗに供給された後に回収されたＩＰＡとを含む混合流体が貯留される（図７）（貯留工程）。所定量の混合流体が回収タンク６０に貯留されると、回収バルブ６１１が閉じられる。
【0090】
【0091】
まず、一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂがともに開かれるとともに、脱水側送液ポンプ６２２が循環圧で混合流体を送液する。これにより、回収タンク６０に貯留されている混合流体が、脱水用循環配管６２を循環する状態となる（ステップＳ２０１：循環工程）（図８）。
【0092】
続いて、混合流体の加熱が開始される（ステップＳ２０２ａ：加熱工程）。具体的には、ヒータ６２４が、脱水用循環配管６２を循環する混合流体を、水の沸点以上の加熱温度Ｔ１に加熱する。また、混合流体の加熱が開始されるのと同時に、混合流体の冷却も開始される（ステップＳ２０２ｂ：冷却工程）。具体的には、冷却器６２５が、脱水用循環配管６２を循環する混合流体を、ＩＰＡの沸点よりも低い冷却温度Ｔ２に冷却する。加熱および冷却が行われることにより、混合流体が、その状態を変化させつつ、脱水用循環配管６２を循環する。すなわち、この状態において、脱水用循環配管６２を循環する混合流体は、第１配管部分６２ａを流れる間は蒸気状態となっており、第２配管部分６２ｂを流れる間は液体状態となっている。
【0093】
続いて、混合流体の加熱および冷却が継続されたままで、真空ポンプ５３１の作動が開始される。真空ポンプ５３１が作動されることで、分離空間Ｖ２が減圧され、セル内空間Ｖ１と分離空間Ｖ２との間に圧力差が設けられる。この圧力差によって、セル内空間Ｖ１に流入した混合流体に含まれる水が、分離膜５１を通過して分離空間Ｖ２に到達し、分離配管５３に流入する。すなわち、脱水用循環配管６２を循環する混合流体が脱水器６２１を通過する際に、該混合流体に含まれる水が分離される（ステップＳ２０３：分離工程）（図９）。ここでは、脱水器６２１に流入する混合流体は、加熱されることで蒸気状態（すなわち、混合流体に含まれる水およびＩＰＡがともに蒸気の状態）となっている。脱水器６２１に流入する混合流体に含まれる水が蒸気状態となっていることで、混合流体から水が効率的に分離される。
【0094】
その後、真空ポンプ５３１が作動された状態が所定時間だけ継続される。この間も、混合流体の加熱および冷却は継続される。この間に、脱水用循環配管６２を循環する混合流体が、脱水器６２１を繰り返して通過することによって、混合流体におけるＩＰＡの濃度が高まっていく。ここでは、回収タンク６０に貯留される混合流体におけるＩＰＡの濃度が十分に（基板Ｗに供給できる程度に）高まるまでに要する時間（すなわち、濃縮流体が得られるまでに要する時間）が、測定、計算、などによって予め特定されて、所定時間として規定される。したがって、真空ポンプ５３１の作動が開始されてから所定時間が経過した段階で、回収タンク６０に濃縮流体が貯留された状態となっている。真空ポンプ５３１の作動が開始されてから所定時間が経過すると（ステップＳ２０４でＹＥＳ）、真空ポンプ５３１の作動が停止される。これにより、脱水器６２１における水の分離が概ね停止される（ステップＳ２０５）。さらに、混合流体の加熱が停止され（ステップＳ２０６ａ）、混合流体の冷却が停止される（ステップＳ２０６ｂ）。
【0095】
その後、第１送液バルブ７１１が開かれる。すると、回収タンク６０に貯留されている濃縮流体が、第１送液配管７１を通じて浄化タンク７０に送液される。これにより、浄化タンク７０に、濃縮流体が貯留される（ステップＳ２０７）（図１０）。回収タンク６０に貯留されていた濃縮流体の全量が浄化タンク７０に送液されると、第１送液バルブ７１１が閉じられる。
【0096】
ステップＳ３
続いて、浄化タンク７０に貯留された濃縮流体の清浄度を高める処理が行われる。具体的には、開閉バルブ７２２が開かれるとともに、浄化側送液ポンプ７２１が循環に必要な圧で濃縮流体を送液する。これにより、浄化タンク７０に貯留されている濃縮流体が、浄化用循環配管７２を循環する状態となる（図１１）。この状態は、所定時間だけ継続される。この間に、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体が、フィルタ７２３を繰り返して通過することによって、濃縮流体の清浄度が高まっていく。ここでは、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体の清浄度が十分に（基板Ｗに供給できる程度に）高まるまでに要する時間（すなわち、浄化流体が得られるまでに要する時間）が、測定、計算、などによって予め特定されて、所定時間として規定される。したがって、循環が開始されてから所定時間が経過した段階で、浄化タンク７０に浄化流体が貯留された状態となっている。循環が開始されてから所定時間が経過すると、開閉バルブ７２２が閉じられる。
続いて、浄化タンク７０に貯留された濃縮流体の清浄度を高める処理が行われる。具体的には、開閉バルブ７２２が開かれるとともに、浄化側送液ポンプ７２１が循環に必要な圧で濃縮流体を送液する。これにより、浄化タンク７０に貯留されている濃縮流体が、浄化用循環配管７２を循環する状態となる（図１１）。この状態は、所定時間だけ継続される。この間に、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体が、フィルタ７２３を繰り返して通過することによって、濃縮流体の清浄度が高まっていく。ここでは、浄化用循環配管７２を循環する濃縮流体の清浄度が十分に（基板Ｗに供給できる程度に）高まるまでに要する時間（すなわち、浄化流体が得られるまでに要する時間）が、測定、計算、などによって予め特定されて、所定時間として規定される。したがって、循環が開始されてから所定時間が経過した段階で、浄化タンク７０に浄化流体が貯留された状態となっている。循環が開始されてから所定時間が経過すると、開閉バルブ７２２が閉じられる。
【0097】
ステップＳ４
続いて、第２送液バルブ８１１が開かれる。すると、浄化タンク７０内の浄化流体が、第２送液配管８１を通じて供給タンク８０に送液される。これにより、供給タンク８０に、浄化流体が貯留される（図１２）。例えば、浄化タンク７０内の浄化流体の全量が、供給タンク８０に送液されると、第２送液バルブ８１１が閉じられる。その後、有機溶剤バルブ４３１ｃが開かれると、供給タンク８０に貯留されている浄化流体が、供給側送液ポンプ８３１によって有機溶剤ノズル４３ｃの側に送液されて、有機溶剤ノズル４３ｃから吐出される。すなわち、浄化流体が基板Ｗに供給される。なお、浄化流体は、第３送液配管８３を通過する途中で、フィルタ８３２を通過して清浄度を高められてもよいし、必要に応じて温調器８３３で温度を調整されてもよい。また、供給タンク８０に貯留された浄化流体の量が所定量よりも少なくなった場合に、新液バルブ８２２が開かれて、未使用のＩＰＡが供給タンク８０に補充されてもよい。
続いて、第２送液バルブ８１１が開かれる。すると、浄化タンク７０内の浄化流体が、第２送液配管８１を通じて供給タンク８０に送液される。これにより、供給タンク８０に、浄化流体が貯留される（図１２）。例えば、浄化タンク７０内の浄化流体の全量が、供給タンク８０に送液されると、第２送液バルブ８１１が閉じられる。その後、有機溶剤バルブ４３１ｃが開かれると、供給タンク８０に貯留されている浄化流体が、供給側送液ポンプ８３１によって有機溶剤ノズル４３ｃの側に送液されて、有機溶剤ノズル４３ｃから吐出される。すなわち、浄化流体が基板Ｗに供給される。なお、浄化流体は、第３送液配管８３を通過する途中で、フィルタ８３２を通過して清浄度を高められてもよいし、必要に応じて温調器８３３で温度を調整されてもよい。また、供給タンク８０に貯留された浄化流体の量が所定量よりも少なくなった場合に、新液バルブ８２２が開かれて、未使用のＩＰＡが供給タンク８０に補充されてもよい。
【0098】
有機溶剤回収部５では、このような一連の処理（ステップＳ１～ステップＳ４）が繰り返して行われる。もっとも、ステップＳ４の処理が終了するより先に（例えば、ステップＳ３の処理が終了した段階で）、次のステップＳ１の処理が開始されてもよい。
【0099】
＜４．効果＞
上記の実施形態に係る基板処理装置１００は、基板Ｗに水を含むリンス液を供給するリンス液供給部（リンス液ノズル）４３ｂと、基板Ｗに有機溶剤（例えばＩＰＡ）を供給する有機溶剤供給部（有機溶剤ノズル）４３ｃと、基板Ｗに供給された後に回収された水と、基板Ｗに供給された後に回収された有機溶剤とを含む混合流体を貯留する回収タンク６０と、回収タンク６０に接続される循環配管（脱水用循環配管）６２と、脱水用循環配管６２に設けられ、水を通過させつつ有機溶剤を通過させない分離膜５１を備える脱水器６２１と、脱水用循環配管６２に設けられるポンプ（脱水側送液ポンプ）６２２と、脱水用循環配管６２における回収タンク６０の下流側であって脱水器６２１の上流側に設けられ、混合流体を水の沸点以上に加熱するヒータ６２４と、を備える。この構成によると、混合流体に含まれる水を蒸気状態で脱水器６２１に流入させることができる。これによって、分離膜５１での分離効率を高めることができる。
上記の実施形態に係る基板処理装置１００は、基板Ｗに水を含むリンス液を供給するリンス液供給部（リンス液ノズル）４３ｂと、基板Ｗに有機溶剤（例えばＩＰＡ）を供給する有機溶剤供給部（有機溶剤ノズル）４３ｃと、基板Ｗに供給された後に回収された水と、基板Ｗに供給された後に回収された有機溶剤とを含む混合流体を貯留する回収タンク６０と、回収タンク６０に接続される循環配管（脱水用循環配管）６２と、脱水用循環配管６２に設けられ、水を通過させつつ有機溶剤を通過させない分離膜５１を備える脱水器６２１と、脱水用循環配管６２に設けられるポンプ（脱水側送液ポンプ）６２２と、脱水用循環配管６２における回収タンク６０の下流側であって脱水器６２１の上流側に設けられ、混合流体を水の沸点以上に加熱するヒータ６２４と、を備える。この構成によると、混合流体に含まれる水を蒸気状態で脱水器６２１に流入させることができる。これによって、分離膜５１での分離効率を高めることができる。
【0100】
また、上記の実施形態に係る基板処理装置１００は、脱水用循環配管６２における脱水器６２１の下流側であって回収タンク６０の上流側に設けられる冷却器６２５、を備える。この構成によると、加熱された混合流体を冷却器６２５で冷却することによって、混合流体の圧力を低下させることができる。また、脱水用循環配管６２を循環する混合流体は、冷却器６２５を通過する際に抵抗を受ける。したがって、蒸気状態の混合流体が冷却器６２５の下流側（つまりは、第１配管部分６２ａ）に留まりやすくなる。これにより、混合流体が分離膜５１と十分に接触し、分離膜５１での分離効率がさらに高まる。
【0101】
また、上記の実施形態では、冷却器６２５が、混合流体を、有機溶剤（例えばＩＰＡ）の沸点よりも低く、かつ、常温よりも高い温度に冷却する。この構成によると、冷却器６２５で冷却されることによって、混合流体に含まれるＩＰＡが蒸気状態から液体状態に戻るので、混合流体の圧力を十分に低下させることができる。その一方で、冷却器６２５は、混合流体を常温よりも高い温度にまでしか冷却しないので、ヒータ６２４および冷却器６２５の負荷がともに低減される。その結果、例えば、ヒータ６２４および冷却器６２５の小型化などが実現される。
【0102】
また、上記の実施形態では、脱水用循環配管６２の第２配管部分（冷却器６２５よりも下流側であってヒータ６２４よりも上流側の配管部分）６２ｂの耐圧性が、脱水用循環配管６２の第１配管部分（ヒータ６２４よりも下流側であって冷却器６２５よりも上流側の配管部分）６２ａの耐圧性よりも低いものとされる。この構成によると、脱水用循環配管６２の全体にわたって相対的に高い耐圧性をもたせる場合に比べて、装置をコンパクト化できる。
【0103】
また、上記の実施形態に係る基板処理装置１００は、脱水用循環配管６２に設けられ、冷却器６２５で冷却された混合流体を減圧する減圧器６２６、を備える。この構成によると、冷却器６２５で低下された混合流体の圧力を、減圧器６２６によってさらに低下させることができる。したがって、第２配管部分６２ｂにおける減圧器６２６よりも下流側の配管部分およびここに設けられる機器類にかかる圧力を、十分に小さく抑えることができる。
【0104】
また、上記の実施形態に係る基板処理装置１００は、送液配管（第１送液配管）７１を介して回収タンク６０と接続され、混合流体から水が分離されることによって得られた濃縮流体を貯留する浄化タンク７０と、浄化タンク７０に接続される配管（浄化用循環配管）７２に設けられ、浄化用循環配管７２を流れる濃縮流体に含まれる除去対象物質を捕獲するフィルタ７２３とを備える。この構成によると、混合流体から水が分離されることによって得られた濃縮流体から除去対象物質を除去して、濃縮流体の清浄度を高めることができる。
【0105】
また、上記の実施形態では、浄化タンク７０に貯留された濃縮流体が、フィルタ７２３を通された上で、有機溶剤ノズル４３ｃに送液されて、基板Ｗに供給される。つまり、基板Ｗに供給された後に回収された水と基板Ｗに供給された後に回収された有機溶剤とを含む混合流体から水が分離されることによって得られた濃縮流体が、清浄度を高められた上で、再び基板Ｗに供給される。したがって、有機溶剤の使用量および排出量を削減することができる（省液化）。ＩＰＡは揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compound）であり、その使用量および排出量を削減することによって、環境負荷を軽減することができる。
【0106】
＜５．変形例＞
上記の実施形態に係る基板処理装置１００に係る構成および動作は、適宜に変更することができる。以下の説明においては、上記の実施形態で説明したものと同様の要素については、同一符号を付すとともに、その説明を省略する。
上記の実施形態に係る基板処理装置１００に係る構成および動作は、適宜に変更することができる。以下の説明においては、上記の実施形態で説明したものと同様の要素については、同一符号を付すとともに、その説明を省略する。
【0107】
【0108】
有機溶剤回収部５ｔは、複数（図の例では２個）の回収タンク６０Ａ，６０Ｂと、複数（図の例では２個）の浄化タンク７０Ａ，７０Ｂと、供給タンク８０（図３参照）とを備える。
【0109】
回収タンク６０Ａ，６０Ｂは、回収配管６１ｔを介して、カップ４２と接続される。すなわち、回収配管６１ｔの一端側は分岐しており、一方の分岐部分６１Ａの端部は、第１回収タンク６０Ａに接続され、他方の分岐部分６１Ｂの端部は、第２回収タンク６０Ｂに接続される。回収配管６１ｔの他端側は、カップ４２（具体的には、カップ４２に接続されたカップ側回収管４２４）に接続される。各分岐部分６１Ａ，６１Ｂには、回収バルブ６１１Ａ，６１１Ｂが設けられる。一方の回収バルブ６１１Ａが開かれると、有機溶剤供給工程およびスピンドライ工程においてカップ４２に集められた液体が、回収配管６１ｔに案内されて第１回収タンク６０Ａに流入して、ここに貯留される。すなわち、第１回収タンク６０Ａに混合流体が貯留される。同様に、他方の回収バルブ６１１Ｂが開かれると、有機溶剤供給工程およびスピンドライ工程においてカップ４２に集められた液体が、回収配管６１ｔに案内されて第２回収タンク６０Ｂに流入して、ここに貯留される。すなわち、第２回収タンク６０Ｂに混合流体が貯留される。
【0110】
回収タンク６０Ａ，６０Ｂには、循環配管（脱水用循環配管）６２ｔが接続される。脱水用循環配管６２ｔには、分岐位置Ｒ１と合流位置Ｒ２とが規定されており、これらの間に複数（回収タンク６０Ａ，６０Ｂと同数個）の分岐配管６２０Ａ，６２０Ｂが設けられる。そして、複数の分岐配管６２０Ａ，６２０Ｂの各々に、回収タンク６０Ａ，６０Ｂが設けられる。すなわち、一方の分岐配管６２０Ａには、第１回収タンク６０Ａが設けられ、他方の分岐配管６２０Ｂには、第２回収タンク６０Ｂが設けられる。また、一方の分岐配管６２０Ａには、第１回収タンク６０Ａを挟んで一対の第１バルブ６２１Ａ，６２１Ａが設けられ、他方の分岐配管６２０Ｂには、第２回収タンク６０Ｂを挟んで一対の第２バルブ６２１Ｂ，６２１Ｂが設けられる。一対の第１バルブ６２１Ａ，６２１Ａが開かれ、かつ、一対の第２バルブ６２１Ｂ，６２１Ｂが閉じられると、第１回収タンク６０Ａに貯留されている混合流体が、第１回収タンク６０Ａから流出し、再び、第１回収タンク６０Ａに戻るように循環する循環経路が形成される。逆に、一対の第１バルブ６２１Ａ，６２１Ａが閉じられ、かつ、一対の第２バルブ６２１Ｂ，６２１Ｂが開かれると、第２回収タンク６０Ｂに貯留されている混合流体が、第２回収タンク６０Ｂから流出し、再び、第２回収タンク６０Ｂに戻るように循環する循環経路が形成される。
【0111】
上記の実施形態と同様、脱水用循環配管６２ｔには、脱水器６２１、脱水側送液ポンプ６２２、一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂ、ヒータ６２４、冷却器６２５、減圧器６２６、および、各種のセンサ６２７，６２８，６２９，６３０が設けられる。これら各部は、分岐位置Ｒ１よりも上流側であり、かつ、合流位置Ｒ２よりも下流側の各位置に設けられる。
【0112】
上記の実施形態と同様、ヒータ６２４は、混合流体を、水の沸点以上の加熱温度Ｔ１に加熱する。また、冷却器６２５は、混合流体を、ＩＰＡの沸点よりも低い冷却温度Ｔ２に冷却する。したがって、上記の実施形態と同様、脱水用循環配管６２を循環する混合流体は、ヒータ６２４よりも下流側であって冷却器６２５よりも上流側の第１配管部分６２ａを流れる間は、蒸気状態となっており、冷却器６２５よりも下流側であってヒータ６２４よりも上流側の第２配管部分６２ｂを流れる間は、液体状態となっている。このため、上記の実施形態と同様、第１配管部分６２ａ、ここに設けられる機器類（例えば、脱水器６２１）、ヒータ６２４、および、冷却器６２５は、蒸気状態の混合流体の圧力に耐える耐圧性、および、加熱温度Ｔ１に耐え得る耐熱性を有するものとされる。一方、第２配管部分６２ｂおよびここに設けられる機器類（例えば、第１回収タンク６０Ａ、第２回収タンク６０Ｂ、脱水側送液ポンプ６２２、一対の開閉バルブ６２３ａ，６２３ｂ）は、蒸気状態の混合流体の圧力に耐える耐圧性、および、加熱温度Ｔ１に耐え得る耐熱性を有さなくてよい。一例として、第１回収タンク６０Ａおよび第２回収タンク６０Ｂは、いずれも、大気圧タンクにより形成される。
【0113】
浄化タンク７０Ａ，７０Ｂは、第１送液配管７１ｔおよび脱水用循環配管６２ｔを介して回収タンク６０Ａ，６０Ｂと接続される。すなわち、第１送液配管７１ｔの一端側は分岐しており、一方の分岐部分７１Ａの端部は、第１浄化タンク７０Ａに接続され、他方の分岐部分７１Ｂの端部は、第２浄化タンク７０Ｂに接続される。第１送液配管７１ｔの他端側は、脱水用循環配管６２ｔの第２配管部分６２ｂに接続される。各分岐部分７１Ａ，７１Ｂには、第１送液バルブ７１１Ａ，７１１Ｂが設けられる。第１回収タンク６０Ａあるいは第２回収タンク６０Ｂに濃縮流体が得られている状態で、第１浄化タンク７０Ａ側の第１送液バルブ７１１Ａが開かれると、濃縮流体が第１送液配管７１ｔに案内されて第１浄化タンク７０Ａに流入して、ここに貯留される。同様に、第１回収タンク６０Ａあるいは第２回収タンク６０Ｂに濃縮流体が得られている状態で、第２浄化タンク７０Ｂ側の第１送液バルブ７１１Ｂが開かれると、該濃縮流体が第１送液配管７１ｔに案内されて第２浄化タンク７０Ｂに流入して、ここに貯留される。
【0114】
第１浄化タンク７０Ａおよび第２浄化タンク７０Ｂの各々には、循環配管（浄化用循環配管）７２Ａ，７２Ｂが接続される。各浄化用循環配管７２Ａ，７２Ｂには、上記の実施形態に係る浄化用循環配管７２と同様、浄化側送液ポンプ７２１、開閉バルブ７２２、フィルタ７２３、温調器７２４、および、各種のセンサ７２５，７２６が設けられる。
【0115】
第１浄化タンク７０Ａおよび第２浄化タンク７０Ｂの各々は、浄化用循環配管７２Ａ，７２Ｂおよび第２送液配管８１ｔを介して、供給タンク８０（図３）と接続される。すなわち、第２送液配管８１ｔの一端側は分岐しており、一方の分岐部分８１Ａの端部は、第１浄化タンク７０Ａ側の浄化用循環配管７２Ａに接続され、他方の分岐部分８１Ｂの端部は、第２浄化タンク７０Ｂ側の浄化用循環配管７２Ｂに接続される。第２送液配管８１ｔの他端側は、供給タンク８０に接続される。各分岐部分８１Ａ，８１Ｂには、第２送液バルブ８１１Ａ，８１１Ｂが設けられる。第１浄化タンク７０Ａに浄化流体が得られている状態で、第１浄化タンク７０Ａ側の第２送液バルブ８１１Ａが開かれると、第１浄化タンク７０Ａ内の浄化流体が第２送液配管８１ｔに案内されて供給タンク８０に流入して、ここに貯留される。同様に、第２浄化タンク７０Ｂに浄化流体が得られている状態で、第２浄化タンク７０Ｂ側の第２送液バルブ８１１Ｂが開かれると、第２浄化タンク７０Ｂ内の浄化流体が第２送液配管８１ｔに案内されて供給タンク８０に流入して、ここに貯留される。
【0116】
有機溶剤回収部５ｔでも、上記の実施形態と同様の一連の処理（ステップＳ１～ステップＳ４）（図５）が行われる。
【0117】
すなわち、上記の実施形態と同様、有機溶剤回収部５ｔでも、まずは、カップ４２に集められた液体が、一方の回収タンク（例えば第１回収タンク６０Ａ）に送液されて、ここに混合流体が貯留される（ステップＳ１）。続いて、第１回収タンク６０Ａに貯留されている混合流体から水を分離する処理が行われる（ステップＳ２）。ただし、有機溶剤回収部５ｔでは、この処理と並行して、カップ４２に集められた液体が、他方の回収タンク（第２回収タンク６０Ｂ）に送液されて、ここに混合流体が貯留される。つまり、カップ４２に集められた液体は、一方の回収タンク６０Ａに送液された後、該回収タンク６０Ａが空になるのを待たずに（すなわち、該回収タンク６０Ａに貯留されている混合流体から水を分離する処理が終了するのを待たずに）、他方の回収タンク６０Ｂに送液される。
【0118】
また、上記の実施形態と同様、有機溶剤回収部５ｔでも、混合流体から水を分離することによって得られた濃縮流体は、第１回収タンク６０Ａあるいは第２回収タンク６０Ｂから、第１浄化タンク７０Ａあるいは第２浄化タンク７０Ｂに送液されて、ここに貯留される。第１浄化タンク７０Ａおよび第２浄化タンク７０Ｂの各々では、ここに濃縮流体が貯留されると、該濃縮流体の清浄度を高める処理が行われ（ステップＳ３）、得られた浄化流体が供給タンク８０に送液される（ステップＳ４）。ここでは、複数の浄化タンク７０Ａ，７０Ｂが設けられているので、一方の浄化タンク７０Ａにおいて濃縮流体の清浄度を高める処理が行われている間でも、他方の浄化タンク７０Ｂに濃縮流体を送液することができる。
【0119】
このように、有機溶剤回収部５ｔは、複数の回収タンク６０Ａ，６０Ｂを備えるので、送液先の回収タンク６０Ａ，６０Ｂを切り替えることで、カップ４２に集められた液体（すなわち、基板Ｗに供給された後に回収された水、および、基板Ｗに供給された後に回収された有機溶剤）を途切れなく送液することができる。また、有機溶剤回収部５ｔは、複数の浄化タンク７０Ａ，７０Ｂを備えるので、送液先の浄化タンク７０Ａ，７０Ｂを切り替えることで、混合流体から水を分離することによって得られた濃縮流体を途切れなく送液することができる。これらにより、基板Ｗに供給された有機溶剤を回収してから、これが再び基板Ｗに供給されるまでのサイクルタイムを短縮することができる。その結果、有機溶剤の使用量および排出量を効果的に削減することができる。
【0120】
＜５－２．第２変形例＞
上記の実施形態に係る有機溶剤回収部５において、脱水器６２１は、セル５１２が鉛直方向に延在し、流入口５２１が鉛直下側に（したがって、第１流出口５２２が鉛直上側に）配置されるような、姿勢および向きで配置されてもよい。この場合、脱水用循環配管６２を流れる混合流体が、セル５１２における鉛直下側の開口から流入することになる。
上記の実施形態に係る有機溶剤回収部５において、脱水器６２１は、セル５１２が鉛直方向に延在し、流入口５２１が鉛直下側に（したがって、第１流出口５２２が鉛直上側に）配置されるような、姿勢および向きで配置されてもよい。この場合、脱水用循環配管６２を流れる混合流体が、セル５１２における鉛直下側の開口から流入することになる。
【0121】
この変形例によると、脱水用循環配管６２からセル５１２に流入した混合流体が、鉛直方向に延在するセル５１２の内部（セル内空間Ｖ１）を、下から上に流れる。したがって、例えば、セル内空間Ｖ１に流入した混合流体の一部がセル内空間Ｖ１を通過する途中で凝縮して液体（例えば液滴）となったとしても、該混合流体は、重力を受けてセル内空間Ｖ１に十分に留まって、分離膜５１と十分に接触する。したがって、該液体に含まれる水が分離される可能性が高まる。すなわち、分離効率がさらに高まる。また、この変形例によると、水頭圧により、脱水器６２１の二次側における混合流体の圧力が、一次側における混合流体の圧力に比べて小さくなる。すなわち、脱水器６２１を通過した後の混合流体の圧力を低下させることができる。
【0122】
＜５－３．第３変形例＞
第２変形例に係る有機溶剤回収部５のように、脱水器６２１が、セル５１２が鉛直方向に延在するような姿勢で配置される場合、脱水器６２１とヒータ６２４とが鉛直方向に配列されてもよい。具体的には例えば、脱水器６２１が、セル５１２が鉛直方向に延在するような姿勢で配置される場合に、脱水用循環配管６２における流入口５２１との接続部分およびその近傍に、鉛直方向に延在する配管部分（鉛直配管部分）が設けられ、この鉛直配管部分に、ヒータ６２４が設けられてもよい。一例として、ジャケットヒータを用いて形成されるヒータ６２４が、鉛直配管部分の周囲を少なくとも覆うように設けられてもよい。ヒータ６２４が鉛直配管部分に設けられることで、ヒータ６２４で加熱された混合流体が脱水器６２１に流入するまでに発生する熱損失が低減される。ひいては、ヒータ６２４の負荷が低減される。
第２変形例に係る有機溶剤回収部５のように、脱水器６２１が、セル５１２が鉛直方向に延在するような姿勢で配置される場合、脱水器６２１とヒータ６２４とが鉛直方向に配列されてもよい。具体的には例えば、脱水器６２１が、セル５１２が鉛直方向に延在するような姿勢で配置される場合に、脱水用循環配管６２における流入口５２１との接続部分およびその近傍に、鉛直方向に延在する配管部分（鉛直配管部分）が設けられ、この鉛直配管部分に、ヒータ６２４が設けられてもよい。一例として、ジャケットヒータを用いて形成されるヒータ６２４が、鉛直配管部分の周囲を少なくとも覆うように設けられてもよい。ヒータ６２４が鉛直配管部分に設けられることで、ヒータ６２４で加熱された混合流体が脱水器６２１に流入するまでに発生する熱損失が低減される。ひいては、ヒータ６２４の負荷が低減される。
【0123】
＜５－４．その他の変形例＞
上記の実施形態において、ヒータ６２４の負荷を低減するためには、ヒータ６２４で加熱された混合流体が脱水器６２１に流入するまでに発生する熱損失を低減することが有効である。この熱損失を低減するためには、ヒータ６２４と脱水器６２１との離間距離が小さい方が好ましい。例えば、ヒータ６２４が、脱水器６２１との離間距離が設計上許容される最小値となるような位置に設けられることが好ましい。ヒータ６２４と脱水器６２１との離間距離を小さくするためには、ヒータ６２４と脱水器６２１との間に他の機器類が配設されないことも好ましい。
上記の実施形態において、ヒータ６２４の負荷を低減するためには、ヒータ６２４で加熱された混合流体が脱水器６２１に流入するまでに発生する熱損失を低減することが有効である。この熱損失を低減するためには、ヒータ６２４と脱水器６２１との離間距離が小さい方が好ましい。例えば、ヒータ６２４が、脱水器６２１との離間距離が設計上許容される最小値となるような位置に設けられることが好ましい。ヒータ６２４と脱水器６２１との離間距離を小さくするためには、ヒータ６２４と脱水器６２１との間に他の機器類が配設されないことも好ましい。
【0124】
上記の実施形態において、第１配管部分６２ａには、相対的に高い耐圧性および相対的に高い耐熱性が求められる。したがって、装置のコンパクト化のためには、脱水用循環配管６２において第１配管部分６２ａが占める長さの割合が短い方が好ましい。このためには、ヒータ６２４と冷却器６２５との離間距離が小さい方が好ましい。この点に鑑みても、上記のとおり、ヒータ６２４が、脱水器６２１との離間距離が設計上許容される最小値となるような位置に設けられることが好ましい。また、冷却器６２５が、脱水器６２１との離間距離が設計上許容される最小値となるような位置に設けられることも好ましい。冷却器６２５と脱水器６２１との離間距離を小さくするためには、冷却器６２５と脱水器６２１との間に他の機器類が配設されないことも好ましい。
【0125】
上記の実施形態において、脱水用循環配管６２に減圧器６２６が設けられることで、減圧器６２６よりも下流側の配管部分およびここに設けられる機器類にかかる圧力が、減圧器６２６よりも上流側の配管部分およびここに設けられる機器類にかかる圧力よりも、小さく抑えられる。したがって、配管などにかかる負荷を効果的に軽減するためには、減圧器６２６は、できるだけ上流側に設けられることが好ましく、このためには、減圧器６２６と冷却器６２５との離間距離が小さい方が好ましい。例えば、減圧器６２６は、冷却器６２５との離間距離が設計上許容される最小値となるような位置に設けられることが好ましい。また、減圧器６２６と冷却器６２５との離間距離を小さくするためには、減圧器６２６と冷却器６２５との間に他の機器類が配設されないことも好ましい。なお、第２配管部分６２ｂにおける減圧器６２６よりも下流側の配管部分およびここに設けられる機器類は、第２配管部分６２ｂにおける減圧器６２６よりも上流側の配管部分およびここに設けられる機器類よりも、耐圧性が低いものとされてもよい。
【0126】
上記の実施形態に係る有機溶剤回収部５において、冷却器６２５および減圧器６２６の一方あるいは両方が省略されてもよい。例えば、第２配管部分６２ｂおよびここに設けられる機器類に、蒸気状態の混合流体の圧力に耐える耐圧性、および、加熱温度Ｔ１に耐え得る耐熱性をもたせることができる場合、冷却器６２５および減圧器６２６が省略されてもよい。
【0127】
上記の実施形態に係る有機溶剤回収部５において、回収タンク６０と浄化タンク７０が一つのタンクで共用されてもよい。具体的には例えば、一つのタンク（回収浄化タンク）に、脱水用循環配管６２と浄化用循環配管７２とが接続されてもよい。この場合、回収浄化タンクに貯留された混合流体を、まずは、脱水用循環配管６２に循環させて濃縮流体とし、続いて、得られた濃縮流体を、浄化用循環配管７２に循環させて浄化流体とすればよい。
【0128】
上記の実施形態に係る有機溶剤回収部５において、脱水用循環配管６２にフィルタが設けられてもよい。すなわち、脱水用循環配管６２を循環する混合流体から、水を分離しつつ、除去対象物を除去してもよい。この場合、浄化タンク７０を省略し、回収タンク６０を直接に（浄化タンク７０を介在させずに）、供給タンク８０と接続してもよい。
【0129】
上記の実施形態に係る有機溶剤回収部５において、脱水器６２１の構成は適宜に変更することができる。例えば、脱水器６２１が備える分離膜５１は、ゼオライト膜に限られるものではない。例えば、分離膜５１は、有機分離膜であってもよい。有機分離膜は、例えば、ポリビニルアルコール、キトサン、ポリイミド、などで形成される有機膜である。あるいは、分離膜５１は、ＣＮＴ（カーボンナノチューブ）分離膜であってもよい。ＣＮＴ分離膜は、例えば、ポリアミドなどの膜にカーボンナノチューブを添加して得られる膜である。あるいは、分離膜５１は、二次元材料で形成されたものであってもよい。二次元材料は、原子１層分で構成される材料であり、具体的には例えば、硫化モリブデン（MoS2）、前周期遷移金属（チタン、バナジウム、など）と軽元素（炭素または窒素）とによる複合原子層化合物、などである。あるいは、分離膜５１は、ＭＯＦ（Metal Organic Frameworks）材料で形成されたものであってもよいし、炭素材料（例えば、グラフェン、酸化グラフェン、など）で形成されたものであってもよい。
【0130】
上記の実施形態に係る基板処理装置１００において、有機溶剤回収部５が、有機溶剤の回収および供給を行う処理ユニット４は、必ずしも同じタワーに含まれる各処理ユニット４でなくともよい。すなわち、有機溶剤回収部５は、任意に選択された１以上の処理ユニット４に対して、有機溶剤の回収および供給を行うものであってよい。また、有機溶剤回収部５が有機溶剤を回収する処理ユニット４と有機溶剤を供給する処理ユニット４とが異なってもよい。
【0131】
上記の実施形態に係る基板処理装置１００において、有機溶剤は、ＩＰＡに限られるものではない。例えば、有機溶剤は、ＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）、メタノール、エタノール、アセトン、および、Trans-1,2-ジクロロエチレンのうちの少なくとも１つであってもよい。また、有機溶剤は、単体の成分のみからなる必要はなく、複数の成分が混合した液体であってもよい。
【0132】
上記の実施形態に係る基板処理装置１００において、リンス液は、水を含む各種の液体であってもよい。例えば、リンス液は、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および、希釈濃度（例えば、１０～１００ｐｐｍ程度）の塩酸水のうちのいずれかであってもよい。
【0133】
上記の各実施形態に係る基板処理装置１００において、処理対象とされる基板Ｗは、必ずしも半導体基板でなくともよい。例えば、処理対象とされる基板Ｗは、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、などであってもよい。また、処理対象とされる基板Ｗは、完全な円形状でなくともよく、ノッチ、オリエンテーションフラット、などといった形状部分を有するものであってもよい。
【0134】
以上のように、基板処理装置および基板処理方法は詳細に説明されたが、上記の説明は、全ての局面において例示であり、これらによって、基板処理装置および基板処理方法が限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この開示の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。上記の各実施形態、および、上記の各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り、適宜に、組み合わせたり、省略したりすることができる。
【符号の説明】
【0135】
１００ 基板処理装置
４ 処理ユニット
４３ｃ 有機溶剤ノズル
４３ｂ リンス液ノズル
５ 有機溶剤回収部
６０ 回収タンク
６１ 回収配管
６２ 循環配管（脱水用循環配管）
６２１ 脱水器
５１ 分離膜
６２２ ポンプ（脱水側送液ポンプ）
６２４ ヒータ
６２５ 冷却器
６２６ 減圧器
７０ 浄化タンク
７１ 第１送液配管
７２ 浄化用循環配管
７２１ 浄化側送液ポンプ
７２３ フィルタ
８０ 供給タンク
８１ 第２送液配管
４ 処理ユニット
４３ｃ 有機溶剤ノズル
４３ｂ リンス液ノズル
５ 有機溶剤回収部
６０ 回収タンク
６１ 回収配管
６２ 循環配管（脱水用循環配管）
６２１ 脱水器
５１ 分離膜
６２２ ポンプ（脱水側送液ポンプ）
６２４ ヒータ
６２５ 冷却器
６２６ 減圧器
７０ 浄化タンク
７１ 第１送液配管
７２ 浄化用循環配管
７２１ 浄化側送液ポンプ
７２３ フィルタ
８０ 供給タンク
８１ 第２送液配管
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】