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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025149714
(43)【公開日】2025-10-08
(54)【発明の名称】ソケット
(51)【国際特許分類】
G01R 1/073 20060101AFI20251001BHJP
G01R 31/26 20200101ALI20251001BHJP
G01R 1/067 20060101ALI20251001BHJP
H01R 33/76 20060101ALI20251001BHJP
H01R 13/14 20060101ALI20251001BHJP
H01R 13/24 20060101ALN20251001BHJP
【ＦＩ】
G01R1/073 B
G01R31/26 J
G01R1/067 C
G01R1/067 F
H01R33/76 505A
H01R33/76 505B
H01R13/14
H01R13/24
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024050522
(22)【出願日】2024-03-26
(71)【出願人】
【識別番号】000006758
【氏名又は名称】株式会社ヨコオ
(74)【代理人】
【識別番号】100136375
【弁理士】
【氏名又は名称】村井 弘実
(74)【代理人】
【識別番号】100079290
【弁理士】
【氏名又は名称】村井 隆
(72)【発明者】
【氏名】軣木 岳史
【テーマコード（参考）】
2G003
2G011
5E024
【Ｆターム（参考）】
2G003AG01
2G003AG03
2G011AA09
2G011AA14
2G011AA15
2G011AB01
2G011AB04
2G011AB05
2G011AB07
2G011AB08
2G011AC21
2G011AE22
2G011AF02
5E024CA18
(57)【要約】
【課題】プローブの短尺化が可能なソケットを提供する。
【解決手段】
第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間を貫通する第１貫通孔と、を有するハウジングと、
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
【選択図】図１
【解決手段】
第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間を貫通する第１貫通孔と、を有するハウジングと、
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間を貫通する第１貫通孔と、を有するハウジングと、
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の面垂直方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の面垂直方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
【請求項2】
前記プローブは、前記第１貫通孔内に位置する部分に、前記第２貫通孔の周囲に引っかかり前記第１弾性シートから前記抑制力を受けることが可能な引っ掛かり部を有する、請求項１に記載のソケット。
【請求項3】
前記第１弾性シートは、前記第２貫通孔に連なるスリット部を有し、
前記スリット部は、前記第２貫通孔を広げながら前記プローブを前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に対して挿抜することを可能とする、
請求項１または２に記載のソケット。
前記スリット部は、前記第２貫通孔を広げながら前記プローブを前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に対して挿抜することを可能とする、
請求項１または２に記載のソケット。
【請求項4】
前記第２面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第３貫通孔を有する第２弾性シートを備え、
前記第２弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第３貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
請求項３に記載のソケット。
前記第２弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第３貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
請求項３に記載のソケット。
【請求項5】
前記第１面は、検査対象物側に臨む面である、請求項３に記載のソケット。
【請求項6】
前記プローブは、前記第２貫通孔から前記第１貫通孔とは反対側に突出した部分に、前記第１貫通孔内に位置する部分のうち外径が最大の部分よりも大きい外径の大径部を有する、請求項３に記載のソケット。
【請求項7】
前記プローブは、板ばねであり、
前記第２面は、検査用基板側に臨む面であり、
前記第１弾性シートは、前記第２貫通孔の周囲の部分により、前記引っ掛かり部を前記検査用基板側に向けて押圧し、前記プローブの先端部が検査対象物に接していない検査前状態において、前記プローブの基端部に対して前記検査用基板に対する接触力を付与する、
請求項２に記載のソケット。
前記第２面は、検査用基板側に臨む面であり、
前記第１弾性シートは、前記第２貫通孔の周囲の部分により、前記引っ掛かり部を前記検査用基板側に向けて押圧し、前記プローブの先端部が検査対象物に接していない検査前状態において、前記プローブの基端部に対して前記検査用基板に対する接触力を付与する、
請求項２に記載のソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ソケットに関する。
【背景技術】
【0002】
ハウジングの貫通孔にプローブを支持した構造のソケットが、半導体デバイス等の検査に用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開2008-39496号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の目的の一例は、プローブの短尺化が可能なソケットを提供することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一態様は、
第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間を貫通する第１貫通孔と、を有するハウジングと、
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケットである。
第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間を貫通する第１貫通孔と、を有するハウジングと、
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケットである。
【0006】
本発明の上記態様によれば、プローブの短尺化が可能なソケットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】実施形態１に係るソケット１を検査用基板４０および検査対象物５０と共に示す断面図である。
【図2】比較例に係るソケット８０１を検査用基板４０と共に示す断面図である。
【図3】実施形態２における第１弾性シート１０Ａの平面図である。
【図4】実施形態２に係るソケット１Ａを検査用基板４０と共に示す断面図である。
【図6】実施形態３に係るソケット１Ｂを検査用基板４０と共に示す断面図である。
【図7】実施形態４に係るソケット１Ｃを検査用基板４０と共に示す断面図である。
【図8】実施形態５に係るソケット１Ｄの平面図である。
【図9】ソケット１Ｄを検査用基板４０および検査対象物５０と共に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るソケット１を検査用基板４０および検査対象物５０と共に示す断面図である。
図１は、実施形態１に係るソケット１を検査用基板４０および検査対象物５０と共に示す断面図である。
【0009】
ソケット１は、半導体デバイス等の被測定デバイス５０と図示しない検査装置側の検査用基板４０との間の電気的接続に用いられる。ソケット１は、ハウジング２、第１弾性シート１０、蓋部材２０、およびプローブ３０を備える。
【0010】
ハウジング２は、例えば非弾性で剛性を有する絶縁性硬質樹脂からなる。ハウジング２は、第１面３と、第１面３の反対側の第２面４と、第１面３と第２面４との間を貫通する第１貫通孔５と、を有する。第１面３は、検査対象物５０側に臨む面である。第２面４は、検査用基板４０側に臨む面である。第１面３と第２面４は互いに平行である。以下、第１面３及び第２面４と垂直な方向を「面垂直方向」と表記する。説明の便宜上、面垂直方向と平行な方向を図１に示すように上下方向と定義する。第１貫通孔５は、面垂直方向と平行に延びる。第１貫通孔５は、例えば切削加工で形成された丸穴である。
【0011】
第１弾性シート１０は、例えばポリイミドシートであり、可撓性を有する。第１弾性シート１０は、ハウジング２の第１面３に例えば接着あるいは溶着により設けられる。第１弾性シート１０は、第１貫通孔５と同軸に連通する第２貫通孔１１を有する。第２貫通孔１１の形状は、好ましくはプローブ３０を面垂直方向から見た外形形状を縮小した形状、ここでは円形である。第２貫通孔１１は、第１貫通孔５より小径であり、第１貫通孔５と共に段付き孔を構成する。すなわち、第１弾性シート１０は、第１貫通孔５および第２貫通孔１１の面垂直方向から見て第１貫通孔５の内縁部よりも内側に延在する。第１弾性シート１０は、プローブ３０に対して第１貫通孔５から上方への抜けを抑制する抑制力（以下「第１抑制力」とも表記）を作用させることができる。
【0012】
蓋部材２０は、例えば非弾性で剛性を有する絶縁性硬質樹脂からなる。蓋部材２０は、ハウジング２の第２面４にネジ止めや、爪で係合させるネジレス構造等により固定される。蓋部材２０は、ハウジング２と一体であってハウジング２と単一の部材を構成してもよい。蓋部材２０は、第１貫通孔５と連通する第３貫通孔２１を有する。第３貫通孔２１は、第１貫通孔５より小径であり、第１貫通孔５と共に段付き孔を構成する。蓋部材２０は、プローブ３０に対して第１貫通孔５から下方への抜けを抑制する抑制力（以下「第２抑制力」とも表記）を作用させることができる。
【0013】
プローブ３０は、いわゆるポゴピンであって、検査用基板４０と検査対象物５０との間の電気信号の経路を成す。１つのソケット１に多数のプローブ３０が図１中の左右方向および奥行き方向に配列される。プローブ３０は、ハウジング２の第１貫通孔５、第１弾性シート１０の第２貫通孔１１、および蓋部材２０の第３貫通孔２１に支持される。プローブ３０は、第１プランジャ３１、第２プランジャ３２、およびチューブ３３を有する。
【0014】
第１プランジャ３１および第２プランジャ３２の基端部はそれぞれチューブ３３内に位置する。チューブ内に設けられた図示しないスプリングが、第１プランジャ３１および第２プランジャ３２を互いに離間する方向に付勢する。第１プランジャ３１は、先端が開放された状態において、第１弾性シート１０の第２貫通孔１１を貫通して上方に突出する。第１プランジャ３１は、検査時に検査対象物５０のバンプ５１と接触する。第２プランジャ３２は、先端が開放された状態において、蓋部材２０の第２貫通孔２１を貫通して下方に突出する。第２プランジャ３２は、検査時に先端が検査用基板４０の電極部と接触する。
【0015】
チューブ３３は、ハウジング２の第１貫通孔５内に位置する。チューブ３３は、第１プランジャ３１および第２プランジャ３２よりも大径であり、第１弾性シート１０の第２貫通孔１１および蓋部材２０の第３貫通孔２１よりも大径である。チューブ３３の上端部は、第１弾性シート１０の第２貫通孔１１の周囲に引っかかり第１弾性シート１０から第１抑制力を受けることが可能な引っ掛かり部として機能する。図１の例では、チューブ３３の上端部は、第１弾性シート１０によって下方に向けて押さえつけられ、第１抑制力を受けている。第１抑制力は、プローブ３０の先端部が検査対象物５０に接していない検査前状態において、チューブ３３の内部のスプリングを圧縮し、プローブ３０の基端部から検査用基板４０の電極部に加わる荷重（プリロード）を発生させる。チューブ３３の下端部は、蓋部材２０の第３貫通孔２１の周囲に引っかかり蓋部材２０から第２抑制力を受けることが可能な引っ掛かり部として機能する。
【0016】
本実施形態は、下記の作用効果を奏する。
【0017】
(1) ソケット１は、ハウジング２の第１面に設けられ、ハウジング２の第１貫通孔５と連通する第２貫通孔１１を有する第１弾性シート１０を備える。第１弾性シート１０は、プローブ３０に対して第１貫通孔５から上方への抜けを抑制する抑制力（抜け止め力）を作用させることができる。このため、第２貫通孔１１に相当する構成を第１弾性シート１０ではなくハウジング２の一部や硬質樹脂性の蓋体に設けて同様の抑制力を作用させる構成と比較して、抑制力発揮のための構成部分を薄型化できる。すなわち、第２貫通孔１１に相当する構成を硬質樹脂部分に設ける場合、強度確保や製法上の制約のため、第１弾性シート１０のように薄くすることができない。ソケット１は、第１弾性シート１０によりプローブ３０の抜けを抑制することで、抜け抑制のための構成を薄型化し、プローブ３０の短尺化（例えば０．５ｍｍ程度の短尺化）、ひいてはソケット１の低背化を可能とするものである。
【0018】
(2) 第１弾性シート１０は、上方に撓むことができる。このため、プローブ３０の先端部が検査対象物５０に接していない検査前状態において、第１弾性シート１０が撓んだ分だけプローブ３０の圧縮量（チューブ３３内のスプリングの圧縮量）が減り、プリロードが抑制される。過大なプリロードは検査用基板４０の電極部の摩耗を早めるため、プリロードを抑制することで検査用基板４０の電極部の摩耗が抑制される。また、第１弾性シート１０は硬質樹脂と比較して薄くても破損しにくいため、プリロードを第１弾性シート１０で受けることで、プリロードを硬質樹脂部分で受ける場合と比較して、強度不足となるリスクが抑制される。よって、低背かつ多ピンのソケットにおいてもプリロードをかけることができる。
【0019】
（比較例）
図２は、比較例に係るソケット８０１を検査用基板４０と共に示す断面図である。ソケット８０１は、実施形態１のソケット１と比較して、第１弾性シート１０が無くなった点、ハウジング２がハウジング８０２に替わった点、およびプローブ３０がプローブ８３０に替わった点で相違し、その他の点で一致する。ハウジング８０２は、チューブ３３を収容する第１貫通孔８０５と、第１プランジャ８３１が貫通する第２貫通孔８１１と、を有する。第２貫通孔８１１は、実施形態１において第１弾性シート１０に形成された第２貫通孔１１と異なり、硬質樹脂部分に形成されるため、第２貫通孔１１と比較して上下方向の長さが長くなっている。これに伴い、プローブ８３０の第１プランジャ８３１は、実施形態１のプローブ３０の第１プランジャ３１と比較して長くなっている。このように比較例の構成では、抜け抑制のための構成（硬質樹脂部分に設けた第２貫通孔８１１）にハウジング８０２の強度確保の長さが必要なため、プローブ８３０の短尺化が難しい。上記実施形態１は、第１弾性シート１０によりプローブ３０の抜けを抑制することで、比較例のこうした課題を好適に解決するものである。
図２は、比較例に係るソケット８０１を検査用基板４０と共に示す断面図である。ソケット８０１は、実施形態１のソケット１と比較して、第１弾性シート１０が無くなった点、ハウジング２がハウジング８０２に替わった点、およびプローブ３０がプローブ８３０に替わった点で相違し、その他の点で一致する。ハウジング８０２は、チューブ３３を収容する第１貫通孔８０５と、第１プランジャ８３１が貫通する第２貫通孔８１１と、を有する。第２貫通孔８１１は、実施形態１において第１弾性シート１０に形成された第２貫通孔１１と異なり、硬質樹脂部分に形成されるため、第２貫通孔１１と比較して上下方向の長さが長くなっている。これに伴い、プローブ８３０の第１プランジャ８３１は、実施形態１のプローブ３０の第１プランジャ３１と比較して長くなっている。このように比較例の構成では、抜け抑制のための構成（硬質樹脂部分に設けた第２貫通孔８１１）にハウジング８０２の強度確保の長さが必要なため、プローブ８３０の短尺化が難しい。上記実施形態１は、第１弾性シート１０によりプローブ３０の抜けを抑制することで、比較例のこうした課題を好適に解決するものである。
【0020】
（実施形態２）
図３は、実施形態２における第１弾性シート１０Ａの平面図である。図４は、実施形態２に係るソケット１Ａを検査用基板４０と共に示す断面図である。図５(Ａ)は、ソケット１Ａにおいてプローブ３０を挿抜する過程を示す断面図である。以下、実施形態１との相違部分を中心に説明する。
図３は、実施形態２における第１弾性シート１０Ａの平面図である。図４は、実施形態２に係るソケット１Ａを検査用基板４０と共に示す断面図である。図５(Ａ)は、ソケット１Ａにおいてプローブ３０を挿抜する過程を示す断面図である。以下、実施形態１との相違部分を中心に説明する。
【0021】
ソケット１Ａは、実施形態１のソケット１の第１弾性シート１０を第１弾性シート１０Ａに置換したものである。第１弾性シート１０Ａは、第１弾性シート１０と比較して、第２貫通孔１１に連なるスリット部１２を有する点で相違し、その他の点で一致する。
【0022】
スリット部１２は、面垂直方向から見て、第２貫通孔１１から放射方向に延び、チューブ３３の外縁部まで、あるいは外縁部の外側まで延在する。スリット部１２は、図３の例では第２貫通孔１１の中心周りに９０度間隔で４個設けられる。スリット部１２の配置間隔や個数は任意に変更できる。ソケット１Ａでは、第１弾性シート１０Ａがスリット部１２を有することで、第２貫通孔１１の周囲を変形させながら図５(Ａ)に示すようにプローブ３０をハウジング２の第１貫通孔５に対して第１面３側（検査対象物側）から挿抜することが可能となっている。このため、プローブ３０の交換の際にソケット１Ａを検査用基板４０から取り外す必要がなく、また蓋部材２０をハウジング２から取り外す必要もなく、作業性が良い。さらに、スリット部１２により第１弾性シート１０Ａは第２貫通孔１１の周囲が上方に撓みやすくなり、実施形態１と比較してプリロードが一層抑制される。
【0023】
（比較例）
図５(Ｂ)は、図２に示す比較例に係るソケット８０１においてプローブ８３０を挿抜する過程を示す断面図である。図２に示すソケット８０１の場合、プローブ８３０の交換の際には、ソケット８０１を検査用基板４０から取り外し、蓋部材２０をハウジング８０２から取り外す必要がある。蓋部材２０を取り外した状態では、ソケット８０１の扱い方によっては、交換不要なプローブ８３０が抜けてしまう恐れがある。また、プローブ８３０の交換後に蓋部材２０を取り付ける際には、ハウジング８０２に支持した全てのプローブ８３０を蓋部材２０の第３貫通孔２１に入れるようにする必要があり、作業の困難性が高い。上記実施形態２は、第１弾性シート１０Ａの第２貫通孔１１を通してプローブ３０を交換可能とすることで、プローブ３０の交換の際の蓋部材２０の取り外しを不要とし、比較例のこうした課題を好適に解決するものである。
図５(Ｂ)は、図２に示す比較例に係るソケット８０１においてプローブ８３０を挿抜する過程を示す断面図である。図２に示すソケット８０１の場合、プローブ８３０の交換の際には、ソケット８０１を検査用基板４０から取り外し、蓋部材２０をハウジング８０２から取り外す必要がある。蓋部材２０を取り外した状態では、ソケット８０１の扱い方によっては、交換不要なプローブ８３０が抜けてしまう恐れがある。また、プローブ８３０の交換後に蓋部材２０を取り付ける際には、ハウジング８０２に支持した全てのプローブ８３０を蓋部材２０の第３貫通孔２１に入れるようにする必要があり、作業の困難性が高い。上記実施形態２は、第１弾性シート１０Ａの第２貫通孔１１を通してプローブ３０を交換可能とすることで、プローブ３０の交換の際の蓋部材２０の取り外しを不要とし、比較例のこうした課題を好適に解決するものである。
【0024】
（実施形態３）
図６は、実施形態３に係るソケット１Ｂを検査用基板４０と共に示す断面図である。ソケット１Ｂは、実施形態２のソケット１Ａと比較して、蓋部材２０が第２弾性シート６０に替わった点、およびプローブ３０がプローブ３０Ａに替わった点で相違し、その他の点で一致する。
図６は、実施形態３に係るソケット１Ｂを検査用基板４０と共に示す断面図である。ソケット１Ｂは、実施形態２のソケット１Ａと比較して、蓋部材２０が第２弾性シート６０に替わった点、およびプローブ３０がプローブ３０Ａに替わった点で相違し、その他の点で一致する。
【0025】
第２弾性シート６０は、好ましくは第１弾性シート１０と同様の材質からなり、蓋部材２０よりも薄い。第２弾性シート６０は、ハウジング２の第２面４に例えば接着あるいは溶着により設けられる。第２弾性シート６０は、第１貫通孔５と同軸に連通する第３貫通孔６１を有する。第３貫通孔６１の形状は、好ましくはプローブ３０を面垂直方向から見た外形形状を縮小した形状、ここでは円形である。第３貫通孔６１は、第１貫通孔５より小径であり、第１貫通孔５と共に段付き孔を構成する。すなわち、第２弾性シート６０は、第１貫通孔５および第３貫通孔６１の面垂直方向から見て第１貫通孔５の内縁部よりも内側に延在する。第２弾性シート６０は、プローブ３０に対して第１貫通孔５からの抜け（図６中の下方への抜け）を抑制する抑制力を作用させることができる。
【0026】
第２弾性シート６０が蓋部材２０よりも薄い分、プローブ３０Ａの第２プランジャ３２Ａは、実施形態２のプローブ３０の第２プランジャ３２と比較して短くなっている。すなわち本実施形態のソケット１Ｂは、実施形態２のプローブ３０よりも短尺化したプローブ３０Ａを用いることが可能となり、一層の低背化が可能となる。
【0027】
（実施形態４）
図７は、実施形態４に係るソケット１Ｃを検査用基板４０と共に示す断面図である。ソケット１Ｃは、実施形態２のソケット１Ａのプローブ３０がプローブ３０Ｂに替わったものである。プローブ３０Ｂは、プローブ３０の第１プランジャ３１が第１プランジャ３１Ｂに替わったものである。第１プランジャ３１Ｂは、検査対象物と接触する先端接触部が大径部３４となっている。大径部３４の外径は、チューブ３３の外径と同じかそれよりも大きい。大径部３４の外径は、ハウジング２の第１貫通孔５の内径よりも大きくてもよい。大径部３４は、図１に示すバンプ５１よりも大きいバンプとの接触用に好適である。プローブ３０Ｂは、実施形態２におけるプローブ３０と同様に、ハウジング２の第１貫通孔５に対して第１面３側（検査対象物側）から挿抜することが可能である。このため、チューブ３３あるいはハウジング２の第１貫通孔５よりも大径の大径部３４を有するプローブ３０Ｂであってもハウジング２に挿入することができる。
図７は、実施形態４に係るソケット１Ｃを検査用基板４０と共に示す断面図である。ソケット１Ｃは、実施形態２のソケット１Ａのプローブ３０がプローブ３０Ｂに替わったものである。プローブ３０Ｂは、プローブ３０の第１プランジャ３１が第１プランジャ３１Ｂに替わったものである。第１プランジャ３１Ｂは、検査対象物と接触する先端接触部が大径部３４となっている。大径部３４の外径は、チューブ３３の外径と同じかそれよりも大きい。大径部３４の外径は、ハウジング２の第１貫通孔５の内径よりも大きくてもよい。大径部３４は、図１に示すバンプ５１よりも大きいバンプとの接触用に好適である。プローブ３０Ｂは、実施形態２におけるプローブ３０と同様に、ハウジング２の第１貫通孔５に対して第１面３側（検査対象物側）から挿抜することが可能である。このため、チューブ３３あるいはハウジング２の第１貫通孔５よりも大径の大径部３４を有するプローブ３０Ｂであってもハウジング２に挿入することができる。
【0028】
（実施形態５）
図８は、実施形態５に係るソケット１Ｄの平面図である。図９は、ソケット１Ｄを検査用基板４０および検査対象物５０と共に示す断面図である。前述の各実施形態ではプローブがいわゆるポゴピンであったのに対し、本実施形態におけるプローブ３０Ｃは板ばねである。ソケット１Ｄは、実施形態２のソケット１Ａのハウジング２、第１弾性シート１０Ａ、蓋部材２０、およびプローブ３０を、それぞれハウジング２Ｃ、第１弾性シート１０Ｂ、蓋部材２０Ｃ、およびプローブ３０Ｃに置換したものである。
図８は、実施形態５に係るソケット１Ｄの平面図である。図９は、ソケット１Ｄを検査用基板４０および検査対象物５０と共に示す断面図である。前述の各実施形態ではプローブがいわゆるポゴピンであったのに対し、本実施形態におけるプローブ３０Ｃは板ばねである。ソケット１Ｄは、実施形態２のソケット１Ａのハウジング２、第１弾性シート１０Ａ、蓋部材２０、およびプローブ３０を、それぞれハウジング２Ｃ、第１弾性シート１０Ｂ、蓋部材２０Ｃ、およびプローブ３０Ｃに置換したものである。
【0029】
ハウジング２Ｃは、ハウジング２の丸穴である第１貫通孔５が、プローブ３０Ｃの形状に対応して角穴である第１貫通孔５Ｃに替わったものである。第１弾性シート１０Ｂは、第１弾性シート１０Ａの丸穴である第２貫通孔１１が、プローブ３０Ｃの形状に対応して角穴である第２貫通孔１３に替わり、かつ、スリット部１２がスリット部１４に替わったものである。スリット部１４は、第２貫通孔１３の４つの角部から、プローブ３０Ｃの凸部３６と同方向にそれぞれ延び、同方向において凸部３６の先端と同じ位置又はそれより遠方まで延びる。蓋部材２０Ｃは、蓋部材２０の丸穴である第３貫通孔２１が、プローブ３０Ｃの形状に対応して角穴である第３貫通孔２１Ｃに替わったものである。
【0030】
プローブ３０Ｃは、相互に対向する一対の弾性片部３５を有する導電性板ばねである。図９に示す左右のプローブ３０Ｃは、互いに同一形状であるが、面垂直方向から見て互いに９０度回転させた姿勢となっている。プローブ３０Ｃは、燐青銅やベリリウム銅などの導電性と弾性を有する１枚の板材をプレス加工により曲げて、一対の弾性片部３５が並行、またはハの字もしくは逆ハの字になるように形成される。一対の弾性片部３５の先端部は、先端に向かって対向間隔が広がる向きに曲がった形状である。一対の弾性片部３５の先端部間にバンプ５１が入り込み、バンプ５１により一対の弾性片部３５の先端部間が押し広げられるようにプローブ３０Ｃが弾性変形することで、一対の弾性片部３５の先端部にバンプ５１との接触力が付与される。
【0031】
各弾性片部３５の長さ方向の中間部には、凸部３６が設けられる。凸部３６は、長方形の弾性片部３５を部分的に幅広にして形成される。
【0032】
凸部３６の上端部は、第１弾性シート１０Ｂの第２貫通孔１３の周囲に引っかかり、第１弾性シート１０Ｂから、プローブ３０Ｃが上方に抜けるのを抑制する第１抑制力を受けることが可能な引っ掛かり部として機能する。図９の例では、第１弾性シート１０Ｂは、凸部３６から上方への力を受け、上方に撓むように弾性変形している。この弾性変形の復元力が凸部３６の上端部に第１抑制力として加えられる。第１抑制力は、プローブ３０Ｃの先端部が検査対象物５０（バンプ５１）に接していない検査前状態において、プローブ３０Ｃの基端部から検査用基板４０の電極部に加わる荷重（プリロード）となる。凸部３６の下端部は、蓋部材２０Ｃの第３貫通孔２１Ｃの周囲に引っかかり、蓋部材２０から、プローブ３０Ｃが下方に抜けるのを抑制する抑制力を受けることが可能な引っ掛かり部として機能する。プローブ３０Ｃは、実施形態２におけるプローブ３０と同様に、ハウジング２Ｃの第１貫通孔５Ｃに対して検査対象物５０側から挿抜することが可能である。
【0033】
本実施形態によれば、プローブ３０Ｃにより上方に撓むように弾性変形された第１弾性シート１０Ｂの復元力によってプローブ３０Ｃを下方に向けて押さえつけることで、板ばねであるプローブ３０Ｃに対して好適にプリロードをかけることができる。これにより、検査用基板４０に対してプローブ３０Ｃが浮いて、隙間に異物が挟まったり、検査時にプローブ３０Ｃから検査用基板４０に衝撃荷重が加わったりするリスクが抑制される。
【0034】
以上、図面を参照して本発明の実施形態及び変形例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【0035】
本明細書によれば、以下の態様のソケットが提供される。
【0036】
（態様１）
第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間を貫通する第１貫通孔と、を有するハウジングと、
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の面垂直方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面との間を貫通する第１貫通孔と、を有するハウジングと、
前記第１面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔を有する第１弾性シートと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に支持されたプローブと、を備え、
前記第１弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の面垂直方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
【0037】
態様１によれば、第１弾性シートによりプローブの抜けを抑制する構成のため、第１弾性シートではなく硬質樹脂部分でプローブの抜けを抑制する構成と比較して、抜け抑制に係る構成部分の薄型化が可能となる。よって、プローブの短尺化が可能となり、ひいてはソケットの低背化が可能となる。
【0038】
（態様２）
前記プローブは、前記第１貫通孔内に位置する部分に、前記第２貫通孔の周囲に引っかかり前記第１弾性シートから前記抑制力を受けることが可能な引っ掛かり部を有する、ソケット。
前記プローブは、前記第１貫通孔内に位置する部分に、前記第２貫通孔の周囲に引っかかり前記第１弾性シートから前記抑制力を受けることが可能な引っ掛かり部を有する、ソケット。
【0039】
態様２によれば、プローブの抜けが効果的に抑制される。
【0040】
（態様３）
前記第１弾性シートは、前記第２貫通孔に連なるスリット部を有し、
前記スリット部は、前記第２貫通孔を広げながら前記プローブを前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に対して挿抜することを可能とする、
ソケット。
前記第１弾性シートは、前記第２貫通孔に連なるスリット部を有し、
前記スリット部は、前記第２貫通孔を広げながら前記プローブを前記第１貫通孔および前記第２貫通孔に対して挿抜することを可能とする、
ソケット。
【0041】
態様３によれば、プローブ交換の手間が削減される。
【0042】
（態様４）
前記第２面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第３貫通孔を有する第２弾性シートを備え、
前記第２弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第３貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
前記第２面に設けられ、前記第１貫通孔と連通する第３貫通孔を有する第２弾性シートを備え、
前記第２弾性シートは、前記第１貫通孔および前記第３貫通孔の延出方向から見て前記第１貫通孔の内縁部よりも内側に延在し、前記プローブに対して前記第１貫通孔からの抜けを抑制する抑制力を作用させる、
ソケット。
【0043】
態様４によれば、第２弾性シートによりプローブの抜けを抑制する構成のため、第２弾性シートではなく硬質樹脂部分でプローブの抜けを抑制する構成と比較して、抜け抑制に係る構成部分の薄型化が可能となる。よって、プローブの短尺化が可能となり、ひいてはソケットの低背化が可能となる。
【0044】
（態様５）
前記第１面は、検査対象物側に臨む面である、ソケット。
前記第１面は、検査対象物側に臨む面である、ソケット。
【0045】
態様５によれば、検査対象物側に臨む方向からプローブの交換が可能となり、プローブ交換の手間が削減される。
【0046】
（態様６）
前記プローブは、前記第２貫通孔から前記第１貫通孔とは反対側に突出した部分に、前記第１貫通孔内に位置する部分のうち外径が最大の部分よりも大きい外径の大径部を有する、ソケット。
前記プローブは、前記第２貫通孔から前記第１貫通孔とは反対側に突出した部分に、前記第１貫通孔内に位置する部分のうち外径が最大の部分よりも大きい外径の大径部を有する、ソケット。
【0047】
態様６によれば、大径部を大きいサイズのバンプとの接触部とすることで、大きいサイズのバンプとの電気的な接続が好適に行える。
【0048】
（態様７）
前記プローブは、板ばねであり、
前記第２面は、検査用基板側に臨む面であり、
前記第１弾性シートは、前記第２貫通孔の周囲の部分により、前記引っ掛かり部を前記検査用基板側に向けて押圧し、前記プローブの先端部が検査対象物に接していない検査前状態において、前記プローブの基端部に対して前記検査用基板に対する接触力を付与する、
ソケット。
前記プローブは、板ばねであり、
前記第２面は、検査用基板側に臨む面であり、
前記第１弾性シートは、前記第２貫通孔の周囲の部分により、前記引っ掛かり部を前記検査用基板側に向けて押圧し、前記プローブの先端部が検査対象物に接していない検査前状態において、前記プローブの基端部に対して前記検査用基板に対する接触力を付与する、
ソケット。
【0049】
態様７によれば、板ばねであるプローブに対して、硬質樹脂部分で抜けを抑制する構成では難しかったいわゆるプリロードを付与することができる。これにより、検査用基板に対してプローブが浮いて、隙間に異物が挟まったり、検査時にプローブから検査用基板に衝撃荷重が加わったりするリスクが抑制される。
【符号の説明】
【0050】
１ ソケット
２ ハウジング
３ 第１面
４ 第２面
５ 第１貫通孔
１０ 第１弾性シート
１１ 第２貫通孔
１２ スリット部
３０ プローブ
３４ 大径部
３５ 弾性片部
３６ 凸部
６０ 第２弾性シート
６１ 第３貫通孔
２ ハウジング
３ 第１面
４ 第２面
５ 第１貫通孔
１０ 第１弾性シート
１１ 第２貫通孔
１２ スリット部
３０ プローブ
３４ 大径部
３５ 弾性片部
３６ 凸部
６０ 第２弾性シート
６１ 第３貫通孔
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】