特開 2025-15232 研磨装置及び研磨方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025015232

(43)【公開日】2025-01-30

(54)【発明の名称】研磨装置及び研磨方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/24 20060101AFI20250123BHJP

   B24B 55/06 20060101ALI20250123BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20250123BHJP

   B24B 7/06 20060101ALI20250123BHJP

   B24B 37/04 20120101ALI20250123BHJP

【ＦＩ】

B24B7/24 A

B24B55/06

B24B41/06 B

B24B7/06

B24B37/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023118507

(22)【出願日】2023-07-20

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002217

【氏名又は名称】弁理士法人矢野内外国特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】蓑輪 元

(72)【発明者】

【氏名】上田 康彦

(72)【発明者】

【氏名】早川 俊文

(72)【発明者】

【氏名】木下 孝治

【テーマコード（参考）】

3C034

3C043

3C047

3C158

【Ｆターム（参考）】

3C034AA07

3C034AA13

3C034BB76

3C034BB85

3C034DD08

3C034DD09

3C043BA02

3C043BA07

3C043BA08

3C043BB05

3C043CC07

3C043CC11

3C043CC13

3C043DD02

3C043DD05

3C043DD12

3C047FF08

3C047FF19

3C047HH15

3C158AA07

3C158AA14

3C158AB01

3C158AB03

3C158AB04

3C158AC04

3C158AC05

3C158CB05

3C158DA17

3C158EA11

3C158EB01

3C158ED11

(57)【要約】

【課題】板状物を搬送しながら研磨する研磨装置、及び当該研磨装置を用いた研磨方法であって、高精度な研磨加工を可能とし、且つランニングコストの低減を図ることができる研磨装置、及び研磨方法を提供する。
【解決手段】板状物Ｇを搬送しながら研磨する研磨装置１であって、板状物Ｇの下面Ｇａ２（一方の主面Ｇａ）を支持した状態で当該板状物Ｇを搬送する搬送ベルト２３と、前記板状物Ｇの搬送方向に延出し、当該搬送ベルト２３を介して前記板状物Ｇの一方の主面Ｇａを支持する板状の支持部材２４と、前記板状物Ｇの上面Ｇａ１（他方の主面Ｇａ）を研磨する研磨部（研磨手段）３とを備え、前記搬送ベルト２３は、前記支持部材２４上を摺動し、前記支持部材２４との摺動側の面において保護膜Ｚを有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状物を搬送しながら研磨する研磨装置であって、
板状物の一方の主面を支持した状態で当該板状物を搬送する搬送ベルトと、
前記板状物の搬送方向に延出し、当該搬送ベルトを介して前記板状物の一方の主面を支持する板状の支持部材と、
前記板状物の他方の主面を研磨する研磨手段とを備え、
前記搬送ベルトは、前記支持部材上を摺動し、前記支持部材との摺動側の面において保護膜を有する、
ことを特徴とする研磨装置。

【請求項2】

前記搬送ベルトは、樹脂製部材からなる、
ことを特徴とする、請求項１に記載の研磨装置。

【請求項3】

前記保護膜は、金属の酸化被膜及び／または金属膜である、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の研磨装置。

【請求項4】

前記支持部材は、金属からなり、
前記保護膜は、当該金属を含む酸化被膜及び／または金属膜である、
ことを特徴とする、請求項３に記載の研磨装置。

【請求項5】

前記搬送ベルトにおける前記支持部材との摺動側の面を、洗浄水によって洗浄する洗浄手段をさらに備え、
前記洗浄水の塩素濃度は、１０ｐｐｍ以上である、
ことを特徴とする、請求項１に記載の研磨装置。

【請求項6】

支持部材によって、搬送ベルトを介して板状物の一方の主面を支持するとともに、
研磨手段によって、当該板状物の他方の主面を研磨する研磨方法であって、
前記支持部材上を摺動し、当該支持部材との摺動側の面に、金属の酸化被膜及び／または金属膜からなる保護膜を有する前記搬送ベルトによって、前記板状物を搬送する、
ことを特徴とする研磨方法。

【請求項7】

支持部材によって、搬送ベルトを介して板状物の一方の主面を支持するとともに、
研磨手段によって、当該板状物の他方の主面を研磨しつつ、
前記搬送ベルトにおける前記支持部材との摺動側の面を、洗浄水によって洗浄する洗浄手段をさらに備える研磨方法であって、
前記洗浄水の塩素濃度が１０ｐｐｍ以上である、
ことを特徴とする研磨方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば薄板ガラス等からなる板状物の研磨装置、及び当該研磨装置を用いた板状物の研磨方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、薄板ガラス等からなる板状物の製造工程において、形成された板状物の平滑性を高めるために当該板状物の主面を研磨（または研削）する研磨装置の一例として、例えば、水平姿勢の状態で複数の板状物を一方向に搬送しながら、各板状物を連続して研磨する研磨装置が知られている（例えば、「特許文献１」を参照）。
上記研磨装置は、主に、水平方向且つ一方向を搬送方向とする無端状のコンベアベルト（搬送ベルト）と、当該搬送方向に延出し、上面において搬送ベルトの上部領域が摺動するベルト受台（支持部材）と、搬送ベルトの直上に配置される研磨工程（研磨手段）とを備えている。
また、研磨手段は、軸心方向を上下方向とするディスク状の回転研磨具（研磨パッド）と、当該研磨パッドに対して所定の研磨剤を供給可能な供給手段とを有し、当該研磨パッドは、軸心を中心にして回転可能、且つ上下移動可能に構成されている。

【0003】

そして、搬送ベルトは、搬送方向に移動する上記の上部領域（以下、適宜「搬送経路」と記載）と、当該搬送方向との逆方向に移動する下部領域（以下、適宜「リターン経路」と記載）とを有しており、複数の板状物は、当該搬送経路上に水平姿勢の状態で載置されて順に搬送されるとともに、研磨手段を通過する際、回転する研磨パッドを上方より押し当てられる。
これにより、複数の板状物は、研磨装置によって、一方向に搬送されながら順に研磨される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平１０－１１８９０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ここで前述したように、従来の研磨装置においては、支持部材の上面を摺動する搬送ベルトの搬送経路（上部領域）によって板状物が搬送されるとともに、当該板状物は、研磨装置を通過する際、研磨パッドを上方より押し当てられる。つまり、搬送ベルトの搬送経路は、板状物を介して研磨パッドによって加圧される。
従って、搬送ベルトの搬送経路と、支持部材との間の摩擦抵抗は増加し、当該搬送ベルトにおいて摩耗が発生し易くなる。
その結果、所望の強度が維持できなくなり、搬送ベルトの交換が必要となる交換周期が早まり、研磨装置のランニングコストが増大する要因となっていた。

【0006】

本発明は、以上に示した現状の問題点に鑑みてなされたものであり、板状物を搬送しながら研磨する研磨装置、及び当該研磨装置を用いた研磨方法であって、ランニングコストの低減を図ることができる研磨装置、及び研磨方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0008】

即ち、本発明の態様１に係る研磨装置は、板状物を搬送しながら研磨する研磨装置であって、板状物の一方の主面を支持した状態で当該板状物を搬送する搬送ベルトと、前記板状物の搬送方向に延出し、当該搬送ベルトを介して前記板状物の一方の主面を支持する板状の支持部材と、前記板状物の他方の主面を研磨する研磨手段とを備え、前記搬送ベルトは、前記支持部材上を摺動し、前記支持部材との摺動側の面において保護膜を有することを特徴とする。
このような構成を有することにより、本発明に係る研磨装置によれば、支持部材上を摺動する搬送ベルトにおいて、摺動側の面に保護膜を設けることにより、当該搬送ベルトの搬送経路と、支持部材との間の摩擦抵抗は軽減し、当該搬送ベルトにおいて摩耗を抑制することができる。
従って、搬送ベルトにおける所望の強度を維持し、当該搬送ベルトの交換周期を延長することができ、研磨装置のランニングコストの低減を図ることができる。

【0009】

また、本発明の態様２に係る研磨装置は、上記態様１において、前記搬送ベルトは、樹脂製部材からなることを特徴とする。
このような構成を有することにより、板状物を傷付けることなく、当該板状物との間で生じる適度な摩擦力により安定して保持しつつ、搬送ベルトによって板状物を搬送することができる。

【0010】

また、本発明の態様３に係る研磨装置は、上記態様１または態様２において、前記保護膜は、金属の酸化被膜及び／または金属膜であることを特徴とする。
このような構成を有することにより、搬送ベルトにおける摺動側の面と、支持部材との間の摩擦抵抗を軽減し、当該搬送ベルトに生じる摩耗をより確実に抑制することができる。

【0011】

また、本発明の態様４に係る研磨装置は、上記態様３において、前記支持部材は、金属からなり、前記保護膜は、当該金属を含む酸化被膜及び／または金属膜であることを特徴とする。
このように、支持部材と同種の金属を含む酸化被膜及び／または金属膜によって保護膜が形成されることにより、搬送ベルトにおける摺動側の面と、支持部材との間の摩擦係数が減少し、当該搬送ベルトに生じる摩耗をより確実に抑制することができる。

【0012】

また、本発明の態様５に係る研磨装置は、上記態様１において、前記搬送ベルトにおける前記支持部材との摺動側の面を、洗浄水によって洗浄する洗浄手段をさらに備え、前記洗浄水の塩素濃度は、１０ｐｐｍ以上であることを特徴とする。
このような塩素濃度を有した洗浄水を用いて洗浄する洗浄手段を設けることにより、支持部材に対して、より確実に金属の酸化被膜を生じさせることができ、当該金属の酸化被膜を搬送ベルトに付着させることにより、搬送ベルトの内周面において、金属の酸化被膜からなる保護膜を、より安価に形成することができる。

【0013】

また、本発明の態様６に係る研磨方法は、支持部材によって、搬送ベルトを介して板状物の一方の主面を支持するとともに、研磨手段によって、当該板状物の他方の主面を研磨する研磨方法であって、前記支持部材上を摺動し、当該支持部材との摺動側の面に、金属の酸化被膜及び／または金属膜からなる保護膜を有する前記搬送ベルトによって、前記板状物を搬送することを特徴とする。
このような構成を有することにより、本発明に係る研磨方法によれば、支持部材上を摺動する搬送ベルトにおいて、摺動側の面に保護膜を設けることにより、当該搬送ベルトに生じる摩耗を抑制することができる。
従って、搬送ベルトの摩耗を抑制することで、当該搬送ベルトの交換周期を延長することができ、研磨装置のランニングコストの低減を図ることができる。

【0014】

また、本発明の態様７に係る研磨方法は、支持部材によって、搬送ベルトを介して板状物の一方の主面を支持するとともに、研磨手段によって、当該板状物の他方の主面を研磨しつつ、前記搬送ベルトにおける前記支持部材との摺動側の面を、洗浄水によって洗浄する洗浄手段をさらに備える研磨方法であって、前記洗浄水の塩素濃度が１０ｐｐｍ以上であることを特徴とする。
このような構成を有することにより、本発明に係る研磨方法によれば、支持部材に対して、洗浄手段より噴射される塩素濃度が１０ｐｐｍ以上の洗浄水を用いて、より確実に金属の酸化被膜を生じさせることができ、当該金属の酸化被膜を搬送ベルトに付着させることにより、搬送ベルトの内周面において、金属の酸化被膜からなる保護膜を、より安価に形成することができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明に係る研磨装置、及び当該研磨装置を用いた研磨方法によれば、ランニングコストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の一実施形態に係る研磨装置の全体的な構成を示した側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

次に、本発明の一実施形態について、図１を用いて説明する。
なお、以下の説明においては便宜上、図１中に示す矢印の方向によって、研磨装置１の前後方向、及び上下方向を規定して記述する。
また、図１中における矢印Ａの方向を、搬送部２の搬送方向と規定して記述する。

【0018】

［研磨装置１の全体構成］
先ず、本発明を具現化する研磨装置１の全体構成について説明する。
本実施形態における研磨装置１は、例えば、耐熱結晶化ガラス等の薄板ガラスからなる板状物Ｇの製造工程に設けられ、形成された板状物Ｇを搬送しつつ、当該板状物Ｇの主面Ｇａ（本実施形態においては、上面Ｇａ１）に対して、酸化セリウム等が含まれた研磨剤を供給しながら研磨パッド３３を押し当てて、板状物Ｇを研磨（または研削）する装置である。

【0019】

なお、板状物Ｇの材質については、本実施形態のように、ガラス板に限定されるものではなく、セラミック板や樹脂板等、何れのものであってもよい。
また、板状物Ｇの形状についても、円板形状や多角形状など特に限定されないが、一般的に板状物Ｇは、矩形板状の部材である。

【0020】

研磨装置１は、主に、板状物Ｇを搬送する搬送部２と、搬送部２によって搬送される板状物Ｇを研磨する研磨部３とを備える。
また、研磨装置１は、後述する搬送ベルト２３の内周部を洗浄する洗浄部４をさらに備える。

【0021】

搬送部２は、水平方向且つ一方向（本実施形態においては、左右方向）を軸心方向とする駆動プーリ２１と、駆動プーリ２１に対して搬送部２の搬送方向（矢印Ａの方向）の上流側（本実施形態においては、後側）において、当該駆動プーリ２１と平行に配置される従動プーリ２２と、これらの駆動プーリ２１及び従動プーリ２２に巻回される無端状の搬送ベルト２３と、搬送ベルト２３の上部領域２３ａを支持する支持部材２４とを備える。

【0022】

そして、駆動プーリ２１には、駆動モータ等からなる第１駆動源（図示せず）が連結されており、当該第１駆動源によって、駆動プーリ２１が軸心を中心にして所定方向Ｘ（本実施形態においては、反時計回り方向）に回転駆動されることにより、搬送ベルト２３は、搬送方向に向かって上部領域２３ａを移動させるように回転される。
また、搬送ベルト２３が回転されるのに伴い、従動プーリ２２は、軸心を中心にして所定方向Ｘ（反時計回り方向）に回転される。

【0023】

搬送ベルト２３は、例えばポリウレタンやポリエステル等からなる樹脂製部材からなることが好ましい。
搬送ベルト２３は、駆動プーリ２１及び従動プーリ２２に巻回された状態において、搬送方向（本実施形態においては、前方向）に移動する上部領域２３ａ（以下、適宜「搬送経路２３ａ１」と記載）と、当該搬送方向との逆方向（本実施形態においては、後方向）に移動する下部領域２３ｂ（以下、適宜「リターン経路２３ｂ１」と記載）とを有する。
また、搬送ベルト２３は、内周面において微細な厚みからなる保護膜Ｚを有する。

【0024】

なお、上記保護膜Ｚの構成の詳細については、後述する。

【0025】

そして、搬送ベルト２３は、搬送経路２３ａ１において、水平姿勢の状態で板状物Ｇを載置し、駆動プーリ２１によって回転されることにより、当該板状物Ｇを搬送方向Ａに向かって搬送する。
つまり、搬送ベルト２３は、板状物Ｇの一方の主面Ｇａ（本実施形態においては、下面Ｇａ２）を支持した状態で、当該板状物Ｇを搬送する。

【0026】

このように、本実施形態においては、板状物Ｇを載置した状態で搬送する搬送ベルト２３が、樹脂製部材によって形成されていることから、板状物Ｇを傷付けることなく、当該板状物Ｇとの間で生じる適度な摩擦力により安定して保持しつつ、搬送ベルト２３によって板状物Ｇを搬送することができる。

【0027】

支持部材２４は、鉄、鋼等からなる板状の金属からなることが好ましく、例えばＳ３５Ｃ等からなる板状の一般構造用圧延鋼材からなることが好ましい。
なお、支持部材２４の材質については、ステンレス等の合金鋼であってもよいが、この場合、当該支持部材２４が酸化しにくいため、保護膜Ｚを形成しにくいことがある。

【0028】

支持部材２４は、駆動プーリ２１と従動プーリ２２との間において、搬送方向に延出するように配置される。
また、支持部材２４は、搬送ベルト２３における搬送経路２３ａ１の下面に対して、上面２４ａが接触した状態で配置される。

【0029】

そして、板状物Ｇが載置された搬送ベルト２３が、駆動プーリ２１によって回転されることにより、当該搬送ベルト２３の搬送経路２３ａ１は、支持部材２４の上面２４ａを摺動する。
換言すると、支持部材２４は、搬送ベルト２３の搬送経路２３ａ１を介して、上記板状物Ｇの一方の主面Ｇａ（下面Ｇａ２）を支持する。

【0030】

研磨部３は、本発明に係る研磨手段の一例であって、上下方向に移動（昇降）可能な本体部３１と、本体部３１の下面より下方に突出する複数（本実施形態においては、４本）の回転シャフト３２・３２・３２・３２と、これら複数の回転シャフト３２・３２・３２・３２の突出端部に各々設けられる研磨パッド３３・３３・３３・３３とを備える。
また、研磨部３は、各研磨パッド３３に対して研磨剤を供給可能な供給手段（図示せず）を備える。

【0031】

本体部３１において、複数の回転シャフト３２・３２・３２・３２は、互いに近接させた状態で、各々平行に配置されている。
また、これら複数の回転シャフト３２・３２・３２・３２には、駆動モータ等からなる第２駆動源（図示せず）が連結されており、当該第２駆動源によって、各回転シャフト３２は、軸心を中心にして回転駆動可能に設けられている。
さらに、各研磨パッド３３は、回転シャフト３２と同軸上、且つ着脱可能に固定されている。

【0032】

そして、研磨部３は、搬送部２（より具体的には、搬送ベルト２３）の直上に配置されており、搬送ベルト２３によって搬送される板状物Ｇが、当該研磨部３の直下を通過する際、回転シャフト３２・３２・３２・３２を介して複数の研磨パッド３３・３３・３３・３３を各々回転駆動させた状態で、上記供給手段によって研磨剤を供給しつつ、当該複数の研磨パッド３３・３３・３３・３３を板状物Ｇに押し当てる。
これにより、板状物Ｇは、搬送部２によって搬送されつつ、研磨部３によって他方の主面Ｇａ（上面Ｇａ１）が研磨される。

【0033】

洗浄部４は、本発明に係る洗浄手段の一例であって、洗浄水Ｌを噴射するノズル４１と、配管部材やポンプ等を介してノズル４１と連結される洗浄タンク（図示せず）とを有する。

【0034】

ノズル４１は、搬送ベルト２３の内周側、且つ従動プーリ２２の近傍において、リターン経路２３ｂ１における、従動プーリ２２に進入する直前の領域（以下、適宜「進入領域Ｙ」と記載）にノズル口４１ａを向けた状態で配置されている。

【0035】

そして、ノズル４１より噴射される洗浄水Ｌによって、搬送ベルト２３の内周部は、搬送経路２３ａ１の搬送方向上流側（本実施形態においては、後側）に対して、より近傍に位置するリターン経路２３ｂ１の進入領域Ｙにて洗浄され、当該搬送経路２３ａ１における支持部材２４との摺動側の面（即ち、搬送経路２３ａ１の下面）に付着する研磨剤や研磨屑等を優先的に除去する構成となっている。

【0036】

ここで、上述したように、本実施形態においては、搬送ベルト２３によって搬送される板状物Ｇに対して、上方より研磨パッド３３を押し当てることにより、当該板状物Ｇを研磨する構成となっていることから、搬送ベルト２３の搬送経路２３ａ１は、板状物Ｇを介して研磨パッド３３によって下向きに加圧されることとなる。

【0037】

よって、研磨パッド３３に供給される研磨剤や、研磨後の研磨屑などが、搬送経路２３ａ１と支持部材２４との間に侵入した場合、搬送ベルト２３の内周面や支持部材２４の上面２４ａに、摩耗、特に、偏摩耗が発生し易くなる。
従って、搬送ベルト２３の内周面に付着した状態で、搬送経路２３ａ１に進入する研磨剤や研磨屑等を除去することは、搬送ベルト２３や支持部材２４の摩耗や偏摩耗を抑制するうえで重要である。

【0038】

このようなことから、本実施形態においては、上述したように、搬送ベルト２３（より具体的には、搬送経路２３ａ１）における支持部材２４との摺動側の面（搬送経路２３ａ１の下面）を、洗浄水Ｌによって洗浄する洗浄部４をさらに備える構成となっている。
このような構成を有することにより、搬送方向に移動する搬送経路２３ａ１と、支持部材２４の上面２４ａとの間において、研磨剤や研磨屑等が侵入するのを防止し、搬送ベルト２３や支持部材２４に発生する摩耗や偏摩耗を抑制することができる。

【0039】

ところで、上述したように、支持部材２４は金属からなり、また、支持部材２４の上面２４ａを摺動する搬送ベルト２３は樹脂製部材からなるため、研磨パッド３３によって下向きに加圧される、搬送ベルト２３の搬送経路２３ａ１においては、支持部材２４に比べて、摩耗や偏摩耗の発生がより促進されることとなる。

【0040】

一方、ノズル４１から噴射される洗浄水Ｌの一部は、搬送ベルト２３より滴下することなく当該搬送ベルト２３の内周面に液滴となって付着して、搬送経路２３ａ１へと送られる。
その結果、搬送ベルト２３の内周面に付着した洗浄水Ｌは、支持部材２４の上面２４ａに供給され、当該上面２４ａに錆等からなる金属の酸化被膜を生じさせる。

【0041】

このようなことから、本実施形態においては、研磨パッド３３によって下向きに加圧された状態において、支持部材２４の上面２４ａに対して搬送ベルト２３（より具体的には搬送経路２３ａ１）を摺動させることにより、当該上面２４ａに生じた金属の酸化被膜を、搬送ベルト２３の内周面に擦り付けて付着させ、微細な厚みからなる保護膜Ｚを形成することとしている。

【0042】

なお、保護膜Ｚは、支持部材２４の上面２４ａに、搬送ベルト２３の内周面が擦り付けられることによって形成された金属膜であってもよく、搬送ベルト２３の内周面に形成された当該金属膜が、上記液滴と反応して形成される酸化被膜であってもよい。
また、保護膜Ｚは、上記金属の酸化被膜、及び金属膜の何れか一方のみによって形成されていてもよく、両方によって形成されていてもよい。

【0043】

このように、本実施形態における搬送ベルト２３においては、支持部材２４との摺動側の面である内周部の全領域に亘って、保護膜Ｚを形成することとしており、当該保護膜Ｚは、支持部材２４の上面２４ａに生じた錆等からなる金属の酸化被膜、搬送ベルト２３の内周面が、支持部材２４の上面２４ａに擦り付けられることで形成される金属膜、及び／または搬送ベルト２３の内周面に形成された当該金属膜が、上記液滴と反応して形成される金属の酸化被膜等を主成分として構成されている。
なお、当該保護膜Ｚは、例えば、スパッタリング等の成膜装置により形成される金属膜を含んでいてもよい。

【0044】

このような構成を有することにより、樹脂製部材からなる搬送ベルト２３において、保護膜Ｚを形成することなく樹脂製部材を露出させた状態に比べて、支持部材２４との摺動側の面である内周面の硬度を、保護膜Ｚによって向上させることができ、金属からなる支持部材２４に対して、当該搬送ベルト２３に生じる摩耗をより確実に抑制することができる。

【0045】

また、上述したように、支持部材２４は、鉄や鋼等、より具体的には、例えばＳ３５Ｃ等からなる一般構造用圧延鋼材からなり、保護膜Ｚは、当該金属を含む酸化被膜、及び／または金属膜として形成されている。
また、保護膜Ｚの組成は、ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザー）で測定することができる。

【0046】

ここで、上記酸化被膜は、例えば、金属の酸化物、水酸化物、オキシ水酸化物等を含む。

【0047】

このように、支持部材２４と同種の金属を含む酸化被膜、及び／または金属膜によって保護膜Ｚが形成されることにより、搬送ベルト２３における摺動側の面（内周面）と、支持部材２４との間の摩擦係数が減少し、当該搬送ベルト２３に生じる摩耗をより確実に抑制することができる。

【0048】

なお、保護膜Ｚの厚みは、０．１μｍ～６００μｍであることが好ましく、１μｍ～４００μｍであることがより好ましく、３０～２００μｍであることがさらに好ましい。
このような構成を有することにより、当該搬送ベルト２３に生じる摩耗をより確実に抑制することができる。

【0049】

さらに、本実施形態においては、搬送ベルト２３の内周面を洗浄する洗浄水Ｌによって、支持部材２４の上面２４ａに金属の酸化被膜を生じさせることで、当該酸化被膜を搬送ベルト２３の内周面に擦り付けて付着させたり、搬送ベルト２３の内周面に擦り付けられた、支持部材２４の上面２４ａ由来の金属膜を金属の酸化物に変化させことができるため、金属の酸化被膜からなる保護膜Ｚを、より安価に形成することができる。

【0050】

保護膜Ｚを形成する上で、搬送ベルト２３の内周面に酸化被膜を形成し易くするために、本実施形態においては、洗浄水Ｌの塩素濃度が１０ｐｐｍ以上に設定されている。
なお、洗浄水Ｌの塩素濃度は、２０ｐｐｍ以上であることがより好ましい。

【0051】

このような塩素濃度を有した洗浄水Ｌであれば、支持部材２４及び搬送ベルト２３の内周面において、より短期間、且つ確実に、金属の酸化被膜を生じさせることができ、搬送ベルト２３の内周面において、当該金属の酸化被膜からなる保護膜Ｚをより安価に形成することができる。
なお、塩素濃度が１０ｐｐｍ未満である場合、保護膜Ｚが形成されにくくなる。

【0052】

洗浄水Ｌの塩素濃度は、５００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１００ｐｐｍ以下であることがより好ましい。
洗浄水Ｌの塩素濃度が高すぎると、支持部材２４において、錆が過剰に進行してしまう。その結果、例えば、却って搬送ベルト２３の内周面の偏摩耗を誘発し、当該板状物の品質低下を引き起こすやすくなる。

【0053】

また、本実施形態においては、洗浄水Ｌの電導度が１００ｍＳ／ｍ以下に設定されており、５０ｍＳ／ｍ以下がより好ましい。
ここで、上記電導度は、洗浄水Ｌに混入された不純物の量を示す指標の一例であって、電導度の数値が小さいほど、不純物の量が少ないことを意味する。

【0054】

このような電導度に設定された洗浄水Ｌであれば、当該洗浄水Ｌに混入された不純物の量は十分少ないと判断することができ、搬送ベルト２３と支持部材２４との間に洗浄水Ｌが到達し、当該洗浄水Ｌ中に混入された不純物によって、搬送ベルト２３及び支持部材２４に摩耗や偏摩耗が発生するのを、効果的に抑制することができる。

【0055】

なお、洗浄水Ｌの電導度については、５０ｍＳ／ｍ以下であることがより好ましい。
また、絶縁性を有した不純物の量については、電導度のみによって把握することが困難であるが、このような絶縁性を有した不純物においても、搬送ベルト２３及び支持部材２４に摩耗や偏摩耗が発生するのを抑制する観点から、出来る限り洗浄水Ｌに混入されていないことが好ましい。

【0056】

［研磨装置１の作動手順］
次に、研磨装置１の作動手順について説明する。

【0057】

先ず始めに、搬送部２において、搬送ベルト２３は、所定方向（搬送経路２３ａ１が搬送方向（矢印Ａの方向）に向かって移動する方向）に向かって回転された状態となっている。
また、研磨部３において、各回転シャフト３２に固定された研磨パッド３３は、回転動作を停止させた状態で、所定の上限位置にて待機した状態となっている。
さらに、洗浄部４において、ノズル４１は、搬送ベルト２３（より具体的には、リターン経路２３ｂ１の進入領域Ｙ）の内周面に向かって、洗浄水Ｌを噴射させた状態となっている。

【0058】

そして、研磨装置１の搬送方向の上流側（本実施形態においては、後側）には、ローラコンベア等からなる上流側コンベア１０１が配置されており、当該上流側コンベア１０１によって搬送される板状物Ｇが所定位置に到達すると、研磨装置１は、研磨作業を開始する。
なお、上記所定位置については、例えば平面視において、板状物Ｇにおける搬送方向の下流側の端部（本実施形態においては、前端部）が、研磨部３に対して、当該搬送方向の上流側に僅かに離間する位置に設定されている。

【0059】

研磨作業が開始されると、研磨部３は、各回転シャフト３２を回転駆動させて研磨パッド３３を回転させるとともに、前述した供給手段（図示せず）よって各研磨パッド３３に研磨剤を供給する。
その後、研磨部３は、本体部３１を下降させ、複数（本実施形態においては、３個）の研磨パッド３３・３３・３３を、所定の下限位置まで同時に変移させる。

【0060】

一方、上流側コンベア１０１によって搬送される板状物Ｇは、搬送ベルト２３の搬送経路２３ａ１に乗り移り、その後、当該搬送経路２３ａ１によって、所定の搬送方向（矢印Ａの方向）に向かって搬送される。

【0061】

その後、板状物Ｇは、研磨部３を通過する。
この際、板状物Ｇは、搬送方向の上流側に位置する研磨パッド３３から順に、複数の研磨パッド３３・３３・３３によって上面Ｇａ１を加圧され、当該上面Ｇａ１を研磨される。

【0062】

そして、平面視において、板状物Ｇにおける搬送方向の上流側の端部（本実施形態においては、後端部）が研磨部３を通過すると、当該研磨部３は、複数の研磨パッド３３・３３・３３の回転動作を各々停止し、本体部３１を上昇させて、これら複数の研磨パッド３３・３３・３３を、所定の上限位置まで同時に変移させる。
また、研磨部３は、上記供給手段による研磨剤の供給を停止する。
これにより、研磨装置１による研磨作業は終了するとともに、研磨部３を通過した板状物Ｇは、研磨装置１の搬送方向の下流側（本実施形態においては、前側）に配置される下流側コンベア１０２に乗り移り、次工程へと搬送される。

【0063】

そして、後続して搬送される新たな板状物Ｇが、上記所定位置に到達することにより、上述した作動手順が再び繰り返されることとなる。

【実施例0064】

次に、洗浄水Ｌの実施例について説明する。

【0065】

先ず、実施例のサンプルとして、以下の表１に示すように、塩素濃度（Ｃｌ）が１１．０ｐｐｍであり、且つ電導度（ＥＣ）が１２ｍＳ／ｍである、所定の成分からなる洗浄液を用意した。

【0066】

【表1】

【0067】

また、比較例のサンプルとして、以下の表２に示すように、塩素濃度（Ｃｌ）が６．１ｐｐｍであり、且つ電導度（ＥＣ）が６ｍＳ／ｍである、所定の成分からなる一般的な水道水を用意した。

【0068】

【表2】

【0069】

そして、これらの洗浄水及び水道水を各々用いて、前述した研磨装置１を２週間稼働させ、その後、搬送ベルト２３の内周面に形成された保護膜Ｚの形成状態を、目視によって確認した。

【0070】

上記洗浄液を用いた場合、搬送ベルト２３の内周面には、略全領域に亘って保護膜Ｚが形成されていることを確認することができ、搬送ベルト２３の内周面の摩耗がほとんど見られなかった。
一方、上記水道水を用いた場合、搬送ベルト２３の内周面には、殆どの領域において保護膜Ｚが形成されていないことを確認することができ、保護膜Ｚが形成されていない部分では、搬送ベルト２３が顕著に摩耗していた。

【0071】

以上のように、本実施形態における研磨装置１は、板状物Ｇを搬送しながら研磨する研磨装置であって、板状物Ｇの一方の主面Ｇａ（より具体的には、下面Ｇａ２）を支持した状態で当該板状物Ｇを搬送する搬送ベルト２３と、板状物Ｇの搬送方向（矢印Ａの方向）に延出し、当該搬送ベルト２３を介して板状物Ｇの下面Ｇａ２を支持する板状の支持部材２４と、板状物Ｇの他方の主面Ｇａ（より具体的には、上面Ｇａ１）を研磨する研磨部（研磨手段）３とを備え、搬送ベルト２３は、支持部材２４上を摺動し、支持部材２４との摺動側の面である内周面において保護膜Ｚを有することを特徴とする。

【0072】

また、本実施形態における研磨方法は、支持部材２４によって、搬送ベルト２３を介して板状物Ｇの一方の主面Ｇａ（下面Ｇａ２）を支持するとともに、研磨部（研磨手段）３によって、当該板状物Ｇの他方の主面Ｇａ（より具体的には、上面Ｇａ１）を研磨する研磨方法であって、支持部材２４上を摺動し、当該支持部材２４との摺動側の面である内周面に、金属の酸化被膜及び／または金属膜からなる保護膜Ｚを有する上記搬送ベルト２３によって、板状物Ｇを搬送することを特徴とする。

【0073】

このような構成を有することにより、本実施形態における研磨装置１及び研磨方法によれば、支持部材２４の上面２４ａを摺動する搬送ベルト２３において、摺動側の面である内周面に保護膜Ｚを設けることにより、当該搬送ベルト２３に生じる摩耗を抑制することができる。
従って、搬送ベルト２３の摩耗を抑制することで、搬送ベルト２３における所望の強度を維持し、当該搬送ベルト２３の交換周期を延長することができ、研磨装置１のランニングコストの低減を図ることができる。

【0074】

さらに、本実施形態における研磨方法は、支持部材２４によって、搬送ベルト２３を介して板状物Ｇの一方の主面Ｇａ（下面Ｇａ２）を支持するとともに、研磨部（研磨手段）３によって、当該板状物Ｇの他方の主面Ｇａ（より具体的には、上面Ｇａ１）を研磨しつつ、支持部材２４上を摺動する搬送ベルト２３における当該支持部材２４との摺動側の面を、洗浄水Ｌによって洗浄する洗浄部（洗浄手段）４をさらに備える研磨方法であって、当該洗浄水Ｌの塩素濃度が１０ｐｐｍ以上であることを特徴とする。

【0075】

このような構成を有することにより、本実施形態における研磨方法によれば、支持部材２４に対して、洗浄部（洗浄手段）４より噴射される塩素濃度が１０ｐｐｍ以上の洗浄水Ｌを用いて、より確実に金属の酸化被膜を生じさせることができ、当該金属の酸化被膜を搬送ベルト２３に付着させることにより、搬送ベルト２４の内周面において、金属の酸化被膜からなる保護膜Ｚを、より安価に形成することができる。

【0076】

以上、本発明を具現化する一実施形態について説明を行ったが、本発明はこうした実施の形態に何等限定されるものではなく、あくまで例示であって、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、及び範囲内の全ての変更を含む。

【符号の説明】

【0077】

１ 研磨装置
２３ 搬送ベルト
２４ 支持部材
３ 研磨部（研磨手段）
４ 洗浄部（洗浄手段）
Ｇ 板状物
Ｇａ 主面
Ｇａ１ 上面（他方の主面）
Ｇａ２ 下面（一方の主面）
Ｌ 洗浄水
Ｚ 保護膜

【図1】