特開 2025-15460 ガスモニタリングデバイス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025015460

(43)【公開日】2025-01-30

(54)【発明の名称】ガスモニタリングデバイス

(51)【国際特許分類】

   G01N 1/00 20060101AFI20250123BHJP

【ＦＩ】

G01N1/00 101S

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024111728

(22)【出願日】2024-07-11

(31)【優先権主張番号】112127205

(32)【優先日】2023-07-20

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】524263949

【氏名又は名称】沃亞科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100201329

【弁理士】

【氏名又は名称】山口 真二郎

(74)【代理人】

【識別番号】100167601

【弁理士】

【氏名又は名称】大島 信之

(74)【代理人】

【識別番号】100220917

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 忠大

(72)【発明者】

【氏名】郭一男

【テーマコード（参考）】

2G052

【Ｆターム（参考）】

2G052AA03

2G052AC13

2G052AC28

2G052AD02

2G052AD22

2G052AD42

2G052CA02

2G052CA35

2G052FC05

2G052FC11

2G052HC10

2G052HC32

2G052HC42

2G052JA06

2G052JA08

2G052JA11

2G052JA20

(57)【要約】      （修正有）

【課題】サンプリングアセンブリのそれぞれのメンテナンス及び交換を容易にし、複数環境点の検出を可能にする、ガスモニタリングデバイスを提供する。
【解決手段】本発明は、本体と、複数のサンプリングアセンブリと、を含み、該複数のサンプリングアセンブリは、該本体に取り外し可能に取り付けられ、各該サンプリングアセンブリは、複数のサンプリング入口と、電磁弁アセンブリと、サンプリング出口と、を含み、該複数のサンプリング入口は、それぞれ複数の検出対象ガス源への連通に用いられ、該電磁弁アセンブリは、該複数のサンプリング入口と該サンプリング出口とを連通させ、該電磁弁アセンブリは、該複数のサンプリング入口と該サンプリング出口との連通を選択的に制御する、ガスモニタリングデバイスに関する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ガスモニタリングデバイスであって、
本体と、
前記本体に取り外し可能に取り付けられ、それぞれ複数のサンプリング入口と、電磁弁アセンブリと、サンプリング出口と、を含み、前記複数のサンプリング入口は、それぞれ複数の検出対象ガス源への連通に用いられ、前記電磁弁アセンブリは、前記複数のサンプリング入口と前記サンプリング出口とを連通させ、前記電磁弁アセンブリは前記複数のサンプリング入口と前記サンプリング出口との連通を選択的に制御する複数のサンプリングアセンブリと、を含む、
ガスモニタリングデバイス。

【請求項2】

前記複数のサンプリング入口は前記本体に露出し、前記サンプリング出口は前記本体に内蔵される、請求項１に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項3】

各前記サンプリングアセンブリは、除去入口をさらに含み、前記除去入口は、前記電磁弁アセンブリに連通し、前記除去入口は除去ガス源に連通する、請求項１に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項4】

各前記サンプリングアセンブリは、前記本体に取り外し可能且つスライド可能に設けられる、請求項１に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項5】

各前記サンプリングアセンブリは、分流ユニットをさらに含み、前記電磁弁アセンブリは、前記複数のサンプリング入口と前記分流ユニットとの間に設けられ、前記分流ユニットには、複数の分流入口、前記サンプリング出口、及び除去入口が設けられ、前記複数の分流入口は、前記電磁弁アセンブリと前記サンプリング出口、及び前記電磁弁アセンブリと前記除去入口を連通させ、前記除去入口は除去ガス源に連通する、請求項１に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項6】

各前記サンプリングアセンブリは基部をさらに含み、前記電磁弁アセンブリ及び前記分流ユニットは、それぞれ前記基部の第１側面に設けられ、各前記サンプリングアセンブリが展開位置にあり、前記第１側面が前記本体外にある場合、各前記サンプリングアセンブリの前記電磁弁アセンブリ及び前記分流ユニットは露出状態であり、
各前記サンプリングアセンブリが前記展開位置にある場合、各前記サンプリングアセンブリは前記本体外にある、請求項５に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項7】

少なくとも１つのスライドレールアセンブリをさらに含み、前記少なくとも１つのスライドレールアセンブリは、前記本体と少なくとも１つの前記サンプリングアセンブリとの間に設けられ、各前記スライドレールアセンブリは、第１スライドレールと、第２スライドレールと、を含み、前記本体には、前記第１スライドレールが設けられ、少なくとも１つの前記サンプリングアセンブリは、前記第２スライドレールが設けられており、前記第２スライドレールをもって前記第１スライドレールにスライド可能に設けられる、請求項１～６のいずれか一項に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項8】

前記第１スライドレールには、第１制限ユニットが設けられ、前記第２スライドレールには、第２制限ユニットが設けられ、各前記サンプリングアセンブリは、前記本体に対して第１方向に向かって収納位置から前記本体外の展開位置に移動可能であり、
少なくとも１つの前記サンプリングアセンブリが前記展開位置にある場合、前記第２制限ユニットは、前記第１方向に向かって前記第１制限ユニットに当接可能である、請求項７に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項9】

前記第２制限ユニットは、ロック位置とロック解除位置との間で移動可能であり、
これらの第２制限ユニットが前記ロック位置にある場合、前記第２制限ユニットは、前記第１方向に向かって前記第１制限ユニットに当接可能であり、これらの第２制限ユニットが前記ロック解除位置にある場合、前記第２制限ユニットは、前記第１方向に向かって前記第１制限ユニットに当接しない、請求項８に記載のガスモニタリングデバイス。

【請求項10】

各前記サンプリングアセンブリは、前記本体に対して第１方向に移動可能であり、
各前記サンプリングアセンブリは、複数の連通出口をさらに含み、前記複数の連通出口は、前記複数のサンプリング入口と前記電磁弁アセンブリ、及び前記複数の連通出口を連通させ、前記電磁弁アセンブリ及び前記分流ユニットは、それぞれ前記第１方向に間隔を置いて設けられ、
前記複数のサンプリング入口は前記本体に露出し、前記サンプリング出口は前記本体に内蔵され、
各前記サンプリングアセンブリは、前記本体に取り外し可能且つスライド可能に設けられ、
各前記サンプリングアセンブリの前記第１側面が前記本体内にある場合、各前記サンプリングアセンブリの前記電磁弁アセンブリ及び前記分流ユニットは、前記本体内に内蔵され、
前記ガスモニタリングデバイスは、少なくとも１つのスライドレールアセンブリをさらに含み、前記少なくとも１つのスライドレールアセンブリは、前記本体と少なくとも１つの前記サンプリングアセンブリとの間に設けられ、各前記スライドレールアセンブリは、第１スライドレールと、第２スライドレールと、を含み、前記本体には、前記第１スライドレールが設けられ、少なくとも１つの前記サンプリングアセンブリは、前記第２スライドレールが設けられており、前記第２スライドレールをもって前記第１スライドレールにスライド可能に設けられ、
前記第１スライドレールには、第１制限ユニットが設けられ、前記第２スライドレールには、第２制限ユニットが設けられ、各前記サンプリングアセンブリは、前記本体に対して前記第１方向に向かって収納位置から前記本体外の前記展開位置に移動可能であり、
少なくとも１つの前記サンプリングアセンブリが前記展開位置にある場合、前記第２制限ユニットは、前記第１方向に向かって前記第１制限ユニットに当接可能であり、
前記第２制限ユニットは、ロック位置とロック解除位置との間で移動可能であり、
これらの第２制限ユニットが前記ロック位置にある場合、前記第２制限ユニットは、前記第１方向に向かって前記第１制限ユニットに当接可能であり、これらの第２制限ユニットが前記ロック解除位置にある場合、前記第２制限ユニットは、前記第１方向に向かって前記第１制限ユニットに当接せず、
検出ユニットと、処理ユニットと、警報装置と、をさらに含み、前記検出ユニット及び前記処理ユニットは、それぞれ前記本体に設けられ、前記警報装置は、前記本体の外側に設けられ、前記処理ユニットに通信可能に接続され、前記検出ユニットは、各前記検出対象ガス源のガスを検出するために、前記サンプリング出口に連通し、前記処理ユニットは、前記検出ユニットによって検出された数値を前記処理ユニットに送信して演算分析し、異常値が現れると前記警報装置はリマインドのために警報を出し、
各前記サンプリングアセンブリは、前記処理ユニット及び前記検出ユニットに対して前記第１方向に移動可能である、請求項６に記載のガスモニタリングデバイス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガスモニタリングデバイスに関し、特に複数環境検出用のガスモニタリングデバイスの技術的構成の改良に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造プロセスでは、クリーンルーム環境の空気質が半導体の歩留まりに大きな影響を与える。しかし、工場の敷地は非常に広く、複数の機械を使ったり、工場内の各所に機械を移動させたりして検査を行うには、多大な人手と時間がかかる。また、従来の固定型ガスモニタリングデバイスは、検出モジュールが固定されており、検出モジュールが故障して修理が必要になると、デバイス全体で環境ガスの検出を中断しなければならずメンテナンスが完了するまで検出動作を継続することができない。その結果、検出効率が低下する。

【0003】

したがって、上記の問題を解決するには、新規且つ進歩性のあるガスモニタリングデバイスを提供する必要がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の主要な目的は、該サンプリングアセンブリのそれぞれのメンテナンス及び交換を容易にし、複数環境点の検出を可能にする、ガスモニタリングデバイスを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記の目的を達成させるために、本発明は、本体と、前記本体に取り外し可能に取り付けられ、それぞれ複数のサンプリング入口と、電磁弁アセンブリと、サンプリング出口と、を含み、前記複数のサンプリング入口は、それぞれ複数の検出対象ガス源への連通に用いられ、前記電磁弁アセンブリは、前記複数のサンプリング入口と前記サンプリング出口とを連通させ、前記電磁弁アセンブリは前記複数のサンプリング入口と前記サンプリング出口との連通を選択的に制御する複数のサンプリングアセンブリと、を含む、ガスモニタリングデバイス、ガスモニタリングデバイスを提供する。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】本発明の１つの好ましい実施例の斜視図である。

【図2】図１の立体拡大図である。

【図3】本発明の１つの好ましい実施例の第２制限ユニットがロック位置にあるときの概略図である。

【図4】本発明の１つの好ましい実施例の第２制限ユニットがロック解除位置にあるときの概略図である。

【図5】本発明の１つの好ましい実施例のサンプリングアセンブリを本体から取り外したときの概略図である。

【図6】本発明の１つの好ましい実施例の別の斜視図である。

【図7】本発明の１つの好ましい実施例の透視図である。

【図8】本発明の１つの好ましい実施例のサンプリングアセンブリ及びスライドレールアセンブリの分解図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下の実施例は、本発明の可能な実施態様を説明するためにのみ使用され、本発明の保護の範囲を限定することを意図するものではない。本明細書で言及される名詞の前にある「１つ」または「少なくとも１つ」は、数を限定するものではなく、要件に応じて「複数」にすることもできる。この数の変更も保護の範囲内である。

【0008】

図１から図８には、本発明の１つの好ましい実施例が示されている。本発明のガスモニタリングデバイス１は、本体１０と、複数のサンプリングアセンブリ２０と、を含む。

【0009】

該複数のサンプリングアセンブリ２０は、該本体１０に取り外し可能に取り付けられ、各該サンプリングアセンブリ２０は、複数のサンプリング入口２１と、電磁弁アセンブリ２２と、サンプリング出口２３と、を含み、該複数のサンプリング入口２１は、それぞれ複数の検出対象ガス源への連通に用いられる。
本実施例では、これらの検出対象ガス源は、さまざまな作業領域の環境ガスであり、該電磁弁アセンブリ２２は、該複数のサンプリング入口２１と該サンプリング出口２３とを連通させ、該電磁弁アセンブリ２２は、該複数のサンプリング入口２１と該サンプリング出口２３との連通を選択的に制御する。それにより、該複数のサンプリングアセンブリ２０のメンテナンスや交換を個別に行うことが可能になり、デバイス全体のメンテナンス性及び効率が向上し、さらに、多領域の多点環境検出が可能になり、検出効率が高い。さらに、該電磁弁アセンブリ２２は、後続の検出のために、さまざまな作業領域の検出対象ガスを該サンプリング出口２３に効率的に切り替えることができる。

【0010】

各該サンプリングアセンブリ２０は、該本体１０に取り外し可能且つスライド可能に設けられる。具体的には、該ガスモニタリングデバイス１は、少なくとも１つのスライドレールアセンブリ３０をさらに含む。該少なくとも１つのスライドレールアセンブリ３０は、該本体１０と少なくとも１つの該サンプリングアセンブリ２０との間に設けられ、各該スライドレールアセンブリ３０は、第１スライドレール３１と、第２スライドレール３２と、を含む。該本体１０には、該第１スライドレール３１が設けられ、少なくとも１つの該サンプリングアセンブリ２０は、該第２スライドレール３２が設けられており、該第２スライドレール３２をもって該第１スライドレール３１にスライド可能に設けられる。
本実施例では、該本体１０には、複数の該スライドレールアセンブリ３０が設けられ、各該サンプリングアセンブリ２０と該本体１０との間に各該スライドレールアセンブリ３０が設けられる。したがって、該複数のサンプリングアセンブリ２０の取り付けや取り外しを容易にし、時間を短縮させ、該本体１０に対するスライドをスムーズにする。さらに、該第１スライドレールと該第２スライドレールとの間には、相対的且つスムーズにスライドするために、ボール構造が設けられてもよい。

【0011】

該第１スライドレール３１には、第１制限ユニット３３が設けられ、該第２スライドレール３２には、第２制限ユニット３４が設けられ、各該サンプリングアセンブリ２０は、該本体１０に対して第１方向Ｌ１に向かって収納位置から該本体１０外の展開位置（図２参照）に移動可能であり、少なくとも１つの該サンプリングアセンブリ２０が該展開位置にある場合、該第２制限ユニット３４は、該第１方向Ｌ１に向かって該第１制限ユニット３３に当接可能である。
各該サンプリングアセンブリ２０が該収納位置にある場合、各該サンプリングアセンブリ２０は該本体１０内に収納される。具体的には、該第２制限ユニット３４は、ロック位置とロック解除位置との間で移動可能であり、これらの第２制限ユニット３４が該ロック位置にある場合、該第２制限ユニット３４は、該第１方向Ｌ１に向かって該第１制限ユニット３３に当接可能であり、これらの第２制限ユニット３４が該ロック解除位置にある場合、該第２制限ユニット３４は、該第１方向Ｌ１に向かって該第１制限ユニット３３に当接しない。
本実施例では、該第２制限ユニット３４は弾性部材である。このため、各該サンプリングアセンブリ２０は、該本体１０に対して引き出される際には、該第１制限ユニット３３及び該第２制限ユニット３４によって制限されて、その抜けを制限され、また、該複数のサンプリングアセンブリ２０は、該第２制限ユニット３４を該ロック解除位置に調整するときに取り外されてもよい。このように、取り付け、取り外しや抜け止めが効率的に実現される。

【0012】

該複数のサンプリング入口２１は該本体１０に露出し、該サンプリング出口２３は該本体１０に内蔵される。このようにして、該複数の検出対象ガス源への接続が容易になりながら、該サンプリング出口２３が損傷や汚染から保護される。

【0013】

各該サンプリングアセンブリ２０は、除去入口２４をさらに含み、該除去入口２４は該電磁弁アセンブリ２２に連通し、該除去入口２４は除去ガス源（例えば、クリーンな空気や窒素などの不活性ガス）に連通する。具体的には、各該サンプリングアセンブリ２０は、分流ユニット２５をさらに含み、該電磁弁アセンブリ２２は、該複数のサンプリング入口２１と該分流ユニット２５との間に設けられ、該分流ユニット２５には、複数の分流入口２６、該サンプリング出口２３、及び該除去入口２４が設けられ、該複数の分流入口２６は、該電磁弁アセンブリ２２と該サンプリング出口２３、及び該電磁弁アセンブリ２２と該除去入口２４を連通させ、該除去入口２４は該除去ガス源に連通する。それにより、該複数のサンプリングアセンブリ２０を洗浄することで、異なる検出ガスが混合されて検出エラーが生じることが回避され、また、構造が簡単で取り付けが容易である。

【0014】

各該サンプリングアセンブリ２０は、該本体１０に対して該第１方向Ｌ１に移動可能である。各該サンプリングアセンブリ２０は、複数の連通出口２８をさらに含み、該複数の連通出口２８は、該複数のサンプリング入口２１と該電磁弁アセンブリ２２、該複数の連通出口２８を連通させる、該電磁弁アセンブリ２２及び該分流ユニット２５が、それぞれ該第１方向Ｌ１に間隔を置いて設けられる。それにより、複数の管路が該複数の連通出口２８と該電磁弁アセンブリ２２との間、及び該電磁弁アセンブリ２２と該複数のサンプリング出口２３との間に接続されやすく、該複数の配管は整然と設けられ、互いに干渉せず、ガスがこれらの内部を順調に流れ得る。

【0015】

各該サンプリングアセンブリ２０は、基部２７をさらに含み、該電磁弁アセンブリ２２及び該サンプリング出口２３は、それぞれ該基部２７の第１側面２７１に設けられる。各該サンプリングアセンブリ２０が該展開位置にあり、該第１側面２７１が該本体１０外にある場合、各該サンプリングアセンブリ２０の該電磁弁アセンブリ２２及び該分流ユニット２５は露出状態である。ここで、各該サンプリングアセンブリ２０が該展開位置にある場合、各該サンプリングアセンブリ２０は該本体１０外にある。さらに、各該サンプリングアセンブリ２０の該第１側面２７１が該本体１０内にある場合、各該サンプリングアセンブリ２０の該電磁弁アセンブリ２２及び該分流ユニット２５は該本体１０に内蔵される。このため、各該サンプリングアセンブリ２０が該本体１０から離脱せずに引き出された場合、該電磁弁アセンブリ２２及び該分流ユニット２５の状態を直接観察し、これらの間の配管を直接取り付けたり取り外したりすることができ、メンテナンスを容易にする。

【0016】

該ガスモニタリングデバイス１は、検出ユニット４０と、処理ユニット５０と、警報装置６０と、を含み、該検出ユニット４０及び該処理ユニット５０は、それぞれ該本体１０に設けられ、該警報装置６０は、該本体１０の外側に設けられ、該処理ユニット５０に通信可能に接続され、該検出ユニット４０は、各該検出対象ガス源のガスを検出するために、該サンプリング出口２３に連通し、該処理ユニット５０は、該検出ユニット４０によって検出された数値を該処理ユニット５０に送信して演算分析し、異常値が現れると該警報装置６０はリマインドのために警報を出す。
各該サンプリングアセンブリ２０は、該処理ユニット５０及び該検出ユニット４０に対して該第１方向Ｌ１に移動可能である。本実施例では、該警報装置６０は、顕著なリマインダー効果を実現するために発光装置とされる。

【0017】

使用に際して、（メンテナンスや交換のために）該サンプリングアセンブリ２０を取り外した直後に、別の該サンプリングアセンブリ２０を効率的に取り付けることができ、それにより、ガス検出の中断時間を短縮させ、検出効率を向上させ、メンテナンスや交換を容易にする。

【符号の説明】

【0018】

１ ガスモニタリングデバイス
１０ 本体
２０ サンプリングアセンブリ
２１ サンプリング入口
２２ 電磁弁アセンブリ
２３ サンプリング出口
２４ 除去入口
２５ 分流ユニット
２６ 分流入口
２７ 基部
２７１ 第１側面
２８ 連通出口
３０ スライドレールアセンブリ
３１ 第１スライドレール
３２ 第２スライドレール
３３ 第１制限ユニット
３４ 第２制限ユニット
４０ 検出ユニット
５０ 処理ユニット
６０ 警報装置
Ｌ１ 第１方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】