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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025161360
(43)【公開日】2025-10-24
(54)【発明の名称】光学フィルムの検査装置、検査方法及び製造方法
(51)【国際特許分類】
G01N 21/892 20060101AFI20251017BHJP
【ＦＩ】
G01N21/892 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024064481
(22)【出願日】2024-04-12
(71)【出願人】
【識別番号】000003964
【氏名又は名称】日東電工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001748
【氏名又は名称】弁理士法人まこと国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】古門 裕輝
(72)【発明者】
【氏名】吉良 隆一
【テーマコード（参考）】
2G051
【Ｆターム（参考）】
2G051AA41
2G051AB03
2G051BA01
2G051BA20
2G051BB01
2G051BB05
2G051CA03
2G051CA04
(57)【要約】
【課題】光学フィルムに発生し得るクラック等の欠陥を精度良く検出可能な光学フィルムの検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、光学フィルム１０の法線方向の一方側に配置され、光学フィルムに対して光を照射する第１光源１及び第２光源２と、他方側に配置され、光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部３と、撮像画像に基づき、光学フィルムに存在する欠陥を検出する画像処理部４と、を備える。第１光源は、光学フィルムの法線方向から見た場合に、第１光源の光軸が光学フィルムの搬送方向に沿うように配置され、第２光源は、第２光源の光軸が搬送方向に対して直交する方向に沿うように配置され、撮像部は、第１光源及び第２光源から出射した光を直接受光しないように配置され、なお且つ、第１光源及び第２光源から光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように配置されている。
【選択図】図２
【解決手段】検査装置１００は、光学フィルム１０の法線方向の一方側に配置され、光学フィルムに対して光を照射する第１光源１及び第２光源２と、他方側に配置され、光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部３と、撮像画像に基づき、光学フィルムに存在する欠陥を検出する画像処理部４と、を備える。第１光源は、光学フィルムの法線方向から見た場合に、第１光源の光軸が光学フィルムの搬送方向に沿うように配置され、第２光源は、第２光源の光軸が搬送方向に対して直交する方向に沿うように配置され、撮像部は、第１光源及び第２光源から出射した光を直接受光しないように配置され、なお且つ、第１光源及び第２光源から光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように配置されている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定の搬送方向に搬送される光学フィルムの検査装置であって、
前記光学フィルムの法線方向の一方側に配置され、前記光学フィルムに対して光を照射する第１光源及び第２光源と、
前記光学フィルムの法線方向の他方側に配置され、前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部と、
前記撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を検出する画像処理部と、を備え、
前記第１光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第１光源の光軸が前記搬送方向に沿うように配置され、
前記第２光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第２光源の光軸が前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配置され、
前記撮像部は、前記第１光源及び前記第２光源から出射した光を直接受光しないように配置され、なお且つ、前記第１光源及び前記第２光源から前記光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように配置されている、
光学フィルムの検査装置。
前記光学フィルムの法線方向の一方側に配置され、前記光学フィルムに対して光を照射する第１光源及び第２光源と、
前記光学フィルムの法線方向の他方側に配置され、前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部と、
前記撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を検出する画像処理部と、を備え、
前記第１光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第１光源の光軸が前記搬送方向に沿うように配置され、
前記第２光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第２光源の光軸が前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配置され、
前記撮像部は、前記第１光源及び前記第２光源から出射した光を直接受光しないように配置され、なお且つ、前記第１光源及び前記第２光源から前記光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように配置されている、
光学フィルムの検査装置。
【請求項2】
前記撮像部は、前記第１光源及び前記第２光源のうち、前記第１光源のみから前記光学フィルムに対して光を照射した状態で前記光学フィルムを撮像することで第１撮像画像を生成すると共に、前記第２光源のみから前記光学フィルムに対して光を照射した状態で前記光学フィルムを撮像することで第２撮像画像を生成し、
前記画像処理部は、前記第１撮像画像及び前記第２撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を検出する、
請求項１に記載の光学フィルムの検査装置。
前記画像処理部は、前記第１撮像画像及び前記第２撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を検出する、
請求項１に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項3】
前記撮像部は、その視軸が前記光学フィルムと交差する点における前記光学フィルムの法線に対して鋭角を成すように配置され、
前記第１光源及び前記撮像部は、前記法線に対して、前記搬送方向の同じ側に配置されている、
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
前記第１光源及び前記撮像部は、前記法線に対して、前記搬送方向の同じ側に配置されている、
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項4】
前記撮像部は、その視軸が、前記法線に対して、１０°～８０°の角度を成すように配置され、
前記第１光源は、その光軸が、前記法線に対して、１０°～８０°の角度を成すように配置されている、
請求項３に記載の光学フィルムの検査装置。
前記第１光源は、その光軸が、前記法線に対して、１０°～８０°の角度を成すように配置されている、
請求項３に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項5】
前記第１光源が、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配列された複数の光源から構成されている、及び／又は、前記第２光源が、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配列された複数の光源から構成されている、
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項6】
前記画像処理部は、前記欠陥として、クラックを検出する、
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項7】
前記光学フィルムが延伸フィルムを含む、
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
請求項１又は２に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項8】
所定の搬送方向に搬送される光学フィルムの検査方法であって、
前記光学フィルムの法線方向の一方側に、前記光学フィルムに対して光を照射する第１光源及び第２光源を配置し、前記光学フィルムの法線方向の他方側に、前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部を配置する準備工程と、
前記第１光源及び前記第２光源のうち、少なくとも何れか一方の光源から前記光学フィルムに対して光を照射した状態で、前記撮像部で前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像画像生成工程と、
前記撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を画像処理部で検出する欠陥検出工程と、を有し、
前記準備工程において、
前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第１光源の光軸が前記搬送方向に沿うように、前記第１光源を配置し、
前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第２光源の光軸が前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように、前記第２光源を配置し、
前記撮像部が前記第１光源及び前記第２光源から出射した光を直接受光しないように、なお且つ、前記撮像部が前記第１光源及び前記第２光源から前記光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように、前記撮像部を配置する、
光学フィルムの検査方法。
前記光学フィルムの法線方向の一方側に、前記光学フィルムに対して光を照射する第１光源及び第２光源を配置し、前記光学フィルムの法線方向の他方側に、前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部を配置する準備工程と、
前記第１光源及び前記第２光源のうち、少なくとも何れか一方の光源から前記光学フィルムに対して光を照射した状態で、前記撮像部で前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像画像生成工程と、
前記撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を画像処理部で検出する欠陥検出工程と、を有し、
前記準備工程において、
前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第１光源の光軸が前記搬送方向に沿うように、前記第１光源を配置し、
前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第２光源の光軸が前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように、前記第２光源を配置し、
前記撮像部が前記第１光源及び前記第２光源から出射した光を直接受光しないように、なお且つ、前記撮像部が前記第１光源及び前記第２光源から前記光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように、前記撮像部を配置する、
光学フィルムの検査方法。
【請求項9】
長尺の光学フィルムを枚葉状に切断する切断工程と、
切断後の枚葉状の前記光学フィルムを検査する検査工程と、を有し、
前記検査工程では、切断後の枚葉状の前記光学フィルムに対して、請求項８に記載の検査方法を実行し、
前記検査工程において前記光学フィルムに存在する欠陥が検出された場合には、当該光学フィルムを廃棄する、
光学フィルムの製造方法。
切断後の枚葉状の前記光学フィルムを検査する検査工程と、を有し、
前記検査工程では、切断後の枚葉状の前記光学フィルムに対して、請求項８に記載の検査方法を実行し、
前記検査工程において前記光学フィルムに存在する欠陥が検出された場合には、当該光学フィルムを廃棄する、
光学フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光学フィルムに発生する欠陥を検出するための光学フィルムの検査装置、検査方法及びこの検査方法を用いた光学フィルムの製造方法に関する。特に、本発明は、偏光フィルムや位相差フィルム等の延伸フィルムを含む光学フィルムに発生し得るクラック等の欠陥を精度良く検出可能な、光学フィルムの検査装置、検査方法及び製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、偏光フィルムや位相差フィルム等の延伸フィルムを含む光学フィルムは、テレビやパーソナルコンピュータに用いられるのみならず、スマートフォン、スマートウォッチ、車載ディスプレイなど、多種多様のディスプレイ用途に用いられている。
これらの光学フィルムは、ロールツーロール方式で延伸処理や貼り合わせ処理等が施されて長尺の光学フィルムとして製造された後、用途に応じた形状を有する枚葉状に切断される。
これらの光学フィルムは、ロールツーロール方式で延伸処理や貼り合わせ処理等が施されて長尺の光学フィルムとして製造された後、用途に応じた形状を有する枚葉状に切断される。
【0003】
枚葉状に切断された光学フィルムに欠陥が存在する場合には、これが用いられるディスプレイの表示性能を維持できない。このため、枚葉状に切断された光学フィルムは、透過検査、クロスニコル検査、反射検査等によって検査され、欠陥が検出された場合には、その光学フィルムを廃棄している。
【0004】
ここで、偏光フィルムや位相差フィルム等の延伸フィルムを含む光学フィルムには、枚葉状に切断された後、クラックと称される微細なひび割れ状の欠陥が発生する場合がある。このクラックが密集して発生すると、光学フィルムが用いられるディスプレイの表示性能を維持できないため、検査によって密集したクラックを検出することが望まれている。
【0005】
しかしながら、本発明者らが検討したところによれば、上記のクラックは、透過検査、クロスニコル検査、反射検査等の従来の検査方法では、精度良く検出できないという問題がある。
【0006】
例えば、特許文献１には、枚葉状に切断する前の長尺の光学フィルムを検査する透過検査装置の一種として、投光部を２個設け、これら２個の投光部を、受光部に対してフィルム走行方向で上流側及び下流側にずらし、２個の投光部に対して欠陥が無いときに受光部が暗視野状態となり、欠陥があるときに受光部が受光状態となるように配置した検査装置が提案されている（特許文献１の請求項１等）。
具体的には、特許文献１に記載の検査装置では、フィルムの法線方向から見た場合に、２個の投光部は、その光軸が逆向きではあるものの、何れもフィルムの搬送方向に沿うように配置されている（特許文献１の図１等）。
具体的には、特許文献１に記載の検査装置では、フィルムの法線方向から見た場合に、２個の投光部は、その光軸が逆向きではあるものの、何れもフィルムの搬送方向に沿うように配置されている（特許文献１の図１等）。
【0007】
本発明者らが検討したところによれば、特許文献１に記載のような検査装置を枚葉状に切断された光学フィルムに適用したとしても、クラックを精度良く検出できないことが分かった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開２００８－１２２１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、偏光フィルムや位相差フィルム等の延伸フィルムを含む光学フィルムに発生し得るクラック等の欠陥を精度良く検出可能な、光学フィルムの検査装置、検査方法及び製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
前記課題を解決するため、本発明者らは、透過検査における光源及び撮像部の配置を鋭意検討した。その結果、光源として、第１光源及び第２光源を用意し、光学フィルムの法線方向から見た場合に、第１光源の光軸が光学フィルムの搬送方向に沿うように、第１光源を配置し、第２光源の光軸が光学フィルムの搬送方向に直交する方向に沿うように、第２光源を配置することを考えた。そして、撮像部を、第１光源及び第２光源から出射した光を直接受光しないように配置し、なお且つ、第１光源及び第２光源から光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように配置すると、撮像部によって生成される撮像画像において、クラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まり、欠陥を精度良く検出できることを見出した。すなわち、第１光源、第２光源及び撮像部を特定の配置状態とすることで、従来の透過検査では検出し難いクラック等の欠陥を精度良く検出できることを見出した。
【0011】
本発明は、上記本発明者らの知見によって完成したものである。
すなわち、前記課題を解決するため、本発明は、所定の搬送方向に搬送される光学フィルムの検査装置であって、前記光学フィルムの法線方向の一方側に配置され、前記光学フィルムに対して光を照射する第１光源及び第２光源と、前記光学フィルムの法線方向の他方側に配置され、前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部と、前記撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を検出する画像処理部と、を備え、前記第１光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第１光源の光軸が前記搬送方向に沿うように配置され、前記第２光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第２光源の光軸が前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配置され、前記撮像部は、前記第１光源及び前記第２光源から出射した光を直接受光しないように配置され、なお且つ、前記第１光源及び前記第２光源から前記光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように配置されている、光学フィルムの検査装置を提供する。
すなわち、前記課題を解決するため、本発明は、所定の搬送方向に搬送される光学フィルムの検査装置であって、前記光学フィルムの法線方向の一方側に配置され、前記光学フィルムに対して光を照射する第１光源及び第２光源と、前記光学フィルムの法線方向の他方側に配置され、前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部と、前記撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を検出する画像処理部と、を備え、前記第１光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第１光源の光軸が前記搬送方向に沿うように配置され、前記第２光源は、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第２光源の光軸が前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配置され、前記撮像部は、前記第１光源及び前記第２光源から出射した光を直接受光しないように配置され、なお且つ、前記第１光源及び前記第２光源から前記光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように配置されている、光学フィルムの検査装置を提供する。
【0012】
本発明において、「第１光源の光軸」とは、第１光源から出射した光（光束）の中心軸を意味する。「第２光源の光軸」とは、第２光源から出射した光（光束）の中心軸を意味する。
本発明によれば、第１光源、第２光源及び撮像部が特定の配置状態とされるため、本発明者らが知見したように、撮像部によって生成される撮像画像において、クラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まる。このため、画像処理部によって撮像画像に対して２値化処理等の画像処理を施すことで、クラック等の欠陥を精度良く検出可能である。
本発明によれば、第１光源、第２光源及び撮像部が特定の配置状態とされるため、本発明者らが知見したように、撮像部によって生成される撮像画像において、クラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まる。このため、画像処理部によって撮像画像に対して２値化処理等の画像処理を施すことで、クラック等の欠陥を精度良く検出可能である。
【0013】
好ましくは、前記撮像部は、前記第１光源及び前記第２光源のうち、前記第１光源のみから前記光学フィルムに対して光を照射した状態で前記光学フィルムを撮像することで第１撮像画像を生成すると共に、前記第２光源のみから前記光学フィルムに対して光を照射した状態で前記光学フィルムを撮像することで第２撮像画像を生成し、前記画像処理部は、前記第１撮像画像及び前記第２撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を検出する。
【0014】
本発明者らの知見によれば、第１光源及び第２光源の双方から光学フィルムに対して同時に光を照射した状態で光学フィルムを撮像するよりも、何れか一方の光源のみから光学フィルムに対して光を照射した状態で光学フィルムを撮像した方が、何れか一方の光源のみから光を照射した状態でそれぞれ生成される撮像画像（第１撮像画像及び第２撮像画像）のうち、何れかの撮像画像（第１撮像画像又は第２撮像画像）におけるクラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まり易い。換言すれば、コントラストの高まり易さは、クラック等の欠陥の延びる方向に依存し、欠陥の延びる方向に略直交する方向に光軸を有する光源のみから光を照射した状態で光学フィルムを撮像した方が、欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まり易い。上記の好ましい構成によれば、第１撮像画像又は第２撮像画像におけるクラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まるため、クラック等の欠陥をより一層精度良く検出可能である。
【0015】
好ましくは、前記撮像部は、その視軸が前記光学フィルムと交差する点における前記光学フィルムの法線に対して鋭角を成すように配置され、前記第１光源及び前記撮像部は、前記法線に対して、前記搬送方向の同じ側に配置されている。
【0016】
上記の好ましい構成において、撮像部の「視軸」は、撮像部の撮像視野の中心軸を意味する。
本発明者らの知見によれば、上記の好ましい構成により、撮像部によって生成される撮像画像において、クラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まるため、クラック等の欠陥をより一層精度良く検出可能である。
本発明者らの知見によれば、上記の好ましい構成により、撮像部によって生成される撮像画像において、クラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まるため、クラック等の欠陥をより一層精度良く検出可能である。
【0017】
好ましくは、前記撮像部は、その視軸が、前記法線に対して、１０°～８０°の角度を成すように配置され、前記第１光源は、その光軸が、前記法線に対して、１０°～８０°の角度を成すように配置されている。
【0018】
本発明者らの知見によれば、上記の好ましい構成により、撮像部によって生成される撮像画像において、クラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まるため、クラック等の欠陥をより一層精度良く検出可能である。
【0019】
好ましくは、前記第１光源が、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配列された複数の光源から構成されている、及び／又は、前記第２光源が、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように配列された複数の光源から構成されている。
【0020】
上記の好ましい構成によれば、第１光源及び／又は第２光源が複数の光源から構成されているため、３次元的に見た場合に、第１光源及び／又は第２光源から出射する光の方向を多方向にすることができ、第１光源及び第２光源として単一の光源を用いる場合に比べて、クラック等の欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まる可能性がある。また、光学フィルムの種類や検出する欠陥の種類等に応じて、欠陥に対応する画素領域のコントラストが高まるように、複数の光源のうちの予め選択した光源のみから光を出射することも可能となり、検査の自由度が高くなるという利点も有する。
【0021】
本発明は、前記画像処理部が、前記欠陥として、クラックを検出する場合に好適に用いられる。
【0022】
また、本発明は、前記光学フィルムが延伸フィルムを含む場合に好適に用いられる。
【0023】
また、前記課題を解決するため、本発明は、所定の搬送方向に搬送される光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムの法線方向の一方側に、前記光学フィルムに対して光を照射する第１光源及び第２光源を配置し、前記光学フィルムの法線方向の他方側に、前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像部を配置する準備工程と、前記第１光源及び前記第２光源のうち、少なくとも何れか一方の光源から前記光学フィルムに対して光を照射した状態で、前記撮像部で前記光学フィルムを撮像することで撮像画像を生成する撮像画像生成工程と、前記撮像画像に基づき、前記光学フィルムに存在する欠陥を画像処理部で検出する欠陥検出工程と、を有し、前記準備工程において、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第１光源の光軸が前記搬送方向に沿うように、前記第１光源を配置し、前記光学フィルムの法線方向から見た場合に、前記第２光源の光軸が前記搬送方向に対して直交する方向に沿うように、前記第２光源を配置し、前記撮像部が前記第１光源及び前記第２光源から出射した光を直接受光しないように、なお且つ、前記撮像部が前記第１光源及び前記第２光源から前記光学フィルムに対して照射された光の正透過光を受光しないように、前記撮像部を配置する、光学フィルムの検査方法としても提供される。
【0024】
さらに、前記課題を解決するため、本発明は、長尺の光学フィルムを枚葉状に切断する切断工程と、切断後の枚葉状の前記光学フィルムを検査する検査工程と、を有し、前記検査工程では、切断後の枚葉状の前記光学フィルムに対して、前記検査方法を実行し、前記検査工程において前記光学フィルムに存在する欠陥が検出された場合には、当該光学フィルムを廃棄する、光学フィルムの製造方法としても提供される。
【発明の効果】
【0025】
本発明に係る光学フィルムの検査装置及び検査方法によれば、偏光フィルムや位相差フィルム等の延伸フィルムを含む光学フィルムに発生し得るクラック等の欠陥を精度良く検出可能である。そして、本発明に係る光学フィルムの製造方法によれば、検査工程において、枚葉状の光学フィルムに発生したクラック等の欠陥を本発明に係る検査方法を用いて精度良く検出でき、欠陥を検出した場合には当該光学フィルムを廃棄するため、欠陥が発生している光学フィルムが製品に混ざるリスクを低減可能である。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本発明の一実施形態に係る検査装置の検査対象である光学フィルム１０の概略構成例を示す断面図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る検査装置１００の概略構成を模式的に示す図である。
【図6】光学フィルム１０の不感帯を解消する方法の一例を説明する図である。
【図7】検査装置１００の変形例の概略構成を模式的に示す側面図である。
【図8】検査装置１００による検査方法を用いた光学フィルム１０の製造方法の概略工程の一例を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【0027】
以下、添付図面を適宜参照しつつ、本発明の一実施形態に係る光学フィルムの検査装置について説明する。なお、各図は、参考的に表したものであり、各図に表された構成要素の寸法、縮尺及び形状は、実際のものとは異なっている場合があることに留意されたい。
【0028】
＜光学フィルム１０＞
最初に、本実施形態に係る検査装置の検査対象である光学フィルム１０の構成について説明する。
図１は、本実施形態に係る検査装置の検査対象である光学フィルム１０の概略構成例を示す断面図である。図１（ａ）は光学フィルム１０の一例である光学積層体１０Ａの概略構成を、図１（ｂ）は光学フィルム１０の他の例である光学積層体１０Ｂの概略構成を示す。なお、図１において、Ｘは光学フィルム１０の搬送方向である水平方向を、ＹはＸ方向に直交する水平方向を、Ｚは鉛直方向（光学フィルム１０の厚み方向）を示す。後述の他の図についても同様である。
最初に、本実施形態に係る検査装置の検査対象である光学フィルム１０の構成について説明する。
図１は、本実施形態に係る検査装置の検査対象である光学フィルム１０の概略構成例を示す断面図である。図１（ａ）は光学フィルム１０の一例である光学積層体１０Ａの概略構成を、図１（ｂ）は光学フィルム１０の他の例である光学積層体１０Ｂの概略構成を示す。なお、図１において、Ｘは光学フィルム１０の搬送方向である水平方向を、ＹはＸ方向に直交する水平方向を、Ｚは鉛直方向（光学フィルム１０の厚み方向）を示す。後述の他の図についても同様である。
【0029】
図１に示す光学フィルム１０は、何れも用途に応じた形状（図１に示す例では矩形）を有する枚葉状に切断されている。
図１（ａ）に示す光学フィルム１０（光学積層体１０Ａ）は、偏光子１１、保護フィルム１２、１３、位相差フィルム１４、粘着剤層１５及び剥離ライナー１６が積層されて構成されている。図１（ｂ）に示す光学フィルム１０（光学積層体１０Ｂ）は、偏光子１１、保護フィルム１２、１３、粘着剤層１５、剥離ライナー１６及び反射防止層（ＡＲコート）１７が積層されて構成されている。
以下、図１に示す光学フィルム１０の各構成要素について概説する。
図１（ａ）に示す光学フィルム１０（光学積層体１０Ａ）は、偏光子１１、保護フィルム１２、１３、位相差フィルム１４、粘着剤層１５及び剥離ライナー１６が積層されて構成されている。図１（ｂ）に示す光学フィルム１０（光学積層体１０Ｂ）は、偏光子１１、保護フィルム１２、１３、粘着剤層１５、剥離ライナー１６及び反射防止層（ＡＲコート）１７が積層されて構成されている。
以下、図１に示す光学フィルム１０の各構成要素について概説する。
【0030】
［偏光子１１］
偏光子１１は、代表的には、二色性物質を含む樹脂フィルムで構成される。
樹脂フィルムとしては、偏光子として用いることができる任意の適切な樹脂フィルムを採用することができる。樹脂フィルムは、代表的には、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系樹脂フィルムである。
ＰＶＡ系樹脂フィルムを形成するＰＶＡ系樹脂としては、任意の適切な樹脂を用いることができる。例えば、ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体が挙げられる。ポリビニルアルコールは、ポリ酢酸ビニルをケン化することにより得られる。エチレン－ビニルアルコール共重合体は、エチレン－酢酸ビニル共重合体をケン化することにより得られる。
樹脂フィルムに含まれる二色性物質としては、例えば、ヨウ素、有機染料等が挙げられる。これらは、単独で、又は、二種以上を組み合わせて用いることができる。好ましくは、ヨウ素が用いられる。
偏光子１１は、代表的には、二色性物質を含む樹脂フィルムで構成される。
樹脂フィルムとしては、偏光子として用いることができる任意の適切な樹脂フィルムを採用することができる。樹脂フィルムは、代表的には、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）系樹脂フィルムである。
ＰＶＡ系樹脂フィルムを形成するＰＶＡ系樹脂としては、任意の適切な樹脂を用いることができる。例えば、ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体が挙げられる。ポリビニルアルコールは、ポリ酢酸ビニルをケン化することにより得られる。エチレン－ビニルアルコール共重合体は、エチレン－酢酸ビニル共重合体をケン化することにより得られる。
樹脂フィルムに含まれる二色性物質としては、例えば、ヨウ素、有機染料等が挙げられる。これらは、単独で、又は、二種以上を組み合わせて用いることができる。好ましくは、ヨウ素が用いられる。
【0031】
樹脂フィルムは、単層の樹脂フィルムであっても、二層以上の積層体であってもよい。
単層の樹脂フィルムから構成される偏光子の具体例としては、ＰＶＡ系樹脂フィルムにヨウ素による染色処理及び延伸処理（代表的には、一軸延伸処理）が施されたものが挙げられる。ヨウ素による染色処理は、例えば、ＰＶＡ系フィルムをヨウ素水溶液に浸漬することによって行われる。一軸延伸の延伸倍率は、好ましくは３～７倍である。延伸は、染色後に行ってもよいし、染色しながら行ってもよい。また、延伸後に染色を行ってもよい。必要に応じて、ＰＶＡ系樹脂フィルムに、膨潤処理、架橋処理、洗浄処理、乾燥処理等が施される。
積層体から構成される偏光子の具体例としては、樹脂基材とこの樹脂基材に積層されたＰＶＡ系樹脂層との積層体、又は、樹脂基材とこの樹脂基材に塗布形成されたＰＶＡ系樹脂層との積層体から構成される偏光子が挙げられる。樹脂基材とこの樹脂基材に塗布形成されたＰＶＡ系樹脂層との積層体から構成される偏光子は、例えば、ＰＶＡ系樹脂溶液を樹脂基材に塗布し、乾燥させて樹脂基材上にＰＶＡ系樹脂層を形成して、樹脂基材とＰＶＡ系樹脂層との積層体を得た後、この積層体を延伸及び染色してＰＶＡ系樹脂層を偏光子とすることにより作製することができる。
単層の樹脂フィルムから構成される偏光子の具体例としては、ＰＶＡ系樹脂フィルムにヨウ素による染色処理及び延伸処理（代表的には、一軸延伸処理）が施されたものが挙げられる。ヨウ素による染色処理は、例えば、ＰＶＡ系フィルムをヨウ素水溶液に浸漬することによって行われる。一軸延伸の延伸倍率は、好ましくは３～７倍である。延伸は、染色後に行ってもよいし、染色しながら行ってもよい。また、延伸後に染色を行ってもよい。必要に応じて、ＰＶＡ系樹脂フィルムに、膨潤処理、架橋処理、洗浄処理、乾燥処理等が施される。
積層体から構成される偏光子の具体例としては、樹脂基材とこの樹脂基材に積層されたＰＶＡ系樹脂層との積層体、又は、樹脂基材とこの樹脂基材に塗布形成されたＰＶＡ系樹脂層との積層体から構成される偏光子が挙げられる。樹脂基材とこの樹脂基材に塗布形成されたＰＶＡ系樹脂層との積層体から構成される偏光子は、例えば、ＰＶＡ系樹脂溶液を樹脂基材に塗布し、乾燥させて樹脂基材上にＰＶＡ系樹脂層を形成して、樹脂基材とＰＶＡ系樹脂層との積層体を得た後、この積層体を延伸及び染色してＰＶＡ系樹脂層を偏光子とすることにより作製することができる。
【0032】
偏光子１１の厚みは、好ましくは１５μｍ以下であり、より好ましくは１μｍ～１２μｍであり、さらに好ましくは３μｍ～１０μｍであり、特に好ましくは３μｍ～８μｍである。
偏光子１１は、好ましくは、波長３８０ｎｍ～７８０ｎｍの範囲内の何れかの波長で吸収二色性を示す。偏光子１１の単体透過率は、好ましくは４０．０％～４５．０％であり、より好ましくは４１．５％～４３．５％である。偏光子１１の偏光度は、好ましくは９７．０％以上であり、より好ましくは９９．０％以上であり、さらに好ましくは９９．９％以上である。
偏光子１１は、好ましくは、波長３８０ｎｍ～７８０ｎｍの範囲内の何れかの波長で吸収二色性を示す。偏光子１１の単体透過率は、好ましくは４０．０％～４５．０％であり、より好ましくは４１．５％～４３．５％である。偏光子１１の偏光度は、好ましくは９７．０％以上であり、より好ましくは９９．０％以上であり、さらに好ましくは９９．９％以上である。
【0033】
［保護フィルム１２、１３］
保護フィルム１２、１３としては、任意の適切な樹脂フィルムが用いられる。樹脂フィルムの形成材料としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、ジアセチルセルロース、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）等のセルロース系樹脂、ノルボルネン系樹脂等のシクロオレフィン系樹脂、ポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂等のエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、これらの共重合体樹脂等が挙げられる。なお、「（メタ）アクリル系樹脂」とは、アクリル系樹脂及び／又はメタクリル系樹脂を意味する。
保護フィルム１２、１３の厚みは、代表的には１０μｍ～１００μｍであり、好ましくは２０μｍ～４０μｍである。
なお、偏光子１１と、保護フィルム１２、１３との積層体が偏光フィルムＰＦである。
保護フィルム１２、１３としては、任意の適切な樹脂フィルムが用いられる。樹脂フィルムの形成材料としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、ジアセチルセルロース、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）等のセルロース系樹脂、ノルボルネン系樹脂等のシクロオレフィン系樹脂、ポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂等のエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、これらの共重合体樹脂等が挙げられる。なお、「（メタ）アクリル系樹脂」とは、アクリル系樹脂及び／又はメタクリル系樹脂を意味する。
保護フィルム１２、１３の厚みは、代表的には１０μｍ～１００μｍであり、好ましくは２０μｍ～４０μｍである。
なお、偏光子１１と、保護フィルム１２、１３との積層体が偏光フィルムＰＦである。
【0034】
［位相差フィルム１４］
位相差フィルム１４は、例えば、広視野角を付与する補償板であってもよいし、偏光フィルムＰＦと共に用いられて円偏光を生成するための位相差板（円偏光板）であってもよい。位相差フィルム１４の厚みは、例えば、１～２００μｍである。
位相差フィルム１４は、代表的には、上記の特性を実現可能な任意の適切な樹脂に延伸処理（代表的には、一軸延伸処理）を施すことで形成される。位相差フィルム１４を形成する樹脂としては、例えば、ポリアリレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリエステル、ポリアリールエーテルケトン、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリビニルアルコール、ポリフマル酸エステル、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ノルボルネン樹脂、ポリカーボネート樹脂、セルロース樹脂及びポリウレタンが挙げられる。これらの樹脂は、単独で用いてもよく、組み合わせて用いてもよい。好ましくは、シクロオレフィン系のノルボルネン樹脂である。
位相差フィルム１４は、例えば、広視野角を付与する補償板であってもよいし、偏光フィルムＰＦと共に用いられて円偏光を生成するための位相差板（円偏光板）であってもよい。位相差フィルム１４の厚みは、例えば、１～２００μｍである。
位相差フィルム１４は、代表的には、上記の特性を実現可能な任意の適切な樹脂に延伸処理（代表的には、一軸延伸処理）を施すことで形成される。位相差フィルム１４を形成する樹脂としては、例えば、ポリアリレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリエステル、ポリアリールエーテルケトン、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリビニルアルコール、ポリフマル酸エステル、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ノルボルネン樹脂、ポリカーボネート樹脂、セルロース樹脂及びポリウレタンが挙げられる。これらの樹脂は、単独で用いてもよく、組み合わせて用いてもよい。好ましくは、シクロオレフィン系のノルボルネン樹脂である。
【0035】
以上に説明した偏光子１１、保護フィルム１２、１３及び位相差フィルム１４は、任意の適切な接着剤層（図示せず）を介して、それぞれ貼り合わせられて積層されている。接着剤層を構成する接着剤として、代表的にはＰＶＡ系接着剤又は活性化エネルギー線硬化型接着剤が挙げられる。
【0036】
［粘着剤層１５］
粘着剤層１５は、図１（ａ）に示す光学積層体１０Ａの場合、位相差フィルム１４と剥離ライナー１６との間に介在し、図１（ｂ）に示す光学積層体１０Ｂの場合、保護フィルム１３と剥離ライナー１６との間に介在し、何れの場合も剥離ライナー１６を他の構成要素と貼り合わせて積層するための層である。
粘着剤層１５を構成する粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、エポキシ系粘着剤、及び、ポリエーテル系粘着剤が挙げられる。
粘着剤層１５の厚みは、例えば１０μｍ～１００μｍにすることができる。
粘着剤層１５は、図１（ａ）に示す光学積層体１０Ａの場合、位相差フィルム１４と剥離ライナー１６との間に介在し、図１（ｂ）に示す光学積層体１０Ｂの場合、保護フィルム１３と剥離ライナー１６との間に介在し、何れの場合も剥離ライナー１６を他の構成要素と貼り合わせて積層するための層である。
粘着剤層１５を構成する粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、エポキシ系粘着剤、及び、ポリエーテル系粘着剤が挙げられる。
粘着剤層１５の厚みは、例えば１０μｍ～１００μｍにすることができる。
【0037】
［剥離ライナー１６］
剥離ライナー１６としては、任意の適切な構成を採用することができる。具体例としては、剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルム、不織布又は紙が挙げられる。剥離剤の具体例としては、シリコーン系剥離剤、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤が挙げられる。プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが挙げられる。剥離ライナー１６の厚みは、例えば１０μｍ～１００μｍとすることができる。
剥離ライナー１６としては、任意の適切な構成を採用することができる。具体例としては、剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルム、不織布又は紙が挙げられる。剥離剤の具体例としては、シリコーン系剥離剤、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤が挙げられる。プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが挙げられる。剥離ライナー１６の厚みは、例えば１０μｍ～１００μｍとすることができる。
【0038】
［反射防止層１７］
反射防止層１７は、図１（ｂ）に示す光学積層体１０Ｂにおいて、保護フィルム１２の偏光子１１と反対側の表面に形成される。反射防止層１７は、保護フィルム１２に反射防止処理（ＡＲ処理）が施されることによって形成される。
反射防止層１７は、図１（ｂ）に示す光学積層体１０Ｂにおいて、保護フィルム１２の偏光子１１と反対側の表面に形成される。反射防止層１７は、保護フィルム１２に反射防止処理（ＡＲ処理）が施されることによって形成される。
【0039】
本実施形態に係る検査装置の検査対象である光学フィルム１０は、以上に説明したような概略構成を有し、ロールツーロール方式で長尺の光学フィルム１０として製造された後、用途に応じた形状を有する枚葉状に切断されている。なお、光学フィルム１０の更に詳しい構成については公知であるため、ここでは説明を省略する。
【0040】
ここで、光学フィルム１０には、枚葉状に切断された後、搬送過程における搬送装置との機械的接触など種々の要因によって、クラックと称される微細なひび割れ状の欠陥が発生する場合がある。本発明者らの知見によれば、図１（ａ）に示す光学積層体１０Ａの場合、クラックＣは位相差フィルム１４に発生し易く、図１（ｂ）に示す光学積層体１０Ｂの場合、クラックＣは反射防止層１７に発生し易い。
以下に説明する本実施形態に係る検査装置は、上記のクラックＣを検出するのに好適に用いられる。
以下に説明する本実施形態に係る検査装置は、上記のクラックＣを検出するのに好適に用いられる。
【0041】
＜検査装置１００＞
次に、本実施形態に係る検査装置１００の構成について説明する。
図２は、本実施形態に係る検査装置１００の概略構成を模式的に示す図である。図２（ａ）は平面図であり、図２（ｂ）は側面図である。
図２に示すように、本実施形態に係る検査装置１００は、ベルトコンベア等の搬送装置（図２には図示せず）によって所定の搬送方向（本実施形態ではＸ方向）に搬送される光学フィルム１０の検査装置であって、第１光源１と、第２光源２と、撮像部３と、画像処理部４と、を備える。なお、図２では図示を省略しているが、第１光源１、第２光源２及び撮像部３は、それぞれ所定の支持手段によって、光学フィルム１０の搬送ラインの所定位置で支持されている。
以下、図２に示す検査装置１００の各構成要素について説明する。
次に、本実施形態に係る検査装置１００の構成について説明する。
図２は、本実施形態に係る検査装置１００の概略構成を模式的に示す図である。図２（ａ）は平面図であり、図２（ｂ）は側面図である。
図２に示すように、本実施形態に係る検査装置１００は、ベルトコンベア等の搬送装置（図２には図示せず）によって所定の搬送方向（本実施形態ではＸ方向）に搬送される光学フィルム１０の検査装置であって、第１光源１と、第２光源２と、撮像部３と、画像処理部４と、を備える。なお、図２では図示を省略しているが、第１光源１、第２光源２及び撮像部３は、それぞれ所定の支持手段によって、光学フィルム１０の搬送ラインの所定位置で支持されている。
以下、図２に示す検査装置１００の各構成要素について説明する。
【0042】
［第１光源１］
第１光源１は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の一方側（本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、光学フィルム１０の上側）に配置され、光学フィルム１０に対して光を照射する。
第１光源１としては、光学フィルム１０を透過可能な波長の光を出射し、光学フィルム１０全体に光を照射できる限りにおいて、特に限定されるものではないが、例えば、ＬＥＤやハロゲンランプを用いることができる。
第１光源１は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向から見た場合に、第１光源１の光軸Ａ１が光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に沿うように配置されている。そして、第１光源１は、例えば、その光軸Ａ１が、法線Ｎに対して、１０°～８０°の角度θ２を成すように配置されている。
第１光源１は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の一方側（本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、光学フィルム１０の上側）に配置され、光学フィルム１０に対して光を照射する。
第１光源１としては、光学フィルム１０を透過可能な波長の光を出射し、光学フィルム１０全体に光を照射できる限りにおいて、特に限定されるものではないが、例えば、ＬＥＤやハロゲンランプを用いることができる。
第１光源１は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向から見た場合に、第１光源１の光軸Ａ１が光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に沿うように配置されている。そして、第１光源１は、例えば、その光軸Ａ１が、法線Ｎに対して、１０°～８０°の角度θ２を成すように配置されている。
【0043】
［第２光源２］
第２光源２は、第１光源１と同様に、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の一方側（本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、光学フィルム１０の上側）に配置され、光学フィルム１０に対して光を照射する。
第２光源２としては、第１光源１と同様に、光学フィルム１０を透過可能な波長の光を出射し、光学フィルム１０全体に光を照射できる限りにおいて、特に限定されるものではないが、例えば、ＬＥＤやハロゲンランプを用いることができる。
第２光源２は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向から見た場合に、第２光源２の光軸Ａ２が光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に対して直交する方向（Ｙ方向）に沿うように配置されている。
第２光源２は、第１光源１と同様に、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の一方側（本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、光学フィルム１０の上側）に配置され、光学フィルム１０に対して光を照射する。
第２光源２としては、第１光源１と同様に、光学フィルム１０を透過可能な波長の光を出射し、光学フィルム１０全体に光を照射できる限りにおいて、特に限定されるものではないが、例えば、ＬＥＤやハロゲンランプを用いることができる。
第２光源２は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向から見た場合に、第２光源２の光軸Ａ２が光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に対して直交する方向（Ｙ方向）に沿うように配置されている。
【0044】
［撮像部３］
撮像部３は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の他方側（本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、光学フィルム１０の下側）に配置され、光学フィルム１０を撮像することで撮像画像を生成する。具体的には、撮像部３は、第１光源１や第２光源２から光学フィルム１０に照射され、光学フィルム１０を透過した光を受光して結像することで、撮像画像を生成する。
撮像部３としては、第１光源１及び第２光源から出射した光の波長に感度を有する限りにおいて、特に限定されるものではないが、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳを結像素子とするエリアセンサカメラを用いることができる。撮像部３として、エリアセンサカメラを用いる場合、例えば、光学フィルム１０全体が入るように、撮像部３の撮像視野が設定される。そして、Ｘ方向に搬送される光学フィルム１０全体が撮像部３の撮像視野に入ったタイミングで光学フィルム１０の搬送を停止する。撮像部３によって停止した光学フィルム１０の撮像画像の生成が終了した後に、再び光学フィルム１０をＸ方向に搬送し、次の光学フィルム１０全体が撮像部３の撮像視野に入るまで搬送を継続すること（すなわち、間欠搬送を行うこと）が好ましい。ただし、本発明は、これに限るものではなく、撮像部３として、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）に沿って複数の結像素子が一直線上に配列されたラインセンサを用いる場合には、光学フィルム１０の搬送を停止することなく、連続的に搬送して撮像画像を生成することも可能である。
撮像部３は、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の他方側（本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、光学フィルム１０の下側）に配置され、光学フィルム１０を撮像することで撮像画像を生成する。具体的には、撮像部３は、第１光源１や第２光源２から光学フィルム１０に照射され、光学フィルム１０を透過した光を受光して結像することで、撮像画像を生成する。
撮像部３としては、第１光源１及び第２光源から出射した光の波長に感度を有する限りにおいて、特に限定されるものではないが、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳを結像素子とするエリアセンサカメラを用いることができる。撮像部３として、エリアセンサカメラを用いる場合、例えば、光学フィルム１０全体が入るように、撮像部３の撮像視野が設定される。そして、Ｘ方向に搬送される光学フィルム１０全体が撮像部３の撮像視野に入ったタイミングで光学フィルム１０の搬送を停止する。撮像部３によって停止した光学フィルム１０の撮像画像の生成が終了した後に、再び光学フィルム１０をＸ方向に搬送し、次の光学フィルム１０全体が撮像部３の撮像視野に入るまで搬送を継続すること（すなわち、間欠搬送を行うこと）が好ましい。ただし、本発明は、これに限るものではなく、撮像部３として、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）に沿って複数の結像素子が一直線上に配列されたラインセンサを用いる場合には、光学フィルム１０の搬送を停止することなく、連続的に搬送して撮像画像を生成することも可能である。
【0045】
撮像部３は、第１光源１及び第２光源２から出射した光を直接受光しないように配置されている。すなわち、第１光源１及び第２光源２から出射した光のうち、光学フィルム１０に照射されない光を受光しないように配置されている。また、撮像部３は、第１光源１及び第２光源２から光学フィルム１０に対して照射された光の正透過光（光学フィルム１０を透過して散乱せずにそのまま直進する光）を受光しないように配置されている。
具体的には、撮像部３は、その視軸Ｖが光学フィルム１０と交差する点における光学フィルム１０の法線Ｎに対して鋭角（角度θ１）を成すように配置されている。角度θ１は、例えば、１０°～８０°に設定される。また、撮像部３は、光学フィルム１０の搬送方向について、法線Ｎに対して、第１光源１と同じ側（図２（ｂ）に示す例では、法線Ｎの右側）に配置されている。なお、図２に示す例では、撮像部３の視軸Ｖが第１光源１の光軸Ａ１に近くなるように（すなわち、光学フィルム１０の搬送方向に近くなるように）、撮像部３が配置されているが、本発明はこれに限るものではなく、撮像部３の視軸Ｖが第２光源２の光軸Ａ２に近くなるように（すなわち、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向に近くなるように）、撮像部３が配置されていてもよい。
具体的には、撮像部３は、その視軸Ｖが光学フィルム１０と交差する点における光学フィルム１０の法線Ｎに対して鋭角（角度θ１）を成すように配置されている。角度θ１は、例えば、１０°～８０°に設定される。また、撮像部３は、光学フィルム１０の搬送方向について、法線Ｎに対して、第１光源１と同じ側（図２（ｂ）に示す例では、法線Ｎの右側）に配置されている。なお、図２に示す例では、撮像部３の視軸Ｖが第１光源１の光軸Ａ１に近くなるように（すなわち、光学フィルム１０の搬送方向に近くなるように）、撮像部３が配置されているが、本発明はこれに限るものではなく、撮像部３の視軸Ｖが第２光源２の光軸Ａ２に近くなるように（すなわち、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向に近くなるように）、撮像部３が配置されていてもよい。
【0046】
撮像部３は、第１光源１及び第２光源２の双方から光学フィルム１０に対して同時に光を照射した状態で光学フィルム１０を撮像し、撮像画像を生成することも可能である。ただし、撮像画像におけるクラックＣに対応する画素領域のコントラストを高める上では、撮像部３は、第１光源１及び第２光源２のうち、第１光源１のみから光学フィルム１０に対して光を照射した状態で光学フィルム１０を撮像することで第１撮像画像を生成すると共に、第２光源２のみから光学フィルム１０に対して光を照射した状態で光学フィルム１０を撮像することで第２撮像画像を生成することが好ましい。
図３は、撮像部３によって生成される第２撮像画像の一例を示す図である。図３に示すように、クラックＣに対応する画素領域は、他の領域に対して明るく、コントラストが高くなっていることが分かる。
図３は、撮像部３によって生成される第２撮像画像の一例を示す図である。図３に示すように、クラックＣに対応する画素領域は、他の領域に対して明るく、コントラストが高くなっていることが分かる。
【0047】
［画像処理部４］
画像処理部４は、撮像部３と電気的に接続されており、撮像部３によって生成された撮像画像が入力される。画像処理部４は、撮像画像に基づき（例えば、撮像画像に対して２値化処理等の画像処理を施すことで）、光学フィルム１０に存在する欠陥（本実施形態では、クラックＣ）を検出する。撮像部３が第１撮像画像及び第２撮像画像を生成する場合には、画像処理部４は、第１撮像画像及び第２撮像画像のそれぞれに対して画像処理を施すことで、光学フィルム１０に存在する欠陥を検出する。
画像処理部４としては、例えば、撮像画像を画像処理して光学フィルム１０に存在する欠陥を検出するための画像処理プログラムが記憶されたコンピュータを用いることができる。
画像処理部４は、撮像部３と電気的に接続されており、撮像部３によって生成された撮像画像が入力される。画像処理部４は、撮像画像に基づき（例えば、撮像画像に対して２値化処理等の画像処理を施すことで）、光学フィルム１０に存在する欠陥（本実施形態では、クラックＣ）を検出する。撮像部３が第１撮像画像及び第２撮像画像を生成する場合には、画像処理部４は、第１撮像画像及び第２撮像画像のそれぞれに対して画像処理を施すことで、光学フィルム１０に存在する欠陥を検出する。
画像処理部４としては、例えば、撮像画像を画像処理して光学フィルム１０に存在する欠陥を検出するための画像処理プログラムが記憶されたコンピュータを用いることができる。
【0048】
本実施形態に係る検査装置１００は、以上に説明した構成（第１光源１、第２光源２及び撮像部３が特定の配置状態とされた構成）を有するため、撮像部３によって生成される撮像画像において、クラックＣに対応する画素領域のコントラストが高まる。このため、画像処理部４によって撮像画像に対して２値化処理等の画像処理を施すことで、クラックＣを精度良く検出可能である。
【0049】
なお、図２では、第１光源１及び第２光源２がそれぞれ単一の光源である場合を例示したが、本発明はこれに限るものではない。第１光源１及び第２光源２のうち、少なくとも何れか一方を複数の光源から構成することも可能である。また、単一の光源であっても、図２に示すものとは異なり、光学フィルム１０の寸法よりも長いライン光源を用いることも可能である。すなわち、第１光源１として光学フィルム１０のＹ方向の寸法よりも長いライン光源を用いたり、第２光源２として光学フィルム１０のＸ方向の寸法よりも長いライン光源を用いることも可能である。
【0050】
図４は、第１光源１の変形例の概略構成を模式的に示す図である。図４（ａ）は平面図であり、図４（ｂ）は側面図である。図４（ａ）及び図４（ｂ）の左図は、第１光源の変形例における各光源の光軸を示す図であり、図４（ａ）及び図４（ｂ）の右図は、それぞれ角度θ３、θ４を説明する図である。図４に示すように、検査装置１００が備える第１光源１としては、光学フィルム１０の法線方向から見た場合に、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）に沿うように配列された複数の光源１ａ、１ｂ、１ｃから構成されたものを採用することも可能である。図４では、便宜上、第１光源１が３つの光源１ａ、１ｂ、１ｃから構成されている場合を例示しているが、複数の光源である限り、その個数に制限はない。また、図４では、各光源１ａ、１ｂ、１ｃが光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）から見て円弧状に配置されている（所定の円弧に沿って配置されている）が、これに限るものではなく、直線状に配置されてもよい。図４（ａ）及び図４（ｂ）の左図に示すように、各光源１ａ、１ｂ、１ｃの光軸Ａ１ａ、Ａ１ｂ、Ａ１ｃの方向は、それぞれ異なる可能性があるが、光源１ａ～１ｃ全体としての光軸（光源１の光軸）は、図２に示す場合と同様に、光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に沿ったものとなる。
なお、図４（ａ）の右図に示すように、光学フィルム１０の法線方向から見た場合に、各光源１ａ、１ｂ、１ｃと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線Ｌ（図４（ａ）の右図では、代表して光源１ａと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線のみを図示）と、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）との成す角度をθ３とし、図４（ｂ）の右図に示すように、光学フィルム１０の搬送方向から見た場合に、各光源１ａ、１ｂ、１ｃと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線Ｌ（図４（ｂ）の右図では、代表して光源１ａと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線のみを図示）と、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）との成す角度をθ４とすると、角度θ３は、４５°～１３５°であることが好ましく、角度θ４は、１０°～１７０°であることが好ましい。
なお、図４（ａ）の右図に示すように、光学フィルム１０の法線方向から見た場合に、各光源１ａ、１ｂ、１ｃと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線Ｌ（図４（ａ）の右図では、代表して光源１ａと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線のみを図示）と、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）との成す角度をθ３とし、図４（ｂ）の右図に示すように、光学フィルム１０の搬送方向から見た場合に、各光源１ａ、１ｂ、１ｃと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線Ｌ（図４（ｂ）の右図では、代表して光源１ａと光学フィルム１０の中心Ｃとを結ぶ直線のみを図示）と、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）との成す角度をθ４とすると、角度θ３は、４５°～１３５°であることが好ましく、角度θ４は、１０°～１７０°であることが好ましい。
【0051】
図５は、第２光源２の変形例の概略構成を模式的に示す図である。図５（ａ）は平面図であり、図５（ｂ）は側面図である。図５に示すように、検査装置１００が備える第２光源２としては、光学フィルム１０の法線方向から見た場合に、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）に沿うように配列された複数の光源２ａ、２ｂ、２ｃから構成されたものを採用することも可能である。図５では、便宜上、第２光源２が３つの光源２ａ、２ｂ、２ｃから構成されている場合を例示しているが、複数の光源である限り、その個数に制限はない。また、図５では、各光源２ａ、２ｂ、２ｃが光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）から見て円弧状に配置されている（所定の円弧に沿って配置されている）が、これに限るものではなく、直線状に配置されてもよい。図５に示すように、各光源２ａ、２ｂ、２ｃの光軸Ａ２ａ、Ａ２ｂ、Ａ２ｃの方向は、それぞれ異なる可能性があるが、光源２ａ～２ｃ全体としての光軸（光源２の光軸）は、図２に示す場合と同様に、光学フィルム１０の搬送方向に対して直交する方向（Ｙ方向）に沿ったものとなる。
【0052】
また、光学フィルム１０を搬送する搬送装置としてベルトコンベアを用いる場合、撮像部３の撮像視野に搬送ベルトが入ってしまうことで、第１光源１及び第２光源２から出射され、光学フィルム１０を透過した光の一部が、搬送ベルトで遮られてしまい、撮像部３で受光できない（したがって、光学フィルム１０の一部に検査できない不感帯が生じる）状況になるおそれがある。
この場合には、検査装置１００及びベルトコンベアをそれぞれ光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に２つ並べて設置し、各ベルトコンベアが有する搬送ベルトの位置をずらすことで、一方の検査装置１００で検査できない光学フィルム１０の不感帯を、他方の検査装置１００で検査することが考えられる。
この場合には、検査装置１００及びベルトコンベアをそれぞれ光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に２つ並べて設置し、各ベルトコンベアが有する搬送ベルトの位置をずらすことで、一方の検査装置１００で検査できない光学フィルム１０の不感帯を、他方の検査装置１００で検査することが考えられる。
【0053】
図６は、光学フィルム１０の不感帯を解消する方法の一例を説明する図である。図６（ａ）は側面図であり、図６（ｂ）は平面図である。図６（ｂ）では、第１光源１、第２光源２及び撮像部３の図示は省略している。
図６に示すように、光学フィルム１０の不感帯を解消するには、検査装置１００及びベルトコンベア２０をそれぞれ光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に２つ並べて設置する。各ベルトコンベア２０は、一対のローラ２１と、一対のローラ２１間に掛け渡された複数の搬送ベルト２２と、を有する。搬送方向上流側に位置する一方のベルトコンベア２０ａで搬送される光学フィルム１０については、搬送方向上流側に位置する一方の検査装置１００の第１光源１及び第２光源２から出射され、光学フィルム１０を透過した光の一部が、各搬送ベルト２２で遮られて、撮像部３で受光できないため、不感帯が生じてしまう。しかしながら、搬送方向下流側に位置する他方のベルトコンベア２０ｂでは、各搬送ベルト２２が掛け渡されている位置が、ベルトコンベア２０ａの各搬送ベルト２２に対して、光学フィルム１０の搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）にずれている（図６に示す例では、ベルトコンベア２０ｂ全体がずれている）。このため、搬送方向下流側に位置する他方の検査装置１００の第１光源１及び第２光源２から出射され、搬送方向上流側では不感帯となっていた光学フィルム１０の部分を透過した光を、他方の検査装置１００の撮像部３で受光できることになり、検査可能である。したがって、搬送方向上流側及び下流側の双方の検査装置１００を用いれば、光学フィルム１０の不感帯を解消可能である。
なお、図６では、図示を省略しているが、画像処理部４は、搬送方向上流側の撮像部３及び搬送方向下流側の撮像部３の双方に電気的に接続して共有すれば、敢えて２つ設ける必要はない。
図６に示すように、光学フィルム１０の不感帯を解消するには、検査装置１００及びベルトコンベア２０をそれぞれ光学フィルム１０の搬送方向（Ｘ方向）に２つ並べて設置する。各ベルトコンベア２０は、一対のローラ２１と、一対のローラ２１間に掛け渡された複数の搬送ベルト２２と、を有する。搬送方向上流側に位置する一方のベルトコンベア２０ａで搬送される光学フィルム１０については、搬送方向上流側に位置する一方の検査装置１００の第１光源１及び第２光源２から出射され、光学フィルム１０を透過した光の一部が、各搬送ベルト２２で遮られて、撮像部３で受光できないため、不感帯が生じてしまう。しかしながら、搬送方向下流側に位置する他方のベルトコンベア２０ｂでは、各搬送ベルト２２が掛け渡されている位置が、ベルトコンベア２０ａの各搬送ベルト２２に対して、光学フィルム１０の搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）にずれている（図６に示す例では、ベルトコンベア２０ｂ全体がずれている）。このため、搬送方向下流側に位置する他方の検査装置１００の第１光源１及び第２光源２から出射され、搬送方向上流側では不感帯となっていた光学フィルム１０の部分を透過した光を、他方の検査装置１００の撮像部３で受光できることになり、検査可能である。したがって、搬送方向上流側及び下流側の双方の検査装置１００を用いれば、光学フィルム１０の不感帯を解消可能である。
なお、図６では、図示を省略しているが、画像処理部４は、搬送方向上流側の撮像部３及び搬送方向下流側の撮像部３の双方に電気的に接続して共有すれば、敢えて２つ設ける必要はない。
【0054】
さらに、検査装置１００として、撮像部３が第１光源１及び第２光源２から出射した光を直接受光しないように、遮蔽板を備える構成を採用することも可能である。
図７は、検査装置１００の変形例（遮蔽板を備える検査装置）の概略構成を模式的に示す側面図である。図７に示す検査装置１００は、第１光源１及び第２光源２から出射した光のうち、光学フィルム１０に照射されない光が撮像部３に直接受光されないように、当該光（光学フィルム１０に照射されない光）を遮る遮蔽板５を備えるため、撮像部３が第１光源１及び第２光源２から出射した光を直接受光しないことを確実にできる。
図７は、検査装置１００の変形例（遮蔽板を備える検査装置）の概略構成を模式的に示す側面図である。図７に示す検査装置１００は、第１光源１及び第２光源２から出射した光のうち、光学フィルム１０に照射されない光が撮像部３に直接受光されないように、当該光（光学フィルム１０に照射されない光）を遮る遮蔽板５を備えるため、撮像部３が第１光源１及び第２光源２から出射した光を直接受光しないことを確実にできる。
【0055】
以下、以上に説明した検査装置１００による検査方法を用いた光学フィルム１０の製造方法について説明する。
図８は、検査装置１００による検査方法を用いた光学フィルム１０の製造方法の概略工程の一例を示すフロー図である。
図８に示すように本実施形態に係る光学フィルム１０の製造方法は、切断工程ＳＴ１と、検査工程ＳＴ２を、を有する。切断工程ＳＴ１では、長尺の光学フィルム１０を枚葉状に切断する。検査工程ＳＴ２では、切断後の枚葉状の光学フィルム１０を検査装置１００を用いて検査する。
図８は、検査装置１００による検査方法を用いた光学フィルム１０の製造方法の概略工程の一例を示すフロー図である。
図８に示すように本実施形態に係る光学フィルム１０の製造方法は、切断工程ＳＴ１と、検査工程ＳＴ２を、を有する。切断工程ＳＴ１では、長尺の光学フィルム１０を枚葉状に切断する。検査工程ＳＴ２では、切断後の枚葉状の光学フィルム１０を検査装置１００を用いて検査する。
【0056】
具体的には、検査工程ＳＴ２では、準備工程、撮像画像生成工程及び欠陥検出工程を実行する。
準備工程では、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の一方側（前述の図２（ｂ）に示す例では光学フィルム１０の上側）に、光学フィルム１０に対して光を照射する第１光源１及び第２光源２を配置し、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の他方側（前述の図２（ｂ）に示す例では光学フィルム１０の下側）に、光学フィルム１０を撮像することで撮像画像を生成する撮像部３を配置する。第１光源１、第２光源２及び撮像部３のより具体的な配置条件は、前述の通りである。
そして、撮像画像生成工程では、第１光源１及び第２光源２のうち、少なくとも何れか一方の光源から光学フィルム１０に対して光を照射した状態で、撮像部３で光学フィルム１０を撮像することで撮像画像を生成する。
最後に、欠陥検出工程では、撮像画像に基づき、光学フィルム１０に存在する欠陥を画像処理部４で検出する。
準備工程では、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の一方側（前述の図２（ｂ）に示す例では光学フィルム１０の上側）に、光学フィルム１０に対して光を照射する第１光源１及び第２光源２を配置し、光学フィルム１０の法線Ｎ方向の他方側（前述の図２（ｂ）に示す例では光学フィルム１０の下側）に、光学フィルム１０を撮像することで撮像画像を生成する撮像部３を配置する。第１光源１、第２光源２及び撮像部３のより具体的な配置条件は、前述の通りである。
そして、撮像画像生成工程では、第１光源１及び第２光源２のうち、少なくとも何れか一方の光源から光学フィルム１０に対して光を照射した状態で、撮像部３で光学フィルム１０を撮像することで撮像画像を生成する。
最後に、欠陥検出工程では、撮像画像に基づき、光学フィルム１０に存在する欠陥を画像処理部４で検出する。
【0057】
本実施形態に係る光学フィルム１０の製造方法では、検査工程ＳＴ２において光学フィルム１０に存在する欠陥が検出されなかった場合（図８に示すＳＴ３において「Ｎｏ」の場合）に、当該光学フィルムを製品として出荷する（図８に示すＳＴ４）。
一方、本実施形態に係る光学フィルム１０の製造方法では、検査工程ＳＴ２において光学フィルム１０に存在する欠陥が検出された場合（図８に示すＳＴ３において「Ｙｅｓ」の場合）には、欠陥が発生している光学フィルム１０が製品に混ざるリスクを確実に防止するため、当該光学フィルムを一律に廃棄する（図８に示すＳＴ７）ことも可能である。しかしながら、図８に示す例では、好ましい態様として、製品歩留まりを少しでも向上させるために、検査工程ＳＴ２において光学フィルム１０に存在する欠陥が検出された場合であっても、所定の条件に合致すればその一部を製品として出荷する態様を採用している。具体的には、検査工程ＳＴ２において光学フィルム１０に存在する欠陥が検出された場合（図８に示すＳＴ３において「Ｙｅｓ」の場合）には、当該光学フィルム１０をオペレータが目視で検査する目視検査を行う（図８に示すＳＴ５）。そして、その目視検査でも欠陥が検出された場合（図８に示すＳＴ６で「Ｙｅｓ」の場合）には、当該光学フィルム１０を廃棄する（図８に示すＳＴ７）。一方、目視検査では欠陥が検出されなかった場合（図８に示すＳＴ６で「Ｎｏ」の場合）には、検査工程ＳＴ２での欠陥検出が過検出であったと判断し、当該光学フィルム１０を製品として出荷する（図８に示すＳＴ４）。
以上のように、本実施形態に係る光学フィルム１０の製造方法によれば、検査工程ＳＴ２において、枚葉状の光学フィルム１０に発生したクラック等の欠陥を検査装置１００による検査方法を用いて精度良く検出でき、欠陥を検出した場合には基本的に当該光学フィルム１０を廃棄するため、欠陥が発生している光学フィルム１０が製品に混ざるリスクを低減可能である。
一方、本実施形態に係る光学フィルム１０の製造方法では、検査工程ＳＴ２において光学フィルム１０に存在する欠陥が検出された場合（図８に示すＳＴ３において「Ｙｅｓ」の場合）には、欠陥が発生している光学フィルム１０が製品に混ざるリスクを確実に防止するため、当該光学フィルムを一律に廃棄する（図８に示すＳＴ７）ことも可能である。しかしながら、図８に示す例では、好ましい態様として、製品歩留まりを少しでも向上させるために、検査工程ＳＴ２において光学フィルム１０に存在する欠陥が検出された場合であっても、所定の条件に合致すればその一部を製品として出荷する態様を採用している。具体的には、検査工程ＳＴ２において光学フィルム１０に存在する欠陥が検出された場合（図８に示すＳＴ３において「Ｙｅｓ」の場合）には、当該光学フィルム１０をオペレータが目視で検査する目視検査を行う（図８に示すＳＴ５）。そして、その目視検査でも欠陥が検出された場合（図８に示すＳＴ６で「Ｙｅｓ」の場合）には、当該光学フィルム１０を廃棄する（図８に示すＳＴ７）。一方、目視検査では欠陥が検出されなかった場合（図８に示すＳＴ６で「Ｎｏ」の場合）には、検査工程ＳＴ２での欠陥検出が過検出であったと判断し、当該光学フィルム１０を製品として出荷する（図８に示すＳＴ４）。
以上のように、本実施形態に係る光学フィルム１０の製造方法によれば、検査工程ＳＴ２において、枚葉状の光学フィルム１０に発生したクラック等の欠陥を検査装置１００による検査方法を用いて精度良く検出でき、欠陥を検出した場合には基本的に当該光学フィルム１０を廃棄するため、欠陥が発生している光学フィルム１０が製品に混ざるリスクを低減可能である。
【符号の説明】
【0058】
１・・・第１光源
２・・・第２光源
３・・・撮像部
４・・・画像処理部
１０・・・光学フィルム
１００・・・検査装置
Ｃ・・・クラック
２・・・第２光源
３・・・撮像部
４・・・画像処理部
１０・・・光学フィルム
１００・・・検査装置
Ｃ・・・クラック
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】