特開2025-169071基板処理装置および基板処理方法

発明の名称　基板処理装置および基板処理方法

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 60 位（418件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 69 位（323件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2025-169071

公報発行日　2025年11月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-169071

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2025-169071「基板処理装置および基板処理方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録