特開2025-170222湿式化学半導体処理のためのクリーンワークピースローダおよび端部保護ホルダ

発明の名称　湿式化学半導体処理のためのクリーンワークピースローダおよび端部保護ホルダ

出願人　エーエスエム・ネックス・インコーポレイテッド　（識別番号 518462167）

　　　　特許公開件数ランキング 11770 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9051 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2025-170222

公報発行日　2025年11月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-170222

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