特開 2025-17513 スクリュー圧縮機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025017513

(43)【公開日】2025-02-06

(54)【発明の名称】スクリュー圧縮機

(51)【国際特許分類】

   F04C 18/16 20060101AFI20250130BHJP

   F04C 29/00 20060101ALI20250130BHJP

【ＦＩ】

F04C18/16 B

F04C29/00 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023120587

(22)【出願日】2023-07-25

(71)【出願人】

【識別番号】502129933

【氏名又は名称】株式会社日立産機システム

(74)【代理人】

【識別番号】110001829

【氏名又は名称】弁理士法人開知

(72)【発明者】

【氏名】土屋 豪

(72)【発明者】

【氏名】千葉 紘太郎

(72)【発明者】

【氏名】矢部 利明

(72)【発明者】

【氏名】酒井 航平

(72)【発明者】

【氏名】二階堂 将

(72)【発明者】

【氏名】佐野 笙太郎

【テーマコード（参考）】

3H129

【Ｆターム（参考）】

3H129AA03

3H129AA17

3H129AB01

3H129BB16

3H129BB43

3H129CC05

3H129CC24

(57)【要約】

【課題】ロータの全巻角が小さい条件にて、吸入量を増加することができるスクリュー圧縮機を提供する。
【解決手段】スクリュー圧縮機は、雄ロータ１Ａの複数の歯溝に形成された複数の雄ロータ側作動室１０Ａと、雌ロータ１Ｂの複数の歯溝に形成された複数の雌ロータ側作動室１０Ｂとを備える。複数の雌ロータ側作動室１０Ｂのうち最大容積を有するものが存在する雌ロータ１Ｂの回転角範囲は、雌ロータ１Ｂの歯数から雄ロータ１Ａの歯数を差し引いた数と雌ロータ１Ｂの歯溝の周方向幅に対応する雌ロータ１Ｂの回転角範囲との積より大きくなっている。雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミングは、雌ロータ側作動室１０Ｂの容積が最大となる基準タイミングより遅く、かつ、雌ロータ側作動室１０Ｂ内にて雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂから吸入側端面１９Ｂまで伝播する圧力波の伝播時間が経過する前に設定されている。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の歯溝が形成された歯部を有する雄ロータと、
複数の歯溝が形成された歯部を有し、前記雄ロータと噛み合うように配置された雌ロータと、
前記雄ロータの前記複数の歯溝に形成された複数の雄ロータ側作動室と、
前記雌ロータの前記複数の歯溝に形成された複数の雌ロータ側作動室とを備えたスクリュー圧縮機において、
前記複数の雌ロータ側作動室のうち最大容積を有するものが存在する前記雌ロータの回転角範囲は、前記雌ロータの歯数から前記雄ロータの歯数を差し引いた数と前記雌ロータの前記歯溝の周方向幅に対応する前記雌ロータの回転角範囲との積より大きくなっており、
前記雌ロータ側作動室の吸入完了タイミングは、前記雌ロータ側作動室の容積が最大となる基準タイミングより遅く、かつ、前記雌ロータ側作動室内にて前記雌ロータの前記歯部の吐出側端面から吸入側端面まで伝播する圧力波の伝播時間が経過する前に設定されたことを特徴とするスクリュー圧縮機。

【請求項2】

請求項１に記載のスクリュー圧縮機において、
前記雄ロータ側作動室の吸入完了タイミングは、前記雄ロータ側作動室の容積が最大となる基準タイミングより遅く、かつ、前記雄ロータ側作動室内にて前記雄ロータの前記歯部の吐出側端面から吸入側端面まで伝播する圧力波の伝播時間が経過する前に設定されたことを特徴とするスクリュー圧縮機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スクリュー圧縮機に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１のスクリュー圧縮機は、複数の歯溝が形成された歯部を有する雄ロータと、複数の歯溝が形成された歯部を有し、雄ロータと噛み合うように配置された雌ロータと、雄ロータの複数の歯溝に形成された複数の雄ロータ側作動室と、雌ロータの複数の歯溝に形成された複数の雌ロータ側作動室とを備える。

【0003】

雄ロータ側作動室及び雌ロータ側作動室は、雄ロータ及び雌ロータの回転に伴って移動し、容積が変化する。雄ロータ側作動室及び雌ロータ側作動室は、吸入ポート（開口）を介し吸入流路から気体を吸入する吸入行程と、容積が縮小して気体を圧縮する圧縮行程と、吐出ポート（開口）を介し吐出流路へ圧縮気体を吐出する吐出行程を順次行うようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平０６－２８８３６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１における雌ロータ側作動室の吸入完了タイミングは、雌ロータ側作動室の容積が最大となる基準タイミングに対し、同じであるか若しくは早くしているが、遅くすれば、吸入気体の慣性の作用によって吸入量を増加することが可能である。しかし、下記の式（１）の条件を満たさなければ、雌ロータ側作動室の吸入完了タイミングを基準タイミングより遅くすることができない。
δｆ＞（Ｚｆ－Ｚｍ）×（３６０／Ｚｆ） ・・・（１）

【0006】

式（１）のδｆ［度］は、複数の雌ロータ側作動室のうち最大容積を有するものが存在する雌ロータの回転角範囲（以降、雌ロータ側最大容積存在角という）である。雄ロータ側ボアの壁面と雌ロータ側ボアの壁面との境界線を低圧側カスプ及び高圧側カスプと称し、低圧側カスプと高圧側カスプの間の周方向幅に対応する雌ロータの回転角範囲φＣｆ［度］を定義する。この雌ロータの回転角範囲φＣｆでは、雄ロータの歯が存在するため、雌ロータ側作動室の容積が最大にならない。そのため、雌ロータ側最大容積存在角δｆは、雌ロータ側ボアの壁面の周方向幅に対応する雌ロータの回転角範囲φＢｆ［度］（但し、φＢｆ＝３６０－φＣｆ）から雌ロータの全巻角φＡｆ［度］を差し引くことにより、求められる。雌ロータ側最大容積存在角δｆは、雌ロータの全巻角φＡｆが小さくなるほど大きくなる。

【0007】

式（１）の条件は、雌ロータ側最大容積存在角δｆが、雌ロータの歯数Ｚｆから雄ロータの歯数Ｚｍを差し引いた数（Ｚｆ－Ｚｍ）と雌ロータの歯溝の周方向幅に対応する雌ロータの回転角範囲（３６０／Ｚｆ）との積より大きいというものである。雌ロータの全巻角φＡｆが大きくて式（１）の条件を満たさなければ、雌ロータ側作動室の容積が最大となるとき、雌ロータ側作動室と連通する雄ロータ側作動室が圧縮行程にある。そのため、雌ロータ側作動室を介し雄ロータ側作動室の圧縮空気が排出される可能性がある。したがって、雌ロータ側作動室の吸入完了タイミングを基準タイミングより遅くすることができない。

【0008】

一方、雌ロータの全巻角φＡｆが小さくて式（１）の条件を満たせば、雌ロータ側作動室の吸入完了タイミングを基準タイミングより遅くして、吸入量を増加することができる。しかし、雌ロータ側作動室が雌ロータの歯部の吐出側端面に到達したときに、雌ロータの歯部の吐出側端面に対向するケーシングの内壁で反射されて雌ロータの歯部の吸入側端面に向かう圧力波（逆流）が生じる。そのため、雌ロータ側作動室の吸入完了タイミングが遅すぎれば、前述した圧力波が吸入ポートを介し排出されて、吸入量が減少する。

【0009】

本発明は、上記事柄に鑑みてなされたものであり、雌ロータの全巻角が小さい条件にて、吸入量を増加することを課題の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記課題を解決するために、特許請求の範囲に記載の構成を適用する。本発明は、上記課題を解決するための手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、複数の歯溝が形成された歯部を有する雄ロータと、複数の歯溝が形成された歯部を有し、前記雄ロータと噛み合うように配置された雌ロータと、前記雄ロータの前記複数の歯溝に形成された複数の雄ロータ側作動室と、前記雌ロータの前記複数の歯溝に形成された複数の雌ロータ側作動室とを備えたスクリュー圧縮機において、前記複数の雌ロータ側作動室のうち最大容積を有するものが存在する前記雌ロータの回転角範囲は、前記雌ロータの歯数から前記雄ロータの歯数を差し引いた数と前記雌ロータの前記歯溝の周方向幅に対応する前記雌ロータの回転角範囲との積より大きくなっており、前記雌ロータ側作動室の吸入完了タイミングは、前記雌ロータ側作動室の容積が最大となる基準タイミングより遅く、かつ、前記雌ロータ側作動室内にて前記雌ロータの前記歯部の吐出側端面から吸入側端面まで伝播する圧力波の伝播時間が経過する前に設定される。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、ロータの全巻角が小さい条件にて、吸入量を増加することできる。

【0012】

なお、上記以外の課題、構成及び効果は、以下の説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施形態におけるスクリュー圧縮機の構造を表す断面図である。

【図2】図１の矢視II－IIによる断面図である。

【図3】図２の矢視III－IIIによる断面図である。

【図4】図２の矢視IV－IVによる断面図である。

【図5】本発明の一実施形態における複数の雌ロータ側作動室を吸入ポートの一部と共に表す雌ロータの歯部の展開図である。

【図6】本発明の一実施形態における複数の雄ロータ側作動室を吸入ポートの一部と共に表す雄ロータの歯部の展開図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明の一実施形態を、図面を参照しつつ説明する。

【0015】

図１は、本実施形態におけるスクリュー圧縮機の構造を表す断面図（図２の矢視Ｉ－Ｉによる断面図）であり、図２は、図１の矢視II－IIによる断面図である。図３は、図２の矢視III－IIIによる断面図であり、図４は、図２の矢視IV－IVによる断面図である。なお、図４においては、便宜上、吐出ポート及び吐出流路等の図示を省略している。

【0016】

本実施形態のスクリュー圧縮機は、雄ロータ１Ａと、雄ロータ１Ａと噛み合うように配置された雌ロータ１Ｂと、雄ロータ１Ａ及び雌ロータ１Ｂを収納するケーシング２とを備える。

【0017】

雄ロータ１Ａは、複数（本実施形態では６つ）の螺旋状の歯とそれらの間に形成された複数の歯溝を有する歯部３Ａと、歯部３Ａの軸方向一方側（図１及び図２の左側）に接続された吸入側軸部４Ａと、歯部３Ａの軸方向他方側（図１及び図２の右側）に接続された吐出側軸部５Ａとを備える。雄ロータ１Ａの吸入側軸部４Ａは吸入側軸受６Ａで回転可能に支持され、雄ロータ１Ａの吐出側軸部５Ａは吐出側軸受７Ａで回転可能に支持されている。

【0018】

雌ロータ１Ｂは、複数（本実施形態では８つ）の螺旋状の歯とそれらの間に形成された複数の歯溝を有する歯部３Ｂと、歯部３Ｂの軸方向一方側（図２の左側）に接続された吸入側軸部４Ｂと、歯部３Ｂの軸方向他方側（図２の右側）に接続された吐出側軸部５Ｂとを有する。雌ロータ１Ｂの吸入側軸部４Ｂは吸入側軸受６Ｂで回転可能に支持され、雌ロータ１Ｂの吐出側軸部５Ｂは吐出側軸受７Ｂで回転可能に支持されている。

【0019】

雄ロータ１Ａの吸入側軸部４Ａは、ケーシング２を貫通して、モータの回転軸（図示せず）に連結されている。これにより、モータの回転力が雄ロータ１Ａに伝達されて、雄ロータ１Ａが回転する。雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂは、雄ロータ１Ａの歯部３Ａと接触して噛み合っている。あるいは、雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂは、雄ロータ１Ａの歯部３Ａと非接触で噛み合うように配置されているものの、雄ロータ１Ａの吐出側軸部５Ａ及び雌ロータ１Ｂの吐出側軸部５Ｂには一対のタイミングギヤ（図示せず）が設けられ、一対のタイミングギヤが互いに噛み合っている。これにより、雄ロータ１Ａの回転力が雌ロータ１Ｂに伝達されて、雌ロータ１Ｂが回転する。

【0020】

ケーシング２は、例えば、メインケーシング８と、メインケーシング８に接続された吸入側ケーシング９とで構成されている。メインケーシング８は、雄ロータ１Ａの歯部３Ａを収納して、その複数の歯溝に複数の雄ロータ側作動室１０Ａを形成する雄ロータ側ボア１１Ａと、雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂを収納して、その複数の歯溝に複数の雌ロータ側作動室１０Ｂを形成する雌ロータ側ボア１１Ｂとを有する。雄ロータ側ボア１１Ａ及び雌ロータ側ボア１１Ｂは、互いに部分的に重なっており、それらの壁面の境界線として低圧側カスプ１２及び高圧側カスプ１３を有する。

【0021】

雄ロータ側作動室１０Ａ及び雌ロータ側作動室１０Ｂは、雄ロータ１Ａ及び雌ロータ１Ｂの回転に伴って移動し、容積が変化する。雄ロータ側作動室１０Ａ及び雌ロータ側作動室１０Ｂは、吸入ポート１４（開口）を介し吸入流路１５から気体（例えば空気）を吸入する吸入行程と、容積が縮小して気体を圧縮する圧縮行程と、吐出ポート１６（開口）を介し吐出流路１７へ圧縮気体（例えば圧縮空気）を吐出する吐出行程を順次行うようになっている。

【0022】

本実施形態では、圧縮時間の短縮による漏れ時間の短縮などの理油により、雄ロータ１Ａの全巻角φＡｆ及び雌ロータ１Ｂの全巻角φＡｍを小さくしており、上記の式（１）の条件を満たしている。例えば、雌ロータ１Ｂの全巻角φＡｍ＝１５０、雌ロータ側ボア１１Ｂの壁面の周方向幅に対応する雌ロータ１Ｂの回転角範囲φＢｆ＝２８５であるから、雌ロータ側最大容積存在角δｆ＝１３５である。雌ロータ１Ｂの歯数Ｚｆから雄ロータ１Ａの歯数Ｚｍを差し引いた数（Ｚｆ－Ｚｍ）と雌ロータ１Ｂの歯溝の周方向幅に対応する雌ロータ１Ｂの回転角範囲（３６０／Ｚｆ）との積は９０であるから、式（１）の条件を満たしている。そのため、雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングを基準タイミングより遅くすることが可能であり、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミングも基準タイミングより遅くすることが可能である。

【0023】

まず、本実施形態の雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミング（言い換えれば、吸入側ケーシング９の閉止部２０により、雌ロータ側作動室１０Ｂに対して吸入ポート１４を閉じるタイミング）について、図５を用いて説明する。

【0024】

図５は、本実施形態における複数の雌ロータ側作動室１０Ｂを吸入ポート１４の一部と共に表す雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの展開図である。なお、図５の縦方向は、雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの軸方向である。図５の横方向は、雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの周方向であり、その位置を雌ロータ１Ｂの回転角（詳細には、雄ロータ１Ａの回転中心と雌ロータ１Ｂの回転中心を結ぶ直線の位置を０とする回転角）で示している。図５において、複数の斜め線は、複数の雌ロータ側作動室１０Ｂを区画する複数の歯先を示し、複数の雌ロータ側作動室１０Ｂのうちのハッチングされたものは、吸入完了状態を示している。

【0025】

本実施形態では、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミングは、雌ロータ側作動室１０Ｂの容積が最大となる基準タイミング（言い換えれば、雌ロータ側作動室１０Ｂの容積が最大でない状態から最大である状態に変わる基準タイミング）より遅く、かつ、雌ロータ側作動室１０Ｂ内にて雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂから吸入側端面１９Ｂまで伝播する圧力波の伝播時間が経過する前に設定されている。その詳細を説明する。

【0026】

雌ロータ側作動室１０Ｂを区画する先行歯先及び後続歯先のうちの先行歯先が、雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂにて低圧側カスプ１２に到達したときに、雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂに対向するメインケーシング８の内壁で反射されて雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吸入側端面１９Ｂに向かう圧力波（逆流）が生じるものとする。雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂから吸入側端面１９Ｂまで伝播する圧力波の伝播時間は、雌ロータ１Ｂの歯溝長Ｌｆを音速ａで割ることにより、求められる。そのため、低圧側カスプ１２の位置を基準とし、圧力波が雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂから吸入側端面１９Ｂに到達するまでに進行する雌ロータ１Ｂの回転角φＬＭＴｍ（以降、雌ロータ側逆流限界角φＬＭＴｍという）は、下記の式（２）で求められる。式中のωｆは、雌ロータ１Ｂの角速度である。
φＬＭＴｆ＝（Ｌｆ／ａ）×ωｆ ・・・（２）

【0027】

図５で示すように、低圧側カスプ１２の位置を基準とし、雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂにおける先行歯先の位置で設定されて、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入が完了する雌ロータの回転角φＤｆ（以降、雌ロータ側吸入完了角φＤｆという）を想定する。雌ロータ側吸入完了角φＤｆは、雄ロータ側逆流限界角φＬＭＴｆより小さく設定されている。これにより、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミングは、雌ロータ側作動室１０Ｂ内にて雌ロータ１Ｂの歯部３Ｂの吐出側端面１８Ｂから吸入側端面１９Ｂまで伝播する圧力波の伝播時間（Ｌｆ／ａ）が経過する前に設定される。

【0028】

次に、本実施形態の雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミング（言い換えれば、吸入側ケーシング９の閉止部２０により、雄ロータ側作動室１０Ａに対して吸入ポート１４を閉じるタイミング）について、図６を用いて説明する。

【0029】

図６は、本実施形態における複数の雄ロータ側作動室１０Ａを吸入ポート１４の一部と共に表す雄ロータ１Ａの歯部３Ａの展開図である。なお、図６の縦方向は、雄ロータ１Ａの歯部３Ａの軸方向である。図６の横方向は、雄ロータ１Ａの歯部３Ａの周方向であり、その位置を雄ロータ１Ａの回転角（詳細には、雄ロータ１Ａの回転中心と雌ロータ１Ｂの回転中心を結ぶ直線の位置を０とする回転角）で示している。図６において、複数の斜め線は、複数の雄ロータ側作動室１０Ａを区画する複数の歯先を示し、複数の雄ロータ側作動室１０Ａのうちのハッチングされたものは、吸入完了状態を示している。

【0030】

本実施形態では、雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングは、雄ロータ側作動室１０Ａの容積が最大となる基準タイミング（言い換えれば、雄ロータ側作動室１０Ａの容積が最大でない状態から最大である状態に変わる基準タイミング）より遅く、かつ、雄ロータ側作動室１０Ａ内にて雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吐出側端面１８Ａから吸入側端面１９Ａまで伝播する圧力波の伝播時間が経過する前に設定されている。その詳細を説明する。

【0031】

雄ロータ側作動室１０Ａを区画する先行歯先及び後続歯先のうちの先行歯先が、雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吐出側端面１８Ａにて低圧側カスプ１２に到達したときに、雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吐出側端面１８Ａに対向するメインケーシング８の内壁で反射されて雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吸入側端面１９Ａに向かう圧力波（逆流）が生じるものとする。雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吐出側端面１８Ａから吸入側端面１９Ａまで伝播する圧力波の伝播時間は、雄ロータ１Ａの歯溝長Ｌｍを音速ａで割ることにより、求められる。そのため、低圧側カスプ１２の位置を基準とし、圧力波が雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吸入側端面１９Ａに到達するまでに進行する雄ロータ１Ａの回転角φＬＭＴｍ（以降、雄ロータ側逆流限界角φＬＭＴｍという）は、下記の式（３）で求められる。式中のωｍは、雄ロータ１Ａの角速度である。
φＬＭＴｍ＝（Ｌｍ／ａ）×ωｍ ・・・（３）

【0032】

図６で示すように、低圧側カスプ１２の位置を基準とし、雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吐出側端面１８Ａにおける先行歯先の位置で設定されて、雄ロータ側作動室１０Ａの吸入が完了する雄ロータ１Ａの回転角φＤｍ（以降、雄ロータ側吸入完了角φＤｍという）を想定する。雄ロータ側吸入完了角φＤｍは、雄ロータ側逆流限界角φＬＭＴｍより小さく設定されている。これにより、雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングは、雄ロータ側作動室１０Ａ内にて雄ロータ１Ａの歯部３Ａの吐出側端面１８Ａから吸入側端面１９Ｂまで伝播する圧力波の伝播時間（Ｌｍ／ａ）が経過する前に設定されている。

【0033】

以上のように本実施形態においては、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミングを、基準タイミングより遅く、かつ、圧力波の伝播時間（Ｌｆ／ａ）が経過する前に設定している。また、雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングを、基準タイミングより遅く、かつ、圧力波の伝播時間（Ｌｍ／ａ）が経過する前に設定している。これにより、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミング及び雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングを基準タイミングより遅くしない場合と比べ、吸入気体の慣性の作用によって吸入量を増加することができる。また、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミング及び雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングを圧力波の伝播時間の経過後に設定する場合と異なり、圧力波が吸入ポート１４を介し排出されないので、吸入量の減少を回避することができる。したがって、ロータの全巻角が小さい条件にて、吸入量を増加することができる。

【0034】

なお、上記一実施形態においては、雌ロータ側作動室１０Ｂの吸入完了タイミングだけでなく、雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングも、基準タイミングより遅く、かつ、圧力波の伝播時間が経過する前に設定した場合を例にとって説明したが、これに限られない。上記一実施形態と比べて全体の吸入量が減少するものの、雄ロータ側作動室１０Ａの吸入完了タイミングを、圧力波の伝播時間が経過した後に設定してもよいし、あるいは、基準タイミングに対し同じであるか若しくは早くしてもよい。

【符号の説明】

【0035】

１Ａ…雄ロータ、１Ｂ…雌ロータ、３Ａ，３Ｂ…歯部、１０Ａ…雄ロータ側作動室、１０Ｂ…雌ロータ側作動室、１１Ａ…雄ロータ側ボア、１１Ｂ…雌ロータ側ボア、１８Ａ，１８Ｂ…吐出側端面、１９Ａ，１９Ｂ…吸入側端面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】