特開2025-176267静電チャック

発明の名称　静電チャック

出願人　ＴＯＴＯ株式会社　（識別番号 10087）

　　　　特許公開件数ランキング 58 位（434件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 123 位（224件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2025-176267

公報発行日　2025年12月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-176267

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