特開2025-184018接合体、および、静電チャック

発明の名称　接合体、および、静電チャック

出願人　日本特殊陶業株式会社　（識別番号 4547）

　　　　特許公開件数ランキング 80 位（117件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 132 位（70件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2025-184018

公報発行日　2025年12月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-184018

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