特開 2025-184805出願番号 特願 2025-81418
感光性樹脂組成物、その硬化膜、及び該硬化膜を含む半導体パッケージ
公報発行日 2025年12月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2025-184805 ログイン済みの方はこのURLへ
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技術分野
感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物の硬化膜、及び該硬化膜を含む半導体パッケージ
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】低温でイミド化しても金属との接着強度が高い硬化膜をもたらす感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】テトラカルボン酸無水物由来の構成単位（Ａ）及びジアミン由来の構成単位（Ｂ）を有するポリアミック酸樹脂と、非イオン系光塩基発生剤とを含む、感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
また、感光性樹脂組成物には、配線等の半導体材料に使用されている金属とポリイミド系樹脂との優れた接着強度も求められている。しかし、特許文献１では、それらの特性の検討はなされていない。
本発明は、低温でイミド化しても金属との接着強度が高い硬化膜をもたらす感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者らは、課題を解決するために鋭意検討した結果、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、以下の好適な実施形態を提供するものである。
［１］テトラカルボン酸無水物由来の構成単位（Ａ）及びジアミン由来の構成単位（Ｂ）を有するポリアミック酸樹脂と、非イオン系光塩基発生剤とを含む、感光性樹脂組成物。
［２］前記構成単位（Ｂ）は、下記式（Ｂ１）：
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、低温でイミド化しても金属との接着強度が高い硬化膜をもたらす感光性樹脂組成物を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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