特開 2025-19499 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025019499

(43)【公開日】2025-02-07

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20250131BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20250131BHJP

   B41J 2/015 20060101ALI20250131BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 305

B41J2/01 451

B41J2/14 613

B41J2/015 101

B41J2/14 611

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023123134

(22)【出願日】2023-07-28

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】森 政貴

(72)【発明者】

【氏名】鷹合 仁司

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA21

2C056EA24

2C056EB08

2C056EB30

2C056FA04

2C056FA10

2C056HA05

2C056KC14

2C057AF82

2C057AF93

2C057AF99

2C057AG29

2C057AG44

2C057AG55

2C057AG68

2C057AG75

2C057AG84

2C057AG91

2C057AG92

2C057AG93

2C057AK07

2C057AL25

2C057AN01

2C057AP25

2C057AQ02

2C057AR08

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】水分の吸着を抑制しつつ、温度検出用の抵抗体へのノイズの影響を低減させる。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の圧力室を含む圧力室列が設けられた圧力室基板と、複数の個別電極と、複数の個別電極に積層され、複数の圧力室の内部の液体に圧力を付与するために駆動される圧電体と、圧電体に積層される少なくとも１つの電極を含む共通電極と、積層方向における圧電体の下側において、複数の個別電極と重ならない位置に配置され、複数の個別電極と共通電極と同じ材料で形成され、複数の圧力室の内部の液体の温度に応じて抵抗値が変化する検出抵抗体と、を備え、複数の圧力室の長手方向と積層方向とに平行な平面で圧力室が存在する位置で圧力室基板を切断した断面において、検出抵抗体は、共通電極と重なる重複領域と、共通電極と重ならない非重複領域とを含む。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体吐出ヘッドであって、
第１方向に配列された複数の圧力室を含む圧力室列が設けられた圧力室基板と、
前記複数の圧力室に個別に設けられる複数の個別電極と、
前記複数の個別電極にそれぞれ積層され、前記複数の圧力室の内部の液体に圧力を付与するために駆動される圧電体と、
前記複数の圧力室に共通に設けられ、前記圧電体に積層される少なくとも１つの電極を含む共通電極と、
前記複数の個別電極と前記圧電体と前記共通電極とが積層される積層方向における前記圧電体の下側において、前記複数の個別電極と重ならない位置に配置され、前記複数の個別電極と前記共通電極との少なくともいずれかと同じ材料で形成され、前記複数の圧力室の内部の液体の温度に応じて抵抗値が変化する検出抵抗体と、
を備え、
前記複数の圧力室の長手方向と前記積層方向とに平行な平面で圧力室が存在する位置で前記圧力室基板を切断した断面において、前記検出抵抗体は、前記共通電極と重なる重複領域と、前記共通電極と重ならない非重複領域とを含む、
液体吐出ヘッド。

【請求項2】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記重複領域は、前記長手方向において前記非重複領域より前記圧力室に近い位置にある、
液体吐出ヘッド。

【請求項3】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記重複領域の前記長手方向における長さが、前記非重複領域の前記長手方向における長さより長い、
液体吐出ヘッド。

【請求項4】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記重複領域の前記長手方向における長さが、前記非重複領域の前記長手方向における長さより短い、
液体吐出ヘッド。

【請求項5】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記非重複領域と重なる領域において、前記圧電体の前記積層方向の上側には、前記共通電極と同じ材料で形成されており、前記共通電極と電気的に接続されていない非電極層が設けられている、
液体吐出ヘッド。

【請求項6】

請求項５に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記非電極層が設けられた範囲の層の厚みは、前記共通電極が設けられた範囲の層の厚みと同じである、
液体吐出ヘッド。

【請求項7】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記圧力室の前記長手方向と前記積層方向とに平行な平面で前記圧力室が存在しない位置で前記圧力室基板を切断した断面において、前記検出抵抗体は前記非重複領域を含まない、
液体吐出ヘッド。

【請求項8】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
配線基板をさらに有し、
前記検出抵抗体は、
前記圧力室列の近傍において前記長手方向に沿って延びており、一端が前記配線基板に接続する第１部分と、
前記圧力室列に対して前記第１部分が配置されている側とは反対の側であって、前記圧力室の近傍において前記長手方向に沿って延びており、一端が前記配線基板に接続する第２部分と、
前記圧力室の近傍において、屈曲することなく前記第１方向に沿って延びており、前記第１部分の他端と前記第２部分の他端とをつなぐ第３部分と、
を含んでいる、
液体吐出ヘッド。

【請求項9】

液体吐出装置であって、
請求項１から８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記検出抵抗体の抵抗値を取得する抵抗値取得部と、
前記抵抗値取得部が取得した抵抗値に基づいて前記圧力室の近傍の温度を取得する温度取得部と、
を備える液体吐出装置。

【請求項10】

請求項９に記載の液体吐出装置であって、
前記温度取得部が取得した温度に基づいて、前記複数の個別電極に印加する駆動波形を決定する駆動波形決定部、
をさらに備える液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、圧電素子を備える液体吐出ヘッドにおいて、圧力室内の液体の温度を検出するため、温度変化に応じて抵抗値が変化する抵抗体の配線を圧力室の近傍に配置することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－１２４５９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の技術においては、抵抗体が圧電体に覆われた状態で配置されている（図５を参照）。この場合、圧電素子を駆動させるための駆動配線を流れる駆動電流によるノイズの影響を受ける。ノイズの影響を相対的に低減させるため、圧電体に積層される共通電極の配置する範囲を限定して、抵抗体が配置された位置に共通電極が設けられた範囲が重ならないようにすることが考えられる。ここで、圧電体の上部に設けられている共通電極は、圧電体に水分が吸着されることを抑制する機能を有する。水分の吸着を抑制する観点から、共通電極の範囲をむやみに限定することは望ましくない。よって、水分の吸着を抑制しつつ、抵抗体へのノイズの影響を低減させる技術が望まれていた。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の圧力室を含む圧力室列が設けられた圧力室基板と、前記複数の圧力室に個別に設けられる複数の個別電極と、前記複数の個別電極にそれぞれ積層され、前記複数の圧力室の内部の液体に圧力を付与するために駆動される圧電体と、前記複数の圧力室に共通に設けられ、前記圧電体に積層される少なくとも１つの電極を含む共通電極と、前記複数の個別電極と前記圧電体と前記共通電極とが積層される積層方向における前記圧電体の下側において、前記複数の個別電極と重ならない位置に配置され、前記複数の個別電極と前記共通電極との少なくともいずれかと同じ材料で形成され、前記複数の圧力室の内部の液体の温度に応じて抵抗値が変化する検出抵抗体と、を備え、前記複数の圧力室の長手方向と前記積層方向とに平行な平面で圧力室が存在する位置で前記圧力室基板を切断した断面において、前記検出抵抗体は、前記共通電極と重なる重複領域と、前記共通電極と重ならない非重複領域とを含む。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】液体吐出装置の概略構成を示す模式図である。

【図2】制御部と液体吐出ヘッドの機能についての概略構成を表すブロック図である。

【図3】液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。

【図4】液体吐出ヘッドの構成を平面視で示す説明図である。

【図5】図４の液体吐出ヘッドのＶ－Ｖ断面を示す断面図である。

【図6】第１圧力室列における圧電素子の近傍を拡大した断面図である。

【図7】図４の液体吐出ヘッドのＶＩＩ－ＶＩＩ断面を示す断面図である。

【図8】他の実施形態１にかかる圧電素子の近傍を拡大した断面図である。

【図9】他の実施形態２にかかる圧電素子の近傍を拡大した断面図である。

【図10】他の実施形態３にかかる第２電極の配置についての説明図である。

【図11】他の実施形態６にかかる液体吐出ヘッドの構成を平面視で表す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

Ａ．実施形態：
図１は、液体吐出ヘッド１００を備える液体吐出装置１の概略構成を示す模式図である。図１において、理解を容易にするためＸＹＺ直交座標系を設定する。Ｘ軸およびＹ軸は水平面に沿っており、Ｚ軸は鉛直方向に沿っている。なお、液体吐出装置１の載置方向によってはこの限りではない。直交とは、９０°±１０°の範囲を含む。図２以降の図面においても同様にＸＹＺ直交座標系が設定されている。

【0008】

液体吐出装置１は、液体の一例としてインクを吐出することによって媒体である印刷用紙Ｐ上に画像を印刷するインクジェットプリンターである。液体吐出装置１がインクを吐出する対象である媒体は、印刷用紙Ｐに限らず、プラスチック、フィルム、繊維、布帛、皮革、金属、ガラス、木材、セラミックス等であってもよい。

【0009】

液体吐出装置１は、液体を吐出する液体吐出ヘッド１００と、液体容器３１０と、ヘッド移動機構３２０と、搬送機構３３０と、制御部５００とを備える。

【0010】

液体吐出ヘッド１００は、液体を吐出する複数のノズル２１を有し、液体容器３１０から供給された液体を印刷用紙Ｐ上に吐出する。複数のノズル２１は、Ｙ軸方向に沿って配列されている。液体吐出ヘッド１００の構造の詳細については後述する。

【0011】

液体容器３１０は液体吐出ヘッド１００から吐出される液体を貯留する。液体容器３１０が貯留する液体は、樹脂製のチューブ３１２を介して液体吐出ヘッド１００に供給される。液体容器３１０は、例えば、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パックである。

【0012】

ヘッド移動機構３２０は、液体吐出ヘッド１００を搭載するキャリッジ３２２と、キャリッジ３２２が固定されている駆動ベルト３２４と、駆動ベルト３２４を主走査方向に往復移動させる移動用モーター３２６およびプーリー３２７とを備える。移動用モーター３２６が、駆動ベルト３２４を主走査方向に往復移動することにより、キャリッジ３２２および液体吐出ヘッド１００が主走査方向に往復移動する。主走査方向は＋Ｘ方向および－Ｘ方向である。副走査方向は、主走査方向と交差する方向であり、＋Ｙ方向および－Ｙ方向である。図示する例においては、液体がノズル２１から＋Ｚ方向に吐出される。

【0013】

搬送機構３３０は、３つの搬送ローラー３３２と、搬送ローラー３３２が装着された搬送ロッド３３４と、搬送用モーター３３６とを備える。搬送用モーター３３６が、搬送ロッド３３４を回転駆動することにより、印刷用紙Ｐは副走査方向に搬送される。

【0014】

図２は、制御部５００と液体吐出ヘッド１００の機能についての概略構成を表すブロック図である。液体吐出ヘッド１００は、圧電素子１５０と、温度検出部４１０と、温度検出回路４５０とを備えている。なお、液体吐出ヘッド１００の詳細な構成については後述する。なお、温度検出回路４５０は液体吐出ヘッド１００の外部に設けられていてもよい。

【0015】

圧電素子１５０は、液体吐出ヘッド１００の後述する圧力室内の液体に圧力を付与するための駆動素子である。

【0016】

温度検出部４１０は、温度検出に用いられる抵抗配線により構成されている。本明細書では、温度を検出するために用いられる抵抗配線を検出抵抗体とよぶ。温度検出部４１０の詳細については後述する。

【0017】

温度検出回路４５０は、金属、半導体等の抵抗配線の電気抵抗値が温度によって変化する特性を利用して、圧力室内の液体の温度を推定する。

【0018】

温度検出回路４５０は、電源部４５１と、抵抗測定部４５２とを備えている。電源部４５１は、例えば、定電流回路である。電源部４５１は、温度管理部５５０による制御に従って温度検出部４１０に定電流を流す。抵抗測定部４５２は、電源部４５１が温度検出部４１０に流す定電流の電流値と、温度検出部４１０に含まれる検出抵抗体の両端の電圧値と、に基づいて温度検出部４１０の検出抵抗体の抵抗値を取得する。抵抗測定部４５２は取得した温度検出部４１０の検出抵抗体の抵抗値を温度管理部５５０に出力する。抵抗測定部４５２を「抵抗値取得部」ともよぶ。

【0019】

制御部５００は液体吐出装置１全体を制御する。制御部５００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５０１とメモリー５０２とを備えるマイクロコンピューターである。メモリー５０２には、ＣＰＵ５０１が実行する各種のプログラムが格納されている。また、メモリー５０２には後述する変換テーブルＴＢが格納されている。ＣＰＵ５０１は、メモリー５０２に格納されたプログラムを実行することで、ヘッド制御部５２０、および、温度管理部５５０として機能する。なお、制御部５００は、ＣＰＵに代えて、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の１または複数の処理回路によって実現されてもよい。

【0020】

ヘッド制御部５２０は、キャリッジ３２２の主走査方向に沿った往復動作、印刷用紙Ｐの副走査方向に沿った搬送動作を制御する。また、ヘッド制御部５２０は、圧電素子１５０を駆動することにより、印刷用紙Ｐへの液体の吐出を制御する。本実施形態においては、ヘッド制御部５２０は、温度管理部５５０から取得した圧力室内の液体の温度に基づいて圧電素子１５０を駆動するための駆動波形を決定し、決定した駆動波形の駆動信号で圧電素子１５０を駆動する。よって、圧力室内の液体の温度に応じて圧電素子１５０を駆動することができる。ヘッド制御部５２０を「駆動波形決定部」ともよぶ。

【0021】

温度管理部５５０は、抵抗測定部４５２から取得した温度検出部４１０の検出抵抗体の抵抗値と変換テーブルＴＢとを用いて、圧力室の近傍の温度を取得する。本実施形態において、取得された圧力室の近傍の温度により、圧力室内の液体の温度を検出できる。例えば、取得された圧力室の近傍の温度を圧力室内の液体の温度として扱ってもよい。あるいは、取得された圧力室の近傍の温度からあらかじめ定められた方法で求められる値を圧力室内の液体の温度として扱ってもよい。変換テーブルＴＢは、検出抵抗体の電気抵抗値と温度との対応関係を表す情報を含む。温度管理部５５０は、求めた圧力室内の液体の温度をヘッド制御部５２０に出力する。なお、温度管理部５５０は、温度検出部４１０の検出抵抗体の抵抗値と、あらかじめ記憶部５８４に格納された温度算出式とを用いて、圧力室内の液体の温度を算出してもよい。温度管理部５５０を「温度取得部」ともよぶ。

【0022】

図３から図５を参照して液体吐出ヘッド１００の詳細な構成について説明する。図３は、液体吐出ヘッド１００の構成を示す分解斜視図である。図４は、液体吐出ヘッド１００の構成を平面視で表す説明図である。本明細書において、「平面視」とは、積層方向に沿って対象物を見た状態を意味する。図５は、図４における液体吐出ヘッド１００のＶ－Ｖ断面を示す断面図である。

【0023】

図３に示すように、液体吐出ヘッド１００は、圧力室基板１０と、連通基板１５と、ノズル基板２０と、コンプライアンス基板２５と、保護基板３０と、ケース部材４０と、振動板１３０と、複数の圧電素子１５０と、複数の個別電極１７１と、共通電極１７２と、複数の配線１７５と、配線基板２００と、温度検出部４１０と、温度検出回路４５０とを備える。なお、図３において、振動板１３０（図５を参照）、圧電素子１５０（図５を参照）、温度検出部４１０（図４を参照）、および、温度検出回路４５０（図５を参照）の図示を省略している。

【0024】

圧力室基板１０、連通基板１５、ノズル基板２０、コンプライアンス基板２５、保護基板３０、ケース部材４０、振動板１３０、および、圧電素子１５０は積層部材である。これらの積層部材が積層されることで、液体吐出ヘッド１００が形成される。液体吐出ヘッド１００を形成する積層部材が積層される方向を「積層方向」ともよぶ。本実施形態において積層方向はＺ軸方向と一致する。あらかじめ決められた基準位置に対して、＋Ｚ方向側を「下側」ともよび、－Ｚ方向側を「上側」ともよぶ。

【0025】

圧力室基板１０は、シリコン単結晶基板により形成されている。あるいは、圧力室基板１０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）等の金属、ジルコニア（ＺｒＯ_２）、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）等のセラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、ランタンアルミン酸（ＬａＡｌＯ_３）等の酸化物材料によって形成されてもよい。

【0026】

図４に示すように、圧力室基板１０には複数の圧力室１２が形成されている。圧力室１２は液体に圧力を付与するための空間である。図４に示す例では、圧力室基板１０には、Ｙ軸方向に沿って配列されている複数の圧力室１２を含む第１圧力室列Ｌ１と、Ｙ軸方向に沿って配列されている複数の圧力室１２を含む第２圧力室列Ｌ２と、が形成されている。複数の圧力室１２は配列されている方向（Ｙ軸方向）を配列方向という。第１圧力室列Ｌ１と第２圧力室列Ｌ２とは、配列方向に交差する方向（Ｘ軸方向）に沿って並ぶよう配置されている。第１圧力室列Ｌ１に属する圧力室１２と第２圧力室列Ｌ２に属する圧力室１２とは、配列方向（Ｙ軸方向）における位置が互い違いとなるように配置されている。複数の圧力室１２は配列されている配列方向を「第１方向」ともよぶ。

【0027】

図３に示すように、連通基板１５は圧力室基板１０の下側に配置される。連通基板１５は接着剤により圧力室基板１０の下側の面に固定されている。連通基板１５は、例えば、シリコン単結晶基板によって形成されている。

【0028】

図５に示すように、連通基板１５には、インク供給路１６と、第１共通液室１７と、第２共通液室１８と、ノズル連通口１９とが形成されている。インク供給路１６は連通基板１５をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。インク供給路１６は圧力室基板１０に形成された圧力室１２と第２共通液室１８とを接続する。インク供給路１６は圧力室１２へ液体を導入する流路である。第１共通液室１７は連通基板１５をＺ軸方向に貫通する貫通孔として形成されている。第２共通液室１８は連通基板１５の下面（－Ｚ側の面）に設けられた凹部として形成されている。第２共通液室１８は、インク供給路１６と第１共通液室１７と接続する。第１共通液室１７と第２共通液室１８とは、後述するケース部材４０に形成された液室部４２とともに、共通液室となるマニホールドＭ１を構成する。ノズル連通口１９は連通基板１５をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。ノズル連通口１９は圧力室１２とノズル２１とを接続する。ノズル連通口１９は圧力室１２から液体を排出する流路である。連通基板１５には、ノズル２１の数に対応する数のノズル連通口１９が形成されている。

【0029】

図３に示すように、ノズル基板２０およびコンプライアンス基板２５は、連通基板１５の下側に配置される。ノズル基板２０およびコンプライアンス基板２５は、連通基板１５の下側の面に接着剤により固定されている。ノズル基板２０は、例えば、シリコン単結晶基板により形成されている。ノズル基板２０には複数のノズル２１が形成されている。

【0030】

コンプライアンス基板２５はノズル基板２０の周囲に配置されている。図５に示すように、コンプライアンス基板２５は、連通基板１５に設けられた第１共通液室１７および第２共通液室１８のそれぞれの開口を覆う。コンプライアンス基板２５は、可撓性を有する薄膜からなる封止膜２６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板２７と、を備えている。

【0031】

図５に示すように、保護基板３０は、振動板１３０を介して圧力室基板１０の上側に配置される。保護基板３０は振動板１３０の上側の面に接着剤により固定されている。圧力室基板１０と保護基板３０との間に配置されている振動板１３０については後述する。保護基板３０を形成する材料は圧力室基板１０と同様である。

【0032】

保護基板３０は、圧電素子１５０を保護するとともに、圧力室基板１０および振動板１３０の強度を補強するために設けられている。保護基板３０には、凹部３３と、貫通孔３９と、が形成されている。凹部３３は＋Ｚ側に開口している凹部である。凹部３３は液体の流路と接続されていない。このため、凹部３３には液体が流通しない。貫通孔３９は、保護基板３０をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。貫通孔３９には配線基板２００が挿入される。

【0033】

図３に示すように、ケース部材４０は、連通基板１５の上側に配置される。ケース部材４０は、例えば、樹脂材料によって形成される。

【0034】

図５に示すように、ケース部材４０は、液室部４２と、接続口４３と、２つの液体流通口４４とを有する。前述したように、液室部４２は、連通基板１５に形成された第１共通液室１７と第２共通液室１８とともに共通液室となるマニホールドＭ１を構成する。接続口４３は、ケース部材４０をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。接続口４３には保護基板３０が差し込まれる。液体流通口４４は、ケース部材４０をＺ軸方向に貫通する貫通孔である。液体流通口４４から液体が液体吐出ヘッド１００内部に流入する。

【0035】

振動板１３０は、積層方向に見たときに、複数の圧力室１２と重なる位置において圧力室基板１０の上側に積層されている。振動板１３０は、可撓層１３１と保護層１３３とを有する。可撓層１３１は圧力室基板１０上に成膜される。可撓層１３１は、例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）によって形成される。保護層１３３は可撓層１３１上に成膜される。保護層１３３は、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）によって形成される絶縁膜である。

【0036】

圧電素子１５０は、振動板１３０とともに圧力室基板１０の上側に配置される。より具体的には、圧電素子１５０は、保護基板３０に形成された凹部３３の内部において振動板１３０上に配置されている。圧電素子１５０は振動板１３０を振動させて圧力室１２内の液体に圧力を付与する。圧力室１２内の液体に圧力が付与されると、ノズル連通口１９を介してノズル２１から液体が吐出される。

【0037】

図６は、第１圧力室列Ｌ１における圧電素子１５０の近傍を拡大した断面図である。以下、第１圧力室列Ｌ１の圧電素子１５０を例に説明するが、第２圧力室列Ｌ２も同様の構成を備える。圧電素子１５０は、第１電極１５１と、第２電極１５３と、圧電体１５５とを有する。第１電極１５１と圧電体１５５と第２電極１５３とは積層方向に沿ってこの順で積層されている。

【0038】

第１電極１５１は、複数の圧力室１２に個別に設けられる個別電極である。第１電極１５１は、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の導電材料によって形成される。第１電極１５１は、積層方向に見たときに、振動板１３０の上側の面において対応する圧力室１２に重なる位置に配置されている。図４に示すように、圧力室１２の短手方向（Ｙ軸方向）の幅より第１電極１５１の幅が小さい。

【0039】

図６に示すように、第１電極１５１の＋Ｘ側の端部１５１ａは圧力室１２の＋Ｘ側の端部１２ａより外側（＋Ｘ側）に位置する。第１電極１５１の－Ｘ側の端部１５１ｂは圧力室１２の－Ｘ側の端部１２ｂより外側（－Ｘ側）に位置する。すなわち、圧力室１２の長手方向（Ｘ軸方向）の長さより第１電極１５１の長さが長い。

【0040】

圧電体１５５は、圧力室１２の配列方向（Ｙ軸方向）に沿って延びて配置される。圧電体１５５は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成されるが、ニオブ酸カリウムナトリウム、チタン酸バリウムなどの他の材料で形成されてもよい。圧電体１５５は、例えば、１０００ナノメートルから４０００ナノメートルの範囲の厚さで形成される。

【0041】

図６に示すように、圧電体１５５の＋Ｘ側の端部１５５ａは圧力室１２の＋Ｘ側の端部１２ａより外側（＋Ｘ側）に位置する。圧電体１５５の－Ｘ側の端部１５５ｂは圧力室１２の－Ｘ側の端部１２ｂより外側（－Ｘ側）に位置する。すなわち、圧力室１２の長手方向（Ｘ軸方向）の長さより圧電体１５５の長さが長い。このように、圧電体１５５が長手方向において圧力室１２の外側まで延びていることにより、振動板１３０の強度が向上する。

【0042】

図７は、図４におけるＶＩ－ＶＩ断面図である。隣り合う２つの圧電体１５５の間には溝部１５７が形成されている。図４に示すように、溝部１５７は積層方向に見たときに矩形形状を有している。図７に示すように、溝部１５７は各隔壁１１に対応する位置に設けられる。隔壁１１は隣接する２つの圧力室１２を区画する壁部である。Ｙ軸方向における溝部１５７の幅は隔壁１１の幅以上に設定されている。溝部１５７は、振動板１３０および第１電極１５１の上に圧電体１５５の層を形成した後、該当する領域において圧電体１５５を除去することにより形成される。

【0043】

第２電極１５３は、複数の圧力室１２に共通に設けられる共通電極である。図４に示すように、第２電極１５３は圧力室１２の配列方向（Ｙ軸方向）に沿って延びて配置されている。第２電極１５３は、第１圧力室列Ｌ１、第２圧力室列Ｌ２それぞれについて、圧力室列に属する複数の圧力室１２すべてと重なる範囲にわたって配置されている。第２電極１５３は、第１電極１５１と同様の材料で形成されてもよいし、異なる材料で形成されてもよい。図７に示すように、第２電極１５３は、圧電体１５５の溝部１５７の側面の上および溝部１５７の底面である保護層１３３上にも設けられている。本実施形態においては、第１圧力室列Ｌ１、第２圧力室列Ｌ２それぞれに第２電極１５３を設けることにより、第１圧力室列Ｌ１または第２圧力室列Ｌ２のいずれかだけを駆動させる場合に、不必要な電力を消費することを防止できる。

【0044】

第１電極１５１および第２電極１５３は、いずれも配線基板２００（図５を参照）に設けられた駆動回路２０１と電気的に接続されている。第１電極１５１には、駆動信号が印加される。駆動信号は液体の吐出量に応じて異なる。本実施形態においては、駆動信号の波形は圧力室１２内の液体の温度に応じて異なる。第２電極１５３には、基準電圧信号が印加される。基準電圧信号は、液体の吐出量に関わらず一定である。液体の吐出量は、圧力室１２に必要な容積変化量である。第１電極１５１と第２電極１５３との間に電位差が生じると、圧電体１５５が変形する。圧電体１５５の変形により、振動板１３０が振動して圧力室１２の容積が変化する。圧力室１２の容積が変化することにより、圧力室１２に収容されている液体に圧力が付与され、ノズル連通口１９を介してノズル２１から液体が吐出される。

【0045】

図４および図６に示すように、個別電極１７１と後述する共通電極１７２とは圧電体１５５を駆動する電圧を圧電体１５５に印加するための駆動配線として機能する。個別電極１７１は第１電極１５１を配線基板２００に接続する。配線１７５は、第１電極１５１の－Ｘ側の端部１５１ｂの近傍において、個別電極１７１と第１電極１５１とを接続する。よって、個別電極である第１電極１５１が配線基板２００に電気的に接続される。

【0046】

図４に示すように、第１圧力室列Ｌ１および第２圧力室列Ｌ２それぞれにおいて、共通電極１７２は、対応する共通電極である第２電極１５３を配線基板２００に接続する。共通電極１７２は、延長部１７２ａ、延長部１７２ｂ、接続部１７２ｃ、および、接続部１７２ｄを有する。

【0047】

図４および図６に示すように、延長部１７２ａは、圧力室１２の＋Ｘ側の端部１２ａに対応する位置において、圧力室１２の短手方向（Ｙ軸方向）に沿って延びている。延長部１７２ｂは、圧力室１２の－Ｘ側の端部１２ｂに対応する位置において、圧力室１２の短手方向（Ｙ軸方向）に沿って延びている。

【0048】

接続部１７２ｃは、延長部１７２ｂの－Ｙ側の端部の近傍に配置され、延長部１７２ｂから配線基板２００に向かって延びている部分である。接続部１７２ｃは、Ｘ軸に対してあらかじめ定められた傾きを有する方向に沿って延びている。例えば、接続部１７２ｃは、Ｘ軸をＸＹ平面内で時計回りに２０度回転させた場合の軸方向に沿って延びている。接続部１７２ｃの端部は配線基板２００に接続されている。よって、共通電極である第２電極１５３の一端が配線基板２００に電気的に接続される。

【0049】

接続部１７２ｄは、延長部１７２ｂの＋Ｙ側の端部の近傍に配置され、延長部１７２ｂから配線基板２００に向かって延びている部分である。接続部１７２ｄは、接続部１７２ｃと同じ方向に延びている。接続部１７２ｄの端部は配線基板２００に接続されている。よって、共通電極である第２電極１５３の他端が配線基板２００に電気的に接続される。

【0050】

図５に示すように、個別電極１７１および共通電極１７２は、その一部が保護基板３０に形成された貫通孔３９内に露出するように配置されている。個別電極１７１および共通電極１７２は、貫通孔３９内において配線基板２００に電気的に接続されている。

【0051】

個別電極１７１および共通電極１７２は、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）等の導電性を有する材料により形成されている。個別電極１７１と共通電極１７２とは同じ層で形成される。ただし、個別電極１７１と共通電極１７２とは電気的に接続されていない。個別電極１７１と共通電極１７２と異なる層で形成する場合にくらべて、製造工程を簡略してコストを低減できる。

【0052】

配線基板２００は、例えば、フレキシブル基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）により構成されている。

【0053】

図５に示すように、配線基板２００には駆動回路２０１と後述する温度検出回路４５０とが設けられている。駆動回路２０１は、制御部５００のヘッド制御部５２０から供給される制御信号に基づいて、圧電素子１５０を駆動するための駆動信号を生成する。

【0054】

図４に示すように、温度検出部４１０は、第１検出抵抗体４１１と、第２検出抵抗体４１２と、第１検出用リード電極４１３と、第２検出用リード電極４１４とを含む。抵抗測定部４５２は、これらの合成抵抗の抵抗値を取得する。

【0055】

図４に示すように、第１検出抵抗体４１１は、第１部分４１１ａと、第２部分４１１ｂと、第３部分４１１ｃとを含む。第１部分４１１ａは、第１圧力室列Ｌ１の近傍において圧力室１２の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って延びている部分である。第２部分４１１ｂは、第１圧力室列Ｌ１に対して、第１部分４１１ａが配置されている側とは反対の側であって、第１圧力室列Ｌ１の近傍において、圧力室１２の長手方向に沿って延びている部分である。第３部分４１１ｃは、第１圧力室列Ｌ１の近傍において、屈曲することなく、配列方向（Ｙ軸方向）に沿って延びており、第１部分４１１ａと第２部分４１１ｂとをつなぐ部分である。よって、第１検出抵抗体４１１は第１圧力室列Ｌ１の周囲を囲むように配置されている。第１圧力室列Ｌ１の近傍とは、第１部分４１１ａ、第２部分４１１ｂ、および、第３部分４１１ｃそれぞれから第１圧力室列Ｌ１までの距離があらかじめ定められた距離以内であって、第１検出抵抗体４１１の抵抗値が、第１圧力室列Ｌ１の圧力室１２の内部の液体の温度に応じて変化する位置をいう。このように、第１検出抵抗体４１１は、第１圧力室列Ｌ１の圧力室１２の内部の液体の温度に応じて抵抗値が変化するような位置に配置されている。

【0056】

第２検出抵抗体４１２は、第１検出抵抗体４１１と同様に、第１部分４１２ａと、第２部分４１２ｂと、第３部分４１２ｃとを含む。第２検出抵抗体４１２は、第２圧力室列Ｌ２の近傍において、第２圧力室列Ｌ２の周囲を囲むように配置されている。第２圧力室列Ｌ２の近傍とは、第１部分４１２ａ、第２部分４１２ｂ、および、第３部分４１２ｃそれぞれから第３圧力室列Ｌ３までの距離があらかじめ定められた距離以内であって、第２検出抵抗体４１２の抵抗値が、第２圧力室列Ｌ２の圧力室１２の内部の液体の温度に応じて変化する位置をいう。このように、第２検出抵抗体４１２は、第２圧力室列Ｌ２の圧力室１２の内部の液体の温度に応じて抵抗値が変化するような位置に配置されている。

【0057】

第１検出抵抗体４１１の第２部分４１１ｂの－Ｘ側の端部と、第２検出抵抗体４１２の第２部分４１２ｂの＋Ｘ側の端部とは、第１圧力室列Ｌ１および第２圧力室列Ｌ２の－Ｙ側の端部の近傍において接続されている。よって、第１検出抵抗体４１１と第２検出抵抗体４１２とは１本の抵抗配線を構成する。

【0058】

第１検出用リード電極４１３は、第１圧力室列Ｌ１の－Ｙ側の端部の近傍で、第１検出抵抗体４１１の第１部分４１１ａの端部を配線基板２００に接続する。第２検出用リード電極４１４は、第２圧力室列Ｌ２の－Ｙ側の端部の近傍で、第２検出抵抗体４１２の第１部分４１２ａの端部を配線基板２００に接続する。よって、第１検出抵抗体４１１と第２検出抵抗体４１２とが構成する１本の抵抗配線の一端と他端とが配線基板２００に電気的に接続される。

【0059】

第１検出用リード電極４１３および第２検出用リード電極４１４は、積層方向において個別電極１７１および共通電極１７２と同じ層に配置される。第１検出用リード電極４１３および第２検出用リード電極４１４は、個別電極１７１および共通電極１７２と同じ材料で形成される。第１検出用リード電極４１３および第２検出用リード電極４１４は、個別電極１７１と共通電極１７２を形成する工程で個別電極１７１と共通電極１７２とともに形成される。ただし、第１検出用リード電極４１３および第２検出用リード電極４１４は、個別電極１７１および共通電極１７２に電気的に接続されていない。第１検出用リード電極４１３および第２検出用リード電極４１４を個別電極１７１および共通電極１７２と異なる層で形成する場合にくらべて、製造工程を簡略してコストを低減できる。

【0060】

図６に示すように、第１検出抵抗体４１１は振動板１３０の－Ｚ側の面に設けられている。具体的には、第１検出抵抗体４１１は、積層方向（Ｚ軸方向）において振動板１３０と圧電体１５５との間に配置され、圧電体１５５に覆われている。第２検出抵抗体４１２も同様である。

【0061】

第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２は、積層方向において第１電極１５１と同じ層に配置される。第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２は、第１電極１５１と同じ材料で形成される。第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２は、第１電極１５１と同様に、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等により形成される。これらの材料は、導電性を有するとともに、電気抵抗値が温度依存性を有する材料である。

【0062】

第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２は、第１電極１５１を形成する工程で第１電極１５１とともに形成される。ただし、第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２は、第１電極１５１と電気的に接続されていない。第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２を第１電極１５１と異なる層で形成する場合にくらべて、製造工程を簡略してコストを低減できる。

【0063】

続いて、本実施形態において特徴的な構成を説明する。以下、第１検出抵抗体４１１を例に説明するが、第２検出抵抗体４１２も同様の構成を備える。

【0064】

第１検出抵抗体４１１の一部の領域は、共通電極である第２電極１５３と重なる。また、第１検出抵抗体４１１の他の一部の領域は、第２電極１５３と重ならない。図６に示す例では、第２電極１５３と重なる領域を第１領域Ｒ１として、第２電極１５３と重ならない領域を第２領域Ｒ２として図示している。第１領域Ｒ１を「重複領域」ともよぶ。第２領域Ｒ２を「非重複領域」ともよぶ。図４に示すように、第１検出抵抗体４１１が配列方向（Ｙ軸方向）に沿って配置されている範囲において、第１検出抵抗体４１１の一部の領域は第２電極１５３と重なり、第１検出抵抗体４１１の他の一部の領域は第２電極１５３と重なっていない。また、第１検出抵抗体４１１が圧力室１２の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って配置されている範囲において、第１検出抵抗体４１１は第２電極１５３と重ならないように配置されている。

【0065】

このように第１検出抵抗体４１１を配置することにより、水分の吸着を抑制しつつ、第１検出抵抗体４１１へのノイズの影響を低減させることができる。よって、温度検出の精度を向上させることができる。

【0066】

図６に示すように、圧力室１２の長手方向（Ｘ軸方向）において、第１領域Ｒ１の長さは第２領域Ｒ２の長さより短いので、長手方向において第１領域Ｒ１の長さが第２領域Ｒ２の長さより長い態様にくらべて、第１検出抵抗体４１１へのノイズの影響を低減できる。

【0067】

また、圧力室１２の長手方向（Ｘ軸方向）において、第２領域Ｒ２は第１領域Ｒ１より圧力室１２に遠い位置にある。圧力室１２から離れた位置においては、圧電体１５５の上部に第２電極１５３が配置されていなくても、圧電体１５５への水分の吸着の影響は少ないためである。

【0068】

また、図４、６に示すように、Ｙ軸方向に沿って延びている範囲において、第１検出抵抗体４１１のＸ軸方向における幅を広くしているので、第１検出抵抗体４１１の断面積を広くできる。第２検出抵抗体４１２も同様である。よって、第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２の抵抗値を低くできる。

【0069】

さらに、第１検出抵抗体４１１を屈曲させずに配置しているので、第１検出抵抗体４１１を屈曲させる態様にくらべて、第１検出抵抗体４１１の配線長が短くなる。第２検出抵抗体４１２も同様である。よって、第１検出抵抗体４１１を屈曲させる態様にくらべて、第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２の抵抗が低くなる。第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２の抵抗が低くなることにより、第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２を流れる電流値が大きくなる。従来のように、第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２の全範囲において第２電極１５３が重なっている場合、圧電素子１５０の駆動電流が第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２を流れる電流に対するノイズとなるだけではなく、第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２を流れる電流が圧電素子１５０の駆動電流に対するノイズとなってしまう。

【0070】

しかしながら、実施形態においては、第１検出抵抗体４１１は、一部の領域が共通電極である第２電極１５３と重なり、他の一部の領域が第２電極１５３と重ならないように配置される。第２検出抵抗体４１２も同様である。このように第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２を配置することにより、第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２が共通電極である第２電極１５３と重ならない範囲を含んでいない態様にくらべて、圧電素子１５０の駆動電流による第１検出抵抗体４１１および第２検出抵抗体４１２へのノイズの影響を低減させることができる。

【0071】

Ｂ．他の実施形態：
Ｂ１．他の実施形態１：
図８は、他の実施形態１にかかる第１圧力室列Ｌ１における圧電素子１５０の近傍を拡大した断面図である。以下、実施形態と異なる構成を中心に説明する。実施形態と同様の構成については説明を省略する。他の実施形態１においては、圧力室１２の長手方向（Ｘ軸方向）において、第１領域Ｒ１の長さは第２領域Ｒ２の長さより長く設定される。長手方向において、第１領域Ｒ１の長さが第２領域Ｒ２の長さより短い態様にくらべて、第２電極１５３が圧電体１５５を覆う範囲が広くなるので、水分の吸着をより抑制できる。

【0072】

また、実施形態と同様に、第１検出抵抗体４１１が第２電極１５３と重ならない範囲を含んでいない態様にくらべて、第１検出抵抗体４１１へのノイズの影響を低減させることができる。

【0073】

Ｂ２．他の実施形態２：
図９は、他の実施形態２において、第１圧力室列Ｌ１における圧電素子１５０の近傍を拡大した断面図である。以下、実施形態と異なる構成を中心に説明する。実施形態と同様の構成については説明を省略する。

【0074】

他の実施形態２においては、非重複領域である第２領域Ｒ２と重なる範囲において、圧電体１５５の上側（－Ｚ側）に第１非電極層１６３が設けられている。さらに、第１非電極層１６３の上側には、第２非電極層１６５が設けられている。第１非電極層１６３および第２非電極層１６５を「非電極層」ともよぶ。

【0075】

第１非電極層１６３は第２電極１５３と同じ層で形成される。ただし、第１非電極層１６３は、第２電極１５３と電気的に接続されていない。第１非電極層１６３を形成する材料は第２電極１５３と同じである。第１非電極層１６３は、第２電極１５３を形成する工程で第２電極１５３とともに形成される。第１非電極層１６３を第２電極１５３と異なる層で形成する場合にくらべて、製造工程を簡略してコストを低減できる。

【0076】

第２非電極層１６５は個別電極１７１および共通電極１７２と同じ層で形成される。ただし、第２非電極層１６５は、個別電極１７１および共通電極１７２と電気的に接続されていない。第２非電極層１６５を形成する材料は個別電極１７１および共通電極１７２と同じである。第２非電極層１６５は、共通電極１７２を形成する工程で共通電極１７２とともに形成される。第２非電極層１６５を共通電極１７２で形成する場合にくらべて、製造工程を簡略してコストを低減できる。

【0077】

第１非電極層１６３および第２非電極層１６５を設けることにより、第２電極１５３および共通電極１７２が積層された範囲の層の厚みと、非重複領域である第２領域Ｒ２の範囲の層の厚みとが合わせられる。第２電極１５３および共通電極１７２が積層された範囲の層の厚みと、非重複領域である第２領域Ｒ２の範囲の層の厚みとを同じとすることが好ましい。例えば、共通電極１７２の上に板状の封止部材を配置することがあるが、第１非電極層１６３および第２非電極層１６５を設けることにより、封止部材の配置が容易である。

【0078】

Ｂ３．他の実施形態３：
実施形態においては、図６に示すように、第１領域Ｒ１および第２領域Ｒ２の圧力室１２の長手方向における長さがそれぞれ一定である例を説明した。

【0079】

図１０は、他の実施形態３にかかる第２電極１５３の配置についての説明図である。図１０に示す例では、実施形態において第１領域Ｒ１として設定されていた範囲を範囲Ｒｂ１として、第２領域Ｒ２として設定されていた範囲を範囲Ｒｂ２として表す。他の実施形態３においては、範囲Ｒｂ１において、第１検出抵抗体４１１と第２電極１５３とが重なっている。すなわち、範囲Ｒｂ１は第１領域Ｒ１として設定されている。範囲Ｒｂ２では、第２電極１５３に圧力室１２の短手方向（Ｙ軸方向）に沿って矩形形状の切り欠きが設けられている。この結果、圧力室１２の短手方向（Ｙ軸方向）に沿って、第１検出抵抗体４１１と第２電極１５３とが重なる領域と、第１検出抵抗体４１１と第２電極１５３とが重なる領域と、が交互に配置される。すなわち、範囲Ｒｂ２においては、圧力室１２の短手方向に沿って、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とが交互に設定されている。

【0080】

範囲Ｒｂ２において、第２領域Ｒ２が設定されているＹ軸上の位置は、圧力室１２のＹ軸上の位置に対応する。複数の圧力室１２は一定間隔を空けてＹ軸方向に配列されているため、範囲Ｒｂ２に、第２領域Ｒ２と第１領域Ｒ１とが交互に配置されることになる。このため、断面線Ｓ１で示した位置で、圧力室１２の長手方向と積層方向とに平行な平面で圧力室１２が存在しない位置で圧力室基板１０を切断した断面において、第１検出抵抗体４１１は第２領域Ｒ２を含まない。また、断面線Ｓ２で示した位置で、圧力室１２の長手方向と積層方向とに平行な平面で圧力室１２が存在しない位置で圧力室基板１０を切断した断面において、第１検出抵抗体４１１は第２領域Ｒ２を含む。

【0081】

個別電極である第１電極１５１と第１検出抵抗体４１１とが重ならない範囲においては、第１検出抵抗体４１１が共通電極である第２電極１５３と重なっていたとしても、第１検出抵抗体４１１はノイズの影響を受けない。このため、ノイズの影響がない範囲においては、圧電体１５５の上に第２電極１５３を配置することで、水分の吸着を効率的に抑制できる。

【0082】

Ｂ４．他の実施形態４：
また、第１圧力室列Ｌ１と第２圧力室列Ｌ２とに第２電極１５３を個別に設けるのではなく、第１圧力室列Ｌ１と第２圧力室列Ｌ２の両方に対応する１つの共通の電極を設けてもよい。つまり、図４における２つの第２電極１５３が繋がっているような形態であってもよい。

【0083】

Ｂ５．他の実施形態５：
実施形態においては、個別電極１７１、接続部１７２ｃ、および、接続部１７２ｄが同じ方向に沿って延びている例を説明した（図４を参照）。あるいは、個別電極１７１、接続部１７２ｃ、および、接続部１７２ｄの配置は、図４とは異なっていてもよい。

【0084】

図１１は、液体吐出ヘッド１００の他の構成を平面視で表す説明図である。図１１に示す例では、圧力室基板１０の＋Ｙ側の端部および－Ｙ側の端部においては、個別電極１７１、接続部１７２ｃ、および、接続部１７２ｄは、Ｘ軸に対してあらかじめ定められた傾きを有する方向に沿って延びている。より具体的には、圧力室基板１０の＋Ｙ側の端部においては、個別電極１７１、および、接続部１７２ｄは、Ｘ軸をＸＹ平面内で時計回りに２０度回転させた場合の軸方向に沿って延びている。圧力室基板１０の－Ｙ側の端部においては、個別電極１７１、および、接続部１７２ｃは、Ｘ軸をＸＹ平面内で反時計回りに２０度回転させた場合の軸方向に沿って延びている。圧力室基板１０のＹ軸方向における中央部においては、個別電極１７１は、Ｘ軸方向に沿って延びている。

【0085】

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替え、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

【0086】

Ｃ．他の形態：
（１）本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の圧力室を含む圧力室列が設けられた圧力室基板と、前記複数の圧力室に個別に設けられる複数の個別電極と、前記複数の個別電極にそれぞれ積層され、前記複数の圧力室の内部の液体に圧力を付与するために駆動される圧電体と、前記複数の圧力室に共通に設けられ、前記圧電体に積層される少なくとも１つの電極を含む共通電極と、前記複数の個別電極と前記圧電体と前記共通電極とが積層される積層方向における前記圧電体の下側において、前記複数の個別電極と重ならない位置に配置され、前記複数の個別電極と前記共通電極との少なくともいずれかと同じ材料で形成され、前記複数の圧力室の内部の液体の温度に応じて抵抗値が変化する検出抵抗体と、を備え、前記複数の圧力室の長手方向と前記積層方向とに平行な平面で圧力室が存在する位置で前記圧力室基板を切断した断面において、前記検出抵抗体は、前記共通電極と重なる重複領域と、前記共通電極と重ならない非重複領域とを含む。
この形態によれば、検出抵抗体が共通電極と重ならない範囲を含んでいない態様にくらべて検出抵抗体へのノイズの影響を低減させることができる。

【0087】

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記重複領域は、前記長手方向において前記非重複領域より前記圧力室に近い位置にあってもよい。
圧力室から離れた位置においては、非重複領域を圧力室から遠い位置に配置し、圧電体の上部に共通電極が配置されていなくても圧電体への水分の吸着の影響を少なくする。

【0088】

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記重複領域の前記長手方向における長さが、前記非重複領域の前記長手方向における長さより長くてもよい。
この形態によれば、長手方向において重複領域が非重複領域より長いので、長手方向において重複領域が非重複領域より短い態様にくらべて、水分の吸着を抑制できる。

【0089】

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記重複領域の前記長手方向における長さが、前記非重複領域の前記長手方向における長さより短くてもよい。
この形態によれば、長手方向において重複領域が非重複領域より短いので、長手方向において重複領域が非重複領域より長い態様にくらべて、抵抗体へのノイズの影響を低減できる。

【0090】

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記非重複領域と重なる領域において、前記圧電体の前記積層方向の上側には、前記共通電極と同じ材料で形成されており、前記共通電極と電気的に接続されていない非電極層が設けられていてもよい。
この形態によれば、非電極層を設けることにより、検出抵抗体が配置された範囲において層の厚みを、共通電極が積層された範囲の層の厚みに合わせることができる。

【0091】

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記非電極層が設けられた範囲の層の厚みは、前記共通電極が設けられた範囲の層の厚みと同じであってもよい。
この形態によれば、非電極層を設けることにより、非重複領域の範囲における層の厚みを共通電極が設けられた範囲の層の厚みと合わせることができる。

【0092】

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室の前記長手方向と前記積層方向とに平行な平面で前記圧力室が存在しない位置で前記圧力室基板を切断した断面において、前記検出抵抗体は前記非重複領域を含まなくてもよい。
この形態によれば、個別電極が検出抵抗体と重ならないため、検出抵抗体が共通電極と重なる領域があったとしても、検出抵抗体はノイズの影響を受けない。このため、ノイズの影響がない範囲においては、水分の吸着を抑制するため圧電体に共通電極を配置できる。

【0093】

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、配線基板をさらに有し、前記検出抵抗体は、前記圧力室列の近傍において前記長手方向に沿って延びており、一端が前記配線基板に接続する第１部分と、前記圧力室列に対して前記第１部分が配置されている側とは反対の側であって、前記圧力室の近傍において前記長手方向に沿って延びており、一端が前記配線基板に接続する第２部分と、前記圧力室の近傍において、屈曲することなく前記第１方向に沿って延びており、前記第１部分の他端と前記第２部分の他端とをつなぐ第３部分と、を含んでいてもよい。

【0094】

（９）本開示の他の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記形態の液体吐出ヘッドと、前記検出抵抗体の抵抗値を取得する抵抗値取得部と、前記抵抗値取得部が取得した抵抗値に基づいて前記圧力室の近傍の温度を取得する温度取得部と、を備える。
この形態によれば、ノイズの影響を低減させ、温度検出の精度を向上させることができる。

【0095】

（１０）上記形態の液体吐出装置において、前記温度取得部が取得した温度に基づいて、前記複数の個別電極に印加する駆動波形を決定する駆動波形決定部、をさらに備えてもよい。
この形態によれば、温度に応じて圧電素子を駆動させることができる。

【0096】

本開示は、上述した液体吐出装置としての形態に限らず、液体吐出システム、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。

【符号の説明】

【0097】

１…液体吐出装置、１０…圧力室基板、１１…隔壁、１２…圧力室、１２ａ，１２ｂ…端部、１５…連通基板、１６…インク供給路、１７…第１共通液室、１８…第２共通液室、１９…ノズル連通口、２０…ノズル基板、２１…ノズル、２５…コンプライアンス基板、２６…封止膜、２７…固定基板、３０…保護基板、３３…凹部、３９…貫通孔、４０…ケース部材、４２…液室部、４３…接続口、４４…液体流通口、１００…液体吐出ヘッド、１３０…振動板、１３１…可撓層、１３３…保護層、１５０…圧電素子、１５１…第１電極、１５１ａ，１５１ｂ…端部、１５３…第２電極、１５５…圧電体、１５７…溝部、１６３…第１非電極層、１６５…第２非電極層、１７０…配線部、１７１…個別電極、１７２…共通電極、１７２ａ，１７２ｂ…延長部、１７２ｃ，１７２ｄ…接続部、１７５…配線、２００…配線基板、２０１…駆動回路、３１０…液体容器、３１２…チューブ、３２０…ヘッド移動機構、３２２…キャリッジ、３２４…駆動ベルト、３２６…移動用モーター、３２７…プーリー、３３０…搬送機構、３３２…搬送ローラー、３３４…搬送ロッド、３３６…搬送用モーター、４１０…温度検出部、４１１…第１検出抵抗体、４１１ａ…第１部分、４１１ｂ…第２部分、４１１ｃ…第３部分、４１２…第２検出抵抗体、４１２ａ…第１部分、４１２ｂ…第２部分、４１２ｃ…第３部分、４１３…第１検出用リード電極、４１４…第２検出用リード電極、４５０…温度検出回路、４５１…電源部、４５２…抵抗測定部、５００…制御部、５０１…ＣＰＵ、５０２…メモリー、５２０…ヘッド制御部、５５０…温度管理部、５８４…記憶部、Ｌ１…第１圧力室列、Ｌ２…第２圧力室列、Ｍ１…マニホールド、Ｐ…印刷用紙、Ｒ１…第１領域、Ｒ２…第２領域、Ｓ１，Ｓ２…断面線、ＴＢ…変換テーブル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】