特開 2025-19564 供給ジグ及び樹脂成形品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025019564

(43)【公開日】2025-02-07

(54)【発明の名称】供給ジグ及び樹脂成形品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B29C 43/32 20060101AFI20250131BHJP

   H01L 21/56 20060101ALI20250131BHJP

   B29C 43/18 20060101ALI20250131BHJP

【ＦＩ】

B29C43/32

H01L21/56 R

B29C43/18

【審査請求】有

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023123232

(22)【出願日】2023-07-28

(71)【出願人】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100162031

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 豊彦

(74)【代理人】

【識別番号】100175721

【弁理士】

【氏名又は名称】高木 秀文

(72)【発明者】

【氏名】川本 佳久

【テーマコード（参考）】

4F204

5F061

【Ｆターム（参考）】

4F204AD19

4F204AG03

4F204AH37

4F204AJ08

4F204FA01

4F204FA15

4F204FB01

4F204FB17

4F204FF23

4F204FN11

4F204FN15

4F204FQ40

5F061AA01

5F061BA01

5F061BA03

5F061CA22

5F061DA06

5F061DE06

(57)【要約】

【課題】離型フィルム及び樹脂材料を効率良く供給することが可能な供給ジグを提供する。
【解決手段】離型フィルムを保持することが可能なフィルム保持具と、樹脂材料を保持することが可能な樹脂保持部を具備し、前記フィルム保持具に対して着脱可能な樹脂材料保持具と、を具備する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

離型フィルムを保持することが可能なフィルム保持具と、
樹脂材料を保持することが可能な樹脂保持部を具備し、前記フィルム保持具に対して着脱可能な樹脂材料保持具と、
を具備する供給ジグ。

【請求項2】

前記樹脂材料保持具は、上下方向に開口する開口部を具備し、前記開口部を前記フィルム保持具に保持される前記離型フィルムに対して上方から対向させた状態で前記フィルム保持具に固定可能である、
請求項１に記載の供給ジグ。

【請求項3】

前記樹脂材料保持具は、前記フィルム保持具に対して固定される固定位置と、前記フィルム保持具に対する固定が解除される固定解除位置と、の間で移動可能な固定部を具備する、
請求項１又は請求項２に記載の供給ジグ。

【請求項4】

前記樹脂材料保持具は、
前記固定部に対して、前記固定位置に向かって力を付与する第１付与部と、
前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な操作部と、
を具備する、
請求項３に記載の供給ジグ。

【請求項5】

前記固定部は、前記樹脂材料保持具が前記フィルム保持具に接近するのに伴って、前記フィルム保持具に接触して前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な第１案内面を具備する、
請求項３又は請求項４に記載の供給ジグ。

【請求項6】

前記フィルム保持具は、前記樹脂材料保持具が前記フィルム保持具に接近するのに伴って、前記固定部に接触して前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な第２案内面を具備する、
請求項３から請求項５までのいずれか一項に記載の供給ジグ。

【請求項7】

前記樹脂材料保持具は、前記樹脂保持部から上方に突出するように設けられ、作業者が把持可能な第１把持部を具備する、
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の供給ジグ。

【請求項8】

前記樹脂材料保持具は、前記樹脂保持部から側方に突出するように設けられ、作業者が把持可能な第２把持部を具備する、
請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の供給ジグ。

【請求項9】

前記フィルム保持具は、
前記離型フィルムの一方の面に接触する第１押さえ部と、
前記離型フィルムの他方の面に接触する第２押さえ部と、
前記第１押さえ部に対して、前記離型フィルムに向かって力を付与する第２付与部と、
を具備する、
請求項１から請求項８までのいずれか一項に記載の供給ジグ。

【請求項10】

請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の供給ジグを用いて、前記離型フィルム及び前記樹脂材料を成形型に供給する供給工程と、
前記離型フィルム及び前記樹脂材料を用いて樹脂成形する樹脂成形工程と、
を含む樹脂成形品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、供給ジグ及び樹脂成形品の製造方法の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

圧縮成形装置には、電子素子が固定された基板を上型で保持し、下型に形成されたキャビティに離型フィルムを供給し、離型フィルムの上に樹脂材料を供給して樹脂封止を行うものがある。離型フィルム及び樹脂材料を手作業で下型に供給する場合、それぞれジグが用いられる場合がある。

【0003】

例えば特許文献１には、離型フィルムを保持して下型に供給可能なジグが記載されている。また特許文献２には、樹脂材料を保持して下型に供給可能なジグが記載されている。手作業で離型フィルム及び樹脂材料を下型に供給する場合には、まず特許文献１に記載のようなジグを用いて離型フィルムを下型に供給した後で、特許文献２に記載のようなジグを用いて樹脂材料を下型に供給することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１６－１１２７２１号公報

【特許文献2】特開２０１４－０００７４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上述のような手作業では、離型フィルムと樹脂材料の供給をそれぞれ別個のジグを用いて段階的に行う必要があるため、作業効率の向上が求められる。

【0006】

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、離型フィルム及び樹脂材料を効率良く供給することが可能な供給ジグ及び樹脂成形品の製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するため、本発明に係る供給ジグは、離型フィルムを保持することが可能なフィルム保持具と、樹脂材料を保持することが可能な樹脂保持部を具備し、前記フィルム保持具に対して着脱可能な樹脂材料保持具と、を具備するものである。

【0008】

また、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、前記供給ジグを用いて、前記離型フィルム及び前記樹脂材料を成形型に供給する供給工程と、前記離型フィルム及び前記樹脂材料を用いて樹脂成形する樹脂成形工程と、を含むものである。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、離型フィルム及び樹脂材料を効率良く供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態に係る供給ジグの全体的な構成を示した斜視図。

【図2】フィルム保持具を示した斜視図。

【図3】フィルム保持具の一部を拡大した斜視図。

【図4】（ａ）第１押さえ部の上に離型フィルム及び第２押さえ部が配置された状態を示した背面断面図。（ｂ）第２押さえ部により離型フィルム及び第１押さえ部が下方に押し込まれた状態を示した背面断面図。

【図5】樹脂材料保持具を示した斜視図。

【図6】樹脂材料保持具の一部を拡大した斜視図。

【図7】フィルム保持部に樹脂材料保持具が固定された状態を示した拡大斜視図。

【図8】（ａ）離型フィルムを保持するフィルム保持具、及び、樹脂材料保持具を示した背面断面模式図。（ｂ）爪部が押し広げられる様子を示した供給ジグの背面断面模式図。（ｃ）爪部がフィルム保持具に固定された状態を示した供給ジグの背面断面模式図。（ｄ）樹脂材料保持具が樹脂材料を保持した状態を示した供給ジグの背面断面模式図。

【図9】フィルムセット装置及び供給ジグを模式的に示した斜視図。

【図10】（ａ）樹脂成形装置を模式的に示した正面端面図。（ｂ）下型に供給ジグに保持された離型フィルム及び樹脂材料が供給された様子を示した正面端面図。（ｃ）離型フィルムが下型に吸着された様子を示した正面端面図。（ｄ）樹脂成形装置から樹脂材料保持具が取り出された様子を示した正面端面図。（ｅ）型締めされた様子を示した正面端面図。（ｆ）型開き後に再び樹脂材料保持具がフィルム保持具に固定された様子を示した正面端面図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下の説明では、図中に示した矢印Ｕ、矢印Ｄ、矢印Ｌ、矢印Ｒ、矢印Ｆ及び矢印Ｂで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及び後方向と定義して説明を行う。

【0012】

＜供給ジグ１０＞
以下では、本発明の一実施形態に係る供給ジグ１０の構成について説明する。

【0013】

図１に示す供給ジグ１０は、樹脂成形装置５０（図１０参照）に離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを一括して供給するためのものである。特に本実施形態に係る供給ジグ１０は、作業者の手作業によって、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを樹脂成形装置５０に供給することができる。供給ジグ１０は、主としてフィルム保持具１００及び樹脂材料保持具２００を具備する。フィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００とは、互いに着脱可能となるように構成されている。以下、フィルム保持具１００及び樹脂材料保持具２００の構成について説明する。

【0014】

＜フィルム保持具１００＞
図２に示すフィルム保持具１００は、離型フィルムＦを保持することが可能なものである。フィルム保持具１００は、主として本体部１１０、第１押さえ部１２０、圧縮バネ１３０、取り付けピン１４０、第２押さえ部１５０及びボルト１６０を具備する。

【0015】

本体部１１０は、フィルム保持具１００の主な構造体を形成する部分である。本体部１１０は、左右方向に延びる長辺と、前後方向に延びる短辺と、を有する平面視矩形状に形成される。本体部１１０は、主として開口部１１１、位置決め凹部１１２、固定凹部１１３、第１凹部１１４及び第２凹部１１５を具備する。

【0016】

開口部１１１は、本体部１１０の中央部に形成され、上下方向に開口する部分である。開口部１１１は、平面視矩形状に形成される。開口部１１１が形成されることによって、本体部１１０は平面視において環状（枠状）に形成される。開口部１１１は、後述する樹脂成形装置５０の下型５２（図１０参照）の上部の外形に対応する形状に形成される。これによって、フィルム保持具１００を下型５２の上部に嵌め合わせることができる。

【0017】

位置決め凹部１１２は、フィルム保持具１００と、後述する樹脂材料保持具２００との相対的な位置決めを行うためのものである。位置決め凹部１１２は、本体部１１０の後側面を前方に向かって凹ませるようにして形成される。位置決め凹部１１２は、本体部１１０の後側面の左部及び右部に１つずつ形成される。なお、位置決め凹部１１２が形成される位置や個数は特に限定するものではない。

【0018】

図２及び図３に示す固定凹部１１３は、樹脂材料保持具２００をフィルム保持具１００に対して固定する際に用いられるものである。固定凹部１１３は、本体部１１０の左右側面の下部を左右内側に向かって凹ませるようにして形成される。固定凹部１１３は、本体部１１０の左右側面の前部及び後部に１つずつ形成される。なお、本体部１１０の左側面に形成される固定凹部１１３は図示を省略している。また、固定凹部１１３が形成される位置や個数は特に限定するものではない。

【0019】

図２から図４に示す第１凹部１１４は、第１押さえ部１２０を収容するためのものである。第１凹部１１４は、本体部１１０の左右両端部近傍にそれぞれ形成される。第１凹部１１４は、本体部１１０の前端から後端まで延びる長手状に形成される。第１凹部１１４は、本体部１１０の上面を下方に向かって凹ませるようにして形成される。

【0020】

なお、フィルム保持具１００は概ね前後及び左右に対称となるように形成されている。従って、以下では図３及び図４に示すように、フィルム保持具１００の右後部に着目して説明を行い、他の部位については適宜図示及び説明を省略する。

【0021】

図３及び図４に示す第２凹部１１５は、圧縮バネ１３０を収容するためのものである。第２凹部１１５は、第１凹部１１４の前後両端部近傍にそれぞれ形成される。第２凹部１１５は、第１凹部１１４の底面をさらに下方に向かって凹ませるようにして形成される。第２凹部１１５は、平面視円形状に形成される。第２凹部１１５の直径は、第１凹部１１４の左右方向の幅よりも小さく形成される。

【0022】

図２から図４に示す第１押さえ部１２０は、離型フィルムＦを下方から押さえるためのものである。第１押さえ部１２０は板状に形成される。第１押さえ部１２０は、長手方向を前後方向に向けた平面視矩形状に形成される。第１押さえ部１２０の左右方向の幅は、第１凹部１１４の左右方向の幅より若干小さく形成される。第１押さえ部１２０の上下方向の幅（厚さ）は、第１凹部１１４の深さ（上下方向の幅）よりも小さく形成される。第１押さえ部１２０は、第１凹部１１４の内側に配置される。

【0023】

図４に示す圧縮バネ１３０は、第１押さえ部１２０に対して、上方に向かって力を付与する（以下、「付勢する」とも言う）ためのものである。なお、圧縮バネ１３０は、本発明に係る第２付与部の実施の一形態である。圧縮バネ１３０は、伸縮方向を上下方向に向けて、ある程度収縮した状態で第２凹部１１５の内側に配置される。圧縮バネ１３０の上端部は、第１押さえ部１２０に下方から接触する。これによって圧縮バネ１３０は、第１押さえ部１２０に対して、上方に向かって力を付与することができる。

【0024】

図２及び図４に示す取り付けピン１４０は、第１押さえ部１２０を本体部１１０に取り付けるためのものである。取り付けピン１４０は、軸線を上下方向に向けた略円柱状に形成される。取り付けピン１４０の上端部は、下部よりも直径が大きくなるように形成される。取り付けピン１４０は、第１押さえ部１２０の前後両端部近傍を貫通するように配置される。取り付けピン１４０の下端部は、第２凹部１１５の底部に固定される。このように取り付けピン１４０を固定することによって、第１押さえ部１２０は、第１凹部１１４の内側において、取り付けピン１４０の長手方向（上下方向）に沿って移動可能となるように支持される。また、第１押さえ部１２０の上方（第１凹部１１４の外側）への移動は、取り付けピン１４０の上端部によって規制される。

【0025】

図２から図４に示す第２押さえ部１５０は、離型フィルムＦを上方から押さえるためのものである。第２押さえ部１５０は板状に形成される。第２押さえ部１５０は、長手方向を前後方向に向けた平面視略矩形状に形成される。第２押さえ部１５０の前後両端部は、左右に広がるように形成され、ボルト１６０が設けられる。第２押さえ部１５０は、平面視において第１押さえ部１２０と重複するように形成される。第２押さえ部１５０は、主としてと突部１５１、開口部１５２及びテーパ面１５３を具備する。

【0026】

突部１５１は、第２押さえ部１５０の底面から下方に突出するように形成された部分である。突部１５１は、第１押さえ部１２０と上下方向に対向する部分に形成される。言い換えると、突部１５１は、第１押さえ部１２０と同様に、長手方向を前後方向に向けた底面視矩形状に形成される。

【0027】

開口部１５２は、第２押さえ部１５０を上下に貫通するように形成された貫通孔である。開口部１５２は、取り付けピン１４０と上下方向に対向する位置に形成される。これによって、第２押さえ部１５０と取り付けピン１４０の上端部との干渉を避けることができる。

【0028】

図２及び図３に示すテーパ面１５３は、後述する樹脂材料保持具２００の爪部２５０を案内するためのものである。なお、テーパ面１５３は、本発明に係る第２案内面の実施の一形態である。テーパ面１５３は、第２押さえ部１５０の上面の左右外側の端部を斜めに切り欠くように形成される。これによってテーパ面１５３は、第２押さえ部１５０の左右外側に向かって下方に傾斜するような傾斜面状に形成される。テーパ面１５３は、第２押さえ部１５０の前部及び後部に１つずつ形成される。

【0029】

図２から図４に示すボルト１６０は、第２押さえ部１５０を本体部１１０に固定するためのものである。ボルト１６０を第２押さえ部１５０に対して上方から挿入すると共に、下端部を本体部１１０に締結することで、第２押さえ部１５０を本体部１１０に固定することができる。

【0030】

このように構成されたフィルム保持具１００によって離型フィルムＦを保持する場合、本体部１１０から第２押さえ部１５０が取り外された状態で、本体部１１０の開口部１１１を上方から覆うように、本体部１１０の全域にわたって離型フィルムＦが配置される。この際、図４（ａ）に示すように、本体部１１０及び第１押さえ部１２０の上に離型フィルムＦが配置される。この状態で、離型フィルムＦの上に第２押さえ部１５０が配置され、ボルト１６０によって第２押さえ部１５０が本体部１１０に固定される。

【0031】

ボルト１６０が本体部１１０に締結されると、図４（ｂ）に示すように、第２押さえ部１５０の突部１５１によって第１押さえ部１２０が下方に押し込まれる。これによって、離型フィルムＦが第１凹部１１４の内側に入り込むように引っ張られるため、離型フィルムＦに張力を与えてシワを伸ばすことができる。また、ボルト１６０によって締結された第２押さえ部１５０と、圧縮バネ１３０によって上方に力を付与された第１押さえ部１２０との間で離型フィルムＦを強固に保持することができる。特に本実施形態では、離型フィルムＦが第１凹部１１４の内側に入り込むように屈曲しているため、離型フィルムＦをより強固に保持することができる。

【0032】

本実施形態では、本体部１１０の長手方向（左右方向）における両端部に第１押さえ部１２０及び第２押さえ部１５０を設けている。これによって、本体部１１０の上に配置された左右に長い離型フィルムＦの長手方向に沿って張力を与えることができ、効率的にシワを伸ばすことができる。

【0033】

＜樹脂材料保持具２００＞
図５に示す樹脂材料保持具２００は、フィルム保持具１００に取り付けられた状態において樹脂材料Ｒを保持することが可能なものである。樹脂材料保持具２００は、主として本体部２１０、規定部２２０、第１ハンドル２３０、第２ハンドル２４０、爪部２５０及びねじりバネ２６０を具備する。

【0034】

図５及び図６に示す本体部２１０は、樹脂材料保持具２００の主な構造体を形成する部分である。本体部２１０は、左右方向に延びる長辺と、前後方向に延びる短辺と、を有する平面視矩形状に形成される。本体部２１０の中央には、後述する規定部２２０を配置可能な開口が形成される。本体部２１０は、主として軸受部２１１、第２規制部２１２、第１位置決め部２１３及び第２位置決め部２１４を具備する。

【0035】

なお、本体部２１０は概ね前後及び左右に対称となるように形成されている。従って、以下では図６に示すように、本体部２１０の右後部に着目して説明を行い、他の部位については適宜図示及び説明を省略する。

【0036】

軸受部２１１は、第２ハンドル２４０を回転可能に支持するものである。軸受部２１１は、本体部２１０の上面の四隅にそれぞれ設けられる。軸受部２１１は、本体部２１０から上方に突出するように配置される。軸受部２１１には、第１規制部２１１ａが設けられる。

【0037】

図６に示す第１規制部２１１ａは、第２ハンドル２４０の回転を所定の位置で規制するためのものである。第１規制部２１１ａは、軸線を前後方向に向けた円柱状に形成される。第１規制部２１１ａは、軸受部２１１の後側面から後方に向かって突出するように配置される。

【0038】

第２規制部２１２は、爪部２５０の回転を所定の位置で規制するためのものである。第２規制部２１２は、本体部２１０の左右側面にそれぞれ設けられる。第２規制部２１２は、本体部２１０の左右側面から左右外側へと突出するように配置される。第２規制部２１２は、爪部２５０の左右方向における内側に、爪部２５０と対向するように配置される。

【0039】

図５に示す第１位置決め部２１３は、樹脂材料保持具２００と、後述する樹脂成形装置５０の下型５２との相対的な位置決めを行うためのものである。第１位置決め部２１３は、本体部２１０の前後左右の各側面に形成される。第１位置決め部２１３は、本体部２１０の下面を上方に向かって凹ませるようにして凹状に形成される。第１位置決め部２１３に対して、樹脂成形装置５０の下型５２に形成された位置決め用の突起部（不図示）が挿入されることで、樹脂成形装置５０の下型５２と、樹脂材料保持具２００との位置決めを行うことができる。なお、第１位置決め部２１３が形成される位置や個数は特に限定するものではない。

【0040】

第２位置決め部２１４は、樹脂材料保持具２００と、フィルム保持具１００との相対的な位置決めを行うためのものである。第２位置決め部２１４は、フィルム保持具１００の位置決め凹部１１２に対応する位置に形成される。具体的には、第２位置決め部２１４は、本体部２１０の後側面に形成される。第２位置決め部２１４は、本体部２１０の後側面の左部及び右部にそれぞれ形成される。第２位置決め部２１４は、本体部２１０から下方に向かって突出するように形成される。第２位置決め部２１４を、フィルム保持具１００に形成された位置決め凹部１１２（図２参照）に挿入することで、樹脂材料保持具２００と、フィルム保持具１００との相対的な位置決めを行うことができる。

【0041】

規定部２２０は、樹脂材料Ｒを収容する範囲を規定するためのものである。規定部２２０は、本体部２１０の開口部に対応した平面視矩形枠状に形成される。規定部２２０は、本体部２１０の開口に嵌め合わされた状態で、本体部２１０に取り付けられる。規定部２２０には、開口部２２１が形成される。

【0042】

開口部２２１は、規定部２２０の中央部に形成され、上下方向に開口する部分である。開口部２２１は、樹脂成形装置５０のキャビティに対応した形状に形成される。本実施形態では、開口部２２１は、平面視矩形状に形成されているが、開口部２２１の形状は、キャビティや成形対象物の形状等に応じて任意に変更することが可能である。本実施形態では、本体部２１０及び規定部２２０によって平面視矩形状の枠体が形成され、その内側に樹脂材料Ｒを保持することができる。なお、本体部２１０及び規定部２２０は、本発明に係る樹脂保持部の実施の一形態である。

【0043】

第１ハンドル２３０は、作業者が把持することが可能なものである。なお、第１ハンドル２３０は、本発明に係る第１把持部の実施の一形態である。第１ハンドル２３０は、本体部２１０の左部及び右部にそれぞれ設けられる。第１ハンドル２３０は、側面視で上下逆向きのＵ字状に形成される。第１ハンドル２３０の両端部は、本体部２１０の上面の前部及び後部のそれぞれに固定される。これによって第１ハンドル２３０は、本体部２１０の上面から上方に突出するように設けられる。

【0044】

図５及び図６に示す第２ハンドル２４０は、作業者が把持することが可能であり、後述する爪部２５０を操作することが可能なものである。なお、第２ハンドル２４０は、本発明に係る操作部及び第２把持部の実施の一形態である。第２ハンドル２４０は、本体部２１０の左部及び右部にそれぞれ設けられる。第２ハンドル２４０は、主として軸部２４１及びグリップ２４２を具備する。

【0045】

軸部２４１は、軸線を前後方向に向けた略円柱状の部分である。軸部２４１は、本体部２１０の前部及び後部に設けられた軸受部２１１に回転可能に支持される。軸部２４１は、後側の軸受部２１１からさらに後方に延びるように配置される。このようにして、軸部２４１は、本体部２１０から側方（後方）に突出するように設けられる。軸部２４１の後端部には、作業者が把持し易い素材（例えば、ゴム等）により形成されたグリップ２４２が設けられる。軸部２４１には、取付部２４１ａ及び規制ピン２４１ｂが設けられる。

【0046】

図６に示す取付部２４１ａは、軸部２４１に規制ピン２４１ｂを取り付けるためのものである。取付部２４１ａは、円環状に形成され、軸受部２１１のすぐ後方において軸部２４１に固定される。これによって取付部２４１ａは、第２ハンドル２４０と一体的に回転することができる。

【0047】

規制ピン２４１ｂは、第２ハンドル２４０の回転を所定の位置で規制するためのものである。規制ピン２４１ｂは、略円柱状に形成される。規制ピン２４１ｂは、取付部２４１ａの外周面から、第２ハンドル２４０の径方向外側へと突出するように設けられる。図６に示す右側の第２ハンドル２４０が背面視反時計回りにある程度回転すると、規制ピン２４１ｂが第１規制部２１１ａと接触する。これによって第２ハンドル２４０の背面視時計回り方向への回転が規制される。

【0048】

図５及び図６に示す爪部２５０は、樹脂材料保持具２００をフィルム保持具１００に固定するためのものである。なお、爪部２５０は、本発明に係る固定部の実施の一形態である。爪部２５０は、第２ハンドル２４０の長手方向に沿って２つ設けられる。爪部２５０は第２ハンドル２４０に固定され、第２ハンドル２４０と一体的に回転することができる。爪部２５０は、第２ハンドル２４０から概ね下方に向かって延びるように形成される。爪部２５０の下部は、左右方向における内側に突出するように形成される。爪部２５０の下部（内側に突出した部分）をフィルム保持具１００の固定凹部１１３に引っ掛けることで、樹脂材料保持具２００をフィルム保持具１００に固定することができる（図７参照）。

【0049】

なお、以下では、爪部２５０の回動位置のうち、爪部２５０をフィルム保持具１００の固定凹部１１３に引っ掛けてフィルム保持具１００に固定することができる位置を「固定位置」と称する。また、爪部２５０の回動位置のうち、フィルム保持具１００に対する爪部２５０の固定が解除される位置を「固定解除位置」と称する。

【0050】

図６に示すように、爪部２５０には、テーパ面２５１が形成される。なお、テーパ面２５１は、本発明に係る第１案内面の実施の一形態である。テーパ面２５１は、爪部２５０の底面を斜めに切り欠くように形成される。テーパ面２５１は、左右外側に向かって下方に傾斜するような傾斜面状に形成される。

【0051】

爪部２５０の左右内側には、第２規制部２１２が配置されている。図６に示す右側の第２ハンドル２４０が背面視時計回りにある程度回転すると、爪部２５０が第２規制部２１２と接触する。これによって第２ハンドル２４０の背面視時計回り方向への回転が規制される。

【0052】

なお、爪部２５０の具体的な形状は特に限定するものではなく、フィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００とを固定可能な任意の形状に形成することが可能である。

【0053】

ねじりバネ２６０は、第２ハンドル２４０に対して、所定の方向に回転するように力を付与するものである。なお、ねじりバネ２６０は、本発明に係る第１付与部の実施の一形態である。ねじりバネ２６０は、前側の軸受部２１１の後方及び後側の軸受部２１１のすぐ前方において、第２ハンドル２４０に設けられる。ねじりバネ２６０は、爪部２５０の下部が左右内側に向かうように、第２ハンドル２４０を常時付勢する。図６に示す第２ハンドル２４０を例に挙げて説明すると、ねじりバネ２６０は、第２ハンドル２４０を背面視時計回り方向に常時付勢する。

【0054】

＜供給ジグ１０による離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒの保持方法の概略＞
以下では、図８及び図９を用いて、上述のように構成された供給ジグ１０（フィルム保持具１００及び樹脂材料保持具２００）による離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒの保持方法について説明する。以下の手順は、作業者の手作業によって行われる。なお、図８及び図９では、説明のため、各部の構成を簡略化して示した模式図を用いている。

【0055】

まず、図８（ａ）に示すように、フィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００とが分離された状態で、フィルム保持具１００に離型フィルムＦが保持される。この時、第２押さえ部１５０はフィルム保持具１００に取り付けられていない。

【0056】

フィルム保持具１００に離型フィルムＦを保持する際には、図９に示すようなフィルムセット装置３０を用いることができる。フィルムセット装置３０は、上面にフィルム保持具１００に対応した凹部３１ｂを具備する箱状の本体３１を有している。フィルム保持具１００で離型フィルムＦを保持する場合、予め凹部３１ｂにフィルム保持具１００が収容される。

【0057】

本体３１の内部には、ロール状に巻かれた離型フィルムＦを保持するロール保持部３２が収容されている。ロール保持部３２に巻かれた離型フィルムＦは、案内ローラ３３によって案内され、本体３１の上面に形成されたスリット３１ａを介して本体３１の上側へと供給される。

【0058】

本体３１の上側へと供給された離型フィルムＦは、フィルム保持具１００の上方に配置され、第２押さえ部１５０がフィルム保持具１００にボルト１６０で固定されることによってフィルム保持具１００に保持される。なお、フィルム保持具１００による離型フィルムＦの保持方法は前述したため、説明を省略する。

【0059】

その後、適宜の位置で離型フィルムＦが切断され、ロール保持部３２に巻かれた離型フィルムＦと、フィルム保持具１００に保持された離型フィルムＦとが分断される。このようにして、一回の樹脂成形に必要な離型フィルムＦを、フィルム保持具１００によって保持することができる。

【0060】

なお、詳細な説明は省略するが、フィルムセット装置３０には、離型フィルムＦに張力を付与する張力付与機構、離型フィルムＦを保持する保持機構、離型フィルムＦを切断する切断機構等、適宜の機構を設けることも可能である。

【0061】

次に、図８（ｂ）に示すように、フィルム保持具１００の上方から樹脂材料保持具２００を下方に移動させる。なお、この作業は、フィルム保持具１００をフィルムセット装置３０（本体３１）に保持したまま行うことができる。

【0062】

樹脂材料保持具２００を下方に移動させる際には、作業者は、第１ハンドル２３０（図５参照）を把持することで、フィルム保持具１００に対する樹脂材料保持具２００の位置合わせを容易に行うことができる。

【0063】

樹脂材料保持具２００がある程度フィルム保持具１００に近づくと、固定位置に向かって力を付与された爪部２５０のテーパ面２５１が、フィルム保持具１００（より詳細には、第２押さえ部１５０に形成されたテーパ面１５３（図３参照））と接触する。この状態でさらに樹脂材料保持具２００を下方に移動させると、爪部２５０がフィルム保持具１００によって押し広げられ、固定解除位置へと回転する。これによって、樹脂材料保持具２００はさらに下方へと移動することができる。

【0064】

図８（ｃ）に示すように、樹脂材料保持具２００の規定部２２０が、フィルム保持具１００に保持された離型フィルムＦに上方から接触する程度まで下降すると、ねじりバネ２６０の付勢力によって、爪部２５０が再び固定位置（より詳細には、固定凹部１１３（図７参照）に引っかかる位置）まで内側に向かって回動する。これによって、フィルム保持具１００に対して樹脂材料保持具２００が固定される。この状態では、規定部２２０の開口部２２１が、フィルム保持具１００に保持された離型フィルムＦに対して上方から対向するように配置される。離型フィルムＦ上に配置された規定部２２０（開口部２２１）によって、樹脂材料Ｒを収容可能な空間が規定される。なお、この際、樹脂材料保持具２００の第２位置決め部２１４が、フィルム保持具１００の位置決め凹部１１２に嵌め合わされることで、フィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００の相対的な位置決めを行うことができる。

【0065】

次に、図８（ｄ）に示すように、規定部２２０の内側に樹脂材料Ｒが収容される。この際、作業者は、第１ハンドル２３０又は第２ハンドル２４０を掴んで樹脂材料保持具２００を前後左右に揺らすことで、樹脂材料Ｒを規定部２２０の内側に均一に分布させることができる。また、適宜のジグを用いて樹脂材料Ｒを樹脂材料保持具２００に供給することで、樹脂材料Ｒの均一化を図ることも可能である。例えば編目状に形成されたプレートに樹脂材料Ｒを載せ、規定部２２０の上方から編目を通過するように樹脂材料Ｒを落下させることで、樹脂材料Ｒを分散させ、規定部２２０の内側に均一に分布させることもできる。なお、樹脂材料Ｒとしては、顆粒状や液状など、任意の樹脂材料Ｒを用いることが可能である。

【0066】

このように、互いに固定されたフィルム保持具１００及び樹脂材料保持具２００（供給ジグ１０）によって、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを一括して保持することができる。

【0067】

＜樹脂成形方法＞
以下では、主に図１０を用いて、供給ジグ１０を用いて離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを樹脂成形装置５０へと供給し、樹脂成形を行う方法について説明する。供給ジグ１０を用いた離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒの供給は、作業者の手作業によって行われる。なお、図１０では、説明のため、各部の構成を簡略化して示した模式図を用いている。また図１０では、各部の断面のみを示した切断部端面図を示しているが、説明の都合上、樹脂材料Ｒを除いて、各部の断面を示すハッチングの記載を省略している。

【0068】

まず、離型フィルム・樹脂材料保持工程において、上述のように供給ジグ１０を用いて離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒが保持される（図８参照）。

【0069】

次に、基板供給工程において、樹脂成形装置５０の上型５１に、成形対象物である基板Ｗが供給される（図１０（ａ）参照）。基板Ｗは、樹脂封止の対象となる半導体チップなどの電子素子を下方に向けた状態で、上型５１の下面に吸着されて保持される。

【0070】

なお、基板Ｗとしては、シリコンウエハ等の半導体製基板、金属製基板、ガラス製基板、セラミック製基板、又は、樹脂製基板等を用いることができる。また基板Ｗには、配線が施されていても、施されていなくてもよい。また、本実施形態では矩形状の基板Ｗを用いるものとするが、基板Ｗの形状は特に限定するものではなく、例えば円形状の基板Ｗを用いることも可能である。

【0071】

次に、離型フィルム・樹脂材料供給工程において、樹脂成形装置５０の下型５２に、供給ジグ１０に保持された離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒが供給される（図１０（ｂ）参照）。この際フィルム保持具１００の開口部１１１に、下型５２（側面部材５５）の上部が嵌め合わされる。なお、樹脂材料保持具２００の第１位置決め部２１３（図５参照）が、下型５２に形成された位置決め用の突起部（不図示）と嵌め合わされることで、供給ジグ１０と下型５２の相対的な位置決めを行うことができる。

【0072】

この際、作業者は、第２ハンドル２４０を掴んで供給ジグ１０を樹脂成形装置５０へと移動させることができる。これによって、下型５２が予め加熱されている場合であっても、作業者は下型５２から離れた位置から作業を行うことができるため、作業性を向上させることができる。

【0073】

この状態では、フィルム保持具１００の上面と、下型５２の上面との上下位置が概ね一致する。またフィルム保持具１００に保持された離型フィルムＦが、下型５２の上面に接するように配置される。また、樹脂材料保持具２００に保持された樹脂材料Ｒは、下型５２のキャビティ５３の上方に位置するように配置される。なお、離型フィルム・樹脂材料供給工程は、本発明に係る供給工程の実施の一形態である。

【0074】

次に、吸着工程において、離型フィルムＦが下型５２に吸着される（図１０（ｃ）参照）。これによって、離型フィルムＦが下型５２のキャビティ５３に沿うように吸着される。またこれに伴って、離型フィルムＦの上に載置された樹脂材料Ｒが、キャビティ５３内に収容される。

【0075】

次に、分離工程において、フィルム保持具１００から樹脂材料保持具２００が取り外され、樹脂材料保持具２００が樹脂成形装置５０から取り出される（図１０（ｄ）参照）。この際、作業者は、爪部２５０が外側（固定解除位置）に開くように第２ハンドル２４０を回転させることで、フィルム保持具１００に対する樹脂材料保持具２００の固定を解除することができる。作業者は、このまま第２ハンドル２４０を持って樹脂材料保持具２００を取り出すことができる。このように、樹脂材料保持具２００を持つための第２ハンドル２４０が、爪部２５０を操作するための操作具を兼ねているため、作業者は効率的に作業を行うことができる。

【0076】

次に、型締め工程において、図示しない型締め機構が駆動されることによって、下型５２のベースプレート５４が上昇する（図１０（ｅ）参照）。ベースプレート５４が上昇すると、キャビティ５３の側面を形成する側面部材５５が基板Ｗの下面と接触する。さらにベースプレート５４を上昇させると、ベースプレート５４と側面部材５５との間に配置された弾性部材５６が縮む。これによって、側面部材５５に対して、キャビティ５３の底面を形成する底面部材５７が相対的に上方へと移動する。これによって、キャビティ５３内の樹脂材料Ｒが加圧される。底面部材５７がある程度上昇した時点で、型締めが完了する。

【0077】

次に、樹脂成形工程において、樹脂材料Ｒを加圧した状態で、所定時間待機する。これによって、熱硬化性の樹脂材料Ｒの温度はさらに上昇し、樹脂材料Ｒは硬化する。結果、基板Ｗに対して樹脂成形を行うことができる。

【0078】

次に、型開き工程において、上型５１と下型５２とが開かれる。具体的には、図示しない型締め機構によって下型５２が上型５１から離れるように下方へと移動する。

【0079】

次に、搬出工程において、樹脂成形された基板Ｗ（樹脂成形品）が樹脂成形装置５０から搬出される。また、フィルム保持具１００が樹脂成形装置５０から搬出される。フィルム保持具１００を搬出する場合には、樹脂材料保持具２００をフィルム保持具１００に再度固定し（図１０（ｆ）参照）、第２ハンドル２４０を用いてフィルム保持具１００を樹脂成形装置５０から取り出すことができる。

【0080】

このように供給ジグ１０を用いることで、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを一括して樹脂成形装置５０へと供給することができるため、作業効率の向上を図ることができる。

【0081】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。

【0082】

例えば上記実施形態では、フィルムセット装置３０を用いて供給ジグ１０に離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを保持させる例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、その他種々の装置を用いることが可能である。

【0083】

また、上記実施形態では、爪部２５０を用いてフィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００とを固定する例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、フィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００とを固定する方法は任意に変更することが可能である。例えば、ボルトやナット等の締結具を用いて両者を固定することも可能である。

【0084】

また、上記実施形態で例示した付与部（圧縮バネ１３０及びねじりバネ２６０）は一例であり、その他種々の力を付与可能な部材（板バネ、引張りバネ、弾性部材等）を用いることが可能である。

【0085】

また、上記実施形態では、矩形状に開口された開口部２２１（図５参照）で一括して樹脂材料Ｒを保持する例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、開口部２２１をさらに複数の領域に区画する仕切りを設けて、各領域に均等に計量された樹脂材料Ｒを保持させる構成とすることも可能である。これによって、開口部２２１内における樹脂材料Ｒの均等化を図ることができ、更には樹脂成形品の品質向上を図ることができる。

【0086】

また例えば、図５等に示す樹脂材料保持具２００の規定部２２０を、本体部２１０に対して所定の範囲で上下に相対移動可能に構成することも可能である。これによって、図８（ｃ）に示すようにフィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００とが固定された際に、規定部２２０が自重によってフィルム保持具１００に保持された離型フィルムＦに押し付けられる。このように規定部２２０を離型フィルムＦに押し付けることで、離型フィルムＦと規定部２２０との間に樹脂材料Ｒが侵入したり、外部へこぼれるのを防止することができる。

【0087】

＜付記＞
本開示の第１側面の供給ジグ１０は、
離型フィルムＦを保持することが可能なフィルム保持具１００と、
樹脂材料Ｒを保持することが可能な樹脂保持部（本体部２１０及び規定部２２０）を具備し、前記フィルム保持具１００に対して着脱可能な樹脂材料保持具２００と、
を具備する。
本開示の第１側面の供給ジグ１０によれば、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを効率良く供給することができる。すなわち、フィルム保持具１００と樹脂材料保持具２００とを一体化した状態で、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒをまとめて樹脂成形装置５０へと供給することができる。これによって、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒの供給作業を効率良く行うことができる。また、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを一括して樹脂成形装置５０へと自動的に供給する樹脂成形装置（自動機）を用いる場合と同様に、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを一括して供給できるため、自動機による成形条件を、手作業でも再現することができる。

【0088】

第１側面に従う第２側面の供給ジグ１０において、
前記樹脂材料保持具２００は、上下方向に開口する開口部２２１を具備し、前記開口部２２１を前記フィルム保持具１００に保持される前記離型フィルムＦに対して上方から対向させた状態で前記フィルム保持具１００に固定可能である。
本開示の第２側面の供給ジグ１０によれば、フィルム保持具１００に保持された離型フィルムＦの上に、樹脂材料Ｒを配置する領域（開口部２２１によって）を規定することができる。

【0089】

第１又は第２側面に従う第３側面の供給ジグ１０において、
前記樹脂材料保持具２００は、前記フィルム保持具１００に対して固定される固定位置と、前記フィルム保持具１００に対する固定が解除される固定解除位置と、の間で移動可能な固定部（爪部２５０）を具備する。
本開示の第３側面の供給ジグ１０によれば、固定具を移動させることで、フィルム保持具１００に対する樹脂材料保持具２００の着脱を容易に行うことができる。

【0090】

第３側面に従う第４側面の供給ジグ１０において、
前記樹脂材料保持具２００は、
前記固定部に対して、前記固定位置に向かって力を付与する第１付与部（ねじりバネ２６０）と、
前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な操作部（第２ハンドル２４０）と、
を具備する。
本開示の第４側面の供給ジグ１０によれば、フィルム保持具１００に対する樹脂材料保持具２００の着脱を容易に行うことができる。すなわち、固定部が固定位置に向かって力を付与されているため、固定部を固定位置へと移動させる操作を行う必要がなく、樹脂材料保持具２００をフィルム保持具１００に容易に固定することができる。

【0091】

第３又は第４側面に従う第５側面の供給ジグ１０において、
前記固定部は、前記樹脂材料保持具２００が前記フィルム保持具１００に接近するのに伴って、前記フィルム保持具１００に接触して前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な第１案内面（テーパ面２５１）を具備する。
本開示の第５側面の供給ジグ１０によれば、フィルム保持具１００に対する樹脂材料保持具２００の着脱を容易に行うことができる。すなわち、第１案内面によって固定部を固定解除位置に移動させることができるため、固定部を固定解除位置へと移動させる操作を行う必要がなく、樹脂材料保持具２００をフィルム保持具１００に容易に固定することができる。

【0092】

第３から第５側面のいずれかに従う第６側面の供給ジグ１０において、
前記フィルム保持具１００は、前記樹脂材料保持具２００が前記フィルム保持具１００に接近するのに伴って、前記固定部に接触して前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な第２案内面（テーパ面１５３）を具備する。
本開示の第６側面の供給ジグ１０によれば、フィルム保持具１００に対する樹脂材料保持具２００の着脱を容易に行うことができる。すなわち、第２案内面によって固定部を固定解除位置に移動させることができるため、固定部を固定解除位置へと移動させる操作を行う必要がなく、樹脂材料保持具２００をフィルム保持具１００に容易に固定することができる。

【0093】

第１から第６側面のいずれかに従う第７側面の供給ジグ１０において、
前記樹脂材料保持具２００は、前記樹脂保持部から上方に突出するように設けられ、作業者が把持可能な第１把持部（第１ハンドル２３０）を具備する。
本開示の第７側面の供給ジグ１０によれば、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを供給する際の作業性を向上させることができる。例えば、作業者は第１把持部を掴んで樹脂材料保持具２００を持つことができ、フィルム保持具１００に対する位置合わせや固定を容易に行うことができる。

【0094】

第１から第７側面のいずれかに従う第８側面の供給ジグ１０において、
前記樹脂材料保持具２００は、前記樹脂保持部から側方に突出するように設けられ、作業者が把持可能な第２把持部（第２ハンドル２４０）を具備する。
本開示の第８側面の供給ジグ１０によれば、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを供給する際の作業性を向上させることができる。例えば、作業者は第２把持部を掴んで樹脂材料保持具２００を持つことができ、樹脂成形装置５０の外側から、下型５２へと離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを供給することができる。

【0095】

第１から第８側面のいずれかに従う第９側面の供給ジグ１０において、
前記フィルム保持具１００は、
前記離型フィルムＦの一方の面に接触する第１押さえ部１２０と、
前記離型フィルムＦの他方の面に接触する第２押さえ部１５０と、
前記第１押さえ部１２０に対して、前記離型フィルムＦに向かって力を付与する第２付与部（圧縮バネ１３０）と、
を具備するものである。
本開示の第９側面の供給ジグ１０によれば、第２付与部により付与される力によって、離型フィルムＦを強固に保持することができる。

【0096】

本開示の第１０側面の樹脂成形品の製造方法は、
第１から第９側面までのいずれかの供給ジグ１０を用いて、前記離型フィルムＦ及び前記樹脂材料Ｒを成形型（下型５２）に供給する供給工程（離型フィルム・樹脂材料供給工程）と、
前記離型フィルムＦ及び前記樹脂材料Ｒを用いて樹脂成形する樹脂成形工程と、
を含む。
本開示の第１０側面の樹脂成形品の製造方法によれば、離型フィルムＦ及び樹脂材料Ｒを効率良く供給することができる。これによって、樹脂成形品を効率良く製造することができる。

【符号の説明】

【0097】

１０ 供給ジグ
１００ フィルム保持具
１２０ 第１押さえ部
１３０ 圧縮バネ
１５０ 第２押さえ部
１５３ テーパ面
２００ 樹脂材料保持具
２１０ 本体部
２２０ 規定部
２２１ 開口部
２３０ 第１ハンドル
２４０ 第２ハンドル
２５０ 爪部
２５１ テーパ面
２６０ ねじりバネ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【手続補正書】

【提出日】2023-07-28

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

離型フィルムを保持することが可能なフィルム保持具と、
樹脂材料を保持することが可能な樹脂保持部を具備し、前記フィルム保持具に対して着脱可能な樹脂材料保持具と、
を具備する供給治具。

【請求項2】

前記樹脂材料保持具は、上下方向に開口する開口部を具備し、前記開口部を前記フィルム保持具に保持される前記離型フィルムに対して上方から対向させた状態で前記フィルム保持具に固定可能である、
請求項１に記載の供給治具。

【請求項3】

前記樹脂材料保持具は、前記フィルム保持具に対して固定される固定位置と、前記フィルム保持具に対する固定が解除される固定解除位置と、の間で移動可能な固定部を具備する、
請求項１に記載の供給治具。

【請求項4】

前記樹脂材料保持具は、
前記固定部に対して、前記固定位置に向かって力を付与する第１付与部と、
前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な操作部と、
を具備する、
請求項３に記載の供給治具。

【請求項5】

前記固定部は、前記樹脂材料保持具が前記フィルム保持具に接近するのに伴って、前記フィルム保持具に接触して前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な第１案内面を具備する、
請求項３に記載の供給治具。

【請求項6】

前記フィルム保持具は、前記樹脂材料保持具が前記フィルム保持具に接近するのに伴って、前記固定部に接触して前記固定部を前記固定位置から前記固定解除位置に向かって移動させることが可能な第２案内面を具備する、
請求項３に記載の供給治具。

【請求項7】

前記樹脂材料保持具は、前記樹脂保持部から上方に突出するように設けられ、作業者が把持可能な第１把持部を具備する、
請求項１に記載の供給治具。

【請求項8】

前記樹脂材料保持具は、前記樹脂保持部から側方に突出するように設けられ、作業者が把持可能な第２把持部を具備する、
請求項１に記載の供給治具。

【請求項9】

前記フィルム保持具は、
前記離型フィルムの一方の面に接触する第１押さえ部と、
前記離型フィルムの他方の面に接触する第２押さえ部と、
前記第１押さえ部に対して、前記離型フィルムに向かって力を付与する第２付与部と、
を具備する、
請求項１に記載の供給治具。

【請求項10】

請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の供給治具を用いて、前記離型フィルム及び前記樹脂材料を成形型に供給する供給工程と、
前記離型フィルム及び前記樹脂材料を用いて樹脂成形する樹脂成形工程と、
を含む樹脂成形品の製造方法。