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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025021108
(43)【公開日】2025-02-13
(54)【発明の名称】タッチプローブの補正値設定システム及び補正値設定方法
(51)【国際特許分類】
G05B 19/401 20060101AFI20250205BHJP
B23Q 17/22 20060101ALI20250205BHJP
G01B 5/00 20060101ALI20250205BHJP
【ＦＩ】
G05B19/401
B23Q17/22 B
G01B5/00 P
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023124833
(22)【出願日】2023-07-31
(71)【出願人】
【識別番号】000149066
【氏名又は名称】オークマ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100078721
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 喜樹
(74)【代理人】
【識別番号】100121142
【弁理士】
【氏名又は名称】上田 恭一
(72)【発明者】
【氏名】溝口 祐司
【テーマコード（参考）】
2F062
3C029
3C269
【Ｆターム（参考）】
2F062AA01
2F062AA21
2F062BB03
2F062BB09
2F062BB10
2F062CC03
2F062CC27
2F062DD23
2F062EE01
2F062HH01
3C029AA06
3C029AA12
3C269AB26
3C269AB31
3C269BB03
3C269CC02
3C269EF22
3C269EF90
3C269JJ18
3C269MN05
3C269MN16
3C269MN27
(57)【要約】
【課題】特別な校正基準を使用することなく、タッチプローブに熱変形などによる経時変化が生じた場合に径方向補正値の再設定が容易に行えるようにする。
【解決手段】Ｂ１～Ｂ５で、計測対象の側面上に設定した所定の計測点の座標を、主軸に装着したタッチプローブにより、３つの主軸の回転角度で計測し、計測点の計測結果から、Ｂ６で、タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出し、Ｂ７で、算出された変動径方向補正値を記録して、記録された変動径方向補正値を径方向補正値に設定する。
【選択図】図７
【解決手段】Ｂ１～Ｂ５で、計測対象の側面上に設定した所定の計測点の座標を、主軸に装着したタッチプローブにより、３つの主軸の回転角度で計測し、計測点の計測結果から、Ｂ６で、タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出し、Ｂ７で、算出された変動径方向補正値を記録して、記録された変動径方向補正値を径方向補正値に設定する。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
３軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸とを有する工作機械において、前記主軸に装着したタッチプローブの径方向補正値を設定する補正値設定システムであって、
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測手段と、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出手段と、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録手段と、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定手段と、
を備えることを特徴とするタッチプローブの補正値設定システム。
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測手段と、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出手段と、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録手段と、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定手段と、
を備えることを特徴とするタッチプローブの補正値設定システム。
【請求項2】
リング状または球状または円柱状の校正基準を用いて、前記タッチプローブにより、前記校正基準の円周の中心に対して少なくとも３つ以上の異なる角度である校正基準計測角度の方向から計測する校正基準計測手段と、
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出手段と、をさらに備え、
前記補正値記録手段は、算出された前記基本径方向補正値を記録可能であり、
前記径方向補正値設定手段は、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする請求項１に記載のタッチプローブの補正値設定システム。
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出手段と、をさらに備え、
前記補正値記録手段は、算出された前記基本径方向補正値を記録可能であり、
前記径方向補正値設定手段は、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする請求項１に記載のタッチプローブの補正値設定システム。
【請求項3】
前記校正基準計測角度は、前記計測点計測手段で計測した回転角度と同じであることを特徴とする請求項２に記載のタッチプローブの補正値設定システム。
【請求項4】
前記校正基準計測角度は、等ピッチの角度として設定されることを特徴とする請求項２に記載のタッチプローブの補正値設定システム。
【請求項5】
前記校正基準は、前記工作機械に対して着脱可能であることを特徴とする請求項２乃至４の何れかに記載のタッチプローブの補正値設定システム。
【請求項6】
３軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸とを有する工作機械において、前記主軸に装着したタッチプローブの径方向補正値を設定するタッチプローブの補正値設定方法であって、
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測ステップと、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出ステップと、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定ステップと、
を実行することを特徴とするタッチプローブの補正値設定方法。
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測ステップと、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出ステップと、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定ステップと、
を実行することを特徴とするタッチプローブの補正値設定方法。
【請求項7】
リング状または球状または円柱状の校正基準を用いて、前記タッチプローブにより、前記校正基準の円周の中心に対して少なくとも３つ以上の異なる角度である校正基準計測角度の方向から計測する校正基準計測ステップと、
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出ステップと、
算出された基本径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、をさらに実行し、
前記径方向補正値設定ステップでは、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする請求項６に記載のタッチプローブの補正値設定方法。
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出ステップと、
算出された基本径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、をさらに実行し、
前記径方向補正値設定ステップでは、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする請求項６に記載のタッチプローブの補正値設定方法。
【請求項8】
前記校正基準計測角度は、前記計測点計測ステップで計測した回転角度と同じであることを特徴とする請求項７に記載のタッチプローブの補正値設定方法。
【請求項9】
前記校正基準計測角度は、等ピッチの角度として設定されることを特徴とする請求項７に記載のタッチプローブの補正値設定方法。
【請求項10】
前記校正基準は、前記工作機械に対して着脱可能であることを特徴とする請求項７乃至９の何れかに記載のタッチプローブの補正値設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、工作機械の機内においてワークの位置等を計測するために用いられるタッチプローブの補正値を設定するシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【0002】
マシニングセンタ等の工作機械においては、主軸にタッチプローブを取り付けて、ワーク原点位置の計測、加工後のワーク寸法の測定、機械精度の校正などが行われている。
しかし、タッチプローブを使用して位置を正確に計測するためには、タッチプローブ自身の長さおよび径方向の補正値をあらかじめ設定する必要がある。径方向の補正値の設定では、例えば以下のような誤差の影響を考慮する必要がある。
タッチプローブには、中心軸周りに１２０°ごとにタッチプローブのスタイラスと被測定物との接触を検知するための接点対が配置され、タッチプローブが被測定物に接触する方向によって接点対の離れ方が異なる性質を持つものがある。このタッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するため、特許文献１には、環状ゲージの内周面に対するアプローチ方向を、タッチプローブの接点配置角度を等分した角度毎に変更しつつ測定する方法が開示されている。
しかし、タッチプローブを使用して位置を正確に計測するためには、タッチプローブ自身の長さおよび径方向の補正値をあらかじめ設定する必要がある。径方向の補正値の設定では、例えば以下のような誤差の影響を考慮する必要がある。
タッチプローブには、中心軸周りに１２０°ごとにタッチプローブのスタイラスと被測定物との接触を検知するための接点対が配置され、タッチプローブが被測定物に接触する方向によって接点対の離れ方が異なる性質を持つものがある。このタッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するため、特許文献１には、環状ゲージの内周面に対するアプローチ方向を、タッチプローブの接点配置角度を等分した角度毎に変更しつつ測定する方法が開示されている。
【0003】
また、タッチプローブのメカ特性に起因する誤差に加えて、タッチプローブは、使用環境の温度変化の影響による熱変形などにより経時変化が生じるため、定期的に補正値の再設定が必要である。タッチプローブの径方向補正値の設定方法としては、正確な直径の寸法が予め分かっている校正基準を計測し、設定する方法が広く実施されている。特許文献２には、校正基準となる基準球の計測を行い、タッチプローブの先端部の径方向のキャリブレーションを行う方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２２－３４２４０号公報
【特許文献2】特開２０１６－８３７２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１および特許文献２の方法では、タッチプローブの径方向補正値の設定をするために、あらかじめ正確な寸法が既知である校正基準（環状ゲージ、基準球）を使用する必要がある。タッチプローブは熱変形などにより経時変化するため、補正値を再設定することが必要であるが、補正値の再設定のための校正基準を工作機械の機内に常時設置する場合は、ワークを設置するためのスペースが小さくなる問題や、切粉や切削液の影響等により校正基準が経年劣化し、径方向補正値の計測精度が悪化する問題が生じるおそれがある。
一方、校正基準を着脱可能とし、計測時に機内に設置する場合は、毎回の径方向補正値の計測時に設置作業が必要となり、校正基準の計測にあたって余計な手間や時間が掛かってしまう。
一方、校正基準を着脱可能とし、計測時に機内に設置する場合は、毎回の径方向補正値の計測時に設置作業が必要となり、校正基準の計測にあたって余計な手間や時間が掛かってしまう。
【0006】
そこで、本開示は、基準球などの特別な校正基準を使用することなく、タッチプローブに熱変形などによる経時変化が生じた場合に径方向補正値の再設定を容易に行うことができるタッチプローブの補正値設定システム及び補正値設定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するために、本開示の第１の構成は、３軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸とを有する工作機械において、前記主軸に装着したタッチプローブの径方向補正値を設定する補正値設定システムであって、
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測手段と、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出手段と、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録手段と、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定手段と、を備えることを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、リング状または球状または円柱状の校正基準を用いて、前記タッチプローブにより、前記校正基準の円周の中心に対して少なくとも３つ以上の異なる角度である校正基準計測角度の方向から計測する校正基準計測手段と、
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出手段と、をさらに備え、
前記補正値記録手段は、算出された前記基本径方向補正値を記録可能であり、
前記径方向補正値設定手段は、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、前記計測点計測手段で計測した回転角度と同じであることを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、等ピッチの角度として設定されることを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準は、前記工作機械に対して着脱可能であることを特徴とする。
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測手段と、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出手段と、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録手段と、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定手段と、を備えることを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、リング状または球状または円柱状の校正基準を用いて、前記タッチプローブにより、前記校正基準の円周の中心に対して少なくとも３つ以上の異なる角度である校正基準計測角度の方向から計測する校正基準計測手段と、
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出手段と、をさらに備え、
前記補正値記録手段は、算出された前記基本径方向補正値を記録可能であり、
前記径方向補正値設定手段は、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、前記計測点計測手段で計測した回転角度と同じであることを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、等ピッチの角度として設定されることを特徴とする。
第１の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準は、前記工作機械に対して着脱可能であることを特徴とする。
【0008】
上記目的を達成するために、本開示の第２の構成は、３軸以上の並進軸と、工具を装着して回転可能な主軸とを有する工作機械において、前記主軸に装着したタッチプローブの径方向補正値を設定するタッチプローブの補正値設定方法であって、
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測ステップと、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出ステップと、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定ステップと、を実行することを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、リング状または球状または円柱状の校正基準を用いて、前記タッチプローブにより、前記校正基準の円周の中心に対して少なくとも３つ以上の異なる角度である校正基準計測角度の方向から計測する校正基準計測ステップと、
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出ステップと、
算出された基本径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、をさらに実行し、
前記径方向補正値設定ステップでは、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、前記計測点計測ステップで計測した回転角度と同じであることを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、等ピッチの角度として設定されることを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準は、前記工作機械に対して着脱可能であることを特徴とする。
所定の計測点の座標を、前記タッチプローブにより、少なくとも３つ以上の前記主軸の回転角度で計測する計測点計測ステップと、
前記計測点の計測結果から、前記タッチプローブに生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値を算出する変動径方向補正値算出ステップと、
算出された前記変動径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、
記録された前記変動径方向補正値を前記径方向補正値に設定する径方向補正値設定ステップと、を実行することを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、リング状または球状または円柱状の校正基準を用いて、前記タッチプローブにより、前記校正基準の円周の中心に対して少なくとも３つ以上の異なる角度である校正基準計測角度の方向から計測する校正基準計測ステップと、
前記校正基準の計測結果から、前記タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値を算出する基本径方向補正値算出ステップと、
算出された基本径方向補正値を記録する補正値記録ステップと、をさらに実行し、
前記径方向補正値設定ステップでは、記録された前記基本径方向補正値と前記変動径方向補正値との合計値を前記径方向補正値に設定することを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、前記計測点計測ステップで計測した回転角度と同じであることを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準計測角度は、等ピッチの角度として設定されることを特徴とする。
第２の構成の別の態様は、上記構成において、前記校正基準は、前記工作機械に対して着脱可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
本開示によれば、変動径方向補正値を、工作機械または工作機械に設置されたワークの側面等の所定の計測点について計測することにより求めることができる。つまり、基準球などの特別な校正基準を使用することなく変動径方向補正値を計測することができる。
よって、校正基準を工作機械の機内に常時設置する場合に生じる、ワークを設置するためのスペースが小さくなる問題や、切粉や切削液の影響等により校正基準が経年劣化し、径方向補正値の計測精度が悪化する問題がなくなる。また、校正基準を着脱可能として計測時に機内に設置する場合に生じる、毎回の径方向補正値の計測時に設置する作業も必要なくなる。
従って、基準球などの特別な校正基準を使用することなく、タッチプローブに熱変形などによる経時変化が生じた場合に径方向補正値の再設定を容易に行うことができる。
よって、校正基準を工作機械の機内に常時設置する場合に生じる、ワークを設置するためのスペースが小さくなる問題や、切粉や切削液の影響等により校正基準が経年劣化し、径方向補正値の計測精度が悪化する問題がなくなる。また、校正基準を着脱可能として計測時に機内に設置する場合に生じる、毎回の径方向補正値の計測時に設置する作業も必要なくなる。
従って、基準球などの特別な校正基準を使用することなく、タッチプローブに熱変形などによる経時変化が生じた場合に径方向補正値の再設定を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】工作機械の構成を示す図である。
【図2】ＮＣ装置におけるタッチプローブの補正値設定システムの構成を示す図である。
【図3】タッチプローブのメカ特性に起因する誤差のイメージ図である。
【図5】基本径方向補正値算出手段の動作を示すフローチャートである。
【図6】基本径方向補正値算出手段における計測動作を示す図である。
【図7】変動径方向補正値算出手段の動作を示すフローチャートである。
【図8】変動径方向補正値算出手段における計測動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本開示の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本開示が適用される工作機械の一例を示している。工作機械１は、３軸マシニングセンタであり、主軸頭６は、コラム４及びサドル５を介して、並進軸であり互いに直交するＸ軸、Ｚ軸によってベッド２に対して並進２自由度の運動が可能である。テーブル３は、並進軸でありＸ軸およびＺ軸に直交するＹ軸によりベッド２に対して並進１自由度の運動が可能である。したがって、主軸頭６は、テーブル３に対して並進３自由度の運動が可能である。各送り軸は、後述するＮＣ装置１０により制御されるサーボモータにより駆動され、図示しないワークをテーブル３に固定し、主軸頭６の主軸７に図示しない工具を装着して回転させ、ワークと工具との相対位置および相対姿勢を制御することで、ワークの加工を行うことができる。
主軸７には、タッチプローブ８を装着することができる。テーブル３には、タッチプローブ８の校正基準として基準球９を設置することができる。
図１は、本開示が適用される工作機械の一例を示している。工作機械１は、３軸マシニングセンタであり、主軸頭６は、コラム４及びサドル５を介して、並進軸であり互いに直交するＸ軸、Ｚ軸によってベッド２に対して並進２自由度の運動が可能である。テーブル３は、並進軸でありＸ軸およびＺ軸に直交するＹ軸によりベッド２に対して並進１自由度の運動が可能である。したがって、主軸頭６は、テーブル３に対して並進３自由度の運動が可能である。各送り軸は、後述するＮＣ装置１０により制御されるサーボモータにより駆動され、図示しないワークをテーブル３に固定し、主軸頭６の主軸７に図示しない工具を装着して回転させ、ワークと工具との相対位置および相対姿勢を制御することで、ワークの加工を行うことができる。
主軸７には、タッチプローブ８を装着することができる。テーブル３には、タッチプローブ８の校正基準として基準球９を設置することができる。
【0012】
図２は、工作機械１に設けられるＮＣ装置１０の構成を示している。ＮＣ装置１０は、ＣＰＵ及びＣＰＵに接続されたメモリを含んで構成される。主軸７及び各並進軸は、ＮＣ装置１０により、動作プログラムや作業者によるボタン操作により制御される。ＮＣ装置１０により制御される各送り軸及び主軸７は、本開示の計測点計測手段及び計測基準計測手段の一例である。
ＮＣ装置１０には、本開示の第１の構成に係るタッチプローブ８の補正値設定システムの構成部として、基本径方向補正値算出手段１１、変動径方向補正値算出手段１２、径方向補正値記録手段１３、径方向補正値設定手段１６が備えられている。基本径方向補正値算出手段１１、変動径方向補正値算出手段１２および径方向補正値設定手段１６は、工作機械１の動作指令や補正値の演算を行うためのプログラムとしてＮＣ装置１０に設定される。径方向補正値記録手段１３は、記録のためのメモリとしてＮＣ装置１０に備えられている。径方向補正値記録手段１３は、本開示の補正値記録手段の一例である。
ＮＣ装置１０には、本開示の第１の構成に係るタッチプローブ８の補正値設定システムの構成部として、基本径方向補正値算出手段１１、変動径方向補正値算出手段１２、径方向補正値記録手段１３、径方向補正値設定手段１６が備えられている。基本径方向補正値算出手段１１、変動径方向補正値算出手段１２および径方向補正値設定手段１６は、工作機械１の動作指令や補正値の演算を行うためのプログラムとしてＮＣ装置１０に設定される。径方向補正値記録手段１３は、記録のためのメモリとしてＮＣ装置１０に備えられている。径方向補正値記録手段１３は、本開示の補正値記録手段の一例である。
【0013】
基本径方向補正値算出手段１１では、後述する計測手順により、テーブル３に設置した基準球９を、主軸７に装着したタッチプローブ８により計測する。計測の結果、算出された基本径方向補正値１４は、径方向補正値記録手段１３に記録される。
ついで、変動径方向補正値算出手段１２では、後述する計測手順により、計測対象となるテーブル３の側面またはテーブル３に設置されたワーク等の側面を、タッチプローブ８により計測する。変動径方向補正値算出手段１２は、その計測結果と、基本径方向補正値１４とを用いて、変動径方向補正値１５を算出し、径方向補正値記録手段１３に記録する。ついで、径方向補正値設定手段１６では、基本径方向補正値１４と変動径方向補正値１５とを合計して、径方向補正値１７を算出する。
ついで、変動径方向補正値算出手段１２では、後述する計測手順により、計測対象となるテーブル３の側面またはテーブル３に設置されたワーク等の側面を、タッチプローブ８により計測する。変動径方向補正値算出手段１２は、その計測結果と、基本径方向補正値１４とを用いて、変動径方向補正値１５を算出し、径方向補正値記録手段１３に記録する。ついで、径方向補正値設定手段１６では、基本径方向補正値１４と変動径方向補正値１５とを合計して、径方向補正値１７を算出する。
【0014】
次に、基本径方向補正値１４について説明する。基本径方向補正値１４は、タッチプローブ８での計測時の誤差成分のうち、経時変化が生じにくい成分（基本径方向誤差）を補正するためのものである。具体的には、タッチプローブ８のメカ特性に起因する誤差がある。タッチプローブ８には、一般的に中心軸周りに１２０°ごとにタッチプローブ８のスタイラスと被測定物との接触を検知するための接点対が配置され、タッチプローブ８が被測定物に接触する方向によって接点対の離れ方が異なる性質を持つ。このような性質を持つタッチプローブ８で、様々な方向に径方向の計測を行うと、図３に示すような誤差が生じる。
図３は、タッチプローブ８の接触方向に対する計測結果をプロットしたものであり、誤差がないときは破線のように円形となる。これに対し、タッチプローブ８のメカ特性に起因する誤差が加わると、実線で示すように１２０°周期で凹凸が繰り返される波形となる。このとき、基本径方向誤差は、１２０°周期で変化するため、以下の式（１）の関係となる。
図３は、タッチプローブ８の接触方向に対する計測結果をプロットしたものであり、誤差がないときは破線のように円形となる。これに対し、タッチプローブ８のメカ特性に起因する誤差が加わると、実線で示すように１２０°周期で凹凸が繰り返される波形となる。このとき、基本径方向誤差は、１２０°周期で変化するため、以下の式（１）の関係となる。
【0015】
【数1】
【0016】
本実施例では、基本径方向誤差が１２０°周期で変化すると仮定し、基本径方向補正値１４を求めるが、変化する周期は１２０°に限らず、３６０°を３以上の任意の整数で等分した角度とすることができる。角度の周期をθｆとして、式（１）を書き直すと、以下の式（２）のようになる。
【0017】
【数2】
【0018】
次に、変動径方向補正値１５について説明する。変動径方向補正値１５は、タッチプローブ８での計測時の誤差成分のうち、経時的に変化する成分（変動径方向誤差）を補正するためのものである。具体的には、熱変形により、図４のようにタッチプローブ８が変形することによる誤差がある。図４はタッチプローブ８のスタイラス８ａが曲がった状態について、タッチプローブ８の上から見た場合（図４Ａ）と、真横から見た場合（図４Ｂ）について示している。スタイラス８ａの曲がりは、主軸７の中心に対するスタイラス球８ｂの中心位置の角度θｖと、主軸７の中心に対するスタイラス球８ｂの中心位置までの距離ｄｖとで表すことができる。前者の角度θｖは、タッチプローブ８の接触方向の角度θに対して、平面視で主軸７の中心とスタイラス球８ｂの中心とを結ぶ線がなす角度である。後者の距離ｄｖは、主軸７の中心とスタイラス球８ｂの中心との水平方向の距離である。このとき、変動径方向誤差は、以下の式（３）で表すことができる。
【0019】
【数3】
【0020】
以上で説明したように、基本径方向補正値１４は、タッチプローブ固有のメカ特性に依存する値であり、経時変化の影響を受けにくいため、基本径方向補正値算出手段１１は、ある種類のタッチプローブに対して一度実行すればよい。また、基本径方向補正値算出手段１１では、計測時に基準球９を使用する必要があるが、基本径方向補正値算出手段１１は、ある種類のタッチプローブに対して一度実行すればよいため、基準球９は基本径方向補正値算出手段１１を実行するときのみテーブル３に設置すればよい。
一方、変動径方向補正値１５は、熱変形などの経時変化に依存する値であるため、変動径方向補正値算出手段１２は、タッチプローブ８に生じた経時変化による誤差を補正する目的で、タッチプローブ８を使用してワークを計測する前などにその都度実施されることを想定している。しかし、変動径方向補正値算出手段１２による計測は、テーブル３の側面またはテーブル３に設置されたワーク等の計測対象の側面をタッチプローブ８により計測することで実施可能であるため、基準球９をテーブル３に設置する必要はない。つまり、基準球９を常時テーブル３に設置したり、作業者が計測時にその都度テーブル３に設置したりする作業を行う必要はない。
一方、変動径方向補正値１５は、熱変形などの経時変化に依存する値であるため、変動径方向補正値算出手段１２は、タッチプローブ８に生じた経時変化による誤差を補正する目的で、タッチプローブ８を使用してワークを計測する前などにその都度実施されることを想定している。しかし、変動径方向補正値算出手段１２による計測は、テーブル３の側面またはテーブル３に設置されたワーク等の計測対象の側面をタッチプローブ８により計測することで実施可能であるため、基準球９をテーブル３に設置する必要はない。つまり、基準球９を常時テーブル３に設置したり、作業者が計測時にその都度テーブル３に設置したりする作業を行う必要はない。
【0021】
次に、図５のフローチャートを用いて、本開示の第２の構成に係る基本径方向補正値算出手段１１での計測方法および基本径方向補正値１４の算出方法を説明する。
Ａ１：校正基準を工作機械１に設置する。ここでは図１のように基準球９をテーブル３に設置する。但し、設置場所はテーブル３でなくてもよい。校正基準は、基準球９以外に円柱状のものやリング状のものを使用してもよいが、工作機械１のＸＹ面内に校正基準の円周が配置されるように校正基準を設置する。
Ａ２：校正基準計測角度（校正基準の円周部を計測するときの、円周の中心に対する角度）を設定する。校正基準計測角度は、「径方向補正値を求めたい角度」をθ、メカ特性に起因する誤差の周期の角度をθｆとして、θ、θ＋θｆ、θ＋２θｆの少なくとも３つの角度を設定する。例えば、「径方向補正値を求めたい角度」が０°で、メカ特性に起因する誤差の周期が１２０°の場合は、０°、１２０°、２４０°のように１２０°の等ピッチで３つの角度を設定すればよい。
Ａ３およびＡ４：設定された校正基準計測角度において、校正基準を径方向に計測する。これをＡ２で設定した全ての校正基準計測角度に対して行う。Ａ１～Ａ４は、本開示の校正基準計測ステップの一例である。
Ａ１：校正基準を工作機械１に設置する。ここでは図１のように基準球９をテーブル３に設置する。但し、設置場所はテーブル３でなくてもよい。校正基準は、基準球９以外に円柱状のものやリング状のものを使用してもよいが、工作機械１のＸＹ面内に校正基準の円周が配置されるように校正基準を設置する。
Ａ２：校正基準計測角度（校正基準の円周部を計測するときの、円周の中心に対する角度）を設定する。校正基準計測角度は、「径方向補正値を求めたい角度」をθ、メカ特性に起因する誤差の周期の角度をθｆとして、θ、θ＋θｆ、θ＋２θｆの少なくとも３つの角度を設定する。例えば、「径方向補正値を求めたい角度」が０°で、メカ特性に起因する誤差の周期が１２０°の場合は、０°、１２０°、２４０°のように１２０°の等ピッチで３つの角度を設定すればよい。
Ａ３およびＡ４：設定された校正基準計測角度において、校正基準を径方向に計測する。これをＡ２で設定した全ての校正基準計測角度に対して行う。Ａ１～Ａ４は、本開示の校正基準計測ステップの一例である。
【0022】
この計測方法について図６を用いて説明する。
図６は、基準球９とタッチプローブ８のスタイラス球８ｂとを上から見た図である。大きい円が基準球９、その周囲の小さい円がスタイラス球８ｂを表している。また、黒い三角は主軸７の回転角度を表している。このとき、校正基準である基準球９の中心を通る線上を基準球９の円周に向かってタッチプローブ８を動かすことにより計測を行う。例えば、校正基準計測角度として０°、１２０°、２４０°を設定した場合は、図６の実線矢印の方向にタッチプローブ８を動かして基準球９にスタイラス球８ｂを接触させ、計測を行う。このとき、主軸７の回転角度は一定のまま、それぞれの校正基準計測角度での計測を行う。
Ａ５およびＡ６：計測結果に基づいて、基本径方向補正値Ｅｂ,θおよび校正基準計測時の変動径方向補正値Ｅ^（ハット記号付きを示す。以下同じ）ｖ,θを計算する。Ａ５は、本開示の基本径方向補正値算出ステップの一例である。
図６は、基準球９とタッチプローブ８のスタイラス球８ｂとを上から見た図である。大きい円が基準球９、その周囲の小さい円がスタイラス球８ｂを表している。また、黒い三角は主軸７の回転角度を表している。このとき、校正基準である基準球９の中心を通る線上を基準球９の円周に向かってタッチプローブ８を動かすことにより計測を行う。例えば、校正基準計測角度として０°、１２０°、２４０°を設定した場合は、図６の実線矢印の方向にタッチプローブ８を動かして基準球９にスタイラス球８ｂを接触させ、計測を行う。このとき、主軸７の回転角度は一定のまま、それぞれの校正基準計測角度での計測を行う。
Ａ５およびＡ６：計測結果に基づいて、基本径方向補正値Ｅｂ,θおよび校正基準計測時の変動径方向補正値Ｅ^（ハット記号付きを示す。以下同じ）ｖ,θを計算する。Ａ５は、本開示の基本径方向補正値算出ステップの一例である。
【0023】
この計算の内容について説明する。ある校正基準計測角度θを設定して計測した場合の、校正基準の中心座標から、スタイラス球８ｂが校正基準の円周部に接触したときの座標までの距離は、校正基準の半径、スタイラス球８ｂの半径、基本径方向誤差、変動径方向誤差を考慮し、以下の式（４）で表すことができる。
【0024】
【数4】
【0025】
θ、θ＋θｆ、θ＋２θｆの３つの角度で計測を行うと、以下の式（５）の３つの結果が得られる。
【0026】
【数5】
【0027】
式（５）は、式（２）の関係より、以下の式（６）のようになる
【0028】
【数6】
【0029】
以上の式のうち、未知数はＥｂ、θ、ｄ^ｖ、θ^ｖの３つであり、他の変数は既知である。３つの未知数に対し式が３つあるため、連立方程式として式（６）を解くことができる。すなわち、角度θにおける基本径方向誤差Ｅｂ，θおよび校正基準計測時の変動径方向誤差Ｅ^ｖ，θを同定することができる。
具体的な例として、θｆ＝１２０°で、θ＝０°、９０°、１８０°、２７０°の４方向について同定する場合について説明する。
まず、θ＝０°、θ＋θｆ＝１２０°、θ＋２θｆ＝２４０°の校正基準計測角度に対して測定を行い、式（６）の連立方程式を解いて、Ｅｂ、０、ｄ^ｖ、θ^ｖを計算する。以上の計算で、ｄ^ｖ、θ^ｖが求められたため、任意の角度に対する校正基準計測時の変動径方向誤差Ｅ^ｖ，θを計算することができる。
よって、残りの角度である９０°、１８０°、２７０°については、式（４）の関係から簡単に求めることができる。つまり、θ＝０°、９０°、１２０°、１８０°、２４０°、２７０°の６つの角度で計測することで、θ＝０°、９０°、１８０°、２７０°の４方向についての基本径方向誤差Ｅｂ，０、Ｅｂ，９０、Ｅｂ，１８０、Ｅｂ，２７０を同定することができる。
具体的な例として、θｆ＝１２０°で、θ＝０°、９０°、１８０°、２７０°の４方向について同定する場合について説明する。
まず、θ＝０°、θ＋θｆ＝１２０°、θ＋２θｆ＝２４０°の校正基準計測角度に対して測定を行い、式（６）の連立方程式を解いて、Ｅｂ、０、ｄ^ｖ、θ^ｖを計算する。以上の計算で、ｄ^ｖ、θ^ｖが求められたため、任意の角度に対する校正基準計測時の変動径方向誤差Ｅ^ｖ，θを計算することができる。
よって、残りの角度である９０°、１８０°、２７０°については、式（４）の関係から簡単に求めることができる。つまり、θ＝０°、９０°、１２０°、１８０°、２４０°、２７０°の６つの角度で計測することで、θ＝０°、９０°、１８０°、２７０°の４方向についての基本径方向誤差Ｅｂ，０、Ｅｂ，９０、Ｅｂ，１８０、Ｅｂ，２７０を同定することができる。
【0030】
Ａ７：計算の結果、同定した誤差を、基本径方向補正値１４および校正基準計測時の変動径方向補正値１５として記録する。Ａ７は、本開示の補正値記録ステップの一例である。
以上で説明した方法により、基本径方向補正値算出手段１１で校正基準の計測結果から基本径方向補正値１４を算出し記録する。
以上で説明した方法により、基本径方向補正値算出手段１１で校正基準の計測結果から基本径方向補正値１４を算出し記録する。
【0031】
次に、図７のフローチャートを用いて、本開示の第２の構成に係る変動径方向補正値算出手段１２での計測方法および変動径方向補正値１５の算出方法、径方向補正値設定手段１６での径方向補正値１７の設定方法を説明する。
Ｂ１：計測対象の側面上の計測点一か所を設定する。側面上の計測点の条件は、計測点での側面に対する法線ベクトルが、主軸７と直交する方向になることである。設定する計測対象の側面は、テーブル３など、工作機械１の構造物自体の側面でも良いし、テーブル３上に設置された治具やワークの側面でも良い。
Ｂ２：径方向補正値記録手段１３に記録されている基本径方向補正値Ｅｂ、θを読み込む。
Ｂ３：設定した計測位置を計測するときの主軸割出角度を設定する。このとき、基本径方向補正値Ｅｂ、θが既知である（径方向補正値記録手段１３に記録されている）角度を３つ以上設定する。
Ｂ１：計測対象の側面上の計測点一か所を設定する。側面上の計測点の条件は、計測点での側面に対する法線ベクトルが、主軸７と直交する方向になることである。設定する計測対象の側面は、テーブル３など、工作機械１の構造物自体の側面でも良いし、テーブル３上に設置された治具やワークの側面でも良い。
Ｂ２：径方向補正値記録手段１３に記録されている基本径方向補正値Ｅｂ、θを読み込む。
Ｂ３：設定した計測位置を計測するときの主軸割出角度を設定する。このとき、基本径方向補正値Ｅｂ、θが既知である（径方向補正値記録手段１３に記録されている）角度を３つ以上設定する。
【0032】
Ｂ４およびＢ５：設定された主軸割出角度に主軸７を割出し、タッチプローブ８により、計測する側面に垂直な方向に動かして、側面上の計測点を径方向に計測する。これをＢ３で設定した全ての主軸割出角度に対して行う。Ｂ１～Ｂ５は、本開示の計測点計測ステップの一例である。
この計測方法について図８を用いて説明する。図８は、計測対象とタッチプローブ８のスタイラス球８ｂとを上から見た図である。図８は、計測対象のＸ＋側の側面をタッチプローブ８で測定する場合を想定し、ハッチング部分が計測対象、黒丸が計測点、小さい円がスタイラス球８ｂを表している。また、黒い三角は主軸７の回転角度を表している。この図では説明のため３つの図に分けているが黒丸の計測点は同じ一か所の計測点を表している。主軸割出角度として０°、１２０°、２４０°を設定した場合は、図８のように、主軸回転角度を変えて測定を行う。このとき、スタイラス円周上の接触位置が、図６で示した基本径方向補正値算出手段１１での計測時と同じになるように主軸回転角度を変える。その後、図８の左矢印方向にタッチプローブ８を動かして計測対象にスタイラス球８ｂを接触させ、計測を行う。
この計測方法について図８を用いて説明する。図８は、計測対象とタッチプローブ８のスタイラス球８ｂとを上から見た図である。図８は、計測対象のＸ＋側の側面をタッチプローブ８で測定する場合を想定し、ハッチング部分が計測対象、黒丸が計測点、小さい円がスタイラス球８ｂを表している。また、黒い三角は主軸７の回転角度を表している。この図では説明のため３つの図に分けているが黒丸の計測点は同じ一か所の計測点を表している。主軸割出角度として０°、１２０°、２４０°を設定した場合は、図８のように、主軸回転角度を変えて測定を行う。このとき、スタイラス円周上の接触位置が、図６で示した基本径方向補正値算出手段１１での計測時と同じになるように主軸回転角度を変える。その後、図８の左矢印方向にタッチプローブ８を動かして計測対象にスタイラス球８ｂを接触させ、計測を行う。
【0033】
Ｂ６：計測結果に基づいて、変動径方向補正値Ｅｖ，θを計算して記録する。Ｂ６は、本開示の変動径方向補正値算出ステップ及び補正値記録ステップの一例である。
この計算の内容について説明する。ある主軸割出角度θを設定して、ある側面を計測した場合に得られる座標値は、スタイラス球８ｂの半径、基本径方向誤差、変動径方向誤差を考慮し、以下の式（７）で表すことができる。
この計算の内容について説明する。ある主軸割出角度θを設定して、ある側面を計測した場合に得られる座標値は、スタイラス球８ｂの半径、基本径方向誤差、変動径方向誤差を考慮し、以下の式（７）で表すことができる。
【0034】
【数7】
【0035】
例えば、θ１、θ２、θ３の３つの角度で計測を行うと以下の式（８）に示す３つの結果が得られる。Ｂ３で説明した通り、θ１、θ２、θ３に対する基本径方向補正値Ｅｂ，θ１、Ｅｂ，θ２、Ｅｂ，θ３は既知である。
【0036】
【数8】
【0037】
以上の式のうち、未知数はＸ０、ｄｖ、θｖの３つであり、他の変数は既知である。３つの未知数に対し式が３つあるため、連立方程式として式（８）を解くことができる。ｄｖ、θｖが求められるため、任意の角度θにおける変動径方向誤差Ｅｖ，θを同定することができる。以上の方法で同定した各誤差を補正値として設定する。
Ｂ７：Ｂ２で読み込んだ基本径方向補正値とＢ６で求めた変動径方向補正値との合計となる径方向補正値を計算する。Ｂ７は、本開示の径方向補正値設定ステップの一例である。
径方向補正値は、式に表すと以下の式（９）のようになる。
Ｂ７：Ｂ２で読み込んだ基本径方向補正値とＢ６で求めた変動径方向補正値との合計となる径方向補正値を計算する。Ｂ７は、本開示の径方向補正値設定ステップの一例である。
径方向補正値は、式に表すと以下の式（９）のようになる。
【0038】
【数9】
【0039】
以上で説明した方法により、変動径方向補正値算出手段１２において複数の主軸割出角度で側面を計測した結果から変動径方向補正値１５を算出し、予め記録された基本径方向補正値１４と足し合わせることで径方向補正値１７を求めることができる。この方法で径方向補正値１７の設定を行った後、タッチプローブ８で径方向にワークを計測したときの計測結果を径方向補正値１７に基づいて補正することで、タッチプローブ８に熱変形などによる経時変化が生じた場合でも、ワークを精度よく計測することができる?
【0040】
このように、上記形態のタッチプローブ８の補正値設定システム及び補正値設定方法は、所定の計測点の座標を、主軸７に装着したタッチプローブ８により、３つの主軸７の回転角度で計測し、計測点の計測結果から、タッチプローブ８に生じた経時変化に伴う誤差を補正するための変動径方向補正値１５を算出し、算出された変動径方向補正値１５を記録して、記録された変動径方向補正値１５を径方向補正値１７に設定する。
この構成によれば、変動径方向補正値１５を、工作機械１または工作機械１に設置された所定の計測点について計測することにより求めることができる。つまり、基準球などの特別な校正基準を使用することなく変動径方向補正値１５を計測することができる。
よって、校正基準を工作機械１の機内に常時設置する場合に生じる、ワークを設置するためのスペースが小さくなる問題や、切粉や切削液の影響等により校正基準が経年劣化し、径方向補正値の計測精度が悪化する問題がなくなる。また、校正基準を着脱可能として計測時に機内に設置する場合に生じる、毎回の径方向補正値の計測時に設置する作業も必要なくなる。
従って、基準球などの特別な校正基準を使用することなく、タッチプローブ８に熱変形などによる経時変化が生じた場合に径方向補正値１７の再設定を容易に行うことができる。
この構成によれば、変動径方向補正値１５を、工作機械１または工作機械１に設置された所定の計測点について計測することにより求めることができる。つまり、基準球などの特別な校正基準を使用することなく変動径方向補正値１５を計測することができる。
よって、校正基準を工作機械１の機内に常時設置する場合に生じる、ワークを設置するためのスペースが小さくなる問題や、切粉や切削液の影響等により校正基準が経年劣化し、径方向補正値の計測精度が悪化する問題がなくなる。また、校正基準を着脱可能として計測時に機内に設置する場合に生じる、毎回の径方向補正値の計測時に設置する作業も必要なくなる。
従って、基準球などの特別な校正基準を使用することなく、タッチプローブ８に熱変形などによる経時変化が生じた場合に径方向補正値１７の再設定を容易に行うことができる。
【0041】
特にここでは、基準球９を用いて、タッチプローブ８により、基準球９の円周の中心に対して３つの異なる角度である校正基準計測角度の方向から基準球９を計測し、基準球９の計測結果から、タッチプローブ８のメカ特性に起因する誤差を補正するための基本径方向補正値１４を算出し、算出された基本径方向補正値１４を記録して、記録された基本径方向補正値１４と変動径方向補正値１５との合計値を径方向補正値１７に設定している。
すなわち、タッチプローブ８の径方向補正値１７を、経時変化の影響を受けにくい基本径方向補正値１４と、経時変化の影響を受けやすい変動径方向補正値１５とに基づいて算出するので、精度の高い径方向補正値１７が再設定可能となる。また、基本径方向補正値１４の算出に基準球９を使用してもその設置作業等が最小限ですむ。
すなわち、タッチプローブ８の径方向補正値１７を、経時変化の影響を受けにくい基本径方向補正値１４と、経時変化の影響を受けやすい変動径方向補正値１５とに基づいて算出するので、精度の高い径方向補正値１７が再設定可能となる。また、基本径方向補正値１４の算出に基準球９を使用してもその設置作業等が最小限ですむ。
【0042】
以下、本開示の変更例について説明する。
上記形態では、基本径方向補正値の算出にあたり、校正基準計測時の変動径方向誤差値を用いているが、校正基準計測時の変動径方向誤差値を用いずに基本径方向補正値を算出してもよい。
基本径方向補正値は、タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するためのものであるが、タッチプローブの種類によっては、メカ特性に起因する誤差が小さい場合がある。この場合、基本径方向補正値の算出は必要ない。
よって、基本径方向補正値の算出が必要ない場合、補正値設定システムでは、図２の基本径方向補正値算出手段１１および基本径方向補正値１４は省略することができる。補正値設定方法では、図７において、Ｂ２の基本径方向補正値の読み込みが行われず、変動径方向補正値算出手段１２によりＢ６で算出されて記録された変動径方向補正値が、そのままＢ７で径方向補正値として設定される。
上記形態では、基本径方向補正値の算出にあたり、校正基準計測時の変動径方向誤差値を用いているが、校正基準計測時の変動径方向誤差値を用いずに基本径方向補正値を算出してもよい。
基本径方向補正値は、タッチプローブのメカ特性に起因する誤差を補正するためのものであるが、タッチプローブの種類によっては、メカ特性に起因する誤差が小さい場合がある。この場合、基本径方向補正値の算出は必要ない。
よって、基本径方向補正値の算出が必要ない場合、補正値設定システムでは、図２の基本径方向補正値算出手段１１および基本径方向補正値１４は省略することができる。補正値設定方法では、図７において、Ｂ２の基本径方向補正値の読み込みが行われず、変動径方向補正値算出手段１２によりＢ６で算出されて記録された変動径方向補正値が、そのままＢ７で径方向補正値として設定される。
【0043】
上記形態では、工作機械として３軸マシニングセンタを例示しているが、適用可能な工作機械の軸構成はこれに限らない。マシニングセンタに限らず旋盤や複合加工機、研削盤などでもよい。また軸数は３軸に限らず、回転軸によりテーブルや主軸頭が回転１自由度以上を持つ機構でもよい。
また、上記形態では、校正基準として基準球を使用しているが、基準球以外に、外側の円周面を計測可能な円柱形の基準や、内側の円周面を計測可能なリングゲージを使用してもよい。
基本径方向補正値及び変動径方向補正値の算出に当たって計測する主軸の回転角度及び校正基準計測角度は、適宜変更できる。角度も上記形態の３つに限らず、４つ以上で設定してもよい。
また、上記形態では、校正基準として基準球を使用しているが、基準球以外に、外側の円周面を計測可能な円柱形の基準や、内側の円周面を計測可能なリングゲージを使用してもよい。
基本径方向補正値及び変動径方向補正値の算出に当たって計測する主軸の回転角度及び校正基準計測角度は、適宜変更できる。角度も上記形態の３つに限らず、４つ以上で設定してもよい。
【符号の説明】
【0044】
１・・工作機械、２・・ベッド、３・・テーブル、６・・主軸頭、７・・主軸、８・・タッチプローブ、８ａ・・スタイラス、８ｂ・・スタイラス球、９・・基準球、１０・・ＮＣ装置、１１・・基本径方向補正値算出手段、１２・・変動径方向補正値算出手段、１３・・径方向補正値記録手段、１４・・基本径方向補正値、１５・・変動径方向補正値、１６・・径方向補正値設定手段、１７・・径方向補正値。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】