特開 2025-21804 圧電素子を有する変換器およびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025021804

(43)【公開日】2025-02-14

(54)【発明の名称】圧電素子を有する変換器およびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   H04R 17/00 20060101AFI20250206BHJP

   H04R 31/00 20060101ALI20250206BHJP

   H04R 7/16 20060101ALI20250206BHJP

   H04R 1/40 20060101ALI20250206BHJP

   H04R 7/04 20060101ALI20250206BHJP

【ＦＩ】

H04R17/00

H04R31/00 Z

H04R7/16

H04R1/40 310

H04R7/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023125772

(22)【出願日】2023-08-01

(71)【出願人】

【識別番号】000010098

【氏名又は名称】アルプスアルパイン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100085453

【弁理士】

【氏名又は名称】野▲崎▼ 照夫

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 亮

(72)【発明者】

【氏名】不藤 平四郎

【テーマコード（参考）】

5D004

5D016

5D018

【Ｆターム（参考）】

5D004BB03

5D004CC01

5D004CC10

5D004DD01

5D004DD02

5D004FF08

5D004GG00

5D016FA00

5D016GA01

5D016HA07

5D018AF22

5D018AF23

(57)【要約】      （修正有）

【課題】圧電素子による複数の振動部を簡単な構造で構成できるようにした圧電素子を有する変換器およびその製造方法を提供する。
【解決手段】変換器１において、圧電シート２には、可撓性基板の表面に圧電素子が形成されている。支持部材３には、金属板などの支持板３０に同じ内径寸法の複数の穴３５が形成されている。圧電シート２は、支持板３０の第１表面３１に重ねられ、接着されて固定されている。圧電シート２の素子領域ＤＡのうちの穴３５が対向している領域が振動部（ｖ）で、穴３５以外の領域が圧電シート２が動くことのなく固定された拘束部（ｓ）となっている。複数の振動部（ｖ）が同じ共振周波数を有し、振動部（ｖ）から超音波などを同期して発生させることができる。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

可撓性基板と、前記可撓性基板の表面に形成された圧電素子と、を有する変換器において、
前記可撓性基板の表面に前記圧電素子が面方向に連続する素子領域が形成され、
前記可撓性基板よりも剛性が高く、複数の穴が形成された支持部材が設けられ、前記支持部材に前記可撓性基板が重ねられて、前記素子領域に複数の前記穴が対向しており、
複数の前記穴の内部で前記可撓性基板が自由状態であり、前記穴以外の領域で、前記可撓性基板が前記支持部材に固定されていることを特徴とする圧電素子を有する変換器。

【請求項2】

前記素子領域に重ねられている複数の前記穴の内径が同じである請求項１記載の圧電素子を有する変換器。

【請求項3】

前記可撓性基板の２つの表面のそれぞれに前記支持部材が重ねられ、２つの前記支持部材の穴の中心が一致した状態で、前記支持部材の前記穴が形成されていない領域が前記可撓性基板のそれぞれの表面に固定されている請求項１記載の圧電素子を有する変換器。

【請求項4】

前記素子領域と重ねられている前記支持部材が湾曲している請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電素子を有する変換器。

【請求項5】

可撓性基板と、前記可撓性基板の表面に形成された圧電素子と、を有する変換器の製造方法において、
前記可撓性基板の表面に前記圧電素子が面方向に連続する素子領域を形成する工程と、
前記可撓性基板よりも剛性が高い材料を使用して、複数の穴が形成された支持部材を形成する工程と、
前記支持部材に前記可撓性基板を重ねて、前記素子領域に複数の前記穴を対向させ、複数の前記穴の内部で前記可撓性基板を自由状態とし、前記穴以外の領域で、前記可撓性基板を前記支持部材に固定する工程と、
を有することを特徴とする圧電素子を有する変換器の製造方法。

【請求項6】

前記素子領域を形成する工程では、
前記可撓性基板の表面に、下面電極層と圧電材料層および上面電極層を順番に積層する請求項５記載の圧電素子を有する変換器の製造方法。

【請求項7】

前記素子領域を形成する工程では、
高分子圧電材料で形成された圧電材料層の下面に下面電極層を上面に上面電極層を積層して圧電素子を形成し、
前記圧電素子を、可撓性基板の表面に固定する請求項５記載の圧電素子を有する変換器の製造方法。

【請求項8】

前記可撓性基板と前記支持部材とを重ねる工程の前または後で、
前記支持部材を湾曲させる工程を有する請求項５ないし７のいずれかに記載の圧電素子を有する変換器の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スピーカやセンサなどとして使用可能な圧電素子を使用した変換器に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に超音波トランスデューサーに関する発明が記載されている。この超音波トランスデューサーは、板厚方向に振動可能な弾性を有する弾性板を有している。弾性板は、ステンレス、Ｎｉ－Ｆｅ合金、アルミ合金、チタン合金、あるいは炭素繊維強化プラスチックあるいはセラミックなどで形成される。弾性板の第１面に、複数の圧電素子が板面方向に並列状態で固着されている。圧電素子はＰＺＴからなる圧電本体と、圧電本体の厚み方向両側に配置された一対の上面電極層および下面電極層を有している。また、複数の圧電素子のそれぞれを平面視において囲む複数の筒状部を有する封止部材と、複数の圧電素子に対する電圧供給経路となるフレキシブル配線板とを備えている。

【0003】

弾性板には、複数の圧電素子がそれぞれ装着される振動領域と、振動領域のそれぞれを囲む複数の低剛性領域と、複数の低剛性領域をそれぞれ囲む拘束領域を有している。拘束領域よりも径方向の外方に位置する境界領域では、弾性板にスリット部が形成されている。低剛性領域で囲まれた複数の振動領域に圧電素子を設けることで、複数の振動領域を近接して配置できるものとなっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開 ＷＯ２０２０／２０２３５１公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載された超音波トランスデューサーは、弾性板の第１面に、複数の振動領域が近接して配置されているが、それぞれの振動領域に圧電素子を個別に固着する必要があり、さらに弾性板の表面にフレキシブル配線板を設け、フレキシブル配線板をそれぞれの圧電素子に個別に配線する必要があるため、製造工程が非常に煩雑である。

【0006】

本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、多数の圧電素子を個別に設けなくても、圧電素子を使用した複数の振動部を形成することができる圧電素子を使用した変換器およびその製造方法を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、可撓性基板と、前記可撓性基板の表面に形成された圧電素子と、を有する変換器において、
前記可撓性基板の表面に前記圧電素子が面方向に連続する素子領域が形成され、
前記可撓性基板よりも剛性が高く、複数の穴が形成された支持部材が設けられ、前記支持部材に前記可撓性基板が重ねられて、前記素子領域に複数の前記穴が対向しており、
複数の前記穴の内部で前記可撓性基板が自由状態であり、前記穴以外の領域で、前記可撓性基板が前記支持部材に固定されていることを特徴とするものである。

【0008】

本発明の圧電素子を有する変換器は、前記素子領域に重ねられている複数の前記穴の内径が同じであることが好ましい。

【0009】

本発明の圧電素子を有する変換器は、前記可撓性基板の２つの表面のそれぞれに前記支持部材が重ねられ、２つの前記支持部材の穴の中心が一致した状態で、前記支持部材の前記穴が形成されていない領域が前記可撓性基板のそれぞれの表面に固定されているものであってもよい。

【0010】

本発明の圧電素子を有する変換器は、前記素子領域と重ねられている前記支持部材が湾曲しているものとして構成できる。

【0011】

また、本発明は、可撓性基板と、前記可撓性基板の表面に形成された圧電素子と、を有する変換器の製造方法において、
前記可撓性基板の表面に前記圧電素子が面方向に連続する素子領域を形成する工程と、
前記可撓性基板よりも剛性が高い材料を使用して、複数の穴が形成された支持部材を形成する工程と、
前記支持部材に前記可撓性基板を重ねて、前記素子領域に複数の前記穴を対向させ、複数の前記穴の内部で前記可撓性基板を自由状態とし、前記穴以外の領域で、前記可撓性基板を前記支持部材に固定する工程と、
を有することを特徴とするものである。

【0012】

本発明の圧電素子を有する変換器の製造方法は、
前記素子領域を形成する工程で、
前記可撓性基板の表面に、下面電極層と圧電材料層および上面電極層を順番に積層するものである。

【0013】

本発明の圧電素子を有する変換器の製造方法は、
前記素子領域を形成する工程で、
高分子圧電材料で形成された圧電材料層の下面に下面電極層を上面に上面電極層を積層して圧電素子を形成し、
前記圧電素子を、可撓性基板の表面に固定するものである。

【0014】

本発明の圧電素子を有する変換器の製造方法は、
前記可撓性基板と前記支持部材とを重ねる工程の前または後で、
前記支持部材を湾曲させる工程を有するものとして構成できる。

【発明の効果】

【0015】

本発明の変換器は、可撓性基板の表面に、圧電素子が面方向に連続する素子領域が形成され、可撓性基板の表面に複数の穴を有する支持部材が重ねられて、素子領域の中で複数の穴が対向している部分が振動部として機能している。ひとつの素子領域を使用して実質的に分離された複数の振動部を形成することができるため、小さな圧電素子を複数形成する必要がなくなる。またそれぞれの振動部に個別に配線部材を接続する必要もない。したがって、低コストで複数の振動部を有する変換器を構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の圧電素子を有する変換器の第１実施形態を示す分解斜視図、

【図2】図１に示される変換器が組み立てられた状態を示すＩＩ－ＩＩ線で切断した部分断面図、

【図3】本発明の圧電素子を有する変換器の第２実施形態を示す部分断面図、

【図4】図２に示された変換器に使用されている圧電シートの構成の詳細を示す拡大断面図、

【図5】図２に示された変換器に使用されている圧電シートの構成の変形例を示す拡大断面図、

【図6】本発明の圧電素子を有する変換器の第３実施形態を示す分解斜視図、

【図7】第３実施形態の変換器が組み立てられた状態を示す斜視図、

【発明を実施するための形態】

【0017】

図１と図２に、本発明の第１実施形態の変換器１が示されている。変換器１は、圧電シート２と支持部材３とが重ねられて構成されている。圧電シート２は可撓性基板１０を有している。可撓性基板１０は、ポリイミドフィルムなどのような、弾性を有して撓み変形可能な有機樹脂フィルムである。図４の拡大断面図に示されるように、可撓性基板１０はＺ１方向に向く第１表面１１とＺ２方向に向く第２表面１２とを有しており、第１表面１１に圧電素子２０が固着されて設けられている。図１に示されるように、可撓性基板１０は平面視が四角形であり、第１表面１１に固着された圧電素子２０も四角形である。圧電素子２０は可撓性基板１０の第１表面１１において、広い面積で面方向に連続して形成されている。第１表面１１において圧電素子２０が面方向に連続して形成されている領域が素子領域ＤＡである。

【0018】

図４に示されるように、圧電素子２０は、可撓性基板１０の第１表面１１に固着する下面電極層２１と、下面電極層２１の表面に積層された圧電材料層２３と、圧電材料層２３の表面に積層された上面電極層２２と、を有している。圧電素子２０の製造方法は、可撓性基板１０の第１表面１１に、銅層、銀層、金層などの導電性金属層を蒸着やスパッタなどの方法で形成して下面電極層２１を製造する。その表面に、チタン酸バリウムやジルコン酸バリウムまたはチタン酸ジリコン酸鉛などの強誘電性セラミックを焼成して圧電材料層２３を形成し、その表面に蒸着やスパッタなどの手段で上面電極層２２を形成する。圧電材料層２３に対しては、電界を与えて、膜厚方向（Ｚ方向）を分極方向とする分極処理を行う。または、圧電材料層２３をポリフッ化ビニリデンのような高分子圧電材料で形成し、このフィルム状の圧電材料層２３に下面電極層２１と上面電極層２２を積層して圧電素子２０を形成し、この圧電素子２０を可撓性基板１０の第１表面１１に接着してもよい。この場合も、圧電材料層２３に電界を与えて、膜厚方向（Ｚ方向）を分極方向とする分極処理を行う。

【0019】

図１に示されるように、可撓性基板１０に延長部１３，１４が形成されている。延長部１３の第１表面に下面端子部２４が、延長部１４の第１表面に上面端子部２５が形成されている。下面端子部２４は、導電性金属層であり、下面電極層２１と一体に連続して形成され、または下面電極層２１とは別体に形成されて下面電極層２１に接続されている。上面電極層２５も、導電性金属層であり、上面電極層２２と一体に連続して形成され、または上面電極層２２と別体に形成されて上面電極層２２に接続されている。

【0020】

図１と図２に示される支持部材３は、支持板３０を有している。支持板３０は、可撓性基板１０よりも剛性が高く、可撓性基板１０よりも板厚が十分に大きい。支持板３０はステンレス鋼板などの金属板、またはエポキシ系などの合成樹脂板である。支持板３０は、Ｚ１側に向く第１表面３１と、その反対のＺ２側に向く第２表面３２とを有している。第１表面３１に圧電シート２が重ねられる。支持板３０に複数の穴３５が形成されている。それぞれの穴３５は、その中心線が第１表面３１および第２表面３２と垂直であり、穴３５は支持板３０を貫通して形成されている。複数の穴３５は、第１表面３１に沿う第１方向（Ｘ方向）に一定のピッチで配列しており、第１方向と直交する第２方向（Ｙ方向）にも一定のピッチで配列している。

【0021】

穴３５は、支持板３０の第１表面３１から第２表面３２に向けて内径が一定の円筒穴であり、全ての穴３５は内径（内直径）が同じである。また、穴３５は、圧電シート２が固定される第１表面３１からそれとは逆側の第２表面３２に向けて内径が徐々に広くなるテーパ形状であってもよい。この場合は、全ての穴３５の第１表面３１に現れる開口径が同じである。

【0022】

図２に示されるように、支持部材３を構成する支持板３０の第１表面３１に圧電シート２が接着されて固定されて変換器１が構成される。圧電シート２の素子領域ＤＡはシート面に沿って所定の面積で連続しており、素子領域ＤＡに複数の穴３５が対向するように、支持板３０と圧電シート２とが接着されて固定される。

【0023】

支持部材３において穴３５が形成されていない領域では、圧電シート２の素子領域ＤＡが支持板３０の第１表面３１に接着されて固定されている。支持部材３において穴３５と対向する領域での素子領域ＤＡは、第１表面３１に固定されておらず自由状態である。すなわち穴３５の内部で可撓性基板１０と圧電素子２０が自由状態である。圧電シート２の素子領域ＤＡは、穴３５が形成されている領域に対向する部分が振動部（ｖ）として機能し、穴３５が形成されていない領域は、圧電シート２が支持板３０の第１表面３１に固定された拘束部（ｓ）となる。複数の振動部（ｖ）の群に着目したときに、全ての振動部（ｖ）は円形であり直径が同じである。拘束部（ｓ）では、隣り合う穴３５の間の領域の全面で、素子領域ＤＡが支持板３０の第１表面３１に固定されて拘束されており、可撓性基板１０と圧電素子２０の動きが規制されている。

【0024】

次に、前記変換器１の動作を説明する。
圧電シート２の下面端子部２４と上面端子部２５との間に交流電圧が与えられると、素子領域ＤＡでは、下面電極層２１と上面電極層２２と間の電圧が圧電材料層２３に対して厚さ方向に作用する。圧電材料層２３は板厚方向が分極方向であるため、電圧が作用した圧電材料層２３に歪みが発生する。振動部（ｖ）では、穴３５の内部で圧電シート２が自由状態であるため、歪みが生じる圧電素子２０と可撓性基板１０との体積変化の差により、図２において破線で示されるように、圧電シート２が湾曲変形して振動する。拘束部（ｓ）では、素子領域ＤＡが支持板３０の第１表面３１に固定されているため、圧電シート２が厚み方向へ湾曲することがない。

【0025】

変換器１が圧電スピーカとして使用されると、複数の振動部（ｖ）から、圧電シート２の撓み振動による圧力波が発生する。それぞれの振動部（ｖ）では、穴３５の内部に位置する圧電シート２が、その質量と弾性係数に基づく所定の共振周波数を有するため、圧電シート２に前記共振周波数を含む特定の周波数帯域の交流電圧を与えることで、圧電シート２を高感度で振動させることができる。１つの振動部（ｖ）のみでは圧力波の出力が低いが、同じ径を有し同じ共振周波数を有する複数の振動部（ｖ）が同期して振動するため、変換器１の全体として大きな出力で圧力波を発生させることができる。

【0026】

変換器１は、例えば、高指向性の音響システムを構成するパラメトリック・スピーカとして使用される。このスピーカは、例えば４０ｋＨｚの超音波にＦＭ変調やＡＭ変調をかけ、２つの超音波が交差する空間に可聴域の音を再生させ、あるいは超音波が空気中を伝搬する際の非線形性特性により可聴音を出現させるものである。実施形態の変換器１は、複数の振動部（ｖ）から互いに同期した超音波を発することができるため、超音波の出力を高くすることができ、比較的高い出力で可聴音を再生することができる。

【0027】

図１と図２に示される第１実施形態の変換器１は、圧電シート２が設けられたＺ１側が発音方向（圧力波の送波方向）として使用されてもよいし、支持部材３が設けられたＺ２側が発音方向として使用されてもよい、Ｚ２側が発音方向として使用される場合、穴３５をＺ方向に長い円筒穴とすることで、圧力波の指向性をさらに高めることもできる。また、Ｚ２側が発音方向として使用される場合、穴３５の形状を、内径をＺ２方向に向けて内径が徐々に大きくなるテーパ形状としてもよい。

【0028】

図５に示される変換器１Ａには、変形例となる圧電シート１０２が使用されている。圧電シート１０２は、支持部材３を構成する支持板３０の第１表面３１に重ねられて固定されている。この圧電シート１０２は、可撓性基板１０の第１表面１１に圧電素子２０Ａが重ねられ、第２表面１２に圧電素子２０Ｂが重ねられている。圧電素子２０Ａと圧電素子２０Ｂは、共に、下面電極層２１と上面電極層２２との間に圧電材料層２３が挟まれた構造である。この変換器１Ａでは、圧電シート１０２の圧電素子２０Ａと圧電素子２０Ｂに、位相が反転した交流電圧が印加される。圧電素子２０Ａにプラスの歪みが生じたときに圧電素子２０Ｂにマイナスの歪みが生じ、圧電素子２０Ａにマイナスの歪みが生じたときに圧電素子２０Ｂにプラスの歪みが生じる。これにより、振動部（ｖ）において、圧電シート１０２を感度よく振動させることが可能になる。

【0029】

図３に示される本発明の第２実施形態の変換器１０１は、支持部材３Ａと支持部材３Ｂの間に、図４に示される圧電シート２または図５に示される圧電シート１０２が挟まれている。支持部材３Ａの支持板３０に形成された穴３５と、支持部材３Ｂの支持板３０に形成された穴３５は同じ内径である。図３に示されるように、支持部材３Ａの穴３５と支持部材３Ｂの穴３５はその中心がＺ方向において一致するように、各支持部材３Ａ，３Ｂが位置決めされる。圧電シート２の素子領域ＤＡは、拘束部（ｓ）において、支持部材３Ａと支持部材３Ｂの双方に接着されて固定されている。この変換器１０１は、２つの支持部材３Ａ，３Ｂで素子領域ＤＡを固定し拘束できるため、拘束部（ｓ）における圧電材料層２３の厚み方向の歪みの発生を抑制でき、振動部（ｖ）における圧電シート２の振動に前記歪みが影響するのを防止できる。

【0030】

図６と図７に本発明の第３実施形態の変換器２０１が示されている。この変換器２０１は、支持部材１０３が、湾曲した支持板３０を有し、この支持板３０に複数の穴３５が形成されている。支持板３０は、第１表面３１が円筒面の一部を構成できるように湾曲している。すなわち、支持板３０は、第１表面３１と平行でＹ方向に延びる仮想中心線からの半径が一定となるように二次元的に湾曲している。圧電シート２は、支持板３０の凹面側となる第１表面３１に重ねられて固定されている。支持板３０は、予め複数の穴３５が形成された金属板をプレス工程で湾曲させることで形成される。あるいは支持板３０が、合成樹脂材料で湾曲した形状に成型されてもよい。圧電シート２は、支持板３０の凹面側において、凹面に倣うように接着される。このとき、圧電シート２の素子領域ＤＡ内に複数の穴３５が位置するように、圧電シート２と支持部材３とが互いに位置決めされて接着されて固定される。

【0031】

図７に示される第３実施形態の変換器２０１は、支持部材３の凹面側であるＺ１側が発音方向（圧力波の送波方向）として使用される。変換器２０１の圧電素子２０を動作させると、複数の振動部（ｖ）から圧力波が放射されるが、複数の振動部（ｖ）が凹形状の曲面に沿って配列しているため、圧力波をＺ１方向の所定位置に集中させやすくなる。圧電シート２が円筒面の一部に一致している場合には、圧力波は円筒面の曲率中心線付近に集中する。変換器２０１を、パラメトリック・スピーカとして使用すると、聴取位置での、聴取感度を高めることが可能になる。

【0032】

第３実施形態の変換器２０１の構造としては、湾曲している支持板３０の凸側となる第２表面３２に圧電シート２を重ねて接着し固定することも可能である。または、図３に示された変換器１０１と同様に、湾曲した２つの支持部材１０３の間に圧電シート２を挟む構造にしてもよい。第３実施形態の変換器２０１は、支持部材１０３の湾曲形状が、Ｘ方向へ一定の曲率であるが、Ｘ方向に向けて場所により曲率が相違し、例えば二次関数曲線となるように湾曲してもよい。さらに、支持部材１０３が、Ｘ方向とＹ方向の双方に曲率を有するように３次元的な湾曲形状であってもよい。

【0033】

前記各実施形態の変換器は、圧電シート２（または１０２）に、シート表面に沿って連続して形成された圧電素子２０（または２０Ａ，２０Ｂ）が形成され、圧電素子２０が形成された単一の素子領域ＤＡに複数の振動部（ｖ）が形成されているため、基板の表面に互いに独立する複数の圧電素子を並べて配置する構造に比べて圧電素子２０の形成工程が容易である。また個々の振動部（ｖ）に配線経路を個別に設ける必要がなく、配線構造を単一にできるため、製造工程が簡単であり、低コストで製造できる。また、それぞれの振動部（ｖ）において振動に寄与する圧電素子２０の大きさは穴３５の内径で決まる。複数の穴３５で内径が同じとなるように、穴３５を高精度に加工しておくことにより、それぞれの振動部（ｖ）において、変形できる圧電素子２０の寸法のばらつきをきわめて小さくでき、それぞれの振動部（ｖ）での振動特性を均一に構成することができる。

【0034】

なお、前記各実施形態の変換器は、圧電センサーまたは超音波センサーとして使用することもできる。変換器に４０ｋＨｚ程度の超音波が与えられると、その圧力波により各振動部（ｖ）において圧電素子２０に歪みが発生する。そのときに圧電素子の下面電極層２１と上面電極層２２との間に生じる電圧を測定することで、超音波を検知することが可能になる。

【0035】

前記実施形態の変換器は、面方向に連続する圧電素子２０の素子領域ＤＡに同じ内径の複数の穴３５が対向することで、同じ共振周波数を有する複数の振動部（ｖ）が形成されている。ただし、振動板に同じ内径の複数の第１穴と、第１穴とは内径が相違し且つ同じ内径の複数の第２穴を形成し、複数の第１穴と複数の第２穴を同じ素子領域ＤＡに対向させてもよい。この場合、同じ素子領域ＤＡに、第１穴が対向する複数の第１振動部と、第２穴が対向する複数の第２振動部を構成できる。第１振動部と第２振動部は互いに共振周波数が相違するため、それぞれの穴の共振周波数に対応した駆動電圧を与えることにより、第１振動部と第２振動部から異なる周波数の超音波を同時にまたは交互に発生させることができる。穴の種類はさらに３種類以上であってもよい。

【符号の説明】

【0036】

１，１０１，２０１ 変換器
１，１０２ 圧電シート
３，３Ａ，３Ｂ，１０３ 支持部材
１０ 可撓性基板
２０，２０Ａ，２０Ｂ 圧電素子
２１ 下面電極層
２２ 上面電極層
２３ 圧電材料層
３０ 支持板
３５ 穴
ＤＡ 素子領域
（ｓ） 拘束部
（ｖ） 振動部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】