2025-2226 差圧計ポート付きフィルタ、表示部付きフィルタおよびファンフィルタユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025002226

(43)【公開日】2025-01-09

(54)【発明の名称】差圧計ポート付きフィルタ、表示部付きフィルタおよびファンフィルタユニット

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20241226BHJP

   F24F 8/80 20210101ALI20241226BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

F24F8/80 155

【審査請求】有

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023102258

(22)【出願日】2023-06-22

(71)【出願人】

【識別番号】591066465

【氏名又は名称】日本エアーテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104547

【弁理士】

【氏名又は名称】栗林 三男

(74)【代理人】

【識別番号】100206612

【弁理士】

【氏名又は名称】新田 修博

(74)【代理人】

【識別番号】100209749

【弁理士】

【氏名又は名称】栗林 和輝

(74)【代理人】

【識別番号】100217755

【弁理士】

【氏名又は名称】三浦 淳史

(72)【発明者】

【氏名】岡本 守

(72)【発明者】

【氏名】大塚 陽介

(72)【発明者】

【氏名】片岡 黎

(72)【発明者】

【氏名】篠原 秀之

【テーマコード（参考）】

3L058

【Ｆターム（参考）】

3L058BF01

3L058BF06

3L058BG05

(57)【要約】

【課題】フィルタが収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となることで、計測チューブの潰れに起因する計測値の不具合を防止できる差圧計ポート付きフィルタ、表示部付きフィルタおよびファンフィルタユニットを提供する。
【解決手段】表示部付きフィルタ１００は、差圧計ポート付きフィルタ１０と、フィルタ１１のフレーム１２Ａに取り付けられた差圧計２０と、差圧計２０に基端部が接続され、先端部が一次側差圧計ポート４１に接続された一次側計測チューブ３１と、差圧計２０に基端部が接続され、先端部が二次側差圧計ポート４２に接続された二次側計測チューブ３２と、フレーム１２Ａに設けられて、差圧計２０の計測値を表示する表示部２１とを備えている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フィルタと、
前記フィルタに取り付けられたフレームと、
前記フレームに取り付けられ、前記フィルタの空気流入側と連通する一次側差圧計ポートと、
前記フレームに取り付けられ、前記フィルタの空気排出側と連通する二次側差圧計ポートと、を備えたことを特徴とする差圧計ポート付きフィルタ。

【請求項2】

請求項１に記載の差圧計ポート付きフィルタと、
前記差圧計ポート付きフィルタのフレームに取り付けられた差圧計と、
前記差圧計に基端部が接続され、先端部が前記差圧計ポート付きフィルタの一次側差圧計ポートに接続された一次側計測チューブと、
前記差圧計に基端部が接続され、先端部が前記差圧計ポート付きフィルタの二次側差圧計ポートに接続された二次側計測チューブと、
前記フレームに設けられて、前記差圧計の計測値を表示する表示部と、を備えたことを特徴とする表示部付きフィルタ。

【請求項3】

少なくとも前記差圧計と、前記表示部とがプリント基板に設けられ、
前記プリント基板が前記フレームに取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項4】

前記プリント基板に、前記差圧計の計測値を外部に通信可能な通信部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項5】

前記通信部がＲＳ４８５モジュールによって構成されていることを特徴とする請求項４に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項6】

フィルタの目詰まり状況を表示する表示手段としての発光部材を備え、
前記プリント基板に、給電コネクタが設けられ、
前記給電コネクタに、前記発光部材に給電する給電ケーブルが接続されていることを特徴とする請求項３に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項7】

ファンと、当該ファンを駆動する駆動モータと、請求項１に記載の差圧計ポート付きフィルタと、前記ファン、前記駆動モータおよび前記差圧計ポート付きフィルタが収納されるケースとを備え、
前記ファンの作動によって、前記差圧計ポート付きフィルタより上流側の空気を前記フィルタに送り込んで当該フィルタによって清浄化して、前記フィルタより下流に吹き出すことを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項8】

ファンと、当該ファンを駆動する駆動モータと、請求項２～６のいずれか１項に記載の表示部付きフィルタと、前記ファン、前記駆動モータおよび前記表示部付きフィルタが収納されるケースとを備え、
前記ファンの作動によって、前記表示部付きフィルタのフィルタより上流側の空気を前記フィルタに送り込んで当該フィルタによって清浄化して、前記フィルタより下流に吹き出すことを特徴とするファンフィルタユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、差圧計ポート付きフィルタ、表示部付きフィルタおよびファンフィルタユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

ファンフィルタユニットは、電子工業、医薬品、食品などの分野において、製造工程（本室）を清浄環境（クリーンルーム等）に保つために、天井面や側面に設置される。

【0003】

従来、ファンフィルタユニットとしては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
このファンフィルタユニットは、ファンと、当該ファンを駆動する駆動モータと、空気を清浄化するＨＥＰＡフィルタ等のフィルタと、当該フィルタを支持するフレームと、前記ファン、前記駆動モータ、前記フィルタおよびフレームが収納されるケースとを備え、前記ファンの作動によって、前記フィルタより上流側の空気を前記フィルタに送り込んで当該フィルタによって清浄化して、前記フィルタより下流側に吹き出すようにしている。

【0004】

このようなファンフィルタユニットにおいて、従来フィルタの目詰まりを管理する場合、例えば図８に示す第１例のように、ファンフィルタユニットのＨＥＰＡフィルタより上流側の一次側ポートと、ファンフィルタユニットが設けられたクリーンルームにある二次側ポートとの圧力差を差圧計によって計測することによって行っている。
また、図９に示す第２例のように、ファンフィルタユニットのＨＥＰＡフィルタより上流側の一次側ポートと、下流側の二次側ポートとの圧力差を差圧計によって計測することによって行っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１８－９６６５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上述した第１例の場合、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタが収納されるケースとクリールームを形成する壁のそれぞれに、差圧計に接続された計測チューブを接続するための継手部材を挿通する穴を形成する必要があり、第２例の場合、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタが収納されるケースに、差圧計に接続された計測チューブを接続するための継手部材を挿通する穴を形成する必要がある。
このため、継手部材を挿通するための穴加工が必要であり、その加工費用がかかっていた。
また、目視できる位置に設置されている差圧計まで、計測チューブを配管する必要があり、配管に手間がかかるとともに、計測チューブは潰れ易いため、潰れると差圧計の測定値に不具合が生じるおそれがある。

【0007】

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、フィルタが収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となることで、計測チューブの潰れに起因する計測値の不具合を防止できる差圧計ポート付きフィルタ、表示部付きフィルタおよびファンフィルタユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記目的を達成するために、本発明の差圧計ポート付きフィルタは、
フィルタと、
前記フィルタに取り付けられたフレームと、
前記フレームに取り付けられ、前記フィルタの空気流入側と連通する一次側差圧計ポートと、
前記フレームに取り付けられ、前記フィルタの空気排出側と連通する二次側差圧計ポートと、を備えたことを特徴とする。

【0009】

前記フィルタとしては、例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ、ＰＴＦＥフィルタ等の高性能フィルタや超高性能フィルタが挙げられるが、高性能フィルタや超高性能フィルタに限ることはない。
また、一次側差圧計ポートおよび二次側差圧計ポートには、差圧計の一次側計測チューブおよび二次側計測チューブが接続されるが、差圧計はアナログ式のマノスターゲージであってもよいし、デジタル式の差圧計（微差圧計）であってもよい。

【0010】

本発明によれば、フレームに取り付けられた一次側差圧計ポートと、二次側差圧計ポートを備えているので、一次側差圧計ポートに一次側計測チューブを接続し、二次側差圧計ポートに二次側計測チューブを接続することによって、フィルタが収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となる。

【0011】

また、本発明の表示部付きフィルタは、
前記差圧計ポート付きフィルタと、
前記差圧計ポート付きフィルタのフレームに取り付けられた差圧計と、
前記差圧計に基端部が接続され、先端部が前記差圧計ポート付きフィルタの一次側差圧計ポートに接続された一次側計測チューブと、
前記差圧計に基端部が接続され、先端部が前記差圧計ポート付きフィルタの二次側差圧計ポートに接続された二次側計測チューブと、
前記フレームに設けられて、前記差圧計の計測値を表示する表示部と、を備えたことを特徴とする

【0012】

前記フィルタが矩形板状に形成されている場合、フィルタの４つの側面にそれぞれフレームが取り付けられるが、これらフレームのうち、作業者が目視可能なフレームに差圧計が取り付けられる。

【0013】

本発明によれば、フィルタに取り付けられたフレームに差圧計が取り付けられ、この差圧計に、先端部が差圧計ポート付きフィルタの一次側差圧計ポートに接続された、一次側計測チューブの基端部が接続されるとともに、先端部が差圧計ポート付きフィルタの二次側差圧計ポートに接続された、二次側計測チューブの基端部が接続され、前記フレームに差圧計の計測値を表示する表示部が設けられているので、フィルタが収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となる。そのため、計測チューブの潰れに起因する計測値の不具合を防止できる。

【0014】

また、本発明の前記構成において、少なくとも前記差圧計と、前記表示部とがプリント基板に設けられ、前記プリント基板が前記フレームに取り付けられていてもよい。

【0015】

このような構成によれば、プリント基板をフレームに設けることによって、差圧計と表示部を容易にフレームに取り付けることができる。

【0016】

また、本発明の前記構成において、前記プリント基板に、前記差圧計の計測値を外部に通信可能な通信部が設けられていてもよい。

【0017】

このような構成によれば、差圧計によって計測された計測値を通信部によって外部に通信（送信）できるので、外部に設置された表示器によって、前記計測値を受信して表示できる。したがって、表示部に表示される計測値を目視できない離れた場所に作業者がいても、当該作業者が表示器によって計測値を確認できる。

【0018】

また、本発明の前記構成において、前記通信部がＲＳ４８５モジュールによって構成されていてもよい。

【0019】

このような構成によれば、通信部がＲＳ４８５モジュールによって構成されているので、複数の表示部付きフィルタの差圧計をマルチドロップ接続できる。したがって、複数の表示部付きフィルタの表示部に表示される計測値を表示器によって一覧表示して確認して、集中管理することができる。

【0020】

また、本発明の前記構成において、フィルタの目詰まり状況を表示する表示手段としての発光部材を備え、
前記プリント基板に、給電コネクタが設けられ、
前記給電コネクタに、前記発光部材に給電する給電ケーブルが接続されててもよい。

【0021】

このような構成によれば、フィルタの目詰まり状況を、発光部材を直接目視して判断でき、これにより、フィルタの異常発生（目詰まり）に対する迅速な対応が可能となる。

【0022】

また、本発明のファンフィルタユニットは、ファンと、当該ファンを駆動する駆動モータと、前記差圧計ポート付きフィルタと、前記ファン、前記駆動モータおよび前記差圧計ポート付きフィルタが収納されるケースとを備え、
前記ファンの作動によって、前記差圧計ポート付きフィルタより上流側の空気を前記フィルタに送り込んで当該フィルタによって清浄化して、前記フィルタより下流に吹き出すことを特徴とする。

【0023】

本発明によれば、差圧計ポート付きフィルタが収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となる。

【0024】

また、本発明のファンフィルタユニットは、ファンと、当該ファンを駆動する駆動モータと、前記表示部付きフィルタと、前記ファン、前記駆動モータおよび前記表示部付きフィルタが収納されるケースとを備え、
前記ファンの作動によって、前記表示部付きフィルタのフィルタより上流側の空気を前記フィルタに送り込んで当該フィルタによって清浄化して、前記フィルタより下流に吹き出すことを特徴とする。

【0025】

本発明によれば、表示部付きフィルタが収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となり、計測チューブの潰れに起因する計測値の不具合を防止できる。

【発明の効果】

【0026】

本発明によれば、フィルタが収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となり、計測チューブの潰れに起因する計測値の不具合を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の第１の実施形態を示すもので、表示部付きフィルタの概略斜視図である。

【図2】同、表示部付きフィルタの要部の概略断面図である。

【図3】同、フィルタのフレームに表示部を備えたプリント基板を取り付けた状態を示す要部の概略斜視図である。

【図4】同、複数の表示部付きフィルタを接続した状態を示すブロック図である。

【図5】同、外部に設置される表示器の画面の一例を示す図である。

【図6】同、ファンフィルタユニットを示す概略断面図である。

【図7】本発明の第２の実施形態を示すもので、差圧計ポート付きフィルタを外部表示部材とともに示す概略正面図である。

【図8】従来のフィルタ目詰まりを管理する方法の第１例を説明するための概略断面図である。

【図9】従来のフィルタ目詰まりを管理する方法の第２例を説明するための概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、図面を参照して本発明に係る表示部付きフィルタおよびファンフィルタユニットの実施形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の表示部付きフィルタ１００を示す概略斜視図、図２は表示部付きフィルタ１００の要部の概略断面図である。
表示部付きフィルタ１００は、差圧計ポート付きフィルタ１０と、後述する表示部２１を有するプリント基板１５とを備えている。
差圧計ポート付きフィルタ１０は、フィルタ１１と、このフィルタ１１に取り付けられたフレーム１２とを備えている。
フィルタ１０はＨＥＰＡフィルタであり、矩形板状に形成されている。フレーム１２は、矩形板状のフィルタ１０の４つの側面にそれぞれ取り付けられるもので、図２に示すように、アルミ等の金属によって帯板状に形成されている。なお、フレーム１２は樹脂によって形成してもよい。

【0029】

図２に示すように、差圧計ポート付きフィルタ１０は、一次側差圧計ポート４１と二次側差圧計ポート４２とを備えている。
すなわちまず、フレーム１２は、矩形板状のフィルタ１０の４つの側面にそれぞれ取り付けられるもので、アルミ等の金属や樹脂によって帯板状に形成されている。
４つのフレーム１２のうち、１つのフレーム１２Ａは、横断面略コ字形に形成されており、その上下縁部にフレーム１２Ａの長手方向に延在する前面部１２ａ，１２ａを有している。また、フレーム１２Ａは、前面部１２ａ，１２ａの間に凹所１２ｂを有しており、この凹所１２ｂの底面に後述するプリント基板１５が固定されている。

【0030】

フレーム１２Ａの上部には一次側差圧計ポート４１が設けられ、フレーム１２Ａの下部には二次側差圧計ポート４２が設けられている。一次側差圧計ポート４１および二次側差圧計ポート４２は、ＳＵＳ等の金属製や樹脂製の円筒管によって形成されており、フレーム１２Ａを貫通するようにして固定されている。具体的には、フレーム１２Ａのフランジ部とウェブ部との交差部近傍において、ウェブ部を貫通するように、かつ、ウェブ部に対して略４５度傾斜して、当該ウェブ部に固定されている。
また、一次側差圧計ポート４１の一端部は、フィルタ１１の空気流入側に開口し、他端部はフレーム１２Ａの内側に開口している。したがって、一次側差圧計ポート４１は、空気流入側と連通している。二次側差圧計ポート４２の一端部は、フィルタ１１の下側の空気排出側に開口し、他端部はフレーム１２Ａの内側に開口している。したがって、二次側差圧計ポート４２は、空気排出側と連通している。
また、フレーム１２Ａの幅（上下の幅）は、フィルタ１０の厚さより長くなっているので、フィルタ１０の上下面（表面）と、フレーム１２Ａのフランジ部との間には隙間があり、この隙間に、一次側差圧計ポート４１の一端部および二次側差圧計ポート４２の一端部が開口している。

【0031】

なお、本実施形態では、一次側差圧計ポート４１および二次側差圧計ポート４２を円筒管によって構成したが、これに代えて例えば、フレーム１２Ａの上部および下部にそれぞれ貫通孔をウェブ部に対して略４５度傾斜させて形成することで、上部の貫通孔を一次側差圧計ポートとし、下部の貫通孔を二次側差圧計ポートとし、上部の貫通孔（一次側差圧計ポート）に後述する一次側計測チューブ３１の先端部を挿通し、下部の貫通孔（二次側差圧計ポート）に後述する二次側計測チューブ３２の先端部を挿通してもよい。

【0032】

また、フレーム１２Ａの凹所１２ｂの底面には、プリント基板１５が固定されている。
このプリント基板１５は、図３に示すように、矩形板状に形成されており、その幅は凹所１２ｂの幅より小さくなっており、凹所１２ｂの底面にビス１６によって固定されている。なお、プリント基板１５は、フレーム１２Ａとの短絡防止のために、フレーム１２Ａのウェブ部から所定間隔（例えば５ｍｍ程度）離間して、当該ウェブ部に固定されている。
プリント基板１５には、差圧計２０、表示部２１、電源通信コネクタ２２、通信コネクタ２３、通信部２４、給電コネクタ２５、制御部２６等が実装されている。
また、フレーム１２Ａには、矩形板状の透明な保護カバー板２７が前面部１２ａ，１２ａに固定されて設けられ、当該保護カバー板２７によってプリント基板１５が保護されている。また、保護カバー板２７は透明であるので、この保護カバー板を通して、表示部２１を目視して確認できる。

【0033】

差圧計２０は、圧力センサＩＣによって構成されており、一次側計測チューブ３１の基端部と、二次側計測チューブ３２の基端部とが接続されている。一次側計測チューブ３１および二次側計測チューブ３２はそれぞれシリコンチューブによって形成されている。
そして、一次側差圧計ポート４１の他端部に、一次側計測チューブ３１の先端部が接続され、二次側差圧計ポート４２の他端部に、二次側計測チューブ３２の先端部が接続されている。
これによって、差圧計２０は、フィルタ１１の空気流入側の圧力と空気排出側の圧力との圧力差（差圧値）を計測できる。
この差圧値によって、フィルタ１１の目詰まり状況を確認できる。すなわち、フィルタ１１が目詰まりすればするほど、差圧値が大きくなるので、この差圧値によってフィルタ１１の目詰まり状況を確認できる。

【0034】

表示部２１は、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）を備えた微差圧モニタであり、矩形板状に形成されている。表示部２１は、差圧計２０によって計測された、空気流入側の圧力と空気排出側の圧力との圧力差（差圧値）を表示可能である。
また、表示部２１には、現在の差圧値Ａ（±５Ｐａは０表示）、初期差圧値（工場出荷時 ５０Ｐａ）、終期差圧値（工場出荷時 ３００Ｐａ）、現在の差圧値Ｂ（±５Ｐａ以内も表示）、０差圧バイアス補正値等を表示可能である。
表示部２１には、制御部２６を介して差圧計２０が接続されており、差圧計２０によって計測された空気流入側の圧力値と空気排出側の圧力値との圧力差（差圧値）を制御部２６が表示部２１に表示する。

【0035】

また、表示部２１の下方には、ＵＰスイッチ２１ａ、ＤＯＷＮスイッチ２１ｂ、ＥＮＴＥＲスイッチ２１ｃがプリント基板１５に実装されている。ＵＰスイッチ２１ａは、押すことによって上述した「現在の差圧値Ａ」、「初期差圧値」、「終期差圧値」、「現在の差圧値Ｂ」、「０差圧バイアス補正値」を、昇順で表示部２１に次々と表示し、ＤＯＷＮスイッチ２１ｂは、押すことによって、「現在の差圧値Ａ」、「初期差圧値」、「終期差圧値」、「現在の差圧値Ｂ」、「０差圧バイアス補正値」を降順で表示部２１に次々と表示する。また、ＥＮＴＥＲスイッチ２１ｃは、３秒長押しにて、０差圧バイアス補正が可能となる。

【0036】

電源通信コネクタ２２は、図示しない電源に接続された電源ケーブル２２ａと、差圧計２０によって計測された差圧値をデータ送信する通信ケーブル２２ｂとが接続されるコネクタであり、電源から電源ケーブル２２ａ、電源通信コネクタ２２を介して、差圧計２０、表示部２１、通信部２４、制御部２６等に給電する。なお、電源ケーブル２２ａ、通信ケーブル２２ｂおよび後述する通信ケーブル２３ｂは、それぞれ２本の導電線によって構成されている。
通信部２４は、前記差圧値を、通信ケーブル２２ｂを介して外部にデータ送信する。図４に示すように、通信ケーブル２２ｂは、外部に設置された表示器３０に接続され、データ送信された差圧値は、この表示器３０に表示される。
通信コネクタ２３は、通信ケーブル２３ｂが接続されるものであり、この通信ケーブル２３ｂが複数の表示部付きフィルタ１００に接続され、さらに、表示器３０に接続される。

【0037】

通信部２４は、差圧計２０によって計測された、空気流入側の圧力と空気排出側の圧力との圧力差（差圧値）をデータ送信する。通信部２４はプリント基板１５の回路によって電源通信コネクタ２２および通信コネクタ２３と接続されている。したがって、通信部２４は、差圧計２０によって計測された差圧値を電源通信コネクタ２２または通信コネクタ２３（図３参照）、通信ケーブル２２ｂまたは通信ケーブル２３ｂを介して、外部の表示器３０（図４参照）に送信し、表示器３０は受信した差圧値を表示する。

【0038】

また、前記通信部２４はＲＳ４８５モジュールによって構成されている。したがって、図４に示すように、複数の表示部付きフィルタ１００は、通信部２４、通信コネクタ２３（図３参照）、通信ケーブル２３ｂを介して互いに接続され、さらに外部の表示器３０に接続される。つまり、通信部２４がＲＳ４８５モジュールによって構成されているので、複数の表示部付きフィルタ１００および表示器３０がマルチドロップ接続される。

【0039】

なお、本実施形態では、通信部２４をＲＳ４８５モジュールによって構成して、有線接続したが、プリント基板１５に無線による通信部を実装し、無線によって、複数の表示部付きフィルタ１００および表示器３０を接続してもよい。

【0040】

図５に示すように、表示器３０の画面には、複数の表示部付きフィルタ１００のそれぞれの差圧計２０によって計測された差圧値が表示される。図５中、「♯１」、「♯２」、「♯３」は、それぞれ表示部付きフィルタ１００の整理番号を示す。表示器３０の画面には、温度（℃）も表示される。この温度は、例えば、差圧計２０内に内蔵された（差圧値の温度補正用に内蔵されている）センサによって計測された温度が表示器３０の画面に差圧値とともに表示される。

【0041】

前記給電コネクタ２５（図３参照）は、表示部付きフィルタ１００が、フィルタ１１の目詰まり状況を表示する表示手段としての発光部材を備えている場合に、当該発光部材３５に給電する給電ケーブル２５ａが接続される。
このような表示部付きフィルタ１００を備えたファンフィルタユニット５０は、図６に示すように、ファン５１と、当該ファン５１を駆動する駆動モータ５２と、前記表示部付きフィルタ１００と、ファン５１、駆動モータ５２および表示部付きフィルタ１００が収納されるケース５３とを備えている。

【0042】

ケース５３の上面中央には、空気吸入口５４が設けられ、この空気吸入口５４にはプレフィルター５５が設けられている。また、ケース５３の内部には、空気吸入口５４に臨ませてファン５１が設けられている。このファン５１は、駆動モータ５２の駆動軸に固定され、この駆動モータ５２はケース５３内に架設した架台５６に固定されている。

【0043】

このような構成のファンフィルタユニット５０では、ファン５１の作動によって、表示部付きフィルタ１００のフィルタ１１より上流側の空気をフィルタ１１に送り込んで当該フィルタ１１によって清浄化して、フィルタ１１より下流に吹き出す。

【0044】

また、ファンフィルタユニット５０のフィルタ１１の空気吹出側表面には、フィルタ１１の目詰まり状況を表示する表示手段として表示灯（発光部材）３５が設けられている。
図３に示すように、表示部付きフィルタ１００のプリント基板１５に実装されている給電コネクタ２５には、給電ケーブル２５ａが接続され、この給電ケーブル２５ａが表示灯３５に接続されている。

【0045】

上述したように、表示部付きフィルタ１００のフィルタ１１の空気流入側の圧力と空気排出側の圧力との圧力差（差圧値）が差圧計２０で計測され、表示部２１に表示される。
したがって、制御部２６は、この差圧値に基づいて、表示灯３５に給電し、当該表示灯３５を点灯、点滅、消灯させる。

【0046】

例えば、（ａ）差圧値が０～５Ｐａ以下である場合は、制御部３５は差圧が無いと判断して、表示灯３５に給電しない。このため、表示灯３５は消灯しており、作業者は、フィルタ１１に目詰まりが無いことが分かる。
また、（ｂ）差圧値が５Ｐａ以上、初期差圧値（工場出荷時 ５０Ｐａ）以下である場合は、制御部３５は差圧が若干上昇していると判断して、表示灯３５が低速点滅するように、当該表示灯３５に給電する。これにより、作業者は、フィルタ１１が加圧されていることが分かる。

【0047】

また、（ｃ）差圧値が初期差圧値（工場出荷時 ５０Ｐａ）を超え、終期差圧値（工場出荷時 ３００Ｐａ）以下である場合は、制御部３５は差圧が上昇していると判断して、表示灯３５が点滅するように、当該表示灯３５に給電する。これにより、作業者は、フィルタ１１が正常差圧内であることが分かる。
また、（ｄ）差圧値が終期差圧値（工場出荷時 ３００Ｐａ）を超えている場合は、制御部３５は差圧がかなり上昇していると判断して、表示灯３５が高速点滅するように、当該表示灯３５に給電する。これにより、作業者は、フィルタ１１に目詰まりが生じていることが分かる。
また、表示部付きフィルタ１００に警報機を取り付けておき、（ｄ）の場合、制御部２６が警報機に警報を発するように指示してもよい。

【0048】

以上のように本実施形態によれば、差圧計ポート付きフィルタ１０が、フレーム１２Ａに取り付けられた一次側差圧計ポート４１と、二次側差圧計ポート４２を備えているので、一次側差圧計ポート４１に一次側計測チューブ３１を接続し、二次側差圧計ポート４２に二次側計測チューブ３２を接続することによって、フィルタ１１が収納されるケース５３に穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となる。

【0049】

また、フィルタ１１に取り付けられたフレーム１２Ａに差圧計２０が取り付けられ、この差圧計２０に、先端部が差圧計ポート付きフィルタ１０の一次側差圧計ポート４１に接続された、一次側計測チューブ３１の基端部が接続されるとともに、先端部が差圧計ポート付きフィルタ１０の二次側差圧計ポート４２に接続された、二次側計測チューブ３２の基端部が接続され、フレーム１２Ａに差圧計２０の計測値を表示する表示部２１が設けられているので、フィルタ１１が収納されるケース５３に穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となり、計測チューブの潰れに起因する計測値の不具合を防止できる。

【0050】

また、プリント基板１５をフレーム１２Ａに設けることによって、差圧計２０と表示部２１を容易にフレーム１２Ａに取り付けることができる。
さらに、差圧計２０によって計測された計測値を通信部２４によって外部に通信（送信）できるので、外部に設置された表示器３０によって、計測値を受信して表示できる。したがって、表示部２１に表示される計測値を目視できない離れた場所に作業者がいても、当該作業者が表示器３０によって計測値を確認できる。
また、通信部２４がＲＳ４８５モジュールによって構成されているので、複数の表示部付きフィルタ１００の差圧計２０をマルチドロップ接続できる。したがって、複数の表示部付きフィルタ１００の表示部２１に表示される計測値を表示器３０によって一覧表示して確認することができる。

【0051】

また、ファンフィルタユニット５０のフィルタ１１の目詰まり況を表示する表示手段としての発光部材（表示灯）３５を備え、表示部付きフィルタ１００のプリント基板１５に、給電コネクタ２５が設けられ、給電コネクタ２５に、発光部材３５に給電する配線が接続されているので、ファンフィルタユニット５０のフィルタ１１の目詰まり況を、発光部材３５を直接目視して判断でき、これにより、フィルタの異常発生（目詰まり）に対する迅速な対応が可能となる。

【0052】

（第２の実施形態）
図７は、第２の実施形態の差圧計ポート付きフィルタ１０Ａと外部表示部材６０とを示す概略正面図である。
なお、本実施形態において、第１の実施形態と同一構成は同一符号を付して、その説明および図示を省略する場合もある。

【0053】

本実施形態の差圧計ポート付きフィルタ１０Ａは、一次側差圧計ポート４１Ａと二次側差圧計ポート４２Ａを備えている。
一次側差圧計ポート４１Ａは、フレーム１２Ａの凹所１２ｂの底面に固定された支持板６１と、この支持板６１に設けられた一次側接続部材６２ａと、この一次側接続部材６２ａの一端部に接続された一次側計測チューブ３１とを備えている。一次側計測チューブ３１の先端部は、第１の実施形態と同様に、フレーム１２Ａを貫通するようにして固定された金属製の円筒管に接続されている。
二次側差圧計ポート４２Ａは、前記支持板６１と、この支持板６１に設けられた二次側接続部材６２ｂと、この二次側接続部材６２ｂの一端部に接続された二次側計測チューブ３２とを備えている。二次側計測チューブ３２の先端部は、第１の実施形態と同様に、フレーム１２Ａを貫通するようにして固定された金属製や樹脂製の円筒管に接続されている。

【0054】

また、一次側接続部材６２ａの他端部には、一次側延出チューブ６３ａが接続され、二次側接続部材６２ｂの他端部には、二次側延出チューブ６３ｂが接続されている。一次側延出チューブ６３ａおよび二次側延出チューブ６３ｂは、フレーム１２Ａの外部に引き出されるため、一次側計測チューブ３１および二次側計測チューブ３２より大径に形成され、強度が確保されている。そして、一次側計測チューブ３１と一次側延出チューブ６３ａとは一次側接続部材６２ａによって連通した状態で接続され、二次側計測チューブ３２と二次側延出チューブ６３ｂとは二次側接続部材６２ｂによって連通した状態で接続されている。

【0055】

外部表示部材６０は、フレーム１２Ａの外部に設置されるもので、矩形板状の支持板６５と、この支持板６５の表面に固定されたプリント基板１５とを備えている。
プリント基板１５には、第１の実施の形態と同様に、差圧計２０、表示部２１、電源通信コネクタ２２、通信コネクタ２３、通信部２４、給電コネクタ２５、制御部２６等が実装されている。

【0056】

また、支持板６５は、その端部に取付板６５ａを有しており、この取付板６５ａは支持板６５に対して直角に設けられている。
取付板６５ａには、一次側接続部材６６ａと二次側接続部材６６ｂとが設けられている。一次側接続部材６６ａには、前記一次側延出チューブ６３ａが接続され、二次側接続部材６６ｂには、前記二次側延出チューブ６３ｂが接続されている。

【0057】

また、プリント基板１５に実装されている差圧計２０には、一次側計測チューブ６７ａと二次側計測チューブ６７ｂの基端部がそれぞれ接続されている。また、一次側計測チューブ６７ａの先端部は、一次側接続部材６６ａに接続され、二次側計測チューブ６７ｂの先端部には、二次側接続部材６６ｂに接続されている。そして、一次側延出チューブ６３ａと一次側計測チューブ６７ａとは一次側接続部材６６ａによって連通した状態で接続され、二次側延出チューブ６３ｂと二次側計測チューブ６７ｂとは二次側接続部材６６ｂによって連通した状態で接続されている。

【0058】

したがって、差圧計２０は、フィルタ１１（図２参照）の空気流入側の圧力を、一次側計測チューブ３１、一次側接続部材６２ａ、一次側延出チューブ６３ａ、一次側接続部材６６ａ、および一次側計測チューブ６７ａを介して、計測できる。
同様に、差圧計２０は、フィルタ１１（図２参照）の空気排出側の圧力を、二次側計測チューブ３２、二次側接続部材６２ｂ、二次側延出チューブ６３ｂ、二次側接続部材６６ｂ、および二次側計測チューブ６７ｂを介して、計測できる。

【0059】

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができるのは勿論のこと、以下のような効果を得ることができる。
フレーム１２Ａに取り付けられた一次側差圧計ポート４１Ａと、二次側差圧計ポート４２Ａを備えているので、一次側差圧計ポート４１Ａに一次側計測チューブ３１を接続し、二次側差圧計ポート４２Ａに二次側計測チューブ３２を接続することによって、フィルタ１１が収納されるケースに穴加工をする必要がなく、従来のような計測チューブの配管が不要となる。

【0060】

また、ファンフィルタユニットは、天井部等の視認でき難い位置に設置されるが、本実施形態では、差圧計ポート付きフィルタ１０Ａの外部に外部表示部材６０を設置できるので、外部表示部材６０の表示部２１を容易に視認できる。
また、第１の実施形態では、差圧計２０、表示部２１、電源通信コネクタ２２、通信コネクタ２３、通信部２４、給電コネクタ２５、制御部２６等が実装されたプリント基板１５をフレーム１２Ａに取り付ける必要があったが、本実施形態では、プリント基板１５を備えた外部表示部材６０をフレーム１２Ａの外部に設置できるので、フレーム１２Ａにプリント基板１５を取り付ける手間を省くことができる。

【0061】

なお、本実施形態では、外部表示部材６０を、ファンフィルタユニット用の差圧計ポート付きフィルタ１０Ａの一次側差圧計ポート４１Ａと二次側差圧計ポート４２Ａとに接続するようしたが、例えば、エアーシャワー装置、業務用空気清浄機、クリーンベンチ、クリーンブース等に使用されるＨＥＰＡフィルタ等のフィルタに、一次側差圧計ポート４１Ａと二次側差圧計ポート４２Ａとを取り付けておき、この一次側差圧計ポート４１Ａと二次側差圧計ポート４２Ａとに外部表示部材６０を接続してもよい。このようにすれば、各装置や機器のフィルタの目詰まりを外部表示部材６０によって管理できる。
また、外部表示部材６０に代えて、市販のマノスターゲージやデジタル差圧計でも利用可能である。

【符号の説明】

【0062】

１０，１０Ａ 差圧計ポート付きフィルタ
１１ フィルタ
１２Ａ フレーム
１５ プリント基板
２０ 差圧計
２１ 表示部
２４ 通信部
２５ 給電コネクタ
３１ 一次側計測チューブ
３２ 二次側計測チューブ
４１，４１Ａ 一次側差圧計ポート
４２，４２Ａ 二次側差圧計ポート
３５ 発光部材
５０ ファンフィルタユニット
５１ ファン
５２ 駆動モータ
１００ 表示部付きフィルタ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【手続補正書】

【提出日】2024-08-27

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フィルタと、
前記フィルタに取り付けられ、当該差圧ポート付きフィルタを構成するフレームと、
前記フレームに取り付けられ、前記フィルタの空気流入側と連通する一次側差圧計ポートと、
前記フレームに取り付けられ、前記フィルタの空気排出側と連通する二次側差圧計ポートと、を備えたことを特徴とする差圧計ポート付きフィルタ。

【請求項2】

請求項１に記載の差圧計ポート付きフィルタと、
前記差圧計ポート付きフィルタのフレームに取り付けられた差圧計と、
前記差圧計に基端部が接続され、先端部が前記差圧計ポート付きフィルタの一次側差圧計ポートに接続された一次側計測チューブと、
前記差圧計に基端部が接続され、先端部が前記差圧計ポート付きフィルタの二次側差圧計ポートに接続された二次側計測チューブと、
前記フレームに設けられて、前記差圧計の計測値を表示する表示部と、を備えたことを特徴とする表示部付きフィルタ。

【請求項3】

少なくとも前記差圧計と、前記表示部とがプリント基板に設けられ、
前記プリント基板が前記フレームに取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項4】

前記プリント基板に、前記差圧計の計測値を外部に通信可能な通信部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項5】

前記通信部がＲＳ４８５モジュールによって構成されていることを特徴とする請求項４に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項6】

フィルタの目詰まり状況を表示する表示手段としての発光部材を備え、
前記プリント基板に、給電コネクタが設けられ、
前記給電コネクタに、前記発光部材に給電する給電ケーブルが接続されていることを特徴とする請求項３に記載の表示部付きフィルタ。

【請求項7】

ファンと、当該ファンを駆動する駆動モータと、請求項１に記載の差圧計ポート付きフィルタと、前記ファン、前記駆動モータおよび前記差圧計ポート付きフィルタが収納されるケースとを備え、
前記ファンの作動によって、前記差圧計ポート付きフィルタより上流側の空気を前記フィルタに送り込んで当該フィルタによって清浄化して、前記フィルタより下流に吹き出すことを特徴とするファンフィルタユニット。

【請求項8】

ファンと、当該ファンを駆動する駆動モータと、請求項２～６のいずれか１項に記載の表示部付きフィルタと、前記ファン、前記駆動モータおよび前記表示部付きフィルタが収納されるケースとを備え、
前記ファンの作動によって、前記表示部付きフィルタのフィルタより上流側の空気を前記フィルタに送り込んで当該フィルタによって清浄化して、前記フィルタより下流に吹き出すことを特徴とするファンフィルタユニット。