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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025022382
(43)【公開日】2025-02-14
(54)【発明の名称】質量分析装置
(51)【国際特許分類】
H01J 49/06 20060101AFI20250206BHJP
【ＦＩ】
H01J49/06 700
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023126897
(22)【出願日】2023-08-03
(71)【出願人】
【識別番号】000001993
【氏名又は名称】株式会社島津製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】内田 剛史
(57)【要約】
【課題】レンズ光学系とフィードスルーコネクタとの着脱を簡素化することが可能な質量分析装置を提供すること。
【解決手段】質量分析装置置は、真空容器と、イオン源と、試料導入管と、レンズ光学系と、フィードスルーコネクタ７００と、を備える。レンズ光学系の第１ユニットは、接続方向に沿って試料導入管に対して相対移動可能であり、第２ユニット及び第３ユニットは、直交方向に沿って第１ユニットに対して相対移動可能である。第１接続片４１１は、第１端子７０１を接続方向に付勢しながら第１端子に接触する第１付勢部４１１ｂを有する。第２接続片４２２は、第２端子を直交方向に付勢しながら第２端子に接触する第２付勢部４２２ｂを有する。第３接続片４３３は、第３端子を直交方向に付勢しながら第３端子に接触する第３付勢部４３３ｂを有する。
【選択図】図３
【解決手段】質量分析装置置は、真空容器と、イオン源と、試料導入管と、レンズ光学系と、フィードスルーコネクタ７００と、を備える。レンズ光学系の第１ユニットは、接続方向に沿って試料導入管に対して相対移動可能であり、第２ユニット及び第３ユニットは、直交方向に沿って第１ユニットに対して相対移動可能である。第１接続片４１１は、第１端子７０１を接続方向に付勢しながら第１端子に接触する第１付勢部４１１ｂを有する。第２接続片４２２は、第２端子を直交方向に付勢しながら第２端子に接触する第２付勢部４２２ｂを有する。第３接続片４３３は、第３端子を直交方向に付勢しながら第３端子に接触する第３付勢部４３３ｂを有する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
真空容器と、
前記真空容器内に配置されており、試料ガスに含まれる試料分子をイオン化するイオン源と、
前記真空容器外から前記イオン源に前記試料ガスを導入する試料導入管と、
前記イオン源で生成されたイオンを前記イオン源外に引き出すレンズ光学系と、
前記真空容器外に設けられており前記レンズ光学系に電圧を印加する電圧印加部と、前記レンズ光学系と、を互いに接続するフィードスルーコネクタと、を備え、
前記レンズ光学系は、
第１レンズを含み、前記試料導入管に接続される第１ユニットと、
前記第１ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第１接続片と、
第２レンズを含む第２ユニットと、
前記第２ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第２接続片と、
第３レンズを含む第３ユニットと、
前記第３ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第３接続片と、を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源が前記試料導入管に接続される接続方向に沿って前記試料導入管に対して相対移動可能であり、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、前記接続方向と直交する直交方向に沿って前記第１ユニットに対して相対移動可能であり、
前記フィードスルーコネクタは、
前記第１接続片と接触する第１端子と、
前記第２接続片と接触する第２端子と、
前記第３接続片と接触する第３端子と、を有し、
前記第１接続片は、前記第１端子を少なくとも前記接続方向に付勢しながら当該第１端子に接触する第１付勢部を有し、
前記第２接続片は、前記第２端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第２端子に接触する第２付勢部を有し、
前記第３接続片は、前記第３端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第３端子に接触する第３付勢部を有する、質量分析装置。
前記真空容器内に配置されており、試料ガスに含まれる試料分子をイオン化するイオン源と、
前記真空容器外から前記イオン源に前記試料ガスを導入する試料導入管と、
前記イオン源で生成されたイオンを前記イオン源外に引き出すレンズ光学系と、
前記真空容器外に設けられており前記レンズ光学系に電圧を印加する電圧印加部と、前記レンズ光学系と、を互いに接続するフィードスルーコネクタと、を備え、
前記レンズ光学系は、
第１レンズを含み、前記試料導入管に接続される第１ユニットと、
前記第１ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第１接続片と、
第２レンズを含む第２ユニットと、
前記第２ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第２接続片と、
第３レンズを含む第３ユニットと、
前記第３ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第３接続片と、を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源が前記試料導入管に接続される接続方向に沿って前記試料導入管に対して相対移動可能であり、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、前記接続方向と直交する直交方向に沿って前記第１ユニットに対して相対移動可能であり、
前記フィードスルーコネクタは、
前記第１接続片と接触する第１端子と、
前記第２接続片と接触する第２端子と、
前記第３接続片と接触する第３端子と、を有し、
前記第１接続片は、前記第１端子を少なくとも前記接続方向に付勢しながら当該第１端子に接触する第１付勢部を有し、
前記第２接続片は、前記第２端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第２端子に接触する第２付勢部を有し、
前記第３接続片は、前記第３端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第３端子に接触する第３付勢部を有する、質量分析装置。
【請求項2】
前記第１接続片は、前記第１付勢部の先端につながった第１ガイド部をさらに有し、
前記第１ガイド部は、前記接続方向に延びる第１スリットを有し、
前記第２接続片は、前記第２付勢部の先端につながった第２ガイド部をさらに有し、
前記第２ガイド部は、前記直交方向に延びる第２スリットを有し、
前記第３接続片は、前記第３付勢部の先端につながった第３ガイド部をさらに有し、
前記第３ガイド部は、前記直交方向に延びる第３スリットを有する、請求項１に記載の質量分析装置。
前記第１ガイド部は、前記接続方向に延びる第１スリットを有し、
前記第２接続片は、前記第２付勢部の先端につながった第２ガイド部をさらに有し、
前記第２ガイド部は、前記直交方向に延びる第２スリットを有し、
前記第３接続片は、前記第３付勢部の先端につながった第３ガイド部をさらに有し、
前記第３ガイド部は、前記直交方向に延びる第３スリットを有する、請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項3】
前記レンズ光学系の後段に配置された四重極質量フィルタをさらに備え、
前記四重極質量フィルタは、隔壁を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源に固定されており、かつ、前記イオン源とともに温度調整されており、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、互いに固定されており、かつ、前記四重極質量フィルタの中心軸と同軸となるように前記隔壁に嵌合されている、請求項１又は２に記載の質量分析装置。
前記四重極質量フィルタは、隔壁を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源に固定されており、かつ、前記イオン源とともに温度調整されており、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、互いに固定されており、かつ、前記四重極質量フィルタの中心軸と同軸となるように前記隔壁に嵌合されている、請求項１又は２に記載の質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、質量分析装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、特許第４６９２６２７号公報に見られるような質量分析装置が公知である。この質量分析装置は、真空容器と、イオン源と、レンズ光学系と、四重極質量フィルタと、イオン検出器と、を備えている。レンズ光学系には、真空容器外に設けられた電圧印加部から電圧が印加される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第４６９２６２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許第４６９２６２７号公報に見られるような質量分析装置では、通常、電圧印加部とレンズ光学系との電気的接続のために、真空容器にフィードスルーコネクタが取り付けられ、フィードスルーコネクタにおける各端子とレンズ光学系とが配線により接続される。この場合、例えばレンズ光学系のメンテナンス時における配線の脱着作業が必要となる。
【0005】
本発明の目的は、レンズ光学系とフィードスルーコネクタとの着脱を簡素化することが可能な質量分析装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一の態様は、真空容器と、前記真空容器内に配置されており、試料ガスに含まれる試料分子をイオン化するイオン源と、前記真空容器外から前記イオン源に前記試料ガスを導入する試料導入管と、前記イオン源で生成されたイオンを前記イオン源外に引き出すレンズ光学系と、前記真空容器外に設けられており前記レンズ光学系に電圧を印加する電圧印加部と、前記レンズ光学系と、を互いに接続するフィードスルーコネクタと、を備え、前記レンズ光学系は、第１レンズを含み、前記試料導入管に接続される第１ユニットと、前記第１ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第１接続片と、第２レンズを含む第２ユニットと、前記第２ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第２接続片と、第３レンズを含む第３ユニットと、前記第３ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第３接続片と、を有し、前記第１ユニットは、前記イオン源が前記試料導入管に接続される接続方向に沿って前記試料導入管に対して相対移動可能であり、前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、前記接続方向と直交する直交方向に沿って前記第１ユニットに対して相対移動可能であり、前記フィードスルーコネクタは、前記第１接続片と接触する第１端子と、前記第２接続片と接触する第２端子と、前記第３接続片と接触する第３端子と、を有し、前記第１接続片は、前記第１端子を少なくとも前記接続方向に付勢しながら当該第１端子に接触する第１付勢部を有し、前記第２接続片は、前記第２端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第２端子に接触する第２付勢部を有し、前記第３接続片は、前記第３端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第３端子に接触する第３付勢部を有する、質量分析装置に関する。
【発明の効果】
【0007】
この質量分析装置では、レンズ光学系の各ユニットを真空容器内に配置する際、第１接続片の第１付勢部が接続方向に第１端子を付勢しながら第１端子に接触し、第２接続片の第２付勢部が直交方向に第２端子を付勢しながら第２端子に接触し、第３接続片の第３付勢部が直交方向に第３端子を付勢しながら第３端子に接触する。このため、従来のような配線の省略が可能となり、レンズ光学系とフィードスルーコネクタとの着脱作業が簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の一実施形態における質量分析装置を概略的に示す図である。
【図2】質量分析装置を概略的に示す正面図である。
【図3】各接続片及びフィードスルーコネクタの斜視図である。
【図4】第１接続片の斜視図である。
【図5】第１ユニットの設置時における第１接続片の形状変化を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
この発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【0010】
図１は、本発明の一実施形態における質量分析装置を概略的に示す図である。図２は、質量分析装置を概略的に示す正面図である。質量分析装置１は、試料分子や原子をイオン化することによって質量を分析する装置である。質量分析装置１は、ガスクロマトグラフ等に好ましく用いられる。
【0011】
図１及び図２に示されるように、質量分析装置１は、真空容器１００と、イオン源２００と、試料導入管３００と、レンズ光学系４００と、四重極質量フィルタ５００と、イオン検出器６００と、フィードスルーコネクタ７００と、電圧印加部８００と、を備えている。
【0012】
真空容器１００には、当該真空容器１００内を真空引きする真空ポンプ１１０が設けられている。真空容器１００内には、イオン源２００と、レンズ光学系４００と、四重極質量フィルタ５００と、イオン検出器６００と、がイオン光軸Ｃ（図１を参照）に沿って配置されている。
【0013】
イオン源２００は、試料ガスに含まれる試料分子をイオン化する。イオン源２００は、イオン化室２１０、フィラメント２２０、トラップ電極２３０等を含んでいる。イオン化室２１０には、真空容器１００外（ガスクロマトグラフ）から当該イオン化室２１０内に試料ガスを導入する試料導入管３００が接続されている。
【0014】
イオン化室２１０において生成されたイオンは、レンズ光学系４００によってイオン化室２１０外に導かれた後、レンズ光学系４００の後段に配置された四重極質量フィルタ５００において質量電荷比に応じて分離され、イオン検出器６００で検出される。
【0015】
レンズ光学系４００は、イオン源２００の後段に配置されており、イオン化室２１０で生成されたイオンをイオン化室２１０外に引き出す。レンズ光学系４００は、第１レンズを含む第１ユニット４１０と、第２レンズを含む第２ユニット４２０と、第３レンズを含む第３ユニット４３０と、第１接続片４１１と、第２接続片４２２と、第３接続片４３３と、を有している。
【0016】
第１ユニット４１０は、イオン化室２１０の後段に配置されており、第２ユニット４２０は、第１ユニット４１０の後段に配置されており、第３ユニット４３０は、第２ユニット４２０の後段に配置されている。各ユニット４１０～４３０におけるレンズは、イオンの通過経路（イオン光軸Ｃ）を規定している。
【0017】
第１レンズに試料由来の汚れが付着するのを抑制する観点から、第１ユニット４１０は、イオン化室２１０に固定されており、イオン化室２１０とともに温度調整されている。第１ユニット４１０は、イオン化室２１０とともに、試料導入管３００の長手方向（図２における左右方向）に沿って試料導入管３００に対して相対移動可能である。
【0018】
第２ユニット４２０及び第３ユニット４３０は、互いに固定されている。第２ユニット４２０及び第３ユニット４３０は、第１ユニット４１０が試料導入管３００に接続される接続方向（図２における左右方向）と直交する直交方向（図２において紙面と直交する方向）に第１ユニット４１０に対して相対移動可能である。四重極質量フィルタ５００は、円板状に形成された隔壁５１０（図１及び図２を参照）を有しており、第２ユニット４２０及び第３ユニット４３０は、四重極質量フィルタ５００の中心軸と同軸となるように隔壁５１０の中央部に嵌合されている。なお、図２における紙面奥側（図３における右側）に四重極質量フィルタ５００が配置されている。
【0019】
各ユニット４１０～４３０には、真空容器１００外に設けられた電圧印加部８００から電圧が印加される。具体的に、第１ユニット４１０及び第３ユニット４３０には、電圧印加部８００におけるベース電圧発生部８１０からベース電圧が印加され、第２ユニット４２０には、電圧印加部８００における調整電圧発生部８２０から調整電圧が印加される。ベース電圧は、イオン化室２１０からイオンを引き寄せる電圧であり、調整電圧は、イオンを遠ざける電圧（ベース電圧と逆の極性の電圧）である。
【0020】
第１接続片４１１は、第１ユニット４１０に溶接等によって接続されている。第１接続片４１１は、第１ユニット４１０とフィードスルーコネクタ７００とを接続している。
【0021】
第２接続片４２２は、第２ユニット４２０に溶接等によって接続されている。第２接続片４２２は、第２ユニット４２０とフィードスルーコネクタ７００とを接続する。
【0022】
第３接続片４３３は、第３ユニット４３０に溶接等によって接続されている。第３接続片４３３は、第３ユニット４３０とフィードスルーコネクタ７００とを接続する。
【0023】
フィードスルーコネクタ７００は、電圧印加部８００とレンズ光学系４００とを互いに接続する。フィードスルーコネクタ７００は、真空容器１００に接続されている。図３に示されるように、フィードスルーコネクタ７００は、第１端子７０１と、第２端子７０２と、第３端子７０３と、を有している。
【0024】
第１端子７０１は、第１接続片４１１と接触している。第２端子７０２は、第２接続片４２２と接触している。第３端子７０３は、第３接続片４３３と接触している。第１端子７０１及び第３端子７０３は、ベース電圧発生部８１０に接続されており、第２端子７０２は、調整電圧発生部８２０に接続されている。
【0025】
【0026】
第１基端部４１１ａは、第１ユニット４１０に接続される部位である。第１基端部４１１ａは、平板状に形成されている。
【0027】
第１付勢部４１１ｂは、第１基端部４１１ａにつながっている。第１付勢部４１１ｂは、第１端子７０１を少なくとも前記接続方向に付勢しながら当該第１端子７０１に接触している。換言すれば、第１付勢部４１１ｂは、第１端子７０１を前記接続方向に付勢する成分を含む付勢力を第１端子７０１に作用させながら第１端子７０１に接触している。本実施形態では、第１付勢部４１１ｂは、第１端子７０１を前記接続方向と前記第１端子７０１の長手方向（図２における上下方向）との双方に付勢しながら第１端子７０１に接触している。第１付勢部４１１ｂは、前記接続方向に凸となるように屈曲している。
【0028】
第１ガイド部４１１ｃは、第１付勢部４１１ｂの先端につながっている。第１ガイド部４１１ｃは、第１ユニット４１０が試料導入管３００に接続される際に第１端子７０１をガイドする。第１ガイド部４１１ｃは、第１付勢部４１１ｂが屈曲する向きとは反対向きに凸となるように屈曲している。第１ガイド部４１１ｃの先端には、第１端子７０１を受け入れる第１スリットＳ１が形成されている。第１スリットＳ１は、前記接続方向に延びている。図４に示されるように、第１ガイド部４１１ｃの先端部には、第１テーパ部４１１ｄが形成されている。第１テーパ部４１１ｄは、第１スリットＳ１の先端に向かうにしたがって次第に広がる形状を有している。
【0029】
本実施形態では、第１接続片４１１、第２接続片４２２及び第３接続片４３３は、互いに同じ形状に形成されている。すなわち、第２接続片４２２は、第２基端部４２２ａと、第２付勢部４２２ｂと、第２ガイド部４２２ｃと、を有しており、第３接続片４３３は、第３基端部４３３ａと、第３付勢部４３３ｂと、第３ガイド部４３３ｃと、を有している。
【0030】
図２及び図３に示されるように、第２付勢部４２２ｂが屈曲する向き、及び、第３付勢部４３３ｂが屈曲する向きは、第１付勢部４１１ｂが屈曲する向きと直交している。つまり、第２付勢部４２２ｂは、第２端子７０２を前記直交方向と第２端子７０２の長手方向との双方に付勢しながら当該第２端子７０２に接触しており、第３付勢部４３３ｂは、第３端子７０３を前記直交方向と第３端子７０３の長手方向との双方に付勢しながら当該第３端子７０３に接触している。また、第２ガイド部４２２ｃに形成された第２スリットＳ２の延びる向き、及び、第３ガイド部４３３ｃに形成された第３スリットＳ３の延びる向きは、第１スリットＳ１の延びる向きと直交している。
【0031】
以上に説明した質量分析装置１において、レンズ光学系４００を真空容器１００内に設置する際、第１ユニット４１０が第２ユニット４２０及び第３ユニット４３０から独立して移動することが可能であるため、第１ユニット４１０と一体的に移動するイオン源２００を試料導入管３００に気密的に接続する作業が容易になる。
【0032】
また、図５に示されるように、第１付勢部４１１ｂは、第１端子７０１に対して摺動しながら当該第１端子７０１に接触する。このため、第１端子７０１の端部による第１付勢部４１１ｂの表面のクリーニング作用が生じる。よって、異物（埃等）に起因する第１付勢部４１１ｂ及び第１端子７０１間の接触不良が抑制される。なお、図５では、設置が完了する前の第１接続片４１１が破線で示されている。
【0033】
そして、第２ユニット４２０及び第３ユニット４３０については、第２ユニット４２０及び第３ユニット４３０を前記直交方向に沿って四重極質量フィルタ５００側に押すことにより、第２付勢部４２２ｂが第２端子７０２を付勢する状態で第２接続片４２２が第２端子７０２に接触するとともに、第３付勢部４３３ｂが第３端子７０３を付勢する状態で第３接続片４３３が第３端子７０３に接触する。このとき、第２端子７０２及び第３端子７０３によるクリーニング作用が生じることは、第１端子７０１の場合と同様である。そして、第２ユニット４２０及び第３ユニット４３０は、隔壁５１０に嵌合することにより、四重極質量フィルタ５００の中心軸と同軸となるように配置される。
【0034】
以上に説明したように、本実施形態における質量分析装置１では、レンズ光学系４００の各ユニット４１０～４３０を真空容器１００内に配置する際、第１接続片４１１の第１付勢部４１１ｂが接続方向に第１端子７０１を付勢しながら第１端子７０１に接触し、第２接続片４２２の第２付勢部４２２ｂが直交方向に第２端子７０２を付勢しながら第２端子７０２に接触し、第３接続片４３３の第３付勢部４３３ｂが直交方向に第３端子７０３を付勢しながら第３端子７０３に接触する。このため、従来のような配線の省略が可能となり、レンズ光学系４００とフィードスルーコネクタ７００との着脱作業が簡素化される。
【0035】
［態様］
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
【0036】
（第１項）一態様に係る前記質量分析装置は、
真空容器と、
前記真空容器内に配置されており、試料ガスに含まれる試料分子をイオン化するイオン源と、
前記真空容器外から前記イオン源に前記試料ガスを導入する試料導入管と、
前記イオン源で生成されたイオンを前記イオン源外に引き出すレンズ光学系と、
前記真空容器外に設けられており前記レンズ光学系に電圧を印加する電圧印加部と、前記レンズ光学系と、を互いに接続するフィードスルーコネクタと、を備え、
前記レンズ光学系は、
第１レンズを含み、前記試料導入管に接続される第１ユニットと、
前記第１ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第１接続片と、
第２レンズを含む第２ユニットと、
前記第２ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第２接続片と、
第３レンズを含む第３ユニットと、
前記第３ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第３接続片と、を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源が前記試料導入管に接続される接続方向に沿って前記試料導入管に対して相対移動可能であり、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、前記接続方向と直交する直交方向に沿って前記第１ユニットに対して相対移動可能であり、
前記フィードスルーコネクタは、
前記第１接続片と接触する第１端子と、
前記第２接続片と接触する第２端子と、
前記第３接続片と接触する第３端子と、を有し、
前記第１接続片は、前記第１端子を少なくとも前記接続方向に付勢しながら当該第１端子に接触する第１付勢部を有し、
前記第２接続片は、前記第２端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第２端子に接触する第２付勢部を有し、
前記第３接続片は、前記第３端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第３端子に接触する第３付勢部を有する。
真空容器と、
前記真空容器内に配置されており、試料ガスに含まれる試料分子をイオン化するイオン源と、
前記真空容器外から前記イオン源に前記試料ガスを導入する試料導入管と、
前記イオン源で生成されたイオンを前記イオン源外に引き出すレンズ光学系と、
前記真空容器外に設けられており前記レンズ光学系に電圧を印加する電圧印加部と、前記レンズ光学系と、を互いに接続するフィードスルーコネクタと、を備え、
前記レンズ光学系は、
第１レンズを含み、前記試料導入管に接続される第１ユニットと、
前記第１ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第１接続片と、
第２レンズを含む第２ユニットと、
前記第２ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第２接続片と、
第３レンズを含む第３ユニットと、
前記第３ユニットと前記フィードスルーコネクタとを接続する第３接続片と、を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源が前記試料導入管に接続される接続方向に沿って前記試料導入管に対して相対移動可能であり、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、前記接続方向と直交する直交方向に沿って前記第１ユニットに対して相対移動可能であり、
前記フィードスルーコネクタは、
前記第１接続片と接触する第１端子と、
前記第２接続片と接触する第２端子と、
前記第３接続片と接触する第３端子と、を有し、
前記第１接続片は、前記第１端子を少なくとも前記接続方向に付勢しながら当該第１端子に接触する第１付勢部を有し、
前記第２接続片は、前記第２端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第２端子に接触する第２付勢部を有し、
前記第３接続片は、前記第３端子を少なくとも前記直交方向に付勢しながら当該第３端子に接触する第３付勢部を有する。
【0037】
この質量分析装置では、レンズ光学系の各ユニットを真空容器内に配置する際、第１接続片の第１付勢部が接続方向に第１端子を付勢しながら第１端子に接触し、第２接続片の第２付勢部が直交方向に第２端子を付勢しながら第２端子に接触し、第３接続片の第３付勢部が直交方向に第３端子を付勢しながら第３端子に接触する。このため、従来のような配線の省略が可能となり、レンズ光学系とフィードスルーコネクタとの着脱作業が簡素化される。
【0038】
さらに、第１ユニットを第２ユニット及び第３ユニットから独立して移動させることが可能であるため、各ユニットの位置決めが容易になる。
【0039】
（第２項）第１項に記載の質量分析装置１において、
前記第１接続片は、前記第１付勢部の先端につながった第１ガイド部をさらに有し、
前記第１ガイド部は、前記接続方向に延びる第１スリットを有し、
前記第２接続片は、前記第２付勢部の先端につながった第２ガイド部をさらに有し、
前記第２ガイド部は、前記直交方向に延びる第２スリットを有し、
前記第３接続片は、前記第３付勢部の先端につながった第３ガイド部をさらに有し、
前記第３ガイド部は、前記直交方向に延びる第３スリットを有することが好ましい。
前記第１接続片は、前記第１付勢部の先端につながった第１ガイド部をさらに有し、
前記第１ガイド部は、前記接続方向に延びる第１スリットを有し、
前記第２接続片は、前記第２付勢部の先端につながった第２ガイド部をさらに有し、
前記第２ガイド部は、前記直交方向に延びる第２スリットを有し、
前記第３接続片は、前記第３付勢部の先端につながった第３ガイド部をさらに有し、
前記第３ガイド部は、前記直交方向に延びる第３スリットを有することが好ましい。
【0040】
第２項に記載の質量分析装置によれば、第１ユニットが接続方向に設置される際に第１スリットが第１端子を受け入れ、第２ユニット及び第３ユニットが直交方向に設置される際に第２スリットが第２端子を受け入れるとともに第３スリットが第３端子を受け入れるため、各端子と各接続片との位置が有効に決定される。
【0041】
（第３項）第１項又は２項に記載の質量分析装置１において、
前記レンズ光学系の後段に配置された四重極質量フィルタをさらに備え、
前記四重極質量フィルタは、隔壁を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源に固定されており、かつ、前記イオン源とともに温度調整されており、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、互いに固定されており、かつ、前記四重極質量フィルタの中心軸と同軸となるように前記隔壁に嵌合されていることが好ましい。
前記レンズ光学系の後段に配置された四重極質量フィルタをさらに備え、
前記四重極質量フィルタは、隔壁を有し、
前記第１ユニットは、前記イオン源に固定されており、かつ、前記イオン源とともに温度調整されており、
前記第２ユニット及び前記第３ユニットは、互いに固定されており、かつ、前記四重極質量フィルタの中心軸と同軸となるように前記隔壁に嵌合されていることが好ましい。
【0042】
第３項に記載の質量分析装置によれば、試料由来の汚れが第１レンズに付着することが抑制され、第２レンズ及び第３レンズが四重極質量フィルタの中心軸と同軸となるように配置される。
【0043】
なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【0044】
１ 質量分析装置、１００ 真空容器、２００ イオン源、３００ 試料導入管、４００ レンズ光学系、４１０ 第１ユニット、４１１ 第１接続片、４１１ａ 第１基端部、４１１ｂ 第１付勢部、４１１ｃ 第１ガイド部、４１１ｄ 第１テーパ部、４２０ 第２ユニット、４２２ 第２接続片、４３０ 第３ユニット、４３３ 第３接続片、５００ 四重極質量フィルタ、５１０ 隔壁、６００ イオン検出器、７００ フィードスルーコネクタ、７０１ 第１端子、７０２ 第２端子、７０３ 第３端子、８００ 電圧印加部、Ｓ１ 第１スリット、Ｓ２ 第２スリット、Ｓ３ 第３スリット。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】