特開 2025-24654 マルチ層ＥＦＥＭを含む基板移送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025024654

(43)【公開日】2025-02-20

(54)【発明の名称】マルチ層ＥＦＥＭを含む基板移送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20250213BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】有

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023188370

(22)【出願日】2023-11-02

(31)【優先権主張番号】10-2023-0102979

(32)【優先日】2023-08-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】519433126

【氏名又は名称】ヴイエム インコーポレイテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100121728

【弁理士】

【氏名又は名称】井関 勝守

(74)【代理人】

【識別番号】100165803

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 修平

(74)【代理人】

【識別番号】100179648

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 咲江

(74)【代理人】

【識別番号】100222885

【弁理士】

【氏名又は名称】早川 康

(74)【代理人】

【識別番号】100140338

【弁理士】

【氏名又は名称】竹内 直樹

(74)【代理人】

【識別番号】100227695

【弁理士】

【氏名又は名称】有川 智章

(74)【代理人】

【識別番号】100170896

【弁理士】

【氏名又は名称】寺薗 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100219313

【弁理士】

【氏名又は名称】米口 麻子

(74)【代理人】

【識別番号】100161610

【弁理士】

【氏名又は名称】藤野 香子

(72)【発明者】

【氏名】イ サンウ

(72)【発明者】

【氏名】チョェ ウヒョン

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA03

5F131BA04

5F131BA19

5F131BB02

5F131BB03

5F131BB23

5F131CA32

5F131CA39

5F131DA02

5F131DA22

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB63

5F131DB73

(57)【要約】

【課題】マルチ層移動が可能なＥＦＥＭを含む基板移送装置を提供する。
【解決手段】本願発明の基板移送装置は第１移動プレート、前記第１移動プレートの下部に位置する第２移動プレート、及び第１レール、前記第１レール上で移動する第１移動体、前記第１移動体の一面上に配置される第２レール及び前記第２レール上で移動して基板を運送する第１ロボットを含み、前記第１移動プレート及び前記第２移動プレートと連結されて前記第１ロボットを通じて前記第１移動プレート又は前記第２移動プレートに基板を提供するＥＦＥＭを含むことができる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１移動プレートと、
前記第１移動プレートの下部に位置する第２移動プレートと、
第１レール、前記第１レール上で移動する第１移動体及び前記第１移動体と連結されて基板を運送する第１ロボットを含み、前記第１移動プレート及び前記第２移動プレートと連結されて前記第１ロボットを通じて前記第１移動プレート又は前記第２移動プレートに基板を提供するＥＦＥＭと、を含む基板移送装置。

【請求項2】

前記ＥＦＥＭは、前記第１移動体の一面上に配置される第２レールを含み、
前記第１ロボットは、前記第２レール上で移動するように構成される請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項3】

前記第１レール及び前記第２レールは、互いに垂直に配置され、
前記第１移動体は、前記第１レール上で左右に移動し、前記第１ロボットは、前記第２レール上で上下に移動する請求項２に記載の基板移送装置。

【請求項4】

前記ＥＦＥＭは、第３レール、前記第３レール上で移動する第２移動体、前記第２移動体の一面上に配置される第４レール、及び前記第４レール上で移動して基板を運送する第２ロボットを含み、
前記第３レール及び前記第４レールは、互いに垂直に配置され、
前記第２移動体は、前記第３レール上で左右に移動し、前記第２ロボットは、前記第４レール上で上下に移動する請求項２に記載の基板移送装置。

【請求項5】

上から見た時、前記第１レール及び前記第３レールは、互いにオーバーラップされない請求項４に記載の基板移送装置。

【請求項6】

前記第１ロボットは、前記第１レール上で第１経路に沿って移動し、
前記第２ロボットは、前記第３レール上で第２経路に沿って移動し、
上から見た時、前記第１経路及び前記第２経路は、互いにオーバーラップされない請求項４に記載の基板移送装置。

【請求項7】

前記第１ロボットは、回転可能な第１ロボットアームを利用して基板を前記第２ロボットに伝達する請求項４に記載の基板移送装置。

【請求項8】

前記第１移動プレート又は前記第２移動プレート上で移動し、基板を収容するように構成されたシャトルをさらに含み、
前記第１ロボットは、基板を前記シャトルに運搬する請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項9】

地面から前記第１レールまでの高さは、地面から前記第３レールまでの高さより高い請求項４に記載の基板移送装置。

【請求項10】

前記ＥＦＥＭは、安定性を向上させるために前記第１レールと平行に配置され、前記第１移動体を移動させることができる第１補助レールを含む請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項11】

前記第１移動体の前記一面上で前記第１ロボットが移動し、前記一面と対向する他面上で第２ロボットが移動するように、前記ＥＦＥＭは、前記第１移動体の前記他面上に配置される第５レールを含む請求項２に記載の基板移送装置。

【請求項12】

前記第１ロボットが前記第１レール上で移動できるように前記第１レール及び前記第２レールは、連結されている請求項２に記載の基板移送装置。

【請求項13】

前記第１移動体は、第１サブボディー及び第２サブボディーを含み、
前記第２サブボディーは、前記第１ロボットと連結されて、前記第１ロボットの位置を調節するために前記第１サブボディーに引込可能とするように構成される請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項14】

前記ＥＦＥＭは、第３レール、前記第３レール上で移動する第２移動体及び前記第２移動体と連結されて基板を運送する第２ロボットを含み、
上から見た時、前記第１レール及び前記第３レールは、少なくとも一部がオーバーラップされる請求項１３に記載の基板移送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願発明は基板移送装置に関し、より詳細には、マルチ層ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）を含む基板移送装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体又はディスプレー工程に使われる装備での面積減少は非常に重要である。例えば、基板移送装置が占める面積を減少させることによって、工場内にさらに多い装備を配置し、作業することができるので、生産性と生産能力が向上される。また、面積減少による工場内空間使用が最適化されることによって、空間利用効率性が増大して費用節減に有利で、移動経路を短縮させることによって、生産過程での移動時間を減らすことによって生産ラインを最適化することができる。これを実現するために、半導体工程に使われる装備の単位面積当たり処理量を増加させるための技術が必要である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】韓国公開特許第１０－２００７－００９９１８５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本願発明の一課題はマルチ層移動が可能なＥＦＥＭを含む基板移送装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

一実施形態による基板移送装置は第１移動プレート、前記第１移動プレートの下部に位置する第２移動プレート、及び第１レール、前記第１レール上で移動する第１移動体及び前記第１移動体と連結されて基板を運送する第１ロボットを含み、前記第１移動プレート及び前記第２移動プレートと連結されて前記第１ロボットを通じて前記第１移動プレート又は前記第２移動プレートに基板を提供するＥＦＥＭを含むことができる。

【0006】

ここで、前記ＥＦＥＭは前記第１移動体の一面上に配置される第２レールを含み、前記第１ロボットは前記第２レール上で移動するように構成されることができる。

【0007】

ここで、前記第１レール及び前記第２レールは互いに垂直に配置され、前記第１移動体は前記第１レール上で左右に移動し、前記第１ロボットは前記第２レール上で上下に移動することができる。

【0008】

ここで、前記ＥＦＥＭは第３レール、前記第３レール上で移動する第２移動体、前記第２移動体の一面上に配置される第４レール、及び前記第４レール上で移動して基板を運送する第２ロボットを含み、前記第３レール及び前記第４レールは互いに垂直に配置され、前記第２移動体は前記第３レール上で左右に移動し、前記第２ロボットは前記第４レール上で上下に移動することができる。

【0009】

ここで、上から見た時、前記第１レール及び前記第３レールは互いにオーバーラップされなくともよい。

【0010】

ここで、前記第１ロボットは前記第１レール上で第１経路に沿って移動し、前記第２ロボットは前記第３レール上で第２経路に沿って移動し、上から見た時、前記第１経路及び前記第２経路は互いにオーバーラップされなくともよい。

【0011】

ここで、前記第１ロボットは回転可能な第１ロボットアームを利用して基板を前記第２ロボットに伝達することができる。

【0012】

ここで、前記第１移動プレート又は前記第２移動プレート上で移動し、基板を収容するように構成されたシャトルをさらに含み、前記第１ロボットは基板を前記シャトルに運搬することができる。

【0013】

ここで、地面から前記第１レールまでの高さは地面から前記第３レールまでの高さより高いことができる。

【0014】

ここで、前記ＥＦＥＭは安定性を向上させるために前記第１レールと平行に配置され、前記第１移動体を移動させることができる第１補助レールを含むことができる。

【0015】

ここで、前記第１移動体の前記一面上で前記第１ロボットが移動し、前記一面と対向する他面上で前記第２ロボットが移動するように、前記ＥＦＥＭは前記第１移動体の前記他面上に配置される第５レールを含むことができる。

【0016】

ここで、前記第１ロボットが前記第１レール上で移動できるように前記第１レール及び前記第２レールは連結されることができる。

【0017】

ここで、前記第１移動体は第１サブボディー及び第２サブボディーを含み、前記第２サブボディーは前記第１ロボットと連結されて、前記第１ロボットの位置を調節するために前記第１サブボディーに引込可能するように構成されることができる。

【0018】

ここで、前記ＥＦＥＭは第３レール、前記第３レール上で移動する第２移動体及び前記第２移動体と連結されて基板を運送する第２ロボットを含み、上から見た時、前記第１レール及び前記第３レールは少なくとも一部がオーバーラップされることができる。

【発明の効果】

【0019】

本願発明の一実施形態によれば、マルチ層移動が可能なＥＦＥＭを含む基板移送装置が提供されることができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】一実施形態による基板移送装置を説明するための図面である。

【図2】一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための断面図である。

【図3】他の一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための断面図である。

【図4】図３のＥＦＥＭを説明するための図面である。

【図5】その他の一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための図面である。

【図6】その他の一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための図面である。

【図7】図５又は図６のＥＦＥＭを説明するための図面である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

本明細書に記載された実施形態は本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に本発明の思想を明確に説明するためのものであるので、本発明が本明細書に記載された実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲は本発明の思想を逸脱しない修正例又は変形例を含むものと解釈されなければならない。

【0022】

本明細書で使用される用語は本発明での機能を考慮して可能な現在広く使用されている一般的な用語を選択したが、これは本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者の意図、判例、又は新しい技術の出現等によって変わり得る。但し、これとは異なり、特定の用語を任意の意味として定義して使用する場合にはその用語の意味に関して別に記載する。したがって、本明細書で使用される用語は単純な用語の名称ではなく、その用語が有する実質的な意味と本明細書の全般に亘る内容に基づいて定義されなければならない。

【0023】

本明細書に添付された図面は本発明を容易に説明するためのものであって、図面に図示された形状は本発明の理解を助けるために必要に応じて誇張されて表示されたものであるので、本発明が図面によって限定されるものではない。

【0024】

本明細書で本発明に関連された公知の構成又は機能に対する具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にし得ると判断される場合にこれに関する詳細な説明を必要によって省略する。

【0025】

図１は一実施形態による基板移送装置を説明するための図面である。

【0026】

図１を参照すれば、一実施形態による基板移送装置は第１移動プレート１００、第２移動プレート１０１、ロードロックチャンバー１５０、及びＥＦＥＭ２００を含むことができる。追加的に、基板移送装置は複数のプロセシングチャンバー、複数のアーム、複数のシャトル、及びシャトルのためのレールを含むことができる。

【0027】

第１移動プレート１００の下部には第２移動プレート１０１が配置されることができる。第１移動プレート１００及び第２移動プレート１０１は上部及び下部に配置されて、基板移送装置は多層構造を有することができる。

【0028】

多層構造の基板移送装置で基板は第１移動プレート１００上で運搬されるか、或いは第２移動プレート１０１上で運搬されることができる。基板はＥＦＥＭ２００を通じて上部レイヤー又は下部レイヤーに移動することができる。したがって、多層構造の基板移送装置は一部移動プレートと隣接するプロセシングチャンバーが故障になった場合、他の移動プレートと隣接するプロセシングチャンバーに基板を運搬することができる。

【0029】

ロードロックチャンバー（Ｌｏａｄ Ｌｏｃｋ Ｃｈａｍｂｅｒ）１５０は第１移動プレート１００及び第２移動プレート１０１と連結されることができる。ロードロックチャンバー１５０は移動プレートとＥＦＥＭとの間で大気及び真空圧力を行き来しながら、基板を移動させるモジュールである。ロードロックチャンバー１５０は第１移動プレート１００又は第２移動プレート１０１でＥＦＥＭ２００に運搬される基板やその逆に運搬される基板の真空又は大気状態を維持するためのチャンバーであり得る。

【0030】

例えば、ＥＦＥＭで移動プレートに基板が移動する時、ロードロックチャンバー１５０はＥＦＥＭで大気状態の基板を獲得し、ＡＴＭで圧力を調節して基板をプレート（ｐｌａｔｅ）させた後、再び真空状態に圧力を調節し、その後に移動プレートの方のゲート（ｇａｔｅ）をオープンして基板を移動プレートに伝達することができる。その反対も同様に、移動プレートでＥＦＥＭに基板が移動する時、ロードロックチャンバー１５０は移動プレートから真空状態の基板を獲得し、大気状態のために圧力を調節し、その後ＥＦＥＭの方のゲートをオープンして基板をＥＦＥＭに伝達することができる。

【0031】

ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）は基板移送のような前処理作業を遂行する装備であり得る。ＥＦＥＭ２００はロボットアーム、基板の方向を設定するためのアライナー（ａｌｉｇｎｅｒ）、ヒューム（ｆｕｍｅ）除去のためのサイドストレージ（ｓｉｄｅ ｓｔｏｒａｇｅ）、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）が安着されるロードポート（Ｌｏａｄ、ｐｏｒｔ）、基板位置を感知するセンサー、真空ポンプ、追加的な機能にしたがうモジュール等の構成要素を含むことができる。

【0032】

本願発明はＥＦＥＭに含まれたロボットを利用して第１移動プレート１００及び第２移動プレート１０１の中でいずれか１つで他の１つに層移動が可能な基板移送装置に関するものである。従来は基板の層移動のために、ＥＦＥＭにエスカレーターやエレベーター等追加的なハードウェア装置を必要とする。しかし、これらはエレベーター自体が動いている等の振動に脆弱であり、振動と動きにしたがう圧力変化によるパーティクル発生可能性と関連した問題がある。また、これらを設計するためには多大な努力と費用がかかる。

【0033】

本願発明は簡便でありながらも、振動に脆弱である点及びパーティクル発生可能性を補完するために固定されたレール上で基板を運搬するロボットを含むＥＦＥＭを特徴とする。以下では、層移動が可能なＥＦＥＭを含む基板移送装置に対して図２乃至図６を参照して詳細に説明する。

【0034】

図２は一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための断面図である。

【0035】

図２を参照すれば、一実施形態によるＥＦＥＭは第１レール２１１、第１移動体２４１、第１移動体上に配置された第２レール２２１、第１補助レール２３１、及び第１ロボット１０を含むことができる。図２は第１レール２１１及び第１補助レール２３１が地面と水平に配置され、第２レール２２１が地面と垂直に配置されるＩ字と類似な構造を図示したが、これに限定されなく、Ｈ字構造も可能である。例えば、第１レール２１１及び第１補助レール２３１が地面と垂直に配置され、第２レール２２１が地面と水平に配置されることができる。

【0036】

第１レール２１１及び第１補助レール２３１はＥＦＥＭの内部で位置が固定されたレールであり得る。また、第２レール２２１は第１移動体２４１上で位置が固定されたレールであり得る。しかし、第２レール２２１は第１移動体２４１の移動に応じてＥＦＥＭの内部では位置が変動されることができる。

【0037】

第１レール２１１は第１移動体２４１を移動可能とするように構成されることができる。第１移動体２４１は第１レール２１１上で移動することによって第１ロボット１０の左右位置を変更することができる。図２では図示されなかったが、第１ロボット１０は第１移動体２４１上の第２レール２２１のみならず、第１レール２１１上でも移動してもよい。この時、第１ロボット１０が第１レール２１１上で移動できるように第１レール２１１及び第２レール２２１は連結されることができる。

【0038】

第１移動体２４１は第１レール２１１と垂直に配置及び連結されることができる。第１移動体２４１は第１レール２１１上で移動して第１ロボット１０の左右動きを提供することができる。第１移動体２４１の形態は円柱、多角形柱等の多様にすることができる。第１移動体２４１は一面上に配置される第２レール２２１を含むことができる。

【0039】

第１移動体２４１の上下長さ、移動中の空気抵抗等によって、第１移動体２４１が第１レール２１１上で移動することに強固さや、安定性等の問題が発生し得る。したがって、ＥＦＥＭは第１補助レール２３１を利用して第１移動体２４１の移動上の安定性を向上させることができる。

【0040】

具体的に、第１補助レール２３１は第１移動体２４１の一領域と連結されることができる。図２は第１補助レール２３１が第１移動体２４１の中央部に連結されることを図示したが、これに限定されなく、第１補助レール２３１の連結地点は多様であることができる。第１移動体２４１は第１レール２１１のみならず、第１補助レール２３１を利用してレールに沿って左右に移動することができる。したがって、第１移動体２４１の長さが長いか、或いは移動速度が速くても２つのレールを利用することによってＥＦＥＭの内部で第１移動体２４１の移動の安定性及び強固さを向上させることができる。図２は１つの補助レールを利用する例を図示したが、これに限定されなく、補助レールの数は必要によって複数であり得る。

【0041】

第２レール２２１は第１移動体２４１の一面上に配置されることができる。第２レール２２１は第１ロボット１０を移動可能とするように構成されることができる。例えば、第１ロボット１０は車輪を利用して第２レール２２１上で移動することができる。しかし、これに限定されなく、第２レール２２１はスライディングレール、固定型レール等の様々な形態に具現されることができる。

【0042】

第１移動体２４１は第２レール２２１のみならず、他のレールを含んでもよい。具体的に、第１移動体２４１の一面上には第２レール２２１が配置され、前記一面と対向する他面上には他のレール（図示せず）が配置されてもよい。したがって、第１移動体２４１の一面上で第２レール２２１を利用して第１ロボット１０が移動し、前記他面上で他のレール（例えば、第５レール）を利用して他のロボットが移動することができる。即ち、第１移動体２４１は２以上のレールを含んで２以上のロボットの移動を提供することもできる。

【0043】

第１ロボット１０は基板を掴むことができるロボットアームを含むことができる。第１ロボット１０は第２レール２２１上で移動して基板を運送することができる。それだけでなく、場合によって第１ロボット１０は第１レール２１１又は第１補助レール２３１上でも移動してよい。

【0044】

具体的に、第１移動体２４１は第１レール２１１上で左右に移動し、第１ロボット１０は第１移動プレート１００と同一なレイヤー上にある基板を掴んで運搬することができる。また、第１ロボット１０は第２レール２２１上で上下に移動して基板が第１移動プレート１００及び第２移動プレート１０１の中でいずれか１つで他の１つ上に移動できるように基板のレイヤー変更を提供することができる。

【0045】

図２は第１レール２１１及び第１補助レール２３１と垂直に配置された第２レール２２１を図示しているが、これに限定されなく、第２レール２２１と第１レール２１１又は第１補助レール２３１がなす角度は変わることができる。例えば、第２レール２２１の一端は第１レール２１１の左側終端に連結され、第２レール２２１の他端は第１補助レール２３１の右側終端に連結されることができる。したがって、ＥＦＥＭはＺ字構造又は逆Ｚ構造形態のレールを含んでもよい。

【0046】

図３は他の一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための断面図である。

【0047】

図３を参照すれば、他の一実施形態によるＥＦＥＭは第１レール２１１、第１移動体２４１、第１移動体２４１上に配置された第２レール２２１、第１補助レール２３１、第１ロボット１０、第３レール２１２、第２移動体２４２、第２移動体２４２上に配置された第４レール２２２、第２補助レール２３２、及び第２ロボット２０を含むことができる。図３のＥＦＥＭは２つの移動体及びロボットを利用した例示である。

【0048】

ＥＦＥＭは複数のロボットを含んで基板の層移動及び運搬をすることができる。複数のロボットは独立的に基板を運搬することができ、一ロボットが有している基板を他の一ロボットに伝達する形態に基板を運搬してもよい。複数のロボットは互いに独立的に移動することができる。具体的に、第１ロボット１０は第１レール２１１及び第１移動体２４１を通じて左右に移動し、第２レール２２１を通じて上下に移動することができる。また、第２ロボット２０は第３レール２１２及び第２移動体２４２を通じて左右に移動し、第４レール２２２を通じて上下に移動することができる。それだけでなく、第１ロボット１０及び第２ロボット２０は複数のレール、移動体、回転移動、ロボットアーム等を利用して左右及び上下のみならず、位置変更及び回転等を通じて様々な位置に移動が可能であることができる。

【0049】

第３レール２１２及び第２補助レール２３２はＥＦＥＭの内部で位置が固定されたレールであり得る。また、第４レール２２２は第２移動体２４２上で位置が固定されたレールであり得る。しかし、第４レール２２２は第２移動体２４２の移動に応じてＥＦＥＭの内部では位置が変動されることができる。

【0050】

第３レール２１２は第２移動体２４２を移動可能とするように構成されることができる。第２移動体２４２は第３レール２１２上で移動することによって第２ロボット２０の左右位置を変更することができる。図３では図示されなかったが、第２ロボット２０は第２移動体２４２上の第４レール２２２のみならず、第３レール２１２上で移動することもできる。この時、第２ロボット２０が第３レール２１２上で移動できるように第３レール２１２及び第４レール２２２は連結されることができる。

【0051】

第２移動体２４２は第３レール２１２と垂直に配置及び連結されることができる。第２移動体２４２は第３レール２１２上で移動して第２ロボット２０の左右動きを提供することができる。第２移動体２４２の形態は円柱、多角形柱等の多様にすることができる。第２移動体２４２は一面上に配置される第４レール２２２を含むことができる。

【0052】

第２移動体２４２の上下長さ、移動中の空気抵抗等によって、第２移動体２４２が第３レール２１２上で移動することに強固さ、安定性等の問題が発生し得る。したがって、ＥＦＥＭは第２補助レール２３２を利用して第２移動体２４２の移動上の安定性を向上させることができる。

【0053】

具体的に、第２補助レール２３２は第２移動体２４２の一領域と連結されることができる。図３は第２補助レール２３２が第２移動体２４２の中央部に連結されることを図示したが、これに限定されなく、第２補助レール２３２の連結地点は多様にすることができる。第２移動体２４２は第３レール２１２のみならず、第２補助レール２３２を利用してレールに沿って左右に移動することができる。したがって、第２移動体２４２の長さが長いか、或いは移動速度が速くても２つのレールを利用することによってＥＦＥＭの内部で第２移動体２４２の移動の安定性及び強固さを向上させることができる。図３は１つの補助レールを利用する例を図示したが、これに限定されなく、補助レールの数は必要によって複数であり得る。また、第１補助レール２３１及び第２補助レール２３２は場合によって統合されて１つの補助レールで表現されることもできる。

【0054】

第１補助レール２３１及び第２補助レール２３２は第１ロボット１０及び第２ロボット２０が基板をロードロックチャンバーに運搬する時妨害されない位置に配置されることができる。例えば、第１補助レール２３１及び第２補助レール２３２の各々は第１移動体２４１及び第２移動体２４２の面の中でロードロックチャンバーと近くない面と連結されるように配置されることができる。

【0055】

第４レール２２２は第２移動体２４２の一面上に配置されることができる。第４レール２２２は第２ロボット２０を移動可能とするように構成されることができる。例えば、第２ロボット２０は車輪を利用して第４レール２２２上で移動することができる。しかし、これに限定されなく、第４レール２２２はスライディングレール、固定型レール等の様々な形態に具現されることができる。

【0056】

第２移動体２４２は第４レール２２２のみならず、他のレールを含んでもよい。具体的に、第２移動体２４２の一面上には第４レール２２２が配置され、前記一面と対向する他面上には他のレール（図示せず）が配置されてもよい。したがって、第２移動体２４２の一面上で第４レール２２２を利用して第２ロボット２０が移動し、前記他面上で他のレールを利用して他のロボットが移動することができる。即ち、第２移動体２４２は２以上のレールを含んで２以上のロボットの移動を提供することもできる。

【0057】

第１ロボット１０及び第２ロボット２０が左右に移動する時、衝突を防止するために第１移動体２４１及び第２移動体２４２は離隔されて配置されることができる。したがって、第１移動体２４１及び第２移動体２４２の離隔のために第１レール２１１及び第３レール２１２は離隔されて配置されることができる。例えば、上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２は一定の距離を介して離隔されて配置されることができる。

【0058】

又は第１ロボット１０及び第２ロボット２０の衝突を防止するために、第１レール２１１及び第３レール２１２ではない第１移動体２４１及び第２移動体２４２の構造が設定されることができる。例えば、上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２は重畳されて配置され、第１移動体２４１は第１レール２１１及び第３レール２１２の左側に配置され、第２移動体２４２は第１レール２１１及び第３レール２１２の右側に配置されてもよい。しかし、これに限定されなく、第１ロボット１０及び第２ロボット２０の衝突を避けるための様々なレール及び移動体の配置構造が適用されることができる。

【0059】

第１移動体２４１の第１レール２１１及び／又は第１補助レール２３１上での移動と第１ロボット１０の第２レール２２１上での移動を通じて、第１ロボット１０は上部レイヤーに位置した基板を運搬するか、又は上部レイヤーに基板を運搬することができる。また、第２移動体２４２の第３レール２１２及び／又は第２補助レール２３２上での移動と第２ロボット２０の第４レール２２２上での移動を通じて、第２ロボット２０は上部レイヤーに位置した基板を運搬するか、又は上部レイヤーに基板を運搬することができる。

【0060】

第１ロボット１０は第２ロボット２０に基板を伝達するか、又は伝達されることができる。この時、第１ロボット１０は第２レール２２１上で第２ロボット２０に第１ロボットアームを利用して基板を伝達するか、又は伝達されることができるが、これに限定されなく、第１レール２１１上で基板を伝達するか、又は伝達されることもできる。

【0061】

第２ロボット２０は第１ロボット１０に基板を伝達するか、又は伝達されることができる。この時、第２ロボット２０は第４レール２２２上で第１ロボット１０に第２ロボットアームを利用して基板を伝達するか、又は伝達されることができるが、これに限定されなく、第３レール２１２上で基板を伝達するか、又は伝達されることもできる。

【0062】

第１ロボット１０又は第２ロボット２０は基板をシャトルに運搬することができる。シャトルは基板を収容するように構成された装置として、内部に基板を収容することができる空間を含むことができる。具体的に、シャトルは基板を伝達するか、又は伝達されるために、ＥＦＥＭ２００に連結されたロードロックチャンバー１５０内に移動することができる。第１ロボット１０又は第２ロボット２０はロードロックチャンバー１５０内のシャトルに基板を運搬するか、又はシャトル内の基板を取り出すことができる。したがって、シャトルは再び第１移動プレート１００又は第２移動プレート１０１に移動することができる。

【0063】

第１レール２１１は第３レール２１２の上部に位置することができる。具体的に、地面から第１レール２１１までの高さは地面から第３レール２１２までの高さより高いことができる。例えば、第１レール２１１はＥＦＥＭの天井に配置され、第３レール２１２はＥＦＥＭの床に配置されることができるが、これに限定されない。第１レール２１１及び第３レール２１２の高さが異なるように設定されて移動体間の移動の効率性を向上させ、ＥＦＥＭの内部でレール及び移動体が占めるサイズを減少させることができる。

【0064】

図３は第１移動体２４１が連結される第１レール２１１と第２移動体２４２が連結される第３レール２１２がＥＦＥＭの内部で各々上部及び下部に配置されることを図示した。しかし、第１レール２１１と第３レール２１２はこれに限定されなく、様々な配置形状を有することができる。

【0065】

例えば、第１レール２１１はＥＦＥＭの上部に配置され、第３レール２１２はＥＦＥＭの左側又は右側に配置されることができる。したがって、第２移動体２４２は第３レール２１２上で上下に移動することができ、第２ロボット２０は第２移動体２４２上で左右に移動することができる。この場合、上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２は少なくとも一領域がオーバーラップされてもよい。

【0066】

また、例えば第１レール２１１はＥＦＥＭの左側又は右側に配置され、第３レール２１２はＥＦＥＭの下部に配置されることができる。したがって、第１移動体２４１は第１レール２１１上で上下に移動することができ、第１ロボット１０は第１移動体２４１上で左右に移動することができる。この場合、上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２は少なくとも一領域がオーバーラップされてもよい。

【0067】

また、例えば第１レール２１１はＥＦＥＭの左側に配置され、第３レール２１２はＥＦＥＭの右側に配置されることができる。したがって、第１移動体２４１は第１レール２１１上で上下に移動することができ、第１ロボット１０は第１移動体２４１上で左右に移動することができる。また、第２移動体２４２は第３レール２１２上で上下に移動することができ、第２ロボット２０は第２移動体２４２上で左右に移動することができる。この場合、上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２は少なくとも一領域がオーバーラップされなくともよい。

【0068】

前述した第１レール２１１及び第３レール２１２の様々な配置形態は図３の実施形態のみならず、図５及び図６の実施形態にも適用されることができる。

【0069】

図４は図３のＥＦＥＭを説明するための図面である。具体的に、図４は図３の基板移送装置又はＥＦＥＭを上から投影した形状を示した図面である。

【0070】

図４を参照すれば、ＥＦＥＭは第１ロボット１０及び第２ロボット２０が互いに干渉しなく、独立的に移動するために、各ロボットのみを移動可能とするように構成されたレールを含むことができる。例えば、ＥＦＥＭは第１ロボット１０のみを移動可能とするように構成された第１レール２１１及び第２ロボット２０のみを移動可能とするように構成された第３レール２１２を含むことができる。

【0071】

この時、第１レール２１１及び第３レール２１２は上から見た時、一定距離ｄを有して互いに離隔されて配置されることができる。具体的に、第１レール２１１及び第３レール２１２は互いに平行であるレールであり、レールの軸と垂直になる方向に一定距離ｄを有して離隔されている。レールが互いに離隔されているので、第１ロボット１０又は第２ロボット２０が移動する時、互いにぶつからず自由に移動することができる。

【0072】

また、第１レール２１１及び第３レール２１２は図４の配置に限定されなく、第１ロボット１０及び第２ロボット２０の経路がオーバーラップされないようにする他の配置が適用されてもよい。具体的に、上から見た時、第１ロボット１０は第１軸ａ１に沿って第１経路に沿って移動し、第２ロボット２０は第２軸ａ２に沿って第２経路に沿って移動することができる。したがって、第１レール２１１及び第３レール２１２は前記第１経路及び第２経路が互いにオーバーラップされないように配置されることができる。

【0073】

例えば、第１レール２１１及び第３レール２１２が上から見た時、重畳されるように配置

ことによって第１経路及び第２経路がオーバーラップされないこともあり得る。したがって、第１レール２１１及び第３レール２１２が上から見た時、離隔されて配置されることもできるが、これに限定されなく、第１レール２１１及び第３レール２１２は互いに重畳されても第１ロボット１０及び第２ロボット２０の移動経路が互いにオーバーラップされないように（１つ以上の接点がないように）配置されてもよい。

【0074】

図５はその他の一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための図面である。

【0075】

図５を参照すれば、その他の一実施形態によるＥＦＥＭは第１レール２１１、第１移動体２５１、第１ロボット１０、第３レール２１２、第２移動体２４２、第２移動体２４２上に配置された第４レール２２２、及び第２ロボット２０を含むことができる。図５のＥＦＥＭは第１移動体２５１の形態が図３のＥＦＥＭと異なる。

【0076】

具体的に、図５の第１移動体２５１は第２移動体２４２と異なり、レールが含まれていない。第１移動体２５１は第１レール２１１上で移動することによって第１ロボット１０の左右位置を変更することができる。しかし、図３の実施形態と異なりに第１移動体２５１は第１ロボット１０の上下位置を変更するために、上下に延長可能な形態で構成されることができる。

【0077】

第１移動体２５１は複数のサブボディーを含むことができる。具体的に、第１移動体２５１は第１サブボディー２６１、第２サブボディー２６２、第３サブボディー２６３、及び第４サブボディー２６４を含むことができる。図５は第１移動体２５１が４つのサブボディーを含むことを図示したが、サブボディーの数はこれに限定されなく、ＥＦＥＭのサイズに応じて変わることができる。

【0078】

第１サブボディー２６１は第１移動体２５１の上部に位置して第１レール２１１に沿って第１レール２１１上で左右に移動することができる。第１サブボディー２６１は第２サブボディー２６２乃至第４サブボディー２６４と連結され、これらを収容することができる。具体的に、第２サブボディー２６２乃至第４サブボディー２６４は第１サブボディー２６１の内部に引き込むことができる。また、第２サブボディー２６２乃至第４サブボディー２６４は制御によって第１サブボディー２６１の外部に引き出すことができる。

【0079】

第１サブボディー２６１乃至第４サブボディー２６４は全て異なるサイズを有することができる。具体的に、第４サブボディー２６４は第３サブボディー２６３の内部に引き込まれるために第３サブボディー２６３より小さいサイズを有することができる。また、第３サブボディー２６３は第２サブボディー２６２の内部に引き込まれるために第２サブボディー２６２より小さいサイズを有することができる。また、第２サブボディー２６２は第１サブボディー２６１に引き込まれるために第１サブボディー２６１より小さいサイズを有することができる。

【0080】

第４サブボディー２６４は第１移動体２５１の末端サブボディーとして第１ロボット１０と連結されることができる。第２サブボディー２６２乃至第４サブボディー２６４の引込み又は引出しによって第１ロボット１０の高さが調節されることができる。

【0081】

第１サブボディー２６１乃至第４サブボディー２６４は互いに連結されており、全体的に長さが延長されることができる。例えば、基本状態（第２サブボディー２６２乃至第４サブボディー２６４が全て第１サブボディー２６１の内部に引き込まれた状態）で第１ロボット１０の高さを第１長さぐらい低くするために、第４サブボディー２６４が第３サブボディー２６３から引き出されることができる。

【0082】

また、例えば基本状態で第１ロボット１０の高さを前記第１長さより大きい第２長さぐらい低くするために、第４サブボディー２６４が第３サブボディー２６３から引き出され、第３サブボディー２６３が第２サブボディー２６２から引き出されることができる。このように、第１ロボット１０の高さを調節するために、第２サブボディー２６２乃至第４サブボディー２６４が順次的に引き込まれる、又は引き出されることができる。

【0083】

第１移動体２５１と異なり、第２移動体２４２は図３のＥＦＥＭと同一な形態で構成されることができる。図５のＥＦＥＭは第１移動体２５１の上下長さ又は第１ロボット１０の地面からの高さが調節されることができるので、上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２がオーバーラップされて見えることもある。即ち、図３のＥＦＥＭは上から見た時、図４のように離隔されて配置される第１レール２１１及び第３レール２１２を含むが、図５のＥＦＥＭは上から見た時、少なくとも一部がオーバーラップされる第１レール２１１及び第３レール２１２を含むことができる。これに対する内容は図７を参照して詳細に説明する。

【0084】

図６はその他の一実施形態によるＥＦＥＭを説明するための図面である。

【0085】

図６を参照すれば、その他の一実施形態によるＥＦＥＭは第１レール２１１、第１移動体２５１、第１ロボット１０、第３レール２１２、第２移動体２５２、第２ロボット２０を含むことができる。図６のＥＦＥＭは第２移動体２５２の形態が図５の第１移動体２５１の形態と同一であることができる。

【0086】

具体的に、図６の第１移動体２５１及び第２移動体２５２は複数のサブボディーを含むことができる。第１移動体２５１及び第２移動体２５２は上下に延長可能な複数のサブボディーを含んで、第１ロボット１０及び第２ロボット２０の高さを調節することができる。第１移動体２５１に対する詳細な説明は図５に関する説明と重複するので、省略する。

【0087】

第２移動体２５２は複数のサブボディーを含むことができる。具体的に、第２移動体２５２は第５サブボディー２６６、第６サブボディー２６７、第７サブボディー２６８及び第８サブボディー２６９を含むことができる。図６は第２移動体２５２が４つのサブボディーを含むことを図示したが、サブボディーの数はこれに限定されなく、ＥＦＥＭのサイズに応じて変わることができる。

【0088】

第５サブボディー２６６は第２移動体２５２の下部に位置して第３レール２１２に沿って第３レール２１２上で左右に移動することができる。第５サブボディー２６６は第６サブボディー２６７乃至第８サブボディー２６９と連結されこれらを収容することができる。具体的に、第６サブボディー２６７乃至第８サブボディー２６９は第５サブボディー２６６の内部に引き込むことができる。また、第６サブボディー２６７乃至第８サブボディー２６９は制御によって第５サブボディー２６６の外部に引き出すことができる。第２移動体２５２のサブボディーは第１移動体２５１のサブボディーと引込又は引出方向が反対であり得る。

【0089】

第５サブボディー２６６乃至第８サブボディー２６９は全て異なるサイズを有することができる。具体的に、第８サブボディー２６９は第７サブボディー２６８の内部に引き込まれるために第７サブボディー２６８より小さいサイズを有することができる。また、第７サブボディー２６８は第６サブボディー２６７の内部に引き込まれるために第６サブボディー２６７より小さいサイズを有することができる。また、第６サブボディー２６７は第５サブボディー２６６に引き込まれるために第５サブボディー２６６より小さいサイズを有することができる。

【0090】

第８サブボディー２６９は第２移動体２５２の末端サブボディーとして第２ロボット２０と連結されることができる。第６サブボディー２６７乃至第８サブボディー２６９の引込み又は引出によって第２ロボット２０の高さが調節されることができる。

【0091】

第５サブボディー２６６乃至第８サブボディー２６９は互いに連結されており、全体的に長さが延長されることができる。例えば、基本状態（第６サブボディー２６７乃至第８サブボディー２６９が全て第５サブボディー２６６内部に引き込まれた状態）で第２ロボット２０の高さを第３長さぐらい高めるために、第８サブボディー２６９が第７サブボディー２６８から引き出されることができる。

【0092】

また、例えば基本状態で第２ロボット２０の高さを前記第３長さより大きい第４長さぐらい高めるために、第８サブボディー２６９が第７サブボディー２６８から引き出され、第７サブボディー２６８が第６サブボディー２６７から引き出されることができる。このように、第２ロボット２０の高さを調節するために、第６サブボディー２６７乃至第８サブボディー２６９が順次的に引き込まれる、又は引き出されることができる。

【0093】

図６のＥＦＥＭは第１移動体２５１と第２移動体２５２の上下長さ又は第１ロボット１０と第２ロボット２０の地面からの高さが調節されることができるので、上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２がオーバーラップされて見えることもある。即ち、図３のＥＦＥＭは上から見た時、図４のように離隔されて配置される第１レール２１１及び第３レール２１２を含むが、図６のＥＦＥＭは上から見た時、少なくとも一部がオーバーラップされる第１レール２１１及び第３レール２１２を含むことができる。これに対する内容は図７を参照して詳細に説明する。

【0094】

図７は図５又は図６のＥＦＥＭを説明するための図面である。具体的に、図７は図５又は図６の基板移送装置又はＥＦＥＭを上から投影した形状を示した図面である。

【0095】

図７を参照すれば、ＥＦＥＭは第１ロボット１０及び第２ロボット２０が互いに干渉しなく、独立的に移動するために、各ロボットのみを移動可能とするように構成されたレールを含むことができる。例えば、ＥＦＥＭは第１ロボット１０のみを移動可能とするように構成された第１レール２１１及び第２ロボット２０のみを移動可能とするように構成された第３レール２１２を含むことができる。

【0096】

この時、第１レール２１１及び第３レール２１２は上から見た時、少なくとも一部がオーバーラップされることができる。効率的な面積使用のために、好ましくは第１レール２１１及び第３レール２１２は上から見た時、完全にオーバーラップされてもよい。したがって、第１レール２１１及び第３レール２１２の少なくとも一部がオーバーラップされることによってＥＦＥＭが占める面積を減らすことができる。第１レール２１１及び第３レール２１２の少なくとも一部がオーバーラップされるためには図５又は図６に図示された形態のレール配置及び移動体構成が適用されることができる。

【0097】

具体的に、図５のＥＦＥＭを参照すれば、第１移動体２５１の高さ調節が可能であることに伴い、第１移動体２５１と第２移動体２４２が左右に移動しても高さ調節によって第１移動体２５１は第２移動体２４２と衝突しないことが可能である。したがって、第１ロボット１０も第２ロボット２０と衝突しなく、互いに干渉されなく、独立的に移動することができる。

【0098】

また、図６のＥＦＥＭを参照すれば、第１移動体２５１及び第２移動体２５２の高さ調節が可能であることに伴い、第１移動体２５１と第２移動体２５２が左右に移動しても高さ調節によって第１移動体２５１と第２移動体２５２は互いに衝突しないことが可能である。したがって、第１ロボット１０も第２ロボット２０と衝突しなく、互いに干渉されなく、独立的に移動することができる。

【0099】

図５又は図６のＥＦＥＭは第１移動体２５１及び第２移動体２４２又は２５２の間の衝突と第１ロボット１０及び第２ロボット２０間の衝突が発生しないので、第１レール２１１及び第３レール２１２は上から見た時、互いに離隔される必要がなく少なくとも一部がオーバーラップされるように配置されることができる。したがって、第１レール２１１及び第３レール２１２の少なくとも一部がオーバーラップされてＥＦＥＭの内部で第１レール２１１及び第３レール２１２が占める面積が減少されてＥＦＥＭのサイズが減少され得る。

【0100】

具体的に、図４において上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２が離隔距離ｄくらい離隔されているので、ＥＦＥＭの一面の長さは第１長さｌ１になる。しかし、図７において上から見た時、第１レール２１１及び第３レール２１２の少なくとも一部がオーバーラップされているので、ＥＦＥＭの一面の長さは前記第１長さｌ１より小さい第２長さｌ２になることができる。したがって、ＥＦＥＭのサイズが減少されることに伴い、基板移送装置の全体的なサイズを減らすことができる。

【0101】

実施形態による方法は様々なコンピュータ手段を通じて遂行されることができるプログラム命令形態で具現されてコンピュータ読出し媒体に記録されることができる。前記コンピュータ読出し可能な記録媒体はプログラム命令語、データファイル、データ構造等を単独に又は組み合わせて含むことができる。前記コンピュータ読出し可能な記録媒体に記録されるプログラム命令語は実施形態のために特別に設計され、構成されたものであるか、或いはコンピュータソフトウェア分野の当業者に公知されて使用可能なものであってもよい。コンピュータ読出し可能な記録媒体の例としては、ハードディスク、フレキシブルディスク、及び磁気テープのような磁気媒体、ＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤのような光記録媒体、フロプティカルディスク（ｆｌｏｐｔｉｃａｌ ｄｉｓｋ）のような磁気－光媒体（ｍａｇｎｅｔｏ－ｏｐｔｉｃａｌ ｍｅｄｉａ）、及びＲＯＭ、ＲＡＭ、フラッシュメモリ等のようなプログラム命令語を格納し、遂行するように特別に構成されたハードウェア装置が含まれる。プログラム命令語の例としては、コンパイラによって作られるような機械語コードだけでなく、インタプリタ等を使用して、コンピュータによって実行されることができる高級言語コードも含む。前記ハードウェア装置は実施形態の動作を遂行するため、１つ以上のソフトウェアモジュールとして作動するように構成されることができ、その逆も同様である。

【0102】

以上のように実施形態が限られた実施形態と図面によって説明されたが、該当技術分野で通常の知識を有する者であれば、前述の記載から様々な修正及び変形が可能である。例えば、説明された技術が説明された方法と異なる順番に遂行されるか、及び／又は説明されたシステム、構造、装置、回路等の構成要素が説明された方法と異なる形態に結合又は組合されるか、他の構成要素又は均等物によって置き換えられるか、或いは置換されても適切な結果が達成されることができる。

【0103】

したがって、他の具現、他の実施形態、及び特許請求の範囲と均等であるものも後述する特許請求範囲の範囲に属する。

【符号の説明】

【0104】

１００ 第１移動プレート
１０１ 第２移動プレート
１５０ ロードロックチャンバー
２００ ＥＦＥＭ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【手続補正書】

【提出日】2024-11-01

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１移動プレートと、
前記第１移動プレートの下部に位置する第２移動プレートと、
第１レール、前記第１レール上で移動する第１移動体及び前記第１移動体と連結されて基板を運送する第１ロボットを含み、前記第１移動プレート及び前記第２移動プレートと連結されて前記第１ロボットを通じて前記第１移動プレート又は前記第２移動プレートに基板を提供するＥＦＥＭと、を含み、
前記ＥＦＥＭは、前記第１移動体の一面上に配置される第２レールを含み、
前記第１ロボットは、前記第２レール上で移動するように構成され、
前記第１レール及び前記第２レールは、互いに垂直に配置され、
前記第１移動体は、前記第１レール上で左右に移動し、前記第１ロボットは、前記第２レール上で上下に移動し、
前記ＥＦＥＭは、第３レール、前記第３レール上で移動する第２移動体、前記第２移動体の一面上に配置される第４レール、及び前記第４レール上で移動して基板を運送する第２ロボットを含み、
前記第３レール及び前記第４レールは、互いに垂直に配置され、
前記第２移動体は、前記第３レール上で左右に移動し、前記第２ロボットは、前記第４レール上で上下に移動し、
上から見た時、前記第１レール及び前記第３レールは、互いに重畳し、
前記第１ロボットは、前記第１レール上で第１経路に沿って移動し、
前記第２ロボットは、前記第３レール上で第２経路に沿って移動し、
上から見た時、前記第１経路及び前記第２経路は、互いにオーバーラップされない基板移送装置。

【請求項2】

前記第１移動体は、上から見た時、重畳する前記第１及び第３レールの水平方向の一側にコの字状に突出されて移動し、
前記第２移動体は、上から見た時、重畳する前記第１及び第３レールの水平方向の前記一側の反対側にコの字状に突出されて移動するように構成されている請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項3】

前記第１ロボットは、回転可能な第１ロボットアームを利用して基板を前記第２ロボットに伝達する請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項4】

前記第１移動プレート又は前記第２移動プレート上で移動し、基板を収容するように構成されたシャトルをさらに含み、
前記第１ロボットは、基板を前記シャトルに運搬する請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項5】

地面から前記第１レールまでの高さは、地面から前記第３レールまでの高さより高い請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項6】

前記ＥＦＥＭは、安定性を向上させるために前記第１レールと平行に配置され、前記第１移動体を移動させることができる第１補助レールを含む請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項7】

前記第１移動体の前記一面上で前記第１ロボットが移動し、前記一面と対向する他面上で第２ロボットが移動するように、前記ＥＦＥＭは、前記第１移動体の前記他面上に配置される第５レールを含む請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項8】

前記第１移動体は、第１サブボディー及び第２サブボディーを含み、
前記第２サブボディーは、前記第１ロボットと連結されて、前記第１ロボットの位置を調節するために前記第１サブボディーに引込可能とするように構成される請求項１に記載の基板移送装置。