特開 2025-24700 駆動装置、ロボット、駆動装置の制御方法、及び位置検出システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025024700

(43)【公開日】2025-02-20

(54)【発明の名称】駆動装置、ロボット、駆動装置の制御方法、及び位置検出システム

(51)【国際特許分類】

   B25J 13/08 20060101AFI20250213BHJP

【ＦＩ】

B25J13/08 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024131256

(22)【出願日】2024-08-07

(31)【優先権主張番号】P 2023128510

(32)【優先日】2023-08-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000114215

【氏名又は名称】ミネベアミツミ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001771

【氏名又は名称】弁理士法人虎ノ門知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】笹嶋 健太

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707BS12

3C707CX01

3C707CX03

3C707HS27

3C707HT21

3C707KS06

3C707KT01

3C707KT06

3C707KT09

3C707KV01

3C707LV20

3C707LW07

(57)【要約】

【課題】任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上する。
【解決手段】駆動装置は、モータと、前記モータ側に位置する第１歯車および前記第１歯車に噛み合うように配置された第２歯車を含む複数の歯車で構成された減速機とを有する駆動部と、前記減速機を介して前記モータにより駆動される可動部と、前記駆動部を制御する制御部と、前記モータの出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダと、前記減速機の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダと、を備える。前記制御部は、前記モータを駆動して前記第１歯車を第１の回転方向に回転させ、前記モータを駆動して前記第１歯車を、前記第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させた時点の前記第２エンコーダの検出結果から取得した前記第１エンコーダの回転位置を基準位置として設定する。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

モータと、前記モータ側に位置する第１歯車および前記第１歯車に噛み合うように配置された第２歯車を含む複数の歯車で構成された減速機とを有する駆動部と、
前記減速機を介して前記モータにより駆動される可動部と、
前記駆動部を制御する制御部と、
前記モータの出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダと、
前記減速機の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダと、
を備え、
前記制御部は、
前記モータを駆動して前記第１歯車を第１の回転方向に回転させ、
前記モータを駆動して前記第１歯車を、前記第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させた時点の前記第２エンコーダの検出結果から取得した前記第１エンコーダの回転位置を基準位置として設定する、
駆動装置。

【請求項2】

前記制御部は、
前記第２エンコーダの検出結果から取得した前記第１エンコーダの回転位置を仮の基準位置として設定した後、
前記モータを駆動して前記第１歯車を第１の回転方向に回転させて、前記第１歯車の歯部を前記第１の回転方向側に位置する前記第２歯車の第１歯部に接触させ、
前記モータを駆動して前記第１歯車を、前記第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させて、前記第１歯車の歯部を、前記第２の回転方向側に位置する前記第２歯車の第２歯部に接触させ、
当該接触させた時点の前記第２エンコーダの検出結果から取得した前記第１エンコーダの回転位置を基準位置として設定する、
請求項１に記載の駆動装置。

【請求項3】

前記制御部は、
前記第１歯車を、前記第１の回転方向に前記減速機のバックラッシに対応する所定角度以上回転させた後に、前記第２の回転方向に前記所定角度以上回転させる、
請求項１または２に記載の駆動装置。

【請求項4】

前記制御部は、
前記仮の基準位置を設定した後、
前記モータを駆動して所定位置へ所定の歯部を移動させたうえで、前記モータを駆動して前記基準位置の設定を行う、
請求項２に記載の駆動装置。

【請求項5】

前記基準位置の設定は、前記駆動装置に新たに電源が投入されるたびに行う、
請求項１または２に記載の駆動装置。

【請求項6】

複数の駆動装置本体と、
制御部と
を備え、
前記複数の駆動装置本体それぞれは、
モータと、前記モータ側に位置する第１歯車および前記第１歯車に噛み合うように配置された第２歯車を含む複数の歯車で構成された減速機とを有する駆動部と、
前記減速機を介して前記モータにより駆動される可動部と、
前記モータの出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダと、
前記減速機の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダと、
を備え、
前記制御部は、前記複数の駆動装置本体それぞれについて、
前記モータを駆動して前記第１歯車を第１の回転方向に回転させ、
前記モータを駆動して前記第１歯車を、前記第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させた時点の前記第２エンコーダの検出結果から取得した前記第１エンコーダの回転位置を基準位置として設定する、
ロボット。

【請求項7】

前記制御部は、前記減速機の前記複数の歯車の回転軸が重力方向に直交している駆動装置本体について、前記基準位置の設定を行わない、
請求項６に記載のロボット。

【請求項8】

前記制御部は、前記モータを停止した際、重力の作用によって、常時、前記第１歯車の歯部が前記第２歯車の第１歯部に接触する駆動装置本体、または、常時、前記第１歯車の歯部が前記第２歯車の第２歯部に接触する駆動装置本体について、前記基準位置の設定を行わない、
請求項６に記載のロボット。

【請求項9】

モータと、前記モータ側に位置する第１歯車および前記第１歯車に噛み合うように配置された第２歯車を含む複数の歯車で構成された減速機とを有する駆動部と、
前記減速機を介して前記モータにより駆動される可動部と、
前記駆動部を制御する制御部と、
前記モータの出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダと、
前記減速機の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダと、
を備える駆動装置の制御方法であって、
前記制御部が、
前記モータを駆動して前記第１歯車を第１の回転方向に回転させ、
前記モータを駆動して前記第１歯車を、前記第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させた時点の前記第２エンコーダの検出結果から取得した前記第１エンコーダの回転位置を基準位置として設定する、
ことを含む、駆動装置の制御方法。

【請求項10】

ロボットと、
検出装置と、
を備え、
前記ロボットは、
複数の駆動装置本体と、
制御部と、
計測用マーカと、
を備え、
前記複数の駆動装置本体それぞれは、
モータと、前記モータ側に位置する第１歯車および前記第１歯車に噛み合うように配置された第２歯車を含む複数の歯車で構成された減速機とを有する駆動部と、
前記減速機を介して前記モータにより駆動される可動部と、
を備え、
前記制御部は、前記複数の駆動装置本体それぞれについて、
前記モータを駆動して前記第１歯車を第１の回転方向に回転させ、
前記モータを駆動して前記第１歯車を、前記第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させ、
前記検出装置は、
前記第１歯車が前記第１の回転方向に回転した後に前記第２の回転方向に回転した時点における、前記計測用マーカの位置を検出する、
位置検出システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、駆動装置、ロボット、駆動装置の制御方法、及び位置検出システムに関する。

【背景技術】

【0002】

種々の生産課題に対応するため、ロボットを用いた生産装置の適用範囲は拡大しており、人と同じ空間で作業することを想定したロボットのニーズが高まっている。

【0003】

このようなロボットの場合、部品の故障やソフトウェアに異常が発生しても、安全機能を維持することが求められており、安全機能を維持するため、駆動部の駆動状態を判別するためのセンサを二重化するものがある。

【0004】

例えば、従来の駆動装置の中には、駆動部を構成するモータの出力角度を計測する第１のエンコーダと、駆動部を構成する減速機の出力角度を計測する第２のエンコーダと、を備えるものがある（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１１－１３４０５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１に記載された技術では、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することに関して改良の余地がある。

【0007】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することができる駆動装置等を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る駆動装置は、モータと、前記モータ側に位置する第１歯車および前記第１歯車に噛み合うように配置された第２歯車を含む複数の歯車で構成された減速機とを有する駆動部と、前記減速機を介して前記モータにより駆動される可動部と、前記駆動部を制御する制御部と、前記モータの出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダと、前記減速機の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダと、を備える。前記制御部は、前記モータを駆動して前記第１歯車を第１の回転方向に回転させ、前記モータを駆動して前記第１歯車を、前記第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させた時点の前記第２エンコーダの検出結果から取得した前記第１エンコーダの回転位置を基準位置として設定する。

【0009】

本発明に係る駆動装置の一態様によれば、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、第１実施形態に係る駆動装置の斜視図である。

【図2】図２は、図１に示す駆動装置が有する駆動部を示す模式図である。

【図3】図３は、図２に示す駆動装置が備える減速機において、減速機が備える駆動伝達機構が有する複数の歯車を示す平面図である。

【図4】図４は、駆動部の停止状態において、複数の歯車の位置の一例を示す概略部分拡大図である。

【図5】図５は、駆動部の停止状態において、複数の歯車の位置の別の一例を示す概略部分拡大図である。

【図6】図６は、駆動部の停止状態において、複数の歯車の位置のさらに別の一例を示す概略部分拡大図である。

【図7】図７は、第１実施形態に係る駆動装置の制御方法を示すフロー図である。

【図8】図８は、第１実施形態に係る駆動装置の制御方法を順番に示す概略部分拡大図である。

【図9】図９は、第１実施形態に係る駆動装置の制御方法を順番に示す概略部分拡大図である。

【図10】図１０は、第１実施形態に係る駆動装置の制御方法を順番に示す概略部分拡大図である。

【図11】図１１は、第２実施形態に係るロボットの斜視図である。

【図12】図１２は、図１１に示すロボットの概略側面図である。

【図13】図１３は、従来のロボットにおいて、駆動回数と、第６アームの先端部が任意の位置へ移動した際の位置決め精度を示すグラフである。

【図14】図１４は、第２実施形態に係るロボットにおいて、駆動回数と、第６アームの先端部が任意の位置へ移動した際の位置決め精度を示すグラフである。

【図15】図１５は、第３実施形態に係るロボットの位置検出システムの概略側面図である。

【図16】図１６は、図１５に示すロボットの駆動装置が有する駆動部を示す模式図である。

【図17】図１７は、複数のキャリブレーション位置におけるロボットの状態を示す概略側面図である。

【図18】図１８は、第３実施形態に係る位置検出システムの制御方法を示すフロー図である。

【図19】図１９は、第４実施形態に係る位置検出システムの制御方法を示すフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下に、実施形態に係る駆動装置、ロボット、駆動装置の制御方法、及び位置検出システムを図面に基づいて詳細に説明する。なお、図面における各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。

【0012】

（第１実施形態）
第１実施形態に係る駆動装置１および駆動装置１の制御方法について、図１～図３を用いて説明する。図１は、第１実施形態に係る駆動装置１の斜視図である。図２は、図１に示す駆動装置１が有する駆動部Ｊを示す模式図である。図３は、図２に示す駆動装置１が備える減速機３２において、減速機３２が備える駆動伝達機構が有する複数の歯車Ｇを示す平面図である。

【0013】

第１実施形態に係る図１に示す駆動装置１の説明において、方向の理解を容易にするため、重力方向であるＺ１方向を含む上下方向（以下、「Ｚ方向」と称呼する）に対して直交する第１方向をＸ方向と称呼し、Ｚ方向に対して直交する第２方向をＹ方向と称呼する。そして、Ｘ方向と、Ｙ方向と、Ｚ方向とは、相互に直交する。また、Ｘ方向およびＹ方向を含む平面は水平面であり、水平面は、Ｚ方向に直交する。Ｚ方向は、鉛直方向である。また、重力方向Ｚ１は、上下方向Ｚにおいて、重力により引っ張られている方向である。

【0014】

図１に示す駆動装置１は、例えば、駆動装置本体Ｄと、架台２と、制御部４と、を備える。架台２は、駆動装置本体Ｄを搭載する台である。

【0015】

駆動装置本体Ｄは、例えば、駆動部Ｊと、可動部（アーム）Ａと、を備える。第１実施形態に係る駆動装置１は、例えば、１つの駆動装置本体Ｄを備える。

【0016】

駆動装置本体Ｄは、例えば、１つの駆動部Ｊと、１つの可動部Ａ（第１実施形態では、可動部Ａは、第２アームＡ２）と、を有する。駆動部Ｊは、例えば、重力方向Ｚ１を含むＺ方向に沿う軸心ＪＸを有し、駆動装置１は、駆動部Ｊを駆動することによっての軸心ＪＸ回りに第２アームＡ２の先端部を揺動可能である。

【0017】

より具体的に説明すると、駆動装置１は、駆動部Ｊによって、軸心ＪＸ回りに第２アームＡ２の先端部を第１の回転方向Ｃ１へ揺動可能であると共に、第２の回転方向Ｃ２へ揺動可能である。つまり、駆動装置１は、駆動部Ｊによって、第２アームＡ２の先端部を周方向Ｃへ揺動可能である。

【0018】

駆動部Ｊは、第１アームＡ１の先端部であって、第２アームＡ２の基端部に設けられる。

【0019】

図２に示す駆動部Ｊは、例えば、モータ３１および減速機３２を有する。モータ３１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機械である。モータ３１は、出力側に第１軸（出力軸）３１Ｓを有し、図１に示す第１アームＡ１の第１フレームＡ１ｆに固定される。そして、第１軸３１Ｓは減速機３２に向けて延出し、減速機３２に連結される。

【0020】

減速機３２は、出力側に第２軸（出力軸）３２Ｓを有する。減速機３２は、第１軸３１Ｓよりも回転数を減少させ、トルクを増幅し、第２軸３２Ｓへ駆動力を伝達する機械である。そして、第２軸３２Ｓは、第２アームＡ２の第２フレームＡ２ｆに取り付けられる。言い換えると、駆動装置１は、減速機３２を介してモータ３１により駆動される可動部Ａ（第２アームＡ２）を有する。

【0021】

減速機３２は、例えば、複数の歯車Ｇで構成される。減速機３２が有する複数の歯車Ｇは、例えば、図３に示すように、第１歯車Ｇ１と、第２歯車Ｇ２と、を含む。第１歯車Ｇ１は、第１回転軸Ｇ１Ｓ（回転軸ＧＳ）を有する。第２歯車Ｇ２は、第２回転軸Ｇ２Ｓ（回転軸ＧＳ）を有する。そして、第２歯車Ｇ２は、第１歯車Ｇ１に噛み合うように配置される。第１実施形態に係る減速機３２において、複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳは重力方向Ｚ１に沿う。

【0022】

第１歯車Ｇ１は、例えば、モータ３１の第１軸３１Ｓに固定される。言い換えると、第１実施形態に係る駆動装置１では、第１軸３１Ｓと第１回転軸Ｇ１Ｓとが同一である。そして、第１歯車Ｇ１は、第２歯車Ｇ２よりもモータ３１側に配置されることになる。

【0023】

第１歯車Ｇ１の第１ピッチ円Ｇ１Ｐと、第２歯車Ｇ２の第２ピッチ円Ｇ２Ｐとは交差する。そして、第１歯車Ｇ１の第１ピッチ円Ｇ１Ｐ上において、第１歯車Ｇ１と第２歯車Ｇ２との間には、所定の間隙ＧＡが設けられる。所定の間隙ＧＡは、いわゆるバックラッシであり、第２歯車Ｇ２が第１歯車Ｇ１に噛み合い、かつ、所定の伝達効率を維持しながら、第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１および第２の回転方向Ｒ１２（つまり、周方向Ｒａ）へ回転すると共に、第２歯車Ｇ２を第１の回転方向Ｒ２１および第２の回転方向Ｒ２２（つまり、周方向Ｒｂ）へ回転するために設けられる。つまり、バックラッシは、第１歯車Ｇ１と、第２歯車Ｇ２との間に設けられる。

【0024】

制御部４は、駆動装置１の各部を統括的に制御する機能を有する。言い換えると、制御部４は、駆動部Ｊを制御する。例えば、制御部４は、予め作成されたデータに基づいて、駆動部Ｊのモータ３１を駆動することによって、第２アームＡ２を、駆動部Ｊの軸心ＪＸ回りに揺動する。

【0025】

制御部４は、不図示の記憶部を有する。記憶部は、制御部４が受信した各種のデータを記憶する。また、制御部４は、モータ３１に対して電気的に接続され、第１エンコーダ５に対して電気的に接続され、第２エンコーダ６に対して電気的に接続される。

【0026】

次に、この種の駆動装置１における問題点について、図４、図５、および、図６を用いて説明する。図４は、駆動部Ｊの停止状態において、複数の歯車Ｇの位置の一例を示す概略部分拡大図である。図５は、駆動部Ｊの停止状態において、複数の歯車Ｇの位置の別の一例を示す概略部分拡大図である。図６は、駆動部Ｊの停止状態において、複数の歯車Ｇの位置のさらに別の一例を示す概略部分拡大図である。なお、図４～図６において、問題点の説明を容易にするため、第１歯車Ｇ１の周方向Ｒａ、および、第２歯車Ｇ２の周方向Ｒｂを、直線に置き換えて図示してある。

【0027】

複数の歯車Ｇを備える駆動装置１において、駆動部Ｊの第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１へ回転させると、第２歯車Ｇ２は第１の回転方向Ｒ２１へ回転する。その後、駆動部Ｊを逆方向へ駆動、すなわち、第１歯車Ｇ１を第２の回転方向Ｒ１２へ回転させると、第２歯車Ｇ２は第２の回転方向Ｒ２２へ回転するが、バックラッシの影響により、第２歯車Ｇ２が回転するまでに第１歯車Ｇ１が空転する期間が生じる。この第１歯車Ｇ１の空転量は、以下に説明するように変化する。なお、第１実施形態に係る駆動装置１において、モータ３１の第１軸３１Ｓに、第１歯車Ｇ１が固定されているため、第１アームＡ１における第１の回転方向Ｃ１と、第１歯車Ｇ１の第１の回転方向Ｒ１１とが同一であり、第１アームＡ１における第２の回転方向Ｃ２と、第１歯車Ｇ１の第２の回転方向Ｒ１２とが同一である。

【0028】

例えば、図４に示すように、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａに接触した状態において、駆動部Ｊを駆動した場合には、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが、第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触するまでは、第１歯車Ｇ１が第２の回転方向Ｒ１２へ移動しても、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａおよび第２歯部Ｇ２ｂは、第２の回転方向Ｒ２２へ移動することがない。よって、第２歯車Ｇ２から視ると、第１歯車Ｇ１の第２の回転方向Ｃ２への移動（具体的には距離Ｌ１１の移動）は空転する期間が生じていることとなる。

【0029】

また、例えば図５に示すように第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａと第２歯部Ｇ２ｂとの間に配置された状態において、駆動部Ｊを駆動した場合には、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが、第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触するまでは、第１歯車Ｇ１が第２の回転方向Ｒ１２へ移動しても、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａおよび第２歯部Ｇ２ｂは、第２の回転方向Ｒ２２へ移動することがない。よって、第２歯車Ｇ２から視ると、第１歯車Ｇ１の第２の回転方向Ｃ２への移動（具体的には距離Ｌ１２の移動）は空転する期間が生じていることとなる。

【0030】

さらに、例えば図６に示すように第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが、第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触した状態において、駆動部Ｊを駆動した場合には、直ちに、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａの第２の回転方向Ｒ１２への移動と共に、第２歯車Ｇ２が第２の回転方向Ｒ２２へ移動する。そのため、この状態では、第２歯車Ｇ２から視て、第１歯車Ｇ１の第２の回転方向Ｒ２２への移動は空転する期間が生じていない。

【0031】

ここで、第１実施形態に係る駆動装置１の駆動部Ｊは、図２に示すように、モータ３１に第１エンコーダ５が設けられ、減速機３２に第２エンコーダ６が設けられる。言い換えると、第１実施形態に係る駆動装置１は、モータ３１の第１軸（出力軸）３１Ｓの相対的な回転位置を検出する第１エンコーダ５と、減速機３２の第２軸（出力軸）３２Ｓの絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダ６と、を備える。例えば、第１エンコーダ５はインクリメンタル式のエンコーダ、第２エンコーダ６はアブソリュート式のエンコーダである。

【0032】

第１実施形態に係る駆動装置１において、駆動装置１の起動時、すなわち電源投入時には、減速機３２に設けられたアブソリュート式の第２エンコーダ６の値を基準に、モータ３１に設けられたインクリメンタル式の第１エンコーダ５の基準位置設定を行う必要がある。この時、上述したバックラッシの影響により、駆動装置１の起動ごとに減速機３２の複数の歯車Ｇの位置にズレが生じていると、アブソリュート式の第２エンコーダ６の値に対し、毎回、歯車Ｇが異なった位置でインクリメンタル式の第１エンコーダ５の基準位置が設定される。この場合、駆動装置１において、起動ごとに制御部４の指令値に対するアームＡ２の位置が異なり、再現性が確保できないという問題が生じる。

【0033】

上述した問題を解決するため、第１実施形態において、制御部４が行う駆動装置１の制御方法（基準位置の設定処理）を、図７～図１０を用いて説明する。図７は、第１実施形態に係る駆動装置１の制御方法を示すフロー図である。図８は、第１実施形態に係る駆動装置１の制御方法を順番に示す概略部分拡大図である。図９は、第１実施形態に係る駆動装置１の制御方法を順番に示す概略部分拡大図である。図１０は、第１実施形態に係る駆動装置１の制御方法を順番に示す概略部分拡大図である。なお、図７～図１０において、基準位置の設定処理の説明を容易にするため、第１歯車Ｇ１の周方向Ｒａ、および、第２歯車Ｇ２の周方向Ｒｂを、直線に置き換えて図示してある。

【0034】

なお、以下の説明において、例えば図８に示すように、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａは、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａと、第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂとの中間に配置された状態で、駆動装置１は、前回の駆動を終了したものとして説明する。つまり、図８中において、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａの左側に位置する距離Ｌ１４と、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａの右側に位置する距離Ｌ１５と、同一である。また、この説明においては、距離Ｌ１４と距離Ｌ１５とを加算した距離は、バックラッシに相当する間隙ＧＡと同一である。

【0035】

この状態において、図７に示すように、制御部４は、先ず、駆動装置１の電源がオンされたこと、すなわち電源が投入されたことを検知した場合（ステップＳ０１）、ステップＳ０２に進む。つまり、制御部４は、ステップＳ０１において、駆動装置１が起動されたことを検知した場合には、次のステップＳ０２に進む。

【0036】

次に、制御部４は、第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を、仮の基準位置として設定し（ステップＳ０２）、ステップＳ０３に進む。仮の基準位置の設定は、例えば、モータ３１が何回転したかを計測し、かつ、予めモータ３１に設定された第１軸３１Ｓの所定位置が、どれくらいの角度位置にあるかを計測する多回転処理を行うと共に、第１歯車Ｇ１の第１歯部Ｇ２ａに相当する第１軸３１Ｓの所定位置を基準位置とするオフセット処理を行う。例えば、減速機３２の減速比が５０：１であった場合、減速機３２の出力段の角度が３１．５°であれば、モータ３１の出力段の角度は３１.５×５０＝１５７５°（＝１３５＋３６０×４)となる。よって、このとき、基準位置設置では、モータ３１の回転角度１３５°と多回転（周回数）オフセット数４を設定するオフセット処理を行う。

【0037】

次いで、制御部４は、モータ３１を駆動して所定位置へ可動部Ａを移動させ（ステップＳ０３）、ステップＳ０４へ進む。なお、この基準位置の設定処理の説明において、第１軸３１Ｓの所定位置と、第１歯車Ｇ１の位置（角度）とが対応する。

【0038】

次いで、制御部４は、駆動部Ｊを駆動し、第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１へ回転し（ステップＳ０４）、ステップＳ０５へ進む。ステップＳ０４における第１歯車Ｇ１の第１の回転方向Ｒ１１の移動距離は、例えば、間隙ＧＡと同一である。そのため、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａおよび第２歯部Ｇ２ｂは、間隙ＧＡの半分の距離だけ、第１の回転方向Ｒ２１側に移動する。換言すると、ステップＳ０４において、制御部４は、モータ３１を駆動して図９に示す第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１に回転させて、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａを第１の回転方向Ｒ１１側に位置する第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａに接触させる。

【0039】

次に、制御部４は、駆動部Ｊを逆駆動し、第１歯車Ｇ１を第２の回転方向Ｒ１２へ回転し（ステップＳ０５）、ステップＳ０６へ進む。ステップＳ０５における第１歯車Ｇ１の第２の回転方向Ｒ１２の移動距離は、ステップＳ０４の間隙ＧＡと同一である。換言すると、ステップＳ０５において、制御部４は、モータ３１を駆動して図１０に示す第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１とは逆の第２の回転方向Ｒ１２に回転させて、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａを、第２の回転方向Ｒ１２側に位置する第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触させる。

【0040】

次に、制御部４は、当該接触させた時点の第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を基準位置として設定し（ステップＳ０６）、基準位置の設定処理を終了する。

【0041】

なお、第１実施形態における駆動装置１において、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａおよび第２歯部Ｇ２ｂに対して、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａの位置が異なったとしても、ステップＳ０４における第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａの移動距離が異なるだけで、基準位置の設定処理を終了した状態では、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａは、第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触した状態である。

【0042】

このような駆動装置１で、仮に、図４に示すように、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａと第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａとが接触した状態で、駆動装置１は、前回の駆動を終了した場合において、上記に説明した基準位置の設定処理を行った場合を説明する。

【0043】

ステップＳ０１、Ｓ０２、Ｓ０３は、上記の基準位置の設定処理と同様である。そして、ステップＳ０４の処理を行うと、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａは、第１の回転方向Ｒ１１へ、間隙ＧＡの距離だけ移動する。この第１歯車Ｇ１の移動により、第２歯車Ｇ２は、第１の回転方向Ｒ２１へ、間隙ＧＡの分だけ移動する。

【0044】

この状態からステップＳ０５の処理を行うと、上記の基準位置の設定処理と同様となる。

【0045】

また、このような駆動装置１で、仮に、図６に示すように、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａと第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂとが接触した状態で、駆動装置１は、前回の駆動を終了した場合において、上記に説明した基準位置の設定処理を行った場合を説明する。

【0046】

ステップＳ０１、Ｓ０２、Ｓ０３は、上記の基準位置の設定処理と同様である。そして、ステップＳ０４の処理を行うと、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａは、第１の回転方向Ｒ１１へ、間隙ＧＡの距離だけ移動する。この第１歯車Ｇ１の移動により、第１歯車Ｇ１の第１歯部Ｇ２ａは、第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａへ接触する。

【0047】

この状態からステップＳ０５の処理を行うと、上記の基準位置の設定処理と同様となる。

【0048】

つまり、上記の基準位置の設定処理を行った場合、前回の駆動装置１の停止状態における第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが、いかなる態様であっても、ステップＳ０４における第２歯車Ｇ２の移動距離が異なるだけで、基準位置の設定処理を終了した状態では、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａは、第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触した状態となる。

【0049】

従って、上記のような基準位置の設定処理を行うことによって、次に、駆動装置１を駆動した場合、第１歯車Ｇ１の移動と共に直ちに第２歯車Ｇ２が移動するか、または、第２歯車Ｇ２に対して第１歯車Ｇ１が、常に、バックラッシに相当する間隙ＧＡだけ空転してから、第２歯車Ｇ２が移動することになる。そのため、駆動装置１を駆動した際に、任意の位置へ移動した際の位置決め精度の再現性を向上することができる。なお、ステップＳ０４とステップＳ０５における第１歯車Ｇ１の移動距離は、間隔ＧＡ以上であればどのような移動距離でも良い。

【0050】

そして、制御部４、基準位置の設定処理を行った後、第１エンコーダ５の検出結果に基づいて、駆動装置１の各部（例えば、第２アームＡ２の先端部の位置）のフィードバック制御を行う。

【0051】

なお、上述した駆動装置１の基準位置の設定処理において、ステップＳ０３の処理を省略してもよい。

【0052】

第１実施形態に係る駆動装置１において、基準位置の設定は、駆動装置１に新たに電源が投入されるたびに行う。

【0053】

以上説明したように、第１実施形態に係る駆動装置１は、モータ３１と、モータ３１側に位置する第１歯車Ｇ１および第１歯車Ｇ１に噛み合うように配置された第２歯車Ｇ２を含む複数の歯車Ｇで構成された減速機３２とを有する駆動部Ｊと、減速機３２を介してモータ３１により駆動される可動部Ａと、駆動部Ｊを制御する制御部４と、モータ３１の出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダ５と、減速機３２の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダ６と、を備える。制御部４は、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１に回転させる。次に、制御部４は、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１とは逆の第２の回転方向Ｒ１２に回転させた時点の第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を基準位置として設定する。それらのため、第１実施形態に係る駆動装置１は、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することができる。その上、インクリメント式の第１エンコーダ５は、アブソリュート式の第２エンコーダ６よりも安価である。そのため、第１実施形態に係る駆動装置１は、モータ３１および減速機３２のそれぞれにアブソリュート式のエンコーダを備える駆動装置１と比べ、安価である。また、第１実施形態に係る駆動装置１は、モータ３１にインクリメント式の第１エンコーダ５を設け、減速機３２にアブソリュート式の第２エンコーダ６を設ける。通常、アブソリュート式のエンコーダが制御部４に送信する情報量は、インクリメント式のエンコーダが制御部４に送信する情報量よりも多い。そのため、第１実施形態に係る駆動装置１は、モータ３１および減速機３２のそれぞれにアブソリュート式のエンコーダを備えた駆動装置１と比べて、第１エンコーダ５および第２エンコーダ６から制御部４に送信される情報量を少なくすることができる。なお、駆動装置１の動作を制御する制御部４は、基準位置の設定を行った後、第１エンコーダ５の検出結果に基づいて、駆動装置１の各部（例えば、第２アームＡ２の先端部の位置）のフィードバック制御を行う。そのため、制御性の観点において、減速機出力段のエンコーダの検出結果に基づいて、各部の制御（いわゆるフルクローズド制御）を行う駆動装置と比べて、第１実施形態に係る制御部４は、モータ出力段のエンコーダ（ここでは第１エンコーダ５）の検出結果に基づいて駆動装置１の各部の制御（いわゆるセミクローズド制御）を行うため、制御帯域を高くすることができ、制御部４による各部の操作を容易にすることができる。

【0054】

また、第１実施形態に係る駆動装置１において、制御部４は、第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を仮の基準位置として設定する。次に、制御部４は、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１に回転させて、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａを第１の回転方向Ｒ１１側に位置する第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａに接触させる。次に、制御部４は、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１とは逆の第２の回転方向Ｒ１２に回転させて、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａを、第２の回転方向Ｒ１２側に位置する第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触させ、当該接触させた時点の第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を基準位置として設定する。それらのため、第１実施形態に係る駆動装置１は、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することができる。

【0055】

また、第１実施形態に係る駆動装置１の制御方法は、モータ３１と、モータ３１側に位置する第１歯車Ｇ１および第１歯車Ｇ１に噛み合うように配置された第２歯車Ｇ２を含む複数の歯車Ｇで構成された減速機３２とを有する駆動部Ｊと、減速機３２を介してモータ３１により駆動される可動部Ａと、駆動部Ｊを制御する制御部４と、モータ３１の出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダ５と、減速機３２の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダ６と、を備える駆動装置１に適用される。制御部４は、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１に回転させる。次に、制御部４は、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１とは逆の第２の回転方向Ｒ１２に回転させた時点の第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を基準位置として設定する。それらのため、第１実施形態に係る駆動装置１の制御方法は、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することができる。

【0056】

第１実施形態に係る制御部４は、第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１に減速機３２のバックラッシに対応する所定角度回転させた後に、第２の回転方向Ｒ１２に所定角度回転させる。そのため、第１実施形態に係る制御部４は、駆動装置１を駆動した際において、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することができる。なお、制御部４は、第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１に減速機３２のバックラッシに対応する所定角度以上回転させた後に、第２の回転方向Ｒ１２に所定角度以上回転させてもよい。

【0057】

第１実施形態に係る駆動装置１において、制御部４は、仮の基準位置を設定した後、モータ３１を駆動して所定位置へ所定の歯部を移動させたうえで、モータ３１を駆動して基準位置の設定を行う。駆動装置１において、バックラッシ以外の種々の機械的誤差による影響を抑えるため、予め設定した所定位置へ移動させた後に、上述した制御部４の処理を行うことによって、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性をさらに向上することができる。

【0058】

また、第１実施形態に係る駆動装置１において、基準位置の設定は、駆動装置１に新たに電源が投入されるたびに行う。

【0059】

なお、上述した実施形態に係る駆動装置１は、１つの駆動部Ｊと、１本の可動部Ａ（第２アームＡ２）とを備える駆動装置１を設定した。しかし、第１実施形態に係る駆動装置１は、それに限られない。例えば、複数の駆動部Ｊと、複数の可動部Ａとを備える駆動装置１に適用することができる。

【0060】

なお、上述した実施形態に係る駆動装置１は、減速機３２の複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳが重力方向Ｚ１に沿うものを説明した。しかし、第１実施形態に係る駆動装置１において、減速機３２の複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳが重力方向Ｚ１に直交する場合、すなわち歯車Ｇの回転方向に重力がかかる場合は、常に重力方向Ｚ１とは逆方向にバックラッシ（間隙ＧＡ）が寄せられているため、本発明における基準位置の設定を行わなくてもよい。

【0061】

（第２実施形態）
次に、第２実施形態に係るロボット１００について、図１１、図１２を用いて説明する。図１１は、第２実施形態に係るロボット１００の斜視図である。図１２は、図１１に示すロボット１００の概略側面図である。なお、以下に説明する第２実施形態に係るロボット１００の構成において、第１実施形態に係る駆動装置１の構成と同一のものについては、同一の符号を付して説明を省略し、異なる構成について、以下に説明する。

【0062】

ロボット１００は、架台２と、複数の駆動装置本体Ｄと、制御部４Ａと、を備える。

【0063】

第２実施形態に係るロボット１００は、いわゆる六軸多関節ロボットである。より具体的に説明すると、ロボット１００は、６つの駆動装置本体Ｄである第１駆動装置本体Ｄ１１、第２駆動装置本体Ｄ１２、第３駆動装置本体Ｄ１３、第４駆動装置本体Ｄ１４、第５駆動装置本体Ｄ１５および第６駆動装置本体Ｄ１６を備える。

【0064】

第１駆動装置本体Ｄ１１～第６駆動装置本体Ｄ１６それぞれは、駆動部Ｊとして、第１駆動部Ｊ１１、第２駆動部Ｊ１２、第３駆動部Ｊ１３、第４駆動部Ｊ１４、第５駆動部Ｊ１５、第６駆動部Ｊ１６を備える。

【0065】

また、第１駆動装置本体Ｄ１１～第６駆動装置本体Ｄ１６それぞれは、可動部Ａとして、第１アームＡ１１、第２アームＡ１２、第３アームＡ１３、第４アームＡ１４、第５アームＡ１５、第６アームＡ１６を備える。

【0066】

また、第１駆動装置本体Ｄ１１～第６駆動装置本体Ｄ１６それぞれは、不図示の第１エンコーダ５および第２エンコーダ６を備える。

【0067】

そして、第６駆動装置本体Ｄ１６は、さらに、第６アームＡ１６の先端にグリッパであるエンドエフェクタ１６１を備える。

【0068】

そして、ロボット１００は、第１駆動装置本体Ｄ１１～第６駆動装置本体Ｄ１６によって、相互に直交するＸ方向、Ｙ方向、および、Ｚ方向に第６アームＡ１６の先端にあるエンドエフェクタ１６１を移動可能である。

【0069】

第２実施形態に係る駆動部Ｊの構成は、第１実施形態に係る駆動装置１の駆動部Ｊと同様の構成である。また、第２実施形態に係る第１エンコーダ５の構成および第２エンコーダ６の構成は、第１実施形態に係る駆動装置１の第１エンコーダ５の構成および第２エンコーダ６の構成と同様である。

【0070】

第１駆動部Ｊ１１は、第１アームＡ１１の基端部に設けられ、かつ、架台２に内蔵される。そして、第１駆動部Ｊ１１は、架台２に対して、Ｚ方向に沿う第１駆動部Ｊ１１の軸心Ｊ１１Ｘ回り（図１２における矢印Ｃ１１回り）に、架台２に対して第１アームＡ１１を回転する。第１駆動部Ｊ１の減速機３２において、複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳは重力方向Ｚ１に沿う。

【0071】

第１アームＡ１１は、棒状に設けられ、軸心Ａ１１Ｘに沿って延在する。軸心Ａ１１Ｘは、Ｚ方向に沿って配置される。

【0072】

第２駆動部Ｊ１２は、第１アームＡ１１の先端部であって、かつ、第２アームＡ１２の基端部に設けられる。そして、第２駆動部Ｊ１２は、Ｙ方向に沿う第２駆動部Ｊ１２の軸心Ｊ１２Ｘ回り（図１２における矢印Ｃ１２回り）に、第２アームＡ１２を第１アームＡ１１に対して揺動する。第２駆動部Ｊ２の減速機３２において、複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳは重力方向Ｚ１に直交する。

【0073】

第２アームＡ１２は、棒状に設けられ、軸心Ａ１２Ｘに沿って延在する。軸心Ａ１２Ｘは、図１１、図１２に示す状態では、Ｚ方向に沿って配置される。

【0074】

第３駆動部Ｊ１３は、第２アームＡ１２の先端部であって、かつ、第３アームＡ１３の基端部に設けられる。そして、第３駆動部Ｊ１３は、Ｙ方向に沿う第３駆動部Ｊ１３の軸心Ｊ１３Ｘ回り（図１２における矢印Ｃ１３回り）に、第３アームＡ１３を第２アームＡ１２に対して揺動する。第３駆動部Ｊ３の減速機３２において、複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳは重力方向Ｚ１に直交する。

【0075】

第３アームＡ１３は、棒状に設けられ、軸心Ａ１３Ｘに沿って延在する。軸心Ａ１３Ｘは、図１１、図１２に示す状態では、Ｘ方向に沿って配置される。

【0076】

第４駆動部Ｊ１４は、第３アームＡ１３の先端部であって、第４アームＡ１４の基端部に設けられる。そして、第４駆動部Ｊ１４は、第４駆動部Ｊ１４の軸心Ｊ１４Ｘ回り（図１２における矢印Ｃ１４回り）に、第４アームＡ１４を第３アームＡ１３に対して回転する。例えば、図１１、図１２に示す状態では第４駆動部Ｊ１４の軸心Ｊ１４Ｘは、Ｘ方向に沿う。第４駆動部Ｊ４の減速機３２において、図１１、図１２に示す状態では、複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳは重力方向Ｚ１に直交する。

【0077】

第４アームＡ１４は、棒状に設けられ、軸心Ａ１４Ｘに沿って延在する。軸心Ａ１４Ｘは、図１１、図１２に示す状態では、Ｘ方向に沿って配置される。

【0078】

第５駆動部Ｊ１５は、第４アームＡ１４の先端部であって、かつ、第５アームＡ１５の基端部に設けられる。そして、第５駆動部Ｊ１５は、Ｙ方向に沿う第５駆動部Ｊ１５の軸心Ｊ１５Ｘ回り（図１２における矢印Ｃ１５回り）に、第５アームＡ１５を第４アームＡ１４に対して揺動する。第５駆動部Ｊ５の減速機３２において、図１１、図１２に示す状態では、複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳは重力方向Ｚ１に直交する。

【0079】

第５アームＡ１５は、棒状に設けられ、軸心Ａ１５Ｘに沿って延在する。軸心Ａ１５Ｘは、図１１、図１２に示す状態では、Ｘ方向に沿って配置される。

【0080】

第６駆動部Ｊ１６は、第５アームＡ１５の先端部であって、第６アームＡ１６の基端部に設けられる。そして、第６駆動部Ｊ１６は、第６駆動部Ｊ１６の軸心Ｊ１６Ｘ回り（図１２における矢印Ｃ１６回り）に、第６アームＡ１６を第５アームＡ１５に対して回転する。例えば、図１１、図１２に示す状態では第６駆動部Ｊ１６の軸心Ｊ１６Ｘは、Ｘ方向に沿う。第６駆動部Ｊ６の減速機３２において、図１１、図１２に示す状態では、複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳは重力方向Ｚ１に直交する。

【0081】

第６アームＡ１６は、棒状に設けられ、軸心Ａ１６Ｘに沿って延在する。軸心Ａ１６Ｘは、図１１、図１２に示す状態では、Ｘ方向に沿って配置される。第６アームＡ１６の先端には、対象物を把持するエンドエフェクタ１６１が設けられる。

【0082】

制御部４Ａは、ロボット１００の各部を統括的に制御する機能を有する。言い換えると、制御部４Ａは、複数の駆動装置本体Ｄを制御する。例えば、制御部４Ａは、予め作成されたデータに基づいて、複数の駆動装置本体Ｄを駆動することによって第６アームＡ１６の先端部を、Ｘ方向、Ｙ方向、および、Ｚ方向に移動すると共に、第６アームＡ１６の先端部に設けられたハンドで対象物を把持し、かつ、対象物が基準位置から所定の載置位置まで、対象物の姿勢を変えながら移動させる機能を有する。制御部４Ａは、不図示の記憶部を有し、記憶部は、制御部４Ａが受信した各種のデータを記憶する。また、制御部４Ａは、モータ３１に対して電気的に接続され、第１エンコーダ５に対して電気的に接続され、第２エンコーダ６に対して電気的に接続される。

【0083】

このようなロボット１００において、電源をオンした場合、制御部４Ａは、上述した駆動装置１と同様の基準位置の設定処理を行う。より具体的に説明すると、制御部４Ａは、複数の駆動装置本体Ｄのそれぞれに対して、基準位置の設定処理を行う。

【0084】

図１３は、従来のロボットにおいて、駆動回数と、第６アームの先端部が任意の位置へ移動した際の位置決め精度を示すグラフである。図１３において、横軸の駆動回数とは、ロボットの電源をオフにした後、電源をオンにして駆動し、毎回同じ任意の位置へ第６アームの先端部を移動させることを繰り返した時、何回目に駆動したものかを示したものである。また、図１３において、縦軸の位置決め再現性とは、初回駆動時に第６アームの先端部が移動した位置をゼロとし、その後、電源のオンとオフを繰り返して駆動した際の第６アームの先端部の位置と初回駆動時の位置の差を示したものである。従来のロボットは、電源をオンした際に、本発明における基準位置の設定処理を行わないため、ロボットを駆動した際に、第６アームの先端部の基準位置が任意の位置へ移動するごとにズレが生じる。より具体的に説明すると、従来のロボットを１０回駆動した場合、第６アームの先端部の初回との差は、－１４３［μｍ］～１３４［μｍ］の範囲となる。

【0085】

図１４は、第２実施形態に係るロボット１００において、駆動回数と、第６アームＡ１６の先端部が任意の位置へ移動した際の位置決め精度を示すグラフである。図１４の横軸および縦軸において、従来のロボットを本発明に係るロボット１００に変えたことを除いて、図１３と同様である。第２実施形態に係るロボット１００は、電源をオンした際に、本発明における基準位置の設定処理を行うため、ロボット１００を駆動した際に、第６アームＡ１６の先端部の基準位置のズレがわずかである。より具体的に説明すると、第２実施形態に係るロボット１００を１０回駆動した場合、第６アームＡ１６の先端部の初回との差は、－９［μｍ］～７［μｍ］の範囲となる。

【0086】

以上説明したように、第２実施形態に係るロボット１００は、複数の駆動装置本体Ｄと、制御部４Ａと、を備える。複数の駆動装置本体Ｄそれぞれは、モータ３１と、モータ３１側に位置する第１歯車Ｇ１および第１歯車Ｇ１に噛み合うように配置された第２歯車Ｇ２を含む複数の歯車Ｇで構成された減速機３２とを有する駆動部Ｊと、減速機３２を介してモータ３１により駆動される可動部Ａと、モータ３１の出力軸の相対的な回転位置を検出する第１エンコーダ５と、減速機３２の出力軸の絶対的な回転位置を検出する第２エンコーダ６と、を備える。制御部４Ａは、複数の駆動装置本体Ｄそれぞれについて、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１に回転させる。次に、制御部４Ａは、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１とは逆の第２の回転方向Ｒ１２に回転させた時点の第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を基準位置として設定する。それらのため、第２実施形態に係るロボット１００は、上述した駆動装置１と同様の作用・効果を奏することができる。特に、ロボット１００は、６つの駆動装置本体Ｄを有し、ロボット１００の動作（第６アームＡ１６における先端部）を制御する制御部４Ａは、基準位置の設定を行った後、第１エンコーダ５の検出結果に基づいて、ロボット１００の各部（例えば、第６アームＡ１６の先端部の位置）のフィードバック制御を行う。ロボット１００の動作を制御する制御部４Ａは、基準位置の設定を行った後、第１エンコーダ５の検出結果に基づいて各部のフィードバック制御を行う。そのため、制御性の観点において、減速機出力段のエンコーダの検出結果に基づいて、各部の制御（いわゆるフルクローズド制御）を行うロボットと比べて、第２実施形態に係る制御部４Ａは、モータ出力段のエンコーダ（ここでは第１エンコーダ５）の検出結果に基づいてロボット１００の各部の制御（いわゆるセミクローズド制御）を行うため、制御帯域を高くすることができ、制御部４Ａによる各部の操作を容易にすることができる。

【0087】

その上、ロボット１００の先端に取り付けたエンドエフェクタ１６１にて対象物を把持する場合、架台２に近い箇所に位置する第１駆動装置本体Ｄ１１とエンドエフェクタ１６１との間に距離があるため、架台２に近い箇所に位置する第１駆動装置本体Ｄ１１のバックラッシによる位置ズレがわずかな場合でも、エンドエフェクタ１６１に与える影響がおおきい。しかしながら、第２実施形態に係るロボット１００では、上記の構成によって、第１駆動装置本体Ｄ１１等のバックラッシによる位置ズレを抑制することができるため、バックラッシによるエンドエフェクタ１６１に与える影響を抑制することができる。

【0088】

また、第２実施形態に係るロボット１００において、制御部４Ａは、第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を仮の基準位置として設定する。次に、制御部４Ａは、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１に回転させて、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａを第１の回転方向Ｒ１１側に位置する第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａに接触させる。次に、制御部４Ａは、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向Ｒ１１とは逆の第２の回転方向Ｒ１２に回転させて、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａを、第２の回転方向Ｒ１２側に位置する第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触させ、当該接触させた時点の第２エンコーダ６の検出結果から取得した第１エンコーダ５の回転位置を基準位置として設定する。それらのため、第２実施形態に係るロボット１００は、任意の位置へ移動した際の位置決め再現性を向上することができる。

【0089】

なお、上述したロボット１００において、複数の駆動装置本体Ｄそれぞれは、制御部４Ａによる基準位置の設定処理を行うものを説明した。しかし、第２実施形態に係るロボット１００は、それに限られない。例えば、ロボット１００の制御部４Ａは、減速機３２の複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳが重力方向Ｚ１に直交している駆動装置本体Ｄについて、本発明に係る基準位置の設定を行わなくてもよい。例えば、第２実施形態に係るロボット１００において、図１１、図１２に示す状態では、第２駆動装置本体Ｄ１２、第３駆動装置本体Ｄ１３、第５駆動装置本体Ｄ１５のそれぞれにおいて、減速機３２の複数の歯車Ｇの回転軸ＧＳが重力方向Ｚ１に直交している。そのため、制御部４Ａは、基準位置が図１１、図１２に示す状態である場合、第２駆動装置本体Ｄ１２、第３駆動装置本体Ｄ１３、第５駆動装置本体Ｄ１５について、従来の基準位置の設定を行えばよい。

【0090】

また、ロボット１００の制御部４Ａは、モータ３１を停止した際、重力の作用によって、常時、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａに接触する駆動装置本体Ｄ、または、常時、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが第２歯車Ｇ２の第２歯部Ｇ２ｂに接触する駆動装置本体Ｄについて、基準位置の設定を行わなくてもよい。このようなロボット１００によれば、制御部４Ａによる各部の操作を容易にすることができる。

【0091】

なお、上述した実施形態に係るロボット１００は、いわゆる六軸多関節ロボットであって、６つの駆動装置本体Ｄを備えるものを説明した。しかし、第２実施形態に係るロボット１００は、それに限られない。例えば、本発明に係る基準位置の設定を六軸多関節ロボットではない、他のロボットに適用することができる。

【0092】

（第３実施形態）
また、第１実施形態及び第２実施形態においては、第１エンコーダ５及び第２エンコーダ６を用いて、第６アームＡ１６の先端部に取り付けられるエンドエフェクタ１６１の位置を検出していたが、実施の形態はこれに限られない。例えば、図１５に示すようなカメラ等の検出装置を用いて、エンドエフェクタ１６１の位置を検出してもよい。図１５は、第３実施形態に係るロボットの位置検出システムの概略側面図である。図１５に示すように、第３実施形態における位置検出システム１０００は、ロボット２００と、検出装置であるカメラ３００とを備える。

【0093】

図１５に示すように、第３実施形態におけるロボット２００は、架台２と、図１１に示す複数の駆動装置本体Ｄと、制御部４Ｂと、を備える。ロボット２００の６つの駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６は、それぞれ駆動部ＪＢと、図１１に示す可動部Ａとを備える。

【0094】

第３実施形態における制御部４Ｂは、ロボット２００の各部と、カメラ３００とを統括的に制御する機能を有する。図１５及び図１６に示すように、制御部４Ｂは、ロボット２００が備える複数の駆動部ＪＢのモータ３１と、カメラ３００と対して電気的に接続される。図１６は、図１５に示すロボットの駆動装置が有する駆動部を示す模式図である。図１６に示すように、第３実施形態における駆動部ＪＢは、例えば第１エンコーダ５及び第２エンコーダ６等のセンサを備えないような構成であってもよい。

【0095】

制御部４Ｂは、撮影されたロボット２００のエンドエフェクタ１６１のカメラ座標系における位置を特定する。また、制御部４Ｂは、撮影されたエンドエフェクタ１６１のカメラ座標系における位置をもとに、ロボット２００のロボット座標系に基づく位置指令を生成し、エンドエフェクタ１６１の位置制御を行う。

【0096】

カメラ等の検出装置を用いる場合、ロボット２００の動作により移動するエンドエフェクタ１６１のロボット座標系における位置と、エンドエフェクタ１６１をカメラ３００で撮影することにより検出されるエンドエフェクタ１６１のカメラ座標系における位置の間に誤差が生じないよう、ロボット座標系とカメラ座標系の調整（キャリブレーション処理）を行う。

【0097】

また、第３実施形態のロボット２００において、第６アームＡ１６の先端に取り付けられたエンドエフェクタ１６１には、キャリブレーション処理時、例えばＡＲマーカ等の計測用マーカ２９９が取り付けられる。

【0098】

カメラ３００は、例えば図１５に示す作業領域の天井Ｃに固定されており、エンドエフェクタ１６１に取り付けられた計測用マーカ２９９を撮影する。カメラ３００は、例えば撮影された対象物までの距離及び方向を特定できるステレオカメラである。また、カメラ３００の代わりに、超音波や電磁波を送受信することにより、対象物までの距離や方向を検出できる装置を検出装置として用いてもよい。また、カメラ３００は、把持対象となるワークＷを合わせて撮影してもよい。

【0099】

キャリブレーション処理の精度を向上するには、図１７に示すように、ロボット２００の位置及び姿勢を変化させて、複数の位置・姿勢におけるエンドエフェクタ１６１をカメラ３００で撮影することが望まれる。図１７は、複数のキャリブレーション位置におけるロボットの状態を示す概略側面図である。まず、カメラ３００は、エンドエフェクタ１６１が図１７の（ａ）に示す位置にある状態において、計測用マーカ２９９を撮影する。次に、エンドエフェクタ１６１は、駆動部Ｊ１３が矢印に示す方向に回転することにより、図１７の（ｂ）に示す位置に移動する。そして、カメラ３００は、移動後の計測用マーカ２９９を撮影する。

【0100】

しかし、ロボット２００の位置・姿勢を変化させる際に、ロボット２００の複数の駆動部J１１～Ｊ１６における歯車のバックラッシにより、エンドエフェクタ１６１の位置の誤差が生じる。かかる誤差は、キャリブレーション処理の精度の低下の原因となる。

【0101】

そこで、第３実施形態においても、各駆動部Ｊ１１～Ｊ１６における複数の第１歯車Ｇ１を片寄せさせる（第１歯車Ｇ１の歯部を、第２歯車Ｇ２の歯部に接触させる）ように第１歯車Ｇ１を動作させてからキャリブレーション位置に移動することにより、歯車の位置のズレが抑制される。

【0102】

図１８は、第３実施形態に係る位置検出システムの制御方法を示すフロー図である。まず、キャリブレーション処理が開始されると、制御部４Ｂは、ロボット２００のエンドエフェクタ１６１を、キャリブレーション開始位置に移動させる（ステップＳ１１）。キャリブレーション開始位置は、第２実施形態における仮の基準位置に相当するものである。これにより、バックラッシ以外の機械的誤差等の影響が抑制される。なお、ステップＳ１１においては、各駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６における第１歯車Ｇ１と第２歯車Ｇ２との位置関係が、図４～図６に示すいずれの場合であるかは特定されていない。

【0103】

次に、制御部４Ｂは、ｎ番目のキャリブレーション位置を特定する。まず、制御部４Ｂは、複数のキャリブレーション位置の番号を示すカウンタｎをインクリメントする（ステップＳ１２）。

【0104】

次に、制御部４Ｂは、インクリメントされたｎ番目のキャリブレーション位置への移動軌道を算出する（ステップＳ１３）。第３実施形態において、カウンタｎの初期値は例えばゼロである。すなわち、制御部４Ｂは、１番目のキャリブレーション位置から、移動軌道の算出を開始する。ｎ番目のキャリブレーション位置への移動軌道は、例えば各駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６の回転角度等により計算される。移動軌道は、例えば制御部４Ｂにより算出されるが、これに限られず、例えば図示しない外部装置により算出され、制御部４Ｂに送信されるような構成であってもよい。

【0105】

次に、制御部４Ｂは、算出された移動軌道を用いて、エンドエフェクタ１６１を、ｎ番目のキャリブレーション位置へ移動させる（ステップＳ１４）。その際、制御部４Ｂは、例えば各駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６を順番に回転させてもよく、又は複数の駆動装置本体Ｄを同時に回転させてもよい。

【0106】

そして、制御部４Ｂは、ステップＳ１５～Ｓ１６において、第２実施形態と同様に、バックラッシを片寄せするための処理を行う。なお、ステップＳ１５～Ｓ１６についても、各駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６について順番に実行させても、同時に実行させてもよい。

【0107】

まず、制御部４Ｂは、駆動部ＪＢを目標とするキャリブレーション位置よりも所定量多く駆動するよう、第１歯車Ｇ１を第１の回転方向Ｒ１１へ回転し（ステップＳ１５）、ステップＳ１６へ進む。所定量は、減速機３２のバックラッシ分よりも多い量であればよい。これにより、第１歯車Ｇ１の歯部Ｇ１ａが、図９に示すように、第１の回転方向Ｒ１１側に位置する第２歯車Ｇ２の第１歯部Ｇ２ａに接触する。

【0108】

次に、制御部４Ｂは、駆動部ＪＢをステップＳ１５の所定量と同じだけ逆駆動することで、第１歯車Ｇ１を第２の回転方向Ｒ１２へ回転し（ステップＳ１６）、ステップＳ１７に進む。これにより、ステップＳ１６において、目標とするキャリブレーション位置に到達する。

【0109】

その後、制御部４Ｂは、カメラ３００で、エンドエフェクタ１６１に付された計測用マーカ２９９を撮影する（ステップＳ１７）。すなわち、カメラ３００は、第１歯車Ｇ１が第１の回転方向Ｒ１１に回転した後に第２の回転方向Ｒ１２に回転した時点における、計測用マーカ２９９の位置を検出する。第３実施形態においては、第１歯車Ｇ１及び第２歯車Ｇ２が片寄せされた状態からキャリブレーション位置に移動し、計測用マーカ２９９の撮影が行われるので、バックラッシの影響が抑制される。

【0110】

そして、制御部４Ｂは、全てのキャリブレーション位置でマーカの撮影が実施されたか否かを判定する（ステップＳ２１）。実施されていないキャリブレーション位置があると判定された場合（ステップＳ２１：Ｎｏ）、制御部４ＢはステップＳ１２に戻って処理を繰り返す。

【0111】

一方、全てのキャリブレーション位置でマーカの撮影が実施されたと判定された場合（ステップＳ２１：Ｙｅｓ）、制御部４Ｂは、ロボット座標系における位置情報と、カメラ座標系における位置情報とを用いて、キャリブレーション値を演算し（ステップＳ２２）、キャリブレーション処理を終了する。これにより、バックラッシの影響が抑制された状態において、カメラ座標系とロボット座標系とのキャリブレーション処理が行われる。

【0112】

以上説明したように、第３実施形態における位置検出システム１０００は、ロボット２００と、検出装置（カメラ）３００とを備える。ロボット２００は、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６と、制御部４Ｂと、計測用マーカと、を備える。複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６それぞれは、モータ３１と、モータ３１側に位置する第１歯車Ｇ１および第１歯車Ｇ１に噛み合うように配置された第２歯車Ｇ２を含む複数の歯車で構成された減速機３２とを有する駆動部ＪＢと、減速機３２を介してモータ３１により駆動される可動部Ａと、を備える。制御部４Ｂは、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６それぞれについて、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を第１の回転方向に回転させ、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を、第１の回転方向とは逆の第２の回転方向に回転させる。検出装置（カメラ）３００は、第１歯車Ｇ１が第１の回転方向に回転した後に第２の回転方向に回転した時点における、計測用マーカ２９９の位置を検出する。かかる構成によれば、検出装置（カメラ）３００を用いてエンドエフェクタ１６１の位置決めを精度よく行うことができる。また、ワークＷとの相対的な位置関係において、ロボットのエンドエフェクタ１６１の位置決めを行うことができる。

【0113】

また、カメラ３００は、制御部４Ｂからの指示に基づき、計測用マーカ２９９の位置を検出するが、これに限られず、カメラ３００が、制御部４Ｂとは異なる別の制御装置により制御されてもよい。

【0114】

（第４実施形態）
第３実施形態において、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６は、複数のキャリブレーション位置への移動を繰り返す。この場合において、計測用マーカ２９９をｎ－１番目のキャリブレーション位置から第ｎ番目のキャリブレーション位置に移動する際、回転方向が変化しない場合は、バックラッシの状態も変化しないため、誤差が生じない。なお、ｎ－１番目のキャリブレーション位置は、第１の位置の一例であり、ｎ番目のキャリブレーション位置は、第２の位置の一例である。

【0115】

そこで、第４実施形態における位置検出システム２０００は、図１９に示すように、第１歯車Ｇ１の回転方向に応じて、バックラッシを片寄せする動作を省略する。図１９は、第４実施形態に係る位置検出システムの制御方法を示すフロー図である。なお、図１９において、図１８に示すフロー図と同様の処理には同一のステップ番号を付し、詳細な説明は省略する。また、位置検出システム２０００は、図１５に示す制御部４Ｃが制御部４Ｂとは異なる処理を行う以外、外観に相違はないため、位置検出システム２０００の図示を省略する。

【0116】

まず、キャリブレーション処理が開始されると、制御部４Ｃは、ロボット２００のエンドエフェクタ１６１を、キャリブレーション開始位置に移動させる（ステップＳ１１）。次に、制御部４Ｃは、複数のキャリブレーション位置の番号を示すカウンタｎをインクリメントする（ステップＳ１２）。次に、制御部４Ｃは、インクリメントされたｎ番目のキャリブレーション位置への移動軌道を算出する（ステップＳ１３）。

【0117】

そして、制御部４Ｃは、算出された移動軌道に基づき、いずれかの駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６の駆動部ＪＢにおけるｎ番目のキャリブレーション位置への移動における回転方向が、前回、すなわちｎ－１番目のキャリブレーション位置への移動における最後の回転方向（以下、「第５の回転方向」と表記する場合がある）と同一であるか否かを判定する（ステップＳ３１）。回転方向が同一であると判定された場合（ステップＳ３１：Ｙｅｓ）、例えば駆動部ＪＢを第５の回転方向に回転させる場合、制御部４Ｃは、駆動部ＪＢを、ｎ番目のキャリブレーション位置へ移動させ（ステップＳ３３）、ステップＳ３７に進む。

【0118】

例えば、第５の回転方向が第２の回転方向Ｒ１２である場合において、ｎ番目のキャリブレーション位置への移動における回転方向も第２の回転方向Ｒ１２であるとき、すなわち第５の回転方向に回転させるときはバックラッシの状態が変化しないため、ステップＳ３５～Ｓ３６における片寄せ動作を省略できる。

【0119】

一方、回転方向が同一ではない、例えば、第５の回転方向とは異なる第３の回転方向と判定された場合（ステップＳ３１：Ｎｏ）、制御部４Ｃは、駆動部ＪＢを、ｎ番目のキャリブレーション位置へ移動させた後に（ステップＳ３４）、ステップＳ３５に進む。

【0120】

そして、制御部４Ｃは、ステップＳ３５～Ｓ３６において、第３実施形態と同様に、バックラッシを片寄せするための処理を行う。まず、制御部４Ｃは、駆動部ＪＢを目標となるキャリブレーション位置よりも所定量だけ多く駆動するよう、第１歯車Ｇ１を第３の回転方向（例えば、第１の回転方向Ｒ１１）へ回転し（ステップＳ３５）、ステップＳ３６へ進む。所定量は、減速機３２のバックラッシ分よりも多い量であればよい。次に、制御部４Ｃは、駆動部ＪＢをステップＳ３５の所定量と同じだけ逆駆動することで、第１歯車Ｇ１を第４の回転方向（例えば、第２の回転方向Ｒ１２）へ回転し（ステップＳ３６）、ステップＳ３７に進む。

【0121】

第４実施形態において、第３の回転方向は、ｎ－１番目のキャリブレーション位置への移動における回転方向とは反対の回転方向であり、第４の回転方向は、ｎ－１番目のキャリブレーション位置への移動における回転方向と同一の回転方向である。言い換えれば、第３の回転方向は第５の回転方向と反対の回転方向であり、第４の回転方向は第５の回転方向と同一の回転方向である。

【0122】

なお、ｎ＝１である場合、すなわちキャリブレーション開始位置から１番目のキャリブレーション開始位置へ駆動部ＪＢの移動を開始させる場合は、第１歯車Ｇ１と第２歯車Ｇ２との位置関係が特定されていない。また、ｎ－１番目のキャリブレーション位置への移動における最後の回転方向も特定されていないため、ステップＳ３３における回転方向の判定結果にかかわらず、ステップＳ３５～Ｓ３６の処理を行うような構成であってもよい。

【0123】

そして、制御部４Ｃは、全ての駆動部ＪＢについて駆動済みか否かを判定する（ステップＳ３７）。駆動済みでない駆動部ＪＢがあると判定された場合（ステップＳ３７：Ｎｏ）、制御部４ＣはステップＳ３１に戻って処理を繰り返す。

【0124】

一方、全ての駆動部ＪＢについて駆動済みであると判定された場合（ステップＳ３７：Ｙｅｓ）、制御部４Ｃは、カメラ３００で、エンドエフェクタ１６１に付された計測用マーカ２９９を撮影する（ステップＳ１７）。この場合において、制御部４Ｂは、ステップＳ３３において第１歯車Ｇ１を回転させた後に、第１歯車Ｇ１を第３の回転方向に回転させることなく、カメラ３００に、ｎ番目のキャリブレーション位置における計測用マーカ２９９の位置の検出を指示する。

【0125】

そして、制御部４Ｃは、全てのキャリブレーション位置でマーカの撮影が実施されたか否かを判定する（ステップＳ２１）。実施されていないキャリブレーション位置があると判定された場合（ステップＳ２１：Ｎｏ）、制御部４ＣはステップＳ１２に戻って処理を繰り返す。

【0126】

一方、全てのキャリブレーション位置でマーカの撮影が実施されたと判定された場合（ステップＳ２１：Ｙｅｓ）、制御部４Ｃは、ロボット座標系における位置情報と、カメラ座標系における位置情報とを用いて、キャリブレーション値を演算し（ステップＳ２２）、キャリブレーション処理を終了する。

【0127】

以上説明したように、第４実施形態における位置検出システム２０００において、検出装置（カメラ）３００は、制御部４Ｃからの指示に基づき、計測用マーカ２９９の位置を検出する。制御部４Ｃは、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６それぞれについて、第１歯車Ｇ１を第３の回転方向に回転させた後に第４の回転方向に回転させることにより、計測用マーカ２９９を第１の位置に移動させる。そして、検出装置（カメラ）３００に、第１の位置における計測用マーカ２９９の位置の検出を指示した後において、モータ３１を駆動して第１歯車Ｇ１を第４の回転方向に回転させることにより、計測用マーカ２９９の位置を第１の位置から第２の位置に移動させた場合、第１歯車Ｇ１を第３の回転方向に回転させることなく、検出装置（カメラ）３００に第２の位置における計測用マーカ２９９の位置の検出を指示する。かかる構成によれば、バックラッシの状態に変化が生じない場合には片寄せ動作を省略するので、処理を簡略化できる。

【0128】

また、第４実施形態においては、制御部４Ｃが、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６を順次回転させる処理について説明したが、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６を同時に回転させる、例えばステップＳ３１～Ｓ３６の処理を、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６について同時並行で実行してもよい。第２実施形態及び第３実施形態においても同様に、複数の駆動装置本体Ｄ１１～Ｄ１６を順次回転させても、同時に回転させてもよい。

【0129】

なお、第４実施形態における、各駆動部ＪＢの回転方向に応じて処理を変更する構成を、第２実施形態における処理に適用してもよい。また、第３実施形態や第４実施形態においても、第２実施形態と同様に、図１１、図１２に示す状態で重力方向Ｚ１に直交している駆動装置本体Ｄ１２，Ｄ１３及びＤ１５について、回転方向に関係なく、ステップＳ３５及びＳ３６における片寄せ動作を行わないような構成であってもよい。

【0130】

以上、第１実施形態に係る駆動装置１、並びに第２実施形態、第３実施形態及び第４実施形態に係るロボット１００に基づいて説明したが、本発明は各実施形態及び各変形例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の変更が可能であることも言うまでもない。上述した各実施形態及び各変形例の構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。例えば、第３実施形態及び第４実施形態における位置検出システムにおいて、ロボット２００の代わりに第２実施形態におけるロボット１００や、第１実施形態における駆動装置１の位置を検出してもよい。そのような要旨を逸脱しない範囲での種々の変更を行ったものも本発明の技術的範囲に含まれるものであり、そのことは、当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。

【符号の説明】

【0131】

１ 駆動装置、３１ モータ、３２ 減速機、３１Ｓ 第１軸（出力軸）、３２Ｓ 第２軸（出力軸）、４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ 制御部、５ 第１エンコーダ、６ 第２エンコーダ、１００，２００ ロボット、１６１ エンドエフェクタ、２９９ 計測用マーカ、３００ 検出装置（カメラ）、１０００，２０００ 位置検出システム、Ａ 可動部、Ａ２ 第２アーム（可動部）、Ａ１１ 第１アーム（可動部）、Ａ１２ 第２アーム（可動部）、Ａ１３ 第３アーム（可動部）、Ａ１４ 第４アーム（可動部）、Ａ１５ 第５アーム（可動部）、Ａ１６ 第６アーム（可動部）、Ｄ 駆動装置本体、Ｄ１１ 第１駆動装置本体、Ｄ１２ 第２駆動装置本体、Ｄ１３ 第３駆動装置本体、Ｄ１４ 第４駆動装置本体、Ｄ１５ 第５駆動装置本体、Ｄ１６ 第６駆動装置本体、Ｊ，ＪＢ 駆動部、Ｊ１１ 第１駆動部、Ｊ１２ 第２駆動部、Ｊ１３ 第３駆動部、Ｊ１４ 第４駆動部、Ｊ１５ 第５駆動部、Ｊ１６ 第６駆動部、ＧＡ 間隙、ＧＳ 回転軸、Ｇ１ 第１歯車、Ｇ２ 第２歯車、Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】