特開 2025-24913 半導体ワーク用のテープ処理装置および半導体ワーク用のテープ交換方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025024913

(43)【公開日】2025-02-21

(54)【発明の名称】半導体ワーク用のテープ処理装置および半導体ワーク用のテープ交換方法

(51)【国際特許分類】

   B65H 37/04 20060101AFI20250214BHJP

   B65H 19/12 20060101ALI20250214BHJP

   B65H 19/30 20060101ALI20250214BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20250214BHJP

【ＦＩ】

B65H37/04 B

B65H19/12 A

B65H19/30

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023129292

(22)【出願日】2023-08-08

(71)【出願人】

【識別番号】000003964

【氏名又は名称】日東電工株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】394016601

【氏名又は名称】日東精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】奥野 長平

【テーマコード（参考）】

3F064

3F108

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F064BA03

3F064BA05

3F064CA05

3F108HA07

3F108HA14

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA32

5F131CA42

5F131CA46

5F131EA07

5F131EA22

5F131EB01

5F131EC32

5F131EC44

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC64

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC72

5F131HA02

(57)【要約】

【課題】半導体ワークに対するテープ処理効率をより向上させることができる半導体ワーク用のテープ処理装置および半導体ワーク用のテープ交換方法を提供する。
【解決手段】粘着テープＴの原反ロール１１を複数備え、貼り付け位置Ｇ１にある原反ロール１１から粘着テープＴを供給するテープ供給部３と、粘着テープＴを用いてウエハＷに対する所定の処理を行うテープ貼付け部４と、不要テープＴｎを巻き取る巻き取り芯１５を複数備え、回収位置Ｋ１にある巻き取り芯１５に不要テープＴｎを巻き取るテープ回収部５と、原反ロール１１を保管する原反ロール保管部２と、巻き取り芯１５を保管する巻き取り芯保管部６と、準備位置Ｇ２と原反ロール保管部２との間で原反ロール１１を搬送する原反ロール搬送機構７と、待機位置Ｋ２と巻き取り芯保管部６との間で巻き取り芯１５を搬送する巻き取り芯搬送機構８と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

粘着テープの原反ロールを保持する原反ロール保持部を複数備え、前記原反ロール保持部のうち繰り出し位置に移動している前記原反ロール保持部に保持されている前記原反ロールから前記粘着テープを繰り出させるテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された前記粘着テープを用いて半導体ワークに対する所定の処理を行うテープ処理部と、
前記所定の処理が行われた後の不要な部分の前記粘着テープである不要テープを巻き取り可能な巻き取り芯を保持する巻き取り芯保持部を複数備え、前記巻き取り芯保持部のうち回収位置に移動している前記巻き取り芯保持部に保持されている前記巻き取り芯に前記不要テープをロール状に巻き取って回収させるテープ回収部と、
前記原反ロールを保管する原反ロール保管部と、
前記巻き取り芯を保管する巻き取り芯保管部と、
前記テープ供給部に設けられている準備位置に移動している前記原反ロール保持部と前記原反ロール保管部との間で前記原反ロールを搬送する原反ロール搬送機構と、
前記テープ回収部に設けられている待機位置に移動している前記巻き取り芯保持部と前記巻き取り芯保管部との間で前記巻き取り芯を搬送可能な巻き取り芯搬送機構と、
を備えることを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項2】

請求項１に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記テープ供給部は、
前記準備位置に移動している前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理機構と、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記原反ロールから切り離す切断機構と、
前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更機構と、
前記切断機構によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合機構と、
を備えることを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項3】

請求項２に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量を検知する繰り出しテープ量検知部と、
繰り出しテープ量検知部が検知する前記粘着テープの量に応じて前記配置変更機構の動作を制御する配置変更機構制御部と、
繰り出しテープ量検知部が検知する前記粘着テープの量に応じて前記原反ロール搬送機構の動作を制御するロール搬送機構制御部と、
前記繰り出しテープ量検知部が検知する前記粘着テープの量に応じて前記準備処理機構の動作を制御する準備処理機構制御部と、
を備え、
前記配置変更機構制御部は、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が予め定めた所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置にある前記原反ロール保持部を前記繰り出し位置へ移動させるように前記配置変更機構を制御し、
前記ロール搬送機構制御部は、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記切断機構によって前記粘着テープが切り離された前記原反ロールを前記テープ供給部から前記原反ロール保管部へ搬送させるように前記原反ロール搬送機構を制御し、
前記準備処理機構制御部は、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置に移動している前記原反ロールに対して前記準備処理を行うように前記準備処理機構の動作を制御する
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項4】

請求項３に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記ロール搬送機構制御部は、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が予め定められた第１所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記原反ロール保管部に保管されている前記原反ロールを前記テープ供給部へ搬送するとともに、前記準備位置に移動している前記原反ロール保持部に前記原反ロールを保持させるように前記原反ロール搬送機構を制御し、
前記準備処理機構制御部は、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記第１所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置に移動している前記原反ロールに対して前記準備処理を行うように前記準備処理機構の動作を制御し、
前記配置変更機構制御部は、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が予め定めた第２所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置にある前記原反ロール保持部を前記繰り出し位置へ移動させるように前記配置変更機構を制御し、
前記ロール搬送機構制御部は、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記第２所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記切断機構によって前記粘着テープが切り離された前記原反ロールを前記テープ供給部から前記原反ロール保管部へ搬送させるように前記原反ロール搬送機構を制御するように構成され、
前記第１所定量は、前記第２所定量よりもテープ量が多い閾値として定められる
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項5】

請求項１に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記原反ロール保管部は、前記テープ供給部において前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから前記テープ処理部へ前記粘着テープを繰り出し供給する状態を維持しつつ、前記原反ロールを搬入できるように構成されている
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項6】

請求項１に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記テープ回収部は、
前記回収位置に移動している第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断機構と、
前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更機構と、
前記不要テープ切断機構によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合機構と、
を備えることを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項7】

請求項６に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量を検知する不要テープ検知部と、
前記不要テープ検知部が検知する前記不要テープの量に応じて前記回収部配置変更機構の動作を制御する回収部配置変更制御部と、
前記不要テープ検知部が検知する前記不要テープの量に応じて前記巻き取り芯搬送機構の動作を制御する巻き取り芯搬送制御部と、
を備え、
前記回収部配置変更制御部は、
前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量が第３所定量以上であることを前記不要テープ検知部が検知した場合に、前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記回収位置へ移動させるように前記回収部配置変更機構を制御し、
前記巻き取り芯搬送制御部は、
前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量が前記第３所定量以上であることを前記不要テープ検知部が検知した場合に、前記不要テープ切断機構によって前記不要テープが切り離された第１の前記巻き取り芯を前記テープ回収部から前記巻き取り芯保管部へ搬送させるように前記巻き取り芯搬送機構を制御する
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項8】

請求項１に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記巻き取り芯保管部は、前記テープ回収部において前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に前記不要テープが巻き取り回収される状態を維持しつつ、前記巻き取り芯を搬入できるように構成されている
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項9】

請求項１に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量を検知する繰り出しテープ量検知部、および前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量を検知する不要テープ検知部のうち少なくとも一方を備え、
前記テープ供給部は、
前記準備位置に移動している前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理機構と、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記原反ロールから切り離す切断機構と、
前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更機構と、
前記切断機構によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合機構と、
前記原反ロール搬送機構の動作を制御するロール搬送機構制御部と、
を有する原反ロール交換システムを備え、
前記テープ回収部は、
前記回収位置に移動している第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断機構と、
前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更機構と、
前記不要テープ切断機構によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと前記回収部配置変更機構によって前記回収位置へと移動した第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合機構と、
前記巻き取り芯搬送機構の動作を制御する巻き取り芯搬送制御部と、
を有する巻き取り芯交換システムを備え、
前記原反ロール交換システムおよび前記巻き取り芯交換システムは、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が第１の閾値以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合、または前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量が第２の閾値以上であることを前記不要テープ検知部が検知した場合に動作を開始するように制御される
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項10】

請求項１に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
操作者の指示を入力する入力部を備え、
前記テープ供給部は、
前記準備位置に移動している前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理機構と、
前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記原反ロールから切り離す切断機構と、
前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更機構と、
前記切断機構によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合機構と、
前記原反ロール搬送機構の動作を制御するロール搬送機構制御部と、
を有する原反ロール交換システムを備え、
前記テープ回収部は、
前記回収位置に移動している第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断機構と、
前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更機構と、
前記不要テープ切断機構によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと前記回収部配置変更機構によって前記回収位置へと移動した第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合機構と、
前記巻き取り芯搬送機構の動作を制御する巻き取り芯搬送制御部と、
を有する巻き取り芯交換システムを備え、
前記原反ロール交換システムは、前記原反ロールの交換を開始する指示が前記入力部に入力されることによって動作を開始するように制御され、
前記巻き取り芯交換システムは、前記巻き取り芯の交換を開始する指示が前記入力部に入力されることによって動作を開始するように制御される
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項11】

請求項１に記載の半導体ワーク用のテープ処理装置において、
前記原反ロール保管部、前記テープ供給部、前記テープ処理部、前記テープ回収部、および前記巻き取り芯保管部が順に並ぶように配設されており、
前記原反ロール搬送機構は、前記原反ロール保管部および前記テープ供給部の各々に隣接する位置に配置されており、
前記巻き取り芯搬送機構は、前記テープ回収部および前記巻き取り芯保管部の各々に隣接する位置に配置されている
ことを特徴とする半導体ワーク用のテープ処理装置。

【請求項12】

粘着テープの原反ロールを保持する原反ロール保持部を複数備え、前記原反ロール保持部のうち繰り出し位置に移動している前記原反ロール保持部に保持されている前記原反ロールから 前記粘着テープを繰り出させるテープ供給部と、前記テープ供給部から繰り出された前記粘着テープを用いて半導体ワークに対する所定の処理を行うテープ処理部と、前記原反ロールを保管する原反ロール保管部と、前記テープ供給部に設けられている準備位置に移動している前記原反ロール保持部と前記原反ロール保管部との間で前記原反ロールを搬送する原反ロール搬送機構と、を備える半導体ワークのテープ処理装置において前記粘着テープの原反ロールを交換させる半導体ワーク用のテープ交換方法であって、
前記原反ロール搬送機構を用いて、前記原反ロール保管部に保管されている前記原反ロールを前記準備位置にある前記原反ロール保持部に搬送させる原反ロール搬送過程と、
前記準備位置にある前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理過程と、
前記繰り出し位置にある前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記繰り出し位置にある前記原反ロールから切り離す切断過程と、
前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更過程と、
前記切断過程によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合過程と、
前記切断過程によって前記粘着テープから切り離された前記原反ロールを前記原反ロール搬送機構によって前記原反ロール保管部へ搬送させる使用済ロール搬送過程と、
を備えることを特徴とする半導体ワーク用のテープ交換方法。

【請求項13】

粘着テープを用いて半導体ワークに対する所定の処理を行うテープ処理部と、前記所定の処理が行われた後の不要な部分の前記粘着テープである不要テープを巻き取り可能な巻き取り芯を保持する巻き取り芯保持部を複数備え、前記巻き取り芯保持部のうち回収位置に移動している前記巻き取り芯保持部に保持されている前記巻き取り芯に前記不要テープをロール状に巻き取って回収させるテープ回収部と、前記巻き取り芯を保管する巻き取り芯保管部と、前記テープ回収部に設けられている待機位置に移動している前記巻き取り芯保持部と前記巻き取り芯保管部との間で前記巻き取り芯を搬送可能な巻き取り芯搬送機構と、を備える半導体ワークのテープ処理装置において前記不要テープを巻き取り可能な前記巻き取り芯を交換させる半導体ワーク用のテープ交換方法であって、
前記回収位置にある第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して第１の前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断過程と、
前記巻き取り芯搬送機構を用いて、前記巻き取り芯保管部に保管されている第２の前記巻き取り芯を前記待機位置にある前記巻き取り芯保持部に搬送させる巻き取り芯搬送過程と、
前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更過程と、
前記不要テープ切断過程によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合過程と、
前記不要テープ切断過程によって前記不要テープから切り離された第１の前記巻き取り芯を前記巻き取り芯搬送機構によって前記巻き取り芯保管部へ搬送させる使用済巻き取り芯搬送過程と、
を備えることを特徴とする半導体ワーク用のテープ交換方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）または基板を例とする半導体ワークに対して、粘着テープの貼り付け処理または粘着テープの剥離処理を例とする各種テープ処理を行うために用いる半導体ワーク用のテープ処理装置および半導体ワーク用のテープ交換方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハまたは基板を例とする半導体のワークから様々な製品を製造する工程において、当該ワークに対して粘着テープを用いた各種処理を行うことがある。半導体ワークに対するテープ処理工程の例として、回路保護用の粘着テープ（保護テープ）をワークに貼り付ける工程、ワーク支持用の粘着テープ（ダイシングテープ）を貼り付けてリングフレームにマウントする工程、デバイス封止用の粘着性フィルムを用いて半導体ワークを封止する工程、または半導体ワークに貼り付けられている保護テープに対して剥離用の粘着テープ（剥離テープ）を貼り付けて剥離テープとともに保護テープを剥離する工程などが挙げられる。

【0003】

半導体ワークに対するテープ処理を行うテープ処理装置の従来構成について、半導体ワークに保護用の粘着テープを貼り付ける、テープ貼付け装置を例として説明する。従来のテープ貼付け装置２０１は図４２に示すように、テープ供給部２０３、セパレータ剥離部２０５、保持テーブル２０７、テープ貼付け部２０９、テープ切断機構２１１、テープ回収部２１３、およびセパレータ回収部２１５などを備えている。

【0004】

テープ供給部２０３は、回路保護用のセパレータ（剥離ライナー）が添設された粘着テープＴＳが巻回された原反ロールの装填された供給ボビンから、当該セパレータ付き粘着テープＴＳを繰り出し案内する。セパレータ剥離部２０５は、繰り出されたセパレータ付き粘着テープＴＳからセパレータＳを剥離する。保持テーブル２０７は、回路形成面が上向きの状態となっているウエハＷを吸着保持する。テープ貼付け部２０９は一例として貼り付けローラであり、図４２において左方向へ水平移動する。当該水平移動によって、テープ貼付け部２０９は、セパレータＳが剥離された粘着テープＴを、保持テーブル２０７上のウエハＷに貼り付ける。

【0005】

テープ切断機構２１１はカッタ２１１ａを備えており、符号Ｐで示す鉛直軸周りにテープ切断機構２１１が回転することによって、粘着テープＴはウエハＷの外形に沿って切り抜かれる。切り抜かれた後の不要な部分の粘着テープＴ、すなわち不要テープＴｎは、テープ回収部２１３を構成する巻き取り軸においてロール状に巻き取られて回収される。また粘着テープＴから剥離されたセパレータＳは、セパレータ回収部２１５を構成する巻き取り軸においてロール状に巻き取られて回収される。

【0006】

このようなテープ貼付け装置において、テープ供給部２０３における粘着テープＴの装填量が一定量を下回った場合、またはテープ回収部１１３に回収される不要テープＴｎの量などが一定量を上回った場合はロールを交換する必要がある。従来のテープ貼付け装置１０１ではロールの交換を行う場合、オペレータは煩雑な作業を手動で行う必要がある。

【0007】

すなわちテープ供給部２０３において、原反ロールから繰り出される粘着テープＴおよびセパレータＳを切断して原反ロールから切り離す作業、原反ロールを新たな原反ロールに交換する作業、切断された先行の粘着テープＴと新たな原反ロールに係る後続の粘着テープＴとを接合させる作業、および粘着テープＴの繰り出しを再開させる作業を例とする一連の作業を要する。そしてテープ回収部２１３などにおいては、不要なテープＴｎを切断して巻き取り軸のロールから分離する作業、ロール状に回収された不要テープＴｎを巻き取り軸から除去する作業、巻き取り軸に対して不要テープＴｎを接合させる作業、および不要テープＴｎの巻き取りを再開させる作業を例とする一連の作業を要する。

【0008】

近年では、切断された粘着テープＴの末端同士を接合させる作業を自動で行うための試みが行われている。その一例として、以下のようなテープ接合方法が提案されている（例えば、特許文献１および特許文献２を参照）。すなわち、先行しているセパレータ付き粘着テープの後端に、接合用の粘着テープである接合テープを貼り付ける。

【0009】

接合テープが貼り付けられた後、後続のセパレータ付き粘着テープの先端に対して、接合テープが貼り付けられたセパレータ付き粘着テープの後端を押圧して接合させる。このような方法により、先行の粘着テープと後続の粘着テープとの末端同士を、接合テープを介して接合させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０１４－１３３６１６号公報

【特許文献2】特開２０１９－１７２３９３号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。すなわち、従来のテープ処理装置ではロールを交換する工程における自動化が不十分である。すなわち従来装置ではロールを交換する工程において、作業者による作業を要する頻度が高く、各々の作業に要する時間も長い。その結果、作業者の負担を低減させることが困難であるという問題が懸念される。また、ロールを交換する工程において装置の稼働を停止させる時間が長いので、テープ処理装置の処理効率を向上させることが困難であるという問題も懸念される。

【0012】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、半導体ワークに対するテープ処理効率をより向上させることができる半導体ワーク用のテープ処理装置および半導体ワーク用のテープ交換方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明に係る半導体ワーク用のテープ処理装置は、粘着テープの原反ロールを保持する原反ロール保持部を複数備え、前記原反ロール保持部のうち繰り出し位置に移動している前記原反ロール保持部に保持されている前記原反ロールから前記粘着テープを繰り出させるテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された前記粘着テープを用いて半導体ワークに対する所定の処理を行うテープ処理部と、
前記所定の処理が行われた後の不要な部分の前記粘着テープである不要テープを巻き取り可能な巻き取り芯を保持する巻き取り芯保持部を複数備え、前記巻き取り芯保持部のうち回収位置に移動している前記巻き取り芯保持部に保持されている前記巻き取り芯に前記不要テープをロール状に巻き取って回収させるテープ回収部と、
前記 原反ロールを保管する原反ロール保管部と、
前記 巻き取り芯を保管する巻き取り芯保管部と、
前記テープ供給部に設けられている準備位置に移動している前記原反ロール保持部と前記原反ロール保管部との間で前記原反ロールを搬送する原反ロール搬送機構と、
前記テープ回収部に設けられている待機位置に移動している前記巻き取り芯保持部と前記巻き取り芯保管部との間で前記巻き取り芯を搬送可能な巻き取り芯搬送機構と、
を備えることを特徴とするものである。

【0014】

（作用・効果）この構成によれば、テープ供給部とテープ処理部とテープ回収部に加えて、原反ロール保管部と巻き取り芯保管部と原反ロール搬送機構と巻き取り芯搬送機構とを備えている。テープ供給部には、粘着テープの原反ロールを保持する原反ロール保持部が複数備えられている。また、テープ供給部に備えられている原反ロール保持部のうち、繰り出し位置に移動している原反ロール保持部に保持されている原反ロールから、粘着テープをテープ処理部へ繰り出し供給するように構成されている。そのため、テープ供給部からテープ処理部へと粘着テープを供給する機構は、原反ロール保持部の各々に対して配設される必要がなく、繰り出し位置に移動している原反ロール保持部に対して配設すればよい。よって、テープ供給部からテープ処理部へと粘着テープを供給するために必要な部品の数を低減できるので、半導体ワークのテープ処理装置の構成をより単純化できる。

【0015】

そしてテープ供給部に備えられている原反ロール保持部のうち、準備位置に移動している原反ロール保持部に対して、原反ロール搬送機構は原反ロール保管部から原反ロールを搬送するように構成されている。そのため、繰り出し位置に移動している原反ロールから粘着テープをテープ処理部へ供給して半導体ワークに対して所定の処理を行う動作を継続させつつ、原反ロール保管部からテープ供給部へと未使用の原反ロールを補充できる。すなわち原反ロール保管部からテープ供給部へと未使用の原反ロールを補充する際に半導体ワークに対する処理操作を停止させる必要がないので、ワークに対する処理効率を向上できる。また、原反ロール保管部からテープ供給部へと未使用の原反ロールを補充する操作は原反ロール搬送機構によって自動的に行うことができるので、作業者による労力を低減できる。

【0016】

また、テープ回収部に備えられている巻き取り芯保持部のうち、回収位置に移動している巻き取り芯保持部に保持されている巻き取り芯に対して、テープ処理部から送り出されている不要テープを巻き取り回収するように構成されている。そのため、テープ処理部からテープ回収部へと粘着テープを送り出す機構は、巻き取り芯保持部の各々に対して配設される必要がなく、回収位置に移動している巻き取り芯保持部に対して配設すればよい。よって、テープ処理部からテープ回収部へと不要テープを送り出すために必要な部品の数を低減できるので、半導体ワークのテープ処理装置の構成をより単純化できる。

【0017】

そしてテープ回収部に備えられている巻き取り芯保持部のうち、待機位置に移動している巻き取り芯保持部に対して、巻き取り芯搬送機構は巻き取り芯保管部から未使用の巻き取り芯を搬送するように構成されている。そのため、回収位置に移動している巻き取り芯に対して、半導体ワークに対する所定処理が行われた後の不要テープを巻き付けて回収する動作を継続させつつ、巻き取り芯保管部からテープ回収部へと未使用の巻き取り芯を補充できる。すなわち巻き取り芯保管部からテープ回収部へと未使用の巻き取り芯を補充する際に半導体ワークに対する処理操作を停止させる必要がないので、ワークに対する処理効率を向上できる。また、巻き取り芯保管部からテープ回収部へと未使用の巻き取り芯を補充する操作は巻き取り芯搬送機構によって自動的に行うことができるので、作業者による労力をさらに低減できる。

【0018】

また、上述した発明において、前記テープ供給部は、前記準備位置に移動している前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理機構と、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記原反ロールから切り離す切断機構と、前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更機構と、前記切断機構によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合機構と、を備えることが好ましい。

【0019】

（作用・効果）この構成によれば、テープ供給部は準備処理機構と切断機構とテープ接合機構とを備えている。準備処理機構は、準備位置に移動している未使用の原反ロールに対し、粘着テープの一部を繰り出させるとともに粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う。切断機構は繰り出し位置にある原反ロールから繰り出される粘着テープを切断して当該原反ロールから切り離す。テープ接合機構は、切り離された粘着テープと、準備処理が行われた未使用の原反ロールとを接合する。

【0020】

未使用の原反ロールは、準備位置に移動している時点で予め準備処理を受けることにより、繰り出し位置に移動している原反ロールが使用済みとなって新たに未使用の原反ロールに交換する場合、繰り出し位置にある使用済みの原反ロールから切り離された粘着テープと準備処理が完了した未使用の原反ロールとを新たに接合させる動作を迅速に完了できる。そのため、未使用の原反ロールから新たに粘着テープを繰り出し供給して半導体ワークに所定の処理を行う操作を迅速に再開できるので、半導体ワークに対する処理効率を向上できる。また、準備処理機構を備えることで、原反ロールに対する準備処理を自動で行うことができる。よって、原反ロールを交換する際に原反ロールに対する準備処理を作業者が手動で行う必要がないので、作業者の負担を低減できる。

【0021】

また、上述した発明において、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量を検知する繰り出しテープ量検知部と、繰り出しテープ量検知部が検知する前記粘着テープの量に応じて前記配置変更機構の動作を制御する配置変更機構制御部と、繰り出しテープ量検知部が検知する前記粘着テープの量に応じて前記原反ロール搬送機構の動作を制御するロール搬送機構制御部と、前記繰り出しテープ量検知部が検知する前記粘着テープの量に応じて前記準備処理機構の動作を制御する準備処理機構制御部と、を備え、前記配置変更機構制御部は、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が予め定めた所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置にある前記原反ロール保持部を前記繰り出し位置へ移動させるように前記配置変更機構を制御し、前記ロール搬送機構制御部は、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記切断機構によって前記粘着テープが切り離された前記原反ロールを前記テープ供給部から前記原反ロール保管部へ搬送させるように前記原反ロール搬送機構を制御し、前記準備処理機構制御部は、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置に移動している前記原反ロールに対して前記準備処理を行うように前記準備処理機構の動作を制御することが好ましい。

【0022】

（作用・効果）この構成によれば、繰り出し位置に移動している原反ロールが巻回している粘着テープの量を検知する繰り出しテープ量検知部を備えており、繰り出し位置に移動している原反ロールが巻回している粘着テープの量に応じて配置変更機構および原反ロール搬送機構を制御する。すなわち、繰り出し位置に移動している原反ロールが巻回している粘着テープの量が予め定めた所定量以下となった場合に、準備位置にある原反ロール保持部を繰り出し位置へ移動させるとともに、切断機構によって粘着テープが切り離された原反ロールをテープ供給部から原反ロール保管部へ搬送させる。このような構成では原反ロールの交換に必要な予備動作を行うタイミングが、原反ロールが巻回している粘着テープの量に応じて適切に決定される。従って、予備動作が速すぎることによって原反ロールの粘着テープが劣化するという事態、または予備動作が遅すぎることによって原反ロールの交換に要する時間が長期化するという事態を回避できる。

【0023】

また、上述した発明において、前記ロール搬送機構制御部は、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が予め定められた第１所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記原反ロール保管部に保管されている前記原反ロールを前記テープ供給部へ搬送するとともに、前記準備位置に移動している前記原反ロール保持部に前記原反ロールを保持させるように前記原反ロール搬送機構を制御し、前記準備処理機構制御部は、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記第１所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置に移動している前記原反ロールに対して前記準備処理を行うように前記準備処理機構の動作を制御し、前記配置変更機構制御部は、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が予め定めた第２所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記準備位置にある前記原反ロール保持部を前記繰り出し位置へ移動させるように前記配置変更機構を制御し、前記ロール搬送機構制御部は、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が前記第２所定量以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合に、前記切断機構によって前記粘着テープが切り離された前記原反ロールを前記テープ供給部から前記原反ロール保管部へ搬送させるように前記原反ロール搬送機構を制御するように構成され、 前記第１所定量は、前記第２所定量よりもテープ量が多い閾値として定められることが好ましい。

【0024】

（作用・効果）この構成によれば、繰り出し位置に移動している原反ロールが巻回している粘着テープの量に応じて原反ロール搬送機構、配置変更機構制御部、および準備処理機構を制御する。すなわち、繰り出し位置に移動しておりテープ処理部へ粘着テープを供給している原反ロールに巻回されている粘着テープの量が第１所定量以下になると、原反ロール保管部に保管されている原反ロールがテープ供給部における準備位置へと搬送されて準備処理が行われる。そして粘着テープを供給している原反ロールに巻回されている粘着テープの量が第２所定量以下になると、準備位置にある原反ロール保持部は繰り出し位置へ移動され、さらに切断機構によって粘着テープが切り離された原反ロールをテープ供給部から原反ロール保管部へ搬送させる。そして第１所定量は第２所定量よりもテープ量が多い閾値として定められる。そのため、原反ロールを繰り出し位置へ移動させて原反ロールの交換を行う前に、の原反ロールを準備位置に移動させて準備処理を行う動作が実行される。すなわち、使用済みの原反ロールから粘着テープを切り離して当該粘着テープを未使用の原反ロールに接合させるという原反ロールの交換操作に必要な時間をさらに短縮できる。そのため、半導体ワークに対する処理効率をさらに向上できる。

【0025】

また、上述した発明において、前記原反ロール保管部は、前記テープ供給部において前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから前記テープ処理部へ前記粘着テープを繰り出し供給する状態を維持しつつ、前記原反ロールを搬入できるように構成されていることが好ましい。

【0026】

（作用・効果）この構成によれば、テープ供給部において繰り出し位置に移動している原反ロールからテープ処理部へ粘着テープを繰り出し供給する状態を維持しつつ、原反ロールを原反ロール保管部へ搬入できるように構成される。この場合、原反ロールを新たに原反ロール保管部へ搬入させるたびにテープ処理部へ粘着テープを繰り出し供給する動作を停止させる必要がない。従って、半導体ワークに対する処理効率をさらに向上できる。

【0027】

また、上述した発明において、前記テープ回収部は、前記回収位置に移動している第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断機構と、前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更機構と、前記不要テープ切断機構によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合機構と、を備えることが好ましい。

【0028】

（作用・効果）この構成によれば、テープ回収部は不要テープ切断機構と回収部配置変更機構と、不要テープ切断機構とを備えている。これらの構成を備えることにより、テープ処理部から搬送されている不要テープを回収位置にある第１の巻き取り芯から切り離し、待機位置から回収位置へと配置された第２の巻き取り芯と接合させるという動作を迅速かつ自動的に実行できる。そのため、不要テープが蓄積して使用済みとなった第１の巻き取り芯から新たな第２の巻き取り芯へと交換させる工程をより高度に自動化できるので、作業者の負担を大きく低減できる。

【0029】

また、上述した発明において、前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量を検知する不要テープ検知部と、前記不要テープ検知部が検知する前記不要テープの量に応じて前記回収部配置変更機構の動作を制御する回収部配置変更制御部と、前記不要テープ検知部が検知する前記不要テープの量に応じて前記巻き取り芯搬送機構の動作を制御する巻き取り芯搬送制御部と、を備え、前記回収部配置変更制御部は、前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量が第３所定量以上であることを前記不要テープ検知部が検知した場合に、前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記回収位置へ移動させるように前記回収部配置変更機構を制御し、前記巻き取り芯搬送制御部は、前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量が前記第３所定量以上であることを前記不要テープ検知部が検知した場合に、前記不要テープ切断機構によって前記不要テープが切り離された第１の前記巻き取り芯を前記テープ回収部から前記巻き取り芯保管部へ搬送させるように前記巻き取り芯搬送機構を制御することが好ましい。

【0030】

（作用・効果）この構成によれば、回収位置に移動している巻き取り芯に巻き取られている不要テープの量を検知する不要テープ検知部を備えており、回収位置に移動している巻き取り芯に巻き取られている不要テープの量に応じて回収部配置変更機構および巻き取り芯搬送機構が制御される。すなわち、回収位置に移動している巻き取り芯に巻き取られている不要テープの量が第３所定量以上となった場合に、待機位置にある巻き取り芯保持部を回収位置へ移動させるとともに、不要テープ切断機構によって不要テープが切り離された巻き取り芯をテープ回収部から巻き取り芯保管部へ搬送させる。このような構成では巻き取り芯の交換を行うタイミングが、回収位置の巻き取り芯に巻き取られている不要テープの量に応じて適切に決定される。従って、巻き取り芯の交換に要する時間が長期化するという事態を回避できる。

【0031】

また、上述した発明において、前記巻き取り芯保管部は、前記テープ回収部において前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に前記不要テープが巻き取り回収される状態を維持しつつ、前記巻き取り芯を搬入できるように構成されていることが好ましい。

【0032】

（作用・効果）この構成によれば、テープ回収部において回収位置に移動している巻き取り芯が不要テープを巻き取り回収する状態を維持しつつ、巻き取り芯を巻き取り芯保管部へ新たに搬入できるように構成される。この場合、新たな巻き取り芯を巻き取り芯保管部へ搬入させるたびにテープ処理部からテープ回収部へと不要テープを搬送する動作を停止させる必要がない。従って、半導体ワークに対する処理効率をさらに向上できる。

【0033】

また、上述した発明において、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量を検知する繰り出しテープ量検知部、および前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量を検知する不要テープ検知部のうち少なくとも一方を備え、前記テープ供給部は、前記準備位置に移動している前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理機構と、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記原反ロールから切り離す切断機構と、前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更機構と、前記切断機構によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合機構と、前記原反ロール搬送機構の動作を制御するロール搬送機構制御部と、を有する原反ロール交換システムを備え、前記テープ回収部は、前記回収位置に移動している第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断機構と、前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更機構と、前記不要テープ切断機構によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと前記回収部配置変更機構によって前記回収位置へと移動した第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合機構と、前記巻き取り芯搬送機構の動作を制御する巻き取り芯搬送制御部と、を有する巻き取り芯交換システムを備え、前記原反ロール交換システムおよび前記巻き取り芯交換システムは、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールが巻回している前記粘着テープの量が第１の閾値以下であることを前記繰り出しテープ量検知部が検知した場合、または前記回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている前記不要テープの量が第２の閾値以上であることを前記不要テープ検知部が検知した場合に動作を開始するように制御されることが好ましい。

【0034】

（作用・効果）この構成によれば、繰り出し位置に移動している原反ロールが巻回している粘着テープの量を検知する繰り出しテープ量検知部、および回収位置に移動している前記巻き取り芯に巻き取られている不要テープの量を検知する不要テープ検知部のうち少なくとも一方を備えている。そして、テープ供給部が有している原反ロール交換システムおよびテープ回収部が有している巻き取り芯交換システムは、繰り出しテープ量検知部が検知する粘着テープの量または不要テープ検知部が検知する不要テープの量に応じて、動作を開始するように制御されている。

【0035】

すなわち繰り出し位置に移動している原反ロールが巻回している粘着テープの量が第１の閾値以下になった場合、または不要テープ検知部が検知する不要テープの量が第２の閾値以上になった場合、テープ供給部において原反ロール交換システムによる原反ロールの交換工程が開始されるとともにテープ回収部において巻き取り芯交換システムによる巻き取り芯の交換工程が開始される。

【0036】

このような構成では原反ロールを交換するタイミングと巻き取り芯を交換するタイミングとの両方を、繰り出し位置にある原反ロールに巻回されている粘着テープの量または回収位置にある巻き取り芯に巻き取り回収されている不要テープの量に応じて適切に決定できる。従って、交換のタイミングが早すぎて原反ロールおよび巻き取り芯の交換頻度が増大する事態を回避できる。また、交換のタイミングが遅すぎることによって、原反ロールの粘着テープが枯渇してテープ処理工程に支障をきたす事態または巻き取り芯が不要テープを回収しきれなくなってテープ処理工程に支障をきたすという事態が発生することを回避できる。

【0037】

さらにこのような構成では、所定の条件を満たすことによって、テープ供給部における原反ロールの交換工程とテープ回収部における巻き取り芯の交換工程とを同期的に行われる。そのため、粘着テープ処理装置における制御を単純化できる。また、２つの交換工程を同期的に行うため、交換工程を行う頻度を低減できる。その結果、交換工程を行う際にテープ処理工程を停止させる頻度が低減されるので、粘着テープ処理装置の処理効率をさらに向上できる。

【0038】

また、上述した発明において、操作者の指示を入力する入力部を備え、前記テープ供給部は、前記準備位置に移動している前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理機構と、前記繰り出し位置に移動している前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記原反ロールから切り離す切断機構と、前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更機構と、前記切断機構によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合機構と、 前記原反ロール搬送機構の動作を制御するロール搬送機構制御部と、を有する原反ロール交換システムを備え、前記テープ回収部は、前記回収位置に移動している第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断機構と、前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更機構と、前記不要テープ切断機構によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと前記回収部配置変更機構によって前記回収位置へと移動した第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合機構と、前記巻き取り芯搬送機構の動作を制御する巻き取り芯搬送制御部と、を有する巻き取り芯交換システムを備え、前記原反ロール交換システムは、前記原反ロールの交換を開始する指示が前記入力部に入力されることによって動作を開始するように制御され、前記巻き取り芯交換システムは、前記巻き取り芯の交換を開始する指示が前記入力部に入力されることによって動作を開始するように制御されることが好ましい。

【0039】

（作用・効果）この構成によれば、操作者の指示を入力する入力部を備えている。そして、テープ供給部が有している原反ロール交換システムは、原反ロールの交換を開始する指示が前記入力部に入力されることによって動作を開始するように制御される。またテープ回収部が有している巻き取り芯交換システムは、巻き取り芯の交換を開始する指示が前記入力部に入力されることによって動作を開始するように制御される。

【0040】

このような構成では、原反ロールを交換するタイミングと巻き取り芯を交換するタイミングとの各々は、入力部を手動で操作することによって適切に決定できる。従って、交換のタイミングが早すぎて原反ロールおよび巻き取り芯の交換頻度が増大する事態を回避できる。また、交換のタイミングが遅すぎることによって、原反ロールの粘着テープが枯渇してテープ処理工程に支障をきたす事態または巻き取り芯が不要テープを回収しきれなくなってテープ処理工程に支障をきたすという事態が発生することを回避できる。

【0041】

また、上述した発明において、前記原反ロール保管部、前記テープ供給部、前記テープ処理部、前記テープ回収部、および前記巻き取り芯保管部が順に並ぶように配設されており、前記原反ロール搬送機構は、前記原反ロール保管部および前記テープ供給部の各々に隣接する位置に配置されており、前記巻き取り芯搬送機構は、前記テープ回収部および前記巻き取り芯保管部の各々に隣接する位置に配置されていることが好ましい。

【0042】

（作用・効果）この構成によれば、原反ロール保管部、テープ供給部、テープ処理部、テープ回収部、および巻き取り芯保管部の順に並列配置されている。これらの構成は、半導体ワークに対して粘着テープで所定の処理を行う工程の順に沿って配設されているので、テープ処理装置の構成が複雑化することを回避できる。また、原反ロール搬送機構は原反ロール保管部およびテープ供給部の各々に隣接する位置に配置されているので、原反ロール保管部およびテープ供給部の間で原反ロールを搬送する動作をより迅速に実行できる。さらに、巻き取り芯搬送機構はテープ回収部および巻き取り芯保管部の各々に隣接する位置に配置されているので、テープ回収部および巻き取り芯保管部の間で巻き取り芯を搬送する動作をより迅速に実行できる。従って、半導体ワークに対する処理効率をさらに向上できる。

【0043】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、粘着テープの原反ロールを保持する原反ロール保持部を複数備え、前記原反ロール保持部のうち繰り出し位置に移動している前記原反ロール保持部に保持されている前記原反ロールから 前記粘着テープを繰り出させるテープ供給部と、前記テープ供給部から繰り出された前記粘着テープを用いて半導体ワークに対する所定の処理を行うテープ処理部と、前記原反ロールを保管する原反ロール保管部と、前記テープ供給部に設けられている準備位置に移動している前記原反ロール保持部と前記原反ロール保管部との間で前記原反ロールを搬送する原反ロール搬送機構と、を備える半導体ワークのテープ処理装置において前記粘着テープの原反ロールを交換させる半導体ワーク用のテープ交換方法であって、
前記原反ロール搬送機構を用いて、前記原反ロール保管部に保管されている前記原反ロールを前記準備位置にある前記原反ロール保持部に搬送させる未使用ロール搬送過程と、
前記準備位置にある前記原反ロールに対し、前記粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う準備処理過程と、
前記繰り出し位置にある前記原反ロールから繰り出されている前記粘着テープを切断して前記繰り出し位置にある前記原反ロールから切り離す切断過程と、
前記準備処理が行われた前記原反ロールを保持している前記原反ロール保持部を前記準備位置から前記繰り出し位置へと移動させる配置変更過程と、
前記切断過程によって前記原反ロールから切り離された前記粘着テープと前記準備処理が行われて前記繰り出し位置へ移動した前記原反ロールとを接合させるテープ接合過程と、
前記切断過程によって前記粘着テープから切り離された前記原反ロールを前記原反ロール搬送機構によって前記原反ロール保管部へ搬送させる使用済ロール搬送過程と、
を備えることを特徴とするものである。

【0044】

（作用・効果）この構成によれば、テープ供給部の繰り出し位置にある原反ロールからテープ処理部へ粘着テープを繰り出し供給し、テープ処理部において半導体ワークに対して所定の処理を行う構成において、使用済みとなった粘着テープの原反ロールを新たな原反ロールへ交換する工程を好適に実行できる。すなわち原反ロールの交換工程は、原反ロール搬送過程と準備処理過程と切断過程と配置変更過程とテープ接合過程と使用済ロール搬送過程とを備えている。原反ロール搬送過程では、原反ロール保管部に保管されている原反ロールを、テープ供給部の準備位置にある原反ロール保持部に搬送させる。当該搬送は原反ロール搬送機構を用いて自動で行われるので、作業者の負担を低減できる。

【0045】

準備処理過程では、準備位置にある原反ロールに対し、粘着テープの一部を繰り出させるとともに前記粘着テープの接合に備えるための準備処理を行う。未使用の原反ロールは、準備位置に移動している時点で予め準備処理を受けることにより、繰り出し位置に移動している原反ロールが使用済みとなって新たに未使用の原反ロールに交換する場合、繰り出し位置にある使用済みの原反ロールから切り離された粘着テープと準備処理が完了した未使用の原反ロールとを新たに接合させる接合過程を迅速に完了できる。そのため、未使用の原反ロールから新たに粘着テープを繰り出し供給して半導体ワークに所定の処理を行う操作を迅速に再開できるので、半導体ワークに対する処理効率を向上できる。

【0046】

使用済ロール搬送過程では、切断過程によって粘着テープから切り離された原反ロールを原反ロール搬送機構によって原反ロール保管部へ搬送させる。使用済みの原反ロールを原反ロール保管部へ搬送させる動作は原反ロール搬送機構を用いて自動で行われるので、作業者の負担を低減できる。

【0047】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、粘着テープを用いて半導体ワークに対する所定の処理を行うテープ処理部と、前記所定の処理が行われた後の不要な部分の前記粘着テープである不要テープを巻き取り可能な巻き取り芯を保持する巻き取り芯保持部を複数備え、前記巻き取り芯保持部のうち回収位置に移動している前記巻き取り芯保持部に保持されている前記巻き取り芯に前記不要テープをロール状に巻き取って回収させるテープ回収部と、前記巻き取り芯を保管する巻き取り芯保管部と、前記テープ回収部に設けられている待機位置に移動している前記巻き取り芯保持部と前記巻き取り芯保管部との間で前記巻き取り芯を搬送可能な巻き取り芯搬送機構と、を備える半導体ワークのテープ処理装置において前記不要テープを巻き取り可能な前記巻き取り芯を交換させる半導体ワーク用のテープ交換方法であって、
前記回収位置にある第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている前記不要テープを切断して第１の前記巻き取り芯から切り離す不要テープ切断過程と、
前記巻き取り芯搬送機構を用いて、前記巻き取り芯保管部に保管されている第２の前記巻き取り芯を前記待機位置にある前記巻き取り芯保持部に搬送させる巻き取り芯搬送過程と、
前記待機位置にあり第２の前記巻き取り芯を保持している前記巻き取り芯保持部を前記待機位置から前記回収位置へと移動させ、第２の前記巻き取り芯を新たに前記回収位置へと配置させる回収部配置変更過程と、
前記不要テープ切断過程によって第１の前記巻き取り芯から切り離された前記不要テープと第２の前記巻き取り芯とを接合させる不要テープ接合過程と、
前記不要テープ切断過程によって前記不要テープから切り離された第１の前記巻き取り芯を前記巻き取り芯搬送機構によって前記巻き取り芯保管部へ搬送させる使用済巻き取り芯搬送過程と、
を備えることを特徴とするものである。

【0048】

（作用・効果）この構成によれば、テープ処理部において半導体ワークに対して所定の処理を行い、当該所定の処理が行われた後の不要な部分の粘着テープである不要テープを巻き取り芯に巻き取り回収する構成において、不要テープが十分に巻き取られて使用済みとなった巻き取り芯を新たな巻き取り芯へ交換する工程を好適に実行できる。すなわち巻き取り芯の交換工程は、不要テープ切断過程と巻き取り芯搬送過程と回収部配置変更過程と不要テープ接合過程と使用済巻き取り芯搬送過程とを備えている。巻き取り芯搬送過程では、巻き取り芯保管部に保管されている新たな巻き取り芯を、テープ回収部の待機位置にある巻き取り芯保持部に搬送させる。当該搬送は巻き取り芯搬送機構を用いて自動で行われるので、作業者の負担を低減できる。

【0049】

不要テープ切断過程では、回収位置にある第１の前記巻き取り芯へ繰り出されている不要テープを切断して第１の前記巻き取り芯から切り離す。回収部配置変更過程では、不要テープ接合過程では、新たな巻き取り芯すなわち第２の巻き取り芯を待機位置から回収位置へと移動させる。そして不要テープ接合過程では、第１の巻き取り芯から切り離された不要テープと第２の巻き取り芯とを接合させる。これらの工程は自動で行われるので、使用済みの巻き取り芯から不要テープを切り離して新たな巻き取り芯に接合させるという複雑な動作を作業者が手動で行う必要がない。よって粘着テープ処理装置の作業効率を向上させると共に作業者の負担をさらに低減できる。

【0050】

使用済巻き取り芯搬送過程では、不要テープ切断過程によって不要テープから切り離された第１の巻き取り芯を巻き取り芯搬送機構によって巻き取り芯保管部へ搬送させる。当該搬送は巻き取り芯搬送機構を用いて自動で行われるので、作業者の負担をさらに低減できる。

【発明の効果】

【0051】

本発明に係る半導体ワーク用のテープ処理装置および半導体ワーク用のテープ交換方法によれば、テープ供給部とテープ処理部とテープ回収部に加えて、原反ロール保管部と巻き取り芯保管部と原反ロール搬送機構と巻き取り芯搬送機構とを備えている。テープ供給部には、粘着テープの原反ロールを保持する原反ロール保持部が複数備えられている。また、テープ供給部には繰り出し位置と準備位置とが存在している。そしてテープ供給部に備えられている原反ロール保持部のうち、繰り出し位置に移動している原反ロール保持部に保持されている原反ロールから、粘着テープをテープ処理部へ繰り出し供給するように構成されている。そのため、テープ供給部からテープ処理部へと粘着テープを供給する機構は、原反ロール保持部の各々に対して配設される必要がなく、繰り出し位置に移動している原反ロール保持部に対して配設すればよい。よって、テープ供給部からテープ処理部へと粘着テープを供給するために必要な部品の数を低減できるので、半導体ワークのテープ処理装置の構成をより単純化できる。

【0052】

そしてテープ供給部に備えられている原反ロール保持部のうち、準備位置に移動している原反ロール保持部に対して、原反ロール搬送機構は原反ロール保管部から原反ロールを搬送するように構成されている。そのため、繰り出し位置に移動している原反ロールから粘着テープをテープ処理部へ供給して半導体ワークに対して所定の処理を行う動作を継続させつつ、原反ロール保管部からテープ供給部へと未使用の原反ロールを補充できる。すなわち原反ロール保管部からテープ供給部へと未使用の原反ロールを補充する際に半導体ワークに対する処理操作を停止させる必要がないので、ワークに対する処理効率を向上できる。また、原反ロール保管部からテープ供給部へと未使用の原反ロールを補充する操作は原反ロール搬送機構によって自動的に行うことができるので、作業者による労力を低減できる。

【0053】

また、テープ回収部には回収位置と待機位置とが存在している。そしてテープ回収部に備えられている巻き取り芯保持部のうち、回収位置に移動している巻き取り芯保持部に保持されている巻き取り芯に対して、テープ処理部から送り出されている不要テープを巻き取り回収するように構成されている。そのため、テープ処理部からテープ回収部へと粘着テープを送り出す機構は、巻き取り芯保持部の各々に対して配設される必要がなく、回収位置に移動している巻き取り芯保持部に対して配設すればよい。よって、テープ処理部からテープ回収部へと不要テープを送り出すために必要な部品の数を低減できるので、半導体ワークのテープ処理装置の構成をより単純化できる。

【0054】

そしてテープ回収部に備えられている巻き取り芯保持部のうち、待機位置に移動している巻き取り芯保持部に対して、巻き取り芯搬送機構は巻き取り芯保管部から未使用の巻き取り芯を搬送するように構成されている。そのため、回収位置に移動している巻き取り芯に対して、半導体ワークに対する所定処理が行われた後の不要テープを巻き付けて回収する動作を継続させつつ、巻き取り芯保管部からテープ回収部へと未使用の巻き取り芯を補充できる。すなわち巻き取り芯保管部からテープ回収部へと未使用の巻き取り芯を補充する際に半導体ワークに対する処理操作を停止させる必要がないので、ワークに対する処理効率を向上できる。また、巻き取り芯保管部からテープ回収部へと未使用の巻き取り芯を補充する操作は巻き取り芯搬送機構によって自動的に行うことができるので、作業者による労力をさらに低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0055】

【図1】実施例に係る半導体ウエハのテープ処理装置の基本構成を示す正面図である。

【図2】実施例に係る半導体ウエハのテープ処理装置の一部構成を示す斜視図である。

【図3】実施例に係る半導体ウエハのテープ処理装置の一部構成を示す斜視図である。

【図4】実施例に係る原反ロール保管部の構成を示す正面図である。

【図5】実施例に係る待機状態の原反ロールの構成を示す図である。（ａ）は待機状態となっている原反ロールの斜視図であり、（ｂ）は待機状態となっている原反ロールの正面図である。

【図6】実施例に係るテープ供給部の全体構成を示す正面図である。

【図7】実施例に係るテープ保持ユニットおよびテープ切断機構の構成を示す正面図である。

【図8】実施例に係るテープ接合機構の動作を説明する正面図である。

【図9】実施例に係るテープ貼付け部の構成を説明する正面図である。

【図10】実施例に係るテープ回収部の全体構成を説明する正面図である。

【図11】実施例に係るテープ回収部の要部を説明する正面図である。

【図12】実施例に係る巻き取り芯保管部の構成を説明する正面図である。

【図13】実施例に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）は粘着テープ貼付け装置の基本的な工程であるステップＳ１～Ｓ５を示すフローチャートであり、（ｂ）は原反ロールまたは巻き取り芯の装填量に応じてステップＳ６～Ｓ８を適宜行う工程を示すフローチャートである。

【図14】実施例に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）はステップＳ６に係る動作を示すフローチャートであり、（ｂ）はステップＳ７に係る動作を示すフローチャートであり、（ｃ）はステップＳ８に係る動作を示すフローチャートである。

【図15】実施例に係るステップＳ２を説明する図である。

【図16】実施例に係るステップＳ３を説明する図である。

【図17】実施例に係るステップＳ４を説明する図である。

【図18】実施例に係る準備状態の原反ロールの構成を示す図である。（ａ）は準備状態となっている原反ロールの斜視図であり、（ｂ）は準備状態となっている原反ロールの正面図である。

【図19】実施例に係るステップＳ６－１を説明する正面図である。

【図20】実施例に係るステップＳ６－２を説明する正面図である。

【図21】実施例に係るステップＳ６－３を説明する正面図である。

【図22】実施例に係るステップＳ６－４を説明する正面図である。

【図23】実施例に係るステップＳ６－５を説明する正面図である。

【図24】実施例に係るステップＳ７－２を説明する正面図である。（ａ）は粘着テープを切断する前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着テープを切断した後の状態を示す図である。

【図25】実施例に係るステップＳ７－３を説明する正面図である。

【図26】実施例に係るステップＳ７－３が完了した時点における、テープ供給部の構成を説明する正面図である。

【図27】実施例に係るステップＳ７－４が完了した時点における、テープ供給部の構成を説明する正面図である。

【図28】実施例に係るステップＳ７－５を説明する正面図である。（ａ）は粘着テープを接合する前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着テープを接合した後の状態を示す図である。

【図29】実施例に係るステップＳ７－７を説明する斜視図である。

【図30】実施例に係るステップＳ７－７を説明する斜視図である。

【図31】実施例に係るステップＳ７－７を説明する斜視図である。

【図32】実施例に係るステップＳ７－８を説明する斜視図である。

【図33】実施例に係るステップＳ７－８を説明する斜視図である。

【図34】実施例に係るステップＳ８を説明する正面図である。（ａ）は、回収位置に配置される巻き取り芯が未使用状態である構成を示す図であり、（ｂ）は回収位置に配置される巻き取り芯が使用済みになった状態を示す図である。

【図35】実施例に係るステップＳ８－２を説明する正面図である。（ａ）は回転プレートを９０°回転させた状態を示す図であり、（ｂ）は回転プレートを１８０°回転させた状態を示す図である。

【図36】実施例に係るステップＳ８－３を説明する正面図である。（ａ）は不要テープを切断する前の状態を示す図であり、（ｂ）は不要テープを切断した後の状態を示す図である。

【図37】実施例に係るステップＳ８－４を説明する正面図である。

【図38】実施例に係るステップＳ８－４が完了した状態のテープ回収部を説明する正面図である。

【図39】実施例に係るステップＳ８－６を説明する斜視図である。

【図40】実施例に係るステップＳ８－６を説明する斜視図である。

【図41】実施例に係るステップＳ８－７を説明する斜視図である。

【図42】従来例に係る粘着テープ貼付け装置の構成を説明する図である。

【図43】実施例に係る構成を説明する図である。（ａ）は剥離バーの構成を説明する斜視図であり、（ｂ）は剥離バーを用いる粘着テープから剥離ライナーを剥離させる状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0056】

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。実施例に係る半導体ワーク用のテープ処理装置として、ウエハＷに対して回路保護用の粘着テープＴを貼り付ける処理を行う、粘着テープ貼付け装置１を例にとって説明する。ウエハＷは本発明における半導体ワークに相当する。なお粘着テープ貼付け装置１を示す図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては適宜、図示を省略している。

【0057】

＜全体構成の概要＞
図１は粘着テープ貼付け装置１の正面図である。なお、以後の説明において、平面視で矩形状となっている粘着テープ貼付け装置１の長手方向を左右方向（ｘ方向）、これと直交する水平方向を前後方向（ｙ方向）と呼称する。また鉛直方向をｚ方向とする。図１に示すように、粘着テープ貼付け装置１は原反ロール保管部２と、テープ供給部３と、テープ貼付け部４と、テープ回収部５と、巻き取り芯保管部６とを備えている。本実施例において、原反ロール保管部２、テープ供給部３、テープ貼付け部４、テープ回収部５、および巻き取り芯保管部６は、この順に右側から左側へ向かってｘ方向に並列配置されている。

【0058】

原反ロール保管部２は、剥離ライナーＳ（セパレータＳ）が添設されている帯状の粘着テープＴが巻回されている原反ロール１１と、粘着テープＴから剥離された帯状の剥離ライナーＳを巻き取るライナーボビン１３とを保管する。なお以降において、剥離ライナーＳが添接された状態となっている粘着テープＴを、テープＴＳとする。すなわち原反ロール１１は、供給用ボビンにテープＴＳがロール状に巻回された構成となっている。テープ供給部３は、原反ロール１１から粘着テープＴを繰り出させ、当該粘着テープＴをテープ貼付け部４へ供給する。テープ貼付け部４は、ウエハＷの回路面に粘着テープＴを貼り付ける処理を行った後、粘着テープＴをウエハＷの形状に沿って切り抜く処理を行う。テープ貼付け部４は、本発明におけるテープ処理部に相当する。

【0059】

なお、本実施例において「上流」および「下流」とはテープＴＳの繰り出し方向に沿うものとして定義される。すなわち「上流」とはテープＴＳの繰り出し方向において、後述するテープ供給部３に近い側を意味するものとする。また粘着テープＴは、非粘着性の基材と、粘着性を有する粘着層とが積層された構成を備えている。剥離ライナーＳを構成する材料としては、熱接着による接合を可能とする材料であることがより好ましい。

【0060】

テープ回収部５は図１および図３に示すように、テープ貼付け部４から搬送される不要テープＴｎを巻き取り芯１５に巻き取って回収する。なお本実施例において不要テープＴｎとは、粘着テープＴを貼り付ける処理が行われた後の不要な部分の粘着テープＴを意味する。巻き取り芯保管部６は、不要テープＴｎの巻き取り回収に用いられる巻き取り芯１５を保管する。

【0061】

また図２および図３に示すように、粘着テープ貼付け装置１は原反ロール搬送機構７と巻き取り芯搬送機構８とを備えている。原反ロール搬送機構７は、原反ロール保管部２とテープ供給部３との間で原反ロール１１を搬送する。原反ロール搬送機構７は図２に示すように、原反ロール保管部２およびテープ供給部３にわたって隣接する位置に配置されている。実施例において原反ロール搬送機構７は、原反ロール保管部２の前方の領域とテープ供給部３の前方の領域とにわたって、ｘ方向へスライド移動できるように構成されている。なお本実施例では粘着テープＴの粘着面に剥離ライナーＳが添設されているテープＴＳが原反ロール１１に巻回されている。そのため本実施例において、原反ロール搬送機構７は原反ロール保管部２とテープ供給部３との間で、原反ロール１１に加えてライナーボビン１３を搬送する。

【0062】

巻き取り芯搬送機構８は、テープ回収部５と巻き取り芯保管部６との間で巻き取り芯１５を搬送する。巻き取り芯搬送機構８は図３に示すように、テープ回収部５および巻き取り芯保管部６にわたって隣接する位置に配置されている。実施例において巻き取り芯搬送機構８は、テープ回収部５の前方の領域と巻き取り芯保管部６の前方の領域とにわたって、ｘ方向へスライド移動できるように構成されている。

【0063】

粘着テープ貼付け装置１は図１ないし図３に示すように、さらに制御部９と入力部１０とを備えている。制御部９はＣＰＵ（中央演算処理装置）などを備えており、粘着テープ貼付け装置１に設けられている構成の各々について、各種動作などを統括制御する。入力部１０の例としてはコンソールパネルやキーボードなどが挙げられ、オペレータは入力部１０を用いて各種指示を入力する。入力部１０に入力された指示内容は制御部９に送信され、制御部９は当該指示に沿って各種制御を行うことができる。

【0064】

＜原反ロール保管部の構成＞
ここで、原反ロール保管部２の詳細について説明する。原反ロール保管部２は図２および図４に示すように、縦壁１７と、原反ロール支持軸１９と、ボビン支持軸２１とを備えている。原反ロール支持軸１９は、未使用の原反ロール１１または使用済みの原反ロール１１を支持して保管する。

【0065】

本実施例において未使用の原反ロール１１とは、テープ貼付け部４に対する粘着テープＴの供給動作に使用される前の原反ロール１１を意味する。言い換えると、巻回されている粘着テープＴがテープ貼付け部４に対して未だ繰り出されていない状態の原反ロール１１を意味する。一例として、装填されているテープＴＳが未だ繰り出されていない状態の原反ロール１１が、未使用の原反ロール１１に相当する。なお、未使用の原反ロール１１は、新品状態の原反ロール１１に限ることはなく、粘着テープ貼付け装置１以外の粘着テープ処理装置などにおいて一定量の粘着テープＴが使用された状態の原反ロール１１を含むものとする。

【0066】

そして、本実施例において使用済みの原反ロール１１とは、テープ貼付け部４に対する粘着テープＴの供給動作に使用された後の原反ロール１１を意味する。使用済みの原反ロール１１の一例として、装填されている粘着テープＴの量が所定の許容値以下となり、これ以上は粘着テープＴの供給に用いることが困難な状態となっている原反ロール１１が挙げられる。すなわち原反ロール保管部２は、粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける操作に使用される前の原反ロール１１（未使用の原反ロール１１）を保管するとともに、粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける操作に使用された後の原反ロール１１（使用済みの原反ロール１１）を保管するように構成されている。

【0067】

原反ロール支持軸１９は、縦壁１７の前面から前方へ突出するように配設されている。実施例では５つの原反ロール支持軸１９がｚ方向に並列配置されている。原反ロール支持軸１９の外径は、原反ロール１１における供給ボビンの中心部に形成されている孔部１４の内径より僅かに小さくなるように構成されている。すなわち図５などに示されている供給ボビンの中心軸に沿って形成されている孔部１４を原反ロール支持軸１９に嵌合させることにより、原反ロール１１は原反ロール支持軸１９によって安定に支持される。

【0068】

図５（ａ）は、原反ロール保管部２に保管されている、テープ供給部３において使用される前の状態の原反ロール１１を示す斜視図である。図５（ｂ）は、当該原反ロール１１の正面図である。実施例において、原反ロール１１には２本のガイド軸２３が付設されている。原反ロール保管部２に未使用の原反ロール１１を保管する場合、当該原反ロール１１からは図４に示すように所定量のテープＴＳが引き出され、引き出されたテープＴＳはガイド軸２３に案内されて下向きに延びる姿勢で保持される。そしてテープＴＳの先端部における所定長さＬの範囲において、粘着テープＴは予め幅方向にわたって除去されており剥離ライナーＳが露出された状態となっている。先端部において剥離ライナーＳが露出されている領域は、後述するステップＳ６に係る工程において未使用状態のライナーボビン１３と接合される。

【0069】

図５の各図に示される状態において、未使用の原反ロール１１に装填されている粘着テープＴは、粘着面の全長にわたって剥離ライナーＳが添設されている。そのため原反ロール保管部２に原反ロール１１を長時間にわたって保管させる場合であっても、粘着テープＴの粘着面は剥離ライナーＳによって保護されているので粘着テープＴの粘着性などが劣化することを回避できる。図５（ａ）および図５（ｂ）に示されるような原反ロール１１の状態、すなわち粘着テープＴの全長にわたって剥離ライナーＳに保護されている原反ロール１１の状態を「待機状態」とし、後述する「準備状態」と区別する。なお、待機状態となっている原反ロール１１の先端部において剥離ライナーＳが露出されている領域を、ライナー先端部Ｓａとする。

【0070】

ボビン支持軸２１は、未使用のライナーボビン１３または使用済みのライナーボビン１３を支持して保管する。本実施例において未使用のライナーボビン１３は、テープ貼付け部４に対する粘着テープＴの供給動作に使用される前のライナーボビン１３を意味する。一例として、剥離ライナーＳが巻回されていない状態のライナーボビン１３が、未使用のライナーボビン１３に相当する。また本実施例において、使用済みのライナーボビン１３は、テープ貼付け部４に対する粘着テープＴの供給動作に使用され、剥離ライナーＳが巻回された状態のライナーボビン１３を意味する。ボビン支持軸２１は、縦壁１７の前面から前方へ突出するように配設されている。実施例では、ライナーボビン１３の中心軸に沿って形成されている孔部１６をボビン支持軸２１に嵌合させることにより、ライナーボビン１３はボビン支持軸２１によって安定に支持される。

【0071】

実施例では５つのボビン支持軸２１がｚ方向に並列配置されており、各々のボビン支持軸２１は原反ロール支持軸１９とｘ方向に並ぶように配置されている。一例として同時に使用される原反ロール１１およびライナーボビン１３は、それぞれ同じ高さに配設されている原反ロール支持軸１９とボビン支持軸２１とに支持させて保管する。図１および図２において、５つの原反ロール支持軸１９のうち最上段に配置されている原反ロール支持軸１９には、使用済みの原反ロール１１が支持されている。そして５つの原反ロール支持軸１９のうち上から３段目、４段目、および５段目に配置されている原反ロール支持軸１９には、未使用の原反ロール１１が支持されている。なお、上から２段目に配置されている原反ロール支持軸１９には原反ロール１１が支持されていない状態となっている。

【0072】

一方、５つのボビン支持軸２１のうち最上段に配置されているボビン支持軸２１には、使用済みのライナーボビン１３が支持されている。そして５つのボビン支持軸２１のうち上から３段目、４段目、および５段目に配置されているボビン支持軸２１には、未使用のライナーボビン１３が支持されている。上から２段目に配置されているボビン支持軸２１は、ライナーボビン１３が支持されていない状態となっている。

【0073】

＜テープ供給部の構成＞
テープ供給部３は図６などに示すように、複数のテープ保持ユニット２５と、テープ切断機構２７と、案内ローラ２９と、接合テープ作成機構３１と、テープ量検知センサ３２と、ライナー切断機構５４とを備えている。テープ保持ユニット２５は、原反ロール１１およびライナーボビン１３を保持するとともに、原反ロール１１に巻回されているテープＴＳから剥離ライナーＳを剥離させる構成を備えている。

【0074】

テープ保持ユニット２５の各々は、原反ロール１１を保持する。本実施例において、テープ供給部３は全体として２つのテープ保持ユニット２５、すなわち第１のテープ保持ユニット２５Ａと第２のテープ保持ユニット２５Ｂとを備えているものとする。なおテープ保持ユニット２５に配設されている各構成について、テープ保持ユニット２５Ａに配設されている構成は符号Ａを付すとともに、テープ保持ユニット２５Ｂに配設されている各構成については符号Ｂを付して両者を区別する。一例として図６に示すように、テープ供給部３が備える２つのテープ接合機構３７のうち、第１のテープ保持ユニット２５Ａに設けられている一方については、テープ接合機構３７Ａと表記することによって特定される。そして第２のテープ保持ユニット２５Ｂに配設される他方についてはテープ接合機構３７Ｂと表記する。テープ保持ユニット２５は本発明における原反ロール保持部に相当する。

【0075】

テープ供給部３には、繰り出し位置Ｇ１と準備位置Ｇ２とが設けられており、テープ保持ユニット２５の各々は繰り出し位置Ｇ１と準備位置Ｇ２との間で相互に移動可能となるように構成されている。テープ供給部３は、複数のテープ保持ユニット２５のうち繰り出し位置Ｇ１に移動しているテープ保持ユニット２５に保持されている原反ロール１１から、粘着テープＴをテープ貼付け部４へと供給可能に構成されている。図６ではテープ供給ユニット２５Ａが繰り出し位置Ｇ１に移動しており、テープ供給ユニット２５Ｂが準備位置Ｇ２に移動している状態を示している。この状態では、テープ保持ユニット２５Ａに保持されている原反ロール１１から粘着テープＴをテープ貼付け部４へ繰り出し供給可能となる。

【0076】

なお、テープ供給ユニット２５Ｂが繰り出し位置Ｇ１に移動する場合はテープ供給ユニット２５Ａが準備位置Ｇ２へ同期的に移動する。この場合、テープ保持ユニット２５Ｂに保持されている原反ロール１１から粘着テープＴをテープ貼付け部４へ繰り出し供給可能となる。以下、繰り出し位置Ｇ１に移動しているテープ供給ユニット２５に保持されており、粘着テープＴをテープ貼付け部４へ供給可能な状態となっている原反ロール１１を「稼働中の原反ロール１１」とする。

【0077】

図７は、テープ供給ユニット２５およびテープ切断ユニット２７の構成を示している。テープ供給ユニット２５は、可動壁３３と、原反ロール支持軸３４と、ボビン支持軸３５と、ライナー案内ローラ３６と、テープ接合機構３７と、ライナー剥離ローラ４０とを備えている。可動壁３３はｘｚ面に拡がる縦壁であり、実施例ではｙ方向およびｚ方向に移動可能となるように構成されている。

【0078】

可動壁３３が適宜移動することによりテープ供給ユニット２５が全体として移動する。一例としてテープ供給ユニット２５Ａが備える可動壁３３Ａが繰り出し位置Ｇ１からｙ方向に後退することで、テープ供給ユニット２５Ｂが備える可動壁３３Ｂはｚ方向に上昇して準備位置Ｇ２から繰り出し位置Ｇ１へと移動可能となる。一方、後方へ移動していた可動壁３３Ａがｚ方向に下降するとともにｙ方向に前進することで、テープ供給ユニット２５Ａは繰り出し位置Ｇ１から準備位置Ｇ２へと移動できる。

【0079】

原反ロール支持軸３４は一例として円柱状の軸であり、原反ロール１１を支持する。原反ロール支持軸３４は、可動壁３３の前面から前方へ突出するように立設されている。原反ロール１１の孔部１４を原反ロール支持軸３４に嵌合させることにより、テープ供給ユニット２５は原反ロール１１を安定に保持する。ボビン支持軸３５は、ライナーボビン１３を支持するものであり、原反ロール支持軸３４の下方に配置されている。ボビン支持軸３５は、可動壁３３の前面から前方へ突出するように立設されている。ライナーボビン１３の孔部１６をボビン支持軸３５に嵌合させることにより、テープ供給ユニット２５はライナーボビン１３を安定に保持する。

【0080】

なお図７は原反ロール１１およびライナーボビン１３がテープ供給ユニット２５に保持されていない状態を示している。すなわち図７に示されるテープ供給ユニット２５では、原反ロール支持軸３４およびボビン支持軸３５が前方から視認できる状態となっている。一方、図１および図２では、原反ロール１１およびライナーボビン１３がテープ供給ユニット２５に保持されている状態を示している。図２に示す斜視図では説明の便宜上、テープ接合機構３７およびライナー切断機構５４などの記載を適宜省略している。

【0081】

ライナー案内ローラ３６は、可動壁３３において原反ロール支持軸３４の左下方に配設されている。ライナー案内ローラ３６は、原反ロール支持軸３４に支持されている原反ロール１１のテープＴＳから剥離された剥離ライナーＳを巻回し、ボビン支持軸３５に支持されているライナーボビン１３へと案内する。ライナー案内ローラ３６は図７に示すように、ｚ方向に延伸する昇降レール３８に沿って上下方向（ｚ方向）に往復移動可能となるよう構成されている。

【0082】

ライナー案内ローラ３６は、昇降レール３８に沿って上昇することで案内位置Ｈ１へ移動し、昇降レール３８に沿って下降することで退避位置Ｈ２へ移動できる。ライナー案内ローラ３６は案内位置Ｈ１へ移動することにより、剥離ライナーＳをライナーボビン１３へと案内できる。ライナー案内ローラ３６が退避位置Ｈ２へ移動することにより、後述するようにテープ接合機構３７は剥離ライナーＳをライナーボビン１３に接合させることができる。

【0083】

テープ接合機構３７は、上下昇降台３９と、粘着テープ保持部材４１と、接合テープ保持部材４３とを備えている。上下昇降台３９は、ｚ方向に延伸する昇降レール４４に沿ってｚ方向に昇降移動可能に構成される。粘着テープ保持部材４１は一例として板状の部材であり、伸縮アーム４５を介して上下昇降台３９に接続されている。すなわち上下昇降台３９の昇降移動によって、粘着テープ保持部材４１はｚ方向に移動可能となるように構成されている。

【0084】

伸縮アーム４５はｘ方向に伸縮可能に構成されており、当該伸縮によって粘着テープ保持部材４１をｘ方向へ往復移動させる。図８に示すように、伸縮アーム４５が伸長することによって粘着テープ保持部材４１は点線で示す初期位置Ｂ１から実線で示す保持位置Ｂ２へとｘ方向に移動する。粘着テープ保持部材４１は保持位置Ｂ２へ移動することにより、原反ロール１１から繰り出されている粘着テープＴまたは剥離ライナーＳを保持する。好ましい構成の例として、粘着テープ保持部材４１は図示しない吸引装置を用いて粘着テープＴまたは剥離ライナーＳを吸着保持する。

【0085】

接合テープ保持部材４３は、粘着テープ保持部材４１と同様に一例として板状の部材であり、伸縮アーム４７を介して上下昇降台３９に接続されている。すなわち上下昇降台３９の昇降移動によって、接合テープ保持部材４３はｚ方向に移動できる。接合テープ保持部材４３は、接合テープ作成部３１によって作成された接合テープＮｓを保持する。接合テープＮｓは、先行する粘着テープＴの後端と後続の粘着テープＴの先端とを接合するために用いるテープ片である。本実施例では、使用済みの原反ロール１１から切り離された粘着テープの後端と、新たに繰り出し位置Ｇ１へと移動した未使用の原反ロール１１から繰り出される粘着テープＴの先端とを接合テープＮｓで接合する。当該接合により、未使用の原反ロール１１に装填されている粘着テープＴはテープ貼付け部４へ供給可能となる。

【0086】

接合テープ作成部３１は図６に示すように、カッタホルダ４８とカッタ刃４９とを備えるカッタユニットを有している。カッタホルダ４８は図示しない駆動機構により、粘着テープＴの幅方向（ｙ方向）に往復移動可能に構成される。またカッタホルダ４８は粘着テープＴを切断できる切断位置と、粘着テープＴから離れている初期位置との間でｘ方向に往復移動可能に構成されている。

【0087】

カッタ刃４９は、カッタホルダ４８の先端部に配設されている。カッタ刃４９は、準備位置Ｇ２に移動している原反ロール１１から繰り出される粘着テープＴを切断する。本実施例では、原反ロール１１から繰り出されている粘着テープＴの先端部を接合テープ作成部３１が幅方向に切断することによって、接合テープＮｓが作成される。接合テープ作成部３１が接合テープＮｓを作成する過程の詳細については後述する。

【0088】

ライナー剥離ローラ４０は、原反ロール１１から繰り出される粘着テープＴから剥離ライナーＳを剥離する。ライナー剥離ローラ４０は、原反ロール支持軸３４に原反ロール１１が装着された場合において、原反ロール１１に付設されているガイド軸２３の下流に位置するように設置されている。剥離ライナーＳが巻回されている状態でライナーボビン１３が回転することにより、原反ロール１１から繰り出されるテープＴＳのうち剥離ライナーＳの部分はライナー剥離ローラ４０によって折り返される。そして剥離ライナーＳがライナー剥離ローラ４０によって折り返されつつ引っ張られることにより、図１８（ａ）などに示されるように、ガイド軸２３の下流において剥離ライナーＳは粘着テープＴから剥離される。

【0089】

ライナー剥離ローラ４０によって剥離ライナーＳが折り返される角度θ１は、９０度以上１８０度以下であることが好ましい。剥離ライナーＳが折り返される角度θ１は、図１８（ｂ）において符号Ｌ１で示されている粘着テープＴの搬送方向と、符号Ｌ２で示されている剥離ライナーＳの折り返し方向とがなす角度である。言い換えると、搬送方向Ｌ１は原反ロール１１から繰り出された粘着テープＴがライナー剥離ローラ４０を越えて搬送される方向に相当し、剥離ライナーＳの折り返し方向Ｌ２はライナー剥離ローラ４０によって剥離ライナーＳが折り返される方向に相当する。剥離ライナーＳが折り返される角度θ１を大きくすることにより、粘着テープＴに含まれる粘着材の層に断裂が発生して一部の粘着材が粘着テープＴから剥がれて剥離ライナーＳに付着した状態で剥離ライナーＳが粘着テープＴから剥離される現象（糊残り）が発生することをより確実に回避できる。

【0090】

テープ切断機構２７は、カッタユニット５０と、先行テープ保持部材５１とを備えている。カッタユニット５０は、カッタホルダ５２とカッタ刃５３とを備えている。カッタホルダ５２は図示しない駆動機構によって、ｘ方向およびｙ方向に移動可能に構成される。すなわちカッタホルダ５２は、テープ供給部３において繰り出し供給されている粘着テープＴに対してｘ方向に近接または離間するように移動するとともに、当該粘着テープＴの幅方向であるｙ方向に移動する。

【0091】

カッタ刃５３はカッタホルダ５２の先端部に配設されており、カッタホルダ５２とともにｘ方向またはｙ方向へ移動して粘着テープＴを幅方向に切断する。繰り出し位置Ｇ１に配置されており粘着テープＴを繰り出している原反ロール１１は、テープ切断機構２７によって粘着テープＴが切断されることにより、テープ貼付け部４に供給されている粘着テープＴと原反ロール１１とが分離される。

【0092】

先行テープ保持部材５１は、カッタユニット５０の下流側に配設されている。先行テープ保持部材５１は図示しない可動台によってｘ方向へ移動可能に構成されており、粘着テープＴに当接して粘着テープＴを保持できる保持位置と、粘着テープＴから離間している初期位置との間を往復移動する。先行テープ保持部材５１は保持位置へ移動することにより、原反ロール１１からテープ貼付け部４に向けて繰り出されている粘着テープＴを保持する。好ましい構成の例として、粘着テープ保持部材４１は図示しない吸引装置を用いて粘着テープＴまたは剥離ライナーＳを吸着保持する。先行テープ保持部材５１が粘着テープＴを保持している状態でカッタユニット５０が先行テープ保持部材５１の上流側における粘着テープＴを切断することにより、原反ロール１１から切り離された粘着テープＴ（先行テープＴｍ）の後端部分は先行テープ保持部材５１によって安定に保持される。

【0093】

案内ロール２９は、テープ切断機構２７の下流側に設けられており、繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１から繰り出されている粘着テープＴを巻回してテープ貼付け部４へと案内する。

【0094】

テープ量検知センサ３２は、テープ供給部３において繰り出し位置Ｇ１に配設されている。テープ量検知センサ３２は、繰り出し位置Ｇ１に移動されており粘着テープＴをテープ貼付け部４へ供給可能となっている原反ロール１１（稼働中の原反ロール１１）に巻回されている粘着テープＴの量を随時検知する。テープ量検知センサ３２が検知した粘着テープＴの量の情報は、制御部９へ逐次送信される。

【0095】

粘着テープ貼付け装置１では、稼働中の原反ロール１１に巻回されている粘着テープＴの量が所定値Ｔ１以下に減少していることをテープ量検知センサ３２が検知した場合、後述するテープ交換工程が開始され、テープ供給部３に装填されている原反ロール１１を自動的に交換する動作が実行される。テープ量検知センサ３２として、光学センサを例とする各種センサなどが用いられる。テープ量検知センサ３２は、本発明における繰り出しテープ量検知部に相当する。

【0096】

ライナー切断機構５４は図６に示すように繰り出し位置Ｇ１に配置されており、繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１から繰り出されて粘着テープＴから剥離された部分の剥離ライナーＳを切断する。ライナー切断機構５４は可動台とカッタ刃とを備えており、剥離ライナーＳに近接または離間する方向と、剥離ライナーＳの幅方向とに移動できる。そして可動台に接続されているカッタ刃によって、剥離ライナーＳを幅方向に切断して原反ロール１１から分離させる。

【0097】

＜テープ貼付け部の構成＞
テープ貼付け部４は図９に示すように、保持テーブル５５と、テープ貼付けユニット５７と、テープ切断ユニット５９と、テープ剥離ユニット６０を備えている。保持テーブル５５は、回路形成面が上向きとなっているウエハＷを載置して保持する。本実施例では保持テーブル５５として、ウエハＷを吸着保持するチャックテーブルを用いるが、保持テーブル５５の構成としてはこれに限られない。また、この保持テーブル５５の上面には、後述するテープ切断ユニット５９に備えたカッタ刃５９ｃをウエハＷの外形に沿って旋回移動させて粘着テープＴを切断するために、カッタ走行溝５５ａが形成されている。保持テーブル５５は、昇降台５５ｂなどによって適宜昇降移動を可能とする構成であってもよい。

【0098】

テープ貼付けユニット５７は、保持テーブル５５に載置されて吸着保持されたウエハＷの回路面に粘着テープＴを貼付ける。テープ貼付けユニット５７は、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動する可動台５７ａと、可動台５７ａに接続されたブラケットに軸支された貼付けローラ５７ｂとを備えている。また可動台５７は図示しない昇降台に沿ってｚ方向に昇降移動可能に構成される。

【0099】

テープ切断ユニット５９は、駆動昇降可能な可動台５９ａの下部に、保持テーブル５５の中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動旋回可能に支持アーム５９ｂが装備される。また、この支持アーム５９ｂの遊端側に、刃先を下向きにしたカッタ５９ｃが装着されている。つまり、支持アーム５９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回することにより、カッタ５９ｃがウエハＷの外周に沿って移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。

【0100】

テープ剥離ユニット６０は、カッタ５９ｃによって切り抜かれてウエハＷの表面に貼り付けられた粘着テープＴｗと、粘着テープＴｗが切り抜かれて不要となった粘着テープＴである、不要テープＴｎとを分離させる。テープ剥離ユニット６０は、不要テープＴｎのテンションを維持するガイドローラ６１と、ニップローラ６２とを備えている。ニップローラ６２は昇降移動を可能とするピンチローラ６３と、モータによって駆動する送りローラ６４によって構成される。テープ剥離ユニット６０は、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動が可能となるように構成されている。テープ剥離ユニット６０によって粘着テープＴｗから分離された不要テープＴｎは、ガイドローラ６１に巻回されてテープ回収部５へと案内される。

【0101】

＜テープ回収部の構成＞
次に、テープ回収部５の構成について詳述する。テープ回収部５は図１０に示すように、回転プレート６５に複数の巻き取り芯支持軸６７が立設され、巻き取り芯１５を各々の巻き取り芯支持軸６７に装填できるように構成されている。本実施例では２つの巻き取り芯支持軸６７Ａおよび６７Ｂが回転プレート６５に立設されているものとする。またテープ回収部５は、さらに案内ローラ６６と案内ローラ６９と接合ユニット７０とテープ量検知センサ７１とを備えている。

【0102】

巻き取り芯支持軸６７は一例として円柱状の軸であり、不要テープＴｎを巻き取り回収する巻き取り芯１５を支持する。一例として巻き取り芯１５の孔部を巻き取り芯支持軸６７に嵌合させることにより、テープ回収部５は巻き取り芯１５を安定に保持する。巻き取り芯支持軸６７Ａおよび６７Ｂは、回転プレート６５の中心軸６８を挟んで互いに対向する位置に配置されている。

【0103】

回転プレート６５は、図示しない駆動機構によって中心軸６８の軸周りに回転するように構成されている。回転プレート６５の回転によって、巻き取り芯支持軸６７Ａと巻き取り芯支持軸６７Ｂとは、図１０に示されている回収位置Ｋ１と待機位置Ｋ２とを相互に移動可能となっている。

【0104】

テープ回収部５は、複数の巻き取り芯支持軸６７のうち回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯支持軸６７に保持されている巻き取り芯１５に対して、テープ貼付け部４から不要テープＴｎが巻き取られるように構成されている。そして複数の巻き取り芯支持軸６７のうち待機位置Ｋ２に移動している巻き取り芯支持軸６７に未使用の巻き取り芯１５を装填させておき、回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯１５が所定量以上の不要テープＴｎを巻き取った場合に備えておく。以下、回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯支持軸６７に保持されており、不要テープＴｎを巻き取り回収可能な状態となっている巻き取り芯１５を「稼働中の巻き取り芯１５」とする。

【0105】

すなわち回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯１５に巻き取り回収されている不要テープＴｎが所定の許容量に達した場合、回転プレート６５を回転させることによって、待機位置Ｋ２に配置されている未使用の巻き取り芯１５を速やかに回収位置Ｋ１へと配置させることができる。図３では巻き取り芯支持軸６７Ａが回収位置Ｇ１に移動しており、巻き取り芯支持軸６７Ｂが待機位置Ｋ２に移動している状態を示している。この状態では、巻き取り芯支持軸６７Ａに保持されている巻き取り芯１５に対して、テープ貼付け部４から搬送された不要テープＴｎを巻き取り回収させることが可能となる。巻き取り芯支持軸６７は本発明における巻き取り芯保持部に相当する。

【0106】

なお図１０は巻き取り芯１５が巻き取り芯支持軸６７に装填されていない状態を示している。すなわち図１０に示されるテープ回収部５では、巻き取り芯支持軸６７が前方から視認できる状態となっている。一方、図１および図３では、巻き取り芯１５が巻き取り芯支持軸６７Ａおよび６７Ｂの各々に装填されている状態を示している。

【0107】

案内ローラ６６は、回転プレート６５の外周近傍において、巻き取り芯支持軸６７Ａと巻き取り芯支持軸６７Ｂとの中間となる位置に配置されている。回転プレート６５が回転する際に、不要テープＴｎは案内ローラ６６に巻回されることで回転プレート６５の外周に沿った軌道となるように案内される。案内ローラ６９は、テープ貼付け部４から送り出されている不要テープＴｎを巻回し、回収位置Ｋ１にある稼働中の巻き取り芯１５へと当該不要テープＴｎを案内させる。

【0108】

接合ユニット７０はテープ回収部５において回収位置Ｋ１の近傍に配置されており、回収位置Ｋ１へと新たに移動した未使用の巻き取り芯１５に対して不要テープＴｎを接合させる。接合ユニット７０は図１１に示すように、回動軸７３と、枢動アーム７４と、貼付けローラ７５と、カッタ刃７７とを備えている。

【0109】

回動軸７３は枢動アーム７４の基端部に配設されており、ｙ方向の軸周りに回転可能に構成される。枢動アーム７４は、回動軸７３を中心として枢動するように構成されており、貼付けローラ７５およびカッタ刃７７を支持している。回動軸７３が回動することによって枢動アーム７４が枢動し、接合ユニット７０は図１１において実線で示される接合位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間を往復移動する。

【0110】

接合位置Ｐ１は回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯１５に接合ユニット７０が近接する位置である。接合ユニット７０は接合位置Ｐ１へ移動することによって、回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯１５に対して不要テープＴｎを接合できるようになる。退避位置Ｐ２は回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯１５から接合ユニット７０が離間している位置である。回転プレート６５を回転させて回収位置Ｋ１にある巻き取り芯１５を待機位置Ｋ２へ移動させる場合、接合ユニット７０を予め退避位置Ｐ２へ移動させておくことによって、巻き取り芯１５または不要テープＴｎなどが接合ユニット７０に干渉することを回避できる。

【0111】

貼付けローラ７５は、可動台７６を介して枢動アーム７４の先端部と接続されている。貼付けローラ７５はｙ方向の軸周りに回転可能に構成されており、回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯１５の外周に沿って転動することで不要テープＴｎを巻き取り芯１５に貼り付ける。当該貼付け動作によって、不要テープＴｎを未使用の巻き取り芯１５に接合できる。可動台７６は回収位置Ｋ１に移動している巻き取り芯１５に対して近接または離間する方向へと移動可能に構成される。可動台７６が巻き取り芯１５に対して近接移動することにより、貼付けローラ７５は当該巻き取り芯１５に当接できる。

【0112】

カッタ刃７７は貼付けローラ７５の下流側に配設されており、可動台７８を介して枢動アーム７４の先端部と接続されている。可動台７８は、巻き取り芯１５に巻回されている不要テープＴｎに対して近接または離間する方向へと移動可能に構成されるとともに、不要テープＴｎの幅方向（ｙ方向）へ移動可能に構成される。可動台７８が移動することにより、カッタ刃７７は不要テープＴｎを切断して稼働中の巻き取り芯１５から分離させる。接合ユニット７０が不要テープＴｎを未使用の巻き取り芯１５に接合させる過程、および接合ユニット７０が不要テープＴｎを切断して稼働中の巻き取り芯１５から分離させる過程については後述する。

【0113】

テープ量検知センサ７１は、テープ回収部３において回収位置Ｋ１に配設されている。テープ量検知センサ７１は、回収位置Ｋ１に配置されている稼働中の巻き取り芯１５に巻き取られている不要テープＴｎの量を逐次検知する。稼働中の巻き取り芯１５に巻き取り回収されている不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上になっていることをテープ量検知センサ７１が検知することによって、後述するステップＳ８に係る巻き取り芯交換過程が開始され、テープ回収部５に装填されている巻き取り芯１５を自動的に交換する動作が実行される。テープ量検知センサ７１として、レーザ発光部およびレーザ受光部を備えた光学センサを例とする、各種センサなどが用いられる。テープ量検知センサ７１は、本発明における不要テープ検知部に相当する。

【0114】

＜巻き取り芯保管部の構成＞
次に、巻き取り芯保管部６の構成について詳述する。巻き取り芯保管部６は、図３および図１２に示すように、縦壁７９と、巻き取り芯支持軸８１とを備えている。巻き取り芯支持軸８１は縦壁７９に立設されており、未使用の巻き取り芯１５または使用済みの巻き取り芯１５を支持して保管する。

【0115】

本実施例において、未使用の巻き取り芯１５とは、テープ回収部５における不要テープＴｎの回収過程に使用される前の巻き取り芯１５を意味する。一例として、不要テープＴｎが巻回されていない状態の巻き取り芯１５が、未使用の巻き取り芯１５に相当する。そして使用済みの巻き取り芯１５とは、テープ回収部５における不要テープＴｎの回収過程に使用された後の巻き取り芯１５を意味する。使用済みの巻き取り芯１５の一例として、十分な量の不要テープＴｎを巻き取った結果、巻回されている不要テープＴｎの量が所定の許容量に達した状態となっている巻き取り芯１５が挙げられる。

【0116】

巻き取り芯支持軸８１の外径は、中空となっている巻き取り芯１５の内径より僅かに小さくなるように構成されている。すなわち巻き取り芯１５の内周部分を巻き取り芯支持軸８１の外周部分に嵌合させることにより、巻き取り芯１５は巻き取り芯支持軸８１によって安定に支持される。

【0117】

実施例では図１および図１２などに示すように、縦壁７９において５つの巻き取り芯支持軸８１がｚ方向に並列配置されているものとする。また図１および図１２に示される巻き取り芯保管部６において、５つの巻き取り芯支持軸８１のうち最上段および上から２段目に配置されている巻き取り芯支持軸８１には未使用の巻き取り芯１５が支持されている。また５つの原反ロール支持軸１９のうち上から３段目および４段目に配置されている巻き取り芯支持軸８１には巻き取り芯１５が装填されておらず、前面から巻き取り芯支持軸８１を視認できる状態となっている。そして５つの巻き取り芯支持軸８１のうち最下段に配置されている巻き取り芯支持軸８１には、テープ回収部５において所定量以上の不要テープＴｎを巻き取り回収した巻き取り芯１５、すなわち使用済みの巻き取り芯１５が装填されている。

【0118】

＜原反ロール搬送機構の構成＞
次に、原反ロール搬送機構７の構成について詳述する。原反ロール搬送機構７は図２に示すように、左右可動台８３と、昇降プレート８５と、案内プレート８７と、ロール保持アーム８９とを備えている。左右可動台８３は粘着テープ貼付け装置１の上下にわたって配置されている板状部材であり、上レール９０および下レール９１に沿って、左右に往復移動できるように構成されている。上レール９０および下レール９１の各々は、粘着テープ貼付け装置１の前面においてｘ方向に延びるように配置されている。左右可動台８３が往復移動することにより、原反ロール搬送機構７は全体としてｘ方向へ往復移動する。

【0119】

昇降プレート８５は、左右可動台８３の前面において上下方向に配設されている昇降レール８４に沿って昇降移動できるように構成されている。案内プレート８７は昇降プレート８５の背面に配設されており、粘着テープ貼付け装置１の後方に向かってｙ方向に延びている。ロール保持アーム８９は案内プレート８７に接続されており、原反ロール１１またはライナーボビン１３を保持する構成を有している。

【0120】

ロール保持アーム８９は、案内プレート８７に配設されている図示しないレールに沿ってｙ方向へ往復移動できるように構成されている。ロール保持アーム８９は、左右可動台８３の左右移動によってｘ方向へ変位するとともに、昇降プレート８５の昇降移動によってｚ方向に変位する。すなわちロール保持アーム８９は、左右可動台８３と昇降プレート８５と案内プレート８７とによって、ｘ方向とｙ方向とｚ方向との各々について適宜移動可能となる。ロール保持アーム８９が原反ロール１１を保持した状態で左右可動台８３などが移動することにより、原反ロール搬送機構７はテープ供給部３と原反ロール保管部２との間で原反ロール１１を搬送できる。すなわち、原反ロール搬送機構７は未使用の原反ロール１１を原反ロール保管部２からテープ供給部３へ搬送するとともに、使用済みの原反ロール１１をテープ供給部３から原反ロール保管部２へと搬送するように構成されている。

【0121】

また、ロール保持アーム８９がライナーボビン１３を保持した状態で左右可動台８３などが移動することにより、原反ロール搬送機構７はテープ供給部３と原反ロール保管部２との間でライナーボビン１３を搬送できる。すなわち、原反ロール搬送機構７は未使用のライナーボビン１３を原反ロール保管部２からテープ供給部３へ搬送するとともに、使用済みのライナーボビン１３をテープ供給部３から原反ロール保管部２へと搬送するように構成されている。

【0122】

＜巻き取り芯搬送機構の構成＞
次に、巻き取り芯搬送機構８の構成について詳述する。巻き取り芯搬送機構８は図３に示すように、左右可動台９３と、昇降プレート９５と、案内プレート９７と、巻き取り芯保持アーム９９とを備えている。左右可動台９３は粘着テープ貼付け装置１の上下にわたって配置されている板状部材であり、上レール１０１および下レール１０３に沿って、左右に往復移動できるように構成されている。上レール１０１および下レール１０３の各々は、粘着テープ貼付け装置１の前面においてｘ方向に延びるように配置されている。左右可動台９３が往復移動することにより、巻き取り芯搬送機構８は全体としてｘ方向へ往復移動する。

【0123】

昇降プレート９５は、左右可動台９３の前面において上下方向に配設されている昇降レール９４に沿って昇降移動できるように構成されている。案内プレート９７は昇降プレート９５の背面に配設されており、粘着テープ貼付け装置１の後方に向かってｙ方向に延びている。巻き取り芯保持アーム９９は案内プレート９７に接続されており、巻き取り芯１５を保持する構成を有している。

【0124】

巻き取り芯保持アーム９９は、案内プレート９７に配設されている図示しないレールに沿ってｙ方向へ往復移動できるように構成されている。巻き取り芯保持アーム９９は、左右可動台９３の左右移動によってｘ方向へ変位するとともに、昇降プレート９５の昇降移動によってｚ方向に変位する。すなわち巻き取り芯保持アーム９９は、左右可動台９３と昇降プレート９５と案内プレート９７とによって、ｘ方向とｙ方向とｚ方向との各々について適宜移動可能となる。

【0125】

巻き取り芯保持アーム９９が巻き取り芯１５を保持した状態で移動することにより、巻き取り芯搬送機構８はテープ回収部５と巻き取り芯保管部６との間で巻き取り芯１５を搬送できる。すなわち、巻き取り芯搬送機構８は未使用の巻き取り芯１５を巻き取り芯保管部６からテープ回収部５へ搬送するとともに、使用済みの巻き取り芯１５をテープ回収部５から巻き取り芯保管部６へと搬送するように構成されている。

【0126】

＜基本動作の概要＞
ここで、実施例に係る粘着テープ貼付け装置１を用いて回路面保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼付けるための一連の基本動作を説明する。図１３（ａ）は、粘着テープ貼付け装置１を用いて、ウエハＷの表面に粘着テープＴを貼り付ける一連の工程を説明するフローチャートである。

【0127】

なお、テープ供給部３には予め原反ロール１１が装填されており、テープ回収部５には予め巻き取り芯１５が装填されているものとする。また原反ロール保管部２に保管されている原反ロール１１の状態は図１および図２などに示されている状態であるものとする。そして巻き取り芯保管部６に保管されている巻き取り芯１５の状態は、図１および図３などに示されている状態であるものとする。

【0128】

具体的には図２などに示すように、テープ供給部３において、テープ保持ユニット２５Ａが繰り出し位置Ｇ１に移動しており、テープ保持ユニット２５Ｂが準備位置Ｇ２に移動しているものとする。粘着テープ貼付け装置１に装着されている複数の原反ロール１１を区別すべく、テープ保持ユニット２５Ａが備える原反ロール支持軸３４Ａに保持されている原反ロール１１を原反ロール１１Ａとする。テープ保持ユニット２５Ｂが備える原反ロール支持軸３４Ｂに保持されている未使用の原反ロール１１を原反ロール１１Ｂとする。すなわちステップＳ１の開始時点において、原反ロール１１Ａが稼働中の原反ロール１１に相当する。

【0129】

また原反ロール保管部２においてｚ方向に並列配置されている原反ロール支持軸１９のうち、上から３段目、４段目、および５段目に配置されている原反ロール支持軸１９に支持されている原反ロール１１を順に原反ロール１１Ｃ、原反ロール１１Ｄ、原反ロール１１Ｅとする。また原反ロール保管部２において最上段に配置されている原反ロール支持軸１９に支持されている、原反ロール１１を原反ロール１１Ｆとする。原反ロール１１Ａ～１１Ｅは未使用の原反ロール１１であり、原反ロール１１Ｆは使用済みの原反ロール１１であるものとする。

【0130】

同様に複数のライナーボビン１３を区別すべく、ステップＳ１の開始時点においてテープ保持ユニット２５Ａが備えるボビン支持軸３５Ａに保持されているライナーボビン１３をライナーボビン１３Ａとする。そしてステップＳ１の開始時点においてテープ保持ユニット２５Ｂが備えるボビン支持軸３５Ｂに保持されているライナーボビン１３をライナーボビン１３Ｂとする。また、原反ロール保管部２においてｚ方向に並列配置されているボビン支持軸２１のうち、上から３段目、４段目、および５段目に配置されているボビン支持軸２１に支持されているライナーボビン１３を順にライナーボビン１３Ｃ、ライナーボビン１３Ｄ、ライナーボビン１３Ｅとする。また原反ロール保管部２において最上段に配置されているボビン支持軸２１に支持されているライナーボビン１３をライナーボビン１３Ｆとする。ライナーボビン１３Ａ～１３Ｅは未使用のライナーボビン１３であり、ライナーボビン１３Ｆは使用済みのライナーボビン１３であるものとする。

【0131】

また図３などに示すように、テープ回収部５において、巻き取り芯支持軸６７Ａが回収位置Ｋ１に移動しており、巻き取り芯支持軸６７Ｂが待機位置Ｋ２に移動しているものとする。粘着テープ貼付け装置１に装着されている複数の原反ロール１１を区別すべく、巻き取り芯支持軸６７Ａに保持されている巻き取り芯１５を巻き取り芯１５Ａとする。巻き取り芯支持軸６７Ｂに保持されている未使用の巻き取り芯１５を巻き取り芯１５Ｂとする。すなわちステップＳ１の開始時点において、巻き取り芯１５Ａが稼働中の巻き取り芯１５に相当する。

【0132】

また巻き取り芯保管部６においてｚ方向に並列配置されている５つの巻き取り芯支持軸８１のうち、上から１段目および２段目に配置されている巻き取り芯支持軸８１に支持されている巻き取り芯１５を順に巻き取り芯１５Ｃ、巻き取り芯１５Ｄとする。また原反ロール保管部２において上から５段目に配置されている巻き取り芯支持軸８１に支持されている巻き取り芯１５を巻き取り芯１５Ｅとする。巻き取り芯１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄは未使用の巻き取り芯１５であり、巻き取り芯１５Ｅは使用済みの巻き取り芯１５であるものとする。

【0133】

ステップＳ１（ウエハの載置）
制御部９を介して貼付け指令が出されると、テープ貼付け部４においてウエハＷを保持テーブル５５に載置させる。すなわち所定の収納部に収納されているウエハＷは、アライメントステージで位置合わせされた後、図示しないウエハ搬送機構によって保持テーブル５５に載置される。保持テーブル５５に載置されたウエハＷは旋回され、ウエハＷの中心が保持テーブル５５の中心の上にあるように位置合わせされた状態で吸着保持される。

【0134】

このとき、テープ貼付けユニット５７、テープ切断ユニット５９、およびテープ剥離ユニット６０の各々は図９に示す初期位置に移動している。すなわち、テープ貼付けユニット５９は保持テーブル５５の右側に移動しており、テープ剥離ユニット６０は保持テーブル５５の左側に移動している。また、テープ切断ユニット５９は保持テーブル５５の上方で待機している。

【0135】

ステップＳ２（粘着テープの貼付け）
ウエハＷを保持テーブル５５に載置させた後、粘着テープＴをウエハＷの表面に貼り付ける過程を開始する。すなわち図６に示すように、テープ供給部３において繰り出し位置Ｇ１に移動している原反ロール保持軸３４Ａに装填されている原反ロール１１ＡからテープＴＳが下流へと繰り出し供給される。原反ロール１１Ａから繰り出されたテープＴＳはガイド軸２３の下流において、ライナー剥離ローラ４０によって粘着テープＴおよび剥離ライナーＳに剥離される。そして粘着テープＴは案内ローラ２９に巻回されてテープ貼付け部４に案内される。粘着テープＴから剥離された剥離ライナーＳは、ライナー案内ローラ３６Ａに案内されてライナーボビン１３Ａに巻き取られる。

【0136】

一方、テープ貼付け部４では図１５に示すように、テープ貼付けユニット５７の貼付けローラ５７ｂは粘着テープＴを下方に押圧しながら図の左側へ向かってウエハＷ上を転動し、点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へとｘ方向に移動する。これによって、粘着テープＴがウエハＷの表面全体に貼付けられる。

【0137】

ステップＳ３（粘着テープの切断）
粘着テープＴがウエハＷに貼り付けられた後、粘着テープＴをウエハＷの形状に応じて切断する。すなわち図１６に示すように、上方に待機していたテープ切断ユニット５９が下降され、点線で示す初期位置から実線で示す切断位置へと移動する。そしてテープ切断ユニット５９が切断位置へ下降することによって、保持テーブル５５のカッタ走行溝５５ａにおいてカッタ５９ｃが粘着テープＴに突き刺される。

【0138】

カッタ５９ｃが粘着テープＴに突き刺されると、支持アーム５９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回する。これに伴ってカッタ５９ｃがウエハＷの外周縁に摺接しながら旋回移動し、粘着テープＴがウエハの外形に沿って切断される。

【0139】

ステップＳ４（粘着テープの剥離）
粘着テープＴの切断が終了すると、不要な部分の粘着テープＴを剥離する動作を開始する。すなわち図１７に示すように、テープ切断ユニット５９は元の待機位置まで上昇される。そして、テープ貼付けユニット５７は終端位置から初期位置へと復帰する。テープ貼付けユニット５７が初期位置へ復帰するとともに、テープ剥離ユニット６０が図の右側へ向かってｘ方向へ移動する。すなわちテープ剥離ユニット６０は、図１７において点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へ右方向に水平移動する。

【0140】

テープ剥離ユニット６０は終端位置へ移動しつつ、帯状の粘着テープＴのうち、ウエハＷ上で円形に切り抜き切断されて残った不要テープＴｎを巻き上げて剥離する。なお、粘着テープＴのうち、ウエハＷの表面に貼り付けられている部分については符号Ｔｗを付して不要テープＴｎと区別する。

【0141】

テープ剥離ユニット１１が終端位置に達して剥離作業が終了すると、テープ剥離ユニット６０は終端位置から初期位置に復帰する。このとき、不要テープＴｎは下流に繰り出されてテープ貼付け部４からテープ回収部５へ搬送される。テープ回収部５へ搬送された不要テープＴｎは、案内ロール６９によってテープ回収部５の回収位置Ｋ１へと案内される。そして回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５Ａによって、不要テープＴｎはロール状に巻き取られて回収される。テープ回収部５において不要テープＴｎが回収される動作と同期して、テープ供給部３では繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１Ａから一定量のテープＴＳが繰り出される。

【0142】

ステップＳ５（ウエハの回収）
ステップＳ４までの各処理が終了すると、保持テーブル５５におけるウエハＷの吸着が解除される。吸着解除の後、粘着テープＴｗが貼り付けられたウエハＷはウエハ搬送機構によって搬送されて図示しないウエハ回収部に回収される。以上で１回の粘着テープ貼付け処理の基本動作が完了する。ステップＳ１からステップＳ５までの一連の基本動作を適宜繰り返すことにより、規定枚数のウエハＷに対して粘着テープＴが貼り付けられる。

【0143】

＜工程の分岐＞
本実施例に係る粘着テープ貼付け装置１では、ステップＳ１からＳ５までの粘着テープ貼付け処理を行う間において、繰り出し位置Ｇ１に配置されている稼働中の原反ロール１１に装填されている粘着テープＴの量に応じて、準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１に対して所定の準備処理を行う動作と、繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１を自動的に交換する動作とを行うように構成される。

【0144】

図１３（ｂ）は、粘着テープＴの装填量などに応じた工程の分岐を示すフローチャートである。繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１Ａに装填されている粘着テープＴの量が、予め定められた所定値Ｔ１以下に減少しており（分岐Ｑ１）、かつ準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１に対して所定の準備処理が行われていない場合（分岐Ｑ２）、準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１Ｂに対して準備処理を行う（ステップＳ６）。ステップＳ６の工程は、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を続行した状態で実行される。

【0145】

また準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１に対して準備処理が完了すると、さらにステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を続行する。そして粘着テープ貼付け工程を続行することにより原反ロール１１Ａに装填されている粘着テープＴの量が所定値Ｔ１からさらに減少し、予め定められた所定値Ｔ２以下となった場合（分岐Ｑ３）、繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１Ａを未使用の原反ロール１１Ｂへと自動的に交換させる工程を開始する（ステップＳ７）。

【0146】

なお、所定値Ｔ１および所定値Ｔ２は、粘着テープ貼付け工程の所要時間または粘着テープＴを構成する粘着材の特性などに応じて適宜設定できる。所定値Ｔ１の一例として、未使用の原反ロール１１が装填する粘着テープＴの量の１０％～２０％が挙げられる。所定値Ｔ１は、所定値Ｔ２よりもテープ量が多い閾値として設定される。所定値Ｔ２の一例として、未使用の原反ロール１１が装填する粘着テープＴの量の０％～５％が挙げられる。所定値Ｔ１は本発明における第１所定量に相当する。所定値Ｔ２は、本発明における第２所定量に相当する。すなわち原反ロール１１から粘着テープＴを繰り出し供給し続けると、原反ロール１１に装填されている粘着テープＴの量が所定値Ｔ１以下に減少するタイミングは、必ず原反ロール１１に装填されている粘着テープＴの量が所定値Ｔ２以下に減少するタイミングより早いタイミングとなる。

【0147】

また本実施例に係る粘着テープ貼付け装置１では、ステップＳ１からＳ５までの粘着テープ貼付け処理を行う間において、回収位置Ｋ１に配置されている稼働中の巻き取り芯１５に巻き取られている不要テープＴｎの量に応じて、回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５を自動的に交換する動作を行うように構成される。すなわち図１３（ｂ）に示すように、回収位置Ｇ１に配置されている巻き取り芯１５Ａに巻き取り回収されている不要テープＴｎの量が、予め定められた所定値Ｍ１以上である場合（分岐Ｑ４）、回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５Ａを未使用の巻き取り芯１５Ｂへと自動的に交換させる工程を開始する（ステップＳ８）。所定値Ｍ１は、本発明における第３所定量に相当する。

【0148】

以下、ステップＳ６に係る原反ロールの準備処理、ステップＳ７に係る原反ロールの自動交換、およびステップＳ８に係る巻き取り芯の自動交換の各工程について、詳細に説明する。

【0149】

＜原反ロールの準備処理工程＞
まずはステップＳ６に係る原反ロールの準備処理工程、すなわち待機状態にある原反ロール１１を準備状態にさせる処理について一連の工程を説明する。図１４（ａ）は、原反ロール１１に対して準備処理を行う一連の工程を説明するフローチャートである。

【0150】

待機状態となっている原反ロール１１は図５（ａ）および図５（ｂ）に示される通りであり、待機状態とは粘着テープＴの粘着面が全面にわたって剥離ライナーＳによって保護されている状態である。一方、準備状態となっている原反ロール１１は図１８（ａ）および図１８（ｂ）に示されている。

【0151】

準備処理とは、使用済みの原反ロール１１から切り離された粘着テープＴと、新たな未使用の原反ロール１１とを接合する操作を行うために必要な前処理を意味する。そして準備状態とは、準備処理が行われた原反ロール１１の状態を意味する。本実施例における準備状態とは、剥離ライナーＳの先端部が粘着テープＴから剥離され、ライナーボビン１３に接合された状態である。このとき、テープＴＳの先端部において粘着テープＴの一部が剥離ライナーＳから剥離され、粘着テープＴの粘着面が一部露出している。当該露出している粘着テープＴの先端部Ｖ１は、後述する先行テープＴｍの後端部Ｖ２と接合される領域となる。

【0152】

ステップＳ６－１（ライナー先端部の保持）
繰り出し位置Ｇ１において粘着テープＴを繰り出し供給している原反ロール１１Ａにおいて粘着テープＴの装填量が所定値Ｔ１以下となった場合、原反ロール１１Ａに巻回されている粘着テープＴが枯渇して原反ロール１１Ａから粘着テープＴをテープ貼付け部４へ供給できなくなる事態が近い将来に発生することが予測される。言い換えると、稼働中の原反ロール１１Ａを新たに未使用の原反ロール１１Ｂへ交換するステップＳ７の動作が近い将来において必要になることが予測される。そのためステップＳ７に係る原反ロールの交換工程が実際に必要になる前に、予めステップＳ６に係る原反ロールの準備処理を行う。

【0153】

稼働中の原反ロール１１Ａにおいて粘着テープＴの装填量がＴ１以下となったことをテープ量検知センサ３２が検知した場合、図１９に示すように、装填量がＴ１以下となった内容の情報はテープ量検知センサ３２から制御部９へと送信される。そして制御部９は当該情報を受信することによって、準備位置Ｇ２に移動しているテープ保持ユニット２５Ｂを制御し、準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１（ここでは原反ロール１１Ｂ）に対して準備処理を開始させる。なお準備処理を開始する前に、予めライナー案内ローラ３６Ｂを下降させて案内位置Ｈ１から退避位置Ｈ２へと移動させる。

【0154】

制御部９を介して原反ロール１１の準備処理を開始する旨の指令が出されると、まずは待機状態となっている原反ロール１１におけるライナー先端部を保持させる。すなわち図１９に示すように、上下昇降台３９Ｂを適宜昇降させるとともに伸縮アーム４７Ｂを伸長させ、接合テープ保持部材４３Ｂをｘ方向およびｚ方向に変位させる。当該変位により、接合テープ保持部材４３Ｂは待機状態となっている原反ロール１１Ｂのライナー先端部Ｓａに当接する。ライナー先端部Ｓａは、図５（ａ）などに示されている待機状態の原反ロール１１において、粘着テープＴが除去されて剥離ライナーＳが露出している先端部分を意味する。接合テープ保持部材４３Ｂがライナー先端部Ｓａに当接すると、図示しない吸引機構が作動して接合テープ保持部材４３Ｂはライナー先端部Ｓａを吸着保持する。

【0155】

ステップＳ６－２（ライナー先端部の接合）
ライナー先端部Ｓａが接合テープ保持部材４３Ｂによって保持されると、ライナー先端部Ｓａをライナーボビン１３に接合させる工程を開始する。本実施例では準備位置Ｇ２に配置されているライナーボビン１３はライナーボビン１３Ｂであるので、接合テープ保持部材４３Ｂはライナー先端部Ｓａをイナーボビン１３Ｂに接合させる。すなわち図２０に示すように、接合テープ保持部材４３Ｂはライナー先端部Ｓａを吸着保持した状態でライナーボビン１３Ｂが配設されている高さまで下降する。

【0156】

そして伸縮アーム４７をさらに伸長させることで接合テープ保持部材４３Ｂはライナーボビン１３Ｂへ近づいていき、ライナー先端部Ｓａがライナーボビン１３Ｂの外周部に押し付けられる。ライナー先端部Ｓａをライナーボビン１３Ｂに当接させた後、ライナー先端部Ｓａをライナーボビン１３Ｂに接合させる。なおこのとき、ライナー剥離ローラ４０は接合テープ保持部材４３Ｂなどとの干渉を回避できる位置（図示しない）へ適宜退避されている。

【0157】

本実施例では、ライナー先端部Ｓａをライナーボビン１３Ｂに当接させた後、制御部９は接合テープ保持部材４３に内蔵されているヒータを作動させ、ライナー先端部Ｓａを加熱する。剥離ライナーＳは熱接着をする材料で構成されているので、ライナー先端部Ｓａを加熱することによりライナー先端部Ｓａはライナーボビン１３Ｂの外周部に接合される。ライナー先端部Ｓａをライナーボビン１３Ｂに接合させることにより、ライナーボビン１３を回転させることで原反ロール１１ＢのテープＴＳから剥離ライナーＳを順次剥離して巻き取り回収する動作が可能となる。

【0158】

ステップＳ６－３（粘着テープの保持）
剥離ライナーＳをライナーボビン１３Ｂに接合させる工程が完了すると、原反ロール１１Ｂにおける粘着テープＴの先端部を保持させる工程を開始する。粘着テープの保持工程が開始されると、接合テープ保持部材４３Ｂはライナー先端部Ｓａの吸着保持を解消させる。そして伸縮アーム４７を短縮させて接合テープ保持部材４３Ｂをライナー先端部Ｓａから離間させる。その後、図２１に示すように、接合テープ保持部材４３Ｂを粘着テープＴの先端部の高さまで上昇させ、再び伸縮アーム４７を伸長させることによって接合テープ保持部材４３Ｂを粘着テープＴの先端部に当接させる。そして吸引装置を作動させることにより、接合テープ保持部材４３Ｂは粘着テープＴの先端部を吸着保持する。

【0159】

ステップＳ６－４（粘着テープの露出）
接合テープ保持部材４３Ｂが粘着テープＴを保持すると、粘着テープＴの先端部を露出させる工程を開始する。すなわち図２２に示すように、ライナー案内ローラ３６Ｂを退避位置Ｈ２から案内位置Ｈ１へと移動させる。ライナー案内ローラ３６Ｂを案内位置Ｈ１へ復帰させるとともに、ライナー剥離ローラ４０Ｂも図１または図２２などに示される初期位置へと復帰させる。ライナー案内ローラ３６Ｂが案内位置Ｈ１へ移動することにより、剥離ライナーＳはライナー案内ローラ３６Ｂに巻回されて適度なテンションが発生する。ライナー先端部Ｓａがライナーボビン１３Ｂに接合され、剥離ライナーＳにテンションが発生することによってライナーボビン１３Ｂは剥離ライナーＳを巻き取り回収できるようになる。

【0160】

ライナー案内ローラ３６Ｂを案内位置Ｈ１へと移動させた後、ライナーボビン１３Ｂをｙ方向の軸周りに回転させて剥離ライナーＳを巻き取りつつ、粘着テープＴを保持している接合テープ保持部材４３Ｂを下降させる。ライナーボビン１３Ｂが剥離ライナーＳをライナー先端部Ｓａから巻き取り回収することで、原反ロール１１Ｂから繰り出されている粘着テープＴは先端部分から徐々に剥離ライナーＳが剥離されていき、粘着テープＴの先端部において粘着面が露出される。粘着面が露出した粘着テープＴの先端部は、接合テープ保持部材４３Ｂに吸着保持された状態で下方へと引き出されていく。制御部９は、接合テープ保持部材４３Ｂが接合テープ作成機構３１より低い位置に下降するように上下昇降台３９を制御する。

【0161】

粘着テープＴの先端部を露出させた後、粘着テープ保持部材４１Ｂによって粘着テープＴをさらに保持させる。すなわちテープ接合機構３７Ｂにおいて伸縮アーム４５Ｂを伸長させ、粘着テープ保持部材４１Ｂを粘着テープＴの非粘着面に当接させる。そして吸引機構を作動させ、粘着テープＴの先端部から上流側の領域を粘着テープ保持部材４１Ｂに吸着保持させる。なお図２２に示すように、粘着テープ保持部材４３Ｂは接合テープ作成機構３１に設けられているカッタ刃４９より低い位置に移動する一方、粘着テープ保持部材４１Ｂはカッタ刃４９より高い位置に移動するように、制御部９はテープ接合機構３７Ｂを制御する。

【0162】

ステップＳ６－５（接合テープの作成）
粘着テープＴの先端部から剥離ライナーＳを剥離させ、さらに粘着テープ保持部材４３Ｂおよび粘着テープ保持部材４１Ｂによって粘着テープＴを保持させた後、接合テープ作成機構３１を用いて接合テープＮｓを作成する工程を開始する。本実施例では、準備処理の対象となる原反ロール１１Ｂにおける粘着テープＴの先端を接合テープ作成機構３１によって一部切り取り、切り取られて断片化した当該先端部分を接合テープＮｓとして用いる。

【0163】

接合テープＮｓを作成する工程が開始されると、制御部９は接合テープ作成機構３１のカッタホルダ４８を駆動させ、カッタ刃４９を図２２に示される初期位置から図２３に示される切断位置へと移動させる。すなわちカッタ刃４９を粘着テープＴに近づく方向および粘着テープＴの幅方向へと移動させる。その結果、図２３に示すように、粘着テープ保持部材４１Ｂと接合テープ保持部材４３Ｂとの間の所定位置において、原反ロール１１Ｂから繰り出されている粘着テープＴの先端部は幅方向にわたって切断される。

【0164】

接合テープ作成機構３１が粘着テープＴを切断することにより、粘着テープＴの先端部は原反ロール１１Ｂから切り離される。そして原反ロール１１Ｂから切り離された当該先端部は、接合テープＮｓとして接合テープ保持部材４３Ｂに吸着保持される。そして当該切断によって新たに形成された粘着テープＴの先端部Ｖ１は、粘着テープ保持部材４１Ｂによって吸着保持される。

【0165】

切断が完了した後、接合テープ作成機構３１は切断位置から初期位置へと復帰する。また、接合テープＮｓを保持している接合テープ保持部材４３はｘ方向における左側へと退避する。接合テープ作成機構３１によって接合テープＮｓが作成されることで、ステップＳ６に係る原反ロールの準備処理工程は完了する。

【0166】

ステップＳ６に係る一連の工程が完了すると、原反ロール１１Ｂは図５（ａ）に示される待機状態から、図１８（ａ）に示される準備状態となる。準備状態となっている原反ロール１１Ｂでは、原反ロール１１Ｂに装填されているテープＴＳのうち、粘着テープＴの先端部Ｖ１は粘着テープ保持部材４１Ｂによって吸着保持された状態となっている。またテープＴＳのうち、剥離ライナーＳの先端部Ｓａは粘着テープＴから剥離されてライナーボビン１３Ｂに巻き取られた状態となっている。

【0167】

本実施例では繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１Ａの粘着テープ装填量がＴ１以下となることをトリガとして、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を実行している状態でステップＳ６に係る原反ロールの準備処理工程を行う。準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１Ｂが準備状態になると、ステップＳ７の工程が必要になるまでステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を継続させる。すなわち原反ロール１１Ａの粘着テープ装填量がさらに減少して所定量Ｔ２以下となるまで、原反ロール１１Ａから粘着テープＴを繰り出し供給させ続ける。

【0168】

＜原反ロールの自動交換工程＞
次に、ステップＳ７に係る原反ロールの自動交換工程、すなわち繰り出し位置Ｇ１に配置されている使用済みの原反ロール１１を、準備位置Ｇ２に配置されている未使用の原反ロール１１へと自動的に交換させる工程について説明する。図１４（ｂ）は、繰り出し位置Ｇ１に配置される原反ロール１１を、使用済みの原反ロール１１Ａから未使用の原反ロール１１Ｂへと交換させる一連の工程を説明するフローチャートである。

【0169】

ステップＳ７－１（テープ搬送の停止）
原反ロール１１Ａにおける粘着テープＴの装填量が所定値Ｔ１である状態からさらに粘着テープＴを繰り出し続けると、原反ロール１１Ａにおける粘着テープＴの装填量は所定値Ｔ１よりも低い所定値Ｔ２となる。繰り出し位置Ｇ１に配置されている稼働中の原反ロール１１Ａにおいて粘着テープＴの装填量が所定値Ｔ２以下となった場合、原反ロール１１Ａにおいて粘着テープＴが枯渇しており、原反ロール１１Ａから粘着テープＴをテープ貼付け部４へ供給することが困難であると判定される。

【0170】

そのため稼働中の原反ロール１１Ａにおいて粘着テープＴの装填量がＴ２以下となったことをテープ量検知センサ３２が検知した場合、装填量がＴ２以下となった内容の情報はテープ量検知センサ３２から制御部９へと送信される。そして制御部９は当該情報を受信することによって、テープ供給部３および原反ロール搬送機構７を制御し、繰り出し位置Ｇ１に配置される原反ロールを、粘着テープＴの装填量が少なくなった原反ロール１１Ａから、未使用状態であり粘着テープＴの装填量が十分に多い原反ロール１１Ｂへと交換させる処理を開始させる。

【0171】

制御部９を介して原反ロール１１の自動交換処理を開始する旨の指令が出されると、まずは粘着テープＴを搬送する動作を一時的に停止する。すなわち制御部９は繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１および回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５を回転させる機構を例とする、粘着テープ貼付け装置１の各構成を停止させる制御を行う。当該制御により、稼働中である原反ロール１１の回転および稼働中である巻き取り芯１５の回転が停止されるので、稼働中の原反ロール１１から粘着テープＴが繰り出し供給される動作と稼働中の巻き取り芯１５によって不要テープＴｎが巻き取り回収される動作が中断される。そのため、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープの貼付け工程が一時的に中断される。

【0172】

ステップＳ７－２（粘着テープの切断）
粘着テープＴの搬送を中断した後、テープ貼付け部４へ搬送されている粘着テープＴを稼働中の原反ロール１１Ａから切り離す処理を行う。まず、制御部９はテープ切断機構２７を制御することにより、粘着テープＴを先行テープ保持部材５１に保持させる。先行テープ保持部材５１は図２４（ａ）に示されるように、点線で示される初期位置から実線で示される保持位置へと移動する。保持位置へと移動することにより、先行テープ保持部材５１は粘着テープＴの非粘着面に当接する。そして図示しない吸引機構を作動させることにより、先行テープ保持部材５１は粘着テープＴを吸着保持する。

【0173】

次に、制御部９はカッタユニット５０を制御し、先行テープ保持部材５１の上流側において粘着テープＴを切断させる。すなわち制御部９はカッタユニット５０のカッタホルダ５２を駆動させ、カッタ刃５３を図２４（ａ）に示される初期位置から図２４（ｂ）に示される切断位置へと移動させる。すなわちカッタ刃５３を粘着テープＴに近づく方向および粘着テープＴの幅方向へと移動させる。その結果、図２４（ｂ）に示すように、先行テープ保持部材５１が保持している部分の上流側において、原反ロール１１Ａから繰り出されている粘着テープＴは幅方向にわたって切断される。ステップＳ７－２の工程を開始する前に予め粘着テープＴの搬送を停止しているので、カッタユニット５０は粘着テープＴを正確に切断することができる。

【0174】

粘着テープＴを幅方向にわたって切断することにより、テープ貼付け部４へ搬送されている粘着テープＴは、原反ロール１１Ａから切り離される。なお、原反ロール１１Ａから切り離された部分の粘着テープＴを「先行テープＴｍ」として、原反ロール１１Ａと繋がっている部分の粘着テープＴと区別する。粘着テープＴをカッタユニット５０で切断することにより、先行テープＴｍの後端部Ｖ２が先行テープ保持部材５１によって保持される状態となる。粘着テープＴが切断されると、カッタユニット５０は初期位置へと復帰する。なお、後述するテープ保持ユニット２５Ａおよび２５Ｂの位置を入れ換える工程において干渉を回避すべく、先行テープＴｍを保持している先行テープ保持部材５１、および先行テープＴｍを案内している案内ローラ２９をさらに退避させる構成であってもよい。

【0175】

ステップＳ７－３（剥離ライナーの切断）
粘着テープＴを切断して先行テープＴｍを使用済みの原反ロール１１Ａから切り離した後、剥離ライナーＳを切断して原反ロール１１Ａから切り離す操作を開始する。すなわち図２５に示すように、繰り出し位置Ｇ１に配設されているライナー切断機構５４を作動させ、原反ロール１１Ａから繰り出されて粘着テープＴから剥離された剥離ライナーＳを切断する。原反ロール１１Ａから切り離された剥離ライナーＳは、ライナーボビン１３Ａに巻き取られる。なお、ステップＳ７－３の工程が完了して粘着テープＴおよび剥離ライナーＳが原反ロール１１Ａから切り離された状態のテープ供給部３は、図２６に示される通りである。

【0176】

ステップＳ７－４（保持ユニットの入れ換え）
粘着テープＴを切断させた後、テープ保持ユニット２５の位置を入れ換える動作を実行する。ステップＳ７－２の工程が開始されると、制御部９はテープ保持ユニット２５Ａの可動壁３３Ａおよびテープ保持ユニット２５Ｂの可動壁３３Ｂの駆動部を適宜制御することにより、テープ保持ユニット２５Ａおよび２５Ｂの位置を互いに入れ換える。

【0177】

本実施例では具体的に、繰り出し位置Ｇ１にある可動壁３３Ａをｙ方向に後退させるとともに、準備位置Ｇ２にある可動壁３３Ｂを上昇させる。可動壁３３Ｂが上昇することにより、準備位置Ｇ２にあったテープ保持ユニット２５Ｂは繰り出し位置Ｇ１へと移動する。そして、繰り出し位置Ｇ１から後退させた可動壁３３Ａをｚ方向に下降させ、さらにｙ方向へ前進させることによって可動壁３３Ａを準備位置Ｇ２へと移動させる。その結果、繰り出し位置Ｇ１にあったテープ保持ユニット２５Ａは準備位置Ｇ２へと移動することとなる。

【0178】

このような駆動制御により、使用済みとなった原反ロール１１Ａを保持するテープ保持ユニット２５Ａを準備位置Ｇ２へ移動させつつ、準備状態となっている未使用の原反ロール１１Ｂを保持するテープ保持ユニット２５Ｂを繰り出し位置Ｇ１へと移動させる。テープ保持ユニット２５Ａおよび２５Ｂの位置が入れ換えられてステップＳ７－４の工程が完了した状態のテープ供給部３は、図２７に示される通りである。すなわちテープ接合機構３７を例とする、テープ保持ユニット２５に配設されている構成はステップＳ７－４においてテープ保持ユニット２５とともに移動する。一方、テープ量検知センサ３２を例とする、テープ保持ユニット２５に接続されていない構成についてはステップＳ７－４において移動しない。

【0179】

テープ保持ユニット２５Ｂに配置されている原反ロール１１ＢはステップＳ６に係る準備処理工程が完了している。そのため、テープ保持ユニット２５Ｂを繰り出し位置Ｇ１へ移動させることにより、図２７に示すように、原反ロール１１Ｂが装填している粘着テープＴの先端部Ｖ１を保持している粘着テープ保持部材４１Ｂが、先行テープＴｍの後端部Ｖ２を保持している先行テープ保持部材５１の上流に相当する位置へと移動する。そして接合テープＮｓを保持している状態となっている接合テープ保持部材４３Ｂが、粘着テープ保持部材４１Ｂの下流であって先行テープ保持部材５１の上流となる位置へと移動する。

【0180】

ステップＳ７－５（粘着テープの接合）
テープ保持ユニット２５の位置を入れ換えて未使用の原反ロール１１Ｂを繰り出し位置Ｇ１へ移動させた後、粘着テープを接合させる工程を開始する。すなわちステップＳ７－５では、使用済みの原反ロール１１Ａから切り離されていた先行テープＴｍを、新たに繰り出し位置Ｇ１へ配置された未使用の原反ロール１１Ｂの粘着テープＴと接合させる動作を行う。図２８（ａ）は、ステップＳ７－５の工程を開始する直前におけるテープ保持ユニット２５Ｂの状態を示している。

【0181】

ステップＳ７－５の工程が開始されると、制御部９は伸縮アーム４７Ｂを制御して接合テープ保持部材４３Ｂを移動させる。当該制御により、ｘ方向において左側へ退避していた接合テープ保持部材４３Ｂはｘ方向において右側へ移動して粘着テープＴに近づいていく。その結果、図２８（ｂ）に示すように、接合テープ保持部材４３Ｂが保持している接合テープＮｓは、先行テープＴｍの後端部Ｖ２と、原反ロール１１Ｂに装填されている粘着テープＴの先端部Ｖ１との各々に粘着する。接合テープＮｓが先行テープＴｍの後端部Ｖ２と粘着テープＴの先端部Ｖ１との各々に粘着することにより、先行テープＴｍは原反ロール１１Ｂの粘着テープＴと接合される。なお図２８（ｂ）では後端部Ｖ２の非粘着面と先端部Ｖ１の非粘着面とにわたって接合テープＮｓが貼り付けられているが、後端部Ｖ２の粘着面と先端部Ｖ１の粘着面とにわたって接合テープＮｓを貼り付けてもよい。

【0182】

ステップＳ７－６（テープ搬送の再開）
新たに繰り出し位置Ｇ１へ配置された原反ロール１１Ｂと先行テープＴｍとが接合されることにより、未使用の原反ロール１１Ｂに装填されている多量の粘着テープＴを、テープ貼付け部４へと繰り出し供給することが可能となる。そこでステップＳ７－５に係る粘着テープを接合させる工程が完了すると、粘着テープＴを搬送する動作を再開させる。すなわち制御部９は繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１および回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５を回転させる機構を例とする、粘着テープ貼付け装置１の各構成の動作を再開させる制御を行う。

【0183】

当該制御により、稼働中である原反ロール１１Ｂの回転および稼働中である巻き取り芯１５Ａの回転が再開されるので、原反ロール１１Ｂから粘着テープＴが繰り出し供給される動作と巻き取り芯１５Ａによって不要テープＴｎが巻き取り回収される動作が再開される。そのため、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープの貼付け工程が再開される。すなわちステップＳ７のうち、ステップＳ７－７およびステップＳ７－８の工程は粘着テープ貼付け工程が実行されている状態で行うことができる。

【0184】

ステップＳ７－７（原反ロールの搬出）
ステップＳ７－６の工程によって粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける一連の動作が再開されると、使用済みの原反ロール１１をテープ供給部３から搬出する動作を開始する。すなわち制御部９はステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を再開させつつ、原反ロール搬送機構７を作動させる。制御部９は原反ロール搬送機構７の左右可動台８３および昇降プレート８５を適宜移動させ、ｘ方向およびｚ方向におけるロール保持アーム８９の位置を使用済みの原反ロール１１Ａの位置に合わせる。そしてロール保持アーム８９を案内プレート８７に沿ってｙ方向について後方へ移動させ、原反ロール１１Ａをロール保持アーム８９で保持させる。原反ロール１１Ａを保持した状態でロール保持アーム８９をｙ方向について前方に移動させることにより、図２９に示すように、原反ロール１１Ａは原反ロール支持軸３４Ａから抜き取られる。

【0185】

原反ロール支持軸３４Ａから原反ロール１１Ａを抜き取った後、原反ロール搬送機構７は使用済みの原反ロール１１Ａをテープ供給部３から原反ロール保管部２へと搬出させる。すなわちロール保持アーム８９が原反ロール１１Ａを保持している状態を維持しつつ、左右可動台８３をｘ方向に駆動させ、テープ供給部３の前方に相当する位置から原反ロール保管部２の前方に相当する位置へと移動させる。

【0186】

さらに制御部９は、ｘ方向およびｚ方向におけるロール保持アーム８９の位置を、原反ロール１１が支持されていない原反ロール支持軸１９の位置に合わせる。本実施例では上から２段目の原反ロール支持軸１９の位置にロール保持アーム８９の位置を合わせる。そして図３０に示すように、ロール保持アーム８９を案内プレート８７に沿ってｙ方向について後方へ移動させ、使用済みの原反ロール１１Ａを原反ロール支持軸１９に装着させる。

【0187】

原反ロール搬送機構７によって原反ロール１１Ａをテープ供給部３から搬出させた後、使用済みとなったライナーボビン１３Ａも同様にテープ供給部３から搬出させる。すなわち、ロール保持アーム８９を適宜変位させ、使用済みのライナーボビン１３Ａをロール保持アーム８９で保持させる。そしてロール保持アーム８９がライナーボビン１３Ａを保持している状態を維持しつつ、原反ロール搬送機構７をテープ供給部３の前方に相当する位置から原反ロール保管部２の前方に相当する位置へと移動させ、ライナーボビン１３Ａをテープ供給部３から原反ロール保管部２へと搬出させる。さらにロール保持アーム８９はライナーボビン１３が支持されていないボビン支持軸２１に使用済みのライナーボビン１３Ａを装着させる。以上でステップＳ７－７の工程は完了する。図３１は、使用済みの状態となった原反ロール１１Ａおよびライナーボビン１３Ａがテープ供給部３から原反ロール保管部２へと搬出された状態を示している。

【0188】

ステップＳ７－８（原反ロールの搬入）
使用済みの状態となった原反ロール１１Ａおよびライナーボビン１３Ａをテープ供給部３から搬出させることにより、テープ供給部３の準備位置Ｇ２には原反ロール１１およびライナーボビン１３が配置されていない状態となる。

【0189】

そこで使用済みの原反ロール１１Ａおよびライナーボビン１３Ａをテープ供給部３の準備位置Ｇ２から搬出させた後、未使用の原反ロール１１およびライナーボビン１３をテープ供給部３の準備位置Ｇ２へ搬入する動作を開始する。本実施例では、原反ロール保管部２に保管されている未使用状態の原反ロール１１のうち、原反ロール１１Ｃをテープ供給部３へ搬入させるものとする。また原反ロール保管部２に保管されている未使用状態のライナーボビン１３のうち、ライナーボビン１３Ｃをテープ供給部３へ搬入させるものとする。

【0190】

ステップＳ７－８の工程が開始されると、制御部９は原反ロール搬送機構７を制御して原反ロール１１Ｃを原反ロール保管部２からテープ供給部３へと搬入させる。すなわち原反ロール搬送機構７はロール保持アーム８９の位置を適宜調整して原反ロール１１Ｃを保持し、原反ロール１１Ｃを原反ロール支持軸１９から抜き取らせる。そして原反ロール１１Ｃを保持しているロール保持アーム８９をテープ供給部３の準備位置Ｇ２へと移動させ、図３２に示すように、準備位置Ｇ２に移動しているテープ保持ユニット２５が備えている原反ロール支持軸３４（ここではテープ保持ユニット２５Ａが備えている原反ロール支持軸３４Ａ）に原反ロール１１Ｃを装着させる。

【0191】

未使用の原反ロール１１Ｃをテープ供給部３に搬入させた後、未使用のライナーボビン１３Ｃをテープ供給部３に搬入させる。すなわち原反ロール搬送機構７はロール保持アーム８９の位置を適宜調整してライナーボビン１３Ｃを保持し、ライナーボビン１３Ｃをボビン支持軸２１から抜き取らせる。そしてライナーボビン１３Ｃを保持しているロール保持アーム８９をテープ供給部３の準備位置Ｇ２へと移動させ、準備位置Ｇ２に移動しているテープ保持ユニット２５が備えているボビン支持軸３５（ここではボビン支持軸３５Ａ）にライナーボビン１３Ｃを装着させる。以上でステップＳ７－８の工程は完了する。図３３は、未使用状態の原反ロール１１Ｃおよびライナーボビン１３Ｃが原反ロール保管部２からテープ供給部３へと搬入された状態を示している。

【0192】

ステップＳ７－１からステップＳ７－８までの工程を実行することにより、ステップＳ７に係る原反ロールの自動交換工程は完了する。以降、粘着テープ貼付け装置１ではステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を実行させつつ、繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１における粘着テープＴの装填量に応じてステップＳ６およびステップＳ７の工程を実行する。

【0193】

すなわち繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１Ｂから粘着テープＴが繰り出されて粘着テープ貼付け工程が行われると、原反ロール１１Ｂにおける粘着テープＴの装填量は減少していく。そして粘着テープＴの装填量が所定値Ｔ１以下となった場合、準備位置Ｇ２に配置されている待機状態の原反ロール１１Ｃに対して、ステップＳ６に係る準備処理工程を行って原反ロール１１Ｃを準備状態にさせる。その後、原反ロール１１Ｂにおける粘着テープＴの装填量が所定値Ｔ２以下に減少して原反ロール１１Ｂが使用済み状態となった場合、粘着テープ貼付け工程を一時的に中断させ、準備状態となっている原反ロール１１Ｃを準備位置Ｇ２から繰り出し位置Ｇ１へと移動させる。繰り出し位置Ｇ１へ移動した原反ロール１１Ｃは先行テープＴｍと接合され、粘着テープ貼付け工程が再開される。一方で、使用済み状態となった原反ロール１１Ｂは繰り出し位置Ｇ１から準備位置Ｇ２へと移動し、さらに準備位置Ｇ２から原反ロール保管部２へと搬出される。

【0194】

以降、原反ロール保管部２に保管されている未使用の原反ロール１１が全てテープ供給部３へ搬入されるまで、ステップＳ７に係る原反ロールの自動交換を行うことができる。原反ロール保管部２に保管される未使用の原反ロール１１およびライナーボビン１３の数が少なくなった場合、作業者または作業ロボットなどが未使用の原反ロール１１およびライナーボビン１３を原反ロール保管部２に補充しつつ、原反ロール保管部２に搬出された使用済みの原反ロール１１およびライナーボビン１３を回収する。

【0195】

未使用の原反ロール１１およびライナーボビン１３を原反ロール保管部２に補充する工程、および使用済みの原反ロール１１およびライナーボビン１３を原反ロール保管部２から回収する工程は、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を継続させた状態で実行できる。そのため、ウエハＷに粘着テープを貼り付ける処理の効率を低減させることなく、原反ロール保管部２に未使用の原反ロール１１およびライナーボビン１３を補充して使用済みの原反ロール１１およびライナーボビン１３を原反ロール保管部２から回収する作業を行うことができる。

【0196】

また本実施例ではステップＳ７に係る原反ロール交換工程を開始する時点において、ステップＳ６に係る原反ロールの準備処理工程を完了させている。そのため、ステップＳ７によって新たに繰り出し位置Ｇ１へ配置される原反ロール１１は準備状態となっており、ステップＳ７によって原反ロール１１から切り離された粘着テープＴと接合するために必要な前処理は完了している。

【0197】

すなわち剥離ライナーＳはライナーボビン１３に接合されており、剥離ライナーＳを粘着テープＴから剥離して巻き取ることが既に可能となっている。また接合テープＮｓが接合テープ保持部材４３に保持されており速やかに粘着テープＴへ接合テープＮｓを貼り付けることが可能な状態となっている。そのため、ステップＳ７－５の工程に要する時間を短縮できるので、粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける操作を速やかに再開できる。従って、粘着テープ貼付け装置１の処理効率を向上させることが可能となる。

【0198】

また準備位置Ｇ２へ搬入された原反ロール１１は搬入された時点では待機状態となっており、粘着テープＴの粘着面は剥離ライナーＳによって保護されている。一例として原反ロール１１に装填される粘着テープＴの全てが繰り出されるには数時間から十数時間かかるので、未使用状態の原反ロール１１から粘着テープＴの供給を開始してから当該原反ロールにおける粘着テープＴの装填量が所定量Ｔ１以下に減少するまでには長い時間がかかる。そのため、貼り付け位置Ｇ１に配置される原反ロール１１において粘着テープＴの装填量が所定量Ｔ１以下になるまでの期間、準備位置Ｇ２に配置される原反ロール１１は待機状態を維持させることで、準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１において粘着テープＴの粘着面が露出する時間を短縮できる。よって、準備位置Ｇ２に配置されている未使用状態の原反ロール１１において、粘着テープＴの粘着力が劣化することを防止できる。

【0199】

＜巻き取り芯の自動交換工程＞
次に、ステップＳ８に係る巻き取り芯の自動交換工程、すなわち回収位置Ｋ１に配置されている使用済みの巻き取り芯１５を、待機位置Ｋ２に配置されている未使用の巻き取り芯１５へと自動的に交換させる工程について説明する。図１４（ｃ）は、回収位置Ｋ１に配置される巻き取り芯を、使用済みの巻き取り芯１５Ａから未使用の巻き取り芯１５Ｂへと交換させる一連の工程を説明するフローチャートである。

【0200】

ステップＳ８－１（テープ搬送の停止）
回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５Ａは、当初は図３４（ａ）に示すように不要テープＴｎが巻き取られていない未使用状態である。しかし、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を実行させると、図３４（ｂ）に示すように、回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５Ａに巻き取られる不要テープＴｎの量は徐々に増大する。巻き取り芯１５で巻き取り回収できる不要テープＴｎの量には上限がある。そのため、巻き取り芯１５Ａに巻き取り回収されている不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上になった場合、テープ貼付け部４から搬送される不要テープＴｎを巻き取り芯１５Ａで回収することが困難であると判定される。

【0201】

そのため稼働中の巻き取り芯１５Ａに巻き取り回収された不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上であることをテープ量検知センサ７１が検知した場合、不要テープＴｎの回収量がＭ１以上である内容の情報はテープ量検知センサ７１から制御部９へと送信される。そして制御部９は当該情報を受信することによって、テープ回収部５および巻き取り芯搬送機構８を制御し、回収位置Ｇ１に配置される巻き取り芯１５を、不要テープＴｎの回収量が許容量に達しており不要テープＴｎの回収が困難となっている巻き取り芯１５Ａから、未使用状態であり不要テープＴｎが巻き取られていない巻き取り芯１５Ｂへと交換させる処理を開始させる。

【0202】

制御部９を介して巻き取り芯１５の自動交換処理を開始する旨の指令が出されると、まずは粘着テープＴを搬送する動作を一時的に停止する。すなわち制御部９は繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１および回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５を回転させる機構を例とする、粘着テープ貼付け装置１の各構成を停止させる制御を行う。当該制御により、稼働中である原反ロール１１の回転および稼働中である巻き取り芯１５の回転が停止されるので、原反ロール１１から粘着テープＴが繰り出し供給される動作と巻き取り芯１５によって不要テープＴｎが巻き取り回収される動作が中断される。そのため、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープの貼付け工程が一時的に中断される。

【0203】

ステップＳ８－２（巻き取り芯の入れ換え）
粘着テープＴの搬送を中断した後、巻き取り芯１５を保持する巻き取り芯支持軸６７の位置を入れ換える動作を実行する。本実施例では具体的に、回転プレート６５を１８０°回転させることによって巻き取り芯支持軸６７の位置を回収位置Ｋ１と待機位置Ｋ２との間で入れ換える。回転プレート６５が回転することにより、回転プレート６５に接続されている案内ローラ６６、巻き取り芯支持軸６７、および巻き取り芯支持軸６７に装填されている巻き取り芯１５も回転する。

【0204】

図３５（ａ）は回転プレート６５が左周りに９０°回転している状態を示している。巻き取り芯１５Ａに巻き取られている不要テープＴｎは、新たに回収位置Ｋ１へ移動した案内ローラ６６に巻回される。そのため、不要テープＴｎが搬送される軌道は、回転プレート６５の外周に沿った軌道となる。図３５（ｂ）は回転プレート６５が左周りに１８０°回転している状態を示している。回収位置Ｋ１と待機位置Ｋ２は回転軸６８を挟んで互いに対向する位置である。そのため回転プレート６５が１８０°回転することにより、回収位置Ｋ１に配置されていた使用済みの巻き取り芯１５Ａは、待機位置Ｋ２へ移動する。一方、待機位置Ｋ２に配置されていた未使用の巻き取り芯１５Ｂは、回収位置Ｋ１へ移動する。回収位置Ｋ１と待機位置Ｋ２との間で２つの巻き取り芯１５の位置を入れ換えることにより、ステップＳ８－２の工程は完了する。

【0205】

ステップＳ８－３（不要テープの切断）
ステップＳ８－２の工程が完了した時点において、不要テープＴｎは案内ローラ６９、巻き取り芯１５Ｂ、案内ローラ６６の各々に案内され、巻き取り芯１５Ａに接続されている。すなわち不要テープＴｎは使用済みの巻き取り芯１５Ａに接続されている一方、新たに回収位置Ｋ１に配置された未使用状態の巻き取り芯１５Ｂには不要テープＴｎが接続されていない。巻き取り芯１５Ｂで不要テープＴｎを巻き取り回収するには、不要テープＴｎの端部が巻き取り芯１５Ｂに接合されている必要がある。そのため、不要テープＴｎを未使用の巻き取り芯１５Ｂに接合させる前段階として、回収位置Ｋ１において不要テープＴｎを切断して新たに不要テープＴｎの端部を形成させる動作を行う。

【0206】

ステップＳ８－３の工程が開始されると、制御部９は接合ユニット７０を作動させて回収位置Ｇ１において不要テープＴｎを切断させる。すなわち図３６（ａ）に示すように、回動軸７３を回転させて接合ユニット７０を退避位置Ｐ２から接合位置Ｐ１へと移動させる。接合ユニット７０が接合位置Ｐ１へ移動することにより、不要テープＴｎは貼付けローラ７５と巻き取り芯１５Ｂとによって挟み込まれて固定される。

【0207】

不要テープＴｎを固定した後、カッタ刃７７を用いて不要テープＴｎを切断する。すなわちカッタ刃７７を保持する可動台７８を不要テープＴｎに近接する方向へ移動させ、さらに可動台７８を不要テープＴｎの幅方向に移動させる。可動台７８の移動により、図３６（ｂ）に示すように、貼付けローラ７５と巻き取り芯１５Ｂとによって挟み込まれている位置の下流側において、カッタ刃７７は不要テープＴｎを幅方向に切断する。ステップＳ８－３の工程を開始する時点では粘着テープＴの搬送を停止しているので、カッタ刃７７は不要テープＴｎを正確に切断できる。

【0208】

不要テープＴｎが切断されることにより、テープ貼付け部４からテープ回収部５へ搬送されている不要テープＴｎは、待機位置Ｋ２に移動している使用済みの巻き取り軸１５Ａから切り離される。不要テープＴｎが使用済みの巻き取り軸１５Ａから切り離されることにより、切り離された部分の上流側の不要テープＴｎにおいて新たに先端部Ｖ３が形成される。切り離された部分の下流側の不要テープＴｎは、巻き取り芯１５Ａの回転によって巻き取り芯１５Ａに巻き取られる。

【0209】

ステップＳ８－４（不要テープの接合）
不要テープＴｎを使用済みの巻き取り芯１５Ａから切り離した後、新たに回収位置Ｋ１へ配置された未使用の巻き取り芯１５に不要テープＴｎを接合させる。本実施例では、巻き取り芯１５Ｂに不要テープＴｎを接合させる。すなわち図３７に示すように、可動台７６を枢動アーム７４との接続部を中心に揺動させるなどの動作により、巻き取り芯１５Ｂの外周部上で貼付けローラ７５を転動させ、不要テープＴｎの先端部Ｖ３を巻き取り芯１５Ｂに押圧させる。

【0210】

不要テープＴｎの先端部Ｖ３が押圧されることにより、先端部Ｖ３における不要テープＴｎの粘着面が巻き取り芯１５Ｂの外周面に密着し、不要テープＴｎが巻き取り芯１５Ｂに接合される。不要テープＴｎが巻き取り芯１５Ａから分離され、巻き取り芯１５Ｂに不要テープＴｎの先端部Ｖ３が接合された状態のテープ回収部５を図３８に示している。その後、接合ユニット７０を接合位置Ｐ１から退避位置Ｐ２へと退避させる。回収位置Ｋ１へ新たに移動した未使用の巻き取り芯１５Ｂに不要テープＴｎが接合されることにより、ステップＳ８－４の工程は完了する。

【0211】

ステップＳ８－５（テープ搬送の再開）
新たに回収位置Ｋ１へ配置された巻き取り芯１５Ｂと不要テープＴｎとが接合されることにより、テープ貼付け部４から搬送された不要テープＴｎを未使用の巻き取り芯１５Ｂで巻き取り回収することが可能となる。そこでステップＳ８－４に係る不要テープを接合させる工程が完了すると、粘着テープＴを搬送する動作を再開させる。すなわち制御部９は繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１および回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５を回転させる機構を例とする、粘着テープ貼付け装置１の各構成の動作を再開させる制御を行う。

【0212】

当該制御により、繰り出し位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１Ｂの回転が開始されるとともに、回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５Ｂの回転が開始されるので、原反ロール１１Ｂから粘着テープＴが繰り出し供給される動作と巻き取り芯１５Ｂによって不要テープＴｎが巻き取り回収される動作が開始される。そのため、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープの貼付け工程が再開される。すなわちステップＳ８のうち、ステップＳ８－６およびステップＳ８－７の工程は粘着テープ貼付け工程が実行されている状態で行うことができる。

【0213】

ステップＳ８－６（巻き取り芯の搬出）
粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける一連の動作が再開されると、使用済みの巻き取り芯１５をテープ回収部５から搬出する動作を開始する。すなわち制御部９はステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を再開させつつ、巻き取り芯搬送機構８を作動させる。制御部９は巻き取り芯搬送機構８の左右可動台９３および昇降プレート９５を適宜移動させ、ｘ方向およびｚ方向における巻き取り芯保持アーム９９の位置を使用済みの巻き取り芯１５Ａの位置に合わせる。そして巻き取り芯保持アーム９９を案内プレート９７に沿ってｙ方向について後方へ移動させ、巻き取り芯１５Ａを巻き取り芯保持アーム９９で保持させる。巻き取り芯１５Ａを保持した状態で巻き取り芯保持アーム９９をｙ方向について前方に移動させることにより、図３９に示すように、巻き取り芯１５Ａは巻き取り芯支持軸６７Ａから抜き取られる。

【0214】

巻き取り芯支持軸６７Ａから巻き取り芯１５Ａを抜き取った後、巻き取り芯搬送機構８は使用済みの巻き取り芯１５Ａをテープ回収部５から巻き取り芯保管部６へと搬出させる。すなわち巻き取り芯保持アーム９９が巻き取り芯１５Ａを保持している状態を維持しつつ、左右可動台９３をｘ方向に駆動させ、テープ回収部５の前方に相当する位置から巻き取り芯保管部６の前方に相当する位置へと移動させる。

【0215】

さらに制御部９は、ｘ方向およびｚ方向における巻き取り芯保持アーム９９の位置を、巻き取り芯１５が支持されていない巻き取り芯支持軸８１の位置に合わせる。本実施例では上から４段目の巻き取り芯支持軸８１の位置に巻き取り芯保持アーム９９の位置を合わせる。そして巻き取り芯保持アーム９９を案内プレート９７に沿ってｙ方向について後方へ移動させ、使用済みの巻き取り芯１５Ａを巻き取り芯支持軸８１に装着させることによって巻き取り芯１５Ａを搬出する工程が完了する。図４０は、使用済みの状態となった巻き取り芯１５Ａがテープ回収部３から搬出されて巻き取り軸保管部６に保管された状態を示している。

【0216】

ステップＳ８－７（巻き取り芯の搬入）
使用済みの状態となった巻き取り芯１５Ａをテープ回収部５の待機位置Ｋ２から搬出させることにより、テープ回収部５の待機位置Ｋ２には巻き取り芯１５が配置されていない状態となる。

【0217】

そこで使用済みの巻き取り芯１５Ａをテープ回収部５の待機位置Ｋ２から搬出させた後、未使用の巻き取り芯１５をテープ回収部５の待機位置Ｋ２へ搬入する動作を開始する。本実施例では、巻き取り芯保管部６に保管されている未使用状態の巻き取り芯１５Ｃおよび１５Ｄのうち、巻き取り芯１５Ｃをテープ回収部５へ搬入させるものとする。

【0218】

ステップＳ８－７の工程が開始されると、制御部９は巻き取り芯搬送機構８を制御して巻き取り芯１５Ｃを巻き取り芯保管部６からテープ回収部５へと搬入させる。すなわち巻き取り芯搬送機構８は巻き取り芯保持アーム９９の位置を適宜調整して巻き取り芯１５Ｃを保持し、巻き取り芯１５Ｃを巻き取り芯支持軸８１から抜き取らせる。そして巻き取り芯１５Ｃを保持している巻き取り芯保持アーム９９を移動させ、待機位置Ｋ２に移動している巻き取り芯支持軸６７（ここでは巻き取り芯支持軸６７Ａ）に巻き取り芯１５Ｃを装着させる。以上でステップＳ８－７の工程は完了する。図４１は、未使用状態の巻き取り芯１５Ｃが巻き取り芯保管部６からテープ回収部５へと搬入された状態を示している。

【0219】

ステップＳ８－１からステップＳ８－７までの工程を実行することにより、ステップＳ８に係る巻き取り芯の自動交換工程は完了する。以降、粘着テープ貼付け装置１ではステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を実行させつつ、回収位置Ｋ１に配置されている巻き取り芯１５における不要テープＴの回収量に応じてステップＳ８の工程を実行する。

【0220】

すなわち回収位置Ｋ１に巻き取り芯１５Ｂを移動させた状態で粘着テープ貼付け工程をさらに進行されると、稼働中の巻き取り芯１５Ｂに不要テープＴｎが巻き取り回収され、巻き取り芯１５Ｂに巻回される不要テープＴｎの量は増加していく。そして巻き取り芯１５Ｂに巻回される不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上に増加して巻き取り芯１５Ｂが使用済み状態となった場合、粘着テープ貼付け工程を一時的に中断させ、予め待機位置Ｋ２へ配置されている未使用状態の巻き取り芯１５Ｃを待機位置Ｋ２から回収位置Ｋ１へと移動させる。回収位置Ｋ１へ移動した巻き取り芯１５Ｃは不要テープＴｎと接合され、粘着テープ貼付け工程が再開される。一方で、使用済み状態となった巻き取り芯１５Ｂは回収位置Ｋ１から待機位置Ｋ２へと移動し、さらに待機位置Ｋ２から原反ロール保管部２へと搬出される。

【0221】

以降、巻き取り芯保管部６に保管されている未使用の巻き取り芯１５が全てテープ回収部５へ搬入されるまで、ステップＳ８に係る巻き取り芯の自動交換を行うことができる。巻き取り芯保管部６に保管される未使用の巻き取り芯１５の数が少なくなった場合、作業者または作業ロボットなどが未使用の巻き取り芯１５を巻き取り芯保管部６に補充しつつ、巻き取り芯保管部６に搬出された使用済みの巻き取り芯１５を回収する。

【0222】

未使用の巻き取り芯１５を巻き取り芯保管部６に補充する工程、および使用済みの巻き取り芯１５を巻き取り芯保管部６から回収する工程は、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を継続させた状態で実行できる。そのため、ウエハＷに粘着テープを貼り付ける処理の効率を低減させることなく、巻き取り芯保管部６に未使用の巻き取り芯１５を補充して使用済みの巻き取り芯１５を巻き取り芯保管部６から回収する作業を行うことができる。

【0223】

＜実施例の構成による効果＞
上記実施例に係る粘着テープ貼付け装置１は、テープ供給部３とテープ貼付け部４とテープ回収部５に加えて、原反ロール保管部２と巻き取り芯保管部６と原反ロール搬送機構７と巻き取り芯搬送機構８とを備えている。テープ供給部３は、原反ロール１１を保持するテープ保持ユニット２５を複数備えている。また、テープ供給部３には繰り出し位置Ｇ１と準備位置Ｇ２とが存在している。そしてテープ供給部に備えられている原反ロール保持部のうち、繰り出し位置Ｇ１に移動しているテープ保持ユニット２５に保持されている原反ロール１１から、粘着テープＴをテープ処理部３へ繰り出し供給するように構成されている。一方、現時点において粘着テープＴをテープ処理部３へ供給しない原反ロール１１については準備位置Ｇ２に配置される。

【0224】

そのため実施例の構成では案内ローラ２９を例とする、テープ供給部３からテープ貼付け部４へと粘着テープを供給する機構は、テープ保持ユニット２５の各々に対して配設される必要がなく、繰り出し位置Ｇ１に移動しているテープ保持ユニット２５に対してのみ配設すれば粘着テープ貼付け処理を好適に実行できる。よってテープ保持ユニット２５を複数備える構成であっても、案内ローラ２９を例とする、テープ貼付け部４へと粘着テープを供給する機構を１つ備えていればよいので、粘着テープ貼付け装置１の構成をより単純化できる。

【0225】

そしてテープ供給部３に備えられている複数のテープ保持ユニット２５のうち、準備位置Ｇ２に移動しているテープ保持ユニット２５に対して、原反ロール搬送機構７は原反ロール保管部２から原反ロール１１を搬入できるように構成されている。そのため、繰り出し位置Ｇ１に移動している原反ロール１１から粘着テープＴをテープ貼付け部４へ供給してウエハＷに粘着テープＴを貼り付ける動作を継続させつつ、原反ロール保管部２からテープ供給部３の準備位置Ｇ２へと未使用の原反ロール１１を補充できる。すなわち原反ロール保管部２からテープ供給部３へと未使用の原反ロール１１を補充する際にウエハＷに粘着テープＴを貼り付ける操作を停止させる必要がないので、粘着テープ貼付け処理の効率を向上できる。また、原反ロール保管部２からテープ供給部３へと未使用の原反ロールを補充する操作は原反ロール搬送機構７によって自動的に行うことができるので、作業者による労力を低減できる。

【0226】

また実施例に係る粘着テープ貼付け装置１では、貼り付け位置Ｇ１に配置されており粘着テープＴを供給する原反ロール１１を交換する工程（ステップＳ７）を実行する前に、準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１を待機状態から準備状態にさせる準備処理工程（ステップＳ６）を予め実行する。言い換えると、準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１は当初、待機状態となっている。

【0227】

貼り付け位置Ｇ１に配置されている稼働中の原反ロール１１における粘着テープＴの装填量が所定値Ｔ１以下になると、貼り付け位置Ｇ１の原反ロール１１における粘着テープＴの供給を継続しつつ、準備位置Ｇ２に配置されている未使用の原反ロール１１に対して準備処理を実行する。そして貼り付け位置Ｇ１に配置されている原反ロール１１における粘着テープＴの装填量がさらに減少して所定値Ｔ２以下になると、貼り付け位置Ｇ１の原反ロール１１における粘着テープＴの供給を停止させ、原反ロール１１を交換する工程を実行する。

【0228】

ステップＳ６に係る準備処理では、原反ロール１１に巻回されている粘着テープＴの先端部から剥離ライナーを剥離して粘着テープＴの粘着面を一部露出させる。そして粘着テープＴから剥離された剥離ライナーＳをライナーボビン１３に接合させ、剥離ライナーＳをライナーボビン１３で巻き取り回収可能な状態にさせる。

【0229】

このような準備処理は、使用済みの原反ロール１１から切り離された粘着テープＴと、新たな未使用の原反ロール１１とを接合させた後に当該未使用の原反ロール１１から粘着テープＴの繰り出し供給操作を開始させるために必要な前処理である。ステップＳ７を開始する場合、ステップＳ１～Ｓ５に係る粘着テープ貼付け工程を一時停止させる必要がある。一方、ステップＳ６に係る準備処理工程は、粘着テープ貼付け工程を一時停止させることなく実行できる。

【0230】

そのため、粘着テープ貼付け工程を実行中にステップＳ６に係る準備処理工程を行って準備位置Ｇ２に配置されている原反ロール１１を準備状態にさせておくことで、当該原反ロール１１を貼り付け位置Ｇ１に移動させた後に粘着テープＴを繰り出し供給が可能となるまでに必要な時間と工程とを減らすことができる。その結果、原反ロールに装填される粘着テープが尽きてから準備処理を含めた原反ロール交換操作を行う従来構成と比べ、実施例に係る構成では使用済みの原反ロール１１を新たな未使用の原反ロール１１に交換させる際に粘着テープ貼付け工程を停止させる時間を短縮できるので、粘着テープ貼付け工程の効率を向上できる。

【0231】

実施例に係るステップＳ６では、原反ロール１１の準備処理は制御部９を介した制御によって自動的に行われる。すなわち、一例として未使用の原反ロール１１からテープＴＳを引き出して剥離ライナーＳを粘着テープＴから剥離し、当該剥離ライナーＳをライナーボビン１３に接合させる操作を作業者が手動で行う必要がない。そのため、手動で剥離ライナーＳをライナーボビン１３に接合させ、さらに原反ロール１１を手動で貼り付け位置Ｇ１の原反ロール支持軸３４に装填させるような従来の交換工程と比べて実施例に係る原反ロール交換工程では作業者の負担を軽減できる。

【0232】

また、テープ回収部５は回収位置Ｋ１と待機位置Ｋ２とを有しており、複数の巻き取り芯１５を配置可能な構成を備えている。すなわちテープ貼付け部４から搬送される不要テープＴｎを回収する操作の対象となる巻き取り芯１５は回収位置Ｋ１へ配置され、不要テープＴｎは当該巻き取り芯１５に巻き取り回収される。一方、現時点では不要テープＴｎを回収する操作を行わない巻き取り芯１５については待機位置Ｋ２に配置させる。このような構成を有することにより、稼働状態にある巻き取り芯１５については回収位置Ｋ１へ配置させて不要テープＴｎを巻き取り回収する操作を実行させつつ、回収位置Ｋ１における当該回収操作と平行して、回収操作とは異なる操作を待機位置Ｋ２において行うことができる。

【0233】

一例として、使用済みの巻き取り芯１５をテープ回収部５から搬出する操作を行う場合、使用済みの巻き取り芯１５を回収位置Ｋ１から待機位置Ｋ２へ配置させることで、回収位置Ｋ１にある別の巻き取り芯１５を用いて不要テープＴｎを巻き取る操作を実行しつつ、使用済みの巻き取り芯１５を待機位置Ｋ２から搬出させる操作を実行できる。すなわち、使用済みの巻き取り芯１５を搬出する際に不要テープＴｎを回収する操作を停止させる必要がないので、使用済みの巻き取り芯１５を待機位置Ｋ２から搬出させる操作を行うことに起因して粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける処理の効率が低下することを回避できる。

【0234】

そして巻き取り芯１５をテープ回収部５へ搬入する工程および巻き取り芯１５をテープ回収部５から搬出する工程は、巻き取り芯搬送機構８を用いた自動操作によって実行できる。すなわち搬送過程をより高度に自動化できるので、作業者の負担をさらに低減できるとともに、ウエハＷに対する粘着テープ処理工程の効率をさらに向上できる。

【0235】

また実施例では粘着テープＴの一部を切断して当該切断片を接合テープＮｓとして用いる。そのため、新たに繰り出し位置Ｇ１へ配置された未使用の原反ロール１１を先行テープＴｍと接合させる際に、接合対象である粘着テープＴの各々とは別のテープを、接合テープＮｓとして予め準備する必要がない。また、当該別のテープを供給する構成や、当該別のテープを接合対象の粘着テープＴに貼り付ける構成を配設する必要もない。そのため、粘着テープの接合の準備が煩雑化する事態や、粘着テープ貼付け装置１の大型化およびコスト上昇が発生する事態を回避できる。

【0236】

さらに、粘着テープＴの一部を接合テープＮｓとして用いるので、接合テープＮｓの特性は接合対象である粘着テープＴの特性と同一となる。そのため、接合テープＮｓと接合対象である粘着テープＴとの間の粘着力が低いという事態は確実に回避される。そのため、接合部分において再剥離に起因する接合エラーが発生することをより確実に防止できる。

【0237】

＜変形例の構成＞
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。例として、本発明は下記のように変形実施することができる。

【0238】

（１）実施例では、テープ供給部３に配置される２つの原反ロール１１Ａおよび１１Ｂは、それぞれ別の部材であるテープ保持ユニット２５Ａおよびテープ保持ユニット２５Ｂに保持されている構成を例として説明したが、これに限られない。すなわち２つの巻き取り芯１５Ａおよび１５Ｂを保持する回転プレート６５のように、１つの回転部材に２つの原反ロール１１Ａおよび原反ロール１１Ｂを保持させてもよい。この場合、回転プレート６５を回転させることで回収位置Ｋ１と待機位置Ｋ２との間で巻き取り芯１５を移動させるテープ回収部５の構成と同様に、当該回転部材を回転させることによって繰り出し位置Ｇ１と準備位置Ｇ２との間で原反ロール１１を移動させる構成とすることができる。

【0239】

またテープ回収部５についても、１つの部材である回転プレート６５が２つの巻き取り芯１５Ａおよび１５Ｂを保持する構成に限ることはなく、それぞれ別体である２つの保持ユニットの一方が巻き取り芯１５Ａを保持し、他方の保持ユニットが巻き取り芯１５Ｂを保持してもよい。この場合、巻き取り芯１５Ａを保持する一方の保持ユニットを回収位置Ｋ１から待機位置Ｋ２へ移動させる動作と同期的に、巻き取り芯１５Ｂを保持する他方の保持ユニットを待機位置Ｋ２から回収位置Ｋ１へ移動させる動作を行うことで、巻き取り芯１５Ａを待機位置Ｋ２へ移動させつつ巻き取り芯１５Ｂを回収位置Ｋ１へと移動させることができる。

【0240】

（２）実施例では原反ロール１１から供給される粘着テープＴの一部を切断し、当該切断片を接合テープＮｓとして用いたがこれに限られない。すなわち、予め断片化された接合テープＮｓを多数装填させたテープ片供給装置をテープ供給部３に設け、当該テープ片供給装置が接合テープ保持部材４３に粘着テープＮｓの断片を供給する構成であってもよい。この場合、接合テープ作成機構３１におけるカッタ刃４９などの構成を省略できる。

【0241】

（３）実施例では半導体ワークに対する粘着テープ処理工程として、ウエハＷの表面に回路保護用の粘着テープＴを貼り付ける処理を例示したが、半導体ワークに対する粘着テープ処理工程はこれに限られない。粘着テープ処理工程の他の例として、ウエハＷとリングフレームとにわたってダイシングテープを貼り付けて一体化させるマウントフレーム作成処理が挙げられる。また粘着テープ処理工程の他の例として、ウエハＷの表面に貼り付けられた保護テープに対して、帯状となっている剥離用の粘着テープ（剥離テープ）を貼り付け、保護テープを剥離テープとともにウエハＷから剥離させる粘着テープ剥離処理が挙げられる。

【0242】

（４）実施例では半導体ワークとしてウエハＷを例示しているが、これに限られない。半導体ワークの他の例として、半導体基板などが挙げられる。また半導体ワークの形状は円形に限ることはなく、矩形状、多角形状、楕円状を例とする任意の形状であってよい。また半導体ワークが矩形状または多角形状である場合、角部は尖った形状であってもよいし角部が丸みを帯びた形状であってもよい。

【0243】

（５）実施例では、原反ロール１１の搬送に用いる原反ロール搬送機構７と、巻き取り芯１５の搬送に用いる巻き取り芯搬送機構８とを別の機構として配置させているが、粘着テープ貼付け装置１は２つの搬送機構を備える構成に限られない。すなわち、原反ロール１１の搬送および巻き取り芯１５の搬送を共通の搬送機構によって行ってもよい。当該搬送機構は、原反ロール保管部２の前方から巻き取り芯保管部６の前方までの領域を往復移動可能に構成されており、原反ロール搬送機構７の機能と巻き取り芯搬送機構８の機能とを兼ね備える。この場合、１つの搬送機構によって原反ロール１１の搬送および巻き取り芯１５の搬送を行うので、粘着テープ貼付け装置１の構造をより単純化できる。このような変形例において、共通で用いられる当該搬送機構は原反ロール搬送機構７および巻き取り芯搬送機構に相当する。

【0244】

（６）実施例ではステップＳ８に係る巻き取り芯１５を交換する工程において、ステップＳ８－１に係る粘着テープＴの搬送を停止させる工程を行っているがステップＳ８－１を省略してもよい。一例として案内ローラ６９などを増設して不要テープＴｎ（粘着テープＴ）の搬送経路を長くすることにより、粘着テープＴの搬送を停止させることなく巻き取り芯１５を交換することができる。このような構成では粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける操作を継続させつつ巻き取り芯１５の交換工程などを実行できるので、装置の歩留まりを向上できる。

【0245】

（７）実施例では粘着テープＴに剥離ライナーＳが添設されたテープＴＳが原反ロール１１に装填されている構成を例示しているが、剥離ライナーＳを用いない構成であってもよい。すなわち、原反ロール１１は剥離ライナーＳが添設されていない帯状の粘着テープＴが巻回された構成であってもよい。このような変形例の場合、剥離ライナーＳを巻き取り回収するライナーボビン１３、および剥離ライナーＳを粘着テープＴから剥離させる補助部材となるライナー剥離ローラ４０などの構成を省略できるので粘着テープ貼付け装置１の構成をより単純化できる。また当該変形例において、原反ロール搬送機構７はライナーボビン１３を搬送する必要はなく、原反ロール搬送機構７は原反ロール１１を搬送する。

【0246】

（８）実施例において、テープ供給部３における原反ロール１１の交換工程（ステップＳ７）は、繰り出し位置Ｇ１に移動している稼働中の原反ロール１１における粘着テープＴの量が所定値Ｔ２以下となった場合に実行される。一方、テープ回収部５における巻き取り芯１５の交換工程（ステップＳ８）は、回収位置Ｋ１に移動している稼働中の巻き取り芯１５における不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上となった場合に実行される。すなわち実施例では、原反ロール１１の交換工程と巻き取り芯１５の交換工程とはそれぞれ異なる条件を満たした場合において、別々に実行される構成となっている。ここで、原反ロール１１の交換工程と巻き取り芯１５の交換工程とはそれぞれ異なる条件を満たした場合において実行される構成に限ることはなく、単一の条件を満たした場合において同期的に実行される構成であってもよい。

【0247】

原反ロール１１の交換工程と巻き取り芯１５の交換工程とを同期的に実行する変形例の一例として、繰り出し位置Ｇ１に移動している稼働中の原反ロール１１における粘着テープＴの量が所定値Ｔ２以下となった場合に、原反ロール１１の交換工程と巻き取り芯１５の交換工程とを同期的に実行する構成が挙げられる。この場合、稼働中の原反ロール１１における粘着テープＴの量が所定値Ｔ２以下であることをテープ量検知センサ３２が検知すると、制御部９はテープ供給部３およびテープ回収部５などの各構成を制御してステップＳ７の工程とステップＳ８の工程との両方を実行させる。

【0248】

原反ロール１１の交換工程と巻き取り芯１５の交換工程とを同期的に実行する変形例の他の例として、回収位置Ｋ１に移動している稼働中の巻き取り芯１５における不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上となった場合に、原反ロール１１の交換工程と巻き取り芯１５の交換工程とを同期的に実行する構成が挙げられる。この場合、稼働中の巻き取り芯１５における不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上であることをテープ量検知センサ７１が検知すると、制御部９はテープ供給部３およびテープ回収部５などの各構成を制御してステップＳ７の工程とステップＳ８の工程との両方を実行させる。

【0249】

また、テープ量検知センサ３２をテープ供給部３に備えるとともにテープ量検知センサ７１をテープ回収部５に備える構成において、いずれかのセンサが所定の条件を検知した場合にステップＳ７の工程とステップＳ８の工程との両方を実行させる構成であってもよい。すなわち、稼働中の原反ロール１１における粘着テープＴの量が所定値Ｔ２以下であることをテープ量検知センサ３２が検知する条件と、稼働中の巻き取り芯１５における不要テープＴｎの量が所定値Ｍ１以上であることをテープ量検知センサ７１が検知する条件とのいずれかを満たした場合に、ステップＳ７の工程とステップＳ８の工程との両方を実行させる構成であってもよい。

【0250】

このようなステップＳ７およびステップＳ８を同期的に実行させる変形例の構成では、ステップＳ７およびステップＳ８を異なるタイミングで実行させる構成と比べて、ステップＳ７またはステップＳ８に係る交換工程を実行するためにステップＳ１～Ｓ５のテープ貼付け工程を停止させる頻度を低減できる。従って、粘着テープ貼付け装置１における処理効率をさらに向上できる。また、ステップＳ７およびステップＳ８を同期的に制御するので、制御部９における制御プログラムなどをより単純化できる。

【0251】

（９）実施例に係るステップＳ８－４において、未使用の巻き取り芯１５に不要テープＴｎを接合させる工程は当該未使用の巻き取り芯１５が待機位置Ｋ２から回収位置Ｋ１に移動させた状態で実行する工程を例として挙げているが、これに限られない。すなわち未使用の巻き取り芯１５が待機位置Ｋ２に配置されている状態で、不要テープＴｎを当該未使用の巻き取り芯１５に接合させる構成であってもよい。この場合、ステップＳ８－２に係る巻き取り芯１５の位置を入れ換える工程はステップＳ８－４に係る不要テープＴｎを未使用の巻き取り芯１５に接合させる工程の後に実行される。

【0252】

（１０）各実施例において、稼働中の原反ロール１１から繰り出されるテープＴＳに対して、ライナー剥離ローラ４０を用いて粘着テープＴから剥離ライナーＳを剥離させる構成を例示しているが、剥離ライナーＳの剥離を補助する構成はローラ状部材であるライナー剥離ローラ４０に限ることはない。剥離ライナーＳの剥離を補助する構成の他の例として、図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示すような剥離バー９８が挙げられる。剥離バー９８は一例として図４３（ａ）に示すように、粘着テープＴの幅方向（ｙ方向）に延びる柱状の部材であり、剥離ライナーＳを折り返すための先端部９８ａを備えている。先端部９８ａの角度θ２は鋭角であることが好ましい。

【0253】

図４３（ｂ）は、剥離バー９８を補助材として用いて粘着テープＴから剥離ライナーＳを剥離させる変形例の構成を示している。剥離バー９８は、先端部９８ａが粘着テープＴの搬送方向Ｌ１（下流側）を向くように配置されている。この場合、剥離ライナーＳが巻回されている状態でライナーボビン１３が回転することにより、原反ロール１１から繰り出されるテープＴＳのうち剥離ライナーＳの部分は剥離バー９８の先端部９８ａによって折り返される。そして剥離ライナーＳが剥離バー９８によって折り返されつつ引っ張られることにより、ガイド軸２３の下流において剥離ライナーＳは粘着テープＴから剥離される。

【0254】

先端部９８ａの角度θ２が鋭角である場合、剥離ライナーＳが折り返される角度θ１は、９０度以上１８０度以下となる。この場合、折り返される角度θ１が十分に大きいので、粘着テープＴから剥離ライナーＳを剥離させる際に糊残り現象が発生することをより確実に回避できる。

【0255】

（１１）各実施例において、テープ供給部３において原反ロール１１を自動的に交換するシステムおよびテープ回収部５において巻き取り芯１５を自動的に交換するシステムは、テープ量検知センサ３２またはテープ量検知センサ７１が検知する情報によって動作を自動的に開始する構成を例として示したがこれに限られない。すなわちテープ供給部３において原反ロール１１を自動的に交換するシステムおよびテープ回収部５において巻き取り芯１５を自動的に交換するシステムは、操作者が入力部１０に指示を入力することによって動作を開始する構成であってもよい。言い換えると、ステップＳ６、ステップＳ７、およびステップＳ８の工程は、操作者が入力部１０を手動で操作することをトリガとして開始する構成であってもよい。

【符号の説明】

【0256】

１ … 粘着テープ貼付け装置（テープ処理装置）
２ … 原反ロール保管部
３ … テープ供給部
４ … テープ貼付け部（テープ処理部）
５ … テープ回収部
６ … 巻き取り芯保管部
７ … 原反ロール搬送機構
８ … 巻き取り芯搬送機構
１１ … 原反ロール
１３ … ライナーボビン
１４ … 孔部
１５ … 巻き取り芯
１６ … 孔部
１７ … 縦壁
１９ … 原反ロール支持軸
２１ … ボビン支持軸
２３ … ガイド軸
２５ … テープ保持ユニット
２７ … テープ切断機構
２９ … 案内ローラ
３１ … 接合テープ作成機構
３２ … テープ量検知センサ
３３ … 可動壁
３４ … 原反ロール支持軸
３５ … ボビン支持軸
３６ … ライナー案内ローラ
３７ … テープ接合機構
３８ … 昇降レール
３９ … 上下昇降台
４０ … ライナー剥離ローラ
４１ … 粘着テープ保持部材
４３ … 接合テープ保持部材
４５ … 伸縮アーム
４７ … 伸縮アーム
４８ … カッタホルダ
４９ … カッタ刃
５０ … カッタユニット
５１ … 先行テープ保持部材
５２ … カッタホルダ
５３ … カッタ刃
５４ … ライナー切断機構
５５ … 保持テーブル
５７ … テープ貼付けユニット
５９ … テープ切断ユニット
６０ … テープ剥離ユニット
６５ … 回転プレート
６７ … 巻き取り芯支持軸
６９ … 案内ローラ
７０ … 接合ユニット
７１ … テープ量検知センサ
７９ … 縦壁
８１ … 巻き取り芯支持軸
８３ … 左右可動台
８４ … 昇降レール
８５ … 昇降プレート
８７ … 案内プレート
８９ … ロール保持アーム
９０ … 上レール
９１ … 下レール
９３ … 左右可動台
９４ … 昇降レール
９５ … 昇降プレート
９７ … 案内プレート
９９ … 巻き取り芯保持アーム
Ｗ … ウエハ（半導体ワーク）
ＴＳ … テープ
Ｔ … 粘着テープ
Ｓ … 剥離ライナー（セパレータ）
Ｔｎ … 不要テープ
Ｎｓ … 接合テープ
Ｇ１ … 繰り出し位置
Ｇ２ … 準備位置
Ｋ１ … 回収位置
Ｋ２ … 待機位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】

【図37】

【図38】

【図39】

【図40】

【図41】

【図42】

【図43】