特開 2025-25045 シート剥離装置およびシート剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025025045

(43)【公開日】2025-02-21

(54)【発明の名称】シート剥離装置およびシート剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20250214BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023129484

(22)【出願日】2023-08-08

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131BA53

5F131CA31

5F131EA07

5F131EC32

5F131EC72

5F131EC73

5F131EC76

(57)【要約】

【課題】剥離対象となる接着シートの被着体に対する貼付形態から極力制限をなくすことができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。
【解決手段】被着体ＷＫにおける環状の外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫから剥離する剥離手段２０を備えたシート剥離装置ＥＡにおいて、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用接着部材ＰＳを貼付する貼付手段１０をさらに備え、剥離手段２０は、接着シートＡＳに貼付された剥離用接着部材ＰＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体における環状の外周面に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離手段を備えたシート剥離装置において、
前記被着体に貼付された前記接着シートに剥離用接着部材を貼付する貼付手段をさらに備え、
前記剥離手段は、前記接着シートに貼付された前記剥離用接着部材に張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

前記剥離用接着部材を貼付する接着シート部分に付着した付着物を除去する付着物除去手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

【請求項3】

前記剥離用接着部材は、所定のエネルギーが付与されることで接着力が向上するものとされ、
前記剥離用接着部材に前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。

【請求項4】

被着体における環状の外周面に貼付された接着シートを当該被着体から剥離する剥離工程を実施するシート剥離方法において、
前記被着体に貼付された前記接着シートに剥離用接着部材を貼付する貼付工程をさらに実施し、
前記剥離工程では、前記接着シートに貼付された前記剥離用接着部材に張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体における環状の外周面に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ剥がしシステム７０（シート剥離装置）では、ウエハＷ（被着体）の周縁部（外周面）に貼付された保護テープ２７（接着シート）に、終端突出部５２が形成されていなければ当該接着シートを剥離することができないため、剥離対象となる接着シートの被着体に対する貼付形態に制限があるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、剥離対象となる接着シートの被着体に対する貼付形態から極力制限をなくすことができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シートに貼付された剥離用接着部材に張力を付与し、被着体から接着シートを剥離するので、剥離対象となる接着シートの被着体に対する貼付形態から極力制限をなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｆ）は、本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図および同装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＶＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明のシート剥離方法を実施するシート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫにおける環状の外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳに剥離用接着部材としての剥離用シートＰＳを貼付する貼付工程を実施する貼付手段１０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫから剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、剥離用シートＰＳを貼付する接着シート部分に付着した付着物（不図示）を除去する付着物除去工程を実施する付着物除去手段３０と、剥離用シートＰＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段４０とを備えている。
本実施形態では、被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

貼付手段１０は、当該貼付手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、帯状の剥離用シートＰＳを支持する支持ローラ１２と、剥離用シートＰＳを案内するガイドローラ１３と、ガイドブロック１４Ａに摺動可能なスライド軸１４Ｂに支持され、付勢手段としてのコイルばね１４Ｃによってガイドブロック１４Ａから離間する方向に付勢されているシート支持台１４と、エネルギー付与手段４０を介して駆動機器としての直動モータ１５Ａの出力軸１５Ｂに支持され、接着シートＡＳを押圧する押圧面１５Ｃを有する押圧部材１５と、駆動機器としての直動モータ１６Ａの出力軸１６Ｂに支持された切断手段としてのカッター刃１６と、駆動機器としてのリニアモータ１７Ａのスライダ１７Ｂに支持された受け部材１７と、受け部材１７に支持された駆動機器としての回動モータ１８Ａの出力軸１８Ｂに取り付けられた押さえ部材１８とを備え、押圧面１５Ｃで剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに押圧して貼付することで、当該剥離用シートＰＳを介して接着シートＡＳを保持するようになっている。
なお、本実施形態の剥離用シートＰＳは、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで接着力が向上する感熱接着性の接着シートが採用されている。

【0012】

剥離手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２２と、回動モータ２２の出力軸２２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面２３Ａを有する支持テーブル２３と、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成され、接着シートＡＳの剥離開始端縁ＡＳ１を検出可能な端縁検出器機２４とを備え、接着シートＡＳに貼付された剥離用シートＰＳを介して接着シートＡＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離するようになっている。
なお、本実施形態の支持テーブル２３は、回動モータ２２によってテーブル中心２３Ｃを中心に回転する構成となっている。

【0013】

付着物除去手段３０は、被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳに水や溶剤等の洗剤ＣＳ（図１（Ｂ）参照）を塗布するポンプや噴霧器等の塗布器機３１と、被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳの表面ＡＳＡに付着した付着物を除去する除去器機３２とを備えている。
除去器機３２は、駆動器機としての直動モータ３２Ａと、直動モータ３２Ａの出力軸３２Ｂに支持され、駆動器機としての回動モータ３２Ｃによって回転可能な除去部材としての拭取ローラ３２Ｄとを備えている。なお。本実施形態の拭取ローラ３２Ｄは、布やスポンジ等の吸水性のある吸水性部材で構成されている。

【0014】

エネルギー付与手段４０は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器４１を備えている。

【0015】

以上のシート剥離装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置ＥＡに対し、当該シート剥離装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、外周面ＷＫＥに接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣがテーブル中心２３Ｃと重なるように、当該被着体ＷＫを支持テーブル２３上に載置すると、剥離手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２３Ａでの吸着保持を開始する。

【0016】

その後、剥離手段２０が回動モータ２２および端縁検出器機２４を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、させて、端縁検出器機２４で接着シートＡＳの剥離開始端縁ＡＳ１を検出し、当該端縁検出器機２４の検出結果を基にして、剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向後方部を押圧部材１５の右方に配置した状態で回動モータ２２の駆動を停止する（図１（Ｃ）、（Ｅ）参照）。この際、端縁検出器機２４の検出結果を基にして、付着物除去手段３０が塗布器機３１を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向後方部に洗剤ＣＳを塗布するとともに、直動モータ３２Ａおよび回動モータ３２Ｃを駆動し、拭取ローラ３２Ｄを接着シートＡＳの表面ＡＳＡに押し付け、当該拭取ローラ３２Ｄを矢印ＲＤ２方向に回転させる。これにより、接着シートＡＳに、例えば、めっき工程や研削工程等の前工程によって、めっき液や研削粉等の付着物が付着たとしても、剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向後方部から付着物が除去されるので、付着物によって接着シートＡＳに対する剥離用シートＰＳの接着力が低下することを防止することができる。なお、剥離用シートＰＳを貼付する接着シート部分に対する洗剤ＣＳの塗布および除去が完了すると、付着物除去手段３０が塗布器機３１および回動モータ３２Ｃの駆動を停止した後、直動モータ３２Ａを駆動し、拭取ローラ３２Ｄを初期位置に復帰させる。

【0017】

被着体ＷＫの矢印ＲＤ１方向への回転が開始されると、貼付手段１０がリニアモータ１７Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、受け部材１７をシート支持台１４に押し当てて当該受け部材１７と共にシート支持台１４を後方へ移動させ、剥離用シートＰＳの先端部を受け部材１７上に位置させる。次に、貼付手段１０が回動モータ１８Ａを駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、押さえ部材１８と受け部材１７とで剥離用シートＰＳの先端部を挟み込んで保持した後、リニアモータ１７Ａを駆動し、図１（Ｃ）に示すように、受け部材１７を初期位置に復帰させて剥離用シートＰＳを所定長さ引き出す。

【0018】

そして、貼付手段１０が直動モータ１５Ａを駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線および図１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、押圧部材１５で剥離用シートＰＳを剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向後方部に押圧した後、エネルギー付与手段４０が加熱機器４１を駆動し、剥離用シートＰＳを加熱して当該剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに貼付する。次いで、貼付手段１０が直動モータ１６Ａを駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、カッター刃１６を凹溝１４Ｄ内に入り込ませて剥離用シートＰＳを切断した後、直動モータ１５Ａ、１６Ａを駆動し、押圧部材１５およびカッター刃１６を初期位置に復帰させる。

【0019】

その後、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２２を駆動し、図１（Ｆ）に示すように、被着体ＷＫを矢印ＲＤ１方向に回転させつつ、当該被着体ＷＫを右方へ移動させる。これにより、剥離用シートＰＳを介して接着シートＡＳに張力が付与され、当該接着シートＡＳが被着体ＷＫから剥離されていく。この際、剥離用シートＰＳは、剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向後方部から付着物が除去された状態で接着シートＡＳに接着しているので、接着シートＡＳに対する接着力が不足して当該接着シートＡＳから剥がれてしまうことはない。

【0020】

次に、図１（Ｆ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫから剥離され、使用者または図示しない搬送手段が当該接着シートＡＳを保持すると、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２２の駆動を停止する。そして、貼付手段１０が回動モータ１８Ａを駆動し、押さえ部材１８を初期位置に復帰させると、使用者または図示しない搬送手段が、保持した接着シートＡＳを図示しない廃棄位置に搬送する。次いで、剥離手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面２３Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が被着体ＷＫを次工程に搬送した後、剥離手段２０がリニアモータ２１を駆動し、支持テーブル２３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0021】

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳに貼付された剥離用シートＰＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離するので、剥離対象となる接着シートＡＳの被着体ＷＫに対する貼付形態から極力制限をなくすことができる。

【0022】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、被着体に貼付された接着シートに剥離用接着部材を貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0023】

貼付手段１０は、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離した後、剥離用シートＰＳを切断してもよいし、被着体ＷＫに剥離用シートＰＳを貼付する前に当該剥離用シートＰＳを切断してもよいし、枚葉の剥離用シートＰＳを採用してもよいし、剥離用シートＰＳを切断しなくてもよいし、切断手段１６がなくてもよいし、受け部材１７、回動モータ１８Ａおよび押さえ部材１８に代えてまたは併用して、チャックモータやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で剥離用シートＰＳを保持する構成を採用してもよいし、例えば、多関節ロボット等の駆動器機によって、被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳに剥離用シートＰＳを貼付してもよいし、剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向前方部に剥離用シートＰＳを貼付してもよく、当該剥離開始端縁ＡＳ１をどこにするのかによって、剥離用シートＰＳを貼付する位置を決定し、剥離手段２０が被着体ＷＫを回転させる方向を決定することができる。
押圧部材１５は、エネルギー付与手段４０を介さずに、直動モータ１５Ａの出力軸１５Ｂに支持されてもよい。
押圧面１５Ｃは、例えば、凹円弧形状、凸円弧形状、Ｖ字形状、逆Ｖ字形状、Ｕ字形状、逆Ｕ字形状、凹凸矩形形状、直線形状、その他の形状等どのような形状でもよい。

【0024】

剥離手段２０は、支持面２３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル２３が採用されてもよいし、チャックモータやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被着体ＷＫを保持してもよいし、被着体ＷＫを支持テーブル２３とで挟み込んで保持する上押さえ部材があってよいし、実施形態では、貼付手段１０を静止させた状態で、被着体ＷＫを貼付手段１０から離間させるとともに当該被着体ＷＫを回転させ、当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離したが、被着体ＷＫを静止させた状態で、貼付手段１０を被着体ＷＫから離間させるとともに当該貼付手段１０を被着体ＷＫ周りに回転移動させ、当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、貼付手段１０を左方へ移動させながら、被着体ＷＫを貼付手段１０から離間させるとともに当該被着体ＷＫを回転させ、当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、貼付手段１０を左方へ移動させるとともに当該貼付手段１０を被着体ＷＫ周りに回転移動させながら、被着体ＷＫを貼付手段１０から離間させ、当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、リニアモータ２１、回動モータ２２および支持テーブル２３に代えて多関節ロボット等の駆動機器や他の装置等によって、貼付手段１０と被着体ＷＫとを相対移動させ、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよい。

【0025】

付着物除去手段３０は、塗布器機３１のみでもよいし、除去器機３２のみでもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていなくてもよいし、塗布器機３１および除去器機３２の少なくとも一方に代えてまたは、それら両方と併用して、接着シートＡＳに付着した付着物を吹き飛ばすエアポンプや送風機等の吹付器機や、付着物をかき落としたり削ぎ落したりするブラシ、ヤスリ、ブレード等の除去器機が備わっていてもよく、剥離用シートＰＳを貼付する接着シート部分に付着した付着物を除去可能なものであればどのようなものが採用されてもよいし、例えば、吸水性部材に洗剤ＣＳを含ませて、剥離用シートＰＳを貼付する接着シート部分を擦り洗いする構成としてもよいし、吸水性部材や吸水性のない部材に洗剤ＣＳを含ませることなく、剥離用シートＰＳを貼付する接着シート部分を擦り洗いする構成としてもよいし、例えば、接着シートＡＳの表面ＡＳＡ全体から付着物を除去する構成としてもよいし、剥離用シートＰＳを貼付する接着シート部分のみから付着物を除去する構成としてもよい。
塗布器機３１は、洗剤ＣＳとして、中性洗剤、酸性洗剤、アルカリ洗剤の他、アルコール、シンナー、ベンジン等の溶剤、水系洗浄剤、準水系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、アルコール系洗浄剤、フッ素系洗浄剤、臭素系洗浄剤、塩素系洗浄剤等、どのようなものを採用してもよいし、洗剤ＣＳを噴霧したり、滴下したり、吸水性部材に洗剤ＣＳを含ませて転写したりして当該洗剤ＣＳを被着体ＷＫに塗布してもよい。
除去器機３２は、直動モータ３２Ａおよび回動モータ３２Ｃの少なくとも一方がなくてもよいし、ベルト状や枚葉の吸収部材を除去部材とし、当該除去部材を回行させたり往復移動させたりする駆動器機を採用して付着物を除去してもよいし、除去部材を回転させたり回行させたり往復移動させたりする駆動器機がなくてもよいし、除去部材に吸水性がなくてもよいし、弾性変形する除去部材が採用されてもよいし、弾性変形しない除去部材が採用されてもよいし、拭取ローラ３２に代えてまたは併用して、例えば、直線形状や外周面ＷＫＥの断面形状に対応した形状の布、紙、ブレード等で付着物を除去してもよいし、気体を吹き付けて付着物を除去してもよい。

【0026】

エネルギー付与手段４０は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波を付与するものや、熱湯や熱風等の加熱媒体を付与するものや、冷水や冷風等の冷却媒体を付与するもの等どのようなものでもよく、剥離用接着部材の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該剥離用接着部材の接着力を向上させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の場所に設けられていてもよく、剥離用接着部材に所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0027】

接着シートＡＳは、外周面ＷＫＥの周回方向における一方の端縁部と他方の端縁部とが重なるようにして被着体ＷＫに貼付されていたり、一方の端縁と他方の端縁とが接触するようにして被着体ＷＫに貼付されていたり、一方の端縁と他方の端縁とが離間するようにして被着体ＷＫに貼付されていたりしてもよいし、平面形状が一直線形状、湾曲形状、屈折形状等、どのような形状でもよいし、所定の第２エネルギーによって接着力が低下するものでもよく、このような接着シートＡＳは、例えば、所定の第２エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等どのようなエネルギーによって接着力が低下するものでもよく、この場合、シート剥離装置ＥＡは、接着シートＡＳに所定の第２エネルギーを付与する第２エネルギー付与手段として、例えば、電磁波を付与するものや、加熱媒体を付与するものや、冷却媒体を付与するもの等どのようなものが採用されてもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して第２エネルギー付与手段を任意に決定することができる。
被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付されている接着シートＡＳの表面形状は、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫＥの形状と同じ形状でもよいし、異なる形状でもよい。

【0028】

剥離用接着部材は、感圧接着性の接着シートや感熱接着性の接着シートでもよいし、接着シート以外に、例えば、接着テープ、粘着シート、粘着テープの他、金属、樹脂、ゴム等の基材に接着剤や粘着剤等の接着媒体が積層されたものでもよいし、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等、どのようなエネルギーが付与されることで接着力が向上するものでもよいし、所定のエネルギーによって接着力が向上しないものでもよい。

【0029】

前工程や次工程は、めっき工程、洗浄工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、酸化膜形成工程、窒化工程、研削工程、サンドブラスト工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。
付着物は、めっき工程に用いられるめっき液や洗浄工程に用いられるアルコール等の液体、酸化膜形成工程に用いられる酸素ガスや窒化工程に用いられるアンモニアガス等の気体、サンドブラスト工程に用いられる投射材や研磨工程に用いられる研磨剤等の固体等、前工程次第でどのようなものでもよい。

【0030】

本発明における接着シートＡＳ、剥離用接着部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離用接着部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳや剥離用接着部材は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳや剥離用接着部材が採用された場合は、当該接着シートＡＳや剥離用接着部材を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳや剥離用接着部材は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0031】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0032】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、チャックモータやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0033】

ＥＡ…シート剥離装置
１０…貼付手段
２０…剥離手段
３０…付着物除去手段
４０…エネルギー付与手段
ＡＳ…接着シート
ＰＳ…剥離用シート（剥離用接着部材）
ＷＫ…被着体
ＷＫＥ…外周面

【図1】