特開 2025-25047 シート剥離装置およびシート剥離方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025025047

(43)【公開日】2025-02-21

(54)【発明の名称】シート剥離装置およびシート剥離方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20250214BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023129486

(22)【出願日】2023-08-08

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA31

5F131CA41

5F131EA07

5F131EC32

5F131EC37

5F131EC72

5F131EC73

5F131EC76

(57)【要約】

【課題】接着シートの剥離制御が複雑になることを防止するすことができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。
【解決手段】被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳを保持するシート保持手段１０と、シート保持手段１０で保持された接着シートＡＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離手段２０とを備え、剥離手段２０は、接着シートＡＳを保持したシート保持手段１０と被着体ＷＫとが相対的に遠ざかるようにして当該接着シートＡＳに張力を付与しながら、被着体ＷＫから剥離される接着シートＡＳの剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるように、シート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対回転させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記接着シートを保持した前記シート保持手段と前記被着体とが相対的に遠ざかるようにして当該接着シートに張力を付与しながら、前記被着体から剥離される前記接着シートの剥離境界部の位置が所定の領域内に収まるように、前記シート保持手段と前記被着体とを相対回転させることを特徴とするシート剥離装置。

【請求項2】

被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記接着シートを保持した前記シート保持手段と前記被着体とを相対回転させて当該接着シートに張力を付与しながら、前記被着体から剥離される前記接着シートの剥離境界部の位置が所定の領域内に収まるように、前記シート保持手段と前記被着体とを相対的に遠ざけることを特徴とするシート剥離装置。

【請求項3】

前記所定の領域は、前記外周面から剥離される前記接着シートの剥離角度が０度となる位置から、当該接着シートの剥離角度が１８０度となる位置までの間であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。

【請求項4】

被着体の外周面に貼付された接着シートをシート保持手段で保持するシート保持工程と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離工程とを実施し、
前記剥離工程では、前記接着シートを保持した前記シート保持手段と前記被着体とが相対的に遠ざかるようにして当該接着シートに張力を付与しながら、前記被着体から剥離される前記接着シートの剥離境界部の位置が所定の領域内に収まるように、前記シート保持手段と前記被着体とを相対回転させることを特徴とするシート剥離方法。

【請求項5】

被着体の外周面に貼付された接着シートをシート保持手段で保持するシート保持工程と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離工程とを実施し、
前記剥離工程では、前記接着シートを保持した前記シート保持手段と前記被着体とを相対回転させて当該接着シートに張力を付与しながら、前記被着体から剥離される前記接着シートの剥離境界部の位置が所定の領域内に収まるように、前記シート保持手段と前記被着体とを相対的に遠ざけることを特徴とするシート剥離方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被着体の外周面に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－３０８７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテープ剥がしシステム７０（シート剥離装置）では、ウエハＷ（被着体）から剥離された保護テープ２７（接着シート）と当該被着体の接線方向とのなす剥離角度が９０度となるように、すなわち、被着体から剥離される接着シートの剥離境界部が一点に留まるようにしながら、当該被着体から接着シートを剥離する剥離動作が行われているが、このような剥離動作を行うには、チャッキング機構９３の後退速度と被着体の回転速度とを同期させたり、テープ送りローラ９５によって接着シートを送る速度と被着体の回転速度とを同期させたりする同期制御を行うだけではこと足りず、剥離される接着シートの伸びや、被着体からの接着シートの剥離のし易さ等をも考慮して綿密な同期制御を行わなければならないので、接着シートの剥離制御が複雑になるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、接着シートの剥離制御が複雑になることを防止することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、被着体から剥離される接着シートの剥離境界部の位置が所定の領域内に収まるようにシート保持手段と被着体とを相対回転させるので、剥離境界部が一点に留まるようにしながら当該被着体から接着シートを剥離するといった綿密な同期制御が不要となり、接着シートの剥離制御が複雑になることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）～（Ｆ）は、本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図および同装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＶＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明のシート剥離方法を実施するシート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳを保持するシート保持工程を実施するシート保持手段１０と、シート保持手段１０で保持された接着シートＡＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、剥離境界部ＰＥ（図１（Ｄ）参照）の位置を検知する剥離境界部検知工程を実施する剥離境界部検知手段３０と、剥離用シートＰＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段４０とを備えている。
本実施形態では、被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

【0011】

シート保持手段１０は、当該シート保持手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、剥離用接着部材としての剥離用シートＰＳを支持する支持ローラ１２と、剥離用シートＰＳを案内するガイドローラ１３と、ガイドブロック１４Ａに摺動可能なスライド軸１４Ｂに支持され、付勢手段としてのコイルばね１４Ｃによってガイドブロック１４Ａから離間する方向に付勢されているシート支持台１４と、エネルギー付与手段４０を介して駆動機器としての直動モータ１５Ａの出力軸１５Ｂに支持され、接着シートＡＳを押圧する押圧面１５Ｃを有する押圧部材１５と、駆動機器としての直動モータ１６Ａの出力軸１６Ｂに支持された切断手段としてのカッター刃１６と、駆動機器としてのリニアモータ１７Ａのスライダ１７Ｂに支持された受け部材１７と、受け部材１７に支持された駆動機器としての回動モータ１８Ａの出力軸１８Ｂに取り付けられた押さえ部材１８とを備え、押圧面１５Ｃで剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに押圧して貼付することで、当該剥離用シートＰＳを介して接着シートＡＳを保持するようになっている。
なお、本実施形態の剥離用シートＰＳは、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで接着力が向上する感熱接着性の接着シートが採用されている。

【0012】

剥離手段２０は、スライダ２１Ａで支持部材１１を支持する駆動機器としてのリニアモータ２１と、駆動機器としての回動モータ２２と、回動モータ２２の出力軸２２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面２３Ａを有する支持テーブル２３と、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成され、接着シートＡＳの剥離開始端縁ＡＳ１を検出可能な端縁検出器機２４とを備え、接着シートＡＳを保持したシート保持手段１０と被着体ＷＫとが相対的に遠ざかるようにして当該接着シートＡＳに張力を付与しながら、被着体ＷＫから剥離される接着シートＡＳの剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ（図１（Ｄ）参照）内に収まるように、シート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対回転させるようになっている。
なお、本実施形態の支持テーブル２３は、回動モータ２２によってテーブル中心２３Ｃを中心に回転する構成となっている。
また、本実施形態の剥離手段２０は、剥離境界部検知手段３０の検知結果を基にして、シート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対回転させるようになっている。
さらに、本実施形態の所定の領域ＡＲは、図１（Ｅ）に示すように、外周面ＷＫＥから剥離される接着シートＡＳの剥離角度ＰＡ（不図示）が０度となる位置ＰＰ１から、図１（Ｆ）に示すように、接着シートＡＳの剥離角度ＰＡが１８０度となる位置ＰＰ２までの間となっている。
また、本願発明で言う剥離角度ＰＡは、図１（Ｄ）、（Ｆ）に示すように、剥離境界部ＰＥを通る外周面ＷＫＥの接線ＴＬと、外周面ＷＫＥから剥離された接着シートＡＳの接着面ＡＳＢとがなす角度のことである。

【0013】

剥離境界部検知手段３０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知器機３１を備え、支持テーブル２３の左上方に配置されている。なお、剥離境界部検知手段３０は、図１（Ａ）以外では、図示省略となっている。

【0014】

エネルギー付与手段４０は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器４１を備えている。

【0015】

以上のシート剥離装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置ＥＡに対し、当該シート剥離装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、外周面ＷＫＥに接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣがテーブル中心２３Ｃと重なるように、当該被着体ＷＫを支持テーブル２３上に載置すると、剥離手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２３Ａでの吸着保持を開始する。

【0016】

その後、剥離手段２０が回動モータ２２および端縁検出器機２４を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫを矢印ＲＤ方向に回転させて、端縁検出器機２４で接着シートＡＳの剥離開始端縁ＡＳ１を検出し、当該端縁検出器機２４の検出結果を基にして、剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向後方部を押圧部材１５の右方に配置した状態で回動モータ２２の駆動を停止する（図１（Ｃ）参照）。また、シート保持手段１０がリニアモータ１７Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、受け部材１７をシート支持台１４に押し当てて当該受け部材１７と共にシート支持台１４を後方へ移動させ、剥離用シートＰＳの先端部を受け部材１７上に位置させる。次に、シート保持手段１０が回動モータ１８Ａを駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、押さえ部材１８と受け部材１７とで剥離用シートＰＳの先端部を挟み込んで保持した後、リニアモータ１７Ａを駆動し、図１（Ｃ）に示すように、受け部材１７を初期位置に復帰させて剥離用シートＰＳを所定長さ引き出す。

【0017】

そして、シート保持手段１０が直動モータ１５Ａを駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、押圧部材１５で剥離用シートＰＳを剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向後方部に押圧した後、エネルギー付与手段４０が加熱機器４１を駆動し、剥離用シートＰＳを加熱して当該剥離用シートＰＳを接着シートＡＳに貼付する。次いで、シート保持手段１０が直動モータ１６Ａを駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、カッター刃１６を凹溝１４Ｄ内に入り込ませて剥離用シートＰＳを切断した後、直動モータ１５Ａ、１６Ａを駆動し、押圧部材１５およびカッター刃１６を初期位置に復帰させる。その後、剥離境界部検知手段３０が検知器機３１を駆動するとともに、剥離手段２０がリニアモータ２１を駆動し、図１（Ｄ）に示すように、支持部材１１を左方に移動させて被着体ＷＫから遠ざけ、シート保持手段１０で保持した接着シートＡＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する。この際、支持部材１１の左方への移動と同時に、剥離手段２０が回動モータ２２を駆動し、剥離境界部検知手段３０の検知結果を基にして、剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるように、被着体ＷＫを矢印ＲＤ方向または矢印ＲＤの反対方向に回転させる。

【0018】

次に、接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫから剥離され、使用者または図示しない搬送手段が当該接着シートＡＳを保持すると、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２２の駆動を停止する。そして、シート保持手段１０が回動モータ１８Ａを駆動し、押さえ部材１８を初期位置に復帰させると、使用者または図示しない搬送手段が、保持した接着シートＡＳを図示しない廃棄位置に搬送する。次いで、剥離手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面２３Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が被着体ＷＫを次工程に搬送した後、剥離手段２０がリニアモータ２１を駆動し、支持部材１１を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0019】

以上のような実施形態によれば、被着体ＷＫから剥離される接着シートＡＳの剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるようにシート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対回転させるので、剥離境界部ＰＥが一点に留まるようにしながら当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離するといった綿密な同期制御が不要となり、接着シートＡＳの剥離制御が複雑になることを防止することができる。

【0020】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート保持手段は、被着体の外周面に貼付された接着シートを保持可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0021】

シート保持手段１０は、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離した後、剥離用シートＰＳを切断してもよいし、被着体ＷＫに剥離用シートＰＳを貼付する前に当該剥離用シートＰＳを切断してもよいし、剥離用シートＰＳを切断しなくてもよいし、切断手段１６がなくてもよいし、枚葉の剥離用シートＰＳを採用してもよいし、受け部材１７、回動モータ１８Ａおよび押さえ部材１８に代えてまたは併用して、チャックモータやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で剥離用シートＰＳを保持する構成を採用してもよいし、例えば、多関節ロボット等の駆動器機によって、被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳに剥離用シートＰＳを貼付してもよいし、剥離開始端縁ＡＳ１の回転方向前方部に剥離用シートＰＳを貼付してもよく、当該剥離開始端縁ＡＳ１をどこにするのかによって、剥離用シートＰＳを貼付する位置を決定し、剥離手段２０が被着体ＷＫを回転させる方向を決定することができる。
押圧部材１５は、エネルギー付与手段４０を介さずに、直動モータ１５Ａの出力軸１５Ｂに支持されてもよい。
押圧面１５Ｃは、例えば、凹円弧形状、凸円弧形状、Ｖ字形状、逆Ｖ字形状、Ｕ字形状、逆Ｕ字形状、凹凸矩形形状、直線形状、その他の形状等どのような形状でもよい。
シート保持手段１０は、剥離用シートＰＳを介さずに接着シートＡＳを保持してもよく、例えば、チャックモータやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で直接または間接的に接着シートＡＳを保持してもよい。

【0022】

剥離手段２０は、上記の実施形態で例示したシート剥離装置ＥＡを用い、接着シートＡＳを保持したシート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対回転させて当該接着シートＡＳに張力を付与しながら、被着体ＷＫから剥離される接着シートＡＳの剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるように、シート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対的に遠ざけるように構成してもよい。このような構成とされたシート剥離装置でも、上記実施形態で示したシート剥離装置ＥＡと同じ効果を奏することができる。
剥離手段２０は、支持面２３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル２３が採用されてもよいし、チャックモータやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被着体ＷＫを保持してもよいし、被着体ＷＫを支持テーブル２３とで挟み込んで保持する上押さえ部材があってよいし、上記の例示では、被着体ＷＫの移動によるシート保持手段１０に対する離間動作は行わず、シート保持装置１０の移動による被着体ＷＫに対する離間動作を行って、接着シートＡＳに張力を付与したり、剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるようにしたりしたが、シート保持手段１０の移動による被着体ＷＫに対する離間動作は行わず、または、シート保持手段１０の移動による被着体ＷＫに対する離間動作を行いつつ、被着体ＷＫの移動によるシート保持手段１０に対する離間動作を行って、接着シートＡＳに張力を付与したり、剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるようにしたりしてもよいし、上記の例示では、シート保持手段１０の移動による被着体ＷＫ周りの回転動作は行わず、被着体ＷＫの自転による回転動作を行って、剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるようにしたり、接着シートＡＳに張力を付与したりしたが、被着体ＷＫの自転による回転動作は行わず、または、被着体ＷＫの自転動作による回転動作を行いつつ、シート保持手段１０の移動による被着体ＷＫ周りの回転動作を行って、剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるようにしたり、接着シートＡＳに張力を付与したりしてもよいし、リニアモータ２１、回動モータ２２および支持テーブル２３に代えて多関節ロボット等の駆動機器や他の装置等によって、接着シートＡＳに張力を付与したり、剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるようにしたりしてもよい。

【0023】

剥離境界部検知手段３０は、支持テーブル２３の下方や側方等に配置されていてもよく、剥離境界部ＰＥの位置を検知可能な位置であればどこに配置されていてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていない場合、剥離される接着シートＡＳの伸びや、被着体ＷＫからの接着シートＡＳの剥離のし易さ等を経験値によって考慮して、剥離境界部ＰＥの位置が所定の領域ＡＲ内に収まるように、シート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対回転させたり、シート保持手段１０と被着体ＷＫとを相対的に遠ざけたりすればよい。

【0024】

エネルギー付与手段４０は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波を付与するものや、熱湯や熱風等の加熱媒体を付与するものや、冷水や冷風等の冷却媒体を付与するもの等どのようなものでもよく、剥離用接着部材の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該剥離用接着部材の接着力を向上させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の場所に設けられていてもよく、剥離用接着部材に所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0025】

接着シートＡＳは、外周面ＷＫＥの周回方向における一方の端縁部と他方の端縁部とが重なるようにして被着体ＷＫに貼付されていたり、一方の端縁と他方の端縁とが接触するようにして被着体ＷＫに貼付されていたり、一方の端縁と他方の端縁とが離間するようにして被着体ＷＫに貼付されていたりしてもよいし、平面形状が一直線形状、湾曲形状、屈折形状等、どのような形状でもよいし、所定の第２エネルギーによって接着力が低下するものでもよく、このような接着シートＡＳは、例えば、所定の第２エネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等どのようなエネルギーによって接着力が低下するものでもよく、この場合、シート剥離装置ＥＡは、接着シートＡＳに所定の第２エネルギーを付与する第２エネルギー付与手段として、例えば、電磁波を付与するものや、加熱媒体を付与するものや、冷却媒体を付与するもの等どのようなものが採用されてもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して第２エネルギー付与手段を任意に決定することができる。
被着体ＷＫの外周面ＷＫＥに貼付されている接着シートＡＳの表面形状は、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫＥの形状と同じ形状でもよいし、異なる形状でもよい。

【0026】

剥離用接着部材は、感圧接着性の接着シートや感熱接着性の接着シートでもよいし、接着シート以外に、例えば、接着テープ、粘着シート、粘着テープの他、金属、樹脂、ゴム等の基材に接着剤や粘着剤等の接着媒体が積層されたものでもよいし、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の加熱媒体や、冷水や冷風等の冷却媒体等、どのようなエネルギーが付与されることで接着力が向上するものでもよいし、所定のエネルギーによって接着力が向上しないものでもよい。
所定の領域ＡＲは、例えば、剥離角度ＰＡが０度となる位置から剥離角度ＰＡが９０度となる位置までの間でもよいし、剥離角度ＰＡが３０度となる位置から剥離角度ＰＡが６５度となる位置までの間でもよいし、剥離角度ＰＡが７５度となる位置から剥離角度ＰＡが１７５度となる位置までの間でもよく、どのような範囲でもよいが、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離するために付与する張力の分散を考慮すると、剥離角度ＰＡが９０度となる位置から剥離角度ＰＡが１８０度となる位置までの間が特に良い。

【0027】

次工程は、めっき工程、洗浄工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、酸化膜形成工程、窒化工程、研削工程、サンドブラスト工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。

【0028】

本発明における接着シートＡＳ、剥離用接着部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離用接着部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳや剥離用接着部材は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳや剥離用接着部材が採用された場合は、当該接着シートＡＳや剥離用接着部材を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳや剥離用接着部材は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0029】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

【0030】

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、チャックモータやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

【符号の説明】

【0031】

ＥＡ…シート剥離装置
１０…シート保持手段
２０…剥離手段
ＡＲ…所定の領域
ＡＳ…接着シート
ＰＡ…剥離角度
ＰＥ…剥離境界部
ＷＫ…被着体
ＷＫＥ…外周面

【図1】