特開 2025-26412 下向き圧力を吸収するレチクル支持体を備えたレチクルポッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025026412

(43)【公開日】2025-02-21

(54)【発明の名称】下向き圧力を吸収するレチクル支持体を備えたレチクルポッド

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20250214BHJP

   F16F 3/087 20060101ALI20250214BHJP

   F16F 1/374 20060101ALI20250214BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 U

F16F3/087

F16F1/374

【審査請求】有

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024131797

(22)【出願日】2024-08-08

(31)【優先権主張番号】63/531,587

(32)【優先日】2023-08-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】506017182

【氏名又は名称】家登精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＧＵＤＥＮＧ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＣＯ．，ＬＴＤ

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100119013

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 一夫

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100123630

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邊 誠

(72)【発明者】

【氏名】邱 銘乾

(72)【発明者】

【氏名】荘 家和

(72)【発明者】

【氏名】薛 新民

(72)【発明者】

【氏名】劉 昌達

【テーマコード（参考）】

3J059

5F131

【Ｆターム（参考）】

3J059AA01

3J059AC03

3J059BA66

3J059BA72

3J059BB04

3J059BC05

3J059CB02

5F131AA10

5F131AA12

5F131BA11

5F131CA09

5F131CA12

5F131CA18

5F131FA10

5F131FA13

5F131GA24

5F131GA32

5F131GA53

5F131GA87

5F131GA94

5F131GA99

(57)【要約】

【課題】ＥＵＶリソグラフィープロセスの際に、下向きの圧力を吸収することによってレチクルの損傷や汚染を阻止するレチクル支持体を備えたレチクルポッドを提供する。
【解決手段】レチクルポッドは、ベース（５０）およびベース上に設けられていてレチクル（Ｒ）を担持する少なくとも１つのレチクル支持体（１００）を有する。レチクル支持体は、弾性手段を有する。レチクル支持体に加えられた下向きの圧力が限界値よりも小さくまたはこれに等しい場合、レチクル支持体の高さは、所定の高さに維持され、レチクル支持体に加えられた下向きの圧力が限界値よりも大きい場合、レチクル支持体は、変形することによって下向きの圧力を吸収し、次に、レチクル支持体は、下向きの圧力がもう１つのレチクル支持体によって分担された場合にのみ、所定の高さに復元する。
【選択図】図１Ｂ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

レチクルポッドであって、ベースおよび前記ベース上に設けられた少なくとも１つのレチクル支持体を有する、レチクルポッドにおいて、
前記レチクル支持体は、前記レチクルを担持するためのものであり、前記レチクル支持体は、弾性手段を有し、
前記レチクル支持体に加えられた下向きの圧力が限界値よりも小さくまたはこれに等しい場合、前記レチクル支持体の高さは、所定の高さに維持され、
前記レチクル支持体に加えられた下向きの圧力が限界値よりも大きい場合、前記レチクル支持体は、変形することによって前記下向きの圧力を吸収し、次に、前記レチクル支持体は、前記下向きの圧力がもう１つのレチクル支持体によって分担された場合にのみ、前記所定の高さに復元する、レチクルポッド。

【請求項2】

前記弾性手段は、弾性材料、ばねまたは中空構造体であり、前記限界値は、前記弾性手段に従って定められる、請求項１記載のレチクルポッド。

【請求項3】

前記レチクル支持体は、突起を有し、前記突起は、前記突起が前記レチクルと弾力的な接触関係をなすことができるよう弾性材料を有し、前記弾性材料は、ゴムまたは熱可塑性エラストマー（ＴＰＥ）である、請求項１記載のレチクルポッド。

【請求項4】

前記レチクル支持体は、前記弾性材料の圧縮および変形によって下向きの圧力を吸収する、請求項３記載のレチクルポッド。

【請求項5】

前記レチクル支持体は、その底部分上に設けられた弾性要素を有し、前記レチクル支持体は、前記弾性要素によって前記ベースと弾力的な連結関係をなすようになっている、請求項１記載のレチクルポッド。

【請求項6】

前記弾性要素は、前記限界値よりも大きな下向き圧力に耐え、それに対応して変形し、沈み、そして前記下向き圧力を吸収する、請求項５記載のレチクルポッド。

【請求項7】

前記弾性要素は、ばねであり、前記レチクル支持体は、前記ばねによって前記ベースに連結されている、請求項５記載のレチクルポッド。

【請求項8】

前記弾性要素は、複数の弾性ワッシャであり、前記レチクル支持体は、前記弾性ワッシャによって前記ベースに連結されている、請求項５記載のレチクルポッド。

【請求項9】

前記複数の弾性ワッシャは、前記レチクル支持体を前記ベースに固定するよう複数の締結要素と合わさる、請求項８記載のレチクルポッド。

【請求項10】

前記レチクル支持体は、突起および前記突起の２つの側部上に配置された２つのエッジリミッタを有し、前記複数の弾性ワッシャは、前記レチクル支持体の前記突起および前記２つのエッジリミッタの下に設けられている、請求項８記載のレチクルポッド。

【請求項11】

前記レチクルの重量は、３２０ｇ～３３０ｇ以上であり、前記限界値は、３．１４Ｎ以上である、請求項１記載のレチクルポッド。

【請求項12】

前記所定の高さは、０．１ｍｍから０．２３ｍｍまでの範囲にある、請求項１記載のレチクルポッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、レチクルポッド、特に、下向きの圧力を吸収するレチクル支持体を備えたレチクルポッドに関する。

【背景技術】

【0002】

現行の極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィープロセスでは、何よりもまず、レチクルをデュアルポッド（極端紫外線（ＥＵＶ）レチクル移送ポッド）によって保護する必要がある。現行のデュアルポッドは、外側ポッド（ＥＯＰ）および内側ポッド（ＥＩＰ）を含む。レチクルは、内側ポッド内に受け入れられ、内側ポッドは、外側ポッド内に受け入れられる。

【0003】

デュアルポッドが動作中の暴露機械内に位置しているとき、外側ポッドと内側ポッドがレチクルを受け入れるよう開かれ、次にレチクルが機械式アームによって取り出される。機械式アームがレチクルを戻している間、レチクルがある幾つかの理由で機械式アームによって水平状態に保たれなければ、すなわち、レチクルの４つのコーナーが実質的に、同一の水平面上に位置しなければ、レチクルのコーナーのうちの１つだけが最初にベースの支持部材のうちの１つに接触する。この時点で、機械式アームに調整またはバッファー機構体がなくて支持体の逆向きの力がレチクルの１つのコーナーに過剰に集中するようになっていれば、強烈な衝突と摩擦がレチクルのこのコーナーと対応の支持部材との間で引き起こされる場合があり、その結果、粒子が生じ、それどころかレチクルの損傷と汚染が生じる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記問題を考慮して、本発明は、下向き圧力を吸収する支持部材を備えたレチクルポッドを提供する。支持部材は、レチクルがピックアップされ、または置かれたとき、レチクルと対応の支持部材の衝突や摩擦を阻止するように、過度の荷重を吸収することができ、それによりレチクルまたは支持部材の摩耗や汚染が防止される。

【0005】

本発明の目的は、ベースおよびベース上に設けられた少なくとも１つのレチクル支持体を有するレチクルポッドを提供することにある。レチクル支持体は、レチクルを担持するためのものであり、弾性手段を有する。レチクル支持体に加えられた下向きの圧力が限界値よりも小さくまたはこれに等しい場合、レチクル支持体の高さは、所定の高さに維持され、レチクル支持体に加えられた下向きの圧力が限界値よりも大きい場合、レチクル支持体は、変形することによって下向きの圧力を吸収し、次に、レチクル支持体は、下向きの圧力がもう１つのレチクル支持体によって分担された場合にのみ、所定の高さに復元する。

【0006】

特定の実施形態では、弾性手段は、弾性材料、ばねまたは中空構造体であり、限界値は、弾性手段に従って定められる。

【0007】

特定の実施形態では、レチクル支持体は、突起を有する。突起は、突起がレチクルと弾力的な接触関係をなすことができるよう弾性材料を有し、弾性材料は、ゴムまたは熱可塑性エラストマー（ＴＰＥ）である。

【0008】

特定の実施形態では、レチクル支持体は、弾性材料の圧縮および変形によって下向きの圧力を吸収する。

【0009】

特定の実施形態では、レチクル支持体は、その底部分上に設けられた弾性要素を有し、レチクル支持体は、弾性要素によってベースと弾力的な連結関係をなすようになっている。

【0010】

特定の実施形態では、弾性要素は、限界値よりも大きな下向き圧力に耐え、それに対応して変形し、沈み、そして下向き圧力を吸収する。

【0011】

特定の実施形態では、弾性要素は、ばねであり、レチクル支持体は、ばねによってベースに連結されている。

【0012】

特定の実施形態では、弾性要素は、複数の弾性ワッシャであり、レチクル支持体は、弾性ワッシャによってベースに連結されている。

【0013】

特定の実施形態では、複数の弾性ワッシャは、レチクル支持体をベースに固定するよう複数の締結要素と合わさる。

【0014】

特定の実施形態では、レチクル支持体は、突起および突起の２つの側部上に配置された２つのエッジリミッタを有し、複数の弾性ワッシャは、レチクル支持体の突起および２つのエッジリミッタの下に設けられている。

【0015】

特定の実施形態では、レチクルの重量は、３２０ｇ～３３０ｇ以上であり、限界値は、３．１４Ｎ以上である。

【0016】

特定の実施形態では、所定の高さは、０．１７ｍｍから０．２３ｍｍまでの範囲にある。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1A】本発明の第１の実施形態に従ってレチクルを通常の状態で担持するレチクルベースの略図である。

【図1B】本発明の第１の実施形態に従ってレチクルが外力を受けたときに傾けられるレチクルベースの略図である。

【図2A】本発明の第２の実施形態としての支持部材の構造の略図である。

【図2B】本発明の第２の実施形態としての支持部材の構造の変化の略図である。

【図3】本発明の第３の実施形態としてのレチクルベースおよびレチクルの分解組立図である。

【図4】本発明の第３の実施形態としてのレチクルベースおよびレチクルの平面図である。

【図5A】本発明の第３の実施形態としての支持部材の分解組立図である。

【図5B】第３の実施形態に従って図４のＡ‐Ａ線に沿って取った支持部材の断面図である。

【図6A】本発明の第３の実施形態の第１の変形例としての支持部材の分解組立図である。

【図6B】図４のＡ‐Ａ線に沿って取った第３の実施形態の第１の変形例としての支持部材の断面図である。

【図7A】本発明の第３の実施形態の第２の変形例としての支持部材の分解組立図である。

【図7B】図４のＡ‐Ａ線に沿って取った第３の実施形態の第２の変形例としての支持部材の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

本発明は、下向きの圧力を吸収する少なくとも１つのレチクル支持体を有するレチクルポッドを提供する。レチクル支持体は、弾性手段を有し、このレチクル支持体は、下向きの圧力を吸収し、そして弾性手段によって過剰な下向きの圧力を和らげる。本発明の説明を明確にするため、本発明のレチクルポッドのレチクルおよびベースだけが図示してある。

【0019】

図１Ａを参照すると、図１Ａは、レチクルＲを通常の状態で担持するレチクルベース（例えば、上述のデュアルポッドの内側ポッドのベース）の略図である。本発明のレチクル支持体１００が、レチクルポッドのベース５０の上面５０１上に設けられており、このレチクル支持体は、レチクルＲを支持するためのものである。レチクルＲがレチクル支持体１００上に置かれると、所定の高さＨがレチクルＲの下面Ｒ１とベース５０の上面５０１との間に維持され、所定の高さＨは、すなわち、圧縮されていないレチクル支持体１００が上面５０１から上方に延びる高さ、より具体的には、レチクル支持体１００が上面５０１から露出する高さである。デュアルポッドの内側ポッド（またはＥＩＰ）の一実施形態では、所定の高さＨは、０．１７ｍｍから０．２３ｍｍまでの範囲にある。

【0020】

図１Ｂに示すように、本発明のレチクル支持体１００は、レチクルＲが配置されまたはピックアップされ、そしてレチクルＲの傾きにより生じる下向きの圧力が単一のまたは数個のレチクル支持体１００上に過剰に集中し、また、レチクル支持体１００のコーナーに加えられたレチクル支持体１００の垂直力が限界値よりも大きい場合、下向きの圧力がレチクル支持体１００の弾性手段によって吸収されるよう構成されている。弾性手段により、レチクル支持体１００は、下面Ｒ１とベース５０の上面５０１との間の所定の高さＨよりも低い高さｈを必然的に生じ、その結果、下面Ｒ１と上面５０１が角度αをなし、そして、レチクル支持体１００が最初にレチクルに接触した後、下向きの圧力がもう１つのレチクル支持体１００によって分担された場合にのみ所定の高さＨに復元する。レチクル支持体１００の限界値に関する設計は、レチクルの重量および／または機械式アームの運動手段によって提供される下向きの圧力に従って決定されるのがよい。例えば、レチクルの重量が３２０ｇ～３３０ｇよりも大きくまたはこれに等しい場合、限界値は、レチクル支持体１００の材質または構造に照らして、３．１４Ｎ以上であるよう設計されるのがよい。この場合、レチクルに接触している１つの単一レチクル支持体１００が受ける下向きの圧力が３．１４Ｎよりも大きい場合、レチクル支持体１００の弾性手段は、介在して下向きの圧力を吸収する作用を生じさせ、かくして、レチクルの対応のコーナーが過剰に大きい垂直力に耐えることがないようにする。

【0021】

本発明の第１の実施形態では、圧縮可能でありかつ弾性であり、しかも耐熱性、耐摩耗性、または高い可塑性を有する弾性材料は、レチクル支持体１００のための弾性手段の材料として選択される。材料としては、例えば、ゴムまたは熱可塑性エラストマー（ＴＰＥ）、例えば熱可塑性ゴム（ＴＰＲ）、熱可塑性加硫物（ＴＰＶ）、熱可塑性ポリウレタン（ＴＰＵ）、もしくは熱可塑性ポリエステルエラストマー（ＴＰＥＥ）が挙げられるが、これらには限定されない。

【0022】

かくして、レチクル支持体１００が弾性材料で作られている場合、レチクル支持体１００の頂端は、レチクルＲの下面Ｒ１と弾力的な接触関係をなし、レチクル支持体１００は、１つの単一レチクル支持体１００に加わる下向きの圧力が限界値よりも大きい場合、自己圧縮および自己変形によって下向きの圧力を吸収する。

【0023】

本発明の第２の実施形態を示す図２Ａおよび図２Ｂを参照すると、レチクル支持体２００，２００′は、それぞれ突起２０１を有し、レチクル支持体２００の突起２０１は、連結部分２０２と接合され、レチクル支持体２００′の突起２０１は、連結部分２０３と接合されている。連結部分２０２，２０３は、弾性要素の互いに異なる変形例である。本発明の第２の実施形態では、レチクル支持体２００，２００′の弾性要素は、下向きの圧力を吸収する弾性手段として用いられる。突起２０１は、連結部２０２，２０３を介して、図１Ａに示すようにベース５０に連結されまたは結合されており、その結果、突起２０１を圧縮することができまたは、上面５０１に対してスイングすることができるようになっている。連結部分２０２，２０３は、下向きの圧力を吸収するよう突起２０１と比較して変形しやすい構造を有する。好ましくは、連結部分２０２は、ばねであり、ばねの底部は、適当な連結手段によってベース５０内に埋め込まれるのがよく、ばねの頂部は、突起２０１に連結されている。連結部分２０３は、中空構造体である。図示のように、連結部２０３は、主として４本の細い柱および底パネルからなっている。細い柱を形成する材料は、可撓性を示すよう適切に選択されるのがよく、例えば、上述した弾性材料である。かくして、連結部分２０３の４本の細い柱が力を受けることに起因して変形して撓むことができ、それにより突起２０１がスイングしまたは沈むということが分かる。

【0024】

かくして、レチクル支持体２００，２００′の連結部分２０２，２０３が弾性要素である場合、レチクル支持体２００，２００′に加えられた限界値よりも大きい下向きの圧力に応答して、レチクル支持体２００，２００′の突起２０１は、レチクルＲのコーナーからの下向きの圧力を吸収するよう上面５０１に対してわずかに沈む。換言すると、レチクル支持部２００，２００′は、弾性要素を変形させることによって下向きの圧力を吸収する。

【0025】

好ましくは、レチクル支持体２００，２００′の突起２０１または連結部分２０２，２０３は、例えば、本発明の第１の実施形態の弾性材料によって選択的に形成されるのがよい。突起２０１は、連結部分２０２，２０３を介してベース５０の取り付けインターフェース（図面からは省かれている）に連結されまたは結合されており、レチクル支持体２００，２００′に加えられた下向きの圧力が限界値よりも大きい場合、突起２０１または接続部分２０２，２０３は、圧縮および変形によって下向きの圧力を吸収する。

【0026】

本発明の第３の実施形態を示す図３～図５Ｂを参照する。図３は、レチクルポッドの内側ポッドのベース５０およびレチクルＲの略図であり、図４は、レチクルＲを担持したベース５０の平面図であり、取り付け穴５１がベース５０の４つのコーナーに設けられ、支持機構体３０が取り付け穴５１内に設けられている。図５Ａおよび図５Ｂに示すように、支持機構体３０は、レチクル支持体３１、弾性ワッシャ３２および２つの締結部材３３を含む。締結部材３３は、レチクル支持体３１の２つの締結穴３１４を介してベース５０の固定穴１１４に取り外し可能に固定されるとともに連結されている。本発明の第３の実施形態では、レチクル支持体３１は、下向きの圧力を吸収する弾性手段として弾性ワッシャ３２を用いる。

【0027】

レチクル支持体３１は、突起３１１（レチクルＲの下面に接触する）および、少なくとも１つのエッジリミッタ３１３（レチクルＲの側縁を制限する）を有する。弾性ワッシャ３２は、レチクルＲがレチクル支持体３１上に担持されると、弾性ワッシャ３２に接触するよう突起３１１の頂部に設けられ、レチクルＲと突起３１１との間には弾力的な接触部が形成される。レチクル支持体３１に加えられた下向きの圧力が限界値よりも大きい場合、弾性ワッシャ３２は、レチクルＲのコーナーによって加えられた下向きの圧力を吸収するのに十分である。この場合、図１Ａおよび図１Ｂに示す所定の高さＨと高さｈの関係を考慮して、突起３１１の露出高さに弾性ワッシャ３２の圧縮後の厚さを加えた量は、突起３１１の露出する高さに非圧縮状態の弾性ワッシャ３２の厚さを加えた量よりも必然的に小さい。好ましくは、突起３１１の頂部には、弾性ワッシャ３２と合致してこれに連結することができるよう適切に形成された切欠き３１２を有するのがよい。好ましくは、切欠き３１２は、弾性ワッシャ３２を突起３１１に取り外し可能に連結するよう適切に構成されるのがよい。弾性ワッシャ３２を突起３１１の頂部に設けることによって、レチクルＲと突起３１１とのハードな（弾力のない）接触部に代えて弾力的な接触部が用いられることになり、したがって、汚染粒子や突起３１１の摩耗を減少させることができる。さらに、締結部材３３または切欠き３１２の取り外し可能な手段により、異なるレチクル支持体３１または弾性ワッシャ３２の交換を容易に行うことができる。

【0028】

本発明の第３の実施形態の第１の変形例を示す図６Ａおよび図６Ｂを参照すると、本発明の第３の実施形態の第１の変形例は、レチクル支持体３１をベース５０に固定するよう互いに合致する２つの弾性ワッシャ３２と２つの締結部材３３を有する。具体的に説明すると、弾性ワッシャ３２は、ベース５０の固定穴１１４とレチクル支持体３１との間に設けられ、その結果、レチクル支持体３１とベース５０との間には弾力的接触部が形成されるが、弾性ワッシャ３２は、かかる組立体によって実質的に圧縮されないようになる。締結部材３３は、レチクル支持体３１の締結穴３１４、弾性ワッシャ３２、および固定穴１１４を順次通って、レチクル支持体３１をベース５０の取り付け穴５１に取り付ける。弾性ワッシャ３２をレチクル支持体３１とベース５０との間に設けることによって、下向きの圧力を吸収することができる。実施可能な変形例では、２つの弾性ワッシャ３２に代えて一対の開口部を有する１つの単一の弾性ワッシャを用いてもよく、弾性ワッシャは、同様に、ベース５０の固定穴１１４とレチクル支持体３１との間に設けられる。

【0029】

好ましくは、第３の実施形態の第１の変形例は、２つの締結部材３３とそれぞれ協調する２つの弾性ワッシャ３２を有し、レチクル支持体３１とベース５０との間には弾力的接触部が形成され、下向きの圧力は、２つの弾性ワッシャ３２によって吸収されるようになる。この場合、図１Ａおよび図１Ｂに示す所定の高さＨと高さｈの関係を考慮して、突起３１１の露出高さに弾性ワッシャ３２の圧縮後の厚さを加えた量は、突起３１１の露出する高さに非圧縮状態の弾性ワッシャ３２の厚さを加えた量よりも必然的に小さい。

【0030】

本発明の第３の実施形態の第２の変形例を示す図７Ａおよび図７Ｂを参照すると、３つの弾性ワッシャ３２がレチクル支持体３１の突起３１１および２つのエッジリミッタ３１３の下に設けられており、その結果、レチクル支持体３１とベース５０との間には弾力的接触部が形成されるようになっている。ベース５０の取り付け穴５１は、エッジリミッタ３１３の下部に対応した固定突起１１３を備えている。組み立て中、弾性ワッシャ３２を最初に取り付け穴５１中に配置して固定突起１１３を包囲し、次に、レチクル支持体３１を入れて、レチクル支持体３１の下向きの圧力によって弾性ワッシャ３２を制限し（弾性ワッシャ３２を実質的に圧縮しないで）、それにより不必要な変位を阻止するのがよい。もう１つの実施可能な変形例では、弾性ワッシャ３２の数は、２つ以下であるのがよく、例えば、２つの弾性ワッシャ３２だけがエッジリミッタ３１３に対応し、あるいは１つの弾性ワッシャ３２だけが突起３１１に対応する。

【0031】

好ましくは、本発明の第３の実施形態の第２の変形例では、３つの弾性ワッシャ３２をそれぞれレチクル支持体３１の突起３１１および２つのエッジリミッタ３１３の下に配置し、これら３つの弾性ワッシャ３２によって下向きの圧力を吸収する。この場合、図１Ａおよび図１Ｂに示す所定の高さＨと高さｈと関係を考慮して、突起３１１の露出高さに弾性ワッシャ３２の圧縮後の厚さを加えた量は、突起３１１の露出する高さに非圧縮状態の弾性ワッシャ３２の厚さを加えた量よりも必然的に小さい。

【0032】

弾性ワッシャ３２は、荷重を吸収するハードウェア要素、例えば、ゴムワッシャまたはばねワッシャであるのがよい。弾性ワッシャ３２が追加的に設けられる場合、異なる機械の動作中における負荷の変化に適合させて、弾性ワッシャ３２の取り付け位置および取り付け数を柔軟に調整し、それにより、ピックアップされて配置されるレチクルと支持部材との間に過剰に大きな力を生じるのを阻止し、それゆえ、粒子発生または損傷を防ぐことができる。

【0033】

本発明の技術的思想または技術的原理から逸脱しないで、本発明の実施例および変形例を実際の用途上の要件に応じて協調的に組み合わせまたは実施することができる。

【符号の説明】

【0034】

３０ 支持機構体
３２ 弾性ワッシャ
３３ 締結部材
５０ ベース
５１ 取り付け穴
１００ レチクル支持体
２０１ 突起
２０２，２０３ 連結部分
３１１ 突起
３１３ エッジリミッタ
Ｒ レチクル

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7A】

【図7B】