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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025028531
(43)【公開日】2025-03-03
(54)【発明の名称】浮上支持装置および外観検査装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20250221BHJP
G01N 21/956 20060101ALI20250221BHJP
B65G 49/07 20060101ALI20250221BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
G01N21/956 Z
B65G49/07 H
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023133389
(22)【出願日】2023-08-18
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(74)【代理人】
【識別番号】100196140
【弁理士】
【氏名又は名称】岩垂 裕司
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 史朗
(72)【発明者】
【氏名】小林 正芳
【テーマコード（参考）】
2G051
5F131
【Ｆターム（参考）】
2G051AA73
2G051AB07
2G051CA03
2G051DA08
5F131AA03
5F131AA33
5F131BA39
5F131CA07
5F131CA23
5F131DA33
5F131DA42
5F131DC12
5F131DC19
5F131EA02
5F131EA14
5F131EA15
5F131EA17
5F131EA22
5F131EA24
5F131EB02
5F131EB41
5F131KA13
5F131KA14
5F131KA16
5F131KB23
5F131KB32
5F131KB38
(57)【要約】
【課題】可撓性を有するシート状の媒体を浮上させた状態で所定の位置に固定する浮上支持装置を提供すること。
【解決手段】浮上支持装置５は、矩形のシート状の媒体２を、所定距離Ｈだけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤８と、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂを備える固定機構９と、を有する。第１固定機構１０Ａの第１吸着面４１および第２固定機構１０Ｂの第２吸着面４６は、多孔質板３１から所定距離Ｈだけ上方に位置する。第１固定機構１０Ａの第１吸気機構４５が駆動されると第１吸気口４１ａから空気が吸引され、第１方向Ｌに沿った媒体２の第１辺２ａの縁の一部分が第１吸着面４１に吸着される。第２固定機構１０Ｂの第２吸気機構５０が駆動されると第２吸気口４６ａから空気が吸引され、第２方向Ｗに沿った媒体２の第２辺２ｂの縁の一部分が第２吸着面４６に吸着される。
【選択図】図５
【解決手段】浮上支持装置５は、矩形のシート状の媒体２を、所定距離Ｈだけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤８と、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂを備える固定機構９と、を有する。第１固定機構１０Ａの第１吸着面４１および第２固定機構１０Ｂの第２吸着面４６は、多孔質板３１から所定距離Ｈだけ上方に位置する。第１固定機構１０Ａの第１吸気機構４５が駆動されると第１吸気口４１ａから空気が吸引され、第１方向Ｌに沿った媒体２の第１辺２ａの縁の一部分が第１吸着面４１に吸着される。第２固定機構１０Ｂの第２吸気機構５０が駆動されると第２吸気口４６ａから空気が吸引され、第２方向Ｗに沿った媒体２の第２辺２ｂの縁の一部分が第２吸着面４６に吸着される。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
多孔質板を備え、可撓性を有する矩形のシート状の媒体を、前記多孔質板から所定距離だけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤と、
前記非接触吸着盤の前記多孔質板と重ならない位置に、それぞれ固定された第１固定機構および第２固定機構を備える固定機構と、
を有し、
上下方向と直交する方向を第１方向、上下方向および前記第１方向と直交する方向を第２方向とすると、
前記第１固定機構は、複数の第１吸気口を備える第１吸着面を備える第１吸着用部材と、複数の前記第１吸気口に連通する第１空気流路と、前記第１空気流路に接続された第１吸気機構と、を備え、
前記第２固定機構は、複数の第２吸気口を備える第２吸着面を備える第２吸着用部材と、複数の前記第２吸気口に連通する第２空気流路と、前記第２空気流路に接続された第２吸気機構と、を備え、
前記第１吸着面は、前記第１方向に沿って延び、
前記第２吸着面は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１吸着面および前記第２吸着面は、前記多孔質板と平行であり、前記多孔質板から前記所定距離だけ上方に位置し、
前記第１吸気機構が駆動されると前記第１吸気口から空気が吸引され、前記第１方向に沿った前記媒体の第１辺の縁の一部分が前記第１吸着面に吸着され、
前記第２吸気機構が駆動されると前記第２吸気口から空気が吸引され、前記第２方向に沿った前記媒体の第２辺の縁の一部分が前記第２吸着面に吸着されることを特徴とする浮上支持装置。
前記非接触吸着盤の前記多孔質板と重ならない位置に、それぞれ固定された第１固定機構および第２固定機構を備える固定機構と、
を有し、
上下方向と直交する方向を第１方向、上下方向および前記第１方向と直交する方向を第２方向とすると、
前記第１固定機構は、複数の第１吸気口を備える第１吸着面を備える第１吸着用部材と、複数の前記第１吸気口に連通する第１空気流路と、前記第１空気流路に接続された第１吸気機構と、を備え、
前記第２固定機構は、複数の第２吸気口を備える第２吸着面を備える第２吸着用部材と、複数の前記第２吸気口に連通する第２空気流路と、前記第２空気流路に接続された第２吸気機構と、を備え、
前記第１吸着面は、前記第１方向に沿って延び、
前記第２吸着面は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１吸着面および前記第２吸着面は、前記多孔質板と平行であり、前記多孔質板から前記所定距離だけ上方に位置し、
前記第１吸気機構が駆動されると前記第１吸気口から空気が吸引され、前記第１方向に沿った前記媒体の第１辺の縁の一部分が前記第１吸着面に吸着され、
前記第２吸気機構が駆動されると前記第２吸気口から空気が吸引され、前記第２方向に沿った前記媒体の第２辺の縁の一部分が前記第２吸着面に吸着されることを特徴とする浮上支持装置。
【請求項2】
前記第１吸着用部材は、前記第１方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、
前記第２吸着用部材は、前記第２方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、
前記第１吸着面は、前記第１吸着用部材の上面であり、
前記第１吸気口は、前記第１吸着用部材の上面の気孔であり、
前記第２吸着面は、前記第２吸着用部材の上面であり、
前記第２吸気口は、前記第２吸着用部材の上面の気孔であることを特徴とする請求項１に記載の浮上支持装置。
前記第２吸着用部材は、前記第２方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、
前記第１吸着面は、前記第１吸着用部材の上面であり、
前記第１吸気口は、前記第１吸着用部材の上面の気孔であり、
前記第２吸着面は、前記第２吸着用部材の上面であり、
前記第２吸気口は、前記第２吸着用部材の上面の気孔であることを特徴とする請求項１に記載の浮上支持装置。
【請求項3】
前記第１固定機構は、前記第１吸着用部材を保持する第１ホルダを備え、
前記第１ホルダは、前記第１吸着用部材の下面に密着する第１下面密着部と、前記第１吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第１側面に密着する第１側面密着部と、を備え、
前記第１下面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第１空気流路は、前記第１ホルダを貫通するとともに、前記第１側面密着部に開口する第１貫通孔を備え、
前記第１吸気機構は、前記第１側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第１貫通孔の開口に接続され、
前記第２固定機構は、前記第２吸着用部材を保持する第２ホルダを備え、
前記第２ホルダは、前記第２吸着用部材の下面に密着する第２下面密着部と、前記第２吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第３側面に密着する第２側面密着部と、を備え、
前記下第２面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第２空気流路は、前記第２ホルダを貫通するとともに、前記第２側面密着部に開口する第２貫通孔を備え、
前記第２吸気機構は、前記第２側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第２貫通孔の開口に接続され、
前記非接触吸着盤は、前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記非接触吸着盤に固定
したときに、前記第１吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する第１端面と、前記第２吸着用部材の前記第３側面とは反対側を向く第４側面に密着する第２端面とを備えることを特徴とする請求項２に記載の浮上支持装置。
前記第１ホルダは、前記第１吸着用部材の下面に密着する第１下面密着部と、前記第１吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第１側面に密着する第１側面密着部と、を備え、
前記第１下面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第１空気流路は、前記第１ホルダを貫通するとともに、前記第１側面密着部に開口する第１貫通孔を備え、
前記第１吸気機構は、前記第１側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第１貫通孔の開口に接続され、
前記第２固定機構は、前記第２吸着用部材を保持する第２ホルダを備え、
前記第２ホルダは、前記第２吸着用部材の下面に密着する第２下面密着部と、前記第２吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第３側面に密着する第２側面密着部と、を備え、
前記下第２面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第２空気流路は、前記第２ホルダを貫通するとともに、前記第２側面密着部に開口する第２貫通孔を備え、
前記第２吸気機構は、前記第２側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第２貫通孔の開口に接続され、
前記非接触吸着盤は、前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記非接触吸着盤に固定
したときに、前記第１吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する第１端面と、前記第２吸着用部材の前記第３側面とは反対側を向く第４側面に密着する第２端面とを備えることを特徴とする請求項２に記載の浮上支持装置。
【請求項4】
前記固定機構は、前記第１辺および前記第２辺の長さが異なる複数の媒体を、それぞれ吸着することが可能であり、
前記複数の媒体のうち、前記第１辺および前記第２辺の長さが最も小さい最小の媒体を前記固定機構が吸着する場合、
前記第１吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第１辺と完全に重なり、
前記第２吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第２辺と完全に重なることを特徴とする請求項２または３に記載の浮上支持装置。
前記複数の媒体のうち、前記第１辺および前記第２辺の長さが最も小さい最小の媒体を前記固定機構が吸着する場合、
前記第１吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第１辺と完全に重なり、
前記第２吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第２辺と完全に重なることを特徴とする請求項２または３に記載の浮上支持装置。
【請求項5】
前記第１吸着面の前記第１方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第１辺の寸法より短く、
前記第２吸着面の前記第２方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第２辺の寸法より短いことを特徴とする請求項４に記載の浮上支持装置。
前記第２吸着面の前記第２方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第２辺の寸法より短いことを特徴とする請求項４に記載の浮上支持装置。
【請求項6】
前記第１方向において、前記第１固定機構の前記第２固定機構が位置する側とは反対側に配置される第１載置部材と、
前記第２方向において、前記第２固定機構の前記第１固定機構が位置する側とは反対側に配置される第２載置部材と、
を有し、
前記第１載置部材は、第１載置面を備える第１支持部材を備え、
前記第２載置部材は、第２載置面を備える第２支持部材を備え、
前記第１載置面は、上下方向において前記第１吸着面と同一の高さ、かつ、前記第１方向に沿って延び、
前記第２載置面は、上下方向において前記第２吸着面と同一の高さ、かつ、前記第２方向に沿って延びることを特徴とする請求項４に記載の浮上支持装置。
前記第２方向において、前記第２固定機構の前記第１固定機構が位置する側とは反対側に配置される第２載置部材と、
を有し、
前記第１載置部材は、第１載置面を備える第１支持部材を備え、
前記第２載置部材は、第２載置面を備える第２支持部材を備え、
前記第１載置面は、上下方向において前記第１吸着面と同一の高さ、かつ、前記第１方向に沿って延び、
前記第２載置面は、上下方向において前記第２吸着面と同一の高さ、かつ、前記第２方向に沿って延びることを特徴とする請求項４に記載の浮上支持装置。
【請求項7】
請求項１に記載の浮上支持装置と、
前記浮上支持装置を上下方向に沿った回転軸で回転させる回転機構と、
前記回転機構を介して前記浮上支持装置を、水平の搬送経路に沿って移動させる駆動機構と、
前記媒体を撮像するラインカメラと、
前記浮上支持装置、前記回転機構、前記駆動機構および前記ラインカメラを制御する制御部と、
を有し、
前記ラインカメラは、前記搬送経路の上方に設けられるとともに、前記搬送経路に沿った搬送方向と直交する方向に延び、
前記第１吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の一方側に向けて移動する際、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記第２吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の他方側に向けて移動する際、前記浮上支持装置が９０°回転することによって、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記制御部は、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記一方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第１辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第１画像データを、前記ラインカメラによって取得するとともに、前記第１画像データを取得した後、前記回転機構を制御して、前記浮上支持装置を９０°回転させ、その後、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記他方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第２辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第２画像データを、前記ラインカメラによって取得することを特徴とする
外観検査装置。
前記浮上支持装置を上下方向に沿った回転軸で回転させる回転機構と、
前記回転機構を介して前記浮上支持装置を、水平の搬送経路に沿って移動させる駆動機構と、
前記媒体を撮像するラインカメラと、
前記浮上支持装置、前記回転機構、前記駆動機構および前記ラインカメラを制御する制御部と、
を有し、
前記ラインカメラは、前記搬送経路の上方に設けられるとともに、前記搬送経路に沿った搬送方向と直交する方向に延び、
前記第１吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の一方側に向けて移動する際、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記第２吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の他方側に向けて移動する際、前記浮上支持装置が９０°回転することによって、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記制御部は、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記一方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第１辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第１画像データを、前記ラインカメラによって取得するとともに、前記第１画像データを取得した後、前記回転機構を制御して、前記浮上支持装置を９０°回転させ、その後、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記他方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第２辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第２画像データを、前記ラインカメラによって取得することを特徴とする
外観検査装置。
【請求項8】
前記第１固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記一方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記一方側に位置し、
前記第２固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記他方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記他方側に位置することを特徴とする請求項７に記載の外観検査装置。
前記第２固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記他方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記他方側に位置することを特徴とする請求項７に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、シート状の媒体を浮遊させた状態で移動不能に支持する媒体浮上支持装置に関する。また、シート状の媒体の外観を検査するための外観検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
可撓性を有するシート状の媒体の搬送には、媒体を浮上させた状態で移動させる非接触搬送装置が用いられる。特許文献１には、シート状の媒体を浮上させる非接触吸着盤を有する非接触搬送装置が記載されている。非接触吸着盤は、上端部分に多孔質板を備える。非接触吸着盤は、多孔質板の表面において、加圧空気の噴出による媒体の浮上と、空気吸引による媒体の非接触吸着とを同時に行い、媒体を多孔質板の表面から浮上させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－１６７２５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
可撓性を有するシート状の媒体として、ＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）基板がある。ＯＬＥＤ基板とは、薄膜トランジスタと、有機ＥＬ素子を有するＯＬＥＤと、薄膜封止層とが積層されている基板である。
【0005】
ＯＬＥＤ基板を採用したディスプレイなどの製造時には、ＯＬＥＤ基板の外観検査が行われる。外観検査では、検査用ステージに載置したＯＬＥＤ基板をカメラ撮像し、取得した画像データに画像処理を施して傷などを検出することが試みられている。
【0006】
しかしながら、ＯＬＥＤ基板は可撓性を有するので、ＯＬＥＤ基板を検査用ステージの上面に載置したときに、ＯＬＥＤ基板に反りやうねりが発生する場合がある。また、ＯＬＥＤ基板はシート状なので、ＯＬＥＤ基板を検査用ステージの上面に載置したときに、検査用ステージの上面に塵埃が存在する場合には、ＯＬＥＤ基板に凹凸が発生することがある。ＯＬＥＤ基板を撮像した画像に、反り、うねり、および、塵埃に起因する凹凸により影が発生していると、これらの陰と、ＯＬＥＤ基板の表面に形成されたキズと、を画像データの解析により正確に判別することができない。このため、ＯＬＥＤ基板の外観検査では、検査員の目視による外観検査が行われることが主流である。
【0007】
ここで、シート状の媒体を非接触吸着盤により浮上させれば、媒体に反りやうねりは発生しない。また、シート状の媒体を非接触吸着盤により浮上させれば、多孔質板の上面に塵埃が存在しても、媒体に凹凸が発生することを抑制することができる。よって、媒体を非接触吸着盤により浮上させた状態で撮像すれば、取得した画像データに基づいて媒体表面に形成されたキズを正確に判別すること可能である。しかしながら、非接触吸着盤により媒体を浮上させた場合には、媒体が多孔質板と平行な水平方向に移動しやすく、媒体を定位置に固定しておくことができないので、浮上した媒体の撮像が容易ではないという問題がある。
【0008】
本発明の課題は、かかる点に鑑みて、可撓性を有するシート状の媒体を浮上させた状態で所定の位置に固定する浮上支持装置を提供することにある。また、媒体を撮像した撮像データに基づいてシート状の媒体のキズなどを検出できる外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記課題を解決するために、本発明の浮上支持装置は、多孔質板を備え、可撓性を有する矩形のシート状の媒体を、前記多孔質板から所定距離だけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤と、前記非接触吸着盤の前記多孔質板と重ならない位置に、それぞれ固定された第１固定機構および第２固定機構を備える固定機構と、を有し、上下方向と直交する方向を第１方向、上下方向および前記第１方向と直交する方向を第２方向とすると、前記第１固定機構は、複数の第１吸気口を備える第１吸着面を備える第１吸着用部材と、複数の前記第１吸気口に連通する第１空気流路と、前記第１空気流路に接続された第１吸気機構と、を備え、前記第２固定機構は、複数の第２吸気口を備える第２吸着面を備える第２吸着用部材と、複数の前記第２吸気口に連通する第２空気流路と、前記第２空気流路に接続された第２吸気機構と、を備え、前記第１吸着面は、前記第１方向に沿って延び、前記第２吸着面は、前記第２方向に沿って延び、前記第１吸着面および前記第２吸着面は、前記多孔質板と平行であり、前記多孔質板から前記所定距離だけ上方に位置し、前記第１吸気機構が駆動されると前記第１吸気口から空気が吸引され、前記第１方向に沿った前記媒体の第１辺の縁の一部分が前記第１吸着面に吸着され、前記第２吸気機構が駆動されると前記第２吸気口から空気が吸引され、前記第２方向に沿った前記媒体の第２辺の縁の一部分が前記第２吸着面に吸着されることを特徴とする。
【0010】
本発明によれば、非接触吸着盤は、シート状の媒体を多孔質板から上方に所定距離だけ浮上させる。したがって、媒体が多孔質板に接触して媒体に反りやうねりが発生することはなく、多孔質板の上面に塵埃が存在しても、媒体に凹凸が発生することがない。一方、第１固定機構および第２固定機構は、非接触吸着盤の多孔質板と重ならない位置に取り付けられており、多孔質板から上方に位置する第１吸着面および第２吸着面を備える。また、非接触吸着盤の多孔質板から浮上した媒体は、第１固定機構および第２固定機構によって、媒体の第１辺の縁の一部分および第２辺の縁の一部分が吸着される。これにより、媒体の２箇所の辺が、第１固定機構および第２固定機構によって保持されるので、固定機構によって媒体の１箇所の辺が保持される場合と比較して、媒体は多孔質板から浮上した状態で、より確実に固定される。さらに、媒体が多孔質板から浮上している高さと、各吸着用部材の各吸着面の高さが一致しているので、媒体が各吸着用部材に吸着されたときに、媒体に、反りや、うねりが発生しない。
【0011】
本発明において、前記第１吸着用部材は、前記第１方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、前記第２吸着用部材は、前記第２方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、前記第１吸着面は、前記第１吸着用部材の上面であり、前記第１吸気口は、前記第１吸着用部材の上面の気孔であり、前記第２吸着面は、前記第２吸着用部材の上面であり、前記第２吸気口は、前記第２吸着用部材の上面の気孔であることが好ましい。このようにすれば、各吸着用部材の上面の全てを吸着面とすることができるので、各吸着面の面積を大きくすることができる。これにより、各吸着用部材が媒体の第１辺の縁の一部分および第２辺の縁の一部分を吸着する際の吸着力が向上する。
【0012】
本発明において、前記第１固定機構は、前記第１吸着用部材を保持する第１ホルダを備え、前記第１ホルダは、前記第１吸着用部材の下面に密着する第１下面密着部と、前記第１吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第１側面に密着する第１側面密着部と、を備え、前記第１下面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、前記第１空気流路は、前記第１ホルダを貫通するとともに、前記第１側面密着部に開口する第１貫通孔を備え、前記第１吸気機構は、前記第１側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第１貫通孔の開口に接続され、前記第２固定機構は、前記第２吸着用部材を保持する第２ホルダを備え、前記第２ホルダは、前記第２吸着用部材の下面に密着する第２下面密着部と、前記第２吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第３側面に密着する第２側面密着部と、を備え、前記下第
２面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、前記第２空気流路は、前記第２ホルダを貫通するとともに、前記第２側面密着部に開口する第２貫通孔を備え、前記第２吸気機構は、前記第２側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第２貫通孔の開口に接続され、前記非接触吸着盤は、前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記非接触吸着盤に固定したときに、前記第１吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する第１端面と、前記第２吸着用部材の前記第３側面とは反対側を向く第４側面に密着する第２端面とを備えることが好ましい。
２面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、前記第２空気流路は、前記第２ホルダを貫通するとともに、前記第２側面密着部に開口する第２貫通孔を備え、前記第２吸気機構は、前記第２側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第２貫通孔の開口に接続され、前記非接触吸着盤は、前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記非接触吸着盤に固定したときに、前記第１吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する第１端面と、前記第２吸着用部材の前記第３側面とは反対側を向く第４側面に密着する第２端面とを備えることが好ましい。
【0013】
このようにすれば、第１吸着用部材が多孔質体なので、第１吸気口である第１吸着用部材の上面の気孔は、第１吸着用部材の内部の気孔を介して第１貫通孔に接続される。また、第１吸着用部材の下面と第１側面には、第１ホルダが密着する。第１吸着用部材において第１側面とは反対側に位置する第２側面には、非接触吸着盤が密着する。さらに、非接触吸着盤の第１端面は、第１吸着用部材を介して、第１側面密着部および第１側面密着部に露出する第１貫通孔の一方の開口と対向する。よって、第１貫通孔に接続された第１吸気機構を駆動すれば、第１吸着用部材の上面の気孔から空気を吸い込むことができる。同様に、第２吸着用部材が多孔質体なので、第２吸気口である第２吸着用部材の上面の気孔は、第２吸着用部材の内部の気孔を介して第２貫通孔に接続される。また、第２吸着用部材の下面と第３側面には、第２ホルダが密着する。第２吸着用部材において第３側面とは反対側に位置する第４側面には、非接触吸着盤が密着する。さらに、非接触吸着盤の第２端面は、第２吸着用部材を介して、第２側面密着部および第２側面密着部に露出する第２貫通孔の一方の開口と対向する。よって、第２貫通孔に接続された第２吸気機構を駆動すれば、第２吸着用部材の上面の気孔から空気を吸い込むことができる。
【0014】
本発明において、前記固定機構は、前記第１辺および前記第２辺の長さが異なる複数の媒体を、それぞれ吸着することが可能であり、前記複数の媒体のうち、前記第１辺および前記第２辺の長さが最も小さい最小の媒体を前記固定機構が吸着する場合、前記第１吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第１辺と完全に重なり、前記第２吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第２辺と完全に重なることが好ましい。このようにすれば、固定機構が最小の媒体を吸着する場合であっても、第１吸着面および第２吸着面は、全てが媒体と接する。これにより、最小の媒体を固定機構が吸着する際、第１吸気口および第２吸気口から空気がリークしないので、第１吸着面および第２吸着面は、媒体を確実に吸着することができる。
【0015】
本発明において、前記第１吸着面の前記第１方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第１辺の寸法より短く、前記第２吸着面の前記第２方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第２辺の寸法より短いことが好ましい。このようにすれば、固定機構が最小の媒体を吸着する際、第１吸着面および第２吸着面に対して、媒体の第１辺および第２辺が僅かにズレた場合であっても、媒体の第１辺および第１吸着面、媒体の第２辺および第２吸着面が、それぞれ、完全に重なりやすい。これにより、最小の媒体を固定機構が吸着する際、第１吸気口および第２吸気口から空気がリークしないので、第１吸着面および第２吸着面は、媒体を確実に吸着することができる。
【0016】
本発明において、前記第１方向において、前記第１固定機構の前記第２固定機構が位置する側とは反対側に配置される第１載置部材と、前記第２方向において、前記第２固定機構の前記第１固定機構が位置する側とは反対側に配置される第２載置部材と、を有し、前記第１載置部材は、第１載置面を備える第１支持部材を備え、前記第２載置部材は、第２載置面を備える第２支持部材を備え、前記第１載置面は、上下方向において前記第１吸着面と同一の高さ、かつ、前記第１方向に沿って延び、前記第２載置面は、上下方向において前記第２吸着面と同一の高さ、かつ、前記第２方向に沿って延びることが好ましい。このようにすれば、最小の媒体より大きな媒体を固定機構が吸着する際、第１載置面が、媒
体の第１辺の縁において、第１吸着面によって吸着されない部分を支持し、第２載置面が、媒体の第２辺の縁において、第２吸着面によって吸着されない部分を支持する。これにより、媒体が多孔質板から浮上した際の高さが一定に維持されやすい。
体の第１辺の縁において、第１吸着面によって吸着されない部分を支持し、第２載置面が、媒体の第２辺の縁において、第２吸着面によって吸着されない部分を支持する。これにより、媒体が多孔質板から浮上した際の高さが一定に維持されやすい。
【0017】
本発明の外観検査装置は、上記の浮上支持装置と、前記浮上支持装置を上下方向に沿った回転軸で回転させる回転機構と、前記回転機構を介して前記浮上支持装置を、水平の搬送経路に沿って移動させる駆動機構と、前記媒体を撮像するラインカメラと、前記浮上支持装置、前記回転機構、前記駆動機構および前記ラインカメラを制御する制御部と、を有し、前記ラインカメラは、前記搬送経路の上方に設けられるとともに、前記搬送経路に沿った搬送方向と直交する方向に延び、前記第１吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の一方側に向けて移動する際、前記搬送方向と直交する方向に延び、前記第２吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の他方側に向けて移動する際、前記浮上支持装置が９０°回転することによって、前記搬送方向と直交する方向に延び、前記制御部は、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記一方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第１辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第１画像データを、前記ラインカメラによって取得するとともに、前記第１画像データを取得した後、前記回転機構を制御して、前記浮上支持装置を９０°回転させ、その後、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記他方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第２辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第２画像データを、前記ラインカメラによって取得することを特徴とする。
【0018】
本発明によれば、浮上支持装置を水平方向に移動させた場合でも、浮上支持装置の非接触吸着盤上で、媒体が移動することがない。よって、非接触吸着盤上で浮上させた媒体を、撮像位置に移動させて、ラインカメラにより撮像できる。また、制御部が媒体の第１辺と直交する方向において撮像された媒体の第１画像データと、媒体の第２辺と直交する方向において撮像された媒体の第２画像データとを取得するので、制御部が第１画像データおよび第２画像データの一方を取得する場合と比較して、外観検査装置は、媒体の外観をより正確に検査することができる。
【0019】
本発明において、前記第１固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記一方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記一方側に位置し、前記第２固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記他方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記他方側に位置することが好ましい。このようにすれば、浮上支持装置が移動する際に、媒体の移動方向の前方が、固定機構に固定される。よって、浮上支持装置が移動する際に、媒体に反りや撓みが発生することを抑制することができる。
【発明の効果】
【0020】
本発明の浮上支持装置は、非接触吸着盤から浮上した媒体を固定機構により吸着して固定する。よって、浮上支持装置により支持された媒体を撮像すれば、撮像された画像データに基づいて、媒体のキズなどを検出できる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】外観検査装置の説明図である。
【図2】外観検査装置の概略ブロック図である。
【図3】浮上支持装置の斜視図である。
【図4】浮上支持装置の分解斜視図である。
【図5】浮上支持装置にシート状の媒体を支持した状態の説明図である。
【図6】第１固定機構の分解斜視図である。
【図7】第２固定機構の分解斜視図である。
【図8】浮上支持装置における第１吸着用部材の周辺の縦断面図である。
【図9】浮上支持装置における第２吸着用部材の周辺の縦断面図である。
【図10】載置部材の分解斜視図である。
【図11】外観検査装置の動作を説明する図である。
【図12】外観検査装置の動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、図面を参照して、本形態の外観検査装置および浮上支持装置を説明する。
【0023】
（外観検査装置）
図１は、外観検査装置の説明図である。図２は、外観検査装置の制御系のブロック図である。外観検査装置１は、シート状の媒体２を搬送しながら撮像し、取得した画像データから媒体２の表面にあるキズを検出する。本形態では、シート状の媒体２は、例えば、ＯＬＥＤ基板である。ＯＬＥＤ基板とは、薄膜トランジスタと、有機ＥＬ素子を有するＯＬＥＤと、薄膜封止層とが積層されているものである。図１に示すように、媒体２としてのＯＬＥＤ基板は、平面形状が矩形である。ＯＬＥＤ基板は、２つの長辺の１つである第１辺２ａと、２つの短辺の１つである第２辺２ｂと、を備える。ＯＬＥＤ基板の第１辺２ａまたは第２辺２ｂの外周縁部分には、不図示のバーコードが記載されている。なお、媒体２は、長方形に限定されず、正方形であってもよい。この場合、媒体の何れかの辺のうち、１つを第１辺とし、第１辺と直交する辺のうちの１つを第２辺とすればよい。また、媒体は、２つの短辺のうちの１つを第１辺とし、２つの長辺のうちの１つである第２辺として備えてもよい。
図１は、外観検査装置の説明図である。図２は、外観検査装置の制御系のブロック図である。外観検査装置１は、シート状の媒体２を搬送しながら撮像し、取得した画像データから媒体２の表面にあるキズを検出する。本形態では、シート状の媒体２は、例えば、ＯＬＥＤ基板である。ＯＬＥＤ基板とは、薄膜トランジスタと、有機ＥＬ素子を有するＯＬＥＤと、薄膜封止層とが積層されているものである。図１に示すように、媒体２としてのＯＬＥＤ基板は、平面形状が矩形である。ＯＬＥＤ基板は、２つの長辺の１つである第１辺２ａと、２つの短辺の１つである第２辺２ｂと、を備える。ＯＬＥＤ基板の第１辺２ａまたは第２辺２ｂの外周縁部分には、不図示のバーコードが記載されている。なお、媒体２は、長方形に限定されず、正方形であってもよい。この場合、媒体の何れかの辺のうち、１つを第１辺とし、第１辺と直交する辺のうちの１つを第２辺とすればよい。また、媒体は、２つの短辺のうちの１つを第１辺とし、２つの長辺のうちの１つである第２辺として備えてもよい。
【0024】
外観検査装置１は、レール４と、レール４上に載置された浮上支持装置５と、浮上支持装置５を上下方向に沿った回転軸で回転させる回転機構６と、回転機構６を介して浮上支持装置５をレール４に沿って移動させる駆動機構７と、を備える。回転機構６は、浮上支持装置５を回転させるモータなどの駆動部を備える。回転機構６は、駆動機構７に固定されている。駆動機構７は、レール４の一方端に設定された第１位置Ａと、レール４の他方端に設定された第２位置Ｂとの間で形成された搬送経路２５において浮上支持装置５を往復移動させる。ここで、媒体２は、不図示の搬送装置により、第１位置Ａに配置された浮上支持装置５に上方から供給される。また、媒体２は、外観検査装置１によって外観検査が終了すると、不図示の搬送装置により、第１位置Ａから次工程に排出される。
【0025】
外観検査装置１は、第１位置Ａにある浮上支持装置５に媒体２が支持されているか、否かを検出する第１検出器１１と、第２位置Ｂにある浮上支持装置５に媒体２が支持されているか、否かを検出する第２検出器１２と、を備える。第１検出器１１および第２検出器１２は、浮上支持装置５に向かって検査光を発す発光部１３と、媒体２からの反射光を検出する検出部１４と、を備える。第１検出器１１および第２検出器１２は、各検出部１４からの出力に基づいて、媒体２の有無を判定する。
【0026】
外観検査装置１は、搬送経路２５の中程に、バーコードリーダ１５と、撮像機構１６と、を備える。バーコードリーダ１５および撮像機構１６は、レール４の上方に位置する。撮像機構１６は、レール４に沿って移動する媒体２に照明光を照射する不図示のライトと、媒体２を撮像するラインカメラ１７と、を備える。ラインカメラ１７は、搬送経路２５に沿った方向と直交する方向に延びる。より具体的には、ラインカメラ１７は、搬送経路２５に沿った方向と直交する方向に配列された複数の撮像素子を備える。
【0027】
外観検査装置１は、図２に示すように、制御部２１と、記憶装置２２と、を備える。制御部２１の入力側には、第１検出器１１および第２検出器１２が接続されている。制御部２１の出力側には、浮上支持装置５、回転機構６、および駆動機構７が接続されている。
また、制御部２１には、記憶装置２２、バーコードリーダ１５および撮像機構１６が通信可能に接続されている。
また、制御部２１には、記憶装置２２、バーコードリーダ１５および撮像機構１６が通信可能に接続されている。
【0028】
以下の説明では、上下方向をＺ軸方向とし、Ｚ軸方向と垂直で互いに直交する２方向をＸ軸方向およびＹ軸方向とする。また、Ｘ軸方向を搬送経路２５（レール４）に沿った搬送方向とし、Ｙ軸方向を搬送経路２５と直交する方向とする。さらに、Ｘ軸方向において、第１位置Ａから第２位置Ｂに向かう方向をＸ１方向、その反対をＸ２方向とする。また、浮上支持装置５において、浮上支持装置５に載置される媒体２の第１辺２ａに沿った方向を第１方向Ｌとし、第２辺２ｂに沿った方向を第２方向Ｗとする。第１方向Ｌと第２方向Ｗとは、互いに直交するとともにＺ軸方向とも直交する。
【0029】
（浮上支持装置）
図３は、浮上支持装置５の斜視図である。図４は、浮上支持装置５の分解斜視図である。図５は、浮上支持装置５にシート状の媒体２を支持した状態の説明図である。図６は、第１固定機構１０Ａの分解斜視図である。図７は、第２固定機構１０Ｂの分解斜視図である。図８は、浮上支持装置５における第１吸着用部材４２の周辺の縦断面図である。図９は、浮上支持装置５における第２吸着用部材の周辺の縦断面図である。図１０は、載置部材１８の分解斜視図である。図１および図３に示すように、浮上支持装置５は、非接触吸着盤８と、固定機構９と、載置部材１８と、を備える。
図３は、浮上支持装置５の斜視図である。図４は、浮上支持装置５の分解斜視図である。図５は、浮上支持装置５にシート状の媒体２を支持した状態の説明図である。図６は、第１固定機構１０Ａの分解斜視図である。図７は、第２固定機構１０Ｂの分解斜視図である。図８は、浮上支持装置５における第１吸着用部材４２の周辺の縦断面図である。図９は、浮上支持装置５における第２吸着用部材の周辺の縦断面図である。図１０は、載置部材１８の分解斜視図である。図１および図３に示すように、浮上支持装置５は、非接触吸着盤８と、固定機構９と、載置部材１８と、を備える。
【0030】
（非接触吸着盤）
図３および図４に示すように、非接触吸着盤８は、その上面の中央に、矩形の多孔質板３１を備える。非接触吸着盤８は、多孔質板３１の上面３１ａにおいて、加圧空気の噴出による媒体２の浮上と、空気吸引による媒体２の非接触吸着とを同時に行い、上方から浮上支持装置５に供給された媒体２を多孔質板３１の上面３１ａから浮上させる。非接触吸着盤８は、周知のものである。
図３および図４に示すように、非接触吸着盤８は、その上面の中央に、矩形の多孔質板３１を備える。非接触吸着盤８は、多孔質板３１の上面３１ａにおいて、加圧空気の噴出による媒体２の浮上と、空気吸引による媒体２の非接触吸着とを同時に行い、上方から浮上支持装置５に供給された媒体２を多孔質板３１の上面３１ａから浮上させる。非接触吸着盤８は、周知のものである。
【0031】
図４に示すように、非接触吸着盤８は、直方体形状の本体部分３２と、本体部分３２の上面の中央から上方に突出する矩形の突出部分３３と、を備える。これにより、非接触吸着盤８は、上端部分に第２方向Ｗで対向する一対の第１段部３４と第１方向Ｌで対向する第２段部３５と、を備える。本体部分３２には、加圧空気を非接触吸着盤８に供給するための第１継手３６と、空気吸引を行うための第２継手３７とが、それぞれ複数ずつ接続されている。第１継手３６には、不図示の加圧空気供給機構が接続される。第２継手３７には、不図示の空気吸引機構が接続される。突出部分３３の中央には、多孔質板３１が配置されている。多孔質板３１の外周面には、本体部分３２から上方に延びる矩形の枠板３８が密着する。
【0032】
（固定機構）
図３に示すように、固定機構９は、非接触吸着盤８に取り付けられる。固定機構９は、第１辺２ａおよび第２辺２ｂの長さが異なる複数の媒体２を、それぞれ吸着することが可能である。より具体的には、図５に示すように、固定機構９は、第１辺２ａ１および第２辺２ｂ１の長さが最も小さい最小の媒体２Ａから、第１辺２ａ２および第２辺２ｂ２の長さが最も大きい最大の媒体２Ｂまでの媒体２を吸着することが可能である。図３～図５に示すように、固定機構９は、第１固定機構１０Ａと、第２固定機構１０Ｂと、を備える。
図３に示すように、固定機構９は、非接触吸着盤８に取り付けられる。固定機構９は、第１辺２ａおよび第２辺２ｂの長さが異なる複数の媒体２を、それぞれ吸着することが可能である。より具体的には、図５に示すように、固定機構９は、第１辺２ａ１および第２辺２ｂ１の長さが最も小さい最小の媒体２Ａから、第１辺２ａ２および第２辺２ｂ２の長さが最も大きい最大の媒体２Ｂまでの媒体２を吸着することが可能である。図３～図５に示すように、固定機構９は、第１固定機構１０Ａと、第２固定機構１０Ｂと、を備える。
【0033】
第１固定機構１０Ａは、媒体２の第１辺２ａに沿った第１方向Ｌに延びる。第１固定機構１０Ａは、Ｗ１方向の第１段部３４ＡのＬ１方向に偏って固定されている。第１固定機構１０Ａは、上面が複数の第１吸気口４２ａを有する第１吸着面４１となっている第１吸着用部材４２と、第１吸着用部材４２を保持する第１ホルダ４３と、を備える。第１吸着用部材４２は、第１ホルダ４３を介して、非接触吸着盤８に固定される。第１吸着用部材
４２が非接触吸着盤８に固定された状態では、図３に示すように、第１吸着用部材４２は、多孔質板３１のＷ１方向に位置する。第１吸着用部材４２の第１吸着面４１は、非接触吸着盤８の多孔質板３１と平行で、多孔質板３１の上面３１ａから所定距離Ｈだけ上方に位置する。第１固定機構１０Ａは、複数の第１吸気口４２ａと連通する第１空気流路４４と、第１空気流路４４に接続される第１吸気機構４５と、を備える。
４２が非接触吸着盤８に固定された状態では、図３に示すように、第１吸着用部材４２は、多孔質板３１のＷ１方向に位置する。第１吸着用部材４２の第１吸着面４１は、非接触吸着盤８の多孔質板３１と平行で、多孔質板３１の上面３１ａから所定距離Ｈだけ上方に位置する。第１固定機構１０Ａは、複数の第１吸気口４２ａと連通する第１空気流路４４と、第１空気流路４４に接続される第１吸気機構４５と、を備える。
【0034】
図６に示すように、第１吸着用部材４２は、四角柱形状の多孔質体である。多孔質体は、アルミナを主成分とする多孔質セラミックス、ＳｉＣを主成分とする多孔質セラミックス、或いは、通気性の多孔質カーボンから形成される。第１吸着用部材４２は、第１方向Ｌに延設される。第１吸着用部材４２は、上方を向く上面５１と、上面５１と平行で下方を向く下面５２と、Ｗ２方向を向く第１側面５３と、第１側面５３と平行でＷ１方向を向く第２側面５４と、を備える。ここで、第１吸気口４２ａは、多孔質体からなる第１吸着用部材４２の上面５１の気孔である。第１吸着面４１は、第１吸着用部材４２の上面５１である。
【0035】
図５に示すように、複数の媒体２のうち、第１辺２ａおよび第２辺２ｂの長さが最も小さい最小の媒体２Ａを第１固定機構１０Ａが吸着する場合、第１吸着用部材４２は、Ｚ軸方向において最小の媒体２Ａの第１辺２ａ１と完全に重なる。第１吸着用部材４２の第１方向Ｌの寸法は、最小の媒体２Ａの第１辺２ａ１の寸法より短い。
【0036】
図６に示すように、第１ホルダ４３は、第２方向Ｗの幅が一定で、Ｗ２方向における第１吸着用部材４２の一方端から他方端まで延びる矩形の板部６１（第１下面密着部）を備える。第１ホルダ４３は、板部６１のＷ１の端部分から上方に突出して第１方向Ｌに延びる上側突出部６２（第１側面密着部）と、板部６１のＷ１方向の端部分から下方に突出して第１方向Ｌに延びる下側突出部６３と、を備える。上側突出部６２は、一定幅および一定高さで、板部６１の第１方向Ｌにおける一方端から他方端まで延びる。下側突出部６３は、一定幅および一定高さで、板部６１の第１方向Ｌにおける一方端から他方端まで延びる。第２方向Ｗにおける上側突出部６２の幅寸法は、下側突出部６３の幅寸法よりも長い。
【0037】
第１ホルダ４３には、第２方向Ｗに貫通する第１貫通孔６４が設けられている。第１貫通孔６４のＷ１方向の開口６４ｂには、継手６５が設けられている。第１貫通孔６４のＷ２方向の開口６４ａは、上側突出部６２においてＷ２方向を向く壁面６２ａに露出する。
【0038】
第１吸着用部材４２は、板部６１と上側突出部６２とにより区画された段部６８に保持される。図８に示すように、第１吸着用部材４２が段部６８に保持された状態では、板部６１における上側突出部６２よりもＷ２方向の側の部分は、第１吸着用部材４２の下面５２の全体に密着する。上側突出部６２においてＷ２方向を向く壁面６２ａは、第１吸着用部材４２の第１側面５３に密着する。本形態では、上側突出部６２の高さ寸法は、第１吸着用部材４２の第１側面５３の高さ寸法よりも短い。よって、第１吸着用部材４２は、上側突出部６２よりも僅かに上方に突出する。このため、第１吸着用部材４２の第１側面５３の上端部分は、上側突出部６２により覆われておらず、露出している。
【0039】
また、図８に示すように、第１吸着用部材４２が第１ホルダ４３に保持された状態では、第１貫通孔６４の開口６４ａは、第１吸着用部材４２の第１側面５３に密着する。ここで、第１吸着用部材４２は多孔質体なので、第１貫通孔６４の一方の開口６４ａが第１吸着用部材４２に接触すると、第１吸気口４２ａである第１吸着用部材４２の上面５１（第１吸着面４１）の気孔は、第１吸着用部材４２の内部の気孔４２ｂ、および、第１側面５３の気孔４２ｃを介して、第１貫通孔６４に接続される。すなわち、第１吸着用部材４２が第１ホルダ４３に保持されると、第１貫通孔６４から第１吸着用部材４２の上面５１の
複数の第１吸気口４２ａに連通する第１空気流路４４が形成される。第１貫通孔６４は、第１空気流路４４の一部である。
複数の第１吸気口４２ａに連通する第１空気流路４４が形成される。第１貫通孔６４は、第１空気流路４４の一部である。
【0040】
図３および図８に示すように、第１固定機構１０Ａは、第１ホルダ４３の板部６１が非接触吸着盤８の第１段部３４Ａに載置されて非接触吸着盤８に固定される。第１固定機構１０Ａが非接触吸着盤８に固定された状態では、下側突出部６３が非接触吸着盤８の本体部分３２にＷ１方向の側から当接する。第１固定機構１０Ａが非接触吸着盤８に固定されたときに、非接触吸着盤８において多孔質板３１の外周面を囲む枠板３８のＷ１方向を向く第１端面３８ａは、第１吸着用部材４２の第２側面５４に密着する。枠板３８の第１端面３８ａは、第１吸着用部材４２の一方端から他方端まで延びる。また、第１端面３８ａは、第１吸着用部材４２を介して、上側突出部６２において壁面６２ａ、開口６４ａと対向する。
【0041】
ここで、図８に示すように、第１固定機構１０Ａが非接触吸着盤８に固定されたときに、第１吸着面４１である第１吸着用部材４２の上面５１は、非接触吸着盤８の多孔質板３１の上面３１ａから所定距離Ｈだけ上方に位置する。所定距離Ｈは、非接触吸着盤８が、媒体２を、多孔質板３１から浮上させる距離と同一である。
【0042】
第１吸気機構４５は、イジェクターを備える。図４に鎖線で示すように、第１吸気機構４５は、第１ホルダ４３に設けられた継手６５に接続される。第１吸気機構４５が駆動されると第１吸気口４２ａから空気が吸引され、媒体２の第１辺２ａの縁のＬ１方向の一部分が第１吸着面４１に吸着される。これにより、第１固定機構１０Ａは、媒体２の第１辺２ａを保持する。
【0043】
第２固定機構１０Ｂは、媒体２の第２辺２ｂに沿った第２方向Ｗに延びる。第２固定機構１０Ｂは、Ｌ１方向の第２段部３５ＡのＷ１方向に偏って固定されている。第２固定機構１０Ｂは、上面が複数の第２吸気口４７ａを有する第２吸着面４６となっている第２吸着用部材４７と、第２吸着用部材４７を保持する第２ホルダ４８と、を備える。第２吸着用部材４７は、第２ホルダ４８を介して、非接触吸着盤８に固定される。第２吸着用部材４７が非接触吸着盤８に固定された状態では、図３に示すように、第２吸着用部材４７は、多孔質板３１のＬ１方向に位置する。第２吸着用部材４７の第２吸着面４６は、非接触吸着盤８の多孔質板３１と平行で、多孔質板３１の上面３１ａから所定距離Ｈだけ上方に位置する。第１吸着用部材４２の第１吸着面４１および第２吸着用部材４７の第２吸着面４６の高さは同一である。
【0044】
図４に示すように、第２固定機構１０Ｂは、複数の第２吸気口４７ａと連通する第２空気流路４９と、第２空気流路４９に接続される第２吸気機構５０と、を備える。
【0045】
図７に示すように、第２吸着用部材４７は、第１吸着用部材４２と同様に、四角柱形状の多孔質体である。第２吸着用部材４７は、第２方向Ｗに延設される。第２吸着用部材４７は、上方を向く上面５６と、上面５６と平行で下方を向く下面５７と、Ｌ２方向を向く第３側面５８と、第３側面５８と平行でＬ１方向を向く第４側面５９と、を備える。ここで、第２吸気口４７ａは、多孔質体からなる第２吸着用部材４７の上面５６の気孔である。第２吸着面４６は、第２吸着用部材４７の上面５６である。
【0046】
図５に示すように、複数の媒体２のうち、第１辺２ａおよび第２辺２ｂの長さが最も小さい最小の媒体２Ａを第２固定機構１０Ｂが吸着する場合、第２吸着用部材４７は、Ｚ軸方向において最小の媒体２Ａの第２辺２ｂ１と完全に重なる。第２吸着用部材４７の第２方向Ｗの寸法は、最小の媒体２Ａの第２辺２ｂ１の寸法より短い。
【0047】
図７に示すように、第２ホルダ４８は、第１方向Ｌの幅が一定で、Ｌ２方向における第２吸着用部材４７の一方端から他方端まで延びる矩形の板部７１（第２下面密着部）を備える。第２ホルダ４８は、板部７１のＬ１の端部分から上方に突出して第２方向Ｗに延びる上側突出部７２（第２側面密着部）と、板部７１のＬ１方向の端部分から下方に突出して第２方向Ｗに延びる下側突出部７３と、を備える。上側突出部７２は、一定幅および一定高さで、板部７１の第２方向Ｗにおける一方端から他方端まで延びる。下側突出部７３は、一定幅および一定高さで、板部７１の第２方向Ｗにおける一方端から他方端まで延びる。第１方向Ｌにおける上側突出部７２の幅寸法は、下側突出部７３の幅寸法よりも長い。
【0048】
第２ホルダ４８には、第１方向Ｌに貫通する第２貫通孔７４が設けられている。第２貫通孔７４のＬ１方向の開口７４ｂには、継手７５が設けられている。第２貫通孔７４のＬ２方向の開口７４ａは、上側突出部７２においてＬ２方向を向く壁面７２ａに露出する。
【0049】
第２吸着用部材４７は、板部７１と上側突出部７２とにより区画された段部７８に保持される。図９に示すように、第２吸着用部材４７が段部７８に保持された状態では、板部７１における上側突出部７２よりもＬ２方向の側の部分は、第２吸着用部材４７の下面５７の全体に密着する。上側突出部７２においてＬ２方向を向く壁面７２ａは、第２吸着用部材４７の第３側面５８に密着する。本形態では、上側突出部７２の高さ寸法は、第２吸着用部材４７の第３側面５８の高さ寸法よりも短い。よって、第２吸着用部材４７は、上側突出部７２よりも僅かに上方に突出する。このため、第２吸着用部材４７の第３側面５８の上端部分は、上側突出部７２により覆われておらず、露出している。
【0050】
また、図９に示すように、第２吸着用部材４７が第２ホルダ４８に保持された状態では、第２貫通孔７４の開口７４ａは、第２吸着用部材４７の第３側面５８に密着する。第２貫通孔７４の一方の開口７４ａが第２吸着用部材４７に接触すると、第２吸気口４７ａである第２吸着用部材４７の上面５６（第２吸着面４６）の気孔は、第２吸着用部材４７の内部の気孔４７ｂ、および、第３側面５８の気孔４７ｃを介して、第２貫通孔７４に接続される。すなわち、第２吸着用部材４７が第２ホルダ４８に保持されると、第２貫通孔７４から第２吸着用部材４７の上面５６の複数の第２吸気口４７ａに連通する第２空気流路４９が形成される。第２貫通孔７４は、第２空気流路４９の一部である。
【0051】
図３および図９に示すように、第２固定機構１０Ｂは、第２ホルダ４８の板部７１が非接触吸着盤８の第２段部３５Ａに載置されて非接触吸着盤８に固定される。第２固定機構１０Ｂが非接触吸着盤８に固定された状態では、下側突出部７３が非接触吸着盤８の本体部分３２にＬ１方向の側から当接する。第２固定機構１０Ｂが非接触吸着盤８に固定されたときに、非接触吸着盤８において多孔質板３１の外周面を囲む枠板３８のＬ１方向を向く第２端面３８ｂは、第２吸着用部材４７の第４側面５９に密着する。枠板３８の第２端面３８ｂは、第２吸着用部材４７の一方端から他方端まで延びる。また、第２端面３８ｂは、第２吸着用部材４７を介して、上側突出部７２において壁面７２ａ、開口７４ａと対向する。
【0052】
ここで、図９に示すように、第２固定機構１０Ｂが非接触吸着盤８に固定されたときに、第２吸着面４６である第２吸着用部材４７の上面５６は、非接触吸着盤８の多孔質板３１の上面３１ａから所定距離Ｈだけ上方に位置する。
【0053】
第２吸気機構５０は、イジェクターを備える。図４に鎖線で示すように、第２吸気機構５０は、第２ホルダ４８に設けられた継手７５に接続される。第２吸気機構５０が駆動されると第２吸気口４７ａから空気が吸引され、媒体２の第２辺２ｂの縁のＷ１方向の一部分が第２吸着面４６に吸着される。これにより、第２固定機構１０Ｂは、媒体２の第２辺
２ｂを保持する。
２ｂを保持する。
【0054】
なお、本形態において、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂは、基本的な構成が同じである。第１固定機構１０Ａは、第２固定機構１０Ｂより長さ方向の寸法が長いので、第１ホルダ４３は、第１貫通孔６４および継手６５を、それぞれ、２つ備える。
【0055】
（載置部材）
図３および図４に示すように、載置部材１８は、第１載置部材１９Ａと、第２載置部材１９Ｂと、を備える。第１載置部材１９Ａは、第１方向Ｌにおいて第１固定機構１０ＡのＬ２方向の側に隣接して配置される。
図３および図４に示すように、載置部材１８は、第１載置部材１９Ａと、第２載置部材１９Ｂと、を備える。第１載置部材１９Ａは、第１方向Ｌにおいて第１固定機構１０ＡのＬ２方向の側に隣接して配置される。
【0056】
第１載置部材１９Ａは、媒体２の第１辺２ａに沿った第１方向Ｌに延びる。第１載置部材１９Ａは、第１段部３４Ａであって、第１固定機構１０ＡのＬ２方向の側に固定されている。第１載置部材１９Ａは、第１載置面８１を備える第１支持部材８２と、第１支持部材８２を保持する第１ホルダ８３と、を備える。
【0057】
図１０に示すように、第１支持部材８２は、四角柱形状である。第１支持部材８２は、金属また樹脂からなる。第１支持部材８２の上面は、第１載置面８１である。本形態では、第１支持部材８２の断面形状は、第１吸着用部材４２の断面形状と同一である。図３～図５に示すように、第１支持部材８２は、第１方向Ｌにおいて、第１吸着用部材４２と重なる。第１載置面８１のＺ軸方向の高さは、第１吸着面４１のＺ軸方向の高さと同じである。
【0058】
図１０に示すように、第１ホルダ８３は、第２方向Ｗの幅が一定で、Ｗ２方向における第１支持部材８２の一方端から他方端まで延びる矩形の板部８４を備える。第１ホルダ８３は、板部８４のＷ１の端部分から上方に突出して第１方向Ｌに延びる上側突出部８５と、板部８４のＷ１方向の端部分から下方に突出して第１方向Ｌに延びる下側突出部８６と、を備える。上側突出部８５は、一定幅および一定高さで、板部８４の第１方向Ｌにおける一方端から他方端まで延びる。下側突出部８６は、一定幅および一定高さで、板部８４の第１方向Ｌにおける一方端から他方端まで延びる。第２方向Ｗにおける上側突出部８５の幅寸法は、下側突出部８６の幅寸法よりも長い。第１支持部材８２は、板部８４と上側突出部８５とにより区画された段部８７に保持される。第１載置部材１９Ａは、第１ホルダ８３の板部８４が非接触吸着盤８の第１段部３４Ａに載置されて非接触吸着盤８に固定される。なお、本形態では、第１ホルダ８３は、第１貫通孔６４および継手を備えない点を除き、第１ホルダ４３と基本的な構成が同じである。
【0059】
図３および図４に示すように、第２載置部材１９Ｂは、媒体２の第２辺２ｂに沿った第２方向Ｗに延びる。第２載置部材１９Ｂは、第２段部３５Ａであって、第２固定機構１０ＢのＷ２方向の側に隣接して固定される。第２載置部材１９Ｂは、第２載置面９１を備える第２支持部材９２と、第２支持部材９２を保持する第２ホルダ９３と、を備える。
【0060】
第２載置部材１９Ｂは、第１載置部材１９Ａと基本的な構成が同じである。すなわち、図１０に示すように、第２支持部材９２および第２ホルダ９３は、第１支持部材８２および第１ホルダ８３に対応する構成である。よって、第２支持部材９２および第２ホルダ９３の詳細な説明は省略する。
【0061】
図３～図５に示すように、第２支持部材９２は、第２方向Ｗにおいて、第２吸着用部材４７と重なる。第２載置面９１のＺ軸方向の高さは、第２吸着面４６のＺ軸方向の高さと同じである。第２載置部材１９Ｂは、第２ホルダ９３の板部９４が非接触吸着盤８の第２段部３５Ａに載置されて非接触吸着盤８に固定される。
【0062】
（浮上支持装置による媒体の支持）
外観検査装置１の制御部２１は、浮上支持装置５を駆動した状態で、媒体２の供給を受ける。すなわち、制御部２１は、非接触吸着盤８および固定機構９を動作させた状態で媒体２の供給を受ける。図５に示すように、浮上支持装置５に媒体２が供給された場合、媒体２の第１辺２ａは、第１吸着面４１に沿って配置され、媒体２の第２辺２ｂは、第２吸着面４６に沿って配置される。
外観検査装置１の制御部２１は、浮上支持装置５を駆動した状態で、媒体２の供給を受ける。すなわち、制御部２１は、非接触吸着盤８および固定機構９を動作させた状態で媒体２の供給を受ける。図５に示すように、浮上支持装置５に媒体２が供給された場合、媒体２の第１辺２ａは、第１吸着面４１に沿って配置され、媒体２の第２辺２ｂは、第２吸着面４６に沿って配置される。
【0063】
浮上支持装置５に供給された媒体２は、非接触吸着盤８の多孔質板３１から上方に所定距離Ｈだけ浮上した状態となる。媒体２の第１辺２ａの縁のＬ１方向の一部分は、第１吸着面４１に吸着される。このとき、媒体２の第１辺２ａの縁のＬ２方向の他部分は、第１載置面８１載置される。また、媒体２の第２辺２ｂの縁のＷ１方向の一部分は、第２吸着面４６に吸着される。このとき、媒体２の第２辺２ｂの縁のＷ２方向の他部分は、第２載置面９１載置される。
【0064】
【0065】
まず、浮上支持装置５が第１位置Ａに位置した状態において、制御部２１は、非接触吸着盤８および固定機構９を動作させる。次に、第１検出器１１が、検出部１４からの出力に基づいて、媒体２が存在しないことを検知すると、ロボットアーム等の搬送装置により、前工程から浮上支持装置５に媒体２が供給される（図１１のＳＴ１）。このとき、第１固定機構１０Ａおよび第１載置部材１９Ａは、非接触吸着盤８のＸ１方向の側に位置し、第２固定機構１０Ｂおよび第２載置部材１９Ｂは、非接触吸着盤８のＹ２方向の側に位置している。すなわち、第１吸着面４１および第１載置面８１は、Ｙ軸方向に延び、第２吸着面４６および第２載置面９１は、Ｘ軸方向に延びる。
【0066】
次に、第１検出器１１は検出部１４からの出力に基づいて、浮上支持装置５の上に媒体２が存在することを検出すると、制御部２１は、駆動機構７を動作させ、浮上支持装置５を第２位置Ｂに移動させる（図１１のＳＴ２）。このとき、制御部２１は、バーコードリーダ１５を動作させ、バーコードリーダ１５の下方を通過する媒体２に印刷されたバーコードを読み取らせる。これにより、制御部２１は、媒体２に印刷されたバーコードの情報を取得する。また、制御部２１は、撮像機構１６を動作させ、ラインカメラ１７の下方を通過する媒体２を撮像させる。これにより、制御部２１は、媒体２の第１辺２ａと直交する方向において撮像された媒体２の第１画像データを取得する。
【0067】
次に、制御部２１は、第１画像データを取得した後、回転機構６を駆動して、浮上支持装置５を右に９０°回転させる（図１２のＳＴ３）。このとき、第１固定機構１０Ａおよび第１載置部材１９Ａは、非接触吸着盤８のＹ２方向の側に位置し、第２固定機構１０Ｂおよび第２載置部材１９Ｂは、非接触吸着盤８のＸ２方向の側に位置している。すなわち、第１吸着面４１および第１載置面８１は、Ｘ軸方向に延び、第２吸着面４６および第２載置面９１は、Ｙ軸方向に延びる。
【0068】
浮上支持装置５が右に９０°回転すると、第２検出器１２は検出部１４からの出力に基づいて、媒体２の有無を判定する。第２検出器１２が浮上支持装置５の上に媒体２が存在することを検出すると、制御部２１は、駆動機構７を動作させ、浮上支持装置５を第１位置Ａに移動させる（図１２のＳＴ４）。このとき、制御部２１は、撮像機構１６を動作させ、ラインカメラ１７の下方を通過する媒体２を撮像させる。これにより、制御部２１は、媒体２の第２辺２ｂと直交する方向において撮像された媒体２の第２画像データを取得
する。
する。
【0069】
制御部２１が第１画像データおよび第２画像データを取得すると、制御部２１に設けられた画像解析部２３は、第１画像データおよび第２画像データを解析して、媒体２の表面のキズを検出する。また、制御部２１は、各画像およびキズの検出結果を、バーコードの読取情報と関連付けた検査情報として、記憶装置２２に記憶する。
【0070】
検査情報が記憶装置２２に記憶されると、制御部２１は、回転機構６を駆動して、浮上支持装置５を左に９０°回転させる。浮上支持装置５が左に９０°回転すると、ロボットアーム等の搬送装置により、第２位置Ｂにある浮上支持装置５から次工程に媒体２が搬出される。外観検査装置１は、動作ＳＴ１～ＳＴ４を繰り返す。
【0071】
（作用効果）
本形態によれば、非接触吸着盤８は、シート状の媒体２を多孔質板３１から上方に所定距離Ｈだけ浮上させる。したがって、媒体２が多孔質板３１に接触して媒体２に反りやうねりが発生することはなく、多孔質板３１の上面に塵埃が存在しても、媒体２に凹凸が発生することがない。一方、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂは、非接触吸着盤８の多孔質板３１と重ならない位置に取り付けられており、多孔質板３１から上方に位置する第１吸着面４１および第２吸着面４６を備える。また、非接触吸着盤８の多孔質板３１から浮上した媒体２は、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂによって、媒体２の第１辺２ａの縁の一部分および第２辺２ｂの縁の一部分が吸着される。これにより、媒体２の２箇所の辺が、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂによって保持されるので、固定機構９によって媒体２の１箇所の辺が保持される場合と比較して、媒体２は多孔質板３１から浮上した状態で、より確実に固定される。さらに、媒体２が多孔質板３１から浮上している高さと、各吸着用部材の各吸着面の高さが一致しているので、媒体２が各吸着用部材に吸着されたときに、媒体２に、反りや、うねりが発生しない。
本形態によれば、非接触吸着盤８は、シート状の媒体２を多孔質板３１から上方に所定距離Ｈだけ浮上させる。したがって、媒体２が多孔質板３１に接触して媒体２に反りやうねりが発生することはなく、多孔質板３１の上面に塵埃が存在しても、媒体２に凹凸が発生することがない。一方、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂは、非接触吸着盤８の多孔質板３１と重ならない位置に取り付けられており、多孔質板３１から上方に位置する第１吸着面４１および第２吸着面４６を備える。また、非接触吸着盤８の多孔質板３１から浮上した媒体２は、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂによって、媒体２の第１辺２ａの縁の一部分および第２辺２ｂの縁の一部分が吸着される。これにより、媒体２の２箇所の辺が、第１固定機構１０Ａおよび第２固定機構１０Ｂによって保持されるので、固定機構９によって媒体２の１箇所の辺が保持される場合と比較して、媒体２は多孔質板３１から浮上した状態で、より確実に固定される。さらに、媒体２が多孔質板３１から浮上している高さと、各吸着用部材の各吸着面の高さが一致しているので、媒体２が各吸着用部材に吸着されたときに、媒体２に、反りや、うねりが発生しない。
【0072】
第１吸着用部材４２は、第１方向Ｌに沿って延びる四角柱形状の多孔質体である。第２吸着用部材４７は、第２方向Ｗに沿って延びる四角柱形状の多孔質体である。第１吸着面４１は、第１吸着用部材４２の上面である。第１吸気口４２ａは、第１吸着用部材４２の上面の気孔である。第２吸着面４６は、第２吸着用部材４７の上面である。第２吸気口４７ａは、第２吸着用部材４７の上面の気孔である。これにより、各吸着用部材の上面の全てを吸着面とすることができるので、各吸着面の面積を大きくすることができる。これにより、各吸着用部材が媒体２の第１辺２ａの縁の一部分および第２辺２ｂの縁の一部分を吸着する際の吸着力が向上する。
【0073】
第１固定機構１０Ａは、第１吸着用部材４２を保持する第１ホルダ４３を備える。第１ホルダ４３は、第１吸着用部材４２の下面５２に密着する板部６１（第１下面密着部）と、第１吸着用部材４２の多孔質板３１とは反対側の第１側面５３に密着する上側突出部６２（第１側面密着部）と、を備える。板部６１は、非接触吸着盤８に固定される。第１空気流路４４は、第１ホルダ４３を貫通するとともに、上側突出部６２に開口する第１貫通孔６４を備える。第１吸気機構４５は、上側突出部６２の壁面６２ａとは反対側で外部に露出する第１貫通孔６４の開口６４ｂに接続される。第２固定機構１０Ｂは、第２吸着用部材４７を保持する第２ホルダ４８を備える。第２ホルダ４８は、第２吸着用部材４７の下面５７に密着する板部７１（第２下面密着部）と、第２吸着用部材４７の多孔質板３１とは反対側の第３側面５８に密着する上側突出部７２（第２側面密着部）と、を備える。板部７１は、非接触吸着盤８に固定される。第２空気流路４９は、第２ホルダ４８を貫通するとともに、上側突出部７２に開口する第２貫通孔７４を備える。第２吸気機構５０は、上側突出部７２の壁面７２ａとは反対側で外部に露出する第２貫通孔７４の開口７４ｂに接続される。非接触吸着盤８は、第１ホルダ４３および第２ホルダ４８を非接触吸着盤
８に固定したときに、第１吸着用部材４２の第１側面５３とは反対側を向く第２側面５４に密着する第１端面３８ａと、第２吸着用部材４７の第３側面５８とは反対側を向く第４側面５９に密着する第２端面３８ｂとを備える。
８に固定したときに、第１吸着用部材４２の第１側面５３とは反対側を向く第２側面５４に密着する第１端面３８ａと、第２吸着用部材４７の第３側面５８とは反対側を向く第４側面５９に密着する第２端面３８ｂとを備える。
【0074】
これにより、第１吸着用部材４２が多孔質体なので、第１吸気口４２ａである第１吸着用部材４２の上面５１の気孔は、第１吸着用部材４２の内部の気孔４２ｂを介して第１貫通孔６４に接続される。また、第１吸着用部材４２の下面５２と第１側面５３には、第１ホルダ４３が密着する。第１吸着用部材４２において第１側面５３とは反対側に位置する第２側面５４には、非接触吸着盤８が密着する。さらに、非接触吸着盤８の第１端面３８ａは、第１吸着用部材４２を介して、上側突出部６２の壁面６２ａおよび壁面６２ａに露出する第１貫通孔６４の一方の開口６４ａと対向する。よって、第１貫通孔６４に接続された第１吸気機構４５を駆動すれば、第１吸着用部材４２の上面５１の気孔から空気を吸い込むことができる。同様に、第２吸着用部材４７が多孔質体なので、第２吸気口４７ａである第２吸着用部材４７の上面５６の気孔は、第２吸着用部材４７の内部の気孔４７ｂを介して第２貫通孔７４に接続される。また、第２吸着用部材４７の下面５７と第３側面５８には、第２ホルダ４８が密着する。第２吸着用部材４７において第３側面５８とは反対側に位置する第４側面５９には、非接触吸着盤８が密着する。さらに、非接触吸着盤８の第２端面３８ｂは、第２吸着用部材４７を介して、上側突出部７２および第３側面に露出する第２貫通孔７４の一方の開口７４ａと対向する。よって、第２貫通孔７４に接続された第２吸気機構５０を駆動すれば、第２吸着用部材４７の上面５６の気孔から空気を吸い込むことができる。
【0075】
固定機構９は、第１辺２ａおよび第２辺２ｂの長さが異なる複数の媒体２を、それぞれ吸着することが可能である。複数の媒体２のうち、第１辺２ａおよび第２辺２ｂの長さが最も小さい最小の媒体２Ａを固定機構９が吸着する場合、第１吸着面４１は、Ｚ軸方向において最小の媒体２Ａの第１辺２ａ１と完全に重なる。第２吸着面４６は、Ｚ軸方向において最小の媒体２Ａの第２辺２ｂ１と完全に重なる。これにより、固定機構９が最小の媒体２Ａを吸着する場合であっても、第１吸着面４１および第２吸着面４６は、全てが媒体２と接する。よって、最小の媒体２Ａを固定機構９が吸着する際、第１吸気口４２ａおよび第２吸気口４７ａから空気がリークしないので、第１吸着面４１および第２吸着面４６は、媒体２を確実に吸着することができる。
【0076】
第１吸着面４１の第１方向Ｌの寸法は、最小の媒体２の第１辺２ａの寸法より短い。第２吸着面４６の第２方向Ｗの寸法は、最小の媒体２Ａの第２辺２ｂの寸法より短い。これにより、固定機構９が最小の媒体２Ａを吸着する際、第１吸着面４１および第２吸着面４６に対して、媒体２Ａの第１辺２ａ１および第２辺２ｂ１が僅かにズレた場合であっても、媒体２Ａの第１辺２ａ１および第１吸着面４１、媒体２Ａの第２辺２ｂ１および第２吸着面４６が、それぞれ、完全に重なりやすい。
【0077】
浮上支持装置５は、第１方向Ｌにおいて、第１固定機構１０Ａの第２固定機構１０Ｂが位置する側とは反対側に配置される第１載置部材１９Ａと、第２方向Ｗにおいて、第２固定機構１０Ｂの第１固定機構１０Ａが位置する側とは反対側に配置される第２載置部材１９Ｂと、を有する。第１載置部材１９Ａは、第１載置面８１を備える第１支持部材８２を備える。第２載置部材１９Ｂは、第２載置面９１を備える第２支持部材９２を備える。第１載置面８１は、Ｚ軸方向において第１吸着面４１と同一の高さ、かつ、第１方向Ｌに沿って延びる。第２載置面９１は、Ｚ軸方向において第２吸着面４６と同一の高さ、かつ、第２方向Ｗに沿って延びる。これにより、最小の媒体２Ａより大きな媒体２を固定機構９が吸着する際、第１載置面８１が、媒体２の第１辺２ａの縁において、第１吸着面４１によって吸着されない部分を支持し、第２載置面９１が、媒体２の第２辺２ｂの縁において、第２吸着面４６によって吸着されない部分を支持する。よって、媒体２が多孔質板３１
から浮上した際の高さが一定に維持されやすい。
から浮上した際の高さが一定に維持されやすい。
【0078】
本形態の外観検査装置１は、浮上支持装置５と、浮上支持装置５をＺ軸方向に沿った回転軸で回転させる回転機構６と、回転機構６を介して浮上支持装置５を、水平の搬送経路２５に沿って移動させる駆動機構７と、媒体２を撮像するラインカメラ１７と、浮上支持装置５、回転機構６、駆動機構７およびラインカメラ１７を制御する制御部２１と、を有する。ラインカメラ１７は、搬送経路２５の上方に設けられるとともに、搬送経路２５に沿った搬送方向と直交する方向に延びる。第１吸着面４１は、浮上支持装置５が搬送経路２５のＸ１方向に向けて移動する際、搬送方向と直交するＹ軸方向に延びる。第２吸着面４６は、浮上支持装置５が搬送経路２５のX２方向に向けて移動する際、浮上支持装置５が９０°回転することによって、搬送方向と直交するＹ方向に延びる。制御部２１は、駆動機構７を制御して、浮上支持装置５を搬送経路２５のＸ１方向に向けて移動させることによって、媒体２の第１辺２ａと直交する方向において撮像された媒体２の第１画像データを、ラインカメラ１７によって取得するとともに、第１画像データを取得した後、回転機構６を制御して、浮上支持装置５を９０°回転させ、その後、駆動機構７を制御して、浮上支持装置５を搬送経路２５のＸ２方向に向けて移動させることによって、媒体２の第２辺２ｂと直交する方向において撮像された媒体２の第２画像データを、ラインカメラ１７によって取得する。
【0079】
本形態によれば、浮上支持装置５を水平方向に移動させた場合でも、浮上支持装置５の非接触吸着盤８上で、媒体２が移動することがない。よって、非接触吸着盤８上で浮上させた媒体２を、撮像位置に移動させて、ラインカメラ１７により撮像できる。また、制御部２１が媒体２の第１辺２ａと直交する方向において撮像された媒体２の第１画像データと、媒体２の第２辺２ｂと直交する方向において撮像された媒体２の第２画像データとを取得するので、制御部２１が第１画像データおよび第２画像データの一方を取得する場合と比較して、外観検査装置１は、媒体２の外観をより正確に検査することができる。
【0080】
第１固定機構１０Ａは、浮上支持装置５が搬送経路２５のＸ１方向に向けて移動する際、非接触吸着盤８の搬送経路２５のＸ１方向の側に位置し、第２固定機構１０Ｂは、浮上支持装置５が搬送経路２５のＸ２方向に向けて移動する際、非接触吸着盤８の搬送経路２５のＸ２方向の側に位置する。これにより、浮上支持装置５が移動する際に、媒体２の移動方向の前方が、固定機構９に固定される。よって、浮上支持装置５が移動する際に、媒体２に反りや撓みが発生することを抑制することができる。
【0081】
なお、本技術は以下のような構成をとることが可能である。
【0082】
（１）
多孔質板を備え、可撓性を有する矩形のシート状の媒体を、前記多孔質板から所定距離だけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤と、
前記非接触吸着盤の前記多孔質板と重ならない位置に、それぞれ固定された第１固定機構および第２固定機構を備える固定機構と、
を有し、
上下方向と直交する方向を第１方向、上下方向および前記第１方向と直交する方向を第２方向とすると、
前記第１固定機構は、複数の第１吸気口を備える第１吸着面を備える第１吸着用部材と、複数の前記第１吸気口に連通する第１空気流路と、前記第１空気流路に接続された第１吸気機構と、を備え、
前記第２固定機構は、複数の第２吸気口を備える第２吸着面を備える第２吸着用部材と、複数の前記第２吸気口に連通する第２空気流路と、前記第２空気流路に接続された第２吸気機構と、を備え、
前記第１吸着面は、前記第１方向に沿って延び、
前記第２吸着面は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１吸着面および前記第２吸着面は、前記多孔質板と平行であり、前記多孔質板から前記所定距離だけ上方に位置し、
前記第１吸気機構が駆動されると前記第１吸気口から空気が吸引され、前記第１方向に沿った前記媒体の第１辺の縁の一部分が前記第１吸着面に吸着され、
前記第２吸気機構が駆動されると前記第２吸気口から空気が吸引され、前記第２方向に沿った前記媒体の第２辺の縁の一部分が前記第２吸着面に吸着されることを特徴とする浮上支持装置。
多孔質板を備え、可撓性を有する矩形のシート状の媒体を、前記多孔質板から所定距離だけ浮上させた状態に維持する非接触吸着盤と、
前記非接触吸着盤の前記多孔質板と重ならない位置に、それぞれ固定された第１固定機構および第２固定機構を備える固定機構と、
を有し、
上下方向と直交する方向を第１方向、上下方向および前記第１方向と直交する方向を第２方向とすると、
前記第１固定機構は、複数の第１吸気口を備える第１吸着面を備える第１吸着用部材と、複数の前記第１吸気口に連通する第１空気流路と、前記第１空気流路に接続された第１吸気機構と、を備え、
前記第２固定機構は、複数の第２吸気口を備える第２吸着面を備える第２吸着用部材と、複数の前記第２吸気口に連通する第２空気流路と、前記第２空気流路に接続された第２吸気機構と、を備え、
前記第１吸着面は、前記第１方向に沿って延び、
前記第２吸着面は、前記第２方向に沿って延び、
前記第１吸着面および前記第２吸着面は、前記多孔質板と平行であり、前記多孔質板から前記所定距離だけ上方に位置し、
前記第１吸気機構が駆動されると前記第１吸気口から空気が吸引され、前記第１方向に沿った前記媒体の第１辺の縁の一部分が前記第１吸着面に吸着され、
前記第２吸気機構が駆動されると前記第２吸気口から空気が吸引され、前記第２方向に沿った前記媒体の第２辺の縁の一部分が前記第２吸着面に吸着されることを特徴とする浮上支持装置。
【0083】
（２）
前記第１吸着用部材は、前記第１方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、
前記第２吸着用部材は、前記第２方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、
前記第１吸着面は、前記第１吸着用部材の上面であり、
前記第１吸気口は、前記第１吸着用部材の上面の気孔であり、
前記第２吸着面は、前記第２吸着用部材の上面であり、
前記第２吸気口は、前記第２吸着用部材の上面の気孔であることを特徴とする（１）に記載の浮上支持装置。
前記第１吸着用部材は、前記第１方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、
前記第２吸着用部材は、前記第２方向に沿って延びる四角柱形状の多孔質体であり、
前記第１吸着面は、前記第１吸着用部材の上面であり、
前記第１吸気口は、前記第１吸着用部材の上面の気孔であり、
前記第２吸着面は、前記第２吸着用部材の上面であり、
前記第２吸気口は、前記第２吸着用部材の上面の気孔であることを特徴とする（１）に記載の浮上支持装置。
【0084】
（３）
前記第１固定機構は、前記第１吸着用部材を保持する第１ホルダを備え、
前記第１ホルダは、前記第１吸着用部材の下面に密着する第１下面密着部と、前記第１吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第１側面に密着する第１側面密着部と、を備え、
前記第１下面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第１空気流路は、前記第１ホルダを貫通するとともに、前記第１側面密着部に開口する第１貫通孔を備え、
前記第１吸気機構は、前記第１側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第１貫通孔の開口に接続され、
前記第２固定機構は、前記第２吸着用部材を保持する第２ホルダを備え、
前記第２ホルダは、前記第２吸着用部材の下面に密着する第２下面密着部と、前記第２吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第３側面に密着する第２側面密着部と、を備え、
前記下第２面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第２空気流路は、前記第２ホルダを貫通するとともに、前記第２側面密着部に開口する第２貫通孔を備え、
前記第２吸気機構は、前記第２側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第２貫通孔の開口に接続され、
前記非接触吸着盤は、前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記非接触吸着盤に固定したときに、前記第１吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する第１端面と、前記第２吸着用部材の前記第３側面とは反対側を向く第４側面に密着する第２端面とを備えることを特徴とする（２）に記載の浮上支持装置。
前記第１固定機構は、前記第１吸着用部材を保持する第１ホルダを備え、
前記第１ホルダは、前記第１吸着用部材の下面に密着する第１下面密着部と、前記第１吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第１側面に密着する第１側面密着部と、を備え、
前記第１下面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第１空気流路は、前記第１ホルダを貫通するとともに、前記第１側面密着部に開口する第１貫通孔を備え、
前記第１吸気機構は、前記第１側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第１貫通孔の開口に接続され、
前記第２固定機構は、前記第２吸着用部材を保持する第２ホルダを備え、
前記第２ホルダは、前記第２吸着用部材の下面に密着する第２下面密着部と、前記第２吸着用部材の前記多孔質板とは反対側の第３側面に密着する第２側面密着部と、を備え、
前記下第２面密着部は、前記非接触吸着盤に固定され、
前記第２空気流路は、前記第２ホルダを貫通するとともに、前記第２側面密着部に開口する第２貫通孔を備え、
前記第２吸気機構は、前記第２側面密着部とは反対側で外部に露出する前記第２貫通孔の開口に接続され、
前記非接触吸着盤は、前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記非接触吸着盤に固定したときに、前記第１吸着用部材の前記第１側面とは反対側を向く第２側面に密着する第１端面と、前記第２吸着用部材の前記第３側面とは反対側を向く第４側面に密着する第２端面とを備えることを特徴とする（２）に記載の浮上支持装置。
【0085】
（４）
前記固定機構は、前記第１辺および前記第２辺の長さが異なる複数の媒体を、それぞれ吸着することが可能であり、
前記複数の媒体のうち、前記第１辺および前記第２辺の長さが最も小さい最小の媒体を前記固定機構が吸着する場合、
前記第１吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第１辺と完全に重なり、
前記第２吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第２辺と完全に重なることを特徴とする（２）または（３）に記載の浮上支持装置。
前記固定機構は、前記第１辺および前記第２辺の長さが異なる複数の媒体を、それぞれ吸着することが可能であり、
前記複数の媒体のうち、前記第１辺および前記第２辺の長さが最も小さい最小の媒体を前記固定機構が吸着する場合、
前記第１吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第１辺と完全に重なり、
前記第２吸着面は、上下方向において前記最小の媒体の前記第２辺と完全に重なることを特徴とする（２）または（３）に記載の浮上支持装置。
【0086】
（５）
前記第１吸着面の前記第１方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第１辺の寸法より短く、
前記第２吸着面の前記第２方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第２辺の寸法より短いことを特徴とする（４）に記載の浮上支持装置。
前記第１吸着面の前記第１方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第１辺の寸法より短く、
前記第２吸着面の前記第２方向の寸法は、前記最小の媒体の前記第２辺の寸法より短いことを特徴とする（４）に記載の浮上支持装置。
【0087】
（６）
前記第１方向において、前記第１固定機構の前記第２固定機構が位置する側とは反対側に配置される第１載置部材と、
前記第２方向において、前記第２固定機構の前記第１固定機構が位置する側とは反対側に配置される第２載置部材と、
を有し、
前記第１載置部材は、第１載置面を備える第１支持部材を備え、
前記第２載置部材は、第２載置面を備える第２支持部材を備え、
前記第１載置面は、上下方向において前記第１吸着面と同一の高さ、かつ、前記第１方向に沿って延び、
前記第２載置面は、上下方向において前記第２吸着面と同一の高さ、かつ、前記第２方向に沿って延びることを特徴とする（４）または（５）に記載の浮上支持装置。
前記第１方向において、前記第１固定機構の前記第２固定機構が位置する側とは反対側に配置される第１載置部材と、
前記第２方向において、前記第２固定機構の前記第１固定機構が位置する側とは反対側に配置される第２載置部材と、
を有し、
前記第１載置部材は、第１載置面を備える第１支持部材を備え、
前記第２載置部材は、第２載置面を備える第２支持部材を備え、
前記第１載置面は、上下方向において前記第１吸着面と同一の高さ、かつ、前記第１方向に沿って延び、
前記第２載置面は、上下方向において前記第２吸着面と同一の高さ、かつ、前記第２方向に沿って延びることを特徴とする（４）または（５）に記載の浮上支持装置。
【0088】
（７）
（１）から（６）の何れか一項に記載の浮上支持装置と、
前記浮上支持装置を上下方向に沿った回転軸で回転させる回転機構と、
前記回転機構を介して前記浮上支持装置を、水平の搬送経路に沿って移動させる駆動機構と、
前記媒体を撮像するラインカメラと、
前記浮上支持装置、前記回転機構、前記駆動機構および前記ラインカメラを制御する制御部と、
を有し、
前記ラインカメラは、前記搬送経路の上方に設けられるとともに、前記搬送経路に沿った搬送方向と直交する方向に延び、
前記第１吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の一方側に向けて移動する際、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記第２吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の他方側に向けて移動する際、前記浮上支持装置が９０°回転することによって、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記制御部は、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記一方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第１辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第１画像データを、前記ラインカメラによって取得するとともに、前記第１画像データを取得した後、前記回転機構を制御して、前記浮上支持装置を９０°回転させ、その後、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記他方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第２辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第２画像データを、前記ラインカメラによって取得することを特徴とする外観検査装置。
（１）から（６）の何れか一項に記載の浮上支持装置と、
前記浮上支持装置を上下方向に沿った回転軸で回転させる回転機構と、
前記回転機構を介して前記浮上支持装置を、水平の搬送経路に沿って移動させる駆動機構と、
前記媒体を撮像するラインカメラと、
前記浮上支持装置、前記回転機構、前記駆動機構および前記ラインカメラを制御する制御部と、
を有し、
前記ラインカメラは、前記搬送経路の上方に設けられるとともに、前記搬送経路に沿った搬送方向と直交する方向に延び、
前記第１吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の一方側に向けて移動する際、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記第２吸着面は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の他方側に向けて移動する際、前記浮上支持装置が９０°回転することによって、前記搬送方向と直交する方向に延び、
前記制御部は、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記一方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第１辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第１画像データを、前記ラインカメラによって取得するとともに、前記第１画像データを取得した後、前記回転機構を制御して、前記浮上支持装置を９０°回転させ、その後、前記駆動機構を制御して、前記浮上支持装置を前記搬送経路の前記他方側に向けて移動させることによって、前記媒体の前記第２辺と直交する方向において撮像された前記媒体の第２画像データを、前記ラインカメラによって取得することを特徴とする外観検査装置。
【0089】
（８）
前記第１固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記一方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記一方側に位置し、
前記第２固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記他方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記他方側に位置することを特徴とする（７）に記載の外観検査装置。
前記第１固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記一方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記一方側に位置し、
前記第２固定機構は、前記浮上支持装置が前記搬送経路の前記他方側に向けて移動する際、前記非接触吸着盤の前記搬送経路の前記他方側に位置することを特徴とする（７）に記載の外観検査装置。
【符号の説明】
【0090】
１…外観検査装置、２…媒体、２Ａ…最小の媒体、２Ｂ…最大の媒体、２ａ…第１辺、２ｂ…第２辺、２ａ１…最小の媒体の第１辺、２ｂ１…最小の媒体の第２辺、２ａ２…最大の媒体の第１辺、２ｂ２…最大の媒体の第２辺、４…レール、５…浮上支持装置、６…回転機構、７…駆動機構、８…非接触吸着盤、９…固定機構、１０Ａ…第１固定機構、１０Ｂ…第２固定機構、１１…第１検出器、１２…第２検出器、１３…発光部、１４…検出部、１５…バーコードリーダ、１６…撮像機構、１７…ラインカメラ、１８…載置部材、１９Ａ…第１載置部材、１９Ｂ…第２載置部材、２１…制御部、２２…記憶装置、２３…画像解析部、２５…搬送経路、３１ａ…上面、３１…多孔質板、３１ａ…上面、３２…本体部分、３３…突出部分、３４…第１段部、３５…第２段部、３６…第１継手、３７…第２継手、３８…枠板、３８ａ…第１端面、３８ｂ…第２端面、４１…第１吸着面、４２ａ…第１吸気口、４２ｂ…内部の気孔、４２ｃ…側面の気孔、４２…第１吸着用部材、４３…第１ホルダ、４４…第１空気流路、４５…第１吸気機構、４６…第２吸着面、４７ａ…第２吸気口、４７ｂ…内部の気孔、４７ｃ…側面の気孔、４７…第２吸着用部材、４８…第２ホルダ、４９…第２空気流路、５０…第２吸気機構、５１…上面、５２…下面、５３…第１側面、５４…第２側面、５６…上面、５７…下面、５８…第３側面、５９…第４側面、６１…板部、６２…上側突出部、６２ａ…壁面、６３…下側突出部、６４…第１貫通孔、６４ａ…開口、６４ｂ…開口、６５…継手、６８…段部、７１…板部、７２…上側突出部、７２ａ…壁面、７３…下側突出部、７４…第２貫通孔、７４ａ…開口、７４ｂ…開口、７５…継手、７８…段部、８１…第１載置面、８２…第１支持部材、８３…第１ホルダ、８４…板部、８５…上側突出部、８６…下側突出部、８７…段部、９１…第２載置面、９２…第２支持部材、９３…第２ホルダ、９４…板部、Ａ…第１位置、Ｂ…第２位置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】