特開 2025-28538 ロボット制御装置、位置算出方法及びそれに用いられるセンサ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025028538

(43)【公開日】2025-03-03

(54)【発明の名称】ロボット制御装置、位置算出方法及びそれに用いられるセンサ装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 13/08 20060101AFI20250221BHJP

【ＦＩ】

B25J13/08 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023133409

(22)【出願日】2023-08-18

(71)【出願人】

【識別番号】000000262

【氏名又は名称】株式会社ダイヘン

(74)【代理人】

【識別番号】100079108

【弁理士】

【氏名又は名称】稲葉 良幸

(74)【代理人】

【識別番号】100109346

【弁理士】

【氏名又は名称】大貫 敏史

(74)【代理人】

【識別番号】100117189

【弁理士】

【氏名又は名称】江口 昭彦

(74)【代理人】

【識別番号】100134120

【弁理士】

【氏名又は名称】内藤 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100108213

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 豊隆

(72)【発明者】

【氏名】北野 豊和

(72)【発明者】

【氏名】土方 優明

【テーマコード（参考）】

3C707

【Ｆターム（参考）】

3C707AS05

3C707BS15

3C707ES17

3C707KS36

3C707KV11

3C707NS13

(57)【要約】

【課題】ロボットに保持されているセンサの傾きを考慮して、当該センサによって検知される対象の位置を適切に算出可能なロボット制御装置、位置算出方法及びそれに用いられるセンサ装置を提供することである。
【解決手段】ロボット制御装置１００は、ロボット制御手段１１０によってロボット１０を動作させることにより、ロボット１０に保持されている対象用センサ２１，２２によって対象Ｅを検知する第１検知手段１２０と、ロボット１０に保持されている複数のセンサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂで構成されるセンサ群によって対象Ｅが含まれている平面Ｆを検知する第２検知手段１３０と、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面Ｆまでの各距離、及び対象用センサ２１，２２とセンサ群との位置情報に基づいて、対象用センサ２１，２２によって検知された対象Ｅの位置を算出する対象位置算出手段１４０と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ロボットの動作を制御するロボット制御装置であって、
前記ロボットを動作させるロボット制御手段と、
前記ロボット制御手段によって前記ロボットを動作させることにより、前記ロボットに保持されている対象用センサによって対象を検知する第１検知手段と、
前記ロボット制御手段によって前記ロボットを動作させることにより、前記ロボットに保持されている複数のセンサで構成されるセンサ群によって前記対象が含まれている平面を検知する第２検知手段と、
前記センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された前記平面までの各距離、及び前記対象用センサと前記センサ群との位置情報に基づいて、前記対象用センサによって検知された対象の位置を算出する対象位置算出手段と、を備える、
ロボット制御装置。

【請求項2】

前記対象位置算出手段は、
前記対象用センサによって検知された対象の検知位置を算出する検知位置算出手段と、
前記センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された前記平面までの各距離と、前記センサ群における複数のセンサ間の各距離とに基づいて、前記平面に対する前記対象用センサの傾きを算出する傾き算出手段と、
前記対象用センサの傾きに基づいて、前記対象の検知位置を補正する補正手段と、を含む、
請求項１に記載のロボット制御装置。

【請求項3】

前記対象用センサ及び前記センサ群における複数のセンサは、同一平面上に配置されている、
請求項１に記載のロボット制御装置。

【請求項4】

前記センサ群は、第１センサと、当該第１センサに対応する第２センサとで構成される一対のセンサグループを２つ含む、
請求項１に記載のロボット制御装置。

【請求項5】

前記２つの一対のセンサグループは、互いに直交するように配置される、
請求項４に記載のロボット制御装置。

【請求項6】

前記対象用センサは、前記センサ群における複数のセンサのうちの１つのセンサとして機能する、
請求項１に記載のロボット制御装置。

【請求項7】

前記対象用センサは、少なくとも第１対象用センサ及び第２対象用センサとして設けられ、
前記センサ群は、前記第１対象用センサ及び前記第２対象用センサのそれぞれに対応するように少なくとも第１センサ群及び第２センサ群として設けられる、
請求項１に記載のロボット制御装置。

【請求項8】

前記第１センサ群における複数のセンサと前記第１対象用センサとの各距離は、前記第１センサ群における複数のセンサ及び前記第１対象用センサのうちいずれかと最も近い前記第２センサ群における複数のセンサ及び前記第２対象用センサのうちいずれかとの距離よりも小さい、
請求項７に記載のロボット制御装置。

【請求項9】

前記対象用センサ及び前記センサ群における複数のセンサは、前記ロボットに保持されるセンサ装置に設けられる、
請求項１～８のいずれか一項に記載のロボット制御装置。

【請求項10】

ロボットの動作を制御するロボット制御装置が実行する対象の位置を算出する位置算出方法であって、
前記ロボットを動作させるロボット制御ステップと、
前記ロボット制御ステップにおいて前記ロボットを動作させることにより、前記ロボットに保持されている対象用センサによって対象を検知する第１検知ステップと、
前記ロボット制御ステップにおいて前記ロボットを動作させることにより、前記ロボットに保持されている複数のセンサで構成されるセンサ群によって前記対象が含まれている平面を検知する第２検知ステップと、
前記センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された前記平面までの各距離、及び前記対象用センサと前記センサ群との位置情報に基づいて、前記対象用センサによって検知された対象の位置を算出する対象位置算出ステップと、を含む、
位置算出方法。

【請求項11】

ロボットの動作を制御するロボット制御装置が実行する対象の位置を算出する位置算出方法に用いられるセンサ装置であって、
前記対象を検知する対象用センサと、
前記対象が含まれている平面を検知する複数のセンサで構成されるセンサ群と、を含み、
前記位置算出方法は、
前記ロボットを動作させるロボット制御ステップと、
前記ロボット制御ステップにおいて前記ロボットを動作させることにより、前記ロボットに保持されている当該センサ装置の対象用センサによって対象を検知する第１検知ステップと、
前記ロボット制御ステップにおいて前記ロボットを動作させることにより、前記ロボットに保持されている当該センサ装置の複数のセンサで構成されるセンサ群によって前記対象が含まれている平面を検知する第２検知ステップと、
前記センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された前記平面までの各距離、及び前記対象用センサと前記センサ群との位置情報に基づいて、前記対象用センサによって検知された対象の位置を算出する対象位置算出ステップと、を含む、
センサ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ロボット制御装置、位置算出方法及びそれに用いられるセンサ装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、産業界において、多くのロボットが普及している。当該ロボットは、例えば、電子部品及び機械部品の組み立て、溶接及び搬送等に用いられ、工場の生産ラインの効率化及び自動化が図られている。

【0003】

半導体製造装置に用いられるウエハを搬送する搬送ロボットでは、ウエハを適切な位置へ搬送するためのティーチングを行うが、その精度は、操作者の知識及び熟練度などに依存し、また、操作者の作業スペースが十分に確保できない程の省スペース化が求められている場合もあるため、ティーチングの自動化が図られている。

【0004】

例えば、特許文献１では、３つの光学センサが設けられた基板型治具がハンドにより保持された状態で、基板保持部を回転させることにより当該基板保持部上に予め設けられている目印の円周状の回転軌跡を形成する。そして、３つの光学センサからそれぞれ得られた回転軌跡に対する相対位置に基づいて、ハンドの基板保持部に対する平面視における相対位置を算出する技術が開示されている。

【0005】

このように、３つの光学センサを用いながら、ロボットと目標位置との位置関係、及び障害物などの周辺環境を把握して、対象物を適切に目標位置まで搬送する技術が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０２２－１４８２３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、特許文献１では、３つの光学センサが設けられた基板型治具がハンドに保持された状態において、その３つの光学センサの傾きを考慮していない。例えば、基板型治具を保持するハンドそのものが水平でない場合、光学センサが設けられている基板型治具そのものが一様な平面でない場合、ハンドに基板型治具を載置することにより当該ハンドが傾く場合、及び基板型治具に光学センサが傾いて取り付けられている場合など様々な要因が考えられる。

【0008】

そこで、本発明は、ロボットに保持されているセンサの傾きを考慮して、当該センサによって検知される対象の位置を適切に算出可能なロボット制御装置、位置算出方法及びそれに用いられるセンサ装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様に係るロボット制御装置は、ロボットの動作を制御するロボット制御装置であって、ロボットを動作させるロボット制御手段と、ロボット制御手段によってロボットを動作させることにより、ロボットに保持されている対象用センサによって対象を検知する第１検知手段と、ロボット制御手段によってロボットを動作させることにより、ロボットに保持されている複数のセンサで構成されるセンサ群によって対象が含まれている平面を検知する第２検知手段と、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離、及び対象用センサとセンサ群との位置情報に基づいて、対象用センサによって検知された対象の位置を算出する対象位置算出手段と、を備える。

【0010】

この態様によれば、第１検知手段は、ロボットに保持されている対象用センサによって対象を検知し、第２検知手段は、ロボットに保持されている複数のセンサで構成されるセンサ群によって対象が含まれている平面を検知する。そして、対象位置算出手段は、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離、及び対象用センサとセンサ群との位置情報に基づいて、対象用センサによって検知された対象の位置を算出する。これにより、ロボットに保持されているセンサの傾きを考慮して、当該センサによって検知される対象の位置を適切に算出することができる。その結果、対象の位置に基づいて算出された目標位置に、対象物を高精度に搬送することができる。

【0011】

上記態様において、対象位置算出手段は、対象用センサによって検知された対象の検知位置を算出する検知位置算出手段と、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離と、センサ群における複数のセンサ間の各距離とに基づいて、平面に対する対象用センサの傾きを算出する傾き算出手段と、対象用センサの傾きに基づいて、対象の検知位置を補正する補正手段と、を含んでもよい。

【0012】

この態様によれば、傾き算出手段は、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離と、複数のセンサ間の各距離とに基づいて、対象用センサの傾きを算出し、補正手段は、当該対象用センサの傾きに基づいて、検知位置算出手段によって算出された対象用センサによって検知された対象の検知位置を補正する。これにより、センサの傾きを考慮して、当該センサによって検知された対象の位置を高精度に算出することができる。

【0013】

上記態様において、対象用センサ及びセンサ群における複数のセンサは、同一平面上に配置されていてもよい。

【0014】

この態様によれば、対象用センサとセンサ群における複数のセンサとのセンサ間距離を予め把握し、当該センサ間距離を計測するなどの処理を不要とするため、容易に対象用センサの傾きを算出することができる。

【0015】

上記態様において、センサ群は、第１センサと、当該第１センサに対応する第２センサとで構成される一対のセンサグループを２つ含んでもよい。

【0016】

この態様によれば、一対のセンサグループにおける各センサから平面までの各距離に基づいて、その距離の差から当該一対のセンサグループにおける領域の傾きを算出することができ、さらに、一対のセンサグループを２つ含むことにより、センサ群が配置されている領域において、傾いている方向を適切に把握することができる。

【0017】

上記態様において、２つの一対のセンサグループは、互いに直交するように配置されてもよい。

【0018】

この態様によれば、２つの一対のセンサグループは、互いに直交するように配置されていることにより、センサ群が配置されている領域において、傾いている方向をより適切に把握することができる。

【0019】

上記態様において、対象用センサは、センサ群における複数のセンサのうちの１つのセンサとして機能してもよい。

【0020】

この態様によれば、対象用センサは、センサ群における複数のセンサのうちの１つのセンサとして機能することにより、センサの数を軽減することができる。

【0021】

上記態様において、対象用センサは、少なくとも第１対象用センサ及び第２対象用センサとして設けられ、センサ群は、第１対象用センサ及び第２対象用センサのそれぞれに対応するように少なくとも第１センサ群及び第２センサ群として設けられてもよい。

【0022】

この態様によれば、少なくとも２つ設けられた対象用センサに対応するように、それぞれセンサ群が設けられているため、各対象用センサの傾きを高精度に算出することができる。その結果、各対象用センサによって検知された対象の位置を、各対象用センサの傾きを考慮して、高精度に算出することができる。

【0023】

上記態様において、第１センサ群における複数のセンサと第１対象用センサとの各距離は、第１センサ群における複数のセンサ及び第１対象用センサのうちいずれかと最も近い第２センサ群における複数のセンサ及び第２対象用センサのうちいずれかとの距離よりも小さくてもよい。

【0024】

この態様によれば、少なくとも２つ設けられた対象用センサの近傍にそれぞれセンサ群が設けられているため、各対象用センサの傾きをより高精度に算出することができる。その結果、各対象用センサによって検知された対象の位置を、各対象用センサの傾きを考慮して、より高精度に算出することができる。

【0025】

上記態様において、対象用センサ及びセンサ群における複数のセンサは、ロボットに保持されるセンサ装置に設けられてもよい。

【0026】

この態様によれば、センサ装置を用いて、当該センサ装置に設けられた対象用センサの傾きを考慮して対象の位置を高精度に算出することができる。

【0027】

本発明の一態様に係る位置算出方法は、ロボットの動作を制御するロボット制御装置が実行する対象の位置を算出する位置算出方法であって、ロボットを動作させるロボット制御ステップと、ロボット制御ステップにおいてロボットを動作させることにより、ロボットに保持されている対象用センサによって対象を検知する第１検知ステップと、ロボット制御ステップにおいてロボットを動作させることにより、ロボットに保持されている複数のセンサで構成されるセンサ群によって対象が含まれている平面を検知する第２検知ステップと、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離、及び対象用センサとセンサ群との位置情報に基づいて、対象用センサによって検知された対象の位置を算出する対象位置算出ステップと、を含む。

【0028】

この態様によれば、第１検知ステップでは、ロボットに保持されている対象用センサによって対象を検知し、第２検知ステップでは、ロボットに保持されている複数のセンサで構成されるセンサ群によって対象が含まれている平面を検知する。そして、対象位置算出ステップでは、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離、及び対象用センサとセンサ群との位置情報に基づいて、対象用センサによって検知された対象の位置を算出する。これにより、ロボットに保持されているセンサの傾きを考慮して、当該センサによって検知される対象の位置を適切に算出することができる。その結果、対象の位置に基づいて算出された目標位置に、対象物を高精度に搬送することができる。

【0029】

本発明の一態様に係るセンサ装置は、ロボットの動作を制御するロボット制御装置が実行する対象の位置を算出する位置算出方法に用いられるセンサ装置であって、対象を検知する対象用センサと、対象が含まれている平面を検知する複数のセンサで構成されるセンサ群と、を含み、位置算出方法は、ロボットを動作させるロボット制御ステップと、ロボット制御ステップにおいてロボットを動作させることにより、ロボットに保持されている当該センサ装置の対象用センサによって対象を検知する第１検知ステップと、ロボット制御ステップにおいてロボットを動作させることにより、ロボットに保持されている当該センサ装置の複数のセンサで構成されるセンサ群によって対象が含まれている平面を検知する第２検知ステップと、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離、及び対象用センサとセンサ群との位置情報に基づいて、対象用センサによって検知された対象の位置を算出する対象位置算出ステップと、を含む。

【0030】

この態様によれば、第１検知ステップでは、ロボットに保持されている対象用センサによって対象を検知し、第２検知ステップでは、ロボットに保持されている複数のセンサで構成されるセンサ群によって対象が含まれている平面を検知する。そして、対象位置算出ステップでは、センサ群における複数のセンサそれぞれによって検知された平面までの各距離、及び対象用センサとセンサ群との位置情報に基づいて、対象用センサによって検知された対象の位置を算出する。これにより、ロボットに保持されているセンサの傾きを考慮して、当該センサによって検知される対象の位置を適切に算出することができる。その結果、対象の位置に基づいて算出された目標位置に、対象物を高精度に搬送することができる。

【発明の効果】

【0031】

本発明によれば、ロボットに保持されているセンサの傾きを考慮して、当該センサによって検知される対象の位置を適切に算出可能なロボット制御装置、位置算出方法及びそれに用いられるセンサ装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0032】

【図1】本発明の一実施形態に係る搬送ロボットシステム１のシステム構成を示す概要図である。

【図2】クリーン環境において搬送ロボット１０が動作する様子を示す概要図である。

【図3】搬送ロボット１０におけるハンド１１によって保持されるセンサ装置２０の構成を示す図である。

【図4】本発明の一実施形態に係るロボット制御装置１００の各機能を示す機能ブロック図である。

【図5】搬送ロボット１０におけるハンド１１によってセンサ装置２０が保持されている状態で、ステージＳに向かう様子を示す図である。

【図6】センサ装置２０に設けられた光学センサによってステージＳのエッジＥが検知される様子を示す図である。

【図7】センサ装置２０に設けられた２つの光学センサによってステージＳの平面Ｆまでの距離がそれぞれ検知される様子を示す図である。

【図8】本発明の一実施形態に係るロボット制御装置１００が実行する対象の位置を算出する位置算出方法Ｍ１００の処理の流れを示すフローチャートである。

【図9】センサ装置２０の他の構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0033】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下で説明する実施形態は、あくまで、本発明を実施するための具体的な一例を挙げるものであって、本発明を限定的に解釈させるものではない。また、説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する場合がある。

【0034】

＜一実施形態＞
［搬送ロボットシステムの構成］
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送ロボットシステム１のシステム構成を示す概要図である。図１に示されるように、搬送ロボットシステム１は、ロボット制御装置１００と、搬送ロボット１０とを備える。

【0035】

搬送ロボット１０は、例えば、ウエハ搬送を目的とする水平多関節ロボットであって、半導体デバイス及びフラットパネルディスプレイの製造、医療・食品産業などにおける、クリーン環境での搬送に用いられるクリーン搬送ロボットである。本実施形態では、搬送ロボット１０は、例えば、２軸又は３軸の円筒座標型であって、エンドエフェクタとしてのハンド１１を有し、当該ハンド１１によってウエハ（対象物）を保持して搬送することを一例として説明する。

【0036】

ロボット制御装置１００は、搬送ロボット１０の動作を制御する機器である。例えば、ロボット制御装置１００は、ティーチペンダントなどの操作機器（図示せず）に接続されており、当該操作機器において入力された動作指示情報を取得することができる。ロボット制御装置１００は、当該動作指示情報に基づいて、搬送ロボット１０を起動及び停止させたり、対象物を取り出したり、搬送して設置したりするために搬送ロボット１０の各軸、及びアームやハンド１１を動作させる。

【0037】

ティーチペンダントなどの操作機器は、搬送ロボット１０の動作指示情報について、対象物を搬送する搬送作業に関して、操作者からの入力を受け付ける。通常、操作者は、例えば、搬送ロボット１０の起動及び停止、さらには、搬送ロボット１０に対する設定、及びアームやハンド１１の動作、教示点の登録などについて、ティーチペンダントなどの操作機器を用いて適切な指示情報を入力する。

【0038】

また、教示点の登録については、搬送ロボット１０を動作させながら当該動作経路における教示点を、ティーチペンダントなどの操作機器を用いて操作者が逐次登録してもよいし、自動教示において教示点を自動的に登録してもよい。自動教示は、例えば、操作者の侵入スペース（作業空間）が十分に確保できないような環境や場面において有効である。

【0039】

［ウエハ搬送の様子］
図２は、クリーン環境において搬送ロボット１０が動作する様子を示す概要図である。図２に示されるように、作業空間ＷＳに設置された搬送ロボット１０は、ウエハＷをハンド１１に保持した状態で、真空環境のプロセスチャンバにおける各ステージＳ１～Ｓ３（以下、総称して「ステージＳ」という場合もある）に搬送する。

【0040】

具体的には、搬送ロボット１０は、ロボット制御装置１００からの動作指示情報に基づいてアームやハンド１１を動作させて、ウエハＷを取り出したり、搬送先となるステージＳに搬送したりする。

【0041】

ここで、ウエハＷを搬送して設置する目標位置は、例えば、ステージＳの中心であり、ウエハＷをステージＳの中心に高精度に設置されることが好ましく、ロボット制御装置１００としては、教示データに基づいて、実際にウエハＷを搬送して目標位置であるステージＳの中心に設置する。その際、ロボット制御装置１００は、ステージＳのエッジを検知してステージＳの位置を適切に把握することによって、高精度な教示データを生成することができる。その結果、ウエハＷをステージＳの中心に高精度に設置することができる。換言すると、ステージＳのエッジの位置を適切に把握することが重要となり、以下、センサ装置を用いてステージＳのエッジを検知して、その位置を把握する方法について説明する。

【0042】

［センサ装置の構成］
センサ装置は、光学センサを備えて、搬送ロボット１０のハンド１１に把持、保持又は取付可能な装置である。図３は、搬送ロボット１０におけるハンド１１によって保持されるセンサ装置２０の構成を示す図である。図３に示されるように、センサ装置２０は、２つの光学センサ２１及び２２を有し、光学センサ２１の近傍に光学センサ２１Ａ及び２１Ｂを有し、光学センサ２２の近傍に光学センサ２２Ａ及び２２Ｂを有している。

【0043】

各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂは、センサ装置２０の裏面に取り付けられており、光源から下向きに発光された光の反射光を受光することによって距離を算出可能な反射型光センサである。

【0044】

センサ装置２０は、ハンド１１の上に載置されることから、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂは、下向きに発光する光がハンド１１に遮られないように、センサ装置２０の外周近郊（端）に取り付けられている。換言すれば、ハンド１１は、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂが取り付けられている領域を回避するようにして、センサ装置２０を保持している。

【0045】

また、センサ装置２０は、制御部及び通信部を備えていてもよく、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂにおいて、光源から発光される光を制御したり、反射光を受光してそれに関する情報を、例えば、ロボット制御装置１００に通知したりする。

【0046】

例えば、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳの上方を通過することにより、光学センサ２１（第１対象用センサ）は、ステージＳのエッジ（対象）を検知するものである。光学センサ２１Ａ及び２１Ｂは、光学センサ２１とともに、ステージＳの平面を検知することによって、当該光学センサ２１の傾きを把握するためのものである（第１センサ群）。

【0047】

第１センサ群は、３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂで構成されているが（光学センサ２１は対象用センサを兼用）、当該光学センサ２１の傾きを把握する上で、２方向に配置されている。具体的には、光学センサ２１と２１Ａとの配置方向と、光学センサ２１と２１Ｂとの配置方向とは直交している。これにより、光学センサ２１の傾きについて、光学センサ２１に対する光学センサ２１Ａの方向の傾き、及び光学センサ２１に対する光学センサ２１Ｂの方向の傾きを把握することができる。

【0048】

また、光学センサ２１と２１Ａとの距離、及び光学センサ２１と２１Ｂとの距離は、小さい方が好ましく、少なくともこれらの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂから、第２センサ群（３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ）までの距離よりも小さい。これにより、センサ装置２０のうち光学センサ２１が設置されている局所的な領域について、その傾きを適切に把握することができる。傾きについて、詳細は後述する。

【0049】

同様に、光学センサ２２（第２対象用センサ）は、ステージＳのエッジ（対象）を検知するものであり、光学センサ２２Ａ及び２２Ｂは、光学センサ２２とともに、当該光学センサ２２の傾きを把握するためのものである（第２センサ群）。光学センサ２２と２２Ａとの配置方向と、光学センサ２２と２２Ｂとの配置方向とは直交しており、光学センサ２２と２２Ａとの距離、及び光学センサ２２と２２Ｂとの距離は、小さい方が好ましく、少なくともこれらの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂから、第１センサ群（３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ）までの距離よりも小さい。これにより、センサ装置２０のうち光学センサ２２が設置されている局所的な領域について、その傾きを適切に把握することができる。

【0050】

［ロボット制御装置の構成］
図４は、本発明の一実施形態に係るロボット制御装置１００の各機能を示す機能ブロック図である。図４に示されるように、ロボット制御装置１００は、ロボット制御手段１１０と、第１検知手段１２０と、第２検知手段１３０と、対象位置算出手段１４０とを備え、搬送ロボット１０の動作を制御する。ロボット制御装置１００は、センサ装置２０を保持した状態のハンド１１を移動させながら、２つの光学センサ２１及び２２（第１対象用センサ及び第２対象用センサ）によってステージＳのエッジ（対象）を検知し、３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ（第１センサ群）及び３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ（第２センサ群）によってステージＳの平面を検知する。そして、ロボット制御装置１００は、その検知結果に基づいて、２つの光学センサ２１及び２２の傾きを考慮して、ステージＳのエッジ位置を把握する。

【0051】

なお、ロボット制御装置１００は、図１を用いて説明したように、搬送ロボット１０に接続されており、さらには、ティーチペンダントなどの操作機器からの動作指示情報、又は自動制御（自動教示）などに基づいて、種々の制御を行うために多くの機能を備えて、処理を行っている。ここでは、ロボット制御装置１００について、主に、ステージＳのエッジを検知する光学センサ２１及び２２の傾きを考慮してステージＳのエッジ位置を算出する位置算出機能に関するものを示しているが、その他の構成及び機能を備えている。

【0052】

ロボット制御手段１１０は、搬送ロボット１０を動作させる。例えば、搬送ロボット１０は、ハンド１１にセンサ装置２０を保持しており、ロボット制御手段１１０は、センサ装置２０に取り付けられている２つの光学センサ２１及び２２がステージＳのエッジの上方を通過し、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２ＢがステージＳの平面の上方を通過するように、搬送ロボット１０の各軸、及びアームやハンド１１を動作させる。

【0053】

第１検知手段１２０は、ロボット制御手段１１０によって搬送ロボット１０を動作させることにより、搬送ロボット１０におけるハンド１１に保持されているセンサ装置２０（２つの光学センサ２１及び２２）によってステージＳのエッジを検知する。例えば、センサ装置２０の裏面に設けられている２つの光学センサ２１及び２２は、下方に向かって光を発光している。そして、当該発光された光がステージＳのエッジの一部に到達することにより、２つの光学センサ２１及び２２によって受光される反射光が変化する。第１検知手段１２０は、２つの光学センサ２１及び２２によってステージＳのエッジの一部が検知されたことに関する情報を、センサ装置２０から取得する。

【0054】

第２検知手段１３０は、ロボット制御手段１１０によって搬送ロボット１０を動作させることにより、搬送ロボット１０におけるハンド１１に保持されているセンサ装置２０（光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ、及び光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ）によってステージＳの平面を検知する。例えば、センサ装置２０の裏面に設けられている光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ、及び光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂは、下方に向かって光を発光している。そして、当該発光された光がステージＳの平面部分に到達して、その反射光を受光する。第２検知手段１３０は、光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ、及び光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂから発光された光に対して受光したそれぞれの反射光に関する情報をセンサ装置２０から取得する。

【0055】

対象位置算出手段１４０は、光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂそれぞれによって検知されたステージＳの平面までの各距離に基づいて、光学センサ２１によって検知されたステージＳのエッジ位置を算出する。同様に、対象位置算出手段１４０は、光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂそれぞれによって検知されたステージＳの平面までの各距離に基づいて、光学センサ２２によって検知されたステージＳのエッジ位置を算出する。

【0056】

なお、対象位置算出手段１４０は、検知位置算出手段１４１と、傾き算出手段１４２と、補正手段１４３とを含む。

【0057】

検知位置算出手段１４１は、２つの光学センサ２１及び２２によって検知されたステージＳのエッジの位置を算出する。例えば、検知位置算出手段１４１は、２つの光学センサ２１及び２２によってステージＳのエッジ位置が検知された際の、それぞれ搬送ロボット１０の位置・姿勢に基づいて、当該検知したステージＳのエッジ位置（ロボット座標系）を算出する。

【0058】

傾き算出手段１４２は、３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂによってそれぞれ検知されたステージＳの平面までの各距離と、センサ装置２０における３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ間の各距離とに基づいて、ステージＳの平面に対する、ステージＳのエッジを検知した光学センサ２１の傾きを算出する。具体的には、センサ装置２０に設けられている光学センサ２１の領域が傾いていれば、３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１ＢそれぞれからのステージＳの平面までの各距離が異なり、傾き算出手段１４２は、その距離の差に基づいて、光学センサ２１の傾きを算出する。

【0059】

同様に、傾き算出手段１４２は、３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂによってそれぞれ検知されたステージＳの平面までの各距離と、センサ装置２０における３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ間の各距離とに基づいて、ステージＳの平面に対する、ステージＳのエッジを検知した光学センサ２２の傾きを算出する。具体的には、センサ装置２０に設けられている光学センサ２２の領域が傾いていれば、３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２ＢそれぞれからのステージＳの平面までの各距離が異なり、傾き算出手段１４２は、その距離の差に基づいて、光学センサ２２の傾きを算出する。

【0060】

補正手段１４３は、傾き算出手段１４２によって算出された２つの光学センサ２１及び２２の傾きに基づいて、検知位置算出手段１４１によって算出されたステージＳのエッジ位置を補正する。例えば、２つの光学センサ２１及び２２は、下方に向かって光を発光していることから、理想的には、その鉛直方向にステージＳのエッジを検知することになるが、２つの光学センサ２１及び２２が傾いている場合には、実際には、その鉛直方向からズレた位置にあるステージＳのエッジを検知していることになる。すなわち、補正手段１４３は、傾き算出手段１４２によって算出された２つの光学センサ２１及び２２の傾きを考慮して、検知位置算出手段１４１によって算出されたステージＳのエッジ位置を補正する。

【0061】

このように、ロボット制御装置１００は、センサ装置２０を保持した状態のハンド１１を移動させながら、第１検知手段１２０はステージＳのエッジを検知し、第２検知手段１３０はステージＳの平面を検知する。そして、対象位置算出手段１４０において、ステージＳのエッジを検知した光学センサ２１及び２２の傾きを考慮して、高精度にステージＳのエッジ位置を算出する。

【0062】

以下に、ステージＳのエッジを検知する２つの光学センサ２１及び２２の傾きを考慮して、ステージＳのエッジ位置を算出することについて、より具体的に詳細を説明する。

【0063】

［光学センサの傾きを考慮したステージＳのエッジ位置］
図５は、搬送ロボット１０におけるハンド１１によってセンサ装置２０が保持されている状態で、ステージＳに向かう様子を示す図である。図５に示されるように、ハンド１１は、２つの光学センサ２１及び２２（第１対象用センサ及び第２対象用センサ）を有し、３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ（第１センサ群）及び３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ（第２センサ群）を有するセンサ装置２０を保持している。

【0064】

ハンド１１がステージＳに近づいて、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳの上方を移動することになる。そして、センサ装置２０に設けられている２つの光学センサ２１及び２２は、ステージＳのエッジを検知し、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂは、ステージＳの平面を検知する。

【0065】

図６は、センサ装置２０に設けられた光学センサによってステージＳのエッジＥが検知される様子を示す図である。図６に示されるように、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳのエッジＥの上方を通過することにより、光学センサ２１（２２）は、ステージＳのエッジＥを検知している。

【0066】

例えば、図５に示されたように、ハンド１１をステージＳに近づく移動方向に移動させると、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳのエッジＥの上方を通過することになる。その際に、光学センサ２１（２２）は、当該光学センサ２１（２２）から下向きに発光された光の反射光を受光することによって、ステージＳのエッジＥを検知し、検知位置算出手段１４１は、その検知した際の搬送ロボット１０の位置・姿勢に基づいて、ステージＳのエッジＥの位置（ロボット座標系）を算出する。

【0067】

図７は、センサ装置２０に設けられた２つの光学センサによってステージＳの平面Ｆまでの距離がそれぞれ検知される様子を示す図である。図７に示されるように、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳの平面Ｆの上方を通過することにより、光学センサ２１（２２）及び光学センサ２１Ａ（２２Ａ）は、ステージＳの平面Ｆを検知している。

【0068】

例えば、図５に示されたように、ハンド１１をステージＳに近づく移動方向に移動させると、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳの平面Ｆの上方を通過することになる。その際に、光学センサ２１（２２）及び光学センサ２１Ａ（２２Ａ）は、当該光学センサ２１（２２）及び光学センサ２１Ａ（２２Ａ）から下向きに発光された光の反射光を受光することによって、ステージＳの平面Ｆを検知し、傾き算出手段１４２は、それぞれ光学センサ２１（２２）から平面Ｆまでの距離ｄ１及び光学センサ２１Ａ（２２Ａ）から平面Ｆまでの距離ｄ２を算出する。

【0069】

そして、傾き算出手段１４２は、距離ｄ１と距離ｄ２との差ｄと、光学センサ２１（２２）と光学センサ２１Ａ（２２Ａ）との距離と、に基づいて、ステージＳの平面Ｆに対する、センサ装置２０に設けられている光学センサ２１（２２）の傾きθを算出することができる。なお、光学センサ２１（２２）と光学センサ２１Ａ（２２Ａ）との距離は、予め把握しているものとする。ここで、光学センサ２１（２２）及び光学センサ２１Ａ（２２Ａ）は、センサ装置２０において同一平面（底面）上に設けられていることにより、光学センサ２１（２２）と光学センサ２１Ａ（２２Ａ）とのセンサ間距離は予め把握されており、これによって、当該センサ間距離を計測するなどの処理を不要として、容易に上記傾きθを算出することができる。

【0070】

このように、傾き算出手段１４２によって算出された光学センサ２１（２２）の傾きθ及び上記距離ｄ１に基づいて、補正手段１４３は、検知位置算出手段１４１によって算出されたステージＳのエッジＥの位置（ロボット座標系）を補正することにより、高精度に、ステージＳのエッジＥの位置を把握することができる。例えば、補正手段１４３は、光学センサ２１（２２）の傾きθ、及び光学センサ２１（２２）によって検知された当該光学センサ２１（２２）とステージＳとの距離（ここでは、距離ｄ１でよい）に基づいてステージＳのエッジＥの位置（ロボット座標系）を補正してもよい。

【0071】

なお、ここでは、ハンド１１の移動方向である光学センサ２１（２２）と光学センサ２１Ａ（２２Ａ）との配置方向に対する光学センサ２１（２２）の傾きについて説明したが、当該移動方向に直交する光学センサ２１（２２）と光学センサ２１Ｂ（２２Ｂ）との配置方向に対する光学センサ２１（２２）の傾きについても同様に、当該傾きを考慮して検知位置算出手段１４１によって算出されたステージＳのエッジＥの位置（ロボット座標系）を補正することができる。

【0072】

［ステージＳのエッジ位置を算出する位置算出方法］
次に、ハンド１１に保持されるセンサ装置２０における２つの光学センサ２１及び２２の傾きを考慮して、ステージＳのエッジ位置を算出する方法について、具体的に詳しく説明する。

【0073】

図８は、本発明の一実施形態に係るロボット制御装置１００が実行する対象の位置を算出する位置算出方法Ｍ１００の処理の流れを示すフローチャートである。図８に示されるように、位置算出方法Ｍ１００は、ステップＳ１１０～Ｓ１５０を含み、各ステップは、主に、ロボット制御装置１００に含まれるプロセッサによって実行される。

【0074】

ステップＳ１１０では、センサ装置２０を保持している搬送ロボット１０（ハンド１１）を移動させる（ロボット制御ステップ）。具体例としては、搬送ロボット１０は、ハンド１１にセンサ装置２０を保持しており、ロボット制御手段１１０は、センサ装置２０に取り付けられている２つの光学センサ２１及び２２が、ステージＳのエッジＥの上方を通過し、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２ＢがステージＳの平面Ｆの上方を通過するように、搬送ロボット１０（ハンド１１）を動作させる。

【0075】

ステップＳ１２０では、２つの光学センサ２１及び２２によってステージＳのエッジＥを検知する（第１検知ステップ）。具体例としては、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳのエッジＥの上方を通過することによって、２つの光学センサ２１及び２２は、ステージＳのエッジＥを検知する。

【0076】

ステップＳ１３０では、センサ群（各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂ）によってステージＳの平面Ｆを検知する（第２検知ステップ）。具体例としては、ハンド１１によって保持されているセンサ装置２０がステージＳの平面Ｆの上方を通過することによって、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂは、ステージＳの平面Ｆを検知する。

【0077】

ステップＳ１４０では、ステップＳ１３０でセンサ群（各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２Ｂ）によって検知されたステージＳの平面Ｆまでの各距離に基づいて、平面Ｆに対する光学センサ２１（２２）の傾きを算出する。具体例としては、傾き算出手段１４２は、３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ（第１センサ群）によってそれぞれ検知されたステージＳの平面Ｆまでの各距離と、センサ装置２０における３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ間の各距離とに基づいて、ステージＳの平面Ｆに対する、ステージＳのエッジＥを検知した光学センサ２１（第１対象用センサ）の傾きを算出する。同様に、傾き算出手段１４２は、３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ（第２センサ群）によってそれぞれ検知されたステージＳの平面Ｆまでの各距離と、センサ装置２０における３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ間の各距離とに基づいて、ステージＳの平面Ｆに対する、ステージＳのエッジＥを検知した光学センサ２２（第２対象用センサ）の傾きを算出する。

【0078】

ステップＳ１５０では、ステップＳ１２０で検知されたステージＳのエッジＥの位置を、ステップＳ１４０で算出された光学センサ２１（２２）の傾き、及び光学センサ２１（２２）によって検知された当該光学センサ２１（２２）とステージＳとの距離に基づいて補正する。具体例としては、補正手段１４３は、傾き算出手段１４２によって算出された２つの光学センサ２１及び２２の傾きθを考慮して、検知位置算出手段１４１によって算出されたステージＳのエッジＥの位置を補正する。

【0079】

このように、ロボット制御装置１００は、ステージＳのエッジＥを検知した光学センサ２１及び２２の傾きを考慮して、高精度にステージＳのエッジＥの位置を算出する。そして、当該ステージＳのエッジＥの位置に基づいてステージＳの中心を算出すれば、対象物（ウエハＷ）をステージＳの中心（目標位置）に高精度に搬送することができる。なお、ステージＳの中心は、ステージＳのエッジＥのうち３点を把握すれば、当該３点を通る円を描くことにより、一義的に算出することができる。

【0080】

また、ステージＳを構成する円の半径（直径）が予め分かっていれば（固定値として）、ステージＳのエッジＥのうち２点を把握して、その２点から２通りの円を描くことができる。そして、センサ装置２０に設けられている２つの光学センサ２１及び２２と、ステージＳとの位置関係（ハンド１１の進行方向）に基づいて、当該２通りの円のうちいずれかの円を選択することができる。すなわち、ステージＳのエッジＥのうち２点を把握すれば、ステージＳの中心位置を算出することができる。

【0081】

なお、ステージＳの中心を算出するために、ステージＳのエッジＥのうち２点又は３点検知する場合、それらの検知点は可能な限り離れている方が好ましく、それらの検知点に基づいて描かれるステージＳの円の誤差を軽減することができる。例えば、センサ装置２０に２つの光学センサ２１及び２２を設ける場合には、可能な限り両側に離れて設けるとよい。その結果、ステージＳの中心を高精度に算出することができる。

【0082】

また、ステージＳのエッジＥのうち２点又は３点検知する場合、ハンド１１を一方向に移動させることによりステージＳのエッジＥのうち異なる複数の点（２点又は３点）を検知してもよいし、ステージＳのエッジＥを検知した後、一旦後退し、別の角度でステージＳの方向に近づくことにより、ステージＳのエッジＥのうち異なる複数の点（２点又は３点）を検知するようにしてもよい。

【0083】

なお、ここでは、ステージＳのエッジＥを検知した（ステップＳ１２０）後に、ステージＳの平面Ｆを検知していた（ステップＳ１３０）が、その順番は逆でもよく、具体的には、ステージＳの平面Ｆを検知した後に、ステージＳのエッジＥを検知してもよい。

【0084】

以上のように、本発明一実施形態に係るロボット制御装置１００、位置算出方法Ｍ１００及びセンサ装置２０によれば、搬送ロボット１０におけるハンド１１によってセンサ装置２０が保持され、ロボット制御手段１１０は、センサ装置２０に取り付けられている２つの光学センサ２１及び２２がステージＳのエッジＥの上方を通過し、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２ＢがステージＳの平面Ｆの上方を通過するように、搬送ロボット１０を動作させる。第１検知手段１２０は、２つの光学センサ２１及び２２によってステージＳのエッジＥを検知し、第２検知手段１３０は、各光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ，２２，２２Ａ，２２ＢによってステージＳの平面Ｆを検知する。そして、対象位置算出手段１４０は、光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂそれぞれによって検知されたステージＳの平面Ｆまでの各距離に基づいて光学センサ２１の傾きを考慮して、当該光学センサ２１によって検知されたステージＳのエッジＥの位置を算出する。同様に、対象位置算出手段１４０は、光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂそれぞれによって検知されたステージＳの平面Ｆまでの各距離に基づいて、光学センサ２２の傾きを考慮して、光学センサ２２によって検知されたステージＳのエッジＥの位置を算出する。その結果、ステージＳのエッジＥの位置に基づいてステージＳの中心を算出すれば、対象物（ウエハＷ）をステージＳの中心（目標位置）に高精度に搬送することができる。

【0085】

なお、本実施形態では、光学センサ２１及び２２は、ハンド１１の進行方向に対して、センサ装置２０のうち後方に設けられていたが、これに限定されるものではなく、ハンド１１の形状及び移動方向、さらには、ステージＳ及びその周辺の構成に応じて設けられてもよい。例えば、ハンド１１の進行方向に対して、ステージＳの向こう側のスペースが限られている場合には、光学センサ２１及び２２は、ハンド１１の進行方向に対して前方に設けられるとよい。

【0086】

また、本実施形態では、センサ装置２０にはステージＳのエッジＥを検知する光学センサとして、２つの光学センサ２１，２２が設けられていたが、これに限定されるものではなく、例えば、光学センサは、１つであってもよく、又は３つ以上であってもよく、ステージＳのエッジＥの検知に応じて必要な個数の光学センサを設けるとよい。

【0087】

さらに、本実施形態では、光学センサ２１及び２２の傾きを把握するために、第１センサ群として３つの光学センサ２１，２１Ａ，２１Ｂ（光学センサ２１は対象用センサを兼用）、及び第２センサ群として３つの光学センサ２２，２２Ａ，２２Ｂ（光学センサ２２は対象用センサを兼用）で構成されていたが、これに限定されるものではない。例えば、４つの光学センサにより構成されてもよい。

【0088】

図９は、センサ装置２０の他の構成を示す図である。図９に示されるように、センサ装置２０は、対象を検知するための対象用センサとして４つの光学センサ２１，２２，２３，２４を有し、光学センサ２１の近傍に光学センサ２１Ａ～２１Ｄを有し、光学センサ２２の近傍に光学センサ２２Ａ～２２Ｄを有し、光学センサ２３の近傍に光学センサ２３Ａ～２３Ｄを有し、光学センサ２４の近傍に光学センサ２４Ａ～２４Ｄを有している。

【0089】

ここでは、第１センサ群（光学センサ２１Ａ～２１Ｄ）を構成する光学センサの１つを対象用センサである光学センサ２１が兼用しておらず、例えば、光学センサ２１Ａと２１Ｃとの配置方向と、光学センサ２１Ｂと２１Ｄとの配置方向とは直交しており、光学センサ２１の傾きについて各方向の傾きを把握することができる。第２センサ群（光学センサ２２Ａ～２２Ｄ）、第３センサ群（光学センサ２３Ａ～２３Ｄ）、及び第４センサ群（光学センサ２４Ａ～２４Ｄ）についても同様である。

【0090】

なお、センサ装置２０において光学センサ（対象用センサ）を設ける場合、その設ける領域（位置）に応じて、その設置面の傾きは一様でなく、例えば、センサ装置２０のうちの、中央部、外周部、左右又は上下において、それぞれ傾きが異なる場合が考えられる。その場合、各光学センサ（対象用センサ）に対応するように、各光学センサの近傍に複数の光学センサで構成されるセンサ群を設けることにより、各光学センサ（対象用センサ）の傾きを算出することが好ましい。

【0091】

このように、光学センサ（対象用センサ）と、当該光学センサ（対象用センサ）の傾きを把握するための複数の光学センサ（センサ群）とは、典型的には、１対１で対応しているが、これに限定されるものではなく、例えば、複数の光学センサ（センサ群）に対して、複数の光学センサ（対象用センサ）が設けれられている構成でもよい。具体的には、隣接する複数の光学センサ（対象用センサ）に対して、その傾きを把握するための複数の光学センサ（センサ群）を共用するようにしてもよい。

【0092】

また、光学センサ（対象用センサ）と、当該光学センサ（対象用センサ）の傾きを把握するための複数の光学センサ（センサ群）とは、典型的には、センサ装置２０の同一平面上に配置されるが、これに限定されるものではない。例えば、センサ装置２０に取り付けられた対象用センサとセンサ群と傾きが同一又は傾きの差が分かっていれば異なる平面に配置されてもよい。

【0093】

また、本実施形態では、センサ装置２０を円形状としていたがこれに限定されるものではなく、例えば、矩形であっても、三角形、その他多角形であってもよい。具体的には、ロボットハンドの形状に応じて、当該ロボットハンドによってセンサ装置を保持した際に、センサ装置に設けられる光学センサが当該ロボットハンドに遮られないように配置されればよい。

【0094】

また、センサ装置２０は、下側からロボットハンドによって載置されて保持されるものに限定されるものではなく、例えば、ロボットハンドによって両側から挟み込まれるように保持されるものなどであってもよい。

【0095】

さらには、ロボットハンドによってセンサ装置を保持する構成ではなく、例えば、ステージＳのエッジＥを検出できる構成であれば、ロボットハンド（ロボットの一部）にセンサが取り付けられた構成であってもよい。ロボットハンド（ロボットの一部）に容易に着脱可能な、例えば、マグネットや吸盤を用いて、センサが設けられたセンサ装置又はセンサを、当該ロボットハンド（ロボットの一部）に設置する構成であってもよい。

【0096】

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

【符号の説明】

【0097】

１…搬送ロボットシステム、１０…搬送ロボット、１１…ハンド、２０…センサ装置、２１，２１Ａ～２１Ｄ，２２，２２Ａ～２２Ｄ，２３，２３Ａ～２３Ｄ，２４，２４Ａ～２４Ｄ…光学センサ、１００…ロボット制御装置、１１０…ロボット制御手段、１２０…第１検知手段、１３０…第２検知手段、１４０…対象位置算出手段、１４１…検知位置算出手段、１４２…算出手段、１４３…補正手段、Ｓ，Ｓ１～Ｓ３…ステージ、Ｗ…ウエハ、ＷＳ…作業空間、Ｅ…エッジ、Ｆ…平面、ｄ…差、ｄ１，ｄ２…距離、Ｍ１００…位置算出方法、Ｓ１１０～Ｓ１５０…位置算出方法Ｍ１００の各ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】