特開 2025-29441 ダンサーユニット及びフィルム搬送機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025029441

(43)【公開日】2025-03-06

(54)【発明の名称】ダンサーユニット及びフィルム搬送機構

(51)【国際特許分類】

   B65H 23/188 20060101AFI20250227BHJP

   B65H 23/10 20060101ALI20250227BHJP

【ＦＩ】

B65H23/188

B65H23/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023134097

(22)【出願日】2023-08-21

(71)【出願人】

【識別番号】522276242

【氏名又は名称】株式会社カーボンフライ

(74)【代理人】

【識別番号】100165179

【弁理士】

【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡

(74)【代理人】

【識別番号】100163496

【弁理士】

【氏名又は名称】荒 則彦

(74)【代理人】

【識別番号】100142424

【弁理士】

【氏名又は名称】細川 文広

(74)【代理人】

【識別番号】100114937

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 裕幸

(72)【発明者】

【氏名】秋山 武則

【テーマコード（参考）】

3F104

3F105

【Ｆターム（参考）】

3F104AA03

3F104EA03

3F105AA04

3F105AB00

3F105BA02

3F105BA09

3F105CA15

3F105DA04

3F105DA09

3F105DB11

3F105DC11

(57)【要約】

【課題】簡便な構造でダンサーからフィルム状の基材に加わる張力を調整可能なダンサーユニット及びフィルム搬送機構を提供する。
【解決手段】フィルムを搬送する搬送機構用のダンサーユニットであって、一対のフィードロールと、前記フィルムを搬送する方向において、前記一対のフィードロールの間に設けられたダンサーと、前記ダンサーに吊り下げられたおもり部材と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フィルムを搬送する搬送機構用のダンサーユニットであって、
一対のフィードロールと、
前記フィルムを搬送する方向において、前記一対のフィードロールの間に設けられたダンサーと、
前記ダンサーに吊り下げられたおもり部材と、を備える、ダンサーユニット。

【請求項2】

前記おもり部材の鉛直方向に設けられた台座をさらに備え、
前記ダンサーと前記台座との距離により前記フィードロールから前記フィルムに加わる張力が調整される、請求項１に記載のダンサーユニット。

【請求項3】

前記おもり部材は、鉛直方向に並ぶ複数のおもりを有する、請求項１に記載のダンサーユニット。

【請求項4】

前記台座は、前記おもり部材の鉛直方向に駆動可能な上下駆動機構上に設けられている、請求項２に記載のダンサーユニット。

【請求項5】

前記ダンサーの位置を検出可能な位置検出用レーザセンサをさらに備える、請求項１に記載のダンサーユニット。

【請求項6】

請求項１～５のいずれか一項に記載のダンサーユニットを一又は複数備えるフィルム搬送機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダンサーユニット及びフィルム搬送機構に関する。

【背景技術】

【0002】

電子回路基板等の薄型材料は、フィルム状の基材に対して成膜処理、露光処理等所定の処理を行うことで作製される。フィルム状の基材に対する処理は、ロールトゥロール方式の搬送機構が活用されている（例えば、特許文献１、特許文献２）。

【0003】

ロールトゥロールの搬送機構では、フィルム状の基材が巻き掛けられた、フィルム状の基材を搬送する回転機構が設けられた一対のフィードロールと、フィルム状の基材を搬送する方向において一対のフィードロールの間に設けられたダンサーを有するダンサーユニットが用いられる場合がある。

【0004】

ロールトゥロール方式の搬送機構では、フィルム状の基材が巻かれた巻き出しロールから薄型材料が巻き取られる巻き取りロールに向かう方向に力が加えられ、フィルム状の基材が搬送される。フィルム状の基材の搬送方向において、巻き出しロール及び巻き取りロールの間に設けられたフィードロールは、回転機構による動力でフィルム状の基材の搬送を補助する。ダンサーは、自重によりフィルム状の基材に張力を加え、フィードロールによるフィルム状の基材の搬送を補助する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－１８５７２８号公報

【特許文献2】特開２０１５－５１８３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ロールトゥロール方式の搬送機構において、フィルム状の基材の搬送速度は、ダンサーからフィルム状の基材に加わる張力の影響を受ける。そのため、フィルム状の基材の搬送速度を所望の速度に調整するためには、ダンサーからフィルム状の基材に加わる張力を最適な大きさに調整することが望ましいと考えられる。

【0007】

しかしながら、ロールトゥロール方式の搬送機構において、ダンサーからフィルム状の基材に加わる張力を調整するためには、他の部材の設計を考慮した複雑な設計が必要であり、実際の製造工程における張力調整が煩雑であった。そのため、簡便な構造等を用いることで、ダンサーからフィルム状の基材に加わる張力を容易に調整可能な機構が求められている。

【0008】

本発明は、上記事情に鑑みてなされた発明であって、簡便な構造でダンサーからフィルム状の基材に加わる張力を容易に調整可能なダンサーユニット及びフィルム搬送機構を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。

【0010】

（１）本発明の一態様に係るダンサーユニットは、フィルムを搬送する搬送機構用のダンサーユニットであって、一対のフィードロールと、前記フィルムを搬送する方向において、前記一対のフィードロールの間に設けられたダンサーと、前記ダンサーに吊り下げられたおもり部材と、を備える。

【0011】

（２）上記（１）のダンサーユニットは、前記おもり部材の鉛直方向に設けられた台座をさらに備え、前記ダンサーと前記台座との距離により前記フィードロールから前記フィルムに加わる張力が調整されてもよい。

【0012】

（３）上記（１）又は（２）のダンサーユニットにおいて、前記おもり部材は、鉛直方向に並ぶ複数のおもりを有していてもよい。

【0013】

（４）上記（１）～（３）のいずれかのダンサーユニットにおいて、前記台座は、前記おもり部材の鉛直方向に駆動可能な上下駆動機構上に設けられていてもよい。

【0014】

（５）上記（１）～（４）のいずれかのダンサーユニットは、前記ダンサーの位置を検出可能な位置検出用レーザセンサをさらに備えていてもよい。

【0015】

（６）本発明の一態様に係るフィルム搬送機構は、上記（１）～（５）のいずれか一項に記載のダンサーユニットを一又は複数備える。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、簡便な構造であって新たな構造により、ダンサーからフィルム状の基材に加わる張力を調整可能なダンサーユニット及びフィルム搬送機構を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態に係るダンサーユニットが設けられた搬送機構の構成の一例を示す断面図である。

【図2】本発明の一実施形態に係るダンサーユニットの構成の一例を示す断面図である。

【図3】図３（ａ）～図３（ｄ）は、図２に示すダンサーユニットの動作を説明するための図である。

【図4】図４（ａ）～図４（ｄ）は、図２に示すダンサーユニットの他の動作を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施形態の一例について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合がある。このため、各構成要素の寸法比率などは実際とは異なっている場合がある。

【0019】

［搬送機構］
図１は、本発明の一実施形態に係るダンサーユニットが設けられたフィルム搬送機構の構成の一例を示す断面図である。図１に示される搬送機構１００は、ロールトゥロール方式の搬送機構であって、ダンサーユニット１０を備える。

【0020】

搬送機構１００は、フィルム状の基材が巻かれた巻き出しロールＲ１、及び、フィルム状の基材に対して所定の処理が施された薄型材料を巻き取る巻き取りロールＲ２を備える。搬送機構１００は、フィルムＦに対して所定の処理を施す第１処理部Ｓ１，第２処理部Ｓ２，第３処理部Ｓ３、第４処理部Ｓ４及び第５処理部Ｓ５を備える。搬送機構１００は、フィルムを送り出すフィードロール１、フィルムＦに圧をかけて押し付けるニップロール５、及び、フィルムＦが巻き掛けられたタッチロール６を複数備える。フィードロール１は、例えば、動力を有する回転体を備えており、回転可能に構成されている。搬送機構１００に備えられたフィードロール１は、例えば、同一方向に回転することでフィルムＦを搬送する。ニップロール５は、例えば、フィードロール１とともにフィルムＦを挟む位置に設けられており、フィードロール１と協働してフィルムＦを挟持しつつ、当該フィルムを下流側に搬送する。ニップロール５は、フィードロール１の回転に合わせてフィードロール１の回転方向と反対方向に回転するように構成されている。ニップロール５は、フィードロール１との間にフィルムＦを挟むことでフィルムＦに対して応力を与える。

【0021】

また、搬送機構１００は、フィルムＦに対して所定の大きさの張力を印加するダンサーユニット１０を備える。図１には、説明の便宜上、フィルムＦの搬送方向が矢印で示されている。例えば、搬送機構１００は、フィルムＦの搬送方向に関して、巻き出しロールＲ１の下流側であって第１処理部Ｓ１の上流側に、フィルムＦに対して所定の大きさの張力を印加するダンサーユニット１０を備えている。

【0022】

第１処理部Ｓ１は、例えば、フィルムＦに対して所定の予備処理をする領域である。第１処理部Ｓ１は、例えば外部と仕切られた１又は複数の内部空間を有しており、該内部空間でフィルムＦに対して１又は複数の予備処理を行う。

【0023】

第２処理部Ｓ２は、例えば、第１処理部Ｓ１の内部空間の圧力と大気との気圧差を緩和する領域である。第２処理部Ｓ２には、例えば、ダンサーユニット１０が設けられている。気圧差が大きい領域においては、気圧差の小さい領域と比べ、フィルムＦに伸びや縮みが生じやすく、ダンサーユニット１０を設けることで、所定の張力をフィルムＦに印加し、気圧差等に因って生じるフィルムＦの伸縮を抑制できる。

【0024】

第３処理部Ｓ３は、例えば、連続的に巻き出されるフィルムＦ及びバッチ式で処理が行われる領域の間でフィルムＦを蓄積するアキュムレータである。

【0025】

第４処理部Ｓ４は、例えば、フィルムＦに対して加熱を伴う所定の処理を行う領域である。第４処理部Ｓ４の上流及び下流には、例えば、ダンサーユニット１０を備えている。ダンサーユニット１０がこのような位置に設けられていることで、加熱に伴いフィルムＦに伸びが生じた箇所においても十分な張力をフィルムＦに加えることができる。

【0026】

第５処理部Ｓ５は、例えば、フィルムＦに対して仕上げ処理を行う領域である。

【0027】

搬送機構１００において、ダンサーユニット１０の近傍には、例えば、位置検出機材２０が備えられている。位置検出機材２０は、例えば、位置検出用レーザセンサである。位置検出機材２０としてレーザセンサを用いる場合、ダンサーユニット１０に対してレーザを照射し、ダンサー位置を検出可能なように構成されている。図１においては、位置検出機材２０としてレーザセンサが、ダンサーユニット１０の上方に設けられている例を示しているが、側方に設けられていてもよい。

【0028】

［ダンサーユニット］
図２は、本発明の一実施形態に係るダンサーユニットの構成の一例を示す断面図である。ダンサーユニット１０は、フィルムＦを搬送する搬送機構用のダンサーユニットであって、一対のフィードロール１ａ，１ｂ、フィルムＦの搬送方向において、一対のフィードロール１ａ，１ｂの間に設けられたダンサー２及びダンサー２に吊り下げられたおもり部材３を備える。ここで、本実施形態において特に言及がない場合、ダンサー２は、ダンサーロールを表す。ダンサーユニット１０は、例えば、一対のフィードロール１ａ，１ｂとともにフィルムＦを挟むニップロール５ａ，５ｂ及びおもり部材３の鉛直方向に設けられた台座４をさらに備える。

【0029】

ダンサーユニット１０において、一対のフィードロール１ａ，１ｂは、例えば、ダンサー２からの距離が等距離となるように設けられている。フィードロール１ａは、ダンサー２に対してフィルムＦの搬送方向上流側に位置する。フィードロール１ｂは、ダンサー２に対してフィルムＦの搬送方向下流側に位置する。

【0030】

同様に、ダンサーユニット１０において、一対のニップロール５ａ，５ｂは、ダンサー２からの距離が等距離となるように設けられている。ニップロール５ａは、ダンサー２に対してフィルムＦの搬送方向上流側に位置する。ニップロール５ｂは、ダンサー２に対してフィルムＦの搬送方向下流側に位置する。

【0031】

ダンサーユニット１０において、フィードロール１ａ，１ｂは、例えば、一対のニップロール５ａ，５ｂとともにフィルムＦを挟むように構成されている。図２には、フィードロール１ａ，１ｂ、ニップロール５ａ，５ｂ及びダンサー２の回転方向が矢印で示されている。ダンサーユニット１０において、一対のフィードロール１ａ，１ｂの回転速度は、それぞれ独立に調整可能に構成されている。

【0032】

ダンサー２には、おもり部材３が吊り下げられている。おもり部材３は、例えば、ダンサー２に取り付けられた紐状部材Ｌと、紐状部材Ｌに設けられた複数のおもり３ａ～３ｄとを備える。複数のおもり３ａ～３ｄは、例えば、それぞれの重さが既知のおもりである。複数のおもり３ａ～３ｄは、例えば、鉛直方向に一列に並ぶように設けられている。

【0033】

ダンサーユニット１０は、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力を調整可能に構成されている。図３を参照しながらダンサーユニット１０におけるダンサー２からフィルムＦに加わる張力の調整方法について説明する。

【0034】

図３（ａ）～図３（ｄ）は、図２に示すダンサーユニット１０の動作を説明するための図である。

【0035】

図３（ａ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが十分に大きいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は最大となる。図３（ａ）に示される状態では、ダンサー２に吊り下げられたおもり部材３のうち、ダンサー２から最も離間したおもり３ｄは、台座４表面と離間している。従って、図３（ａ）に示される状態では、おもり部材３の総重量、すなわちおもり３ａ～３ｄの重量に対応する張力がダンサー２からフィルムＦに加わる。ここで台座４表面とは、台座４の上面のうちおもり部材３に最近接している部分を意味する。

【0036】

図３（ｂ）は、図３（ａ）に示される状態からダンサー２が矢印方向に移動した状態のダンサーユニット１０を示している。例えば、搬送方向下流に位置するフィルムＦに伸びが生じた場合や、所定の時間だけダンサーユニット１０の上流及び下流との間で搬送速度に差を設けた場合、ダンサー２は、図３（ｂ）中矢印方向に移動する。具体的には、搬送方向下流に位置するフィルムＦが加熱等の処理をされた場合や、フィードロール１ｂの回転速度をフィードロール１ａの回転速度よりも低くなるように調整した場合、図３（ａ）に示される状態から図３（ｂ）に示される状態に変化する。

【0037】

図３（ｂ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが図３（ａ）に示される状態よりも小さいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は、図３（ａ）の状態における張力以下の値となる。図３（ｂ）に示される状態では、おもり部材３のうちダンサー２から最も離間したおもり３ｄが台座４表面と接しており、紐状部材Ｌのうちおもり３ｃ及びおもり３ｄの間に位置する部分のみが弛んでいる。図３（ｂ）に示される状態では、おもり部材３の総重量からおもり３ｄの重量を差し引いた重量、すなわちおもり３ａ～３ｃの重量に対応する張力がダンサー２からフィルムＦに加わる。

【0038】

図３（ｃ）は、図３（ｂ）に示される状態からダンサー２が矢印方向に移動した状態のダンサーユニット１０を示している。図３（ｃ）に示される状態は、図３（ａ）から図３（ｂ）に変化する状態を維持することで得られる。すなわち、図３（ｃ）に示される状態は、フィードロール１ｂの回転速度がフィードロール１ａの回転速度よりも低くなるように調整することにより得られる。

【0039】

図３（ｃ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが図３（ｂ）に示される状態よりも小さいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は、図３（ｂ）の状態における張力以下の値をとる。図３（ｃ）に示される状態では、おもり部材３のうちダンサー２から最も離間したおもり３ｄが台座４表面と接しており、紐状部材Ｌのうちおもり３ｂ及びおもり３ｃの間に位置する部分が弛んでいる。図３（ｃ）に示される状態では、おもり部材３の総重量からおもり３ｃ、３ｄの重量を差し引いた重量、すなわちおもり３ａ、３ｂの重量に対応する張力がダンサー２からフィルムＦに加わる。

【0040】

図３（ｄ）は、図３（ｃ）に示される状態からダンサー２が矢印方向に移動した状態のダンサーユニット１０を示している。図３（ｄ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが図３（ｃ）に示される状態よりも小さいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は、図３（ｃ）の状態における張力以下の値をとる。図３（ｄ）に示される状態では、おもり部材３のうちダンサー２から最も離間したおもり３ｄが台座４表面と接しており、ダンサー２及びおもり３ａの間に位置する紐状部材Ｌが弛んでいる。図３（ｄ）に示される状態では、おもり部材３の総重量に対応する張力は、ダンサー２からフィルムＦに加わっていない。図３（ｄ）に示される状態は、図３（ｂ）から図３（ｃ）に変化する状態を維持することで得られる。すなわち、図３（ｄ）に示される状態は、フィードロール１ｂの回転速度がフィードロール１ａの回転速度よりも低くなるように調整することにより得られる。

【0041】

図３（ａ）～図３（ｄ）に示すように、おもり部材３の一部又は全部が台座４に載置され、台座４におもり部材３による荷重がかかるとき、該荷重の大きさに対応してダンサー２からフィルムＦに張力が加えられる。例えば台座４のおもり部材３による荷重が大きくなると、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は小さくなり、台座４のおもり部材３による荷重が小さくなると、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は大きくなる。

【0042】

図３（ａ）～図３（ｄ）では、フィルムＦの伸びやダンサーユニット１０の上流及び下流における搬送速度の違いにより、鉛直方向におけるダンサー２の位置が変化し、ダンサー２及び台座４表面間の距離が調整される例を示したが、台座４の位置を調整することにより、ダンサー２及び台座４表面間の距離を調整してもよい。

【0043】

尚、上記例では、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力を小さくする形態について述べたが、逆の操作をすることにより、ダンサー２からのフィルムＦに加わる張力を大きくすることも可能である。すなわち、図３（ｄ）に示される状態においてフィードロール１ｂの回転速度がフィードロール１ａの回転速度よりも大きくなるように調整することで、図３（ｃ）、図３（ｂ）、図３（ａ）に示される状態を順に得ることも可能である。

【0044】

図４（ａ）～図４（ｄ）は、図２に示すダンサーユニットの他の動作を説明するための図である。ダンサーユニット１０に設けられる台座４は、例えば、上下に駆動可能な上下駆動機構４１上に設けられている。

【0045】

図４（ａ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが十分に大きいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は最大となる。図４（ａ）に示される状態では、ダンサー２に吊り下げられたおもり部材３のうち、ダンサー２から最も離間したおもり３ｄは、台座４表面と離間している。従って、図４（ａ）に示される状態では、おもり部材３の総重量、すなわちおもり３ａ～３ｄの重量に対応する張力がダンサー２からフィルムＦに加わる。

【0046】

図４（ｂ）は、図４（ａ）に示される状態から台座４が上下駆動機構４１により矢印方向に移動した状態のダンサーユニット１０を示している。図４（ｂ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが図４（ａ）に示される状態よりも小さいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は、図４（ａ）の状態における張力以下の値となる。図４（ｂ）に示される状態では、おもり部材３のうちダンサー２から最も離間したおもり３ｄが台座４表面と接しており、紐状部材Ｌのうちおもり３ｃ及びおもり３ｄの間に位置する部分のみが弛んでいる。図４（ｂ）に示される状態では、おもり部材３の総重量からおもり３ｄの重量を差し引いた重量、すなわちおもり３ａ～おもり３ｃの重量に対応する張力がダンサー２からフィルムＦに加わる。

【0047】

図４（ｃ）は、図４（ｂ）に示される状態から台座４が上下駆動機構４１により矢印方向に移動した状態のダンサーユニット１０を示している。図４（ｃ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが図４（ｂ）に示される状態よりも小さいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は、図４（ｂ）の状態における張力以下の値をとる。図４（ｃ）に示される状態では、おもり部材３のうちダンサー２から最も離間したおもり３ｄが台座４表面と接しており、紐状部材Ｌのうちおもり３ｂ及びおもり３ｃの間に位置する部分が弛んでいる。図４（ｃ）に示される状態では、おもり部材３の総重量からおもり３ｃ、３ｄの重量を差し引いた重量、すなわちおもり３ａ、３ｂの重量に対応する張力がダンサー２からフィルムＦに加わる。

【0048】

図４（ｄ）は、図４（ｃ）に示される状態から台座４が上下駆動機構４１により矢印方向に移動した状態のダンサーユニット１０を示している。図４（ｄ）に示されるように、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄが図４（ｃ）に示される状態よりも小さいとき、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は、図４（ｃ）の状態における張力以下の値をとる。図４（ｄ）に示される状態では、おもり部材３のうちダンサー２から最も離間したおもり３ｄが台座４表面と接しており、ダンサー２及びおもり３ａの間に位置する紐状部材Ｌが弛んでいる。図４（ｄ）に示される状態では、おもり部材３の総重量に対応する張力は、ダンサー２からフィルムＦに加わっていない。

【0049】

図４（ａ）～図４（ｄ）に示すように、おもり部材３の一部が台座４と接し、台座４におもり部材３による荷重がかかるとき、該荷重の大きさに対応してダンサー２からフィルムＦに張力が加えられる。例えば、台座４のおもり部材３による荷重が大きくなると、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は小さくなり、台座４のおもり部材３による荷重が小さくなると、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力は大きくなる。

【0050】

ダンサー２の台座４表面からの距離ｄは、例えば、位置検出用のレーザセンサ等の位置検出機材２０用いて測定可能である。位置検出機材２０は、例えば、レーザセンサであり、カメラ及び定規等を用いてもよい。

【0051】

図１～図４においては、おもり部材３が４つのおもり３ａ～３ｄを含む例を示したが、本実施形態に係るダンサーユニット１０に備えられるおもり部材３は、この例に限定されず、一又は複数のおもりを含んでいればよい。おもりの数がいずれの場合においても、該おもりの位置を位置検出機材２０により識別することで、おもりがフィルムＦに及ぼす張力を識別可能に構成されていればよい。ただ一つのおもりを含む場合、おもり及び台座が接しているか否かにより、ダンサー２からフィルムＦに加わる張力を調整可能である。
また、台座４は、おもり部材からの荷重を秤量可能な秤を含んでいてもよい。

【0052】

上述したように、本実施形態によれば、ダンサーユニット１０が、一対のフィードロール１ａ，１ｂと、フィルムＦを搬送する方向において、一対のフィードロール１ａ，１ｂの間に設けられたダンサー２と、ダンサー２に吊り下げられたおもり部材とを備えるので、位置検出機材２０で測定されるダンサー２の台座４表面からの距離ｄに基づき、ダンサー２によりフィルムＦに加わる張力を調整することができる。したがって簡便な構造でダンサーからフィルム状の基材に加わる張力を容易に調整可能なダンサーユニット、フィルム搬送機構及び該フィルム搬送機構を利用して、ダンサー２の台座４表面からの距離ｄに基づき、ダンサー２によりフィルムＦに加わる張力を調整する工程を有するフィルム搬送方法を提供することができる。

【符号の説明】

【0053】

１，１ａ，１ｂ：フィードロール、２：ダンサー、３：おもり部材、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ：おもり、４：台座、５，５ａ，５ｂ：ニップロール、１０：ダンサーユニット、２０：位置検出機材、１００：搬送機構、Ｌ：紐状部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】