特開 2025-32880 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025032880

(43)【公開日】2025-03-12

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/84 20060101AFI20250305BHJP

【ＦＩ】

G01N21/84 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023138381

(22)【出願日】2023-08-28

(71)【出願人】

【識別番号】000003942

【氏名又は名称】日新電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】宗像 秀太

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA90

2G051AB02

2G051AC19

2G051BA20

2G051BB01

2G051BC07

2G051CA03

2G051CA04

2G051CA06

2G051CB01

2G051DA15

(57)【要約】

【課題】ワークの欠陥部分を容易に検出することが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置（１）は、先端に設けられた取付板の位置および方向を変更可能とするロボットアーム（１００）と、取付板に沿って移動可能に設けられ、ワークの映像を撮像する撮像部（１０３）と、取付板に沿って移動可能に設けられ、ワーク表面を照射する照明部（１０４）と、撮像部（１０３）によって撮像された映像に基づいて、ワーク表面の検査を行う検査部（２０２）と、を備える。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

先端に設けられた取付板の位置および方向を変更可能とするロボットアームと、
前記取付板に沿って移動可能に設けられ、ワークの映像を撮像する撮像部と、
前記取付板に沿って移動可能に設けられ、前記ワーク表面を照射する照明部と、
前記撮像部によって撮像された映像に基づいて、前記ワーク表面の検査を行う検査部と、を備える検査装置。

【請求項2】

前記撮像部は、前記ワークの撮像位置を中心とした円弧上を移動可能なように構成されている、
請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記照明部は、前記撮像部による前記ワークの撮像位置を中心とした円弧上を移動可能なように構成されている、
請求項１または２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記検査装置はさらに、前記撮像部および前記照明部の移動を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記ワークの品種に応じて、前記撮像部および前記照明部の移動を制御する、
請求項３に記載の検査装置。

【請求項5】

前記検査装置はさらに、前記取付板上に設けられ、前記ワーク上の欠陥部をマークするためのマーカを備える、
請求項１に記載の検査装置。

【請求項6】

前記検査装置はさらに、前記ワークが載置され、前記検査装置に対して搬入および搬出される載置台を有する台車を備え、
前記載置台は、前記撮像部によって前記ワークの裏面が撮像可能となるように、反転可能に前記台車に設けられる、
請求項１に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークの検査を行う検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、デジタルカメラ等によってワークの画像を取り込んで、ワークの表面の傷等を検査する装置が提案されている。これに関連する技術として、下記の特許文献１に開示された発明がある。

【0003】

特許文献１には、ロボットアームの先端にカメラ及び照明が固定されており、ＬＥＤを使用した照明および対象物を撮影するカメラが角度を調整可能に装着されていることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－４６１０３号公報（２００８年２月２８日公開）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に開示されたロボットアームにおいては、照明およびカメラの位置が固定されているため、例えば、ロボットアームを固定したまま、ワークの同じ位置に対する照明の角度の変更、等が困難である。

【0006】

本発明の一態様は、ワークの欠陥部分を容易に検出することが可能な検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査装置は、先端に設けられた取付板の位置および方向を変更可能とするロボットアームと、前記取付板に沿って移動可能に設けられ、ワークの映像を撮像する撮像部と、前記取付板に沿って移動可能に設けられ、前記ワーク表面を照射する照明部と、前記撮像部によって撮像された映像に基づいて、前記ワーク表面の検査を行う検査部と、を備える。

【発明の効果】

【0008】

本発明の一態様によれば、ワークの欠陥部分を容易に検出することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施形態に係る検査装置の台車搬入側から見た外観の一例を示す図である。

【図2】本発明の実施形態に係る検査装置の操作部側から見た外観の一例を示す図である。

【図3】本発明の実施形態に係る検査装置内部の一例を示す図である。

【図4】ロボットアームの外観例を示す図である。

【図5】ロボットアームの平面図および側面図である。

【図6】台車の外観例を示す図である。

【図7】台車の載置台が反転可能な状態であることを示す図である。

【図8】台車の載置台が固定状態であることを示す図である。

【図9】本発明の実施形態に係る検査装置の機能的な構成例を示すブロック図である。

【図10】本発明の実施形態に係る検査装置の処理手順を説明するためのフローチャートである。

【図11】図１０に示す半自動モードにおける検査の詳細を説明するためのフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0010】

［実施形態］
＜検査装置１の外観例＞
図１は、本発明の実施形態に係る検査装置１の台車搬入側から見た外観の一例を示す図である。検査装置１に後述のロボットアームが配置されており、ワークを載置した台車３００が搬入されてワークの検査が行われる。なお、図１においては、検査装置１の前面の扉が閉じられた状態を示している。

【0011】

図１に示すように、検査装置１の下部にはガイド５００が設けられており、このガイド５００に沿って台車３００が搬入および搬出される。したがって、台車３００に載置されたワークの位置決めが容易に行える。

【0012】

図２は、本発明の実施形態に係る検査装置１の操作部２０４側から見た外観の一例を示す図である。後述のように、作業者が操作部２０４を操作することによって、ワークの検査が行われる。なお、図２においては、検査装置１の背面の扉が閉じられた状態を示している。

【0013】

図３は、本発明の実施形態に係る検査装置の内部の一例を示す図である。図３に示すように、検査装置１は、上部にロボットアーム１００が配置されており、ロボットアーム１００の下にワークが載置された台車３００が運び込まれる。

【0014】

図４は、ロボットアーム１００の外観例を示す図である。ロボットアーム１００の先端には、取付板１０２が設けられている。ロボットアーム１００は、取付板１０２を任意の位置および方向に移動可能な装置であり、多関節ロボットやリニア駆動装置を組み合わせたロボットなどのように、周知のロボットアームを用いることができる。

【0015】

取付板１０２には、取付板１０２上を移動可能に設けられ、検査対象であるワークの映像を撮像する撮像部１０３と、取付板１０２上を移動可能に設けられ、ワーク表面を照射する照明部１０４と、取付板１０２上に設けられ、ワーク上の欠陥部分をマークするためのマーカ１０５と、が設けられている。なお、ロボットアーム１００には、所定の位置に固着されたコンタミ等を吹き飛ばすためのイオナイザーが備えられていてもよい。

【0016】

図５は、ロボットアーム１００の平面図および側面図である。図５の左図がロボットアーム１００の平面図であり、図５の右図がロボットアーム１００の側面図である。ロボットアーム１００の平面図に示すように、ロボットアーム１００は、アーム本体１０１と、ロボットアーム１００の先端に設けられた取付板１０２と、を備えている。なお、アーム本体１０１のみをロボットアームと呼ぶ場合もある。

【0017】

撮像部１０３は、例えば、ステッピングモータによって、ワークの撮像位置１２０を中心とした円弧上を移動可能となるように、取付板１０２上に設けられている。図５においては、撮像部１０３が、４８°の円弧上の範囲内で移動可能となるように設けられているが、移動範囲はこれに限定されるものではない。

【0018】

また、照明部１０４も同様に、例えば、ステッピングモータによって、ワークの撮像位置１２０を中心とした円弧上を移動可能となるように、取付板１０２上に設けられている。図５においては、照明部１０４が、４８°の円弧上の範囲内で移動可能となるように設けられているが、移動範囲はこれに限定されるものではない。

【0019】

このように、ロボットアーム１００を固定したままであっても、撮像部１０３および照明部１０４を、ワークの撮像位置１２０を中心とした円弧上の任意の位置に移動させることにより、ワークの同じ位置に対する照明の角度を任意に変更することができる。そのため、撮像部１０３および照明部１０４の位置を変更してワークの欠陥部分のコントラスト差を強調することができ、欠陥部分の検出を容易にすることが可能となる。

【0020】

また、図５の側面図に示すように、取付板１０２にはマーカ１０５が取り付けられており、取付板１０２を傾けることによって、マーカ１０５が前方に出てくるようになっている。この状態で、検査装置１は、撮像部１０３によって撮像された映像から検出された欠陥部の位置を参照しながら、ロボットアーム１００を移動させることによって、ワーク上で発見された欠陥部分をマークすることができる。

【0021】

図６は、台車３００の外観例を示す図である。台車３００は、大きく、ワークを載置する載置台３０１と、載置台３０１を固定するための固定部３０２とに分けられる。図６においては、ワーク４００の一例として、Ｏリング溝が設けられたフランジが載置台３０１に載置される場合を示している。

【0022】

固定部３０２は、載置台３０１を固定するための部位であり、ロックハンドル３０３の回転によって、載置台３０１を固定状態にするか、載置台３０１を反転可能な状態にするかを選択することができる。以下、ロックハンドルを単にハンドルと呼ぶことにする。

【0023】

図７は、台車３００の固定部３０２の外観例を示す図であり、台車３００の載置台３０１が反転可能な状態であることを示している。固定部３０２にはハンドル３０３が設けられており、ハンドル３０３が図７に示す状態のとき、載置台３０１を固定している固定ピンが抜けて、載置台３０１を回転させてワーク４００を反転することが可能となる。

【0024】

図８は、台車３００の固定部３０２の外観例を示す図であり、台車３００の載置台３０１が固定状態であることを示している。固定部３０２にはハンドル３０３が設けられており、ハンドル３０３が図８に示す状態のとき、固定ピンによって載置台３０１が固定されている。

【0025】

＜検査装置１の機能的構成＞
図９は、本発明の実施形態に係る検査装置１の機能的な構成例を示すブロック図である。検査装置１は、ロボットアーム１００と、情報処理装置２００と、台車３００と、を備えている。

【0026】

ロボットアーム１００は、撮像部１０３と、照明部１０４と、撮像部駆動部１１０と、照明部駆動部１１１と、ロボットアーム駆動部１１２と、を含む。撮像部１０３は、２次元画像を撮影可能なＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等によって構成され、ワーク４００の表面の画像を撮像する。撮像部１０３によって撮影された映像は、情報処理装置２００に出力される。

【0027】

撮像部駆動部１１０は、ステッピングモータ等によって構成され、情報処理装置２００からの指示に応じて、撮像部１０３を取付板１０２上で移動させる。図５に示すように、ワークの撮像位置１２０を中心とした円弧上を移動可能となるように、取付板１０２上に設けられている。撮像部駆動部１１０は、情報処理装置２００からの指示により、図５に示すように、４８°の円弧の範囲内で撮像部１０３を移動させることができる。

【0028】

照明部１０４は、白色バックライト照明、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）照明等によって構成され、ワーク４００の検査範囲に対して平行光を広範囲に照射可能に設けられている。

【0029】

照明部駆動部１１１は、ステッピングモータ等によって構成され、情報処理装置２００からの指示に応じて、照明部１０４を取付板１０２上で移動させる。図５に示すように、ワークの撮像位置１２０を中心とした円弧上を移動可能となるように、取付板１０２上に設けられている。照明部駆動部１１１は、情報処理装置２００からの指示により、図５に示すように、４８°の円弧の範囲内で照明部１０４を移動させることができる。

【0030】

情報処理装置２００は、撮像部１０３および照明部１０４を、ワーク４００に対してＶ字に傾けることにより、撮像部１０３はワーク４００の溝面の正常面と異常面（欠陥部分）との反射光の違いを撮像して、欠陥部分を検出することができるようになる。情報処理装置２００は、溝面の正常面と異常面（欠陥部分）とのコントラスト差が大きくなるように（例えば、３０～４０階調差となるように）、溝局面に沿って撮像部１０３および照明部１０４を移動させる。

【0031】

ロボットアーム駆動部１１２は、リニア駆動装置などによって構成され、情報処理装置２００からの指示により、上述のように、取付板１０２を任意の位置および方向に移動させることができる。

【0032】

情報処理装置２００は、映像入力部２０１と、検査部２０２と、制御部２０３と、操作部２０４と、を含む。映像入力部２０１は、撮像部１０３によって撮像された映像を入力し、映像を検査部２０２へ出力する。

【0033】

検査部２０２は、映像入力部２０１から映像を取得し、一般的な画像処理を行うことにより、ワーク４００上の欠陥部分を検出する。なお、検査部２０２は、後述のように、欠陥部分のボイド径が０．１６ｍｍ以上の場合に完全な欠陥であるとしてComplete NGと判定し、欠陥部分のボイド径が０．１６ｍｍ以下の場合に曖昧な欠陥であるとしてFuzzy NGと判定する。

【0034】

制御部２０３は、撮像部駆動部１１０、照明部駆動部１１１およびロボットアーム駆動部１１２を制御することにより、取付板１０２、撮像部１０３および照明部１０４を移動させながら、ワーク４００の溝曲面の映像を順次取得する。

【0035】

また、制御部２０３は、ワーク４００の品種に応じて、撮像部１０３および照明部１０４の移動を制御するようにしてもよい。例えば、Ｏリング溝がＶ溝の場合とＵ溝の場合とでは、溝面の正常面と異常面（欠陥部分）とのコントラスト差が異なるため、ワーク４００の品種に応じて撮像部１０３および照明部１０４の位置を変更するようにしてもよい。

【0036】

操作部２０４は、タッチパネル等によって構成されており、作業者がパネルをタッチすることによって各種操作が受け付けられる。操作部２０４は、作業者によって入力された各種操作の指示を制御部２０３に通知する。

【0037】

＜検査装置１の処理手順＞
図１０は、本発明の実施形態に係る検査装置の処理手順を説明するためのフローチャートである。なお、自動モードとは、作業者が介在することなくワーク４００の検査を行うモードである。また、半自動モードとは、作業者が介在してワーク４００の検査を行うモードである。

【0038】

まず、作業者は、ロボット架台前（図３に示すロボットアーム１００の前）に台車３００を搬入し、検査装置１をカバーするためのカバー扉を開き、台車３００の位置決めを行う（Ｓ１）。次に、作業者は、台車３００をリフトアップし、カバー扉を閉める（Ｓ２）。

【0039】

次に、作業者は、情報処理装置２００に備えられた操作部２０４を操作することにより、ワーク４００の品種設定、アライメント補正、検査箇所指示、自動または半自動選択、等を行う（Ｓ３）。

【0040】

次に、検査装置１は、台車３００の位置決め補正（ｘ，ｙ方向）を行い（Ｓ４）、ワーク４００の位置決め補正（ｚ方向）を行い（Ｓ５）、アライメント補正を実施する。なお、このアライメント補正は、本発明に特に関連するものではないため、詳細な説明は行わない。

【0041】

次に、制御部２０３は、作業者によって自動モードおよび半自動モードの何れが選択されたかを判定する（Ｓ６）。作業者によって自動モードが選択された場合、制御部２０３は、撮像部駆動部１１０、照明部駆動部１１１およびロボットアーム駆動部１１２を制御することにより、取付板１０２、撮像部１０３および照明部１０４を移動させながら、ワーク４００の溝曲面の映像を順次取得する。そして、検査部２０２は、撮像部１０３によって撮像された映像に対して画像解析を行うことにより、欠陥部分のボイド径が０．１６ｍｍ以上のComplete NG、および欠陥部分のボイド径が０．１６ｍｍ以下のFuzzy NGを検出する（Ｓ７）。Complete NGが検出された場合には、マーカ１０５を用いて欠陥部分にマーキングを実施する。なお、このＳ７の処理は、Complete NGまたはFuzzy NGが検出された場合でも、継続して行われる。そして、作業者によって指示された検査箇所を全て検査したときに、ステップＳ７の処理が終了する。

【0042】

また、ステップＳ６において、作業者によって半自動モードが選択された場合、制御部２０３は、半自動モードで検査を行い（Ｓ８）、ステップＳ９に処理が進む。なお、ステップＳ８の処理の詳細は後述する。

【0043】

次に、作業者は、カバー扉を開き（Ｓ９）、ワーク４００を反転させる（Ｓ１０）。そして、作業者は、カバー扉を閉め（Ｓ１１）、情報処理装置２００に備えられた操作部２０４を操作することにより、ワーク４００の品種設定、アライメント補正、検査箇所指示、自動または半自動選択、等を行う（Ｓ１２）。

【0044】

次に、検査装置１は、台車３００の位置決め補正（ｘ，ｙ方向）を行い（Ｓ１３）、ワーク４００の位置決め補正（ｚ方向）を行い（Ｓ１４）、アライメント補正を実施する。

【0045】

次に、制御部２０３は、作業者によって自動モードおよび半自動モードの何れが選択されたかを判定する（Ｓ１５）。作業者によって自動モードが選択された場合、ステップＳ７と同様の処理が行われる（Ｓ１６）。また、作業者によって半自動モードが選択された場合、ステップＳ８と同様の処理が行われる（Ｓ１７）。

【0046】

次に、作業者は、カバー扉を開き、台車３００をリフトダウンする（Ｓ１８）。そして、作業者は、カバー扉を閉じ、ロボット架台前から台車３００を搬出し（Ｓ１９）、処理を終了する。

【0047】

図１１は、図１０に示す半自動モードでの検査（Ｓ８，Ｓ１７）の処理の詳細を説明するためのフローチャートである。まず、作業者は、情報処理装置２００に備えられた操作部２０４を操作することにより、半自動モードでの検査開始を示す開始ボタンを押下し（Ｓ８１）、情報処理装置２００は、半自動モードにおける検査を開始する（Ｓ８２）。

【0048】

制御部２０３は、撮像部駆動部１１０、照明部駆動部１１１およびロボットアーム駆動部１１２を制御することにより、取付板１０２、撮像部１０３および照明部１０４を移動させながら、ワーク４００の溝曲面の映像を順次取得する。そして、検査部２０２は、撮像部１０３によって撮像された映像に対して画像解析を行うことにより、Complete NGまたはFuzzy NGを検出する。

【0049】

Complete NGおよびFuzzy NGの何れも検出されなかった場合（Ｓ８３，Ｙｅｓ）、作業者は、情報処理装置２００に備えられた操作部２０４の終了確認ボタンを押下し（Ｓ８７）、検査を終了してステップＳ９に処理が進む。

【0050】

また、Complete NGが検出された場合（Ｓ８４，Ｙｅｓ）、制御部２０３は、Complete NGが検出されたことを作業者に通知し（Ｓ８８）、マーカ１０５を用いて欠陥部分にマーキングを実施する（Ｓ８９）。

【0051】

そして、作業者によって検査再開ボタンが押下されると、検査を再開する（Ｓ９０）。そして、検査が終了した場合、作業者が、終了確認ボタンを押下し（Ｓ８７）、検査を終了してステップＳ９に処理が進む。

【0052】

また、Fuzzy NGが検出された場合（Ｓ８５，Ｙｅｓ）、制御部２０３は、Fuzzy NGが検出されたことを作業者に通知し（Ｓ１００）、情報処理装置２００に備えられた操作部２０４に作業者確認アラームを表示する（Ｓ１０１）。また、音によって作業者にアラームを通知するようにしてもよい。

【0053】

次に、作業者は、カバー扉を開き、ワーク４００の確認作業を行う（Ｓ１０２）。そして、作業者は、カバー扉を閉め、情報処理装置２００に備えられた操作部２０４を操作することにより、欠陥部分のマーキングを実施するか否かを指示する（１０３）。

【0054】

欠陥部分のマーキングを実施する場合（Ｓ１０３，実施）、作業者は、作業者確認用アラームを解除し（Ｓ１０４）、検査が再開される（Ｓ１０５）。そして、制御部２０３は、マーカ１０５を用いて欠陥部分にマーキングを実施し（Ｓ１０６）、撮像部１０３による撮像が継続され（Ｓ１０７）、検査が終了すると（Ｓ１０８）、ステップＳ８７に処理が進む。

【0055】

また、欠陥部分のマーキングを実施しない場合（Ｓ１０３，未実施）、作業者は、作業者確認用アラームを解除し（Ｓ１０９）、検査が再開され（Ｓ１１０）、ステップＳ１０７に処理が進む。

【0056】

また、Complete NGおよびFuzzy NGの両方が検出された場合（Ｓ８６，Ｙｅｓ）、制御部２０３は、Complete NGが検出されたことを作業者に通知し（Ｓ１２０）、マーカ１０５を用いて欠陥部分にマーキングを実施する（Ｓ１２１）。そして、作業者によって検査再開ボタンが押下されると、検査を再開し（Ｓ１２２）、ステップＳ１００に処理が進む。

【0057】

＜検査装置１の効果＞
以上説明したように、本実施形態に係る検査装置１によれば、撮像部１０３および照明部１０４が、ワーク４００の撮像位置を中心とした円弧上を移動可能に、取付板１０２上に設けられている。したがって、制御部２０３が、撮像部１０３および照明部１０４を移動させることによって、溝面の正常面と異常面（欠陥部分）とのコントラスト差を大きくすることができ、検査部２０２は、ワークの欠陥部分を容易に検出することが可能となる。

【0058】

また、制御部２０３は、ワーク４００の品種に応じて、撮像部１０３および照明部１０４の移動を制御するので、溝面の正常面と異常面（欠陥部分）とのコントラスト差がより大きくなるようにすることができる。

【0059】

また、検査装置１はさらに、取付板１０２上に設けられ、ワーク４００上の欠陥部分をマークするためのマーカを備えるので、作業者は、欠陥部分を容易に識別することが可能となる。

【0060】

また、台車３００の載置台３０１は、撮像部１０３によってワーク４００の裏面が撮像可能となるように、反転可能に台車３００に設けられている。したがって、作業者は、重いワークであっても容易に反転することができ、作業負荷を軽減することが可能となる。

【0061】

〔ソフトウェアによる実現例〕
検査装置１の制御ブロック（特に検査部２０２、制御部２０３）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ソフトウェアによって実現してもよい。

【0062】

後者の場合、検査装置１は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するコンピュータを備えている。このコンピュータは、例えば１つ以上のプロセッサを備えていると共に、上記プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を備えている。そして、上記コンピュータにおいて、上記プロセッサが上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記プロセッサとしては、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いることができる。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の他、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などをさらに備えていてもよい。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

【0063】

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る検査装置は、先端に設けられた取付板の位置および方向を変更可能とするロボットアームと、前記取付板に沿って移動可能に設けられ、ワークの映像を撮像する撮像部と、前記取付板に沿って移動可能に設けられ、前記ワーク表面を照射する照明部と、前記撮像部によって撮像された映像に基づいて、前記ワーク表面の検査を行う検査部と、を備える。

【0064】

本発明の態様２に係る検査装置は、上記態様１において、前記撮像部は、前記ワークの撮像位置を中心とした円弧上を移動可能なように構成されている。

【0065】

本発明の態様３に係る検査装置は、上記態様１または２において、前記照明部は、前記撮像部による前記ワークの撮像位置を中心とした円弧上を移動可能なように構成されている。

【0066】

本発明の態様４に係る検査装置は、上記態様１～３のいずれかにおいて、前記検査装置はさらに、前記撮像部および前記照明部の移動を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記ワークの品種に応じて、前記撮像部および前記照明部の移動を制御する。

【0067】

本発明の態様５に係る検査装置は、上記態様１～４のいずれかにおいて、前記検査装置はさらに、前記取付板上に設けられ、前記ワーク上の欠陥部をマークするためのマーカを備える。

【0068】

本発明の態様６に係る検査装置は、上記態様１～５のいずれかにおいて、前記検査装置はさらに、前記ワークが載置され、前記検査装置に対して搬入および搬出される載置台を有する台車を備え、前記載置台は、前記撮像部によって前記ワークの裏面が撮像可能となるように、反転可能に前記台車に設けられる。

【0069】

〔付記事項〕
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0070】

１ 検査装置
１００ ロボットアーム
１０１ アーム本体
１０２ 取付板
１０３ 撮像部
１０４ 照明部
１０５ マーカ
１１０ 撮像部駆動部
１１１ 照明部駆動部
１１２ ロボットアーム駆動部
２０１ 映像入力部
２０２ 検査部
２０３ 制御部
２０４ 操作部
３００ 台車
３０１ 載置台
３０２ 固定部
３０３ ハンドル
４００ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】