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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025032967
(43)【公開日】2025-03-12
(54)【発明の名称】対物レンズ
(51)【国際特許分類】
G02B 21/02 20060101AFI20250305BHJP
【ＦＩ】
G02B21/02
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2024108528
(22)【出願日】2024-07-05
(31)【優先権主張番号】202311095559.2
(32)【優先日】2023-08-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN
(71)【出願人】
【識別番号】322004393
【氏名又は名称】株式会社エビデント
(74)【代理人】
【識別番号】110004185
【氏名又は名称】インフォート弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】洪 宜萍
(72)【発明者】
【氏名】中川 孝司
【テーマコード（参考）】
2H087
【Ｆターム（参考）】
2H087KA09
2H087LA01
2H087NA14
2H087PA02
2H087PA05
2H087PA07
2H087PA16
2H087PA19
2H087PB04
2H087PB09
2H087PB11
2H087PB13
2H087PB15
2H087QA02
2H087QA03
2H087QA06
2H087QA07
2H087QA12
2H087QA14
2H087QA21
2H087QA22
2H087QA25
2H087QA26
2H087QA37
2H087QA39
2H087QA41
2H087QA42
2H087QA45
2H087QA46
2H087RA42
(57)【要約】
【課題】高ＮＡと長ＷＤを有し、且つ、十分に広い視野内において収差が良好に補正された対物レンズを提供する。
【解決手段】対物レンズ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を有し正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も物体側に有する正の屈折力を有する正の第１レンズ群と、正負正からなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、負正負からなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、像側に凹面を有し負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も像側に有する負の第４レンズ群と、物体側に凹面を有し負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も物体側に有する第５レンズ群と、からなる。対物レンズ１は、以下の条件式を満たす。但し、ｆは対物レンズの焦点距離であり、ｆ２は第２レンズ群の焦点距離である。
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
【選択図】図１
【解決手段】対物レンズ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を有し正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も物体側に有する正の屈折力を有する正の第１レンズ群と、正負正からなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、負正負からなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、像側に凹面を有し負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も像側に有する負の第４レンズ群と、物体側に凹面を有し負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も物体側に有する第５レンズ群と、からなる。対物レンズ１は、以下の条件式を満たす。但し、ｆは対物レンズの焦点距離であり、ｆ２は第２レンズ群の焦点距離である。
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
対物レンズであって、物体側から順に配置された、
正の屈折力を有する第１レンズ群であって、前記物体側に凹面を有する第１メニスカスレンズ成分であって正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する、第１レンズ群と、
正レンズと負レンズと正レンズからなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、
負レンズと正レンズと負レンズからなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、
負の屈折力を有する第４レンズ群であって、像側に凹面を有する第２メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も前記像側に有する、第４レンズ群と、
前記物体側に凹面を有する第３メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する第５レンズ群と、からなり、
以下の条件式
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
を満たす
ことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｆは、前記対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
正の屈折力を有する第１レンズ群であって、前記物体側に凹面を有する第１メニスカスレンズ成分であって正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する、第１レンズ群と、
正レンズと負レンズと正レンズからなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、
負レンズと正レンズと負レンズからなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、
負の屈折力を有する第４レンズ群であって、像側に凹面を有する第２メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も前記像側に有する、第４レンズ群と、
前記物体側に凹面を有する第３メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する第５レンズ群と、からなり、
以下の条件式
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
を満たす
ことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｆは、前記対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
【請求項2】
白色干渉計用の対物レンズであって、物体側から順に配置された、
ビームスプリッタと、
参照ミラーと、
正の屈折力を有する第１レンズ群であって、前記物体側に凹面を有する第１メニスカスレンズ成分であって正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する、第１レンズ群と、
正レンズと負レンズと正レンズからなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、
負レンズと正レンズと負レンズからなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、
負の屈折力を有する第４レンズ群であって、像側に凹面を有する第２メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も前記像側に有する、第４レンズ群と、
前記物体側に凹面を有する第３メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する第５レンズ群と、からなり、
以下の条件式
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
を満たす
ことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｆは、前記対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
ビームスプリッタと、
参照ミラーと、
正の屈折力を有する第１レンズ群であって、前記物体側に凹面を有する第１メニスカスレンズ成分であって正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する、第１レンズ群と、
正レンズと負レンズと正レンズからなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、
負レンズと正レンズと負レンズからなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、
負の屈折力を有する第４レンズ群であって、像側に凹面を有する第２メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も前記像側に有する、第４レンズ群と、
前記物体側に凹面を有する第３メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する第５レンズ群と、からなり、
以下の条件式
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
を満たす
ことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｆは、前記対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
【請求項3】
請求項１または請求項２に記載の対物レンズにおいて、
以下の条件式
０．０５ ＜ ｜ｆ／ｆ３｜ ＜ ０．２ ・・・（２）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｆ３は、前記第３レンズ群の焦点距離である。
以下の条件式
０．０５ ＜ ｜ｆ／ｆ３｜ ＜ ０．２ ・・・（２）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｆ３は、前記第３レンズ群の焦点距離である。
【請求項4】
請求項１または請求項２に記載の対物レンズにおいて、
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
１７ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ４０ ・・・（３）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ν１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ν２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数である。
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
１７ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ４０ ・・・（３）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ν１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ν２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数である。
【請求項5】
請求項１または請求項２に記載の対物レンズにおいて、
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｎ１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率であり、ｎ２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率である。
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｎ１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率であり、ｎ２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率である。
【請求項6】
請求項１または請求項２に記載の対物レンズにおいて、
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
【請求項7】
請求項１または請求項２に記載の対物レンズにおいて、
前記第１レンズ群は、前記物体側に凹面を向けた１枚の正のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第１レンズ群は、前記物体側に凹面を向けた１枚の正のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項8】
請求項１または請求項２に記載の対物レンズにおいて、
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項9】
請求項３に記載の対物レンズにおいて、
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
１７ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ４０ ・・・（３）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ν１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ν２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数である。
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
１７ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ４０ ・・・（３）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ν１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ν２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｄ線に対するアッベ数である。
【請求項10】
請求項３に記載の対物レンズにおいて、
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｎ１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率であり、ｎ２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率である。
前記第１メニスカスレンズ成分は、２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであり、
以下の条件式
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｎ１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率であり、ｎ２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率である。
【請求項11】
請求項３に記載の対物レンズにおいて、
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
【請求項12】
請求項３に記載の対物レンズにおいて、
前記第１レンズ群は、前記物体側に凹面を向けた１枚の正のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第１レンズ群は、前記物体側に凹面を向けた１枚の正のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項13】
請求項３に記載の対物レンズにおいて、
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項14】
請求項９に記載の対物レンズにおいて、
以下の条件式
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｎ１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率であり、ｎ２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率である。
以下の条件式
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ｎ１は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記物体側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率であり、ｎ２は前記２枚のメニスカスレンズのうちの前記像側に配置されたメニスカスレンズのｅ線に対する屈折率である。
【請求項15】
請求項９に記載の対物レンズにおいて、
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
【請求項16】
請求項９に記載の対物レンズにおいて、
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項17】
請求項１２に記載の対物レンズにおいて、
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項18】
請求項１４に記載の対物レンズにおいて、
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
以下の条件式
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
を満たすことを特徴とする対物レンズ。
但し、ＷＤは標本面から前記第１レンズ群の最も前記物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長であり、Ｌは前記第１レンズ群の最も前記物体側の面から前記第５レンズ群の最も前記像側の面までの光軸上の距離である。
【請求項19】
請求項１４に記載の対物レンズにおいて、
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項20】
請求項１８に記載の対物レンズにおいて、
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
前記第４レンズ群は、前記像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなる
ことを特徴とする対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本明細書の開示は、対物レンズに関する。
【背景技術】
【0002】
ウェハの検査などの産業用途で用いられる対物レンズには、高分解能で高いスループットを実現するため、高開口数（ＮＡ）と広視野の両立が望まれている。また、さらに高いスループットを実現するためには、被検物と対物レンズとの衝突リスクを回避しながら搬送速度を向上させる必要があるため、長い作動距離（ＷＤ）も望まれている。
【0003】
このような技術的な課題に関連する技術は、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第３０９３８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１には、高いＮＡを実現した２０Ｘ対物レンズが記載されているが、ＷＤは１ｍｍ程度であり、さらに長いＷＤを有する対物レンズが望まれている。
【0006】
以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、高ＮＡと長ＷＤを有し、且つ、十分に広い視野内において収差が良好に補正された対物レンズを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一態様に係る対物レンズは、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第１レンズ群であって、前記物体側に凹面を有する第１メニスカスレンズ成分であって正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する、第１レンズ群と、正レンズと負レンズと正レンズからなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、負レンズと正レンズと負レンズからなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群であって、像側に凹面を有する第２メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も前記像側に有する、第４レンズ群と、前記物体側に凹面を有する第３メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する第５レンズ群と、からなる。対物レンズは、以下の条件式を満たす。但し、ｆは、前記対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
【0008】
本発明の別の態様に係る対物レンズは、白色干渉計用の対物レンズであって、物体側から順に配置された、ビームスプリッタと、参照ミラーと、正の屈折力を有する第１レンズ群であって、前記物体側に凹面を有する第１メニスカスレンズ成分であって正の屈折力を有する第１メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する、第１レンズ群と、正レンズと負レンズと正レンズからなる第１の３枚接合レンズからなる第２レンズ群と、負レンズと正レンズと負レンズからなる第２の３枚接合レンズからなる第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群であって、像側に凹面を有する第２メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第２メニスカスレンズ成分を最も前記像側に有する、第４レンズ群と、前記物体側に凹面を有する第３メニスカスレンズ成分であって負の屈折力を有する第３メニスカスレンズ成分を最も前記物体側に有する第５レンズ群と、からなる。対物レンズは、以下の条件式
を満たす。但し、ｆは、前記対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
を満たす。但し、ｆは、前記対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
【発明の効果】
【0009】
上記の態様によれば、高ＮＡと長ＷＤを有し、且つ、十分に広い視野内において収差が良好に補正された対物レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明の実施例１に係る対物レンズ１の断面図である。
【図2】結像レンズ１０の断面図である。
【図3】対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【図4】本発明の実施例２に係る対物レンズ２の断面図である。
【図5】対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【図6】本発明の実施例３に係る対物レンズ３の断面図である。
【図7】対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【図8】本発明の実施例４に係る対物レンズ４の断面図である。
【図9】対物レンズ４と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【図10】本発明の実施例５に係る対物レンズ５の断面図である。
【図11】対物レンズ５と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【図12】本発明の実施例６に係る対物レンズ６の断面図である。
【図13】対物レンズ６と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
本願の一実施形態に係る対物レンズについて説明する。一実施形態に係る対物レンズ（以降、単に対物レンズと記す）は、結像レンズと組み合わせて使用される無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。
【0012】
対物レンズは、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第１レンズ群と、それぞれ３枚接合レンズからなる第２レンズ群及び第３レンズ群と、互いに凹面を向けた第４レンズ群及び第５レンズ群と、からなる。
【0013】
第１レンズ群は、標本面からの発散光を収斂状態に近づけるために正の屈折力を有する。第１レンズ群は、物体側に凹面を有するメニスカスレンズ成分を最も物体側に有している。このメニスカスレンズ成分は、対物レンズの第１メニスカスレンズ成分であり、正の屈折力を有している。最も物体側に配置される第１レンズ群の、最も物体側に凹面を物体側に向けた正のメニスカスレンズ成分を含むことで、第１レンズ群は、球面収差の発生を抑えながら、標本面からの発散光を収斂状態に近づけることができる。
【0014】
なお、本明細書において、レンズ成分とは、単レンズ、接合レンズを問わず、物点からの光線が通るレンズ面のうち物体側の面と像側の面の２つの面のみが空気と接する一塊のレンズブロックのことをいう。即ち、１つの単レンズは１つのレンズ成分であり、１つの接合レンズも１つのレンズ成分である。一方で、空気を介して並べられた複数の単レンズや複数の接合レンズは１つのレンズ成分とは言わない。
【0015】
第２レンズ群は、入射光を収斂させるために、または、収斂状態にさらに近づけるために、比較的大きな正の屈折力を有する。第２レンズ群は、正レンズと負レンズと正レンズからなる３枚接合レンズからなる。この３枚接合レンズは、対物レンズの第１の３枚接合レンズである。正レンズを負レンズよりも多く含む正負正の３枚接合レンズで比較的強い正の屈折力を有する第２レンズ群を構成することで、色収差の発生を抑えながら、球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。
【0016】
第３レンズ群は、入射光をさらに収斂させるために正の屈折力を有する。第３レンズ群は、負レンズと正レンズと負レンズからなる３枚接合レンズからなる。この３枚接合レンズは、対物レンズの第２の３枚接合レンズである。第２レンズ群からの出射光は、収斂光またはおよそ収斂状態にあるため、第３レンズ群は、過度に大きな屈折力は必要なく、比較的弱い正の屈折力を有することが望ましい。負レンズを正レンズよりも多く含む負正負の３枚接合レンズで比較的弱い正の屈折力を有する第３レンズ群を構成することで、色収差の発生を抑えながら、球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。
【0017】
第４レンズ群及び第５レンズ群は、凸凹と凹凸を向かい合わせた、いわゆるガウスタイプ（ダブルガウスタイプ）と呼ばれる構成であり、第３レンズ群から出射する収斂光を平行光に変換する。このため、少なくとも第４レンズ群は、負の屈折力を有している。また、第５レンズ群も負の屈折力を有することが望ましい。
【0018】
ガウスタイプを構成するため、第４レンズ群は、像側に凹面を有するメニスカスレンズ成分を最も像側に有している。このメニスカスレンズ成分は、対物レンズの第２メニスカスレンズ成分であり、負の屈折力を有している。
【0019】
同様に、ガウスタイプを構成するため、第５レンズ群は、物体側に凹面を有するメニスカスレンズ成分を最も物体側に有している。このメニスカスレンズ成分は、対物レンズの第３メニスカスレンズ成分であり、負の屈折力を有している。
【0020】
第４レンズ群及び第５レンズ群は、ガウスタイプとして構成することで、球面収差、コマ収差、非点収差を良好に補正しながら、第３レンズ群から出射する収斂光を平行光に変換することができる。
【0021】
以上のように構成された対物レンズは、以下の条件式（１）を満たすように構成されている。但し、ｆは、対物レンズの焦点距離である。ｆ２は、第２レンズ群の焦点距離である。
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
０．２１ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．３ ・・・（１）
【0022】
条件式（１）は、第２レンズ群のパワーを規定した条件式である。この条件式を満たすことで、球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。｜ｆ／ｆ２｜が上限値（０．３）以上になると全系の焦点距離に対して第２レンズ群のパワーが強くなりすぎて過補正となり、球面収差とコマ収差が悪化してしまう。｜ｆ／ｆ２｜が下限値（０．２１）以下になると第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎて補正不足となる。
【0023】
以上のように構成された対物レンズによれば、高ＮＡと長ＷＤを有し、且つ、十分に広い視野内において収差を良好に補正することができる。
【0024】
なお、対物レンズは、条件式（１）の代わり又は加えて下記の条件式（１－１）を満たすように構成されてもよい。
０．２４ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．２６ ・・・（１－１）
０．２４ ＜ ｜ｆ／ｆ２｜ ＜ ０．２６ ・・・（１－１）
【0025】
以下、対物レンズの望ましい構成について説明する。
対物レンズは、以下の条件式（２）を満たすことが望ましい。但し、ｆ３は、第３レンズ群の焦点距離である。
０．０５ ＜ ｜ｆ／ｆ３｜ ＜ ０．２ ・・・（２）
対物レンズは、以下の条件式（２）を満たすことが望ましい。但し、ｆ３は、第３レンズ群の焦点距離である。
０．０５ ＜ ｜ｆ／ｆ３｜ ＜ ０．２ ・・・（２）
【0026】
条件式（２）は、第３レンズ群のパワーを規定した条件式である。この条件式を満たすことで、球面収差とコマ収差を良好に補正することができる。｜ｆ／ｆ３｜が上限値（０．２）以上になると全系の焦点距離に対して第３レンズ群のパワーが強くなりすぎて過補正となり、球面収差とコマ収差が悪化してしまう。｜ｆ／ｆ３｜が下限値（０．０５）以下になると第３レンズ群のパワーが弱くなりすぎて補正不足となる。
【0027】
なお、対物レンズは、条件式（２）の代わり又は加えて下記の条件式（２－１）を満たすように構成されてもよい。
０．０６ ＜ ｜ｆ／ｆ３｜ ＜ ０．１７ ・・・（２－１）
０．０６ ＜ ｜ｆ／ｆ３｜ ＜ ０．１７ ・・・（２－１）
【0028】
第１メニスカスレンズ成分は、凹面を物体側に向けた２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであることが望ましい。この場合、対物レンズは、以下の条件式（３）を満たすことが望ましい。
１７ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ４０ ・・・（３）
１７ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ４０ ・・・（３）
【0029】
但し、ν１は第１メニスカスレンズ成分を構成する２枚のメニスカスレンズのうちの物体側に配置されたメニスカスレンズ（つまり、最も物体側に配置されたメニスカスレンズ）のｄ線に対するアッベ数である。ν２は第１メニスカスレンズ成分のうちの像側に配置されたメニスカスレンズ（つまり、物体側から数えて２番目のメニスカスレンズ）のｄ線に対するアッベ数である。
【0030】
条件式（３）は、第１メニスカスレンズ成分を構成する２枚のメニスカスレンズのアッベ数差を規定した条件式である。第１メニスカスレンズ成分が接合レンズで構成され、且つ、この条件式を満たすことで、２枚のレンズのアッベ数差が適切に設定されるため、軸上色収差と倍率色収差を良好に補正することができる。｜ν１－ν２｜が上限値（４０）以上になると、軸上色収差や倍率色収差の過補正となり、｜ν１－ν２｜が下限値（１７）以下になると、補正不足となる。
【0031】
なお、対物レンズは、条件式（３）の代わり又は加えて下記の条件式（３－１）を満たすように構成されてもよい。
１７．９ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ３９．８ ・・・（３－１）
１７．９ ＜ ｜ν１－ν２｜ ＜ ３９．８ ・・・（３－１）
【0032】
また、第１メニスカスレンズ成分が凹面を物体側に向けた２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズである場合、対物レンズは、以下の条件式（４）を満たすことが望ましい。
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
３．４ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ４．０ ・・・（４）
【0033】
但し、ｎ１は第１メニスカスレンズ成分を構成する２枚のメニスカスレンズのうちの物体側に配置されたメニスカスレンズ（つまり、最も物体側に配置されたメニスカスレンズ）のｅ線に対する屈折率である。ｎ２は第１メニスカスレンズ成分のうちの像側に配置されたメニスカスレンズ（つまり、物体側から数えて２番目のメニスカスレンズ）のｅ線に対する屈折率である。
【0034】
条件式（４）は、第１メニスカスレンズ成分を構成する２枚のメニスカスレンズの屈折率和を規定した条件式である。この条件式を満たすことで、主に高ＮＡを実現しながら像面湾曲を良好に補正することができる。ｎ１＋ｎ２が上限値（４．０）以上になると、第１レンズ群における各色間の屈折力差が大きくなりすぎてしまうため、結果として軸上色収差を良好に補正することが困難になる。ｎ１＋ｎ２が下限値（３．４）以下になると、曲率半径を小さくすることで第１レンズ群に必要なパワーを稼ぐこととなる。この場合、ペッツバール和が第１レンズ群で大きく正に偏ることになるため、負の屈折力を有する第４レンズ群（と第５レンズ群）を含む光学系全体でペッツバール和を補正しきれなくなってしまう。
【0035】
なお、対物レンズは、条件式（４）の代わり又は加えて下記の条件式（４－１）を満たすように構成されてもよい。
３．５ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ３．８ ・・・（４－１）
３．５ ＜ ｎ１＋ｎ２ ＜ ３．８ ・・・（４－１）
【0036】
第１レンズ群は、物体側に凹面を向けた１枚の正のメニスカスレンズからなってもよい。特に第２レンズ群と第３レンズ群が条件式（１）と条件式（２）を満足する場合には、対物レンズ全体で、色収差、球面収差、コマ収差を良好に補正することができるため、第１レンズ群を単レンズで構成して、対物レンズを構成するレンズ枚数を抑えてもよい。
【0037】
第２メニスカスレンズ成分は、凹面を像側に向けた２枚のメニスカスレンズを接合した接合レンズであってもよい。また、第２メニスカスレンズ成分は、像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなってもよく、第４レンズ群は、１枚の負のメニスカスレンズからなってもよい。特に第２レンズ群と第３レンズ群が条件式（１）と条件式（２）を満足する場合には、対物レンズ全体で、色収差、球面収差、コマ収差を良好に補正することができるため、第４レンズ群を単レンズで構成して、対物レンズを構成するレンズ枚数を抑えてもよい。
【0038】
対物レンズは、以下の条件式（５）を満たすことが望ましい。但し、ＷＤは標本面から第１レンズ群の最も物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長である。より詳細には、標本面に焦点を合わせたときの、標本面からから第１レンズ群の最も物体側の面までの光軸上の距離の空気換算長である。Ｌは第１レンズ群の最も物体側の面から第５レンズ群の最も像側の面までの光軸上の距離である。
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
ＷＤ／Ｌ ＞ ０．０６５ ・・・（５）
【0039】
条件式（５）はＷＤを規定した条件式である。この条件式を満たすことで、コンパクトに構成された対物レンズが産業用途で使用される場合に高いスループットを実現することができる。ＷＤ／Ｌが下限値（０．０６５）以下になると、被検物と対物レンズとの距離が短くなり衝突のリスクが高まる。その結果、衝突回避のために、例えば観察位置を変更する際などに対物レンズやステージの高速な移動が制限されることになるため、十分なスループットが得られなくなってしまう。
【0040】
なお、対物レンズは、条件式（５）の代わり又は加えて下記の条件式（５－１）を満たすように構成されてもよい。
０．０８ ＜ ＷＤ／Ｌ ＜ ０．１２ ・・・（５－１）
０．０８ ＜ ＷＤ／Ｌ ＜ ０．１２ ・・・（５－１）
【0041】
以下、上述した対物レンズの実施例について具体的に説明する。
（実施例１）
図１は、本実施例に係る対物レンズ１の断面図である。対物レンズ１は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
（実施例１）
図１は、本実施例に係る対物レンズ１の断面図である。対物レンズ１は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
【0042】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、正の屈折力を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる２枚接合レンズである。レンズＬ１とレンズＬ２は、ともに正レンズである。
【0043】
第２レンズ群Ｇ２は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ３と、両凹レンズであるレンズＬ４と、両凸レンズであるレンズＬ５と、からなる正‐負‐正の３枚接合レンズである。
【0044】
第３レンズ群Ｇ３は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ８と、からなる負‐正‐負の３枚接合レンズである。
【0045】
第４レンズ群Ｇ４は、負の屈折力を有する接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、像側に凹面を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ９と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、からなる２枚接合レンズである。
【0046】
第５レンズ群Ｇ５は、物体側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなるレンズＬ１１である。
【0047】
対物レンズ１の各種データは、以下のとおりである。なお、ｆ、ｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４、ｆ５は、それぞれ対物レンズの焦点距離、第１レンズ群Ｇ１の焦点距離、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離、第４レンズ群Ｇ４の焦点距離、第５レンズ群Ｇ５の焦点距離である。その他のパラメータは上述したとおりである。
f=9mm,f1=19.24mm,f2=36.18mm,f3=72.06mm,f4=-78.84mm,f5=-109.68mm
NA=0.6,ν1=46.62,ν2=22.76,n1=1.82017,n2=1.81643,WD=4.689mm,L=44.93mm
f=9mm,f1=19.24mm,f2=36.18mm,f3=72.06mm,f4=-78.84mm,f5=-109.68mm
NA=0.6,ν1=46.62,ν2=22.76,n1=1.82017,n2=1.81643,WD=4.689mm,L=44.93mm
【0048】
対物レンズ１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ１
s r d ne νd
s1 INF 4.69
s2 -14.693 3.47 1.82017 46.62
s3 -8.005 4.55 1.81643 22.76
s4 -9.474 0.15
s5 21.039 5.27 1.43986 94.66
s6 -13.258 1.30 1.61669 44.27
s7 18.450 5.04 1.43986 94.66
s8 -14.496 0.15
s9 17.894 1.30 1.86290 24.80
s10 11.692 5.29 1.43494 94.99
s11 -15.260 1.30 1.65803 39.68
s12 -41.846 0.15
s13 10.771 5.75 1.76760 48.49
s14 8.765 2.86 1.65376 56.24
s15 5.854 3.78
s16 -5.876 4.58 1.90314 20.36
s17 -8.558 56.38
対物レンズ１
s r d ne νd
s1 INF 4.69
s2 -14.693 3.47 1.82017 46.62
s3 -8.005 4.55 1.81643 22.76
s4 -9.474 0.15
s5 21.039 5.27 1.43986 94.66
s6 -13.258 1.30 1.61669 44.27
s7 18.450 5.04 1.43986 94.66
s8 -14.496 0.15
s9 17.894 1.30 1.86290 24.80
s10 11.692 5.29 1.43494 94.99
s11 -15.260 1.30 1.65803 39.68
s12 -41.846 0.15
s13 10.771 5.75 1.76760 48.49
s14 8.765 2.86 1.65376 56.24
s15 5.854 3.78
s16 -5.876 4.58 1.90314 20.36
s17 -8.558 56.38
【0049】
ここで、sは面番号を、rは曲率半径(mm)を、dは面間隔(mm)を、neはe線に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s1が示す面は、標本面である。面番号s2,s17が示す面は、それぞれ対物レンズ１の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。また、例えば、面間隔d1は、面番号s1が示す面から面番号s2が示す面までの光軸上の距離を示している。なお、面間隔d17は、面番号s17が示す面から結像レンズの最も物体側の面までの光軸上の距離（56.38ｍｍ）を示している。
【0050】
対物レンズ１は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.249
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.125
（３）｜ν１－ν２｜＝23.86
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.637
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.104
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.249
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.125
（３）｜ν１－ν２｜＝23.86
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.637
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.104
【0051】
図２は、対物レンズ１と組み合わせて使用される結像レンズ１０の断面図である。結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、接合レンズＣＴＬ１と、接合レンズＣＴＬ２からなる。接合レンズＣＴＬ１は、両凸レンズであるレンズＴＬ１と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＴＬ２からなる。接合レンズＣＴＬ２は、両凸レンズであるレンズＴＬ３と両凹レンズであるレンズＴＬ４からなる。結像レンズ１０は、対物レンズ１の最も像側のレンズ面（面番号s17）から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面（面番号s1）までの光軸上の距離が56.38mmになるように、配置されている。なお、結像レンズ１０の焦点距離は180mmである。
【0052】
結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１０
s r d ne νd
s1 69.950 8.00 1.48915 70.23
s2 -38.132 3.30 1.83945 42.71
s3 -95.720 0.67
s4 85.872 6.05 1.83932 37.16
s5 -50.111 3.30 1.65803 39.68
s6 41.656
結像レンズ１０
s r d ne νd
s1 69.950 8.00 1.48915 70.23
s2 -38.132 3.30 1.83945 42.71
s3 -95.720 0.67
s4 85.872 6.05 1.83932 37.16
s5 -50.111 3.30 1.65803 39.68
s6 41.656
【0053】
図３は、対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、物体側から像側へ光線追跡を行うことで得られる像面における収差を示している。図３（ａ）は球面収差図である。図３（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図３（ｃ）は非点収差図である。図３（ｄ）は像高比0.8（像高8.80mm）でのコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図３に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【0054】
（実施例２）
図４は、本実施例に係る対物レンズ２の断面図である。対物レンズ２は、白色干渉計用の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、ビームスプリッタＢＳと、参照ミラーＲＭと、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
図４は、本実施例に係る対物レンズ２の断面図である。対物レンズ２は、白色干渉計用の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、ビームスプリッタＢＳと、参照ミラーＲＭと、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
【0055】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、正の屈折力を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる２枚接合レンズである。レンズＬ１とレンズＬ２は、ともに正レンズである。
【0056】
第２レンズ群Ｇ２は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ３と、両凹レンズであるレンズＬ４と、両凸レンズであるレンズＬ５と、からなる正‐負‐正の３枚接合レンズである。
【0057】
第３レンズ群Ｇ３は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ８と、からなる負‐正‐負の３枚接合レンズである。
【0058】
第４レンズ群Ｇ４は、負の屈折力を有する接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、像側に凹面を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ９と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、からなる２枚接合レンズである。
【0059】
第５レンズ群Ｇ５は、物体側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなるレンズＬ１１である。
【0060】
対物レンズ２の各種データは、以下のとおりである。
f=9mm,f1=19.14mm,f2=34.73mm,f3=79.32mm,f4=-86.13mm,f5=-111.38mm
NA=0.6,ν1=46.62,ν2=22.76,n1=1.82017,n2=1.81643,WD=4.689mm,L=44.25mm
f=9mm,f1=19.14mm,f2=34.73mm,f3=79.32mm,f4=-86.13mm,f5=-111.38mm
NA=0.6,ν1=46.62,ν2=22.76,n1=1.82017,n2=1.81643,WD=4.689mm,L=44.25mm
【0061】
対物レンズ２のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ２
s r d ne νd
s1 INF 1.10
s2 INF 1.00 1.51825 64.14
s3 INF 1.10
s4 INF 1.00 1.51825 64.14
s5 INF 1.17
s6 -14.693 3.34 1.82017 46.62
s7 -7.790 4.40 1.81643 22.76
s8 -9.385 0.15
s9 21.965 4.94 1.43986 94.66
s10 -14.872 1.30 1.61669 44.27
s11 17.418 5.49 1.43986 94.66
s12 -13.935 0.15
s13 16.566 1.30 1.86290 24.80
s14 11.136 5.25 1.43494 94.99
s15 -18.315 1.30 1.65803 39.68
s16 -69.134 0.15
s17 10.626 5.69 1.76760 48.49
s18 8.490 2.82 1.65376 56.24
s19 5.882 3.27
s20 -5.899 4.71 1.90314 20.36
s21 -8.639 56.38
対物レンズ２
s r d ne νd
s1 INF 1.10
s2 INF 1.00 1.51825 64.14
s3 INF 1.10
s4 INF 1.00 1.51825 64.14
s5 INF 1.17
s6 -14.693 3.34 1.82017 46.62
s7 -7.790 4.40 1.81643 22.76
s8 -9.385 0.15
s9 21.965 4.94 1.43986 94.66
s10 -14.872 1.30 1.61669 44.27
s11 17.418 5.49 1.43986 94.66
s12 -13.935 0.15
s13 16.566 1.30 1.86290 24.80
s14 11.136 5.25 1.43494 94.99
s15 -18.315 1.30 1.65803 39.68
s16 -69.134 0.15
s17 10.626 5.69 1.76760 48.49
s18 8.490 2.82 1.65376 56.24
s19 5.882 3.27
s20 -5.899 4.71 1.90314 20.36
s21 -8.639 56.38
【0062】
対物レンズ２は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.259
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.114
（３）｜ν１－ν２｜＝23.86
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.637
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.106
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.259
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.114
（３）｜ν１－ν２｜＝23.86
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.637
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.106
【0063】
図５は、対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、物体側から像側へ光線追跡を行うことで得られる像面における収差を示している。図５（ａ）は球面収差図である。図５（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図５（ｃ）は非点収差図である。図５（ｄ）は像高比0.8（像高8.80mm）でのコマ収差図である。図５に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【0064】
（実施例３）
図６は、本実施例に係る対物レンズ３の断面図である。対物レンズ３は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
図６は、本実施例に係る対物レンズ３の断面図である。対物レンズ３は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
【0065】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けた１枚の正のメニスカスレンズであるレンズＬ１からなる。
【0066】
第２レンズ群Ｇ２は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ２と、両凹レンズであるレンズＬ３と、両凸レンズであるレンズＬ４と、からなる正‐負‐正の３枚接合レンズである。
【0067】
第３レンズ群Ｇ３は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ５と、両凸レンズであるレンズＬ６と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ７と、からなる負‐正‐負の３枚接合レンズである。
【0068】
第４レンズ群Ｇ４は、像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズであるレンズＬ８からなる。
【0069】
第５レンズ群Ｇ５は、物体側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズであるレンズＬ９からなる。
【0070】
対物レンズ３の各種データは、以下のとおりである。
f=9mm,f1=17.64mm,f2=35.57mm,f3=53.96mm,f4=-44.48mm,f5=-115.81mm
NA=0.6,WD=4.681mm,L=44.30mm
f=9mm,f1=17.64mm,f2=35.57mm,f3=53.96mm,f4=-44.48mm,f5=-115.81mm
NA=0.6,WD=4.681mm,L=44.30mm
【0071】
対物レンズ３のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ３
s r d ne νd
s1 INF 4.68
s2 -15.686 7.68 1.91137 35.04
s3 -9.792 0.15
s4 21.990 4.78 1.43986 94.66
s5 -12.026 1.30 1.61669 44.27
s6 20.493 5.71 1.43986 94.66
s7 -13.784 0.15
s8 16.763 1.30 1.86290 24.80
s9 11.798 5.55 1.43494 94.99
s10 -13.376 1.30 1.65803 39.68
s11 -34.714 0.15
s12 11.948 8.05 1.76760 48.49
s13 6.262 3.50
s14 -5.735 4.70 1.90314 20.36
s15 -8.426 57.02
対物レンズ３
s r d ne νd
s1 INF 4.68
s2 -15.686 7.68 1.91137 35.04
s3 -9.792 0.15
s4 21.990 4.78 1.43986 94.66
s5 -12.026 1.30 1.61669 44.27
s6 20.493 5.71 1.43986 94.66
s7 -13.784 0.15
s8 16.763 1.30 1.86290 24.80
s9 11.798 5.55 1.43494 94.99
s10 -13.376 1.30 1.65803 39.68
s11 -34.714 0.15
s12 11.948 8.05 1.76760 48.49
s13 6.262 3.50
s14 -5.735 4.70 1.90314 20.36
s15 -8.426 57.02
【0072】
対物レンズ３は、以下で示されるように、条件式（１）、（２）、（５）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.253
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.167
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.106
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.253
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.167
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.106
【0073】
図７は、対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、物体側から像側へ光線追跡を行うことで得られる像面における収差を示している。図７（ａ）は球面収差図である。図７（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図７（ｃ）は非点収差図である。図７（ｄ）は像高比0.8（像高8.80mm）でのコマ収差図である。図７に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【0074】
（実施例４）
図８は、本実施例に係る対物レンズ４の断面図である。対物レンズ４は、白色干渉計用の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、ビームスプリッタＢＳと、参照ミラーＲＭと、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
図８は、本実施例に係る対物レンズ４の断面図である。対物レンズ４は、白色干渉計用の顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、ビームスプリッタＢＳと、参照ミラーＲＭと、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
【0075】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けた１枚の正のメニスカスレンズであるレンズＬ１からなる。
【0076】
第２レンズ群Ｇ２は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ２と、両凹レンズであるレンズＬ３と、両凸レンズであるレンズＬ４と、からなる正‐負‐正の３枚接合レンズである。
【0077】
第３レンズ群Ｇ３は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ５と、両凸レンズであるレンズＬ６と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ７と、からなる負‐正‐負の３枚接合レンズである。
【0078】
第４レンズ群Ｇ４は、像側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズであるレンズＬ８からなる。
【0079】
第５レンズ群Ｇ５は、物体側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズであるレンズＬ９からなる。
【0080】
対物レンズ４の各種データは、以下のとおりである。
f=9mm,f1=16.82mm,f2=37.43mm,f3=53.26mm,f4=-43.42mm,f5=-123.91mm
NA=0.6,WD=4.682mm,L=44.27mm
f=9mm,f1=16.82mm,f2=37.43mm,f3=53.26mm,f4=-43.42mm,f5=-123.91mm
NA=0.6,WD=4.682mm,L=44.27mm
【0081】
対物レンズ４のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ４
s r d ne νd
s1 INF 1.10
s2 INF 1.00 1.51825 64.14
s3 INF 1.10
s4 INF 1.00 1.51825 64.14
s5 INF 1.16
s6 -17.916 7.68 1.91137 35.04
s7 -9.950 0.15
s8 25.393 4.42 1.43986 94.66
s9 -11.866 1.30 1.61669 44.27
s10 19.588 6.29 1.43986 94.66
s11 -13.287 0.15
s12 14.871 1.30 1.86290 24.80
s13 10.846 5.50 1.43494 94.99
s14 -17.371 1.30 1.65803 39.68
s15 -57.954 0.15
s16 12.224 8.00 1.76760 48.49
s17 6.401 3.50
s18 -5.670 4.53 1.90314 20.36
s19 -8.236 56.37
対物レンズ４
s r d ne νd
s1 INF 1.10
s2 INF 1.00 1.51825 64.14
s3 INF 1.10
s4 INF 1.00 1.51825 64.14
s5 INF 1.16
s6 -17.916 7.68 1.91137 35.04
s7 -9.950 0.15
s8 25.393 4.42 1.43986 94.66
s9 -11.866 1.30 1.61669 44.27
s10 19.588 6.29 1.43986 94.66
s11 -13.287 0.15
s12 14.871 1.30 1.86290 24.80
s13 10.846 5.50 1.43494 94.99
s14 -17.371 1.30 1.65803 39.68
s15 -57.954 0.15
s16 12.224 8.00 1.76760 48.49
s17 6.401 3.50
s18 -5.670 4.53 1.90314 20.36
s19 -8.236 56.37
【0082】
対物レンズ３は、以下で示されるように、条件式（１）、（２）、（５）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.240
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.169
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.106
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.240
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.169
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.106
【0083】
図９は、対物レンズ４と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、物体側から像側へ光線追跡を行うことで得られる像面における収差を示している。図９（ａ）は球面収差図である。図９（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図９（ｃ）は非点収差図である。図９（ｄ）は像高比0.8（像高8.80mm）でのコマ収差図である。図９に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【0084】
（実施例５）
図１０は、本実施例に係る対物レンズ５の断面図である。対物レンズ５は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
図１０は、本実施例に係る対物レンズ５の断面図である。対物レンズ５は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
【0085】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、正の屈折力を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる２枚接合レンズである。レンズＬ１とレンズＬ２は、ともに正レンズである。
【0086】
第２レンズ群Ｇ２は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ３と、両凹レンズであるレンズＬ４と、両凸レンズであるレンズＬ５と、からなる正‐負‐正の３枚接合レンズである。
【0087】
第３レンズ群Ｇ３は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ８と、からなる負‐正‐負の３枚接合レンズである。
【0088】
第４レンズ群Ｇ４は、負の屈折力を有する接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、像側に凹面を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ９と、両凹レンズであるレンズＬ１０と、からなる２枚接合レンズである。
【0089】
第５レンズ群Ｇ５は、物体側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなるレンズＬ１１である。
【0090】
対物レンズ５の各種データは、以下のとおりである。
f=9mm,f1=20.11mm,f2=33.14mm,f3=149.64mm,f4=-3101.38mm,f5=-105.79mm
NA=0.6,ν1=60.08,ν2=20.36,n1=1.64254,n2=1.90314,WD=4.691mm,L=44.93mm
f=9mm,f1=20.11mm,f2=33.14mm,f3=149.64mm,f4=-3101.38mm,f5=-105.79mm
NA=0.6,ν1=60.08,ν2=20.36,n1=1.64254,n2=1.90314,WD=4.691mm,L=44.93mm
【0091】
対物レンズ５のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ５
s r d ne νd
s1 INF 4.69
s2 -16.602 3.40 1.64254 60.08
s3 -7.840 4.14 1.90314 20.36
s4 -9.026 0.15
s5 19.506 5.90 1.43986 94.66
s6 -11.363 1.30 1.61669 44.27
s7 37.864 4.16 1.43986 94.66
s8 -15.059 0.15
s9 17.983 1.30 1.86290 24.80
s10 9.962 5.51 1.43494 94.99
s11 -18.066 1.30 1.65803 39.68
s12 -52.530 0.15
s13 11.286 6.55 1.76760 48.49
s14 -123.032 2.85 1.65376 56.24
s15 5.963 3.70
s16 -5.925 4.37 1.90314 20.36
s17 -8.528 56.38
対物レンズ５
s r d ne νd
s1 INF 4.69
s2 -16.602 3.40 1.64254 60.08
s3 -7.840 4.14 1.90314 20.36
s4 -9.026 0.15
s5 19.506 5.90 1.43986 94.66
s6 -11.363 1.30 1.61669 44.27
s7 37.864 4.16 1.43986 94.66
s8 -15.059 0.15
s9 17.983 1.30 1.86290 24.80
s10 9.962 5.51 1.43494 94.99
s11 -18.066 1.30 1.65803 39.68
s12 -52.530 0.15
s13 11.286 6.55 1.76760 48.49
s14 -123.032 2.85 1.65376 56.24
s15 5.963 3.70
s16 -5.925 4.37 1.90314 20.36
s17 -8.528 56.38
【0092】
対物レンズ５は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.272
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.060
（３）｜ν１－ν２｜＝39.72
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.546
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.104
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.272
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.060
（３）｜ν１－ν２｜＝39.72
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.546
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.104
【0093】
図１１は、対物レンズ５と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、物体側から像側へ光線追跡を行うことで得られる像面における収差を示している。図１１（ａ）は球面収差図である。図１１（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図１１（ｃ）は非点収差図である。図１１（ｄ）は像高比0.8（像高8.80mm）でのコマ収差図である。図１１に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【0094】
（実施例６）
図１２は、本実施例に係る対物レンズ６の断面図である。対物レンズ６は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
図１２は、本実施例に係る対物レンズ６の断面図である。対物レンズ６は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、負の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５と、からなる。第４レンズ群Ｇ４と第５レンズ群Ｇ５は、互いに凹面を向かい合わせたメニスカスレンズ成分からなるガウスタイプのレンズ群である。
【0095】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、正の屈折力を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる２枚接合レンズである。レンズＬ１とレンズＬ２は、ともに正レンズである。
【0096】
第２レンズ群Ｇ２は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ３と、両凹レンズであるレンズＬ４と、両凸レンズであるレンズＬ５と、からなる正‐負‐正の３枚接合レンズである。
【0097】
第３レンズ群Ｇ３は、正の屈折力を有する接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ８と、からなる負‐正‐負の３枚接合レンズである。
【0098】
第４レンズ群Ｇ４は、負の屈折力を有する接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、像側に凹面を有するメニスカスレンズ成分であり、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ９と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、からなる２枚接合レンズである。
【0099】
第５レンズ群Ｇ５は、物体側に凹面を向けた１枚の負のメニスカスレンズからなるレンズＬ１１である。
【0100】
対物レンズ６の各種データは、以下のとおりである。
f=9mm,f1=19.21mm,f2=34.66mm,f3=81.47mm,f4=-66.84mm,f5=-120.34mm
NA=0.6,ν1=42.74,ν2=24.80,n1=1.83945,n2=1.86290,WD=4.687mm,L=44.93mm
f=9mm,f1=19.21mm,f2=34.66mm,f3=81.47mm,f4=-66.84mm,f5=-120.34mm
NA=0.6,ν1=42.74,ν2=24.80,n1=1.83945,n2=1.86290,WD=4.687mm,L=44.93mm
【0101】
対物レンズ６のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ６
s r d ne νd
s1 INF 4.69
s2 -14.693 3.57 1.83945 42.74
s3 -8.398 4.70 1.86290 24.80
s4 -9.705 0.15
s5 21.253 4.92 1.43986 94.66
s6 -12.598 1.30 1.61669 44.27
s7 19.925 4.92 1.43986 94.66
s8 -13.843 0.15
s9 18.935 1.30 1.86290 24.80
s10 12.740 5.34 1.43494 94.99
s11 -12.457 1.30 1.65803 39.68
s12 -38.672 0.15
s13 10.715 5.75 1.76760 48.49
s14 6.981 2.85 1.65376 56.24
s15 5.871 3.70
s16 -5.960 4.84 1.90314 20.36
s17 -8.734 56.38
対物レンズ６
s r d ne νd
s1 INF 4.69
s2 -14.693 3.57 1.83945 42.74
s3 -8.398 4.70 1.86290 24.80
s4 -9.705 0.15
s5 21.253 4.92 1.43986 94.66
s6 -12.598 1.30 1.61669 44.27
s7 19.925 4.92 1.43986 94.66
s8 -13.843 0.15
s9 18.935 1.30 1.86290 24.80
s10 12.740 5.34 1.43494 94.99
s11 -12.457 1.30 1.65803 39.68
s12 -38.672 0.15
s13 10.715 5.75 1.76760 48.49
s14 6.981 2.85 1.65376 56.24
s15 5.871 3.70
s16 -5.960 4.84 1.90314 20.36
s17 -8.734 56.38
【0102】
対物レンズ６は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.260
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.111
（３）｜ν１－ν２｜＝17.94
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.702
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.104
（１）｜ｆ／ｆ２｜＝0.260
（２）｜ｆ／ｆ３｜＝0.111
（３）｜ν１－ν２｜＝17.94
（４）ｎ１＋ｎ２＝3.702
（５）ＷＤ／Ｌ＝0.104
【0103】
図１３は、対物レンズ６と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、物体側から像側へ光線追跡を行うことで得られる像面における収差を示している。図１３（ａ）は球面収差図である。図１３（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図１３（ｃ）は非点収差図である。図１３（ｄ）は像高比0.8（像高8.80mm）でのコマ収差図である。図１３に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
【符号の説明】
【0104】
１、２、３、４、５、６ ・・・対物レンズ
１０ ・・・結像レンズ
Ｇ１ ・・・第１レンズ群
Ｇ２ ・・・第２レンズ群
Ｇ３ ・・・第３レンズ群
Ｇ４ ・・・第４レンズ群
Ｇ５ ・・・第５レンズ群
Ｌ１～Ｌ１１、ＴＬ１～ＴＬ４ ・・・レンズ
ＣＬ１～ＣＬ４、ＣＴＬ１、ＣＴＬ２ ・・・接合レンズ
１０ ・・・結像レンズ
Ｇ１ ・・・第１レンズ群
Ｇ２ ・・・第２レンズ群
Ｇ３ ・・・第３レンズ群
Ｇ４ ・・・第４レンズ群
Ｇ５ ・・・第５レンズ群
Ｌ１～Ｌ１１、ＴＬ１～ＴＬ４ ・・・レンズ
ＣＬ１～ＣＬ４、ＣＴＬ１、ＣＴＬ２ ・・・接合レンズ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】