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2025-33545撮像装置、電子機器および撮像装置の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2025033545
(43)【公開日】2025-03-13
(54)【発明の名称】撮像装置、電子機器および撮像装置の製造方法
(51)【国際特許分類】
   H04N 25/70 20230101AFI20250306BHJP
   H10F 39/12 20250101ALI20250306BHJP
【FI】
H04N25/70
H01L27/146 D
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023139323
(22)【出願日】2023-08-29
(71)【出願人】
【識別番号】316005926
【氏名又は名称】ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 正隆
【テーマコード(参考)】
4M118
5C024
【Fターム(参考)】
4M118AA10
4M118AB01
4M118AB03
4M118BA14
4M118CA03
4M118CA22
4M118DD04
4M118FA06
4M118FA28
4M118GA02
4M118GB03
4M118GB07
4M118GC08
4M118GC14
4M118GD03
4M118GD04
4M118HA25
5C024CY16
5C024CY47
5C024EX12
5C024EX43
5C024EX52
5C024GX03
5C024GX14
5C024GX16
5C024GX18
5C024GX24
5C024GY31
5C024JX42
(57)【要約】
【課題】画質の向上を実現することを可能にする。
【解決手段】本開示の一形態に係る撮像装置は、カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を備え、前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている。
【選択図】図3
【特許請求の範囲】
【請求項1】
カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を備え、
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、
前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
撮像装置。
【請求項2】
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、同じである、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項3】
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、異なっている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項4】
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、前記画素アレイ部に対する前記レンズの位置に応じて変えられている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項5】
前記第1のレンズ領域の屈折率は、前記第2のレンズ領域の屈折率よりも高く、
前記第1のレンズ領域の平面面積は、前記レンズが前記画素アレイ部の外周側に位置するほど大きくなる、
請求項4に記載の撮像装置。
【請求項6】
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、同じである、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項7】
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、異なっている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項8】
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、前記画素アレイ部に対する前記レンズの位置に応じて変えられている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項9】
前記レンズは、前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域を含む複数のレンズ領域を有し、
前記複数のレンズ領域のいずれか三つ以上の屈折率は、異なっている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項10】
前記複数のレンズ領域は、前記複数の画素のうち前記第1の画素および前記第2の画素の周囲に存在する複数の画素の配置に応じて設けられている、
請求項9に記載の撮像装置。
【請求項11】
前記複数のレンズ領域は、平面視で前記レンズが放射状に分けられるように区分されている、
請求項9に記載の撮像装置。
【請求項12】
前記レンズは、屈折率が異なる複数の材料により形成されている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項13】
前記複数の材料は、異なる組成比の材料を含む、
請求項12に記載の撮像装置。
【請求項14】
前記第1の画素および前記第2の画素は、隣接する、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項15】
前記複数の画素は、DOBC(Deca-Octa Bayer Coding)で配置されている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項16】
前記第1の画素および前記第2の画素は、同色間感度差を有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、前記同色間感度差を抑えるように設定されている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項17】
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第3の画素および第4の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第3の画素および前記第4の画素に共通に設けられた第2のレンズを有し、
前記第2のレンズは、前記第3の画素に対応する第3のレンズ領域と、前記第4の画素に対応する第4のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域、前記第2のレンズ領域、前記第3のレンズ領域および前記第4のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項18】
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する一対の画素をそれぞれ有する複数の画素ペアを含み、
前記画素アレイ部は、前記画素ペアごとに設けられた複数のレンズを有し、
前記複数のレンズのそれぞれの屈折率は、前記同色のカラーフィルタごとに異なっている、
請求項1に記載の撮像装置。
【請求項19】
撮像装置を備え、
前記撮像装置は、
カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を備え、
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、
前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
電子機器。
【請求項20】
カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を形成することを含み、
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、
前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
撮像装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、撮像装置、電子機器および撮像装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
撮像装置には、例えば、オートフォーカスを実現するために像面位相差を得るものがある。例えば、特許文献1には、2つの受光画素を含む画素ペアに対応する位置に1つのレンズが設けられた撮像装置が開示されている。撮像装置の画素配列の一つであるDOBC(Deca-Octa Bayer Coding)は、従来のQBC(Quad Bayer Coding)と異なり、特許文献1のように、10個の緑色の画素を含む画素ブロック、8個の赤色の画素を含む画素ブロック及び8個の青色の画素を含む画素ブロックが繰り返し並ぶ配列になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開第2022/130888号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、前述のDOBCなどの配列では、カラーフィルタごとの屈折率の差により、同色のカラーフィルタを用いる画素においても、感度が画素ごとに異なる同色間感度差が、QBCなどの従来の配列に比べて大きくなる。このため、同色の画素でも色の違いが生じ、画質が低下する。
【0005】
そこで、本開示では、画質の向上を実現することが可能な撮像装置、電子機器および撮像装置の製造方法を提案する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一形態に係る撮像装置は、カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を備え、前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている。
【0007】
本開示の一形態に係る電子機器は、撮像装置を備え、前記撮像装置は、カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を備え、前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている。
【0008】
本開示の一形態に係る撮像装置の製造方法は、カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を形成することを含み、前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1】本開示の実施形態に係る撮像装置の構成例を示す図である。
図2】本開示の実施形態に係る画素アレイ部の構成例を示す平面図である。
図3】本開示の実施形態に係る画素アレイ部の断面構造の一例を示す断面図である。
図4】本開示の実施形態の比較例に係る画素アレイ部の断面構造の一例を示す断面図である。
図5】本開示の実施形態に係る画素アレイ部における同色間感度差を説明するための図である。
図6】1×1のQBCの画素配列を示す図である。
図7】2×2のQBCの画素配列を示す図である。
図8】DOBCの画素配列を示す図である。
図9】本開示の実施形態に係る画素アレイ部における受光画素ごとの感度差を示す図である。
図10】本開示の実施形態に係る画素アレイ部におけるレンズの配置例を示す平面図である。
図11】本開示の実施形態に係る緑色の画素ブロックの構成例を示す図である。
図12】本開示の実施形態に係る赤色の画素ブロックの構成例を示す図である。
図13】本開示の実施形態に係る複数の画素ブロックの接続例を示す図である。
図14】本開示の実施形態に係る読出部の構成例を示す図である。
図15】本開示の実施形態に係る画像信号の一例を示す図である。
図16】本開示の実施形態に係る撮像装置における有効画素数の一例を示す図である。
図17】本開示の実施形態に係る撮像装置におけるズーム動作の一例を説明するための図である。
図18】本開示の実施形態に係る第1の撮像モードにおける撮像装置の動作例を示す図である。
図19】本開示の実施形態に係る撮像装置における読出動作の一例を示す図である。
図20】本開示の実施形態に係る第1の撮像モードにおける信号処理部の画像処理の一例を示す図である。
図21】本開示の実施形態に係る第2の撮像モードにおける撮像装置の動作例を示す図である。
図22】本開示の実施形態に係る第2の撮像モードにおける撮像装置の動作例をより具体的に示す図である。
図23】本開示の実施形態に係る第2の撮像モードにおける信号処理部の画像処理の一例を示す図である。
図24】本開示の実施形態に係る第2の撮像モードにおけるリモザイク処理の一例を示す図である。
図25】本開示の実施形態に係る第2の撮像モードにおける、第1の画素ブロックについてのリモザイク処理を示す図である。
図26】本開示の実施形態に係る第2の撮像モードにおける、第2の画素ブロックおよび第3の画素ブロックについてのリモザイク処理を示す図である。
図27】本開示の実施形態に係る第2の撮像モードにおける、第4の画素ブロックについてのリモザイク処理を示す図である。
図28】本開示の実施形態に係る第3の撮像モードにおける撮像装置の動作例を示す図である。
図29】本開示の実施形態に係る第3の撮像モードにおける撮像装置の動作例をより具体的に示す図である。
図30】本開示の実施形態に係る撮像装置における他の読出動作の一例を示す図である。
図31】本開示の実施形態に係る第3の撮像モードにおける信号処理部の画像処理の一例を示す図である。
図32】本開示の実施形態に係る第3の撮像モードにおけるリモザイク処理の一例を示す図である。
図33】本開示の実施形態に係る第3の撮像モードにおける、第1の画素ブロックについてのリモザイク処理を示す図である。
図34】本開示の実施形態に係る第3の撮像モードにおける、第2の画素ブロックおよび第2の画素ブロックについてのリモザイク処理を示す図である。
図35】本開示の実施形態に係る第3の撮像モードにおける、第4の画素ブロックについてのリモザイク処理を示す図である。
図36】本開示の実施形態の変形例1に係る画素アレイ部におけるレンズごとの屈折率を説明するための平面図である。
図37】本開示の実施形態の変形例2に係る画素アレイ部におけるレンズごとの屈折率を説明するための平面図である。
図38】本開示の実施形態の変形例3に係る画素アレイ部におけるレンズごとの屈折率を説明するための平面図である。
図39】本開示の実施形態の変形例3に係る画素アレイ部の断面構造例を示す図である。
図40】本開示の実施形態の変形例4に係る画素アレイ部におけるレンズごとの屈折率を説明するための平面図である。
図41】本開示の実施形態の変形例5に係る画素アレイ部における所望のレンズの位置を示す平面図である。
図42】本開示の実施形態の変形例5に係る所望のレンズの屈折率を説明するための図である。
図43】本開示の実施形態に係る撮像装置を使用する適用例を示す図である。
図44】適用例に係る撮像装置の構成例を示す図である。
図45】適用例に係る測距装置の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に本開示の実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示に係る装置や機器、方法などが限定されるものではない。また、以下の実施形態において、基本的に同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。以下の実施形態は、実施例や変形例なども含む。
【0011】
以下の1又は複数の実施形態は、各々が独立に実施されることが可能である。一方で、以下の複数の実施形態は少なくとも一部が他の実施形態の少なくとも一部と適宜組み合わせて実施されてもよい。これら複数の実施形態は、互いに異なる新規な特徴を含み得る。したがって、各実施形態は、互いに異なる目的又は課題を解決することに寄与し得、互いに異なる効果を奏し得る。なお、各実施形態における効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、他の効果があってもよい。
【0012】
以下に示す項目順序に従って本開示を説明する。
1.実施形態
1-1.撮像装置の構成例
1-2.画素アレイ部の構成例
1-3.画素ブロックの構成例
1-4.読出部の構成例
1-5.撮像装置の動作例
1-6.撮像モードMA(第1の撮像モード)
1-7.撮像モードMB(第2の撮像モード)
1-8.撮像モードMC(第3の撮像モード)
2.変形例
2-1.変形例1
2-2.変形例2
2-3.変形例3
2-4.変形例4
2-5.変形例5
3.作用・効果
4.他の実施形態
5.適用例
5-1.撮像装置
5-2.測距装置
6.付記
【0013】
<1.実施形態>
<1-1.撮像装置の構成例>
本実施形態に係る撮像装置1の構成例について図1を参照して説明する。
【0014】
図1は、本実施形態に係る撮像装置1の構成例を示す図である。
【0015】
図1に示すように、撮像装置1は、画素アレイ部11と、駆動部12と、読出部20と、信号処理部15と、撮像制御部18と、を備えている。この撮像装置1は、例えば、被写体の画像データを生成する固体撮像装置である。
【0016】
画素アレイ部11は、複数の受光画素(画素)Pを有している。これらの受光画素Pは、例えば、マトリクス状に配置されている。受光画素Pは、受光量に応じた画素電圧Vpixを含む信号SIGを生成するように構成される。
【0017】
駆動部12は、撮像制御部18からの指示に基づいて、画素アレイ部11における複数の受光画素Pを駆動するように構成される。画素アレイ部11には、複数の制御線TRGL、RSTL、SELLが設けられている。具体的には、駆動部12は、画素アレイ部11における複数の制御線TRGLに複数の制御信号STRGをそれぞれ供給し、複数の制御線RSTLに複数の制御信号SRSTをそれぞれ供給し、複数の制御線SELLに複数の制御信号SSELをそれぞれ供給することにより、画素アレイ部11における複数の受光画素Pを駆動するようになっている(詳しくは後述する)。
【0018】
参照信号生成部13は、撮像制御部18からの指示に基づいて、参照信号RAMPを生成するように構成される。参照信号RAMPは、読出部20がAD変換を行う期間(P相期間TPおよびD相期間TD)において、時間の経過に応じて電圧レベルが徐々に変化する、いわゆるランプ波形を有する。参照信号生成部13は、このような参照信号RAMPを読出部20に供給するようになっている。
【0019】
読出部20は、撮像制御部18からの指示に基づいて、画素アレイ部11から信号線VSLを介して供給された信号SIGに基づいてAD変換を行うことにより、画像信号Spic0を生成するように構成される(詳しくは後述する)。
【0020】
信号処理部15は、画像信号Spic0および撮像制御部18からの指示に基づいて、所定の信号処理を行うことにより画像信号Spicを生成するように構成される。信号処理部15は、画像データ生成部16と、位相差データ生成部17とを有している。画像データ生成部16は、画像信号Spic0に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、撮像画像を示す画像データDPを生成するように構成される。位相差データ生成部17は、画像信号Spic0に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、像面位相差を示す位相差データDFを生成するように構成される。信号処理部15は、画像データ生成部16により生成された画像データDP、および位相差データ生成部17により生成された位相差データDFを含む画像信号Spicを生成する。
【0021】
撮像制御部18は、駆動部12、参照信号生成部13、読出部20および信号処理部15に制御信号を供給し、これらの回路の動作を制御することにより、撮像装置1の動作を制御するように構成される。撮像制御部18には、外部から制御信号Sctlが供給される。この制御信号Sctlは、例えば、いわゆる電子ズームのズーム倍率についての情報を含む。撮像制御部18は、制御信号Sctlに基づいて、撮像装置1の動作を制御するようになっている。
【0022】
<1-2.画素アレイ部の構成例>
本実施形態に係る画素アレイ部11の構成例について図2から図11を参照して説明する。
【0023】
図2は、本実施形態に係る画素アレイ部11の構成例を示す平面図である。図3は、本実施形態に係る画素アレイ部11の断面構造の一例を示す断面図である。なお、図3は、図2に示したY1-Y1線に対応する断面を表している。
【0024】
図2に示すように、画素アレイ部11は、複数の画素ユニットUと、複数のレンズ101とを有している。図2の例では、一つの画素ユニットUが明示されているが、実際には複数存在している。
【0025】
各画素ユニットUのそれぞれは、画素ブロック100R、画素ブロック100Gr、画素ブロック100Gbおよび画素ブロック100Bを含んでいる。画素アレイ部11では、複数の受光画素Pは、4つの画素ブロック100R、画素ブロック100Gr、画素ブロック100Gbおよび画素ブロック100Bを最小繰り返し単位(画素ユニットU)として配置されている。なお、4つの画素ブロック100R、画素ブロック100Gr、画素ブロック100Gbおよび画素ブロック100Bを区別する必要がない場合には、単に画素ブロック100ということがある。
【0026】
画素ブロック100Rは、例えば、赤色(R)のカラーフィルタ131(図3参照)を含む8個の受光画素P(受光画素PR)を有する。画素ブロック100Grは、例えば、緑色(G)のカラーフィルタ131を含む10個の受光画素P(受光画素PGr)を有する。画素ブロック100Gbは、例えば、緑色(G)のカラーフィルタ131を含む10個の受光画素P(受光画素PGb)を有する。画素ブロック100Bは、例えば、青色(B)のカラーフィルタ131を含む8個の受光画素P(受光画素PB)を有する。なお、4つの受光画素PR、受光画素PGr、受光画素PGbおよび受光画素PBを区別する必要がない場合には、単に受光画素Pということがある。
【0027】
図2の例では、カラーフィルタ131の色の違いを、網掛けを用いて表現している。画素ブロック100Rにおける受光画素PRの配置パターンおよび画素ブロック100Bにおける受光画素PBの配置パターンは、互いに同じである。画素ブロック100Grにおける受光画素PGrの配置パターンおよび画素ブロック100Gbにおける受光画素PGbの配置パターンは、互いに同じである。画素ブロック100R又は画素ブロック100Bにおいて、X軸方向に並列する2個、4個、2個の受光画素PR又は受光画素PBがY軸方向に順に並列された十字状のパターンで配置されている。また、画素ブロック100Gr又は画素ブロック100Gbにおいて、X軸方向に並列する4個、2個、4個の受光画素PGr又は受光画素PGbがY軸方向に順に並列されたH状のパターンで配置されている。
【0028】
画素ユニットUにおいて、画素ブロック100R、画素ブロック100Gr、画素ブロック100Gbおよび画素ブロック100Bは、例えば、2行×2列で配置される。具体的には、互いに同じ配置パターンを有する画素ブロック100Rおよび画素ブロック100Bと、画素ブロック100Grおよび画素ブロック100Gbとは、互いに交差する対角線上に配置される。一例として、画素ブロック100Grは左上に配置され、画素ブロック100Rは右上に配置され、画素ブロック100Bは左下に配置され、画素ブロック100Gbは右下に配置される。このように、画素ブロック100R、画素ブロック100Gr、画素ブロック100Gbおよび画素ブロック100Bは、画素ブロック100を単位として、いわゆるベイヤー配列により配列される。このような配列は、例えば、DOBC(Deca-Octa Bayer Coding)と呼ばれる。
【0029】
図3に示すように、画素アレイ部11は、半導体基板111と、受光部112と、分離部113と、多層配線層121と、カラーフィルタ131と、遮光膜132とを備えている。
【0030】
半導体基板111は、撮像装置1が形成される支持基板である。半導体基板111は、例えば、P型の半導体基板であり、対向する一対の面(表面111S1および裏面111S2)を有している。
【0031】
受光部112は、半導体基板111の基板内における、複数の受光画素Pのそれぞれに対応する位置に埋め込み形成された半導体領域である。半導体領域には、例えば、N型の不純物がドーピングされることによりフォトダイオード(PD)が形成される。
【0032】
分離部113は、半導体基板111の基板内における、XY平面において隣り合う複数の受光画素Pの境界に設けられる。図3の例では、分離部113は、酸化膜などの絶縁材料を用いて構成されるDTI(Deep Trench Isolation)であるが、他の構造であってもよい。
【0033】
多層配線層121は、画素アレイ部11の光入射側Sとは反対の面である半導体基板111の表面111S1の上に設けられる。多層配線層121は、例えば、複数の配線層122~127および層間絶縁層128を含んでいる。各配線層122~127は、半導体基板111の裏面(光入射面)111S2側から順に設けられる。各配線層122~127には、例えば、半導体基板111の表面111S1に設けられる複数のトランジスタと駆動部12や読出部20などとを接続する制御線などの複数の配線が設けられる。
【0034】
カラーフィルタ131は、画素アレイ部11の光入射側Sである半導体基板111の裏面(光入射面)111S2の上に設けられる。カラーフィルタ131は、赤色(R)、緑色(G)及び青色(B)のいずれかのカラーフィルタである。カラーフィルタ131は、受光画素Pごとに設けられてもよく、あるいは、X軸方向に隣り合う2つの受光画素P(画素ペア90)ごとに設けられてもよい。ただし、どちらの場合でも、各受光画素P(例えば、受光画素PR、受光画素PGr、受光画素PGb、受光画素PB)は、それぞれカラーフィルタ131を有することになる。
【0035】
遮光膜132は、半導体基板111の裏面(光入射面)111S2において、例えば、X軸方向に隣り合う2つの受光画素P(画素ペア90)ごとに、画素ペア90を囲むように設けられる。X軸方向に隣り合う2つの受光画素Pは、画素ペア90として機能する(図2参照)。
【0036】
各レンズ101は、例えば、オンチップレンズであり、画素アレイ部11の光入射側Sにおけるカラーフィルタ131の上に設けられている。レンズ101は、X軸方向に隣り合う2つの受光画素P(画素ペア90)の上部に設けられる。
【0037】
図2に示すように、画素ブロック100Rの8個の受光画素Pの上部には4つのレンズ101が設けられる。画素ブロック100Grの10個の受光画素Pの上部には5つのレンズ101が設けられる。画素ブロック100Gbの10個の受光画素Pの上部には5つのレンズ101が設けられる。画素ブロック100Bの8個の受光画素Pの上部には4つのレンズ101が設けられる。レンズ101は、X軸方向およびY軸方向において並設される。Y軸方向に並ぶレンズ101は、X軸方向において、1つの受光画素Pの分だけずれて配置される。換言すると、Y軸方向に並ぶ画素ペア90は、X軸方向において、1つの受光画素Pの分だけずれて配置される。
【0038】
このような構成により、1つのレンズ101に対応する画素ペア90における2つの受光画素Pでは、像が互いにずれる。撮像装置1は、複数の画素ペア90により検出されたいわゆる像面位相差に基づいて位相差データDFを生成する。例えば、撮像装置1を搭載したカメラでは、この位相差データDFに基づいてデフォーカス量を決定し、このデフォーカス量に基づいて、撮影レンズの位置を移動させる。このようにして、カメラでは、オートフォーカスを実現することができるようになっている。
【0039】
図3に示すように、特定の画素ペア90におけるレンズ101は、レンズ領域101aと、レンズ領域101bと、を有している。特定の画素ペア90は、例えば、同色間感度差を有する画素ペアである。図3の例では、特定の画素ペア90は一対の受光画素PGrである。レンズ領域101aは、画素ペア90の一方の受光画素PGrに対応する第1のレンズ領域である。このレンズ領域101aは、画素ペア90の一方の受光画素PGrに対向している。レンズ領域101bは、画素ペア90の他方の受光画素PGrに対応する第2のレンズ領域である。このレンズ領域101bは、画素ペア90の他方の受光画素PGrに対向している。
【0040】
これらのレンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率は、異なっている。図3の例では、一対の受光画素PGrにおいて、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率は異なっており、レンズ領域101aの屈折率はレンズ領域101bの屈折率より高くなっている。なお、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率は、同色間感度差を抑えるように設定される。
【0041】
レンズ101は、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率が異なるように、屈折率が異なる複数の材料(例えば、高屈折材料や低屈折材料など)により形成されている。複数の材料は、異なる組成比の材料を含んでもよい。異なる組成比の材料としては、例えば、SiO2やSi3N4、その間を埋めるSiOxNyなどが用いられる。材料の組成比は、例えば、対象の受光画素Pを囲んでいる周囲の受光画素Pのカラーフィルタ131の色(屈折率)に応じて決定される。
【0042】
(比較例)
図4は、本実施形態の比較例に係る画素アレイ部11の断面構造の一例を示す断面図である。
【0043】
図4に示すように、比較例では、各レンズ101のそれぞれの屈折率は同じであり、一つのレンズ101内で屈折率の違いはない。カラーフィルタ131ごとの屈折率は、例えば、R/G/B=1.72/1.67/1.49となる。通常、光は、屈折率の高いほうに寄せられる。例えば、図4中の光L2が入射する受光画素PGrでは、カラーフィルタ131に入射した光L2はそのまま直進するが、図4中の光L1が入射する受光画素PGrでは、カラーフィルタ131に入射した光L1は右側に寄せられ、隣接する受光画素PR側に漏れる。この場合、図4中の光L1が入射する受光画素PGrは、図4中の光L2が入射する受光画素PGrに比べて、低感度になる。
【0044】
この感度低下を抑えるため、前述のように、レンズ領域101aの屈折率がレンズ領域101bの屈折率よりも高くされる。図3の例では、図3中の光L1が入射する受光画素PGrでは、レンズ101に入射した光L1は左側に曲がってからカラーフィルタ131に入射する。その後、カラーフィルタ131に入射した光L1は右側に寄せられるが、隣接する受光画素PR側に漏れることは抑えられる。したがって、レンズ領域101aの屈折率をレンズ領域101bの屈折率に比べて高くすることで、隣接する受光画素PRへの光の漏れを抑えることができる。つまり、レンズ領域101aの屈折率をレンズ領域101bの屈折率に比べて高くすることで、隣接するカラーフィルタ131に向かう光を抑えることができる。
【0045】
通常、カラーフィルタ131ごとの屈折率を均等にするのは困難であるため、レンズ101とカラーフィルタ131とのトータルの屈折率で感度の補正を行うことが望ましい。そこで、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率を調整することで、感度の補正を正確に行うことができる。これにより、画質の向上を実現することができる。
【0046】
(同色間感度差)
ここで、自画素(受光画素P)を囲む周囲8画素(受光画素P)の影響による同色間感度差について図5から図8を参照して説明する。例えば、同色間感度差は、自画素を囲む周囲に存在する複数の受光画素Pの個々の色(カラーフィルタ131の屈折率)に応じて生じる感度差である。
【0047】
図5は、本実施形態に係る画素アレイ部11における同色間感度差を説明するための図である。
【0048】
図5中のA1の受光画素PGrでは、2つの受光画素PBから光をもらい、1つの受光画素PRに光を奪われる。これは、受光画素PR、受光画素PBおよび受光画素PGrとの屈折率の大小関係のためであり(R/G/B=1.72/1.67/1.49)、以下でも同様である。図5中のA2の受光画素PGrでは、1つの受光画素PBから光をもらい、3つの受光画素PRに光を奪われるため、図5中のA1の受光画素PGrに比べて、感度が下がり同色間感度差が生じる。このため、図5中のA1の受光画素PGrおよびA2の受光画素PGrについては、前述のレンズ101の屈折率調整が行われる。つまり、図5中のA2の受光画素PGrに対応するレンズ領域101aの屈折率が、図5中のA1の受光画素PGrに対応するレンズ領域101bの屈折率に比べて高くされる。
【0049】
一方、図5中のA3の受光画素PBおよびA4の受光画素PBにおいては、自画素を囲む赤色、緑色および青色(R/G/B)のそれぞれの画素数は同じで、青色のカラーフィルタ131よりも緑色のカラーフィルタ131の屈折率が高いため、光は緑色側に引き寄せられるが(感度低下)、同色間感度差は生じない。このため、図5中のA3の受光画素PBおよびA4の受光画素PBについては、前述のレンズ101の屈折率調整が行われない。
【0050】
このように、受光画素Pの周囲に隣接する受光画素Pの色(すなわち、カラーフィルタ131の屈折率)に応じて、例えば、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bの一方の屈折率が他方に比べて高くされ、屈折率が異なるレンズ領域101aおよびレンズ領域101bを有するレンズ101が設けられる。これにより、カラーフィルタ131の屈折率差による光の曲げをレンズであらかじめ補正し、感度補正を行うことが可能になるので、同色間感度差を抑えることができる。
【0051】
図6は、1×1のQBCの画素配列を示す図である。図6に示すように、自画素(受光画素P)がRである場合、自画素を囲む周囲8画素(受光画素P)の個数は、R=0個、G=4個、B=4個となる。自画素がGである場合、自画素を囲む周囲8画素の個数は、R=2個、G=2個、B=4個となる。自画素がBである場合、自画素を囲む周囲8画素の個数は、R=4個、G=4個、B=0個となる。図6の例では、自画素を囲む周囲8画素の色の数は同色間で同じである。このため、周囲の画素に由来する同色間感度差は定性的には同じになる。
【0052】
図7は、2×2のQBCの画素配列を示す図である。図7に示すように、自画素(受光画素P)がRである場合、自画素を囲む周囲8画素(受光画素P)の個数は、R=3個、G=4個、B=1個となる。自画素がGである場合、自画素を囲む周囲8画素の個数は、R=2個、G=4個、B=2個となる。自画素がBである場合、自画素を囲む周囲8画素の個数は、R=1個、G=4個、B=3個となる。図7の例では、自画素を囲む周囲8画素の色の数は同色間で同じである。このため、周囲の画素に由来する同色間感度差は定性的には同じになる。
【0053】
図8は、DOBCの画素配列を示す図である。図8に示すように、自画素(受光画素P)がR、G又はBである場合、自画素を囲む周囲8画素(受光画素P)の各色の個数は一定とならず、画素によって異なる。つまり、DOBCの場合には、同じRGBの画素でも周囲8画素の各色の個数が異なるため、配列的に同色間感度差が生じる。このため、DOBCの画素配列については、前述のレンズ101の屈折率調整が行われる。
【0054】
図9は、本実施形態に係る画素アレイ部11における受光画素Pごとの感度差を示す図である。図10は、本実施形態に係る画素アレイ部11におけるレンズ101の配置例を示す平面図である。図9の例では、感度差が%で示されている。
【0055】
図9に示すように、DOBCの画素配列においては、受光画素Pごとの感度差が存在している。また、感度差が同じである一対の受光画素P(画素ペア90)と、感度差が異なる一対の受光画素P(画素ペア90)とが存在する。これらの感度差の一致および不一致に応じてレンズ101が設けられる。
【0056】
例えば、図10に示すように、感度差が同じである一対の受光画素P(画素ペア90)に対しては、屈折率差がないレンズ101が設けられる。一方、図9に示す感度差が異なる一対の受光画素P(画素ペア90)に対しては、図10に示すように、屈折率差があるレンズ101(レンズ領域101a及びレンズ領域101bを有するレンズ101)が設けられる。
【0057】
画素ペア90において、感度差が大きい受光画素Pに対応するレンズ領域101aの屈折率が、感度差が小さい受光画素Pに対応するレンズ領域101bの屈折率よりも高く設定される。例えば、画素ペア90において、感度差が12%である受光画素Pに対応するレンズ領域101aの屈折率が、感度差が11%である受光画素Pに対応するレンズ領域101bの屈折率よりも高く設定される。これにより、画素ペア90における受光画素Pごとの感度差を抑える、すなわち同色間感度差を抑えることができる。
【0058】
図10の例では、レンズ101は平面視で二分されており、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの平面面積(平面視での面積)は同じである。レンズ領域101a及びレンズ領域101bのそれぞれの平面形状(平面視での形状)は、楕円を半分にした形状になっている。レンズ領域101aは高屈折領域として機能し、レンズ領域101bは低屈折領域として機能する。
【0059】
なお、DOBCの画素配列において同色間感度差を改善するためには、信号処理での補正や開口補正を行うことも可能であるが、信号処理による補正は、物理的な光学特性を改善することにはならない。また、開口補正では、受光画素Pのシュリンクに伴い、開口幅のコントロール難易度が高くなる。そこで、自画素(受光画素P)の周囲に隣接する受光画素Pのカラーフィルタ131の屈折率に応じて、異なる屈折率を持つレンズ材料を用いてレンズ101を形成する。これにより、カラーフィルタ131の屈折率差による光の曲げをレンズ101であらかじめ補正し、感度補正を行うことが可能になるので、同色間感度差を抑えることができる。
【0060】
<1-3.画素ブロックの構成例>
本実施形態に係る各画素ブロック100Gr、100Gb、100R、100Bの構成例について図11から図13を参照して説明する。図11は、本実施形態に係る緑色の画素ブロック100Grの構成例を示す図である。図12は、本実施形態に係る赤色の画素ブロック100Rの構成例を示す図である。図13は、本実施形態に係る複数の画素ブロック100R、100Gr、100Gb、100Bの接続例を示す図である。
【0061】
画素アレイ部11は、図11及び図12に示すように、複数の制御線TRGLと、複数の制御線RSTLと、複数の制御線SELLと、複数の信号線VSLとを有している。
【0062】
制御線TRGLは、例えば、X軸方向に延伸し、一端が駆動部12(図1参照)に接続される。この制御線TRGLには、駆動部12により制御信号STRGが供給される。制御線RSTLは、例えば、X軸方向に延伸し、一端が駆動部12に接続される。この制御線RSTLには、駆動部12により制御信号SRSTが供給される。制御線SELLは、例えば、X軸方向に延伸し、一端が駆動部12に接続される。この制御線SELLには、駆動部12により制御信号SSELが供給される。信号線VSLは、例えば、Y軸方向に延伸し、一端が読出部20に接続される。この信号線VSLは、受光画素Pが生成した信号SIGを読出部20(図1参照)に伝える。
【0063】
(緑色の画素ブロック)
図11に示すように、画素ブロック100Grは、例えば、10個のフォトダイオードPDと、10個のトランジスタTRGと、浮遊拡散層FDと、画素トランジスタとして三つのトランジスタRST、AMP、SELとを有している。
【0064】
10個のフォトダイオードPDおよび10個のトランジスタTRGは、画素ブロック100Grに含まれる10個の受光画素PGrにそれぞれ対応する。各トランジスタTRG、RST、AMP、SELのそれぞれは、例えば、N型のMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタである。浮遊拡散層FDおよび各トランジスタTRG、RST、AMP、SELは、それぞれ半導体基板111の表面111S1に設けられる。
【0065】
フォトダイオードPDは、受光量に応じた量の電荷を生成し、生成した電荷を内部に蓄積する光電変換素子である。フォトダイオードPDのアノードは接地され、カソードはトランジスタTRGのソースに接続される。
【0066】
トランジスタTRGは、フォトダイオードPDで生成された電荷を浮遊拡散層FDに転送する。トランジスタTRGのゲートは制御線TRGLに接続され、ソースはフォトダイオードPDのカソードに接続され、ドレインは浮遊拡散層FDに接続される。10個のトランジスタTRGのゲートは、10本の制御線TRGL(図11の例では、各制御線TRGL1~TRGL6、TRGL9~TRGL12)のうちの互いに異なる制御線TRGLに接続される。
【0067】
浮遊拡散層FDは、フォトダイオードPDからトランジスタTRGを介して転送された電荷を蓄積するように構成される。浮遊拡散層FDは、例えば、半導体基板の表面に形成された拡散層を用いて構成される。
【0068】
トランジスタRSTのゲートは制御線RSTLに接続され、ドレインには電源電圧VDDが供給され、ソースは浮遊拡散層FDに接続される。トランジスタAMPのゲートは浮遊拡散層FDに接続され、ドレインには電源電圧VDDが供給され、ソースはトランジスタSELのドレインに接続される。トランジスタSELのゲートは制御線SELLに接続され、ドレインはトランジスタAMPのソースに接続され、ソースは信号線VSLに接続される。
【0069】
この構成により、受光画素Pでは、例えば、制御信号STRGおよび制御信号SRSTに基づいてトランジスタTRGおよびトランジスタRSTがオン状態になることにより、フォトダイオードPDに蓄積された電荷が排出される。そして、これらのトランジスタTRGおよびトランジスタRSTがオフ状態になることにより、露光期間Tが開始され、フォトダイオードPDに、受光量に応じた量の電荷が蓄積される。そして、露光期間Tが終了した後に、受光画素Pは、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを含む信号SIGを、信号線VSLに出力する。
【0070】
具体的には、まず、制御信号SSELに基づいてトランジスタSELがオン状態になることにより、受光画素Pが信号線VSLと電気的に接続される。これにより、トランジスタAMPは、読出部20の定電流源(例えば、後述の定電流源21)に接続され、いわゆるソースフォロワとして動作する。そして、受光画素Pは、後述するように、トランジスタRSTがオン状態になることにより浮遊拡散層FDの電圧がリセットされた後のP相(Pre-charge相)期間TPにおいて、その時の浮遊拡散層FDの電圧に応じた電圧をリセット電圧Vresetとして出力する。また、受光画素Pは、トランジスタTRGがオン状態になることによりフォトダイオードPDから浮遊拡散層FDへ電荷が転送された後のD相(Data相)期間TDにおいて、その時の浮遊拡散層の電圧に応じた電圧を画素電圧Vpixとして出力する。画素電圧Vpixとリセット電圧Vresetとの差電圧は、露光期間Tにおける受光画素Pの受光量に対応する。このようにして、受光画素Pは、これらのリセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを含む信号SIGを、信号線VSLに出力するようになっている。
【0071】
なお、画素ブロック100Gbは、前述の画素ブロック100Gr(図11参照)と同様に、10個のフォトダイオードPDと、10個のトランジスタTRGと、浮遊拡散層FDと、画素トランジスタとして三つのトランジスタRST、AMP、SELとを有している。10個のフォトダイオードPDおよび10個のトランジスタTRGは、画素ブロック100Gbに含まれる10個の受光画素PGbにそれぞれ対応している。10個のトランジスタTRGのゲートは、10本の制御線TRGLのうちの互いに異なる制御線TRGLに接続される。浮遊拡散層FDおよび各トランジスタTRG、RST、AMP、SELは、それぞれ、半導体基板111の表面111S1に設けられる。
【0072】
(赤色の画素ブロック)
図12に示すように、画素ブロック100Rは、例えば、8個のフォトダイオードPDと、8個のトランジスタTRGと、浮遊拡散層FDと、画素トランジスタとして三つのトランジスタRST、AMP、SELとを有している。
【0073】
8個のフォトダイオードPDおよび8個のトランジスタTRGは、画素ブロック100Rに含まれる8個の受光画素PRにそれぞれ対応する。8個のトランジスタTRGのゲートは、8本の制御線TRGL(図12の例では、各制御線TRGL1、TRGL2、TRGL5~TRGL10)のうちの互いに異なる制御線TRGLに接続される。浮遊拡散層FDおよび各トランジスタTRG、RST、AMP、SELは、それぞれ半導体基板111の表面111S1に設けられる。
【0074】
(青色の画素ブロック)
画素ブロック100Bは、前述の画素ブロック100R(図12参照)と同様に、8個のフォトダイオードPDと、8個のトランジスタTRGと、浮遊拡散層FDと、画素トランジスタとして三つのトランジスタRST、AMP、SELとを有している。8個のフォトダイオードPDおよび8個のトランジスタTRGは、画素ブロック100Bに含まれる8個の受光画素PBにそれぞれ対応している。8個のトランジスタTRGのゲートは、8本の制御線TRGLのうちの互いに異なる制御線TRGLに接続される。浮遊拡散層FDおよび各トランジスタTRG、RST、AMP、SELは、それぞれ半導体基板111の表面111S1に設けられる。
【0075】
(各画素ブロックの接続例)
図13に示すように、X方向に並ぶ、同じ行に属する画素ブロック100Bおよび画素ブロック100Gbは、同じ12本の制御線TRGLのうちの複数の制御線TRGLに接続される。また、図示していないが、X方向に並ぶ、同じ行に属する画素ブロック100Bおよび画素ブロック100Gbは、1本の制御線RSTLおよび1本の制御線SELLに接続される。また、図13に示すように、Y方向に並ぶ、同じ列に属する画素ブロック100Bは、1本の信号線VSLに接続される。同様に、Y方向に並ぶ、同じ列に属する画素ブロック100Gbは、1本の信号線VSLに接続される。
【0076】
<1-4.読出部の構成例>
本実施形態に係る読出部20の構成例について図14を参照して説明する。図14は、本実施形態に係る読出部20の構成例を示す図である。なお、図14の例では、読出部20に加え、参照信号生成部13、信号処理部15および撮像制御部18が示されている。
【0077】
図14に示すように、読出部20は、複数の定電流源21と、複数のAD(Analog to Digital)変換部ADCと、転送制御部27とを有している。
【0078】
各定電流源21および各AD変換部ADCのそれぞれは、複数の信号線VSLに対応して設けられている。以下に、ある1つの信号線VSLに対応する定電流源21およびAD変換部ADCについて説明する。
【0079】
定電流源21は、対応する信号線VSLに所定の電流を流すように構成される。定電流源21の一端は、対応する信号線VSLに接続され、他端は接地される。
【0080】
AD変換部ADCは、複数の容量素子22、23と、比較回路24と、カウンタ25と、ラッチ26とを有している。このAD変換部ADCは、対応する信号線VSLにおける信号SIGに基づいてAD変換を行うように構成される。
【0081】
容量素子22の一端は信号線VSLに接続されるとともに、容量素子22の他端は比較回路24に接続される。信号線VSLに接続された容量素子22の一端には信号SIGが供給される。容量素子23の一端には、参照信号生成部13から供給される参照信号RAMPが供給され、その容量素子23の他端は比較回路24に接続される。
【0082】
比較回路24は、受光画素Pから信号線VSLおよび容量素子22を介して供給された信号SIGおよび参照信号生成部13から容量素子23を介して供給された参照信号RAMPに基づいて、比較動作を行うことにより信号CPを生成するように構成されている。比較回路24は、撮像制御部18から供給された制御信号AZに基づいて、各容量素子22、23の電圧を設定することにより動作点を設定する。その後、比較回路24は、P相期間TPにおいて、信号SIGに含まれるリセット電圧Vresetと、参照信号RAMPの電圧とを比較する比較動作を行い、D相期間TDにおいて、信号SIGに含まれる画素電圧Vpixと、参照信号RAMPの電圧とを比較する比較動作を行うようになっている。
【0083】
カウンタ25は、比較回路24から供給された信号CPに基づいて、撮像制御部18から供給されたクロック信号CLKのパルスをカウントするカウント動作を行うように構成されている。具体的には、カウンタ25は、P相期間TPにおいて、信号CPが遷移するまでクロック信号CLKのパルスをカウントすることによりカウント値CNTPを生成し、このカウント値CNTPを、複数のビットを有するデジタルコードとして出力する。また、カウンタ25は、D相期間TDにおいて、信号CPが遷移するまでクロック信号CLKのパルスをカウントすることによりカウント値CNTDを生成し、このカウント値CNTDを、複数のビットを有するデジタルコードとして出力するようになっている。
【0084】
ラッチ26は、カウンタ25から供給されたデジタルコードを一時的に保持するとともに、転送制御部27からの指示に基づいて、そのデジタルコードをバス配線BUSに出力するように構成されている。
【0085】
転送制御部27は、撮像制御部18から供給された制御信号CTLに基づいて、複数のAD変換部ADCのラッチ26が、デジタルコードをバス配線BUSに順次出力させるように制御するように構成されている。読出部20は、このバス配線BUSを用いて、複数のAD変換部ADCから供給された複数のデジタルコードを、画像信号Spic0として、信号処理部15に順次転送するようになっている。
【0086】
なお、信号処理部15は、前述の画像信号Spic0および撮像制御部18からの指示に基づいて、所定の信号処理を行うことにより画像信号Spicを生成する。図15は、本実施形態に係る画像信号Spicの一例を示す図である。図15に示すように、信号処理部15は、例えば、複数行分の受光画素Pに係る画像データDPと、複数行分の受光画素Pに係る位相差データDFを交互に配置することにより、画像信号Spicを生成する。そして、信号処理部15は、このような画像信号Spicを出力するようになっている。
【0087】
<1-5.撮像装置の動作例>
本実施形態に係る撮像装置1の動作例について説明する。まず、撮像装置1の全体動作について図1を参照して説明する。
【0088】
(全体動作)
図1の例では、駆動部12は、撮像制御部18からの指示に基づいて、画素アレイ部11における複数の受光画素Pを順次駆動する。参照信号生成部13は、撮像制御部18からの指示に基づいて、参照信号RAMPを生成する。受光画素Pは、P相期間TPにおいて、リセット電圧Vresetを信号SIGとして出力し、D相期間TDにおいて、受光量に応じた画素電圧Vpixを信号SIGとして出力する。読出部20は、画素アレイ部11から信号線VSLを介して供給された信号SIGおよび撮像制御部18からの指示に基づいて、画像信号Spic0を生成する。信号処理部15において、画像データ生成部16は、画像信号Spic0に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、撮像画像を示す画像データDPを生成し、位相差データ生成部17は、画像信号Spic0に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、像面位相差を示す位相差データDFを生成する。そして、信号処理部15は、画像データDPおよび位相差データDFを含む画像信号Spicを生成する。撮像制御部18は、駆動部12、参照信号生成部13、読出部20および信号処理部15に制御信号を供給し、これらの回路の動作を制御することにより、撮像装置1の動作を制御する。
【0089】
(ズーム動作)
撮像制御部18は、電子ズームのズーム倍率についての情報を含む制御信号Sctlに基づいて、撮像装置1の動作を制御する。以下に、撮像装置1におけるズーム動作について説明する。
【0090】
図16は、ズーム倍率を1倍から10倍まで変化させた場合における、本実施形態に係る有効画素数(受光画素Pの数)の一例を示す図である。図16の例では、実線は、撮像装置1の有効画素数を示している。図17は、本実施形態に係る撮像装置1におけるズーム動作の一例を説明するための図である。図17の例では、(A)はズーム倍率が1倍である場合における動作を示し、(B)はズーム倍率が2倍である場合における動作を示し、(C)はズーム倍率が3倍である場合における動作を示す。
【0091】
図17に示すように、撮像装置1は、3つの撮像モードMA、MB、MCを有している。撮像制御部18は、制御信号Sctlに含まれるズーム倍率についての情報に基づいて、3つの撮像モードMA、MB、MCのうちの1つを選択する。具体的には、撮像制御部18は、例えば、ズーム倍率が2未満である場合に撮像モードMAを選択し、ズーム倍率が2以上3未満である場合に撮像モードMBを選択し、ズーム倍率が3以上である場合に撮像モードMCを選択する。
【0092】
撮像モードMA(図17中の(A)参照)では、撮像装置1は、複数の画素ユニットUのそれぞれにおいて、4つの画素値V(例えば、4つの画素値VR、VGr、VGbおよびVB)を得る。具体的な動作については、後述する。このように、撮像装置1は、36個の受光画素Pに対して4個の割合で、画素値Vを生成することにより、画像データDPを生成する。例えば、画素アレイ部11における受光画素Pの数が108[Mpix]である場合には、12[Mpix]分の画素値Vが算出される。これにより、有効画素数は、12[Mpix]となる。
【0093】
このような撮像モードMAにおいて、図16に示すように、ズーム倍率を1から増やすと、倍率に応じて、有効画素数が低下していく。そして、ズーム倍率が2になると、撮像モードは撮像モードMBになる。このズーム倍率が2であるときの有効画素数は、ズーム倍率が1であるときの有効画素数と同じになる。
【0094】
撮像モードMB(図17中の(B)参照)では、撮像装置1は、複数の画素ユニットUのそれぞれにおいて、16個の画素値Vを得る。具体的な動作については、後述する。このように、撮像装置1は、36個の受光画素Pに対して16個の割合で、画素値Vを生成することにより、画像データDPを生成する。例えば、画素アレイ部11における受光画素Pの数が108[Mpix]である場合には、48[Mpix]分の画素値Vが算出される。実際には、ズーム倍率が2倍であるので、撮像範囲が1/4に狭くなるため、有効画素数は12[Mpix](=48[Mpix]/4)となる。
【0095】
このような撮像モードMBにおいて、図16に示すように、ズーム倍率を2から増やすと、倍率に応じて、有効画素数が低下していく。そして、ズーム倍率が3になると、撮像モードは撮像モードMCになる。このズーム倍率が3であるときの有効画素数は、ズーム倍率が2であるときの有効画素数と同じになる。
【0096】
撮像モードMC(図17中の(C)参照)では、撮像装置1は、複数の画素ユニットUのそれぞれにおいて、36個の画素値Vを得る。具体的な動作については、後述する。このように、撮像装置1は、36個の受光画素Pに対して36個の割合で、画素値Vを生成することにより、画像データDPを生成する。例えば、画素アレイ部11における受光画素Pの数が108[Mpix]である場合には、108[Mpix]の撮像画像を得ることができる。実際には、ズーム倍率が3倍であるので、撮像範囲が1/9に狭くなるため、有効画素数は12[Mpix](=108[Mpix]/9)となる。
【0097】
このように、撮像装置1では、3つの撮像モードMA、MB、MCを設けるようにしたので、ズーム倍率を変更した場合における、撮像画像の画質の変化を低減することができる。すなわち、例えば、撮像モードMBを省いて2つの撮像モードMA、MCを設け、ズーム倍率が2倍未満である場合に撮像モードMAを選択するとともに、ズーム倍率が2倍以上である場合に撮像モードMCを選択した場合には、図16において破線で示したように、有効画素数が大きく変化する。すなわち、この例では、ズーム倍率が2倍である場合には、撮像モードMCが選択され、有効画素数は27[Mpix](=108[Mpix]/4)である。よって、ズーム倍率が例えば1.9倍である場合における有効画素数と、ズーム倍率が2倍である場合における有効画素数に大きな差が生じるので、ズーム倍率が2倍前後において、撮像画像の画質が大きく変化する可能性がある。一方、撮像装置1では、3つの撮像モードMA、MB、MCを設けるようにしたので、ズーム倍率を変更した場合における、有効画素数の変化を低減することができるので、撮像画像の画質の変化を抑えることができる。
【0098】
<1-6.撮像モードMA(第1の撮像モード)>
本実施形態に係る撮像モードMAについて図18から図20を参照して説明する。
【0099】
図18は、本実施形態に係る撮像モードMAにおける撮像装置1の動作例を示す図である。図18の例では、“〇”で示した受光画素Pは、読出動作の対象となる受光画素Pを示す。
【0100】
まず、撮像装置1は、図18(A)に示すように、複数の画素ブロック100のそれぞれにおいて、レンズ101が設けられた画素ペア90における左の受光画素Pの受光量に応じた画素値Vを算出することにより、画像データDT1を生成する。
【0101】
具体的には、撮像装置1は、画素ブロック100Grの10個の受光画素PGrのうちの、5つの画素ペア90における左に配置された5つの受光画素PGrを読出動作の対象とすることにより、この5つの受光画素PGrの重心位置における画素値VGr1を算出する。また、撮像装置1は、画素ブロック100Rの8個の受光画素PRのうちの、4つの画素ペア90における左に配置された4つの受光画素PRを読出動作の対象とすることにより、この4つの受光画素PRの重心位置における画素値VR1を算出する。撮像装置1は、画素ブロック100Bの8個の受光画素PBのうちの、4つの画素ペア90における左に配置された4つの受光画素PBを読出動作の対象とすることにより、この4つの受光画素PBの重心位置における画素値VB1を算出する。撮像装置1は、画素ブロック100Gbの10個の受光画素PGbのうちの、5つの画素ペア90における左に配置された5つの受光画素PGbを読出動作の対象とすることにより、この5つの受光画素PGbの重心位置における画素値VGb1を算出する。このようにして、撮像装置1は、各画素値VGr1、VR1、VB1、VGb1を含む画像データDT1(図18(A)参照)を生成する。
【0102】
次に、撮像装置1は、図18(B)に示すように、複数の画素ブロック100Gr、100R、100B、100Gbのそれぞれにおいて、全ての受光画素Pの受光量に応じた画素値Vを算出することにより、画像データDT2を生成する。
【0103】
具体的には、撮像装置1は、画素ブロック100Grの10個の受光画素PGrを読出動作の対象とすることにより、この10個の受光画素PGrの重心位置における画素値VGr2を算出する。また、撮像装置1は、画素ブロック100Rの8個の受光画素PRを読出動作の対象とすることにより、この8個の受光画素PRの重心位置における画素値VR2を算出する。撮像装置1は、画素ブロック100Bの8個の受光画素PBを読出動作の対象とすることにより、この8個の受光画素PBの重心位置における画素値VB2を算出する。撮像装置1は、画素ブロック100Gbの10個の受光画素PGbを読出動作の対象とすることにより、この10個の受光画素PGbの重心位置における画素値VGb2を算出する。このようにして、撮像装置1は、各画素値VGr2、VR2、VB2、VGb2を含む画像データDT2(図18(B)参照)を生成する。
【0104】
以下に、ある画素ブロック100Grに着目して、この画素ブロック100Grにおける10個の受光画素PGrに対する読出動作について説明する。
【0105】
図19は、本実施形態に係る撮像装置1における読出動作の一例を示す図である。図19において、(A)は制御信号SSELの波形を示し、(B)は制御信号SRSTの波形を示し、(C)は画素ペア90における左に配置された受光画素PGrに供給される制御信号STRG(制御信号STRGL)の波形を示し、(D)は画素ペア90における右に配置された受光画素PGrに供給される制御信号STRG(制御信号STRGR)の波形を示し、(E)は制御信号AZの波形を示し、(F)は参照信号RAMPの波形を示し、(G)は信号SIGの波形を示し、(H)は信号CPの波形を示す。
【0106】
図19(F)及び(G)では、参照信号RAMPおよび信号SIGの波形を、同じ電圧軸を用いて示している。なお、図19(F)に示した参照信号RAMPの波形は、容量素子23を介して比較回路24の入力端子に供給された電圧の波形であり、図19(G)に示した信号SIGの波形は、容量素子22を介して比較回路24の入力端子に供給された電圧の波形である。
【0107】
まず、タイミングt11において、水平期間Hが開始する。これにより、駆動部12は、制御信号SSELの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図19(A)参照)。これにより、画素ブロック100Grでは、トランジスタSELがオン状態になり、画素ブロック100Grが信号線VSLと電気的に接続される。また、このタイミングt11において、駆動部12は、制御信号SRSTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図19(B)参照)。これにより、画素ブロック100Grでは、トランジスタRSTがオン状態になり、浮遊拡散層FDの電圧が電源電圧VDDに設定される(リセット動作)。そして、画素ブロック100Grは、このときの浮遊拡散層FDの電圧に対応する電圧を出力する。
【0108】
また、このタイミングt11において、撮像制御部18は、制御信号AZの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図19(E)参照)。これにより、AD変換部ADCの比較回路24は、各容量素子22、23の電圧を設定することにより動作点を設定する。このようにして、信号SIGの電圧がリセット電圧Vresetに設定され、参照信号RAMPの電圧が、信号SIGの電圧(リセット電圧Vreset)と同じ電圧に設定される(図19(F)および(G)参照)。
【0109】
そして、タイミングt11から所定の時間が経過したタイミングにおいて、駆動部12は、制御信号SRSTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図19(B)参照)。これにより、画素ブロック100Grにおいて、トランジスタRSTはオフ状態になり、リセット動作は終了する。
【0110】
次に、タイミングt12において、撮像制御部18は、制御信号AZの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図19(E)参照)。これにより、比較回路24は、動作点の設定を終了する。
【0111】
また、このタイミングt12において、参照信号生成部13は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1にする(図19(F)参照)。これにより、参照信号RAMPの電圧が信号SIGの電圧より高くなるので、比較回路24は、信号CPの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図19(H)参照)。
【0112】
そして、タイミングt13~t15の期間(P相期間TP)において、AD変換部ADCは、信号SIGに基づいてAD変換を行う。具体的には、まず、タイミングt13において、参照信号生成部13は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図19(F)参照)。また、このタイミングt13において、撮像制御部18は、クロック信号CLKの生成を開始する。AD変換部ADCのカウンタ25は、カウント動作を行うことにより、このクロック信号CLKのパルスをカウントする。
【0113】
そして、タイミングt14において、参照信号RAMPの電圧が信号SIGの電圧(リセット電圧Vreset)を下回る(図16(F)および(G)参照)。これにより、AD変換部ADCの比較回路24は、信号CPの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図19(H)参照)。AD変換部ADCのカウンタ25は、この信号CPの遷移に基づいて、カウント動作を停止する。このときのカウンタ25のカウント値(カウント値CNTP)は、リセット電圧Vresetに応じた値である。ラッチ26は、このカウント値CNTPを保持する。そして、カウンタ25は、カウント値をリセットする。
【0114】
次に、タイミングt15において、撮像制御部18は、P相期間TPの終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止する。また、参照信号生成部13は、このタイミングt15において、参照信号RAMPの電圧の変化を停止させる(図19(F)参照)。そして、このタイミングt15以降の期間において、読出部20は、ラッチ26に保持されたカウント値CNTPを、画像信号Spic0として、信号処理部15に供給する。
【0115】
次に、タイミングt16において、撮像制御部18は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に設定する(図19(F)参照)。これにより、参照信号RAMPの電圧が信号SIGの電圧(リセット電圧Vreset)より高くなるので、比較回路24は、信号CPの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図19(H)参照)。
【0116】
次に、タイミングt17において、駆動部12は、制御信号STRGLの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図19(C)参照)。これにより、画素ペア90における左に配置された5つの受光画素PGrでは、トランジスタTRGがオン状態になり、フォトダイオードPDで発生した電荷が浮遊拡散層FDに転送される(電荷転送動作)。そして、画素ブロック100Grは、このときの浮遊拡散層FDの電圧に対応する電圧を出力する。このようにして、信号SIGの電圧が画素電圧Vpix1になる(図19(G)参照)。
【0117】
そして、このタイミングt17から所定の時間が経過したタイミングにおいて、駆動部12は、制御信号STRGLの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図19(C)参照)。これにより、画素ペア90の左に配置された5つの受光画素PGrにおいて、トランジスタTRGはオフ状態になり、電荷転送動作は終了する。
【0118】
そして、タイミングt18~t20の期間(D相期間TD1)において、AD変換部ADCは、信号SIGに基づいてAD変換を行う。具体的には、まず、タイミングt18において、参照信号生成部13は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図19(F)参照)。また、このタイミングt18において、撮像制御部18は、クロック信号CLKの生成を開始する。AD変換部ADCのカウンタ25は、カウント動作を行うことにより、このクロック信号CLKのパルスをカウントする。
【0119】
そして、タイミングt19において、参照信号RAMPの電圧が信号SIGの電圧(画素電圧Vpix1)を下回る(図19(F)および(G)参照)。これにより、AD変換部ADCの比較回路24は、信号CPの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図19(H)参照)。AD変換部ADCのカウンタ25は、この信号CPの遷移に基づいて、カウント動作を停止する。このときのカウンタ25のカウント値(カウント値CNTD1)は、画素電圧Vpix1に応じた値である。ラッチ26は、このカウント値CNTD1を保持する。そして、カウンタ25は、カウント値をリセットする。
【0120】
次に、タイミングt20において、撮像制御部18は、D相期間TD1の終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止する。また、参照信号生成部13は、このタイミングt20において、参照信号RAMPの電圧の変化を停止させる(図19(F)参照)。そして、このタイミングt20以降の期間において、読出部20は、ラッチ26に保持されたカウント値CNTD1を、画像信号Spic0として、信号処理部15に供給する。
【0121】
次に、タイミングt21において、撮像制御部18は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1に設定する(図19(F)参照)。これにより、参照信号RAMPの電圧が信号SIGの電圧(画素電圧Vpix1)より高くなるので、比較回路24は、信号CPの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図19(H)参照)。
【0122】
次に、タイミングt22において、駆動部12は、制御信号STRGL,STRGRの電圧を低レベルから高レベルにそれぞれ変化させる(図19(C)および(D)参照)。これにより、画素ブロック100Grにおける10個の受光画素PGrでは、トランジスタTRGがオン状態になり、フォトダイオードPDで発生した電荷が浮遊拡散層FDに転送される(電荷転送動作)。そして、画素ブロック100Grは、このときの浮遊拡散層FDの電圧に対応する電圧を出力する。このようにして、信号SIGの電圧が画素電圧Vpix2になる(図19(G)参照)。
【0123】
そして、このタイミングt22から所定の時間が経過したタイミングにおいて、駆動部12は、制御信号STRGL,STRGRの電圧を高レベルから低レベルにそれぞれ変化させる(図19(C)および(D)参照)。これにより、10個の受光画素PGrにおいて、トランジスタTRGはオフ状態になり、電荷転送動作は終了する。
【0124】
そして、タイミングt23~t25の期間(D相期間TD2)において、AD変換部ADCは、信号SIGに基づいてAD変換を行う。具体的には、まず、タイミングt23において、参照信号生成部13は、参照信号RAMPの電圧を電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図19(F)参照)。また、このタイミングt23において、撮像制御部18は、クロック信号CLKの生成を開始する。AD変換部ADCのカウンタ25は、カウント動作を行うことにより、このクロック信号CLKのパルスをカウントする。
【0125】
そして、タイミングt24において、参照信号RAMPの電圧が信号SIGの電圧(画素電圧Vpix2)を下回る(図19(F)および(G)参照)。これにより、AD変換部ADCの比較回路24は、信号CPの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図19(H)参照)。AD変換部ADCのカウンタ25は、この信号CPの遷移に基づいて、カウント動作を停止する。このときのカウンタ25のカウント値(カウント値CNTD2)は、画素電圧Vpix2に応じた値である。ラッチ26は、このカウント値CNTD2を保持する。そして、カウンタ25は、カウント値をリセットする。
【0126】
次に、タイミングt25において、撮像制御部18は、D相期間TD2の終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止する。また、参照信号生成部13は、このタイミングt25において、参照信号RAMPの電圧の変化を停止させる(図19(F)参照)。そして、このタイミングt25以降の期間において、読出部20は、ラッチ26に保持されたカウント値CNTD2を、画像信号Spic0として、信号処理部15に供給する。
【0127】
次に、タイミングt26において、駆動部12は、制御信号SSELの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図19(A)参照)。これにより、画素ブロック100Grでは、トランジスタSELがオフ状態になり、画素ブロック100Grが信号線VSLから電気的に切り離される。
【0128】
このようにして、読出部20は、各カウント値CNTP、CNTD1、CNTD2を含む画像信号Spic0を信号処理部15に供給する。信号処理部15は、例えば、画像信号Spic0に含まれる各カウント値CNTP、CNTD1、CNTD2に基づいて、相関2重サンプリングの原理を利用して、図18(A)に示した画素値VGr1および図18(B)に示した画素値VGr2を生成する。
【0129】
具体的には、信号処理部15は、例えば、カウント値CNTD1からカウント値CNTPを減算することにより、画素値VGr1を生成する。カウント値CNTD1は、画素ブロック100Grの5つの画素ペア90における左に配置された5つの受光画素PGrでの受光量の和に応じた値であるので、信号処理部15は、このカウント値CNTD1に基づいて、図18(A)に示した画素値VGr1を生成することができる。同様に、信号処理部15は、例えば、カウント値CNTD2からカウント値CNTPを減算することにより、画素値VGr2を生成する。カウント値CNTD2は、画素ブロック100Grの10個の受光画素PGrでの受光量の和に応じた値であるので、信号処理部15は、このカウント値CNTD2に基づいて、図18(B)に示した画素値VGr2を生成することができる。
【0130】
以上、画素ブロック100Grについて説明したが、各画素ブロック100R、100Gb、100Bについても同様である。このようにして、信号処理部15は、図18に示したように、各画素値VR1、VGr1、VGb1、VB1を含む画像データDT1および各画素値VR2、VGr2、VGb2、VB2を含む画像データDT2を生成する。
【0131】
図20は、本実施形態に係る撮像モードMAにおける、信号処理部15の画像処理の一例を示す図である。
【0132】
まず、信号処理部15は、各画像データDT1、DT2に基づいて、減算処理を行うことにより、画像データDT3を生成する。
【0133】
具体的には、信号処理部15は、画像データDT2における画素値VGr2から、画像データDT1における画素値VGr1を減算することにより、画素値VGr3を算出する。この画素値VGr3は、画素ブロック100Grの5つの画素ペア90における右に配置された5つの受光画素PGrでの受光量の和に応じた値である。すなわち、画素値VGr1は、画素ブロック100Grの5つの画素ペア90における左に配置された5つの受光画素PGrでの受光量の和に応じた値であり、画素値VGr2は、この画素ブロック100Grの10個の受光画素PGrでの受光量の和に応じた値である。よって、画素値VGr2から画素値VGr1を減算することにより、画素ブロック100Grの5つの画素ペア90における右に配置された5つの受光画素PGrでの受光量の和に応じた値が得られる。このように、画素値VGr3は、5つの画素ペア90における右に配置された5つの受光画素PGrでの受光量の和に応じた値であるので、図20に示すように、画素値VGr3は、これらの5つの受光画素PGrの重心位置に配置される。
【0134】
同様に、信号処理部15は、画像データDT2における画素値VR2から、画像データDT1における画素値VR1を減算することにより、画素値VR3を算出する。この画素値VR3は、画素ブロック100Rの4つの画素ペア90における右に配置された4つの受光画素PRでの受光量の和に応じた値である。画素値VR3は、画素ブロック100Rの4つの画素ペア90における右に配置された4つの受光画素PRの重心位置に配置される。
【0135】
信号処理部15は、画像データDT2における画素値VB2から、画像データDT1における画素値VB1を減算することにより、画素値VB3を算出する。この画素値VB3は、画素ブロック100Bの4つの画素ペア90における右に配置された4つの受光画素PBでの受光量の和に応じた値である。画素値VB3は、画素ブロック100Bの4つの画素ペア90における右に配置された4つの受光画素PBの重心位置に配置される。
【0136】
信号処理部15は、画像データDT2における画素値VGb2から、画像データDT1における画素値VGb1を減算することにより、画素値VGb3を算出する。この画素値VGb3は、画素ブロック100Gbの5つの画素ペア90における右に配置された5つの受光画素PGbでの受光量の和に応じた値である。画素値VGb3は、画素ブロック100Gbの5つの画素ペア90における右に配置された5つの受光画素PGbの重心位置に配置される。
【0137】
そして、信号処理部15の画像データ生成部16は、画像データDT2に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、撮像画像を示す画像データDP(図17(A)参照)を生成する。
【0138】
また、信号処理部15の位相差データ生成部17は、各画像データDT1、DT3に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、像面位相差を示す位相差データDFを生成する。すなわち、画像データDT1は、複数の画素ペア90における左に配置された受光画素Pでの画素値Vを有し、画像データDT3は、複数の画素ペア90における右に配置された受光画素Pでの画素値Vを有する。よって、位相差データ生成部17は、各画像データDT1、DT3に基づいて、位相差データDFを生成することができる。
【0139】
撮像装置1では、画素アレイ部11において、レンズ101がX方向およびY方向に並設されているので(図2参照)、画素アレイ部11の全面にわたり、高い解像度で位相差データDFを生成することができる。よって、例えば、このような撮像装置1が搭載されたカメラでは、精度が高いオートフォーカスを実現することができ、その結果、画質を高めることができる。
【0140】
<1-7.撮像モードMB(第2の撮像モード)>
本実施形態に係る撮像モードMBについて図21から図27を参照して説明する。
【0141】
図21は、本実施形態に係る撮像モードMBにおける撮像装置1の動作例を示す図である。図22は、図21に示した動作をより具体的に示す図である。図21および図22において、“〇”で示した受光画素Pは、読出動作の対象となる受光画素Pを示す。
【0142】
画素ブロック100Grでは、図22(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Grの5つの画素ペア90のうちの1つの画素ペア90における左に配置された受光画素PGrを読出動作の対象とし、この受光画素PGrの位置における画素値VGr1を算出する。そして、次に、図22(B)に示したように、撮像装置1は、その画素ペア90における2つの受光画素PGrを読出動作の対象とし、この2つの受光画素PGrの重心位置における画素値VGr2を算出する。
【0143】
同様に、画素ブロック100Rでは、図22(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Rの4つの画素ペア90のうちの1つの画素ペア90における左に配置された受光画素PRを読出動作の対象とし、この受光画素PRの位置における画素値VR1を算出する。そして、次に、図22(B)に示したように、撮像装置1は、その画素ペア90における2つの受光画素PRを読出動作の対象とし、この2つの受光画素PRの重心位置における画素値VR2を算出する。
【0144】
同様に、画素ブロック100Bでは、図22(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Bの4つの画素ペア90のうちの1つの画素ペア90における左に配置された受光画素PBを読出動作の対象とし、この受光画素PBの位置における画素値VB1を算出する。そして、次に、図22(B)に示したように、撮像装置1は、その画素ペア90における2つの受光画素PBを読出動作の対象とし、この2つの受光画素PBの重心位置における画素値VB2を算出する。
【0145】
同様に、画素ブロック100Gbでは、図22(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Gbの5つの画素ペア90のうちの1つの画素ペア90における左に配置された受光画素PGbを読出動作の対象とし、この受光画素PGbの位置における画素値VGb1を算出する。そして、次に、図22(B)に示したように、撮像装置1は、その画素ペア90における2つの受光画素PGbを読出動作の対象とし、この2つの受光画素PGbの重心位置における画素値VGb2を算出する。
【0146】
図22(A)および図22(B)における読出動作は、上述した撮像モードMAにおける読出動作(図19参照)と同様の動作である。撮像装置1は、その後、図22(C)および図22(D)の動作、図22(E)および図22(F)の動作、図22(G)および図22(H)の動作、図22(I)および図22(J)の動作、図22(K)および図22(L)の動作を行う。このようにして、撮像装置1は、各画素値VGr1、VR1、VB1、VGb1を含む画像データDT1(図21(A)参照)、および、各画素値VGr2、VR2、VB2、VGb2を含む画像データDT2(図21(B)参照)を生成する。
【0147】
図23は、本実施形態に係る撮像モードMBにおける、信号処理部15の画像処理の一例を示す図である。
【0148】
まず、信号処理部15は、各画像データDT1、DT2に基づいて、減算処理を行うことにより、画像データDT3を生成する。
【0149】
具体的には、信号処理部15は、画像データDT2における5つの画素値VGr2から、画像データDT1における5つの画素値VGr1をそれぞれ減算することにより、5つの画素値VGr3を算出する。この画素値VGr3は、画素ブロック100Grの画素ペア90における右に配置された受光画素PGrでの受光量に応じた値である。すなわち、画素値VGr1は、画素ブロック100Grの画素ペア90における左に配置された受光画素PGrでの受光量に応じた値であり、画素値VGr2は、この画素ペア90における2つの受光画素PGrでの受光量の和に応じた値である。よって、画素値VGr2から画素値VGr1を減算することにより、画素ブロック100Grの画素ペア90における右に配置された受光画素PGrでの受光量に応じた値が得られる。このように、画素値VGr3は、画素ペア90における右に配置された受光画素PGrでの受光量に応じた値であるので、図23に示すように、画素値VGr3は、画素ペア90における右に配置された受光画素PGrの位置に配置される。
【0150】
同様に、信号処理部15は、画像データDT2における4つの画素値VR2から、画像データDT1における4つの画素値VR1をそれぞれ減算することにより、4つの画素値VR3を算出する。この画素値VR3は、画素ブロック100Rの画素ペア90における右に配置された受光画素PRでの受光量に応じた値である。この画素値VR3は、この画素ペア90における右に配置された受光画素PRの位置に配置される。
【0151】
信号処理部15は、画像データDT2における4つの画素値VB2から、画像データDT1における4つの画素値VB1をそれぞれ減算することにより、4つの画素値VB3を算出する。この画素値VB3は、画素ブロック100Bの画素ペア90における右に配置された受光画素PBでの受光量に応じた値である。この画素値VB3は、この画素ペア90における右に配置された4つの受光画素PBの位置に配置される。
【0152】
信号処理部15は、画像データDT2における5つの画素値VGb2から、画像データDT1における5つの画素値VGb1をそれぞれ減算することにより、5つの画素値VGb3を算出する。この画素値VGb3は、画素ブロック100Gbの画素ペア90における右に配置された受光画素PGbでの受光量に応じた値である。この画素値VGb3は、この画素ペア90における右に配置された受光画素PGbの位置に配置される。
【0153】
そして、信号処理部15の画像データ生成部16は、図23に示すように、画像データDT2に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、撮像画像を示す画像データDP(図17(B))を生成する。この所定の画像処理は、画素値Vの修正を行うとともに画素値Vの再配置を行うリモザイク処理を含む。
【0154】
図24は、本実施形態に係る撮像モードMBにおけるリモザイク処理の一例を示す図である。図24において、(A)は画像データDT2を示し、(B)はリモザイク処理の前後の画素値Vの位置を示し、(C)は画像データDT2に基づいてリモザイク処理により生成された画像データDT4を示す。図24(B)において、“〇”は、画像データDT2における画素値Vの位置を示し、“□”は、画像データDT4における画素値Vの位置を示している。
【0155】
図25は、本実施形態に係る撮像モードMBにおける、画素ブロック100R(第1の画素ブロック)についてのリモザイク処理を示す図である。図26は、本実施形態に係る撮像モードMBにおける、各画素ブロック100Gr、100Gb(第2の画素ブロックおよび第3の画素ブロック)についてのリモザイク処理を示す図である。図27は、本実施形態に係る撮像モードMBにおける、画素ブロック100B(第4の画素ブロック)についてのリモザイク処理を示す図である。図25図27において、(A)は画像データDT2を示し、(B)はリモザイク処理により生成された画像データDT4を示す。
【0156】
画像データDT2では、図24(A)に示したように、36個の受光画素Pに対して18個の割合で画素値Vを含む。例えば、画素アレイ部11における受光画素Pの数が108[Mpix]である場合には、画像データDT2は、54[Mpix]分の画素値Vを含む。一方、画像データDT4では、図24(C)に示したように、36個の受光画素Pに対して16個の割合で画素値Vを含む。例えば、画素アレイ部11における受光画素Pの数が108[Mpix]である場合には、画像データDT4は、48[Mpix]分の画素値Vを含む。また、画像データDT4では、4つの画素値VGr4、VR4、VB4、VGb4がベイヤー配列により配列される。画像データ生成部16は、画像データDT2における画素値Vの修正を行うとともに画素値Vの再配置を行うことにより、このような画像データDT4を生成する。
【0157】
具体的には、画像データ生成部16は、図25に示したように、画像データDT2における複数の画素値VR2に基づいて、例えば、補完処理を行うことにより、一面にわたる画素値Vを算出し、その一面にわたる画素値Vに基づいて、画素値VR4を生成する。同様に、画像データ生成部16は、図26に示したように、画像データDT2における複数の画素値VGr2,VGb2に基づいて、例えば、補完処理を行うことにより、一面にわたる画素値Vを算出し、その一面にわたる画素値Vに基づいて、画素値VGr4,VGb4を生成する。画像データ生成部16は、図27に示したように、画像データDT2における複数の画素値VB2に基づいて、例えば、補完処理を行うことにより、一面にわたる画素値Vを算出し、その一面にわたる画素値Vに基づいて、画素値VB4を生成する。
【0158】
このようにして、画像データ生成部16は、図24(A)に示した画像データDT2に基づいて、図24(C)に示した画像データDT4を生成する。そして、画像データ生成部16は、この画像データDT4に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、撮像画像を示す画像データDP(図17(B)参照)を生成する。
【0159】
また、信号処理部15の位相差データ生成部17は、図23に示したように、各画像データDT1、DT3に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、像面位相差を示す位相差データDFを生成する。すなわち、画像データDT1は、複数の画素ペア90における左に配置された受光画素Pでの画素値Vを有し、画像データDT3は、複数の画素ペア90における右に配置された受光画素Pでの画素値Vを有する。よって、位相差データ生成部17は、各画像データDT1、DT3に基づいて、位相差データDFを生成することができる。
【0160】
位相差データ生成部17は、画像データ生成部16と同様に、各画像データDT1、DT3に基づいて、画素値Vの再配置を行うことにより、位相差データDFを生成する。すなわち、各画像データDT1、DT3では、36個の受光画素Pに対して18個の割合で、画素ペア90に係る左右の画素値Vを含む。よって、位相差データ生成部17は、36個の受光画素Pに対して16個の割合で、画素ペア90に係る左右の画素値Vを含むように、画素値Vの再配置を行う。これにより、位相差データ生成部17は、画像データ生成部16が生成した画像データDPに対応した位相差データDFを生成することができる。
【0161】
<1-8.撮像モードMC(第3の撮像モード)>
本実施形態に係る撮像モードMCについて図28から図35を参照して説明する。
【0162】
図28は、本実施形態に係る撮像モードMCにおける撮像装置1の動作例を示す図である。図29は、図28に示した動作をより具体的に示す図である。図28および図29において、“〇”で示した受光画素Pは、読出動作の対象となる受光画素Pを示す。
【0163】
画素ブロック100Grでは、図29(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Grの10個の受光画素PGrのうちの1つの受光画素PGrを読出動作の対象とし、この受光画素PGrの位置における画素値VGr1を算出する。
【0164】
図30は、本実施形態に係る撮像装置1における読出動作の一例を示す図である。図30において、(A)は制御信号SSELの波形を示し、(B)は制御信号SRSTの波形を示し、(C)は読出対象である受光画素PGrに供給される制御信号STRGの波形を示し、(D)は制御信号AZの波形を示し、(E)は参照信号RAMPの波形を示し、(F)は信号SIGの波形を示し、(G)は信号CPの波形を示す。この読出動作は、各撮像モードMA、MBにおける読出動作(図19参照)において、タイミングt21~t26の動作を省いたものである。このようにして、読出部20は、カウント値CNTP,CNTD1を含む画像信号Spic0を信号処理部15に供給する。信号処理部15は、例えば画像信号Spic0に含まれるカウント値CNTP,CNTD1に基づいて、相関2重サンプリングの原理を利用して、画素値VGr1を生成する。具体的には、信号処理部15は、例えば、カウント値CNTD1からカウント値CNTPを減算することにより、画素値VGr1を生成する。
【0165】
同様に、画素ブロック100Rでは、図29(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Rの8個の受光画素PRのうちの1つの受光画素PRを読出動作の対象とし、この受光画素PRの位置における画素値VR1を算出する。
【0166】
同様に、画素ブロック100Bでは、図29(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Bの8個の受光画素PBのうちの1つの受光画素PBを読出動作の対象とし、この受光画素PBの位置における画素値VB1を算出する。
【0167】
同様に、画素ブロック100Gbでは、図29(A)に示したように、撮像装置1は、画素ブロック100Gbの10個の受光画素PGbのうちの1つの受光画素PGbを読出動作の対象とし、この受光画素PGbにおける画素値VGb1を算出する。
【0168】
撮像装置1は、その後、図29(B)~図29(L)の動作を行う。このようにして、撮像装置1は、各画素値VGr1、VR1、VB1、VGb1を含む画像データDT1(図28参照)を生成する。
【0169】
図31は、本実施形態に係る撮像モードMCにおける、信号処理部15の画像処理の一例を示す図である。
【0170】
信号処理部15の画像データ生成部16は、画像データDT1に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、撮像画像を示す画像データDP(図17(C)参照)を生成する。この所定の画像処理は、画素値Vの修正を行うとともに画素値Vの再配置を行うリモザイク処理を含む。
【0171】
図32は、本実施形態に係る撮像モードMCにおけるリモザイク処理の一例を示す図である。図32において、(A)は画像データDT1を示し、(B)はリモザイク処理の前後の画素値Vの位置を示し、(C)は画像データDT1に基づいてリモザイク処理により生成された画像データDT4を示す。図32(B)において、“〇”は、画像データDT1における画素値Vの位置を示し、“□”は、画像データDT4における画素値Vの位置を示している。
【0172】
図33は、本実施形態に係る撮像モードMCにおける、画素ブロック100Rについてのリモザイク処理を示す図である。図34は、本実施形態に係る撮像モードMCにおける、各画素ブロック100Gr、100Gbについてのリモザイク処理を示す図である。図35は、本実施形態に係る撮像モードMCにおける、画素ブロック100Bについてのリモザイク処理を示す図である。図33図35において、(A)は画像データDT1を示し、(B)はリモザイク処理により生成された画像データDT4を示す。
【0173】
画像データDT4では、4つの画素値VGr4、VR4、VB4、VGb4がベイヤー配列により配列される。画像データ生成部16は、画像データDT1における画素値Vの修正を行うとともに画素値Vの再配置を行うことにより、このような画像データDT4を生成する。
【0174】
具体的には、画像データ生成部16は、図33に示したように、画像データDT1における複数の画素値VR1に基づいて、例えば、補完処理を行うことにより、一面にわたる画素値Vを算出し、その一面にわたる画素値Vに基づいて、画素値VR4を生成する。同様に、画像データ生成部16は、図34に示したように、画像データDT1における複数の画素値VGr1,VGb1に基づいて、例えば、補完処理を行うことにより、一面にわたる画素値Vを算出し、その一面にわたる画素値Vに基づいて、画素値VGr4,VGb4を生成する。画像データ生成部16は、図35に示したように、画像データDT1における複数の画素値VB1に基づいて、例えば、補完処理を行うことにより、一面にわたる画素値Vを算出し、その一面にわたる画素値Vに基づいて、画素値VB4を生成する。
【0175】
このようにして、画像データ生成部16は、図32(A)に示した画像データDT1に基づいて、図32(C)に示した画像データDT4を生成する。そして、画像データ生成部16は、この画像データDT4に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、撮像画像を示す画像データDP(図17(C)参照)を生成する。
【0176】
また、信号処理部15の位相差データ生成部17は、図31に示したように、画像データDT1に基づいて、所定の画像処理を行うことにより、像面位相差を示す位相差データDFを生成する。すなわち、画像データDT1は、複数の画素ペア90における左に配置された受光画素Pでの画素値Vを有する画像データ(画像データDT11)と、複数の画素ペア90における右に配置された受光画素Pでの画素値Vを有する画像データ(画像データDT12)とを含む。よって、位相差データ生成部17は、この画像データDT1(各画像データDT11、DT12)に基づいて、位相差データDFを生成することができる。
【0177】
このように、撮像装置1では、それぞれが、互いに同じ色のカラーフィルタ131を含む複数の受光画素Pを有する画素ブロック100が複数設けられている。複数の受光画素Pは、2つの受光画素Pをそれぞれ含む複数の画素ペア90に区分されている。そして、これらの複数の画素ペア90のそれぞれに対応する位置に複数のレンズ101が設けられている。これにより、撮像装置1では、画素アレイ部11の全面にわたり、高い解像度で位相差データDFを生成することができる。よって、例えば、このような撮像装置1が搭載されたカメラでは、例えば、様々なズーム倍率において、精度が高いオートフォーカスを実現することができる。その結果、撮像装置1では、画質を高めることができる。
【0178】
また、撮像装置1では、ある画素ブロック100における複数の受光画素Pの数が、他のある画素ブロック100における複数の受光画素Pの数よりも多く設定されている。具体的には、例えば、画素ブロック100Grにおける受光画素PGrの数および画素ブロック100Gbにおける受光画素PGbの数が、画素ブロック100Rにおける受光画素PRの数および画素ブロック100Bにおける受光画素PBの数よりも多く設定されている。これにより、例えば、緑色の受光感度を高めることができ、撮像画像の画質を高めることができる。
【0179】
また、撮像装置1では、3つの撮像モードMA、MB、MCを設け、各撮像モードMB、MCにおいてリモザイク処理が実行される。これにより、撮像装置1では、例えば、撮像モードMBにおけるリモザイク処理により、撮像モードMBにおける有効画素数を調整し、ズーム倍率を変更した場合における有効画素数の変化を低減することが可能になるので、撮像画像の画質の変化を抑えることができる。
【0180】
<2.変形例>
本実施形態に係る変形例1から変形例5について図36から図42を参照して説明する。
【0181】
<2-1.変形例1>
図36は、本実施形態の変形例1に係る画素アレイ部11におけるレンズ101ごとの屈折率を説明するための平面図である。
【0182】
図36に示すように、色ごとにレンズ領域101a又はレンズ領域101bの屈折率が異なっていてもよい。つまり、前述の説明では、レンズ101の高屈折材料又は低屈折材料は色(R、G、B)に関係なく同じであるが、色ごとに異なっていてもよい。色ごとに同色間感度差の程度が異なることがあるため(図9参照)、色ごとにレンズ領域101a及びレンズ領域101bの一方又は両方の屈折率が異なっていてもよい。例えば、赤色(R)又は青色(B)の各受光画素Pにおいて、高屈折材料又は低屈折材料は異なってもよい。
【0183】
図36の例では、レンズ101を形成する材料として、高屈折材料が3種類であり、低屈折材料が4種類である7種類の材料が用いられる。レンズ領域101aが3種類の高屈折材料のいずれかにより形成され、レンズ領域101bが4種類の高屈折材料のいずれかにより形成される。なお、高屈折材料および低屈折材料のそれぞれの種類はもっと多くてもよい。
【0184】
例えば、赤色(R)の受光画素Pに接する緑色(G)の受光画素Pと、青色(B)に接する緑色(G)の受光画素Pとで、同じ屈折率の高屈折材料又は低屈折材料を用いることがあるが、赤色(R)の受光画素Pに接する緑色(G)の受光画素Pと、青色(B)に接する緑色(G)の受光画素Pとで、隣接するカラーフィルタ131から受ける影響が異なるため、それらの各受光画素Pにおいて、異なる屈折率の高屈折材料又は低屈折材料を用いてもよい。
【0185】
変形例1によれば、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率の調整に加え、色ごとにレンズ領域101a又はレンズ領域101bの屈折率を変えることで、感度の補正を正確に行うことが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0186】
<2-2.変形例2>
図37は、本実施形態の変形例1に係る画素アレイ部11におけるレンズ101ごとの屈折率を説明するための平面図である。
【0187】
図37に示すように、同色間感度差を生じない画素ペア90には、色ごとに屈折率が異なるレンズ101が設けられている。図37の例では、同色間感度差を生じない赤色(R)の画素ペア90に対するレンズ101は、左斜めの線により塗り潰されており、同色間感度差を生じない緑色(G)の画素ペア90に対するレンズ101は、右斜めの線により塗り潰されており、同色間感度差を生じない青色(B)の画素ペア90に対するレンズ101は、塗り潰されていない。
【0188】
つまり、前述の説明では、同色間感度差を生じない画素ペア90に対するレンズ101として、色に関係なく屈折率が同じレンズを使っていたが、色ごとの各画素ペア90のそれぞれの感度差を合わせるために屈折率が異なるレンズを用いてもよい。ただし、Gr及びGbでは、同色間感度差を生じないレンズ101として、屈折率が同じレンズを用いることが望ましい。
【0189】
変形例2によれば、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率の調整に加え、同色間感度差を生じない画素ペア90に対するレンズ101の屈折率を色ごとに変えることで、感度の補正を正確に行うことが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0190】
<2-3.変形例3>
図38は、本実施形態の変形例3に係る画素アレイ部11におけるレンズ101ごとの屈折率を説明するための平面図である。図39は、本実施形態の変形例3に係る画素アレイ部11の断面構造例を示す図である。なお、図39は、図38に示したY2-Y2線に対応する断面を表している。
【0191】
図38および図39に示すように、レンズ101のレンズ領域101a(高屈折領域)およびレンズ領域101b(低屈折領域)の割合は、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変わっている。つまり、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの平面面積(平面視での面積)は、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変わっている。
【0192】
図38の例では、レンズ領域101aの平面面積は、レンズ101が画角外周に位置するほど大きくなる。逆に、レンズ領域101bの平面面積は、レンズ101が画角外周に位置するほど小さくなる。なお、レンズ101が画角中央付近に位置する場合には、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの平面面積は同じである。
【0193】
変形例3によれば、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率の調整に加え、レンズ領域101a(高屈折領域)およびレンズ領域101b(低屈折領域)の割合を、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変えることで、感度の補正を正確に行うことが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0194】
<2-4.変形例4>
図40は、本実施形態の変形例4に係る画素アレイ部11におけるレンズ101ごとの屈折率を説明するための平面図である。
【0195】
図40に示すように、レンズ101のレンズ領域101a(高屈折領域)およびレンズ領域101b(低屈折領域)の平面分割パターン(平面視での分割パターン)は、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変わっている。つまり、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bの平面形状は、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変わっている。なお、前述の変形例4と同様、例えば、レンズ領域101aの平面面積は、レンズ101が画角外周に位置するほど大きくなる。
【0196】
図40の例では、レンズ101が画角外周(画角の外側)に位置するにつれて、平面分割パターンが変わる。例えば、レンズ101が画角の四隅に位置するにつれて斜入射の影響が強まるため、レンズ101を縦に分割するのではなく、例えば、時計の針の位置によりレンズ101を分割してもよい。図40の例では、四隅側に位置するレンズ101において、レンズ領域101b(低屈折領域)の平面形状は、扇形になっているが、これに限定されるものではなく、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて適宜変更されてもよく、また、扇形の平面面積も画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて適宜変更されてもよい。
【0197】
変形例4によれば、レンズ領域101aおよびレンズ領域101bのそれぞれの屈折率の調整に加え、レンズ領域101a(高屈折領域)およびレンズ領域101b(低屈折領域)の平面分割パターンを、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変えることで、感度の補正を正確に行うことが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0198】
<2-5.変形例5>
図41は、本実施形態の変形例5に係る画素アレイ部11における所望のレンズ101の位置を示す平面図である。図42は、本実施形態の変形例5に係る所望のレンズ101の屈折率を説明するための図である。
【0199】
図41に示すように、所望の画素ペア90(図41中のA1の受光画素PGrおよびA2の受光画素PGr)に辺で接する受光画素P(図41中の6画素a~f)ごとに、その所望の画素ペア90が受ける感度の影響が異なることがある。なお、画素ペア90に斜め方向に接する受光画素Pは、点で接するため非該当である。図41の例では、画素aは受光画素PBであり、画素bは受光画素PGbであり、画素cは受光画素PGrであり、画素dは受光画素PRであり、画素eは受光画素PGrであり、画素fは受光画素PRである。
【0200】
このような場合には、図42に示すように、1つのレンズ101は、平面視での6分割パターンにより分割される。図42の例では、レンズ101は、放射状に6分割されており、6分割の各領域a~fを有する。領域aは低屈折率のレンズ領域101bであり、各領域b、c、eは中屈折率のレンズ領域101cであり、各領域d、fは高屈折率のレンズ領域101aである。高屈折率のレンズ領域101aの屈折率は、低屈折率のレンズ領域101bおよび中屈折率のレンズ領域101cのそれぞれの屈折率よりも高く、中屈折率のレンズ領域101cの屈折率は、低屈折率のレンズ領域101bの屈折率よりも高い。
【0201】
変形例5によれば、1つのレンズ101を6分割することで、所望の画素ペア90に接する受光画素Pの感度に応じてレンズ材料を組み合わせることが可能になる。これにより、各画素ペア90のそれぞれの受光画素Pが周囲の受光画素Pから受ける影響を考慮してレンズ101の設計を行うことができる。
【0202】
なお、レンズ101の分割数は、6分割以外にも、4分割や8分割、あるいは、3分割や5分割であってもよい。つまり、画素ペア90に対するレンズ101は、高屈折率と低屈折率の二つの領域に分割される以外にも、画素ペア90に隣接する受光画素Pの色(受光画素Pのカラーフィルタ131の屈折率)に応じて、屈折率が異なる三つ以上の領域に分割されてもよい。
【0203】
<3.作用・効果>
以上説明したように、本実施形態に係る撮像装置1は、カラーフィルタ131をそれぞれ含む複数の画素(受光画素P)を有する画素アレイ部11を備え、複数の画素は、同色のカラーフィルタ131をそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、画素アレイ部11は、第1の画素および第2の画素に共通に設けられたレンズ101を有し、レンズ101は、第1の画素に対応する第1のレンズ領域(例えば、レンズ領域101a)と、第2の画素に対応する第2のレンズ領域(例えば、レンズ領域101b)とを有し、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている(図3図10など参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正を行い、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を抑えることが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0204】
また、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、同じであってもよい(図10図36図37など参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正を適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0205】
また、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、異なっていてもよい(図38から図40参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正を適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0206】
また、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変えられていてもよい(図38から図40参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正を適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0207】
また、第1のレンズ領域の屈折率は、第2のレンズ領域の屈折率よりも高く、第1のレンズ領域の平面面積は、レンズ101が画素アレイ部11の外周側に位置するほど大きくなってもよい(図38から図40参照)。これにより、画素アレイ部11の画角に応じて、第1の画素および第2の画素の感度の補正を適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0208】
また、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、同じであってもよい(図10図36図37など参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正を適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0209】
また、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、異なっていてもよい(図38から図40参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正を適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0210】
また、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、画素アレイ部11に対するレンズ101の位置に応じて変えられていてもよい(図40参照)。これにより、画素アレイ部11の画角に応じて、第1の画素および第2の画素の感度の補正を適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0211】
また、レンズ101は、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域を含む複数のレンズ領域(例えば、レンズ領域101a、レンズ領域101b及びレンズ領域101c)を有し、複数のレンズ領域のいずれか三つ以上の屈折率は、異なっていてもよい(図41および図42参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正をより適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0212】
また、複数のレンズ領域は、複数の画素のうち第1の画素および第2の画素の周囲に存在する複数の画素の配置に応じて設けられていてもよい(図41および図42参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正をより適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0213】
また、複数のレンズ領域は、平面視でレンズが放射状に分けられるように区分されていてもよい(図42参照)。これにより、第1の画素および第2の画素の感度の補正をより適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0214】
また、レンズ101は、屈折率が異なる複数の材料により形成されていてもよい。これにより、屈折率が異なる第1のレンズ領域101aおよび第2のレンズ領域101bを有するレンズ101を容易に製造することができる。
【0215】
また、複数の材料は、異なる組成比の材料を含んでもよい。これにより、屈折率が異なる第1のレンズ領域101aおよび第2のレンズ領域101bを有するレンズ101を容易に製造することができる。
【0216】
また、第1の画素および第2の画素は、隣接してもよい。これにより、第1の画素および第2の画素が隣接する画素ペア90において、第1の画素および第2の画素の感度の補正をより適切に行うことが可能になるので、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を確実に抑えることができる。
【0217】
また、複数の画素は、DOBC(Deca-Octa Bayer Coding)で配置されていてもよい。画素配列がDOBCである場合において、第1の画素および第2の画素の感度の補正を行い、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を抑えることが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0218】
また、第1の画素および第2の画素は、同色間感度差を有し、第1のレンズ領域および第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、同色間感度差を抑えるように設定されていてもよい。このような場合においても、第1の画素および第2の画素の感度の補正を行い、第1の画素および第2の画素の同色間感度差を抑えることが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0219】
また、複数の画素は、同色のカラーフィルタ131をそれぞれ有する第3の画素および第4の画素を含み、画素アレイ部11は、第3の画素および第4の画素に共通に設けられた第2のレンズ(例えば、レンズ101)を有し、第2のレンズは、第3の画素に対応する第3のレンズ領域(例えば、レンズ領域101a)と、第4の画素に対応する第4のレンズ領域(例えば、レンズ領域101b)とを有し、第1のレンズ領域、第2のレンズ領域、第3のレンズ領域および第4のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっていてもよい(図36参照)。これにより、第1のレンズ領域、第2のレンズ領域、第3のレンズ領域および第4のレンズ領域のそれぞれの屈折率を変えることで、感度の補正を正確に行うことが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0220】
また、複数の画素は、同色のカラーフィルタ131をそれぞれ有する一対の画素をそれぞれ有する複数の画素ペア90を含み、画素アレイ部11は、画素ペア90ごとに設けられた複数のレンズ101を有し、複数のレンズ101のそれぞれの屈折率は、同色のカラーフィルタ131ごとに異なっていてもよい(図37参照)。これにより、同色間感度差を生じない画素ペア90に対するレンズ101の屈折率を色ごとに変えることで、感度の補正を正確に行うことが可能になるので、画質の向上を実現することができる。
【0221】
<4.他の実施形態>
上述した実施形態(実施例、変形例)に係る構成は、上記の実施形態以外にも種々の異なる形態にて実施されてもよい。例えば、構成は、上述した例に限らず、種々の態様であってもよい。また、例えば、上記文書中や図面中で示した構成、処理手順、具体的名称、各種のデータやパラメータを含む情報については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。
【0222】
また、図示した各装置の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各装置の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。
【0223】
また、上述した実施形態(実施例、変形例)は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、他の効果があってもよい。
【0224】
<5.適用例>
本実施形態(変形例も含む)に係る撮像装置1の適用例について図43を参照して説明する。図43は、本実施形態に係る撮像装置1を使用する適用例を示す図である。
【0225】
上述した撮像装置1は、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。例えば、前述の撮像装置1は、図43に示すように、「デジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞用に供される画像を撮影する装置」、「自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通用に供される装置」、「ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置」、「内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケア用に供される装置」、「防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティ用に供される装置」、「肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容用に供される装置」、「スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツ用に供される装置」、「畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業用に供される装置」等に用いられる。
【0226】
なお、本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット、建設機械、農業機械(トラクター)などのいずれかの種類の移動体に搭載される電子機器として実現されてもよい。また、例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムや顕微鏡手術システムなどに搭載される電子機器として実現されてもよい。
【0227】
<5-1.撮像装置>
適用例に係る撮像装置300について図44を参照して説明する。図44は、適用例に係る撮像装置300の構成例を示す図である。この撮像装置300は、前述の撮像装置1を適用した電子機器の一例である。撮像装置300としては、例えば、デジタルスチルカメラやビデオカメラ、撮像機能を有するスマートフォンや携帯電話機等の電子機器が挙げられる。
【0228】
図44に示すように、撮像装置300は、光学系301、シャッタ装置302、撮像素子(固体撮像装置)303、制御回路(駆動回路)304、信号処理回路305、モニタ306及びメモリ307を備える。この撮像装置300は、静止画像および動画像を撮像可能である。
【0229】
光学系301は、1枚または複数枚のレンズを有する。この光学系301は、被写体からの光(入射光)を撮像素子303に導き、撮像素子303の受光面に結像させる。
【0230】
シャッタ装置302は、光学系301および撮像素子303の間に配置される。このシャッタ装置302は、制御回路304の制御に従って、撮像素子303への光照射期間および遮光期間を制御する。
【0231】
撮像素子303は、光学系301およびシャッタ装置302を介して受光面に結像される光に応じて、一定期間、信号電荷を蓄積する。撮像素子303に蓄積された信号電荷は、制御回路304から供給される駆動信号(タイミング信号)に従って転送される。撮像素子303としては、例えば、前述の撮像装置1が用いられる。
【0232】
制御回路304は、撮像素子303の転送動作およびシャッタ装置302のシャッタ動作を制御する駆動信号を出力して、撮像素子303およびシャッタ装置302を駆動する。
【0233】
信号処理回路305は、撮像素子303から出力された信号電荷に対して各種の信号処理を施す。信号処理回路305が信号処理を施すことにより得られた画像(画像データ)は、モニタ306に供給され、また、メモリ307に供給される。
【0234】
モニタ306は、信号処理回路305から供給された画像データに基づき、撮像素子303により撮像された動画又は静止画を表示する。モニタ306としては、例えば、液晶パネルや有機EL(Electro Luminescence)パネル等のパネル型表示装置が用いられる。
【0235】
メモリ307は、信号処理回路305から供給された画像データ、すなわち、撮像素子303により撮像された動画又は静止画の画像データを記憶する。
【0236】
このように構成されている撮像装置300においても、前述の撮像装置1を撮像素子303に適用することにより、画質の向上を実現することができる。
【0237】
<5-2.測距装置>
適用例に係る測距装置400について図45を参照して説明する。図45は、適用例に係る測距装置400の構成例を示す図である。この測距装置400は、前述の撮像装置1を適用した電子機器の一例である。
【0238】
図45に示すように、測距装置(距離画像センサ)400は、光源部401と、光学系402と、撮像素子(固体撮像装置)403、制御回路(駆動回路)404、信号処理回路405、モニタ406及びメモリ407を備える。この測距装置400は、光源部401から被写体に向かって投光し、被写体の表面で反射された光(変調光やパルス光)を受光することにより、被写体までの距離に応じた距離画像を取得することができる。
【0239】
光源部401は、被写体に向かって投光する。光源部401としては、例えば、面光源としてレーザ光を射出する垂直共振器面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting LASER)アレイや、レーザダイオードをライン上に配列したレーザダイオードアレイが用いられる。なお、レーザダイオードアレイは、所定の駆動部(不図示)によって支持され、レーザダイオードの配列方向に垂直の方向にスキャンされる。
【0240】
光学系402は、1枚または複数枚のレンズを有する。この光学系402は、被写体からの光(入射光)を撮像素子403に導き、撮像素子403の受光面(センサ部)に結像させる。
【0241】
撮像素子403は、光学系402を介して受光面に結像される光に応じて、信号電荷を蓄積する。この撮像素子403から出力される受光信号(APD OUT)から求められる距離を示す距離信号が信号処理回路405に供給される。撮像素子403としては、例えば、前述の撮像装置1が用いられる。
【0242】
制御回路404は、光源部401や撮像素子403等の動作を制御する駆動信号(制御信号)を出力し、光源部401や撮像素子403等を駆動する。
【0243】
信号処理回路405は、撮像素子403から供給された距離信号に対して各種の信号処理を施す。例えば、信号処理回路405は、距離信号に基づいて距離画像を構築する画像処理(例えば、ヒストグラム処理やピーク検出処理等)を行う。信号処理回路405が信号処理を施すことにより得られた画像(画像データ)は、モニタ406に供給され、また、メモリ407に供給される。
【0244】
モニタ406は、信号処理回路405から供給された画像データに基づき、撮像素子303により撮像された距離画像を表示する。モニタ406としては、例えば、液晶パネルや有機ELパネル等のパネル型表示装置が用いられる。
【0245】
メモリ407は、信号処理回路405から供給された画像データ、すなわち、撮像素子303により撮像された距離画像の画像データを記憶する。
【0246】
このように構成されている測距装置400においても、前述の撮像装置1を撮像素子403に適用することにより、画質の向上を実現することができる。
【0247】
上述のように、本実施形態に係る撮像装置1は、各種の電子機器に実装されることが可能である。例えば、前述の撮像装置1は、撮像装置300や測距装置400の他にも、ノートPC(Personal Computer)、モバイル機器(例えば、スマートフォンやタブレットPC等)、PDA(Personal Digital Assistant)、ウェアラブルデバイス、ゲーム機器、音楽機器など、各種の電子機器に搭載されてもよい。
【0248】
<6.付記>
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1)
カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を備え、
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、
前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
撮像装置。
(2)
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、同じである、
前記(1)に記載の撮像装置。
(3)
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、異なっている、
前記(1)に記載の撮像装置。
(4)
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面面積は、前記画素アレイ部に対する前記レンズの位置に応じて変えられている、
前記(1)から(3)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(5)
前記第1のレンズ領域の屈折率は、前記第2のレンズ領域の屈折率よりも高く、
前記第1のレンズ領域の平面面積は、前記レンズが前記画素アレイ部の外周側に位置するほど大きくなる、
前記(4)に記載の撮像装置。
(6)
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、同じである、
前記(1)から(5)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(7)
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、異なっている、
前記(1)から(5)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(8)
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの平面形状は、前記画素アレイ部に対する前記レンズの位置に応じて変えられている、
前記(1)から(7)に記載の撮像装置。
(9)
前記レンズは、前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域を含む複数のレンズ領域を有し、
前記複数のレンズ領域のいずれか三つ以上の屈折率は、異なっている、
前記(1)から(8)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(10)
前記複数のレンズ領域は、前記複数の画素のうち前記第1の画素および前記第2の画素の周囲に存在する複数の画素の配置に応じて設けられている、
前記(9)に記載の撮像装置。
(11)
前記複数のレンズ領域は、平面視で前記レンズが放射状に分けられるように区分されている、
前記(9)または(10)に記載の撮像装置。
(12)
前記レンズは、屈折率が異なる複数の材料により形成されている、
前記(1)から(11)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(13)
前記複数の材料は、異なる組成比の材料を含む、
前記(12)に記載の撮像装置。
(14)
前記第1の画素および前記第2の画素は、隣接する、
前記(1)から(13)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(15)
前記複数の画素は、DOBC(Deca-Octa Bayer Coding)で配置されている、
前記(1)から(14)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(16)
前記第1の画素および前記第2の画素は、同色間感度差を有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、前記同色間感度差を抑えるように設定されている、
前記(1)から(15)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(17)
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第3の画素および第4の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第3の画素および前記第4の画素に共通に設けられた第2のレンズを有し、
前記第2のレンズは、前記第3の画素に対応する第3のレンズ領域と、前記第4の画素に対応する第4のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域、前記第2のレンズ領域、前記第3のレンズ領域および前記第4のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
前記(1)から(16)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(18)
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する一対の画素をそれぞれ有する複数の画素ペアを含み、
前記画素アレイ部は、前記画素ペアごとに設けられた複数のレンズを有し、
前記複数のレンズのそれぞれの屈折率は、前記同色のカラーフィルタごとに異なっている、
前記(1)から(17)のいずれか一つに記載の撮像装置。
(19)
撮像装置を備え、
前記撮像装置は、
カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を備え、
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、
前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
電子機器。
(20)
カラーフィルタをそれぞれ含む複数の画素を有する画素アレイ部を形成することを含み、
前記複数の画素は、同色のカラーフィルタをそれぞれ有する第1の画素および第2の画素を含み、
前記画素アレイ部は、前記第1の画素および前記第2の画素に共通に設けられたレンズを有し、
前記レンズは、前記第1の画素に対応する第1のレンズ領域と、前記第2の画素に対応する第2のレンズ領域とを有し、
前記第1のレンズ領域および前記第2のレンズ領域のそれぞれの屈折率は、異なっている、
撮像装置の製造方法。
(21)
前記(1)から(18)のいずれか一つに記載の撮像装置を備える、
電子機器。
(22)
前記(1)から(18)のいずれか一つに記載の撮像装置を製造する、
半導体装置の製造方法。
【符号の説明】
【0249】
1 撮像装置
11 画素アレイ部
12 駆動部
13 参照信号生成部
15 信号処理部
16 画像データ生成部
17 位相差データ生成部
18 撮像制御部
20 読出部
21 定電流源
22 容量素子
23 容量素子
24 比較回路
25 カウンタ
26 ラッチ
27 転送制御部
90 画素ペア
100 画素ブロック
100R 画素ブロック
100Gr 画素ブロック
100Gb 画素ブロック
100B 画素ブロック
101 レンズ
101a レンズ領域
101b レンズ領域
101c レンズ領域
111 半導体基板
111S1 表面
111S2 裏面
112 受光部
113 分離部
121 多層配線層
122 配線層
123 配線層
124 配線層
125 配線層
126 配線層
127 配線層
128 層間絶縁層
131 カラーフィルタ
132 遮光膜
300 撮像装置
400 測距装置
L1 光
L2 光
P 受光画素
PB 受光画素
PD フォトダイオード
PGb 受光画素
PGr 受光画素
PR 受光画素
U 画素ユニット
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13
図14
図15
図16
図17
図18
図19
図20
図21
図22
図23
図24
図25
図26
図27
図28
図29
図30
図31
図32
図33
図34
図35
図36
図37
図38
図39
図40
図41
図42
図43
図44
図45